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JP4960428B2 - Chip holder unit - Google Patents

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Description

本発明は、脆性材料基板をスクライブするためのスクライビングホイールを保持するチップホルダユニットに関する。   The present invention relates to a chip holder unit that holds a scribing wheel for scribing a brittle material substrate.

脆性材料基板を所望の寸法にスクライブし、分断するためスクライブ装置が用いられる。スクライブ装置は、脆性材料基板と対向するスクライブヘッドにチップホルダユニットを備えている。図1は、従来のチップホルダユニットの側面図である。チップホルダユニット100は、チップホルダ110、スクライビングホイール120、及びピン130を有し、チップホルダにスクライビングホイールを取り付けたものである。   A scribing device is used for scribing and dividing the brittle material substrate to a desired dimension. The scribing device includes a chip holder unit on a scribing head facing the brittle material substrate. FIG. 1 is a side view of a conventional chip holder unit. The chip holder unit 100 includes a chip holder 110, a scribing wheel 120, and a pin 130, and the scribing wheel is attached to the chip holder.

図1に示すようにチップホルダ110の下部には、ホルダ溝111及びピン孔112が形成されている。スクライビングホイール120は円板状の部材であり、2つの円形の側面の中心を貫通する貫通孔を有し、スクライビングホイール120の外周部に沿ったV字形の刃を有する。V字形の刃先は、スクライビングホイール120の外周に沿った稜線を形成している。稜線の両側の傾斜面(外周辺部)は、通常、90〜160°の角度(収束角)で相互に交差し稜線を形成する。ピン130は円柱形の部材であり、スクライビングホイール120の貫通孔及びホルダ110のピン孔112に挿入されて、スクライビングホイール120を回転自在に保持するものである。   As shown in FIG. 1, a holder groove 111 and a pin hole 112 are formed in the lower part of the chip holder 110. The scribing wheel 120 is a disk-shaped member, has a through-hole penetrating the center of two circular side surfaces, and has a V-shaped blade along the outer periphery of the scribing wheel 120. The V-shaped cutting edge forms a ridge line along the outer periphery of the scribing wheel 120. The inclined surfaces (outer peripheral portions) on both sides of the ridge line usually intersect with each other at an angle (convergence angle) of 90 to 160 ° to form a ridge line. The pin 130 is a cylindrical member, and is inserted into the through hole of the scribing wheel 120 and the pin hole 112 of the holder 110 to hold the scribing wheel 120 rotatably.

チップホルダ100は、ピン130を用いてスクライビングホイール120をホルダ溝111内で保持し、図示しない軸押さえカバーにより保持している。このようなチップホルダユニットを備えるスクライブ装置として、特許文献1に示すものがある。   The chip holder 100 holds the scribing wheel 120 in the holder groove 111 using pins 130 and holds it by a shaft pressing cover (not shown). There exists a thing shown in patent document 1 as a scribe apparatus provided with such a chip holder unit.

国際特許公開 WO2007/063979号公報International Patent Publication No. WO2007 / 063979

従来のスクライビングホイールはピン溝を軸受としているため、スクライビングホイールの回転抵抗が大きくホルダ溝との間のクリアランスが大きければ、基板に形成するスクライブラインの直線性が低下する。直線性を適切に保った場合の転がり摩擦係数は、例えば0.2〜0.25cN・cmとなり、時間と共に摩擦係数が増加する傾向にあった。従ってスクライビングホイールを抵抗を少なくして安定して保持することが難しいという欠点があった。   Since the conventional scribing wheel uses the pin groove as a bearing, if the rotational resistance of the scribing wheel is large and the clearance with the holder groove is large, the linearity of the scribe line formed on the substrate is lowered. When the linearity is appropriately maintained, the rolling friction coefficient is, for example, 0.2 to 0.25 cN · cm, and the friction coefficient tends to increase with time. Therefore, there has been a drawback that it is difficult to stably hold the scribing wheel with low resistance.

本発明はこのような従来の問題点に鑑みてなされたものであって、ピンによってスクライビングホイールを回転自在に保持するチップホルダユニットを用い、スクライビングホイールを安定して保持しつつ回転抵抗を少なくすることができるチップホルダユニットを提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such conventional problems, and uses a tip holder unit that rotatably holds a scribing wheel by a pin, and reduces rotational resistance while stably holding the scribing wheel. An object of the present invention is to provide a chip holder unit that can be used.

