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JP4930663B1 - 弾性波分波器 - Google Patents

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Abstract

ＩＭＤ（相互変調歪）が抑制されており、優れた伝送特性を有する弾性波分波器を提供する。
弾性波分波器１は、アンテナ端子１２と、送信フィルタ１５と、受信フィルタ２０と、アンテナ端子１２と受信フィルタ２０との間に直列に接続されている複数の弾性波共振子４１〜４３とを備えている。受信フィルタは、弾性波伝搬方向に沿って配列された複数のＩＤＴ電極２４ａ〜２９ｂ、２４ｂ〜２９ｂを有する縦結合共振子型弾性波フィルタ２１により構成されている。複数の弾性波共振子４１〜４３の合成容量Ｃ１が、複数のＩＤＴ電極２４ａ〜２９ａ、２４ｂ〜２９ｂのうちのアンテナ端子側に接続されているＩＤＴ電極２４ａ、２７ａ、２４ｂ、２７ｂの容量Ｃ２よりも小さい。
【選択図】図１

Description

本発明は、弾性波分波器に関する。
近年、携帯電話機などの通信機器において、弾性表面波や弾性境界波などの弾性波を利用した弾性波分波器が広く用いられるようになってきている。例えば、下記の特許文献１には、図８に示す弾性表面波分波器が開示されている。
図８に示すように、弾性表面波分波器１００は、アンテナ端子１０１と送信端子１０２との間に接続されている送信フィルタ１０４と、アンテナ端子１０１と受信端子１０３ａ、１０３ｂとの間に接続されている受信フィルタ１０５とを備えている。弾性表面波分波器１００では、受信フィルタ１０５は、縦結合共振子型弾性表面波フィルタにより構成されている。受信フィルタ１０５とアンテナ端子１０１との間には、弾性表面波共振子１０６が接続されている。弾性表面波共振子１０６を設けることによって、送信フィルタ１０４と受信フィルタ１０５との位相差を調整することができる。
特開２００８−５１５１号公報
しかしながら、弾性表面波分波器１００の受信フィルタ１０５は非線形特性を有するため、ＩＭＤ(相互変調歪)が発生する。例えば、アンテナ端子１０１から入る妨害波信号の周波数が（送信信号の周波数×２−受信信号の周波数）の数式から算出される値と一致する場合、送信信号と妨害波信号から生成されるＩＭＤの周波数は受信信号の周波数と一致する。そのため、受信信号の感度が劣化するという問題がある。
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的は、ＩＭＤの発生が抑制されており、優れた伝送特性を有する弾性波分波器を提供することにある。
本発明に係る弾性波分波器は、アンテナ端子と、送信フィルタと、受信フィルタと、複数の弾性波共振子とを備えている。送信フィルタは、アンテナ端子に接続されている。受信フィルタは、アンテナ端子に接続されている。受信フィルタは、弾性波伝搬方向に沿って配列された複数のＩＤＴ電極を有する縦結合共振子型弾性波フィルタにより構成されている。複数の弾性波共振子は、アンテナ端子と受信フィルタとの間に直列に接続されている。複数の弾性波共振子の合成容量Ｃ１が、複数のＩＤＴ電極のうちのアンテナ端子側に接続されているＩＤＴ電極の容量Ｃ２よりも小さい。
なお、複数のＩＤＴ電極のうちのアンテナ端子側に接続されているＩＤＴ電極が複数存在する場合は、容量Ｃ２は、複数のＩＤＴ電極のうちのアンテナ端子側に接続されている複数のＩＤＴ電極の合成容量となる。
本発明に係る弾性波分波器のある特定の局面では、複数の弾性波共振子のうちの少なくとも２つの弾性波共振子は、周波数特性が互いに異なっている。
本発明に係る弾性波分波器の他の特定の局面では、少なくとも２つの弾性波共振子は、電極指のピッチが互いに異なっている。
本発明に係る弾性波分波器の別の特定の局面では、少なくとも２つの弾性波共振子は、電極指のデューティー比が互いに異なっている。
本発明に係る弾性波分波器のさらに他の特定の局面では、弾性波共振子が３つ以上設けられている。
