JP4958188B2

JP4958188B2 - 基板搬送方法

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Inventors: 昌生安田
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Description

本発明は、基板搬送方法に関し、特に、トレー上に載せられた基板を搬送するための基板搬送方法に関するものである。

熱処理装置に対して基板を搬入および搬出する際に、ガラス基板を載せるトレーが用いられることがある。この場合、トレーに載せられた高温のガラス基板が処理装置から搬出される。

たとえば特開２００８−１３０５９６号公報（特許文献１）によれば、ガラス基板を載せる耐熱支持板が開示されている。またこの耐熱支持板として、ガラス基板の水平ズレを防止するためのストッパを有するものが開示されている。

特開２００８−１３０５９６号公報

耐熱支持板（トレー）に上記ストッパが設けられるとトレーの構造が複雑になるのでトレーのコストが増大するという問題がある。またトレー上のストッパが設けられた領域には基板を載せることができないので、トレーの有効面積が小さくなるという問題がある。

それゆえ本発明の目的は、基板が載せられた簡易な構造を有するトレーが搬送される際に、トレー上における基板のズレを抑制することができる基板搬送方法を提供することである。

本発明の基板搬送方法は、トレーの一部を覆いトレーの他部を露出するようにトレー上に載せられた基板を搬送する基板搬送方法であって、以下の工程を有する。

第１の場所に位置するトレーがハンドによって支持され、かつ一の方向に互いに離れた１対の第１チャックによってトレーの他部が挟まれる。ハンドおよび１対の第１チャックを共に移動させることによって、トレーが第２の場所に動かされる。トレーが第２の場所に動かされた後に、一の方向において１対の第１チャックの間に位置し、かつ一の方向に互いに離れた１対の第２チャックによって、トレーの一部と基板とが共に挟まれる。トレーが第２の場所に動かされた後に、１対の第１チャックが開放される。トレーの一部と基板とが共に挟まれ、かつ１対の第１チャックが開放された後に、ハンドおよび１対の第２チャックを共に移動させることによってトレーが第３の場所に動かされる。

本発明の基板搬送方法によれば、トレーが第３の場所に動かされる際に第２チャックがトレーおよび基板の双方を挟むことで、トレー上における基板のズレが抑制される。またトレーが第３の場所に動かされる際に、第１チャックが開放されていることで、トレーはより自由に変形できる状態にある。よって第１チャックが開放されない場合に比して、トレーは基板の形状に沿って変形することができる。これによりトレーが基板に及ぼすストレスが軽減されるので、このストレスに起因する基板の割れを防止することができる。

好ましくは、トレーの他部が挟まれる前に、基板が加熱される。これにより、加熱された基板を搬送することができる。

好ましくは、第１の場所は、トレー上に載せられた基板を収める第１の容器の内部である。これにより第１の容器からトレーを搬出することができる。

好ましくは、トレーが第３の場所に動かされる際に、ハンドおよび１対の第２チャックが共に回転される。これにより、トレーおよび基板の位置ズレを抑制しつつ、トレーを回転させることができる。

好ましくは、トレーは、平面視において、１対の第１チャックによって挟まれる部分が１対の第２チャックによって挟まれる部分に比して突出している。これによりトレーの位置にチャックが接近しにくい状況であっても、第１のチャックはトレーをより容易に挟むことができる。

好ましくは、基板はガラス基板である。これにより、割れやすい基板であるガラス基板を、基板割れを防止しつつ搬送することができる。

好ましくは、トレーの一部と基板とが共に挟まれた後に、１対の第１チャックが開放される。これにより１対の第１チャックが開放される際のトレーおよび基板の位置ズレを抑制することができる。

好ましくは、トレーの一部と基板とが共に挟まれる前に、１対の第１チャックが開放される。これによりトレーと基板とが共に挟まれる際に第１チャックが既に開放されているので、基板の割れをより確実に防止することができる。

