JP5441807B2 - 除去効率測定方法 - Google Patents

Description

本発明は、空気中に含まれる各種複数のガス成分のうちの所定の対象ガスを除去するガス除去装置の除去効率を測定する除去効率測定方法に関する。

原子力施設から放出される排気ガスに含まれる放射性ヨウ素をヨウ素吸着材によって除去するヨウ素フィルタの漏れを試験するリーク試験方法がある（特許文献１参照）。このリーク試験方法は、空気の組成を変化させる所定のガス成分を含ませた試験空気をヨウ素フィルタに流入させ、その試験空気がヨウ素フィルタの入口から出口に達したときの時間を検出することでヨウ素フィルタにおけるヨウ素の漏れの可能性を試験する。

このリーク試験方法では、正常にヨウ素吸着材が設置されたヨウ素フィルタのガス成分の通過時間がガス成分の種類や濃度（流量）、ヨウ素吸着材の量（層厚）に依存することに着目し、空気の組成を変化させるガス成分を含ませた試験空気の正常なヨウ素フィルタにおける比較通過時間をあらかじめ事前の試験によって求めておく。ヨウ素フィルタにおける大気中のガス成分のリークがあると、そのガス成分がヨウ素吸着剤と吸着・脱着反応を起こさずにヨウ素フィルタ中を通過し、リークがない場合と比較して試験空気が早くヨウ素フィルタから出てしまう。ゆえに、リークがある場合のヨウ素フィルタにおける試験空気の通過時間はリークがない場合のヨウ素フィルタにおける試験空気の通過時間よりも早い。したがって、正常なヨウ素フィルタにおいてあらかじめ求めた試験空気の比較通過時間と試験対象のヨウ素フィルタにおける試験空気の通過時間とを比較することで、そのヨウ素フィルタにおけるリークの有無を判定することができる。

特開平７−１４８４１８号公報

前記特許文献１に開示のリーク試験方法は、ヨウ素とは異なるガス成分を含む試験空気をヨウ素フィルタにおけるヨウ素のリーク有無の試験に利用し、その試験空気がヨウ素フィルタの入口から出口に達したときの時間を検出することでヨウ素フィルタにおけるヨウ素のリークの有無を推定する。ゆえに、ヨウ素そのものを利用してヨウ素フィルタにおけるヨウ素のリークを試験するものではないから、そのヨウ素フィルタにおいてヨウ素そのもののリークがあるかの確証を得ることが難しく、試験結果に高い信頼性や信憑性を求めることはできない。また、このリーク試験方法は、ヨウ素フィルタの入口側に空気導入装置を設置し、ヨウ素フィルタの出口側にガス測定装置を設置するとともに、それら装置とヨウ素フィルタとの間を密閉する密閉機構を取り付け、試験空気の漏れを防止しつつ、試験空気の流速や流量を一定に保持する必要があり、試験に手間と時間とを要するのみならず、それら装置や密閉機構を設置できない環境にある使用中のヨウ素フィルタでは試験を行うことができない場合がある。

本発明の目的は、対象ガスを直接利用してガス除去装置におけるその対象ガスの除去効率を測定することができ、信頼性や信憑性の高い除去効率を測定することができる除去効率測定方法を提供することにある。本発明の他の目的は、使用中にあるガス除去装置の除去効率を測定することができる除去効率測定方法を提供することにある。

前記課題を解決するための本発明の前提は、空気中に含まれる各種複数のガス成分のうちの所定の対象ガスを除去するガス除去装置の除去効率を測定する除去効率測定方法である。

前記前提における本発明の特徴として、除去効率測定方法は、対象ガスと同一の試験用ガスと、ガス除去装置に除去されずにそれを通過するトレーサーガスと、空気中に含まれる試験用ガスおよびトレーサーガスの濃度を測定するガス濃度測定装置とを利用し、所定量の試験用ガスとトレーサーガスとをガス除去装置の入口側からガス除去装置に同時に供給するガス供給プロセスと、ガス除去装置を通ってその出口から流出した空気中に含まれる試験用ガスとトレーサーガスとの濃度をガス濃度測定装置を利用して測定するガス濃度第１測定プロセスとを実行することにある。

本発明の一例として、除去効率測定方法は、試験用ガスとトレーサーガスとの供給を停止した後、ガス除去装置から飛散してその出口から流出した空気中に含まれる試験用ガスの濃度をガス濃度測定装置を利用して測定するガス濃度第２測定プロセスを含む。

本発明の他の一例として、除去効率測定方法は、ガス除去装置の出口から流出した空気中に含まれるトレーサーガスの濃度からトレーサーガスの空気中における希釈倍率を算出する希釈倍率計算プロセスと、希釈倍率計算プロセスによって算出したトレーサーガスの空気中における希釈倍率に基づいてガス除去装置に流入した試験用ガスの濃度を算出する試験用ガス濃度算出プロセスとを含む。

本発明の他の一例として、除去効率測定方法は、ガス除去装置の対象ガスに対する使用可能な限界効率に対応させてガス除去装置の入口側から供給する試験用ガスの空気に対する濃度の倍率を決定する濃度倍率決定プロセスを含む。

本発明の他の一例として、ガス供給プロセスでは、ガス除去装置の入口側から供給する試験用ガスの濃度がガス濃度測定装置の検出限界濃度と同一またはそれよりもわずかに高く、試験用ガスとトレーサーガスとの供給時間が同一である。

本発明の他の一例として、ガス供給プロセスにおける試験用ガスとトレーサーガスとのガス除去装置の入口側への供給時では、ガス除去装置の周囲の空気の風量または風速が不均一である。

本発明の他の一例として、除去効率測定方法では、対象ガスを除去する使用中の状態にあるガス除去装置の除去効率を測定する。

本発明の他の一例としては、ガス濃度測定装置が複数種類のガスの濃度を連続して同時に測定することが可能な光音響ガスモニタである。

本発明の他の一例としては、ガス除去装置が空気中の対象ガスを吸着するガス除去エアフィルタである。

本発明にかかる除去効率測定方法によれば、所定量の試験用ガスとトレーサーガスとをガス除去装置の入口側から同時に供給し、ガス除去装置を通ってその出口から流出した空気中に含まれる試験用ガスとトレーサーガスとの濃度をガス濃度測定装置を利用して測定するから、その測定中にトレーサーガスがガス濃度測定装置に検出された場合、試験用ガスがガス除去装置に流入したことが実証され、逆に、その測定中にトレーサーガスがガス濃度測定装置に検出されない場合、試験用ガスもガス除去装置に流入していないことが実証される。ゆえに、ガス除去装置の出口側においてトレーサーガスが検出されることで、その測定中における試験用ガスのガス除去装置への流入を認定することができ、試験用ガスを使用してガス除去装置が設置された環境下の空気に含まれる対象ガスに対するガス除去装置の除去効率を確実に測定することができる。除去効率測定方法は、対象ガスと同一の試験用ガスを利用してガス除去装置における除去効率を測定するから、対象ガスに対するガス除去装置の除去効率を測定したものとみなすことができ、対象ガスに対するガス除去装置の除去効率を高い精度で測定することができるとともに、対象ガスに対するガス除去装置の信頼性や信憑性の高い除去効率を測定することができる。除去効率測定方法は、ガス除去装置の出口側においてトレーサーガスとともに所定濃度の試験用ガスがガス濃度測定装置に検出された場合、そのガス除去装置にリーク等の構造的な欠陥があることやガス除去装置の性能が低下したことを知ることができる。また、それによってそのガス除去装置の使用限界を知ることができるから、ガス除去装置を交換する時期を判断することができる。この除去効率測定方法は、それを実施することでガス除去装置を適時に交換することができ、空気に対象ガスが含まれたとしても、ガス除去装置を利用してその対象ガスを空気から確実に除去することができる。

試験用ガスとトレーサーガスとの供給を停止した後、ガス除去装置から飛散してその出口から流出した空気中に含まれる試験用ガスの濃度をガス濃度測定装置を利用して測定する除去効率測定方法は、試験用ガスとトレーサーガスとの供給を停止した後、所定濃度の試験用ガスがガス濃度測定装置に検出された場合、そのガス除去装置にリーク等の構造的な欠陥以外の化学的な欠陥等の他の欠陥があることを知ることができる。また、それによってそのガス除去装置の使用限界を知ることができ、ガス除去装置を交換する時期を正確に判断することができる。この除去効率測定方法は、ガス除去装置を適時に交換することができ、空気に対象ガスが含まれたとしても、ガス除去装置を利用してその対象ガスを空気から確実に除去することができる。

ガス除去装置の出口から放出された空気中に含まれるトレーサーガスの濃度からトレーサーガスの空気中における希釈倍率を算出し、算出したトレーサーガスの空気中における希釈倍率に基づいてガス除去装置に流入する試験用ガスの濃度を算出する除去効率測定方法は、ガス除去装置の出口から放出された空気中に含まれるトレーサーガスの希釈倍率からガス除去装置に流入する試験用ガスの濃度を算出することで、ガス除去装置に実際に流入した試験用ガスの実質濃度を解析することができるから、ガス除去装置に流入しない試験用ガスを除いた場合のガス除去装置の除去効率を測定することができ、ガス除去装置の除去効率を高い精度で測定することができるとともに、対象ガスに対するガス除去装置の信頼性や信憑性の高い除去効率を測定することができる。除去効率測定方法は、ガス除去装置の出口においてトレーサーガスとともに所定濃度の試験用ガスがガス濃度測定装置に検出された場合、そのガス除去装置にリーク等の構造的な欠陥があることやガス除去装置の性能が低下したことを知ることができる。また、それによってそのガス除去装置の使用限界を知ることができ、ガス除去装置を交換する時期を正確に判断することができる。この除去効率測定方法は、ガス除去装置を適時に交換することができ、空気に対象ガスが含まれたとしても、ガス除去装置を利用してその対象ガスを空気から確実に除去することができる。

ガス除去装置の対象ガスに対する使用可能な限界効率に対応させてガス除去装置の入口側から供給する試験用ガスの空気に対する濃度の倍率を決定する除去効率測定方法は、ガス除去装置の使用環境を考慮しつつ、ガス除去装置の交換の指標となる限界効率に応じて試験用ガスの空気に対する濃度の倍率を自由に決定することができる。この除去効率測定方法は、ガス除去装置の限界効率に応じた倍率の濃度の試験用ガスがガス濃度測定装置に検出された場合、そのガス除去装置の使用限界を知ることができ、ガス除去装置を交換する時期を正確に判断することができる。この除去効率測定方法は、ガス除去装置の限界効率を考慮しつつガス除去装置を適時に交換することができ、空気に対象ガスが含まれたとしても、ガス除去装置を利用してその対象ガスを空気から確実に除去することができる。

ガス除去装置の入口側から供給する試験用ガスの濃度がガス濃度測定装置の検出限界濃度と同一またはそれよりもわずかに高く、試験用ガスとトレーサーガスとの供給時間が同一である除去効率測定方法は、必要以上に高い濃度の試験用ガスを供給すると、試験用ガスによってガス除去装置の性能を低下させることになるが、トレーサーガスを利用して試験用ガスのガス除去装置への流入を実証することができるから、ガス濃度測定装置の検出限界濃度と同一またはそれよりもわずかに高い濃度の試験用ガスを除去効率の測定に使用することができるとともに、試験用ガスの供給時間を短くすることができ、ガス除去装置の性能を低下させることなく、そのガス除去装置の除去効率を確実に測定することができる。除去効率測定方法は、ガス濃度測定装置の検出限界濃度にあわせて試験用ガスの濃度を自由に設定することができる。この除去効率測定方法は、試験用ガスとトレーサーガスとの供給時間が同一であるから、その測定中にトレーサーガスがガス濃度測定装置に検出された場合、試験用ガスがガス除去装置に流入したことが確実に実証され、逆に、その測定中にトレーサーガスがガス濃度測定装置に検出されない場合、試験用ガスもガス除去装置に流入していないことが確実に実証される。ゆえに、ガス除去装置の出口側においてトレーサーガスが検出されることでその測定中における試験用ガスのガス除去装置への流入を確証することができ、試験用ガスを使用してガス除去装置が設置された環境下の空気に含まれる対象ガスに対するガス除去装置の除去効率を確実に測定することができる。