この課題を解決するために、本発明のチップホルダユニットは、円板状であって中心に貫通孔を有し、円板外周部に沿ってV字形の稜線をなす刃先を形成する2つの曲面を有するスクライビングホイールと、互いに平行な対向する面を有する一対の支持部の間に前記スクライビングホイールを挿入するための一定の幅を持つホルダ溝、前記一対の支持部を同軸に貫通するピン孔、及び前記ピン孔及び前記スクライビングホイールの貫通孔に挿入され、前記ホルダ溝内で前記スクライビングホイールを回転自在に保持するピンを有するホルダと、を具備するチップホルダユニットにおいて、スクライビングホイールの両側の側壁に接触する所定の厚さを有する円筒形状の一対のカラーと、前記一対のカラーと支持部との間に設けられ、前記カラー及び前記スクライビングホイールを回転自在に保持するベアリングと、を有し、前記一対のカラーは前記ベアリングの内輪にのみ接触するものであり、前記一対のカラーは前記ベアリングの外輪よりも大きいフランジを有し、前記フランジは前記ベアリングと前記スクライビングホイールに接触しないものである。 In order to solve this problem, the chip holder unit of the present invention has a disk shape, a through hole in the center, and two curved surfaces that form a cutting edge that forms a V-shaped ridge line along the outer periphery of the disk. A holder groove having a certain width for inserting the scribing wheel between a pair of support portions having opposing surfaces parallel to each other, a pin hole coaxially penetrating the pair of support portions, And a holder having a pin that is inserted into the pin hole and the through hole of the scribing wheel and rotatably holds the scribing wheel in the holder groove, on a side wall on both sides of the scribing wheel. A pair of cylindrical collars having a predetermined thickness in contact with each other, and provided between the pair of collars and the support portion; And have a, a bearing for rotatably holding the scribing wheel, the pair of color is one that contacts only the inner ring of the bearing, said pair of collar has a larger flange than the outer ring of the bearing The flange does not contact the bearing and the scribing wheel .

このような特徴を有する本発明のチップホルダユニットによれば、スクライビングホイールに貫通するピンを一対のベアリングで保持している。このため転がり摩擦係数が小さくなり、回転を円滑にすることができる。転がり摩擦係数は長時間を経過しても増加することなく、円滑な回転を維持することができる。   According to the chip holder unit of the present invention having such a feature, the pins penetrating the scribing wheel are held by the pair of bearings. For this reason, a rolling friction coefficient becomes small and rotation can be made smooth. The rolling friction coefficient can be maintained smoothly without increasing even after a long time.

図1は従来のホルダユニットの構成を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a conventional holder unit. 図2は本発明の第1の実施の形態によるチップホルダユニットの構成を示す正面図である。FIG. 2 is a front view showing the configuration of the chip holder unit according to the first embodiment of the present invention. 図3は本発明の第1の実施の形態によるチップホルダの構成を示す正面図である。FIG. 3 is a front view showing the configuration of the chip holder according to the first embodiment of the present invention. 図4は本発明の第1の実施の形態によるチップホルダの側面図である。FIG. 4 is a side view of the chip holder according to the first embodiment of the present invention. 図5は本発明の第1の実施の形態によるチップホルダの断面図である。FIG. 5 is a sectional view of the chip holder according to the first embodiment of the present invention. 図6は本発明の第1の実施の形態によるカバープレートの正面図である。FIG. 6 is a front view of the cover plate according to the first embodiment of the present invention. 図7は本発明の第1の実施の形態によるチップホルダユニットの構成を示す断面図である。FIG. 7 is a sectional view showing the configuration of the chip holder unit according to the first embodiment of the present invention. 図8は本発明の実施の形態によるカラーの一例を示す斜視図である。FIG. 8 is a perspective view showing an example of a collar according to the embodiment of the present invention. 図9は本発明の第2の実施の形態によるチップホルダユニットの構成を示す断面図である。FIG. 9 is a cross-sectional view showing a configuration of a chip holder unit according to the second embodiment of the present invention.

