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JP4758846B2 - 乾燥装置、乾燥方法、及び乾燥プログラム、並びに、これらを有する基板処理装置、基板処理方法、及び基板処理プログラム - Google Patents

乾燥装置、乾燥方法、及び乾燥プログラム、並びに、これらを有する基板処理装置、基板処理方法、及び基板処理プログラム Download PDF

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JP4758846B2 JP2006216464A JP2006216464A JP4758846B2 JP 4758846 B2 JP4758846 B2 JP 4758846B2 JP 2006216464 A JP2006216464 A JP 2006216464A JP 2006216464 A JP2006216464 A JP 2006216464A JP 4758846 B2 JP4758846 B2 JP 4758846B2
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Description

本発明は、半導体ウエハや液晶基板などの被処理体に対して乾燥処理を施すための乾燥装置及び乾燥方法並びに乾燥プログラム、並びに、これらを有する基板処理装置、基板処理方法、及び基板処理プログラムに関するものである。
従来より、半導体部品やフラットディスプレイなどの製造過程において、洗浄処理した半導体ウエハや液晶基板などの被処理体に対して乾燥処理を施す乾燥工程が設けられている。この乾燥工程で用いられる処理装置としては、被処理体を乾燥させるための乾燥蒸気(IPAガス:イソプロピルアルコールの蒸気など)をキャリアガス(窒素ガスなど)とともに処理槽に供給し、処理槽の内部で被処理体の表面に乾燥蒸気を接触させて被処理体の乾燥処理を行う乾燥装置を内蔵したものが知られている(たとえば、特許文献1参照。)。
従来の乾燥装置では、処理槽に乾燥蒸気供給ノズルを配設するとともに、この乾燥蒸気供給ノズルに乾燥蒸気の供給源とキャリアガスの供給源とを混合器を介して接続し、乾燥蒸気供給ノズルから処理槽の内部に乾燥蒸気とキャリアガスとを同時に連続して供給することによって、処理槽の内部で被処理体の表面に乾燥蒸気を接触させ、これによって被処理体の乾燥処理を行うように構成していた。
特開平11−186212号公報
ところが、上記従来の乾燥装置では、処理槽の内部に乾燥蒸気とキャリアガスとを同時に連続して供給していたために、気化した高温の乾燥蒸気が高濃度の状態のまま連続して被処理体の表面に吹き付けられていた。
このように、高温、高濃度の乾燥蒸気が被処理体の表面に連続して吹き付けられると、被処理体の表面において乾燥蒸気の結露が生じてしまい、被処理体の表面を汚染してしまうおそれがあった。
特に被処理体としてウエハを用いた場合には、ウエハの搬送時のチャッキングによってウエハの外周部の未使用領域に付着した汚染物質(パーティクルや金属又は有機不純物など)が結露した乾燥蒸気とともにウエハの内周部の使用領域にまで流れ込んで、ウエハの使用領域に汚染物質が付着してしまうおそれがあった。
そこで、請求項1に係る本発明では、処理槽の内部にガス吐出口を設けるとともに、このガス吐出口から被処理体に向けて薬液を気化させた乾燥蒸気をキャリアガスとともに供給する乾燥蒸気供給機構を連通連結した乾燥装置において、前記乾燥蒸気供給機構は、キャリアガスと乾燥蒸気との混合流体の供給とキャリアガスだけの供給とを交互に複数回行い、前記混合流体の供給時間を全体の供給時間の57%以上かつ83%以下とするように構成することにした。
また、請求項2に係る本発明では、前記請求項1に係る本発明において、前記乾燥蒸気供給機構は、前記混合流体の供給時間を全体の供給時間の75%以上とするように構成することにした。
また、請求項3に係る本発明では、前記請求項1又は請求項2に係る本発明において、前記乾燥蒸気供給機構は、キャリアガスに乾燥蒸気を間欠的に混入することによってキャリアガスと乾燥蒸気との混合流体の供給とキャリアガスだけの供給とを交互に行うように構成することにした。
