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JP5274404B2 - レーザ加工装置及びレーザ加工方法 - Google Patents

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JP5274404B2 JP2009176786A JP2009176786A JP5274404B2 JP 5274404 B2 JP5274404 B2 JP 5274404B2 JP 2009176786 A JP2009176786 A JP 2009176786A JP 2009176786 A JP2009176786 A JP 2009176786A JP 5274404 B2 JP5274404 B2 JP 5274404B2
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Description

本発明は、加工対象物にレーザビームを照射して加工を行うレーザ加工装置及びレーザ加工方法に関する。
図3(A)及び(B)を参照して、レーザビームを照射して行うパターニング加工の従来技術について説明する。
図3(A)は、パターニング加工に用いられるレーザ加工装置の概略図である。レーザ光源10からパルスレーザビーム50が出射する。パルスレーザビーム50は、アッテネータ11で光強度を減衰され、マスク12で断面形状を整形された後、フォーカスレンズ13及びダイクロイックミラー14を透過してガルバノスキャナ15に入射し、ガルバノスキャナ15によってワーク40上を走査される。
ワーク40は、たとえばフィルム状の基板である。ワーク搬送装置30は、ワーク40の巻き出し、巻き取りを行うことで、ワーク40の被加工領域を図のy方向に移動させることができる。ワーク40へのパルスレーザビーム50の照射は、加工テーブル20がワーク40を吸着した状態で行われる。レンズ移動機構13aによってフォーカスレンズ13を、パルスレーザビーム50の光軸方向に変位させることで、パルスレーザビーム50は入射位置によらず、ワーク40上に焦点を結んで入射する。
ワーク40に入射するパルスレーザビーム50と逆の経路を進行する光が、ガルバノスキャナ15を経由してダイクロイックミラー14で反射され、CCDカメラ16で受光される。これによってパルスレーザビーム50入射位置近傍の像を得ることができる。加工テーブル20により、ワーク40を図のz方向に移動させ、CCDカメラ16の焦点合わせを行う。レーザ光源10を出射するレーザビームの光軸とCCDカメラ16に入射する光の光軸とは一致している。また、両者の座標系は、キャリブレーションで一致されている。ガルバノスキャナ15を用いることで、パルスレーザビーム50をワーク40の任意の位置に入射させることができる。同様に、ガルバノスキャナ15を介して、CCDカメラ16は、ワーク40上の任意の位置を撮像することができる。CCDカメラ16で撮影された像のデータは、制御装置17に送信され、レーザパターニング加工の制御に用いられる。
図3(B)は、ワーク40の一部を示す概略的な平面図である。ワーク40は、ポリイミドフィルム上に厚さ100nm〜300nmのAg膜が形成された加工対象物で、ロール状に巻かれたロール体として準備され、ワーク搬送装置30により、y方向に向かって巻き取られる。ワーク40の長さ方向(巻き取り方向)には、複数のパターニングエリア40aが画定されている。各パターニングエリア40aには、ワーク40の長さ方向(y方向と平行な方向)、及びそれと直交する方向(x方向と平行な方向)に、複数の1次パターニングライン40bが、直線状に形成されている。ワーク40の長さ方向に沿って形成されている1次パターニングライン40bは、たとえば50本、長さ方向と直交する方向に沿って形成されているそれは、たとえば5本である。これら1次パターニングライン40bの座標はたとえばCADデータで与えられている。レーザ光源10を出射したパルスレーザビーム50は、1次パターニングライン40b上に照射され、1次パターニングライン40bをなぞるようにAg膜の除去加工(パターニング加工)が行われる。
パターニング加工においては、まずCADデータから1次パターニングライン40bの端点の座標や、x方向に延在する1次パターニングライン40bと、y方向に延在する1次パターニングライン40bとの複数の交点の座標を求める。次にガルバノスキャナ15を動作させ、CCDカメラ16で上記端点や交点を撮像して画像処理を行うことで計測し、偏差を求めて、実際の交点の座標を求める。そして計測して求められた実際の交点を結んだ線分の位置座標(加工目標線)を算出し、当該位置座標(加工目標線)に向けてレーザビームを照射する。
