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JP5596995B2 - Mercury atomic absorption spectrometer and mercury analysis system - Google Patents

Mercury atomic absorption spectrometer and mercury analysis system Download PDF

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JP5596995B2
JP5596995B2 JP2010040031A JP2010040031A JP5596995B2 JP 5596995 B2 JP5596995 B2 JP 5596995B2 JP 2010040031 A JP2010040031 A JP 2010040031A JP 2010040031 A JP2010040031 A JP 2010040031A JP 5596995 B2 JP5596995 B2 JP 5596995B2
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flow cell
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atomic absorption
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兼 松原
竜太 黒川
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Nippon Instruments Corp
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Description

本発明は、測定ガスを流して測定ガス中の水銀を測定するフローセルを2つ有する水銀原子吸光分析装置および水銀分析システムに関する。   The present invention relates to a mercury atomic absorption spectrometer and a mercury analysis system having two flow cells for flowing a measurement gas and measuring mercury in the measurement gas.

従来、原子吸光分析法による水銀分析装置は、長年にわたり環境分析や品質管理分析などで広く使用されている。河川水などの分析では還元気化法を用いた装置、ゴミ焼却炉の煙突から排出される排ガスの分析では、排ガス中の水銀をオンラインで測定する装置(特許文献1)、固体試料の分析では、空気ポンプで所定流量の空気を流しながら、試料容器に入れられた試料を試料加熱炉で加熱分解し、試料から発生した水銀を水銀捕集管で捕集して測定する水銀原子吸光分析装置などがある。   Conventionally, mercury analyzers based on atomic absorption spectrometry have been widely used in environmental analysis and quality control analysis for many years. In the analysis of river water, etc., a device that uses the reduction vaporization method, in the analysis of the exhaust gas discharged from the chimney of the refuse incinerator, the device that measures the mercury in the exhaust gas online (Patent Document 1), in the analysis of the solid sample, Mercury atomic absorption spectrometer, etc. that heats and decomposes a sample in a sample container in a sample heating furnace while collecting air at a specified flow rate with an air pump, and collects and measures mercury generated from the sample with a mercury collection tube There is.

このように分析される試料は多種多様であり、試料の水銀含有量は広範囲にわたっている。そのため、試料中の水銀を低濃度から高濃度まで広いダイナミックレンジで測定可能な装置が望まれている。   There are a wide variety of samples analyzed in this way, and the mercury content of the samples is extensive. Therefore, an apparatus capable of measuring mercury in a sample in a wide dynamic range from a low concentration to a high concentration is desired.

そこで、試料中の水銀をpg(ピコグラム)からμg(マイクログラム)オーダまでの広い範囲にわたって測定する装置として、図16に示す水銀原子吸光分析装置がある。この従来の第1の水銀原子吸光分析装置500は、水銀ランプ1と、低濃度を測定するための第1フローセル5と、高濃度を測定するための光路が第1フローセル5よりも短い第2フローセル6と、水銀ランプ1から放射されて第1フローセル5の通過後に第2フローセル6を通過する分析線の光強度を検出する第1検出器507とを備える。第1フローセル5は内径10mm×長さ200mmの円筒、第2フローセル6は内径10mm×長さ10mmの円筒である。   Therefore, as an apparatus for measuring mercury in a sample over a wide range from pg (picogram) to μg (microgram), there is a mercury atomic absorption spectrometer shown in FIG. This conventional first mercury atomic absorption spectrometer 500 includes a mercury lamp 1, a first flow cell 5 for measuring a low concentration, and a second optical path for measuring a high concentration that is shorter than the first flow cell 5. The flow cell 6 includes a first detector 507 that detects the light intensity of an analysis line that is emitted from the mercury lamp 1 and passes through the second flow cell 6 after passing through the first flow cell 5. The first flow cell 5 is a cylinder having an inner diameter of 10 mm × a length of 200 mm, and the second flow cell 6 is a cylinder having an inner diameter of 10 mm × a length of 10 mm.

そして、測定ガスSが流れるガス流路の一部として第1フローセル5と第2フローセル6との間に測定ガスSを滞留するための内径10mm×長さ200mmの円筒のバッファタンク520を設け、第1フローセル5に測定ガスが到達する時刻と第2フローセル6に測定ガスが到達する時刻との間に時間差を設けて、測定ガスSが第1フローセル5を通過する時刻に第1検出器(光電管)507によって検出される光強度信号と第2フローセル6を通過する時刻に検出される光強度信号とを時間的に分離することによって、第1フローセル5によって測定されたピークプロファイルと第2フローセル6によって測定されたピークプロファイルとを分離している。このように低濃度測定用の第1フローセル5によるピークプロファイルと高濃度測定用の第2フローセル6によるピークプロファイルとを分離して広いダイナミックレンジで測定している。   A cylindrical buffer tank 520 having an inner diameter of 10 mm and a length of 200 mm is provided between the first flow cell 5 and the second flow cell 6 as part of the gas flow path through which the measurement gas S flows. A time difference is provided between the time when the measurement gas arrives at the first flow cell 5 and the time when the measurement gas reaches the second flow cell 6, and the first detector at the time when the measurement gas S passes through the first flow cell 5. The peak profile measured by the first flow cell 5 and the second flow cell by temporally separating the light intensity signal detected by the photoelectric tube) 507 and the light intensity signal detected at the time of passing through the second flow cell 6. The peak profile measured by 6 is separated. Thus, the peak profile by the first flow cell 5 for low concentration measurement and the peak profile by the second flow cell 6 for high concentration measurement are separated and measured in a wide dynamic range.

また、水銀ランプ1から放射された光線は、レンズ2で集光されて石英板のハーフミラーであるビームスプリッタ503に入射し、ビームスプリッタ503を透過して水銀量を検出するための第1フローセル5に入射する測定光521と、ビームスプリッタ503によって反射されて第2検出器509に入射する参照光522とに分割される。参照光522は、いわゆるダブルビーム測光のために、すなわち、水銀ランプ1の光強度変動をモニターして第1検出器507での測定光強度との比に基づいて水銀ランプ1から放射される光強度変動を補償するために利用される。   A light beam emitted from the mercury lamp 1 is collected by the lens 2, enters a beam splitter 503 that is a half mirror of a quartz plate, passes through the beam splitter 503, and is a first flow cell for detecting the amount of mercury. 5 is split into measurement light 521 that is incident on 5 and reference light 522 that is reflected by the beam splitter 503 and incident on the second detector 509. The reference light 522 is light emitted from the mercury lamp 1 for so-called double beam photometry, that is, based on a ratio with the light intensity measured by the first detector 507 by monitoring the light intensity fluctuation of the mercury lamp 1. Used to compensate for intensity fluctuations.

