JP4829326B2 - 漏れを検査しかつ漏れの箇所をつきとめるための方法ならびに該方法を実施するために適した装置 - Google Patents
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Description
2 真空ポンプ
3 弁
4 酸素センサ
5 線路
6 測定装置
7 圧力センサ
8 線路
9 測定装置
11 評価ユニット
12 警報器
13 漏れ
15 スプレイガン
16 圧力容器
18 支持体
19 酸素センサ構成素子
20 圧力容器
21 加熱線材
22 スニッファ
23 先端部
24 管路
25 フィードポンプ
26 チャンバ
31 試験チャンバ
32 管路
33 真空ポンプ
Claims (8)
- 試験体または容器の壁における漏れを酸素センサ(4)による酸素分圧の減少の記録によって確認するための方法において、酸素不含のガスで充填された正圧下にある前記試験体または容器(1)の壁における漏れの確認を、前記ガスをスニッファ先端部(23)によって吸い込みかつ該スニッファ先端部(23)によって吸い込まれたガスにおける酸素の存在を酸素センサ(4)によって検査するように実施し、スニッファ(22)に管路(24)が接続されており、該管路(24)が、ダイヤフラムポンプの形のフィードポンプ(25)の入口側に接続されており、スニッファ先端部(23)を前記試験体または容器にわたって案内することを特徴とする、試験体または容器の壁における漏れを酸素センサによる酸素分圧の減少の記録によって確認するための方法。
- 酸素不含のガスが、酸素を消費するガスである、請求項1記載の方法。
- スニッファ先端部(23)によって吸い込まれたガスを、酸素センサ(4)が位置しているチャンバ(26)を通して通流させる、請求項1または2記載の方法。
- 請求項1から3までのいずれか1項記載の方法により、試験体または容器の壁における漏れを酸素センサ(4)による酸素分圧の減少の記録によって確認するための装置において、酸素をテストガスとして使用する場合に酸素センサ(4)が設けられており、該酸素センサ(4)が、測定・評価装置(6,11,12)に接続されており、酸素不含のガスで充填された正圧下にある前記試験体または容器(1)の壁における漏れの確認が、前記ガスをスニッファ先端部(23)によって吸い込みかつ該スニッファ先端部(23)によって吸い込まれたガスにおける酸素の存在を酸素センサ(4)によって検査するように実施されることを特徴する、試験体または容器の壁における漏れを酸素センサによる酸素分圧の減少の記録によって確認するための装置。
- 酸素センサ(4)が、固体電解質型酸素センサである、請求項4記載の装置。
- 酸素センサ(4)が、共通の支持体(18)を有しており、該支持体(18)に加熱線材(21)が取り付けられており、該加熱線材(21)が、圧力センサ(7)を形成している、請求項5記載の装置。
- 請求項1から3までのいずれか1項記載の方法により、試験体または容器の壁における漏れを酸素センサ(4)による酸素分圧の減少の記録によって確認するための装置において、スニッファ先端部(23)が、チャンバ(26)を備えた管路(24)に接続されており、チャンバ(26)内に酸素センサ(4)が位置しており、酸素不含のガスで充填された正圧下にある前記試験体または容器(1)の壁における漏れの確認が、前記ガスをスニッファ先端部(23)によって吸い込みかつ該スニッファ先端部(23)によって吸い込まれたガスにおける酸素の存在を酸素センサ(4)によって検査するように実施されることを特徴する、試験体または容器の壁における漏れを酸素センサによる酸素分圧の減少の記録によって確認するための装置。
- ガス流れを発生させるフィードポンプ(25)がダイヤフラムポンプである、請求項7記載の装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19960174.7 | 1999-12-14 | ||
DE19960174A DE19960174A1 (de) | 1999-12-14 | 1999-12-14 | Verfahren zur Lecksuche und Lecklokalisierung sowie zur Durchführung dieser Verfahren geeignete Vorrichtungen |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001545818A Division JP4499332B2 (ja) | 1999-12-14 | 2000-11-10 | 漏れを検査しかつ漏れの箇所をつきとめるための方法ならびに該方法を実施するために適した装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009244284A JP2009244284A (ja) | 2009-10-22 |
JP4829326B2 true JP4829326B2 (ja) | 2011-12-07 |
Family
ID=7932564
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001545818A Expired - Fee Related JP4499332B2 (ja) | 1999-12-14 | 2000-11-10 | 漏れを検査しかつ漏れの箇所をつきとめるための方法ならびに該方法を実施するために適した装置 |
JP2009177894A Expired - Fee Related JP4829326B2 (ja) | 1999-12-14 | 2009-07-30 | 漏れを検査しかつ漏れの箇所をつきとめるための方法ならびに該方法を実施するために適した装置 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001545818A Expired - Fee Related JP4499332B2 (ja) | 1999-12-14 | 2000-11-10 | 漏れを検査しかつ漏れの箇所をつきとめるための方法ならびに該方法を実施するために適した装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7156976B2 (ja) |
