JP5285783B2 - 拭取り清掃装置及び拭取り清掃方法 - Google Patents

Description

本発明は、拭取り清掃装置及び拭取り清掃方法に関するものである。

従来から、液晶表示装置などの製造において、ガラス基板の縁部に形成された端子部に対してＩＣ（Integrated Circuit）チップや配線基板などを実装する実装工程での品質及び歩留りを向上させるために、その実装工程に先立ち、ガラス基板の端子形成面に付着した異物の除去を目的とした清掃工程を採用している。

このような清掃工程で使用される清掃装置として、テープ状の長尺シートを用いて拭取り清掃する装置が知られている。例えば、特許文献１には、被処理体である平板を前進させながら、この平板の両面に洗浄液を供給し、一対のプレスローラを介してこの平板を表裏両側から挟むようにこの平板の表面に研掃テープ（長尺シート）を押し付けると共に、これら研掃テープを平板の前進方向とは逆方向に走行させ、この平板の片面に押し付けた研掃テープをさらに横方向に往復移動させて平板の両面を同時に研掃する清掃装置が開示されている。そして、これによれば、平板の両面を短時間で高度に平坦且つ清浄に研掃できる、と記載されている。

特開２００１−６２６９６号公報

しかしながら、上述のような清掃装置では洗浄液を用いて拭取り清掃するため、清掃された基板表面が湿潤状態となり、実装工程などの次工程に搬送する途中において浮遊異物が再付着する虞がある。基板の端子形成面に異物が再付着した場合には、その端子形成面に実装されるＩＣチップや配線基板と基板上の端子との間に接続不良が発生することとなり、製造歩留りが低下する。

そこで、基板表面への異物の再付着を防止するためには、洗浄液を用いて拭取り清掃を行った後にその基板表面の湿気を拭き取ることが考えられるが、洗浄液を用いた異物拭取り用のシートとは別個に湿気拭取り用のシートを清掃装置に追加すると、これら２本のシートが必要になるため、ランニングコストが嵩んでしまう。

本発明は、斯かる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、低コストに被処理体への異物の再付着を防止することにある。

上記の目的を達成するために、本発明は、洗浄液が含浸した長尺シートにより被処理体に付着した異物を拭き取った後、乾燥状態にある上記長尺シートにより異物拭取り後の被処理体の湿気を拭き取るようにしたものである。

具体的に、本発明は、被処理体を清掃作業位置まで搬送経路に沿って搬送する搬送手段と、上記搬送経路側方の上方に設けられ、テープ状の長尺シートを送給するシート送給手段と、上記清掃作業位置の搬送経路上方に上下動可能に接近配置され、上記シート送給手段から送給された長尺シートを下方移動により上記搬送手段上の被処理体に押し付ける第１押付けヘッドと、上記第１押付けヘッド近傍で上記長尺シートに洗浄液を含浸供給する洗浄液供給手段とを備え、上記被処理体の搬送方向への移動及び上記第１押付けヘッドの上記被処理体の反搬送方向への移動の少なくとも一方の動作を行う過程で、上記洗浄液が含浸した長尺シートを上記被処理体に所定の押付力で摺動させることにより、該被処理体に付着した異物を拭き取る拭取り清掃装置を対象とし、以下の解決手段を講じたものである。

すなわち、第１の発明は、上記第１押付けヘッドに対して上記被処理体の搬送方向下流側に上下動可能に並設され、上記長尺シートを下方移動により上記被処理体に押し付ける第２押付けヘッドと、上記長尺シートの上記第１押付けヘッドによる上記被処理体への押付面と上記第２押付けヘッドによる上記被処理体への押付面とが反対面となるように上記長尺シートを反転させるシート反転手段とを備え、上記被処理体の搬送方向への移動及び上記第２押付けヘッドの上記被処理体の反搬送方向への移動の少なくとも一方の動作を行う過程で、上記洗浄液供給手段により洗浄液が供給される前の乾燥状態の上記長尺シート又は上記第１押付けヘッドを経て含浸した洗浄液を乾燥させた状態の上記長尺シートを上記被処理体に所定の押圧力で摺動させることにより、該被処理体の湿気を拭き取るように構成されていることを特徴とする。

第２の発明は、第１の発明において、上記長尺シートは、表面粗さが一方面と他方面とで異なる布で構成されており、表面粗さが小さい方の長尺シート面により上記被処理体に付着した異物を拭き取り、表面粗さが大きい方の長尺シート面により上記被処理体の湿気を拭き取るように構成されていることを特徴とする。

第３の発明は、第１又は第２の発明において、上記第１押付けヘッド及び第２押付けヘッドには、ヘッド上部からヘッド先端部及びヘッド下部を順に経て送られるように上記長尺シートが巻き掛けられ、上記シート反転手段は、上記第１押付けヘッド後側に設けられた第１反転ガイドローラと、上記第２押付けヘッド後側に設けられた第２反転ガイドローラとを備え、該第１反転ガイドローラ及び第２反転ガイドローラが上記搬送手段側に向かって互いの間隔が広がるハの字状に配置されており、該第１反転ガイドローラ及び第２反転ガイドローラにより上記第１押付けヘッド及び第２押付けヘッドの一方から他方に上記長尺シートを反転させて掛け渡すように構成されていることを特徴とする。

第４の発明は、第１から第３の発明のいずれか１つの発明において、上記シート送給手段、第１押付けヘッド、洗浄液供給手段、第２押付けヘッド及びシート反転手段は、上記清掃作業位置における上記搬送手段上の被処理体に対して対称となるように上記搬送手段の下方にも設けられていることを特徴とする。

また、本発明は、被処理体に付着した異物を拭き取る拭取り清掃方法も対象としている。

すなわち、第５の発明は、拭取り清掃方法において、シート送給手段から送給されたテープ状の長尺シートを第２押付けヘッド及び第１押付けヘッドに順に掛け渡し、上記第１押付けヘッドに上記長尺シートを掛け渡すと共に該長尺シートに洗浄液を含浸供給し、該洗浄液が含浸した長尺シートを上記第１押付けヘッドによって上記被処理体に押し付けて摺動させることにより該被処理体に付着した異物を拭き取り、上記洗浄液が供給される前の乾燥状態の長尺シートを上記第２押付けヘッドによって異物拭取り後の上記被処理体に押し付けて摺動させることにより該被処理体の湿気を拭き取ることを特徴とする。

第６の発明は、第５の発明において、上記第２押付けヘッドを経た長尺シートを上記第１押付けヘッドに掛け渡すときに、上記長尺シートの上記第１押付けヘッドによる上記被処理体への押付面と上記第２押付けヘッドによる上記被処理体への押付面とが反対面となるように上記長尺シートを反転させることを特徴とする。

また、第７の発明は、拭取り清掃方法において、シート送給手段から送給されたテープ状の長尺シートを第１押付けヘッド及び第２押付けヘッドに順に掛け渡し、上記第１押付けヘッドに上記長尺シートを掛け渡すと共に該長尺シートに洗浄液を含浸供給し、該洗浄液が含浸した長尺シートを上記第１押付けヘッドによって上記被処理体に押し付けて摺動させることにより該被処理体に付着した異物を拭き取り、上記第１押付けヘッドを経た長尺シートを反転させると共に乾燥させ、反転した乾燥状態の上記長尺シートを上記第２押付けヘッドによって異物拭取り後の上記被処理体に押し付けて摺動させることにより該被処理体の湿気を拭き取ることを特徴とする。

−作用−
次に、本発明の作用について説明する。

第１から第７の発明によると、洗浄液が含浸した長尺シートを第１押付けヘッドによって被処理体に押し付けて摺動させることによりその被処理体に付着した異物を拭取り清掃し、続いて、乾燥状態の長尺シートを第２押付けヘッドによって異物拭取り後の湿潤状態にある被処理体に押し付けて摺動させることによりその被処理体の湿気を拭き取るため、この清掃工程後の次工程に被処理体を搬送する途中においてその被処理体に浮遊異物が再付着することが防止される。さらに、１本の長尺シートにより洗浄液を用いた異物の拭取りと湿気の拭取りとを被処理体に連続して行うため、異物拭取り用のシートと湿気拭取り用のシートとを別個に準備する場合に比べて、ランニングコストが低減される。したがって、低コストに被処理体への異物の再付着を防止することが可能になる。

そのことに加えて、第１の発明によると、長尺シートの第１押付けヘッドによる被処理体への押付面と第２押付けヘッドによる被処理体への押付面とがシート反転手段により反対面となることにより、長尺シートの一方面と他方面とが洗浄液を用いた異物の拭取りと湿気の拭取りとで使い分けられるため、１本の長尺シートにより洗浄液を用いた異物の拭取りと湿気の拭取りとを被処理体に良好に行える。

すなわち、洗浄液が供給される前の乾燥状態の長尺シートを第２押付けヘッドにより被処理体に押し付けて摺動させる場合には、長尺シートは第２押付けヘッドを経た後に第１押付けヘッドに送られることとなる。この場合において、第１押付けヘッドにより長尺シートで拭き取りきれなかった異物を第２押付けヘッドにより長尺シートで湿気と共に拭き取ったとしても、その長尺シートが後に第１押付けヘッドに送られて異物を拭き取る際に、その長尺シートの異物拭き取り面は反転後の未使用面であるため、第２押付けヘッドにより長尺シートに先に拭き取った異物が被処理体に転写されて再付着することがない。一方、第１押付けヘッドを経て含浸した洗浄液を乾燥させた状態の長尺シートを第２押付けヘッドにより被処理体に押し付けて摺動させる場合には、長尺シートは第１押付けヘッドを経た後に第２押付けヘッドに送られることとなる。この場合において、第２押付けヘッドにより長尺シートで湿気を拭き取る際に、その長尺シートの湿気拭取り面は反転後の未使用面であるため、第１押付けヘッドにより長尺シートに先に拭き取った異物が被処理体に転写されて再付着することがない。したがって、いずれの場合にも、１本の長尺シートにより洗浄液を用いた異物の拭取りと湿気の拭取りとを被処理体に良好に行える。

第２の発明によると、表面粗さが小さい方の長尺シート面により被処理体に付着した異物を拭き取るため、例えば端子パターンなどの微細な段差にも洗浄液が浸透し、被処理体を高品位に拭取り清掃することが可能になる。さらに、異物を拭き取る長尺シート面の表面粗さが小さいと、長尺シート面と被処理体表面との間の摩擦抵抗が比較的高くなるが、その摩擦抵抗は長尺シートが洗浄液を含浸していることにより低減される。そのため、長尺シートで被処理体に付着した異物を拭き取ることにより、被処理体が所定の位置からずれること及び被処理体表面が傷付くことが防止されると共に、その摩擦による静電気の発生が低減される。また、表面粗さが大きい方の長尺シート面で被処理体の湿気を拭き取るため、乾燥状態であってもその長尺シート面と被処理体表面との摩擦抵抗が比較的低く、被処理体が所定の位置からずれること及び被処理体表面が傷付くことが防止されると共に、その摩擦による静電気の発生が低減される。

第３の発明によると、シート反転手段が一対のガイドローラによる簡素な構成で実現されるため、拭取り清掃装置の構成を簡略化することが可能になる。

ところで、被処理体の裏面に付着した異物は、被処理体の表面に実装部品を実装する場合にその接続に直接は関与しないが、被処理体表面への実装部品の実装はその裏面を支持して行われるため、被処理体と実装部品との平行度に誤差が生じ、実装部品が被処理体に接続不良となる虞がある。

これに対して、第４の発明によると、被処理体の表面及び裏面の両面において並行して、洗浄液を用いた異物の拭取り及び湿気の拭取りを連続して行うことが可能になるため、被処理体の両面を効率良く拭取り清掃することが可能になる。そのことにより、被処理体の裏面に異物が付着していることで被処理体裏面を支持して行われる実装部品の実装に際して実装部品の接続に悪影響が及ぼされることが防止され、被処理体表面に実装部品をより確実に接続することが可能になる。さらに、清掃作業位置における搬送手段上の被処理体に対して上方と下方とで対称となる同様の構成を有しているので、拭取り清掃装置を簡単な構成で実現できる。

第６の発明によると、長尺シートの第２押付けヘッドによる被処理体への押付面とは反対側の面を第１押付けヘッドによって被処理体に摺動させることにより、第１押付けヘッドにより長尺シートで拭き取れなかった異物が第２押付けヘッドにより長尺シートで湿気と共に拭き取られたとしても、その長尺シートが後に第１押付けヘッドに送られて一方面で異物を拭き取る際に、その異物拭取り面は反転後の未使用面である。このため、長尺シートの他方面に拭き取られた異物が被処理体に転写されて再付着することがなく、１本の長尺シートにより洗浄液を用いた異物の拭取りと湿気の拭取りとを被処理体に良好に行える。

第７の発明によっても、第１押付けヘッドを経た後に反転させると共に洗浄液を乾燥させた状態の長尺シートを第２押付けヘッドにより被処理体に摺動させることにより、長尺シートの一方面で湿気を拭き取る際に、その湿気拭取り面は反転後の未使用面である。このため、長尺シートの他方面に拭き取った異物が被処理体に転写されて再付着することがなく、１本の長尺シートにより洗浄液を用いた異物の拭取りと湿気の拭取りとを被処理体に良好に行える。

