JP5315951B2

JP5315951B2 - 超高圧放電ランプ

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Publication number: JP5315951B2
Application number: JP2008298944A
Authority: JP
Inventors: 博久石川; 洋好北野; 信宏長町
Original assignee: Ushio Denki KK
Current assignee: Ushio Denki KK
Priority date: 2008-11-25
Filing date: 2008-11-25
Publication date: 2013-10-16
Anticipated expiration: 2028-11-25
Also published as: JP2010129170A

Description

本発明は、点灯時の水銀蒸気圧が１５０気圧以上となるショートアーク型の超高圧放電ランプに関し、例えばＤＭＤ（デジタルマイクロミラーデバイス：登録商標）を使用したＤＬＰ（デジタルライトプロセッシング：登録商標）、などのプロジェクター装置のバックライトとして使う超高圧放電ランプに関する。

投射型プロジェクター装置は、矩形状のスクリーンに対して、均一にしかも十分な演色性をもって画像を照明させることが要求され、このため、光源としては、水銀を０．１５ｍｇ／ｍｍ^３以上封入して高い水銀蒸気圧を持つランプが採用されている。

この種のランプは、例えば、石英ガラスからなる発光管に一対の電極を２ｍｍ以下の間隔で対向配置し、この発光管に０．１５ｍｇ／ｍｍ^３以上の水銀とハロゲンを封入した超高圧放電ランプが使われる。ハロゲンを封入する主目的は発光管の黒化防止であるが、これにより、いわゆるハロゲンサイクルも生じる。この種の放電ランプは、例えば、下記特許文献１，２等に記載されている。

このような放電ランプは、その用途としてプロジェクター用光源として使用する場合、数時間点灯して消灯するような点灯と消灯を繰り返す点滅点灯して使用されるが、ランプ始動期間中、電極からの蒸発物質が発光管に付着することにより、早期に黒化が発生し、寿命が短くなることがある。

ここで、超高圧放電ランプを始動から定常点灯に至るまでの様子を、直流領域を有する始動方式で始動させた場合を例に説明する。
絶縁破壊後、直流領域で陰極となる電極の表面から水銀が蒸発して放電が開始され、電極表面に付着していた水銀が蒸発して、数十Ｖの水銀アークが行われる（水銀アーク領域）。次に、水銀が完全に蒸発して枯渇すると、数百Ｖのグロー放電が行われる（グロー放電領域）。グロー放電により陰極が十分加熱されると、陰極からの熱電子の放出が容易となり、ついには数十Ｖのランプ電圧を有するアーク放電に移行する（熱アーク領域）。
下記の特許文献１，２には、ランプ始動時、特にグロー放電期間において、電極構成材料が発光管部内壁に付着することを防止し、黒化を防止する技術が開示されている。

特開２００５−０６３８１７号公報特開２００６―０７９９８６号公報

しかしながら、ランプ始動期間中、電極からの蒸発物質が発光管に付着するといった事象はなおも確認され、これが原因で黒化が発生することがわかった。本発明者らがランプ始動期間黒化現象が生じる原因について更に詳しく調査した結果、次のようなことが明らかになった。

上述したランプ始動状態において、最初に到来する水銀アーク領域は、水銀にはランプ内部において付着部位に応じて熱が供給されることになるため、いわば制御不能の期間である。また、水銀が完全に蒸発していないため、発光管部内部の圧力が低く、放電が発生し易い期間である。そのため、電極（陰極側電極）に高温部分が形成されると、電極のどの部位からでも電子が放出する可能性があり、放電が発生する。このとき、電極構成材料がスパッタして発光管部内壁に付着すると、黒化の原因となる。放電が先端部分であれば、発光管部との距離が比較的長いため、電極構成材料の付着は少ない。しかしながら、封止管部と発光管部との境界近傍においては、電極軸部と発光管部との距離が極めて短いため、電極の根元付近から放電が形成されてスパッタが生じると、電極構成材料が発光管部内壁に付着することは免れられない。
とりわけ、このような水銀アーク期間における異常放電は、水銀と共に封入されたバッファガス（すなわち希ガス）の封入圧が低い場合に、高い確率で発生する傾向がある。
このようにして、ランプの点灯動作のたびに水銀アーク期間異常放電が発生することによって発光管の黒化が進行し、光透過率が低下し所定の照度が得られなくなり、ランプが短寿命となってしまう。

