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JP4848195B2 - Film thickness measuring device - Google Patents

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JP4848195B2
JP4848195B2 JP2006066572A JP2006066572A JP4848195B2 JP 4848195 B2 JP4848195 B2 JP 4848195B2 JP 2006066572 A JP2006066572 A JP 2006066572A JP 2006066572 A JP2006066572 A JP 2006066572A JP 4848195 B2 JP4848195 B2 JP 4848195B2
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理彰 細川
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  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Description

この発明は、検査ヘッドを検査試料の表面に対して設定間隔を保って走査させて膜厚を測定する膜厚測定装置に関する。   The present invention relates to a film thickness measuring apparatus for measuring a film thickness by causing an inspection head to scan a surface of an inspection sample at a set interval.

シート状の材料の表面に導電性薄膜を形成したものの薄膜の膜厚を測定する手段としては通常、特許文献１に記載のような装置を用いる。特許文献１は非接触型抵抗率測定装置である。この非接触型抵抗率測定装置は、図２に示すように、Ｃ字型に形成されてその両端部を半導体ウエハ４１の両側面に向けて配設されたコア４２と、このコア４２を励磁する励磁コイル４３と、コア４２の一側端部に設けられた検出用コイル４４と、定電流発生装置４５と、演算機４６とから構成されている。この構成により、Ｃ字型のコア４２の両端部の間に半導体ウエハ４１が通されて、抵抗率が測定される。このときコア４２の両端部は、半導体ウエハ４１の表面と僅かな隙間を保った状態で、半導体ウエハ４１の表面に沿って正確に走査される。   Although a conductive thin film is formed on the surface of a sheet-like material, a device as described in Patent Document 1 is usually used as a means for measuring the thickness of the thin film. Patent Document 1 is a non-contact type resistivity measuring device. As shown in FIG. 2, this non-contact type resistivity measuring apparatus is formed in a C shape and has a core 42 disposed with both ends thereof facing both side surfaces of the semiconductor wafer 41, and the core 42 is excited. Excitation coil 43, a detection coil 44 provided at one end of the core 42, a constant current generator 45, and a calculator 46. With this configuration, the semiconductor wafer 41 is passed between both ends of the C-shaped core 42, and the resistivity is measured. At this time, both ends of the core 42 are accurately scanned along the surface of the semiconductor wafer 41 while maintaining a slight gap from the surface of the semiconductor wafer 41.

この構成により、前記非接触型抵抗率測定装置では抵抗率を測定するが、抵抗率(ρ)とシート抵抗(ρs)とが予め分かっていれば、関係式［ｔ＝ρ／ρs］から膜厚（ｔ）を測定することができる。即ち、シート状の材料の表面の導電性薄膜の膜厚を測定することができる。
特開平０１−９２６６６号公報 With this configuration, the non-contact type resistivity measuring apparatus measures the resistivity. However, if the resistivity (ρ) and the sheet resistance (ρs) are known in advance, the relational expression [t = ρ / ρs] Thickness (t) can be measured. That is, the film thickness of the conductive thin film on the surface of the sheet-like material can be measured.
JP-A-01-92666

しかしながら、前記従来技術の非接触型抵抗率測定装置の場合は、広い検査試料や長い検査試料には対応することができない。   However, the conventional non-contact type resistivity measuring apparatus cannot cope with a wide inspection sample or a long inspection sample.

これに対しては、検査試料の片面だけに前記コア４２や検出用コイル４４等を走査させるものもあるが、この場合、検査試料の表面の導電性薄膜との間隔を調整するのが難しく、大がかりな装置が必要となる。   On the other hand, there are those that scan the core 42, the detection coil 44, etc. only on one side of the inspection sample, but in this case, it is difficult to adjust the distance between the surface of the inspection sample and the conductive thin film, A large-scale device is required.

本発明は、上述の点に鑑みてなされたもので、長尺帯状や長大な検査試料に対して簡単な構成で容易に且つ正確に膜厚を測定することができる膜厚測定装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above points, and provides a film thickness measuring apparatus capable of measuring a film thickness easily and accurately with a simple configuration for a long strip or a long inspection sample. For the purpose.

前記課題を解決するために第１の発明に係る膜厚測定装置は、基材に極薄の導電性薄膜が形成された検査試料に対して当該導電性薄膜の膜厚を測定する膜厚測定装置であって、前記検査試料の表面に対して、設定された隙間を隔てた状態で固定される検査ヘッドと、当該検査ヘッドが前記検査試料との当接部分の内側壁面に１又は複数個固定された回転ローラと、当該回転ローラの前記当接部分の外側表面に貼付されて、前記検査試料の導電性薄膜と前記検査ヘッドとの間に介在すると共に前記導電性薄膜に直接的に又は間接的に接触して当該導電性薄膜と前記検査ヘッドとの間隔を前記設定された間隔に支持する極薄の隔離膜とを備えて構成されたことを特徴とする。
In order to solve the above-mentioned problem, a film thickness measuring apparatus according to a first aspect of the present invention is a film thickness measurement for measuring a film thickness of a conductive thin film on a test sample in which an extremely thin conductive thin film is formed on a substrate. An inspection head that is fixed to a surface of the inspection sample with a set gap therebetween, and one or a plurality of inspection heads on an inner wall surface of a contact portion with the inspection sample A fixed rotating roller and affixed to the outer surface of the abutting portion of the rotating roller, and interposed between the conductive thin film of the inspection sample and the inspection head and directly or directly on the conductive thin film It is characterized by comprising an ultra-thin isolation film that indirectly contacts and supports the gap between the conductive thin film and the inspection head at the set gap.

前記構成により、前記回転ローラを前記検査試料の表面に接触させて回転させることで、前記隔離膜が前記導電性薄膜に直接的に又は間接的に接触して当該導電性薄膜と前記検査ヘッドとの間隔を前記設定された間隔に支持して、当該検査ヘッドで前記検査試料全体の導電性薄膜の膜厚を測定する。 According to the configuration, by rotating the rotating roller in contact with the surface of the inspection sample, the isolation film directly or indirectly contacts the conductive thin film, and the conductive thin film and the inspection head Is supported at the set interval, and the film thickness of the conductive thin film of the entire inspection sample is measured by the inspection head.

第２の発明に係る膜厚測定装置は、前記回転ローラが、前記検査ヘッドを内蔵した肉厚の円盤状の測定ユニットを１又は複数個連結して構成されたことを特徴とする。 The film thickness measuring apparatus according to a second aspect of the invention is characterized in that the rotating roller is configured by connecting one or a plurality of thick disk-shaped measuring units each including the inspection head.

前期構成により、肉厚円盤状の測定ユニットは、検査試料の横幅に応じた個数だけ互いに連結して前記回転ローラを構成する。   According to the previous configuration, the thick disk-shaped measuring units are connected to each other in the number corresponding to the width of the test sample to constitute the rotating roller.