試験用ガスとトレーサーガスとのガス除去装置の入口側への供給時ではガス除去装置の周囲の空気の風量または風速が不均一である除去効率測定方法は、ガス除去装置の実際の使用環境では空気の風量または風速が不均一であり、そのような環境下でガス除去装置の除去効率を測定することで、ガス除去装置の実際の使用環境に応じた除去効率を測定することができ、ガス除去装置の現実的な使用限界を知ることができるとともに、ガス除去装置を交換する時期を具体的に判断することができる。この除去効率測定方法は、ガス除去装置の実際の使用環境を考慮しつつガス除去装置を適時に交換することができ、空気に対象ガスが含まれたとしても、ガス除去装置を利用してその対象ガスを空気から確実に除去することができる。

対象ガスを除去する使用中の状態にあるガス除去装置の除去効率を測定する除去効率測定方法は、実際に設置された使用中のガス除去装置の除去効率を測定することで、その使用中のガス除去装置の欠陥の有無を知ることができ、それによってそのガス除去装置の使用限界を知ることができるとともに、ガス除去装置を交換する時期を具体的に判断することができる。この除去効率測定方法は、ガス除去装置の実際の使用環境においてガス除去装置を適時に交換することができ、空気に対象ガスが含まれたとしても、ガス除去装置を利用してその対象ガスを空気から確実に除去することができる。

ガス濃度測定装置が複数種類のガスの濃度を連続して同時に測定することが可能な光音響ガスモニタである除去効率測定方法は、複数種類のガスの濃度を連続かつ同時に測定する光音響ガスモニタを使用することで、試験用ガスとトレーサーガスとを所定時間連続してガス除去装置に流入させたとしても、それらガスの濃度が光音響ガスモニタによって測定されるから、ガス除去装置の除去効率を高い精度で測定することができ、対象ガスに対するガス除去装置の信頼性や信憑性の高い除去効率を測定することができる。

ガス除去装置が空気中の対象ガスを吸着するガス除去エアフィルタである除去効率測定方法は、ガス除去エアフィルタの出口側においてトレーサーガスが検出されることで、その測定中における試験用ガスのガス除去エアフィルタへの流入を確証することができ、試験用ガスを使用してガス除去エアフィルタが設置された環境下の空気に含まれる対象ガスに対するガス除去エアフィルタの除去効率を確実に測定することができる。除去効率測定方法は、対象ガスと同一の試験用ガスを利用してガス除去エアフィルタにおける除去効率を測定するから、対象ガスに対するエアフィルタの除去効率を測定したものとみなすことができ、対象ガスに対するエアフィルタの除去効率を高い精度で測定することができるとともに、対象ガスに対するエアフィルタの信頼性や信憑性の高い除去効率を測定することができる。除去効率測定方法は、ガス除去エアフィルタの出口側においてトレーサーガスとともに所定濃度の試験用ガスがガス濃度測定装置に検出された場合、そのエアフィルタに欠陥があることを知ることができる。また、それによってそのガス除去エアフィルタの使用限界を知ることができるから、エアフィルタを交換する時期を判断することができる。この除去効率測定方法は、ガス除去エアフィルタを適時に交換することができ、空気に対象ガスが含まれたとしても、エアフィルタを利用してその対象ガスを空気から確実に除去することができる。

一例として示す除去効率測定システムの構成図。 一例として示すガス除去エアフィルタの斜視図。 ディスプレイに表示された初期画面の一例を示す図。 濃度倍率設定画面の一例を示す図。 条件設定画面の一例を示す図。 システムによって実行される除去効率測定方法のフローチャート。 図６から続くフローチャート。 図７から続くフローチャート。 濃度測定データ表示画面の一例を示す図。 第２サンプリングにおける条件設定画面の一例を示す図。 他の一例として示す図７から続く除去効率測定方法のフローチャート。 濃度測定データ表示画面の他の一例を示す図。

一例として示す除去効率測定システムの構成図である図１等の添付の図面を参照し、本発明にかかる除去効率測定方法の詳細を説明すると、以下のとおりである。なお、図２は、一例として示すガス除去エアフィルタ１１の斜視図である。除去効率測定システム１０は、所定の除去対象ガスが発生するおそれがある環境下に設置されたガス除去エアフィルタ１１の対象ガスの除去効率を測定する除去効率測定方法を実行する。

除去効率測定システム１０は、ガス除去エアフィルタ１１（ガス除去装置）と、ガス供給ユニット１２と、空気サンプリングユニット１３と、光音響ガスモニタ１４（ガス濃度測定装置）と、コントローラ１５とから形成されている。本実施の形態ではガス除去装置としてガス除去エアフィルタ１１を例示しているが、ガス除去装置をガス除去エアフィルタ１１に限定するものではなく、他のすべてのガス除去装置を用いて本発明にかかる除去効率測定方法を実行することができる。また、ガス濃度測定装置として光音響ガスモニタ１４を例示しているが、ガス濃度測定装置を光音響ガスモニタ１４に限定するものではなく、他のすべてのガス濃度測定装置を用いて本発明にかかる除去効率測定方法を実行することができる。

ガス除去エアフィルタ１１は、主に原子力施設や半導体製造施設、液晶製造施設において使用される。ガス除去エアフィルタ１１にはセパレータ型エアフィルタやミニプリーツ型エアフィルタ等があり、その除去対象ガスには酸性ガスや有機ガス、塩基性ガス等があり、二酸化炭素や酸素も含まれる。ガス除去エアフィルタ１１は、ガラス繊維や炭素繊維、合成樹脂繊維、吸着剤（化学薬品）を濾材とし、図２に示すように、フィルタ収納カートリッジ１６（収納枠）に収納して使用される。ガス除去エアフィルタ１１は、蛇腹に折り畳まれた四角柱状の立体構造を有する。なお、ガス除去エアフィルタ１１には、立体構造を有するそれの他に、略扁平のそれも含まれ、さらに、円柱状や多角柱状のものも含まれる。

ガス除去エアフィルタ１１は、図１に示すように、ダクト１７に着脱可能かつ気密に設置され、ダクト１７を通る空気に含まれる除去対象ガスを除去し、清浄空気を施設内または施設外に放出する。ダクト１７には、図示はしていないが、その上流側と下流側との少なくとも一方に給気ファンや排気ファンが取り付けられている。それらファンは、施設内の空気をダクト１７内に強制的に流入させる。ガス除去エアフィルタ１１は実際に使用中のそれであり、このシステム１０（除去効率測定方法）では除去対象ガスを除去する使用中の状態にある中古品のガス除去エアフィルタ１１の除去効率が測定される。なお、このシステム１０では、使用中のガス除去エアフィルタ１１に限らず、使用する以前の新品のガス除去エアフィルタ１１の除去効率の測定に使用される場合もある。

他のガス除去装置として、たとえば脱臭・有毒ガスを除去する活性炭フィルタを例示することができる。活性炭フィルタは、空調用フィルタや空気清浄用フィルタ、排気処理用フィルタ、車両用エアフィルタとして使用される。活性炭フィルタの除去対象ガスには、アンモニアやアセトアルデヒド、トルエン、スチレン、キシレン、メチルメルカプタン、硫化水素、硫化メチル、二硫化メチル、トリメチルアミン、イソブタノール、酢酸エチル、メチルイソブチルケトン、プロピオン酸、ノルマル酸等がある。

ガス供給ユニット１２は、ダクト１７の空気取り入れ口１８（ガス除去エアフィルタ１１の上流）からダクト１７内に所定量のガスを所定時間供給する。ガス供給ユニット１２は、ガス除去エアフィルタ１１の除去対象ガスと同一の試験用ガス１９をダクト１７に供給する試験ガス供給機構２０と、ガス除去エアフィルタ１１に除去されずにそれを通過するトレーサーガス２２をダクト１７に供給するトレーサーガス供給機構２３とから形成されている。試験ガス供給機構２０やトレーサーガス供給機構２３は、ダクト１７の空気取り入れ口１８に着脱可能に設置される。

試験ガス供給機構２０は、圧縮された試験用ガス１９を貯蔵した試験ガス用ボンベ２４と、定流量装置２５と、切替バルブ２６と、吹出口２７とから形成されている。ボンベ２４や定流量装置２５、切替バルブ２６、吹出口２７は通気管路２８を介して接続されている。試験ガス供給機構２０では、ガス除去エアフィルタ１１に向かってボンベ２４、定流量装置２５、切替バルブ２６、吹出口２７の順に並んでいる。

切替バルブ２６は、その弁機構を開閉することで、試験用ガス１９の通気管路２９における流通をＯＮ／ＯＦＦするとともに、ダクト１７への試験用ガス１９の供給量を調節する。定流量装置２５は、通気管路２８を通る試験用ガス１９を一定量に保持し、試験ガス用ボンベ２４内の試験用ガス１９の一定量を切替バルブ２６に向かって流入させる。

トレーサーガス供給機構２３は、圧縮されたトレーサーガス２２を貯蔵したトレーサーガス用ボンベ２９と、定流量装置３０と、切替バルブ３１と、吹出口３２とから形成されている。ボンベ２９や定流量装置３０、切替バルブ３１、吹出口３２は通気管路３３を介して接続されている。トレーサーガス供給機構２３では、ガス除去エアフィルタ１１に向かってボンベ２９、定流量装置３０、切替バルブ３１、吹出口３２の順に並んでいる。

切替バルブ３１は、その弁機構を開閉することで、トレーサーガス２２の通気管路３３における流通をＯＮ／ＯＦＦするとともに、ダクト１７へのトレーサーガス２２の供給量を調節する。定流量装置３０は、通気管路３３を通るトレーサーガス３３を一定量に保持し、トレーサーガス用ボンベ２９内のトレーサーガス３３の一定量を切替バルブ３１に向かって流入させる。

空気サンプリングユニット１３は、ガス除去エアフィルタ１１の下流側におけるダクト１７（ガス除去エアフィルタ１１とダクト１７の空気排出口３４との間に延びるダクト１７）に着脱可能に設置される。空気サンプリングユニット１３は、ダクト１７を通る空気を採集する採集口３５と、採集した空気をダクト１７に戻す放出口３６と、吸引ポンプ３７と、流量計付き調節バルブ３８および切替バルブ３９，４０とから形成されている。採集口３５や放出口３６は、ダクト１７内に設置されている。採集口３５や放出口３６、吸引ポンプ３７、流量計付き調節弁３８、切替バルブ３９，４０は通気管路４１を介して接続されている。空気サンプリングユニット１３では、ガス除去エアフィルタ１１の側から採集口３５、吸引ポンプ３７、流量計付き調節弁３８、切替バルブ３９，４０、放出口３６の順に並んでいる。

吸引ポンプ３７は、その出力が一定に保持され、ダクト１７を流動する空気を採集口３５から通気管路４１に強制的に流入させる。流量計付き調節弁３８は、通気管路４１を通るサンプル空気を一定量に保持し、吸引ポンプ３７が吸引したサンプル空気の一定量を各切替バルブ３９，４０に向かって流入させる。切替バルブ３９，４０は、その弁機構を開閉することで、サンプル空気の通気管路４１における流通をＯＮ／ＯＦＦする。切替バルブ３９は、光音響ガスモニタ１４に流入させるサンプル空気のサンプリング量を調節する。

