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JP4703258B2 - 薄膜トランジスタ基板及び液晶表示パネル - Google Patents

薄膜トランジスタ基板及び液晶表示パネル Download PDF

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JP4703258B2
JP4703258B2 JP2005142770A JP2005142770A JP4703258B2 JP 4703258 B2 JP4703258 B2 JP 4703258B2 JP 2005142770 A JP2005142770 A JP 2005142770A JP 2005142770 A JP2005142770 A JP 2005142770A JP 4703258 B2 JP4703258 B2 JP 4703258B2
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Description

本発明は、液晶表示装置に用いられる薄膜トランジスタ基板及び液晶表示パネルに関する。
近年、液晶表示装置は、テレビ受像機やモニタ等に使用されている。特に、絶縁基板上に薄膜トランジスタ(Thin Film Transistor;TFT)がマトリクス状に配置された薄膜トランジスタ基板を搭載した液晶表示パネル(以下、TFT液晶表示パネルと称する)を用いる液晶表示装置は、高精細化、多階調化に伴い、画像表示品質の向上が望まれている。
TFT液晶表示パネルは一般に、薄膜トランジスタ基板と、当該薄膜トランジスタ基板に対向配置された対向基板と、当該基板間に挟持された液晶層とを有している。両基板にそれぞれ形成された透明電極に電圧を印加して液晶分子を傾斜させて光透過率を変化させることにより、階調を制御して画像を表示するようになっている。近年、液晶表示装置の需要は増加しており、液晶表示装置に対する要求も多様化している。特に視角特性や表示品質の改善が強く要求されており、これを実現する手段として垂直配向(VA:Vertically Aligned)型液晶表示装置が有望視されている。
VA型液晶表示装置は、両基板の対向面に垂直配向膜を備え、両基板間に負の誘電率異方性を有する液晶層を含むことを特徴としている。また、VA型液晶表示装置は、両基板上に例えば線状のドメイン規制手段(突起又はスリット)を備えており、このドメイン規制手段により配向分割が行われる。これによりVA型液晶表示装置は優れた視角特性や表示品質を実現している。
VA型液晶表示装置や他の方式の液晶表示装置に用いられるTFT液晶表示パネルでは、一般に画素毎に1つの画素電極が配置されているが、1画素内で当該画素電極を複数の副画素電極に分割した構造も知られている。例えば、特許文献1にはゲートバスラインとドレインバスラインとで画定された画素領域内で1つのTFTを介して複数の副画素電極に供給する電位を容量結合により変化させた構成が開示されている。また、ゲートバスライン又はドレインバスラインを挟んで分割された副画素電極を有する薄膜トランジスタ基板及び液晶表示装置が特許文献2乃至4等に開示されている。
ところで、配向分割型のVA型液晶表示装置では、画面を斜め方向から見ると白っぽく視認される「白っ茶け」現象が生じてしまうという問題がある。その改善方法として、1画素内の画素電極を複数の副画素電極に分割し、画素TFTを介して階調電圧が直接印加される副画素電極と、容量結合により、階調電圧より低い所定電位になる副画素電極とを混在させた、いわゆる容量ハーフトーン駆動方法が提案されている。
特許第3076938号公報 特開昭63−262621号公報 特開平03−024524号公報 特開平09−179141号公報 特許第3098345号公報 特開2002−287712号公報
