JP5761910B2 - 速度検出装置 - Google Patents
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Description
一方、2つの検出部(第1の検出部、第2の検出部)を、周知の半導体基板製造プロセス等を用いて同一基板上に高精度に配置することにより、区間長を短くすることができる。しかしながら、第1の検出部で検出される像は、第1の光源により移動体のマークを照射して反射生成される像と、第2の光源により移動体のマークを照射して反射生成される像との重ね合わせにより得られる。また、第2の検出部についても同様である。このため、複数の光源による像のクロストークが発生することにより検出信号が歪み、速度検出精度が低下する。
そこで本発明は、高帯域の速度を高精度に検出可能な速度検出装置を提供する。
前記第1のフォトセンサ及び前記第2のフォトセンサは、同一の基板上に設けられ、前記基板上の配線と電気的に接続されており、前記第1のフォトセンサ及び前記第2のフォトセンサは、前記平面上に投影させた際、互いに180度異なる向きになるように配置されている。
図1において、2は第1の検出部である。第1の検出部2は、光源4で移動体8(特定のマーク7)を照明して得られた光から移動体8の位置(特定のマーク7の位置)を検出したタイミングを第1のタイミングとする。3は第2の検出部である。第2の検出部3は、第1の検出部2に対して移動体8の移動方向(x軸方向)に平行に設けられ、光源4で移動体8(特定のマーク7)を照明して得られた光から移動体8の同じマーク位置(特定のマーク7の位置)を検出したタイミングを第2のタイミングとする。第1の検出部2及び第2の検出部3は、それぞれフォトダイオードアレイを備えて構成される。
ただし本実施例は、これら全てが同一平面上に配置されていない場合でも適用可能である。このとき、光源4の基板11上への垂直投影位置(z方向投影位置)は、第1の検出部2、3の端点の基板11上への垂直投影点Q、R、S、Tで形成される四角形が基板11へ垂直投影された四角形の内部に存在するように設定される。このように、第1の検出部2または第2の検出部3の主面に平行な平面への光源4の垂直投影位置は、該平面上への第1の検出部2の垂直投影位置と第2の検出部3の垂直投影位置との間にある。
2、3、102、103 検出部
4、104 光源
7 マーク
8 移動体
Claims (2)
- 移動体の識別可能なマーク位置を第1の検出部において検出したタイミングを第1のタイミングとし、前記マーク位置を第2の検出部において検出したタイミングを第2のタイミングとするとき、前記第1のタイミング及び前記第2のタイミングに前記移動体の位置を検出し、該第1のタイミングと該第2のタイミングとの差を用いて該移動体の速度を検出する速度検出装置であって、
発散光束で前記移動体を照明する1つの光源と、
前記1つの光源で前記移動体を照明して得られた光から該移動体の前記マーク位置を検出する第1の検出部と、第1の信号処理部と、を含む第1のフォトセンサと、
前記第1の検出部に対して前記移動体の移動方向にずれた位置に設けられ、前記1つの光源で前記移動体を照明して得られた光から前記移動体の前記マーク位置を検出する第2の検出部と、第2の信号処理部と、を含む第2のフォトセンサと、を有し、
前記第1の検出部または前記第2の検出部の主面に平行な平面上への前記光源の垂直投影位置は、該平面上への前記第1の検出部の垂直投影位置と前記第2の検出部の垂直投影位置との間にあり、
前記第1のフォトセンサ及び前記第2のフォトセンサは、同一の基板上に設けられ、前記基板上の配線と電気的に接続されており、
前記第1のフォトセンサ及び前記第2のフォトセンサは、前記平面上に投影させた際、互いに180度異なる向きになるように配置されていることを特徴とする速度検出装置。 - 前記第1の検出部及び前記第2の検出部は、前記移動体で反射した光から前記移動体の前記マーク位置を検出するように構成されており、
前記光源、前記第1の検出部、及び、前記第2の検出部は、同一平面上に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の速度検出装置。
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