光音響ガスモニタ１４は、通気管路４１に流れるサンプル空気に含まれる各種複数のガス（ガス成分）の濃度を複数同時に測定するとともに、それらガスの濃度を連続的に測定し、測定したガス濃度をコントローラ１５に出力する。光音響ガスモニタ１４は、その接続端子が通気管路４１に接続されている。コントローラ１５は、中央処理部（ＣＰＵまたはＭＰＵ）とメモリと大容量ハードディスクとを有するコンピュータである。コントローラ１５には、キーボード４２やマウス４３、ディスプレイ４４、プリンタ（図示せず）等の入出力装置（図示せず）がインターフェイスを介して接続されている。コントローラ１５には、試験ガス供給機構２０の切替バルブ２６とトレーサーガス供給機構２３の切替バルブ３１とがインターフェイス２１を介して接続されている。コントローラ１５には、空気サンプリングユニット１３の各切替バルブ３９，４０がインターフェイス２１を介して接続され、光音響ガスモニタ１４がインターフェイス２１を介して接続されている。

コントローラ１５のメモリには、後記する各種手段をコントローラ１５や光音響ガスモニタ１４に実行させるためのアプリケーションが格納されている。コントローラ１５のハードディスクには、切替バルブ２６の弁機構の開閉時間、切替バルブ２６の弁機構の開度と切替バルブ２６を通過する試験用ガス１９の量との相関関係、試験用ガス１９の供給量とが格納されている。コントローラ１５は、切替バルブ２６の弁機構を開け、弁機構の開度を調節し、定流量装置２５から切替バルブ２６に達した試験用ガス１９の一定量（供給量）を吹出口２７から所定時間ダクト１７内に供給する。コントローラ１５は、所定時間経過後に切替バルブ２６の弁機構を閉じ、試験用ガス１９のダクト１７内への供給を停止する。

コントローラ１５のハードディスクには、切替バルブ３１の弁機構の開閉時間、切替バルブ３１の弁機構の開度と切替バルブ３１を通過するトレーサーガス２２の量との相関関係、トレーサーガス２２の供給量とが格納されている。コントローラ１５は、切替バルブ３１の弁機構を開け、弁機構の開度を調節し、定流量装置３０から切替バルブ３１に達したトレーサーガス２２の一定量（供給量）を吹出口３２から所定時間ダクト１７内に供給する。コントローラ１５は、所定時間経過後に切替バルブ３１の弁機構を閉じ、トレーサーガス２２のダクト１７内への供給を停止する。なお、コントローラ１５は、試験用ガス１９とトレーサーガス２２とを同一時間同期してダクト１７内に供給する。

コントローラ１５のハードディスクには、サンプリング時間、切替バルブ３９の弁機構の開度と切替バルブ３９を通過するサンプル空気のサンプリング量との相関関係、サンプル空気のサンプリング量とが格納される。コントローラ１５は、切替バルブ４０の弁機構を閉じるとともに、切替バルブ３９の弁機構の開度を調節し、流量計付き調節弁３８から切替バルブ３９に達したサンプル空気の一定量を光音響ガスモニタ１４に流入させる。コントローラ１５は、一定量のサンプル空気が所定時間光音響ガスモニタ１４に流入すると、切替バルブ３９の弁機構を閉じるとともに、切替バルブ４０の弁機構を開け、サンプル空気の光音響ガスモニタ１４への流入を停止しつつ、収集したサンプル空気を放出口３６からダクト１７内に放出する。

コントローラ１５の中央処理部は、オペレーティングシステムによる制御に基づいて、メモリからアプリケーションを起動し、起動したアプリケーションに従って、以下の各手段を実行する。コントローラ１５の中央処理部は、ガス除去エアフィルタ１１の除去対象ガスに対する使用可能な限界効率に対応させてガス除去エアフィルタ１１に供給する試験用ガス１８のダクト１７内の空気に対する濃度の倍率を決定する濃度倍率決定手段（濃度倍率決定プロセス）を実行し、決定した濃度倍率をハードディスクに格納する濃度倍率格納手段（濃度倍率格納プロセス）を実行する。なお、コントローラ１５の中央処理部は、濃度倍率決定手段（濃度倍率決定プロセス）を実行することなく、あらかじめ入力された濃度倍率をハードディスクに格納する濃度倍率格納手段（濃度倍率格納プロセス）を実行し、入力された濃度の試験用ガス１９をガス除去エアフィルタ１１に供給する場合もある。

コントローラ１５の中央処理部は、選択された除去対象ガスをハードディスクに格納する除去対象ガス格納手段（除去対象ガス格納プロセス）を実行し、選択されたトレーサーガス２２をハードディスクに格納するトレーサーガス格納手段（トレーサーガス格納プロセス）を実行するとともに、それらガスの供給時間をハードディスクに格納する供給時間格納手段（供給時間格納プロセス）を実行する。コントローラ１５の中央処理部は、トレーサーガス濃度倍率をハードディスクに格納するトレーサーガス濃度倍率格納手段（トレーサーガス濃度倍率格納プロセス）を実行し、サンプリング時間をハードディスクに格納するサンプリング時間格納手段（サンプリング時間格納プロセス）を実行するとともに、サンプリング量をハードディスクに格納するサンプリング量格納手段（サンプリング量格納プロセス）を実行する。

コントローラ１５の中央処理部は、ダクト１７の空気取り入れ口１８（ガス除去エアフィルタ１１の入口側）からガス除去エアフィルタ１１に向かって所定量の試験用ガス１９とトレーサーガス２２とを同時に供給するガス供給手段（ガス供給プロセス）を実行する。ガス供給手段（ガス供給プロセス）では、ガス除去エアフィルタ１１に供給する試験用ガス１９の濃度が光音響ガスモニタ１４の検出限界濃度と同一またはそれよりもわずかに高い場合、または、ガス除去エアフィルタ１１に供給する試験用ガス１９の濃度が光音響ガスモニタ１４の検出限界濃度よりも高い場合がある。

ガス供給手段では、試験用ガス１９とトレーサーガス２２との供給時間が同一である。ガス供給手段における試験用ガス１９とトレーサーガス２２とのガス除去エアフィルタ１１への供給時では、ダクト１７の空気取り入れ口１８から取り入れられた空気の風量や風速が一定ではなく、ガス除去エアフィルタ１１の周囲の空気の風量または風速が不均一である。

コントローラ１５の中央処理部は、ガス供給手段（ガス供給プロセス）の実行前に、ガス除去エアフィルタ１１を通ってダクト１７を流れる空気（ガス除去エアフィルタ１１を通ってその出口から流出した空気）の一部を空気サンプリングユニット１３にサンプリングさせるバックグラウンドサンプリング手段（バックグラウンドサンプリングプロセス）を実行する。コントローラ１５の中央処理部は、バックグラウンドサンプリング手段によってサンプル空気をサンプリングした後、そのサンプル空気に含まれる除去対象ガスやトレーサーガスの濃度を光音響ガスモニタ１４を利用して測定するバックグラウンドガス濃度測定手段（バックグラウンドガス濃度測定プロセス）を実行する。コントローラ１５の中央処理部は、バックグラウンドガス濃度測定手段（バックグラウンドガス濃度測定プロセス）によって測定した除去対象ガスやトレーサーガスの濃度をハードディスクに格納するバックグラウンドガス濃度格納手段（バックグラウンドガス濃度格納プロセス）を実行する。

コントローラ１５の中央処理部は、ガス供給手段（ガス供給プロセス）の実行中に、ガス除去エアフィルタ１１を通ってダクト１７を流れる空気（ガス除去エアフィルタ１１を通ってその出口から流出した空気）の一部を空気サンプリングユニット１３にサンプリングさせる第１サンプリング手段（第１サンプリングプロセス）を実行する。コントローラ１５の中央処理部は、第１サンプリング手段によってサンプル空気をサンプリングした後、そのサンプル空気に含まれる試験用ガス１９とトレーサーガス２２との濃度を光音響ガスモニタ１４を利用して測定するガス濃度第１測定手段（ガス濃度第１測定プロセス）を実行する。コントローラ１５の中央処理部は、ガス濃度第１測定手段（ガス濃度第１測定プロセス）によって測定した試験用ガス１９およびトレーサーガス２２の濃度をハードディスクに格納するガス濃度第１格納手段（ガス濃度第１格納プロセス）を実行する。

コントローラ１５の中央処理部は、ガス除去エアフィルタ１１の出口から流出した空気中に含まれるトレーサーガス２２の濃度からトレーサーガス２２の空気中における希釈倍率を算出する希釈倍率計算手段（希釈倍率計算プロセス）を実行し、希釈倍率計算手段（希釈倍率計算プロセス）によって算出したトレーサーガス２２の空気中における希釈倍率をハードディスクに格納する希釈倍率格納手段（希釈倍率格納プロセス）を実行する。

コントローラ１５の中央処理部は、希釈倍率計算手段（希釈倍率計算プロセス）によって算出したトレーサーガス２２の空気中における希釈倍率に基づいてガス除去エアフィルタ１１に流入した試験用ガス１９の実供給濃度を算出する試験用ガス実供給濃度算出手段（試験用ガス実供給濃度算出プロセス）を実行し、試験用ガス実供給濃度算出手段（試験用ガス実供給濃度算出プロセス）によって算出した試験用ガス１９の実供給濃度をハードディスクに格納する試験用ガス実供給濃度格納手段（試験用ガス実供給濃度格納プロセス）を実行する。

コントローラ１５の中央処理部は、試験用ガス１９とトレーサーガス２２との供給を停止した後、ガス除去エアフィルタ１１を通ってダクト１７を流れる空気（ガス除去エアフィルタ１１を通ってその出口から流出した空気）の一部を空気サンプリングユニット１３にサンプリングさせる第２サンプリング手段（第２サンプリングプロセス）を実行する。コントローラ１５の中央処理部は、第２サンプリング手段によってサンプル空気をサンプリングした後、そのサンプル空気に含まれる試験用ガス１９の濃度を光音響ガスモニタ１４を利用して測定するガス濃度第２測定手段（ガス濃度第２測定プロセス）を実行する。コントローラ１５の中央処理部は、ガス濃度第２測定手段（ガス濃度第２測定プロセス）によって測定した試験用ガス１９の濃度をハードディスクに格納するガス濃度第２格納手段（ガス濃度第２格納プロセス）を実行する。コントローラ１５の中央処理部は、各種の濃度測定データを出力する（濃度測定データ出力手段、濃度測定データ出力プロセス）を実行する。

図３は、ディスプレイ４４に表示された初期画面の一例を示す図であり、図４は、濃度倍率設定画面の一例を示す図である。図５は、第１サンプリングにおける条件設定画面の一例を示す図であり、図６は、このシステム１０によって実行される除去効率測定方法のフローチャートである。図７は、図６から続くフローチャートであり、図８は、図７から続くフローチャートである。図３〜図５では、各入力エリアや表示エリアに表示されるデータの図示を省略している。

システム１０を起動すると、ガス供給ユニット１２、空気サンプリングユニット１３、光音響ガスモニタ１４、コントローラ１５が稼動する。さらに、ダクト１７に設置された給気ファンや排気ファンを別途起動させる。給気ファンや排気ファンを起動させると、図１に矢印Ｌ１で示すように、施設内の空気がダクト１７の空気取り入れ口１８からダクト１７内に進入し、その空気がガス除去エアフィルタ１１を通ってダクト１７の空気排出口３４から排出される。ダクト１７に進入した空気に除去対象ガスが含まれている場合、その除去対象ガスがガス除去エアフィルタ１１によって除去される。

システム１０を起動すると、コントローラ１５は、図３の初期画面をディスプレイ４４に表示する。初期画面には、濃度倍率設定ボタン５０ａ、条件設定ボタン５０ｂ、バックグラウンドサンプリングボタン５０ｃ、第１サンプリングボタン５０ｄ、第２サンプリングボタン５０ｅ、希釈倍率算出ボタン５０ｆ、ログアウトボタン５０ｇ、濃度測定データ表示ボタン５０ｈが表示される。ログアウトボタン５０ｇをクリックすると、システム１０を閉じる。濃度倍率設定ボタン５０ａをクリックすると、コントローラ１５は、図４の濃度倍率設定画面をディスプレイ４４に表示する。濃度倍率設定画面には、測定対象フィルタ名入力エリア５１ａ、限界効率入力エリア５１ｂ、除去対象ガス濃度倍率入力エリア５１ｃ、実行ボタン５１ｄ、キャンセルボタン５１ｅ、クリアボタン５１ｆが表示される。

