JP5978002B2 - 検査方法及び外観検査装置 - Google Patents
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- 検査ワークの検査面を撮像する撮像手段を有する外観検査装置の検査方法であって、
撮像された画像をもとに、前記検査面の3次元高さデータを算出する演算工程と、
前記算出された3次元高さデータをもとに、前記検査面において予め設定された凹凸とは異なる凹凸不良の領域を抽出する抽出工程と、
前記撮像された画像をもとに、前記検査面における輝度不良の領域を、前記抽出された凹凸不良の領域を除外した領域から検出する検出工程と、
を含む検査方法。 - 前記撮像された画像における、前記抽出された凹凸不良の領域と一致する領域の輝度値に、前記検出工程において前記輝度不良の領域として検出されない輝度値を設定する輝度値設定工程を更に含む、
請求項1に記載の検査方法。 - 前記輝度値設定工程は、前記撮像された画像における、前記抽出された凹凸不良の領域と一致する領域の輝度値に、前記検査面において予め設定された輝度値を設定し、
前記検出工程は、前記撮像された画像の輝度値と、前記検査面において予め設定された輝度値とを比較して、前記検査面における輝度不良の領域を検出する、
請求項2に記載の検査方法。 - 検査ワークの検査面を撮像する撮像手段と、
前記撮像された画像をもとに、前記検査面の3次元高さデータを算出する演算手段と、
前記算出された3次元高さデータをもとに、前記検査面において予め設定された凹凸とは異なる凹凸不良の領域を抽出する抽出手段と、
前記撮像された画像をもとに、前記検査面における輝度不良の領域を、前記抽出された凹凸不良の領域を除外した領域から検出する検出手段と、
を備える外観検査装置。 - 前記撮像された画像における、前記抽出された凹凸不良の領域と一致する領域の輝度値に、前記検出手段において前記輝度不良の領域として検出されない輝度値を設定する輝度値設定手段を更に備える、
請求項4に記載の外観検査装置。 - 前記輝度値設定手段は、前記撮像された画像における、前記抽出された凹凸不良の領域と一致する領域の輝度値に、前記検査面において予め設定された輝度値を設定し、
前記検出手段は、前記撮像された画像の輝度値と、前記検査面において予め設定された輝度値とを比較して、前記検査面における輝度不良の領域を検出する、
請求項5に記載の外観検査装置。
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