本発明によれば、洗浄液が含浸した長尺シートにより被処理体に付着した異物を拭き取った後、乾燥状態にある上記長尺シートにより異物拭取り後の被処理体の湿気を拭き取るので、低コストに被処理体への異物の再付着を防止することができる。これにより、例えば表示パネルの端子部を拭取り清掃する場合には、表示パネルに実装されるＩＣチップや配線基板などの実装部品とパネル端子部との良好な接続を実現でき、その結果、表示装置の製造歩留りを向上させることができる。

図１は、実施形態１の拭取り清掃装置を概略的に示す斜視図である。 図２は、実施形態１の拭取り清掃装置における拭取り清掃動作を示す拡大斜視図である。 図３は、拭取り清掃装置を用いて清掃される液晶表示パネルを概略的に示す斜視図である。 図４は、拭取り清掃装置を用いて製造される液晶表示装置を概略的に示す斜視図である。 図５は、実施形態２の拭取り清掃装置を概略的に示す斜視図である。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明は、以下の各実施形態に限定されるものではない。

《発明の実施形態１》
本実施形態の拭取り清掃装置は、例えば、液晶表示パネル、有機ＥＬ（ElectroLuminescence）表示パネル、プラズマ表示パネルなどの表示パネルや配線基板などの板状の被処理体における端子部に付着したパーティクルなどの異物をシートで拭き取って清掃する装置である。本実施形態では、被処理体として、縁部の一辺側に端子部が形成された液晶表示パネルを例に挙げて説明する。

＜液晶表示パネルの構成＞
液晶表示パネルＰの全体斜視図を図３に示す。

液晶表示パネルＰは、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）などが設けられたＴＦＴ基板１と、カラーフィルタなどが設けられたカラーフィルタ基板２とが、液晶層３を封入する枠状のシール材４を介して貼り合わされた構造を有する。ＴＦＴ基板１は、縁部の一辺側がカラーフィルタ基板２よりも突出し、その突出部分が端子部（以下、パネル端子部ともいう）１ｔを構成している。このパネル端子部１ｔは、カラーフィルタ基板２側の表面が端子形成面となっており、図示は省略するが、その端子形成面にＩＣチップ及び配線基板に接続するための複数の端子が外部に露出して形成されている。

＜拭取り清掃装置の概略構成＞
本実施形態に係る拭取り清掃装置Ｓの全体斜視図を図１に示す。

拭取り清掃装置Ｓは、液晶表示パネル（以下、単に表示パネルという）Ｐを保持しながら搬送する搬送手段と、搬送手段上の表示パネルＰの端子部１ｔを拭取り清掃する拭取り清掃ユニット１５とを備えている。

＜搬送手段の構成＞
搬送手段は、拭取り清掃ユニット１５側に端子部１ｔが張り出すように端子形成面を上側にして表示パネルＰが載置される搬送ステージ１０と、搬送ステージ１０を搬送経路（以下、ステージ搬送経路という）に沿って水平移動させる水平移動機構（不図示）と、搬送ステージ１０を昇降移動させる昇降移動機構（不図示）とを備えている。

搬送ステージ１０は、真空ポンプなどの真空吸引手段と接続される複数の吸着口（不図示）が上面に形成されており、真空吸引手段の駆動により、載置された表示パネルＰを吸着保持するように構成されている。この搬送ステージ１０は、水平移動機構及び昇降移動機構と着脱可能となっており、表示パネルＰのサイズに応じて適切な大きさの搬送ステージ１０を採用することが可能になっている。

水平移動機構は、上面に載置した表示パネルＰを、搬送ステージ１０外側に張り出した端子部１ｔが拭取り清掃ユニット１５による清掃作業位置（後述する第１押付けヘッド又は第２押付けヘッドに重なる位置）を通過するようにその端子部１ｔの張出し方向（以下、端子部張出し方向という）に対して直交する搬送方向に沿って移動可能に構成されている。図１中の矢印５は、搬送ステージ１０の移動方向、つまり表示パネルＰの搬送方向（以下、パネル搬送方向という）を示している。一方、昇降移動機構は、搬送ステージ１０上に保持した表示パネルＰの端子部１ｔ（ＴＦＴ基板１）の厚さに応じてその高さ位置を拭取り清掃ユニット１５に対して所定の位置に調節するように構成されている。

＜拭取り清掃ユニット１５の概略構成＞
拭取り清掃ユニット１５は、清掃作業位置においてステージ搬送経路の側方に近接して設けられ、表示パネルＰの端子部１ｔ表面を拭取り清掃する表面清掃機構２０Ａと、表示パネルＰの端子部１ｔ裏面を拭取り清掃する裏面清掃機構２０Ｂとにより構成されている。

＜表面清掃機構２０Ａの構成＞
表面清掃機構２０Ａは、全体としてステージ搬送経路側方の上方に設けられており、清掃作業位置におけるステージ搬送経路の上方に接近配置された第１押付けヘッド２３及び第２押付けヘッド２５と、第２押付けヘッド２５の後側上方に設けられた繰出しリール２１と、第１押付けヘッド２３の後側上方に設けられた巻取りリール２２と、第１押付けヘッド２３及び巻取りリール２２の間に設けられた第１反転ガイドローラ２６ａと、第２押付けヘッド２５の後側で繰出しリール２１の下方に設けられた第２反転ガイドローラ２６ｂと、繰出しリール２１及び第２反転ガイドローラ２６ｂの間に設けられた複数の第１ガイドローラ２７と、第１押付けヘッド２３の後側で巻取りリール２２の下方に設けられた第２ガイドローラ２８とを備えている。

繰出しリール２１及び巻取りリール２２は、テープ状の長尺シート６を送給するシート送給手段を構成している。繰出しリール２１は、未使用の長尺シート６が巻回された状態でその回転軸がパネル搬送方向に平行な方向となるように保持され、長尺シート６を繰り出すようになっている。巻取りリール２２は、繰出しリール２１から繰り出された後に第１押付けヘッド２３及び第２押付けヘッド２５を経た使用済みの長尺シート６を巻き取り可能に繰出しリール２１と回転軸が平行となるように保持されている。

長尺シート６は、いわゆる綾織りやとも織りなどの技法で織られた液体含浸性を有する織布であり、織り目の粗さが一方面と他方面とで異なっている。そのことにより、長尺シート６は、織り目の細かい一方面（図１中白抜き表面）の表面粗さが、織り目の粗い他方面（図１中斜線表面）の表面粗さよりも小さくなっている。なお、長尺シート６は、織布であるとしているが、合成繊維を編み込んだ編布や不織布などの布であってもよく、液体含浸性を有するシートであればよい。

