JP5151126B2 - 黒色組成物及びそれを用いたカラーフィルタ - Google Patents
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Description
BM形成法としては、透明基板上にクロム等の金属化合物を用いて、蒸着法、スパッタ法などにより金属薄膜を形成したのち、フォトリソグラフィー工程とエッチング工程を経て微細パターンを形成する方法(金属BM法)、カーボンブラック等の黒色成分を樹脂材料に分散した黒色組成物を用い、印刷法やフォトリソグラフィー法で形成する方法(樹脂BM法)が開発されている。
上記の低コスト化の観点、技術的観点、さらには環境問題の観点から、近年では、金属BMに代わり樹脂BMが着目されている。
このような背景より、樹脂BMには、高い遮光性、つまり単位膜厚において高いOD値が求められている。
また、BMの遮光性を向上させる目的で、2種類の遮光性材料を併用してOD値を高める手法が提案されている。すなわち、平均粒径の小さいカーボンブラックと平均粒径の大きいカーボンブラックを併用して、BM内で最密充填構造を形成することにより遮光性(OD値)を向上させる方法がある(例えば、特許文献1〜3参照。)。
他方、特許文献4および特許文献5には、特定の色素誘導体や特定の開始剤を用いた感光性黒色組成物が開示されている。しかしながら、いずれにおいても、感光性黒色組成物の安定性と高遮光性を同時に満足させるという点について、未だ不十分であった。
(a1)カーボンブラックの比表面積が200〜600m 2 /gであり、
(a2)カーボンブラックの比表面積が40〜600m 2 /gであることを特徴とする黒色組成物に関する。
(a2)カーボンブラックの比表面積が40〜600m 2 /gである黒色組成物である。
また、他の本発明は、透明基板、および透明基板上に上記の黒色組成物を用いて形成されたブラックマトリックスを備えることを特徴とするカラーフィルタに関する。
本発明の黒色組成物を用いることにより、遮光性が高いブラックマトリックスを形成することができる。
それぞれのカーボンブラックを用いた黒色組成物においては、以下に示すような傾向がある。
さらに、(a1)カーボンブラックと(a2)カーボンブラックの平均一次粒子径の差が5nm未満の場合は、(a1)カーボンブラックと(a2)カーボンブラックを併用する場合に発現する高い遮光性や、黒色組成物を所定期間保存した際、保存前後で現像速度変化や線幅変化などが殆ど生じないという安定性の効果が期待できない。
まず、黒色組成物を、黒色組成物に含まれる溶剤を用いて約100倍に希釈し、希釈物を得る。次いで希釈物を試料台上にて風乾させ、得られたカーボンブラックについて電子顕微鏡で数万倍の写真を数視野撮影する。カーボンブラックの粒子最大径を2000〜3000個程度計測し、計測値を単純平均して平均一次粒子径を求める。2種類以上のカーボンブラックが含まれている黒色組成物については、まず、黒色組成物に含まれるカーボンブラック全体の個数基準の粒子径分布を求める。次いで、2種類以上のカーボンブラックの各粒子径分布が正規分布に従うとして、粒子径分布の形状およびピークの本数から予想されるガウス関数の項数にてカーブフィッティングを行い、各分布関数を決定する。得られた分布関数のパラメータからそれぞれのカーボンブラックの平均一次粒子径を求める。平均一次粒子径は、通常、小数第一位を四捨五入した値(nm)として表す。
混合前のカーボンブラックの平均一次粒子径についても、前述と同様の電子顕微鏡を用いる方法により測定することができる。(a1)平均一次粒子径が8〜20nmであるカーボンブラック、および、(a2)平均一次粒子径が21〜40nmであるカーボンブラックとしては、市販のカーボンブラックを用いることができる。
また、(a1)カーボンブラックおよび(a2)カーボンブラックは、黒色組成物の全固形分重量を基準(100重量%)として、好ましくは合計して40〜60重量%、より好ましくは合計して45〜55重量%の量で用いることができる。
アルキレン基としては、メチレン基、エチレン基等が挙げられる。アリーレン基としては、フェニレン基等が挙げられる。アルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基等が挙げられる。アルキル基としては、メチル基、エチル基等が挙げられる。また、これらの基が有する置換基としては、メチル基、エチル基等が挙げられる。
(b)色素誘導体は、黒色組成物の全固形分重量を基準(100重量%)として、好ましくは0.05〜20重量%、より好ましくは0.5〜10重量%の量で用いることができる。色素誘導体の含有量が0.05重量%より少ない場合は、カーボンブラックを分散する効果が充分に発揮されない傾向があり、20重量%より多い場合は、カーボンブラックの分散が不安定になる傾向がある。
