JP5863358B2 - 光学素子保持装置 - Google Patents

Description

本発明は、プリント基板や液晶基板等の基板の製造に用いられる露光装置に好適な光学素子保持装置に関する。

フォトレジストなどの感光材料を塗布した対象ワークの表面に、所定のマスクパターンを露光装置により露光し、その後エッチング工程により基板上にマスクパターンを形成するフォトリソグラフィ法が種々の分野で広く応用されており、プリント配線基板や液晶基板等も露光装置を用いて製造されている。このような露光装置では、所定のパターンが形成されたマスクを透過した露光光を、投影レンズ機構で対象ワーク上に結像させることにより、対象ワーク上に所定のマスクパターンを形成するものがある。

ここで、プリント配線基板等では、電子機器の高速化、多機能化、小型化が求められることに伴い、多層化、高密度化、微細化が求められている。このように多層化、高密度化、微細化を実現するためには、極めて高い精度で所定のマスクパターン像を対象ワーク上に結像させることが必要となる。このため、上述した露光装置の投影レンズ機構では、一部のレンズ等の光学素子を、他の光学素子に対して光軸方向に移動可能とする光学素子保持装置を備えるものが考えられている（例えば、特許文献１参照）。この光学素子保持装置では、静止レンズを保持する第２レンズセルを鏡筒本体のアウタリング部に固定するとともに可動レンズを保持する第１レンズセルを鏡筒本体のインナリング部に固定し、そのアウタリング部とインナリング部とを、アクチュエータと、そのアクチュエータの変位を拡大する変位拡大機構と、インナリング部の移動を所定の方向に案内する案内機構と、を介して連結している。この光学素子保持装置では、アクチュエータを適宜作動させることにより、アウタリング部に対してインナリング部、すなわち静止レンズに対して可動レンズを光軸方向に高精度に移動させることができる。

特開２００１−３４３５７５号公報

しかしながら、上記した光学素子保持装置では、複数のスリットと複数の貫通孔とで形成した弾性ヒンジリンク機構で変位拡大機構を構成するとともに、複数のスリットと複数の貫通孔とで形成した平行リンク機構で案内機構を構成することにより、静止レンズに対して可動レンズを光軸方向に移動させることを実現していることから、複雑な構成となってしまう。

本発明は、上記の事情に鑑みて為されたもので、その目的は、簡単な構成で、極めて高い精度で光学素子を移動させることのできる光学素子保持装置を提供することにある。

請求項１に記載の発明は、光軸を鉛直方向に規定する鏡筒に設けられ入射された光を結像させる光学系における可動光学素子の調整を可能とする光学素子保持装置であって、前記可動光学素子を保持する可動光学素子保持部材と、前記鏡筒に対する前記可動光学素子保持部材の保持位置を形成すべく該可動光学素子保持部材を取り囲んで少なくとも３つ設けられ、前記保持位置を光軸方向に変位可能なガイド機構部と、前記鏡筒に対して前記可動光学素子保持部材を光軸方向へと移動させるべく該可動光学素子保持部材を取り囲んで少なくとも３つ設けられる駆動機構部と、を備え、前記各ガイド機構部は、前記鏡筒に対して前記可動光学素子保持部材を吊り下げるべく前記鏡筒と前記可動光学素子保持部材とを光軸方向で掛け渡す軸方向弾性部材と、光軸に直交する径方向での前記鏡筒と前記可動光学素子保持部材との相対的な移動を規制すべく前記鏡筒と前記可動光学素子保持部材とを径方向で掛け渡す径方向弾性部材と、前記鏡筒に設けられて前記軸方向弾性部材の一端が取り付けられる筒側軸方向弾性部材取付部と、前記可動光学素子保持部材に設けられて前記軸方向弾性部材の他端と前記径方向弾性部材の内側端部とが取り付けられる枠側弾性部材取付部と、前記鏡筒に設けられて前記径方向弾性部材の外側端部が取り付けられる筒側径方向弾性部材取付部と、を有し、前記各駆動機構部は、前記鏡筒を基準とし鉛直方向下方へ向けて前記可動光学素子保持部材に押当箇所を押し当てるとともに、該押当箇所を光軸方向に移動可能とする駆動部を有し、前記各駆動機構部では、３つの前記駆動部による前記鏡筒を基準として前記可動光学素子保持部材に付与する押下力が、前記各軸方向弾性部材と前記各径方向弾性部材とによる鉛直方向上方への押上力から、前記可動光学素子を保持した前記可動光学素子保持部材の重量を減算したものよりも大きく設定され、前記ガイド機構部と前記駆動機構部とは、光軸を中心とする回転方向で見て、交互に等間隔で設けられ、前記各ガイド機構部では、前記各軸方向弾性部材が前記回転方向に２つ並列され、前記各径方向弾性部材が前記回転方向で見て一対の前記軸方向弾性部材の間に設けられていることを特徴とする。

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の光学素子保持装置であって、さらに、前記各駆動機構部における前記押当箇所の光軸方向での位置を個別に駆動制御する駆動機構制御部を備えることを特徴とする。

請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の光学素子保持装置であって、前記各駆動機構部は、前記鏡筒に対する前記可動光学素子保持部材の光軸方向での位置を検出する検出部を有し、前記駆動機構制御部は、それぞれが対応する前記検出部からの検出信号に基づいて、前記各駆動機構部における前記押当箇所の移動量を個別に補正することを特徴とする。

請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の光学素子保持装置であって、前記可動光学素子保持部材は、前記各駆動機構部の前記押当箇所が押し当てられる少なくとも３つの被押当箇所を有し、前記各検出部は、光軸方向で見て、前記鏡筒を基準とする前記被押当箇所の位置を検出することを特徴とする。

請求項５に記載の発明は、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の光学素子保持装置であって、前記各径方向弾性部材は、光軸方向に直交する面に沿う板状を呈する板バネで構成されていることを特徴とする。

請求項６に記載の発明は、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の光学素子保持装置であって、前記各径方向弾性部材は、光軸方向に直交する面に沿う板状を呈する板バネが、光軸方向に２つ並列されて構成されていることを特徴とする。

請求項７に記載の発明は、請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の光学素子保持装置であって、前記各軸方向弾性部材は、光軸方向に伸びる引張バネで構成されていることを特徴とする。

請求項８に記載の発明は、パターンが形成されたマスクに露光光を照射し、該マスクを透過した露光光を請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の光学素子保持装置を備える投影レンズ機構で対象ワークに結像させて、該対象ワーク上に所定のマスクパターンを露光することを特徴とする露光装置である。

本発明の光学素子保持装置によれば、簡単な構成で、極めて高い精度で光学素子（可動光学素子）を光軸方向に移動させることができる。

上記した構成に加えて、前記ガイド機構部と前記駆動機構部とは、光軸を中心とする回転方向で見て、交互に等間隔で設けられていることとすると、より高精度に可動光学素子保持部材を光軸方向に移動させることができる。

上記した構成に加えて、さらに、前記各駆動機構部における前記押当箇所の光軸方向での位置を個別に駆動制御する駆動機構制御部を備えることとすると、それぞれが個別に光軸方向での押当位置の調整が可能であることから、鏡筒内において可動光学素子の光軸に対する傾斜を調整して調芯することができるとともに、その調芯した状態を維持したまま可動光学素子の光軸方向への移動による倍率補正を行うことができる。

上記した構成に加えて、前記各駆動機構部は、前記鏡筒に対する前記可動光学素子保持部材の光軸方向での位置を検出する検出部を有し、前記駆動機構制御部は、それぞれが対応する前記検出部からの検出信号に基づいて、前記各駆動機構部における前記押当箇所の移動量を個別に補正することとすると、より精度よく可動光学素子保持部材（可動光学素子）を光軸方向に移動させることができる。

上記した構成に加えて、前記可動光学素子保持部材は、前記各駆動機構部の前記押当箇所が押し当てられる少なくとも３つの被押当箇所を有し、前記各検出部は、光軸方向で見て、前記鏡筒を基準とする前記被押当箇所の位置を検出することとすると、実際の可動光学素子保持部材の光軸方向での位置を直接補正することができるので、より精度よく可動光学素子保持部材（可動光学素子）を光軸方向に移動させることができる。

上記した構成に加えて、前記各径方向弾性部材は、光軸方向に直交する面に沿う板状を呈する板バネで構成されていることとすると、簡易な構成で、鏡筒の内方において可動光学素子保持部材を鏡筒の内方における中心位置で保持することができるとともに、その状態を維持しつつ可動光学素子保持部材（可動光学素子）の光軸方向への移動を許容することができる。

上記した構成に加えて、前記各径方向弾性部材は、光軸方向に直交する面に沿う板状を呈する板バネが、光軸方向に２つ並列されて構成されていることとすると、簡易な構成で、鏡筒の内方における中心位置での保持をより確実なものとすることができるとともに、その状態をより確実に維持しつつ可動光学素子保持部材（可動光学素子）の光軸方向への移動を許容することができる。

上記した構成に加えて、前記各軸方向弾性部材は、光軸方向に伸びる引張バネが、光軸を中心とする回転方向に２つ並列されて構成され、前記各径方向弾性部材は、前記回転方向で見て一対の前記引張バネの間に設けられていることとすると、各ガイド機構部における可動光学素子保持部材を保持する構成を当該回転方向の中心に関して対称とすることができるので、よりバランスよく（偏りなく）可動光学素子保持部材を保持することができる。

上記した構成の光学素子保持装置を備える投影レンズ機構を用いる露光装置では、極めて高い精度で可動光学素子の移動による投影レンズ機構の倍率補正を行うことができるので、極めて高い精度で所定のマスクパターン像を対象ワーク上に形成することができる。このため、多層化、高密度化、微細化を実現することができる。

