JP5638319B2 - 有機薄膜形成材料、有機薄膜、該薄膜の製造方法、有機薄膜素子およびn型の有機薄膜トランジスタ - Google Patents
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Description
(式1中、Rは、N、O、S、Pのヘテロ原子を含んでもよいアルキル基、または、X(CH2)nである。Xは、ペリレン、アントラセン、フタロシアニン、イソインドリン、イソインドリノン、フェナントロリン、ナフタレン、ピレン、トリフェニレン、ナフタセン、ペンタセン、ビチオフェン、ターチオフェン、クオターチオフェン、キンキチオフェン、セプチチオフェン、セキシチオフェン、オクチチオフェン、ベンゾチオフェン、チエノチオフェン、ジチエノチオフェンで表される骨格構造を持ち、これらは置換基としてアルキル基、および/または、トリアジン基を有していてもよく、アルキル基はN、O、S、Pのヘテロ原子を含んでいてもよい。nは、0〜18の整数を表わす。)
(式2−a中、R’は、N、O、S、Pのヘテロ原子を含んでもよいアルキル基を表わし、式2−b中、R’’、R’’’は、それぞれ独立に、N、O、S、Pのヘテロ原子を含んでもよいアルキル基を表わす。)
(式3−a中、Rは、N、O、S、Pのヘテロ原子を含んでもよいアルキル基である。R1、R2は、それぞれ独立に、C1〜C20で表わされる非分岐または分岐のアルキル基であり、アルキル基はN、O、S、Pのヘテロ原子を含んでいてもよい。nは、0〜18の整数を表わす。)
5.上記1〜3のいずれかに記載の有機薄膜の形成材料を有機溶媒に溶解してなる溶液を基板に塗工し、その後、有機溶媒を除去する過程において、上記材料が水素結合によって薄膜を形成することを特徴とする有機薄膜の製造方法。
6.上記4に記載の有機薄膜を用いてなることを特徴とする有機薄膜素子。
7.上記6に記載の有機薄膜素子と、絶縁体層としてポリビニルフェノールを用いてなることを特徴とするn型の有機薄膜トランジスタ。
本発明の有機薄膜の形成材料(以下、有機薄膜材料)は、芳香族環からなる環状π共役系骨格構造を有する化合物(X)とメラミン誘導体よりなる前記一般式(1)で表される化合物を含むことを特徴とする。また、前記一般式(1)の化合物が、前記一般式(2−a)で表されるイソシアヌール酸誘導体または前記一般式(2−b)で表わされるバルビツール酸誘導体との会合体として含まれることを特徴とする。具体的には、前記一般式(1)で表わされる化合物が、前記一般式(3−a)または一般式(3−b)で表わされるペリレンテトラカルボン酸誘導体であることが好ましい。上記化合物を含む有機薄膜材料は、塗工し、薄膜を形成した際に、ラメラ構造を有する液晶膜となり、これを、用いることによって優れた有機薄膜素子、有機薄膜トランジスタを提供することが可能となる。以下に、各成分について、詳細に説明する。
[化合物(1)]
本発明の有機薄膜材料は、下記一般式(1)で表わされる化合物を含むが、一般式(1)の化合物は、化合物(X)とメラミン誘導体を反応させることにより得られる。
本発明で用いる化合物(X)は、芳香族環からなる環状π共役系骨格構造(骨格構造A)を有することを特徴とする。具体的には、ペリレン、アントラセン、フタロシアニン、イソインドリン、イソインドリノン、フェナントロリン、ナフタレン、ピレン、トリフェニレン、ナフタセン、ペンタセン、ビチオフェン、ターチオフェン、クオターチオフェン、キンキチオフェン、セプチチオフェン、セキシチオフェン、オクチチオフェン、ベンゾチオフェン、チエノチオフェン、ジチエノチオフェンで表される骨格構造を有する化合物である。該化合物は、置換基としてアルキル基を有していてもよく、該アルキル基は、N、O、S、Pのヘテロ原子を含んでいてもよい。
本発明で用いるメラミン誘導体は、その構造中にメラミン骨格を有していれば、公知の化合物を用いることができる。例えば、2−アミノ−4,6−ジクロロ−1,3,5−トリアジンが挙げられるが、これに限定されない。該メラミン誘導体は、1級アミノ基1個と2級アミノ基2個からなり、1級アミノ基と2級アミノ基に挟まれている2つの窒素原子により、水素結合を形成することができる。