この水銀原子吸光分析装置500の動作について以下に説明する。測定ガスSはまず第1フローセル5を通過し、バッファタンク520を介して第2フローセル6に運ばれる。第1フローセル5内を測定ガスSが通過する間に第1検出器507で第1フローセル5を通過した光強度が第1の信号として検出され、バッファタンク520を通って流れが遅延した測定ガスSが第2フローセル6を通過したときの光強度がやはり第1検出器507で第2の信号として検出される。また、併せて、参照光522が第3の信号として第2検出器509で検出される。低濃度領域では、光路がより長く感度の高い第1フローセル5によって得られた第1の信号と参照光522の第3の信号との比が信号処理回路(図示なし)で処理され、高濃度領域では、第1の信号と第3の信号との比が飽和状態になっても、光路がより短く感度の低い第2フローセル6の第2の信号と第3の信号との比が信号処理回路で処理されることにより、ダイナミックレンジを広げている。   The operation of this mercury atomic absorption spectrometer 500 will be described below. The measurement gas S first passes through the first flow cell 5 and is carried to the second flow cell 6 via the buffer tank 520. While the measurement gas S passes through the first flow cell 5, the light intensity that has passed through the first flow cell 5 is detected by the first detector 507 as the first signal, and the measurement gas whose flow has been delayed through the buffer tank 520 is detected. The light intensity when S passes through the second flow cell 6 is also detected by the first detector 507 as the second signal. In addition, the reference light 522 is detected by the second detector 509 as a third signal. In the low concentration region, the ratio of the first signal obtained by the first flow cell 5 having a longer optical path and higher sensitivity and the third signal of the reference light 522 is processed by a signal processing circuit (not shown), and the high concentration is obtained. In the region, even if the ratio between the first signal and the third signal is saturated, the ratio between the second signal and the third signal of the second flow cell 6 having a shorter optical path and lower sensitivity is the signal processing. The dynamic range is expanded by being processed by the circuit.

また、従来の第2の水銀原子吸光分析装置として非特許文献1に記載されている装置がある。この水銀原子吸光分析装置600は、図19に示すように、上記の水銀原子吸光分析装置500と同様に第1フローセル5と第2フローセル6の間にバッファタンク620を備えている。そして、第1フローセル5よりもさらに光路が長い第3フローセル610を備え、ダイナミックレンジをいっそう拡大している。この装置600では、水銀ランプ1の分析線は水銀ランプ1の2箇所の光線放射窓601、602から第1フローセル5と第3フローセル610に入射し、第1および第2フローセルを通過した光線の強度が第1検出器607で検出され、第3フローセルを通過した光線の強度が第2検出器608で検出される。なお、この水銀原子吸光分析装置600は、水銀ランプ1の同一個所から放射される分析線を測定光と参照光に分割して参照光をモニターする構成にはなっておらず、水銀ランプ1の光強度の変動を補償することができない。   Further, there is an apparatus described in Non-Patent Document 1 as a conventional second mercury atomic absorption spectrometer. As shown in FIG. 19, the mercury atomic absorption analyzer 600 includes a buffer tank 620 between the first flow cell 5 and the second flow cell 6 in the same manner as the mercury atomic absorption analyzer 500 described above. Then, the third flow cell 610 having a longer optical path than the first flow cell 5 is provided to further expand the dynamic range. In this apparatus 600, the analysis line of the mercury lamp 1 is incident on the first flow cell 5 and the third flow cell 610 from the two light emission windows 601 and 602 of the mercury lamp 1 and passes through the first and second flow cells. The intensity is detected by the first detector 607, and the intensity of the light beam that has passed through the third flow cell is detected by the second detector 608. The mercury atomic absorption spectrometer 600 is not configured to monitor the reference light by dividing the analysis line radiated from the same portion of the mercury lamp 1 into measurement light and reference light. It is not possible to compensate for variations in light intensity.

特開2001−33434号公報JP 2001-33434 A

“NEW PRODUCT RELEASE Milestone Tri−cell DMA−80”,(イタリア国), MILESTONE SRL“NEW PRODUCT RELEASE Milestone Tri-cell DMA-80” (Italy), MILESTONE SRL

それぞれ20ng(ナノグラム)、500ng、1000ngの水銀を含有する測定ガスを従来の第1の水銀原子吸光分析装置500で測定したピークプロファイルを図17に示す。このピークプロファイルによると、20〜500ngまでは第1フローセルのピークプロファイルと第2フローセルのピークプロファイルとは分離できているが、1000ngでは第1フローセルのピークプロファイルと第2フローセルのピークプロファイルとが重なり、それぞれのピークプロファイルが分離できていない。水銀原子吸光分析法ではピークプロファイルの積分値が信号強度としてよく用いられるが、ピークプロファイル同士が重なると各ピークプロファイルを個別に積分することができなくなる。さらに、中濃度の測定ガスを測定した場合、図18に示すように、第1フローセルのピークのテーリングにより第2フローセルの見かけのピークが大きくなり、正確な水銀量の測定が困難になることもある。したがって、広いダイナミックレンジで精度の良い測定ができないという問題があった。加えて、バッファタンクを設けることにより測定時間が長くなるとともに、装置全体が大きくなるという問題もあった。3つのフローセルを備えた従来の第2の水銀原子吸光分析装置600でも同様の問題が生じる。   FIG. 17 shows peak profiles obtained by measuring a measurement gas containing 20 ng (nanogram), 500 ng, and 1000 ng of mercury with the conventional first mercury atomic absorption spectrometer 500. According to this peak profile, the peak profile of the first flow cell and the peak profile of the second flow cell can be separated from 20 to 500 ng, but the peak profile of the first flow cell and the peak profile of the second flow cell overlap at 1000 ng. Each peak profile is not separated. In mercury atomic absorption spectrometry, the integrated value of peak profiles is often used as the signal intensity. However, if peak profiles overlap, it becomes impossible to integrate each peak profile individually. Furthermore, when measuring a medium concentration measurement gas, as shown in FIG. 18, tailing of the peak of the first flow cell increases the apparent peak of the second flow cell, which may make it difficult to accurately measure the amount of mercury. is there. Therefore, there is a problem that accurate measurement cannot be performed with a wide dynamic range. In addition, the provision of the buffer tank increases the measurement time and the size of the entire apparatus. A similar problem occurs in the conventional second mercury atomic absorption spectrometer 600 having three flow cells.