そこで本発明は、ランプの黒化を防止し、照度維持率の高い高圧放電ランプを提供することを目的とする。

本発明は、石英ガラスからなり、発光管部と当該発光管部に連設された封止管部とを有する発光管の内部に、０．１５ｍｇ／ｍｍ^３以上の水銀を封入するとともに、一対の電極が各々その軸部の基端部が前記封止管部に埋設されて保持されることにより対向配置されてなる超高圧放電ランプにおいて、
前記電極の外周面に、発光管部と封止管部の境界に近接した位置に放電空間に開口する溝が複数形成され、前記溝は、電極の周方向に伸びる環状の溝からなることを特徴とする。
また、石英ガラスからなり、発光管部と当該発光管部に連設された封止管部とを有する発光管の内部に、０．１５ｍｇ／ｍｍ^３以上の水銀を封入するとともに、一対の電極が各々その軸部の基端部が前記封止管部に埋設されて保持されることにより対向配置されてなる超高圧放電ランプにおいて、
前記電極には、その先端部近傍にコイルが巻回されてなり、
前記電極の外周面に、前記コイルよりも後方の位置に放電空間に開口する溝が複数形成され、
前記溝は、電極の周方向に伸びる環状の溝からなることを特徴とすることを特徴とする。
また更に、前記溝は、幅が１５０μｍ以下であり、深さが６０μｍ以上であるのがよい。

本発明にかかる超高圧放電ランプによれば、電極における封止管部と発光管部の境界に近接した位置に、放電空間に開口する溝が形成されているので、当該溝においては放熱が促進されるためにランプ消灯時に最冷部となりやすく、水銀の凝集を促し、溝の内部に水銀を液相状態で保持することができる。そして、溝の内部に水銀を保持した状態においてランプを始動すると、水銀は電極から熱を効率よく受け取ることができるため、水銀の蒸発が促進され、水銀の蒸気圧を早期に高めることができる。
この結果、異常放電を発生しやすい水銀アーク期間を短くすることができる。
また、電極の封止管部と発光管部の境界に近接した位置において、熱は専ら水銀の蒸発に利用されるようになるため、電極の溝部分が高温化することが抑制され、この部分から放電が発生することが回避されるようになる。従って、水銀アーク期間中に発生する異常放電の発生を回避できるともに、電極構成材料が発光管部の内壁に付着する確率を小さくすることができる。
この結果、点灯点滅を繰り返すような点灯モードであったとしも、発光管部に黒化原因となる電極構成物質の付着が少なくて黒化現象の発生を回避することができるので、超高圧放電ランプの照度を高く維持することができるようになる。

［第１の実施形態］
図１は、本発明に係るショートアーク型超高圧放電ランプ（以下、単に「ランプ」ともいう）の全体構成を示す管軸方向断面図である。
ランプＬ１は、中央部に概略球形の発光管部１１と、その両端部から外方に伸びるように形成されたロッド状の封止管部１２とを有する発光管１０を備えている。この発光管部１１には、一対の電極としての陰極２０ａと陽極２０ｂが対向して配置されている。封止管部１２の内部にはそれぞれ、通常モリブデンよりなる導電用金属箔１３が、例えばシュリンクシールにより気密に埋設されている。一対の電極２０ａ，２０ｂは、その軸部２３における後端部分２３Ａが金属箔１３に溶接されて電気的に接続され、また、金属箔１３の他端には、発光管１０の外部に突出する外部リード１４が溶接されている。陽極２０ｂはタングステンよりなり、先端に電極本体部分２１ｂを備え、軸部２３における封止管部１２に埋設される部分にはコイルが幾重にも巻き付けられてコイル部２２ｂが形成されている。このコイル部２２ｂは、発光管１０の全体が石英ガラスからなるため、タングステンと石英ガラスとの熱膨張係数の差を緩和するためのものである