一般式(12)
芳香族テトラカルボン酸残基を与える酸二無水物としては、例えば、ピロメリット酸二無水物、3,3',4,4'−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、9,9−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)フルオレン二酸無水物、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、エチレングリコールジ無水トリメリット酸エステルが挙げられる。モノアルコールとしては、例えば、1−ドデカノール、n−ステアリルアルコール、イソステアリルアルコール、グリセリンジメタクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、2−エチルヘキシルアルコールが挙げられる。また、ラクトンとしては、例えば、δ−バレロラクトン、ε−カプロラクトン、アルキル置換されたε−カプロラクトンが挙げられる。
(c)樹脂は、1種を単独で使用しても、2種以上を混合して使用してもよい。(c)樹脂の含有量は黒色組成物の全固形分重量を基準(100重量%)として好ましくは5〜60重量%、より好ましくは10〜50重量%である。含有量が5重量%より少ない場合は塗膜が脆くなる傾向があり、60重量%より多い場合は、フォトリソグラフィーにおいて現像性が低下する傾向がある。
(d)溶剤は、黒色組成物の全固形分100重量部に対して、好ましくは150〜3500重量部、より好ましくは250〜2000重量部の量で用いることができる。
モノマーとしては、例えば、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等が挙げられる。また、オリゴマーとしては、エポキシ(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレート、エステル(メタ)アクリレート等が挙げられる。
(e)エチレン性不飽和化合物は、黒色組成物の全固形分重量を基準(100重量%)として、好ましくは5〜30重量%、光硬化性、現像性の観点からより好ましくは7〜28重量%、特に好ましくは10〜25重量%の量で用いることができる。エチレン性不飽和化合物の含有量が30重量%より多い場合は、BMのパターン形状の直線性不良、断面形状不良を生じる傾向があり、5重量%より少ない場合は、低感度となって光硬化性が不充分となる傾向がある。
ボレート系光重合開始剤としては、下記式(14)〜(17)で示される化合物が挙げられる。
ベンゾイン系光重合開始剤としては、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンジルジメチルケタール等が挙げられる。
チオキサンソン系光重合開始剤としては、チオキサンソン、2−クロルチオキサンソン、2−メチルチオキサンソン、イソプロピルチオキサンソン、2,4−ジイソプロピルチオキサンソン等が挙げられる。
ロメチル)−s−トリアジン、2,4−トリクロロメチル−(ピペロニル)−6−トリアジン、2,4−トリクロロメチル−(4'−メトキシスチリル)−6−トリアジン等が挙げられる。
キノン系光重合開始剤としては、9,10−フェナンスレンキノン、カンファーキノン、エチルアントラキノン等が挙げられる。
また、(f)光重合開始剤の重量(I)と(e)エチレン性不飽和化合物の重量(M)との比率(I/M)が、0.10〜1.00であることが好ましく、0.15〜0.80であることがより好ましく、0.20〜0.60であることが特に好ましい。I/Mが0.10未満であると低感度となる場合があり、I/Mが1.00を越えるとBMのパターン形状の直線性不良,断面形状不良やマスクパターン幅に対して現像後のパターン幅が太る等の問題が生じる場合がある。
(g)多官能チオールは、チオール基を2個以上有する化合物であればよく、例えば、ヘキサンジチオール、デカンジチオール、1,4−ブタンジオールビスチオプロピオネート、1,4−ブタンジオールビスチオグリコレート、エチレングリコールビスチオグリコレート、エチレングリコールビスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、トリメチロールプロパントリスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトブチレート)、ペンタエリスリトールテトラキスチオグリコレート、ペンタエリスリトールテトラキスチオプロピオネート、トリメルカプトプロピオン酸トリス(2−ヒドロキシエチル)イソシアヌレート、1,4−ジメチルメルカプトベンゼン、2、4、6−トリメルカプト−s−トリアジン、2−(N,N−ジブチルアミノ)−4,6−ジメルカプト−s−トリアジン、トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトイソブチレート)等が挙げられる。これらの(g)多官能チオールは、1種または2種以上混合して用いることができる。
