JP5953751B2 - 案内装置及び流路形成方法 - Google Patents

Description

本発明は、案内装置及び流路形成方法に係り、特に、流路内に充填される流体の体積をより少なくてきる案内装置及び流路形成方法に関する。

金属材料や樹脂材料からなる塊体に、貫通孔を設けて流体の流路とする用途がある。その用途例として、成形金型の冷却水用流路，アクチュエータの動作流体用流路，軸受装置，又は案内装置の潤滑流体用流路などがある。案内装置は、例えば、移動体とパッドの間に潤滑流体の膜を介在させて移動体を非接触で移動可能に支持する静圧の案内装置である。特許文献１には、例として、案内装置の潤滑流体用流路が油路５０として記載されている。このような流路は、ドリル加工による直穴で形成されるのが一般的である。

国際公開第２００９／０５１１９２号

ところで、流路が、アクチュエータの動作流体用、又は、軸受装置若しくは案内装置の潤滑流体用の場合、それぞれ動作流体，潤滑流体として油を用いるのが一般的である。用いる油の量は、コストアップ抑制及び環境負荷低減の観点からより少ない方が好ましい。また、アクチュエータ，流体軸受装置，案内装置に対し、油の圧縮性を無視できない程の高性能を求める場合には、油を圧縮性流体として取り扱う。油を圧縮性流体として取り扱う際には、流路内の油の体積が大きいほど、アクチュエータの応答性の低下、ばね剛性の低下という基本性能に関わる影響が顕著になるので、油の使用量は、より少ない方が好ましい。
例えば、静圧の案内装置において、案内する移動体を所定の周期で往復移動させる場合、潤滑流体である油に関するばね剛性が低いほど移動体の往復移動の応答性が低下する、という問題が生じる。この応答性の低下は、移動体の往復移動に限らず、移動体の直動時における起動及び停止の応答性についても同様に生じる。また、油に関するばね剛性に応じた固有振動数と移動体の往復移動の周期との関係に起因した共振が生じると、異常動作を招く虞があり案内装置自体への悪影響が懸念される。従って、固有振動数を可能な限り高く又は低くして共振が起こりにくくなるように配慮する必要がある。潤滑流体の圧縮性を考慮した場合、そのばね剛性は、流路内の潤滑流体の量が少ないほど高くなる。従って、移動体の移動における応答性の向上及び往復移動で考慮すべき共振の回避に向け、ばね剛性を高くすることは極めて有効である。すなわち、案内装置の潤滑に供する潤滑流体の量は、できるだけ少ないことが好ましい。
このように、種々の観点から、油の使用量は少ない方がよく、従って、油が充填される流路の容積はより小さいことが好ましい。

流路の小容積化は、流路長又は流路断面積を小さくすることで実現する。流路長については、流路の経路レイアウトが、その流路を設ける装置によって概ね決まる場合が多いので、流路長を短くすることには限界があり、有効な小容積化は難しい。一方、流路断面積については、流路を、より小径のドリルで穴明けした細い直穴で形成すればよいが、ドリル加工においては、穴が深い（長い）程、またドリル径が小径になる程、ドリルの折損などの不具合が生じ易く加工が難しい。このため、小径の（細い）深い穴を明けるドリル加工は、可能であるが特殊加工となって加工コストが大幅に嵩むという問題が生じる。

流路が設けられている装置が静圧の案内装置の場合、潤滑流体の量は比較的少なくてよい。従って、例えば、流路を形成する直穴の径が１ｍｍ以下であっても支障はなく、むしろ好ましい。しかしながら、静圧の案内装置において、ドリル加工で形成する直穴の深さ（長さ）が数百ｍｍ程度となる流路は一般的なものであって、この流路をドリル加工で平易に形成する場合のドリル径は、最小でも１０ｍｍ程度は必要とされる。すなわち、平易で安価なドリル加工を行いながらも流路径を小さく形成できることは、コストアップを抑制しつつ顕著な油量低減効果が得られるので極めて有効である。

そこで、本発明が解決しようとする課題は、ドリル加工で形成する流路の容積を、コストアップを抑制しつつ小さくすることができる案内装置及び流路形成方法を提供することにある。