発光管部１１の内部には、水銀と、希ガスと、ハロゲンガスが封入され、放電空間Ｓが形成される。水銀は、必要な可視光波長、例えば、波長３６０〜７８０ｎｍという放射光を得るためのものであり、０．１５ｍｇ／ｍｍ^３以上封入されている。この封入量は、温度条件によっても異なるが、点灯時１５０気圧以上で極めて高い蒸気圧となる。また、水銀をより多く封入することで点灯時の水銀蒸気圧２００気圧以上、３００気圧以上という高い水銀蒸気圧の放電ランプを作ることができ、水銀蒸気圧が高くなるほどプロジェクター装置に適した光源を実現することができる。

希ガスは、静圧で約１０〜２６ｋＰａ封入される。具体的にはアルゴンガスであり、このように希ガスを封入するのは、点灯始動性を改善するためである。
また、ハロゲンは、沃素、臭素、塩素などが水銀その他の金属との化合物の形態で封入され、ハロゲンの封入量は、１０^−６〜１０^−２μｍｏｌ／ｍｍ^３の範囲から選択される。その機能はハロゲンサイクルを利用した長寿命化も存在するが、本発明の放電ランプのように極めて小型で高い内圧を有するものは、このようなハロゲンを封入することで発光管１０の黒化防止の役割を果たす。

このような放電ランプについて具体的数値例を示すと、例えば、発光管部（１１）の最大外径１２ｍｍ、電極間距離１．５ｍｍ、発光管（１０）内容積１８０ｍｍ３、定格電圧８５Ｖ、定格電力３００Ｗであり、直流点灯される。また、この種の放電ランプは、小型化するプロジェクター装置に内蔵されるものであり、装置の全体寸法が極めて小型化される一方で高い光量が要求されることから、発光管部（１１）内の熱的影響は極めて厳しいものとなり、ランプの管壁負荷値は０．８〜２．５Ｗ／ｍｍ^２、具体的には２．１Ｗ／ｍｍ^２となる。このような高い水銀蒸気圧や管壁負荷値を有することがプロジェクター装置やオーバーヘッドプロジェクターのようなプレゼンテーション用機器に搭載された場合に、演色性の良い放射光を提供することができる。

図２（ａ）は、図１で示したランプＬ１の発光管部１１と封止管部の境界部分Ｄの近傍を拡大して示す、説明用断面図、図２（ｂ）は（ａ）において丸Ａで囲んだ部分を更に拡大して示す図である。なお、同図においては図１で説明した構成については同符号を示して詳細説明を省略する。
電極２０ａは、円柱状のタングステン棒より製作される。先端が先細りするよう尖塔状に形成された先端部２１ａと、先端部２１ａの後ろに連設されて後方に向かって伸びる電極軸部２３とを備えて構成され、先端部２１ａの後方には、導線が巻回されるとともに溶融されて電極軸部２３に固着されたコイル部２２ａを備えている。コイル部２２ａは、おもに電極ランプＬ１の始動補助に関与するものであり、ランプ点灯時におけるグロー放電期間中には電極先端部を加熱し、温度上昇を促してアーク放電への移行を容易にするためものである。仮に、このようなコイル部２２ａを有さない電極においてはアーク放電への移行ができないために放電の立ち消えが生じたり、グロー放電を異常に長い時間経過させなければならなかったりするため、この技術分野にかかる放電ランプにおいて、陰極動作側電極のコイル部２２ａは、実用上必須構成となる。
電極２０ａは、軸部の基端部２３Ａが金属箔１３に溶接されるとともに、所定長さ封止管部１２の内部に埋設され、軸部２３ａの一部が放電空間Ｓ内に露出した状態で、封止管部１２に支持されている。