本願発明に係る露光装置の一例としての露光装置１０の構成を模式的に示す説明図である。 投影レンズ機構２０の構成を模式的に示す斜視図である。 投影レンズ機構２０の鏡筒３１の下端部３１ｂと、そこに設けられた光学素子保持装置３０と、の構成を模式的に示す説明図である。 投影レンズ機構２０の鏡筒３１の下端部３１ｂと、そこに設けられた光学素子保持装置３０と、の構成を模式的な断面で示す説明図であり、図５に示すＩ−Ｉ線で得られた断面に相当する。 投影レンズ機構２０の鏡筒３１の下端部３１ｂと、そこに設けれた光学素子保持装置３０と、を投影光軸ＰＡ方向から見た様子を示す説明図である。 光学素子保持装置３０のガイド機構部４０の構成を模式的に示す斜視図である。 ガイド機構部４０を図６に示すII−II線で得られる断面で示す斜視図である。 光学素子保持装置３０の駆動機構部５０の構成を模式的に示す斜視図である。 駆動機構部５０を図８に示すIII−III線で得られる断面で示す斜視図である。

以下に、本願発明に係る光学素子保持装置、およびそれを備える投影レンズ機構を用いる露光装置の発明の実施の形態について図面を参照しつつ説明する。

先ず、本願発明に係る光学素子保持装置３０を備える投影レンズ機構２０を用いる露光装置１０の概略的な構成について説明する。図１は、本願発明に係る露光装置の一例としての露光装置１０の構成を模式的に示す説明図である。図２は、投影レンズ機構２０の構成を模式的に示す斜視図である。

露光装置１０は、図１に示すように、光軸方向に沿って出射側から順に、光源１１と、コールドミラー１２と、露光シャッタ１３と、紫外線バンドパスフィルタ１４と、インテグレータレンズ１５と、コリメータレンズ１６と、平面鏡１７と、マスクステージ１８と、マスクブラインド１９と、投影レンズ機構２０と、歪補正部２１と、投影露光ステージ２２と、を有する。この露光装置１０は、露光光として紫外線を用いている。

光源１１は、露光に用いる露光光としての紫外線の照射のために設けられており、本実施例では、水銀ランプ１１ａが楕円反射鏡（楕円鏡）１１ｂの第１焦点位置に配置されて構成されている。この光源１１（その水銀ランプ１１ａ）は、後述する制御部２４による制御下で点灯および消灯される。光源１１では、水銀ランプ１１ａから出射された出射光を、楕円反射鏡１１ｂに反射してコールドミラー１２へと進行させる。

コールドミラー１２は、入射した光のうち、赤外領域の熱線を透過させるとともに他の波長帯域の光を反射するものであり、入射した光から赤外領域の熱線を分離することができる。このため、光源１１からの出射光は、コールドミラー１２により赤外領域の熱線が分離されて、露光シャッタ１３もしくは紫外線バンドパスフィルタ１４へと進行する。

その露光シャッタ１３は、コールドミラー１２により反射された出射光の透過および遮断の切り替えを可能とすべく、コールドミラー１２から紫外線バンドパスフィルタ１４へと向かう光路上に出し入れ自在とされている。この露光シャッタ１３は、光路上から退避されると後述するように対象ワーク２３の露光を可能とし、光路上に位置されると後述する対象ワーク２３の露光を停止させる。この露光シャッタ１３は、後述する照明系移動機構２５（制御部２４）による制御下で後述する照明光路に対して出し入れされる。

紫外線バンドパスフィルタ１４は、入射した光のうち紫外線のみの透過を許すものであり、本実施例では、波長３６５ｎｍの水銀のスペクトル線であるｉ線の透過を許すｉ線バンドパスフィルタにより構成されている。このため、コールドミラー１２により反射された出射光は、紫外線バンドパスフィルタ１４により紫外線（ｉ線）の波長帯域のみの光（実際には、ｉ線の波長帯域の近傍の強度が高い光）とされて、インテグレータレンズ１５へと進行する。なお、ｉ線以外にも、ｈ線、ｉ線とｈ線の組み合わせ、またはその間の波長を利用することができる。

インテグレータレンズ１５は、入射した光の照度ムラを打ち消して、照射面において周辺部まで均一で明るい照度分布とする。このため、紫外線バンドパスフィルタ１４を経て紫外線（ｉ線）の波長帯域のみの光とされた入射光は、インテグレータレンズ１５により均一な照度分布とされてコリメータレンズ１６へと進行する。なお、このインテグレータレンズ１５と紫外線バンドパスフィルタ１４とは、配置を逆転させても同様の作用を得ることができる。

コリメータレンズ１６は、入射した光を平行光（光束）として出射する。このため、インテグレータレンズ１５を経て均一な照度分布とされた出射光は、コリメータレンズ１６により平行光とされて平面鏡１７へと進行し、その平面鏡１７により反射されてマスクステージ１８へと進行する。

マスクステージ１８は、パターンが形成されたマスク１８ａを、平面鏡１７により反射された出射光の光路上に位置させつつ当該光路の光軸に直交する方向に移動可能に保持する。また、マスクステージ１８は、図示は略すが、マスク１８ａの取り外しが可能とされており、マスク１８ａとは異なるパターンが形成されたマスクへの交換が可能とされている。マスク１８ａを含む交換対象とされる各マスクでは、図示は略すが複数のマスク側アライメントマークが設けられている。このため、平面鏡１７により反射された出射光は、マスク１８ａを透過することにより、マスク１８ａに形成されたパターンの形状に応じたもの（パターンの像）とされて投影レンズ機構２０へと進行する。

このことから、露光装置１０では、光源１１から、コールドミラー１２、露光シャッタ１３、紫外線バンドパスフィルタ１４、インテグレータレンズ１５、コリメータレンズ１６および平面鏡１７を経る光路が、マスク１８ａを露光光としての紫外線（ｉ線）で照射するための照射光学系１（照明系）として機能する。この照射光学系１は、照明系移動機構２５により、マスクステージ１８（そこに設けられたマスク）に対して、その平面に沿う方向（後述するＸ−Ｙ平面に沿う方向）への移動が可能とされている。すなわち、照明系移動機構２５は、マスクステージ１８（そこに設けられたマスク）に対して、照射光学系１を後述するＸ軸方向およびＹ軸方向へと適宜移動させることができる。この照明系移動機構２５は、後述する制御部２４による制御下で駆動される。

このマスクステージ１８と投影レンズ機構２０との間に、マスクブラインド１９が設けられている。マスクブラインド１９は、マスク１８ａを経た出射光の光路上に進退自在に設けられており、マスク１８ａのマスクパターンのうち所望の領域のみのパターンの像（以下、マスクパターン像ともいう）を、投影露光ステージ２２に載置された後述する対象ワーク２３上に適切に形成すべく、マスク１８ａのマスクパターンに応じて適宜光路上に進出される。このマスクブラインド１９では、マスクブラインド駆動機構２６により、マスクステージ１８に設けられたマスク（１８ａ等）に対して、その平面に沿う方向（後述するＸ−Ｙ平面に沿う方向）への移動が行われる。このマスクブラインド駆動機構２６は、後述する制御部２４による制御下で駆動される。このことから、露光装置１０では、マスクブラインド１９およびマスクステージ１８が、マスク（１８ａ等）に対して、照射光学系１からの露光光により照明される領域を設定するマスクステージ機構２として機能する。

投影レンズ機構２０は、投影露光ステージ２２上の後述する対象ワーク２３に、マスク１８ａに形成されたパターンを適切に露光するためのものであり、マスクステージ１８に保持されたマスク１８ａのマスクパターン像を、適宜変倍して投影露光ステージ２２に載置された後述する対象ワーク２３の表面に形成する。すなわち、投影レンズ機構２０は、投影露光ステージ２２に載置された状態の対象ワーク２３の表面を結像面として、当該結像面とマスク１８ａとを光学的に共役な位置関係としている。露光装置１０では、上述したように、露光光として紫外線（ｉ線）を用いることから、投影レンズ機構２０は、露光光である紫外線（ｉ線）に対して高精度に収差補正されて設定されている。

このため、投影レンズ機構２０は、マスク１８ａを透過した出射光が入射されると、そのマスク１８ａのマスクパターン像を投影露光ステージ２２上の結像面（後述する対象ワーク２３上）に適切に形成する。また、投影レンズ機構２０では、この投影露光ステージ２２上におけるマスクパターン像の大きさ寸法の調節のために、倍率補正することが可能とされている。この投影レンズ機構２０における倍率補正（変倍）のための機構（光学素子保持装置３０）に関しては、後に詳細に説明する。また、投影レンズ機構２０における倍率補正（変倍）の調整は、その投影レンズ機構２０に並列されて設けられた投影レンズ駆動制御部２７の制御下で行われる。この投影レンズ駆動制御部２７は、後述する制御部２４からの制御信号に基づき後述する光学素子保持装置３０を適宜制御する。

その投影レンズ機構２０と投影露光ステージ２２との間に、歪補正部２１が設けられている。歪補正部２１は、投影露光ステージ２２上に載置される後述する対象ワーク２３における歪みに応じて、投影露光ステージ２２上の結像面に形成するマスクパターン像を変形させる。この歪補正部２１は、光路に直交する面で見て、任意の方向での倍率を適宜変化させることにより、結像面でのマスクパターン像を任意の方向に伸縮させて、当該マスクパターン像を変形させる。歪補正部２１は、例えば、光路方向に複数枚のガラス板を並列し、各ガラス板を適宜湾曲させたり回転させたりする構成とすることで、実現することができる。歪補正部２１では、歪補正駆動機構２８により任意の方向での倍率を適宜変化させるべく作動される。この歪補正駆動機構２８は、後述する制御部２４による制御下で駆動される。

このように、露光装置１０では、マスクブラインド１９、投影レンズ機構２０および歪補正部２１が、所定のパターンが形成されたマスク１８ａを透過した露光光としての紫外線を、投影露光ステージ２２上の結像面（後述する対象ワーク２３上）にマスクパターン像として結像させる投影光学系として機能する。このため、マスクブラインド１９、投影レンズ機構２０および歪補正部２１における光軸が投影光軸ＰＡとなる。