上記課題を解決するために、本発明は次の構成を有する。
１） ベース部と、油吐出口を有して前記ベース部に設けられたパッド部と、を備え、前記パッド部と移動体との間に前記油吐出口から吐出した油を介在させて前記パッド部により前記移動体を案内支持する案内装置において
前記パッド部は、前記油吐出口に接続する第１の貫通孔を有し、
前記ベース部は、
前記油が供給されるカプラが取り付けられた第１の開口部と、
前記パッド部の前記第１の貫通孔に接続された第２の開口部と、
前記第１の開口部と前記第２の開口部とを連通する直穴と、
前記直穴における前記カプラと前記第２の開口部との間に挿入された挿入部材と、
を備え、
前記挿入部材は、第２の貫通孔を有する管状であり、前記第２の貫通孔が前記カプラと前記第２の開口部までの間の流路とされていることを特徴とする案内装置である。
２） ベース部と、油吐出口を有して前記ベース部に設けられたパッド部と、を備え、前記パッド部と移動体との間に前記油吐出口から吐出した油を介在させて前記パッド部により前記移動体を案内支持する案内装置において
前記パッド部は、前記油吐出口に接続する貫通孔を有し、
前記ベース部は、
前記油が供給されるカプラが取り付けられた第１の開口部と、
前記パッド部の前記貫通孔に接続された第２の開口部と、
前記第１の開口部と前記第２の開口部とを連通する直穴と、
前記直穴における前記カプラと前記第２の開口部との間に挿入された挿入部材と、
を備え、
前記挿入部材は、前記直穴の内径よりも小さい複数の塊であり、前記カプラと前記第２の開口部との間の前記直穴の容積から前記複数の塊の体積を減じた容積が、前記カプラと前記第２の開口部との間の流路の容積とされていることを特徴とする案内装置である。
３） ベース部と、油吐出口を有して前記ベース部に設けられたパッド部とを備え、前記パッド部と移動体との間に前記油吐出口から吐出した油を介在させて前記パッド部により前記移動体を案内支持する案内装置において
ベース部は、
前記油が供給される第１の開口部と、前記油吐出口に接続された第２の開口部と、前記第１の開口部と前記第２の開口部とを連通する、第１の直穴及び前記第１の直穴に直交して連通する第２の直穴と、
前記第１の直穴に挿入され第１の貫通孔を有する第１の挿入部材と、
前記第２の直穴に挿入され、第２の貫通孔と、前記第１の直穴に臨み前記第２の貫通孔の内部空間に連通した横孔と、を有する第２の挿入部材と、
を備えたことを特徴とする案内装置である。
４） ベース部と、油吐出口を有して前記ベース部に設けられたパッド部とを備え、前記パッド部と移動体との間に前記油吐出口から吐出した油を介在させて前記パッド部により前記移動体を案内支持する案内装置において
ベース部は、
前記油が供給される第１の開口部と、前記油吐出口に接続された第２の開口部と、前記第１の開口部と前記第２の開口部とを連通する、第１の直穴及び前記第１の直穴に直交して連通する第２の直穴と、
前記第１の直穴に挿入された、前記第１の直穴の内径よりも小さい複数の第１の塊と、
前記第２の直穴に挿入された、前記第２の直穴の内径よりも小さい複数の第２の塊と、を備えたことを特徴とする案内装置である。
５） 前記挿入部材は、非圧縮性材料で形成されていることを特徴とする１）〜４）のいずれか一つに記載の案内装置である。
６） 油供給口を有するベース部と、油吐出口を有して前記ベース部に設けられたパッド部とを備え、前記パッド部と移動体との間に前記油吐出口から吐出した油を介在させて前記パッド部により前記移動体を案内支持する案内装置における前記油吐出口と前記油供給口との間の流路を形成する、案内装置の流路形成方法であって、
前記流路として第１の直穴と前記第１の直穴に直交して連通する第２の直穴を形成する直穴形成ステップと、
前記第１の直穴に、第１の貫通孔を有する第１の挿入部材を挿入する第１の挿入部材挿入ステップと、
前記第２の直穴に、第２の貫通孔と、外部空間と前記第２の貫通孔の内部空間とを連通する横孔と、を有する第２の挿入部材を、前記横孔が前記第１の直穴を臨むように挿入する第２の挿入部材挿入ステップと、
を含むことを特徴とする案内装置の流路形成方法である。

本発明によれば、ドリル加工で形成する流路の容積を、コストアップを抑制しつつ小さくすることができる、という効果が得られる。

本発明の案内装置の実施例を示す平面図である。 本発明の案内装置の実施例を説明するための断面図である。 本発明の流路形成体の実施例を説明するための断面図である。 本発明の流路形成体の実施例における挿入部材を説明するための斜視図である。 本発明の流路形成体の実施例における変形例を説明するための図である。

本発明の案内装置の実施例として静圧の案内装置ＡＳを説明する。図１は、案内装置ＡＳの平面図であり、図２は、図１におけるＳ１−Ｓ１断面図である。
尚、以下の説明において、特に記載のない限り、「穴」は貫通と有底との両方を含み、「孔」は貫通に限るものとする。なた、「直穴」とは、直線状の軸を有する貫通又は有底の穴である。