本発明に係る弾性波分波器のさらに別の特定の局面では、弾性波分波器は、弾性表面波分波器または弾性境界波分波器である。
本発明では、複数の弾性波共振子のうちの少なくとも２つは、互いに異なる反共振周波数を有する。このため、ＩＭＤの発生が抑制されており、よって、優れた伝送特性を実現することができる。
図１は、本発明を実施した一実施形態に係る弾性表面波分波器の略図的構成図である。 図２は、本発明を実施した一実施形態における受信フィルタの略図的断面図である。 図３は、実施例１，２及び比較例におけるＩＭＤを表すグラフである。 図４は、実施例１における受信フィルタの挿入損失を表すグラフである。 図５は、実施例３における受信フィルタの挿入損失を表すグラフである。 図６は、実施例１における弾性表面波共振子の挿入損失を表すグラフである。 図７は、第１の変形例に係る弾性境界波分波器の一部分の略図的断面図である。 図８は、特許文献１に記載の弾性波分波器の略図的平面図である。
以下、本発明を実施した好ましい形態について、図１に示す、弾性波分波器としての弾性表面波デュプレクサ１を例に挙げて説明する。但し、弾性表面波デュプレクサ１は、単なる例示である。本発明に係る弾性波分波器は、弾性表面波デュプレクサ１に何ら限定されない。本発明に係る弾性波分波器は、例えば、弾性波トリプレクサなどであってもよい。
図１は、本実施形態に係る弾性表面波デュプレクサ１の略図的構成図である。図１に示す弾性表面波デュプレクサ１は、平衡―不平衡信号変換機能を有するＵＭＴＳ−Ｂａｎｄ１に対応したデュプレクサである。なお、ＵＭＴＳ−Ｂａｎｄ１の送信周波数帯は１９２０ＭＨｚ〜１９８０ＭＨｚであり、受信周波数帯は２１１０ＭＨｚ〜２１７０ＭＨｚである。
弾性表面波デュプレクサ１は、アンテナ端子１２と、送信端子１３と、第１及び第２の受信端子１４ａ、１４ｂとを有する。本実施形態では、アンテナ端子１２及び送信端子１３のインピーダンスは５０Ωとされ、第１及び第２の受信端子１４ａ、１４ｂのインピーダンスは１００Ωとされている。
アンテナ端子１２と送信端子１３との間には、送信フィルタ１５が接続されている。送信フィルタ１５は特に限定されない。送信フィルタ１５は、例えば、縦結合共振子型弾性表面波フィルタにより構成されていてもよいが、図１に示すように、耐電力性に優れたラダー型弾性波フィルタにより構成されていることが好ましい。
アンテナ端子１２と受信端子１４ａ、１４ｂとの間には、受信フィルタ２０が接続されている。受信フィルタ２０は、平衡−不平衡変換機能を有する縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２１によって構成されている。縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２１は、第１及び第２の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部２２、２３を有する。第１の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部２２は、アンテナ端子１２と、第１の受信端子１４ａとの間に接続されている。一方、第２の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部２３は、アンテナ端子１２と、第２の受信端子１４ｂとの間に接続されている。