投影露光ステージ２２は、マスクパターンの露光のために対象ワーク２３が載置される。この投影露光ステージ２２は、載置される対象ワーク２３の表面を投影レンズ機構２０の結像面に一致させて対象ワーク２３を保持することができるとともに、保持した対象ワーク２３を投影光路に直交する面に沿って移動させることが可能とされている。この投影露光ステージ２２による対象ワーク２３の保持は、吸着によるものであってもよく、保持爪によるものであってもよい。投影露光ステージ２２における対象ワーク２３の保持および移動は、本実施例では、後述する制御部２４により投影露光ステージ２２の内方に設けられたステージ駆動機構２９が制御されることで行われる。なお、投影露光ステージ２２における対象ワーク２３の保持および移動は、手動により行うものであってもよい。本実施例では、対象ワーク２３は、プリアライメントされた状態で投影露光ステージ２２上に載置される。

その対象ワーク２３は、シリコンウエハやガラス基板やプリント基板等に、紫外線（ｉ線）に対して光反応するフォトレジスト等の感光材料が塗布または張り付けられて形成されている。このため、対象ワーク２３は、紫外線（ｉ線）の照射により露光可能とされている。対象ワーク２３には、図示は略すが、上述した複数のマスク側アライメントマークと一対一で対応されて、複数のワーク側アライメントマークが設けられている。

この露光装置１０では、照射光学系１において、光源１１から出射された出射光が、コールドミラー１２、紫外線バンドパスフィルタ１４、インテグレータレンズ１５、コリメータレンズ１６および平面鏡１７を経て、マスクステージ１８へと到達することにより、マスクステージ１８に保持されたマスク１８ａを紫外線（ｉ線）で一様に照射する。すると、露光装置１０では、投影光学系すなわちマスクブラインド１９、投影レンズ機構２０および歪補正部２１の機能により、投影露光ステージ２２上の結像面に、紫外線（ｉ線）によるマスクパターン像が適切に形成される。このことから、露光装置１０では、対象ワーク２３を結像面に沿う適切な位置とすることにより、対象ワーク２３の適切な位置にマスクパターン像を露光することができる。このため、露光装置１０では、投影露光ステージ２２が、マスク（１８ａ等）に対して、対象ワーク２３の位置を調整する位置調整機構３として機能する。

このマスクパターン像に対する対象ワーク２３の位置、すなわち光学的に投影光学系（主に、投影レンズ機構２０）を経たマスク１８ａに対する対象ワーク２３の位置は、制御部２４の制御下で投影露光ステージ２２が保持する対象ワーク２３を結像面上で適宜移動させることにより、調整する（アライメントする）ことができる。また、露光装置１０では、投影レンズ機構２０で適切な倍率に調整する（倍率調整）とともに歪補正部２１で適切に歪補正することにより、投影露光ステージ２２上の対象ワーク２３に対するマスクパターン像の大きさを適切なものとすることができ、対象ワーク２３にマスクパターン像を適切に露光することができる。

制御部２４は、露光装置１０の動作を統括的に制御する。制御部２４は、上述したように、投影レンズ駆動制御部２７における動作を制御することができるとともに、照明系移動機構２５、マスクブラインド駆動機構２６、歪補正駆動機構２８およびステージ駆動機構２９の駆動を制御することができる。このため、制御部２４は、照射光学系１によるマスクステージ１８（そこに設けられたマスク）に対する紫外線（ｉ線）の照明を調整することができ、マスクステージ１８に保持されたマスク（１８ａ等）に対するＸ−Ｙ平面に沿う方向での照射光学系１の位置を調整することができ、そのマスク（１８ａ等）を透過した透過光によるマスクパターン像に対する対象ワーク２３の位置（マスク１８ａに対する対象ワーク２３の光学的な位置）を調整することができ、対象ワーク２３上におけるマスクパターン像を適宜歪み補正することができ、対象ワーク２３上におけるマスクパターン像の大きさ寸法を調整する（倍率補正）ことができる。

次に、本発明に係る露光装置１０に用いた投影レンズ機構２０に搭載された光学素子保持装置３０について、図２から図９を用いて説明する。その投影レンズ機構２０は、図２に示すように、全体に筒状を呈する鏡筒３１の内方に、図示は略すがレンズや絞り等の複数の光学素子が収容されて構成されている。この鏡筒３１は、軸線により投影レンズ機構２０の光軸を規定しており、図示は略すが内方における光軸上に複数の光学素子を保持している。鏡筒３１は、その光軸を投影光学系の投影光軸ＰＡに一致させて設けられる。このため、以下では、投影レンズ機構２０（鏡筒３１）における光軸を、投影光軸ＰＡともいう。この鏡筒３１は、本実施例では、投影光軸ＰＡ（光軸）方向で見た中間位置にフランジ部３１ａが設けられている。このフランジ部３１ａは、露光装置１０に設けられた保持板（図示せず）への取り付け箇所を構成するものである。鏡筒３１は、フランジ部３１ａを当該保持板に取り付けることにより、投影光軸ＰＡを鉛直方向に沿うものとして露光装置１０に設けられる。また、鏡筒３１は、本実施例では、収容する複数の光学素子の設定により投影光軸ＰＡ方向すなわち鉛直方向で見た下端部３１ｂの径寸法が拡大されている。

その複数の光学素子は、上述したように、マスク１８ａのマスクパターン像を投影露光ステージ２２上の対象ワーク２３に適切に形成すべく構成されており、露光光である紫外線（ｉ線）に対して高精度に収差補正されて設定されている。この投影レンズ機構２０では、複数の光学素子のうちの一部を構成するレンズを投影光軸ＰＡ方向に移動させることにより、対象ワーク２３（投影露光ステージ２２）上におけるマスクパターン像の大きさ寸法を調節する、すなわち倍率補正することが可能とされている。本実施例では、複数の光学素子のうち、鉛直方向で見て最も下方に位置する可動レンズ３２（図４等参照）を投影光軸ＰＡ方向に移動させることにより、マスクパターン像の倍率補正を可能とすべく光学的な設定が為されている。このため、複数の光学素子では、可動レンズ３２の投影光軸ＰＡ方向へと移動しても、波面収差への影響が極めて小さくなる光学的な設定とされている。投影レンズ機構２０では、鏡筒３１に対して可動レンズ３２を投影光軸ＰＡ方向に移動させるため、主に倍率補正のために光学素子保持装置３０が設けられている。

この光学素子保持装置３０は、可動レンズ３２を投影光軸ＰＡ方向に関して調整可能に保持するものであり、投影レンズ機構２０の鏡筒３１における下端部３１ｂに設けられている。その下端部３１ｂでは、図４に示すように、可動レンズ３２の上方に隣接されて静止レンズ３３が設けられている。この静止レンズ３３は、投影レンズ機構２０における複数の光学素子のうち、可動レンズ３２を除いて鉛直方向で見て最も下方に位置する。静止レンズ３３は、環状を呈する静止レンズ保持枠３４に固定され、その静止レンズ保持枠３４が鏡筒３１（その下端部３１ｂ）の内方で内鍔部３１ｃ上に載せられて固定されることにより、投影光軸ＰＡ上に設けられている。その静止レンズ３３の静止レンズ保持枠３４への固定は、本実施例では、図示は略すが接着によるものとされている。また、内鍔部３１ｃは、鏡筒３１の下端部３１ｂの内周面から、軸線（投影光軸ＰＡ）に直交する方向（以下、径方向ともいう）に沿って内側へ向けて突出されて形成されている。

光学素子保持装置３０は、可動レンズ３２を保持する可動レンズ保持枠３５を３つのガイド機構部４０で鏡筒３１（その下端部３１ｂ）に取り付けるとともに、その可動レンズ保持枠３５に対して３つの駆動機構部５０で投影光軸ＰＡ方向へと押す力を付与する構成とされている（図３から図５等参照）。可動レンズ保持枠３５は、投影光軸ＰＡに直交する面で見て可動レンズ３２を取り囲むことが可能な環状を呈し、鏡筒３１の下端部３１ｂにおける内鍔部３１ｃの下方の空間に挿入することが可能な大きさ寸法とされている（図４参照）。その可動レンズ保持枠３５では、内方に可動レンズ３２が固定されている（図４等参照）。この可動レンズ３２の可動レンズ保持枠３５への固定は、本実施例では、図示は略すが接着によるものとされている。

光学素子保持装置３０では、図５に示すように、３つのガイド機構部４０と３つの駆動機構部５０とが、投影光軸ＰＡを中心とする回転方向で見て、互いに等しい間隔で設けられている。また、光学素子保持装置３０では、本実施例では、投影光軸ＰＡを中心とする回転方向で見て、ガイド機構部４０と駆動機構部５０とが交互に等間隔で配置されている。ここで、３つのガイド機構部４０はいずれも等しい構成であるとともに、３つの駆動機構部５０はいずれも等しい構成であることから、以下では、１つのガイド機構部４０および１つの駆動機構部５０の構成について説明し、それぞれ残りの２つに関しては省略する。

そのガイド機構部４０は、図２から図４に示すように、鏡筒３１の下端部３１ｂの外周面に設けられたガイド用凹所３１ｄに設けられている。このガイド用凹所３１ｄは、下端部３１ｂの外周面を部分的に径方向の内側へ向けて凹ませて形成されており、下側（鉛直方向下側）に凹所開口３１ｅと凹所フランジ箇所３１ｆとが設けられている。その凹所開口３１ｅは、ガイド用凹所３１ｄの内方を部分的に径方向に貫通して設けられている。凹所フランジ箇所３１ｆは、凹所開口３１ｅの下端縁部と連続しつつ投影光軸ＰＡに直交する平面を規定すべく設けられている。ガイド機構部４０は、図６および図７に示すように、一対の引張バネ４１と、筒側引張バネ取付部４２（筒側軸方向弾性部材取付部）と、枠側バネ取付部４３（枠側弾性部材取付部）と、一対の板バネ４４と、一対の枠側板バネ固定板４５と、筒側板バネ取付部４６（筒側径方向弾性部材取付部）と、一対の筒側板バネ固定板４７と、を有する。

