JP5521551B2 - Ca−La−F系透光性セラミックスの製造方法、Ca−La−F系透光性セラミックス、光学部材、光学装置、及びCa−La−F系透光性セラミックス形成用組成物 - Google Patents
Ca−La−F系透光性セラミックスの製造方法、Ca−La−F系透光性セラミックス、光学部材、光学装置、及びCa−La−F系透光性セラミックス形成用組成物 Download PDFInfo
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Description
本願は、2007年12月13日に、日本に出願された特願2007−322437号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
このような光学材料からなる凸レンズと、他の材料で形成された凹レンズを組み合わせると、色収差を良好に補正することができる。そのため、蛍石は、例えば顕微鏡対物レンズなど、各種の光学系に多数使用されている(例えば特許文献1:特開2004−191933号公報)。
上記製造方法は、前記CaF2微粒子の製造工程および/または前記LaF3微粒子工程を含むものであってもよい。
上記製造方法は、前記CaF2微粒子および前記LaF3微粒子を含む微粒子混合物を調整する工程を含むものであってもよい。
更に、所望の屈折率及びアッベ数が得られ、かつ光学材料として利用可能な透光性が得られる範囲において、他の不可避成分や焼結助剤等がCa−La−F系透光性セラミックスに含有されていてよい。
(数1)
但し、ng、nF、nCは、それぞれフラウンホーファーg線、F線、C線の屈折率である。
Ca−La−F系透光性セラミックスを製造するには、CaF2微粒子と、このCaF2微粒子とは別に形成されたLaF3微粒子とを含有するセラミックス形成用組成物を準備し、このセラミックス形成用組成物を出来るだけ均一に混合して微粒子混合物とし、この微粒子混合物を焼結及び透明化することで製造することができる。
上記の製造方法は、前記セラミックス形成用組成物の調整を含む方法であってもよい。また、前記組成物に用いるCaF2微粒子および/またはLaF3微粒子の製造を含む方法であってもよい。なお、このセラミックス形成用組成物には、予め作製されたCaF2微粒子及びLaF3微粒子や、それらの混合物を用いることも可能である。
ここで、セラミックス形成用組成物とは加熱、加圧等適宜な処理を施すことでセラミックスを形成可能な材料であって、焼結可能なCaF2微粒子及びLaF3微粒子を含有するものであればよい。前記組成物に含有されるCaF2微粒子及びLaF3微粒子は、他の成分の含有量を抑えた高純度の微粒子が好ましい。
上記、微粒子には、複数の一次粒子が凝集した凝集体(二次粒子)が含まれている。微粒子混合物を調整する段階において、二次粒子を細粒化し、一次粒子の割合を高めて、CaF2とLaF3を均一に混合することが好ましい。
CaF2微粒子は、一次粒子の粒径を200nm以下とすることが好ましい。LaF3微粒子は、一次粒子の粒径を200nm以下とすることが好ましい。
なお、本発明において、「一次粒子」という用語は、より細粒の粒子の凝集体ではない粒子を示し、「二次粒子」という用語は、複数の一次粒子が凝集して形成された粒子を示す。
CaF2微粒子は、カルシウム化合物とフッ素化合物とを水溶液中で反応させ、次いで密閉容器内で100℃以上300℃以下に加熱して作製することができる。
常温常圧下でカルシウム化合物とフッ素化合物とを反応させるだけでは、反応は十分に進行せず、結晶はフッ素欠損の多いフッ化物となっている。そのため、得られる反応混合物中の結晶の化学量論比はCa1に対してFが2より小さいく、結晶性が低く、凝集し易い。
そのため、上記のように所謂水熱反応を更に行い、カルシウム化合物とフッ素化合物の反応を完結させることが好ましい。水熱反応処理に用いる容器は特に限定されない。例えば、テフロン(登録商標)製のオートクレーブ等の密閉容器を用いてもよい。好ましい処理温度は120−180℃である。圧力は、この温度範囲における水の飽和蒸気圧である0.2−1.0MPaが好ましい。
なお、上記の方法によれば、たとえば、一次粒子の平均粒径100〜200nmのCaF2微粒子を得ることができる。
一方、LaF3微粒子は、CaF2微粒子の作製とほぼ同様に、ランタン化合物とフッ素化合物とを水溶液中で反応させ、次いで密閉容器内で100℃以上300℃以下に加熱して作製することができる。
まず、CaF2の作成時と同様、ランタン化合物とフッ化物のそれぞれを水溶液として常温常圧下で徐々に反応させる。ここでは、ランタン化合物を十分溶解させるために微量の硝酸等の無機酸を添加してもよい。