また、請求項4に係る本発明では、前記請求項1〜請求項3のいずれかに係る本発明において、前記乾燥蒸気供給機構は、キャリアガスの供給源とガス吐出口とをガス供給管で連通連結するとともに、このガス供給管の中途部に乾燥蒸気の原料となる薬液を気化させるための加熱手段を配設し、この加熱手段よりも上流側のガス供給管の中途部に薬液の供給源を薬液供給管を介して連通連結し、この薬液供給管の中途部に薬液を間欠的に供給する間欠供給機構を設けることにした。
また、請求項5に係る本発明では、前記請求項4に係る本発明において、前記ガス供給管と薬液供給管との連結部分よりも上流側のガス供給管にキャリアガスを予め加熱するための予熱手段を配設することにした。
また、請求項6に係る本発明では、前記請求項4又は請求項5に係る本発明において、前記ガス供給管の中途部分を複数本の分岐管に分岐し、各分岐管に前記加熱手段を配設するとともに、各加熱手段よりも上流側の分岐管の中途部に前記薬液供給管を連通連結することにした。
また、請求項7に係る本発明では、基板の洗浄処理を行う洗浄処理槽と基板の乾燥処理を行う乾燥処理槽とこれら洗浄処理槽と乾燥処理槽との間で基板の搬送を行う基板搬送機構を設け、乾燥処理槽の内部にガス吐出口を設けるとともに、このガス吐出口から基板に向けて薬液を気化させた乾燥蒸気をキャリアガスとともに供給する乾燥蒸気供給機構を連通連結した基板処理装置において、前記乾燥蒸気供給機構は、キャリアガスと乾燥蒸気との混合流体の供給とキャリアガスだけの供給とを交互に複数回行い、前記混合流体の供給時間を全体の供給時間の57%以上かつ83%以下とするように構成することにした。
また、請求項8に係る本発明では、前記請求項7に係る本発明において、前記乾燥蒸気供給機構は、前記混合流体の供給時間を全体の供給時間の75%以上とするように構成することにした。
また、請求項9に係る本発明では、前記請求項7又は請求項8に係る本発明において、前記乾燥蒸気供給機構は、キャリアガスに乾燥蒸気を間欠的に混入することによってキャリアガスと乾燥蒸気との混合流体の供給とキャリアガスだけの供給とを交互に行うように構成することにした。
また、請求項10に係る本発明では、前記請求項7〜請求項9のいずれかに係る本発明において、前記乾燥蒸気供給機構は、キャリアガスの供給源とガス吐出口とをガス供給管で連通連結するとともに、このガス供給管の中途部に乾燥蒸気の原料となる薬液を気化させるための加熱手段を配設し、この加熱手段よりも上流側のガス供給管の中途部に薬液の供給源を薬液供給管を介して連通連結し、この薬液供給管の中途部に薬液を間欠的に供給する間欠供給機構を設けることにした。
また、請求項11に係る本発明では、前記請求項7〜請求項10のいずれかに係る本発明において、前記乾燥蒸気供給機構は、基板搬送機構によって基板を洗浄処理槽から乾燥処理槽に搬送した後にキャリアガスと乾燥蒸気との混合流体の供給とキャリアガスだけの供給とを交互に行うように構成することにした。
また、請求項12に係る本発明では、被処理体に向けて薬液を気化させた乾燥蒸気をキャリアガスとともに供給することによって被処理体の乾燥処理を行う乾燥方法において、キャリアガスと乾燥蒸気との混合流体の供給とキャリアガスだけの供給とを交互に複数回行い、前記混合流体の供給時間を全体の供給時間の57%以上かつ83%以下とすることにした。
また、請求項13に係る本発明では、前記請求項12に係る本発明において、前記混合流体の供給時間を全体の供給時間の75%以上とすることにした。
また、請求項14に係る本発明では、基板の洗浄処理を洗浄処理槽で行った後に、基板を洗浄処理槽から乾燥処理槽に搬送し、乾燥処理槽の内部で基板に向けて薬液を気化させた乾燥蒸気をキャリアガスとともに供給することによって基板の乾燥処理を行う基板処理方法において、キャリアガスと乾燥蒸気との混合流体の供給とキャリアガスだけの供給とを交互に複数回行い、前記混合流体の供給時間を全体の供給時間の57%以上かつ83%以下とすることにした。