第３の発明に係る膜厚測定装置は、前記回転ローラ内の前記検査ヘッドと外部装置とをスリップリングで接続したことを特徴とする。 A film thickness measuring apparatus according to a third aspect is characterized in that the inspection head in the rotating roller and an external apparatus are connected by a slip ring.

前記構成により、回転ローラと共に前記検査ヘッドも回転するが、この検査ヘッドでの検出信号は、スリップリングで外部装置に確実に出力される。   With the above configuration, the inspection head rotates together with the rotating roller. A detection signal from the inspection head is reliably output to an external device by a slip ring.

第４の発明に係る膜厚測定装置は、前記基材が長尺帯状の合成樹脂シート又は長大な硬質の板材であることを特徴とする。 The film thickness measuring apparatus according to a fourth aspect of the invention is characterized in that the base material is a long strip-shaped synthetic resin sheet or a long hard plate material.

前記構成により、長尺帯状の合成樹脂シート又は長大な硬質の板材からなる前記基材の表面に、ローラ状の膜厚測定装置を転がしながら、検査試料全体の薄膜の膜厚を測定する。 By the arrangement, measurements on the surface of the substrate made of a plate material of a synthetic resin sheet or lengthy rigid elongated strip, Do La rolling the roller-like film thickness measuring device, the thickness of the thin film of the entire test査試fees To do.

以上詳述したように、本発明の薄板収納容器によれば、次のような効果を奏する。   As described in detail above, the thin plate container of the present invention has the following effects.

（１） 前記隔離膜が前記導電性薄膜に直接的に又は間接的に接触して当該導電性薄膜と前記検査ヘッドとの間隔を前記設定された間隔に支持して、当該検査ヘッドで前記導電性薄膜の膜厚を測定するため、前記導電性薄膜の膜厚を容易にかつ正確に測定することができる。 (1) The isolation film is in direct or indirect contact with the conductive thin film to support the interval between the conductive thin film and the inspection head at the set interval, and the conductive film is electrically connected by the inspection head. Since the film thickness of the conductive thin film is measured, the film thickness of the conductive thin film can be easily and accurately measured.

（２） 回転ローラを前記検査試料の表面に接触させて回転させることで、前記検査試料全体の導電性薄膜の膜厚を容易に測定することができるため、広い薄膜の場合も、膜厚全体を短時間で容易に且つ正確に測定することができる。 (2) Since the thickness of the conductive thin film of the entire test sample can be easily measured by rotating the rotating roller in contact with the surface of the test sample, the entire film thickness can be measured even in the case of a wide thin film. Can be measured easily and accurately in a short time.

（３） 肉厚円盤状の測定ユニットが検査試料の横幅に応じた個数だけ互いに連結して前記回転ローラを構成するため、当該回転ローラを検査試料に当接して当該検査試料の一端から他端まで１回だけ転がすだけで、又は前記検査試料を前記回転ローラに当接して当該検査試料の一端から他端まで１回だけ移動させるだけで、前記検査試料の導電性薄膜の膜厚を容易に測定することができる。 (3) Since the thick disk-shaped measuring units are connected to each other according to the width of the test sample to form the rotary roller, the rotary roller is brought into contact with the test sample and the other end of the test sample is connected to the other end. The thickness of the conductive thin film of the test sample can be easily increased by rolling the test sample only once or by moving the test sample only once from one end to the other end of the test sample in contact with the rotating roller. Can be measured.

（４） 回転ローラと共に前記検査ヘッドも回転するが、この検査ヘッドでの検出信号は、スリップリングで外部装置に確実に出力されるため、回転ローラ式の膜厚測定装置で正確に膜厚を測定することができる。 (4) Although the inspection head rotates together with the rotating roller, the detection signal from the inspection head is reliably output to an external device by a slip ring. Can be measured.

（５） 前記平板状本体の隔離膜を前記検査試料に接触させて、前記検査試料の表面の導電性薄膜の膜厚を測定するため、前記導電性薄膜の膜厚を正確に測定することができる。前記平板状本体の大きさが前記検査試料の大きさよりも大きい場合は、前記平板状本体を移動させながら前記検査試料に接触させて、広い前記導電性薄膜の膜厚を正確に測定することができる。 (5) In order to measure the film thickness of the conductive thin film on the surface of the inspection sample by bringing the isolation film of the flat plate body into contact with the inspection sample, and measuring the film thickness of the conductive thin film, it can. When the size of the flat plate-shaped body is larger than the size of the test sample, the flat plate-shaped main body can be moved and brought into contact with the test sample to accurately measure the film thickness of the wide conductive thin film. it can.

（６） 長尺帯状の合成樹脂シート又は長大な硬質の板材からなる前記基材の表面に、ローラ状の膜厚測定装置を転がしながら、又は平板状の膜厚測定装置を接触させながら、検査試料全体の薄膜の膜厚を測定するため、長尺の又は長大な検査試料の膜厚を短時間で効率的に測定することができる。 (6) Inspection while rolling a roller-shaped film thickness measuring device or bringing a plate-shaped film thickness measuring device into contact with the surface of the substrate made of a long strip-shaped synthetic resin sheet or a long hard plate material Since the film thickness of the thin film of the entire sample is measured, the film thickness of a long or long test sample can be efficiently measured in a short time.

以下に、本発明の実施形態に係る膜厚測定装置を添付図面に基づいて説明する。   Below, the film thickness measuring device concerning the embodiment of the present invention is explained based on an accompanying drawing.

本実施形態に係る膜厚測定装置は、基材の表面に導電性薄膜が形成された検査試料に対して当該導電性薄膜の膜厚を測定する膜厚測定装置である。ここでは、基材として、長尺帯状の合成樹脂シートを例に説明する。この合成樹脂シートとしては、ポリエステルフィルムを用いた。このポリエステルフィルムの表面の導電性薄膜としては、Ｃｕ蒸着膜を用いた。   The film thickness measuring apparatus according to the present embodiment is a film thickness measuring apparatus that measures the film thickness of the conductive thin film with respect to an inspection sample in which the conductive thin film is formed on the surface of the base material. Here, a long strip-shaped synthetic resin sheet will be described as an example of the base material. A polyester film was used as the synthetic resin sheet. As the conductive thin film on the surface of this polyester film, a Cu vapor deposition film was used.

本実施形態の膜厚測定装置は、回転ローラ型の装置である。この膜厚測定装置１は、図１に示すように、ローラ検査部２と、制御部３(図９参照)とから構成されている。   The film thickness measuring device of this embodiment is a rotary roller type device. As shown in FIG. 1, the film thickness measuring apparatus 1 is composed of a roller inspection unit 2 and a control unit 3 (see FIG. 9).

ローラ検査部２は、図１、３〜５に示すように主に、本体部４と、回転軸５とから構成されている。本体部４は主に、測定ユニット６と、電源ユニット７と、連結部８とから構成されている。   As shown in FIGS. 1 and 3 to 5, the roller inspection unit 2 mainly includes a main body 4 and a rotating shaft 5. The main body 4 mainly includes a measurement unit 6, a power supply unit 7, and a connecting portion 8.

