JP4999685B2 - 光硬化性・熱硬化性樹脂組成物及びその硬化物並びにそれを用いて得られるプリント配線板 - Google Patents
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Description
また、本発明によれば、前記したような光硬化性・熱硬化性樹脂組成物を波長が350〜420nmのレーザー光によって光硬化し、あるいはさらに熱硬化して得られる硬化物、及び該硬化物のパターン皮膜を形成してなるプリント配線板が提供される。
さらに、このようなレーザーダイレクトイメージング用ソルダーレジストを用いることにより、ネガパターンが不要になり、プリント配線板の初期生産性の向上、低コスト化に貢献できる。
また、本発明の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物は、深部硬化性に優れ、高感度で高解像性であることから、信頼性の高いプリント配線板を提供することが可能となる。
2:パターン皮膜
L:ライン幅の設計値
本発明の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物に含まれるカルボキシル基含有樹脂(A)としては、分子中にカルボキシル基を有する公知慣用の樹脂化合物が使用できる。さらに分子中にエチレン性不飽和二重結合を有するカルボキシル基含有感光性樹脂(A’)が、光硬化性や耐現像性の面からより好ましい。
カルボキシル基含有樹脂の具体例としては、下記に列挙するような樹脂が挙げられる。
(2)(メタ)アクリル酸などの不飽和カルボン酸と、それ以外の不飽和二重結合を有する化合物の1種類以上との共重合体に、グリシジル(メタ)アクリレートや3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレートなどのエポキシ基と不飽和二重結合を有する化合物や(メタ)アクリル酸クロライドなどによって、エチレン性不飽和基をペンダントとして付加させることによって得られる感光性のカルボキシル基含有共重合樹脂、
(3)グリシジル(メタ)アクリレートや3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート等のエポキシ基と不飽和二重結合を有する化合物と、それ以外の不飽和二重結合を有する化合物との共重合体に、(メタ)アクリル酸などの不飽和カルボン酸を反応させ、生成した二級の水酸基に多塩基酸無水物を反応させて得られる感光性のカルボキシル基含有共重合樹脂、
(4)無水マレイン酸などの不飽和二重結合を有する酸無水物と、それ以外の不飽和二重結合を有する化合物との共重合体に、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレートなどの水酸基と不飽和二重結合を有する化合物を反応させて得られる感光性のカルボキシル基含有共重合樹脂、
(5)多官能エポキシ化合物と不飽和モノカルボン酸を反応させ、生成した水酸基に飽和又は不飽和多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂、
(6)ポリビニルアルコー誘導体などの水酸基含有ポリマーに、飽和又は不飽和多塩基酸無水物を反応させた後、生成したカルボン酸に一分子中にエポキシ基と不飽和二重結合を有する化合物を反応させて得られる水酸基及びカルボキシル基を含有する感光性樹脂、
(7)多官能エポキシ化合物と、不飽和モノカルボン酸と、一分子中に少なくとも1個のアルコール性水酸基と、エポキシ基と反応するアルコール性水酸基以外の1個の反応性基を有する化合物との反応生成物に、飽和又は不飽和多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂、
(8)一分子中に少なくとも2個のオキセタン環を有する多官能オキセタン化合物に不飽和モノカルボン酸を反応させ、得られた変性オキセタン樹脂中の第一級水酸基に対して飽和又は不飽和多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂、及び
