JP4915500B2 - 熱硬化性樹脂組成物、カラーフィルタの保護膜の形成方法、およびカラーフィルタの保護膜 - Google Patents
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Description
このような保護膜は、当該保護膜を形成すべき基体または下層、さらに保護膜上に形成される層に対して密着性が高いものであること、膜自体が平滑で強靭であること、透明性を有するものであること、耐熱性および耐光性が高く、長期間にわたって着色、黄変、白化などの変質を起こさないものであること、耐水性、耐溶剤性、および耐アルカリ性に優れたものであることなどの性能が要求される。これらの諸特性を満たす保護膜を形成するための材料としては、例えばグリシジル基を有する重合体を含む熱硬化性組成物が知られている(特許文献1および特許文献2参照)。
また、このような保護膜をカラー液晶表示装置や電荷結合素子のカラーフィルタの保護膜として使用する場合には、一般的に下地基板上に形成されたカラーフィルタによる段差を平坦化できることが要求される。
特に、STN方式のカラー液晶表示素子を製造する際には、カラーフィルタと対向基板との貼り合わせの精度を極めて厳密に行わなければならず、保護膜には極めて高度な段差の平坦化性能および耐熱耐圧性能が要求されている。
また、近年、TV用途などガラス基板サイズが大型化することにより、不良品となったカラーフィルタを再生することはコスト面からみて極めて重要な特性の一つとなってきている。このカラーフィルタ再生のため、保護膜のリワーク(膜剥がし)特性が要求される。リワーク特性は、耐アルカリ性とトレードオフの関係にあり、リワーク性と耐アルカリ性を両立させる保護膜はこれまで存在しなかった。
透明性などの保護膜としての一般的な要求性能を満たしたうえ、上記したような諸性能を満たす保護膜を簡易に形成でき、かつ組成物としての保存安定性に優れた材料は未だ知られていない。
ここで、(A)共重合体を構成する(a1)成分と(a2)成分の割合は、(a1)5〜95重量%、(a2)95〜5重量%〔ただし、(a1)+(a2)=100重量%〕である。
また、(B)化合物の配合量は、(A)共重合体100重量部に対し10〜200重量部である。
本発明の熱硬化性樹脂組成物には、さらに(C)反応性置換基を有するシランカップリング剤からなる接着助剤を含んでいてもよい。
ここで、(C)接着助剤の配合量は、(A)共重合体100重量部に対し、通常、3〜40重量部である。
また、本発明の熱硬化性樹脂組成物には、さらに(D)界面活性剤を含んでいてもよい。
ここで、(D)界面活性剤の配合量は、(A)共重合体100重量部に対し、通常、0.01〜1重量部である。
以上の本発明の熱硬化性樹脂組成物は、カラーフィルタの保護膜形成用として有用である。
次に、本発明は、基板上に、上記熱硬化性樹脂組成物を用いて塗膜を形成し、次いで加熱処理することを特徴とする、カラーフィルタの保護膜の形成方法に関する。
次に、本発明は、上記カラーフィルタの保護膜の形成方法によって形成された、カラーフィルタの保護膜に関する。
(A)共重合体
本発明の(A)共重合体は、(a1)オキシラニル基またはオキセタニル基を有する重合性不飽和化合物に由来する重合単位、および(a2)上記(a1)の重合単位以外の、重合性不飽和化合物に由来する重合単位を含有してなる。
(A)共重合体において、(a1)重合性不飽和化合物としては、オキシラニル基またはオキセタニル基および重合性不飽和基を有する限り特に限定はない。例えば、オキシラニル基含有の重合性不飽和化合物としては、アクリル酸グリシジル、メタクリル酸グリシジル、α−エチルアクリル酸グリシジル、α−n−プロピルアクリル酸グリシジル、α−n−ブチルアクリル酸グリシジル、アクリル酸−3,4−エポキシブチル、メタクリル酸−3,4−エポキシブチル、アクリル酸−6,7−エポキシヘプチル、メタクリル酸−6,7−エポキシヘプチル、α−エチルアクリル酸−6,7−エポキシヘプチル、o−ビニルベンジルグリシジルエーテル、m−ビニルベンジルグリシジルエーテル、p−ビニルベンジルグリシジルエーテルなどが挙げられる。
また、オキセタニル基含有の重合性不飽和化合物としては、例えば3−メチル−3−(メタ)アクロイロキシメチルオキセタン、3−エチル−3−(メタ)アクロイロキシメチルオキセタンなどが挙げられる。
これらのうち、メタクリル酸グリシジル、メタクリル酸−6,7−エポキシヘプチル、o−ビニルベンジルグリシジルエーテル、m−ビニルベンジルグリシジルエーテル、p−ビニルベンジルグリシジルエーテルなどが、共重合反応性および得られる保護膜または絶縁膜の耐熱性、表面硬度を高める点から好ましく用いられる。
1−(イソ)ヘプチルシクロプロパニル(メタ)アクリレート、1−(イソ)ヘプチルシクロブタニル(メタ)アクリレート、1−(イソ)ヘプチルシクロヘプチル(メタ)アクリレート、1−(イソ)ヘプチルシクロヘプチル(メタ)アクリレート、1−(イソ)ヘプチルシクロヘプタニル(メタ)アクリレート、1−(イソ)ヘプチルシクロオクタニル(メタ)アクリレート、1−(イソ)ヘプチルシクロノナニル(メタ)アクリレート、1−(イソ)ヘプチルシクロデカニル(メタ)アクリレート、1−(イソ)オクチルシクロプロパニル(メタ)アクリレート、1−(イソ)オクチルシクロブタニル(メタ)アクリレート、1−(イソ)オクチルシクロオクチル(メタ)アクリレート、1−(イソ)オクチルシクロオクチル(メタ)アクリレート、1−(イソ)オクチルシクロヘプタニル(メタ)アクリレート、1−(イソ)オクチルシクロオクタニル(メタ)アクリレート、1−(イソ)オクチルシクロノナニル(メタ)アクリレート、1−(イソ)オクチルシクロデカニル(メタ)アクリレート、2−エチルトリシクロ[3.3.1.13,7]デカン−2−イル−(メタ)アクリレート、2−メチルトリシクロ[3.3.1.13,7]デカン−2−イル−(メタ)アクリレート、1−エチルトリシクロ[3.3.1.13,7]デカン−1−イル−(メタ)アクリレート、1−エチルトリシクロ[3.3.1.13,7]デカン−1−イル−(メタ)アクリレート3−ヒドロキシトリシクロ[3.3.1.13,7]デカン−1−イル−(メタ)アクリレートなど;