しかしレーザの座標系とCCDカメラの座標系との間には、経時変化によるずれが生じるため、このレーザパターニング方法では、レーザビームの入射目標位置(加工目標線)と実際の入射位置との間に誤差が発生し、高精度でパターニングを行うことが困難である。
基板上に形成された1次パターニングラインをもとに、正確にレーザビームを照射して、2次パターニングラインを高速に加工するレーザ加工方法及びレーザ加工装置の発明が開示されている(たとえば、特許文献1参照)。
また、レーザパターニング加工中に、レーザビームの照射位置とは異なる位置をモニタし、加工前に画定されていたレーザビームの入射目標位置を補正しながら加工を行うレーザ加工方法及びレーザ加工装置の発明がなされている(たとえば、特許文献2参照)。
特開2005−81392号公報 特開2009−6339号公報
本発明の目的は、高品質の加工を行うことのできるレーザ加工装置を提供することである。
また、高品質の加工を行うことのできるレーザ加工方法を提供することである。
本発明の一観点によれば、
レーザビームを出射するレーザ光源と、
複数の被加工領域が画定された加工対象物を、前記被加工領域が並ぶ方向に移動させることにより、前記被加工領域を順番に加工領域内に移動させる移動装置と、
前記レーザ光源を出射したレーザビームを、その入射位置が前記移動装置によって前記加工領域内に移動された前記被加工領域上を移動するように走査する光偏向器を含む光学系と、
前記移動装置によって移動される加工対象物を撮影する第1の撮像素子と、
前記光偏向器を介して、前記移動装置によって前記加工領域内に移動された加工対象物を撮影する第2の撮像素子と、
制御装置と
を有し、
前記制御装置は、
複数の前記被加工領域の1つである第1の被加工領域を、前記加工領域内に配置し、前記第1の被加工領域に形成されている1次パターニングラインを第2の撮像素子で撮像して画像処理を行うことで、前記1次パターニングラインの位置を求め、
求められた前記1次パターニングラインの位置に基づいて前記光偏向器を制御して、前記1次パターニングラインをなぞるようにレーザビームを入射させ、2次パターニングラインを形成し、
前記第1の被加工領域にレーザビームを入射させた後、前記加工対象物の第2の被加工領域を前記加工領域に移動させる間に、前記第1の被加工領域を前記第1の撮像素子で撮影し、
前記第1の撮像素子によって撮影された前記1次パターニングラインと前記2次パターニングラインとの相対位置関係に基づいて、前記レーザ光源を出射したレーザビームを、前記第2の被加工領域上に入射させるべき位置を表す目標入射位置を導出し、前記目標入射位置にレーザビームが入射するように、前記光偏向器の動作を制御するレーザ加工装置が提供される。
また、本発明の他の観点によれば、
レーザビームの経路に配置された光偏向器でレーザビームを走査して、加工領域内に配置された加工対象物の加工を行うレーザ加工方法であって、
前記加工対象物に、第1の被加工領域と第2の被加工領域とが画定されており、前記第1の被加工領域及び前記第2の被加工領域に1次パターニングラインが形成されており、
(a0)1次パターニングラインが形成されている第1の被加工領域を、前記加工領域内に配置し、前記光偏向器を介して、第2の撮像素子で前記第2の被加工領域を撮像し、画像処理を行うことで、前記1次パターニングラインの位置を求める工程と、
(a)前記工程(a0)で求められた1次パターニングラインの位置に基づいて、前記光偏向器を制御して、前記1次パターニングラインをなぞるようにレーザビームを入射させ、該第1の被加工領域に、2次パターニングラインを形成する工程と、
(b)前記工程(a)の後、前記第2の被加工領域を前記加工領域に移動させる間に、前記第1の被加工領域を、前記第2の撮像素子とは異なる第1の撮像素子で撮像する工程と、
(c)前記工程(b)で撮像された前記第1の被加工領域の前記2次パターニングラインと前記1次パターニングラインとの相対位置関係に基づいて、レーザビームを、前記第2の被加工領域に入射させるべき位置を表す目標入射位置を導出する工程と、
(d)前記工程(c)で導出された目標入射位置に入射するように、レーザビームを走査して、前記第2の被加工領域にレーザビームを入射させる工程と
を有するレーザ加工方法が提供される。