(第1の実施の形態)
本発明の第1の実施の形態によるチップホルダユニットについて図面を用いて説明する。図2はチップホルダユニットの正面図である。チップホルダユニット1はチップホルダ10とスクライビングホイール30を有しており、チップホルダ10の下端にスクライビングホイール30を回転自在に保持するものである。チップホルダ10は図3,図4,図5に示すように、下方が三角形状に形成された直方体状の部材であり、上部にチップホルダ10を固定するための貫通孔11を有している。チップホルダ10の下方には三角形状のホルダ溝12が下方を開放するように形成され、ホルダ溝12を挟むこの三角形状の部分を支持部13,14とする。チップホルダ10の支持部13,14の相対向する面はほぼ平行に形成され、ホルダ溝12の間隔wはスクライビングホイール30の幅より十分大きくなるようにしておく。
(First embodiment)
A chip holder unit according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 2 is a front view of the chip holder unit. The chip holder unit 1 has a chip holder 10 and a scribing wheel 30. The scribing wheel 30 is rotatably held at the lower end of the chip holder 10. As shown in FIGS. 3, 4, and 5, the chip holder 10 is a rectangular parallelepiped member formed in a triangular shape on the lower side, and has a through hole 11 for fixing the chip holder 10 on the upper part. . A triangular holder groove 12 is formed below the chip holder 10 so as to open downward, and the triangular portions sandwiching the holder groove 12 are referred to as support portions 13 and 14. The opposing surfaces of the support portions 13 and 14 of the chip holder 10 are formed substantially in parallel, and the interval w between the holder grooves 12 is set to be sufficiently larger than the width of the scribing wheel 30.

左右の支持部13,14の最下端には支持部13,14を夫々貫通するピン孔15,16が同軸に形成される。ピン孔15,16はホルダ溝12と垂直に交差しており、スクライビングホイール30のピンを保持する円形の貫通孔である。ピン孔15,16は下端がわずかに開放されたスリットとなっている。又この支持部13,14の左右には両側の支持部13,14を貫通するねじ溝17,18が形成されている。   Pin holes 15 and 16 penetrating the support portions 13 and 14 are formed coaxially at the lowermost ends of the left and right support portions 13 and 14, respectively. The pin holes 15 and 16 intersect the holder groove 12 perpendicularly and are circular through holes that hold the pins of the scribing wheel 30. The pin holes 15 and 16 are slits whose lower ends are slightly opened. In addition, screw grooves 17 and 18 penetrating the support portions 13 and 14 on both sides are formed on the left and right sides of the support portions 13 and 14.

スクライビングホイール30は、例えば焼結ダイヤモンドで形成された、例えば厚さdが約0.65mmの円板状の部材であって、中心に貫通孔を有している。またスクライビングホイール30は、外周部に沿って稜線を形成するV字形の刃を有している。稜線の両側の傾斜面(外周辺部)は、通常、75〜170°の角度、より好ましくは90〜150°の角度(収束角)で相互に交差し稜線を形成する。ピン31は、例えば、超硬合金等の金属、焼結ダイヤモンドで形成された円柱形の部材であって、一端が尖頭形状を有している。   The scribing wheel 30 is a disk-shaped member made of, for example, sintered diamond and having a thickness d of about 0.65 mm, for example, and has a through hole at the center. The scribing wheel 30 has a V-shaped blade that forms a ridge line along the outer periphery. The inclined surfaces (outer peripheral portions) on both sides of the ridge line usually intersect with each other at an angle of 75 to 170 °, more preferably 90 to 150 ° (convergence angle) to form a ridge line. The pin 31 is, for example, a cylindrical member formed of a metal such as cemented carbide or sintered diamond, and one end has a pointed shape.

図6はチップホルダの左右の支持部13,14の外側に取付けられるカバープレートを示す。カバープレートとしては同一形状の2枚のカバープレート20A,20Bが用いられるので、以下カバープレート20Aについて説明する。カバープレート20Aは支持部13とほぼ同一形状の略三角形状の平板状部材であり、支持部13,14のねじ溝17,18に対応する位置には、貫通孔21,22が形成されている。   FIG. 6 shows a cover plate attached to the outside of the left and right support parts 13 and 14 of the chip holder. Since two cover plates 20A and 20B having the same shape are used as the cover plate, the cover plate 20A will be described below. The cover plate 20 </ b> A is a substantially triangular flat plate member having substantially the same shape as the support portion 13, and through holes 21 and 22 are formed at positions corresponding to the screw grooves 17 and 18 of the support portions 13 and 14. .