また、これらの(g)多官能チオールは、上記(f)光重合開始剤のうち、特にイミダゾール系光重合開始剤と組み合わせると、感度が増加し光硬化性が向上するため好ましい。
(g)多官能チオールは、黒色組成物の全固形分重量を基準(100重量%)として、好ましくは0.1〜30重量%、より好ましくは1〜20重量%の量で用いることができる。0.1重量%未満では多官能チオールの添加効果が不充分となる場合があり、30重量%を越えると感度が高すぎて解像度が低下したり、黒色組成物の安定性が低下したりする場合がある。
また、本発明の黒色組成物には、塗工性向上、感度の向上、密着性の向上などを目的として、界面活性剤、シランカップリング剤など、その他の添加剤などを添加しても良い。
黒色組成物は、遠心分離、焼結フィルタ、メンブレンフィルタ等の手段にて、5μm以上の粗大粒子、好ましくは1μm以上の粗大粒子、さらに好ましくは0.5μm以上の粗大粒子および混入した塵の除去を行うことが好ましい。
本発明のカラーフィルタは、好ましくは、ガラス板等の透明基板上に、本発明の黒色組成物から形成されるBMと、黒以外の少なくとも2色のフィルタセグメントとを備えるものである。フィルタセグメントの色は、青色、緑色、赤色、シアン、イエロー、マゼンタ、橙色、紫色などから2〜6色程度選択される。同色系の色で、濃度の違うフィルタセグメントが形成されていてもよい。
黒色組成物の塗布膜厚は、0.2〜5μm(乾燥時)の範囲であることが好ましく、塗工性と遮光性のバランス取りが容易な0.5〜2μmの範囲であることがより好ましい。
アルカリ現像液としては、炭酸ナトリウム、水酸化ナトリウム等の水溶液が使用され、ジメチルベンジルアミン、トリエタノールアミン等の有機アルカリを用いることもできる。また、現像液には、消泡剤や界面活性剤を添加することもできる。
なお、活性エネルギー線による露光感度を上げるために、黒色組成物を塗布乾燥後、水溶性あるいはアルカリ可溶性樹脂、例えばポリビニルアルコールや水溶性アクリル樹脂等を塗布した後に乾燥し、酸素による重合阻害を防止する膜を形成した後、組成物塗布面側から活性エネルギー線を照射することもできる。
印刷法は、印刷と乾燥を繰り返すだけでパターン化ができるため、カラーフィルタの製造法としては、低コストで量産性に優れている。さらに、印刷技術の発展により高い寸法精度および平滑度を有する微細パターンの印刷を行うことができる。印刷法によりカラーフィルタを製造する場合には、印刷機上でのインキの流動性の制御が重要であり、分散剤や体質顔料によるインキ粘度の調整を行うこともできる。
イエローの着色剤としては、ピグメントイエロー12、13、14、20、24、83、86、93、94、109、110、117、125、137、138、139、147、148、153、154、166、173等が挙げられる。
赤色およびマゼンタの着色剤としては、ピグメントレッド9、97、122、123、144、149、166、168、177、190、192、215、216、224、254、255等が挙げられる。
紫色の着色剤としては、ピグメントバイオレット19、23、29、32、33、36、37、38等が挙げられる。
青色およびシアンの着色剤としては、ピグメントブルー15(15、15:1、15:2、15:3、15:4、15:6等)、21、22、60、64等が挙げられる。
緑色の着色剤としては、ピグメントグリーン7、10、36、47等が挙げられる。
これらの着色剤は、所望の色を得るために2種以上を組み合わせて用いてもよい。
ガス導入管、温度計、コンデンサ、攪拌機を備えた反応容器にプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート370部を入れ、容器に窒素ガスを注入しながら80℃に加熱した。次いで、同温度で下記モノマーおよび熱重合開始剤の混合物を反応容器内に1時間かけて滴下して重合反応を行った。
メタクリル酸 20.0部
メチルメタクリレート 10.0部
n−ブチルメタクリレート 35.0部
2−ヒドロキシエチルメタクリレート 15.0部
2、2'−アゾビスイソブチロニトリル 4.0部
パラクミルフェノールエチレンオキサイド変性アクリレート 20.0部
(東亞合成社製「アロニックスM−110」)