しかしながら、容量ハーフトーン駆動方法で用いられる画素構造は以下のような不利な点を有している。第1に、副画素電極を容量結合するための容量電極は、画素TFTを構成する不透明金属膜と同一膜で画素領域内に形成されるので、容量電極の存在により画素有効面積が減少して透過率が低下してしまう。第2に、仮に容量電極を透明電極材で形成しようとすると製造工程が増加してしまう。第3に、隣接副画素電極間を絶縁するために所定幅のスリット領域を必要とするので、スリットの幅だけ画素の有効面積が減少して透過率が低下してしまう。第4に、仮にスリット幅を狭めると副画素電極のパターニング時にパターン不良により隣接副画素電極間が短絡してしまうことがある。第5に、異なる電位になる副画素電極同士が隣接しているので画素構造が複雑になってしまう。第6には、画素構造が複雑になることから画素設計の自由度が制限されてしまう。
本発明の目的は、良好な表示品質の得られる薄膜トランジスタ基板及び液晶表示パネルを提供することにある。
上記目的は、透明絶縁基板上に絶縁膜を介して交差して配置された第1及び第2のバスラインと、前記第1のバスラインを挟んで両側に配置された第1及び第2の副画素電極と、前記第1の副画素電極に電気的に直接接続された第1の薄膜トランジスタと、前記第2の副画素電極に容量結合された第2の薄膜トランジスタとを有することを特徴とする薄膜トランジスタ基板によって達成される。
上記本発明の薄膜トランジスタ基板において、前記第1のバスラインは、前記第1及び第2の薄膜トランジスタのゲート電極に電気的に直接接続されるゲートバスラインであり、前記第2のバスラインは、前記第1及び第2の薄膜トランジスタのドレイン電極に電気的に直接接続されるドレインバスラインであることを特徴とする。
上記本発明の薄膜トランジスタ基板において、前記第1の薄膜トランジスタのソース電極が前記第1の副画素電極に電気的に直接接続され、前記第2の薄膜トランジスタのソース電極が前記絶縁膜を介して前記第2の副画素電極と容量結合されていることを特徴とする。
上記本発明の薄膜トランジスタ基板において、前記ゲートバスラインの一部が前記第1及び第2の薄膜トランジスタのゲート電極を兼ねており、前記ドレイン電極は、前記透明絶縁基板面の法線方向に見て、前記ドレインバスラインから前記ゲート電極上に突出して形成され、前記第1及び第2の薄膜トランジスタの共通のドレイン電極として用いられることを特徴とする。
上記本発明の薄膜トランジスタ基板において、前記ゲートバスラインと同層に形成され、前記第2の薄膜トランジスタのソース電極との間に前記絶縁膜を容量膜として容量を形成し、前記第2の副画素電極と電気的に直接接続されている独立電極をさらに有することを特徴とする。
上記本発明の薄膜トランジスタ基板において、前記ゲートバスラインと同層に形成され、前記第2の薄膜トランジスタのソース電極との間に前記絶縁膜を容量膜として容量を形成し、且つ前記第2の副画素電極と容量結合される独立電極をさらに有することを特徴とする。
上記本発明の薄膜トランジスタ基板において、前記第2の薄膜トランジスタのソース電極は、前記第2の副画素電極との間に前記第2の薄膜トランジスタ上部を覆う絶縁膜を容量膜として容量を形成していることを特徴とする。
また上記目的は、上記本発明の薄膜トランジスタ基板と、前記薄膜トランジスタ基板に対向して配置され、透明絶縁基板上に対向電極が形成された対向基板と、前記薄膜トランジスタ基板と前記対向基板との間に狭持された液晶層とを有することを特徴とする液晶表示パネルによって達成される。
本発明によれば、良好な表示品質の得られる薄膜トランジスタ基板及び液晶表示パネルを実現できる。
〔第1の実施の形態〕
本発明の第1の実施の形態による薄膜トランジスタ基板及び液晶表示パネルについて図1及び図2を用いて説明する。図1は、本実施の形態による薄膜トランジスタ基板の1画素の構成を示し、図2は図1のA−A線で切断した薄膜トランジスタ基板の断面構成を示している。図1及び図2に示すように、薄膜トランジスタ基板には透明絶縁基板であるガラス基板10上にAl(アルミニウム)とMo(モリブデン)をこの順に積層したAl/Mo層で複数のゲートバスライン12が形成されている。ガラス基板10上及びゲートバスライン12上にはシリコン窒化膜の絶縁膜(ゲートバスライン12上の一部ではゲート絶縁膜として機能する;以下、ゲート絶縁膜という)30が形成されている。ゲート絶縁膜30上にはゲートバスライン12に交差して複数のドレインバスライン14が形成されている。また、ゲートバスライン12の形成層のAl/Mo層でゲートバスライン12と並列に蓄積容量電極バスライン18が形成されている。