さてこのチップホルダユニットの組立てについて図2及び図7を用いて説明する。まず支持部13側よりプレート20Aをねじ24A,25Aによって取付け、ピン孔15の一端を閉じる。次いでピン31を尖頭形状の部分からピン孔16、及びベアリング41,図8(a)に示す円筒形状のカラー42に挿入し、スクライビングホイール30をホルダ溝12内に挿入して保持しつつスクライビングホイール30の貫通孔に挿入し、更にピン孔15に挿入する。次いでピン31にカラー43,ベアリング44を貫通させる。これにより図7に示すようにスクライビングホイール30の右側壁にカラー42を接触させ、カラー42にベアリング41の内輪を接触させ、ベアリング41の外輪を支持部13に接触させて配置することができる。同様にスクライビングホイール30の左側壁に円筒形状のカラー43を接触させ、カラー43にベアリング44の内輪を接触させ、ベアリング44の外輪を支持部14に接触するように配置する。即ちカラー42,43は夫々ベアリング41,44の内輪にのみ接触している。次にチップホルダ10の支持部14の外側より夫々カバープレート20Bを図示しないねじ25Aと、ねじ25Bによって取付けて固定する。これによりピン孔16の左端を閉じることができ、ピン31はピン孔から脱落することはなくなる。そしてカラー42,43の厚さを適宜選択しておくことにより、スクライビングホイール30は軸方向にほとんど移動することなく、カラー42,43と共にベアリング41,44により回転自在に保持されることとなる。   Now, the assembly of the chip holder unit will be described with reference to FIGS. First, the plate 20A is attached by screws 24A and 25A from the support portion 13 side, and one end of the pin hole 15 is closed. Next, the pin 31 is inserted into the pin hole 16, the bearing 41, and the cylindrical collar 42 shown in FIG. 8A from the pointed portion, and the scribing wheel 30 is inserted into the holder groove 12 and held while being scribed. It is inserted into the through hole of the wheel 30 and further inserted into the pin hole 15. Next, the collar 31 and the bearing 44 are passed through the pin 31. 7, the collar 42 can be brought into contact with the right side wall of the scribing wheel 30, the inner ring of the bearing 41 can be brought into contact with the collar 42, and the outer ring of the bearing 41 can be brought into contact with the support portion 13. Similarly, the cylindrical collar 43 is brought into contact with the left side wall of the scribing wheel 30, the inner ring of the bearing 44 is brought into contact with the collar 43, and the outer ring of the bearing 44 is arranged in contact with the support portion 14. That is, the collars 42 and 43 are in contact only with the inner rings of the bearings 41 and 44, respectively. Next, the cover plate 20B is attached and fixed by screws 25A and 25B (not shown) from the outside of the support portion 14 of the chip holder 10, respectively. As a result, the left end of the pin hole 16 can be closed, and the pin 31 will not fall out of the pin hole. By appropriately selecting the thicknesses of the collars 42 and 43, the scribing wheel 30 is held rotatably by the bearings 41 and 44 together with the collars 42 and 43 without moving in the axial direction.

ここでベアリング41,44は、例えば内径が0.7mm、外径が2.0mmの小径のベアリングである。このような小径のベアリングでスクライビングホイールの両端を保持することによって、スクライビングホイールを回転させてスクライブする際に軸受部の摩擦が少なくなり、転がり摩擦係数を例えば0.05〜0.07cN・mのように大幅に少なくすることができる。そのため回転がスムーズとなり、スクライブ荷重を軽くすることができる。又スクライブ荷重がロスなくスクライビングホイールに伝わるため、スクライブラインの直線性を向上させることができる。   Here, the bearings 41 and 44 are small-diameter bearings having an inner diameter of 0.7 mm and an outer diameter of 2.0 mm, for example. By holding both ends of the scribing wheel with such a small-diameter bearing, when the scribing wheel is rotated and scribed, the friction of the bearing portion is reduced, and the rolling friction coefficient is, for example, 0.05 to 0.07 cN · m. Can be greatly reduced. Therefore, rotation becomes smooth and a scribe load can be lightened. Further, since the scribe load is transmitted to the scribing wheel without loss, the linearity of the scribe line can be improved.

尚この実施の形態ではピン孔15,16の両側よりカバープレート20A,20Bを用いてピンを保持するようにしているが、一方のピン孔の径を支持部外周側で狭くしてピンを保持するようにしてもよい。   In this embodiment, the pins are held by using the cover plates 20A and 20B from both sides of the pin holes 15 and 16, but the diameter of one pin hole is narrowed on the outer peripheral side of the support portion to hold the pin. You may make it do.