キーボード４２やマウス４３等の入力装置を利用して測定対象フィルタ名入力エリア５１ａに測定対象フィルタを特定する名称（仮称を含む）を入力（測定対象フィルタ名入力エリア５１ａのプルダウンリストから測定対象フィルタの名称を選択）する。限界効率入力エリア５１ｂにガス除去エアフィルタ１１の除去対象ガスに対する使用可能な限界効率を入力（限界効率入力エリア５１ｂのプルダウンリストから限界効率を選択）する。または、限界効率を入力せずに、除去対象ガス濃度倍率入力エリア５１ｃに除去対象ガスの濃度倍率を入力（除去対象ガス濃度倍率入力エリア５１ｃのプルダウンリストから濃度倍率を選択）する。キャンセルボタン５１ｅをクリックすると、図３の初期画面に戻る。クリアボタン５１ｆをクリックすると、入力エリア５１ａ〜５１ｃに入力された名称や限界効率、濃度倍率の各データが消去され、入力エリア５１ａ〜５１ｃに各データを再入力する。

フィルタ名を入力するとともに限界効率を入力した後、実行ボタン５１ｄをクリックすると、コントローラ１５は、限界効率入力エリア５１ａに入力された限界効率に基づいて、ガス除去エアフィルタ１１に供給する試験用ガス１９のダクト１７内の空気に対する濃度倍率を決定し（濃度倍率決定手段、濃度倍率決定プロセス）（Ｓ−１０）、図示はしていないが、濃度倍率確認画面をディスプレイ４４に表示する。また、フィルタ名を入力するとともに濃度倍率を入力した後、実行ボタン５１ｄをクリックすると、コントローラ１５は、図示はしていないが、濃度倍率確認画面をディスプレイ４４に表示する。

コントローラ１５は、たとえば、ガス除去エアフィルタ１１の限界効率が９０％の場合、試験用ガス１９のダクト１７内の空気に対する濃度の倍率を１０倍（ダクト１７内の空気を１とした場合、試験用ガス１９は１０）に決定する。また、ガス除去エアフィルタ１１の限界効率が９９％の場合、試験用ガス１９のダクト１７内の空気に対する濃度の倍率を１００倍（ダクト１７内の空気を１とした場合、試験用ガス１９は１００）に決定する。

濃度倍率確認画面には、濃度倍率表示エリア、濃度倍率確認ボタン、濃度倍率変更ボタンが表示される。濃度倍率表示エリアには、除去対象ガス（試験用ガス１９）の決定した濃度倍率が表示される。濃度倍率に変更があれば、濃度倍率変更ボタンをクリックする。濃度倍率変更ボタンをクリックすると、図４の濃度倍率入力画面に戻り、名称や限界効率、濃度倍率の各データを再入力する。濃度倍率に変更がなければ、濃度倍率確認ボタンをクリックする。濃度倍率確認ボタンをクリックすると、コントローラ１５は、測定対象フィルタ名入力エリア５１ａに入力された測定対象フィルタを特定するフィルタ識別子を生成し、濃度倍率（測定対象フィルタ名、格納日時を含む）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する（濃度倍率格納手段、濃度倍率格納プロセス）。コントローラ１５は、濃度倍率を格納すると、図３の初期画面をディスプレイ４４に表示する。

初期画面において条件設定ボタン５０ｂをクリックすると、コントローラ１５は、図示はしていないが、第１サンプリングにおける条件設定と第２サンプリングにおける条件設定のいずれかを選択する選択画面をディスプレイに表示する。選択画面には、第１サンプリング条件設定ボタン、第２サンプリング条件設定ボタンが表示される。第１サンプリング条件設定ボタンをクリックすると、コントローラ１５は、図５の第１サンプリング条件設定画面をディスプレイ４４に表示する。条件設定画面には、除去対象ガス入力エリア５２ａ、トレーサーガス入力エリア５２ｂ、供給時間入力エリア５２ｃ、トレーサーガス濃度倍率入力画面５２ｄ、サンプリング時間入力エリア５２ｅ、サンプリング量入力エリア５２ｆ、実行ボタン５２ｇ、キャンセルボタン５２ｈ、クリアボタン５２ｉが表示される。

除去対象ガス入力エリア５２ａに除去対象ガスを入力（除去対象ガス入力エリア５２ａのプルダウンリストから除去対象ガスを選択）し、トレーサーガス入力エリア５２ｂにトレーサーガス２２を入力（トレーサーガス入力エリア５２ｂのプルダウンリストからトレーサーガス２２を選択）するとともに、供給時間入力エリア５２ｃにそれらガスの供給時間を入力（供給時間入力エリア５２ｃのプルダウンリストから供給時間を選択）する。

さらに、トレーサーガス濃度倍率入力エリア５２ｄにトレーサーガス２２の濃度倍率を入力（トレーサーガス濃度倍率入力エリア５２ｄのプルダウンリストからトレーサーガス濃度倍率を選択）し、サンプリング時間入力エリア５２ｅにサンプリング時間を入力（サンプリング時間入力エリア５２ｅのプルダウンリストからサンプリング時間を選択）するとともに、サンプリング量入力エリア５２ｆにサンプリング量を入力（サンプリング量入力エリア５２ｆのプルダウンリストからサンプリング量を選択）する。キャンセルボタン５２ｈをクリックすると、図３の初期画面に戻る。クリアボタン５２ｉをクリックすると、入力エリア５２ａ〜５２ｆに入力されたデータが消去され、入力エリア５２ａ〜５２ｆに各データを再入力する。

それら入力エリア５２ａ〜５２ｆに各データを入力した後、実行ボタン５２ｇをクリックすると、コントローラ１５は、図示はしていないが、条件設定確認画面をディスプレイ４４に表示する。条件設定確認画面では、各入力エリアにデータが表示されるとともに、条件確認ボタン、条件変更ボタンが表示される。除去対象ガスやトレーサーガス、供給時間、トレーサーガス濃度倍率、サンプリング時間、サンプリング量に変更があれば、条件変更ボタンをクリックする。条件変更ボタンをクリックすると、図５の条件設定画面に戻り、それら入力エリア５２ａ〜５２ｆに各データを再入力する。除去対象ガスやトレーサーガス、供給時間、トレーサーガス濃度倍率、サンプリング時間、サンプリング量に変更がなければ、条件確認ボタンをクリックする。

条件確認ボタンをクリックすると、コントローラ１５は、入力（選択）された除去対象ガス（格納日時を含む）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納し（除去対象ガス格納手段、除去対象ガス格納プロセス）、入力（選択）されたトレーサーガス（格納日時を含む）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納するとともに（トレーサーガス格納手段、トレーサーガス格納プロセス）、供給時間（格納日時を含む）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する（供給時間格納手段、供給時間格納プロセス）。

さらに、コントローラ１５は、入力（選択）されたトレーサーガス濃度倍率（格納日時を含む）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納し（トレーサーガス農簿倍率格納手段、トレーサーガス農簿倍率格納プロセス）、サンプリング時間（格納日時を含む）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納するとともに（サンプリング時間格納手段、サンプリング時間格納プロセス）、サンプリング量（格納日時を含む）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する（サンプリング量格納手段、サンプリング量格納プロセス）（Ｓ−１１）。

コントローラ１５は、除去対象ガスやトレーサーガス、供給時間、トレーサーガス濃度倍率、サンプリング時間、サンプリング量を格納すると、図３の初期画面をディスプレイ４４に表示する。濃度倍率設定やガス供給中における条件設定が完了した後、図３の初期画面において、バックグラウンドサンプリングボタン５０ｃをクリックする。バックグラウンドサンプリングボタン５０ｃをクリックすると、コントローラ１５は、空気サンプリングユニット１３を利用し、ガス除去エアフィルタ１１の下流側に延びるダクト１７（ガス除去エアフィルタ１１の出口とダクト１７の空気排出口３４との間に延びるダクト１７）からサンプル空気をサンプリングする（バックグラウンドサンプリング手段、バックグラウンドサンプリングプロセス）（Ｓ−１２）。

コントローラ１５は、図示はしていないが、バックグラウンドサンプリング中メッセージをディスプレイ４４に表示する。なお、ダクト１７には図示しない給気ファンや排気ファンを介して施設内の空気が強制的に流入している。コントローラ１５は、切替バルブ４０の弁機構を閉め、切替バルブ３９の弁機構を開け、所要量（サンプリング量）のサンプル空気が光音響ガスモニタ１４に流入するように弁機構の開度を調節しつつ、吸引ポンプ３７を稼動させる。ガス除去エアフィルタ１１を通過した空気（ガス除去エアフィルタ１１の出口とダクト１７の空気排出口３４との間に延びるダクト１７を流動する空気）は、その一部（サンプル空気）が採集口３５からポンプ３７に進入し、通気管路４１を通ってそれら光音響ガスモニタ１４に流入する。

コントローラ１５は、空気サンプリングユニット１３がサンプリングしたサンプル空気に含まれる除去対象ガスやトレーサーガスの濃度測定を光音響ガスモニタ１４に指示する。光音響ガスモニタ１４は、コントローラ１５の指示によってサンプル空気に含まれる除去対象ガスやトレーサーガスの濃度を測定する（バックグラウンドガス濃度測定手段、バックグラウンドガス濃度測定プロセス）（Ｓ−１３）。なお、サンプル空気は、光音響ガスモニタ１４から通気管路４１を通って放出口３６からダクト１７内に放出される。

コントローラ１５は、バックグラウンドのサンプリング時間が経過したかを判断する（Ｓ−１４）。サンプリング時間が経過していない場合、コントローラ１５は、引き続きサンプル空気を光音響ガスモニタ１４に流入させ、サンプル空気に含まれる除去対象ガス１９やトレーサーガス２２の濃度を光音響ガスモニタ１４に測定させる。サンプル空気が光音響ガスモニタ１４に流入してから所定時間が経過し、サンプリング時間が経過した場合、コントローラ１５は、切替バルブ３９の弁機構を閉じ、サンプル空気の光音響ガスモニタ１４への流入を停止し、切替バルブ４０の弁機構を開け、サンプル空気を放出口３６からダクト１７内に放出する。次に、切替バルブ４０の弁機構を閉じ、ポンプ３７を停止してサンプル空気のサンプリングを停止する（Ｓ−１５）。

サンプル空気のサンプリングを停止した後（バックグラウンドサンプリング手段を完了した後）、コントローラ１５は、図示はしていないが、バックグラウンドサンプリング完了メッセージ、バックグラウンドガス濃度測定終了ボタンをディスプレイ４４に表示する。バックグラウンドガス濃度測定終了ボタンをクリックすると、コントローラ１５は、バックグラウンドサンプリングが終了したと判断し、光音響ガスモニタ１４に濃度測定データの送信を指示する。光音響ガスモニタ１４は、サンプル空気の除去対象ガスバックグラウンド濃度とトレーサーガスバックグラウンド濃度とをコントローラ１５に出力する（Ｓ−１６）。

コントローラ１５は、光音響ガスモニタ１４から出力されたバックグラウンド濃度測定データ（除去対象ガスバックグラウンド濃度、トレーサーガスバックグラウンド濃度、サンプリング日時）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する（バックグラウンドガス濃度格納手段、バックグラウンドガス濃度格納プロセス）（Ｓ−１７）。コントローラ１５は、図示はしていないが、バックグラウンド完了メッセージとバックグラウンド完了確認ボタンとをディスプレイ４４に表示する。バックグラウンド完了確認ボタンをクリックすると、コントローラ１５は、図３の初期画面をディスプレイ４４に表示する。