(メタ)アクリル酸アリールエステルとして、フェニルメタクリレート、ベンジルメタクリレートなど;
不飽和ジカルボン酸ジエステルとして、マレイン酸ジエチル、フマル酸ジエチル、イタコン酸ジエチルなど;
マレイミド化合物類として、フェニルマレイミド、シクロヘキシルマレイミド、ベンジルマレイミド、N−スクシンイミジル−3−マレイミドベンゾエート、N−スクシンイミジル−4−マレイミドブチレート、N−スクシンイミジル−6−マレイミドカプロエート、N−スクシンイミジル−3−マレイミドプロピオネート、N−(9−アクリジニル)マレイミドなど;
共役ジエン系化合物として、1,3−ブタジエン、イソプレン、2,3−ジメチル−1,3−ブタジエンなど;
不飽和モノカルボン酸として、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸など;
不飽和ジカルボン酸として、マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、メサコン酸、イタコン酸など;
不飽和ジカルボン酸無水物として、上記不飽和ジカルボン酸の各無水物;
その他の不飽和化合物として、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、塩化ビニル、塩化ビニリデン、アクリルアミド、メタクリルアミド、酢酸ビニル
などを挙げることができる。
これらは、単独であるいは組み合わせて用いられる。
スチレン/メタクリル酸グリシジル共重合体、スチレン/メタクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル/メタクリル酸グリシジル共重合体、スチレン/N−シクロヘキシルマレイミド/メタクリル酸グリシジル共重合体、スチレン/N−フェニルマレイミド/メタクリル酸グリシジル共重合体、N−シクロヘキシルマレイミド/メタクリル酸グリシジル共重合体、N−フェニルマレイミド/メタクリル酸グリシジル共重合体、スチレン/メタクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル/メタクリル酸/メタクリル酸グリシジル共重合体、スチレン/N−シクロヘキシルマレイミド/メタクリル酸/メタクリル酸グリシジル共重合体、スチレン/N−フェニルマレイミド/メタクリル酸/メタクリル酸グリシジル共重合体、スチレン/メタクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル/1−エチルシクロヘキシルメタクリレート/メタクリル酸グリシジル共重合体、スチレン/N−シクロヘキシルマレイミド/1−エチルシクロヘキシルメタクリレート/メタクリル酸グリシジル共重合体、スチレン/N−フェニルマレイミド/1−エチルシクロヘキシルメタクリレート/メタクリル酸グリシジル共重合体、スチレン/メタクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル/1−エチルシクロペンチルメタクリレート/メタクリル酸グリシジル共重合体、スチレン/N−シクロヘキシルマレイミド/1−エチルシクロペンチルメタクリレート/メタクリル酸グリシジル共重合体、スチレン/N−フェニルマレイミド/1−エチルシクロペンチルメタクリレート/メタクリル酸グリシジル共重合体、スチレン/メタクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル/1−メチルシクロヘキシルメタクリレート/メタクリル酸グリシジル共重合体、スチレン/N−シクロヘキシルマレイミド/1−メチルシクロヘキシルメタクリレート/メタクリル酸グリシジル共重合体、スチレン/N−フェニルマレイミド/1−メチルシクロヘキシルメタクリレート/メタクリル酸グリシジル共重合体、スチレン/メタクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル/テトラヒドロ−2H−ピラン−2−イルエステル/メタクリル酸グリシジル共重合体、スチレン/N−シクロヘキシルマレイミド/テトラヒドロ−2H−ピラン−2−イルエステル/メタクリル酸グリシジル共重合体、スチレン/N−フェニルマレイミド/テトラヒドロ−2H−ピラン−2−イルエステル/メタクリル酸グリシジル共重合体などが挙げられる。
また、(A)共重合体の分子量分布(Mw/Mn)は、好ましくは5.0以下であり、さらに好ましくは3.0以下である。
例えば、上記ラジカル重合は、メタクリル酸グリシジルなどの(a1)重合性不飽和化合物5〜95重量部とスチレンなどの(a2)上記(a1)以外の重合性不飽和化合物95〜5重量部〔ただし、(a1)+(a2)=100重量部〕を、例えば、エチルセロソルブアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートなどの溶媒100〜400重量部に混合し、重合開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル(AIBN)、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)などのラジカル重合開始剤を単量体成分の合計量100重量部に対し、0.5〜15重量部添加し、70〜100℃で、3〜10時間、重合させることで得られる。