本発明によれば、高品質の加工を行うことの可能なレーザ加工装置を提供することができる。
また、高品質の加工を行うことの可能なレーザ加工方法を提供することができる。
実施例によるレーザ加工装置を示す概略図である。 (A)〜(C)は、実施例によるレーザ加工方法について説明するための図である。 (A)はパターニング加工に用いられるレーザ加工装置の概略図であり、(B)はワーク40の一部を示す概略的な平面図である。
図1は、実施例によるレーザ加工装置を示す概略図である。実施例によるレーザ加工装置は、レーザ光源10、アッテネータ11、マスク12、フォーカスレンズ13、レンズ移動機構13a、ダイクロイックミラー14、ガルバノスキャナ15、CCDカメラ16、18、制御装置17、加工テーブル20、及びワーク搬送装置30を含んで構成される。
レーザ光源10が、制御装置17から送られるトリガ信号を受けて、パルスレーザビーム50を出射する。レーザ光源10は、たとえばNd:YAGレーザ発振器、及び非線形光学結晶を含む。パルスレーザビーム50は、たとえばNd:YAGレーザの2倍高調波である。
パルスレーザビーム50は、アッテネータ11で光強度を減衰された後、マスク12に入射する。マスク12は透光領域と遮光領域とを有し、パルスレーザビーム50の断面形状を整形する。マスク12で断面形状を整形されたパルスレーザビーム50は、フォーカスレンズ13で集光され、ダイクロイックミラー14を透過してガルバノスキャナ15に入射する。
ガルバノスキャナ15は2枚の揺動鏡を含んで構成され、制御装置17からの制御信号を受けて、パルスレーザビーム50を2次元方向に走査して出射することができる。パルスレーザビーム50は、ガルバノスキャナ15で出射方向を変化されて、加工テーブル20上のワーク40に入射する。ガルバノスキャナ15を用いることで、パルスレーザビーム50をワーク40の任意の位置に入射させることができる。
ワーク40は、たとえば図3(B)に示した、ポリイミドフィルム上に厚さ100nm〜300nmのAg膜が形成されたフィルム状の基板であり、ロール状に巻かれたロール体として準備される。パルスレーザビーム50は、ワーク40のAg膜に照射され、Ag膜を除去するレーザパターニング加工が行われる。
ワーク搬送装置30は、ロール体のワーク40の巻き出し、巻き取りを行うことで、ワーク40の被加工領域(パターニングエリア)をy方向に沿って移動させることができる。
加工テーブル20は、ワーク40を吸着し、固定することができる。ワーク40へのパルスレーザビーム50の照射は、ワーク40が加工テーブル20に吸着、固定された状態で行われる。また、加工テーブル20は、ワーク40をz方向(ワーク40の法線方向)に沿って移動させることができる。
レンズ移動機構13aは、フォーカスレンズ13をパルスレーザビーム50の光軸方向に沿って変位させ、パルスレーザビーム50を、その入射位置によらず、ワーク40上に焦点を結んで入射させることが可能である。
ワーク40に入射するパルスレーザビーム50と逆の経路を進行する光が、ガルバノスキャナ15を経由してダイクロイックミラー14で反射され、CCDカメラ16で受光される。これによってパルスレーザビーム50の入射位置近傍の像を得ることができる。また、CCDカメラ16は、ガルバノスキャナ15を介して、ワーク40上の任意の位置を撮像することができる。CCDカメラ16で撮影された像のデータは、制御装置17に送信され、たとえばレーザパターニング加工の制御に用いられる。CCDカメラ16の焦点合わせは、加工テーブル20により、ワーク40をz方向に移動させることで行う。レーザ光源10を出射するレーザビームの光軸とCCDカメラ16に入射する光の光軸とは一致している。また、両者の座標系は、キャリブレーションで一致されている。
CCDカメラ18は、たとえばワーク搬送装置30によって搬送されるワーク40の上方に、ワーク40のパルスレーザビーム50入射面を直接撮像可能に配置される。CCDカメラ18により、たとえばワーク40の被加工領域(パターニングエリア)が撮像される。CCDカメラ18で撮影された像のデータは、制御装置17に送信される。