本実施の形態による1画素の構成では、ゲートバスライン12を挟んで両側に副画素領域A、Bがそれぞれ形成されている。なお、ドレインバスライン14を挟んで両側に副画素領域A、Bを配置することももちろん可能である。ゲートバスライン12及びドレインバスライン14の交差位置近傍には、副画素領域A、B毎にスイッチング素子としてのTFT(第1及び第2の薄膜トランジスタ)20a、20bが図1中の2つの円内に示す位置に形成されている。
TFT20aと20bのドレイン電極21は共通化されており、パネル面の法線方向に見るとゲートバスライン12に重なるようにドレインバスライン14から引き出されて形成されている。つまり、ドレインバスライン14と電気的に接続されたドレイン電極21はTFT20a、20b双方のドレイン電極を兼ねている。またゲートバスライン12の一部は、TFT20a、20bのゲート電極として機能している。ドレイン電極21と所定の空間を隔てて副画素領域A側にTFT20aのソース電極22が形成されている。また、ドレイン電極21と所定の空間を隔てて副画素領域B側にTFT20bのソース電極23が形成されている。ドレインバスライン14及び、ドレイン電極21、ソース電極22、23は、同層のMo/Al/Mo膜で形成されている。
ゲートバスライン12の所定位置の上方のゲート絶縁膜30上には、図2に示すように、例えばアモルファス・シリコン(a−Si)層のアイランド半導体層40が形成されている。アイランド半導体層40上にはn型a−Si層からなるオーミックコンタクト層41が形成されている。ゲート絶縁膜30及びアイランド半導体層40上にソース電極22、23とドレイン電極21が形成されている。ゲート絶縁膜30及びソース電極22、23とドレイン電極21上の基板全面にシリコン窒化膜の絶縁膜(保護膜)31が形成されている。
副画素領域Aには透明画素電極材料のITO(インジウム・錫・オキサイド)膜で副画素電極(第1の副画素電極)16が形成されている。副画素領域Bには副画素電極16と同層のITO膜で副画素電極(第2の副画素電極)17が形成されている。
副画素領域Aの副画素電極16は、ソース電極22上の絶縁膜31に形成されたコンタクトホール25を介してソース電極22と電気的に直接接続されている。また、副画素領域Bの副画素電極17は、ソース電極23上の絶縁膜31を介してソース電極22と容量結合されている。パネル面法線方向に見て画素電極17はソース電極23と重なり部を有し、重なり部の絶縁膜31を容量膜としてキャパシタが構成されている。
このように、副画素電極16と副画素電極17とは、ドレイン電極21及びゲートバスライン12を挟んで対向して配置されている。また、副画素電極16と副画素電極17はその一部がそれぞれ別の蓄積容量バスライン18とゲート絶縁膜30を介して重なり、それぞれ別の蓄積容量バスライン18との間に容量を形成している。
以上説明した画素構成を備えた薄膜トランジスタ基板を液晶層を挟んで不図示の対向基板と貼り合わせることにより液晶表示パネルが完成する。
ところで、薄膜トランジスタ(TFT)の構造としては、アモルファスシリコン(a−Si)が動作層に用いられるTFTでは逆スタガ型やスタガ型、多結晶シリコン(Poly−Si)が動作層に用いられるTFTではコプレナー型等がある。また、逆スタガ型a-Si-TFTではチャネル部の構造の違いによりチャネル保護膜型(ISI)とチャネルエッチ型(NSI)に分類される。しかし、上記のいずれのTFTの型においてもTFTを覆う絶縁膜上に画素電極を配置する場合、構造的な違いはあるとしてもTFTとしての基本的な機能の面ではいずれもおなじである。本実施の形態ではチャネルエッチ型のTFTを用いている。
また、チャネルエッチ型TFTではa-Si層とソース・ドレイン用金属を同一マスクでパターニングしアイランド形成するとともに、この工程の露光マスクにハーフトーンマスクを使用することによってチャネル部のみハーフトーン露光して、レジストにコントラストを形成しておいて、アイランド形成後にレジストをハーフアッシング処理によりチャネル部のレジストを除去してから、素子分離を行いフォトリソ工程を削減する手法が提案されている。