本発明に使用される(B)化合物のうち、アクリレート化合物としては、
例えば、トリアクリロイロキシペンタエリスリトールコハク酸{別名:3−アクリロイルオキシ−2,2−ビスアクリロイルオキシメチル-プロピル)エステル}、ジアクリロイロキシペンタエリスリトールコハク酸{別名:3−アクリロイルオキシ−2−アクリロイルオキシメチル-プロピル)エステル}、ペンタアクリオイロキシジペンタエリスリトールコハク酸{別名:[3−(3−アクリロイロキシ−2,2−ビス-アクリロイロキシメチル-プロピル)−2,2−ビス-アクリロイロキシメチル-プロピル]エステル}、テトラアクリオイロキシジペンタエリスリトールコハク酸{別名:[3−(3−アクリロイロキシ−2,2−ビス-アクリロイロキシメチル-プロピル)−2−アクリロイロキシメチル-プロピル]エステル}などが挙げられる。
本発明の熱硬化性樹脂組成物には、(C)接着助剤を、形成される保護膜と基板との密着性を向上させるために添加することができる。
このような(C)接着助剤としては、例えば、反応性置換基を有する官能性シランカップリング剤を使用することができる。上記反応性置換基としては、例えば、カルボキシル基、メタクリロイル基、イソシアネート基、エポキシ基などを挙げることができる。
(C)接着助剤の具体例としては、例えば、トリメトキシシリル安息香酸、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリアセトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、γ−イソシアナートプロピルトリエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、β−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシランなどが挙げられる。
このような(C)接着助剤は、(A)共重合体100重量部当たり、通常、3〜40重量部、好ましくは4〜20重量部の量で用いられる。(C)接着助剤の量が30重量部を超えると、得られる保護膜の耐熱性が不十分となる場合がある。
本発明の熱硬化性樹脂組成物には、(D)界面活性剤を、本発明の樹脂組成物の塗布性能を向上させるために添加することができる。
このような界面活性剤としては、例えばフッ素系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤、その他の界面活性剤を挙げることができる。
上記フッ素系界面活性剤としては、例えば、BM CHIMIE社製 商品名:BM−1000、BM−1100、大日本インキ化学工業(株)製 商品名:メガファックF142D、同F172、同F173、同F183、住友スリーエム(株)製 商品名:フロラードFC−135、同FC−170C、同FC−430、同FC−431、(株)ネオス製 商品名:フタージェント250、同251、同222F、FTX−218、旭硝子(株)製 商品名:サーフロンS−112、同S−113、同S−131、同S−141,同S−145、同S−382,同SC−101、同SC−102、同SC−103、同SC−104、同SC−105、同SC−106などの市販品を挙げることができる。
上記ポリオキシエチレンアルキルエーテル類としては、例えば、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテルなどが挙げられ、ポリオキシエチレンアリールエーテル類としては、例えば、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテルが挙げられ、ポリオキシエチレンジアルキルエステル類としては、例えば、ポリオキシエチレンジラウレート、ポリオキシエチレンジステアレートなどが挙げられる。
上記その他の界面活性剤として、共栄社化学(株)製 商品名:(メタ)アクリル酸系共重合体ポリフローNo.57、同No.90などを挙げることができる。
本発明の熱硬化性樹脂組成物には、耐熱性、耐アルカリ性を向上させるために、多価カルボン酸無水物を添加しても良い。
(E)多価カルボン酸無水物としては、例えば、無水イタコン酸、無水コハク酸、無水シトラコン酸、無水ドデセニルコハク酸、無水トリカルバニル酸、無水マレイン酸、無水ヘキサヒドロフタル酸、無水メチルテトラヒドロフタル酸、無水ハイミック酸の如き脂肪族ジカルボン酸無水物;1,2,3,4−ブタンテトラカルボン酸二無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物の如き脂環族多価カルボン酸二無水物;無水フタル酸、無水ピロメリット酸、無水トリメリット酸、無水ベンゾフェノンテトラカルボン酸の如き芳香族多価カルボン酸無水物;エチレングリコールビス無水トリメリテート、グリセリントリス無水トリメリテートなどのエステル基含有酸無水物を挙げることができる。これらのうち、芳香族多価カルボン酸無水物、特に無水トリメリット酸は、耐熱性の高い硬化膜が得られる点で好ましい。
上記のように(E)多価カルボン酸無水物を添加する場合、硬化を促進するために(F)硬化促進剤を添加することがある。
(F)硬化促進剤の具体例としては、