この電極軸部２３ａにおける、封止管部１２と発光管部１１の境界Ｄの近傍には、周方向に伸びる環状の溝２４が多数形成されている。この実施形態において、溝２４は図２（ｂ）に示すように断面が略Ｖ字型であり、一定のピッチで形成されている。溝２４の深さｈは、電極軸部２３の直径によって異なるが、電極軸部２３直径が１．０〜２．０ｍｍであれば、１００〜２００μｍであるのが好ましい。また、溝２４の幅ｗは、５０〜１００μｍであるのが好ましい。なおこの実施形態のようにＶ溝である場合には深さｈと幅ｗの比が上述した範囲に設定されていればよい。

また、溝２４のピッチは、電極軸部２３の長さと水銀量を勘案して設定するのが好ましいが、通常は水銀量が過多であるため、実用上溝の幅（ｗ）以上であれば良いが、好ましい範囲は、２５０〜５００μｍである。このような溝２４は上記範囲を大きく逸脱するものでなければ、ピッチ、溝の幅、深さ等は一定に形成されていなくても構わない。

本実施形態において、溝２４は、電極軸部２３において、封止管部１２と発光管部１１の境界Ｄに近接した位置から、先端方向に向かって所定長さ形成される。具体的な数値でいうと、電極軸部２３の長さが１２〜１６ｍｍである場合には４〜８ｍｍの長さ範囲形成されるのが好ましい。

続いて図３を参照し、本実施形態にかかるランプの消灯時の様子およびランプ点灯時の様子について詳細に説明する。なおここでは代表的に直流点灯タイプの超高圧放電ランプを例として、点灯始動時に一定期間直流期間を経てから点灯させるものを説明する。なお、同図においては図１，２で説明した構成については同符号を示して詳細説明を省略する。

ランプを消灯するとアークが消えて発光管部内の温度が徐々に低下する。水銀は発光管部内で全て蒸発状態であるが、時間の経過と共にやがて凝集し、液相状態に移行し始める（図３（ａ））。
このとき、電極軸部２３の溝２４形成部においては、後端側であるため電極先端部よりも温度が低いことと相俟って、溝２４が多数形成されていることにより比表面積が大きく放熱が促進されるともに、封止管部に埋設された金属箔を通じて熱が外部に移送されるため最冷点となりやすい。そのため、水銀は電極軸部２３の溝２４部分に付着して液相に変化し、液化した水銀は毛細管現象によって溝２４内部に浸透するため、安定的に溝２４部分に溜められる（図３（ｂ））。

ランプ点灯時は、図３（ｃ）に示すように、まず、絶縁破壊後、直流領域で陰極となる電極の表面から水銀が蒸発し始め、数十Ｖの水銀アークが生じる。
電極軸部２３においては封止管部１２と発光管部１１との境界部分Ｄの近傍に、溝２４が多数形成されているため、電極先端から伝わってきた熱が、溝２４の内部にたまった水銀を加熱し、その蒸発に利用されるため、水銀が早期に枯渇状態となって水銀の蒸気圧が高まり、圧力が早期に安定状態となって速やかにグロー放電へ移行する。その後、熱アーク状態への移行する。

このように、本発明においては、溝２４が封止管部１２の近傍に形成されているため最冷部を形成し、水銀を効率よく凝集させることができるようになる。そして、電極軸部２３に水銀を集中的に付着させることで、水銀に対しては電極から熱が供給されるため、水銀の蒸発が促進されるようになる。この結果、水銀の蒸発状態を電極によって制御することが可能となり、蒸気圧が低い水銀アークの期間を短くすることができる。
そして本発明においては、このような作用効果と共に、水銀アークの期間は水銀の蒸気圧が低いため、電極の高温部分から電子が放出してアークが発生しやすいものであるが、水銀のほとんどは電極軸部２３に形成された溝２４の内部に溜まった状態であるため、電極軸部２３における熱は専ら水銀の蒸発に利用されて当該溝２４近傍が高温化することが抑制されるため、電極軸部２３の根元部分からアークが発生する確率が格段に低くなり、黒化現象を回避することができるようになる。