滴下終了後、さらに混合物を80℃で3時間反応させた後、反応容器内にアゾビスイソブチロニトリル1.0部をシクロヘキサノン50部に溶解させたものを添加し、さらに混合物を80℃で1時間反応させて、アクリル樹脂の溶液を得た。アクリル樹脂の重量平均分子量は、約40000であった。アクリル樹脂の溶液を室温まで冷却した後、溶液約2gをサンプリングして180℃、20分加熱乾燥して不揮発分を測定した。その後、合成したアクリル樹脂の溶液に、不揮発分が30重量%になるようにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを添加して、樹脂溶液(1)を調製した。
ガス導入管、温度計、コンデンサ、攪拌機を備えた反応容器に、1−ドデカノール62.6部、ε−カプロラクトン287.4部、触媒としてモノブチルスズ(IV)オキシド0.1部を仕込み混合物を得て、容器に窒素ガスを注入しながら、混合物を120℃で4時間加熱、撹拌した。固形分測定により原料の98重量%が反応したことを確認したのち、反応容器内に無水ピロメリット酸36.6部を加え、混合物を120℃で2時間反応させた。酸価の測定で98重量%以上の酸無水物がハーフエステル化したことを確認した後に、反応を終了して樹脂を得た。得られた樹脂は常温で白色固形であり、重量平均分子量は約3,600、酸価は49mgKOH/gであった。この樹脂に、不揮発分が30重量%になるようにシクロヘキサノンを添加して、樹脂溶液(2)を調製した。
表1に記すカーボンブラックを用いてカーボンブラック分散体を調製した。表2に示す配合組成および配合割合のカーボンブラック100部、下記式(18)に示す色素誘導体4部、樹脂溶液(1)70部を混合し、シクロヘキサノンで希釈して最終固形分が20重量%の混合物を得た。得られた混合物を、直径0.8mmのガラスビーズを用いペイントシェーカーにて2時間分散することによりカーボンブラック分散体A〜Iを調製した。分散体Fを除いて、粘度が40mPa・s以下の分散体を得ることができた。分散体Fは、分散後の粘度が200mPa・s以上と極めて高く、かつ室温でゲル状であったため、黒色組成物を調製することができなかった。カーボンブラック分散体Iは、樹脂溶液(1)70部の代わりに樹脂溶液(1)56部および樹脂溶液(2)14部を用いた以外は、分散体Gと同様の操作を行なって調製した。
(黒色組成物の調製)
表3に示す配合組成および配合割合で、混合物を均一になるように攪拌混合した後、2μmのフィルタで濾過して、黒色組成物を得た。得られた黒色組成物について、感度、安定性、遮光性(単位膜厚当たりのOD値)、BMのパターン形状を下記の方法で評価した。得られた結果を表4に示す。
光重合開始剤A:式(13)で示されるオキシム系光重合開始剤(エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製「イルガキュア OXE02」)
光重合開始剤B:2,2'−ビス(o−クロロフェニル)−4,5,4',5'−テトラフェニル−1,2'−ビイミダゾール
光重合開始剤C:式(14)で示されるボレート系光重合開始剤
光重合開始剤D:2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製「イルガキュア 369」)
多官能チオール:トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトブチレート)
溶剤:シクロヘキサノン
黒色組成物をスピンコート法により10cm×10cmのガラス基板に塗工した後、70℃で15分の乾燥により乾燥膜厚約1μmの塗膜を作成し、膜厚を測定した。その後、超高圧水銀ランプを用い、フォトマスクを介して各種露光量(mJ/cm2)の紫外線により塗膜を露光した。塗膜を、炭酸ナトリウム水溶液を用いて現像した後、イオン交換水で洗浄することで未露光部分を取り除いた。現像・水洗後の露光部分の膜厚を測定し、現像前の膜厚に対し95%以上の膜厚が得られる最小露光量(mJ/cm2)を感度とした。感度が10〜50mJ/cm2を○(良好)、50mJ/cm2を超える場合を×(不良)として評価した。なお、フォトマスクには線幅10μmのマスクパターンを使用し、ストライプ状のブラックマトリックスパターンを形成した。
作成直後の黒色組成物と、40℃で7日間保存後の黒色組成物について、現像速度、線幅を比較し、安定性を評価した。
(現像速度)黒色組成物をスピンコート法により10cm×10cmのガラス基板に塗工した後、70℃で15分の乾燥により乾燥膜厚約1μmの塗膜を作成し、膜厚を測定した。塗膜を、炭酸ナトリウム水溶液を用いてスプレー現像し、塗膜が消失する時間を測定した。測定時間を測定膜厚で除し、単位膜厚当たりの時間(秒/μm)を現像速度とした。