案内装置ＡＳは、移動体ＤＴ（図１，図２において外形を二点鎖線で示す）を、図１に示すＸ軸方向に往復直線移動可能に案内しつつ支持する装置である。移動体ＤＴは、駆動装置ＡＣ（図１において二点鎖線で示す）に連結されている。移動体ＤＴは、駆動装置ＡＣの駆動によりＸ軸方向に移動するようになっている。移動体ＤＴは、底面ＤＴ１と、底面ＤＴ１に直交する違いに平行な一対の側面ＤＴ２と、を有している。概略、案内装置ＡＳは、移動体ＤＴを、底面ＤＴ１に対向するよう配置された静圧パッド２ａ〜２ｄと、一対の側面ＤＴ２に対向するよう配置された静圧パッド２ｆ〜２ｉ（詳細は後述する）と、によって案内支持する。
以下、互いに直交するＸ〜Ｚ軸について、Ｘ軸方向を左右方向、Ｙ軸方向を前後方向、Ｚ軸方向を天地方向と定める。

図１，図２を参照して案内装置ＡＳについて詳述する。
案内装置ＡＳは、凹部１ａを有して前後方向の断面形状が略コ字状を呈する塊体であるベース部１と、凹部１ａの底面１ｂに設けられた複数の静圧パッド２ａ〜２ｄと、一方の側面１ｓ１に設けられた静圧パッド２ｆ，２ｇと、他方の側面１ｓ２に設けられた静圧パッド２ｈ，２ｉと、を備えている。ベース部１は、例えば、金属材料で形成されている。

底面１ｂには、Ｘ軸方向に離隔し、かつＸ軸に対して対称に配置された二対の静圧パッド（静圧パッド２ａ，２ｂ及び静圧パッド２ｃ，２ｄの合計４つ）が配設されている。一方の側面１ｓ１には、底面１ｂに設けられた静圧パッド２ａ，２ｄに対応したＸ軸方向位置に、静圧パッド２ｆ，２ｇが設けられている。他方の側面１ｓ２には、底面１ｂに設けられた静圧パッド２ｂ，２ｃに対応したＸ軸方向位置に、静圧パッド２ｈ，２ｉが設けられている。静圧パッド２ａ〜２ｄ，２ｆ〜２ｉは、同形状とされている。

次に、静圧パッドの詳細形状を静圧パッド２ａを代表として説明する。説明において、各静圧パッド２ａ〜２ｄ，２ｆ〜２ｉに共通の部位については、共通の符号ｐｄの連番を付与してある。静圧パッド２ａは、概ね扁平の直方体に形成されている。静圧パッド２ａは、ベース部１の凹部１ａ内を臨む面において、中央部に、リセスとして抉られた凹部ｐｄ１を有している。凹部ｐｄ１の底面は平坦面となっている。凹部ｐｄ１を囲む周縁部は、凹部ｐｄ１に対しランドとして枠状に突出した枠部ｐｄ２とされている。凹部ｐｄ１には、貫通孔ｐｄ３が形成されている。静圧パッド２ａ〜２ｄ，２ｆ〜２ｉは、枠部ｐｄ２の天面ｐｄ４が、移動体ＤＴを凹部１ａに直接載置した際、底面ＤＴ１及び側面ＤＴ２に対して同時に密着するようにベース部１に取り付けられている。静圧パッド２ａ〜２ｄ，２ｆ〜２ｉは、案内装置の静圧パッドに用いられる一般的な材料で形成されている。

次に、流路について説明する。静圧パッド２ａに関し、図２に示されるように、ベース部１には、天地方向に延在する直穴である穴ｈａと、穴ｈａに連通して前後方向に延在する穴ｗａと、により略Ｌ字状の通路ＴＲａが形成されている。穴ｗａの出口側の開口は開口部ｗａａとされる。穴ｈａの出口側の開口である開口部ｈａａは、静圧パッド２ａの貫通孔ｐｄ３に接続し、穴ｗａの開口部ｗａａには、Ｌ字状のカプラ４１ａが接続されている。カプラ４１ａには、ホース４２ａが接続されている。ホース４２ａには、外部の流体供給装置ＫＳから潤滑流体として、例えば油ＯＬが供給される。穴ｈａ及び穴ｗａは、それぞれドリル加工で形成された直穴である。各穴径は、例えば１０ｍｍである。