第１及び第２の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部２２，２３のそれぞれは、弾性表面波伝搬方向に沿って配列された複数のＩＤＴ電極を有する。具体的には、第１及び第２の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部２２，２３は、それぞれ、弾性波伝搬方向に沿って配列された第１〜第３のＩＤＴ電極２４ａ、２４ｂ、２５ａ、２５ｂ、２６ａ、２６ｂと、第４〜第６のＩＤＴ電極２７ａ、２７ｂ、２８ａ、２８ｂ、２９ａ、２９ｂとを有する。第１〜第３のＩＤＴ電極２４ａ、２４ｂ、２５ａ、２５ｂ、２６ａ、２６ｂが設けられている領域の弾性波伝搬方向両側には、一対の反射器３０ａ、３０ｂ、３１ａ、３１ｂが設けられている。第４〜第６のＩＤＴ電極２７ａ、２７ｂ、２８ａ、２８ｂ、２９ａ、２９ｂが設けられている領域の弾性波伝搬方向両側には、一対の反射器３２ａ、３２ｂ、３３ａ、３３ｂが設けられている。第１〜第６のＩＤＴ電極２４ａ、２４ｂ、２５ａ、２５ｂ、２６ａ、２６ｂ、２７ａ、２７ｂ、２８ａ、２８ｂ、２９ａ、２９ｂのうち、第１及び第４のＩＤＴ電極２４ａ、２４ｂ、２７ａ、２７ｂの一方の櫛歯状電極がアンテナ端子１２側に接続されており、他方の櫛歯状電極はグラウンド電位に接続されている。第２，第３，第５及び第６のＩＤＴ電極２５ａ、２５ｂ、２６ａ、２６ｂ、２８ａ、２８ｂ、２９ａ、２９ｂの一方の櫛歯状電極はグラウンド電位に接続されており、他方の櫛歯状電極は、第１または第２の受信端子１４ａ、１４ｂに共通に接続されている。なお、以下の説明において、アンテナ端子１２側に接続されている第１及び第４のＩＤＴ電極２４ａ、２４ｂ、２７ａ、２７ｂを入力ＩＤＴ電極２４ａ、２４ｂ、２７ａ、２７ｂと呼ぶ。
アンテナ端子１２と受信フィルタ２０との間には、複数の弾性表面波共振子が直列に接続されている。具体的には、本実施形態では、アンテナ端子１２と受信フィルタ２０との間には、３つの弾性表面波共振子４１〜４３が直列に接続されている。弾性表面波共振子４１〜４３の夫々は、ＩＤＴ電極４４と、そのＩＤＴ電極４４の弾性波伝搬方向の両側に設けられている一対の反射器４５，４６を有する。また、送信フィルタ１５及び受信フィルタ２０の接続点とグラウンド電位との間にはインダクタ６０が接続されている。
弾性表面波共振子４１〜４３及びインダクタ６０は、受信フィルタ２０と送信フィルタ１５との位相調整を行うために設けられている。弾性表面波共振子４１〜４３の夫々は、共振周波数が受信フィルタ２０の通過帯域内に位置する一方、反共振周波数が通過帯域高域側近傍の減衰域に位置するように構成されている。
図２に示すように、本実施形態の弾性表面波デュプレクサ１は、圧電基板１０と、圧電基板１０の上に形成されている電極１１を有する。この電極１１によって、上記ＩＤＴ電極、反射器、配線等が構成されている。本実施形態では、圧電基板１０は、４０±５°ＹカットＸ伝搬ＬｉＴａＯ３基板により構成されている。もっとも、圧電基板１０は、ＬｉＮｂＯ３基板、水晶基板などの他の圧電基板により構成されていてもよい。
電極１１は、Ａｌにより形成されている。もっとも、電極１１は、Ａｌ以外の導電材料からなるものであってもよい。電極１１は、例えば、Ａｌ，Ｐｔ，Ａｕ，Ａｇ，Ｃｕ，Ｎｉ，Ｔｉ，Ｃｒ，Ｐｄなどの金属や、これらの金属の一種以上を含む合金により形成することもできる。また、電極１１は、上記のような金属や合金からなる複数の導電膜の積層体により構成することも可能である。
なお、圧電基板１０の上に、例えば、周波数温度特性を改善する目的やＩＤＴ電極及び反射器等を保護する目的で、酸化ケイ素膜や窒化ケイ素膜などの誘電体膜を形成するようにしてもよい。
ところで、ＩＭＤが発生し得る部分は、アンテナ端子１２に電気的に接続されているＩＤＴ電極となる。本実施形態では、アンテナ端子１２と受信フィルタ２０との間に直列に接続されている弾性表面波共振子４１〜４３のＩＤＴ電極４４と、アンテナ端子１２とグラウンド電位との間に並列に接続されている縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２１の入力ＩＤＴ電極２４ａ、２４ｂ、２７ａ、２７ｂとにおいて、ＩＭＤが発生し得る。それ以外の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２１のＩＤＴ電極２５ａ、２５ｂ、２６ａ、２６ｂ、２８ａ、２８ｂ、２９ａ、２９ｂは、アンテナ端子１２と音響的に接続されているに過ぎない。このため、ＩＤＴ電極２５ａ、２５ｂ、２６ａ、２６ｂ、２８ａ、２８ｂ、２９ａ、２９ｂでは、送信信号や妨害波信号が大きく減衰され、ＩＭＤはほとんど発生しない。
