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JP5682416B2 - Rare earth magnet, manufacturing method thereof, and rotating machine - Google Patents

Rare earth magnet, manufacturing method thereof, and rotating machine Download PDF

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JP5682416B2 JP2011077540A JP2011077540A JP5682416B2 JP 5682416 B2 JP5682416 B2 JP 5682416B2 JP 2011077540 A JP2011077540 A JP 2011077540A JP 2011077540 A JP2011077540 A JP 2011077540A JP 5682416 B2 JP5682416 B2 JP 5682416B2
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Description

本発明は、希土類磁石及びその製造方法、並びにこの希土類磁石を備える回転機に関する。   The present invention relates to a rare earth magnet, a manufacturing method thereof, and a rotating machine including the rare earth magnet.

希土類元素を含む希土類磁石は、優れた磁力を有するものの、主成分として酸化されやすい希土類元素を含有していることから耐食性が低い傾向にある。そのため、希土類磁石は、希土類元素を含む磁石素体の表面上に樹脂やめっき等からなる保護層が設けられた構成とされることが多い。   Although a rare earth magnet containing a rare earth element has an excellent magnetic force, it contains a rare earth element that is easily oxidized as a main component, and therefore tends to have low corrosion resistance. Therefore, rare earth magnets are often configured such that a protective layer made of resin, plating, or the like is provided on the surface of a magnet body containing a rare earth element.

ところで、近年では、磁石素体そのものの耐食性が改善されていることや、希土類磁石の用途によっては従来ほどの耐食性が要求されないこと等の理由により、ある程度の耐食性を付与できる保護層を従来よりも簡便に低コストで形成することが求められる場合が増えている。   By the way, in recent years, a protective layer capable of imparting a certain degree of corrosion resistance has been provided for the reason that the corrosion resistance of the magnet body itself has been improved and that the corrosion resistance of the conventional magnet magnet is not required depending on the use of the rare earth magnet. The number of cases where it is required to be easily formed at low cost is increasing.

例えば、比較的簡便に磁石素体表面に保護層を形成し得る方法としては、磁石素体の表面に、無機質微粒子(SiO)で構成されるコロイダル溶液を塗装し、加熱固化させる方法(特許文献1)や、無機粒子を含む酸性溶液に磁石素体を接触させて、磁石素体の表面に、無機粒子と、磁石素体に含まれる金属元素の化合物を含む保護層を形成する方法(特許文献2)が知られている。このような方法によれば、比較的簡便且つ低コストで保護層を表面に備える希土類磁石を得ることが可能となる。 For example, as a method of forming a protective layer on the surface of the magnet body relatively easily, a method of coating the surface of the magnet body with a colloidal solution composed of inorganic fine particles (SiO 2 ) and solidifying by heating (patent) Document 1) or a method of forming a protective layer containing inorganic particles and a compound of a metal element contained in the magnet body on the surface of the magnet body by bringing the magnet body into contact with an acidic solution containing inorganic particles ( Patent document 2) is known. According to such a method, it is possible to obtain a rare earth magnet having a protective layer on the surface thereof at a relatively simple and low cost.

特開昭63−301506号公報JP-A 63-301506 特開2007−251061号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2007-251061

しかしながら、上記従来技術の方法により形成された保護層は、簡便な方法で形成可能であるものの、希土類磁石の錆の発生を抑制する特性を十分に有していない場合も少なくなかった。これは、本発明者らが検討を行った結果、従来の簡便な方法によって形成された保護層では、一部に欠陥が発生してしまうことが避けられず、水が付着するような環境で希土類磁石を使用した場合に、保護層の欠陥を通って水分が磁石素体に到達し、それによって磁石素体の腐食が進行するためであることが判明した。   However, although the protective layer formed by the above prior art method can be formed by a simple method, there are many cases where the protective layer does not have sufficient characteristics to suppress the occurrence of rust of the rare earth magnet. This is because, as a result of investigations by the present inventors, in a protective layer formed by a conventional simple method, it is inevitable that some defects are generated, and in an environment where water adheres. It has been found that when a rare earth magnet is used, moisture reaches the magnet body through defects in the protective layer, thereby causing corrosion of the magnet body.

そこで、本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、簡便な方法で製造することができ、しかも水が付着するような環境でも錆の発生を十分に抑制できる希土類磁石及びその製造方法を提供することを目的とする。また、本発明は、このような希土類磁石を備える回転機を提供することを目的とする。   Therefore, the present invention has been made in view of such circumstances, and a rare earth magnet that can be manufactured by a simple method and that can sufficiently suppress the generation of rust even in an environment where water adheres, and the manufacture thereof It aims to provide a method. Moreover, an object of this invention is to provide a rotary machine provided with such a rare earth magnet.

上記目的を達成するために、本発明の希土類磁石は、軽希土類元素(以下、場合により「R」と表記する。)、Fe及びBを含む磁石素体と、この磁石素体の表面上に形成された保護層とを備えており、保護層は、R、Fe、並びに、M(Mは、Si、Al、Zn、Mn、Ge、Sn、Bi、Pb、Ga、Cu、Ni及びCoからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素を示す。)を含む合金を含有するものであることを特徴とする。 In order to achieve the above object, a rare earth magnet of the present invention includes a light element (hereinafter, sometimes referred to as “ RL ”), Fe and B containing a magnet element, and a surface of the magnet element. The protective layer includes R L , Fe, and M (M is Si, Al, Zn, Mn, Ge, Sn, Bi, Pb, Ga, Cu, Ni, and And an alloy containing at least one element selected from the group consisting of Co.).

このような構成を有する本発明の希土類磁石は、後述する本発明の製造方法によって簡便に製造することができる。そして、本発明の希土類磁石は、Rを含む磁石素体の表面に、R、Fe及びMを含む合金(以下、「R−Fe−M合金」と表記する。)を含有する保護層を備えることから、水が付着するような環境で用いられたとしても錆を発生し難く、優れた耐食性を有するものとなる。その要因については必ずしも明らかではないものの、本発明者らは次のように推測している。 The rare earth magnet of the present invention having such a configuration can be easily manufactured by the manufacturing method of the present invention described later. The rare earth magnet of the present invention, the surface of the magnet body containing R L, alloys containing R L, Fe and M (hereinafter, referred to as "R L -Fe-M alloy".) Protection containing Since it is provided with a layer, even if it is used in an environment where water adheres, it is difficult to generate rust and has excellent corrosion resistance. Although the cause is not necessarily clear, the present inventors presume as follows.

すなわち、保護層に含まれるR−Fe−M合金は、磁石素体の主相を主に構成しているR、Fe及びBを含む合金よりも腐食電位が低いものである。そのため、希土類磁石が、水が付着するなどの腐食し易い環境で用いられた場合には、磁石素体よりも保護層中のR−Fe−M合金の方が腐食され易くなる。その結果、R−Fe−M合金を含む保護層を備える本発明の希土類磁石では、水が付着したとしても、磁石素体が電気化学的に保護されるので腐食し難く、それによって錆の発生が抑制されると考えられる。また、保護層中のR−Fe−M合金は、水などの付着によって腐食される際に腐食生成物を生じることが多いが、保護層が欠陥を有している場合は、この腐食生成物によって保護層の欠陥が塞がれることになる。このような作用によっても、水等が保護層を通って磁石素体に付着することが抑制され、その結果、錆が発生し難くなると考えられる。なお、作用は必ずしもこれらに限定されない。 That is, the R L —Fe—M alloy contained in the protective layer has a lower corrosion potential than an alloy containing R L , Fe, and B mainly constituting the main phase of the magnet body. For this reason, when the rare earth magnet is used in an environment that is susceptible to corrosion, such as adhesion of water, the R L —Fe—M alloy in the protective layer is more easily corroded than the magnet body. As a result, in the rare earth magnet of the present invention provided with a protective layer containing an R L -Fe-M alloy, even if water adheres, the magnet body is electrochemically protected and thus is not easily corroded. Occurrence is considered to be suppressed. In addition, the RL- Fe-M alloy in the protective layer often produces a corrosion product when corroded by adhesion of water or the like. The defect of the protective layer is blocked by the object. Also by such an effect | action, it is thought that water etc. adhere to a magnet element body through a protective layer, and as a result, it becomes difficult to generate | occur | produce rust. In addition, an effect | action is not necessarily limited to these.

本発明の希土類磁石は、保護層の表面上に、Rの酸化物を含む外部保護層を更に備えると好ましい。かかる外部保護層に含まれるRの酸化物は、既に酸化物であるため、水等による酸化に起因する腐食を生じ難いものである。したがって、このような外部保護層を、上述した保護層の表面上に更に備えることで、外部保護層よりも内部に水等の腐食物質が侵入することを抑制でき、また仮に侵入した場合でも保護層によって磁石素体の腐食を防止できるため、保護層と外部保護層との相乗効果によって一層優れた耐食性が得られるようになる。 The rare earth magnet of the present invention preferably further comprises an external protective layer containing an RL oxide on the surface of the protective layer. Since the RL oxide contained in the external protective layer is already an oxide, it is difficult to cause corrosion due to oxidation by water or the like. Therefore, by further providing such an external protective layer on the surface of the protective layer described above, it is possible to suppress the intrusion of corrosive substances such as water into the inside of the external protective layer, and even in the case of intrusion. Since corrosion of the magnet body can be prevented by the layer, a further excellent corrosion resistance can be obtained by the synergistic effect of the protective layer and the external protective layer.

さらに、本発明の希土類磁石は、保護層が、Rの酸化物を更に含むものであると好ましい。このように、保護層がR−Fe−M合金とともにRの酸化物を組み合わせて含むことで、保護層自体の腐食も効果的に抑制されるようになり、上述したようなR−Fe−M合金による磁石素体の腐食防止効果と合わせて、更に優れた耐食性が得られるようになる。また特に、保護層の表面上に、上記の外部保護層を備える場合には、保護層と外部保護層の両方がRの酸化物を含むことで、これらの層間の接着性も良好となり、耐食性が一層向上する傾向にある。 Furthermore, in the rare earth magnet of the present invention, it is preferable that the protective layer further contains an oxide of RL . In this manner, the protective layer contains a combination of oxides of R L with R L -Fe-M alloy, the corrosion of the protective layer itself becomes to be effectively suppressed, as described above R L - In addition to the corrosion prevention effect of the magnet body by the Fe-M alloy, further excellent corrosion resistance can be obtained. In particular, when the above-mentioned external protective layer is provided on the surface of the protective layer, both the protective layer and the external protective layer contain an RL oxide, so that the adhesion between these layers is also improved. Corrosion resistance tends to be further improved.