測定ユニット６は、検査ヘッド１０等を内蔵したユニットである。測定ユニット６は、全体を肉厚の円盤状に形成されて、検査試料であるポリエステルフィルム１１の横幅に応じた個数だけ互いに連結される。ここでは、５個の測定ユニット６が連結されて、ローラを構成している。なお、測定ユニット６の個数としては、検査したい間隔に応じても異なってくる。この場合は、後述する間隔調整板１２を各測定ユニット６の間に挿入して測定ユニット６の間隔を調整して、ポリエステルフィルム１１の幅に合わせた個数に設定する。   The measurement unit 6 is a unit that incorporates the inspection head 10 and the like. The measuring units 6 are formed in a thick disk shape as a whole, and are connected to each other by the number corresponding to the lateral width of the polyester film 11 that is an inspection sample. Here, five measurement units 6 are connected to form a roller. The number of measurement units 6 varies depending on the interval to be inspected. In this case, an interval adjusting plate 12 to be described later is inserted between the measuring units 6 to adjust the interval of the measuring units 6 and set to a number that matches the width of the polyester film 11.

測定ユニット６は主に、肉厚の円盤状の筐体部６Ａと、この筐体部６Ａ内の収納された測定機器（検査ヘッド１０以外は図示せず）とから構成されている。   The measurement unit 6 is mainly composed of a thick disc-shaped housing 6A and a measuring device (not shown except for the inspection head 10) housed in the housing 6A.

筐体部６Ａは、測定ユニット６の外殻を構成する部材である。この筐体部６Ａが複数個互いに連結される。各筐体部６Ａは連結棒やネジ棒等の連結具(図示せず)によって互いに連結される。各筐体部６Ａの間には、間隔調整板１２が適宜設けられて、ポリエステルフィルム１１上の測定位置が適宜調整される。測定位置の間隔を広げたい場合は間隔調整板１２の厚さや枚数を増やし、狭めたい場合は間隔調整板１２の厚さや枚数を減らす。また、ポリエステルフィルム１１の全長方向の測定位置を調整する場合は、筐体部６Ａの直径を変えたり、検査ヘッド１０の個数を変えたりして、ポリエステルフィルム１１の全長方向の測定位置の間隔を調整する。筐体部６Ａの外周面にはその全週に亘って、後述する隔離膜１４が貼付されている。   The housing portion 6 </ b> A is a member that constitutes the outer shell of the measurement unit 6. A plurality of the casing portions 6A are connected to each other. Each housing portion 6A is connected to each other by a connecting tool (not shown) such as a connecting rod or a screw rod. Between each housing | casing part 6A, the space | interval adjustment board 12 is provided suitably and the measurement position on the polyester film 11 is adjusted suitably. When it is desired to increase the interval between the measurement positions, the thickness and number of the interval adjusting plates 12 are increased. When it is desired to reduce the interval, the thickness and the number of the interval adjusting plates 12 are decreased. Moreover, when adjusting the measurement position of the full length direction of the polyester film 11, changing the diameter of the housing | casing part 6A or changing the number of the inspection heads 10, the interval of the measurement position of the full length direction of the polyester film 11 is changed. adjust. An isolation film 14 to be described later is attached to the outer peripheral surface of the housing 6A over the entire week.

筐体部６Ａ内の検査機器は、ポリエステルフィルム１１の導電性薄膜の膜厚を測定するための装置である。この検査機器は、検査ヘッド１０やその周辺機器(図示せず)で構成されている。検査ヘッド１０は、筐体部６Ａ内に組み込まれた状態で、正確に位置決めされて設けられている。具体的には、検査ヘッド１０が筐体部６Ａ内に組み込まれた状態で、検査ヘッド１０が筐体部６Ａの外周面の隔離膜１４の外側表面に対して設定された間隔になるように正確に位置決めして設けられている。これは、前記隔離膜１４の外側表面と、前記ポリエステルフィルム１１とが当接して、当該ポリエステルフィルム１１の導電性薄膜の位置を正確に把握するためである。即ち、検査ヘッド１０と前記隔離膜１４の外側表面との距離Ｓ１（図５参照）が正確に分かっていれば、この隔離膜１４の外側表面と前記ポリエステルフィルム１１の導電性薄膜との間隔を特定することで、前記検査ヘッド１０と導電性薄膜との距離を特定することができる。なお、前記隔離膜１４の外側表面と前記ポリエステルフィルム１１の導電性薄膜との間隔は、前記隔離膜１４の外側表面が前記ポリエステルフィルム１１の導電性薄膜に直接に当接しているときは「０」となり、前記隔離膜１４の外側表面が前記ポリエステルフィルム１１の反対面に当接しているときは「前記ポリエステルフィルム１１の膜厚Ｓ２」となる。このため、検査ヘッド１０は、本体部１０の隔離膜１４の外側表面に対して設定された間隔になるように正確に位置決めして設けられている。   The inspection device in the housing 6 </ b> A is a device for measuring the film thickness of the conductive thin film of the polyester film 11. This inspection device includes the inspection head 10 and its peripheral devices (not shown). The inspection head 10 is accurately positioned and provided in the state where it is incorporated in the housing 6A. Specifically, in a state where the inspection head 10 is incorporated in the housing portion 6A, the inspection head 10 has a set interval with respect to the outer surface of the isolation film 14 on the outer peripheral surface of the housing portion 6A. It is positioned accurately. This is because the outer surface of the isolation film 14 and the polyester film 11 come into contact with each other and the position of the conductive thin film of the polyester film 11 is accurately grasped. That is, if the distance S1 (see FIG. 5) between the inspection head 10 and the outer surface of the isolation film 14 is accurately known, the distance between the outer surface of the isolation film 14 and the conductive thin film of the polyester film 11 is set. By specifying, the distance between the inspection head 10 and the conductive thin film can be specified. The distance between the outer surface of the isolation film 14 and the conductive thin film of the polyester film 11 is “0” when the outer surface of the isolation film 14 is in direct contact with the conductive thin film of the polyester film 11. When the outer surface of the isolation film 14 is in contact with the opposite surface of the polyester film 11, the film thickness S2 of the polyester film 11 is obtained. For this reason, the inspection head 10 is accurately positioned and provided so as to have a set interval with respect to the outer surface of the isolation film 14 of the main body 10.

なお、前記隔離膜１４は、ポリエステルフィルム１１の導電性薄膜と検査ヘッド１０との間に介在されて、前記導電性薄膜に直接的に又は間接的に接触して当該導電性薄膜と前記検査ヘッド１０との間隔を設定間隔に支持するための膜である。この隔離膜１４に前記導電性薄膜が直接的に又は間接的に接触して、これら検査ヘッド１０と導電性薄膜とが設定された間隔に正確に調整される。   The isolation film 14 is interposed between the conductive thin film of the polyester film 11 and the inspection head 10, and directly or indirectly contacts the conductive thin film and the conductive thin film and the inspection head. 10 is a film for supporting the interval with the set interval. The conductive thin film is brought into direct or indirect contact with the isolation film 14, and the inspection head 10 and the conductive thin film are accurately adjusted to a set interval.