制御装置17は、レーザ光源10にトリガ信号を送信することで、パルスレーザビーム50の出射を制御する。また、レンズ移動機構13aを変位させて、フォーカスレンズ13をパルスレーザビーム50の光軸方向に移動させ、ワーク40上におけるパルスレーザビーム50の焦点位置を調節する。更に、加工テーブル20によるワーク40の吸着、解放、及び加工テーブル20のz方向に沿う移動によるCCDカメラ16の焦点合わせを制御する。また、ワーク搬送装置30によるワーク40の搬送を制御する。更に、ガルバノスキャナ15を動作させることによって、パルスレーザビーム50の走査やCCDカメラ16の画像取得位置の調整を行う。また、CCDカメラ16、18で撮影された像のデータを受け、レーザパターニング加工を制御する。更にたとえば、CCDカメラ16、18に撮像開始及び終了指令を送信する等、CCDカメラ16、18の動作を制御することができる。
図2(A)〜(C)を参照して、実施例によるレーザ加工方法について説明する。
図2(A)に、ワーク40の一部を示す概略的な平面図を示す。ワーク40は、ワーク搬送装置30により、y方向に向かって巻き取り移動される。ワーク40の長さ方向(巻き取り方向)には、複数の被加工領域(パターニングエリア)が画定されている。本図には、y方向に沿って隣り合うパターニングエリアを、パターニングエリア40a1、パターニングエリア40a2と示した。
各パターニングエリア40a1、40a2には、ワーク40の長さ方向(y方向と平行な方向)、及びそれと直交する方向(x方向と平行な方向)に、複数の1次パターニングライン40bが、直線状に形成されている。ワーク40の長さ方向に沿って形成されている1次パターニングライン40bは、たとえば50本、長さ方向と直交する方向に沿って形成されているそれは、たとえば5本である。これら1次パターニングライン40bの座標はたとえばCADデータで与えられている。なお、本図に示す点S〜Sは、パターニングエリア40a1における、x方向に延びる1次パターニングライン40bと、y方向に延びる1次パターニングライン40bの交点の例である。また、点T〜Tは、パターニングエリア40a2における例を示す。
レーザ光源10を出射したパルスレーザビーム50は、1次パターニングライン40b上に照射され、1次パターニングライン40bをなぞるようにAg膜の除去加工(パターニング加工)が行われる。
パターニング加工は、ワーク搬送装置30によってパターニングエリア40a1を加工テーブル20の吸着位置に搬送し、加工テーブル20上に吸着、固定した後、パターニングエリア40a1にパルスレーザビーム50を入射させて行う。パターニングエリア40a1のパターニング加工が完了したら、加工テーブル20の吸着を解除し、ワーク搬送装置30でパターニングエリア40a2を加工テーブル20の吸着位置に移動させる。その後、パターニングエリア40a2を加工テーブル20上に吸着、固定し、パターニングエリア40a2にパルスレーザビーム50を入射させて、レーザパターニングを行う。なお、たとえば加工テーブル20の吸着位置は、パルスレーザビーム50の入射可能領域である。
実施例によるレーザ加工方法においては、パターニングエリア40a1の加工完了後、パターニングエリア40a2を加工位置に移動させる間に、パターニングエリア40a1の加工痕の位置をCCDカメラ18で撮影する。撮影されたパターニングエリア40a1の画像情報は、制御装置17に送信される。制御装置17は、撮影されたパターニングエリア40a1の加工痕の位置を加味して、パターニングエリア40a2の加工を制御する。
図2(B)に、CCDカメラ18で撮影されたパターニングエリア40a1の画像を示す。パターニングエリア40a1においては、1次パターニングライン40b上にパルスレーザビーム50を照射し、直線状の2次パターニングライン(加工痕)40cを形成するパターニング加工が完了している。制御装置17は、CCDカメラ18から送信された画像を解析し、たとえばまず1次パターニングライン40bのx方向の中心位置xを求める。次に2次パターニングライン(加工痕)40cについても、x方向の中心位置xを求める。そして両者のずれ Δx=x−x を算出する。位置ずれΔxは、たとえばレーザの座標系とCCDカメラの座標系のずれに起因する。位置ずれΔxの絶対値は、小さいことが好ましく、ゼロであることが最も好ましい。パターニングエリア40a2を加工するに当たっては、パターニングエリア40a1における位置ずれΔx、すなわち1次パターニングライン40bと2次パターニングライン(加工痕)40cとの相対位置関係を加味して、パルスレーザビーム50の目標入射位置を算出する。