また、いずれのＩＤＴ電極でＩＭＤが発生しやすいかは、ＩＤＴ電極の容量で決まる。例えば、ＩＭＤが発生する２つのＩＤＴ電極が存在した場合、一方のＩＤＴ電極の容量が他方のＩＤＴ電極の容量より小さいと、一方のＩＤＴ電極のインピーダンスが相対的に高くなる。このため、一方のＩＤＴ電極により大きな電力が負荷することになり、より多くのＩＭＤが発生することとなる。
本実施形態においては、弾性表面波共振子４１〜４３のＩＤＴ電極４４の合成容量Ｃ１が、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２１の入力ＩＤＴ電極２４ａ、２４ｂ、２７ａ、２７ｂの合成容量Ｃ２よりも小さくされている。そのため、弾性表面波共振子４１〜４３により大きな電力がかかる。しかしながら、弾性表面波共振子４１〜４３は１つの弾性表面波共振子を直列に接続されている３つの弾性表面波共振子に分割したものである。弾性表面波共振子を、容量を変えずに３つに分割することにより、ＩＤＴ電極の総面積は約３倍になるため、単位面積あたりの消費電力を小さくすることができる。その結果、ＩＭＤの発生を抑制することができ、優れた伝送特性を実現できる。
以下、この伝送特性を向上できるという効果について、実施例及び比較例に基づいて詳細に説明する。
（実施例１）
実施例１として、上記実施形態において説明した弾性表面波デュプレクサ１と同様の構成を有する弾性表面波分波器を下記の設計パラメータで作製した。
（実施例１の設計パラメータ）
縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部２２：
交叉幅：４６μｍ
ＩＤＴ電極２５ａ、２６ａにおける電極指の本数：２８本（うち、狭ピッチ電極指部における電極指の本数：８本）
ＩＤＴ電極２４ａにおける電極指の本数：７１本（うち、ＩＤＴ電極２５ａ側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数：４本、ＩＤＴ電極２６ａ側狭ピッチ電極指部における電極指の本数：４本）
反射器３０ａ、３１ａにおける電極指の本数：６５本
ＩＤＴ電極２４ａ、２５ａ、２６ａのデューティー比：０．６４
電極膜厚：０．０９１λＩ（ただし、λＩはＩＤＴ電極の電極指のピッチで決まる弾性表面波の波長である。）
ＩＤＴ電極２７ａ〜２９ａ及び反射器３２ａ、３３ａの設計パラメータはＩＤＴ電極２４ａ〜２６ａ及び反射器３０ａ、３１ａと同じである。
縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部２３：ＩＤＴ電極２５ｂ、２６ｂ、２８ｂ、２９ｂが反転されていること以外は、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部２２と実質的に同じ設計を有する。
弾性表面波共振子４１〜４３：
弾性表面波共振子４１におけるＩＤＴ電極４４の電極指のピッチ：８９０．０ｎｍ
弾性表面波共振子４２におけるＩＤＴ電極４４の電極指のピッチ：８９２．５ｎｍ
弾性表面波共振子４３におけるＩＤＴ電極４４の電極指のピッチ：８９５．０ｎｍ
ＩＤＴ電極４４の交叉幅：２７μｍ
ＩＤＴ電極４４の電極指の本数：２１３本
反射器４５，４６の電極指の本数：１８本
ＩＤＴ電極４４の電極指のデューティー比：０．５５
電極膜厚：０．０９５λII（ただし、λIIは弾性表面波共振子４２のＩＤＴ電極４４の電極指のピッチで決まる弾性表面波の波長である。）
なお、ＩＤＴ電極の容量は交叉幅、対数（本数から１を引き、２で割った数値に相当）、及びデューティー比の積に比例する。本実施例では、弾性表面波共振子４１〜４３の合成容量Ｃ１は、交叉幅（２７μｍ）×対数（１０６対）×デューティー比（０．５５）÷３≒５２４．７である。入力ＩＤＴ電極２４ａ、２４ｂ、２７ａ、２７ｂの合成容量Ｃ２は、交叉幅（４６μｍ）×対数（３５対）×デューティー比（０．６４）×４≒４１２１．６である。従って、本実施例では、Ｃ１＜Ｃ２である。このため、弾性表面波共振子４１〜４３の方に、入力ＩＤＴ電極２４ａ、２４ｂ、２７ａ、２７ｂよりも大きな電力がかかることとなる。
（実施例２）
アンテナ端子１２と受信フィルタ２０との間に直列に接続されている弾性表面波共振子の数を２つとし、それら２つの弾性表面波共振子の合成容量が、実施例１における弾性表面波共振子４１〜４３の合成容量Ｃ１と同じとなるように、電極指の交叉幅及び対数を設定した。具体的には、以下の設計パラメータ以外は、上記実施例１と同様とした。
第１、第２の弾性表面波共振子：
ＩＤＴ電極の交叉幅：２１．２μｍ
ＩＤＴ電極の電極指の本数：２０１本
（比較例１）
アンテナ端子１２と受信フィルタ２０との間に直列に接続されている弾性表面波共振子の数を１つとし、その弾性表面波共振子の容量が、実施例１における弾性表面波共振子４１〜４３の合成容量Ｃ１と同じとなるように、電極指の交叉幅及び対数を設定した。具体的には、以下の設計パラメータ以外は、上記実施例１と同様とした。
弾性表面波共振子：
ＩＤＴ電極の交叉幅：１５．９μｍ
ＩＤＴ電極の電極指の本数：１２１本
図３に、以下の条件下における実施例１，２及び比較例におけるＩＭＤを示す。
送信信号の周波数（Ｔｘ）・・１９５０ＭＨｚ
受信信号の周波数（Ｒｘ）・・２１４０ＭＨｚ
妨害波信号の周波数（２Ｔｘ−Ｒｘ）・・１７６０ＭＨｚ
送信信号の電力（アンテナ端子にて）・・＋２１ｄＢｍ
妨害波信号の電力（アンテナ端子にて）・・−１５ｄＢｍ
※Ｒｘ端１、２にバランを接続し、Ｒｘ端から出力されるＩＭＤを測定
図３に示す結果から、アンテナ端子１２と受信フィルタ２０との間に直列に接続する弾性表面波共振子の数量を多くすることにより、発生するＩＭＤのレベルを低くできることがわかる。この理由としては、弾性表面波共振子の数量を多くすることにより、ＩＤＴ電極の単位面積あたりの消費電力を低くできたためであると考えられる。
図４に、上記実施例１における受信フィルタ２０の挿入損失を示す。また、弾性表面波共振子４１〜４３の電極指のピッチを、すべて８９２．５ｎｍとし、弾性表面波共振子４１〜４３の周波数特性を等しくしたこと以外は実施例１と同様の構成を有する実施例３における受信フィルタの挿入損失を図５に示す。
図５に示すように、弾性表面波共振子４１〜４３の周波数特性を等しくした実施例３においては、通過帯域内に複数のリップルが発生していることがわかる。それに対して、図４に示すように、弾性表面波共振子４１〜４３で周波数特性を互いに異ならせた実施例１では、通過帯域内のリップルが抑圧されていることがわかる。
このように、アンテナ端子と受信フィルタとの間に直列に接続する弾性表面波共振子を複数にする場合は、複数の弾性表面波共振子で、周波数特性を異ならしめることによって通過帯域内のリップルを抑圧できることが分かる。
なお、通過帯域内のリップルを抑圧できるのは、以下の理由によるものと考えられる。すなわち、図６に示すように、弾性表面波共振子のそれぞれは、受信フィルタの通過帯域内にリップルを有する。アンテナ端子と受信フィルタとの間に直列に接続されている複数の弾性表面波共振子の周波数特性が同じである場合は、上記リップルが同じ位置に生じ、強めあって大きなリップルになる。その結果、優れた伝送特性が得られなくなるものと考えられる。それに対して、実施例１のように、アンテナ端子と受信フィルタとの間に直列に接続されている複数の弾性表面波共振子の周波数特性が互いに異なっている場合は、上記リップルの周波数位置が異なるため、大きなリップルが発生せず、優れた伝送特性が得られるものと考えられる。
なお、上記実施例１では、弾性表面波共振子４１〜４３の周波数特性を、３つのＩＤＴ電極４４の電極指のピッチを互いに異ならしめることにより異ならせた。ただし、本発明は、これに限定されない。例えば、３つのＩＤＴ電極４４の電極指のデューティー比を互いに異ならしめることにより周波数特性を異ならせてもよい。３つのＩＤＴ電極４４の電極指のピッチ及びデューティー比の両方を互いに異ならしめることにより周波数特性を異ならせてもよい。