(9)多官能エポキシ樹脂に不飽和モノカルボン酸を反応させた後、多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有樹脂に、さらに、分子中に1個のオキシラン環と1個以上のエチレン性不飽和基を有する化合物を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂
などが挙げられるが、これらに限定されるものではない。
これらの例示の中でも好ましいものとしては、上記(2)、(5)、(7)、(9)のカルボキシル基含有樹脂であり、特に上記(9)のカルボキシル基含有感光性樹脂が、光硬化性、硬化塗膜特性の面から好ましい。
なお、本明細書において、(メタ)アクリレートとは、アクリレート、メタクリレート及びそれらの混合物を総称する用語であり、他の類似の表現についても同様である。
また、上記カルボキシル基含有樹脂(A)の酸価は、40〜200mgKOH/gの範囲が望ましく、より好ましくは45〜120mgKOH/gの範囲である。カルボキシル基含有樹脂の酸価が40mgKOH/g未満であるとアルカリ現像が困難となり、一方、200mgKOH/gを超えると現像液による露光部の溶解が進むために、必要以上にラインが痩せたり、場合によっては、露光部と未露光部の区別なく現像液で溶解剥離してしまい、正常なレジストパターンの描画が困難となるので好ましくない。
また、上記カルボキシル基含有樹脂(A)の重量平均分子量は、樹脂骨格により異なるが、一般的に2,000〜150,000、さらには5,000〜100,000の範囲にあるものが好ましい。重量平均分子量が2,000未満であると、基板への塗布、乾燥後のタックフリー性能が劣ることがあり、また、露光後の塗膜の耐湿性が悪く、現像時に膜減りが生じ、解像度が大きく劣ることがある。一方、重量平均分子量が150,000を超えると、現像性が著しく悪くなることがあり、貯蔵安定性が劣ることがある。
このようなカルボキシル基含有樹脂(A)の配合量は、全組成物の20〜60質量%の範囲が望ましく、好ましくは30〜50質量%である。カルボキシル基含有樹脂(A)の配合量が上記範囲より少ない場合、塗膜強度が低下したりするので好ましくない。一方、上記範囲より多い場合、組成物の粘性が高くなったり、塗布性等が低下するので好ましくない。
このようなアミノアセトフェノン系光重合開始剤(C−1)は、前記オキシムエステル系光重合開始剤(B)の重合を阻害することなく、さらに、前記オキシムエステル系光重合開始剤(B)が、銅との界面で失活した時の光硬化性を補うことにより、銅上でも、充分な光硬化性を与えることができる。
このようなホスフィンオキサイド系光重合開始剤(C−2)は、前記オキシムエステル系光重合開始剤(B)の重合を阻害することなく、さらに、前記オキシムエステル系光重合開始剤(B)が、銅との界面で失活した時の光硬化性を補うことにより、銅上でも、充分な光硬化性を与えることができる。
また、前記一般式(I)で表わされるオキシム系光重合開始剤(B)の配合量は、前記一般式(II)で示される構造を持つアミノアセトフェノン系光重合開始剤(C−1)や前記一般式(III)で表わされるホスフィンオキサイド系光重合開始剤(C−2)の配合量より少ないことが、高感度で厚膜硬化性を得るために、好ましい。
尚、前記一般式(II)で示される構造を持つアミノアセトフェノン系光重合開始剤(C−1)は、前記オキシムエステル系光重合開始剤(B)が銅箔上で失活することに対して有効に作用するが、単独では、400〜420nmのレーザー光に対して吸収波長を持たないため、前記一般式(III)で示される構造を含むホスフィンオキサイド系光重合開始剤(C−2)の方が有効に作用する。このように、400〜420nmのレーザー光に対しては、前記オキシムエステル系光重合開始剤(B)と上記ホスフィンオキサイド系光重合開始剤(C−2)を併用することが好ましい。さらに、アミノアセトフェノン系光重合開始剤(C−1)を併用することが、表面硬化性等の面からより好ましい。これらアミノアセトフェノン系光重合開始剤(C−1)とホスフィンオキサイド系光重合開始剤(C−2)を組み合わせて用いる場合、その比率は特に限定されるものではないが、用いるレーザー光の波長域における乾燥塗膜25μm当たりの吸光度が、0.3〜1.5となるように、配合することが好ましい。