上記の化合物(X)とメラミン誘導体を反応させることで、本発明で用いる一般式(1)で表わされる化合物が合成される。該化合物の合成方法としては、公知の方法で合成でき、特に限定されない。例えば、ペリレンテトラカルボン酸モノイミドの合成方法としては、高沸点有機溶媒中で、ペリレンテトラカルボン酸無水物を、該当するアミン類と反応させることによりペリレンテトラカルボン酸ジイミド誘導体を得る。その後、得られたペリレンテトラカルボン酸ジイミド誘導体を、アルカリとアルコール中で加熱することにより、一方のイミド基を開環させ、再び、酸により閉環させることにより得ることができる。さらに、ペリレンテトラカルボン酸モノイミドと1級ジアミン(H2N(CH2)nNH2)とを反応させた後に、ジクロロアミノトリアジンと反応させることにより得ることができる。
以下、上記一般式(3−a)で表わされる化合物の1つである、下記化合物1、および、上記一般式(3−b)で表わされる化合物の1つである、下記化合物2を例に、前記一般式(1)の化合物の性質について、以下に詳細に説明する。また、該化合物1および2と、前記シアヌル酸誘導体およびバルビツール酸誘導体との会合体の性質についても説明する。その際、シアヌル酸誘導体およびバルビツール酸誘導体は、下記に示すxCAおよびBarを例として用いた。しかし、本発明はこれらに限定されるものではない。
上記化合物1および2について、紫外・可視分光測定(以下、「UV/vis測定」と略記する場合がある)を行った。化合物1および2は、導入されているペリレンビスイミド(以下、PBIと記載する)の数により、極めて異なる吸収挙動を示した。化合物1は、メチルシクロヘキサン(以下、MCHと略記する)中で図1(a)に示すように、典型的なH会合体の吸収スペクトルを示すが、トルエンやトリクロロメタン(以下、CHCl3と略記する)中においてはPBIに特徴的な振動構造や高い吸光度を示すため、トルエンやCHCl3中では、ほぼモノマー状態であるといえる。
そこで、化合物1の化学量論を調査すべく、化合物1を下記dCAによって滴定した。結果を図3(a)、(b)に示した。なお、(a)は、紫外/可視吸収スペクトルであり、MCH溶液中、化合物1の濃度(以下、[1]と記載)=1.4×10-5mol/dm3(以下、Mと略記)、dCAの濃度(以下、[dCA]と記載)=0〜2.8×10-5Mで測定した結果示したグラフである。また、(b)は、487nmの吸収強度における化合物1とdCA濃度の関係([dCA]/[1])を示したグラフである。dCAの添加によって、ブロードな吸収極大(λmax=489nm)と、より長波長側の肩(λmax=553nm)が、短波長側にシフトし、この変化が1当量のdCAによって飽和していることより、1:1の会合比であることが確認された。
メラミン−CA/Barが形成する集合体に機能性色素を導入した系で、低極性溶媒をゲル化する例が報告されている。本発明の化合物1および2の単独、及びdCAやBarとの会合体に関して、ゲル化実験をおこなった。結果を表1にまとめた。なお、表1中、cgcは、最低ゲル化濃度を示し、Tmは、5mMのゲルを加熱した際にゲルが崩壊する温度を示す。
上記において、ゲルを与える3つの組み合わせ、i)化合物1単独(表中No.1)、ii)化合物1+dCA(表中No.2)、iv)化合物2+Bar(表中No.6)と、部分的なゲルを与えるiii)化合物2+dCA(表中No.3)に関して、そのナノ構造を可視化するべく走査型電子顕微鏡(以下、「SEM」と記載する場合がある)と原子間力顕微鏡(以下、「AFM」と記載する場合がある)による測定および観察を行った。
化合物1のゲルを希釈し、AFM測定を行ったが、ゲルを形成しているにも関わらず明確なナノ構造は見られなかった。ゲルをフリーズドライしたSEM像では、シート状のナノ構造が可視化された。
化合物1+dCAのゲルを希釈して測定したAFM像では、きわめて明確なファイバー状のナノ構造が観測できた。このことから、化合物1はdCAの有無によらずにゲルを形成するが、そのナノ構造は大きく異なることがわかった。またSEM観察では化合物1単独の場合と同様に、シート状のナノ構造が観測できた。