検査ヘッド１０は、前記従来技術と同様に、コア、励磁コイル、検出用コイル等によって構成されている。ここでは、検査ヘッド１０を測定ユニット６の筐体部６Ａ内に１個だけ内蔵しているが、筐体部６Ａ内の空間に余裕があれば、２個以上設けてもよい。配設位置も円周方向と軸方向に適宜設定してよい。例えば、２個の場合は円周方向に１８０°ずらして、３個の場合は円周方向に１２０°ずらして等間隔に配設してもよい。また、一定間隔を空けて軸方向に並べて配設してもよい。軸方向と円周方向とにそれぞれずらして配設してもよい。また、測定ユニット６の筐体部６Ａ内には、ドリフト調整のためのリードスイッチやマグネット等も適宜配設されている。   The inspection head 10 is composed of a core, an excitation coil, a detection coil, and the like, as in the prior art. Here, only one inspection head 10 is built in the housing 6A of the measurement unit 6, but two or more inspection heads may be provided if there is room in the housing 6A. The arrangement position may be set as appropriate in the circumferential direction and the axial direction. For example, in the case of two pieces, they may be shifted by 180 ° in the circumferential direction, and in the case of three pieces, they may be shifted by 120 ° in the circumferential direction and arranged at equal intervals. Further, they may be arranged side by side in the axial direction with a certain interval. You may arrange | position by shifting to an axial direction and a circumferential direction, respectively. In addition, a reed switch, a magnet, and the like for drift adjustment are appropriately disposed in the housing portion 6A of the measurement unit 6.

この測定ユニット６は５個、必要に応じて間隔調整板１２を介在させて連結具で互いに連結されて、電源ユニット７及び連結部８と共に一体的に固定される。   Five measuring units 6 are connected to each other by a connecting tool with a gap adjusting plate 12 interposed as necessary, and are fixed together with the power supply unit 7 and the connecting portion 8.

電源ユニット７は、各測定ユニット６に電源を供給するための部材である。各測定ユニット６は、互いに連結されることで電気的にも連結されて電源ユニット７に電源を供給する。５個連結された測定ユニット６の一端部に電源ユニット７が直接連結されて、一端部の測定ユニット６から他端部の測定ユニット６まで全てに電源が供給されるようになっている。また、検出信号も同様に、連結された各測定ユニット６を介して外部の制御部３に接続されている。この回路の一例を図６及び図７に示す。ここでは、５個の測定ユニット６を連結しているため、コイル等からなるセンサ１６を備えたセンサアンプ１７が５個並列に接続されている。各センサ１６は、前記隔離膜１４の外側表面との距離が設定値になるように正確に位置決めして設けられている。各センサアンプ１７は、互いに電気的に接続されて、電源が供給されると共に、検出信号が外部に出力される。   The power supply unit 7 is a member for supplying power to each measurement unit 6. The measurement units 6 are connected to each other so as to be electrically connected to supply power to the power supply unit 7. A power supply unit 7 is directly connected to one end portion of the five measurement units 6 connected to supply power from the measurement unit 6 at one end to the measurement unit 6 at the other end. Similarly, the detection signal is also connected to the external control unit 3 via each linked measurement unit 6. An example of this circuit is shown in FIGS. Here, since five measurement units 6 are connected, five sensor amplifiers 17 each including a sensor 16 made of a coil or the like are connected in parallel. Each sensor 16 is positioned accurately so that the distance from the outer surface of the isolation film 14 becomes a set value. The sensor amplifiers 17 are electrically connected to each other, supplied with power, and output detection signals to the outside.

さらに、各センサアンプ１７は、外部装置とスリップリング(図示せず)で接続されている。このスリップリングは、ローラ検査部２内の検査ヘッド１０と外部装置とを、互いの回転を許容した状態で電気的に接続するための装置である。このスリップリングによって、検査ヘッドのセンサ１６及びセンサアンプ１７で検出した検出信号が外部装置に確実に出力される。   Further, each sensor amplifier 17 is connected to an external device by a slip ring (not shown). This slip ring is a device for electrically connecting the inspection head 10 in the roller inspection unit 2 and an external device in a state in which mutual rotation is allowed. By this slip ring, detection signals detected by the sensor 16 and the sensor amplifier 17 of the inspection head are reliably output to the external device.

スリップリングとしては公知のものを用いることができる。ここではその一例としてのスリップリングを用いている。このスリップリングは図７に示すように主に、高周波発振器１９と、絶縁トランス２０と、自動電圧調整器２１と、Ｖ／Ｆコンバータ２２と、光電変換素子(図示せず)と、光ファイバーロータリージョイント(図示せず)とから構成されている。これにより、絶縁トランス２０と光ファイバーロータリージョイントで回転を許容して、ローラ検査部２と外部装置とを電気的に接続している。   A known slip ring can be used. Here, as an example, a slip ring is used. As shown in FIG. 7, the slip ring mainly includes a high-frequency oscillator 19, an insulating transformer 20, an automatic voltage regulator 21, a V / F converter 22, a photoelectric conversion element (not shown), and an optical fiber rotary joint. (Not shown). Thereby, rotation is permitted by the insulation transformer 20 and the optical fiber rotary joint, and the roller inspection unit 2 and the external device are electrically connected.

電源ユニット７には、回転軸５と連結するための連結部７Ａが一体的に設けられている。この連結部７Ａは、軸挿入部７Ｂと、フランジ部７Ｃとから構成されている。軸挿入部７Ｂは、回転軸５が挿入されて互いに固定されるための筒部である。フランジ部７Ｃは、５個連結された測定ユニット６の一端部の測定ユニット６に連結する部材である。   The power supply unit 7 is integrally provided with a connecting portion 7 </ b> A for connecting to the rotating shaft 5. 7 A of this connection part is comprised from the shaft insertion part 7B and the flange part 7C. The shaft insertion portion 7B is a cylindrical portion for inserting the rotating shaft 5 and fixing them together. The flange portion 7C is a member that is connected to the measurement unit 6 at one end of the five measurement units 6 connected.

連結部８は、回転軸５と連結するための部材である。この連結部８は、前記電源ユニット７の連結部７Ａと同様に、軸挿入部８Ａと、フランジ部８Ｂとから構成されている。軸挿入部８Ａは、回転軸５が挿入されて互いに固定されるための筒部である。フランジ部８Ｂは、５個連結された測定ユニット６の他端部の測定ユニット６に連結する部材である。フランジ部８Ｂは、測定ユニット６と同じ大きさの円盤状に形成され、他端部の測定ユニット６を回転可能に支持する。そして、この連結部８と前記電源ユニット７の連結部７Ａとで、５個連結された測定ユニット６全体を回転可能に支持している。   The connecting portion 8 is a member for connecting to the rotating shaft 5. Similar to the connecting portion 7A of the power supply unit 7, the connecting portion 8 includes a shaft insertion portion 8A and a flange portion 8B. 8 A of shaft insertion parts are cylinder parts for the rotating shaft 5 to be inserted and fixed mutually. The flange portion 8B is a member connected to the measurement unit 6 at the other end of the five measurement units 6 connected. The flange portion 8B is formed in a disk shape having the same size as the measurement unit 6, and rotatably supports the measurement unit 6 at the other end portion. The connecting unit 8 and the connecting unit 7A of the power supply unit 7 support the five measuring units 6 connected in a rotatable manner.