すなわち、電極軸部２３の所定箇所に溝２４を形成することによって、水銀アークの期間を短くできることと、電極軸部の後端側において電極が高温化することを抑制することの、二つの現象について同時に作用効果が得られるようになり、これらの作用効果が相乗されることで不所望な放電を効果的に回避することができ、もって発光管部の黒化現象を抑制することができるようになる。

以上の超高圧放電ランプにおいては直流点灯タイプについて説明した。直流点灯タイプの場合、陰極側として動作する電極と陽極側として動作する電極が決まっているため、陰極側電極において溝を設ける。交流点灯タイプの場合は両方の電極とも陰極動作するので、溝を設けるのはいずれか一方でも構わないが、両方の電極に設けるのが最も好ましい。
また、本発明において電極軸部に形成される溝は環状のものに限定されず、軸方向に伸びる溝であってもよいし、らせん状に形成されたものでも構わない。しかしながら、上記実施形態のように溝を環状に形成した場合には、他の態様の溝と比較して電極軸に垂直方向の断面積を小さくできるため、電極の熱が金属箔に移動することが抑えられる。従って、水銀の蒸発をいっそう速めることができる。

［第２の実施形態］
続いて、本発明の第２の実施形態について説明する。この実施形態は交流点灯タイプの超高圧放電ランプであり、第１の実施形態と比較して電極形状と電源装置（不図示）について相違するが、発光管の内部に封入する、水銀、ハロゲン、希ガス等の封入物質の基本構成については、ほぼ同様であり、その説明については省略する。

図５は交流点灯タイプの超高圧放電ランプＬ２の基本構成を説明する管軸方向断面図である。同図において、ランプＬ２の発光管４０は石英ガラスからなり、発光管部４１とその両端にロッド状の封止管部４２を備えている。発光管部４１の内部にはタングステンからなる略円柱状の電極５０が対向配置され、電極５０の後方にはそれぞれ軸部５４が連設されている。軸部５４もまたタングステンよりなり、各々封止管部４２の内部に埋設されることによって支持されている。この軸部５４に不図示の導電性金属箔が溶接されて接続され、更に金属箔に外部リード棒が接続されることにより、電極が外部に導出されている。

電極５０は、タングステン円柱体よりなる電極胴部５３を備え、先端には先端に向かって先細りする尖塔状の先端部５１が形成され、その後方に、タングステン製のコイルを巻きつけてから溶融して胴部５３と一体化して形成したコイル部５２を備えている。ここで形成されるコイル部５２もまた、おもに電極ランプＬ２の始動補助に関与するものであり、ランプ点灯時におけるグロー放電期間中には電極先端部を加熱し、温度上昇を促してアーク放電への移行を容易にするためものである。なおこのコイル部５２は定常点灯時には、表面積が拡大されることによる放熱作用が奏されると考えられており、熱的平衡を図るために通常両方の電極に形成されている。
ここで、このような電極５０の具体的数値について一例を挙げると、例えば先端から金属箔（不図示）との接合部である後端までを含めた全長は７ｍｍ、軸部５４の径はφ０．４ｍｍ、電極胴部５３（太径部）の最大径部の直径はφ１．２ｍｍである。