さらに、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂等の多官能エポキシ樹脂に、アクリル酸を反応させたエポキシアクリレート樹脂や、さらにそのエポキシアクリレート樹脂の水酸基に、ペンタエリスリトールトリアクリレート等のヒドロキシアクリレートとイソホロンジイソシアネート等のジイソシアネートのハーフウレタン化合物を反応させたエポキシウレタンアクリレート化合物などが挙げられる。このようなエポキシアクリレート系樹脂は、得られる光硬化性・熱硬化性樹脂組成物の乾燥塗膜の指触乾燥性を低下させることなく、光硬化性を向上させることができる。
これらのフィラー(E)は、単独で又は2種以上配合することができ、塗膜の硬化収縮を抑制し、密着性、硬度などの基本的な特性を向上させることができる。
このような有機溶剤としては、ケトン類、芳香族炭化水素類、グリコールエーテル類、グリコールエーテルアセテート類、エステル類、アルコール類、脂肪族炭化水素、石油系溶剤などが挙げられる。より具体的な例としては、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;トルエン、キシレン、テトラメチルベンゼン等の芳香族炭化水素類;セロソルブ、メチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、カルビトール、メチルカルビトール、ブチルカルビトール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル等のグリコールエーテル類;ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールブチルエーテルアセテート等のグリコールエーテルアセテート類;酢酸エチル、酢酸ブチル及び上記グリコールエーテル類の酢酸エステル化物などのエステル類;エタノール、プロパノール、エチレングリコール、プロピレングリコール等のアルコール類;オクタン、デカン等の脂肪族炭化水素;石油エーテル、石油ナフサ、水添石油ナフサ、ソルベントナフサ等の石油系溶剤などが挙げられる。
このような有機溶剤は、単独で又は2種以上の混合物として用いられる。
本発明の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物を塗布した後に行う揮発乾燥は、熱風循環式乾燥炉、IR炉(赤外線加熱炉)、ホットプレート、コンベクションオーブンなどを用いることができ、蒸気による空気加熱方式の熱源を備えたものを用いて乾燥機内の熱風を向流接触せしめる方法や、ノズルより支持体に吹き付ける方式など、各種方式を採用することができる。
露光は、レーザー光線等により所定のパターン通りに直接描画して行うことができるが、接触式(又は非接触方式)により、所定の露光パターンを形成したフォトマスクを通して選択的に活性エネルギー線により露光することもできる。
次いで、レーザー光線等により直接描画して露光した場合にはそのままの状態で(又は、フォトマスクを用いた場合にはそれを取り除いた後)、未露光部を希アルカリ水溶液(例えば0.3〜3%炭酸ソーダ水溶液)により現像することにより、レジストパターンが形成される。さらに、例えば約140〜180℃の温度に加熱して熱硬化させることにより、前記カルボキシル基含有樹脂(A)のカルボキシル基と、環状(チオ)エーテル化合物などの熱硬化性成分(F)が反応し、耐熱性、耐薬品性、耐吸湿性、密着性、電気特性などの諸特性に優れた硬化皮膜を形成することができる。
上記活性エネルギー線の照射光源としては、各種レーザー光線の他、低圧水銀灯、中圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、キセノンランプ、メタルハライドランプなどが適当である。その他、電子線、α線、β線、γ線、X線中性子線なども利用可能である。
攪拌機、温度計、環流冷却管、滴下ロート及び窒素導入管を備えた2リットルのセパラブルフラスコに、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(日本化薬(株)製、EOCN−104S、軟化点92℃、エポキシ当量220)660g、カルビトールアセテート421.3g、及びソルベントナフサ180.6gを導入し、90℃に加熱・攪拌し、溶解した。次に、この樹脂溶液を一旦60℃まで冷却し、アクリル酸216g、トリフェニルホスフィン4.0g、メチルハイドロキノン1.3gを加えて、100℃で12時間反応させ、酸価が0.2mgKOH/gの反応生成物を得た。これにテトラヒドロ無水フタル酸241.7gを仕込み、90℃に加熱し、6時間反応させた。これにより、酸価50mgKOH/g、二重結合当量(不飽和基1モル当りの樹脂のg重量)400、重量平均分子量7,000のカルボキシル基含有樹脂(A)の溶液を得た。以下、このカルボキシル基含有樹脂の溶液を、A−1ワニスと称す。