回転軸５は、本体部４を回転可能に支持するための軸である。この回転軸５は、本体部４の両側の連結部７Ａ、８にそれぞれ固定されて、外部装置の支持アーム(図示せず)等によって回転可能に支持されている。回転軸５内には信号線２４等が配設されている。   The rotation shaft 5 is a shaft for rotatably supporting the main body portion 4. The rotating shaft 5 is fixed to the connecting portions 7A and 8 on both sides of the main body portion 4, and is rotatably supported by a support arm (not shown) of an external device. A signal line 24 and the like are disposed in the rotary shaft 5.

制御部３は、ローラ検査部２で検出した検出信号を処理して、導電性薄膜の膜厚を計算する処理部である。この制御部３では、次のような処理がなされる。   The control unit 3 is a processing unit that processes the detection signal detected by the roller inspection unit 2 and calculates the film thickness of the conductive thin film. In the control unit 3, the following processing is performed.

まず、導電性薄膜の膜厚測定の原理を説明する。   First, the principle of measuring the thickness of the conductive thin film will be described.

この膜厚測定の原理は、電磁誘導作用により、導電性薄膜の表面に発生する渦電流を利用して抵抗率を測定し、予め分かっている導電性薄膜のシート抵抗との比から導電性薄膜の膜厚を測定するものである。   The principle of this film thickness measurement is to measure the resistivity using the eddy current generated on the surface of the conductive thin film by electromagnetic induction, and to determine the conductive thin film from the ratio of the sheet resistance of the conductive thin film known in advance. The film thickness is measured.

コイルに高周波の電圧をかけると、そのコイルから高周波周期で変化する磁場が発生する。この磁場中に導電性薄膜を置くと、その導電性薄膜の表面に渦電流が発生する。渦電流は、時間的に変化する磁場中におかれた導電性薄膜の内部に電磁誘導によって生ずる渦状の電流である。電流が磁束方向に垂直な面内を渦状に流れてジュール熱を発生させ、電磁エネルギーの熱損失が起こる。この電磁誘導作用を利用することにより、導電性薄膜の抵抗率／シート抵抗を測定することが可能である。   When a high frequency voltage is applied to a coil, a magnetic field that changes at a high frequency period is generated from the coil. When a conductive thin film is placed in this magnetic field, an eddy current is generated on the surface of the conductive thin film. The eddy current is an eddy current generated by electromagnetic induction inside a conductive thin film placed in a magnetic field changing with time. Current flows in a vortex in a plane perpendicular to the magnetic flux direction, generating Joule heat, and heat loss of electromagnetic energy occurs. By utilizing this electromagnetic induction effect, it is possible to measure the resistivity / sheet resistance of the conductive thin film.

高周波発振器１９によって検査ヘッド１０に数ＭHzの高周波を加えることにより、各検査ヘッド１０のギャップに高周波で変化する磁場が生ずる。従って、この検査ヘッド１０のギャップに導電性薄膜を貼付したポリエステルフィルム１１を入れると、高周波誘導結合により導電性薄膜に渦電流が発生する。発生した渦電流は、ジュール熱となって失われる。即ち、高周波電力の一部が導電性薄膜内で、ジュール熱への変換という形をとって吸収される。そして、導電性薄膜内での高周波電力の吸収と導電率(抵抗率の逆数)および試料の形状(厚さ)とは、正の相関を持っているため、これを利用することにより、導電性薄膜の［抵抗率／シート抵抗］を測定することが出来る。   By applying a high frequency of several MHz to the inspection head 10 by the high-frequency oscillator 19, a magnetic field that changes at a high frequency is generated in the gap of each inspection head 10. Accordingly, when the polyester film 11 with the conductive thin film attached is inserted into the gap of the inspection head 10, an eddy current is generated in the conductive thin film by high frequency inductive coupling. The generated eddy current is lost as Joule heat. That is, part of the high frequency power is absorbed in the conductive thin film in the form of conversion to Joule heat. The absorption of high-frequency power in the conductive thin film has a positive correlation with the conductivity (reciprocal of resistivity) and the shape (thickness) of the sample. The [resistivity / sheet resistance] of the thin film can be measured.

前記導電性薄膜で消費される高周波電力は、
Ｐ＝Ｅ×Ｉ＝Ｅ（Ｉe＋Ｉo） ……（１）
但し、
Ｐ＝高周波電力
Ｅ＝高周波電圧
Ｉ＝高周波電流
Ｉo＝導電性薄膜なし時の高周波電流
Ｉe＝導電性薄膜を入れることにより増加した高周波電流
導電性薄膜をギャップに入れることにより増加する高周波電力は、
Ｐe＝Ｅ×Ｉe ……（２）
試料の導電率=σ 導電性薄膜の膜厚＝ｔ コイルの結合係数＝Ｋ とすると、
Ｐe＝Ｅ×Ｉe＝Ｋ×Ｅ2×σ×ｔ ……（３）
上式より
Ｉe＝Ｋ×Ｅ×σ×ｔ＝Ｋ×Ｅ×（ｔ／ρ） ……（４）
従って、低抗率は、
ρ＝Ｋ×（Ｅ／Ｉe）×ｔ （Ω-ｃｍ） ……（５）
抵抗率(ρ)とシート抵抗(ρs)と膜厚（ｔ）との関係は、
ｔ＝ρ／ρs＝Ｋ×（Ｅ／Ｉe）／ρs ……（６）
従って、あらかじめ抵抗率(ρ)が既知の導電性薄膜を使用して、シート抵抗(ρs)を測定すれば、前記（６）式より、導電性薄膜の膜厚ｔを算出することができる。 The high-frequency power consumed by the conductive thin film is
P = E × I = E (Ie + Io) (1)
However,
P = High-frequency power E = High-frequency voltage I = High-frequency current Io = High-frequency current without a conductive thin film Ie = High-frequency current increased by inserting a conductive thin film High-frequency power increased by inserting a conductive thin film into the gap is
Pe = E × Ie (2)
Sample conductivity = σ Conductive thin film thickness = t Coil coupling coefficient = K
Pe = E × Ie = K × E 2 × σ × t (3)
From the above formula Ie = K × E × σ × t = K × E × (t / ρ) (4)
Therefore, the low drag rate is
ρ = K × (E / Ie) × t (Ω-cm) (5)
The relationship between resistivity (ρ), sheet resistance (ρs) and film thickness (t) is
t = ρ / ρs = K × (E / Ie) / ρs (6)
Therefore, if the sheet resistance (ρs) is measured using a conductive thin film having a known resistivity (ρ) in advance, the film thickness t of the conductive thin film can be calculated from the equation (6).