2−フェニルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾール、2,4−ジアミノ−6−〔2’−メチルイミダゾリル−(1’)〕−エチル−S−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−〔2’−ウンデシルイミダゾリル−(1’)〕−エチル−S−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−〔2’−エチル−4’−メチルイミダゾリルウンデシルイミダゾリル−(1’)〕−エチル−S−トリアジン、2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール、2−フェニル−4−メチル−5−ヒドロキシメチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2,4−ジアミノ−6−〔2’−メチルイミダゾリル−(1’)〕−エチル−S−トリアジンイソシアヌル酸付加物などを挙げることができる。
本発明の熱硬化性樹脂組成物には、(G)感熱性酸発生剤を添加することができる。感熱酸発生剤としては、スルホニウム塩類、ベンゾチアゾニウム塩類、アンモニウム塩類、ホスホニウム塩類などが挙げられ、これらのうちでも、スルホニウム塩類、ベンゾチアゾニウム塩類が好ましく用いられる。
(G)感熱性酸発生剤の添加量は、(A)共重合体100重量部に対し、好ましくは30重量部以下、さらに好ましくは20重量部以下である。30重量部を超えると、硬度が大幅に低下する。
本発明の熱硬化性樹脂組成物は、上記の各成分を、好ましくは適当な溶媒中に均一に溶解または分散することにより調製される。使用される溶媒としては、組成物の各成分を溶解または分散し、各成分と反応しないものが好ましく用いられる。
このような溶媒としては、アルコール類、エーテル類、グリコールエーテル類、エチレングリコールアルキルエーテルアセテート類、ジエチレングリコールモノアルキルエーテル類、ジエチレングリコールジアルキルエーテル類、プロピレングリコールモノアルキルエーテル類、プロピレングリコールアルキルエーテルアセテート類、プロピレングリコールアルキルエーテルプロピオネート類、芳香族炭化水素類、ケトン類、エステル類などを挙げることができる。
エーテル類として、テトラヒドロフランなど;
グリコールエーテル類として、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテルなど;
エチレングリコールアルキルエーテルアセテート類として、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテートなど;
ジエチレングリコールモノアルキルエーテル類として、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルなど;
ジエチレングリコールジアルキルエーテル類として、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテルなど;
プロピレングリコールモノアルキルエーテル類として、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールエチルエーテル、プロピレングリコールプロピルエーテル、プロピレングリコールブチルエーテルなど;
プロピレングリコールアルキルエーテルアセテート類として、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールプロピルエーテルアセテート、プロピレングリコールブチルエーテルアセテートなど;
プロピレングリコールアルキルエーテルプロピオネート類として、プロピレングリコールメチルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールエチルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールプロピルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールブチルエーテルプロピオネートなど;
ケトン類として、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノン、メチルイソアミルケトンなど;
エステル類として、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸プロピル、酢酸ブチル、2−ヒドロキシプロピオン酸エチル、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、ヒドロキシ酢酸メチル、ヒドロキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸ブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸プロピル、乳酸ブチル、3−ヒドロキシプロピオン酸メチル、3−ヒドロキシプロピオン酸エチル、3−ヒドロキシプロピオン酸プロピル、3−ヒドロキシプロピオン酸ブチル、2−ヒドロキシ−3−メチルブタン酸メチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸プロピル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、エトキシ酢酸プロピル、エトキシ酢酸ブチル、プロポキシ酢酸メチル、プロポキシ酢酸エチル、プロポキシ酢酸プロピル、プロポキシ酢酸ブチル、ブトキシ酢酸メチル、ブトキシ酢酸エチル、ブトキシ酢酸プロピル、ブトキシ酢酸ブチル、2−メトキシプロピオン酸メチル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシプロピオン酸プロピル、2−メトキシプロピオン酸ブチル、2−エトキシプロピオン酸メチル、2−エトキシプロピオン酸エチル、2−エトキシプロピオン酸プロピル、2−エトキシプロピオン酸ブチル、2−ブトキシプロピオン酸メチル、2−ブトキシプロピオン酸エチル、2−ブトキシプロピオン酸プロピル、2−ブトキシプロピオン酸ブチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸プロピル、3−メトキシプロピオン酸ブチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸プロピル、3−エトキシプロピオン酸ブチル、3−プロポキシプロピオン酸メチル、3−プロポキシプロピオン酸エチル、3−プロポキシプロピオン酸プロピル、3−プロポキシプロピオン酸ブチル、3−ブトキシプロピオン酸メチル、3−ブトキシプロピオン酸エチル、3−ブトキシプロピオン酸プロピル、3−ブトキシプロピオン酸ブチルなどが、それぞれ挙げられる。
高沸点溶媒を併用する際の使用量としては、全溶媒量に対して好ましくは90重量%以下、さらに好ましくは80重量%以下である。
次に、本発明の組成物を用いてカラーフィルタの保護膜を形成する方法について説明する。
本発明の樹脂組成物溶液を基板表面に塗布し、プレベークして溶媒を除去することにより塗膜を形成したのち、加熱処理をすることにより目的とするカラーフィルタの保護膜を形成することができる。
上記基板として使用できるものとしては、例えばガラス、石英、シリコン、樹脂などの基板が使用することができる。樹脂としては、例えばポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルスルホン、ポリカーボネート、ポリイミド、ならびに環状オレフィンの開環重合体およびその水素添加物の如き樹脂を挙げることができる。
上記プレベークの条件としては、各成分の種類や配合割合などによっても異なるが、通常、70〜90℃で1〜15分間程度の条件を採用できる。塗膜の厚さとしては好ましくは0.15〜8.5μm、より好ましくは0.15〜6.5μm、さらに好ましくは0.15〜4.5μmとすることができる。なお、ここでいう塗膜の厚さは、溶媒除去後の厚さとして理解されるべきである。
上記放射線の照射処理において使用できる放射線としては、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、X線などを挙げることができるが、190〜450nmの波長の光を含む紫外線が好ましい。
露光量としては、通常、100〜20,000J/m2、好ましくは150〜10,000J/m2である。
放射線照射後、さらに任意的に加熱処理を行ってもよい。このときの加熱温度としては、150〜250℃程度が好ましく、加熱装置として例えばホットプレート、クリーンオーブンなどの適宜の装置を使用することができる。加熱時間は、ホットプレート使用の場合は5〜30分間、オーブン使用の場合は、30〜90分間の処理時間を採用することができる。
このように形成された保護膜は、その膜厚が好ましくは0.1〜8μm、より好ましくは0.1〜6μm、さらに好ましくは0.1〜4μmである。なお、本発明の保護膜がカラーフィルタの段差を有する基板上に形成される場合には、上記の膜厚は、カラーフィルタの最上部からの厚さとして理解されるべきである。
本発明の保護膜は、下記する実施例から明らかなように、密着性、表面硬度、透明性、耐熱性、耐光性、耐溶剤性などを満たすと共に、熱のかかった状態での荷重によっても凹まず、また下地基板上に形成されたカラーフィルタの段差を平坦化する性能に優れた光デバイス用保護膜として好適である。
特に、本発明の保護膜が、パネル製造工程において250℃を超える加熱に曝されることがあるので、その場合にも十分に耐えられる耐熱性を持つことが、270℃で十分な寸法安定性を持つことによって保証される。
合成例1
冷却管、攪拌機を備えたフラスコに、2,2’−アゾビス−イソブチロニトリル5重量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート200重量部を仕込んだ。引き続きメタクリル酸グリシジル70重量部、スチレン30重量部を仕込み窒素置換した後、ゆるやかに撹拌を始めた。溶液温度を70℃に上昇させ、この温度を5時間保持し共重合体(A−1)を含む重合体溶液を得た。得られた重合体溶液の固形分濃度は、33.1重量%であった。
冷却管、攪拌機を備えたフラスコに、2,2’−アゾビス−イソブチロニトリル5重量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート200重量部を仕込んだ。引き続き、(3−エチル−3−オキシエタニル)メチルメタクリレート80重量部、スチレン20重量部を仕込み窒素置換した後、ゆるやかに撹拌を始めた。溶液温度を70℃に上昇させ、この温度を5時間保持し共重合体(A−2)を含む重合体溶液を得た。得られた重合体溶液の固形分濃度は、32.9重量%であった。
冷却管、攪拌機を備えたフラスコに、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)5重量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート200重量部を仕込んだ。引き続き、メタクリル酸グリシジル40重量部、スチレン20重量部、およびN−シクロヘキシルマレイミド20重量部、メタクリル酸20重量部を仕込み窒素置換した後、ゆるやかに撹拌を始めた。溶液温度を70℃に上昇させ、この温度を5時間保持し共重合体(A−3)を含む重合体溶液を得た。得られた重合体溶液の固形分濃度は、29.7重量%であった。