第１押付けヘッド２３及び第２押付けヘッド２５は、その先端部がステージ搬送経路側に向くようにパネル搬送方向に並設され、第１押付けヘッド２３がパネル搬送方向上流側、第２押付けヘッド２５がパネル搬送方向下流側にそれぞれ設けられている。さらに、第１押付けヘッド２３及び第２押付けヘッド２５は、それぞれ独立して上下動可能に構成され、パネル端子部１ｔの清掃作業前においては清掃作業位置での搬送ステージ１０上の表示パネルＰの端子部１ｔ表面と同じ高さ位置から上方に離間した初期位置に配置されている。そして、第１押付けヘッド２３及び第２押付けヘッド２５は、下方移動によりパネル端子部１ｔに所定の押付力で長尺シート６を押し付けるようになっている。

これら第１押付けヘッド２３及び第２押付けヘッド２５の上部には、両側面が上方に突出して長尺シート６におけるシート幅方向のずれを規制する一対のガイド片（図２に示す）２３ｇ，２５ｇが構成されている。また、第１押付けヘッド２３の側部には、長尺シート６に洗浄液を含浸供給する洗浄液供給手段である洗浄液供給ノズル２４が接続されている。

この洗浄液供給ノズル２４は、洗浄液として、有機溶剤やオゾン液を第１押付けヘッド２３に供給する。この第１押付けヘッド２３の上面２３ｓには、洗浄液供給ノズル２４から供給された洗浄液を当該ヘッド内部に形成された流路を介し長尺シート６に向けて吐出する吐出口２３ｈが形成されている。そして、第１押付けヘッド２３の上面２３ｓを通過する長尺シート６に対し、洗浄液供給ノズル２４により、パネル端子部１ｔとの接触面側にその反対面側から有機溶剤を含浸させて供給するようになっている。ここで、洗浄液として、エタノールやＩＰＡ（Isopropyl Alcohol）などの有機溶剤を使用すると、パネル端子部１ｔ上の塵埃やガラス片だけでなく、油分が付着している場合にも効果的に除去することが可能となる。

第１反転ガイドローラ２６ａ及び第２反転ガイドローラ２６ｂは、長尺シート６の第２押付けヘッド２５によるパネル端子部１ｔへの押付面とは反対側の面が第１押付けヘッド２３によるパネル端子部１ｔへの押付面となるように長尺シート６を反転させるシート反転手段２６を構成している。これら第１反転ガイドローラ２６ａ及び第２反転ガイドローラ２６ｂは、ステージ搬送経路側に向かって互いの間隔が広がるハの字状に配置されている。

そして、繰出しリール２１から繰り出される長尺シート６は、各第１ガイドローラ２７を介して、第２押付けヘッド２５に所定のテンションを保った状態で掛け渡されるように掛け回される。第２押付けヘッド２５には、長尺シート６がヘッド上部からヘッド先端部及びヘッド下部を順に経て送られるように、且つ表面粗さが小さい方の長尺シート面が外側面、つまりパネル端子部１ｔへの押付面となるように端子部張り出し方向に平行に巻き掛けられる。第２押付けヘッド２５に巻き掛けられてヘッド後方に折り返された長尺シート６は、第２押付けヘッド２３によるパネル端子部１ｔへの押付面を上側に向けた状態で第１反転ガイドローラ２６ａに掛け渡すように第２反転ガイドローラ２６ｂに掛け回される。第２反転ガイドローラ２６ｂから第１反転ガイドローラ２６ａに掛け回された長尺シート６は、その上側面と下側面とを反転させて第１押付けヘッド２３に掛け渡すように掛け回される。第１押付けヘッド２３には、長尺シート６がヘッド上部からヘッド先端部及びヘッド下部を順に経て送られるように、且つシート反転手段２６により反転された表面粗さが大きい方の長尺シート面が外側面（パネル端子部１ｔへの押付面）となるように端子部張り出し方向に平行に巻き掛けられる。第１押付けヘッド２３に巻き掛けられてヘッド後方に折り返された長尺シート６は、第２ガイドローラ２８を介して、巻取りリール２２に所定のテンションを保った状態で巻き取られるように巻回される。

＜表面清掃機構２０Ａの作動＞
上記構成の表面清掃機構２０Ａでは、繰出しリール２１及び巻取りリール２２を駆動させることにより、長尺シート６が、各第１ガイドローラ２７及び第２押付けヘッド２５を順に経て送られ、続いて、第２反転ガイドローラ２６ｂ及び第１反転ガイドローラ２６ａに順に経て送られるその過程で一方面と他方面とが反転され、その後、第１押付けヘッド２３及び第２ガイドローラ２８を順に経て送られて、巻取りリール２２に巻き取られるように走行する。なお、図１中において、繰出しリール２１、巻取りリール２２、ガイドローラ２６ａ，２６ｂ，２７，２８側方の矢印は、各々の回転方向を示している。そして、搬送ステージ１０上の表示パネルＰが搬送により清掃作業位置を通過する過程において、上述のように長尺シート６を走行させた状態で、第１押付けヘッド２３を下方移動させ、洗浄液が含浸した長尺シート６の一方面（表面粗さが小さい方の面）をパネル端子部１ｔに押付けて摺動させることにより、そのパネル端子部１ｔ表面の異物を拭き取る。さらに、第２押付けヘッド２５を下方移動させ、洗浄液供給前のシート走行方向上流側の乾燥状態にある長尺シート６の他方面（表面粗さが大きい方の面）を異物拭取り後のパネル端子部１ｔ表面に押付けて摺動させることにより、そのパネル端子部１ｔ表面の湿気を拭き取るようになっている。

＜裏面清掃機構２０Ｂの構成・作動＞
裏面清掃機構２０Ｂは、全体としてステージ搬送経路側方の下方に設けられており、表面清掃機構２０Ａと同様な繰出しリール２１、巻取りリール２２、第１押付けヘッド２３、洗浄液供給ノズル２４、第２押付けヘッド２５、シート反転手段２６（第１反転ガイドローラ２６ａ及び第２反転ガイドローラ２６ｂ）、第１ガイドローラ２７及び第２ガイドローラ２８を備え、これらが清掃作業位置における搬送ステージ１０上の表示パネルＰに対して上方と下方とで表面清掃機構２０Ａに対称となるように設けられている。ここで、裏面清掃機構２０Ｂにおける表面清掃機構２０Ａと共通の要素については、図１中に同じ符合を付して、その説明を省略する。