以上の原理に基づいて、制御部３の処理部を構成する。   The processing unit of the control unit 3 is configured based on the above principle.

具体的な寸法例を次に示す。ポリエステルフィルム１１の厚さは１００μｍ〜１２０μｍ、ポリエステルフィルム１１の幅は７００〜１０００ｍｍ、導電性薄膜としてはＣｕ蒸着膜を用い、そのＣｕ蒸着膜の厚さは１μｍ、移動スピードは１０００ｍｍ／分（１６ｍｍ／秒）、抵抗率は約０．１Ω／□、ポリエステルフィルムの幅方向測定位置は５点とした。   Specific example dimensions are shown below. The thickness of the polyester film 11 is 100 μm to 120 μm, the width of the polyester film 11 is 700 to 1000 mm, a Cu deposited film is used as the conductive thin film, the thickness of the Cu deposited film is 1 μm, and the moving speed is 1000 mm / min (16 mm / Sec), the resistivity was about 0.1Ω / □, and the measurement position in the width direction of the polyester film was 5 points.

導電性薄膜と検査ヘッド１０との間隔は、図８のグラフに基づいて設定した。図８は、前記間隔の変化とセンサ出力電圧の減少率との関係を示すグラフである。「０」〜「６００」μｍまでの間隔における減少率において、間隔が「０」に近づくと、接触してしまうおそれがあり、離れすぎるとセンサ出力電圧が小さくなり過ぎる。このため、ここでは、３００μｍ±５０の範囲で間隔を設定した。ここで設定した範囲に合わせて、隔離膜１４の膜圧を調整した。   The distance between the conductive thin film and the inspection head 10 was set based on the graph of FIG. FIG. 8 is a graph showing the relationship between the change in the interval and the decrease rate of the sensor output voltage. In the rate of decrease in the interval from “0” to “600” μm, if the interval approaches “0”, there is a risk of contact, and if it is too far away, the sensor output voltage becomes too small. For this reason, here, the interval was set in the range of 300 μm ± 50. The membrane pressure of the separator 14 was adjusted according to the range set here.

以上のように設定された膜厚測定装置１は、例えば図９のようにして使用される。図９は、ローラに巻かれた長尺帯状のポリエステルフィルム１１の一側面に蒸着されたＣｕ蒸着膜の膜厚を測定する装置である。   The film thickness measuring apparatus 1 set as described above is used, for example, as shown in FIG. FIG. 9 is an apparatus for measuring the film thickness of a Cu vapor-deposited film deposited on one side surface of a long belt-like polyester film 11 wound around a roller.

図中の２６は前記ポリエステルフィルム１１が巻かれた繰出ローラである。２７はポリエステルフィルム１１の表面にＣｕ蒸着膜を蒸着する蒸着装置である。２８は蒸着されたポリエステルフィルム１１を巻き取る巻取ローラである。膜厚測定装置１は、蒸着装置２７の下流側に設けられている。膜厚測定装置１のローラ検査部２が、蒸着装置２７の下流側において、ポリエステルフィルム１１にローラ検査部２が図５のように接触して配設されている。制御部３は、ローラ検査部２からの検出信号に基づいてＣｕ蒸着膜の膜厚を算出し、設定値からのズレ量を補正する制御信号を蒸着装置２７に出力する。蒸着装置２７では、制御部３からの制御信号に基づいて蒸着膜の膜厚を調整する。   Reference numeral 26 in the figure denotes a feeding roller around which the polyester film 11 is wound. Reference numeral 27 denotes a vapor deposition apparatus that deposits a Cu vapor deposition film on the surface of the polyester film 11. Reference numeral 28 denotes a winding roller that winds the deposited polyester film 11. The film thickness measuring device 1 is provided on the downstream side of the vapor deposition device 27. The roller inspection unit 2 of the film thickness measuring device 1 is disposed on the polyester film 11 in contact with the polyester film 11 on the downstream side of the vapor deposition device 27 as shown in FIG. The control unit 3 calculates the film thickness of the Cu vapor deposition film based on the detection signal from the roller inspection unit 2, and outputs a control signal for correcting the deviation amount from the set value to the vapor deposition device 27. In the vapor deposition apparatus 27, the film thickness of the vapor deposition film is adjusted based on a control signal from the control unit 3.

このとき、ローラ検査部２が回転しながらポリエステルフィルム１１に常に接触して、ポリエステルフィルム１１の全面のＣｕ蒸着膜の膜厚を測定する。即ち、５個の検査ヘッド１０が、ポリエステルフィルム１１の横方向に５箇所の位置で、かつローラ検査部２の円周の長さの間隔で、ポリエステルフィルム１１の全面のＣｕ蒸着膜の膜厚を測定する。   At this time, the roller inspection part 2 always contacts the polyester film 11 while rotating, and the film thickness of the Cu vapor deposition film on the entire surface of the polyester film 11 is measured. That is, five inspection heads 10 are located at five positions in the lateral direction of the polyester film 11 and at intervals of the circumferential length of the roller inspection portion 2. The film thickness of the Cu vapor deposition film on the entire surface of the polyester film 11. Measure.

さらに、このとき、検査ヘッド１０とポリエステルフィルム１１のＣｕ蒸着膜との間隔は、３００μｍ±５０の範囲で隔離膜１４によって正確に維持されるため、Ｃｕ蒸着膜をポリエステルフィルム１１の全面に亘って、容易にかつ正確に測定する。   Further, at this time, since the distance between the inspection head 10 and the Cu vapor deposition film of the polyester film 11 is accurately maintained by the isolation film 14 in the range of 300 μm ± 50, the Cu vapor deposition film extends over the entire surface of the polyester film 11. Measure easily and accurately.

以上のように、隔離膜１４がポリエステルフィルム１１の導電性薄膜に直接的に又は間接的に接触して当該導電性薄膜と前記検査ヘッド１０との間隔を前記設定された間隔に支持して、当該検査ヘッド１０で前記導電性薄膜の膜厚を測定するため、前記導電性薄膜の膜厚を容易にかつ正確に測定することができる。   As described above, the separator 14 is in direct or indirect contact with the conductive thin film of the polyester film 11 to support the interval between the conductive thin film and the inspection head 10 at the set interval, Since the inspection head 10 measures the film thickness of the conductive thin film, the film thickness of the conductive thin film can be easily and accurately measured.

回転ローラ型のローラ検査部２をポリエステルフィルム１１の表面に接触させて回転させることで、前記ポリエステルフィルム１１全体の導電性薄膜の膜厚を容易に測定することができるため、広い薄膜を、膜厚全体を短時間で容易に且つ正確に測定することができる。   Since the thickness of the conductive thin film of the whole polyester film 11 can be easily measured by rotating the roller inspection portion 2 of the rotating roller type in contact with the surface of the polyester film 11, a wide thin film can be formed. The entire thickness can be measured easily and accurately in a short time.