本発明は前記従来の問題に鑑みてなされたもので、広いダイナミックレンジ測定において水銀分析の正確さと精度を向上させ、かつコンパクトで測定時間を短縮できる水銀原子吸光分析装置等を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above-described conventional problems, and it is an object of the present invention to provide a mercury atomic absorption spectrometer that can improve the accuracy and precision of mercury analysis in a wide dynamic range measurement, and is compact and can shorten the measurement time. And

前記目的を達成するために、本発明の水銀原子吸光分析装置は、水銀の分析線の光線を放射する水銀ランプと、前記水銀ランプから放射される光線を第1ビームおよび第2ビームに分割する第1ビームスプリッタと、前記第2ビームを第3ビームおよび第4ビームに分割する第2ビームスプリッタと、前記第1ビームおよび測定ガスが通過する第1フローセルと、前記第1フローセルを通過した第1ビームの光強度を検出する測定側の第1検出器と、前記第1フローセルとともに測定ガス流路を形成して前記第1フローセルの下流側に配置され、前記第1フローセルの光路長と異なる光路長を有し、前記第3ビームおよび測定ガスが通過する第2フローセルと、前記第2フローセルを通過した第3ビームの光強度を検出する測定側の第2検出器と、前記第4ビームの光強度を検出する参照側の検出器と、前記測定側の第1検出器で検出された光強度と前記参照側の検出器で検出された光強度との比および前記測定側の第2検出器で検出された光強度と前記参照側の検出器で検出された光強度との比に基づいて、前記測定ガス流路に流された測定ガス中の水銀を定量する定量手段とを備える。   In order to achieve the above object, a mercury atomic absorption spectrometer of the present invention divides a mercury lamp that emits a ray of mercury analysis line and a ray emitted from the mercury lamp into a first beam and a second beam. A first beam splitter; a second beam splitter for splitting the second beam into a third beam and a fourth beam; a first flow cell through which the first beam and measurement gas pass; and a first flow cell through which the first flow cell has passed. A first detector on the measurement side that detects the light intensity of one beam and a measurement gas flow path together with the first flow cell, are arranged downstream of the first flow cell, and are different from the optical path length of the first flow cell. A second flow cell having an optical path length through which the third beam and the measurement gas pass, and a second detection on the measurement side for detecting the light intensity of the third beam that has passed through the second flow cell A detector on the reference side that detects the light intensity of the fourth beam, a ratio between the light intensity detected by the first detector on the measurement side and the light intensity detected by the detector on the reference side, and Based on the ratio of the light intensity detected by the second detector on the measurement side and the light intensity detected by the detector on the reference side, the mercury in the measurement gas flowed into the measurement gas channel is quantified. And a quantification means.

本発明の装置によれば、低濃度測定用第1フローセルと高濃度測定用第2フローセルとの間にバッファタンクを備えないコンパクトな構成で、第1フローセルの測定と第2フローセルの測定をそれぞれに対応した検出器で同時に行うことにより、測定時間を短縮するとともに、第1フローセルによるピークと第2フローセルによるピークとの重なりをなくし、さらに第1フローセル、第2フローセルともにダブルビーム測光によって水銀ランプから放射される光線の強度変動を補償するので、広いダイナミックレンジ測定において水銀分析の正確さと精度を向上させることができる。   According to the apparatus of the present invention, the measurement of the first flow cell and the measurement of the second flow cell are performed in a compact configuration not including a buffer tank between the first flow cell for low concentration measurement and the second flow cell for high concentration measurement. The measurement time is shortened by simultaneously performing the detection with a detector corresponding to the above, and the overlap between the peak due to the first flow cell and the peak due to the second flow cell is eliminated. Further, both the first flow cell and the second flow cell are subjected to double beam photometry. As a result, the accuracy and accuracy of mercury analysis can be improved in a wide dynamic range measurement.

本発明の水銀原子吸光分析装置において、前記第1ビームスプリッタでの前記第1ビームと前記第2ビームとの分割比率が1:1であり、前記第2ビームスプリッタでの前記第3ビームと前記第4ビームとの分割比率が1:1であることが好ましい。この構成により、測定光である第1ビームおよび第3ビームと、参照光である第4ビームとが同程度の光強度になり安定したダブルビーム測光を行うことができ、水銀分析の正確さと精度をより向上させることができる。   In the mercury atomic absorption spectrometer of the present invention, the split ratio of the first beam and the second beam in the first beam splitter is 1: 1, and the third beam in the second beam splitter and the The division ratio with the fourth beam is preferably 1: 1. With this configuration, the first and third beams, which are measurement light, and the fourth beam, which is the reference light, have similar light intensities, and stable double beam photometry can be performed. Accuracy and accuracy of mercury analysis Can be further improved.

本発明の水銀分析システムは、本発明の水銀原子吸光分析装置と、試料中の水銀を気化させて測定ガスとして水銀原子吸光分析装置に導入する水銀気化装置とを備える。   The mercury analysis system of the present invention includes the mercury atomic absorption spectrometer of the present invention and a mercury vaporizer that vaporizes mercury in a sample and introduces it into the mercury atomic absorption spectrometer as a measurement gas.

本発明の水銀分析システムによれば、本発明の水銀原子吸光分析装置を備えているので、本発明の水銀原子吸光分析装置と同様の作用・効果を奏することができる。   According to the mercury analysis system of the present invention, since the mercury atomic absorption analyzer of the present invention is provided, the same operations and effects as the mercury atomic absorption analyzer of the present invention can be achieved.

本発明の実施形態である水銀分析システムの概略ブロック図である。It is a schematic block diagram of the mercury analysis system which is an embodiment of the present invention. 同システムの水銀原子吸光分析装置の概略ブロック図である。It is a schematic block diagram of the mercury atomic absorption spectrometer of the system. 同装置のビームスプリッタであるハーフミラーの上面図である。It is a top view of the half mirror which is a beam splitter of the apparatus. 同装置の変形例のハーフミラーの上面図である。It is a top view of the half mirror of the modification of the same apparatus. 同装置のさらなる変形例のハーフミラーの上面図である。It is a top view of the half mirror of the further modification of the apparatus. 同装置で測定した測定信号のプロファイルである。It is the profile of the measurement signal measured with the same apparatus. 同装置で測定した測定信号の拡大プロファイルである。It is an expansion profile of the measurement signal measured with the same apparatus. 同装置で測定可能な水銀量の範囲を示す図である。It is a figure which shows the range of the amount of mercury which can be measured with the same apparatus. 同装置の第1フローセルで測定した検量線を示す図である。It is a figure which shows the calibration curve measured with the 1st flow cell of the same apparatus. 同装置の第1フローセルで測定したピークプロファイルである。It is the peak profile measured with the 1st flow cell of the device. 同装置で測定した1次式検量線を示す図である。It is a figure which shows the primary type | formula analytical curve measured with the same apparatus. 同装置で測定した3次式検量線を示す図である。It is a figure which shows the tertiary type | mold calibration curve measured with the same apparatus. 同装置でビームスプリッタとして無蒸着の石英板を用いた場合のベースラインを示す図である。It is a figure which shows the base line at the time of using an undeposited quartz board as a beam splitter with the same apparatus. 同装置で別のビームスプリッタを用いた場合のベースラインを示す図である。It is a figure which shows the base line at the time of using another beam splitter with the same apparatus. 同装置のビームスプリッタの変形例の側面図である。It is a side view of the modification of the beam splitter of the same apparatus. 従来の水銀原子吸光分析装置の概略ブロック図である。It is a schematic block diagram of the conventional mercury atomic absorption spectrometer. 同装置で測定した測定信号のプロファイルである。It is the profile of the measurement signal measured with the same apparatus. 同装置で測定した他の測定信号のプロファイルである。It is the profile of the other measurement signal measured with the same apparatus. 他の従来の水銀原子吸光分析装置の概略ブロック図である。It is a schematic block diagram of another conventional mercury atomic absorption spectrometer.