案内装置ＡＳにおいて、穴ｗａの内部には、挿入部材３ａが挿入されている。
挿入部材３ａは、貫通孔３ａ１を有するパイプ状（管状）の部材であり、外径が穴ｗａに対してほぼガタがなく挿入できる径とされ、貫通孔３ａ１の内径は、任意の径（例えば外径の半分程度）とされている。穴ｗａに挿入された挿入部材３ａの、穴ｈａに対応する位置の外周面には、貫通孔３ａ１に通じる横孔３ａ２が形成されている。挿入部材３ａは、この横孔３ａ２が穴ｈａに連通するように穴ｗａに収められている。すなわち、貫通孔３ａ１の内部空間は、横孔３ａ２，穴ｈａ，及び静圧パッド２ａの貫通孔ｐｄ３を介して、凹部１ａ内の空間と連通している。従って、カプラ４１ａから静圧パッド２ａの凹部ｐｄ１までの間の流路Ｒａは、挿入部材３ａの貫通孔３ａ１の内部空間Ｖａ１と、横孔３ａ２の内部空間Ｖａ２と、穴ｈａの内部空間Ｖａ３と、静圧パッド２ａの貫通孔ｐｄ３の内部空間Ｖａ４と、を含んで構成される。

流体供給装置ＫＳから供給された油ＯＬは、ホース４２ａ，カプラ４１ａ，及び流路Ｒａを介し、静圧パッド２ａの貫通孔ｐｄ３から凹部ｐｄ１内に吐出する。すなわち、貫通穴ｐｄ３は油ＯＬの吐出口となっている。
吐出した油ＯＬは、凹部ｐｄ１に充填されると共に、流体供給装置ＫＳにより所定の圧力が付与されているので、移動体ＤＴが凹部１ａに載置された際に、枠部ｐｄ２の天面ｐｄ４と移動体ＤＴとの間に膜状に介在する。これにより、ベース部１は、静圧パッド２ａ〜２ｄ，２ｆ〜２ｉによって、移動体ＤＴを滑らかに移動可能に支持する。

挿入部材３ａの長さは、穴ｗａに挿入可能な範囲でできるだけ長く設定されることが望ましい。挿入部材３ａを挿入することで、ドリル加工で形成した穴ｗａの容積を、挿入部材３ａの体積分だけ減少させることができる。例えば、挿入部材３ａの外径が１０ｍｍで貫通孔３ａ１の内径が５ｍｍの場合、穴ｗａにおける挿入部材３ａを挿入した範囲の容積を、元の容積の１／４にすることができる。

静圧パッド２ａ以外の静圧パッドについても同様に、油を供給する通路内に挿入部材が挿入されている。尚、図１では、描画が重複するため、静圧パッド２ｆ〜２ｉに対応する通路及び挿入部材などの記載を省略してある。
以下、代表として、図２に示された静圧パッド２ｆ，２ｃについて、各静圧パッド２ｆ，２ｃに油を供給すべく形成された通路ＴＲｆ，ＴＲｃ内に挿入された挿入部材３ｆ，３ｃ，３ｃｄについて説明する。

静圧パッド２ｆに対して油ＯＬを供給するために設けられた通路ＴＲｆは、穴ｗｆである。穴ｗｆに挿入部材３ｆは挿入されている。穴ｗｆは、ベース部１の後側の側面に開口し、その開口部ｗｆａにはカプラ４１ｆが取り付けられている。詳しくは、穴ｗｆにおける、静圧パッド２ｆとカプラ４１ｆとの間に挿入部材３ｆは挿入されている。従って、カプラ４１ｆから静圧パッド２ｆの凹部ｐｄ１までの間の流路Ｒｆは、挿入部材３ｆの貫通孔３ｆ１の内部空間Ｖｆ１と、静圧パッド２ｆの貫通孔ｐｄ３の内部空間Ｖｆ２と、を含んで構成される。

一方、静圧パッド２ｃに対して油を供給するために設けられた通路ＴＲｃは、天地方向に延在する穴ｈｃと、穴ｈｃに連結して前後方向に延在する穴ｗｃと、穴ｗｃに連結して左右方向に延在する穴ｄｃである。穴ｈｃと穴ｗｃと穴ｄｃとは、ドリル加工によって、互いに直交して連通する直穴として形成されている。穴ｗｃはベース部１の前側の側面に開口し、その開口部ｗｃａは穴止め栓４３ｃで塞がれている。穴ｄｃはベース部１の右側の側面に開口し、その開口部ｄｃａにはカプラ４１ｃが取り付けられている。

穴ｗｃには挿入部材３ｃが挿入されている。詳しくは、挿入部材３ｃは、穴ｗｃの同径で形成された範囲の最奥部と穴止め栓４３ｃとの間に挿入されている。挿入部材３ｃには、一端側にその貫通孔３ｃ１の内部空間と外部空間とを連通する横孔３ｃ２が形成されており、挿入部材３ｃは、横孔３ｃ２が穴ｈｃ内を臨む軸まわり姿勢で穴ｗｃに挿入されている。