また、本発明の希土類磁石の製造方法は、R、Fe及びBを含む磁石素体と、この磁石素体の表面上に形成された、M(Mは、Si、Al、Zn、Mn、Ge、Sn、Bi、Pb、Ga、Cu、Ni及びCoからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素を示す。)の酸化物又は水酸化物を含む皮膜とを備える複合体に熱処理を行って、磁石素体の表面上に、Rと、Feと、上記Mのうちの少なくとも1種の元素とを含む合金を含有する保護層を形成させる熱処理工程を有する希土類磁石の製造方法を提供する。 Moreover, the method for producing a rare earth magnet of the present invention includes a magnet body containing R L , Fe and B, and M (M is Si, Al, Zn, Mn, And a film comprising an oxide or hydroxide of at least one element selected from the group consisting of Ge, Sn, Bi, Pb, Ga, Cu, Ni and Co. And a method for producing a rare earth magnet having a heat treatment step of forming a protective layer containing an alloy containing RL , Fe, and at least one element of M on the surface of the magnet body. .

上記本発明の希土類磁石の製造方法においては、磁石素体の表面上にMの酸化物又は水酸化物を含む皮膜が形成された複合体を熱処理し、磁石素体と皮膜との間で反応を生じさせ、それによって、磁石素体の表面上にR、Fe及びMを含む合金を含有する保護層を形成させる。このように、本発明の希土類磁石の製造方法によれば、上記複合体に対して熱処理を施すだけで保護層を形成できることから、簡便に磁石素体の表面上に保護層を形成することができる。また、本発明の製造方法により得られる希土類磁石は、Rを含む磁石素体の表面に、R−Fe−M合金を含有する保護層を備えることから、水が付着するような環境で用いられたとしても錆を発生し難く、優れた耐食性を発揮することができる。その要因は、上記本発明の希土類磁石について説明したのと同様の理由によると考えられる。 In the method for producing a rare earth magnet of the present invention, a composite in which a film containing an oxide or hydroxide of M is formed on the surface of a magnet body is heat-treated, and a reaction occurs between the magnet body and the film. Thus, a protective layer containing an alloy containing R L , Fe and M is formed on the surface of the magnet body. Thus, according to the method for producing a rare earth magnet of the present invention, a protective layer can be formed simply by subjecting the composite to a heat treatment. Therefore, a protective layer can be easily formed on the surface of the magnet body. it can. Moreover, since the rare earth magnet obtained by the manufacturing method of this invention is equipped with the protective layer containing RL- Fe-M alloy on the surface of the magnet element body containing RL , it is an environment where water adheres. Even if it is used, it does not easily generate rust and can exhibit excellent corrosion resistance. The reason is considered to be due to the same reason as described for the rare earth magnet of the present invention.

本発明の希土類磁石の製造方法においては、熱処理を、500℃以上、磁石素体の焼結温度以下の温度で行うことが好ましい。このような温度範囲で熱処理を行うことにより、R−Fe−M合金が十分に含まれており、それによって上述した効果を良好に発揮できる保護層を形成できるとともに、高い磁気特性を有する希土類磁石が得られる。 In the method for producing a rare earth magnet of the present invention, it is preferable that the heat treatment is performed at a temperature of 500 ° C. or higher and lower than the sintering temperature of the magnet body. By performing the heat treatment in such a temperature range, the R L —Fe—M alloy is sufficiently contained, thereby forming a protective layer that can exhibit the above-described effects satisfactorily, and having a high magnetic property A magnet is obtained.

また、熱処理工程の前には、Mの酸化物又は水酸化物の粒子を含み酸性を有する水溶液に磁石素体を接触させることにより、上記の複合体を形成する複合体形成工程を実施することが好ましい。このような複合体形成工程によれば、優れた耐食性を有する希土類磁石を形成するのに有利な複合体を容易に得ることが可能となる。   In addition, before the heat treatment step, the composite body forming step for forming the composite body is performed by bringing the magnet body into contact with an acidic aqueous solution containing M oxide or hydroxide particles. Is preferred. According to such a composite formation step, it is possible to easily obtain a composite that is advantageous for forming a rare earth magnet having excellent corrosion resistance.

本発明は更に、上記本発明の希土類磁石を備える回転機を提供する。本発明の回転機は、上記本発明の希土類磁石を備えることから、高湿度等の過酷な条件で使用されても、希土類磁石の錆等の発生による腐食が少ないため、長期間にわたって優れた性能を発揮することができる。   The present invention further provides a rotating machine comprising the rare earth magnet of the present invention. Since the rotating machine of the present invention includes the rare earth magnet of the present invention, even when used under severe conditions such as high humidity, the rare earth magnet has little corrosion due to the occurrence of rust, etc., and therefore has excellent performance over a long period of time. Can be demonstrated.

本発明によれば、水が付着するような環境でも錆の発生を十分に抑制できる希土類磁石及びその製造方法を提供することが可能となる。また、本発明によれば、そのような希土類磁石を備えることにより、水が付着し易い環境でも長期間に亘って優れた性能を維持することが可能な回転機を提供することが可能となる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, it becomes possible to provide the rare earth magnet which can fully suppress generation | occurrence | production of rust also in the environment where water adheres, and its manufacturing method. In addition, according to the present invention, by providing such a rare earth magnet, it is possible to provide a rotating machine capable of maintaining excellent performance over a long period of time even in an environment where water easily adheres. .

本発明の一実施形態に係る希土類磁石の斜視図である。It is a perspective view of the rare earth magnet concerning one embodiment of the present invention. 図1に示す希土類磁石のII−II線断面図である。It is the II-II sectional view taken on the line of the rare earth magnet shown in FIG. 本発明の一実施形態に係る回転機の内部構造を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the internal structure of the rotary machine which concerns on one Embodiment of this invention. 実施例1の希土類磁石の切断面の走査型電子顕微鏡(SEM)写真である。2 is a scanning electron microscope (SEM) photograph of a cut surface of the rare earth magnet of Example 1. FIG. 実施例1の希土類磁石表面のX線回折(XRD)における分析結果である。It is an analysis result in the X-ray diffraction (XRD) of the rare earth magnet surface of Example 1.

以下、図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明する。なお、図面の説明において、同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略することとする。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the description of the drawings, the same elements are denoted by the same reference numerals, and redundant descriptions are omitted.

まず、好適な実施形態に係る希土類磁石について説明する。   First, a rare earth magnet according to a preferred embodiment will be described.

図1は、本発明の一実施形態に係る希土類磁石の斜視図である。また、図2は、図1に示す希土類磁石のII−II線断面図である。図1及び2に示すように、本実施形態の希土類磁石100は、磁石素体10と、磁石素体10の表面を被覆する保護層20と、保護層20の表面を被覆する外部保護層22とを備える。   FIG. 1 is a perspective view of a rare earth magnet according to an embodiment of the present invention. 2 is a cross-sectional view of the rare earth magnet shown in FIG. 1 taken along the line II-II. As shown in FIGS. 1 and 2, a rare earth magnet 100 according to the present embodiment includes a magnet body 10, a protective layer 20 that covers the surface of the magnet body 10, and an external protective layer 22 that covers the surface of the protective layer 20. With.

保護層20は、必ずしも磁石素体10の全ての表面を被覆している必要はなく、少なくとも一部を被覆していればよいが、磁石素体10の全ての表面を被覆していることで、錆の発生を抑制する効果がより良好に得られる。また、外部保護層22についても、必ずしも保護層20の全ての表面を被覆している必要はないが、全表面を被覆していることがより好ましい。これにより、希土類磁石100による錆の発生を防止する効果が一層得られ易くなる。   The protective layer 20 does not necessarily have to cover the entire surface of the magnet body 10, and may cover at least a part of the surface, but the entire surface of the magnet body 10 is covered. The effect of suppressing the occurrence of rust can be obtained better. Further, the outer protective layer 22 need not necessarily cover the entire surface of the protective layer 20, but more preferably covers the entire surface. Thereby, the effect of preventing the generation of rust by the rare earth magnet 100 is further easily obtained.

磁石素体10は、希土類元素(R)、鉄(Fe)及びホウ素(B)を含む希土類磁石であり、主としてR−Fe−B系合金から構成される。磁石素体10は、Rとして少なくとも軽希土類元素(R)を含む。ここで、Rには、スカンジウム(Sc)、イットリウム(Y)、ランタン(La)、セリウム(Ce)、プラセオジウム(Pr)、ネオジム(Nd)、サマリウム(Sm)、及びユーロピウム(Eu)が含まれる。 The magnet body 10 is a rare earth magnet including rare earth elements (R), iron (Fe), and boron (B), and is mainly composed of an R—Fe—B alloy. The magnet body 10 includes at least a light rare earth element (R L ) as R. Here, RL includes scandium (Sc), yttrium (Y), lanthanum (La), cerium (Ce), praseodymium (Pr), neodymium (Nd), samarium (Sm), and europium (Eu). It is.

磁石素体10は、Rとして少なくともRを含有しているが、Rに加えて重希土類元素(以下、場合により「R」と表記する。)を更に含んでいてもよい。Rには、ガドリニウム(Gd)、テルビウム(Tb)、ジスプロシウム(Dy)、ホルミウム(Ho)、エルビウム(Er)、ツリウム(Tm)、イッテルビウム(Yb)、及びルテチウム(Lu)が含まれる。磁石素体10がR及びRの両方を含む場合は、それらの合計中、70モル%以上がRであると好ましく、85モル%以上がRであるとより好ましい。以下、R及びRの両方をまとめて示す場合は、「希土類元素(R)」とのみ表記することとする。 The magnet body 10 contains at least RL as R, but may further contain a heavy rare earth element (hereinafter, referred to as “ RD ” in some cases) in addition to RL . RD includes gadolinium (Gd), terbium (Tb), dysprosium (Dy), holmium (Ho), erbium (Er), thulium (Tm), ytterbium (Yb), and lutetium (Lu). If the magnet body 10 containing both R L and R D, in their sum, preferably when more than 70 mol% is in R L, and more preferably 85 mol% or more is in the R L. Hereinafter, in the case where both R L and R D are collectively shown, only “rare earth element (R)” is described.

磁石素体10は、Rとして、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm及びEuからなる群より選ばれる少なくとも一種を含むことが好ましい。特に、Rとして、Nd及びPrのうちの少なくとも一種を含むことが好ましい。これにより、希土類磁石100の残留磁束密度(Br)及び保磁力(iHc)が顕著に向上する。 The magnet body 10 preferably includes at least one selected from the group consisting of La, Ce, Pr, Nd, Pm, Sm, and Eu as RL . In particular, it is preferable that RL includes at least one of Nd and Pr. Thereby, the residual magnetic flux density (Br) and the coercive force (iHc) of the rare earth magnet 100 are remarkably improved.