以下、図1に示す本発明の実施形態である水銀分析システムについて説明する。本水銀分析システム120は、試料中の水銀を気化させて測定ガスSとする水銀気化装置200と、水銀気化装置200によって気化された測定ガスSを導入して測定する水銀原子吸光分析装置100とで構成されている。   Hereinafter, a mercury analysis system according to an embodiment of the present invention shown in FIG. 1 will be described. The mercury analysis system 120 includes a mercury vaporization apparatus 200 that vaporizes mercury in a sample to obtain a measurement gas S, and a mercury atomic absorption analysis apparatus 100 that introduces and measures the measurement gas S vaporized by the mercury vaporization apparatus 200. It consists of

水銀気化装置200は、例えば、試料である煙道排ガス中の水銀を捕集した活性炭C
を加熱分解して水銀ガスを生成する加熱分解部210と、生成された水銀ガスを運ぶキャリアガスGとともに運ばれてくる水分を除去する除湿器202と、加熱分解部210によって生成された水銀ガスを捕集する水銀捕集ユニット204と、水銀捕集ユニット204を加熱して水銀ガスを生成する加熱気化部205と、加熱分解部210の試料投入口213から除湿器202までのキャリアガスGの流路である第1の配管216と、除湿器202から水銀捕集ユニット204までの第2の配管203と、キャリアガスGの流量を制御するキャリアガス制御手段206とを備えている。
The mercury vaporizer 200 is, for example, activated carbon C that collects mercury in flue exhaust gas as a sample.
The thermal decomposition unit 210 that generates mercury gas by thermally decomposing the gas, the dehumidifier 202 that removes moisture carried together with the carrier gas G that carries the generated mercury gas, and the mercury gas generated by the thermal decomposition unit 210 Of the mercury gas collection unit 204 for collecting the gas, the heating vaporization unit 205 for heating the mercury collection unit 204 to generate mercury gas, and the carrier gas G from the sample inlet 213 of the thermal decomposition unit 210 to the dehumidifier 202. A first pipe 216 that is a flow path, a second pipe 203 from the dehumidifier 202 to the mercury collecting unit 204, and a carrier gas control means 206 that controls the flow rate of the carrier gas G are provided.

加熱分解部210は、試料中の水銀を捕集した活性炭Cを収容する、例えばセラミック製である試料容器212と、試料容器212に収容された活性炭Cを加熱する試料加熱炉211と、活性炭Cが試料加熱炉211によって加熱されることにより生成される2価水銀を金属水銀に還元する触媒炉214と、活性炭Cが試料加熱炉211によって加熱されることにより生成される硫黄やハロゲンを捕集して除去するハロゲン除去炉215とを有する。   The thermal decomposition unit 210 contains activated carbon C that collects mercury in the sample, for example, a sample vessel 212 made of ceramic, a sample heating furnace 211 that heats activated carbon C contained in the sample vessel 212, and activated carbon C. Collects sulfur and halogen produced by heating the activated carbon C by the sample heating furnace 211, and the catalyst furnace 214 for reducing divalent mercury produced by being heated by the sample heating furnace 211 to metallic mercury And a halogen removal furnace 215 for removal.

水銀捕集ユニット204の充填材としては、例えば金属水銀と反応してアマルガムを生成する金や銀などの粒状体や、ウール状細線、多孔質担体の表面に金や銀などをコーティングしたものなどが用いられる。加熱気化部205は、加熱分解部210によって生成された水銀を捕集する水銀捕集ユニット204を加熱炉内に収容しており、水銀捕集ユニット204を加熱して、捕集された水銀を気化させる。キャリアガス制御手段206は、キャリアガス供給手段(図示なし)から供給されるキャリアガスGをキャリアガスGの導入部である試料加熱炉211の試料投入口213から吸引するためのポンプ261と、キャリアガスGの流量を制御する流量計262とを有する。   Examples of the filler of the mercury collecting unit 204 include a granular material such as gold or silver that reacts with metallic mercury to produce an amalgam, a wool-like fine wire, or a porous carrier whose surface is coated with gold or silver. Is used. The heating vaporization unit 205 houses a mercury collection unit 204 that collects the mercury generated by the thermal decomposition unit 210 in a heating furnace, and heats the mercury collection unit 204 to collect the collected mercury. Vaporize. The carrier gas control means 206 includes a pump 261 for sucking the carrier gas G supplied from the carrier gas supply means (not shown) from the sample inlet 213 of the sample heating furnace 211 as an introduction part of the carrier gas G, and the carrier A flow meter 262 for controlling the flow rate of the gas G.

水銀気化装置200は、上記した装置に限らず、試料容器に採取された固体や液体の試料を加熱炉で加熱して試料中の水銀を気化させて測定ガスを生成する装置であってもよい。   The mercury vaporization apparatus 200 is not limited to the above-described apparatus, and may be an apparatus that generates a measurement gas by heating a solid or liquid sample collected in a sample container in a heating furnace to vaporize mercury in the sample. .

水銀気化装置200は還元気化装置であってもよい。還元気化装置は、液体試料に還元剤を投入し空気でバブリングすることによって液体試料中の水銀を還元気化させて測定ガスを生成する。   The mercury vaporizer 200 may be a reductive vaporizer. The reducing vaporizer generates a measurement gas by reducing and vaporizing mercury in a liquid sample by introducing a reducing agent into the liquid sample and bubbling with air.

図2に示すように、水銀原子吸光分析装置100は、水銀の分析線である波長253.7nmの紫外線を放射する水銀ランプ1と、レンズ2を透過した水銀ランプ1から放射される紫外線20を第1ビーム21と第2ビーム22に分割するハーフミラーである第1ビームスプリッタ3と、第1ビーム21が通過する第1フローセル5と、第1フローセル5を通過した第1ビーム21の光強度を検出する光電管である測定側の第1検出器7と、第2ビーム22を第3ビーム23および第4ビーム24に分割するハーフミラーである第2ビームスプリッタ4と、第1フローセル5の光路よりも短い光路を有する第2フローセル6と、第2フローセル6を通過した第3ビーム23の光強度を検出する光電管である測定側の第2検出器8と、第4ビーム24の光強度を検出する光電管である参照側の検出器9とを備える。第2フローセル6は、第1フローセル5とともに測定ガス流路10を形成して第1フローセル5の下流側に配置されている。   As shown in FIG. 2, the mercury atomic absorption spectrometer 100 includes a mercury lamp 1 that emits ultraviolet rays having a wavelength of 253.7 nm, which is a mercury analysis line, and ultraviolet rays 20 that are emitted from the mercury lamp 1 that has passed through the lens 2. The first beam splitter 3, which is a half mirror that splits the first beam 21 and the second beam 22, the first flow cell 5 through which the first beam 21 passes, and the light intensity of the first beam 21 that has passed through the first flow cell 5. The first detector 7 on the measurement side which is a phototube for detecting the second beam, the second beam splitter 4 which is a half mirror for dividing the second beam 22 into the third beam 23 and the fourth beam 24, and the optical path of the first flow cell 5 A second flow cell 6 having a shorter optical path, a second detector 8 on the measurement side that is a photoelectric tube that detects the light intensity of the third beam 23 that has passed through the second flow cell 6, and a fourth bee. And a detector 9 of the reference side is a phototube for detecting a light intensity of 24. The second flow cell 6 forms a measurement gas flow path 10 together with the first flow cell 5 and is arranged on the downstream side of the first flow cell 5.