冷却管、攪拌機を備えたフラスコに、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)5重量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート200重量部を仕込んだ。引き続き、メタクリル酸グリシジル40重量部、スチレン20重量部、およびメタクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル20重量部、2−メチル−2−プロペン酸テトラヒドロ−2H−ピラン−2−イル エステル20重量部を仕込み窒素置換した後、ゆるやかに撹拌を始めた。溶液温度を70℃に上昇させ、この温度を5時間保持し共重合体(A−4)を含む重合体溶液を得た。得られた重合体溶液の固形分濃度は、30.1重量%であった。
冷却管、攪拌機を備えたフラスコに、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)5重量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート200重量部を仕込んだ。引き続き、メタクリル酸グリシジル40重量部、スチレン20重量部、およびメタクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル20重量部、1−エチルシクロペンチルメタクリレート20重量部を仕込み窒素置換した後、ゆるやかに撹拌を始めた。溶液温度を70℃に上昇させ、この温度を5時間保持し共重合体(A−5)を含む重合体溶液を得た。得られた重合体溶液の固形分濃度は、29.8重量%であった。
合成例6
冷却管、攪拌機を備えたフラスコに、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)5重量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート200重量部を仕込んだ。引き続き、スチレン20重量部、およびメタクリル酸20重量部、2−ヒドロキシエチルメタクリレート60重量部を仕込み窒素置換した後、ゆるやかに撹拌を始めた。溶液温度を70℃に上昇させ、この温度を5時間保持した。その後、メタクリロイロキシエチルイソシアネート70重量部を滴下し、ウレタン化反応を実施し、共重合体(B−3)を含む重合体溶液を得た。得られた重合体溶液の固形分濃度は、32.9重量%であった。
実施例1
上記合成例1で得られた共重合体(A−1)を含む溶液(共重合体(A−1)100重量部(固形分)に相当する量)と(B)トリアクリロイロキシペンタエリスリトールコハク酸(TAPS)80.0重量部と(C)γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン5.0重量部、(D)界面活性剤としてSH−28PA(東レ・ダウコーニング・シリコーン(株)製)0.1重量部を加え、さらに固形分濃度が20重量%になるようにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(S−1)およびジエチレングリコールエチルメチルエーテル(S−2)を重量比で8対2の比率で添加した後、孔径0.5μmのミリポアフィルタで濾過して樹脂組成物を調製した。
スピンナーを用いて上記組成物を、SiO2ディップガラス基板上に塗布した後、ホットプレート上で80℃、5分間プレベークして塗膜を形成し、さらにオーブン中で230℃にて60分間加熱処理して膜厚2.0μmの保護膜を形成した。
(1)透明性の評価
上記のようにして形成した保護膜を有する基板について、分光光度計(150−20型ダブルビーム(日立製作所(株)製))を用いて400〜800nmの透過率を測定した。400〜800nmの透過率の最小値を表1に示した。この値が95%以上のとき、保護膜の透明性は良好といえる。
上記のようにして形成した保護膜を有する基板について、オーブン中250℃で1時間の条件で加熱し、加熱前後の膜厚を測定した。下記式にしたがって算出した耐熱寸法安定性を表1に示した。この値が95%以上のとき、耐熱寸法安定性は良好といえる。
耐熱寸法安定性=〔(加熱後の膜厚)/(加熱前の膜厚)〕×100(%)
上記のようにして形成した保護膜を有する基板について、40℃に加温した5%の水酸化ナトリウム水溶液に30分間浸漬させ、引き上げ、超純水で洗浄、120℃に加温したホットプレート上で2分間乾燥させ、アルカリ浸漬前後の膜厚を測定した。下記式にしたがって算出した耐アルカリ寸法安定性を表1に示した。この値が95%以上のとき、耐アルカリ寸法安定性は良好といえる。
耐アルカリ寸法安定性=〔(アルカリ浸漬後の膜厚)/(アルカリ浸漬前の膜厚)〕×100(%)
上記のようにして形成した保護膜を有する基板について、オーブン中250℃で1時間加熱し、加熱前後の透明性を、上記(1)と同様にして測定した。下記式にしたがって算出した耐熱変色性を表1に示した。この値が5%以下のとき、耐熱変色性は良好といえる。
耐熱変色性=加熱前の透過率−加熱後の透過率(%)
上記のようにして形成した保護膜を有する基板について、JIS K−5400−1990の8.4.1鉛筆引っかき試験により保護膜の表面硬度を測定した。この値を表1に示す。この値が3〜4Hまたはそれより硬いとき、表面硬度は良好といえる。
上記のようにして形成した保護膜を有する基板について、島津ダイナミック微小硬度計DUH−201((株)島津製作所製)を用い、稜角115°三角圧子(ヘルコビッチ型)の押し込み試験により、保護膜のダイナミック微小硬度を、荷重:0.1gf、速度:0.0145gf/sec.、保持時間:5sec.、温度は23℃および140℃の測定条件で測定した。結果を表1に示す。