図１に示されるように、穴ｄｃには挿入部材３ｃｄが挿入されている。詳しくは、穴ｄｃの奥方側において穴ｗｃに挿入された挿入部材３ｃとカプラ４１ｃとの間に挿入されている。穴ｗｃに挿入された挿入部材３ｃには、他端側にその貫通孔３ｃ１の内部空間と外部空間とを連通する横孔３ｃ３が、横孔３ｃ２に対し軸まわりに９０°ずれた位置に形成されている。そのため、挿入部材３ｃは、横孔３ｃ２が穴ｈｃ内を臨む姿勢において自ずと横孔３ｃ３が穴ｄｃ内を臨むようになっている。

これにより、カプラ４１ｃから静圧パッド２ｃの凹部ｐｄ１までの間の流路Ｒｃは、挿入部材３ｃｄの貫通孔３ｃｄ１の内部空間Ｖｃ１と、横孔３ｃ３の内部空間Ｖｃ２と、挿入部材３ｃの貫通孔３ｃ１の内部空間Ｖｃ３と、横孔３ｃ２の内部空間Ｖｃ４と、穴ｈｃの内部空間Ｖｃ５と、を含んで構成される。

上述のように、平易なドリル加工で形成した直穴である穴ｗｆ，ｗｃ，ｄｃに対して挿入部材３ｆ，３ｃ，３ｃｄを挿入することで、穴ｗｆ，ｗｃ，ｄｃの容積が、それぞれ挿入部材３ｆ，３ｃ，３ｃｄの体積分だけ小さくなっている。
従って、より少量の油で各流路Ｒｆ，Ｒｃを満たすことができる。

次に、図３，図４を用い、上述したような、ドリルで形成した直穴である通路に挿入部材を挿入し、通路よりも小容積化した流路を形成する流路形成方法と、その方法で形成した流路形成体について、一般化した内容で説明する。
ここでは、塊体である基材１１に対してＬ字状の流路ＲＲを形成する例を説明する。

まず、図３（ａ）に示されるように、塊体である基材１１に対し、一般的なドリル加工により、交叉して連通した二つの穴ｈ１，ｈ２を形成する。ここでは便宜的に穴ｈ１を縦穴、穴ｈ２を横穴と称する。穴ｈ１，ｈ２は、それぞれ開口部ｈ１ａ，ｈ２ａを有する直穴である。挿入部材３３として、図４（ａ）に示されるように、中心に貫通孔３３ａを有し、一端側に貫通孔３３ａと周面とを連通する径方向の横孔３３ｂを有するパイプ状部材を用意する。

挿入部材３３の材質は、流路ＲＲをより小容積で形成することのみを目的とするならば、圧縮性、非圧縮性を問わず、選択ができる。例えば、樹脂、金属、セラミックスなどである。流路ＲＲに充填させる流体（油等）ＦＬを圧縮性として扱い、その流体ＦＬの小体積化を目的とする場合には、挿入部材３３の材質は、非圧縮性のもの、あるいは非圧縮性とみなせる物性のものを選択することが望ましい。例えば、金属、セラミックスなどである。

次に、図３（ｂ）に示されるように、穴ｈ１，ｈ２の一方（ここでは縦穴ｈ１とする）へ挿入部材３３を挿入する。挿入部材３３には、挿入後に横孔３３ｂを他方の穴である横穴ｈ２に臨める位置に形成しておき、挿入に際し又は挿入後に、横孔３３ｂが横穴ｈ２に連通するように軸まわりの姿勢を決める。

挿入部材３３の外径は、挿入する穴の内径に合わせてガタなく挿入できるように設定しておくと、挿入後に位置がずれにくくなるので望ましい。挿入後に挿入部材３３が軸方向または周方向に動き、横孔３３ｂが横穴ｈ２からずれてしまうことが懸念される場合は、挿入部材３３と縦穴ｈ１とを強嵌合にするか、接着剤などで固定することが望ましい。貫通孔３３ａ及び横孔３３ｂの内径は、適宜設定することができる。

上述した方法により、基材１１に、挿入部材３３における貫通孔３３ａの内部空間ＶＲ１と、横孔３３ｂの内部空間ＶＲ２と、横穴ｈ２の内部空間ＶＲ３と、を含む流路ＲＲが形成される。また、ドリル加工により形成された穴ｈ１，ｈ２を通路として有する基材１１と挿入部材３３とにより、通路よりも小容積化した流路ＲＲを備えた流路形成体ＲＫが形成される。

さらに、図３（ｃ）に示されるように、縦穴ｈ１のみならず、横穴ｈ２にも同様に、貫通孔３４ａを有する挿入部材３４を挿入してもよい。これにより、基材１１に、挿入部材３３の貫通孔３３ａの内部空間ＶＲ１と、横孔３３ｂの内部空間ＶＲ２と、挿入部材３４の貫通孔３４ａの内部空間ＶＲ４と、を含む流路ＲＲ２が形成される。また、ドリル加工により形成された穴ｈ１，ｈ２を通路として有する基材１１と挿入部材３３，３４とにより、通路よりも小容積化した流路ＲＲ２を備えた流路形成体ＲＫ２が形成される。