さらに、水銀原子吸光分析装置100は、測定ガスSが測定ガス流路10を通過したときに、測定側の第1検出器7で検出された光強度と参照側の検出器9で検出された光強度との比31および測定側の第2検出器8で検出された光強度と参照側の検出器9で検出された光強度との比32に基づいて、測定ガス流路10に流された測定ガスS中の水銀を定量する定量手段15を備える。また、各検出器7、8、9と定量手段15の間には、各検出器に対応した第1、第2、第3電流−電圧変換器11、12、13と、信号処理回路14とを備えている。   Further, the mercury atomic absorption spectrometer 100 detects the light intensity detected by the first detector 7 on the measurement side and the detector 9 on the reference side when the measurement gas S passes through the measurement gas channel 10. Based on the ratio 31 to the light intensity and the ratio 32 of the light intensity detected by the second detector 8 on the measurement side and the light intensity detected by the detector 9 on the reference side, the flow is made to flow into the measurement gas channel 10. A quantification means 15 for quantifying mercury in the measured gas S is provided. Between each detector 7, 8, 9 and the quantification means 15, the first, second and third current-voltage converters 11, 12, 13 corresponding to each detector, the signal processing circuit 14, and It has.

水銀ランプ1は原子吸光分析に通常使用される水銀ランプや水銀中空陰極ランプである。第1および第2フローセル5、6は、測定ガスSである気化水銀のフローセルへの導入口と排出口とを備える円筒形状のフローセル本体を有するとともに、このフローセル本体の円筒の両端に分析線である波長253.7nmの紫外線を入射させる、例えば溶融石英で製作された入射窓と出射窓とを有している。第1フローセル5は低濃度測定用であり、第2フローセル6は第1フローセル5よりも光路が短く、高濃度測定用である。第1フローセル5と第2フローセル6の光路長の比率は、50:1〜300:1が好ましく、150:1〜250:1がより好ましい。例えば、第1フローセル5は、内径100mm、光路長200mmの円筒であり、第2フローセル6は、内径100mm、光路長1mmの円筒である。   The mercury lamp 1 is a mercury lamp or a mercury hollow cathode lamp usually used for atomic absorption analysis. The first and second flow cells 5 and 6 have a cylindrical flow cell body provided with an inlet and an outlet for mercury vapor, which is a measurement gas S, into the flow cell, and analytical lines are provided at both ends of the cylinder of the flow cell body. It has an incident window and an exit window made of, for example, fused silica, to which an ultraviolet ray having a wavelength of 253.7 nm is incident. The first flow cell 5 is for low concentration measurement, and the second flow cell 6 has a shorter optical path than the first flow cell 5 and is for high concentration measurement. The ratio of the optical path lengths of the first flow cell 5 and the second flow cell 6 is preferably 50: 1 to 300: 1, and more preferably 150: 1 to 250: 1. For example, the first flow cell 5 is a cylinder having an inner diameter of 100 mm and an optical path length of 200 mm, and the second flow cell 6 is a cylinder having an inner diameter of 100 mm and an optical path length of 1 mm.

第1ビームスプリッタ3は、水銀ランプ1から放射される光線を、透過光である第1ビーム21と反射光である第2ビーム22とに1:1の比率で分割し、第2ビームスプリッタ4は、第2ビーム22を、透過光である第3ビーム23と反射光である第4ビーム24とに1:1の比率で分割する。第1および第2ビームスプリッタ3、4は同じハーフミラーで、例えば図3に示すように表面にストライプ状にアルミニウムが蒸着された厚さ1mmの石英板である。なお、図3のストライプ状に限らず、図4に示す格子状または図5に示す水玉状にアルミニウム蒸着されたハーフミラーでも、誘電体多層膜を片面にコートしたハーフミラーでもよい。   The first beam splitter 3 divides the light emitted from the mercury lamp 1 into a first beam 21 that is transmitted light and a second beam 22 that is reflected light at a ratio of 1: 1, and the second beam splitter 4. Divides the second beam 22 into a third beam 23 that is transmitted light and a fourth beam 24 that is reflected light at a ratio of 1: 1. The first and second beam splitters 3 and 4 are the same half mirror, for example, a quartz plate having a thickness of 1 mm with aluminum deposited in a stripe shape on the surface as shown in FIG. In addition to the stripe shape shown in FIG. 3, it may be a half mirror with aluminum deposited in a lattice shape shown in FIG. 4 or a polka dot shape shown in FIG. 5, or a half mirror coated on one side with a dielectric multilayer film.

次に、本実施形態の水銀分析システムの動作について説明する。図1の水銀原子吸光分析装置100の電源が入れられると、水銀ランプ1が点灯し、第1フローセル5の入射窓に第1ビーム21が照射され、第1フローセル5を透過し出射窓から出射した第1ビーム21の光強度を第1検出器7で検出し、生じた電流を第1電流−電圧変換器11で電圧に変換して第1信号として出力し、その第1信号が信号処理回路14に入力される。同時に、第2フローセル6の入射窓に第3ビーム23が照射され、第2フローセル6を透過し出射窓から出射した第3ビーム23の光強度を第2検出器12で検出し、生じた電流を第2電流−電圧変換器12で電圧に変換して第2信号として出力し、その第2信号が信号処理回路14に入力される。一方、第4ビーム24の光強度を第3検出器9で検出し、生じた電流を第3電流−電圧変換器13で電圧に変換して第3信号として出力し、その第3信号が信号処理回路14に入力され、信号処理回路14で第1信号と第3信号との比31および第2信号と第3信号との比32の信号にされて定量手段15に入力される。   Next, the operation of the mercury analysis system of this embodiment will be described. When the mercury atomic absorption spectrometer 100 of FIG. 1 is turned on, the mercury lamp 1 is turned on, the first beam 21 is irradiated to the incident window of the first flow cell 5, and the first flow cell 5 is transmitted and emitted from the emission window. The light intensity of the first beam 21 is detected by the first detector 7, the generated current is converted into a voltage by the first current-voltage converter 11 and output as a first signal, and the first signal is signal processed. Input to the circuit 14. At the same time, the incident beam of the second flow cell 6 is irradiated with the third beam 23, the light intensity of the third beam 23 transmitted through the second flow cell 6 and emitted from the emission window is detected by the second detector 12, and the generated current Is converted into a voltage by the second current-voltage converter 12 and output as a second signal, and the second signal is input to the signal processing circuit 14. On the other hand, the light intensity of the fourth beam 24 is detected by the third detector 9, the generated current is converted into a voltage by the third current-voltage converter 13 and output as a third signal, and the third signal is a signal. The signal is input to the processing circuit 14, and the signal processing circuit 14 converts the first signal to the third signal to a ratio 31 and the second signal to the third signal to a ratio 32 and inputs the signals to the quantification means 15.