一対の引張バネ４１は、無負荷状態において最も縮まり、一端４１ａと他端４１ｂとの間隔を広げる動作に抗する弾性力を発揮するものである。この一対の引張バネ４１は、本実施例では、引張コイルバネにより構成されている。両引張バネ４１は、明確な図示は略すが一端４１ａと他端４１ｂとが鉤状とされており、円柱形状箇所へと引っ掛けることが可能とされている。両引張バネ４１は、可動レンズ３２が固定された可動レンズ保持枠３５を、鏡筒３１（その下端部３１ｂ）に対して鉛直方向に弾性的に吊り下げて取り付けるために設けられている。このため、各引張バネ４１は、投影光軸ＰＡ方向に沿って設けられ、軸方向弾性部材として機能する。各引張バネ４１の一端４１ａを鏡筒３１の下端部３１ｂ（そのガイド用凹所３１ｄ）に取り付けるために、筒側引張バネ取付部４２が設けられている。

その筒側引張バネ取付部４２は、全体に直方体形状を呈し、一対の取付開口４２ａと一対の吊下箇所４２ｂとを有する。この筒側引張バネ取付部４２は、両取付開口４２ａに挿入されたネジ部材４２ｃが、鏡筒３１の下端部３１ｂのガイド用凹所３１ｄに設けられたネジ穴（図示せず）に噛み合いにより固定されることにより、そのガイド用凹所３１ｄに取り付けられる。この筒側引張バネ取付部４２では、２つの吊下箇所４２ｂのそれぞれで引張バネ４１の一端４１ａを保持することが可能とされている。両吊下箇所４２ｂは、本実施例では、引張バネ４１の一端４１ａの受け入れを可能に筒側引張バネ取付部４２の下端に設けられたスリット４２ｄ（図６に一方のみを図示している）と、そのスリット４２ｄへ向けて筒側引張バネ取付部４２に取り付けられた円柱状の軸部材４２ｅと、により構成されている。両吊下箇所４２ｂでは、図示は略すが、スリット４２ｄの内方において、挿入された鉤状の一端４１ａに軸部材４２ｅが引っ掛けられている。このため、筒側引張バネ取付部４２では、一対の引張バネ４１を吊り下げるように鏡筒３１の下端部３１ｂのガイド用凹所３１ｄに取り付けることができる。その各引張バネ４１の他端４１ｂを可動レンズ保持枠３５に取り付けるために、枠側バネ取付部４３が設けられている。

その枠側バネ取付部４３は、全体に直方体形状を呈する部材が可動レンズ保持枠３５の外周面に倣って湾曲されて形成されている。枠側バネ取付部４３は、径方向に沿って設けられた一対のネジ部材４３ａ（図７に一方のみを図示している）により、可動レンズ保持枠３５の外周面に径方向の外側から固定されている。この枠側バネ取付部４３には、円柱状を呈する一対の軸部材４３ｂが取り付けられている。枠側バネ取付部４３は、鏡筒３１（その下端部３１ｂ）内おける可動レンズ保持枠３５の投影光軸ＰＡ回りの回転姿勢を調整することにより、凹所開口３１ｅ内に存在することが可能な位置に設けられており、その状態において各軸部材４３ｂが筒側引張バネ取付部４２の対応する吊下箇所４２ｂ（その軸部材４２ｅ）の鉛直方向の下方の位置に存在することが可能とされている。各軸部材４３ｂには、それぞれが対応する引張バネ４１の他端４１ｂが引っ掛けられる。その枠側バネ取付部４３には、一対の板バネ４４が取り付けられる。

その両板バネ４４は、無負荷状態で平らとなる板状を呈し、湾曲させる動作に抗する弾性力を発揮するものである。この両板バネ４４は、鏡筒３１（その下端部３１ｂ）に鉛直方向に吊り下げて取り付けられる可動レンズ保持枠３５と、その取付箇所とされた鏡筒３１（その下端部３１ｂ）とを、径方向に沿って掛け渡して設けられる。板バネ４４は、可動レンズ保持枠３５と鏡筒３１（その下端部３１ｂ）との径方向での移動を規制しつつ投影光軸ＰＡ方向（軸線方向）への相対的な移動を許容する。このため、各板バネ４４は、径方向弾性部材として機能する。この２つの板バネ４４は、本実施例では、投影光軸ＰＡ方向で並列しつつ対を為して設けられる。この一対の板バネ４４は、径方向で見た内側端部が枠側バネ取付部４３に固定される。

その枠側バネ取付部４３では、投影光軸ＰＡ方向で見た両端（上端面および下端面）のそれぞれに枠側板バネ固定板４５が設けられる。この一対の枠側板バネ固定板４５は、枠側バネ取付部４３の上端面または下端面に適合する大きさ寸法の板状を呈する。両枠側板バネ固定板４５は、枠側バネ取付部４３（その上端面または下端面）との間に対応する板バネ４４の内側端部を介在させた状態で、当該枠側バネ取付部４３（その上端面または下端面）に取り付けられる。この両枠側板バネ固定板４５は、それぞれ一対のネジ部材４５ａ（図６では上端面側で対を為す２つのみを図示している）が、貫通された状態で枠側バネ取付部４３の上端面または下端面に設けられたネジ穴（図示せず）に噛み合いにより固定されることにより、板バネ４４の内側端部とともに枠側バネ取付部４３に取り付けられる。その一対の板バネ４４の径方向で見た外側端部を鏡筒３１（その下端部３１ｂ）に固定するために、筒側板バネ取付部４６が設けられている。

その筒側板バネ取付部４６は、取付本体部４６ａに一対の脚部４６ｂが設けられて構成されている。その取付本体部４６ａは、直方体形状を呈する。その取付本体部４６ａには、径方向に貫通する一対の固定作業穴４６ｃと、図示は略すが投影光軸ＰＡ方向で見た両端（上端面および下端面）から投影光軸ＰＡ方向に沿って設けられた４つのネジ穴と、が設けられている。一対の固定作業穴４６ｃは、鏡筒３１（その下端部３１ｂ）の外方から、一対のネジ部材４３ａ（図７に一方のみを図示している）による枠側バネ取付部４３の可動レンズ保持枠３５への取り付けを可能とする。

一対の脚部４６ｂは、筒側板バネ取付部４６を凹所フランジ箇所３１ｆに取り付けるために設けられている。この一対の脚部４６ｂは、投影光軸ＰＡおよび径方向に直交する方向（回転方向）で見た取付本体部４６ａの両端から当該方向へ突出されて設けられており、その取付本体部４６ａよりも投影光軸ＰＡ方向で凹所フランジ箇所３１ｆ側（鉛直方向下側）へと突出されている。各脚部４６ｂには、図示は略すが投影光軸ＰＡ方向に沿って設けられた貫通穴が設けられている。

筒側板バネ取付部４６は、一対の脚部４６ｂが凹所フランジ箇所３１ｆ上に配置された状態において、２つのネジ部材４６ｄが各脚部４６ｂの貫通穴を通して、凹所フランジ箇所３１ｆに設けられたネジ穴（図示せず）に噛み合いにより固定されることにより、凹所フランジ箇所３１ｆに取り付けられる。その筒側板バネ取付部４６では、取付本体部４６ａの投影光軸ＰＡ方向で見た両端（上端面および下端面）のそれぞれに筒側板バネ固定板４７が設けられる。

この一対の筒側板バネ固定板４７は、取付本体部４６ａの上端面または下端面に適合する大きさ寸法の板状を呈する。両筒側板バネ固定板４７は、取付本体部４６ａ（その上端面または下端面）との間に対応する板バネ４４の外側端部を介在させた状態で、当該取付本体部４６ａ（その上端面または下端面）に取り付けられる。この両筒側板バネ固定板４７は、それぞれ一対のネジ部材４７ａが貫通された状態で取付本体部４６ａの上端面または下端面に設けられたネジ穴（図示せず）に噛み合いにより固定されることにより、板バネ４４の外側端部とともに取付本体部４６ａすなわち筒側板バネ取付部４６に取り付けられる。

これにより、一対の板バネ４４は、鏡筒３１（その下端部３１ｂ）の外側に存在する凹所フランジ箇所３１ｆから、凹所開口３１ｅを経て、鏡筒３１（その下端部３１ｂ）の内側に配置された可動レンズ保持枠３５（枠側バネ取付部４３）へと、径方向に沿って掛け渡される。ここで、本実施例では、投影レンズ機構２０（鏡筒３１）における光軸および投影光軸ＰＡが、鉛直方向に沿うものとされていることから、径方向に沿う一対の板バネ４４は、水平面に沿って存在されており、水平方向で鏡筒３１（その下端部３１ｂ）と可動レンズ保持枠３５とを掛け渡している。

このように、ガイド機構部４０は、鏡筒３１の下端部３１ｂに対して、可動レンズ３２が固定された可動レンズ保持枠３５を、一対の引張バネ４１により投影光軸ＰＡ方向で吊り下げて支持しているとともに、一対の板バネ４４を径方向に突っ張らせて支持している。そのガイド機構部４０は、上述したように、鏡筒３１の下端部３１ｂにおいて、可動レンズ保持枠３５を取り囲むように、投影光軸ＰＡを中心とする回転方向で見て等しい間隔で３箇所に設けられている（図５参照）。そして、ガイド機構部４０は、当該回転方向で見た位置が異なることを除くと、互いに等しい構成とされている。