次に、本実施の形態による薄膜トランジスタ基板及び液晶表示パネルその製造方法について説明する。まず厚さ約0.7mmのガラス基板10上にAlを150nmの膜厚に成膜し、さらにMoを80nmの膜厚に真空中でスパッタ法により成膜して積層したAl/Mo層を形成する。このAl/Mo層をフォトリソグラフィ法及びウェットエッチング法を用いてパターニングし、一部がゲート電極を兼ねるゲートバスライン12と、蓄積容量電極バスライン18とを形成する。次に、プラズマCVD法を用いて、基板全面にシリコン窒化膜(ゲート絶縁膜30)及び、a−Si膜、P(リン)をドープしたn型a−Si膜をそれぞれ400nm、100nm、50nmの膜厚にこの順に成長させる。次に、a−Si膜とn型a−Si膜をフォトリソグラフィ法とドライエッチング法を用いてゲート電極上に島状にパターニングして、アイランド半導体層40とオーミックコンタクト層41を形成する。
次いで、基板全面にTi(チタン)を20nmの膜厚に、Alを75nmの膜厚に、Tiを40nmの膜厚に真空中でスパッタ法によりこの順に成膜して積層する。この積層膜をフォトリソグラフィ法とドライエッチング法を用いてパターニングし、ソース電極22、23及びドレイン電極21を形成する。次に、アイランド半導体層40上のソース電極22、23とドレイン電極21間のn型a−Si層41をドライエッチング法を用いてエッチング除去し、ソース電極22とドレイン電極21との間、及びソース電極23とドレイン電極21との間をそれぞれ分離する。
続いて、プラズマCVD法により、膜厚300nmのシリコン窒化膜を成膜し、フォトリソグラフィ法とドライエッチング法を用いてパターニングし、コンタクトホール25が開口された絶縁膜(保護膜)31を形成する。ここで、シリコン窒化膜である絶縁膜31は薄膜トランジスタ基板の保護膜として機能する。
次に、画素電極16、17及び端子部の電極となる透明な酸化物であるITO膜をスパッタ法により膜厚80nmに成膜する。次いで、フォトリソグラフィ法とウェットエッチング法を用いて端子部の電極と画素電極16、17を同時に形成する。ここで、端子部の電極は、不図示のコンタクトホールを介してゲートバスラインやドレインバスラインと接続され、また、副画素電極16は、コンタクトホール25を介してソース電極22と接続される。最後に、全体を200度程度の温度で2時間アニールして薄膜トランジスタ基板(TFT基板)の製造が完了する。
上記の薄膜トランジスタ基板の製造方法では、配線の材料及び構造・膜厚の一例を示したが、その他の種々の組み合わせが可能である。たとえば、ゲート配線として、Al及びAl合金又はCr(クロム)やMoなどの金属単層で使用することもできるし、Al及びAl合金とその上部にTiを積層した構成とし、これをドライエッチングによりパターニングすることもできる。
また、単にMoなどの金属として用いるのではなく、Alとのウエットエッチング時の加工性や拡散防止などの効果から窒素や酸素を加えた条件でのスパッタ成膜によりMoNやMoOを適時組み合わせることができる。さらに、ITOを透明導電膜として用いたがその他のZnO(酸化亜鉛)やIZO(インジウム・亜鉛・オキサイド)などの透明導電膜を用いることもできる。
上記では、チャネルエッチタイプの薄膜トランジスタ基板の製造方法について説明したが、ハーフトーンマスクを使用してアイランド半導体層のパターニング工程とその工程に続くソース・ドレイン(及びバスライン)の金属及び素子部分離のパターニング工程のフォトリソグラフィ工程を削減したりすることも、先に述べたとおりである。
本実施の形態の薄膜トランジスタ基板及び液晶表示パネルによれば、以下のような効果を奏することができる。第1に、従来のソース電極と画素電極のコンタクトホールを介しての接続部分に相当する部位に容量を形成するため、不必要に不透明な配線の使用がなく、画素の有効面積及び透過率を充分確保できる。第2に、特別に追加的な容量電極や透明な容量電極を必要としないため工程の増加がない。第3に、従来必要であった副画素電極間の隙間がなくなるため、画素の有効面積及び透過率を充分確保できる。第4に、副画素同士がゲートバスラインとドレインバスラインを挟んで分割されるため、パターン不良により短絡してしまう恐れがない。第5に、画素構造が簡単になることから、画素設計の自由度が大きい。