また、上記実施形態では、アンテナ端子１２と受信フィルタ２０との間に３つの弾性表面波共振子４１〜４３を直列に接続した例について説明した。但し、本発明は、この構成に限定されない。本発明においては、アンテナ端子と受信フィルタとの間に直列に接続する弾性波共振子の個数を２つにしてもよいし、４つ以上にしてもよい。また、弾性表面波共振子が３つ以上の場合は、リップルを抑制できれば、必ずしもすべての弾性表面波共振子で周波数特性を互いに異ならせる必要はない。例えば、弾性表面波共振子が３つの場合、うち２つの弾性表面波共振子で周波数特性を異ならせるだけでも、リップルを抑制できる。
（第１の変形例）
図７は、第１の変形例に係る弾性境界波分波器の一部分の略図的断面図である。
上記実施形態では、本発明を実施した好ましい形態について、弾性表面波を利用した縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２１によって構成されている受信フィルタ２０を備えた弾性表面波デュプレクサ１を例に挙げて説明した。但し、本発明に係る弾性波分波器は、弾性表面波分波器に限定されない。例えば、本発明に係る弾性波分波器は、図７に示すように、圧電基板１０の上に電極１１を覆うように第１及び第２の誘電体層５０，５１が形成されている、弾性境界波を利用した弾性境界波分波器であってもよい。また、第１及び第２の誘電体層５０，５１のうち、第１の誘電体層５０のみを設けてもよい。なお、第１及び第２の誘電体層５０，５１の材質は弾性境界波を励振できるものであれば、特に限定されない。例えば、第１の誘電体層５０を酸化ケイ素により形成し、第２の誘電体層５１を窒化ケイ素により形成することができる。
１…弾性表面波デュプレクサ
１０…圧電基板
１１…電極
１２…アンテナ端子
１３…送信端子
１４ａ…第１の受信端子
１４ｂ…第２の受信端子
１５…送信フィルタ
２０…受信フィルタ
２１…縦結合共振子型弾性表面波フィルタ
２２…第１の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部
２３…第２の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部
２４ａ〜２９ａ、２４ｂ〜２９ｂ…ＩＤＴ電極
２４ａ、２４ｂ、２７ａ、２７ｂ…入力ＩＤＴ電極
３０ａ〜３３ａ、３０ｂ〜３３ｂ…反射器
４１〜４３…弾性表面波共振子
４４…ＩＤＴ電極
４５，４６…反射器
５０…第１の誘電体層
５１…第２の誘電体層
６０…インダクタ

Claims (6)

  1. アンテナ端子と、
    アンテナ端子に接続されている送信フィルタと、
    前記アンテナ端子に接続されており、弾性波伝搬方向に沿って配列された複数のＩＤＴ電極を有する縦結合共振子型弾性波フィルタにより構成されている受信フィルタと、
    前記アンテナ端子と前記受信フィルタとの間に直列に接続されている複数の弾性波共振子と、
    を備え、
    前記複数の弾性波共振子の合成容量Ｃ１が、前記複数のＩＤＴ電極のうちの前記アンテナ端子側に接続されているＩＤＴ電極の容量Ｃ２よりも小さい、弾性波分波器。
  2. 前記複数の弾性波共振子のうちの少なくとも２つの弾性波共振子は、周波数特性が互いに異なっている、請求項１に記載の弾性波分波器。
  3. 前記少なくとも２つの弾性波共振子は、電極指のピッチが互いに異なっている、請求項２に記載の弾性波分波器。
  4. 前記少なくとも２つの弾性波共振子は、電極指のデューティー比が互いに異なっている、請求項２または３に記載の弾性波分波器。
  5. 前記弾性波共振子が３つ以上設けられている、請求項１〜４のいずれか一項に記載の弾性波分波器。
  6. 弾性表面波分波器または弾性境界波分波器である、請求項１〜５のいずれか一項に記載の弾性波分波器。
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