好ましくは、トレーの一部と基板とが共に挟まれるのと同時に、１対の第１チャックが開放される。これにより１対の第１チャックが開放される際にトレーと基板とが共に挟まれているので、トレーおよび基板の位置ズレを抑制することができる。またトレーと基板とが共に挟まれるときに第１チャックが開放されているので、基板の割れをより確実に防止することができる。

好ましくは、上記の基板搬送方法は、以下の工程をさらに有する。
トレーが第３の場所に動かされた後に、１対の第１チャックによってトレーの他部が再び挟まれる。トレーが第３の場所に動かされた後に、１対の第２チャックが開放される。トレーの他部が再び挟まれ、かつ１対の第２チャックが開放された後に、ハンドおよび１対の第１チャックを共に移動させることによってトレーが第４の場所に動かされる。

この基板搬送方法によれば、第２チャックが開放された状態でトレーを第４の場所に動かすことができる。

好ましくは、第４の場所は、トレー上に載せられた基板を収める第２の容器の内部である。これにより第２チャックが開放された状態で第２の容器にトレーを収めることができる。

好ましくは、トレーの他部が再び挟まれた後に、１対の第２チャックが開放される。これによりハンド上におけるトレーのズレを抑制することができる。

好ましくは、トレーの他部が再び挟まれる前に、１対の第２チャックが開放される。これによりトレーの他部が挟まれる際に第２チャックが既に開放されているので、基板の割れをより確実に防止することができる。

好ましくは、トレーの他部が再び挟まれるのと同時に、１対の第２チャックが開放される。これにより１対の第２チャックが開放される際にトレーの他部が挟まれているので、ハンド上におけるトレーのズレを抑制することができる。またトレーの他部が挟まれる際に第２チャックが開放されているので、基板の割れをより確実に防止することができる。

以上説明したように、本発明によれば、トレー上における基板のズレが抑制され、また基板の割れを防止することができる。

本発明の実施の形態１における基板搬送方法の第１工程を概略的に示す平面図である。図１の概略正面図である。本発明の実施の形態１における基板搬送方法の第２工程を概略的に示す平面図である。本発明の実施の形態１における基板搬送方法の第３工程を概略的に示す断面図であり、図３の線ＩＶ−ＩＶに沿う位置に対応する断面図である。本発明の実施の形態１における基板搬送方法の第４工程を概略的に示す断面図であり、図３の線ＩＶ−ＩＶに沿う位置に対応する断面図である。本発明の実施の形態１における基板搬送方法の第５工程を概略的に示す断面図であり、図３の線ＩＶ−ＩＶに沿う位置に対応する断面図である。本発明の実施の形態１における基板搬送方法の第６工程を概略的に示す平面図である。本発明の実施の形態１における基板搬送方法の第７工程を概略的に示す平面図である。図８の線ＩＸ−ＩＸに沿う概略断面図である。本発明の実施の形態１における基板搬送方法の第８工程を概略的に示す断面図であり、図８の線ＩＶ−ＩＶに沿う位置に対応する断面図である。本発明の実施の形態１における基板搬送方法の第９工程を概略的に示す断面図であり、図８の線ＩＶ−ＩＶに沿う位置に対応する断面図である。本発明の実施の形態１における基板搬送方法の第１０および第１１工程を概略的に示す平面図である。本発明の実施の形態１における基板搬送方法の第１２工程を概略的に示す平面図である。本発明の実施の形態１における基板搬送方法の第１３工程を概略的に示す断面図であり、図１３の線ＸＩＶ−ＸＩＶに沿う位置に対応する断面図である。本発明の実施の形態１における基板搬送方法の第１４工程を概略的に示す断面図であり、図１３の線ＸＩＶ−ＸＩＶに沿う位置に対応する断面図である。本発明の実施の形態１における基板搬送方法の第１５工程を概略的に示す平面図である。図１６の線ＸＶＩＩ−ＸＶＩＩに沿う概略断面図である。本発明の実施の形態１における基板搬送方法の第１６工程を概略的に示す断面図であり、図１６の線ＸＶＩＩ−ＸＶＩＩに沿う位置に対応する断面図である。本発明の実施の形態１における基板搬送方法の第１７工程を概略的に示す断面図であり、図１６の線ＸＶＩＩ−ＸＶＩＩに沿う位置に対応する断面図である。本発明の実施の形態１における基板搬送方法の第１８工程を概略的に示す平面図である。本発明の実施の形態１における基板搬送方法の第１９工程を概略的に示す平面図である。比較例における基板割れの様子を概略的に示す平面図である。本発明の実施の形態２における基板搬送方法の第１工程を概略的に示す断面図である。本発明の実施の形態２における基板搬送方法の第２工程を概略的に示す断面図である。本発明の実施の形態３における基板搬送方法の第１工程を概略的に示す断面図である。本発明の実施の形態３における基板搬送方法の第２工程を概略的に示す断面図である。本発明の実施の形態４における基板搬送方法の一工程を概略的に示す断面図である。本発明の実施の形態５における基板搬送方法の一工程を概略的に示す断面図である。