図1において、試料中の水銀を捕集した活性炭Cが試料容器212に収容され、その試料容器212が加熱気化装置200に挿入される。加熱気化装置200の加熱分解部210によって活性炭Cが加熱分解されると、捕集されていた水銀がガス状となって水銀捕集ユニット204に捕集される。捕集ユニット204が加熱気化部205によって加熱され、捕集ユニット204から気化した水銀ガスが測定ガスSとして、流量0.2l/min.に調整されたキャリアガスGによって図2の水銀原子吸光分析装置100の測定ガス流路10に導入され、測定ガスSが第1フローセル5、第2フローセル6の順に流れる。第1、第2フローセル5,6に測定ガスSが流れると、測定ガスS中の水銀によって、第1、第2フローセル5,6を通過している分析線の紫外線が吸光されて、それらの光強度が減少する。信号処理回路14で各信号が処理され、第1信号/第3信号31および第2信号/第3信号32は、一般に、図6に第1フローセルのピーク、第2フローセルのピークとしてそれぞれのプロファイルを示すように、各信号強度は上昇して極大値に達し、その後下降する。測定ガスSが測定ガス流路10に導入されると、測定が開始され信号強度の立下りまで信号強度が積分される。求められた積分値が定量手段15に入力されて試料中の水銀が定量される。   In FIG. 1, activated carbon C that collects mercury in a sample is accommodated in a sample container 212, and the sample container 212 is inserted into the heating vaporizer 200. When the activated carbon C is thermally decomposed by the thermal decomposition unit 210 of the heating vaporizer 200, the collected mercury is gasified and collected in the mercury collecting unit 204. Mercury atomic absorption analysis of FIG. 2 using the carrier gas G adjusted to a flow rate of 0.2 l / min as the measurement gas S, the mercury gas evaporated from the collection unit 204 being heated by the heating vaporization unit 205. The measurement gas S is introduced into the measurement gas channel 10 of the apparatus 100, and the measurement gas S flows in the order of the first flow cell 5 and the second flow cell 6. When the measurement gas S flows into the first and second flow cells 5 and 6, the ultraviolet rays of the analysis lines passing through the first and second flow cells 5 and 6 are absorbed by the mercury in the measurement gas S. Light intensity decreases. Each signal is processed by the signal processing circuit 14, and the first signal / third signal 31 and the second signal / third signal 32 are generally profiled as the peak of the first flow cell and the peak of the second flow cell in FIG. As shown, each signal intensity increases to reach a maximum value, and then decreases. When the measurement gas S is introduced into the measurement gas flow path 10, the measurement is started and the signal intensity is integrated until the fall of the signal intensity. The obtained integrated value is input to the quantification means 15 to quantify mercury in the sample.

本実施形態の水銀原子吸光分析装置100を用いて、5ngの水銀を測定したときの第1フローセル5(セル長 200mm)と第2フローセル6(セル長 1mm)とのピークプロファイルを図7に示す。図7では、第2フローセル6のピークを明確に示すためにスケールを拡大して表示しているので、第1フローセル5のピークプロファイルの上部がカットされている。   FIG. 7 shows peak profiles of the first flow cell 5 (cell length 200 mm) and the second flow cell 6 (cell length 1 mm) when 5 ng of mercury is measured using the mercury atomic absorption spectrometer 100 of the present embodiment. . In FIG. 7, since the scale is enlarged and displayed in order to clearly show the peak of the second flow cell 6, the upper part of the peak profile of the first flow cell 5 is cut.

第2フローセルで5ngの水銀を5回繰り返して測定したときに検出された水銀量と測定値のばらつきの程度を表すCV値(変動係数)を下表に示す。CV値は1.50%であり、精度の良い測定結果が得られている。   The following table shows the amount of mercury detected when 5 ng of mercury was measured 5 times in the second flow cell and the degree of variation in the measured value (coefficient of variation). The CV value is 1.50%, and an accurate measurement result is obtained.

Figure 0005596995
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図8に、この水銀原子吸光分析装置100による水銀量の測定可能範囲を示す。2pgから10ngまでは第1フローセル5によって、5ngから2000ng(2μg)までは第2フローセル6によって検量線のリニアリティがあり、ほぼ7桁の範囲で検量線のリニアリティを確保することができた。3次式の検量線を用いると、ほぼ8桁の範囲まで測定が可能である。5ngから10ngまでは第1、第2フローセル5、6いずれでも測定可能な領域である。   FIG. 8 shows a measurable range of the mercury amount by the mercury atomic absorption spectrometer 100. The calibration curve linearity was secured by the first flow cell 5 from 2 pg to 10 ng and by the second flow cell 6 from 5 ng to 2000 ng (2 μg), and the calibration curve linearity could be secured within a range of almost 7 digits. By using a cubic calibration curve, it is possible to measure up to an 8-digit range. The area from 5 ng to 10 ng can be measured by both the first and second flow cells 5 and 6.

図9〜12はこの水銀原子吸光分析装置100によって得られた測定結果を示す。図9は第1フローセル5によって得られた水銀量0〜10ngまでの検量線を示す。図10は水銀量2、4、6、10ngについて第1フローセル5で測定したピークプロファイルを示す。図11は第2フローセル6によって得られた0〜2000ngまでの検量線を示す。図12は第2フローセル6によって得られた0〜25000ngまでの検量線を示す。2000ng以上の領域は3次式近似の検量線を用いることで25000ngまでの水銀量が測定可能である。図9、11および12に示す検量線において、横軸が水銀量、縦軸がピークプロファイルを時間積分した値を示している。   9 to 12 show measurement results obtained by the mercury atomic absorption spectrometer 100. FIG. FIG. 9 shows a calibration curve from 0 to 10 ng of mercury obtained by the first flow cell 5. FIG. 10 shows peak profiles measured in the first flow cell 5 for mercury amounts of 2, 4, 6, 10 ng. FIG. 11 shows a calibration curve from 0 to 2000 ng obtained by the second flow cell 6. FIG. 12 shows a calibration curve from 0 to 25000 ng obtained by the second flow cell 6. In the region of 2000 ng or more, a mercury amount of up to 25000 ng can be measured by using a calibration curve approximated to a cubic equation. In the calibration curves shown in FIGS. 9, 11 and 12, the horizontal axis represents the mercury amount, and the vertical axis represents the value obtained by time integration of the peak profile.