肉厚円盤状の測定ユニット６がポリエステルフィルム１１の横幅に応じた個数だけ互いに連結して前記回転ローラ型のローラ検査部２を構成するため、ローラ検査部２をポリエステルフィルム１１に当接して当該ポリエステルフィルム１１の一端から他端まで１回だけ転がすだけで、又はポリエステルフィルム１１を前記ローラ検査部２に当接して当該ポリエステルフィルム１１の一端から他端まで１回だけ移動させるだけで、前記ポリエステルフィルム１１の導電性薄膜の膜厚を容易に測定することができる。   Since the thick disk-shaped measuring units 6 are connected to each other by the number corresponding to the width of the polyester film 11 to constitute the rotary roller type roller inspection unit 2, the roller inspection unit 2 is brought into contact with the polyester film 11 and The polyester film 11 can be rolled only once from one end to the other end of the polyester film 11 or can be moved only once from one end of the polyester film 11 to the other end by contacting the roller inspection unit 2. The film thickness of the conductive thin film of the film 11 can be easily measured.

また、ローラ検査部２と共に検査ヘッド１０も回転するが、この検査ヘッド１０での検出信号は、スリップリングで外部装置に確実に出力されるため、回転ローラ式の膜厚測定装置１で正確に膜厚を測定することができる。   In addition, the inspection head 10 rotates together with the roller inspection unit 2, and the detection signal from the inspection head 10 is reliably output to an external device by a slip ring. The film thickness can be measured.

［変形例］
前記実施形態では、基材としてのポリエステルフィルム１１の表裏面のうちの一側面にＣｕ蒸着膜を形成したものを例に説明したが、例えばラミネートシート等のように、内部である中間層に導電性薄膜を形成した場合でも本発明を提供することができる。この場合も、前記実施形態と同様の作用、効果を奏することができる。 [Modification]
In the above-described embodiment, an example in which a Cu vapor deposition film is formed on one side of the front and back surfaces of the polyester film 11 as a base material has been described as an example. Even when a conductive thin film is formed, the present invention can be provided. Also in this case, the same operations and effects as those of the above embodiment can be obtained.

前記実施形態では、膜厚測定装置１として円形状ローラを用いたが、多面体状ローラを用いても良い。   In the embodiment, a circular roller is used as the film thickness measuring device 1, but a polyhedral roller may be used.

また、前記実施形態では、検査試料として、柔軟な帯状の合成樹脂を用いたが、本発明はこれに限らず、ガラス基板等の長大な硬質の板材でもよい。この場合は、図１０に示すように、ローラ検査部２を板材３１の表面に転がして板材３１の全面を走査させる。長尺帯状の板材の場合は、その板材の幅に合わせてローラ検査部２を構成して、長尺の板材の一端から他端まで１回で走査する。この場合も、前記実施形態と同様の作用、効果を奏することができる。   Moreover, in the said embodiment, although the flexible strip | belt-shaped synthetic resin was used as a test sample, this invention is not restricted to this, A long and hard board | plate material, such as a glass substrate, may be sufficient. In this case, as shown in FIG. 10, the roller inspection unit 2 is rolled onto the surface of the plate material 31 to scan the entire surface of the plate material 31. In the case of a long strip-shaped plate material, the roller inspection unit 2 is configured according to the width of the plate material, and scanning is performed once from one end to the other end of the long plate material. Also in this case, the same operations and effects as those of the above embodiment can be obtained.

また、前記実施形態では、膜厚測定装置１として円形状ローラを用いたが、図１１に示すように、平板状の装置を用いても良い。この平板状の膜厚測定装置３２は、その内部に１又は複数個の検査ヘッド(図示せず)が装着され、検査試料３３側の表面（下側面）に隔離膜が貼付されている。この膜厚測定装置３２は、検査試料３３よりも大きく形成されている。そして、膜厚測定装置３２が、検査試料３３にその上側面から一回だけ接触して、検査試料３３の全面の導電性薄膜の膜厚を測定する。これにより、検査試料３３の全面の導電性薄膜の膜厚を容易にかつ正確に測定することができる。   Moreover, in the said embodiment, although the circular roller was used as the film thickness measuring apparatus 1, you may use a flat apparatus as shown in FIG. The flat film thickness measuring device 32 has one or a plurality of inspection heads (not shown) mounted therein, and a separation film is attached to the surface (lower side) on the inspection sample 33 side. The film thickness measuring device 32 is formed larger than the inspection sample 33. Then, the film thickness measuring device 32 comes into contact with the inspection sample 33 only once from its upper surface, and measures the film thickness of the conductive thin film on the entire surface of the inspection sample 33. Thereby, the film thickness of the electroconductive thin film of the whole surface of the test sample 33 can be measured easily and accurately.

また、前記実施形態では、膜厚測定装置１として円形状ローラを用いたが、検査試料に対して膜厚測定装置１の直径が遙かに大きい場合は、円形状ローラでなくても、そのローラの一部として円弧状に形成しても良い。この場合も、前記実施形態と同様の作用、効果を奏することができる。   Moreover, in the said embodiment, although the circular roller was used as the film thickness measuring apparatus 1, when the diameter of the film thickness measuring apparatus 1 is much larger with respect to a test sample, even if it is not a circular roller, the You may form in circular arc shape as a part of roller. Also in this case, the same operations and effects as those of the above embodiment can be obtained.

本発明に係る膜厚測定装置のローラ検査部を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the roller test | inspection part of the film thickness measuring apparatus which concerns on this invention. 従来の非接触型抵抗率測定装置を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows the conventional non-contact-type resistivity measuring apparatus. 本発明に係る膜厚測定装置のローラ検査部を示す分解図である。It is an exploded view which shows the roller test | inspection part of the film thickness measuring apparatus which concerns on this invention. 本発明に係る膜厚測定装置のローラ検査部とポリエステルフィルムが接触した状態を示す概略側面図である。It is a schematic side view which shows the state which the roller test | inspection part and polyester film of the film thickness measuring apparatus based on this invention contacted. 本発明に係る膜厚測定装置のローラ検査部とポリエステルフィルムが接触した状態を示す概略側面図である。It is a schematic side view which shows the state which the roller test | inspection part and polyester film of the film thickness measuring apparatus based on this invention contacted. 本発明に係る膜厚測定装置の回路例を示す回路図である。It is a circuit diagram which shows the circuit example of the film thickness measuring apparatus which concerns on this invention. 本発明に係る膜厚測定装置の回路例を示す回路図である。It is a circuit diagram which shows the circuit example of the film thickness measuring apparatus which concerns on this invention. 検査ヘッドとポリエステルフィルムの導電性薄膜との間隔の変化とセンサ出力電圧の減少率との関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship between the change of the space | interval of a test | inspection head and the electroconductive thin film of a polyester film, and the decreasing rate of a sensor output voltage. 本発明に係る膜厚測定装置の使用例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the usage example of the film thickness measuring apparatus which concerns on this invention. 本発明の変形例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the modification of this invention. 本発明の変形例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the modification of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