以下、本発明の実施の形態について図に基づいて説明する。
（実施の形態１）
本実施の形態の基板搬送方法は、図１〜図２１に示すように、トレー５１上に載せられた基板５２を、ハンド５０と、１対の第１チャック６１ａ、６１ｂと、１対の第２チャック６２ａ、６２ｂとを用いて、第１の容器４１から第２の容器４２へと搬送する方法である。

トレー５１（図１）は、基板５２を載せるためのものである。基板５２は、トレー５１の一部を覆い、かつトレー５１の他部（図１における露出部）を露出するように載せられ得る。またトレー５１は、基板５２を確実に運べるような剛性を有し、比較的軽量な材質からなり、かつ生産性を加味して安価な材料からなる。具体的にはトレー５１は、たとえばアルミニウムからなる板状の部材である。

好ましくはトレー５１は、平面視（図１の視野）において、一の方向（図１における横方向）の両端部の各々において、前記一の方向に交差する方向（図１における縦方向）における一方側（図１における下側）に突出している部分を有する。

基板５２（図１）は、ストレスを受けることによって割れやすい基板であり、たとえばガラス基板である。

第１の容器４１（図１）は、たとえば熱処理をともなうＣＶＤ（ＣｈｅｍｉｃａｌＶａｐｏｒＤｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）を行なうための装置のロードロック室である。また第１の容器４１は、トレー５１の両端部のそれぞれを支持するローラ７１ａ、７１ｂ（図２）を有する。

第２の容器４２（図１６）は、たとえば基板５２を一時的に保管するためのラックである。また第２の容器４２は、トレー５１の両端部のそれぞれを下方から支持するローラ７２ａ、７２ｂ（図１９）を有する。

ハンド５０は、搬送ロボットのアームの先端部である。これによりハンド５０は、トレー５１を下方から支持し、かつ移動することができる。

１対の第１チャック６１ａ、６１ｂ（図３）は、トレー５１の露出部を挟むためのものであり、一の方向（図３の横方向）に互いに離れて設けられている。また１対の第１チャック６１ａ、６１ｂは、ハンド５０と共に移動することができるように構成されている。

好ましくは、１対の第１チャック６１ａ、６１ｂは、上述したトレー５１（図１）の突出している部分を挟むように設けられている。

第１チャック６１ａ（図４）は、トレー５１の上方および下方の各々に指部を有する。また第１チャック６１ａは、駆動されると１対の指部がトレー５１を挟み（図６）、開放されると１対の指部の間隔が拡がることでトレー５１の拘束を解く（図１１）ように構成されている。

第１チャック６１ｂの構成も第１チャック６１ａの構成と同様である。
１対の第２チャック６２ａ、６２ｂ（図８）は、基板５２と、トレー５１の基板５２に覆われた部分とを共に挟むためのものである。１対の第２チャック６２ａ、６２ｂは、一の方向（図８の横方向）において１対の第１チャック６１ａ、６１ｂの間に位置することができるように設けられており、かつこの方向に互いに離れて設けられている。また１対の第２チャック６２ａ、６２ｂは、ハンド５０と共に移動することができるように構成されている。