バックグラウンドガス濃度測定やバックグラウンドガス濃度格納が完了した後、図３の初期画面の第１サンプリングボタン５０ｄをクリックする。第１サンプリングボタン５０ｄをクリックすると、コントローラ１５は、指定した除去対象ガスと同一の試験用ガス１９およびトレーサーガス２２をダクト１７内に供給する（ガス供給手段、ガス供給プロセス）（Ｓ−１８）。コントローラ１５は、空気サンプリングユニット１３を利用し、ガス除去エアフィルタ１１の上流側に延びるダクト１７（ダクト１７の空気取り入れ口１８とガス除去エアフィルタ１１の入口との間に延びるダクト１７）からサンプル空気をサンプリングする（第１サンプリング手段、第１サンプリングプロセス）（Ｓ−１９）。

コントローラ１５は、図示はしていないが、ガス供給中メッセージおよび第１サンプリング中メッセージをディスプレイ４４に表示する。なお、ダクト１７には図示しない給気ファンや排気ファンを介して施設内の空気が強制的に流入しており、ガス除去エアフィルタ１１の周囲の空気の風量や風速が均一ではない。コントローラ１５は、切替バルブ２６，３１の弁機構を開けるとともに、弁機構の開度を調節し、ダクト１７を流れる空気に対して試験用ガス１９やトレーサーガス２２の濃度があらかじめ設定された濃度倍率になるように、所定量の試験用ガス１９やトレーサーガス２２を通気管路２８，３３に流入させ、所定量の試験用ガス１９やトレーサーガス２２をガス供給機構２０，２３の吹出口２７，３２からダクト１７内に流入させる。

コントローラ１５は、あらかじめ設定された供給時間の間、それらガス１９，２２をダクト１７に供給し、供給時間が経過すると、切替バルブ２６，３１の弁機構を閉じ、それらガス１９，２２の供給を停止する。コントローラ１５は、それらガス１９，２２の供給と供給停止とを同期して行い、それらガス１９，２２を同一時間ダクト１７に供給する。

コントローラ１５は、試験用ガス１９やトレーサーガス２２の供給を開始してから所定時間経過後に切替バルブ４０の弁機構を閉め、切替バルブ３９の弁機構を開け、所要量（サンプリング量）のサンプル空気が光音響ガスモニタ１４に流入するように弁機構の開度を調節しつつ、吸引ポンプ３７を稼動させる。ガス除去エアフィルタ１１を通過した空気（ガス除去エアフィルタ１１の出口とダクト１７の空気排出口３４との間に延びるダクト１７を流動する空気）は、その一部（サンプル空気）が採集口３５からポンプ３７に進入し、通気管路４１を通って光音響ガスモニタ１４に流入する。

コントローラ１５は、空気サンプリングユニット１３がサンプリングしたサンプル空気に含まれる試験用ガス１９やトレーサーガス２２の濃度測定を光音響ガスモニタ１４に指示する。光音響ガスモニタ１４は、コントローラ１５の指示によって流入したサンプル空気に含まれる試験用ガス１９やトレーサーガス２２の濃度を測定する（ガス濃度第１測定手段、ガス濃度第１測定プロセス）（Ｓ−２０）。サンプル空気は、光音響ガスモニタ１４から通気管路４１を通って放出口３６からダクト１７内に放出される。

なお、光音響ガスモニタ１４は、バックグラウンドガス濃度測定手段（バックグラウンドガス濃度測定プロセス）によって測定した除去対象ガスの濃度を参照し、ガス濃度第１測定手段（ガス濃度第１測定プロセス）によって測定した試験用ガス１９の濃度を補正する。また、バックグラウンドガス濃度測定手段（バックグラウンドガス濃度測定プロセス）によって測定したトレーサーガスの濃度を参照し、ガス濃度第１測定手段（ガス濃度第１測定プロセス）によって測定したトレーサーガス２２の濃度を補正する。

コントローラ１５は、サンプリング時間が経過したかを判断する（Ｓ−２１）。サンプリング時間が経過していない場合、コントローラ１５は、引き続きサンプル空気を光音響ガスモニタ１４に流入させ、サンプル空気に含まれる試験用ガス１９やトレーサーガス２２の濃度を光音響ガスモニタ１４に測定させる。

サンプル空気が光音響ガスモニタ１４に流入してから所定時間が経過し、サンプリング時間が経過した場合、コントローラ１５は、切替バルブ３９の弁機構を閉じ、サンプル空気の光音響ガスモニタ１４への流入を停止し、切替バルブ４０の弁機構を開け、サンプル空気を放出口３６からダクト１７内に放出する。次に、切替バルブ４０の弁機構を閉じ、ポンプ３７を停止してサンプル空気のサンプリングを停止する（Ｓ−２２）。さらに、コントローラ１５は、切替バルブ２６，３１の弁機構を閉じ、試験用ガス１９やトレーサーガス２２のダクト１７内への供給を停止する。

サンプル空気のサンプリングを停止した後（第１サンプリング手段を完了した後）、コントローラ１５は、図示はしていないが、第１サンプリング完了メッセージ、ガス濃度測定終了ボタン、ガス濃度測定継続ボタンをディスプレイ４４に表示する。ガス濃度測定終了ボタンをクリックすると、コントローラ１５は、サンプリングが終了したと判断し（Ｓ−２３）、光音響ガスモニタ１４に濃度測定データの送信を指示する。

光音響ガスモニタ１４は、サンプル空気の試験用ガス実測濃度（補正した試験用ガス実測濃度）とトレーサーガス実測濃度（補正したトレーサーガス実測濃度）とをコントローラ１５に出力する（Ｓ−２４）。コントローラ１５は、光音響ガスモニタ１４から出力された濃度測定データ（試験用ガス実測濃度、トレーサーガス実測濃度、サンプリング日時）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する（ガス濃度格納手段、ガス濃度格納プロセス）（Ｓ−２５）。コントローラ１５は、図示はしていないが、ガス供給中ガス濃度測定完了メッセージとガス供給中ガス濃度測定完了確認ボタンとをディスプレイ４４に表示する。ガス供給中ガス濃度測定完了確認ボタンをクリックすると、コントローラ１５は、図３の初期画面をディスプレイ４４に表示する。

同じガス除去エアフィルタ１１においてサンプル空気の試験用ガス１９とトレーサーガス２２との濃度測定を２回以上行う場合、ガス濃度測定継続ボタンをクリックする。ガス濃度測定継続ボタンをクリックすると、コントローラ１５は、サンプリングが終了していないと判断するとともに（Ｓ−２３）、光音響ガスモニタ１４に濃度測定データの送信を指示する。光音響ガスモニタ１４は、サンプル空気の試験用ガス実測濃度とトレーサーガス実測濃度とをコントローラ１５に出力する（Ｓ−２６）。

コントローラ１５は、光音響ガスモニタ１４から出力された濃度測定データ（試験用ガス実測濃度、トレーサーガス実測濃度、サンプリング日時）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する（ガス濃度格納手段、ガス濃度格納プロセス）（Ｓ−２７）。コントローラ１５は、濃度測定データを格納すると、図４の濃度倍率設定画面をディスプレイ４４に表示し、ステップ１０（Ｓ−１０）からの手順を繰り返す。その場合、濃度倍率や条件設定を従前と同一としつつ、バックグラウンドサンプリングを省略した状態でステップ１８（Ｓ−１８）以降の手順を実施することができる。

図９は、濃度測定データ表示画面の一例を示す図である。図９では、各表示エリアに表示されるデータの図示を省略している。濃度測定が完了した後、コントローラ１５は、トレーサーガス２２の空気中における希釈倍率を算出するかを判断する（Ｓ−２８）。希釈倍率を算出する場合、図３の初期画面において希釈倍率算出ボタン５０ｆをクリックする。希釈倍率算出ボタン５０ｆをクリックすると、コントローラ１５は、トレーサーガス２２の空気中における希釈倍率を算出すると判断し、ガス除去エアフィルタ１１の出口から流出した空気中に含まれるトレーサーガス２２の濃度からトレーサーガス２２の空気中における希釈倍率を算出する（希釈倍率計算手段、希釈倍率計算プロセス）（Ｓ−２９）。

さらに、希釈倍率計算手段（希釈倍率計算プロセス）によって算出したトレーサーガス２２の空気中における希釈倍率に基づいてガス除去エアフィルタ１１に流入した（ガス除去エアフィルタ１１に達した）試験用ガス１９の実供給濃度を算出する（試験用ガス実供給濃度算出手段、試験用ガス実供給濃度算出プロセス）（Ｓ−２０）。

具体的には、トレーサーガス２２の実測平均濃度をガス供給ユニット２３から供給されたトレーサーガス２２の濃度で除してトレーサーガス２２の空気中における希釈倍率を算出する。次に、ガス供給ユニット２０から供給された試験用ガス１９の濃度にトレーサーガス２２の希釈倍率を掛け合わせ、ガス除去エアフィルタ１１に達した試験用ガス１９の実際の実供給濃度を算出する。たとえば、希釈倍率計算手段によって算出したトレーサーガス２２の空気中における希釈倍率が９５％であった場合、ガス供給ユニット２３から供給されたトレーサーガス２２のうちの５％のそれがガス除去エアフィルタ１１に達しなかったことになるとともに、ガス供給ユニット２０から供給された試験用ガス１９のうちの５％のそれがガス除去エアフィルタ１１に達しなかったことになる。コントローラ１５は、ガス供給ユニット２０から供給された試験用ガス１９の濃度に０．９５を掛け合わせ、ガス除去エアフィルタ１１に達した試験用ガス１９の実際の実供給濃度を算出する。

コントローラ１５は、希釈倍率計算手段（希釈倍率計算プロセス）によって算出したトレーサーガス２２の空気中における希釈倍率（格納日時を含む）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納し（希釈倍率格納手段、希釈倍率格納プロセス）、試験用ガス実給濃度算出手段（試験用ガス実供給濃度算出プロセス）によって算出した試験用ガス１９の実供給濃度（格納日時を含む）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する試験用ガス実供給濃度格納手段（試験用ガス実供給濃度格納プロセス）（Ｓ−３１）。コントローラ１５は、トレーサーガス２２の希釈倍率と試験用ガス１９の実供給濃度とを格納した後、図３の初期画面をディスプレイ４４に表示する。

図３の初期画面において希釈倍率算出ボタン５０ｆをクリックすることなく（希釈倍率を算出することなく）濃度測定データ表示ボタン５０ｈをクリックすると、ステップ２８（Ｓ−２８）おいてコントローラ１５は、トレーサーガス２２の空気中における希釈倍率を算出しないと判断し、図９の濃度測定データ表示画面をディスプレイ４４に表示する（濃度測定データ出力手段、濃度測定データ出力プロセス）（Ｓ−３２）。また、希釈倍率を算出した後、図３の初期画面において濃度測定データ表示ボタン５０ｈをクリックすると、コントローラ１５は、図９の濃度測定データ表示画面をディスプレイ４４に表示する（濃度測定データ出力手段、濃度測定データ出力プロセス）（Ｓ−３２）。濃度測定データは、プリンタを介して出力することができる（濃度測定データ出力手段、濃度測定データ出力プロセス）（Ｓ−３２）。

図９の濃度測定データ表示画面には、測定対象フィルタ名表示エリア５３ａ、サンプリング日時表示エリア５３ｂ、除去対象ガス表示エリア５３ｃ、除去対象ガス濃度倍率表示エリア５３ｄ、トレーサーガス表示エリア５３ｅ、トレーサーガス濃度倍率表示エリア５３ｆ、供給時間表示エリア５３ｇ、サンプリング時間表示エリア５３ｈ、サンプリング量表示エリア５３ｉ、トレーサーガス希釈倍率表示エリア５３ｊ、試験用ガス実供給濃度表示エリア５３ｋ、試験用ガス実測濃度表示エリア５３ｌ、トレーサーガス実測濃度表示エリア５３ｍ、印刷ボタン５３ｎ、閉じるボタン５３ｏが表示される。