なお、上記の方法によれば、たとえば、一次粒子の平均粒径100〜50nmのLaF3微粒子を得ることができる。
そして、これらのスラリー又は乾燥粉末状のCaF2微粒子とLaF3微粒子とを合わせてセラミックス形成用組成物とする。このセラミックス形成用組成物とは、焼結及び透明化することで、透光性セラミックスを形成可能な材料である。上記セラミックス形成用組成物は、前記のようなCaF2微粒子及びLaF3微粒子が含有されていればよく、均一に混合されていてもよい。また、粉末状であってもよく、スラリー等のように分散液中に分散或いは懸濁されていてもよい。
湿式混合に供されるCaF2微粒子及びLaF3微粒子は、例えば、上記のように作製時に凝集を抑え易くして製造しても、一次粒子が複数凝集した二次粒子となっている。微粒子の作成時にフッ素化合物として、フッ酸を用いた場合には、フッ酸が強酸性であるため、凝集が大きくなる。また、CaF2微粒子及びLaF3微粒子を作製後に乾燥させた場合にも凝集が大きくなり易い。例えば、一次粒子径がCaF2で150nm程度、LaF3で70nm程度であったとしても、二次粒子は10μm程度となることもある。
そのため、粒子の凝集状態を出来るだけ解離させ、凝集粒子(二次粒子)を破壊して一次粒子の割合を高め、一次粒子同士を出来るだけ均一に混合させることが好ましい。
化学的凝集破壊においては、CaF2微粒子及びLaF3微粒子が分散されている溶液の物性を調整することで粒子の凝集力を低下させ、凝集を破壊することができる。機械的凝集破壊においては、CaF2微粒子及びLaF3微粒子の二次粒子に剪断力等の応力を与えて凝集を破壊ことができる。
上記のような化学的凝集破壊の方法においては、CaF2微粒子及びLaF3微粒子が懸濁されている分散液に、アルカリ液を滴下してpHを調整してもよい。あるいは、pHを調整した液に、粉末またはあスラリー状の組成物を加え、CaF2微粒子及びLaF3微粒子を分散させてもよい。
なお、機械的凝集破壊においては、高圧ホモジナイザーを用いて分散を行うことが好ましい。
上記の凝集解離により、CaF2微粒子及びLaF3微粒子のそれぞれ80%以上(個数比)、好ましくは95%以上を一次粒子とすることが望ましい。
好ましくは、乾燥一軸プレス装置等により加圧して、ひび、割れ、穴などがない乾燥体を形成する。
700℃未満では、乾燥体の焼結を行うことが難しい。他方、焼結温度が1000℃をこえると、結晶構造からフッ素が脱離する現象が顕著となり、セラミックスの透明度が低下する。したがって、温度の上限は1000℃とした。好ましい温度範囲は、800℃以上900℃以下である。
なお、上記の前駈焼結体の形成時、および透明化の進行中において、CaF2微粒子とLaF3微粒子は、CaとLaの拡散を伴う反応(反応焼結)を生じ、CLF結晶の多結晶体が形成される。加圧・加熱時の温度が700℃未満では、CaF2微粒子とLaF3微粒子の反応が生じ難いため、CLF結晶の濃度分布を均一化することが難しい。したがって、温度の下限は700℃とした。他方、温度が1300℃を超えると、固液分離を生じる可能性があり、また加圧条件下でもフッ素の脱離を制御するのがむずかしい。従って、透明化時の温度の上限は1300℃とした。好ましい温度範囲は、800℃以上1100℃以下、より好ましい温度範囲は、800℃以上900℃以下である。
上記の過程で製造されるセラミックスは、CLF結晶を含む多結晶体である。多結晶体に粗大な結晶が含まれた場合、熱膨張の等方性が阻害される可能性がある。そのためセラミックスを構成する多結晶体において、結晶粒径は100μm以下とすることが望ましい。
なお、上記の方法では、微粒子混合物の焼結と透明化を、前駆焼結体を形成する一次焼結と、透明化を行う二次焼結の二段階で行ったが、一個の装置内で温度・圧力を所定の履歴に従って変動させることにより、焼結と透明化を行ってもよい。
[実施例1]
CaF 2 微粒子の作製
LaF 3 微粒子の作製
湿式混合
焼結
透明化
[実施例2、3]
[実施例4]
CLF結晶
化学的凝集破壊の評価
屈折率
微粒子の混合比とアッベ数の相関
異常部分分散比
(数1)
(数2)
[比較例1]
[比較例2]
[比較例3]
[実施例5]
Claims (20)
- Ca−La−F系透光性セラミックスの製造方法であって、
CaF2微粒子と、該CaF2微粒子とは別に作製されたLaF3微粒子とを混合して微粒子混合物を調整し、
