JP5196121B2 - デバイス - Google Patents
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Description
下側基板および上側基板と、それらに挟まれている中間基板とを含むデバイスであって、
前記中間基板は、
振動部と、
前記振動部の周囲を囲む枠部と、
前記振動部と前記枠部とを接続する接続部と、
前記振動部の上面に設けられた第1の励振電極と、
前記振動部の下面に設けられた第2の励振電極と、
前記第1の励振電極と電気的に接続される第1の配線と、
前記第2の励振電極と電気的に接続される第2の配線と、
を有し、
前記第1の配線および第2の配線は、前記枠部の上面と下面とを接続している内側面から前記枠部の上面および下面に至るように形成されている。
前記上側基板は、前記枠部の上面に設けられている前記第1の配線および前記第2の配線と対向する位置を含む領域に設けられた凹部を有し、その下面における当該凹部以外の領域で前記枠部の上面と接合される。
前記下側基板は、前記枠部の下面に設けられている前記第1の配線および前記第2の配線と対向する位置を含む領域に設けられた凹部を有し、その上面における当該凹部以外の領域で前記枠部の下面と接合される。
前記下側基板の前記凹部は、前記下側基板の側面に連通する第1の連通部と、連通する第2の連通部とを有し、
前記第1の配線は、前記第1の連通部の内部において、前記中間基板の側面に連通し、
前記第2の配線は、前記第2の連通部の内部において、前記中間基板の側面に連通することができる。
前記内側面は、前記枠部の上面または下面とのなす内角が90度より大きい傾斜面を有することができる。また、本発明に係るデバイスにおいて、前記中間基板は圧電材料からなることができる。
図1(A)、図1(B)は、本実施の形態に係る圧電デバイスに用いられる中間基板を示す上面図および下面図である。図2(A)〜図2(C)は、本実施の形態に係る圧電デバイスを示す断面図であり、図2(A)は、図1(A)および図1(B)におけるII(A)-II(A)切断面に対応する図であり、図2(B)は、図1(A)および図1(B)におけるII(B)-II(B)切断面に対応する図であり、図2(C)は、図1(A)および図1(B)におけるII(C)-II(C)切断面に対応する図である。
図1(A)は、中間基板10を模式的に示す上面図であり、図1(B)は、中間基板10を模式的に示す下面図である。
上側基板20および下側基板30の材質は、絶縁性の材質であれば特に限定されないが、材質の熱膨張差を考慮すると中間基板と同一の材質であることが好ましく、たとえば水晶からなる。
圧電デバイス100は、第1の配線23と第1の外部端子32とを電気的に接続する第3の配線35と、第2の配線33と第1の外部端子34とを電気的に接続する第4の配線36とをさらに含む。第3の配線35および第4の配線36の材質としては、たとえば半田等の導電性材料からなる。
次に本実施の形態に係る圧電デバイス100の製造方法について説明する。図3〜図8は、本実施の形態に係る圧電デバイス100の製造方法を示す図である。
次に本実施の形態に係る圧電デバイスの変形例について説明する。変形例に係る圧電デバイス300は、中間基板210の枠部212の内側面が傾斜している点で、上述した圧電デバイス100と異なる。
Claims (6)
- 下側基板および上側基板と、それらに挟まれている中間基板とを含むデバイスであって、
前記中間基板は、
振動部と、
前記振動部の周囲を囲む枠部と、
前記振動部と前記枠部とを接続する接続部と、
前記振動部の上面に設けられた第1の励振電極と、
前記振動部の下面に設けられた第2の励振電極と、
前記第1の励振電極と電気的に接続される第1の配線と、
前記第2の励振電極と電気的に接続される第2の配線と、
を有し、
前記第1の配線および第2の配線は、前記枠部の上面と下面とを接続している内側面から前記枠部の上面および下面に至るように形成されている、デバイス。 - 請求項1において、
前記上側基板は、前記枠部の上面に設けられている前記第1の配線および前記第2の配線と対向する位置を含む領域に設けられた凹部を有し、その下面における当該凹部以外の領域で前記枠部の上面と接合される、デバイス。 - 請求項1または2において、
前記下側基板は、前記枠部の下面に設けられている前記第1の配線および前記第2の配線と対向する位置を含む領域に設けられた凹部を有し、その上面における当該凹部以外の領域で前記枠部の下面と接合される、デバイス。 - 請求項3において、
前記下側基板の前記凹部は、前記下側基板の側面に連通する第1の連通部と、第2の連通部とを有し、
前記第1の配線は、前記第1の連通部の内部において、前記中間基板の側面に連通し、
前記第2の配線は、前記第2の連通部の内部において、前記中間基板の側面に連通する、デバイス。 - 請求項1ないし4のいずれかにおいて、
前記内側面は、前記枠部の上面または下面とのなす内角が90度より大きい傾斜面を有する、デバイス。 - 請求項1ないし5のいずれかにおいて、
前記中間基板は圧電材料からなる、デバイス。
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