測定対象フィルタ名表示エリア５３ａには、図４の濃度倍率設定画面で指定した測定対象フィルタ名が表示され、サンプリング日時表示エリア５３ｂには、その測定対象フィルタのサンプル空気のサンプリング日時が表示されるとともに、除去対象ガス表示エリア５３ｃには、図５の条件設定画面において指定した除去対象ガスが表示され、除去対象ガス濃度倍率表示エリア５３ｄには、除去対象ガスの濃度倍率が表示される。トレーサーガス表示エリア５３ｅには、図５の条件設定画面において指定したトレーサーガスが表示され、トレーサーガス濃度倍率表示エリア５３ｆには、トレーサーガスガスの濃度倍率が表示されるとともに、供給時間表示エリア５３ｇには、それらガスの供給時間が表示され、サンプリング時間表示エリア５３ｈには、サンプリング時間が表示される。

サンプリング量表示エリア５３ｉには、サンプリング量が表示され、トレーサーガス希釈倍率表示エリア５３ｊには、希釈倍率計算手段によって算出したトレーサーガスの希釈倍率が表示されるとともに、試験用ガス実供給濃度表示エリア５３ｋには、試験用ガス実給濃度算出手段によって算出した試験用ガスの実供給濃度が表示される。試験用ガス実測濃度表示エリア５３ｌには、試験用ガスの実測濃度が表示され、トレーサーガス実測濃度表示エリア５３ｏには、トレーサーガスの実測濃度が表示される。なお、トレーサーガスの希釈倍率を算出しない場合は、トレーサーガス希釈倍率表示エリア５３ｊと試験用ガス実供給濃度表示エリア５３ｋとがブランクになる。

図６，７のフローチャートで説明した除去効率測定方法は、所定量の試験用ガス１９とトレーサーガス２２とをダクト１７に同時に供給し、ガス除去エアフィルタ１１（ガス除去装置）を通ってその出口から流出したサンプル空気に含まれる試験用ガス１９とトレーサーガス２２との濃度を光音響ガスモニタ１４（ガス濃度測定装置）を利用して測定するから、その測定中にトレーサーガス２２が光音響ガスモニタ１４に検出された場合、試験用ガス１９がガス除去エアフィルタ１１に確実に流入したことが実証され、逆に、その測定中にトレーサーガス２２が光音響ガスモニタ１４に検出されない場合、試験用ガスもガス除去エアフィルタ１１に流入していないことが実証される。ゆえに、ガス除去エアフィルタ１１の出口側においてトレーサーガス２２が検出されることで、その測定中における試験用ガス１９のガス除去エアフィルタ１１への流入を認定することができ、試験用ガス１９を使用してガス除去エアフィルタ１１が設置された環境下の空気に含まれる対象ガスに対するガス除去エアフィルタ１１の除去効率を確実に測定することができる。

除去効率測定方法は、除去対象ガスと同一の試験用ガス１９を利用してガス除去エアフィルタ１１における除去効率を測定するから、対象ガスに対するガス除去エアフィルタ１１の除去効率を測定したものとみなすことができ、対象ガスに対するガス除去エアフィルタ１１の除去効率を高い精度で測定することができるとともに、対象ガスに対するガス除去エアフィルタ１１の信頼性や信憑性の高い除去効率を測定することができる。

除去効率測定方法は、実際に設置された使用中のガス除去エアフィルタ１１の出口側においてトレーサーガス２２とともに所定濃度の試験用ガス１９が光音響ガスモニタ１４に検出された場合、その使用中のガス除去エアフィルタ１１にリーク等の構造的な欠陥があることやガス除去エアフィルタ１１の性能が低下したことを知ることができる。また、それによってそのガス除去エアフィルタ１１の使用限界を知ることができるから、ガス除去エアフィルタ１１を交換する時期を具体的に判断することができる。除去効率測定方法は、ガス除去エアフィルタ１１の実際の使用環境においてガス除去エアフィルタ１１を適時に交換することができ、空気に除去対象ガスが含まれたとしても、ガス除去エアフィルタ１１を利用してその対象ガスを空気から確実に除去することができる。

除去効率測定方法は、ガス除去エアフィルタ１１の出口から放出されたサンプル空気に含まれるトレーサーガス２２の希釈倍率を算出し、その希釈倍率から逆算してガス除去エアフィルタ１１に流入する試験用ガス１９の濃度を算出することで、ガス除去エアフィルタ１１に実際に流入した試験用ガス１９の実質濃度を解析することができるから、ガス除去エアフィルタ１１に流入しない試験用ガス１９を除いた場合のガス除去エアフィルタ１１の除去効率を測定することができ、ガス除去エアフィルタ１１の除去効率を高い精度で測定することができるとともに、除去対象ガスに対するガス除去エアフィルタ１１の信頼性や信憑性の高い除去効率を測定することができる。

除去効率測定方法は、ガス除去エアフィルタ１１の除去対象ガスに対する使用可能な限界効率に対応させてガス除去エアフィルタ１１の入口側から供給する試験用ガス１９の空気に対する濃度の倍率を決定するから、ガス除去エアフィルタ１１の使用環境を考慮しつつ、ガス除去エアフィルタ１１の交換の指標となる限界効率に応じて試験用ガス１９の空気に対する濃度の倍率を自由に決定することができる。除去効率測定方法は、ガス除去エアフィルタ１１の限界効率に応じた倍率の濃度の試験用ガス１９が光音響ガスモニタ１４に検出された場合、そのガス除去エアフィルタ１１の使用限界を知ることができ、ガス除去エアフィルタ１１を交換する時期を正確に判断することができる。

除去効率測定方法は、ガス除去エアフィルタ１１の入口側から供給する試験用ガス１９の濃度が光音響ガスモニタ１４の検出限界濃度と同一またはそれよりもわずかに高い場合、必要以上に高い濃度の試験用ガス１９を使用するとガス除去エアフィルタ１１の性能を低下させることになるが、レーサーガス２２を利用して試験用ガス１９のガス除去エアフィルタ１１への流入を実証することで、光音響ガスモニタ１４の検出限界濃度と同一またはそれよりもわずかに高い濃度の試験用ガス１９を除去効率の測定に使用することができるとともに、試験用ガス１９の供給時間を短くすることができ、ガス除去エアフィルタ１１の性能を低下させることなく、そのガス除去エアフィルタ１１の除去効率を確実に測定することができる。除去効率測定方法は、光音響ガスモニタ１４の検出限界濃度にあわせて試験用ガス１９の濃度を自由に設定することができる。

図１０は、第２サンプリングにおける条件設定画面の一例を示す図であり、図１１は、他の一例として示す図７から続く除去効率測定方法のフローチャートである。図１０では、各入力エリアに表示されるデータの図示を省略している。なお、以下の説明では、バックグラウンドサンプリングを示す図６や第１サンプリングを示す図７を援用する。システム１０を起動し、図３の初期画面において濃度倍率設定ボタン５０ａをクリックすると、コントローラ１５は、図４の濃度倍率設定画面をディスプレイ４４に表示する。図４の濃度倍率設定画面の各入力エリア５１ａ〜５１ｃに名称や限界効率、濃度倍率の各データを入力する。

フィルタ名を入力するとともに限界効率を入力した後、実行ボタン５１ｄをクリックすると、コントローラ１５は、限界効率入力エリア５１ａに入力された限界効率に基づいて、ガス除去エアフィルタ１１に供給する試験用ガス１９のダクト１７内の空気に対する濃度の倍率を決定する（濃度倍率決定手段、濃度倍率決定プロセス）（Ｓ−１０）。また、フィルタ名を入力するとともに濃度倍率を入力した後、実行ボタン５１ｄをクリックする。コントローラ１５は、測定対象フィルタ名入力エリア５１ａに入力された測定対象フィルタを特定するフィルタ識別子を生成し、濃度倍率（格納日時を含む）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する（濃度倍率格納手段、濃度倍率格納プロセス）。コントローラ１５は、濃度倍率を格納すると、図３の初期画面をディスプレイ４４に表示する。

初期画面において条件設定ボタン５０ｂをクリックすると、コントローラ１５は、第１サンプリング条件設定ボタンと第２サンプリング条件設定ボタンとが表示された選択画面をディスプレイ４４に表示する（図示せず）。第１サンプリング条件設定ボタンをクリックすると、コントローラ１５は、図５の第１サンプリング条件設定画面をディスプレイ４４に表示する。図５の条件設定画面の各入力エリア５２ａ〜５２ｆに除去対象ガス、トレーサーガス２２、供給時間、トレーサーガス２２の濃度倍率、サンプリング時間、サンプリング量を入力する。

コントローラ１５は、入力（選択）された除去対象ガス（格納日時を含む）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納し（除去対象ガス格納手段、除去対象ガス格納プロセス）、入力（選択）されたトレーサーガス（格納日時を含む）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納するとともに（トレーサーガス格納手段、トレーサーガス格納プロセス）、供給時間（格納日時を含む）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する（供給時間格納手段、供給時間格納プロセス）。

さらに、コントローラ１５は、入力（選択）されたトレーサーガス濃度倍率（格納日時を含む）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納し（トレーサーガス農簿倍率格納手段、トレーサーガス農簿倍率格納プロセス）、サンプリング時間（格納日時を含む）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納するとともに（サンプリング時間格納手段、サンプリング時間格納プロセス）、サンプリング量（格納日時を含む）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する（サンプリング量格納手段、サンプリング量格納プロセス）（Ｓ−１１）。

コントローラ１５は、除去対象ガスやトレーサーガス、供給時間、トレーサーガス濃度倍率、サンプリング時間、サンプリング量を格納すると、図３の初期画面をディスプレイ４４に表示する。濃度倍率設定やガス供給中における条件設定が完了した後、バックグラウンドガス濃度測定手段（バックグラウンドガス濃度測定プロセス）やバックグラウンドガス濃度格納手段（バックグラウンドガス濃度格納プロセス）を実行する。なお、バックグラウンドガス濃度測定やバックグラウンドガス濃度格納における各手順は、図６のフローチャートのステップ１２（Ｓ−１２）〜ステップ１７（Ｓ−１７）のとおりであるから、上述した図６の説明を援用することで、その詳細な説明は省略する。

バックグラウンドガス濃度測定やバックグラウンドガス濃度格納が完了した後、図３の初期画面において、第１サンプリングボタン５０ｃをクリックする。第１サンプリングボタン５０ｃをクリックすると、コントローラ１５は、指定した除去対象ガスと同一の試験用ガス１９およびトレーサーガス２２を通気ダクト１７内に供給する（ガス供給手段、ガス供給プロセス）（Ｓ−１８）。コントローラ１５は、空気サンプリングユニット１３を利用し、ガス除去エアフィルタ１１の下流側に延びるダクト１７（ガス除去エアフィルタ１１の出口とダクト１７の空気排出口３４との間に延びるダクト１７）からサンプル空気をサンプリングする（第１サンプリング手段、第１サンプリングプロセス）（Ｓ−１９）。

コントローラ１５は、ガス供給中メッセージおよび空気サンプリング中メッセージをディスプレイ４４に表示する（図示せず）。なお、ダクト１７には図示しない給気ファンや排気ファンを介して施設内の空気が強制的に流入しており、ガス除去エアフィルタ１１の周囲の空気の風量や風速が均一ではない。コントローラ１５は、ダクト１７を流れる空気に対して試験用ガス１９やトレーサーガス２２の濃度があらかじめ設定された濃度倍率になるように、所定量の試験用ガス１９やトレーサーガス２２を通気管路２８，３３に流入させ、試験用ガス１９やトレーサーガス２２をガス供給機構２０，２３の吹出口２７，３２からダクト１７内に流入させる。