攪拌機、温度計、環流冷却管、滴下ロート及び窒素導入管を備えた2リットルのセパラブルフラスコに、o−クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(エポキシ当量215、1分子中に平均して6個のフェノール核を有する)430g及びアクリル酸144g(2モル)を仕込んだ。この反応混合物を撹拌しつつ120℃まで加熱し、120℃を保ったまま10時間反応を続けた。いったん反応生成物を室温まで冷却し、無水コハク酸190g(1.9モル)を加え、80℃に加熱して4時間反応させた。ふたたび、この反応生成物を室温まで冷却した。この生成物固形分の酸価は、139mgKOH/gであった。
この溶液にグリシジルメタクリレート85.2g(0.6モル)及びプロピレングリコールメチルエーテルアセテート45.9gを加え、撹拌しつつ110℃まで加熱し、110℃を保ったまま6時間反応を続けた。この反応生成物を室温まで冷却したところ、粘調な溶液が得られた。このようにして、不揮発分65質量%、固形分酸価86mgKOH/gのカルボキシル基含有樹脂(A)の溶液を得た。以下、このカルボキシル基含有樹脂の溶液を、A−2ワニスと称す。
攪拌機、温度計、環流冷却管、滴下ロート及び窒素導入管を備えた2リットルのセパラブルフラスコに、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂のエピクロンN−680(大日本インキ化学工業(株)製、エポキシ当量=215)215部を入れ、カルビトールアセテート266.5部を加え、加熱溶解した。この樹脂溶液に、重合禁止剤としてハイドロキノン0.05部と、反応触媒としてトリフェニルホスフィン1.0部を加えた。この混合物を85〜95℃に加熱し、アクリル酸72部を徐々に滴下し、24時間反応させた。得られたエポキシアクリレートに、予めイソホロンジイソシアネートとペンタエリスリトールトリアクリレートを1:1モルで反応させたハーフウレタン208部を徐々に滴下し、60〜70℃で4時間反応させた。このようにして得られた分子中に2個以上のエチレン性不飽和基を有する化合物(D)であるエポキシウレタンアクリレートワニスを、以下D−1ワニスと称す。
上記合成例1〜3の樹脂溶液を用い、表1に示す種々の成分と共に表1に示す割合(質量部)にて配合し、攪拌機にて予備混合した後、3本ロールミルで混練し、各光硬化性・熱硬化性樹脂組成物を調製した。ここで、得られた各光硬化性・熱硬化性樹脂組成物の分散度を、エリクセン社製グラインドメータによる粒度測定にて評価したところ、15μm以下であった。
<深部硬化性>
ライン/スペースが300/300、銅厚35μmの回路パターン基板をバフロール研磨後、水洗し、乾燥した後、これに、以上のようにして調製した実施例1〜9及び比較例1〜3の各光硬化性・熱硬化性樹脂組成物をスクリーン印刷法により塗布し、80℃の熱風循環式乾燥炉で30分間乾燥させた。乾燥後、最大波長350〜370nmの半導体レーザーを搭載した直接描画装置を用いて露光した。露光パターンは、スペース部に20/30/40/50/60/70/80/90/100μmのラインを描画させるパターンを使用した。露光量は感光性樹脂組成物上40mJ/cm2となるように活性エネルギー線を照射した。露光後、30℃の1wt%炭酸ナトリウム水溶液により現像を行って未露光部を除去することにより、パターンを形成し、次いで150℃×60分の熱硬化をすることにより硬化塗膜を得た。
得られた光硬化性・熱硬化性樹脂組成物の硬化塗膜の最小残存ラインを、200倍に調整した光学顕微鏡を用いてカウントした。また、ライン中央部を切断し、鏡面仕上げを行った後、1000倍に調整した光学顕微鏡を用いて硬化塗膜の最小残存ラインの上部径、下部径、及び膜厚を測長した。評価基準は最小残存ラインが小さい場合ほど、さらに下部径が設計値に近いほど深部硬化性が良好とした。その評価結果を表2に示す。