第２チャック６２ａ（図９）は、トレー５１および基板５２の積層体の上方および下方の各々に指部を有する。また第２チャック６２ａは、駆動されると１対の指部がトレー５１および基板５２を共に挟み（図１０）、開放されると１対の指部の間隔が拡がることでトレー５１および基板５２の拘束を解く（図１５）ように構成されている。

第２チャック６２ｂの構成も第２チャック６２ａの構成と同様である。
以下に、本実施の形態の基板搬送方法について工程順に説明する。

図１および図２を参照して、基板５２がトレー５１上に載せられ、第１の容器４１の内部に搬入される。具体的には、たとえばＣＶＤ装置のロードロック室に搬入され、ローラ７１ａ、７１ｂに支持される。

次に基板５２は熱処理室に搬送され、基板５２の熱処理が行なわれる。具体的には、たとえば基板５２が加熱されつつ、基板５２上にＣＶＤ法による成膜が行なわれる。次に基板５２は第１の容器４１に戻される。熱処理直後において、トレー５１および基板５２は、温度分布および自重によって下方に凸に撓んでいる。またトレー５１は基板５２に比して撓み易いために、トレー５１と基板５２との間に空隙が生じている。

なお基板５２の搬入と搬出とのために別個の独立した容器が設けられてもよい。
図３を参照して、第１の容器４１の外部から第１の容器４１の内部におけるトレー５１の下方に、ハンド５０の先端部が挿入される（矢印Ｉ１）。また１対の第１チャック６１ａ、６１ｂがトレー５１を挟むことができる位置に移動される。

図４を参照して、ハンド５０が上昇することで（矢印Ｕ）、トレー５１がローラ７１ａ、７１ｂ（図２）から持ち上げられる。すなわち、第１の容器４１の内部（第１の場所）に位置するトレー５１がハンド５０によって支持される。

図５を参照して、ハンド５０との接触によってトレー５１下面が急冷される。この結果トレー５１の下側が上側に比して低温となるので、トレー５１は上方に凸に撓む（矢印ＣＬ）。

図６を参照して、１対の第１チャック６１ａ、６１ｂによってトレー５１が挟まれる（矢印Ａ１）。これによりトレー５１は、１対の第１チャック６１ａ、６１ｂ付近においては略フラット形状となり、１対の第１チャック６１ａ、６１ｂから遠く離れた位置においては上記したように凸に撓んだままである。

図７を参照して、ハンド５０および１対の第１チャック６１ａ、６１ｂが、第１の容器４１の外部に向かって共に移動される（矢印Ｏ）。この移動の際、１対の第１チャック６１ａ、６１ｂによってハンド５０上におけるトレー５１のズレが抑制される。

図８および図９を参照して、上記の移動によってトレー５１は、第１の容器４１の内部と外部とに跨る場所（第２の場所）に動かされる。

図１０を参照して、１対の第２チャック６２ａ、６２ｂによって、トレー５１と基板５２とが共に挟まれる（矢印Ａ２）。これにより、１対の第１チャック６１ａ、６１ｂおよび１対の第２チャック６２ａ、６２ｂの双方が稼動された状態となる。この結果、トレー５１が基板５２に及ぼすストレスが増大する。

具体的には、基板５２は１対の第２チャック６２ａ、６２ｂのみに挟まれることで、中央部は上方に凸に撓むように変形され、両端部（図１０における左右端部）はトレー５１の両端部に強く押し付けられる。この結果、矢印Ｓ（図１０）に示す位置において、第２チャック６２ａ、６２ｂから基板５２にストレスが加わる。

図１１を参照して、上記の１対の第２チャック６２ａ、６２ｂの稼動後、できるだけ速やかに１対の第１チャック６１ａ、６１ｂが開放される（矢印Ｂ１）。

図１２を参照して、ハンド５０、１対の第１チャック６１ａ、６１ｂ、および１対の第２チャック６２ａ、６２ｂが共に並進移動される（矢印Ｔ）。これによりトレー５１は第１の容器４１（図８）から完全に取り出される。