磁石素体10は、実質的に正方晶系の結晶構造の主相を有し、この主相の粒界部分に希土類元素(R)の配合割合が高いRリッチ相、及びホウ素原子の配合割合が高いホウ素リッチ相を有する構造となっている。これらのRリッチ相及びホウ素リッチ相は磁性を有していない非磁性相である。このような非磁性相は、例えば、磁石素体10中に0.5〜50体積%含有されている。また、主相の粒径は、例えば、1〜100μm程度である。   The magnet body 10 has a main phase having a substantially tetragonal crystal structure, and a R-rich phase having a high mixing ratio of rare earth elements (R) and a mixing ratio of boron atoms in the grain boundary portion of the main phase. Has a structure having a high boron-rich phase. These R-rich phase and boron-rich phase are non-magnetic phases that do not have magnetism. Such a nonmagnetic phase is contained in the magnet body 10 in an amount of 0.5 to 50% by volume, for example. Moreover, the particle size of the main phase is, for example, about 1 to 100 μm.

磁石素体10においては、磁石素体10の全体に対するRの含有量が8〜40原子%であると好ましい。Rの含有量が8原子%未満である場合、主相の結晶構造がα鉄とほぼ同じ結晶構造となり、保磁力(iHc)が小さくなる傾向にある。一方、40原子%を超えるとRリッチ相が過度に形成されてしまい、残留磁束密度(Br)が小さくなる傾向にある。   In the magnet body 10, the content of R with respect to the entire magnet body 10 is preferably 8 to 40 atomic%. When the content of R is less than 8 atomic%, the crystal structure of the main phase becomes almost the same as that of α iron, and the coercive force (iHc) tends to be small. On the other hand, if it exceeds 40 atomic%, the R-rich phase is excessively formed, and the residual magnetic flux density (Br) tends to decrease.

また、Feの含有量は、磁石素体10の全体に対して42〜90原子%であると好ましい。Feの含有量が42原子%未満であるとBrが小さくなり、また、90原子%を超えるとiHcが小さくなる傾向にある。さらに、Bの含有量は2〜28原子%であると好ましい。Bの含有量が2原子%未満であると菱面体構造が形成され易く、これによりiHcが小さくなる傾向にある。また、28原子%を超えると、ホウ素リッチ相が過度に形成されて、これによりBrが小さくなる傾向にある。   Further, the Fe content is preferably 42 to 90 atomic% with respect to the entire magnet body 10. When the Fe content is less than 42 atomic%, Br decreases, and when it exceeds 90 atomic%, iHc tends to decrease. Furthermore, the B content is preferably 2 to 28 atomic%. If the B content is less than 2 atomic%, a rhombohedral structure is likely to be formed, and this tends to reduce iHc. On the other hand, if it exceeds 28 atomic%, a boron-rich phase is excessively formed, and this tends to decrease Br.

磁石素体10においては、Feの一部がコバルト(Co)で置換されていてもよい。このようにFeの一部をCoで置換すると、磁気特性を低下させることなく温度特性を向上させることができる。この場合、Coの置換量は、Feの含有量よりも大きくならない程度とすることが望ましい。Co含有量がFe含有量を超えると、磁石素体10の磁気特性が低下する傾向にある。   In the magnet body 10, a part of Fe may be substituted with cobalt (Co). Thus, if a part of Fe is replaced by Co, the temperature characteristics can be improved without deteriorating the magnetic characteristics. In this case, it is desirable that the amount of substitution of Co not be larger than the content of Fe. If the Co content exceeds the Fe content, the magnetic properties of the magnet body 10 tend to deteriorate.

磁石素体10におけるBの一部は、炭素(C)、リン(P)、硫黄(S)又は銅(Cu)等の元素により置換されていてもよい。このようにBの一部を置換することによって、磁石素体10の製造が容易となるほか、製造コストの低減も図れるようになる。このとき、これらの元素の置換量は、磁気特性に実質的に影響しない量とすることが望ましく、構成原子総量に対して4原子%以下とすることが好ましい。   A part of B in the magnet body 10 may be substituted with an element such as carbon (C), phosphorus (P), sulfur (S), or copper (Cu). Thus, by replacing a part of B, the magnet body 10 can be easily manufactured and the manufacturing cost can be reduced. At this time, the substitution amount of these elements is desirably an amount that does not substantially affect the magnetic properties, and is preferably 4 atomic% or less with respect to the total amount of constituent atoms.

さらに、iHcの向上や製造コストの低減等を図る観点から、磁石素体10は、上記の各元素のほかに、アルミニウム(Al)、チタン(Ti)、バナジウム(V)、クロム(Cr)、マンガン(Mn)、ビスマス(Bi)、ニオブ(Nb)、タンタル(Ta)、モリブデン(Mo)、タングステン(W)、アンチモン(Sb)、ゲルマニウム(Ge)、スズ(Sn)、ジルコニウム(Zr)、ニッケル(Ni)、ケイ素(Si)、ガリウム(Ga)、銅(Cu)、ハフニウム(Hf)等の元素を含んでいてもよい。これらの添加量も、磁気特性に影響を及ぼさない範囲とすることが好ましく、構成原子総量に対して10原子%以下とすることが好ましい。また、その他、不可避的に混入する成分としては、酸素(O)、窒素(N)、炭素(C)、カルシウム(Ca)等が考えられ、これらは構成原子の総量に対して3原子%程度以下の量で含有されていても構わない。   Furthermore, from the viewpoint of improving iHc and reducing manufacturing costs, the magnet body 10 includes, in addition to the above elements, aluminum (Al), titanium (Ti), vanadium (V), chromium (Cr), Manganese (Mn), bismuth (Bi), niobium (Nb), tantalum (Ta), molybdenum (Mo), tungsten (W), antimony (Sb), germanium (Ge), tin (Sn), zirconium (Zr), Elements such as nickel (Ni), silicon (Si), gallium (Ga), copper (Cu), and hafnium (Hf) may be included. These addition amounts are also preferably in a range that does not affect the magnetic properties, and are preferably 10 atomic% or less with respect to the total amount of constituent atoms. In addition, oxygen (O), nitrogen (N), carbon (C), calcium (Ca), etc. are conceivable as components inevitably mixed, and these are about 3 atomic% with respect to the total amount of constituent atoms. It may be contained in the following amounts.

保護層20は、R、Fe及びMを含む合金(R−Fe−M合金)を含有する層である。R−Fe−M合金に含まれるRとしては、磁石素体10に含まれ得るRと同じ元素が挙げられる。R−Fe−M合金に含まれるRは、磁石素体10に含まれているRの少なくとも1種と同じ元素であると好ましい。さらに、R−Fe−M合金が複数種類のRを含む場合は、それらのRの全てが磁石素体10に含まれるRと同種であるとより好ましい。保護層20中のR−Fe−M合金に含まれるRが、磁石素体10に含まれているRと同じであると、保護層20と磁石素体10との密着性が向上して耐食性が向上するほか、後述する製造方法によって希土類磁石100を簡便に製造することが可能となる。 The protective layer 20 is a layer containing an alloy containing R L , Fe, and M (R L —Fe—M alloy). The R L contained in R L -Fe-M alloy, include the same elements as R L that may be included in the magnet body 10. R L contained in R L -Fe-M alloy is preferably a same element with at least one R L contained in the magnet body 10. Furthermore, when the R L -Fe-M alloy containing a plurality of types of R L, all of those R L is more preferably a R L the same type included in the magnet body 10. Increased R L contained in R L -Fe-M alloy in the protective layer 20, if the same as R L contained in the magnet body 10, the adhesion between the protective layer 20 and the magnet body 10 is Thus, the corrosion resistance is improved, and the rare earth magnet 100 can be easily manufactured by a manufacturing method described later.

保護層20に含まれるR−Fe−M合金におけるMは、ケイ素(Si)、アルミニウム(Al)、亜鉛(Zn)、マンガン(Mn)、ゲルマニウム(Ge)、スズ(Sn)、ビスマス(Bi)、鉛(Pb)、ガリウム(Ga)、銅(Cu)、ニッケル(Ni)、コバルト(Co)、クロム(Cr)、モリブデン(Mo)、タングステン(W)、バナジウム(V)、ニオブ(Nb)、タンタル(Ta)、チタン(Ti)、ハフニウム(Hf)及びジルコニウム(Zr)からなる群より選ばれる少なくとも1種である。なお、本明細書においては、Siは金属に含まれることとする。 M in the R L —Fe—M alloy contained in the protective layer 20 is silicon (Si), aluminum (Al), zinc (Zn), manganese (Mn), germanium (Ge), tin (Sn), bismuth (Bi ), Lead (Pb), gallium (Ga), copper (Cu), nickel (Ni), cobalt (Co), chromium (Cr), molybdenum (Mo), tungsten (W), vanadium (V), niobium (Nb) ), Tantalum (Ta), titanium (Ti), hafnium (Hf), and zirconium (Zr). In this specification, Si is included in the metal.

Mとしては、500℃における酸化物の標準生成自由エネルギーが希土類元素(R)よりも高い元素が好ましい。Mとしてこのような性質を有する元素を含むことで、保護層20による錆の発生を防ぐ効果が特に良好に得られるほか、後述するような製造方法によって容易に希土類磁石100を製造することが可能となる。具体的には、Mとしては、500℃における酸化物の標準生成自由エネルギーが−250kcal以上のものが好ましく、−230kcal以上のものがより好ましい。   M is preferably an element whose standard free energy of formation of an oxide at 500 ° C. is higher than that of the rare earth element (R). By including an element having such properties as M, the effect of preventing the generation of rust by the protective layer 20 can be obtained particularly well, and the rare earth magnet 100 can be easily manufactured by a manufacturing method as described later. It becomes. Specifically, as M, a standard free energy of formation of an oxide at 500 ° C. is preferably −250 kcal or more, and more preferably −230 kcal or more.

なかでも、Mとしては、Si、Al、Zn、Mn、Ge、Sn、Bi、Pb、Ga、Cu、Ni及びCoからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素が好ましく、Si、Al、Zn及びMnからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素がより好ましく、Si、Al及びZnからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素がさらに好ましい。Mとしてこれらの元素を含むことによって、R−Fe−M合金の腐食電位が磁石素体の主相を主に構成しているR、FeおよびBを含む合金と比して極めて低くなるので、R−Fe−M合金が磁石素体よりも優先して腐食されることにより磁石素体の腐食を抑制する効果(犠牲防食効果)がさらに得られ易くなる。その結果、希土類磁石100による耐食性が一層向上する。また、Mが特にSiである場合は、R−Fe−M合金の腐食により生じる腐食生成物の安定性が高い傾向にあり、このような腐食生成物が生じることによる耐食性の向上効果も一層高くなる。 Among them, M is preferably at least one element selected from the group consisting of Si, Al, Zn, Mn, Ge, Sn, Bi, Pb, Ga, Cu, Ni and Co, and includes Si, Al, Zn and At least one element selected from the group consisting of Mn is more preferable, and at least one element selected from the group consisting of Si, Al, and Zn is more preferable. By including these elements as M, the corrosion potential of the R L -Fe-M alloy becomes extremely low as compared with an alloy containing R L , Fe and B which mainly constitutes the main phase of the magnet body. Therefore, when the R L —Fe—M alloy is preferentially corroded over the magnet body, an effect of suppressing the corrosion of the magnet body (sacrificial anticorrosive effect) is further easily obtained. As a result, the corrosion resistance of the rare earth magnet 100 is further improved. Further, when M is particularly Si, the stability of the corrosion products generated by the corrosion of the R L -Fe-M alloy tends to be high, and the effect of improving the corrosion resistance due to the generation of such corrosion products is further increased. Get higher.