上記のようにして形成した保護膜を有する基板について、プレッシャークッカー試験(120℃、湿度100%、4時間)を行った後、JIS K−5400−1990の8.5.3付着性碁盤目テープ法により保護膜の密着性(SiO2に対する密着性)を評価した。碁盤目100個中、残った碁盤目の数を表1に示した。
また、Crに対する密着性の評価として、SiO2ディップガラス基板の替わりにCr基板を用いた他は、上記と同様にして膜厚2.0μmの保護膜を形成し、上記の碁盤目テープ法により同様に評価した。結果は表1に示した。
SiO2ディップガラス基板上に、顔料系カラーレジスト(商品名「JCR RED 689」、「JCR GREEN 706」、「CR 8200B」、以上、JSR(株)製)をスピンナーにより塗布し、ホットプレート上で90℃、150秒間プレベークして塗膜を形成した。その後、所定のパターンマスクを介して、露光機Canon PLA501F(キャノン(株)製)を用いてghi線(波長436nm、405nm、365nmの強度比=2.7:2.5:4.8)をi線換算で2,000J/m2の露光量で照射し、0.05%水酸化カリウム水溶液を用いて現像し、超純水にて60秒間リンスした後、さらにオーブン中で230℃にて30分間加熱処理して、赤、緑、および青の3色のストライプ状カラーフィルタ(ストライプ幅100μm)を形成した。
このカラーフィルタが形成された基板表面の凹凸を、表面粗さ計「α−ステップ」(商品名:テンコール社製)で測定したところ、1.0μmであった。ただし、測定長2,000μm、測定範囲2,000μm角、測定点数n=5で測定した。すなわち、測定方向を赤、緑、青方向のストライプライン短軸方向および赤・赤、緑・緑、青・青の同一色のストライプライン長軸方向の2方向とし、各方向につきn=5で測定した(合計のn数は10)。
この上に、上記保護膜形成用組成物をスピンナーにて塗布した後、ホットプレート上で90℃、5分間プレベークして塗膜を形成し、さらにオーブン中で230℃にて60分間加熱処理し、カラーフィルタの上面からの膜厚が2.0μmの保護膜を形成した。ただし、ここで言う膜厚は、基板上に形成されたカラーフィルタの最上面からの厚さを意味する。
上記のようにして形成した、カラーフィルタ上に保護膜を有する基板について、接触式膜厚測定装置α−ステップ(テンコールジャパン(株)製)にて保護膜の表面の凹凸を測定した。ただし、測定長2,000μm、測定範囲2,000μm角、測定点数n=5で測定した。すなわち、測定方向を赤、緑、青方向のストライプライン短軸方向および赤・赤、緑・緑、青・青の同一色のストライプライン長軸方向の2方向とし、各方向につきn=5で測定した(合計のn数は10)。各測定ごとの最高部と最底部の高低差(nm)の10回の平均値を表1に示した。この値が300nm以下のとき、平坦化性は良好といえる。
(8)で製作したカラーフィルタの上面からの膜厚が2.0μmの保護膜を形成した。カラーフィルター用剥離液(横浜油脂製、SemiCleanDF−7)を50℃に加温し、上記保護膜付きのカラーフィルターを浸漬した。10分後および20分後に基板を引き上げ、スポンジでこすりながら純水にて洗浄を行い、目視にて保護膜(顔料系カラーレジスト含む)が剥離できているかどうかの判定を実施した。10分で剥離できたものを○、20分で剥離できたものを△、20分でも剥離出来なかったものを×とした。剥離時間が短いものが、リワーク性良好と判断できる。
実施例1で調製した保護膜形成用の樹脂組成物における粘度を、東京計器(株)製ELD型粘度計を用いて測定した。その後、該組成物を25℃にて静置しつつ、25℃における溶液粘度を毎日測定した。調製直後の粘度を基準に5%増粘するのに要した日数を求め、この日数を表1に示した。この日数が15日以上のとき、保存安定性は良好といえる。
組成物の各成分の種類および量を表1に記載のとおりとし、表1に記載の溶媒を使用して表1記載の固形分濃度に合わせた他は、実施例1と同様にして樹脂組成物を調製した。
上記のように調製した保護膜形成用の樹脂組成物を使用し、実施例1と同様に保護膜を形成し、評価した。結果を表1に示した。
組成物の各成分の種類および量を表2に記載のとおりとし、表2に記載の溶媒を使用して表2記載の固形分濃度に合わせた他は、実施例1と同様にして樹脂組成物を調製した。
スピンコーターの代わりに、スリットダイコーターを用いて塗布した以外は、実施例1と同様に樹脂組成物を調製し、保護膜を形成し、評価した。結果を表2に示した。
B−1:トリアクリロイロキシペンタエリスリトールコハク酸{別名:3−アクリロイルオキシ−2,2−ビスアクリロイルオキシメチル-プロピル)エステル、略称:TAPS}
B−2:ペンタアクリオイロキシジペンタエリスリトールコハク酸{別名:[3−(3−アクリロイロキシ−2,2−ビス-アクリロイロキシメチル-プロピル)−2,2−ビス-アクリロイロキシメチル-プロピル]エステル、略称:PADPS}
C−1:γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン
D−1:シリコーン系界面活性剤(東レ・ダウコーニング・シリコーン(株)製商品名:SH−28PA)
D−2:シリコーン系界面活性剤(ビックケミー・ジャパン(株)製、商品名:BYK−344)、
D−3:フッ素系界面活性剤((株)ネオス製、商品名:FTX−218)、
D−4:シリコーン系界面活性剤(東レ・ダウコーニング・シリコーン(株)製、商品名:PAINTAD19)、
E−1:無水トリメリット酸
F−1:2−フェニル−4−メチルイミダゾール
S−1:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
S−2:ジエチレングリコールエチルメチルエーテル
S−3:3−メトキシプロピオン酸メチル