次にハンド５０、１対の第１チャック６１ａ、６１ｂ、および１対の第２チャック６２ａ、６２ｂが共に回転移動される。これによりトレー５１が回転される（矢印Ｒ）。

上記の移動（図１２の矢印ＴおよびＲ）の際、１対の第２チャック６２ａ、６２ｂ（図１１）によって、トレー５１および基板５２の位置ズレが抑制される。なおこの位置ズレは特に回転移動の際に生じやすいものであり、１対の第２チャック６２ａ、６２ｂによって効果的に抑制される。

図１３を参照して、ハンド５０、１対の第１チャック６１ａ、６１ｂ、および１対の第２チャック６２ａ、６２ｂが共に並進移動される（矢印Ｊ１）。これによりトレー５１は、第２の容器４２の内部と外部とに跨る場所（第３の場所）に動かされる。

図１４を参照して、１対の第１チャック６１ａ、６１ｂによってトレー５１が再び挟まれる（矢印Ａ１）。

図１５を参照して、上記の１対の第１チャック６１ａ、６１ｂの稼動後、できるだけ速やかに１対の第２チャック６２ａ、６２ｂが開放される（矢印Ｂ２）。

図１６および図１７を参照して、ハンド５０および１対の第１チャック６１ａ、６１ｂを共に移動させることによって、トレー５１が第２の容器４２の内部（第４の場所）に動かされる。

図１８を参照して、１対の第１チャック６１ａ、６１ｂが開放される（矢印Ｂ１）。
図１９を参照して、ハンド５０が下降されることにより、トレー５１がローラ７２ａ、７２ｂ上に載せられる。

図２０を参照して、ハンド５０および１対の第１チャック６１ａ、６１ｂが第２の容器４２の内部から引き抜かれる（矢印Ｐ１）。

図２１を参照して、以上により、トレー５１に載せられた基板５２が第１の容器４１（図１）から第２の容器４２へ搬送される。

次に比較例について説明する。
本比較例においては、まず図１０の工程まで本実施の形態と同様の方法が行なわれる。次に、本実施の形態（図１１）と異なり、１対の第１チャック６１ａ、６１ｂが開放されることなく、第２の容器４２の内部と外部とに跨る場所（図１３においてトレー５１が位置する場所）にトレー５１が搬送される。この後、本実施の形態と同様の工程（図１５〜図２１）が行なわれる。

本比較例によれば、並進移動および回転移動（図１２の矢印ＴおよびＲ）が行なわれる最中、図１０に示すように、１対の第１チャック６１ａ、６１ｂおよび１対の第２チャック６２ａ、６２ｂが同時に稼動されている。このため矢印Ｓ（図１０、図１４および図２２）において、第２チャック６２ａ、６２ｂから強いストレスが基板５２に長時間印加され続ける。この結果、図２２に示すように、基板５２に割れＣＲが発生しやすい。

これに対して本実施の形態によれば、並進移動および回転移動（図１２の矢印ＴおよびＲ）が行なわれる最中、図１１に示すように１対の第１チャック６１ａ、６１ｂが開放されていることで、トレー５１はより自由に変形できる状態にある。よって上記比較例の場合に比して、トレー５１は基板５２の形状に沿って変形することができる。これによりトレー５１が基板５２に及ぼすストレスが軽減されるので、割れＣＲ（図２２）の発生を抑制することができる。

また並進移動および回転移動（図１２の矢印ＴおよびＲ）が行なわれる最中、図１１に示すように１対の第２チャック６２ａ、６２ｂがトレー５１および基板５２の双方を挟むことで、トレー５１上における基板５２のズレが抑制される。またハンド５０上におけるトレー５１のズレが抑制される。

またトレー５１が第１の容器４１または第２の容器４２の内部に完全に納まっている場合（図３および図１６）、第１の容器４１または第２の容器４２の構造に妨げられることで、１対の第１チャック６１ａ、６１ｂはトレー５１の位置に接近しにくくなる。しかしながらトレー５１が突出している部分を有することで、１対の第１チャック６１ａ、６１ｂはトレー５１を挟むことができる位置まで容易に移動することができる。