保護層20中のR−Fe−M合金は、例えば、R Fe14−x(x≧1)で表される組成の金属間化合物から構成される。保護層は、このようなR−Fe−M合金によって構成される正方晶系の結晶構造を有する相を有することが好ましい。このような相を有することで、保護層30による上述したような犠牲防食効果が得られ易くなり、高い耐食性が得られるようになる。 The R L —Fe—M alloy in the protective layer 20 is made of, for example, an intermetallic compound having a composition represented by R L 6 Fe 14-x M x (x ≧ 1). The protective layer preferably has a phase having a tetragonal crystal structure constituted by such an R L —Fe—M alloy. By having such a phase, the sacrificial anticorrosive effect as described above by the protective layer 30 can be easily obtained, and high corrosion resistance can be obtained.

なお、R−Fe−M合金は、主としてR、Fe及びMを含む合金であればよく、これらの元素の一部が他の元素で置換されていてもよい。ただし、保護層20による錆の防止効果を良好に得るためには、各元素の置換量は、それぞれ50原子%以下であることが好ましい。例えば、R Fe14−xの場合、Feの一部がCoに置換されていてもよい。また、Rの一部が重希土類元素(R)に置換されていてもよいが、R−Fe−M合金の腐食電位の観点からは、保護層20は、Rを含まないことが好ましい。 Note that the R L -Fe-M alloy may be an alloy mainly containing R L , Fe, and M, and some of these elements may be substituted with other elements. However, in order to obtain the effect of preventing rust by the protective layer 20 satisfactorily, the substitution amount of each element is preferably 50 atomic% or less. For example, in the case of R L 6 Fe 14-x M x , part of Fe may be substituted with Co. Moreover, although a part of RL may be substituted with heavy rare earth elements ( RD ), from the viewpoint of the corrosion potential of the RL- Fe-M alloy, the protective layer 20 does not contain RD. Is preferred.

保護層20は、上記のR−Fe−M合金以外に、他の化合物を含んでいてもよい。例えば、保護層20は、R−Fe−M合金に加えて、Rの酸化物を更に含むと好ましい。Rの酸化物としては、R が挙げられる。保護層20に含まれるRの酸化物におけるRとしては、磁石素体10に含まれ得るRと同じ元素が挙げられ、磁石素体10に含まれているRの少なくとも1種と同じ元素であると好ましい。Rの酸化物を構成するRが複数種類含まれる場合は、その全てが磁石素体10に含まれているRと同じ元素であると好ましい。 The protective layer 20 may contain other compounds in addition to the above R L —Fe—M alloy. For example, it is preferable that the protective layer 20 further includes an RL oxide in addition to the RL- Fe-M alloy. The oxide of R L, include R L 2 O 3. The R L in the oxide of R L contained in the protective layer 20, include the same elements as R L that may be included in the magnet body 10, at least one R L contained in the magnet body 10 The same element is preferable. If R L constituting the oxide of R L contains multiple types, if it is the same element as R L all of which are included in the magnet body 10 preferably.

保護層20が、磁石素体10に含まれているのと同じRの酸化物を含むことにより、磁石素体10と保護層20との密着性が向上するほか、保護層20と外部保護層22との密着性も向上し、耐食性が更に向上する傾向にある。ただし、R−Fe−M合金による犠牲防食効果を十分に得るために、保護層20におけるR−Fe−M合金の含有割合は、10質量%以上であることが好ましい。 When the protective layer 20 contains the same RL oxide as that contained in the magnet body 10, the adhesion between the magnet body 10 and the protective layer 20 is improved, and the protective layer 20 and the external protection are protected. The adhesion with the layer 22 is also improved, and the corrosion resistance tends to be further improved. However, in order to sufficiently obtain the sacrificial anticorrosive effect of the R—Fe—M alloy, the content ratio of the R—Fe—M alloy in the protective layer 20 is preferably 10% by mass or more.

保護層20の厚み(図2中、D1で示す。)は、0.1〜50μmであることが好ましい。保護層20の厚みD1がこのような範囲内にあることで、希土類磁石100の耐食性及び磁石特性が良好なものとなり易い。   The thickness of the protective layer 20 (indicated by D1 in FIG. 2) is preferably 0.1 to 50 μm. When the thickness D1 of the protective layer 20 is within such a range, the corrosion resistance and magnet characteristics of the rare earth magnet 100 are likely to be good.

外部保護層22は、Rの酸化物を含み、Rの酸化物のみから形成されると好ましい。かかる酸化物としては、例えば、R が挙げられる。外部保護層22中のR におけるRとしては、磁石素体10に含まれ得るRと同じ元素が挙げられ、磁石素体10に含まれているRの少なくとも1種と同じ元素であると好ましい。外部保護層22中に、Rの酸化物を構成するRが複数種類含まれる場合は、その全てが磁石素体10に含まれているRと同じ元素であると好ましい。このように、外部保護層22が、磁石素体10に含まれているものと同じRを含有することにより、保護層20との密着性が向上し、耐食性が更に向上する傾向にある。 Outer protective layer 22 includes an oxide of R L, when it is formed of only an oxide of R L preferred. An example of such an oxide is R L 2 O 3 . As R L is the R L 2 O 3 in the outer protective layer 22, include the same elements as R L that may be included in the magnet body 10, at least one R L contained in the magnet body 10 The same element is preferable. In the external protective layer 22, if R L constituting the oxide of R L contains multiple types, if it is the same element as R L all of which are included in the magnet body 10 preferably. Thus, when the external protective layer 22 contains the same RL as that contained in the magnet body 10, the adhesion with the protective layer 20 is improved and the corrosion resistance tends to be further improved.

外部保護層22の厚み(図2中、D2で示す。)は、0.1〜5μmであることが好ましい。外部保護層22の厚みD2がこのような範囲内にあることで、希土類磁石100の耐食性及び磁石特性が良好なものとなり易い。   The thickness of the external protective layer 22 (indicated by D2 in FIG. 2) is preferably 0.1 to 5 μm. When the thickness D2 of the external protective layer 22 is within such a range, the corrosion resistance and magnet characteristics of the rare earth magnet 100 are likely to be good.

希土類磁石100において、磁石素体10と保護層20の界面、及び保護層20と外部保護層22の界面は、磁石素体10と、保護層20と、外部保護層22との間で元素組成に差があるため、例えば、電子顕微鏡写真の目視によって判定することができる。   In the rare earth magnet 100, the interface between the magnet body 10 and the protective layer 20 and the interface between the protective layer 20 and the external protective layer 22 are elemental compositions between the magnet body 10, the protective layer 20, and the external protective layer 22. Therefore, it can be determined by visual observation of an electron micrograph.

また、保護層20および外部保護層22中に、上記の合金や酸化物が含まれることは、例えば、電子線マイクロアナライザー(Electron Probe Micro Analyzer:EPMA)、X線光電子分光(X−ray Photoelectron Spectroscopy:XPS)、オージェ電子分光(Auger Electron Spectroscopy:AES)又はエネルギー分散型蛍光X線分光(Energy Dispersive x−ray Spectroscopy:EDS)等の公知の組成分析法、および、X線回折(X−ray Diffraction:XRD)、又は電子線回折(Electron Diffraction)等の公知の構造解析法により、分析を行うことによって確認することが可能である。   Further, the inclusion of the above-described alloys and oxides in the protective layer 20 and the external protective layer 22 means that, for example, an electron probe microanalyzer (EPMA), an X-ray photoelectron spectroscopy (X-ray photoelectron spectroscopy). : XPS), known compositional analysis methods such as Auger Electron Spectroscopy (AES) or energy dispersive X-ray Spectroscopy (EDS), and X-ray diffraction (X-ray Diffra) : XRD) or confirmed by performing analysis by a known structural analysis method such as electron diffraction (Electron Diffraction). Rukoto is possible.

希土類磁石100の寸法は、特に限定されないが、例えば、縦の長さが1〜200mm、横の長さが1〜200mm、高さが1〜30mm程度である。なお、希土類磁石100の形状は、図1及び2に示す直方体に限定されず、リング状や円板状であってもよい。   Although the dimension of the rare earth magnet 100 is not specifically limited, For example, vertical length is 1-200 mm, horizontal length is 1-200 mm, and height is about 1-30 mm. In addition, the shape of the rare earth magnet 100 is not limited to the rectangular parallelepiped shown in FIGS. 1 and 2, and may be a ring shape or a disk shape.

本発明の希土類磁石は、上述した希土類磁石100の構造に限定されず、適宜変更することが可能である。例えば、希土類磁石は、外部保護層22の表面上に、希土類磁石100を保護するための他の層を更に備えていてもよい。このような層としては、例えば、樹脂層やめっき層等が挙げられる。   The rare earth magnet of the present invention is not limited to the structure of the rare earth magnet 100 described above, and can be changed as appropriate. For example, the rare earth magnet may further include another layer for protecting the rare earth magnet 100 on the surface of the outer protective layer 22. Examples of such a layer include a resin layer and a plating layer.

また、希土類磁石は、必ずしも上述した外部保護層22を備えていなくてもよい。外部保護層22を備えていなくても、磁石素体10の表面上に保護層20を備えていることで、保護層20中のR−Fe−M合金による犠牲防食効果や、さらにはR−Fe−M合金から生じた腐食生成物により保護層20の欠陥が修復される効果によって、希土類磁石100は十分に錆を発生し難くなるので、高い耐食性を発揮することができる。 Moreover, the rare earth magnet does not necessarily have to include the above-described external protective layer 22. Even if the external protective layer 22 is not provided, by providing the protective layer 20 on the surface of the magnet body 10, the sacrificial anticorrosive effect by the RL- Fe-M alloy in the protective layer 20, and further R Since the rare earth magnet 100 does not easily generate rust due to the effect of repairing the defects of the protective layer 20 by the corrosion product generated from the L— Fe—M alloy, high corrosion resistance can be exhibited.

次に、上述した希土類磁石100の製造方法の好適な実施形態について説明する。   Next, a preferred embodiment of the method for manufacturing the rare earth magnet 100 described above will be described.