このことから、光学素子保持装置３０では、３つのガイド機構部４０における一対の引張バネ４１の吊り下げ支持により、鏡筒３１の下端部３１ｂの内方において可動レンズ保持枠３５を投影光軸ＰＡに直交する面に沿う状態で保持することができる。また、光学素子保持装置３０では、３つのガイド機構部４０における一対の板バネ４４の突っ張り支持により、その下端部３１ｂの内方において可動レンズ保持枠３５を投影光軸ＰＡに直交する水平面に沿う状態であることを維持しつつ、その可動レンズ保持枠３５を水平面に沿う方向で見て下端部３１ｂの内方における中心位置すなわち投影光軸ＰＡ上で保持することができる。さらに、光学素子保持装置３０では、各ガイド機構部４０において、一対の板バネ４４が水平面に沿って設けられているとともに一対の引張バネ４１が鉛直方向（投影光軸ＰＡ方向）に沿って設けられていることから、各板バネ４４と各引張バネ４１とが鉛直方向（投影光軸ＰＡ方向）への変位を許容することができるので、その下端部３１ｂに対して可動レンズ保持枠３５が投影光軸ＰＡ方向（各引張バネ４１により最も上側へと吊り上げられた状態から鉛直方向下側）へ移動することを可能とすることができる。ついで、光学素子保持装置３０では、３つのガイド機構部４０の一対の板バネ４４により、その下端部３１ｂ内で可動レンズ保持枠３５を径方向で突っ張り支持していることから、投影光軸ＰＡ方向への変位（移動）に拘らず可動レンズ保持枠３５が下端部３１ｂの中心位置（投影光軸ＰＡ上）に存在することを維持することができる。

よって、光学素子保持装置３０では、３つのガイド機構部４０により、投影光軸ＰＡ方向（鉛直方向）への移動を許容しつつ鏡筒３１の下端部３１ｂの中心位置（投影光軸ＰＡ上）で可動レンズ保持枠３５を保持することができる。換言すると、光学素子保持装置３０では、３つのガイド機構部４０により、鉛直方向上側（投影光軸ＰＡ方向で静止レンズ３３側）へと押し上げつつ可動レンズ保持枠３５を保持しているとともに、その可動レンズ保持枠３５の投影光軸ＰＡ方向で凹所フランジ箇所３１ｆ側（鉛直方向下側）への移動を許容している。このため、各ガイド機構部４０では、鏡筒３１（その下端部３１ｂ）に対する可動レンズ保持枠３５の保持位置を形成するとともに、その保持位置を光軸方向（投影光軸ＰＡ方向）に変位可能としている。この光学素子保持装置３０では、その可動レンズ保持枠３５を投影光軸ＰＡ方向に変位（移動）させるべく駆動機構部５０が設けられている（図２から図４参照）。

その駆動機構部５０は、図２から図４に示すように、鏡筒３１の下端部３１ｂの外周面に設けられた駆動用凹所３１ｇに設けられている。この駆動用凹所３１ｇは、下端部３１ｂの外周面を部分的に径方向の内側へ向けて凹ませて形成されており、下側（鉛直方向下側）に凹所開口３１ｈと凹所フランジ箇所３１ｉとが設けられている。その凹所開口３１ｈは、駆動用凹所３１ｇの内方を部分的に径方向に貫通して設けられており、凹所フランジ箇所３１ｉは、凹所開口３１ｈの下端縁部と連続しつつ投影光軸ＰＡに直交する平面を規定すべく設けられている。駆動機構部５０は、図８および図９に示すように、駆動部５１と、駆動取付部５２と、被押当部５３と、検出部５４と、検出取付部５５と、を有する。

その駆動部５１は、駆動本体部５１ａと、それを貫通して設けられた長尺な駆動軸５１ｂとを有する。駆動部５１は、投影レンズ駆動制御部２７の制御下で駆動本体部５１ａが駆動されることにより、その駆動本体部５１ａからの駆動軸５１ｂの突出量、すなわち駆動本体部５１ａに対する駆動軸５１ｂの伸長方向での移動量を調整することができる。本実施例では、駆動部５１は、静止摩擦と動摩擦との差異を利用して駆動軸５１ｂを回転させることにより、その回転量に応じて駆動軸５１ｂの突出量を調整する構成とされている。詳細には、駆動部５１は、図示は略すが、駆動軸５１ｂの伸長方向に直交する方向から当該駆動軸５１ｂを２つの保持部材で挟みつつ保持しており、その保持した状態の両保持部材を駆動軸５１ｂの伸長方向および挟み方向に直交する方向であって互いに異なる側へとずらすように移動することが可能とされている。この駆動部５１では、図示は略すが、両保持部材をゆっくりとずらすように移動させることで、駆動軸５１ｂを回転させつつ突出量を変化させ、その後両保持部材を高速で元の位置へと移動させることで、駆動軸５１ｂが回転することを防止しつつ両保持部材のずれを解消し、その動作を繰り返すことにより駆動軸５１ｂの一方向への突出量を調整することが可能とされている。また、駆動部５１では、図示は略すが、両保持部材をずらす方向を逆転させることにより、駆動軸５１ｂの他方向への突出量を調整することが可能とされている。この駆動部５１では、駆動軸５１ｂを突出させることに伴い、その先端で押す力を付与することができる。この押す力の大きさの設定に関しては後述する。駆動部５１では、取り付けのための固定筒部５１ｃが設けられている。この固定筒部５１ｃは、駆動軸５１ｂを回転可能に取り巻きつつ駆動本体部５１ａに固定されており、外周面にネジ溝が設けられている。この駆動部５１を鏡筒３１の下端部３１ｂ（その駆動用凹所３１ｇ）に取り付けるために、駆動取付部５２が設けられている。

その駆動取付部５２は、取付板部分５２ａと固定板部分５２ｂとを有する。取付板部分５２ａは、駆動用凹所３１ｇに宛がうことが可能とされた板状を呈し、図示は略すが一対の取付穴が設けられている。この取付板部分５２ａは、両取付穴に挿入されたネジ部材５２ｃが、鏡筒３１の下端部３１ｂの駆動用凹所３１ｇに設けられたネジ穴（図示せず）に噛み合いにより固定されることにより、その駆動用凹所３１ｇに取り付けられる。その取付板部分５２ａの下端から、径方向の外側へと突出されて固定板部分５２ｂが設けられている。その固定板部分５２ｂは、板状を呈し、直交方向へと貫通するネジ穴５２ｄ（図９参照）を有する。このネジ穴５２ｄは、駆動部５１の固定筒部５１ｃの挿入が可能とされており、その外周面に設けられたネジ溝との噛み合いが可能とされたネジ溝が内周面に形成されている。この駆動取付部５２は、固定板部分５２ｂが水平面に沿って存在するように、取付板部分５２ａが駆動用凹所３１ｇに取り付けられ、その固定板部分５２ｂのネジ穴５２ｄに駆動部５１の固定筒部５１ｃが噛み合いにより固定されることで、駆動軸５１ｂを投影光軸ＰＡ方向（鉛直方向）に沿わせつつ駆動部５１を鏡筒３１の下端部３１ｂ（その駆動用凹所３１ｇ）に取り付けることができる。その駆動部５１からの駆動力を可動レンズ保持枠３５に伝達するために被押当部５３が設けられている。

その被押当部５３は、駆動用凹所３１ｇに取り付けられて鏡筒３１の下端部３１ｂの外方に存在する駆動部５１における駆動軸５１ｂの投影光軸ＰＡ方向の凹所フランジ箇所３１ｉ側（鉛直方向下側）への移動に伴う押す力を、駆動用凹所３１ｇの凹所開口３１ｈを経て、その下端部３１ｂの内方に設けられた可動レンズ保持枠３５に伝達するものである。被押当部５３は、本実施例では、取付片５３ａと被押当片５３ｂとを有する。その取付片５３ａは、全体に直方体形状を呈する部材が可動レンズ保持枠３５の外周面に倣って湾曲されて形成されている。取付片５３ａは、径方向に沿って設けられたネジ部材５３ｃ（図９参照）により、可動レンズ保持枠３５の外周面に径方向の外側から固定されている。

被押当片５３ｂは、取付部分５３ｄと被押当部分５３ｅとを有する。取付部分５３ｄは、取付片５３ａ（その外側面）に宛がうことが可能とされた板状を呈し、一対の取付穴５３ｆが設けられている。この取付部分５３ｄは、両取付穴５３ｆに挿入されたネジ部材５３ｇが、取付片５３ａに設けられたネジ穴（図示せず）に噛み合いにより固定されることにより、その取付片５３ａに取り付けられる。その取付部分５３ｄの上端に被押当部分５３ｅが設けられている。その被押当部分５３ｅは、取付部分５３ｄの上端から径方向の外側へと突出された板状を呈する。

この被押当部５３では、鏡筒３１（その下端部３１ｂ）内おいて３つのガイド機構部４０に可動レンズ保持枠３５が適切に保持されると、その可動レンズ保持枠３５に取り付けられた取付片５３ａが凹所開口３１ｅ内に存在することが可能な位置に設けられており、その状態において取付片５３ａに取り付けられた被押当片５３ｂが駆動用凹所３１ｇに存在することが可能とされている。このとき、被押当片５３ｂの被押当部分５３ｅは、駆動取付部５２を介して駆動用凹所３１ｇに取り付けられた駆動部５１の駆動軸５１ｂの鉛直方向（投影光軸ＰＡ方向）下方に存在するものとされている。この被押当部５３の投影光軸ＰＡ方向での位置を検出するために検出部５４が設けられている。