また、請求項15に係る本発明では、前記請求項14に係る本発明において、前記混合流体の供給時間を全体の供給時間の75%以上とすることにした。
また、請求項16に係る本発明では、被処理体に向けて薬液を気化させた乾燥蒸気をキャリアガスとともに供給することによって被処理体の乾燥処理を行う乾燥装置に被処理体の乾燥処理を実行させるための乾燥プログラムにおいて、キャリアガスと乾燥蒸気との混合流体を供給する混合流体供給ステップと、キャリアガスだけの供給を行うキャリアガス供給ステップとを交互に複数回行い、前記混合流体供給ステップの実行時間を全体の供給時間の57%以上かつ83%以下とすることにした。
また、請求項17に係る本発明では、前記請求項16に係る本発明において、前記混合流体供給ステップの実行時間を全体の供給時間の75%以上とすることにした。
また、請求項18に係る本発明では、基板の洗浄処理を洗浄処理槽で行った後に、基板を洗浄処理槽から乾燥処理槽に搬送し、乾燥処理槽の内部で基板に向けて薬液を気化させた乾燥蒸気をキャリアガスとともに供給することによって基板の乾燥処理を行う基板処理装置に基板の乾燥処理を実行させるための基板処理プログラムにおいて、キャリアガスと乾燥蒸気との混合流体を供給する混合流体供給ステップと、キャリアガスだけの供給を行うキャリアガス供給ステップとを交互に複数回行い、前記混合流体供給ステップの実行時間を全体の供給時間の57%以上かつ83%以下とすることにした。
また、請求項19に係る本発明では、前記請求項18に係る本発明において、前記混合流体供給ステップの実行時間を全体の供給時間の75%以上とすることにした。
そして、本発明では、以下に記載する効果を奏する。
すなわち、本発明では、被処理体の乾燥処理において、キャリアガスと乾燥蒸気との混合流体の供給とキャリアガスだけの供給とを交互に行うようにしているために、乾燥蒸気が被処理体に間欠的に供給されることになり、被処理体の表面での乾燥蒸気の結露の発生を未然に防止することができ、乾燥蒸気の結露に起因する被処理体の汚染を防止することができる。
しかも、本発明では、混合流体の供給時間が全体の供給時間の57%以上となるようにしているために、被処理体を良好に乾燥させるのに十分な乾燥蒸気を供給することができ、乾燥蒸気の不足に起因する乾燥不良の発生を防止することができる。
特に、混合流体の供給時間を全体の供給時間の75%以上とした場合には、被処理体への汚染物質の付着数を低減することができ、被処理体をより一層良好に乾燥させることができる。
また、混合流体の供給時間を全体の供給時間の83%以下とした場合には、被処理体の表面での乾燥蒸気の結露の発生をより一層良好に防止することができ、乾燥蒸気の結露に起因する被処理体の汚染を防止することができる。
また、キャリアガスに乾燥蒸気を間欠的に混入することによってキャリアガスと乾燥蒸気との混合流体の供給とキャリアガスだけの供給とを交互に行うようにした場合には、被処理体に常にキャリアガスが供給されることになり、被処理体の表面でのパーティクルの巻き上がりを防止でき、被処理体へのパーティクルの再付着を防止することができる。
また、キャリアガスの供給源とガス吐出口とをガス供給管で連通連結するとともに、このガス供給管の中途部に乾燥蒸気の原料となる薬液を気化させるための加熱手段を配設し、この加熱手段よりも上流側のガス供給管の中途部に薬液の供給源を薬液供給管を介して連通連結し、この薬液供給管の中途部に薬液を間欠的に供給する間欠供給機構を設けているために、ガス供給管に間欠的に供給した薬液をガス供給管の内部でキャリアガスによってミスト状に拡散させた後に加熱手段で薬液を気化させることができるので、乾燥蒸気の原料となる薬液を良好に気化させることができる。
また、ガス供給管と薬液供給管との連結部分よりも上流側のガス供給管にキャリアガスを予め加熱するための予熱手段を配設しているために、予熱手段によって予め加熱したキャリアガスによってミスト状の薬液が加熱され、その後、加熱手段によって気化されることになるので、乾燥蒸気の原料となる薬液をより一層良好に気化させることができる。