本実施形態に係る希土類磁石の製造方法は、R、Fe及びBを含む磁石素体と、Mの酸化物又は水酸化物を含む皮膜とを備える複合体に熱処理を行って、磁石素体の表面上に、R、Fe、並びに、Mを含む合金を含有する保護層を形成させる熱処理工程を有する。 The method for producing a rare earth magnet according to the present embodiment includes performing heat treatment on a composite body including a magnet body including R L , Fe, and B and a film including an oxide or hydroxide of M to obtain a magnet body. A heat treatment step of forming a protective layer containing an alloy containing R L , Fe, and M on the surface of

本実施形態の希土類磁石の製造方法では、まず、R、Fe及びBを含む磁石素体10を準備する。 In the method for producing a rare earth magnet of the present embodiment, first, a magnet body 10 including R L , Fe, and B is prepared.

、Fe及びBを含む磁石素体10は、例えば、粉末冶金法によって製造することができる。この方法においては、まず、鋳造法やストリップキャスト法等の公知の合金製造プロセスにより所望の組成を有する合金を作製する。次に、この合金をジョークラッシャー、ブラウンミル、スタンプミル等の粗粉砕機を用いて10〜100μmの粒径となるように粉砕(粗粉砕)した後、更にジェットミル、アトライター等の微粉砕機により0.5〜5μmの粒径となるように微粉砕する。それから、こうして得られた粉末を、好ましくは600kA/m以上の磁場強度を有する磁場のなかで、0.5〜5t/cmの圧力で成形して、成形体を得る。成形方法としては、一軸加圧法又はCIPなどの等方加圧法のいずれを用いてもよい。 The magnet body 10 including R L , Fe, and B can be manufactured by, for example, a powder metallurgy method. In this method, first, an alloy having a desired composition is manufactured by a known alloy manufacturing process such as a casting method or a strip casting method. Next, this alloy is pulverized (coarse pulverization) to a particle size of 10 to 100 μm using a coarse pulverizer such as a jaw crusher, a brown mill, a stamp mill, and then finely pulverized using a jet mill, an attritor or the like. Finely pulverize to a particle size of 0.5-5 μm with a machine. Then, the powder thus obtained is molded at a pressure of 0.5 to 5 t / cm 2 in a magnetic field having a magnetic field strength of preferably 600 kA / m or more to obtain a molded body. As the molding method, either a uniaxial pressing method or an isotropic pressing method such as CIP may be used.

その後、得られた成形体を、好ましくは不活性ガス雰囲気又は真空中、1000〜1200℃、0.5〜100時間の条件で焼成する。焼成は、複数回行ってもよい。焼成後、得られた焼結体を急冷してもよい。   Thereafter, the obtained molded body is preferably fired in an inert gas atmosphere or in a vacuum at 1000 to 1200 ° C. for 0.5 to 100 hours. Firing may be performed a plurality of times. After firing, the obtained sintered body may be quenched.

さらに、この焼結体に対して時効処理を施すことが好ましい。時効処理では、焼結体を450〜950℃程度で加熱すればよい。また、時効処理では、焼結体を0.1〜100時間程度加熱すればよい。時効処理は不活性ガス雰囲気中で行えばよい。このような時効処理を行うことにより、希土類磁石の保磁力が更に向上する。なお、時効処理は、多段階の加熱によって施してもよい。例えば、2段階の加熱からなる時効処理では、1段階目で焼結体を700℃以上焼成温度未満の温度で0.1〜50時間加熱すればよい。2段階目で焼結体を450〜700℃で0.1〜100時間加熱すればよい。   Furthermore, it is preferable to apply an aging treatment to the sintered body. In the aging treatment, the sintered body may be heated at about 450 to 950 ° C. In the aging treatment, the sintered body may be heated for about 0.1 to 100 hours. The aging treatment may be performed in an inert gas atmosphere. By performing such an aging treatment, the coercive force of the rare earth magnet is further improved. The aging treatment may be performed by multi-stage heating. For example, in an aging treatment comprising two stages of heating, the sintered body may be heated at a temperature of 700 ° C. or higher and lower than the firing temperature for 0.1 to 50 hours in the first stage. What is necessary is just to heat a sintered compact at 450-700 degreeC for 0.1 to 100 hours at the 2nd step.

以上の処理により得られた焼結体(磁石素体10)は、必要に応じて、所望の形状に加工してもよい。加工方法は、例えば、切断、研削などの形状加工や、バレル研磨などの面取り加工などが挙げられる。   The sintered body (magnet body 10) obtained by the above processing may be processed into a desired shape as necessary. Examples of the processing method include shape processing such as cutting and grinding, and chamfering processing such as barrel polishing.

このようにして得られた磁石素体10に対しては、表面の凹凸や表面に付着した不純物等を除去するため、適宜、前処理を施してもよい。前処理は、上記加工前の焼結体に施してもよいし、加工後の焼結体に施してもよい。前処理としては、例えば、酸溶液を用いた酸洗浄(エッチング)、アルカリ溶液を用いた洗浄、ショットブラスト等が挙げられ、なかでも酸洗浄が好ましい。酸洗浄によれば、磁石素体10の表面の凹凸や不純物を溶解除去して平滑な表面を有する磁石素体10が得られ易くなり、後述する保護層や外部保護層の形成を効率よく行える。   The magnet body 10 obtained in this way may be appropriately subjected to pretreatment in order to remove surface irregularities and impurities attached to the surface. The pretreatment may be performed on the sintered body before processing or may be performed on the sintered body after processing. Examples of the pretreatment include acid cleaning (etching) using an acid solution, cleaning using an alkaline solution, shot blasting, and the like, and acid cleaning is particularly preferable. According to the acid cleaning, it is easy to obtain the magnet body 10 having a smooth surface by dissolving and removing the irregularities and impurities on the surface of the magnet body 10, and it is possible to efficiently form a protective layer and an external protective layer described later. .

このような酸洗浄による焼結体(磁石素体10)の表面の溶解量は、表面から平均厚みで5μm以上、好ましくは10〜15μmとするのが好適である。こうすれば、磁石素体の表面の加工による変質層や酸化層をほぼ完全に除去することができ、後述する保護層や外部保護層の形成工程において、所望の保護層や外部保護層をより精度よく形成することができる。   The amount of dissolution of the surface of the sintered body (magnet body 10) by such acid cleaning is preferably 5 μm or more, preferably 10 to 15 μm in average thickness from the surface. In this way, the altered layer and the oxide layer due to the processing of the surface of the magnet body can be almost completely removed, and in the formation process of the protective layer and the external protective layer described later, the desired protective layer and the external protective layer are more It can be formed with high accuracy.

また、磁石素体10には、上記酸洗浄後、水洗により酸洗浄に用いた処理液を除去した後、表面に残存した少量の未溶解物や残留酸成分を完全に除去するために、超音波を使用した洗浄を実施することが好ましい。この超音波洗浄は、例えば、磁石素体10の表面に錆を発生させる塩素イオンが極めて少ない純水中や、アルカリ性溶液中等で行うことができる。この超音波洗浄後には、必要に応じて水洗を行ってもよい。   In addition, after removing the treatment solution used for the acid washing by washing with water after the above acid washing, the magnet body 10 has an ultra-thin body in order to completely remove a small amount of undissolved substances and residual acid components remaining on the surface. It is preferable to perform cleaning using sonic waves. This ultrasonic cleaning can be performed, for example, in pure water or an alkaline solution with very little chlorine ions that generate rust on the surface of the magnet body 10. After the ultrasonic cleaning, water cleaning may be performed as necessary.

次に、上述した磁石素体10の表面に、Mの酸化物又は水酸化物を含む皮膜を形成して、複合体を得る(複合体形成工程)。Mは、希土類磁石100の保護層20に含まれる元素Mと同じである。Mの酸化物、水酸化物としては、例えば、シリカ(SiO)、アルミナ(Al)、オキシ水酸化アルミニウム(AlOOH)、水酸化アルミニウム(Al(OH))、酸化亜鉛(ZnO)等が挙げられる。 Next, a film containing M oxide or hydroxide is formed on the surface of the magnet body 10 described above to obtain a composite (composite forming step). M is the same as the element M contained in the protective layer 20 of the rare earth magnet 100. Examples of the oxide and hydroxide of M include silica (SiO 2 ), alumina (Al 2 O 3 ), aluminum oxyhydroxide (AlOOH), aluminum hydroxide (Al (OH) 3 ), and zinc oxide (ZnO). ) And the like.

Mの酸化物又は水酸化物を含む皮膜を磁石素体10の表面に形成する手法としては、スパッタ法、イオンプレーティング法などの気相法や、Mのアルコキシド溶液を塗布する方法、Mの酸化物又は水酸化物の粒子の分散液を塗布する方法、Mの酸化物又は水酸化物の粒子を含む酸性の水溶液を磁石素体10に接触させる方法などが挙げられる。   As a method of forming a film containing M oxide or hydroxide on the surface of the magnet body 10, a gas phase method such as sputtering or ion plating, a method of applying an M alkoxide solution, Examples thereof include a method of applying a dispersion of oxide or hydroxide particles, and a method of bringing an acidic aqueous solution containing M oxide or hydroxide particles into contact with the magnet body 10.

これらのなかでも、Mの酸化物又は水酸化物の粒子を含む酸性の水溶液(以下、「処理液」という。)を磁石素体10に接触させる方法が好ましい。この手法によれば、磁石素体10を酸性を有する処理液に接触させたことで生じる磁石素体10の溶解を駆動力として、処理液の接触した磁石表面10の全領域で均一にMの酸化物又は水酸化物の粒子を含む皮膜を析出させることができる。そのため、この手法によると、簡便に膜厚の均一性が高い皮膜を得ることができ、その結果、膜厚の均一性が高く、優れた耐食性を発揮し得る保護層を形成することが可能となる。   Among these, a method in which an acidic aqueous solution containing M oxide or hydroxide particles (hereinafter referred to as “treatment liquid”) is brought into contact with the magnet body 10 is preferable. According to this method, the dissolution of the magnet body 10 caused by bringing the magnet body 10 into contact with the acidic processing liquid as a driving force makes M uniformly in the entire region of the magnet surface 10 in contact with the processing liquid. A film containing oxide or hydroxide particles can be deposited. Therefore, according to this method, it is possible to easily obtain a film having a high film thickness uniformity, and as a result, it is possible to form a protective layer that has a high film thickness uniformity and can exhibit excellent corrosion resistance. Become.