その検出部５４は、検出本体部５４ａと、そこから突出されて設けられた長尺な検出突起５４ｂとを有する。検出部５４は、投影レンズ駆動制御部２７の制御下で検出本体部５４ａが駆動されることにより、先端が突き当たるまで検出突起５４ｂを検出本体部５４ａから突出させて当該検出突起５４ｂの突出量を検出するとともに、その検出した突出量を示す検出信号を投影レンズ駆動制御部２７に出力することができる。この検出部５４では、取り付けのための固定筒部５４ｃが設けられている。この固定筒部５４ｃは、検出突起５４ｂを突出方向への移動を可能に取り巻きつつ検出本体部５４ａに固定されており、外周面にネジ溝（図示せず）が設けられている。この検出部５４を鏡筒３１の下端部３１ｂ（その駆動用凹所３１ｇ）に取り付けるために、検出取付部５５が設けられている。

その検出取付部５５は、取付板部分５５ａと固定板部分５５ｂとを有する。取付板部分５５ａは、駆動用凹所３１ｇに宛がうことが可能とされた板状を呈し、図示は略すが一対の取付穴が設けられている。この取付板部分５５ａは、両取付穴に挿入されたネジ部材５５ｃが、鏡筒３１の下端部３１ｂの駆動用凹所３１ｇに設けられたネジ穴（図示せず）に噛み合いにより固定されることにより、その駆動用凹所３１ｇに取り付けられる。その取付板部分５５ａの中間位置から、径方向の外側へと突出されて固定板部分５５ｂが設けられている。その固定板部分５５ｂは、板状を呈し、直交方向へと貫通するネジ穴（図示せず）を有する。このネジ穴は、図示は略すが検出部５４の固定筒部５４ｃの挿入が可能とされており、その外周面に設けられたネジ溝との噛み合いが可能とされたネジ溝が内周面に設けられて形成されている。この検出取付部５５は、固定板部分５５ｂが水平面に沿って存在するように、取付板部分５５ａが駆動用凹所３１ｇに取り付けられ、その固定板部分５５ｂのネジ穴（図示せず）に検出部５４の固定筒部５４ｃが噛み合いにより固定されることで、検出突起５４ｂを投影光軸ＰＡ方向（鉛直方向）に沿わせつつ検出部５４を鏡筒３１の下端部３１ｂ（その駆動用凹所３１ｇ）に取り付けることができる。

この駆動機構部５０は、３つのガイド機構部４０により鏡筒３１の下端部３１ｂ内で可動レンズ保持枠３５が保持された状態において、その可動レンズ保持枠３５に取り付けられて下端部３１ｂの凹所開口３１ｅから下端部３１ｂの外方の駆動用凹所３１ｇへと突出された被押当部５３の被押当片５３ｂの上端面に、駆動部５１の駆動軸５１ｂの先端を押し当てるとともに、検出部５４の検出突起５４ｂの先端を突き当てて設けられている。このため、本実施例では、駆動部５１の駆動軸５１ｂ（その先端）が押当箇所として機能するとともに、被押当部５３の被押当片５３ｂの上端面が被押当箇所として機能する。駆動機構部５０は、上述したように、鏡筒３１の下端部３１ｂにおいて、可動レンズ保持枠３５を取り囲むように、投影光軸ＰＡを中心とする回転方向で見て等しい間隔で３箇所に設けられている（図５参照）。そして、駆動機構部５０は、当該回転方向で見た位置が異なることを除くと、互いに等しい構成とされている。

この光学素子保持装置３０では、各駆動機構部５０において、可動レンズ保持枠３５に固定した被押当部５３の被押当片５３ｂの上端面に、鉛直方向（投影光軸ＰＡ方向）の上側から下側へ向けて駆動部５１の駆動軸５１ｂの先端を押し当てていることにより、その被押当部５３の被押当片５３ｂ（その上端面）に鉛直方向下側へ向けて押す力（押当力）を付与することができる。ここで、光学素子保持装置３０では、上述したように、３つのガイド機構部４０により、鉛直方向上側（投影光軸ＰＡ方向で静止レンズ３３側）へと押し上げつつ可動レンズ保持枠３５を保持しているとともに、その可動レンズ保持枠３５の投影光軸ＰＡ方向で凹所フランジ箇所３１ｆ側（鉛直方向下側）への移動を許容している。このため、光学素子保持装置３０では、３つの駆動部５１における駆動軸５１ｂで鉛直方向下側へと押す力が、６つの引張バネ４１（３箇所で対を為す引張バネ４１）と６つの板バネ４４（３箇所で対を為す板バネ４４）とによる鉛直方向上側へと持ち上げる力から、可動レンズ３２が固定された可動レンズ保持枠３５の重量（正確には、そこに取り付けられた３つの枠側バネ取付部４３や３つの被押当部５３を含む）を減算した大きさよりも大きくなるように設定している。これにより、光学素子保持装置３０では、駆動部５１の駆動軸５１ｂ（その先端）を投影光軸ＰＡ方向へと変位させることにより、鏡筒３１の下端部３１ｂの内方で可動レンズ保持枠３５を投影光軸ＰＡ方向へと移動させることができ、投影光軸ＰＡ方向で見た可動レンズ保持枠３５の位置すなわちそこに固定された可動レンズ３２の位置を調整することができる。このとき、光学素子保持装置３０では、上述したように、３つのガイド機構部４０により、鏡筒３１の下端部３１ｂの中心位置（投影光軸ＰＡ上）で可動レンズ保持枠３５を保持していることから、投影光軸ＰＡ方向での位置に拘らず可動レンズ保持枠３５すなわち可動レンズ３２が鏡筒３１の下端部３１ｂの中心位置（投影光軸ＰＡ上）に存在することを維持することができる。

また、各駆動機構部５０では、それぞれに設けられた検出部５４の検出突起５４ｂの先端を、被押当部５３の被押当片５３ｂの上端面に突き当てていることから、被押当部５３の被押当片５３ｂの上端面の投影光軸ＰＡ方向での位置を検出することができる。本実施例では、投影レンズ駆動制御部２７は、制御部２４から投影レンズ機構２０における可動レンズ３２の変位のための制御信号（指令）を受けると、その制御信号が示す変位量だけ各駆動機構部５０の駆動部５１の駆動軸５１ｂを変位させて、その駆動軸５１ｂの先端による被押当片５３ｂの上端面への投影光軸ＰＡ方向での押当位置を変化させる。この可動レンズ３２の変位は、投影レンズ機構２０における光軸調整（調芯）のための投影光軸ＰＡに対する傾斜の調整や、投影レンズ機構２０における倍率補正のための投影光軸ＰＡ方向への平行移動のために行われる。この投影光軸ＰＡ方向での押当位置を変化させる際、投影レンズ駆動制御部２７は、各駆動機構部５０において、検出部５４からの検出信号に基づき被押当部５３（その被押当片５３ｂ）の投影光軸ＰＡ方向での位置（変位量）を、受けた制御信号に応じる位置（変位量）とすべく、駆動部５１における駆動軸５１ｂの変位量を補正する。このため、投影レンズ駆動制御部２７は、各駆動機構部５０における被押当箇所（押当位置）の投影光軸ＰＡ方向での位置を個別に駆動制御する駆動機構制御部として機能するとともに、投影レンズ機構２０における倍率を変更する倍率補正駆動機構として機能する。

このため、光学素子保持装置３０では、投影レンズ駆動制御部２７が制御部２４から投影レンズ機構２０における倍率補正のための制御信号を受けると、その投影レンズ駆動制御部２７が各検出部５４から検出信号に基づく補正を行いつつ各駆動部５１を駆動制御することにより、各駆動軸５１ｂ（その先端）による被押当片５３ｂの上端面への投影光軸ＰＡ方向での押当位置を変化させて、鏡筒３１の下端部３１ｂ内において可動レンズ保持枠３５すなわち可動レンズ３２を投影光軸ＰＡ方向へと適宜移動させる。これにより、投影レンズ機構２０における倍率補正を行うことができる。

また、光学素子保持装置３０では、投影レンズ駆動制御部２７が制御部２４から各駆動機構部５０における駆動軸５１ｂ（その先端）による被押当片５３ｂ（その上端面）への投影光軸ＰＡ方向での押当位置の変化のための制御信号を受けると、その投影レンズ駆動制御部２７が各検出部５４から検出信号に基づく補正を行いつつ各駆動部５１を駆動制御することにより押当位置を変化させて、鏡筒３１の下端部３１ｂ内において可動レンズ保持枠３５すなわち可動レンズ３２の投影光軸ＰＡに対する傾斜を調整することができる。このため、光学素子保持装置３０では、可動レンズ３２における光軸を、投影レンズ機構２０の光軸（投影光軸ＰＡ）に一致させる（調芯する）ことができる。

このように、本発明に係る光学素子保持装置３０では、各ガイド機構部４０における両引張バネ４１の吊り下げ支持により保持した可動レンズ保持枠３５を、各駆動機構部５０の駆動部５１により鉛直方向下方へと押し下げることで、可動レンズ保持枠３５を投影光軸ＰＡ方向へと移動させることができるので、簡易な構成で可動レンズ３２を投影光軸ＰＡ方向へと移動させることができる。

また、光学素子保持装置３０では、各ガイド機構部４０における両板バネ４４による可動レンズ保持枠３５の突っ張り支持により、その可動レンズ保持枠３５すなわち可動レンズ３２の投影光軸ＰＡ方向への移動に拘らず当該可動レンズ保持枠３５（可動レンズ３２）が鏡筒３１の下端部３１ｂの中心位置（投影光軸ＰＡ上）に存在することを維持することができるので、極めて高い精度で可動レンズ３２の移動による倍率補正を行うことができる。

さらに、光学素子保持装置３０では、各ガイド機構部４０が、両引張バネ４１による吊り下げ支持と両板バネ４４による突っ張り支持とにより、鉛直方向上側（投影光軸ＰＡ方向で静止レンズ３３側）へと押し上げつつ可動レンズ保持枠３５を保持するとともに、その可動レンズ保持枠３５の投影光軸ＰＡ方向で凹所フランジ箇所３１ｆ側（鉛直方向下側）への移動を許容するものであることから、簡易な構成とすることができる。