ライン/スペースが300/300、銅厚50μmの回路パターン基板をバフロール研磨後、水洗し、乾燥した後、これに、前記実施例1〜9及び比較例1〜3の各光硬化性・熱硬化性の樹脂組成物をスクリーン印刷法により塗布し、80℃の熱風循環式乾燥炉で30分間乾燥させた。乾燥後、波長350〜370nmの半導体レーザーを搭載した直接描画装置を用いて露光した。露光パターンは、スペース部に20/30/40/50/60/70/80/90/100μmのラインを描画させるパターンを使用した。露光量は、上記最適露光量評価によって得られた露光量とした。露光後、1wt%炭酸ナトリウム水溶液により現像を行って未露光部を除去することにより、パターンを形成し、次いで高圧水銀灯で1000mJ/cm2の紫外線照射後、150℃×60分の熱硬化をすることにより硬化塗膜を得た。硬化塗膜の設計値100μmライン部のクロスセクションを観察した。
この断面形状を、図1に記載した模式図のように、図1の(A)〜(E)に対応するA〜Eの5段階に別けて評価した。図1(A)〜(E)は、以下のような現象が発生した時の模式図を示す。特に、A評価の場合、基板1上に形成したパターン皮膜2のライン幅の設計値Lからのずれが、ライン上部、下部共に5μm以内のものとした。その結果を表2に示す。
A評価:設計幅通りの理想状態(図1(A)に示す状態)
B評価:耐現像性不足等によるライン上部のライン幅減少発生(図1(B)に示す状態)
C評価:アンダーカット状態(図1(C)に示す状態)
D評価:ハレーション等によるライン下部の線太り発生(図1(D)に示す状態)
E評価:ライン上部の線太りとアンダーカットが発生(図1(E)に示す状態)
ライン/スペースが300/300、銅厚35μmの回路パターン基板をバフロール研磨後、水洗し、乾燥した後、これに、前記実施例1〜9及び比較例1〜3の各光硬化性・熱硬化性樹脂組成物をスクリーン印刷法により塗布し、80℃の熱風循環式乾燥炉で60分間乾燥させた。その後、最大波長350〜370nmの半導体レーザーを搭載した直接描画装置を用いて露光した。露光パターンは全面露光パターンを使用した。露光量は感光性樹脂組成物上40mJ/cm2となるように活性エネルギー線を照射した。露光後、現像(30℃、スプレー圧0.2MPa、1wt%炭酸ナトリウム水溶液)を60秒行って未露光部を除去することにより、パターンを形成し、次いで150℃×60分の熱硬化をすることにより硬化塗膜を得た。
このようにして得られた硬化塗膜の表面硬化性は、光沢度計マイクロトリグロス(ビッグガードナー社製)を用いて60°の光沢度について評価した。評価基準は、現像後の光沢度50以上を良好、光沢度50未満を不良とした。その評価結果を表2に示す。
上記<表面硬化性>の評価方法と同様にして銅回路パターン基板上に前記実施例1〜9及び比較例1〜3の各光硬化性・熱硬化性樹脂組成物の硬化塗膜を形成し、この硬化塗膜の剥離の有無を、1000倍に調整した光学顕微鏡を用いて確認した。評価基準は、剥離が発生していない場合を良好、大きさと個数に限らず剥離が発生した場合を不良とした。その評価結果を表2に示す。
吸光度の測定には、紫外可視分光光度計(日本分光株式会社製 Ubest−V−570DS)、及び積分球装置(日本分光株式会社製 ISN−470)を使用した。
実施例1〜9及び比較例1〜3の各光硬化性・熱硬化性の樹脂組成物をガラス板にアプリケーターで塗布した後、熱風循環式乾燥炉を用いて80℃で30分乾燥し、光硬化性・熱硬化性樹脂組成物の乾燥塗膜をガラス板上に作製した。
紫外可視分光光度計及び積分球装置を用いて、光硬化性・熱硬化性樹脂組成物を塗布したガラス板と同一のガラス板で、500〜300nmにおける吸光度ベースラインを測定した。一方、作製した乾燥塗膜付きガラス板の吸光度を測定し、上記ベースラインに基づき乾燥塗膜自体の吸光度を算出し、目的の光の波長355nmにおける吸光度を得た。塗布膜厚のずれによる吸光度のずれを防ぐため、この作業をアプリケーターによる塗布厚を4段階に変えて行い、塗布厚と355nmにおける吸光度のグラフを作成し、その近似式から膜厚25μmの乾燥塗膜の吸光度を算出して、それぞれの吸光度とした。
その評価結果を表2に示す。