処理液は、例えば、Mの酸化物又は水酸化物の粒子と、硝酸等の酸化性を有する酸と、水とを混合して得られ、pH0〜6の酸性を有することが好ましい。このような酸性を有する処理液によれば、磁石素体10の溶解が良好に生じることから、皮膜を形成し易い傾向にある。また、Mの酸化物又は水酸化物の粒子の平均粒径は、1〜1000nmであると好ましく、5〜100nmであるとより好ましい。このような粒径を有するMの酸化物又は水酸化物の粒子を用いることによって、処理液中の粒子の分散性が良好となり、より膜厚の均一性が高い皮膜を形成することが可能となる。   The treatment liquid is obtained, for example, by mixing M oxide or hydroxide particles, an acid having an oxidizing property such as nitric acid, and water, and preferably has an acidity of pH 0 to 6. According to the treatment liquid having such acidity, the magnet element body 10 is favorably dissolved, so that a film tends to be easily formed. The average particle diameter of the M oxide or hydroxide particles is preferably 1-1000 nm, and more preferably 5-100 nm. By using M oxide or hydroxide particles having such a particle size, the dispersibility of the particles in the treatment liquid becomes good, and it is possible to form a film with higher uniformity of film thickness. Become.

処理液を磁石素体10に接触させる方法としては、磁石素体10に対して処理液を塗布又は噴霧したり、或いは、処理液中に磁石素体10を浸漬したりする方法が挙げられる。なかでも、処理液中に磁石素体10を浸漬させる方法が、均一な膜厚を有する皮膜を形成し易いことから、より好ましい。   Examples of the method of bringing the treatment liquid into contact with the magnet body 10 include a method of applying or spraying the treatment liquid on the magnet body 10 or immersing the magnet body 10 in the treatment liquid. Among these, the method of immersing the magnet body 10 in the treatment liquid is more preferable because a film having a uniform film thickness can be easily formed.

Mの酸化物又は水酸化物を含む皮膜の膜厚は、0.1μm〜30μmの範囲が好ましい。0.1μm以下では、薄すぎて十分な耐食性を有する保護層を形成できないおそれがある。また、30μmを超えると、保護層が厚くなり過ぎ、寸法精度よく希土類磁石100を製造することが困難となるおそれがある。   The film thickness of the film containing M oxide or hydroxide is preferably in the range of 0.1 μm to 30 μm. If it is 0.1 μm or less, there is a possibility that a protective layer having sufficient corrosion resistance cannot be formed because it is too thin. On the other hand, if the thickness exceeds 30 μm, the protective layer becomes too thick, and it may be difficult to manufacture the rare earth magnet 100 with high dimensional accuracy.

次に、熱処理工程において、磁石素体10の表面上に上記の皮膜が形成された複合体に熱処理を施して、磁石素体10の表面上に、R、Fe及びMを含む合金(R−Fe−M合金)を含有する保護層20及び外部保護層22を形成させる。 Next, in the heat treatment step, the composite in which the above-described film is formed on the surface of the magnet body 10 is subjected to heat treatment, and an alloy containing R L , Fe and M on the surface of the magnet body 10 (R The protective layer 20 and the external protective layer 22 containing ( L— Fe—M alloy) are formed.

このような熱処理においては、まず、磁石素体10のRリッチ相が溶融すると考えられる。ここで、R(Rや必要に応じて含まれるR)は、複合体の表面に形成された皮膜中に含まれるMよりも酸化され易い。そのため、熱処理により溶融したRリッチ相が皮膜中のMの酸化物又は水酸化物に接触すると、Mの酸化物や水酸化物がRリッチ相による還元反応を受け、その結果、Mの酸化物又は水酸化物を含む皮膜が形成されていた部分にR−Fe−M合金が生じて保護層20が形成されると考えられる。そして、このような反応によってRリッチ相の酸化が多く生じることで、保護層20の表面上に、更にRの酸化物を含む外部保護層22が形成されると考えられる。なお、保護層20及び外部保護層22の形成メカニズムは必ずしもこれに限定されない。 In such heat treatment, it is considered that the R-rich phase of the magnet body 10 is first melted. Here, R (R L and R D included as necessary) is more easily oxidized than M contained in the film formed on the surface of the composite. Therefore, when the R-rich phase melted by the heat treatment contacts the M oxide or hydroxide in the film, the M oxide or hydroxide undergoes a reduction reaction by the R-rich phase, and as a result, the M oxide Alternatively, it is considered that the R L —Fe—M alloy is generated in the portion where the film containing hydroxide is formed, and the protective layer 20 is formed. Then, it is considered that an external protective layer 22 further containing an oxide of RL is formed on the surface of the protective layer 20 due to a large amount of oxidation of the R-rich phase caused by such a reaction. In addition, the formation mechanism of the protective layer 20 and the external protective layer 22 is not necessarily limited to this.

Mとしては、500℃における酸化物の標準生成自由エネルギーが希土類元素(R)よりも高い元素が好ましく、Si、Al、Zn及びMnからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素がより好ましく、Si、Al及びZnからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素が更に好ましい。これらから選択されるMの酸化物又は水酸化物によれば、上述した還元反応が生じ易くなるため、保護層20及び外部保護層22が容易に形成されるようになる。   M is preferably an element whose standard free energy of formation of oxide at 500 ° C. is higher than that of the rare earth element (R), more preferably at least one element selected from the group consisting of Si, Al, Zn and Mn. More preferred is at least one element selected from the group consisting of Al and Zn. According to the oxide or hydroxide of M selected from these, the above-described reduction reaction easily occurs, so that the protective layer 20 and the external protective layer 22 are easily formed.

熱処理の温度は、500℃以上、磁石素体の焼結温度以下の温度とすることが好ましい。この温度領域で熱処理を施すことで、磁石素体10内の粒界部に存在するRリッチ相が溶融し易くなり、上述した還元反応による保護層20や外部保護層22の形成に有利となる。熱処理温度が低すぎる場合、Rリッチ相と金属酸化物の反応が十分に起こらず、耐食性に優れた保護層20や外部保護層22が形成されにくい傾向がある。また、熱処理温度が高すぎる場合、磁石素体10の磁気特性が劣化する傾向がある。優れた特性を有する保護層20や外部保護層22を形成するために、熱処理温度は、500〜900℃とすることがより好ましい。   The temperature of the heat treatment is preferably 500 ° C. or more and not more than the sintering temperature of the magnet body. By performing the heat treatment in this temperature range, the R-rich phase existing at the grain boundary in the magnet body 10 is easily melted, which is advantageous for the formation of the protective layer 20 and the external protective layer 22 by the above-described reduction reaction. . When the heat treatment temperature is too low, the reaction between the R-rich phase and the metal oxide does not sufficiently occur, and the protective layer 20 and the external protective layer 22 having excellent corrosion resistance tend to be hardly formed. Moreover, when the heat treatment temperature is too high, the magnetic properties of the magnet body 10 tend to deteriorate. In order to form the protective layer 20 and the external protective layer 22 having excellent characteristics, the heat treatment temperature is more preferably 500 to 900 ° C.

また、熱処理の時間は、10〜600分であることが好ましい。熱処理時間が短すぎる場合、熱処理時間が上記の数値範囲内である場合に比べて、十分な保護層が形成されにくい傾向がある。熱処理時間が長すぎる場合、熱処理時間が上記の数値範囲内である場合に比べて、磁気特性が劣化しやすい傾向がある。   The heat treatment time is preferably 10 to 600 minutes. When the heat treatment time is too short, there is a tendency that a sufficient protective layer is hardly formed as compared with the case where the heat treatment time is within the above numerical range. When the heat treatment time is too long, the magnetic properties tend to deteriorate as compared with the case where the heat treatment time is within the above numerical range.

熱処理は、アルゴンなどの不活性ガス雰囲気中、または真空中などの低酸素雰囲気中で行うことが好ましく、具体的には酸素分圧10Pa以下の雰囲気が好ましい。熱処理時の酸素分圧が高くなると、酸化により磁気特性が劣化する傾向がある。   The heat treatment is preferably performed in an inert gas atmosphere such as argon or in a low-oxygen atmosphere such as vacuum, and specifically, an atmosphere having an oxygen partial pressure of 10 Pa or less is preferable. When the oxygen partial pressure during heat treatment increases, the magnetic properties tend to deteriorate due to oxidation.

なお、本実施形態の製造方法により得られる希土類磁石100は、必ずしも保護層20及び外部保護層22の両方を備える必要はなく、少なくとも保護層20を備えていれば、錆の発生を抑制する効果を十分に発揮することができる。本実施形態の製造方法においては、例えば、熱処理の温度条件や時間、或いは熱処理を行う雰囲気を調整することにより、上述したような溶融したRリッチ相による還元反応が生じる程度を制御することができるので、上記の条件を適宜調整することで、目的に応じて保護層20のみを形成させることや、保護層20と外部保護層22の両方を形成させることが可能である。   In addition, the rare earth magnet 100 obtained by the manufacturing method of the present embodiment does not necessarily include both the protective layer 20 and the external protective layer 22, and if at least the protective layer 20 is provided, the effect of suppressing the generation of rust. Can be fully demonstrated. In the manufacturing method of the present embodiment, for example, by adjusting the temperature condition and time of the heat treatment or the atmosphere in which the heat treatment is performed, the extent of the reduction reaction caused by the molten R-rich phase as described above can be controlled. Therefore, by appropriately adjusting the above conditions, it is possible to form only the protective layer 20 according to the purpose, or to form both the protective layer 20 and the external protective layer 22.

上述した熱処理により、磁石素体10の表面上に保護層20及び外部保護層22が形成された希土類磁石100が得られるが、この希土類磁石100に対しては、上述した磁石素体10の製造時と同様の時効処理を施すことが好ましい。時効処理により、希土類磁石100の保磁力が更に向上する傾向にある。時効処理温度は、上記熱処理工程における熱処理温度以下であることが好ましい。このような時効処理において昇温させた希土類磁石100は、さらに、30℃/分以上の冷却速度で急冷することが好ましい。これによって、希土類磁石100の磁気特性が向上し易くなる。   The rare earth magnet 100 in which the protective layer 20 and the external protective layer 22 are formed on the surface of the magnet body 10 is obtained by the heat treatment described above. For the rare earth magnet 100, the magnet body 10 described above is manufactured. It is preferable to apply an aging treatment similar to the time. Due to the aging treatment, the coercive force of the rare earth magnet 100 tends to be further improved. The aging treatment temperature is preferably not more than the heat treatment temperature in the heat treatment step. It is preferable that the rare earth magnet 100 heated in such an aging treatment is further rapidly cooled at a cooling rate of 30 ° C./min or more. Thereby, the magnetic characteristics of the rare earth magnet 100 are easily improved.

以上のような製造方法によって、R、Fe及びBを含む磁石素体10と、この磁石素体10の表面上に形成されたR−Fe−M合金を含む保護層20と、保護層20の表面上に形成されたRの酸化物を含む外部保護層22を備える希土類磁石100が得られる。このようにして得られた希土類磁石100は、水が付着するような環境下においても、錆の発生による腐食を生じ難く、高い耐食性を有するため、優れた磁気特性を長期間に亘って維持することができる。したがって、このような特性を有する希土類磁石は、例えば、優れた耐食性が求められる回転機用の永久磁石として好適に用いられる。 By the manufacturing method as described above, the magnet body 10 containing R L , Fe and B, the protective layer 20 containing the R L -Fe-M alloy formed on the surface of the magnet body 10, and the protective layer As a result, the rare earth magnet 100 including the outer protective layer 22 including the RL oxide formed on the surface of the RL 20 is obtained. The rare earth magnet 100 thus obtained is resistant to corrosion due to the generation of rust and has high corrosion resistance even in an environment where water adheres, and thus maintains excellent magnetic properties over a long period of time. be able to. Therefore, the rare earth magnet having such characteristics is suitably used as a permanent magnet for a rotating machine that requires excellent corrosion resistance, for example.

