JP4941988B2 - 高低温化ユニット及び高低温化テストハンドラ - Google Patents
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Description
また、請求項7の発明は、請求項6の発明において、前記デバイスを加熱する手段は、前記ドラム又はドラム近傍にヒータを備えるか、又は前記ユニット全体を高温雰囲気のチャンバ内に設けてなることを特徴とする。
請求項8の発明は、請求項6又は7記載の発明において、前記デバイスを冷却する手段は、前記ドラム又はドラム近傍に冷却素子を備えるか、又は前記ユニット全体を冷却雰囲気のチャンバ内に設けてなることを特徴とする。
本実施形態における高低温化テストハンドラは、高低温化ユニットを、テストハンドラにおける外観検査工程や電気特性検査工程あるいはテーピング工程等と同様の位置づけの一工程を構成する工程処理装置として、テストハンドラの円周等配位置に設けたものである。
本実施形態の高低温化テストハンドラの全体構成について、図1を参照して説明する。図1は、本実施形態の高低温化ユニットをその一工程処理装置として含む高低温化テストハンドラの平面図(a)と側面模式図(b)である。なお、本実施形態では、1つのテストハンドラの工程処理装置として、電子部品や半導体装置等のデバイスを高温化する高温化ユニット11と、デバイスを低温化、又は高温化されたデバイスを常温化する低温化ユニット12とを異なる位置に設けている。ただし、本実施形態は最適な実施態様を示すものであり、ここで示すほか、高温化ユニット11又は低温化ユニット12のいずれかのみを工程処理装置として設けることも可能である。
次に、高低温化ユニット1の構成について、図2〜6を参照して説明する。図2は、図1の平面図で表した全体構成から、位置5及び6並びに位置7及び8における高低温化ユニット1についてのみ抽出した斜視図(a)及び平面図(b)である。
図2に示すように、高低温化ユニット1は、モータM1によりベルトを介して回転力を付与され、回転軸Oを中心として回転するドラム2を備える。
本実施形態の高低温化ユニット1は、図2に示すように、ドラム2の下流側に隣接して分離テーブル3を備える。ここで、この分離テーブル3の高低温化ユニット1における役割を説明する。
以上のように構成される本実施形態の高低温化ユニット1の作用について、図6の作用を示した模式図を用いて説明する。なお、以下では、図2の位置4における高温化ユニット11及び位置5の高温テスト装置14の実施例について説明し、位置7及び位置8の低温化ユニット及び低温テスト装置の場合についは省略するが、低温化ユニット12及び低温テスト装置14における処理の内容は高温化ユニット11及び高温テスト装置13における処理と同様である。
以上のように作用する本実施形態の高低温化テストハンドラHによれば、高温又は低温雰囲気のチャンバ内に配置された高低温化ユニット1を、回転軸Oを中心として回転可能に構成されたドラム2により構成し、このドラム2に、縦長で内部に搬送路を備えデバイスを複数個収納可能な収納レール21を複数円環状に設けたことにより、この収納レール21並びにドラム2全体に、数多くのデバイスを同時に収納することが可能である。
本発明は、第1の実施形態において示した態様に限られるものではなく、例えば次のような態様も含むものである。上記実施形態においては、ドラム2において、収納レール21を円環状として略真円形に配置しているが、本発明においては、例えば、収納レールを楕円状に配置するなど、収納レールを回転させてソーク時間を確保するような構成であれば、円環状配置の意義は真円に限られるものではない。また、配置する収納レールの長さ及び数は、設計事項であり、テストハンドラの処理時間や、デバイスの加熱又は冷却時間に応じて適宜変更可能である。
2…ドラム
3…分離テーブル
4…高低温化部
11…高温化ユニット
12…低温化ユニット
13…高温テスト装置
14…高温テスト装置
21…収納レール
21a…収納レール
21b…収納レール
21c…退避レール
22…支持部材
23a…ステージ
23b…押入れ部材
24a…エスケープ
24b…押出し部材
24c…支持部
30…分離テーブル
B…ボールネジ
C…デバイス
H…(高低温)テストハンドラ
M1,M2…モータ
N…ノズル
O…回転軸
R1…受取り位置
R2…受渡し位置
T…ターンテーブル
X…受取り位置
Y…受渡し位置
Claims (11)
- 電子部品や半導体装置等のデバイスを、各種工程処理を施す工程処理装置を備えた搬送装置から受け取り、当該デバイスを所定の加熱又は冷却手段により加熱又は冷却して、前記搬送装置へ順次受け渡す高低温化ユニットであって、