上記合成例1〜3の樹脂溶液を用い、表3に示す種々の成分と共に表3に示す割合(質量部)にて配合し、攪拌機にて予備混合した後、3本ロールミルで混練し、各光硬化性・熱硬化性樹脂組成物を調製した。ここで、得られた各光硬化性・熱硬化性樹脂組成物の分散度をエリクセン社製グラインドメータによる粒度測定にて評価したところ、15μm以下であった。
<深部硬化性>
このようにして調製した実施例10〜12及び比較例4〜6の各光硬化性・熱硬化性樹脂組成物を用い、露光を最大波長355nmと405nmのそれぞれの半導体レーザーを搭載した直接描画装置を用いて行った以外は、前記<深部硬化性>の評価方法と同様にして、硬化塗膜の深部硬化性を評価した。その評価結果を表4に示す。
前記実施例10〜12及び比較例4〜6の各光硬化性・熱硬化性樹脂組成物を用い、露光を最大波長355nmと405nmのそれぞれの半導体レーザーを搭載した直接描画装置を用いて行った以外は、前記<表面硬化性>の評価方法と同様にして、硬化塗膜の表面硬化性を評価した。その評価結果を表4に示す。
前記実施例10〜12及び比較例4〜6の各光硬化性・熱硬化性樹脂組成物を用いた以外は、前記<熱安定性>の評価方法と同様にして、硬化塗膜の剥離の有無を評価した。その評価結果を表4に示す。
その結果を表5に示す。
上記合成例1〜3の樹脂溶液を用い、表6に示す種々の成分と共に表6に示す割合(質量部)にて配合し、攪拌機にて予備混合した後、3本ロールミルで混練し、各光硬化性・熱硬化性樹脂組成物を調製した。ここで、得られた各光硬化性・熱硬化性樹脂組成物の分散度をエリクセン社製グラインドメータによる粒度測定にて評価したところ、15μm以下であった。
<表面硬化性>
前記実施例13〜20及び比較例7〜9の各光硬化性・熱硬化性樹脂組成物を用い、露光を最大波長400〜420nmの青紫レーザーを搭載した直接描画装置を用いて行った以外は、前記<表面硬化性>の評価方法と同様にして、硬化塗膜の表面硬化性を評価した。その評価結果を表7に示す。
前記実施例13〜20及び比較例7〜9の各光硬化性・熱硬化性樹脂組成物を用い、露光を波長405nmの青紫レーザーを搭載した直接描画装置を用いて行った以外は、前記<断面形状>の評価方法と同様にして、硬化塗膜の断面形状を評価した。その評価結果を表7に示す。
前記実施例13〜20及び比較例7〜9の各光硬化性・熱硬化性樹脂組成物を用いた以外は、前記<熱安定性>の評価方法と同様にして、硬化塗膜の剥離の有無を評価した。その評価結果を表7に示す。
吸光度の測定には、紫外可視分光光度計(日本分光株式会社製 Ubest−V−570DS)及び積分球装置(日本分光株式会社製 ISN−470)を使用した。
前記実施例13〜20及び比較例7〜9の各光硬化性・熱硬化性の樹脂組成物をガラス板にアプリケーターで塗布した後、熱風循環式乾燥炉を用いて80℃で30分乾燥し、光硬化性・熱硬化性の樹脂組成物の乾燥塗膜をガラス板上に作製した。
紫外可視分光光度計及び積分球装置を用いて、光硬化性・熱硬化性の樹脂組成物を塗布したガラス板と同一のガラス板で、500〜300nmにおける吸光度ベースラインを測定した。一方、作製した乾燥塗膜付きガラス板の吸光度を測定し、上記ベースラインに基づき、乾燥塗膜自体の吸光度を算出し、目的の光の波長405nmにおける吸光度を得た。塗布膜厚のずれによる吸光度のずれを防ぐため、この作業をアプリケーターによる塗布厚を4段階に変えて行い、塗布厚と405nmにおける吸光度のグラフを作成し、その近似式から膜厚25μmの乾燥塗膜の吸光度を算出して、それぞれの吸光度とした。
その評価結果を表7に示す。
Claims (13)
- (A)カルボキシル基含有樹脂、(B)下記一般式(I)で示されるオキシムエステル基を含むオキシムエステル系光重合開始剤、(C)下記一般式(II)で示される構造を持つアミノアセトフェノン系光重合開始剤(C−1)及び/又は下記一般式(III)で示される構造を含むホスフィンオキサイド系光重合開始剤(C−2)、(D)分子中に2個以上のエチレン性不飽和基を有する化合物、(E)フィラー、及び(F)熱硬化性成分を含有する希アルカリ溶液により現像可能な組成物であって、その乾燥塗膜の波長355nm又は405nmの少なくともいずれかにおける吸光度が、厚さ25μm当り0.3〜1.5であり、最大波長が350nm〜420nmのレーザー発振光源によって硬化可能である光硬化性・熱硬化性樹脂組成物。