次に、好適な実施形態に係る回転機について説明する。   Next, a rotating machine according to a preferred embodiment will be described.

図3は、本実施形態の回転機(永久磁石回転機)の内部構造を示す説明図である。本実施形態の回転機200は、永久磁石同期回転機(SPM回転機)であり、円筒状のロータ50と、このロータ50の内側に配置されるステータ30とを備えている。ロータ50には、円筒状のコア52と円筒状のコア52の内周面に沿ってN極とS極が交互になるように複数の希土類磁石100が設けられている。ステータ30は、内周面に沿って設けられた複数のコイル32を有している。このコイル32と希土類磁石100とは互いに対向するように配置されている。   FIG. 3 is an explanatory diagram showing the internal structure of the rotating machine (permanent magnet rotating machine) of the present embodiment. The rotating machine 200 of this embodiment is a permanent magnet synchronous rotating machine (SPM rotating machine), and includes a cylindrical rotor 50 and a stator 30 disposed inside the rotor 50. The rotor 50 is provided with a plurality of rare earth magnets 100 so that the north pole and the south pole are alternately arranged along the inner peripheral surface of the cylindrical core 52 and the cylindrical core 52. The stator 30 has a plurality of coils 32 provided along the inner peripheral surface. The coil 32 and the rare earth magnet 100 are arranged to face each other.

回転機200は、ロータ50に、上述した実施形態に係る希土類磁石100を備える。希土類磁石100は耐食性に優れるため、経時的な磁気特性の低下を十分に抑制することができる。したがって、回転機200は優れた性能を長時間に亘って維持することができる。回転機200は、希土類磁石100以外の部分について、通常の回転機部品を用いて通常の方法によって製造することができる。   The rotating machine 200 includes the rare earth magnet 100 according to the above-described embodiment on the rotor 50. Since the rare earth magnet 100 is excellent in corrosion resistance, it is possible to sufficiently suppress a decrease in magnetic characteristics over time. Therefore, the rotating machine 200 can maintain excellent performance for a long time. The rotating machine 200 can be manufactured by a normal method using normal rotating machine parts for parts other than the rare earth magnet 100.

回転機200は、コイル32に通電することによって生成する電磁石による界磁と希土類磁石100による界磁との相互作用により、電気エネルギーを機械的エネルギーに変換する電動機(モータ)であってもよい。また、回転機200は、希土類磁石100による界磁とコイル32との電磁誘導相互作用により、機械的エネルギーから電気的エネルギーに変換する発電機(ジェネレータ)であってもよい。   The rotating machine 200 may be an electric motor (motor) that converts electric energy into mechanical energy by the interaction between the field by the electromagnet generated by energizing the coil 32 and the field by the rare earth magnet 100. The rotating machine 200 may be a generator that converts mechanical energy into electrical energy by electromagnetic induction interaction between the field by the rare earth magnet 100 and the coil 32.

電動機(モータ)として機能する回転機200としては、例えば、永久磁石直流モータ、リニア同期モータ、永久磁石同期モータ(SPMモータ、IPMモータ)、往復動モータなどが挙げられる。往復動モータとして機能するモータとしては、例えば、ボイスコイルモータ、振動モータなどが挙げられる。発電機(ジェネレータ)として機能する回転機200としては、例えば、永久磁石同期発電機、永久磁石整流子発電機、永久磁石交流発電機などが挙げられる。以上に記載した回転機は、自動車、産業機械、家庭用電化製品等に用いられる。   Examples of the rotating machine 200 that functions as an electric motor (motor) include a permanent magnet DC motor, a linear synchronous motor, a permanent magnet synchronous motor (SPM motor, IPM motor), and a reciprocating motor. Examples of the motor that functions as a reciprocating motor include a voice coil motor and a vibration motor. Examples of the rotating machine 200 that functions as a generator include a permanent magnet synchronous generator, a permanent magnet commutator generator, and a permanent magnet AC generator. The rotating machine described above is used in automobiles, industrial machines, household appliances, and the like.

以下、本発明を実施例及び比較例により更に詳細に説明するが、本発明は必ずしもこれらの実施例に限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example and a comparative example demonstrate this invention further in detail, this invention is not necessarily limited to these Examples.

(実施例1)
粉末冶金法により、組成が22.5重量%Nd−5.2重量%Pr−2.7重量%Dy−0.5重量%Co−0.3重量%Al−0.07重量%Cu−1.0重量%B−残部Feである鋳塊を作製した。鋳塊を粗粉砕して得た粗粉末を、不活性ガス中でジェットミルにより粉砕して、平均粒径が約3.5μmの微粉末を得た。微粉末を金型内に充填し、磁場中で加圧成形して成形体を得た。成形体を真空中で焼成した後、時効処理を施して焼結体を得た。焼結体を切り出し加工し、13mm×8mm×2mmの寸法を有する磁石素体を作製した。
(Example 1)
According to the powder metallurgy method, the composition is 22.5 wt% Nd-5.2 wt% Pr-2.7 wt% Dy-0.5 wt% Co-0.3 wt% Al-0.07 wt% Cu-1 An ingot with 0.0 wt% B-balance Fe was prepared. The coarse powder obtained by coarsely pulverizing the ingot was pulverized by a jet mill in an inert gas to obtain a fine powder having an average particle diameter of about 3.5 μm. The fine powder was filled into a mold and pressure molded in a magnetic field to obtain a molded body. After the molded body was fired in vacuum, an aging treatment was performed to obtain a sintered body. The sintered body was cut out and processed to produce a magnet body having dimensions of 13 mm × 8 mm × 2 mm.

得られた磁石素体の表面に対して脱脂処理を施し、次に、2%HNO水溶液中に2分間浸漬し、その後、超音波水洗を施すことにより、磁石素体の表面のエッチングを行った。 The surface of the obtained magnet body is degreased, then immersed in a 2% HNO 3 aqueous solution for 2 minutes, and then subjected to ultrasonic water washing to etch the surface of the magnet body. It was.

また、シリカ粒子分散水溶液(スノーテックスC:日産化学工業製)を、シリカ粒子濃度20重量%になるように希釈した後、硝酸を滴下することによりpHを2に調整して、処理液を調整した。   In addition, after diluting an aqueous silica particle dispersion (Snowtex C: manufactured by Nissan Chemical Industries) to a silica particle concentration of 20% by weight, the pH is adjusted to 2 by adding nitric acid dropwise to adjust the treatment liquid. did.

エッチング後の磁石素体を処理液中に2分間浸漬させ、その後十分に水洗することにより、磁石素体の表面上にシリカを含有する皮膜が形成された複合体を得た。皮膜の厚みを走査型電子顕微鏡(SEM)により確認したところ、約1μmであった。   The magnet body after the etching was immersed in the treatment liquid for 2 minutes, and then sufficiently washed with water to obtain a composite in which a film containing silica was formed on the surface of the magnet body. When the thickness of the film was confirmed by a scanning electron microscope (SEM), it was about 1 μm.

得られた複合体を、Ar雰囲気において600℃で60分熱処理した。さらに、熱処理後の複合体をAr雰囲気において550℃で1時間時効処理した後、50℃/分で急冷することで、実施例1の希土類磁石を作製した。   The obtained composite was heat-treated at 600 ° C. for 60 minutes in an Ar atmosphere. Furthermore, the heat-treated composite was aged at 550 ° C. for 1 hour in an Ar atmosphere, and then rapidly cooled at 50 ° C./min, thereby producing the rare earth magnet of Example 1.

実施例1の希土類磁石を切断し、その切断面をクロスセクションポリッシャーで研磨した。図4は、実施例1の希土類磁石の切断面の走査型電子顕微鏡(SEM)写真である。図4に示すように、実施例1の希土類磁石では、磁石素体の表面を被覆する保護層(図中、「A1」で示した層)と、保護層の表面を被覆する外部保護層(図中、「A2」で示した層)が形成されていることが確認された。さらに、保護層及び外部保護層における元素組成をEPMAで確認したところ、保護層には、Nd、Pr、Fe、Si及びAlが含まれ、外部保護層には、Nd、Pr及びOが含まれることが確認された。   The rare earth magnet of Example 1 was cut and the cut surface was polished with a cross section polisher. 4 is a scanning electron microscope (SEM) photograph of a cut surface of the rare earth magnet of Example 1. FIG. As shown in FIG. 4, in the rare earth magnet of Example 1, a protective layer (the layer indicated by “A1” in the figure) that covers the surface of the magnet body and an external protective layer that covers the surface of the protective layer ( In the figure, it was confirmed that a layer indicated by “A2” was formed. Furthermore, when the elemental composition in the protective layer and the external protective layer was confirmed by EPMA, the protective layer contained Nd, Pr, Fe, Si and Al, and the external protective layer contained Nd, Pr and O. It was confirmed.

また、実施例1の希土類磁石の保護層及び外部保護層中に含まれる結晶相を、表面からX線回折装置(X’pert MPD:PANalytical社製)を用いて分析した結果を図5に示す。図5に示されるように、保護層及び外部保護層には、RFe13Si相(正方晶系結晶)とR相とが含まれることが分かった。以上の分析により、保護層にRFe13Si、外部保護層にRが存在することが確認された(Rは、Nd及びPrを含む。)。 Moreover, the result of having analyzed the crystal phase contained in the protective layer and the external protective layer of the rare earth magnet of Example 1 from the surface using an X-ray diffractometer (X'pert MPD: manufactured by PANalytical) is shown in FIG. . As shown in FIG. 5, it was found that the protective layer and the external protective layer contain an R 6 Fe 13 Si phase (tetragonal crystal) and an R 2 O 3 phase. From the above analysis, it was confirmed that R 6 Fe 13 Si was present in the protective layer and R 2 O 3 was present in the outer protective layer (R includes Nd and Pr).

(実施例2)
まず、実施例1と同様にして、磁石素体を作製した後、その表面のエッチングを行った。また、平均粒径50nmの酸化亜鉛粒子を2−プロパノールに分散し、バインダーとしてポリビニルブチラールを加えることにより、処理液を調製した。
(Example 2)
First, in the same manner as in Example 1, a magnet body was prepared, and then the surface was etched. Moreover, the treatment liquid was prepared by dispersing zinc oxide particles having an average particle diameter of 50 nm in 2-propanol and adding polyvinyl butyral as a binder.