化合物2+dCAは、粘性のある部分ゲルを与えるが、これを140μMに希釈したAFM観察、及びフリーズドライしたサンプルのSEM観察では、共に明確なナノ構造を可視化することができなかった。この原因として、ナノ構造体の凝集が考えられたため、これを防ぐベくMCH溶液にトルエンを10%混合した溶液を調整し、再びAFM観察を行い、ファイバー状のナノ構造を観測することができた。
化合物2+Barは、SEM観察では明確なナノ構造を観測することができなかった。希釈したトルエン溶液からのAFM像では複雑に入り組んだナノ構造が観測された。得られた画像を図7(a)に示す。これとは対照的に、上述した、化合物2+dCAでファイバーを可視化することに成功した際に使用したMCH:トルエン=9:1溶液における、化合物2+BarのAFM像は、ファイバー状ではなく、全く異なる像が観測された(図7(b))。このため、化合物2はゲスト分子がdCAであるかBarであるかによって、互いに異なるナノ構造を形成している事が示唆される。これは、ゲル化挙動が異なることと一致している。
表1に示した6種の組み合わせに関して、その分子構造を調査するために、偏光顕微鏡(以下、POMと略記)、示差熱走査熱量測定(以下、DSCと略記)及びX線回折(以下、XRDと略記)による測定を行った。また、DSCとXRD測定に関しては、分子構造を明確に帰属するべく、アルキル鎖の長さが異なるシアヌル酸である下記に示すoCAやhCAも化合物1および2のゲスト分子として混合し、測定を行った。
まず、乾燥ゲルや粉末を用いてPOM観察を行った。化合物1の粉末は約150℃で液晶相に転移し複屈折を示すPOM像が観測された。また、約180℃で等方相へ転移し冷却過程でも液晶相が再び観測された。一方、化合物2は、加熱過程では複屈折は見られず、等方相からの冷却過程において結晶性のPOM像が観測された。化合物2の融点は化合物1よりも100℃以上も高かった。
6種の組み合わせについて、DSC測定を行った。結果を図8に示す。なお、DSC測定では、ゲルを形成する組み合わせである化合物1単独、化合物1+xCA、化合物2+Barに関しては、乾燥ゲルをサンプルに用いてた。一方、ゲルを形成しない化合物2はシンプルに粉末を、化合物1+Bar、化合物2+xCAはCHCl3中で混合した均一溶液を乾燥して用いた。
最後にXRD測定を行った。いずれのサンプルも、室温では明確な回折が得られなかったので、DSCとPOM測定によって決定した中間相状態を示す温度範囲、もしくは一度等方相まで加熱し室温へと自然放冷することで中間相へ転移した薄膜を用いてXRD測定を行った。得られた結果を表3に記す。高温測定及びアニーリングすることで、いずれの場合もラメラ状のパッキングに由来する回折が得られた。
以下に、上述した一般式(1)で表わされる化合物を含む本発明の有機薄膜材料を使用した有機薄膜、有機薄膜素子、有機薄膜トランジスタについての好ましい実施形態を説明する。
[化合物1の合成](以下、PML4と呼ぶことがある)
(化合物4の合成)
下記反応式1に示す化合物3を830mg(1.44mmol)、N−Boc−ジアミノブタン412mg(2.19mmol)、無水酢酸亜鉛250mgとイミダゾール6.2gを混合し、窒素雰囲気下で、9時間還流させた。その後、室温まで冷却し、クロロホルムを加えた。得られた化合物を2M塩酸で洗浄した後、硫酸ナトリウム上で乾燥し、真空下で溶媒を除去した。シリカゲルカラムクロマトグラフィーにより精製し、下記反応式1に示す化合物4の赤色粉末を得た(収量990mg、収率69.5%)。
1H NMR(500MHz,CDCl3,60℃):δ=8.73−8.52(m,8H),5.18(m,1H),4.88(br,1H),4.21(m,2H),3.29(m,2H),2.27(m,2H),1.86(m,4H),1.67(m,2H),1.56−1.12(m,16H),0.83(t,6H)
上記で得られた化合物4(990mg:1.33mmol)を含むジクロロメタン溶液をトリフルオロ酢酸13gに加え、保護基をはずした。室温にて3時間撹拌後、炭酸水素ナトリウム水溶液で中和した。ジクロロメタンを蒸発させ、ろ過した濾物を水洗、真空中で乾燥させることにより、下記反応式2に示す化合物5の赤色粉末を得た(収量805mg、収率94.1%)。