EP (1) | EP1238253B1 (ja) |
JP (2) | JP4499332B2 (ja) |
CN (1) | CN1318828C (ja) |
DE (2) | DE19960174A1 (ja) |
WO (1) | WO2001044775A1 (ja) |
Families Citing this family (44)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2834066B1 (fr) * | 2001-12-21 | 2004-02-13 | Air Liquide | Procede et dispositif de mesure du debit d'oxygene s'infiltrant dans un contenant |
ITRM20030451A1 (it) * | 2003-09-30 | 2005-04-01 | Xsemisys Di Fabio La Spina & C S N C | Metodo e dispositivo per la rivelazione e la |
DE102004045803A1 (de) * | 2004-09-22 | 2006-04-06 | Inficon Gmbh | Leckprüfverfahren und Leckprüfvorrichtung |
DE102004058606B4 (de) * | 2004-12-03 | 2006-10-05 | Eads Deutschland Gmbh | Verfahren zur Prüfung der Dichtigkeit von Behältern |
DE102004059485A1 (de) * | 2004-12-10 | 2006-06-22 | Inficon Gmbh | Lecksuchgerät |
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DE102015222554A1 (de) | 2015-11-16 | 2017-05-18 | Inficon Gmbh | Lecksuche mit Sauerstoff |
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-
1999
- 1999-12-14 DE DE19960174A patent/DE19960174A1/de not_active Withdrawn
-
2000
- 2000-11-10 CN CNB008160422A patent/CN1318828C/zh not_active Expired - Lifetime
- 2000-11-10 WO PCT/EP2000/011153 patent/WO2001044775A1/de active Application Filing
- 2000-11-10 EP EP00987233A patent/EP1238253B1/de not_active Expired - Lifetime
- 2000-11-10 JP JP2001545818A patent/JP4499332B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2000-11-10 DE DE50016057T patent/DE50016057D1/de not_active Expired - Lifetime
-
2002
- 2002-06-20 US US10/169,416 patent/US7156976B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2009
- 2009-07-30 JP JP2009177894A patent/JP4829326B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4499332B2 (ja) | 2010-07-07 |
US20030047465A1 (en) | 2003-03-13 |
JP2003517598A (ja) | 2003-05-27 |
WO2001044775A1 (de) | 2001-06-21 |
EP1238253B1 (de) | 2011-01-12 |
DE19960174A1 (de) | 2001-06-28 |
DE50016057D1 (de) | 2011-02-24 |
JP2009244284A (ja) | 2009-10-22 |
EP1238253A1 (de) | 2002-09-11 |
US7156976B2 (en) | 2007-01-02 |
CN1391651A (zh) | 2003-01-15 |
CN1318828C (zh) | 2007-05-30 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20101227 |
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110415 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110802 |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110915 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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