このような構成の裏面清掃機構２０Ｂでは、搬送ステージ１０上の表示パネルＰが搬送により清掃作業位置を通過する過程において、表面清掃機構２０Ａと同期して、長尺シート６を走行させた状態で、第１押付けヘッド２３を上方移動させ、洗浄液が含浸した長尺シート６の一方面（表面粗さが小さい方の面）をパネル端子部１ｔに押付けて摺動させることにより、そのパネル端子部１ｔ裏面の異物を拭き取る。さらに、第２押付けヘッド２５を上方移動させ、洗浄液供給前のシート走行方向上流側の乾燥状態にある長尺シート６の他方面（表面粗さが大きい方の面）を異物拭取り後のパネル端子部１ｔ表面に押付けて摺動させることにより、そのパネル端子部１ｔ裏面の湿気を拭き取るようになっている。

−清掃方法−
次に、上記拭取り清掃装置Ｓを用いて表示パネルＰの端子部１ｔを拭取り清掃する方法について、図１及び図２を参照しながら説明する。図２は、拭取り清掃装置Ｓの拭取り清掃動作を示す斜視図である。なお、図２では、裏面清掃機構２０Ｂの構成を省略している。また、図２中の長尺シート６上の矢印はシート走行方向を示している。

まず、搬送ロボットなどにより、図１に示すように、パネル搬送方向上手側の初期位置に配置された状態の搬送ステージ１０上に、被処理体である表示パネルＰを拭取り清掃ユニット１５側に端子部１ｔが張り出すように載置し、その後、この搬送ステージ１０に接続された真空吸引手段を駆動させることにより、搬送ステージ１０と表示パネルＰとの間の空気を各吸着口から排出し、搬送ステージ１０表面に表示パネルＰを吸着保持させる。この段階では、繰出しリール２１及び巻取りリール２２は駆動しておらず、長尺シート６は走行状態でない。

次いで、昇降移動機構を駆動することにより、搬送ステージ１０上の表示パネルＰの高さ位置をパネル端子部１ｔの厚さに応じて所定の位置に調整する。それと共に、水平移動機構を駆動することにより、搬送ステージ１０上に保持した表示パネルＰを、その端子部１ｔが各第１押付けヘッド２３に重なる清掃作業位置まで搬送する。

そして、搬送ステージ１０外側に張り出したパネル端子部１ｔにおける搬送方向上流側の端部の上下に各第１押付けヘッド２３が位置したとき、両清掃機構２０Ａ，２０Ｂにおいて、繰出しリール２１及び巻取りリール２２を駆動させることにより、長尺シート６を第２押付けヘッド２５及び第１押付けヘッド２３に順に掛け渡すように走行させる。このシート走行動作により、繰出しリール２１から繰り出された長尺シート６は、洗浄液が供給される前の乾燥状態で第２押付けヘッド２５に掛け渡され、第２押付けヘッド２５を経た後に第１押付けヘッド２３に掛け渡され、その際にシート反転手段２６によりその一方面と他方面とが反転し、第１押付けヘッド２３に掛け渡されると共に該ヘッド上面２３ｓ又はヘッド下面において洗浄液が含浸供給され、第１押付けヘッド２３を経た後に巻取りリール２２に巻き取られる。

また、このとき、表面清掃機構２０Ａの第１押付けヘッド２３を下方移動させ、それと同期して、裏面清掃機構２０Ｂの第１押付けヘッド２３を上方移動させる。そのことにより、両第１押付けヘッド２３によってパネル端子部１ｔを挟み込んでその表面及び裏面に洗浄液が含浸した長尺シート６をそれぞれ押し付ける。このように走行状態の長尺シート６をパネル端子部１ｔの両面に押し付けた状態で、続けて水平移動機構を駆動させることにより、搬送ステージ１０上の表示パネルＰを搬送経路に沿ってさらに搬送して、パネル端子部１ｔに第１押付けヘッド２３を沿わせる。その過程において、洗浄液が含浸した長尺シート６の一方面（表面粗さが小さい方の面）をパネル端子部１ｔの両面に摺動させることによりそのパネル端子部１ｔ両面の異物を拭き取る。

さらに、異物拭取り後のパネル端子部１ｔ部分の上下に各第２押付けヘッド２５が位置したとき、図２に示すように、表面清掃機構２０Ａの第２押付けヘッド２５を下方移動させ、それと同期して、裏面清掃機構２０Ｂの第２押付けヘッド２５を上方移動させる。そのことにより、両第２押付けヘッド２５によってパネル端子部１ｔを挟み込んでその表面及び裏面に洗浄液供給前の乾燥状態にある長尺シート６を押し付ける。そして、走行状態の長尺シート６をパネル端子部１ｔの両面に押し付けた状態で、各第２押付けヘッド２５も各第１押付けヘッド２３と共にそのパネル搬送方向下流側でパネル端子部１ｔに沿わせる。その過程において、洗浄液供給前の乾燥状態にある長尺シート６の他方面（表面粗さが大きい方の面）を異物拭取り後の湿潤状態にあるパネル端子部１ｔの両面に摺動させることによりそのパネル端子部１ｔ両面の湿気を拭き取る。

このように、パネル端子部１ｔが清掃作業位置を通過するときに、そのパネル端子部１ｔの表面及び裏面において並行して、異物の拭き取り及び湿気の拭き取りを順に連続して行う。そして、パネル端子部１ｔが清掃作業位置を通過した際に、両清掃機構２０Ａ，２０Ｂにおいて、繰出しリール２１及び巻取りリール２２の駆動を停止させ、シート走行動作を止めると共に、第１押付けヘッド２３及び第２押付けヘッド２５をパネル端子部１ｔが通過した際に初期位置までそれぞれ上方移動又は下方移動させる。

その後、水平移動機構の駆動により搬送ステージ１０上の表示パネルＰをパネル分離位置（図１中に２点鎖線で示す位置）まで搬送し、そして、搬送ステージ１０の各吸着口による表示パネルＰの吸着を解除することにより、搬送ステージ１０表面から表示パネルＰを分離する。

以上のようにして、表示パネルＰの端子部１ｔを拭取り清掃することができる。そして、このように拭取り清掃した表示パネルＰを実装工程に搬送し、そのパネル端子部１ｔに対し、ＩＣチップ５１及び配線基板５２などの実装部品を実装することにより、図４に示す液晶表示装置５０を製造することができる。

−実施形態１の効果−
この実施形態１によると、洗浄液が含浸した長尺シート６を第１押付けヘッド２３によってパネル端子部１ｔに押し付けて摺動させることによりそのパネル端子部１ｔの両面に付着した異物を拭取り清掃し、続いて、洗浄液供給前の乾燥状態にある長尺シート６を第２押付けヘッド２５によって異物拭取り後の湿潤状態にあるパネル端子部１ｔに押し付けて摺動させることによりそのパネル端子部１ｔの両面の湿気を拭き取り、パネル端子部１ｔの表面及び裏面において並行して、洗浄液を用いた異物の拭き取り及び湿気の拭き取りを連続して行うため、パネル端子部１ｔの両面を効率良く拭取り清掃できる。そして、清掃工程後の次工程に表示パネルＰを搬送する途中において、そのパネル端子部１ｔの両面に浮遊異物が再付着することを抑制できる。