光学素子保持装置３０では、各駆動機構部５０が、各ガイド機構部４０による投影光軸ＰＡ方向で静止レンズ３３側（鉛直方向上側）への押し上げに抗して、移動方向である投影光軸ＰＡ方向（鉛直方向下側）へと可動レンズ保持枠３５を押し下げて当該可動レンズ保持枠３５を投影光軸ＰＡ方向（鉛直方向下側）に移動させるものであることから、簡易な構成とすることができる。

光学素子保持装置３０では、鏡筒３１の下端部３１ｂの中心位置（投影光軸ＰＡ上）で投影光軸ＰＡ方向へと移動可能に可動レンズ保持枠３５を保持するガイド機構部４０が投影光軸ＰＡを中心とする回転方向で等間隔に設けられているとともに、その可動レンズ保持枠３５を投影光軸ＰＡ方向で凹所フランジ箇所３１ｆ側（鉛直方向下側）へと押す駆動機構部５０が投影光軸ＰＡを中心とする回転方向で等間隔に設けられていることから、より高精度に可動レンズ保持枠３５を投影光軸ＰＡ方向に移動させることができる。

光学素子保持装置３０では、３つのガイド機構部４０と３つの駆動機構部５０とが、投影光軸ＰＡを中心とする回転方向で見て等しい間隔で交互に設けられていることから、より高精度に可動レンズ保持枠３５を投影光軸ＰＡ方向に移動させることができる。

光学素子保持装置３０では、投影レンズ機構２０（鏡筒３１）における軸線（投影光軸ＰＡ）を鉛直方向とし、鏡筒３１の下端部３１ｂ内で各ガイド機構部４０の両引張バネ４１と両板バネ４４とで鉛直方向上側へと押し上げつつ可動レンズ保持枠３５を保持し、その可動レンズ保持枠３５を各駆動機構部５０で鉛直方向下方へ向けて押し下げることで、可動レンズ保持枠３５を投影光軸ＰＡ方向に移動させる構成であることから、駆動部５１における駆動軸５１ｂで鉛直方向下側へと押す力を、６つの引張バネ４１と６つの板バネ４４とによる鉛直方向上側へと持ち上げる力から、可動レンズ３２が固定された可動レンズ保持枠３５の重量を減算した大きさよりも大きく設定すればよいので、各駆動機構部５０（駆動部５１）における押す力を小さなものとすることができ、各駆動機構部５０（駆動部５１）の構成を簡易なものとすることができる。このことは、露光装置１０では、投影レンズ機構２０が極めて大きな構成であり、そこに用いられる光学素子も極めて大きな構成とされることから、倍率補正のために投影光軸ＰＡ方向に移動させるレンズ（可動光学素子）も極めて大きく重いものとなってしまうことから、特に効果的である。

光学素子保持装置３０では、各ガイド機構部４０が、両引張バネ４１による吊り下げ支持と両板バネ４４による突っ張り支持とにより、鉛直方向上側（投影光軸ＰＡ方向で静止レンズ３３側）へと押し上げつつ可動レンズ保持枠３５を保持するとともに、その可動レンズ保持枠３５の投影光軸ＰＡ方向で凹所フランジ箇所３１ｆ側（鉛直方向下側）への移動を許容するものであることから、可動レンズ３２が固定された可動レンズ保持枠３５の重量を、投影光軸ＰＡを中心とする回転方向で見て均等に設けられた６つの引張バネ４１と６つの板バネ４４とに分散することができるので、１つ１つの引張バネ４１や板バネ４４における負担を軽減しつつ安定して可動レンズ保持枠３５を保持することができる。

光学素子保持装置３０では、各駆動機構部５０に検出部５４が設けられているとともに、その検出部５４からの検出信号に基づいてそれぞれが対応する駆動部５１における駆動軸５１ｂの変位量を補正することから、より精度よく可動レンズ保持枠３５を投影光軸ＰＡ方向に移動させることができる。

光学素子保持装置３０では、各駆動機構部５０に設けられた検出部５４が、可動レンズ保持枠３５に固定された被押当部５３の被押当片５３ｂの上端面の投影光軸ＰＡ方向での位置を検出するものであることから、実際の可動レンズ保持枠３５の投影光軸ＰＡ方向での位置を直接補正することができるので、より精度よく可動レンズ保持枠３５を投影光軸ＰＡ方向に移動させることができる。

光学素子保持装置３０では、各駆動機構部５０の検出部５４が、変位量の検出のための検出突起５４ｂを、可動レンズ保持枠３５の移動方向となる投影光軸ＰＡ方向（鉛直方向）に沿わせて設けられているので、より精度よく可動レンズ保持枠３５の投影光軸ＰＡ方向での位置を検出することができる。

光学素子保持装置３０では、鏡筒３１の下端部３１ｂの凹所開口３１ｅから下端部３１ｂの外方の駆動用凹所３１ｇへと突出させるように、可動レンズ保持枠３５から径方向で突出させて当該可動レンズ保持枠３５に取り付けた被押当部５３で被押当箇所を形成していることから、簡易な構成で、駆動部５１の駆動軸５１ｂの先端および検出部５４の検出突起５４ｂの先端を鉛直方向下側へ向けて当てるものとすることができる。このため、構成の複雑化を招くことなく、駆動部５１における駆動軸５１ｂの投影光軸ＰＡ方向の凹所フランジ箇所３１ｉ側（鉛直方向下側）への移動に伴う押す力を可動レンズ保持枠３５に伝達することができるとともに、その被押当箇所（押当位置）の投影光軸ＰＡ方向での位置を検出することができる。

光学素子保持装置３０では、各駆動機構部５０において、駆動部５１と検出部５４とを個別に鏡筒３１の下端部３１ｂの駆動用凹所３１ｇに取り付けていることから、駆動部５１または検出部５４のメンテナンス（保守、点検、交換）を個別に行うことができるので、メンテナンス作業を容易なものとすることができるとともに、メンテナンスに要するコストの上昇を抑制することができる。

光学素子保持装置３０では、３つのガイド機構部４０において、投影光軸ＰＡを中心とする回転方向で対を為して引張バネ４１が設けられているとともに、その中間位置において２枚の板バネ４４が投影光軸ＰＡ方向で対を為して構成されていることから、各ガイド機構部４０における可動レンズ保持枠３５を保持する構成を当該回転方向の中心に関して対称とすることができるので、よりバランスよく（偏りなく）可動レンズ保持枠３５を保持することができる。

光学素子保持装置３０では、３つのガイド機構部４０における可動レンズ保持枠３５の突っ張り支持のために投影光軸ＰＡ方向に直交して設けた板バネ４４を用いていることから、簡易な構成で、鏡筒３１の下端部３１ｂの内方において可動レンズ保持枠３５を水平面に沿う方向で見て下端部３１ｂの内方における中心位置で保持することができるとともに、その状態を維持しつつ可動レンズ保持枠３５（可動レンズ３２）の投影光軸ＰＡ方向への移動を許容することができる。

光学素子保持装置３０では、３つのガイド機構部４０における可動レンズ保持枠３５の突っ張り支持のために投影光軸ＰＡ方向に直交して設けた板バネ４４を、その投影光軸ＰＡ方向で並列させて用いていることから、簡易な構成で、鏡筒３１の下端部３１ｂの内方における中心位置での保持をより確実なものとすることができるとともに、その状態をより確実に維持しつつ可動レンズ保持枠３５（可動レンズ３２）の投影光軸ＰＡ方向への移動を許容することができる。

光学素子保持装置３０では、各ガイド機構部４０がガイド用凹所３１ｄの内方（下端部３１ｂの外径よりも内側）に配置されているとともに、各駆動機構部５０が検出部５４を除くと駆動用凹所３１ｇの内方（下端部３１ｂの外径よりも内側）に配置されていることから、投影レンズ機構２０の大きさ寸法の増大を抑制することができる。

光学素子保持装置３０では、駆動機構部５０が、投影光軸ＰＡを中心とする回転方向で見て可動レンズ保持枠３５を取り巻いて３箇所に設けられているとともに、それぞれが個別に投影光軸ＰＡ方向での押当位置の調整が可能であることから、鏡筒３１の下端部３１ｂ内において可動レンズ３２（可動レンズ保持枠３５）の投影光軸ＰＡに対する傾斜を調整して調芯することができるとともに、その調芯した状態を維持したまま可動レンズ３２（可動レンズ保持枠３５）の投影光軸ＰＡ方向への移動による倍率補正を行うことができる。

光学素子保持装置３０を備える投影レンズ機構２０を用いる露光装置１０では、極めて高い精度で可動レンズ３２の移動による投影レンズ機構２０の倍率補正を行うことができるので、極めて高い精度で所定のマスクパターン像を対象ワーク２３上に形成することができる。このため、多層化、高密度化、微細化を実現することができる。

したがって、本発明に係る光学素子保持装置３０では、簡単な構成で、極めて高い精度で光学素子（可動レンズ３２）を移動させることができる。

なお、上記した実施例では、本発明に係る光学素子保持装置の一例としての光学素子保持装置３０について説明したが、光軸を鉛直方向に規定する鏡筒に設けられ入射された光を結像させる光学系における可動光学素子の調整を可能とする光学素子保持装置であって、前記可動光学素子を保持する可動光学素子保持部材と、前記鏡筒に対する前記可動光学素子保持部材の保持位置を形成すべく該可動光学素子保持部材を取り囲んで少なくとも３つ設けられ、前記保持位置を光軸方向に変位可能なガイド機構部と、前記鏡筒に対して前記可動光学素子保持部材を光軸方向へと移動させるべく該可動光学素子保持部材を取り囲んで少なくとも３つ設けられる駆動機構部と、を備え、前記ガイド機構部は、前記鏡筒に対して前記可動光学素子保持部材を吊り下げるべく前記鏡筒と前記可動光学素子保持部材とを光軸方向で掛け渡す軸方向弾性部材と、光軸に直交する径方向での前記鏡筒と前記可動光学素子保持部材との相対的な移動を規制すべく前記鏡筒と前記可動光学素子保持部材とを前記径方向で掛け渡す径方向弾性部材と、を有し、前記各駆動機構部は、前記鏡筒を基準とし鉛直方向下方へ向けて前記可動光学素子保持部材に押当箇所を押し当てるとともに、該押当箇所を前記軸方向に移動可能とする駆動部を有し、前記各駆動機構部では、３つの前記駆動部による前記鏡筒を基準として前記可動光学素子保持部材に付与する押下力が、前記各軸方向弾性部材と前記各径方向弾性部材とによる鉛直方向上方への押上力から、前記可動光学素子を保持した前記可動光学素子保持部材の重量を減算したものよりも大きく設定されている光学素子保持装置であればよく、上記した実施例に限定されるものではない。