図2(C)を参照する。パターニングエリア40a2の加工においては、まずCADデータからパターニングエリア40a2における1次パターニングライン40bの端点の座標や、x方向に延在する1次パターニングライン40bと、y方向に延在する1次パターニングライン40bとの複数の交点の座標を求める。次にガルバノスキャナ15を動作させ、CCDカメラ16で上記端点や交点を撮像して画像処理を行うことで計測し、偏差を求めて、実際の端点や交点の座標を求める。この場合、1次パターニングライン40bには幅があるため、たとえば交点の座標としては交差領域の代表点、一例として中心点の座標が採用される。そして計測して求められた実際の端点や交点を結んだ線分の位置座標を算出し、これにパターニングエリア40a1における位置ずれΔxを加味して目標入射位置(加工目標線)を算出する。
たとえば、ガルバノスキャナ15の動作及びCCDカメラ16の撮影画像の処理によって、交点Tの座標が(50,100)、交点Tの座標が(50,90)であると求められた場合、まず線分Tの位置座標を、x=50(90≦y≦100)と算出する。ここで位置ずれΔxがたとえば+5であるとすると、これを加味して、線分T間のパルスレーザビーム50の加工目標線を、x=45(90≦y≦100)と補正して算出し、この加工目標線上の点を目標入射位置とする。そしてガルバノスキャナ15を制御して、目標入射位置(加工目標線)に向けてパルスレーザビーム50を照射し、パターニングエリア40a2において、1次パターニングライン40b上に2次パターニングライン40cを形成するレーザパターニング加工を行う。交点T間等のレーザパターニングも同様に実施する。
実施例によるレーザ加工方法によれば、既に加工の完了したパターニングエリア40a1の加工痕を加味して、パターニングエリア40a2の加工を行うため、パターニングエリア40a2の加工の位置ずれを小さくし、加工位置精度を高めることができる。したがって、高品質のレーザ加工を実現することができる。
なお、実施例においては、パターニングエリア40a2を加工する際に、その直前に加工されたパターニングエリア40a1の加工痕の位置を示す画像情報に基づいて、目標入射位置情報を補正したが、必ずしも直前に加工されたパターニングエリアの画像情報に基づく必要はない。2回前、3回前に加工されたエリアの画像情報に基づいてもよいし、たとえば直前から3回前の加工エリアの画像情報に基づき、位置ずれの平均をとることによって補正を行ってもよい。画像情報の取得は、パターニングエリアの移動ごとに行ってもよいし、そうでなくてもよい。
また、パターニングエリア40a1における加工痕の位置ずれは、たとえば交点S〜Sの画像を取得し、各交点における位置ずれΔxを求め、その平均をとって算出することができる。
ガルバノスキャナ15を介さずに、ワーク40を直接撮像するCCDカメラ18は、ワーク40上方のx方向に沿う単数または複数の位置に設置することが可能である。たとえば、CCDカメラ18を1台のみ設置した場合、パターニングエリア40a1において、y方向に延在する、ある1本のパターニングラインについて位置ずれを算出し、その位置ずれ量を、パターニングエリア40a2のy方向に延在するすべてのパターニングラインに加味することができる。また、たとえばy方向に延在するパターニングラインごとにCCDカメラ18を準備し、パターニングラインごとに位置ずれを計測することができる。この場合、たとえば交点S〜Sが存在するパターニングラインに関して算出された位置ずれは、これとy方向に対応する、交点T〜Tが存在するパターニングラインの加工に反映される。
更に、x方向に間引いた複数のパターニングラインについて位置ずれを計測し、対応するパターニングラインについてはその値を使用し、計測されない、間引かれたパターニングラインに対応するパターニングラインについては、その両側のラインについての位置ずれ計測値を補間した値を用いて、パターニング加工を行うことができる。
以上実施例に沿って本発明を説明したが、本発明はこれらに制限されるものではない。
たとえば、実施例においては、ポリイミドフィルム上に厚さ100nm〜300nmのAg膜が形成され、ロール体として準備されるワークを加工対象としたが、加工対象物はこれに限られない。ロール体でなくてもよいし、ポリイミドフィルム上に透明導電性薄膜、たとえばITO(Indium Tin Oxide)膜とアモルファスシリコン膜とがこの順に、厚さ100nm〜300nmに形成されていてもよい。この場合、1次パターニングライン上にレーザビームを入射させ、アモルファスシリコン膜の除去加工を行う。
また、実施例においては、パターニングエリア40a1における位置ずれ量を加味してパターニングエリア40a2における加工を行ったが、パターニングエリア40a1における位置ずれ量が、所定の基準値を超えている場合には、パターニングエリア40a2の加工を実施せず、レーザ座標系とカメラ16座標系のキャリブレーションを改めて実施した方がよいとのアラームを出す構成とすることも可能である。