しかも、長尺シート６の第１押付けヘッド２３によるパネル端子部１ｔへの押付面と第２押付けヘッド２５によるパネル端子部１ｔへの押付面とがシート反転手段２６によって反対面となることにより、長尺シート６の一方面と他方面とが洗浄液を用いた異物の拭取りと湿気の拭取りとで使い分けられる。そのことにより、第１押付けヘッド２３により長尺シート６で拭き取りきれなかった異物を第２押付けヘッド２５により長尺シート６で湿気と共に拭き取ったとしても、その長尺シート６が後に第１押付けヘッド２３に送られて異物を拭き取る際に、その長尺シート６の異物拭き取り面は反転後の未使用面であるため、第２押付けヘッド２５により長尺シート６に先に拭き取られた異物がパネル端子部１ｔに転写されて再付着することがない。したがって、各１本の長尺シート６により洗浄液を用いた異物の拭取りと湿気の拭取りとをパネル端子部１ｔの表面及び裏面に良好に行うことができる。

さらに、パネル端子部１ｔを拭取り清掃する際に、表面粗さが小さい方の長尺シート面によりパネル端子部１ｔに付着した異物を拭き取るため、端子パターンの微細な段差にも洗浄液が浸透し、端子形成面（端子部１ｔ表面）を高品位に拭取り清掃できる。さらに、異物を拭き取る長尺シート面の表面粗さが小さいので、長尺シート面とパネル端子部１ｔとの間の摩擦抵抗が比較的高くなるが、その摩擦抵抗は長尺シート６が洗浄液を含浸していることにより低減される。そのため、長尺シート６でパネル端子部１ｔに付着した異物を拭き取ることにより、表示パネルＰが所定の位置からずれること及び端子形成面が傷付くことを防止できると共に、その摩擦による静電気の発生を低減できる。また、表面粗さが大きい方の長尺シート面でパネル端子部１ｔの湿気を拭き取るため、乾燥状態であってもその長尺シート面とパネル端子部１ｔとの摩擦抵抗が比較的低く、表示パネルＰが所定の位置からずれること及び端子形成面が傷付くことを防止できると共に、その摩擦による静電気の発生を低減できる。

そして、この実施形態１の拭取り清掃装置Ｓは、シート反転手段２６が一対のガイドローラ２６ａ，２６ｂによる簡素な構成で実現されるため、拭取り清掃装置Ｓの構成を簡略化できる。さらに、清掃作業位置における搬送ステージ１０上の表示パネルＰに対して上方と下方とで対称となる同様の構成を有しているので、拭取り清掃装置Ｓを簡単な構成で実現できる。

以上により、表示パネルＰの端子部１ｔの両面を簡単な構成で良好に拭取り清掃でき、且つその拭取り清掃後のパネル端子部１ｔへの異物の再付着も抑制できる。このため、表示パネルＰに実装されるＩＣチップ５１や配線基板５２などの実装部品とパネル端子部１ｔとの間に異物が介在すること、及びパネル端子部１ｔの裏面に異物が付着していることで表示パネルＰ裏面を支持して行われる実装部品５１，５２の実装に際して実装部品５１，５２の接続に悪影響が及ぼされることを抑制でき、パネル端子部１ｔへの実装部品５１，５２の良好な接続を実現できる。その結果、液晶表示装置５０の製造歩留りを向上させることができる。

《発明の実施形態２》
図５は、本実施形態に係る拭取り清掃装置Ｓの全体斜視図である。なお、以降では、図１から図４と同じ部分については同じ符号を付して、その詳細な説明を省略する。

上記実施形態１では、長尺シート６が第２押付けヘッド２５から第１押付けヘッド２３に送られるように掛け回されて、洗浄液供給前の乾燥状態にある長尺シート６を第２押付けヘッド２５によって異物拭取り後のパネル端子部１ｔに摺動させることにより、そのパネル端子部１ｔの湿気を拭き取るとしたが、本実施形態では、長尺シート６が第１押付けヘッド２３から第２押付けヘッド２５に送られるように掛け回されて、第１押付けヘッド２３を経た後に乾燥させた状態の長尺シート６を第２押付けヘッド２５によって異物拭取り後のパネル端子部１ｔに摺動させることにより、そのパネル端子部１ｔの湿気を拭き取るように構成されている。

当該拭取り清掃装置Ｓは、第１押付けヘッド２３及び第２押付けヘッド２５の後側に、エアブローノズル４０をそれぞれ備えている。このエアブローノズル４０は、先端の吹出し口が、第１押付けヘッド２３と第２押付けヘッド２５との間の走行経路途中の長尺シート６表面、例えば第１押付けヘッド２３によるパネル端子部１ｔへの押付面が上側に向いた部分に臨むように配置されており、長尺シート６が第１押付けヘッド２３から第２押付けヘッド２５に送られる際に、その長尺シート６に圧縮空気を吹き付けて洗浄液を乾燥させるように構成されている。

−清掃方法−
次に、上記拭取り清掃装置Ｓを用いて表示パネルＰの端子部１ｔを拭取り清掃する方法について説明する。

まず、上記実施形態１と同様に、パネル搬送方向上手側の初期位置に配置された状態の搬送ステージ１０表面に表示パネルＰを吸着保持させ、次いで、昇降移動機構及び水平移動機構を駆動することにより、搬送ステージ１０上の表示パネルＰの高さ位置をパネル端子部１ｔの厚さに応じて所定の位置に調整すると共に、搬送ステージ１０上に保持した表示パネルＰを、その端子部１ｔが清掃作業位置を通過するように搬送する。

そして、パネル端子部１ｔが清掃作業位置を通過する過程において、搬送ステージ１０外側に張り出したパネル端子部１ｔにおける搬送方向上流側の端部の上下に各第１押付けヘッド２３が位置したとき、両清掃機構１０Ａ，２０Ｂにおいて、繰出しリール２１及び巻取りリール２２を駆動させることにより長尺シート６を第１押付けヘッド２５及び第２押付けヘッド２３に順に掛け渡すように走行させる。このシート走行動作により、繰出しリール２１から繰り出された長尺シート６は、第１押付けヘッド２３に掛け渡されると共に該ヘッド上面２３ｓ又はヘッド下面において洗浄液が含浸供給され、第１押付けヘッド２３を経た後に第２押付けヘッド２５に掛け渡される際に、シート反転手段２６によりその一方面と他方面とが反転すると共に、エアブローノズル４０による圧縮空気の吹き付けにより洗浄液が乾燥し、第２押付けヘッド２５を経た後に巻取りリール２２に巻き取られる。また、このとき、各第１押付けヘッド２３を駆動（下方移動又は下方移動）させることにより、両第１押付けヘッド２３によってパネル端子部１ｔを挟み込んでその表面及び裏面に長尺シート６を押し付ける。