(第2の実施の形態)
第1の実施の形態ではカラー42,43は単なる円筒形の部材としたが、カラー45(46)として図8(b)に示すようにベアリング41,44の外輪には接触しないフランジ45a(46a)を有するものとしてもよい。図9はこのカラー45,46を用いた第2の実施の形態によるチップホルダユニットの断面図である。こうすればフランジ45a,46aによりベアリング41,44内にスクライブ時のカレットが混入する可能性を少なくすることができる。
(Second Embodiment)
In the first embodiment, the collars 42 and 43 are simply cylindrical members. However, as shown in FIG. 8B, the collar 45 (46) is a flange 45a (46a) that does not contact the outer ring of the bearings 41 and 44. ). FIG. 9 is a cross-sectional view of the chip holder unit according to the second embodiment using the collars 45 and 46. In this way, the possibility of mixing cullet during scribing into the bearings 41 and 44 by the flanges 45a and 46a can be reduced.

本実施の形態によるチップホルダユニットは、自動的に脆性材料基板をスクライブする自動スクライブ装置に限らず、脆性材料基板を手切りする脆性材料切断用カッターに取り付けて用いることもできる。   The chip holder unit according to the present embodiment is not limited to an automatic scribing device that automatically scribes a brittle material substrate, but can also be used by being attached to a brittle material cutting cutter that manually cuts a brittle material substrate.

本発明は、スクライブ中のスクライビングホイールの位置を安定させることができるので、スクライブを自動で行うスクライブ装置や、脆性材料基板を手切りする脆性材料切断用カッターに用いることができる。   Since the position of the scribing wheel during scribing can be stabilized, the present invention can be used for a scribing device that automatically performs scribing and a brittle material cutting cutter that manually cuts a brittle material substrate.

1 チップホルダユニット
10 チップホルダ
11 貫通孔
12 ホルダ溝
13,14 支持部
15,16 ピン孔
20A,20B カバープレート
24A,24B,25A,25B ねじ
30 スクライビングホイール
31 ピン
42,43,45,46 カラー
41,44 ベアリング
45a,46a フランジ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Tip holder unit 10 Tip holder 11 Through-hole 12 Holder groove 13, 14 Support part 15, 16 Pin hole 20A, 20B Cover plate 24A, 24B, 25A, 25B Screw 30 Scribing wheel 31 Pin 42, 43, 45, 46 Color 41 44 Bearing 45a, 46a Flange

Claims (1)

円板状であって中心に貫通孔を有し、円板外周部に沿ってV字形の稜線をなす刃先を形成する2つの曲面を有するスクライビングホイールと、
互いに平行な対向する面を有する一対の支持部の間に前記スクライビングホイールを挿入するための一定の幅を持つホルダ溝、前記一対の支持部を同軸に貫通するピン孔、及び前記ピン孔及び前記スクライビングホイールの貫通孔に挿入され、前記ホルダ溝内で前記スクライビングホイールを回転自在に保持するピンを有するホルダと、を具備するチップホルダユニットにおいて、
スクライビングホイールの両側の側壁に接触する所定の厚さを有する円筒形状の一対のカラーと、
前記一対のカラーと支持部との間に設けられ、前記カラー及び前記スクライビングホイールを回転自在に保持するベアリングと、を有し、
前記一対のカラーは前記ベアリングの内輪にのみ接触するものであり、前記一対のカラーは前記ベアリングの外輪よりも大きいフランジを有し、前記フランジは前記ベアリングと前記スクライビングホイールに接触しないチップホルダユニット。
A scribing wheel having two curved surfaces that are disk-shaped and have a through-hole in the center, forming a cutting edge forming a V-shaped ridge line along the outer periphery of the disk;
A holder groove having a certain width for inserting the scribing wheel between a pair of support portions having opposing surfaces parallel to each other, a pin hole passing coaxially through the pair of support portions, and the pin hole and In a chip holder unit comprising a holder inserted into a through hole of a scribing wheel and having a pin that rotatably holds the scribing wheel in the holder groove,
A pair of cylindrical collars having a predetermined thickness contacting the side walls on both sides of the scribing wheel;
Wherein provided between the pair of color and the support portion, have a, a bearing for rotatably holding the collar and the scribing wheel,
The pair of collars contact only the inner ring of the bearing, the pair of collars have a flange larger than the outer ring of the bearing, and the flange does not contact the bearing and the scribing wheel .
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