前記微粒子混合物を焼結し、550nmの波長の光の透過率が50%以上となるように透明化することで透光性セラミックスを製造する、Ca−La−F系透光性セラミックスの製造方法。 - 請求項1記載のCa−La−F系透光性セラミックスの製造方法であって、
前記微粒子混合物を700℃以上1000℃以下に加熱して前駆焼結体を作製し、
該前駆焼結体を不活性雰囲気中で500Kg/cm2以上3000Kg/cm2以下の圧力で加圧しつつ、700℃以上1300℃以下の温度に加熱することにより、前記透明化を行う、Ca−La−F系透光性セラミックスの製造方法。 - 更に、カルシウム化合物とフッ素化合物とを水溶液中で反応させ、次いで密閉容器内で100℃以上300℃以下に加熱して、前記CaF2微粒子を作製する工程を含む、請求項1又は2に記載のCa−La−F系透光性セラミックスの製造方法。
- 更に、ランタン化合物とフッ素化合物とを水溶液中で反応させ、次いで密閉容器内で100℃以上300℃以下に加熱して、前記LaF3微粒子を作製する工程を含む、請求項1乃至3の何れか一つに記載のCa−La−F系透光性セラミックスの製造方法。
- 請求項1乃至4の何れか一つに記載のCa−La−F系透光性セラミックスの製造方法であって、
前記微粒子混合物の調整において、前記CaF2微粒子と前記LaF3微粒子とを湿式混合して前記微粒子混合物を作製する、請求項1乃至4の何れか一つに記載のCa−La−F系透光性セラミックスの製造方法。 - 前記湿式混合において、前記CaF2微粒子と、前記LaF3微粒子のそれぞれにおける一次粒子同士の凝集力を化学的に低下する請求項5に記載のCa−La−F系透光性セラミックスの製造方法。
- 前記CaF2微粒子と前記LaF3微粒子とをアルカリ液中で湿式混合する請求項6に記載のCa−La−F系透光性セラミックスの製造方法。
- 前記アルカリ液が有機アルカリ液である請求項7に記載のCa−La−F系透光性セラミックスの製造方法。
- 機械的混合手段を用いて前記湿式混合を行う請求項5乃至8の何れか一つに記載のCa−La−F系透光性セラミックスの製造方法。
- 前記微粒子混合物の調整において、前記CaF2微粒子と、前記LaF3微粒子のそれぞれにおける、一次粒子同士の凝集を機械的に破壊する、機械的凝集破壊工程を更に含む請求項1乃至請求項9のいずれか1項に記載のCa−La−F系透光性セラミックスの製造方法。
- 所望の屈折率又はアッベ数の少なくとも一方に基づいて、前記CaF2微粒子と前記LaF3微粒子との混合割合を調整して混合することを特徴とする請求項1乃至10の何れか一つに記載のCa−La−F系透光性セラミックスの製造方法。
- 前記透光性セラミックスが、(Ca1−XLaX)F2+X(Xは0より大きく0.4以下の数である。)の結晶を含む多結晶体であることを特徴とする請求項1乃至11の何れか一つに記載のCa−La−F系透光性セラミックスの製造方法。
- (Ca1−XLaX)F2+X(Xは0より大きく0.4以下の数である。)の結晶を含む多結晶体からなり、550nmの波長の光の透過率が50%以上であるCa−La−F系透光性セラミックス。
- 屈折率が1.43以上1.55以下であると共に、アッベ数が80以上95以下であることを特徴とする請求項13に記載のCa−La−F系透光性セラミックス。
- アッベ数が80以上95以下であるとともに、以下の式(1)で示される部分分散比Pg,Fが0.53以上0.56以下である、請求項13又は14に記載のCa−La−F系透光性セラミックス。
Pg,F=(ng−nF)/(nF−nC) (1)
但し、ng、nF、nCは、それぞれフラウンホーファーg線、F線、C線の屈折率である。 - 請求項13乃至15の何れか一つに記載のCa−La−F系透光性セラミックスからなり、所定形状に形成されている光学部材。
- 光路に少なくとも一組の凸レンズと、凹レンズとを備えた光学系であり、前記凸レンズ又は前記凹レンズの一方が請求項13乃至15に記載のCa−La−F系透光性セラミックスからなると共に、他方が前記Ca−La−F系透光性セラミックスとは異なる材料からなる光学装置。
- CaF2微粒子と、該CaF2微粒子とは別に作製されたLaF3微粒子とを含有することを特徴とするCa−La−F系透光性セラミックス形成用組成物。
- 前記CaF2微粒子と前記LaF3微粒子とが液中に懸濁又は分散されていることを特徴とする請求項18に記載のCa−La−F系透光性セラミックス形成用組成物。
- CaF2の一次粒子と、LaF3の一次粒子が混合されている、微粒子混合物を含む請求項18または19に記載のCa−La−F系透光性セラミックス形成用組成物。
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