（実施の形態２）
まず図１〜図９の工程が実施の形態１と同様に行なわれる。

図２３を参照して、次に１対の第１チャック６１ａ、６１ｂが開放される（矢印Ｂ１）。

図２４を参照して、１対の第２チャック６２ａ、６２ｂによって、トレー５１と基板５２とが共に挟まれる（矢印Ａ２）。この後、図１２〜図２１の工程が実施の形態１と同様に行なわれる。

本実施の形態によれば、図２４に示すようにトレー５１と基板５２とが共に挟まれる前に、図２３に示すように１対の第１チャック６１ａ、６１ｂが開放される。これによりトレー５１と基板５２とが共に挟まれる際に１対の第１チャック６１ａ、６１ｂが既に開放されているので、上述した矢印Ｓ（図１０、図１４および図２２）における強いストレスの発生を防止することができる。よって基板５２の割れＣＲ（図２２）をより確実に防止することができる。

（実施の形態３）
まず図１〜図１３の工程が実施の形態１と同様に行なわれる。

図２５を参照して、次に１対の第２チャック６２ａ、６２ｂが開放される（矢印Ｂ２）。

図２６を参照して、１対の第１チャック６１ａ、６１ｂによって、トレー５１が挟まれる（矢印Ａ１）。この後、図１６〜図２１の工程が実施の形態１と同様に行なわれる。

本実施の形態によれば、図２６に示すようにトレー５１が挟まれる前に、図２５に示すように１対の第２チャック６２ａ、６２ｂが開放される。これにより１対の第１チャック６１ａ、６１ｂが稼動する際（図２６）に１対の第２チャック６２ａ、６２ｂがすでに開放されているので（図２５）、上述した矢印Ｓ（図１０、図１４および図２２）における強いストレスの発生を防止することができる。よって基板５２の割れＣＲ（図２２）をより確実に防止することができる。

（実施の形態４）
まず図１〜図９の工程が実施の形態１と同様に行なわれる。

図２７を参照して、次に１対の第２チャック６２ａ、６２ｂによってトレー５１と基板５２とが共に挟まれる（矢印Ａ２）。同時に１対の第１チャック６１ａ、６１ｂが開放される（矢印Ｂ１）。この後、図１２〜図２１の工程が実施の形態１と同様に行なわれる。

本実施の形態によれば、図２７に示すように、１対の第１チャック６１ａ、６１ｂが開放される際にトレー５１と基板５２とが共に挟まれているので、トレー５１および基板５２の位置ズレを抑制することができる。またトレー５１と基板５２とが共に挟まれるときに１対の第１チャック６１ａ、６１ｂが開放されているので、上述した矢印Ｓ（図１０、図１４および図２２）における強いストレスの発生を防止することができる。よって基板５２の割れＣＲ（図２２）をより確実に防止することができる。

（実施の形態５）
まず図１〜図１３の工程が実施の形態１と同様に行なわれる。

図２８を参照して、１対の第１チャック６１ａ、６１ｂによってトレー５１が挟まれる（矢印Ａ１）。同時に１対の第２チャック６２ａ、６２ｂが開放される（矢印Ｂ２）。この後、図１６〜図２１の工程が実施の形態１と同様に行なわれる。

本実施の形態によれば、図２８に示すように、１対の第２チャック６２ａ、６２ｂが開放される際にトレー５１が挟まれているので、ハンド５０上におけるトレー５１のズレを抑制することができる。また１対の第１チャック６１ａ、６１ｂによってトレー５１が挟まれる際に１対の第２チャック６２ａ、６２ｂが開放されているので、上述した矢印Ｓ（図１０、図１４および図２２）における強いストレスの発生を防止することができる。よって基板５２の割れＣＲ（図２２）をより確実に防止することができる。

なお上記の各実施の形態に対応する図面においては、図を見やすくするために、トレー５１および基板５２の変形が誇張されている。またこれにともない、第１チャック６１ａ、６１ｂと、第２チャック６２ａ、６２ｂとのそれぞれの高さ位置の相違も誇張されている。