コントローラ１５は、あらかじめ設定された供給時間の間、それらガス１９，２２をダクト１７に供給し、供給時間が経過すると、それらガス１９，２２の供給を停止する。コントローラ１５は、それらガス１９，２２の供給と供給停止とを同期して行い、それらガス１９，２２を同一時間ダクト１７に供給する。ガス除去エアフィルタ１１を通過した空気（ガス除去エアフィルタ１１の出口とダクト１７の空気排出口３４との間に延びるダクト１７を流動する空気）は、その一部（サンプル空気）が通気管路４１を通って光音響ガスモニタ１４に流入する。

コントローラ１５は、サンプリングユニット１３がサンプリングしたサンプル空気に含まれる試験用ガス１９やトレーサーガス２２の濃度測定を光音響ガスモニタ１４に指示する。光音響ガスモニタ１４は、コントローラ１５の指示によって流入したサンプル空気に含まれる試験用ガス１９やトレーサーガス２２の濃度を測定する（ガス濃度第１測定手段、ガス濃度第１測定プロセス）（Ｓ−２０）。サンプル空気は、光音響ガスモニタ１４から通気管路４１を通って放出口３６からダクト１７内に放出される。

なお、光音響ガスモニタ１４は、バックグラウンドガス濃度測定手段（バックグラウンドガス濃度測定プロセス）によって測定した除去対象ガスの濃度を参照し、ガス濃度第１測定手段（ガス濃度第１測定プロセス）によって測定した試験用ガス１９の濃度を補正する。また、バックグラウンドガス濃度測定手段（バックグラウンドガス濃度測定プロセス）によって測定したトレーサーガスの濃度を参照し、ガス濃度第１測定手段（ガス濃度第１測定プロセス）によって測定したトレーサーガス２２の濃度を補正する。

コントローラ１５は、サンプリング時間が経過したかを判断する（Ｓ−２１）。サンプル空気が光音響ガスモニタ１４に流入してから所定時間が経過し、サンプリング時間が経過した場合、コントローラ１５は、サンプリングを停止し（Ｓ−２２）、試験用ガス１９やトレーサーガス２２のダクト１７内への供給を停止する。

サンプル空気のサンプリングを停止した後（第１サンプリング手段を完了した後）、コントローラ１５は、第１サンプリング完了メッセージ、ガス供給停止メッセージ、ガス濃度測定終了ボタン、ガス濃度測定継続ボタンをディスプレイ４４に表示する（図示せず）。ガス濃度測定終了ボタンをクリックすると、コントローラ１５は、サンプリングが終了したと判断し（Ｓ−２３）、光音響ガスモニタ１４に濃度測定データの送信を指示する。

光音響ガスモニタ１４は、サンプル空気の試験用ガス実測濃度（補正した試験用ガス実測濃度）とトレーサーガス実測濃度（補正したトレーサーガス実測濃度）とをコントローラ１５に出力する（Ｓ−２４）。コントローラ１５は、光音響ガスモニタ１４から出力された濃度測定データ（試験用ガス実測濃度、トレーサーガス実測濃度、サンプリング日時）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する（ガス濃度格納手段、ガス濃度格納プロセス）（Ｓ−２５）。コントローラ１５は、ガス供給中ガス濃度測定完了メッセージとガス供給中ガス濃度測定完了確認ボタンとをディスプレイ４４に表示する（図示せず）。ガス供給中ガス濃度測定完了確認ボタンをクリックすると、コントローラ１５は、図３の初期画面をディスプレイ４４に表示する。

同じガス除去エアフィルタ１１においてサンプル空気の試験用ガス１９とトレーサーガス２１との濃度測定を２回以上行う場合、ガス濃度測定継続ボタンをクリックする。ガス濃度測定継続ボタンをクリックすると、コントローラ１５は、サンプリングが終了していないと判断するとともに（Ｓ−２３）、光音響ガスモニタ１４に濃度測定データの送信を指示する。光音響ガスモニタ１４は、サンプル空気の試験用ガス実測濃度とトレーサーガス実測濃度とをコントローラ１５に出力する（Ｓ−２６）。コントローラ１５は、光音響ガスモニタ１４から出力された濃度測定データ（試験用ガス実測濃度、トレーサーガス実測濃度、サンプリング日時）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する（ガス濃度格納手段、ガス濃度格納プロセス）（Ｓ−２７）。コントローラ１５は、濃度測定データを格納すると、図４の濃度倍率設定画面をディスプレイ４４に表示し、ステップ１０（Ｓ−１０）からの手順を繰り返す。その場合、濃度倍率や条件設定を従前と同一としつつ、バックグラウンドサンプリングを省略した状態でステップ１８（Ｓ−１８）以降の手順を実施することができる。

第１サンプリングが完了した後、第２サンプリングを行うには、図３の初期画面において条件設定ボタン５０ｂをクリックする。条件設定ボタン５０ｂをクリックすると、コントローラ１５は、第１サンプリング条件設定ボタンと第２サンプリング条件設定ボタンとが表示された選択画面をディスプレイ４４に表示する（図示せず）。第２サンプリング条件設定ボタンをクリックすると、コントローラ１５は、図１０の条件設定画面をディスプレイ４４に表示する。図１０の条件設定画面には、測定対象フィルタ名入力エリア５４ａ、サンプリング時間入力エリア５４ｂ、サンプリング量入力エリア５４ｃ、実行ボタン５４ｄ、キャンセルボタン５４ｅ、クリアボタン５４ｆが表示される。

測定対象フィルタ名入力エリア５４ａに測定対象フィルタの名称を入力（測定対象フィルタ名入力エリア５４ａのプルダウンリストから測定対象フィルタ名を選択）し、サンプリング時間入力エリア５４ｂにサンプリング時間を入力（サンプリング時間入力エリア５４ｂのプルダウンリストからサンプリング時間を選択）するとともに、サンプリング量入力エリア５４ｃにサンプリング量を入力（サンプリング量入力エリア５４ｃのプルダウンリストからサンプリング量を選択）する。キャンセルボタン５４ｅをクリックすると、図３の初期画面に戻る。クリアボタン５４ｆをクリックすると、入力エリア５４ａ〜５４ｃに入力されたデータが消去され、入力エリア５４ａ〜５４ｃに各データを再入力する。

それら入力エリア５４ａ〜５４ｃに各データを入力した後、実行ボタン５４ｄをクリックすると、コントローラ１５は、図示はしていないが、条件設定確認画面をディスプレイ４４に表示する。条件設定確認画面では、各入力エリアにデータが表示されるとともに、条件確認ボタン、条件変更ボタンが表示される。測定対象フィルタ名やサンプリング時間、サンプリング量に変更があれば、条件変更ボタンをクリックする。条件変更ボタンをクリックすると、図９の条件設定画面に戻り、それら入力エリア５４ａ〜５４ｃに各データを再入力する。測定対象フィルタ名やサンプリング時間、サンプリング量に変更がなければ、条件確認ボタンをクリックする。

条件確認ボタンをクリックすると、コントローラ１５は、入力（選択）された測定対象フィルタ名（格納日時を含む）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納し、サンプリング時間（格納日時を含む）フィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納するとともに（サンプリング時間格納手段、サンプリング時間格納プロセス）、サンプリング量（格納日時を含む）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する（サンプリング量格納手段、サンプリング量格納プロセス）（Ｓ−４０）（図１１参照）。

コントローラ１５は、測定対象フィルタ名やサンプリング時間、サンプリング量を格納すると、図３の初期画面をディスプレイ４４に表示する。第２サンプリングにおける条件設定が完了した後、図３の初期画面において、第２サンプリングボタン５０ｅをクリックする。第２サンプリングボタン５０ｅをクリックすると、コントローラ１５は、空気サンプリングユニット１３を利用し、ガス除去エアフィルタ１１の下流側に延びる通気ダクト１７からサンプル空気をサンプリングする（第２サンプリング手段、第２サンプリングプロセス）（Ｓ−４１）。

コントローラ１５は、図示はしていないが、ガス供給停止中メッセージおよび第２サンプリング中メッセージをディスプレイ４４に表示する。なお、第２サンプリング手段の実行中では、試験用ガス１９やトレーサーガス２２のダクト１７内への供給が停止している。また、ダクト１７には図示しない給気ファンや排気ファンを介して施設内の空気が強制的に流入しており、ガス除去エアフィルタ１１の周囲の空気の風量や風速が均一ではない。

コントローラ１５は、切替バルブ４０の弁機構を閉め、切替バルブ３９の弁機構を開け、所要量（サンプリング量）のサンプル空気が光音響ガスモニタ１４に流入するように弁機構の開度を調節しつつ、吸引ポンプ３７を稼動させる。ガス除去エアフィルタ１１を通過した空気（ガス除去エアフィルタ１１の出口とダクト１７の空気排出口３４との間に延びるダクト１７を流動する空気）は、その一部（サンプル空気）が採集口３５からポンプ３７に進入し、通気管路４１を通って光音響ガスモニタ１４に流入する。

コントローラ１５は、サンプリングユニット１３がサンプリングしたサンプル空気に含まれる試験用ガス１９の濃度測定を光音響ガスモニタ１４に指示する。光音響ガスモニタ１４は、コントローラ１５の指示によってサンプル空気に含まれる試験用ガス１９の濃度を測定する（ガス濃度第２測定手段、ガス濃度第２測定プロセス）（Ｓ−４２）。なお、光音響ガスモニタ１４は、バックグラウンドガス濃度測定手段（バックグラウンドガス濃度測定プロセス）によって測定した除去対象ガスの濃度を参照し、ガス濃度第２測定手段（ガス濃度第２測定プロセス）によって測定した試験用ガス１９の濃度を補正する。

サンプル空気は、光音響ガスモニタ１４から通気管路４１を通って放出口３６からダクト１７内に放出される。コントローラ１５は、サンプリング時間が経過したかを判断する（Ｓ−４３）。サンプリング時間が経過していない場合、コントローラ１５は、引き続きサンプル空気を光音響ガスモニタ１４に流入させ、サンプル空気に含まれる試験用ガス１９の濃度を光音響ガスモニタ１４に測定させる。

サンプル空気が光音響ガスモニタ１４に流入してから所定時間が経過し、サンプリング時間が経過した場合、コントローラ１５は、切替バルブ３９の弁機構を閉じ、サンプル空気の光音響ガスモニタ１４への流入を停止し、切替バルブ４０の弁機構を開け、サンプル空気を放出口３６からダクト１７内に放出する。次に、切替バルブ４０の弁機構を閉じ、ポンプ３７を停止してサンプル空気のサンプリングを停止する（Ｓ−４４）。

サンプル空気のサンプリングを停止した後（第２サンプリング手段を完了した後）、コントローラ１５は、図示はしていないが、第２サンプリング完了メッセージ、ガス濃度測定終了ボタン、ガス濃度測定継続ボタンをディスプレイ４４に表示する。ガス濃度測定終了ボタンをクリックすると、コントローラ１５は、サンプリングが終了したと判断し（Ｓ−４５）、光音響ガスモニタ１４に濃度測定データの送信を指示する。

光音響ガスモニタ１４は、サンプル空気の試験用ガス実測濃度（補正した試験用ガス実測濃度）をコントローラ１５に出力する（Ｓ−４６）。コントローラ１５は、光音響ガスモニタ１４から出力された濃度測定データ（試験用ガス実測濃度、サンプリング日時）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する（ガス濃度格納手段、ガス濃度格納プロセス）（Ｓ−４７）。コントローラ１５は、図示はしていないが、ガス供給停止後ガス濃度測定完了メッセージとガス供給停止後ガス濃度測定完了確認ボタンとをディスプレイ４４に表示する。ガス供給停止後ガス濃度測定完了確認ボタンをクリックすると、コントローラ１５は、図３の初期画面をディスプレイ４４に表示する。