また、ガス供給管の中途部分を複数本の分岐管に分岐し、各分岐管に加熱手段を配設するとともに、各加熱手段よりも上流側の分岐管の中途部に薬液供給管を連通連結しているために、各加熱手段で気化させる薬液の量を少なくすることができ、これによっても乾燥蒸気の原料となる薬液をより一層良好に気化させることができる。
以下に、本発明に係る処理装置の具体的な構成について図面を参照しながら説明する。なお、以下の説明では、被処理体として半導体基板(ウエハ)を洗浄し、乾燥するための基板処理装置に本発明を適用した場合を例に挙げて説明する。
図1に示すように、基板処理装置1は、複数枚のウエハ2(基板)を収容したキャリア3の搬入及び搬出を行うキャリア搬入出部4と、複数のキャリア3に収容されたウエハ2を組合わせることによって一括処理するバッチ5を編成するバッチ編成部6と、各バッチ5ごとにウエハ2の洗浄処理及び乾燥処理を行う基板処理部7とで構成している。
キャリア搬入出部4は、キャリア3を載置するキャリアステージ8に密閉状の開閉扉9を形成し、この開閉扉9の内側にキャリア搬送機構10を配設し、このキャリア搬送機構10によってキャリアステージ8に載置されたキャリア3を必要に応じてキャリアストック11に一時的に保管するとともに、キャリア載置台12に搬入するようにしている。
また、キャリア搬入出部4は、基板処理部7で処理が完了したウエハ2が収容されたキャリア3に対し、上記搬入時とは逆に、キャリア載置台12に載置されたキャリア3を必要に応じてキャリア搬送機構10によってキャリアストック11に一時的に保管するとともに、キャリアステージ8に搬出するようにしている。
バッチ編成部6は、キャリア搬入出部4との間に密閉状の開閉扉13を形成し、この開閉扉13の内側にキャリア3に収容された複数枚のウエハ2を同時に搬送するための基板搬送機構14と、この基板搬送機構14によって搬送されたウエハ2の配列間隔を半分に変更してバッチ5を形成するためのバッチ形成機構15と、基板搬送機構14によって搬送されたウエハ2の配列順序を変更する配列順序変更機構16と、バッチ形成機構15によって形成されたバッチ5をバッチ編成部6と基板処理部7との間で受渡すとともに基板処理部7の内部での搬送を行うバッチ搬送機構17とを配設している。また、バッチ編成部6は、内部にキャリア3に収容されたウエハ2の収容状態を検出するウエハ収容状態検出センサー18とキャリア3に収容された複数枚のウエハ2のノッチの位置調整を行うノッチアライナー19を配設している。
そして、バッチ編成部6では、キャリア搬入出部4から搬入される複数個(たとえば、2個)のキャリア3にそれぞれ収容された複数枚(たとえば、25枚)のウエハ2を組合わせて基板処理部7で一括処理する複数枚(たとえば、50枚)のウエハ2で構成されたバッチ5を形成し、そのバッチ5を基板処理部7に受渡し、また、基板処理部7での処理が完了した後には、基板処理部7からバッチ5を受取り、元のキャリア3にウエハ2を収容して、そのキャリア3をキャリア搬入出部4に搬送するようにしている。
基板処理部7は、ウエハ2の洗浄及び乾燥を行う洗浄乾燥機構20とウエハ2の洗浄を行う洗浄機構21とで構成しており、洗浄乾燥機構20には、バッチ5を昇降機構22で昇降することによって洗浄と乾燥とを行う基板洗浄乾燥ユニット23とバッチ搬送機構17の洗浄を行う搬送機構洗浄ユニット24とが並設されており、また、洗浄機構21には、バッチ5を薬液処理する第1〜第3の薬液槽25,26,27とバッチ5を純水処理する第1〜第3の純水槽28,29,30とこれらの第1〜第3の薬液槽25,26,27と第1〜第3の純水槽28,29,30との間でバッチ5の搬送を行う第1〜第3の搬送装置31,32,33とを配設している。
また、基板処理部7は、洗浄乾燥機構20と洗浄機構21に沿ってバッチ搬送機構17を配設しており、このバッチ搬送機構17の始端部分をバッチ編成部6に配設している。