以上説明したように、本実施形態の水銀原子吸光分析装置100は、2pg〜2000ngまでで検量線のリニアリティがあり、3次式近似式の検量線を用いることで25000ngまでの広範囲の水銀測定が可能であり、第1、第2フローセルの水銀原子吸光信号をそれぞれ独立に測定しているので、それぞれのプロファイルの積分値を個別に正確に求めることができる。また、従来技術のようなバッファタンクを使用する必要がないので、光学系のコンパクト化が図れ、さらに第1、第2フローセルのピークプロファイルを同時に測定することができ、測定時間の短縮化が図れる。   As described above, the mercury atomic absorption spectrometer 100 of the present embodiment has a linearity of a calibration curve from 2 pg to 2000 ng, and can measure a wide range of mercury up to 25000 ng by using a calibration curve of a cubic equation. It is possible, and the mercury atomic absorption signals of the first and second flow cells are measured independently, so that the integral value of each profile can be obtained accurately and individually. Further, since it is not necessary to use a buffer tank as in the prior art, the optical system can be made compact, the peak profiles of the first and second flow cells can be measured simultaneously, and the measurement time can be shortened. .

次に、本実施形態の水銀原子吸光分析装置100において、第1ビームスプリッタ3および第2ビームスプリッタ4の透過光と反射光の比率の違いによる測定データのノイズレベルについて実験した結果を説明する。水銀原子吸光分析装置100で重要なことは、低濃度測定用の第1フローセル3の測定上限と、高濃度測定用の第2フローセル4の測定下限とがオーバーラップしていることであり、第2フローセル4での5ng付近の測定精度が十分に得られることが要求される。測定の検出下限値は吸光度プロファイルのベースラインのノイズレベルに依存し、ノイズレベルが小さいほど、より低濃度まで測定が可能となる。第1および第2ビームスプリッタ3、4として厚さ1mmの無蒸着の石英板を用いたときの第2フローセル4のベースラインプロファイルを図13に示す。図13に示すように、ノイズレベルがAbs.(吸光度)約0.0004である。第2フローセルでの5ngの信号強度はAbs.約0.0007であり、この状態で5ngを測定するとよい精度が得られず、低濃度範囲と高濃度範囲との連続した測定においてもよい精度が得られない。   Next, in the mercury atomic absorption spectrometer 100 of the present embodiment, the results of experiments on the noise level of measurement data due to the difference in the ratio of transmitted light and reflected light of the first beam splitter 3 and the second beam splitter 4 will be described. What is important in the mercury atomic absorption spectrometer 100 is that the measurement upper limit of the first flow cell 3 for low concentration measurement and the measurement lower limit of the second flow cell 4 for high concentration measurement overlap. It is required that the measurement accuracy in the vicinity of 5 ng in the two flow cell 4 is sufficiently obtained. The lower detection limit of measurement depends on the noise level of the baseline of the absorbance profile, and the smaller the noise level, the lower the concentration can be measured. FIG. 13 shows a baseline profile of the second flow cell 4 when an undeposited quartz plate having a thickness of 1 mm is used as the first and second beam splitters 3 and 4. As shown in FIG. 13, the noise level is Abs. (Absorbance) is about 0.0004. The signal strength of 5 ng in the second flow cell is Abs. In this state, it is not possible to obtain good accuracy by measuring 5 ng, and it is not possible to obtain good accuracy even in continuous measurement in the low concentration range and the high concentration range.

無蒸着の石英板を用いたときにノイズが大きくなっている原因は、分析線である紫外線の透過率が高く反射率が低いために、第1フローセル5に入射する光量に比較して第2フローセル6に入射する光量が低すぎたためと考えられる。具体的には、水銀ガスが流れていない状態での第1フローセル5側の第1電流−電圧変換器11に流れる光電流が、約200nAであるのに対して、第2フローセル6側の第2電流−電圧変換器12に流れる電流は、その1/50の4nAであった。これは、オペアンプ等を用いた電流−電圧変換器は、信号電流が小さくなると外部からの電磁ノイズなどの影響を受けやすいという特性を持っているので、第2フローセル6を透過する光量が少なく第2電流−電圧変換器12に流す光電流が小さいと、ベースラインのノイズが大きくなることによる。   The reason why the noise is increased when using an undeposited quartz plate is that the transmittance of ultraviolet rays, which is an analysis line, is high and the reflectance is low, so that the second is greater than the amount of light incident on the first flow cell 5. This is probably because the amount of light incident on the flow cell 6 was too low. Specifically, the photocurrent flowing through the first current-voltage converter 11 on the first flow cell 5 side when mercury gas is not flowing is about 200 nA, whereas the photocurrent flowing on the first flow cell 5 side is about 200 nA. The current flowing through the 2-current-voltage converter 12 was 1/50 of 4 nA. This is because a current-voltage converter using an operational amplifier or the like has a characteristic that when the signal current becomes small, it is easily affected by electromagnetic noise from the outside, so that the amount of light transmitted through the second flow cell 6 is small. This is because the baseline noise increases when the photocurrent flowing through the two-current-voltage converter 12 is small.

第2検出器8に入射する光量を上げるための手段として、図3に示すような石英板の片面にストライプ状にアルミニウム蒸着し、透過部(蒸着のない部分)の面積と反射部(蒸着した部分)の面積を約1:1にしたハーフミラーを第1と第2ビームスプリッタに用いた。反射率を向上させたハーフミラーをビームスプリッタとして用いることで第2フローセル6に入射する光量を約10倍に増加させることができた。透過部の面積と反射部の面積を約1:1にしたハーフミラーは、第1ビームと第2ビームとに1:1の比率で分割し、第3ビームと第4ビームとに1:1の比率で分割する。分割比率1:1のハーフミラーを第1、第2ビームスプリッタとした水銀原子吸光分析装置100のベースラインのプロファイルを図14に示す。図13のノイズレベルに比較して大きく改善していることが分かる。このようにビームスプリッタの透過光と反射光のビーム分割比率を1:1にすることによって、無蒸着の石英板に比べてベースラインのノイズと安定性を大幅に改善することができ、低濃度範囲の測定上限と高濃度範囲の測定下限とがオーバーラップして精度よく測定できるようになった。   As means for increasing the amount of light incident on the second detector 8, aluminum is vapor-deposited in stripes on one side of a quartz plate as shown in FIG. 3, and the area of the transmissive part (the part without vapor deposition) and the reflective part (deposited). A half mirror having an area of about 1: 1 was used for the first and second beam splitters. By using a half mirror with improved reflectivity as a beam splitter, the amount of light incident on the second flow cell 6 could be increased about 10 times. The half mirror in which the area of the transmissive part and the area of the reflective part are about 1: 1 is divided into a first beam and a second beam at a ratio of 1: 1, and a third beam and a fourth beam are 1: 1. Divide by the ratio. FIG. 14 shows a baseline profile of the mercury atomic absorption spectrometer 100 using a half mirror with a split ratio of 1: 1 as the first and second beam splitters. It can be seen that there is a significant improvement compared to the noise level in FIG. In this way, by setting the beam splitting ratio of the transmitted light and reflected light of the beam splitter to 1: 1, the noise and stability of the baseline can be greatly improved compared to the undeposited quartz plate, and the low concentration The measurement upper limit of the range and the measurement lower limit of the high concentration range overlap each other, and measurement can be performed with high accuracy.