1H NMR(400MHz,CDCl3,67℃):δ=8.64(m,4H),8.56(m,4H),5.18(m,1H),4.23(t,2H),3.39(t,1H),2.82(t,2H),2.22(m,2H),1.85(m,4H),1.62(m,2H),1.40−1.12(m,16H),0.82(t,6H)
マススペクトル測定(FAB):643(MH+)
上記で得られた化合物5(151mg:0.234mmol)、2−アミノ−4,6−ジクロロ−1,3,5−トリアジン32mg(0.195mmol)、N,N−ジイソプロピルエチルアミンを1ml乾燥したテトラヒドロフランに混合し、窒素雰囲気下、室温で27時間撹拌した。溶媒を除去し、残渣をクロロホルムに溶解した。ろ過した混合物を2M塩酸、炭酸水素ナトリウム水溶液、水で洗い、硫酸ナトリウム上で乾燥した。真空中で溶媒を除去した。シリカゲルカラムクロマトグラフィーにより精製し、下記反応式3に示す化合物6の赤色粉末を得た(収量130mg、収率86.0%)。
1H NMR(500MHz,CDCl3,60℃):δ=8.65(d,4H),8.58(m,4H),5.99(s,1H),5.19(m,2H),4.32(t,2H),3.49(m,2H),2.24(m,2H),2.08(m,2H),1.89(m,2H),1.59(m,8H),1.42−1.19(m,16H),0.84(m,6H).
上記で得られた化合物6(194mg:0.25mmol)、n−ドデシルアミン(2.51mmol)、N,N−ジイソプロピルエチルアミン 1mlを乾燥した1,4−ジオキサンに混合し、窒素雰囲気下、19時間還流した。室温まで冷却後、溶媒を除去し、残渣をクロロホルムに溶解した。ろ過した混合物を2M塩酸、炭酸水素ナトリウム水溶液、水で洗い、硫酸ナトリウム上で乾燥した。真空中で溶媒を除去した。シリカゲルカラムクロマトグラフィーにより精製し、クロロホルム−ヘキサンから再結晶することにより、化合物1の赤色粉末を得た(収量77mg、収率33.5%)。
1H NMR(500MHz,CDCl3,60℃):δ=8.66(d,4H),8.59(m,4H),5.18(m,1H),4.90(s,1H),4.90(s,1H),4.74(s,1H),4.63(s,2H),4.25(t,2H),3.46(q,4H),3.31(q,4H),2.25(m,2H),1.86(m,4H),1.71(m,2H),1.49−1.18(m,34H),0.82(m,9H).
相転移温度(DSC):125.0℃、147.5℃
化合物1の合成過程で得られた化合物5(202mg:0.314mmol)、2−アミノ−4,6−ジクロロ−1,3,5−トリアジン(0.122mmol)、N,N−ジイソプロピルエチルアミンを1ml、乾燥した1,4−ジオキサンに混合し、窒素雰囲気下、22時間還流した。室温まで冷却後、溶媒を除去し、残渣をクロロホルムに溶解した。ろ過した混合物を2M塩酸、炭酸水素ナトリウム水溶液、水で洗い、硫酸ナトリウム上で乾燥した。真空中で溶媒を除去した。シリカゲルカラムクロマトグラフィーにより精製し、クロロホルム−ヘキサンから再結晶して化合物2の赤色粉末を得た(収量51mg、収率30.5%)。
1H NMR(500MHz, 1,1,2,2−tetrachloroethane−d2,97℃):δ=8.45(t,4H),8.31(m,4H),5.09(t,2H),5.09(t,2H),4.98(m,1H),4.62(m,1H),4.17(t,4H),3.45(m,4H),2.18(m,4H),1.87(m,8H),1.71(m,4H),1.60−1.14(t,32H),0.82(m,12H)
相転移温度(DSC):232.3℃、280℃
[実施例1]
化合物1(PML4)を用いた有機薄膜トランジスタの作製
ゲート絶縁体層となる酸化シリコン膜(厚さ300nm)を表面に有するシリコン基板を用意し、その表面にポリビニルフェノール(以下、PVPと記載)処理を行った。化合物1からなる有機薄膜は、化合物1のクロロホルム溶液(5mmol/L)からスピンコート法により基板上に形成した。次に、シャドーマスクを介して、ソース/ドレイン電極として金電極のパターンを形成し(30nm)、トップコンタクト型有機薄膜トランジスタを作成した。このときのチャネル長、チャネル幅は、それぞれ50μm、5500μmとした。前記のとおり作製した電界効果トランジスタの特性を評価した。