この場合、挿入部材３３の横孔３３ｂと挿入部材３４の貫通孔３４ａとの、より高精度の位置合わせが必要になる。
そこで、図４（ｂ）に示されるように、挿入部材３３の横孔３３ｂに対応する位置に周溝３３ｃを設け、横孔３３ｂを、周溝３３ｃの底面３３ｃｂと貫通孔３３ａとを連通するものにするとよい。これにより、挿入部材３３の軸まわり位置を合わせる必要がなくなり、挿入部材３３の軸まわり位置が如何なる位置であっても、貫通孔３３ａの内部空間ＶＲ１と挿入部材３４の貫通孔３４ａの内部空間ＶＲ４とが連通する。

挿入部材３ａ，３ｃ，３ｆ，３３，３４は、形状がパイプ状（管状）に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。図５（ａ）〜（ｇ）に、変形例を示し、各変形例毎に符号３Ａ〜３Ｅを付して説明する。

（変形例１）
図５（ａ）に示されるように、挿入部材３Ａは、管状ではなく、棒状であって、外周面に軸方向に延在する凹部として溝部３Ａ１を形成した例である。溝部３Ａ１の横断面積が挿入部位の流路断面積となる。
図５（ｂ）に示されるように、挿入部材３ＡをＬ字状通路の一方に挿入する場合に、軸まわりの姿勢によらず、交わる他方の通路に流路が連通するよう周溝３Ａ２を形成するとよい。この挿入部材３Ａによれば、溝部３Ａ１を微細に加工することが容易である。具体的には、挿入部材３Ａの外径が１０ｍｍ程度であっても、直径が０．２ｍｍ〜０．４ｍｍの貫通孔に相当する断面積の溝部３Ａ１を形成することが容易であり、流路の大幅な小容積化が可能となる。

（変形例２）
外周面に形成する溝部は軸に平行でなくてもよい。
図５（ｃ）に示されるように、挿入部材３Ｂは、外周面に凹部として螺旋状の溝部３Ｂ１を形成した例である。両端部には、他の通路への流路連通を容易にするために、小径なる縮径部３Ｂ２を設けてある。溝部は、この螺旋状の溝部３Ｂ１とするより挿入部材３Ａの直線状の溝部３Ａ１とした方が、溝部の占める空間容積が小さいので好ましい。

（変形例３）
挿入部材は一つの部材でなくてもよく、複数の部材を挿入してもよい。
図５（ｄ）は、挿入する複数の部材の単部材となるべき挿入部材３Ｃを示している。挿入部材３Ｃは、外周面に凹部として軸方向に延在する溝部３Ｃ１と、少なくとも一方の端部に縮径部３Ｃ２とが形成されている。
図５（ｄ）では両方の端部に縮径部３Ｃ２を形成した例が示されている。

挿入する通路（穴）の長さに応じ、多数の挿入部材３Ｃを通路に挿入する。
図５（ｅ）は、挿入部材３Ｃを５個スタックした状態を示している。挿入部材３Ｃは、少なくとも一方の端部に縮径部３Ｃ２を有しているので、長手方向の向きは限定されるものの、スタックにおける各挿入部材３Ｃの軸まわりの姿勢は限定されずに溝部３Ｃ１による流路を形成することができる。
挿入部材３Ｃの両端部に縮径部３Ｃ２を設ければ、スタックの際に、長手方向の向きも限定されないので、より好ましい。この挿入部材３Ｃを用いれば、挿入する穴の長さ（深さ）に合わせた専用の挿入部材を形成する必要がないので、コストアップをより抑制することができる。

（変形例４）
図５（ｆ）は、挿入部材３Ｄを、挿入する穴Ｈの内径よりも小さい外形を有する塊とし、その塊の複数個を穴Ｈ内に充填した例を示している。態様としては充填部材としてもよいものであるが、ここでは便宜的に挿入部材３Ｄと称する。挿入部材３Ｄの個々の形状や寸法は限定されない。例えば球状であり、例えばすべて同仕様である。この挿入部材３Ｄによれば、穴Ｈの深さ寸法によらず穴内に収めることが可能となる。また、流用が容易にできる。また、連通した複数の穴、例えば図３（ａ）に示される縦穴ｈ１と横穴ｈ２の双方に容易に収めることができる。従って、コストアップをより抑制した流路の小容積化ができる。