前記搬送装置からデバイスを受け取る受取り位置と、受け取ったデバイスを搬送して複数収納する搬送路と、前記搬送装置へデバイスを受け渡す受渡し位置と、を備えた収納レールと、前記収納レールを複数所定間隔で円環状に配置し保持する支持部と、この円環状に配置された複数の収納レールを前記支持部を介して間欠的に回転させる駆動手段と、を備えたドラムと、
前記ドラムの受渡し位置から、前記搬送装置へ受け渡されたデバイスを受取り、デバイスの向きを変える方向変更装置と、
を備えたことを特徴とする高低温化ユニット。 - 前記加熱手段は、前記ドラム又はドラム近傍にヒータを備えるか、又は前記ユニット全体を高温雰囲気のチャンバ内に設けてなることを特徴とする請求項1に記載の高低温化ユニット。
- 前記冷却手段は、前記ドラム又はドラム近傍に冷却素子を備えるか、又は前記ユニット全体を冷却雰囲気のチャンバ内に設けてなることを特徴とする請求項1又は2記載の高低温化ユニット。
- 前記支持部材は、前記円環状に配置された収納レールを両端において内周面において保持する円盤からなり、
前記円盤の中心に回転軸が設けられ、
前記駆動手段は、前記回転軸を回転させるものであることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の高低温化ユニット。 - 前記支持部材は、プーリーとこのプーリーに掛けられるベルトとからなり、
前記収納レールは、前記ベルトに所定間隔で配置され、
前記駆動手段は、前記プーリーの回転軸を回転させるものであることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の高低温化ユニット。 - 半導体装置又は電子部品等のデバイスを保持する保持部を円周等配位置に備えたターンテーブルと、前記ターンテーブルの円周等配位置にデバイスの外観検査、電気特性検査、テーピング梱包等の各種処理工程を行う工程処理部とを備え、前記ターンテーブルを間欠回転させて前記保持部を、各工程処理部を停止位置として搬送する高低温化テストハンドラであって、
前記搬送装置に設けられた保持部からデバイスを受け取り、このデバイスを加熱又は冷却して前記保持機構へ順次受け渡す高温化又は低温化あるいはその両方の機能を備えた高低温化ユニットを、前記一工程処理部として備え、
前記高低温化ユニットは、
前記搬送装置からデバイスを受け取る位置と、受け取ったデバイスを搬送して複数収納する搬送路と、前記搬送装置へデバイスを受け渡す位置と、を備えた収納レールと、前記収納レールを複数所定間隔で円環状に配置し保持する支持部と、この円環状に配置された複数の収納レールを前記支持部を介して間欠的に回転させる駆動手段と、を備えたドラムと、
前記ドラムの受渡し位置から、前記搬送装置へ受け渡されたデバイスを受取り、所定の中心から回転してデバイスの向きを変える方向変更装置と、
を備えたことを特徴とする高低温化テストハンドラ。 - 前記デバイスを加熱する手段は、前記ドラム又はドラム近傍にヒータを備えるか、又は前記ユニット全体を高温雰囲気のチャンバ内に設けてなることを特徴とする請求項6に記載の高低温化テストハンドラ。
- 前記デバイスを冷却する手段は、前記ドラム又はドラム近傍に冷却素子を備えるか、又は前記ユニット全体を冷却雰囲気のチャンバ内に設けてなることを特徴とする請求項6又は7記載の高低温化テストハンドラ。
- 前記方向変更装置は、前記ターンテーブルの隣り合う保持部の位置と一致する位置に、前記保持部からデバイスを受け取る受取位置と、受け渡す受渡位置をそれぞれ備え、さらに、前記受取位置と受渡位置とが前記方向変更装置の中心に対して成す角と、前記ターンテーブルの隣り合う保持部の前記ターンテーブル中心に対して成す角の和が、前記デバイスの向きを変える方向変更角度であることを特徴とする請求項6〜8のいずれか1項に記載の高低温化テストハンドラ。
- 前記高低温化ユニットでは、デバイスの電極を前記ターンテーブルの接線方向に平行に向けて前記収納レールに挿入するように構成され、
前記ターンテーブルにおける、前記高低温化ユニットの下流側で隣合う位置に、デバイスの電気特性を検査する電気特性検査装置が設けられ、この電気特性検査装置では、前記電極を前記ターンテーブルの半径方向に水平に向けて検査するように構成され、
前記方向変更装置は、前記高低温化ユニットから前記搬送装置へ受け渡されたデバイスを受取り、このデバイスの方向を90°変更して、前記搬送装置へ受渡すことを特徴とする請求項6〜9のいずれか1項に記載の高低温化テストハンドラ。 - 前記保持部は、前記ターンテーブルに対して10°置きに36箇所設けられ、
前記受取位置と受渡位置とが前記方向変更装置の中心に対して成す角が80°であることを特徴とする請求項6〜10のいずれか1項に記載の高低温化テストハンドラ。
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