〔第2の実施の形態〕
本発明の第2の実施の形態による薄膜トランジスタ基板について図3及び図4を用いて説明する。図3は、本実施の形態による薄膜トランジスタ基板の1画素の構成を示し、図4は図3のA−A線で切断した断面を示している。なおこれ以降の薄膜トランジスタ基板等の説明において、第1の実施の形態と同一の機能、作用を奏する構成要素には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
本実施の形態による薄膜トランジスタ基板の副画素領域Bには、TFT20bのソース電極23の下層にゲート絶縁膜30を介して独立電極13が形成されている。独立電極13はゲートバスライン12の形成工程で同時にゲートバスライン12と同層に形成される。ソース電極23は、パネル面法線方向に見て独立電極13との間にゲート絶縁膜30を介した重なり部を有し、重なり部のゲート絶縁膜30を容量膜としてキャパシタが構成されている。また、独立電極13上のゲート絶縁膜30及び絶縁膜(保護膜)31にはコンタクトホール26が形成され、独立電極13と副画素電極17がコンタクトホール26を介して直接接続されている。
本実施の形態によれば、第1の実施の形態と同様の効果が得られるのはもちろん、副画素電極17とソース電極23の間に容量が形成されるだけでなく、独立電極13とソース電極23との間にも容量を形成することができる。
〔第3の実施の形態〕
本発明の第3の実施の形態による薄膜トランジスタ基板について図5及び図6を用いて説明する。図5は、本実施の形態による薄膜トランジスタ基板の1画素の構成を示す図であり、図6は図5のA−A線で切断した断面を示している。
本実施の形態による薄膜トランジスタ基板の副画素領域Bには、TFT20bのソース電極23の下層にゲート絶縁膜30を介して独立電極13が形成されている。独立電極13はゲートバスライン12の形成工程で同時にゲートバスライン12と同層に形成される。ソース電極23は、パネル面法線方向に見て独立電極13との間にゲート絶縁膜30を介した重なり部を有し、重なり部のゲート絶縁膜30を容量膜としてキャパシタが構成されている。但し、本実施の形態では第2の実施の形態と異なり、独立電極13は副画素電極17と電気的に直接接続されておらず、フローティング状態になっている。
本実施の形態においても、第1の実施の形態と同様の効果が得られるのはもちろん、副画素電極17とソース電極23の間に容量が形成されるだけでなく、独立電極13とソース電極23との間にも容量を形成することができる。
本発明は、上記実施の形態に限らず種々の変形が可能である。
例えば、上記実施の形態では、チャネルエッチ型のTFTを用いた薄膜トランジスタ基板を例に挙げたが、本発明はこれに限らず、チャネル領域上に保護膜が形成されたチャネル保護膜型のTFTを用いた薄膜トランジスタ基板にも適用できる。
本発明の第1の実施の形態による薄膜トランジスタ基板の1画素の構成を示す図である。 本発明の第1の実施の形態による薄膜トランジスタ基板の1画素の構成を示す断面図である。 本発明の第2の実施の形態による薄膜トランジスタ基板の1画素の構成を示す図である。 本発明の第2の実施の形態による薄膜トランジスタ基板の1画素の構成を示す断面図である。 本発明の第3の実施の形態による薄膜トランジスタ基板の1画素の構成を示す図である。 本発明の第3の実施の形態による薄膜トランジスタ基板の1画素の構成を示す断面図である。
符号の説明
10 ガラス基板
12 ゲートバスライン
13 独立電極
14 ドレインバスライン
16 第1の副画素電極
17 第2の副画素電極
18 蓄積容量電極バスライン
20a、20b TFT
21 ドレイン電極
22、23 ソース電極
25、26 コンタクトホール
30 ゲート絶縁膜
31 絶縁膜(保護膜)
40 アイランド半導体層