さらに、パネル端子部１ｔにおける搬送方向上流側の端部の上下に各第２押付けヘッド２５が位置したとき、これら各第２押付けヘッド２５を駆動（下方移動又は上方移動）させることにより、両第２押付けヘッド２５によってパネル端子部１ｔを挟み込んでその表面及び裏面に洗浄液が乾燥させた後の長尺シート６を押し付ける。

このようにして、表示パネルＰの搬送過程において、洗浄液が含浸した長尺シート６の一方面（表面粗さが小さい方の面）をパネル端子部１ｔ両面に摺動させることによりそのパネル端子部１ｔ両面の異物を拭き取り、続いて、乾燥状態の長尺シート６の他方面（表面粗さが大きい方の面）を異物拭取り後の湿潤状態にあるパネル端子部１ｔ両面に摺動させることによりそのパネル端子部１ｔ両面の湿気を拭き取る。

その後、上記実施形態１と同様に、両清掃機構２０Ａ，２０Ｂにおいて、繰出しリール２１及び巻取りリール２２の駆動を停止させ、シート走行動作を止めると共に、第１押付けヘッド２３及び第２押付けヘッド２５を初期位置までそれぞれ移動させる。そして、水平移動機構の駆動により搬送ステージ１０上の表示パネルＰをパネル分離位置（図５中に２点鎖線で示す位置）まで搬送し、搬送ステージ１０の各吸着口による表示パネルＰの吸着を解除することにより、搬送ステージ１０表面から表示パネルＰを分離する。

以上のようにして、表示パネルＰの端子部１ｔを拭取り清掃することができ、その後、表示パネルＰを実装工程に搬送し、そのパネル端子部１ｔに対し、ＩＣチップ５１及び配線基板５２などの実装部品を実装することにより、図４に示す液晶表示装置５０を製造することができる。

−実施形態２の効果−
この実施形態２によると、長尺シート６は第１押付けヘッド２３を経た後に第２押付けヘッド２５に送られることとなるが、第１押付けヘッド２３から第２押付けヘッド２５に掛け渡す際に長尺シート６の洗浄液が乾燥するので、第２押付けヘッド２５により異物拭取り後のパネル端子部１ｔに乾燥状態の長尺シート６を摺動させることができ、そのパネル端子部１ｔの湿気を拭き取ることができる。

そして、シート反転手段２６により長尺シート６の一方面と他方面とを使い分けて洗浄液を用いた異物の拭き取りと湿気の拭き取りとを行うため、第２押付けヘッド２５により長尺シート６で湿気を拭き取る際に、その長尺シート６の湿気拭き取り面は反転後の未使用面であり、第１押付けヘッド２３により長尺シート６で先に拭き取った異物がパネル端子部１ｔに転写されて再付着することがない。したがって、各１本の長尺シート６によりパネル端子部１ｔの表面及び裏面を効率良く拭取り清掃でき、清掃工程後の次工程に表示パネルＰを搬送する途中において、そのパネル端子部１ｔに浮遊異物が再付着することを防止できる。このため、上記実施形態１と同様の効果を得ることができ、液晶表示装置５０の製造歩留りを向上させることができる。

《その他の実施形態》
上記実施形態１では、シート反転手段２６を備え、長尺シート６が第２押付けヘッド２５から第１押付けヘッド２３に掛け渡される際に反転させるよう構成されているとしたが、本発明はこれに限られず、シート反転手段２６を備えず、長尺シート６の第１押付けヘッド２３によるパネル端子部１ｔへの押付面と第２押付けヘッド２５によるパネル端子部１ｔへの押付面とが同一面となっていてもよい。このように構成されていても、洗浄液が含浸した長尺シート６によりそのパネル端子部１ｔに付着した異物を拭取り清掃し、続いて、乾燥状態の長尺シート６により異物拭取り後のパネル端子部１ｔの湿気を拭き取るため、この清掃工程後の次工程に表示パネルＰを搬送する途中においてそのパネル端子部１ｔに浮遊異物が再付着することを抑制できる。

上記各実施形態では、搬送ステージ１０上の表示パネルＰを搬送する過程で、パネル端子部１ｔに付着した異物の拭き取りと、異物拭取り後のパネル端子部１ｔにおける湿気の拭き取りとを行うとしたが、本発明はこれに限られない。例えば、拭取り清掃ユニット１５は、第１押付けヘッド２３及び第２押付けヘッド２５を反パネル搬送方向に一体的に移動可能に構成されており、これら第１押付けヘッド２３及び第２押付けヘッド２５を移動させる過程で、パネル端子部１ｔに対して異物の拭き取り及び湿気の拭き取りを行うようにしてもよい。さらには、表示パネルＰの搬送方向への移動と第１押付けヘッド２３及び第２押付けヘッド２５の反パネル搬送方向への移動との両方を行う過程で、パネル端子部１ｔに対して異物の拭き取り及び湿気の拭き取りを行うようにしても構わない。

上記各実施形態において、シート反転手段２６は、第１反転ガイドローラ２６ａ及び第２反転ガイドローラ２６ｂで構成されているとしたが、本発明はこれに限られず、シート反転手段２６は、長尺シート６の第１押付けヘッド２３によるパネル端子部１ｔへの押付面と第２押付けヘッド２５によるパネル端子部１ｔへの押付面とが反対面となるように長尺シート６を反転させるように構成されていればよい。例えば、シート反転手段２６は、第１押付けヘッド２３又は第２押付けヘッド２５の後側に設けられた１つの反転ガイドローラで構成され、第１押付けヘッド２３又は第２押付けヘッド２５と反転ガイドローラとの間のシート走行経路で長尺シート６が捻って反転させるようにしてもよい。このように構成すれば、シート反転手段２６を１つのガイドローラで構成できるため、拭取り清掃装置Ｓの構成をさらに簡略化してコンパクトにできる。

上記各実施形態において、搬送手段として搬送ステージ１０を備える構成を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限られず、搬送手段は、表示パネルＰを上下で挟みつつ回転することで保持しながら搬送する複数の搬送ローラにより構成されていもよく、表示パネルＰを支持しながら搬送するアームを有する搬送機構などの公知の搬送手段を採用することが可能である。