同じガス除去エアフィルタ１１においてサンプル空気の試験用ガス１９の濃度測定を２回以上行う場合、ガス濃度測定継続ボタンをクリックする。ガス濃度測定継続ボタンをクリックすると、コントローラ１５は、サンプリングが終了していないと判断するとともに（Ｓ−４５）、光音響ガスモニタ１４に濃度測定データの送信を指示する。光音響ガスモニタ１４は、サンプル空気の試験用ガス実測濃度をコントローラ１５に出力する（Ｓ−４８）。コントローラ１５は、光音響ガスモニタ１４から出力された濃度測定データ（試験用ガス実測濃度、サンプリング日時）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する（ガス濃度格納手段、ガス濃度格納プロセス）（Ｓ−４９）。コントローラ１５は、濃度測定データを格納すると、図１０の条件設定画面をディスプレイ４４に表示し、ステップ４０（Ｓ−４０）からの手順を繰り返す。

図１２は、濃度測定データ表示画面の他の一例を示す図である。図１２では、各表示エリアに表示されるデータの図示を省略している。濃度測定が完了した後、コントローラ１５は、トレーサーガス２２の空気中における希釈倍率を算出するかを判断する（Ｓ−５０）。希釈倍率を算出する場合、図３の初期画面において希釈倍率算出ボタン５０ｆをクリックする。希釈倍率算出ボタン５０ｆをクリックすると、コントローラ１５は、トレーサーガス２２の空気中における希釈倍率を算出すると判断し、ガス除去エアフィルタ１１の出口から流出した空気中に含まれるトレーサーガス２２の濃度からトレーサーガス２２の空気中における希釈倍率を算出する（希釈倍率計算手段、希釈倍率計算プロセス）（Ｓ−５１）。さらに、希釈倍率計算手段（希釈倍率計算プロセス）によって算出したトレーサーガス２２の空気中における希釈倍率に基づいてガス除去エアフィルタ１１に流入した（ガス除去エアフィルタ１１に達した）試験用ガス１９の実供給濃度を算出する（試験用ガス実供給濃度算出手段、試験用ガス実供給濃度算出プロセス）（Ｓ−５２）。

コントローラ１５は、希釈倍率計算手段（希釈倍率計算プロセス）によって算出したトレーサーガス２２の空気中における希釈倍率（格納日時を含む）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納し（希釈倍率格納手段、希釈倍率格納プロセス）、試験用ガス実給濃度算出手段（試験用ガス実供給濃度算出プロセス）によって算出した試験用ガス１９の実供給濃度（格納日時を含む）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する試験用ガス実供給濃度格納手段（試験用ガス実供給濃度格納プロセス）（Ｓ−５３）。コントローラ１５は、トレーサーガス２２の希釈倍率と試験用ガス１９の実供給濃度とを格納した後、図３の初期画面をディスプレイ４４に表示する。

図３の初期画面において希釈倍率算出ボタン５０ｅをクリックすることなく濃度測定データ表示ボタン５０ｈをクリックすると、ステップ５０（Ｓ−５０）おいてコントローラ１５は、トレーサーガス２２の空気中における希釈倍率を算出しないと判断し、図１２の濃度測定データ表示画面をディスプレイ４４に表示する（濃度測定データ出力手段、濃度測定データ出力プロセス）（Ｓ−５４）。また、希釈倍率を算出した後、図３の初期画面において濃度測定データ表示ボタン５０ｈをクリックすると、コントローラ１５は、図１２の濃度測定データ表示画面をディスプレイ４４に表示する（濃度測定データ出力手段、濃度測定データ出力プロセス）（Ｓ−５４）。濃度測定データは、プリンタを介して出力することができる（濃度測定データ出力手段、濃度測定データ出力プロセス）（Ｓ−５４）。濃度測定データ表示画面には、第１サンプリングの濃度測定データと第２サンプリングの濃度測定データとが表示され、印刷ボタン５５ｎ、閉じるボタン５５ｏが表示される。

濃度測定データ表示画面には、第１サンプリングの濃度測定データとして、測定対象フィルタ名表示エリア５５ａ、サンプリング日時表示エリア５５ｂ、除去対象ガス表示エリア５５ｃ、除去対象ガス濃度倍率表示エリア５５ｄ、トレーサーガス表示エリア５５ｅ、トレーサーガス濃度倍率表示エリア５５ｆ、供給時間表示エリア５５ｇ、サンプリング時間表示エリア５５ｈ、サンプリング量表示エリア５５ｉ、トレーサーガス希釈倍率表示エリア５５ｊ、試験用ガス実供給濃度表示エリア５５ｋ、試験用ガス実測濃度表示エリア５５ｌ、トレーサーガス実測濃度表示エリア５５ｍが表示される。第２サンプリングの濃度測定データとしては、測定対象フィルタ名表示エリア５５ｎ、サンプリング日時表示エリア５５ｏ、サンプリング時間表示エリア５５ｐ、サンプリング量表示エリア５５ｑ、試験用ガス実測濃度表示エリア５５ｒが表示される。

測定対象フィルタ名表示エリア５５ａには、図４の濃度倍率設定画面で指定した測定対象フィルタ名が表示され、サンプリング日時表示エリア５５ｂには、その測定対象フィルタのサンプル空気のサンプリング日時が表示されるとともに、除去対象ガス表示エリア５５ｃには、図５の条件設定画面において指定した除去対象ガスが表示され、除去対象ガス濃度倍率表示エリア５５ｄには、除去対象ガスの濃度倍率が表示される。トレーサーガス表示エリア５５ｅには、図５の条件設定画面において指定したトレーサーガスが表示され、トレーサーガス濃度倍率表示エリア５５ｆには、トレーサーガスガスの濃度倍率が表示されるとともに、供給時間表示エリア５５ｇには、それらガスの供給時間が表示され、サンプリング時間表示エリア５５ｈには、サンプリング時間が表示される。

サンプリング量表示エリア５５ｉには、サンプリング量が表示され、トレーサーガス希釈倍率表示エリア５５ｊには、希釈倍率計算手段によって算出したトレーサーガスの希釈倍率が表示されるとともに、試験用ガス実供給濃度表示エリア５５ｋには、試験用ガス実給濃度算出手段によって算出した試験用ガスの実供給濃度が表示される。試験用ガス実測濃度表示エリア５５ｌには、試験用ガスの実測濃度が表示され、トレーサーガス実測濃度表示エリア５５ｏには、トレーサーガスの実測濃度が表示される。なお、トレーサーガスの希釈倍率を算出しない場合は、トレーサーガス希釈倍率表示エリア５５ｊと試験用ガス実供給濃度表示エリア５５ｋとがブランクになる。

測定対象フィルタ名表示エリア５５ｎには、図１０の条件設定画面において指定した測定対象フィルタ名が表示され、サンプリング日時表示エリア５５ｏには、その測定対象フィルタのサンプル空気のサンプリング日時が表示されるとともに、サンプリング時間表示エリア５５ｐには、サンプリング時間が表示される。サンプリング量表示エリア５５ｑには、サンプリング量が表示され、試験用ガス実測濃度表示エリア５５ｒには、試験用ガスの実測濃度が表示される。

図１１のフローチャート（図６，７のフローチャートを含む）で説明した除去効率測定方法は、図６〜図８のフローチャートで説明した除去効率測定方法が有する効果に加え、以下の効果を有する。図１０，１１のフローチャートで説明した除去効率測定方法は、試験用ガス１９とトレーサーガス２２との供給を停止した後、ガス除去エアフィルタ１１から飛散してその出口から流出したサンプル空気に含まれる試験用ガス１９の濃度を光音響ガスモニタ１４を利用して測定するから、所定濃度の試験用ガス１９が光音響ガスモニタ１４に検出された場合、実際に設置された使用中のガス除去エアフィルタ１１にリーク等の構造的な欠陥以外の化学的な欠陥等の他の欠陥があることを知ることができる。また、それによってそのガス除去エアフィルタ１１の使用限界を知ることができるから、ガス除去エアフィルタ１１を交換する時期を具体的に判断することができる。除去効率測定方法は、ガス除去エアフィルタ１１の実際の使用環境においてガス除去エアフィルタ１１を適時に交換することができ、空気に除去対象ガスが含まれたとしても、ガス除去エアフィルタ１１を利用してその対象ガスを空気から確実に除去することができる。

１０ 除去効率測定システム
１１ ガス除去エアフィルタ（ガス除去装置）
１２ ガス供給ユニット
１３ 空気サンプリングユニット
１４ 光音響ガスモニタ（ガス濃度測定装置）
１５ コントローラ
１９ 試験用ガス
２０ 試験用ガス供給機構
２２ トレーサーガス
２３ トレーサーガス供給機構

Claims (9)

1. 空気中に含まれる各種複数のガス成分のうちの所定の対象ガスを除去するガス除去装置の除去効率を測定する除去効率測定方法において、
   前記除去効率測定方法が、前記対象ガスと同一の試験用ガスと、前記ガス除去装置に除去されずにそれを通過するトレーサーガスと、空気中に含まれる前記試験用ガスおよび前記トレーサーガスの濃度を測定するガス濃度測定装置とを利用し、所定量の前記試験用ガスと前記トレーサーガスとを前記ガス除去装置の入口側から該ガス除去装置に同時に供給するガス供給プロセスと、前記ガス除去装置を通ってその出口から流出した空気中に含まれる前記試験用ガスと前記トレーサーガスとの濃度を前記ガス濃度測定装置を利用して測定するガス濃度第１測定プロセスとを実行することを特徴とする除去効率測定方法。
2. 前記除去効率測定方法が、前記試験用ガスと前記トレーサーガスとの供給を停止した後、前記ガス除去装置から飛散してその出口から流出した空気中に含まれる前記試験用ガスの濃度を前記ガス濃度測定装置を利用して測定するガス濃度第２測定プロセスを含む請求項１に記載の除去効率測定方法。
3. 前記除去効率測定方法が、前記ガス除去装置の出口から流出した空気中に含まれる前記トレーサーガスの濃度から該トレーサーガスの空気中における希釈倍率を算出する希釈倍率計算プロセスと、前記希釈倍率計算プロセスによって算出したトレーサーガスの空気中における希釈倍率に基づいて前記ガス除去装置に流入した前記試験用ガスの濃度を算出する試験用ガス濃度算出プロセスとを含む請求項１または請求項２に記載の除去効率測定方法。
4. 前記除去効率測定方法が、前記ガス除去装置の対象ガスに対する使用可能な限界効率に対応させて該ガス除去装置の入口側から供給する前記試験用ガスの空気に対する濃度の倍率を決定する濃度倍率決定プロセスを含む請求項１ないし請求項３いずれかに記載の除去効率測定方法。
5. 前記ガス供給プロセスでは、前記ガス除去装置の入口側から供給する前記試験用ガスの濃度が前記ガス濃度測定装置の検出限界濃度と同一またはそれよりもわずかに高く、前記試験用ガスと前記トレーサーガスとの供給時間が同一である請求項１ないし請求項４いずれかに記載の除去効率測定方法。
6. 前記ガス供給プロセスにおける前記試験用ガスと前記トレーサーガスとの前記ガス除去装置の入口側への供給時では、前記ガス除去装置の周囲の空気の風量または風速が不均一である請求項１ないし請求項５いずれかに記載の除去効率測定方法。
7. 前記除去効率測定方法では、前記対象ガスを除去する使用中の状態にある前記ガス除去装置の除去効率を測定する請求項１ないし請求項６いずれかに記載の除去効率測定方法。
8. 前記ガス濃度測定装置が、複数種類のガスの濃度を連続して同時に測定することが可能な光音響ガスモニタである請求項１ないし請求項７いずれかに記載の除去効率測定方法。
9. 前記ガス除去装置が、空気中の前記対象ガスを吸着するガス除去エアフィルタである請求項１ないし請求項８いずれかに記載の除去効率測定方法。

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