また、上記した実施例では、光学素子保持装置３０においてガイド機構部４０が３つ設けられていたが、投影光軸ＰＡを中心とする回転方向で見て可動レンズ保持枠３５を取り巻くように３つ以上設けられていればよく、上記した実施例に限定されるものではない。

さらに、上記した実施例では、光学素子保持装置３０において駆動機構部５０が３つ設けられていたが、投影光軸ＰＡを中心とする回転方向で見て可動レンズ保持枠３５を取り巻くように３つ以上設けられていればよく、上記した実施例に限定されるものではない。また、駆動機構部５０は、ガイド機構部４０に等しい個数でなくてもよく、上記した実施例に限定されるものではない。

上記した実施例では、光学素子保持装置３０の各駆動機構部５０において、検出部５４が駆動用凹所３１ｇからはみ出す大きさ寸法のものが用いられていたが、要求される精度で被押当箇所（押当位置）（上記した実施例では被押当部５３（その被押当部分５３ｅ（その上端面）））の投影光軸ＰＡ方向での位置を検出することができるものであれば、駆動用凹所３１ｇ内に収まる大きさ寸法であってもよく、上記した実施例に限定されるものではない。

上記した実施例では、光学素子保持装置３０において、複数の光学素子のうち、鉛直方向で見て最も下方に位置する可動レンズ３２（図４等参照）を投影光軸ＰＡ方向に移動させるものとされていたが、マスクパターン像の倍率補正を行うことを可能とすべく複数の光学素子のうちの一部を構成する光学素子（レンズ）を可動光学素子（可動レンズ）として投影光軸ＰＡ方向に移動させる構成としてもよく、上記した実施例に限定されるものではない。

上記した実施例では、投影レンズ機構２０の鏡筒３１において、径寸法が拡大された下端部３１ｂに光学素子保持装置３０が設けられていたが、倍率補正のために可動光学素子を光軸方向（上記した実施例では投影光軸ＰＡ方向）に移動させるものであればよく、上記した実施例に限定されるものではない。

上記した実施例では、各ガイド機構部４０における軸方向弾性部材が、対を為して設けられた引張コイルバネである引張バネ４１により構成されていたが、可動レンズ３２が固定された可動レンズ保持枠３５を、鏡筒３１（その下端部３１ｂ）に対して鉛直方向に弾性的に吊り下げて取り付けるために投影光軸ＰＡ方向に沿って設けられていればよく、上記した実施例に限定されるものではない。

上記した実施例では、各ガイド機構部４０における径方向弾性部材が、投影光軸ＰＡ方向で並列しつつ対を為して設けられた板バネ４４により構成されていたが、可動レンズ保持枠３５と鏡筒３１（その下端部３１ｂ）との径方向での移動を規制しつつ投影光軸ＰＡ方向（光軸方向）への相対的な移動を許容すべく可動レンズ保持枠３５と鏡筒３１（その下端部３１ｂ）とを径方向に沿って掛け渡して設けられていればよく、上記した実施例に限定されるものではない。

上記した実施例では、被押当箇所（押当位置）が、可動レンズ保持枠３５に設けられ取付片５３ａと被押当片５３ｂとで構成された３つの被押当部５３により形成されていたが、各駆動機構部５０の駆動部５１の押当箇所（上記した実施例では駆動軸５１ｂ（その先端））を鉛直方向の上方から下方へ向けて押し当てられるものであればよく、上記した実施例に限定されるものではない。

上記した実施例では、各駆動機構部５０における被押当箇所（押当位置）の投影光軸ＰＡ方向での位置を個別に駆動制御する駆動機構制御部が、制御部２４からの制御信号に基づき光学素子保持装置３０（その各駆動機構部５０の駆動部５１）を制御する投影レンズ駆動制御部２７により構成されていたが、制御部２４を駆動機構制御部として直接光学素子保持装置３０（その各駆動機構部５０の駆動部５１）を制御する構成としてもよく、上記した実施例に限定されるものではない。

上記した実施例では、光学素子保持装置３０が、露光装置１０に設けられた投影レンズ機構２０に用いていたが、鏡筒の内方において可動光学素子を光軸方向に移動させるものであればよく、上記した実施例に限定されるものではない。

以上、本発明の光学素子保持装置および露光装置を実施例に基づき説明してきたが、具体的な構成については、実施例に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない限り、設計の変更や追加等は許容される。

１０ 露光装置
２０ 投影レンズ機構
２７ （駆動機構制御部の一例としての）投影レンズ駆動制御部
３０ 光学素子保持装置
３１ 鏡筒
３２ （可動光学素子の一例としての）可動レンズ
３５ （可動光学素子保持部材の一例としての）可動レンズ保持枠
４０ ガイド機構部
４１ （軸方向弾性部材の一例としての）引張バネ
４４ （径方向弾性部材の一例としての）板バネ
５０ 駆動機構部
５１ 駆動部
５１ｂ （押当箇所の一例としての）駆動軸
５３ （被押当箇所の一例としての）被押当部
５４ 検出部
ＰＡ （光軸の一例としての）投影光軸

Claims (8)

1. 光軸を鉛直方向に規定する鏡筒に設けられ入射された光を結像させる光学系における可動光学素子の調整を可能とする光学素子保持装置であって、
   前記可動光学素子を保持する可動光学素子保持部材と、
   前記鏡筒に対する前記可動光学素子保持部材の保持位置を形成すべく該可動光学素子保持部材を取り囲んで少なくとも３つ設けられ、前記保持位置を光軸方向に変位可能なガイド機構部と、
   前記鏡筒に対して前記可動光学素子保持部材を光軸方向へと移動させるべく該可動光学素子保持部材を取り囲んで少なくとも３つ設けられる駆動機構部と、を備え、
   前記各ガイド機構部は、前記鏡筒に対して前記可動光学素子保持部材を吊り下げるべく前記鏡筒と前記可動光学素子保持部材とを光軸方向で掛け渡す軸方向弾性部材と、
   光軸に直交する径方向での前記鏡筒と前記可動光学素子保持部材との相対的な移動を規制すべく前記鏡筒と前記可動光学素子保持部材とを径方向で掛け渡す径方向弾性部材と、
   前記鏡筒に設けられて前記軸方向弾性部材の一端が取り付けられる筒側軸方向弾性部材取付部と、
   前記可動光学素子保持部材に設けられて前記軸方向弾性部材の他端と前記径方向弾性部材の内側端部とが取り付けられる枠側弾性部材取付部と、
   前記鏡筒に設けられて前記径方向弾性部材の外側端部が取り付けられる筒側径方向弾性部材取付部と、を有し、
   前記各駆動機構部は、前記鏡筒を基準とし鉛直方向下方へ向けて前記可動光学素子保持部材に押当箇所を押し当てるとともに、該押当箇所を光軸方向に移動可能とする駆動部を有し、
   前記各駆動機構部では、３つの前記駆動部による前記鏡筒を基準として前記可動光学素子保持部材に付与する押下力が、前記各軸方向弾性部材と前記各径方向弾性部材とによる鉛直方向上方への押上力から、前記可動光学素子を保持した前記可動光学素子保持部材の重量を減算したものよりも大きく設定され、
   前記ガイド機構部と前記駆動機構部とは、光軸を中心とする回転方向で見て、交互に等間隔で設けられ、
   前記各ガイド機構部では、前記各軸方向弾性部材が前記回転方向に２つ並列され、前記各径方向弾性部材が前記回転方向で見て一対の前記軸方向弾性部材の間に設けられていることを特徴とする光学素子保持装置。
2. 請求項１に記載の光学素子保持装置であって、
   さらに、前記各駆動機構部における前記押当箇所の光軸方向での位置を個別に駆動制御する駆動機構制御部を備えることを特徴とする光学素子保持装置。
3. 前記各駆動機構部は、前記鏡筒に対する前記可動光学素子保持部材の光軸方向での位置を検出する検出部を有し、
   前記駆動機構制御部は、それぞれが対応する前記検出部からの検出信号に基づいて、前記各駆動機構部における前記押当箇所の移動量を個別に補正することを特徴とする請求項２に記載の光学素子保持装置。
4. 前記可動光学素子保持部材は、前記各駆動機構部の前記押当箇所が押し当てられる少なくとも３つの被押当箇所を有し、
   前記各検出部は、光軸方向で見て、前記鏡筒を基準とする前記被押当箇所の位置を検出することを特徴とする請求項３に記載の光学素子保持装置。
5. 前記各径方向弾性部材は、光軸方向に直交する面に沿う板状を呈する板バネで構成されていることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の光学素子保持装置。
6. 前記各径方向弾性部材は、光軸方向に直交する面に沿う板状を呈する板バネが、光軸方向に２つ並列されて構成されていることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の光学素子保持装置。
7. 前記各軸方向弾性部材は、光軸方向に伸びる引張バネで構成されていることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の光学素子保持装置。
8. パターンが形成されたマスクに露光光を照射し、該マスクを透過した露光光を請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の光学素子保持装置を備える投影レンズ機構で対象ワークに結像させて、該対象ワーク上に所定のマスクパターンを露光することを特徴とする露光装置。