上記各実施形態では、拭取り清掃ユニット１５は表面清掃機構２０Ａ及び裏面清掃機構２０Ｂを備えているとしたが、本発明はこれに限られず、表面清掃機構Ａ及び裏面清掃機構Ｂの一方のみで構成されていてもよい。例えば、拭取り清掃ユニット１５は表面清掃機構２０Ａのみで構成されており、パネル端子部１ｔの表面だけを拭取り清掃するように構成されていてもよい。また、パネル端子部１ｔの表面を拭取り清掃した後、表示パネルＰの表面と裏面とを反転させ、続いてパネル端子部１ｔの裏面を拭取り清掃するように構成されていてもよい。

以上説明したように、本発明は、拭取り清掃装置及び拭取り清掃方法について有用であり、特に、低コストに被処理体への異物の再付着を抑制することが要望される拭取り清掃装置及び拭取り清掃方法に適している。

Ｓ 拭取り清掃装置
Ｐ 液晶表示パネル（被処理体）
５ 被処理体の搬送方向
６ 長尺シート
１０ 搬送ステージ（搬送手段）
２１ 繰出しリール（シート送給手段）
２２ 巻取りリール（シート送給手段）
２３ 第１押付けヘッド
２４ 洗浄液供給ノズル（洗浄液供給手段）
２５ 第２押付けヘッド
２６ シート反転手段
２６ａ 第１反転ガイドローラ
２６ｂ 第２反転ガイドローラ

Claims (7)

1. 被処理体を清掃作業位置まで搬送経路に沿って搬送する搬送手段と、
   上記搬送経路側方の上方に設けられ、テープ状の長尺シートを送給するシート送給手段と、
   上記清掃作業位置の搬送経路上方に上下動可能に接近配置され、上記シート送給手段から送給された長尺シートを下方移動により上記搬送手段上の被処理体に押し付ける第１押付けヘッドと、
   上記第１押付けヘッド近傍で上記長尺シートに洗浄液を含浸供給する洗浄液供給手段とを備え、
   上記被処理体の搬送方向への移動及び上記第１押付けヘッドの上記被処理体の反搬送方向への移動の少なくとも一方の動作を行う過程で、上記洗浄液が含浸した長尺シートを上記被処理体に所定の押付力で摺動させることにより、該被処理体に付着した異物を拭き取る拭取り清掃装置であって、
   上記第１押付けヘッドに対して上記被処理体の搬送方向下流側に上下動可能に並設され、上記長尺シートを下方移動により上記被処理体に押し付ける第２押付けヘッドと、
   上記長尺シートの上記第１押付けヘッドによる上記被処理体への押付面と上記第２押付けヘッドによる上記被処理体への押付面とが反対面となるように上記長尺シートを反転させるシート反転手段とを備え、
   上記被処理体の搬送方向への移動及び上記第２押付けヘッドの上記被処理体の反搬送方向への移動の少なくとも一方の動作を行う過程で、上記洗浄液供給手段により洗浄液が供給される前の乾燥状態の上記長尺シート又は上記第１押付けヘッドを経て含浸した洗浄液を乾燥させた状態の上記長尺シートを上記被処理体に所定の押圧力で摺動させることにより、該被処理体の湿気を拭き取るように構成されている
   ことを特徴とする拭取り清掃装置。
2. 請求項１に記載の拭取り清掃装置において、
   上記長尺シートは、表面粗さが一方面と他方面とで異なる布で構成されており、
   表面粗さが小さい方の長尺シート面により上記被処理体に付着した異物を拭き取り、表面粗さが大きい方の長尺シート面により上記被処理体の湿気を拭き取るように構成されている
   ことを特徴とする拭取り清掃装置。
3. 請求項１又は２に記載の拭取り清掃装置において、
   上記第１押付けヘッド及び第２押付けヘッドには、ヘッド上部からヘッド先端部及びヘッド下部を順に経て送られるように上記長尺シートが巻き掛けられ、
   上記シート反転手段は、上記第１押付けヘッド後側に設けられた第１反転ガイドローラと、上記第２押付けヘッド後側に設けられた第２反転ガイドローラとを備え、該第１反転ガイドローラ及び第２反転ガイドローラが上記搬送手段側に向かって互いの間隔が広がるハの字状に配置されており、該第１反転ガイドローラ及び第２反転ガイドローラにより上記第１押付けヘッド及び第２押付けヘッドの一方から他方に上記長尺シートを反転させて掛け渡すように構成されている
   ことを特徴とする拭取り清掃装置。
4. 請求項１から３のいずれか１項に記載の拭取り清掃装置において、
   上記シート送給手段、第１押付けヘッド、洗浄液供給手段、第２押付けヘッド及びシート反転手段は、上記清掃作業位置における上記搬送手段上の被処理体に対して対称となるように上記搬送手段の下方にも設けられている
   ことを特徴とする拭取り清掃装置。
5. シート送給手段から送給されたテープ状の長尺シートを第２押付けヘッド及び第１押付けヘッドに順に掛け渡し、上記第１押付けヘッドに上記長尺シートを掛け渡すと共に該長尺シートに洗浄液を含浸供給し、該洗浄液が含浸した長尺シートを上記第１押付けヘッドによって上記被処理体に押し付けて摺動させることにより該被処理体に付着した異物を拭き取り、上記洗浄液が供給される前の乾燥状態の長尺シートを上記第２押付けヘッドによって異物拭取り後の上記被処理体に押し付けて摺動させることにより該被処理体の湿気を拭き取る
   ことを特徴とする拭取り清掃方法。
6. 請求項５に記載の拭取り清掃方法において、
   上記第２押付けヘッドを経た長尺シートを上記第１押付けヘッドに掛け渡すときに、上記長尺シートの上記第１押付けヘッドによる上記被処理体への押付面と上記第２押付けヘッドによる上記被処理体への押付面とが反対面となるように上記長尺シートを反転させる
   ことを特徴とする拭取り清掃方法。
7. シート送給手段から送給されたテープ状の長尺シートを第１押付けヘッド及び第２押付けヘッドに順に掛け渡し、上記第１押付けヘッドに上記長尺シートを掛け渡すと共に該長尺シートに洗浄液を含浸供給し、該洗浄液が含浸した長尺シートを上記第１押付けヘッドによって上記被処理体に押し付けて摺動させることにより該被処理体に付着した異物を拭き取り、上記第１押付けヘッドを経た長尺シートを反転させると共に乾燥させ、反転させた乾燥状態の上記長尺シートを上記第２押付けヘッドによって異物拭取り後の上記被処理体に押し付けて摺動させることにより該被処理体の湿気を拭き取る
   ことを特徴とする拭取り清掃方法。

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