- (A)カルボキシル基含有樹脂、(B)下記一般式(I)で示されるオキシムエステル基を含むオキシムエステル系光重合開始剤、(C−1)下記一般式(II)で示される構造を持つアミノアセトフェノン系光重合開始剤、(D)分子中に2個以上のエチレン性不飽和基を有する化合物、(E)フィラー、及び(F)熱硬化性成分を含有する希アルカリ溶液により現像可能な組成物であって、その乾燥塗膜の波長355nmにおける吸光度が、厚さ25μm当り0.3〜1.5であり、最大波長が350〜370nmのレーザー発振光源によって硬化可能である光硬化性・熱硬化性樹脂組成物。
- (A)カルボキシル基含有樹脂、(B)下記一般式(I)で示されるオキシムエステル基を含むオキシムエステル系光重合開始剤、(C−2)下記一般式(III)で示される構造を含むホスフィンオキサイド系光重合開始剤、(D)分子中に2個以上のエチレン性不飽和基を有する化合物、(E)フィラー、及び(F)熱硬化性成分を含有する希アルカリ溶液により現像可能な組成物であって、その乾燥塗膜の波長405nmにおける吸光度が、厚さ25μm当り0.3〜1.5であり、最大波長が400〜420nmのレーザー発振光源によって硬化可能である光硬化性・熱硬化性樹脂組成物。
- 前記カルボキシル基含有樹脂(A)が、(a)多官能エポキシ樹脂に(b)不飽和モノカルボン酸を反応させた後、(c)多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有樹脂に、さらに、(d)分子中に1個のオキシラン環と1個以上のエチレン性不飽和基を有する化合物を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物。
- 前記分子中に2個以上のエチレン性不飽和基を有する化合物(D)が、エポキシアクリレート系樹脂であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物。
- 前記オキシムエステル系光重合開始剤(B)が、下記式(IV)で表わされる光重合開始剤であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物。
- さらに、(G)チオキサントン系光重合開始剤を含むことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物。
- 銅回路上の絶縁層として用いることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一項に記載の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物。
- 前記請求項1乃至8のいずれか一項に記載の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物を、キャリアフィルムに塗布・乾燥して得られる光硬化性・熱硬化性のドライフィルム。
- 前記請求項1乃至8のいずれか一項に記載の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物、又は前記請求項9記載のドライフィルムを、銅上にて光硬化して得られる硬化物。
- 前記請求項1乃至8のいずれか一項に記載の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物、又は前記請求項9記載のドライフィルムを、レーザー発振光源にて光硬化して得られる硬化物。
- 前記請求項1乃至8のいずれか一項に記載の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物、又は前記請求項9記載のドライフィルムを、波長が350nm〜420nmのレーザー光によって光硬化させた後、熱硬化して得られる硬化物。
- 前記請求項1乃至8のいずれか一項に記載の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物、又は前記請求項9記載のドライフィルムを、波長が350nm〜420nmのレーザー光によって光硬化させた後、熱硬化して得られる硬化物を有するプリント配線板。
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