本実施形態で説明したように、本発明の水銀原子吸光分析装置100は、低濃度測定用第1フローセル5と高濃度測定用第2フローセル6との間にバッファタンクを備えないコンパクトな構成で、第1フローセル5の測定と第2フローセル6の測定をそれぞれに対応した検出器7、8で同時に行うことにより、測定時間を短縮するとともに、第1フローセル5によるピークと第2フローセル6によるピークとの重なりをなくし、さらに第1フローセル5、第2フローセル6ともにダブルビーム測光によって水銀ランプ1から放射される光線の強度変動を補償するので、広いダイナミックレンジ測定において水銀分析の正確さと精度を向上させることができる。   As described in the present embodiment, the mercury atomic absorption spectrometer 100 of the present invention has a compact configuration that does not include a buffer tank between the first flow cell 5 for low concentration measurement and the second flow cell 6 for high concentration measurement. The measurement of the first flow cell 5 and the measurement of the second flow cell 6 are simultaneously performed by the corresponding detectors 7 and 8, thereby reducing the measurement time, and the peak due to the first flow cell 5 and the peak due to the second flow cell 6 In addition, both the first flow cell 5 and the second flow cell 6 compensate for fluctuations in the intensity of light emitted from the mercury lamp 1 by double beam photometry, improving the accuracy and accuracy of mercury analysis in a wide dynamic range measurement. Can be made.

なお、本発明の実施形態ではビームスプリッタとしてハーフミラーを用いたが、ハーフミラーに限らず、図15に示すように水銀ランプの光線20を第1ビーム21と第2ビーム22に分割する楔型のビームスプリッタ703や、貫通孔で形成された透過部とミラーで形成された反射部とを交互に円周に沿って連続して有している回転セクタ(図示せず)などであってもよい。第1、第2および第3検出器は、253.7nmの水銀の分析線を検出することができる光電子増倍管であってもよい。本発明の実施形態では、第1フローセル5は光路が第2フローセル6よりも長い低濃度測定用であり、第2フローセル6は光路が第1フローセル5よりも短い高濃度測定用であったが、その逆であってもよい。   In the embodiment of the present invention, the half mirror is used as the beam splitter. However, the present invention is not limited to the half mirror, but a wedge type that divides the light beam 20 of the mercury lamp into the first beam 21 and the second beam 22 as shown in FIG. Or a rotating sector (not shown) having a transmission part formed by a through hole and a reflection part formed by a mirror alternately along the circumference. Good. The first, second and third detectors may be photomultiplier tubes capable of detecting a mercury analysis line of 253.7 nm. In the embodiment of the present invention, the first flow cell 5 is for low concentration measurement whose optical path is longer than that of the second flow cell 6, and the second flow cell 6 is for high concentration measurement whose optical path is shorter than that of the first flow cell 5. Or vice versa.

1 水銀ランプ
3 第1ビームスプリッタ
4 第2ビームスプリッタ
5 第1フローセル
6 第2フローセル
7 第1検出器
8 第2検出器
9 参照側の検出器
10 測定ガス流路
15 定量手段
21 第1ビーム
22 第2ビーム
23 第3ビーム
24 第4ビーム
100 水銀原子吸光分析装置
120 水銀分析システム
200 水銀気化装置
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Mercury lamp 3 1st beam splitter 4 2nd beam splitter 5 1st flow cell 6 2nd flow cell 7 1st detector 8 2nd detector 9 Reference side detector 10 Measurement gas flow path 15 Quantification means 21 1st beam 22 Second beam 23 Third beam 24 Fourth beam 100 Mercury atomic absorption analyzer 120 Mercury analysis system 200 Mercury vaporizer

Claims (3)

水銀の分析線の光線を放射する水銀ランプと、
前記水銀ランプから放射される光線を第1ビームおよび第2ビームに分割する第1ビームスプリッタと、
前記第2ビームを第3ビームおよび第4ビームに分割する第2ビームスプリッタと、
前記第1ビームおよび測定ガスが通過する第1フローセルと、
前記第1フローセルを通過した第1ビームの光強度を検出する測定側の第1検出器と、
前記第1フローセルとともに測定ガス流路を形成して前記第1フローセルの下流側に配置され、前記第1フローセルの光路長と異なる光路長を有し、前記第3ビームおよび測定ガスが通過する第2フローセルと、
前記第2フローセルを通過した第3ビームの光強度を検出する測定側の第2検出器と、
前記第4ビームの光強度を検出する参照側の検出器と、
前記測定側の第1検出器で検出された光強度と前記参照側の検出器で検出された光強度との比および前記測定側の第2検出器で検出された光強度と前記参照側の検出器で検出された光強度との比に基づいて、前記測定ガス流路に流された測定ガス中の水銀を定量する定量手段と、
を備え、
前記第1フローセルと、前記第2フローセルとにおいて、水銀原子吸光信号であるピークプロファイルをそれぞれ独立に同時に測定する水銀原子吸光分析装置。
A mercury lamp that emits rays of mercury analysis lines;
A first beam splitter that splits a light beam emitted from the mercury lamp into a first beam and a second beam;
A second beam splitter for splitting the second beam into a third beam and a fourth beam;
A first flow cell through which the first beam and measurement gas pass;
A first detector on the measurement side that detects the light intensity of the first beam that has passed through the first flow cell;
A measurement gas flow path is formed together with the first flow cell, and is disposed downstream of the first flow cell. Two flow cells;
A second detector on the measurement side for detecting the light intensity of the third beam that has passed through the second flow cell;
A reference detector for detecting the light intensity of the fourth beam;
The ratio between the light intensity detected by the first detector on the measurement side and the light intensity detected by the reference detector, and the light intensity detected by the second detector on the measurement side and the reference side Based on a ratio with the light intensity detected by the detector, a quantitative means for quantifying mercury in the measurement gas passed through the measurement gas flow path,
Bei to give a,
A mercury atomic absorption analyzer that simultaneously and independently measures a peak profile, which is a mercury atomic absorption signal, in the first flow cell and the second flow cell .
請求項1に記載の水銀原子吸光分析装置において、前記第1ビームスプリッタでの前記第1ビームと前記第2ビームとの分割比率が1:1であり、前記第2ビームスプリッタでの前記第3ビームと前記第4ビームとの分割比率が1:1である水銀原子吸光分析装置。 2. The mercury atomic absorption spectrometer according to claim 1, wherein a split ratio of the first beam and the second beam in the first beam splitter is 1: 1, and the third beam in the second beam splitter is 3rd. A mercury atomic absorption spectrometer in which the split ratio of the beam and the fourth beam is 1: 1. 請求項1または2に記載の水銀原子吸光分析装置と、
試料中の水銀を気化させて測定ガスとして前記水銀原子吸光分析装置に導入する水銀気化装置と、
を備える水銀分析システム。
A mercury atomic absorption spectrometer according to claim 1 or 2,
A mercury vaporizer that vaporizes mercury in the sample and introduces it into the mercury atomic absorption spectrometer as a measurement gas;
Mercury analysis system equipped with.
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