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

本発明は、トレー上に載せられた基板を搬送するための基板搬送方法に特に有利に適用することができる。

４１第１の容器、４２第２の容器、５０ハンド、５１トレー、５２基板、６１ａ，６１ｂ第１チャック、６２ａ，６２ｂ第２チャック、７１ａ，７１ｂ，７２ａ，７２ｂローラ。

Claims

トレーの一部を覆い前記トレーの他部を露出するように前記トレー上に載せられた基板を搬送する基板搬送方法であって、
第１の場所に位置する前記トレーをハンドによって支持し、かつ一の方向に互いに離れた１対の第１チャックによって前記トレーの他部を挟む工程と、
前記ハンドおよび前記１対の第１チャックを共に移動させることによって、前記トレーを第２の場所に動かす工程と、
前記トレーを前記第２の場所に動かす工程の後に、前記一の方向において前記１対の第１チャックの間に位置し、かつ前記一の方向に互いに離れた１対の第２チャックによって、前記トレーの一部と前記基板とを共に挟む工程と、
前記トレーを前記第２の場所に動かす工程の後に、前記１対の第１チャックを開放する工程と、
前記トレーの一部と前記基板とを共に挟む工程および前記１対の第１チャックを開放する工程の後に、前記ハンドおよび前記１対の第２チャックを共に移動させることによって前記トレーを第３の場所に動かす工程とを備えた、基板搬送方法。
前記トレーの他部を挟む工程の前に、前記基板を加熱する工程をさらに備えた、請求項１に記載の基板搬送方法。
前記第１の場所は、前記トレー上に載せられた前記基板を収める第１の容器の内部である、請求項１または２に記載の基板搬送方法。
前記トレーを前記第３の場所に動かす工程は、前記ハンドおよび前記１対の第２チャックを共に回転させる工程を含む、請求項１〜３のいずれかに記載の基板搬送方法。
前記トレーは、平面視において、前記１対の第１チャックによって挟まれる部分が前記１対の第２チャックによって挟まれる部分に比して突出している、請求項１〜４のいずれかに記載の基板搬送方法。
前記基板はガラス基板である、請求項１〜５のいずれかに記載の基板搬送方法。
前記１対の第１チャックを開放する工程は、前記トレーの一部と前記基板とを共に挟む工程の後に行なわれる、請求項１〜６のいずれかに記載の基板搬送方法。
前記１対の第１チャックを開放する工程は、前記トレーの一部と前記基板とを共に挟む工程の前に行なわれる、請求項１〜６のいずれかに記載の基板搬送方法。
前記１対の第１チャックを開放する工程は、前記トレーの一部と前記基板とを共に挟む工程と同時に行なわれる、請求項１〜６のいずれかに記載の基板搬送方法。
前記トレーを前記第３の場所に動かす工程の後に、前記１対の第１チャックによって前記トレーの他部を再び挟む工程と、
前記トレーを前記第３の場所に動かす工程の後に、前記１対の第２チャックを開放する工程と、
前記トレーの他部を再び挟む工程および前記１対の第２チャックを開放する工程の後に、前記ハンドおよび前記１対の第１チャックを共に移動させることによって前記トレーを第４の場所に動かす工程とをさらに備えた、請求項１〜９のいずれかに記載の基板搬送方法。
前記第４の場所は、前記トレー上に載せられた前記基板を収める第２の容器の内部である、請求項１０に記載の基板搬送方法。
前記１対の第２チャックを開放する工程は、前記トレーの他部を再び挟む工程の後に行なわれる、請求項１０または１１に記載の基板搬送方法。
前記１対の第２チャックを開放する工程は、前記トレーの他部を再び挟む工程の前に行なわれる、請求項１０または１１に記載の基板搬送方法。
前記１対の第２チャックを開放する工程は、前記トレーの他部を再び挟む工程と同時に行なわれる、請求項１０または１１に記載の基板搬送方法。