保存後の現像速度が、保存前の現像速度に対してプラスマイナス15%以内の変化であった場合を○(良好)、プラスマイナス15%を超えて高速変化あるいは低速変化した場合を×(不良)として評価した。
なお、現像速度評価が×の場合は安定性不良と判断し、線幅評価は行わなかった。
黒色組成物を[感度]評価と同様の方法でガラス基板に塗工し、露光工程は行わずに230℃で1時間加熱した後、膜厚を測定した。このようにして得られた黒色組成物塗工基板の光学濃度(OD)を、マクベス濃度計(GRETAG D200−II)により測定し、測定光学濃度(OD)を測定膜厚で除し、単位膜厚当たりの光学濃度(OD/μm)を求めた。
[感度]評価と同様の方法において露光量70mJ/cm2でストライプ状のBMパターンを形成し、作成されたストライプ状のBMのパターン形状を、光学顕微鏡あるいは電子線走査顕微鏡で観察し、直線性・断面形状を観察した。ただし、実施例10の黒色組成物は感度が低かったため300mJ/cm2で露光した。
(直線性)直線部分に欠けやギザギザが見られない場合には直線性○(良好)、直線部分の一部にギザギザあるいは欠けが見られる場合は直線性△(やや不良)、直線部分の全体にわたってギザギザあるいは欠けが多数見られる場合は直線性×(不良)として評価した。
(断面形状)断面形状が順テーパー(ガラスに接触する面である底辺が上底より幅広)から垂直の場合は、断面形状○(良好)、断面形状がオーバーハング(上底がガラスに接触する面である底辺より幅広)の場合は×(不良)として評価した。
[粘度]
TVE−20L型粘度計(東機産業社製)を用いて25℃、20rpmにて黒色組成物の粘度測定した。
黒色組成物を[感度]評価と同様の方法でガラス基板に塗工し、露光工程は行わずに230℃で1時間加熱した。得られた黒色組成物塗膜について、JIS K5400に準じた碁盤目付着性試験方法によりガラス密着性を評価した。剥離は、M6ボルトの頭に高性能エポキシ急速硬化接着剤(室温1時間硬化型)を付け、碁盤目状の塗膜上に接着(自重)し、90℃で5分間加熱後、手で塗膜からボルトを剥がすことにより行った。1mm×1mm×100個の碁盤目に比べてボルトが小さいので、ボルトの接着面積に対する塗膜の非剥離面積率で密着性を表した。
なお、密着性は、下記の計算式(19)より密着性(%)を算出し、算出された結果を◎から×の4段階で評価した。なお、計算式(19)より求めた値の小数点以下は、四捨五入して密着性の値とした。
Claims (8)
- (a1)平均一次粒子径が8〜20nmであるカーボンブラック、(a2)平均一次粒子径が21〜40nmであるカーボンブラック、(b)色素誘導体、(c)樹脂、および(d)溶剤を含有する黒色組成物であって、前記(a1)カーボンブラックと前記(a2)カーボンブラックの平均一次粒子径の差が5nm以上であり、かつ、平均一次粒子径が40nmを超えるカーボンブラックを含有せず、
(a1)カーボンブラックの比表面積が200〜600m 2 /gであり、
(a2)カーボンブラックの比表面積が40〜600m 2 /gであることを特徴とする黒色組成物。
- (a1)平均一次粒子径が8〜20nmであるカーボンブラック、(a2)平均一次粒子径が21〜40nmであるカーボンブラック、(b)色素誘導体、(c)樹脂、および(d)溶剤を混合して得られる黒色組成物であって、前記(a1)カーボンブラックと前記(a2)カーボンブラックの平均一次粒子径の差が5nm以上であり、かつ、平均一次粒子径が40nmを超えるカーボンブラックを混合せず、
(a1)カーボンブラックの比表面積が200〜600m 2 /gであり、
(a2)カーボンブラックの比表面積が40〜600m 2 /gであることを特徴とする請求項1記載の黒色組成物。
- さらに、(e)エチレン性不飽和化合物および(f)光重合開始剤を含有する請求項1または2記載の黒色組成物。
- (f)光重合開始剤が、オキシム系光重合開始剤、イミダゾール系光重合開始剤、およびボレート系光重合開始剤から選ばれる少なくとも一種の光重合開始剤を含む請求項3記載の黒色組成物。
- さらに、(g)多官能チオールを含有する請求項1〜3いずれか記載の黒色組成物。
- (b)色素誘導体が、下記一般式(1)で示される色素誘導体を含む請求項1〜5いずれか記載の黒色組成物。
一般式(1)
- 黒色組成物に含まれる(c)樹脂の重量(P)と、黒色組成物に含まれる(e)エチレン性不飽和化合物の重量(M)との比率(M/P)が、0.10〜0.70である請求項3記載の黒色組成物。
- 透明基板、および透明基板上に請求項1〜7いずれか記載の黒色組成物を用いて形成されたブラックマトリックスを備えることを特徴とするカラーフィルタ。
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