41 オーミックコンタクト層

Claims (9)

  1. 透明絶縁基板上に配置されたゲートバスラインと、
    前記ゲートバスラインと絶縁膜を介して交差して配置されたドレインバスラインと、
    前記ゲートバスラインを挟んで両側に配置された第1及び第2の副画素電極と、
    前記第1の副画素電極に電気的に直接接続されたソース電極と、前記ドレインバスラインに直接接続されたドレイン電極と、前記ゲートバスラインに電気的に直接接続されたゲート電極とを備えた第1の薄膜トランジスタと、
    前記第2の副画素電極に容量結合されたソース電極と、前記ドレインバスラインに直接接続されたドレイン電極と、前記ゲートバスラインに電気的に直接接続されたゲート電極とを備えた第2の薄膜トランジスタと
    前記第2のトランジスタのソース電極の下層に前記絶縁膜を介して形成され、前記第2の副画素電極と直接接続された独立電極と
    を有することを特徴とする薄膜トランジスタ基板。
  2. 請求項1記載の薄膜トランジスタ基板において、
    前記独立電極は、前記絶縁膜と前記絶縁膜上に形成された保護膜とに形成されたコンタクトホールを介して前記第2の副画素電極に接続されていること
    を特徴とする薄膜トランジスタ基板。
  3. 請求項1又は記載の薄膜トランジスタ基板において、
    前記独立電極は、前記第2の薄膜トランジスタのソース電極との間に容量を形成すること
    を特徴とする薄膜トランジスタ基板。
  4. 請求項3記載の薄膜トランジスタ基板において、
    前記容量の容量膜は、前記絶縁膜であること
    を特徴とする薄膜トランジスタ基板。
  5. 透明絶縁基板上に配置されたゲートバスラインと、
    前記ゲートバスラインと絶縁膜を介して交差して配置されたドレインバスラインと、
    前記ゲートバスラインを挟んで両側に配置された第1及び第2の副画素電極と、
    前記第1の副画素電極に電気的に直接接続されたソース電極と、前記ドレインバスラインに直接接続されたドレイン電極と、前記ゲートバスラインに電気的に直接接続されたゲート電極とを備えた第1の薄膜トランジスタと、
    前記第2の副画素電極に容量結合されたソース電極と、前記ドレインバスラインに直接接続されたドレイン電極と、前記ゲートバスラインに電気的に直接接続されたゲート電極とを備えた第2の薄膜トランジスタと、
    前記第2のトランジスタのソース電極の下層に前記絶縁膜を介して形成され、前記第2の副画素電極と電気的に直接接続されずにフローティング状態の独立電極と
    を有することを特徴とする薄膜トランジスタ基板。
  6. 請求項5記載の薄膜トランジスタ基板において、
    前記独立電極は、前記第2の薄膜トランジスタのソース電極との間に容量を形成すること
    を特徴とする薄膜トランジスタ基板。
  7. 請求項6記載の薄膜トランジスタ基板において、
    前記容量の容量膜は、前記絶縁膜であること
    を特徴とする薄膜トランジスタ基板。
  8. 請求項1乃至7のいずれか1項に記載の薄膜トランジスタ基板において、
    前記ゲートバスラインの一部が前記第1及び第2の薄膜トランジスタのゲート電極を兼ねており、
    前記第1及び第2の薄膜トランジスタのドレイン電極は共通化されており、
    前記ドレイン電極は、前記透明絶縁基板面の法線方向に見て、前記ドレインバスラインから前記ゲート電極上に突出して形成されていること
    を特徴とする薄膜トランジスタ基板。
  9. 請求項1乃至のいずれか1項に記載の薄膜トランジスタ基板と、
    前記薄膜トランジスタ基板に対向して配置され、透明絶縁基板上に対向電極が形成された対向基板と、
    前記薄膜トランジスタ基板と前記対向基板との間に狭持された液晶層と
    を有することを特徴とする液晶表示パネル。
JP2005142770A 2005-05-16 2005-05-16 薄膜トランジスタ基板及び液晶表示パネル Active JP4703258B2 (ja)

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