（変形例５）
図５（ｇ）は、挿入部材３Ｅの横断面形状を、挿入する穴Ｈとの間に空間ＶＥが形成されるように設定した例である。具体的には、挿入部材３Ｅを所謂Ｄカット形状としたものが示されている。基本断面形状を円形とすれば、Ｄカットのように、弦となる面を有する断面形状は本来円形なる外周面に凹部が形成されたものとみることができる。この場合、穴Ｈの内面と挿入部材３Ｅの外表面との間の空間ＶＥが、流路となる。流路の横断面形状は、穴Ｈの横断面形状が円形の場合、ＳＥで示されるように、円弧と弦とで囲まれた形状となる。

各変形例の挿入部材３Ａ〜３Ｅの材質は、上述のように、用いる流体を圧縮性として扱うか否かを考慮して選択すればよい。特に、挿入部材３Ｃは、単に流路の小容積化のみを目的とする場合には、材質を樹脂として射出成形により形成することで量産効果による低コスト化が期待されるので望ましい。

以上、詳述した実施例及び変形例によれば、平易で安価なドリル加工によって流路の元となる通路を形成し、その後、通路内に、凹部又は孔を有する挿入部材を挿入して収めることで、元の通路の容積から挿入した挿入部材の体積に相当する容積を減じた容積の流路を形成することができる。挿入部材は、加工が容易な形状のもので足りるため、特殊なドリル加工によって小径で深い穴を形成する場合のコストに比べ遙かに低コストで流路の小容積化ができる。
また、案内装置においては、コストアップをより抑制した潤滑流体の流路の小容積化がなされており、それによって、潤滑流体を圧縮性として扱う場合のそのばね剛性が高くなっている。従って、移動体の移動における応答性が向上する。詳しくは、移動体を直動及び平行動させる際の起動及び停止の応答性、並びに、往復動させる際の往復移動の応答性が向上する。
また、ばね剛性が高くなっていることから、移動体を往復移動させる際の共振が発生し難くなっており、案内装置が移動体の往復移動に供される際にも、往復移動の周期によらず安定して動作する。
また、潤滑流体の流路の小容積化がなされていることで、使用する潤滑流体の量が少なくて済むので、案内装置の初期投資費用及び維持費用が低減する。
案内装置において潤滑流体を圧縮性として扱う場合、挿入部材を、金属やセラミックスのような非圧縮性の材料とすれば、挿入部材についてはばね剛性を考慮しなくてよいものとして扱うことができる。ここで非圧縮性材料とは、潤滑流体を圧縮性として扱う場合に非圧縮性とみなせる物性の材料も含むものとする。従って、ばね剛性としては、挿入部材の挿入によって小容積化した流路内の潤滑流体についてのみが反映される。よって、ばね剛性をより高く維持することができる。これにより、移動体の移動における応答性がより高く維持でき、移動体を往復移動させる際の共振がより発生し難く、案内装置の動作は、往復移動の周期によらず常に安定したものとなる。

本発明の実施例及び変形例は、上述した構成及び手順に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲においてさらに別の変形例としてもよいのは言うまでもない。
挿入部材は、図５（ｅ）に示される変形例３のような、穴の軸方向に複数個並べて収めるものに限らない。挿入部材の横断面を例えば扇型形状とし、その複数個を穴の周方向に複数個並べて収めるものであってもよい。変形例１〜４における溝部３Ａ１，３Ｂ１，３Ｃ１は、外周面において複数形成されていてもよい。各溝部３Ａ１，３Ｂ１，３Ｃ１の断面形状は限定されるものではない。上述した実施例及び各変形例は、自由に組み合わせることができる。

１ ベース部（塊体）
１ａ 凹部、１ｂ 底面、１ｓ１，１ｓ２ 側面
２ａ〜〜２ｄ，２ｆ〜２ｉ 静圧パッド
３ａ，３ｃ，３ｃｄ，３ｆ，３３，３４，３Ａ〜３Ｅ 挿入部材
３ａ１，３３ａ，３４ａ 貫通孔、３ａ２、３ｃ２，３ｃ３，３３ｂ 横孔
３Ａ１〜３Ｃ１ 溝部
３３ｃ，３Ａ２ 周溝、３３ｃｂ 底面
１１ 基体（塊体）
４１ａ，４１ｃ，４１ｆ カプラ、４２ａ ホース、４３ｃ 穴止め栓
ＡＣ 駆動装置、ＡＳ 案内装置
ＤＴ 移動体
ＤＴ１ 底面、ＤＴ２ 側面
Ｈ 穴、ｈ１ 穴（縦穴）、ｈ２ 穴（横穴），ｈ１ａ，ｈ２ａ 開口部
ＫＳ 流体供給装置、ＯＬ 油
ｐｄ１ 凹部、ｐｄ２ 枠部、ｐｄ３ 貫通孔、ｐｄ４ 天面
Ｒａ，Ｒｃ，Ｒｆ，ＲＲ，ＲＲ２ 流路
ＲＫ，ＲＫ２ 流路形成体
ＴＲａ，ＴＲｆ，ＴＲｃ 通路
Ｖａ１〜Ｖａ４，Ｖｃ１〜Ｖｃ５，Ｖｆ１，Ｖｆ２、ＶＲ１〜ＶＲ４ 内部空間
ｈａ，ｈｃ，ｄｃ，ｗａ，ｗｆ，ｗｃ，ｈ１，ｈ２ 穴
ｗａａ，ｗｆａ，ｗｃａ，ｄｃａ 開口部