この処理液をディップコートにより磁石素体の表面に塗布した後、120℃20分で乾燥させることで、磁石素体の表面上に酸化亜鉛を含有する皮膜が形成された複合体を得た。皮膜の厚みを電子顕微鏡により確認したところ、約1.4μmであった。   This treatment solution was applied to the surface of the magnet body by dip coating, and then dried at 120 ° C. for 20 minutes to obtain a composite in which a film containing zinc oxide was formed on the surface of the magnet body. When the thickness of the film was confirmed by an electron microscope, it was about 1.4 μm.

得られた複合体を、Ar雰囲気において550℃で180分熱処理した後、50℃/分で急冷することで、実施例2の希土類磁石を作製した。   The obtained composite was heat-treated at 550 ° C. for 180 minutes in an Ar atmosphere, and then rapidly cooled at 50 ° C./minute to produce the rare earth magnet of Example 2.

実施例2の希土類磁石について、実施例1と同様にして保護層及び外部保護層の分析を行ったところ、磁石素体の表面上に、RFe13Znを含む保護層と、Rを含む外部保護層とがこの順に形成されていることが確認された(Rは、Nd及びPrを含む。)。 The rare earth magnet of Example 2 was analyzed for the protective layer and the external protective layer in the same manner as in Example 1. As a result, a protective layer containing R 6 Fe 13 Zn on the surface of the magnet body, R 2 O 3 was confirmed to be formed in this order (R includes Nd and Pr).

(参考例1)
まず、実施例1と同様にして、磁石素体を作製した後、その表面のエッチングを行った。また、アルミニウムトリsec−ブトキシドを2−メトキシエタノールに溶解させることで、処理液を調製した。
(Reference Example 1)
First, in the same manner as in Example 1, a magnet body was prepared, and then the surface was etched. Moreover, the treatment liquid was prepared by dissolving aluminum trisec-butoxide in 2-methoxyethanol.

この処理液をディップコートにより磁石素体表面に塗布した後、250℃20分で乾燥させることにより、磁石素体の表面上にアルミニウム酸化物を含有する皮膜が形成された複合体を得た。皮膜の厚みを電子顕微鏡により確認したところ、約0.6μmであった。   This treatment liquid was applied to the surface of the magnet body by dip coating, and then dried at 250 ° C. for 20 minutes to obtain a composite in which a film containing aluminum oxide was formed on the surface of the magnet body. When the thickness of the film was confirmed by an electron microscope, it was about 0.6 μm.

得られた複合体を、Ar雰囲気において620℃で60分熱処理した。さらに、熱処理後の複合体をAr雰囲気において550℃で1時間時効処理した後、50℃/分で急冷することで、参考例1の希土類磁石を作製した。 The obtained composite was heat-treated at 620 ° C. for 60 minutes in an Ar atmosphere. Further, the composite after heat treatment was aged at 550 ° C. for 1 hour in an Ar atmosphere, and then rapidly cooled at 50 ° C./minute, whereby the rare earth magnet of Reference Example 1 was produced.

参考例1の希土類磁石について、実施例1と同様にして保護層及び外部保護層の分析を行ったところ、磁石素体の表面上に、RFe11Alを含む保護層と、Rを含む外部保護層とがこの順に形成されていることが確認された(Rは、Nd及びPrを含む。)。 The rare earth magnet of Reference Example 1 was analyzed for the protective layer and the external protective layer in the same manner as in Example 1. As a result, a protective layer containing R 6 Fe 11 Al 3 on the surface of the magnet body, R 2 It was confirmed that the outer protective layer containing O 3 was formed in this order (R contains Nd and Pr).

(比較例1)
磁石素体の表面のエッチング以降の工程を実施しなかったこと以外は、実施例1と同様の方法で比較例1の希土類磁石を作製した。つまり、保護層及び外部保護層の形成を行わずに、比較例1の希土類磁石を作製した。
(Comparative Example 1)
A rare earth magnet of Comparative Example 1 was produced in the same manner as in Example 1 except that the steps after the etching of the surface of the magnet body were not performed. That is, the rare earth magnet of Comparative Example 1 was produced without forming the protective layer and the external protective layer.

(比較例2)
まず、実施例1と同様の方法により、磁石素体の表面上にシリカを含有する皮膜が形成された複合体を得た。この複合体を、Ar雰囲気において400℃60分熱処理して、比較例2の希土類磁石を作製した。
(Comparative Example 2)
First, in the same manner as in Example 1, a composite in which a film containing silica was formed on the surface of the magnet body was obtained. This composite was heat-treated at 400 ° C. for 60 minutes in an Ar atmosphere to produce a rare earth magnet of Comparative Example 2.

比較例2の希土類磁石について、実施例1と同様にして保護層等の分析を行ったが、シリカ含有皮膜が確認されるのみで、実施例1のようなRFe13Siを含む保護層は形成されていなかった。 The rare earth magnet of Comparative Example 2 was analyzed for the protective layer and the like in the same manner as in Example 1. However, only the silica-containing film was confirmed, and the protective layer containing R 6 Fe 13 Si as in Example 1 was confirmed. Was not formed.

(比較例3)
まず、実施例2と同様の方法により、磁石素体の表面上に酸化亜鉛を含有する皮膜が形成された複合体を得た。この複合体を、Ar雰囲気において400℃60分熱処理して、比較例3の希土類磁石を作製した。
(Comparative Example 3)
First, a composite in which a film containing zinc oxide was formed on the surface of the magnet body was obtained by the same method as in Example 2. This composite was heat-treated at 400 ° C. for 60 minutes in an Ar atmosphere to prepare a rare earth magnet of Comparative Example 3.

比較例3の希土類磁石について、実施例1と同様にして保護層等の分析を行ったが、酸化亜鉛粒子が確認されるのみで、実施例2のようなRFe13Znを含む保護層は形成されていなかった。 The rare earth magnet of Comparative Example 3 was analyzed for the protective layer and the like in the same manner as in Example 1. However, only the zinc oxide particles were confirmed, and the protective layer containing R 6 Fe 13 Zn as in Example 2 was used. Was not formed.

(比較例4)
まず、参考例1と同様にして、磁石素体の表面上にアルミニウム酸化物を含有する皮膜が形成された複合体を得た。この複合体を、Ar雰囲気において400℃60分熱処理して、比較例4の希土類磁石を作製した。
(Comparative Example 4)
First, in the same manner as in Reference Example 1 , a composite in which a film containing aluminum oxide was formed on the surface of the magnet body was obtained. This composite was heat-treated at 400 ° C. for 60 minutes in an Ar atmosphere to prepare a rare earth magnet of Comparative Example 4.

比較例4の希土類磁石について、実施例1と同様にして保護層等の分析を行ったが、アルミニウム酸化物の皮膜が確認されるのみで、参考例1のようなRFe11Alを含む保護層は形成されていなかった。 With respect to the rare earth magnet of Comparative Example 4, the protective layer and the like were analyzed in the same manner as in Example 1. However, only the film of the aluminum oxide was confirmed, and R 6 Fe 11 Al 3 as in Reference Example 1 was changed. The protective layer containing it was not formed.

[耐食性の評価]
各実施例及び比較例の希土類磁石の耐食性を、JIS K5600−7−1に準拠する塩水噴霧試験により評価した。塩水噴霧試験では、35℃の環境下で各希土類磁石に5%の塩水を5時間噴霧した。そして、試験後の各希土類磁石の表面において赤錆が発生した部分の面積の割合(錆面積率)を算出した。なお、錆面積率とは、希土類磁石の表面全体の面積に対する、赤錆が発生していた部分の面積の割合(単位:%)である。錆面積率は、塩水噴霧試験後の希土類磁石の写真を画像処理することにより算出した。表1に各実施例及び比較例の希土類磁石で得られた錆面積率を示す。
[Evaluation of corrosion resistance]
The corrosion resistance of the rare earth magnets of each Example and Comparative Example was evaluated by a salt spray test in accordance with JIS K5600-7-1. In the salt spray test, each rare earth magnet was sprayed with 5% salt water for 5 hours in a 35 ° C. environment. And the ratio (rust area ratio) of the area of the part where red rust generate | occur | produced on the surface of each rare earth magnet after a test was computed. The rust area ratio is the ratio (unit:%) of the area where red rust has occurred to the entire surface area of the rare earth magnet. The rust area ratio was calculated by subjecting a photograph of the rare earth magnet after the salt spray test to image processing. Table 1 shows the rust area ratios obtained with the rare earth magnets of the examples and comparative examples.

表1に示すように、実施例1〜2の希土類磁石の錆面積率は、比較例1〜4の希土類磁石の場合よりも著しく低いことが確認された。特に、RFe13Siを含む保護層を備える実施例1の希土類磁石では、塩水噴霧試験後に全く赤錆が発生していなかった。 As shown in Table 1, it was confirmed that the rust area ratio of the rare earth magnets of Examples 1 and 2 was significantly lower than that of the rare earth magnets of Comparative Examples 1 to 4. In particular, in the rare earth magnet of Example 1 provided with a protective layer containing R 6 Fe 13 Si, no red rust was generated after the salt spray test.

以上のことから、実施例1〜2の希土類磁石は、比較例の希土類磁石に比べて、耐塩食性に著しく優れていることが確認された。特に実施例1の希土類磁石は、顕著に耐塩食性に優れていた。

From the above, it was confirmed that the rare earth magnets of Examples 1 and 2 were significantly superior in salt corrosion resistance compared to the rare earth magnets of the comparative examples. In particular, the rare earth magnet of Example 1 was remarkably excellent in salt corrosion resistance.

10…磁石素体、20…保護層、22…外部保護層、30…ステータ、32…コイル、50…ロータ、52…コア、100…希土類磁石、200…回転機。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Magnet body, 20 ... Protective layer, 22 ... External protective layer, 30 ... Stator, 32 ... Coil, 50 ... Rotor, 52 ... Core, 100 ... Rare earth magnet, 200 ... Rotating machine.

Claims (2)

軽希土類元素、Fe及びBを含む磁石素体と、前記磁石素体の表面上に形成された保護層と、を備えており、前記保護層は、軽希土類元素、Fe、並びに、M(Mは、Si、又は、Znの少なくとも1種の元素を示す。)を含む合金を含有するものであり、前記保護層の表面上に、軽希土類元素の酸化物を含む外部保護層を更に備える、希土類磁石。 A magnet body including a light rare earth element, Fe and B, and a protective layer formed on a surface of the magnet body, wherein the protective layer includes light rare earth element, Fe, and M ( M Represents an element containing at least one element of Si or Zn ), and further includes an external protective layer containing a light rare earth element oxide on the surface of the protective layer. Rare earth magnet. 請求項1の希土類磁石を備える回転機。 A rotating machine comprising the rare earth magnet according to claim 1 .
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