a−1:ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂(ジャパンエポキシレジン(株)製 商品名:エピコート157S65、略称:EP157S65)
b−1:トリアクリロイロキシエチルイソシアヌール酸(東亞合成(株)製 商品名:アロニックスM−315M)
b−2:ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(日本化薬(株)製 商品名:KAYARAD DPHA)
Claims (9)
- (A)(a1)オキシラニル基またはオキセタニル基を有する重合性不飽和化合物および(a2)上記(a1)以外の重合性不飽和化合物との共重合体、(B)一つ以上のカルボキシル基および一つ以上の(メタ)アクリル基を有する化合物、(C)反応性置換基を有するシランカップリング剤からなる接着助剤、ならびに(D)界面活性剤を含有する熱硬化性樹脂組成物であって、
該(a2)化合物が、スチレン、トリシクロ[5.2.1.0 2,6 ]デカン−8−イルメタクリレート、p−メトキシスチレン、2−メチルシクロヘキシルアクリレート、1,3−ブタジエン、ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、N−シクロヘキシルマレイミド、メタクリル酸、1−エチルシクロペンチルメタクリレートおよび、2−メチル−2−プロペン酸、テトラヒドロ−2H−ピラン−2−イルエステルの群から選ばれた少なくとも1種であり、
該(B)化合物が、トリアクリロイロキシペンタエリスリトールコハク酸、ジアクリロイロキシペンタエリスリトールコハク酸、ペンタアクリオイロキシジペンタエリスリトールコハク酸および、テトラアクリオイロキシジペンタエリスリトールコハク酸の群から選ばれた少なくとも1種であることを特徴とする熱硬化性樹脂組成物。 - (A)共重合体を構成する(a1)成分と(a2)成分の割合が、(a1)5〜95重量%、(a2)95〜5重量%〔ただし、(a1)+(a2)=100重量%〕である請求項1記載の熱硬化性樹脂組成物。
- (B)一つ以上のカルボキシル基および一つ以上の(メタ)アクリル基を有する化合物の配合量が、(A)共重合体100重量部に対し10〜200重量部である請求項1または2記載の熱硬化性樹脂組成物。
- (C)接着助剤の配合量が、(A)共重合体100重量部に対し3〜40重量部である請求項1〜3いずれかに記載の熱硬化性樹脂組成物。
- (D)界面活性剤の配合量が、(A)共重合体100重量部に対し0.01〜1重量部である請求項1〜4いずれかに記載の熱硬化性樹脂組成物。
- 前記(A)共重合体が、スチレン/メタクリル酸グリシジル共重合体、スチレン/メタクリル酸トリシクロ[5.2.1.0 2,6 ]デカン−8−イル/メタクリル酸グリシジル共重合体、スチレン/N−シクロヘキシルマレイミド/メタクリル酸グリシジル共重合体、スチレン/N−フェニルマレイミド/メタクリル酸グリシジル共重合体、N−シクロヘキシルマレイミド/メタクリル酸グリシジル共重合体、スチレン/メタクリル酸トリシクロ[5.2.1.0 2,6 ]デカン−8−イル/メタクリル酸/メタクリル酸グリシジル共重合体、スチレン/N−シクロヘキシルマレイミド/メタクリル酸/メタクリル酸グリシジル共重合体、スチレン/N−フェニルマレイミド/メタクリル酸/メタクリル酸グリシジル共重合体、スチレン/メタクリル酸トリシクロ[5.2.1.0 2,6 ]デカン−8−イル/1−エチルシクロヘキシルメタクリレート/メタクリル酸グリシジル共重合体、スチレン/N−シクロヘキシルマレイミド/1−エチルシクロヘキシルメタクリレート/メタクリル酸グリシジル共重合体、スチレン/N−フェニルマレイミド/1−エチルシクロヘキシルメタクリレート/メタクリル酸グリシジル共重合体、スチレン/メタクリル酸トリシクロ[5.2.1.0 2,6 ]デカン−8−イル/1−エチルシクロペンチルメタクリレート/メタクリル酸グリシジル共重合体、スチレン/N−シクロヘキシルマレイミド/1−エチルシクロペンチルメタクリレート/メタクリル酸グリシジル共重合体、スチレン/N−フェニルマレイミド/1−エチルシクロペンチルメタクリレート/メタクリル酸グリシジル共重合体、スチレン/メタクリル酸トリシクロ[5.2.1.0 2,6 ]デカン−8−イル/1−メチルシクロヘキシルメタクリレート/メタクリル酸グリシジル共重合体、スチレン/N−シクロヘキシルマレイミド/1−メチルシクロヘキシルメタクリレート/メタクリル酸グリシジル共重合体、スチレン/N−フェニルマレイミド/1−メチルシクロヘキシルメタクリレート/メタクリル酸グリシジル共重合体、スチレン/メタクリル酸トリシクロ[5.2.1.0 2,6 ]デカン−8−イル/テトラヒドロ−2H−ピラン−2−イルエステル/メタクリル酸グリシジル共重合体、スチレン/N−シクロヘキシルマレイミド/テトラヒドロ−2H−ピラン−2−イルエステル/メタクリル酸グリシジル共重合体および、スチレン/N−フェニルマレイミド/テトラヒドロ−2H−ピラン−2−イルエステル/メタクリル酸グリシジル共重合体からなる群から選ばれた少なくとも1種である、請求項1〜5いずれかに記載の熱硬化性樹脂組成物。
- カラーフィルタの保護膜形成用である請求項1〜6いずれかに記載の熱硬化性樹脂組成物。
- 基板上に、請求項7に記載の熱硬化性樹脂組成物を用いて塗膜を形成し、次いで加熱処理することを特徴とする、カラーフィルタの保護膜の形成方法。
- 請求項8に記載のカラーフィルタの保護膜の形成方法によって形成された、カラーフィルタの保護膜。
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