この電極胴部５３の露出部分における、コイル部５２よりも後方の位置には、周方向に伸びる環状溝５５が形成されている。かかる溝５５は、少なくとも始動時に陰極動作する電極側に形成されていれば効果が奏されるが、両方の電極に形成されていてもよい。両方の電極に溝５５が形成されていることで、多量に封入された水銀を保持することができる。
溝５５の深さ、ピッチ等は、上記第１の実施形態の数値に準じて好ましい範囲内で適宜設定可能である。このような溝５５が形成されることで、ランプ消灯時において水銀を溜め込み、ランプ始動時に水銀の蒸発を促進させる機能を備え、水銀アークの期間を短縮できて、電極の根元部分（封止管部と発光管部との境界近傍）における温度上昇を確実に抑制することができる。

以上、本発明の実施形態について説明したが、このような本発明の作用効果を得るためには、下記構成が必須となる。
（１）まず、一対の電極において溝が形成されるのはランプの始動時に陰極動作する電極であり、直流点灯用のランプである場合は、陰極側電極である。交流点灯のランプである場合は、両方の電極において陰極動作する可能性があるため、両方の電極であることが望ましいが、ランプ始動時の極性が決められている場合は陰極動作側の一方の電極にのみ形成しても足りる。
（２）そして、溝が形成される位置については、次の通りである。
（２−１）
この技術分野にかかるランプにおいては水銀が０．１５ｍｇ／ｍｍ^３以上となるよう多量に封入されており、電極本体に溝を形成してその容積を稼ぐにはある程度の深さが必要になる。ここで、この種のランプは、電極の軸部の大きさがランプの設計、仕様により様々であり、例えば軸部の径がφ０．５ｍｍに満たない場合に、例えば深さ１００〜２００μｍとなる溝を形成することは適さない。
電極軸部の径がφ１ｍｍ以上である場合には、設計上深さ１００〜２００μｍの溝を形成することが可能であり、その場合には、発光管部と封止管部の境界に近接した位置であるのがよく、最も望ましくは、電極軸部において放電空間に露出した最外端部の近傍に形成されるのがよい。
（２−２）
電極軸部の径が１ｍｍに満たないような、例えばφ０．５ｍｍ以下の場合には、溝の深さを十分稼ぐことができず、軸部に溝を形成しても水銀を保持することができないため、本発明の効果を得ることができなくなる。
従って、ある程度の溝による容積をまかなうために、電極胴部部分（太径の部分）に溝を形成するのが好ましく、その場合は、少なくともコイル部より後方に溝が形成されていればよい。この理由は、電極の先端近傍にあるコイル部は、ランプ始動時には電極先端の発熱を促すものであり、溝によってこの作用、動作を妨げないようにするためである。
よって、溝が形成される位置は、電極先端部にコイル部が形成されている場合には、それよりも後方に形成すれば足りる。そして、コイル部の有無に限定されず、溝が形成される位置は、放電空間における最外端部に可及的に近いことが、最冷部に溝を形成するという観点から、望ましい。

［実施例］
以下、本発明に係る放電ランプの具体的な実施例について説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。

図１に示す構成に従って、超高圧放電ランプを多数作製した。
これらの放電ランプにおける放電容器、電極、封入物および電気特性についての具体的な仕様は、以下の通りである。
〔発光管〕
発光管（１０）は、材質が石英ガラスであり、全長が６０ｍｍである。発光管部（１１）の外径は１２ｍｍで、内径は６ｍｍであり、放電空間の容積は約１８０ｍｍ^３である。封止管部（１２）の長さはそれぞれ２５ｍｍで、外径は６ｍｍである。
〔封入物〕
発光管（１０）内の封入物は、水銀の量が約４０ｍｇ（約０．２２ｍｇ／ｍｍ^３）、臭素の量が５×１０^−４μｍｏｌ／ｍｍ^３、Ａｒの封入圧が１３．３ｋＰａとした。
〔電気特性〕
これらの放電ランプは、ランプ電圧が７０〜１００Ｖ、ランプ電流が３〜４Ａ、ランプ電力が３００Ｗである。