１：膜厚測定装置、２：ローラ検査部、３：制御部、４：本体部、５：回転軸、６：測定ユニット、７：電源ユニット、８：連結部、１０：検査ヘッド、１１：ポリエステルフィルム、１２：スペーサ、１４：隔離膜、１６：センサ、１７：センサアンプ、１９：高周波発振器、２０：絶縁トランス、２１：自動電圧調整器、２２：Ｖ／Ｆコンバータ、２４：信号線、２６：繰出ローラ、２７：蒸着装置、２８：巻取ローラ、
３１：板材、３２：膜厚測定装置、３３：検査試料。 1: Film thickness measuring device, 2: Roller inspection unit, 3: Control unit, 4: Main body unit, 5: Rotating shaft, 6: Measurement unit, 7: Power supply unit, 8: Connection unit, 10: Inspection head, 11: Polyester film, 12: spacer, 14: isolation film, 16: sensor, 17: sensor amplifier, 19: high frequency oscillator, 20: insulation transformer, 21: automatic voltage regulator, 22: V / F converter, 24: signal line, 26: feeding roller, 27: vapor deposition apparatus, 28: winding roller,
31: Plate material, 32: Film thickness measuring device, 33: Inspection sample.

Claims (4)

基材に極薄の導電性薄膜が形成された検査試料に対して当該導電性薄膜の膜厚を測定する膜厚測定装置であって、
前記検査試料の表面に対して、設定された隙間を隔てた状態で固定される検査ヘッドと、
当該検査ヘッドが前記検査試料との当接部分の内側壁面に１又は複数個固定された回転ローラと、
当該回転ローラの前記当接部分の外側表面に貼付されて、前記検査試料の導電性薄膜と前記検査ヘッドとの間に介在すると共に前記導電性薄膜に直接的に又は間接的に接触して当該導電性薄膜と前記検査ヘッドとの間隔を前記設定された間隔に支持する極薄の隔離膜と
を備えて構成されたことを特徴とする膜厚測定装置。 A film thickness measuring device that measures the film thickness of a conductive thin film with respect to an inspection sample in which an extremely thin conductive thin film is formed on a substrate,
An inspection head fixed to the surface of the inspection sample with a set gap therebetween;
One or more rotating rollers fixed to the inner wall surface of the contact portion of the inspection head with the inspection sample; and
Affixed to the outer surface of the contact portion of the rotating roller, interposed between the conductive thin film of the inspection sample and the inspection head, and directly or indirectly in contact with the conductive thin film An apparatus for measuring a film thickness, comprising: an ultra-thin isolation film that supports an interval between a conductive thin film and the inspection head at the set interval. 請求項１に記載の膜厚測定装置において、
前記回転ローラが、前記検査ヘッドを内蔵した肉厚の円盤状の測定ユニットを１又は複数個連結して構成されたことを特徴とする膜厚測定装置。 In the film thickness measuring device according to claim 1,
A film thickness measuring apparatus, wherein the rotating roller is configured by connecting one or more thick disk-shaped measuring units each including the inspection head. 請求項１又は２に記載の膜厚測定装置において、
前記回転ローラ内の前記検査ヘッドと外部装置とをスリップリングで接続したことを特徴とする膜厚測定装置。 In the film thickness measuring device according to claim 1 or 2,
A film thickness measuring device, wherein the inspection head in the rotating roller and an external device are connected by a slip ring. 請求項１ないし３のいずれか１項に記載の膜厚測定装置において、
前記基材が長尺帯状の合成樹脂シート又は長大な硬質の板材であることを特徴とする膜厚測定装置。 In the film thickness measuring device according to any one of claims 1 to 3,
The film thickness measuring apparatus, wherein the base material is a long strip-shaped synthetic resin sheet or a long hard plate material.
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Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102010020116A1 (en) * 2010-05-10 2011-11-10 Helmut Fischer GmbH Institut für Elektronik und Messtechnik Method and device for measuring the thickness of thin layers on large-area measuring surfaces
CN102288825A (en) * 2011-06-08 2011-12-21 沈阳飞机工业（集团）有限公司 Method for measuring resistance value of aluminum layer on surface of carbon fiber composite material workpiece
JP5639034B2 (en) * 2011-11-22 2014-12-10 シャープ株式会社 Film thickness measuring method and film thickness measuring apparatus, semiconductor integrated circuit manufacturing method, control program, and readable storage medium
CN102877038B (en) * 2012-09-26 2014-06-25 深圳南玻显示器件科技有限公司 Transparent conductive film reeling coating device and application method thereof
CN105301358A (en) * 2015-11-09 2016-02-03 上海卫星装备研究所 Film layer resistance online detection device used for vacuum coiling film coating equipment
CN106918733B (en) 2015-12-24 2019-10-11 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 Flexible reliability test fixture and flexible reliability on-line testing equipment
CN110425973A (en) * 2019-08-29 2019-11-08 威海华菱光电股份有限公司 Thickness detection apparatus, method, system, storage medium and processor
CN114087974B (en) * 2021-11-24 2023-09-15 安徽晨旺林星新材料有限公司 Be used for wood thickness detection device for rayon processing
CN115682905A (en) * 2022-12-16 2023-02-03 广州粤芯半导体技术有限公司 Method and device for determining thickness of thin film and computer equipment

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60237335A (en) * 1984-05-11 1985-11-26 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd Shape detection apparatus
JPS6138503A (en) * 1984-07-31 1986-02-24 Ketsuto Kagaku Kenkyusho:Kk Film thickness gauge
JPS6469902A (en) * 1987-09-11 1989-03-15 Nippon Steel Corp Method for detecting shape of thin metal strip like plate
JPH0192666A (en) * 1987-10-05 1989-04-11 Kawasaki Steel Corp Noncontact type measuring method for semiconductor wafer electric resistance
JPH01239403A (en) * 1988-03-18 1989-09-25 Sumitomo Metal Ind Ltd Film thickness measuring method
JPH03273186A (en) * 1990-03-23 1991-12-04 Nkk Corp Weld zone detecting device for metallic belt
JPH0316004A (en) * 1990-05-18 1991-01-24 Hitachi Ltd Audio noise suppressor
JPH04147004A (en) * 1990-10-11 1992-05-20 Ichikoh Ind Ltd Measuring method of thickness dimension of coating film of exterior equipment for vehicle
JPH05322549A (en) * 1992-05-22 1993-12-07 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Method for controlling paint film thickness on metal band
JP3216320B2 (en) * 1993-04-15 2001-10-09 日本鋼管株式会社 Sheet thickness fluctuation measuring device
JPH06341806A (en) * 1993-05-31 1994-12-13 Kawasaki Steel Corp Method and device for measuring plating thickness
JPH07128566A (en) * 1993-10-28 1995-05-19 Olympus Optical Co Ltd Moving quantity detector
JP3628596B2 (en) * 2000-06-20 2005-03-16 神鋼鋼線工業株式会社 Method and apparatus for measuring coating thickness of coated steel strand
JP3902064B2 (en) * 2000-11-24 2007-04-04 株式会社荏原製作所 Eddy current sensor

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