薄膜トランジスタの電気特性は、室温・真空下において半導体デバイスアナライザーを用いて測定した。ID(ドレイン電流)−VD(ソース−ドレイン電圧)特性は、VG(ゲート電圧)を100V、80V、60V、40V、20V、0Vにした各条件において、ドレイン電圧VDを0から100Vへと掃引して測定した。また、ID−VG特性は、VD=100VにおいてVGを0から100Vまで掃引して測定した。
(ID)1/2−VG特性の直線領域と式(1)から移動度を算出した。
上記式(1)中、Ciはゲート誘電体の静電容量(nF/cm2)、VTはしきい電圧である。電界効果移動度:μは、(ID)1/2−VG特性の傾きから式(1)を用いて求め、フィッティング直線のX切片からしきい電圧(VT)を算出した。
化合物1(PML4)+Barを用いた有機薄膜トランジスタの作製
ゲート絶縁体層となる酸化シリコン膜(厚さ300nm)を表面に有するシリコン基板を用意した。化合物1からなる有機薄膜は、化合物1(PML4)+Barのクロロホルム溶液(5mmol/L;モル比1:1)からスピンコート法により基板上に形成した。次に、シャドーマスクを介して、ソース/ドレイン電極として金電極のパターンを形成し(30nm)、トップコンタクト型有機薄膜トランジスタを作成した。このときの、チャネル長、チャネル幅は、それぞれ50μm、5500μmとした。前記のとおり作製した電界効果トランジスタの特性を評価した。
化合物1(PML4)+dCAを用いた有機薄膜トランジスタの作製
実施例2のBarに代えてdCAを用いて、実施例2と同様にして、実施例3の有機薄膜トランジスタを作成した。
化合物2(PPM4)用いた有機薄膜トランジスタの作製
実施例1のPML4に代えて、PPM4単独(実施例4)、PPM4+Bar(実施例5)、PPM4+dCA(実施例6)を用いて、実施例1と同様に有機薄膜トランジスタを作製した。その結果を図15〜17に示した。また、得られたトランジスタの性能を表2に示す。
化合物2(PPM4)用いた有機薄膜トランジスタの作製
実施例4〜6に従って、シリコン基板上に有機薄膜を形成した。得られた有機薄膜を真空中200℃において、2時間加熱処理し、冷却後、シャドーマスクを介して、ソース/ドレイン電極として金電極のパターンを形成し(30nm)、トップコンタクト型有機薄膜トランジスタを作成した。このときの、チャネル長、チャネル幅は、それぞれ50μm、5500μmとした。前記の通り作製した電界効果トランジスタの特性を評価した。この時の熱処理温度、トランジスタ性能を表4に記載する。この時得られた電流変調特性(ドレイン電流とドレイン電圧)の関係を図18〜20に示した。
化合物2(PPM4)+Barを用いたAuソース・ドレイン電極の作製
n+−Si/SiO2基板にPVP表面処理を加えた後、PPM4+BarのCHCl3溶液からスピンコートによる成膜を行った。真空下200℃で2時間アニーリングを行った後、真空蒸着によりAuソース・ドレイン電極を作製した。FET特性の測定は、半導体パラメーターアナライザーを用いて行い、薄膜構造についてはAFM、XRD、レーザー顕微鏡を用いて評価した。
12:ソース電極
13:ドレイン電極
14:ゲート電極
15:有機半導体薄膜
16:基板
Claims (7)
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載の有機薄膜の形成材料によって形成された有機薄膜であり、かつ、該薄膜がラメラ構造を有する液晶膜であることを特徴とする有機薄膜。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載の有機薄膜の形成材料を有機溶媒に溶解してなる溶液を基板に塗工し、その後、有機溶媒を除去する過程において、上記材料が水素結合によって薄膜を形成することを特徴とする有機薄膜の製造方法。
- 請求項4に記載の有機薄膜を用いてなることを特徴とする有機薄膜素子。
- 請求項6に記載の有機薄膜素子と、絶縁体層としてポリビニルフェノールを用いてなることを特徴とするn型の有機薄膜トランジスタ。
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