〔電極〕
陰極（２０ａ）および陽極（２０ｂ）の材質はそれぞれタングステンであり、陰極（２０ａ）と陽極（２０ｂ）との離間距離は１．５ｍｍである。電極軸部（２３）の材質もまたタングステンであり、直径は１．３ｍｍである。陰極先端部には純タングステンよりなるコイルを巻回して配置した。
その、各々の陰極（２０ａ）の軸部に、下記仕様に基いてレーザ加工によって溝を多数形成した。

［比較例］
上記実施例１のランプとは、電極に溝が形成されていないことを除いて、同仕様として比較例に係る超高圧放電ランプ（ランプＡという）を製作した。

これら、実施例に係るランプ１〜６と比較例に係るランプＡとを点灯し、１時間点灯後、０．２５時間消灯するという点灯点滅モードで点灯し、照度維持率を測定した。
この結果を図６に示す。なお縦軸は、初期照度を１００として相対値で示す照度維持率、横軸は累積点灯時間である。

この結果から明らかなように、比較例１に係るランプＡにおいては、１０００時間を経過した時点で、初期照度に比較して６０％以下に低下した。これに対し、実施例に係るランプ１〜６においては、いずれも初期照度に対して８０％以上を維持し続け、点滅点灯によっても、照度維持率が良好であることが確認できた。

本発明の第１の実施形態に係るショートアーク型超高圧放電ランプの全体構成を示す、管軸方向断面図である。（ａ）図１で示したランプの発光管部と封止管部の境界部分の近傍を拡大して示す説明用断面図、（ｂ）（ａ）においてＡで囲んだ部分を拡大して示す図である。本実施形態にかかるランプの消灯時の様子およびランプ点灯時の様子について詳細に説明する図であり、（ａ）ランプ消灯初期、（ｂ）ランプ消灯中、および（ｃ）ランプ点灯初期の様子を示す図である。本発明にかかるランプの点灯初期の様子を説明する図である。本発明の第２の実施形態を説明する交流点灯タイプの超高圧放電ランプＬ２の基本構成を説明する管軸方向断面図である。実施例に係るランプと比較例に係るランプの照度維持率を示す図である。

符号の説明

Ｌ１、Ｌ２超高圧放電ランプ
１０発光管
１１発光管部
１２封止管部
１３金属箔
１４外部リード棒
２０ａ，２０ｂ電極
２１ａ，２１ｂ先端部
２２ａ，２２ｂコイル部
２３ａ，２３ｂ電極軸部
２３Ａ後端部
２４溝
４０発光管
４１発光管部
４２封止管部
５０電極
５１先端部
５２コイル部
５３胴部
５４軸部
５５溝

Claims

石英ガラスからなり、発光管部と当該発光管部に連設された封止管部とを有する発光管の内部に、０．１５ｍｇ／ｍｍ^３以上の水銀を封入するとともに、一対の電極が各々その軸部の基端部が前記封止管部に埋設されて保持されることにより対向配置されてなる超高圧放電ランプにおいて、
前記電極の外周面に、発光管部と封止管部の境界に近接した位置に放電空間に開口する溝が複数形成され、
前記溝は、電極の周方向に伸びる環状の溝からなることを特徴とする超高圧放電ランプ。
石英ガラスからなり、発光管部と当該発光管部に連設された封止管部とを有する発光管の内部に、０．１５ｍｇ／ｍｍ^３以上の水銀を封入するとともに、一対の電極が各々その軸部の基端部が前記封止管部に埋設されて保持されることにより対向配置されてなる超高圧放電ランプにおいて、
前記電極には、その先端部近傍にコイルが巻回されてなり、
前記電極の外周面に、前記コイルよりも後方の位置に放電空間に開口する溝が複数形成され、
前記溝は、電極の周方向に伸びる環状の溝からなることを特徴とする超高圧放電ランプ。
前記溝は、幅が１５０μｍ以下であり、深さが６０μｍ以上であることを特徴とする請求項１又は２に記載の超高圧放電ランプ。