Claims (6)

1. ベース部と、油吐出口を有して前記ベース部に設けられたパッド部と、を備え、前記パッド部と移動体との間に前記油吐出口から吐出した油を介在させて前記パッド部により前記移動体を案内支持する案内装置において
   前記パッド部は、前記油吐出口に接続する第１の貫通孔を有し、
   前記ベース部は、
   前記油が供給されるカプラが取り付けられた第１の開口部と、
   前記パッド部の前記第１の貫通孔に接続された第２の開口部と、
   前記第１の開口部と前記第２の開口部とを連通する直穴と、
   前記直穴における前記カプラと前記第２の開口部との間に挿入された挿入部材と、
   を備え、
   前記挿入部材は、第２の貫通孔を有する管状であり、前記第２の貫通孔が前記カプラと前記第２の開口部までの間の流路とされていることを特徴とする案内装置。
2. ベース部と、油吐出口を有して前記ベース部に設けられたパッド部と、を備え、前記パッド部と移動体との間に前記油吐出口から吐出した油を介在させて前記パッド部により前記移動体を案内支持する案内装置において
   前記パッド部は、前記油吐出口に接続する貫通孔を有し、
   前記ベース部は、
   前記油が供給されるカプラが取り付けられた第１の開口部と、
   前記パッド部の前記貫通孔に接続された第２の開口部と、
   前記第１の開口部と前記第２の開口部とを連通する直穴と、
   前記直穴における前記カプラと前記第２の開口部との間に挿入された挿入部材と、
   を備え、
   前記挿入部材は、前記直穴の内径よりも小さい複数の塊であり、前記カプラと前記第２の開口部との間の前記直穴の容積から前記複数の塊の体積を減じた容積が、前記カプラと前記第２の開口部との間の流路の容積とされていることを特徴とする案内装置。
3. ベース部と、油吐出口を有して前記ベース部に設けられたパッド部とを備え、前記パッド部と移動体との間に前記油吐出口から吐出した油を介在させて前記パッド部により前記移動体を案内支持する案内装置において
   ベース部は、
   前記油が供給される第１の開口部と、前記油吐出口に接続された第２の開口部と、前記第１の開口部と前記第２の開口部とを連通する、第１の直穴及び前記第１の直穴に直交して連通する第２の直穴と、
   前記第１の直穴に挿入され第１の貫通孔を有する第１の挿入部材と、
   前記第２の直穴に挿入され、第２の貫通孔と、前記第１の直穴に臨み前記第２の貫通孔の内部空間に連通した横孔と、を有する第２の挿入部材と、
   を備えたことを特徴とする案内装置。
4. ベース部と、油吐出口を有して前記ベース部に設けられたパッド部とを備え、前記パッド部と移動体との間に前記油吐出口から吐出した油を介在させて前記パッド部により前記移動体を案内支持する案内装置において
   ベース部は、
   前記油が供給される第１の開口部と、前記油吐出口に接続された第２の開口部と、前記第１の開口部と前記第２の開口部とを連通する、第１の直穴及び前記第１の直穴に直交して連通する第２の直穴と、
   前記第１の直穴に挿入された、前記第１の直穴の内径よりも小さい複数の第１の塊と、
   前記第２の直穴に挿入された、前記第２の直穴の内径よりも小さい複数の第２の塊と、を備えたことを特徴とする案内装置。
5. 前記挿入部材は、非圧縮性材料で形成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の案内装置。
6. 油供給口を有するベース部と、油吐出口を有して前記ベース部に設けられたパッド部とを備え、前記パッド部と移動体との間に前記油吐出口から吐出した油を介在させて前記パッド部により前記移動体を案内支持する案内装置における前記油吐出口と前記油供給口との間の流路を形成する、案内装置の流路形成方法であって、
   前記流路として第１の直穴と前記第１の直穴に直交して連通する第２の直穴を形成する直穴形成ステップと、
   前記第１の直穴に、第１の貫通孔を有する第１の挿入部材を挿入する第１の挿入部材挿入ステップと、
   前記第２の直穴に、第２の貫通孔と、外部空間と前記第２の貫通孔の内部空間とを連通する横孔と、を有する第２の挿入部材を、前記横孔が前記第１の直穴を臨むように挿入する第２の挿入部材挿入ステップと、
   を含むことを特徴とする案内装置の流路形成方法。

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