その他、種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者に自明であろう。
レーザ加工一般、殊にレーザパターニング加工に好適に利用することができる。
10 レーザ光源
11 アッテネータ
12 マスク
13 フォーカスレンズ
13a レンズ移動機構
14 ダイクロイックミラー
15 ガルバノスキャナ
16 カメラ
17 制御装置
18 カメラ
20 加工テーブル
30 ワーク搬送装置
40 ワーク
40a、40a1、40a2 パターニングエリア
40b 1次パターニングライン
40c 2次パターニングライン(加工痕)
50 レーザビーム

Claims (3)

  1. レーザビームを出射するレーザ光源と、
    複数の被加工領域が画定された加工対象物を、前記被加工領域が並ぶ方向に移動させることにより、前記被加工領域を順番に加工領域内に移動させる移動装置と、
    前記レーザ光源を出射したレーザビームを、その入射位置が前記移動装置によって前記加工領域内に移動された前記被加工領域上を移動するように走査する光偏向器を含む光学系と、
    前記移動装置によって移動される加工対象物を撮影する第1の撮像素子と、
    前記光偏向器を介して、前記移動装置によって前記加工領域内に移動された加工対象物を撮影する第2の撮像素子と、
    制御装置と
    を有し、
    前記制御装置は、
    複数の前記被加工領域の1つである第1の被加工領域を、前記加工領域内に配置し、前記第1の被加工領域に形成されている1次パターニングラインを第2の撮像素子で撮像して画像処理を行うことで、前記1次パターニングラインの位置を求め、
    求められた前記1次パターニングラインの位置に基づいて前記光偏向器を制御して、前記1次パターニングラインをなぞるようにレーザビームを入射させ、2次パターニングラインを形成し、
    前記第1の被加工領域にレーザビームを入射させた後、前記加工対象物の第2の被加工領域を前記加工領域に移動させる間に、前記第1の被加工領域を前記第1の撮像素子で撮影し、
    前記第1の撮像素子によって撮影された前記1次パターニングラインと前記2次パターニングラインとの相対位置関係に基づいて、前記レーザ光源を出射したレーザビームを、前記第2の被加工領域上に入射させるべき位置を表す目標入射位置を導出し、前記目標入射位置にレーザビームが入射するように、前記光偏向器の動作を制御するレーザ加工装置。
  2. 前記移動装置は、複数の前記被加工領域が画定されたロール体の加工対象物の前記被加
    工領域を、前記加工領域の内外に移動させる請求項に記載のレーザ加工装置。
  3. レーザビームの経路に配置された光偏向器でレーザビームを走査して、加工領域内に配置された加工対象物の加工を行うレーザ加工方法であって、
    前記加工対象物に、第1の被加工領域と第2の被加工領域とが画定されており、前記第1の被加工領域及び前記第2の被加工領域に1次パターニングラインが形成されており、
    (a0)1次パターニングラインが形成されている第1の被加工領域を、前記加工領域内に配置し、前記光偏向器を介して、第2の撮像素子で前記第2の被加工領域を撮像し、画像処理を行うことで、前記1次パターニングラインの位置を求める工程と、
    (a)前記工程(a0)で求められた1次パターニングラインの位置に基づいて、前記光偏向器を制御して、前記1次パターニングラインをなぞるようにレーザビームを入射させ、該第1の被加工領域に、2次パターニングラインを形成する工程と、
    (b)前記工程(a)の後、前記第2の被加工領域を前記加工領域に移動させる間に、前記第1の被加工領域を、前記第2の撮像素子とは異なる第1の撮像素子で撮像する工程と、
    (c)前記工程(b)で撮像された前記第1の被加工領域の前記2次パターニングラインと前記1次パターニングラインとの相対位置関係に基づいて、レーザビームを、前記第2の被加工領域に入射させるべき位置を表す目標入射位置を導出する工程と、
    (d)前記工程(c)で導出された目標入射位置に入射するように、レーザビームを走査して、前記第2の被加工領域にレーザビームを入射させる工程と
    を有するレーザ加工方法。
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