そして、基板処理部7は、バッチ編成部6で編成されたバッチ5をバッチ搬送機構17によって洗浄乾燥機構20の昇降機構22や洗浄機構21の第1〜第3の搬送装置31,32,33に搬送して、各洗浄乾燥機構20や洗浄機構21においてウエハ2の処理をバッチ5ごとに行ない、その後、処理後のバッチ5を洗浄乾燥機構20の昇降機構22や洗浄機構21の第1〜第3の搬送装置31,32,33からバッチ搬送機構17に移送し、このバッチ搬送機構17によって処理後のバッチ5をバッチ編成部6へ再び搬送するようにしている。
このように、基板処理装置1は、キャリア搬入出部4によってウエハ2をキャリア3ごとバッチ編成部6に搬入し、バッチ編成部6において基板処理部7で一括処理するバッチ5を編成して基板処理部7に受渡し、基板処理部7でバッチ5ごとに一括して処理を施し、その後、処理後のバッチ5をバッチ編成部6に受渡し、バッチ編成部6でバッチ5を構成するウエハ2をキャリア3に収容してキャリア搬入出部4に搬送し、キャリア搬入出部4によって処理後のウエハ2を収容したキャリア3を搬出するようにしている。
次に、本発明の要部となる基板洗浄乾燥ユニット23の構成について説明する。
基板洗浄乾燥ユニット23は、図2〜図4に示すように、ウエハ2をバッチ5ごと洗浄するための洗浄ユニット34と、ウエハ2をバッチ5ごと乾燥させるための乾燥ユニット35(乾燥装置)とを上下に一体的に連設した構成となっている。
この基板洗浄乾燥ユニット23は、昇降機構22にガイド桿36を連動連結するとともに、このガイド桿36の下端部にウエハ2をバッチ5ごと支持するウエハボート37を形成している。このウエハボート37は、前後一対の連結体38,39の間に4本の支持体40〜43を左右に間隔をあけて取付けており、各支持体40〜43の上端部には、ウエハ2を垂直状に支持する支持溝44〜47を前後に間隔をあけて形成している。このウエハボート37は、昇降機構22によって洗浄ユニット34と乾燥ユニット35との間でウエハ2をバッチ5ごと昇降させることができるようになっている。なお、昇降機構22には、制御部48が接続されており、この制御部48によって昇降機構22が駆動制御されている。
洗浄ユニット34は、上端部を開口した有底矩形箱型状の洗浄処理槽49の左右側壁50,51に洗浄液を供給するための洗浄液供給ノズル52,53を取付けるとともに、底壁54に排水管55を連通連結し、この排水管55の中途部に開閉バルブ56を介設し、さらには、洗浄処理槽49の上端外側部に環状のオーバーフロー槽57を取付け、このオーバーフロー槽57の底壁58に排水管59を連通連結し、この排水管59の中途部に開閉バルブ60を介設している。
ここで、洗浄液供給ノズル52,53には、純水を供給するための純水供給源61と薬液を供給するための薬液供給源62とが三方コック63を介して接続されており、この三方コック63を切り換えることによって、洗浄液供給ノズル52,53から洗浄処理槽49の内部に純水又は薬液を供給できるようにしている。また、開閉バルブ56,60や三方コック63には、制御部48が接続されており、この制御部48によって開閉バルブ56,60や三方コック63が駆動制御されている。
乾燥ユニット35は、下端部を開口した略箱型状の乾燥処理槽64の下方にシャッター機構65を配設している。このシャッター機構65は、ケーシング66の左側部にシャッター収容部67を形成し、このシャッター収容部67にシャッター68を開閉自在に収容している。
ここで、シャッター機構65は、シャッター68に開閉機構69を連動連結しており、この開閉機構69を制御部48に接続して、この制御部48によって開閉機構69を駆動制御している。
また、乾燥ユニット35は、乾燥処理槽64の上部を半円弧断面状に形成するとともに、上端部にガイド桿36を挿通させるための貫通孔70を形成し、この貫通孔70にパッキン71を取付けている。これにより、乾燥処理槽64は、ガイド桿36を挿通させた状態でも気密状態を保持できるようにしている。
ここで、乾燥処理槽64には、昇降機構72を連動連結しており、この昇降機構72を制御部48に接続し、この制御部48によって昇降機構72を駆動制御している。そして、昇降機構72によって乾燥処理槽64を下降させた場合には、乾燥処理槽64の下端部に形成したフランジ73がシャッター機構65のシャッター68に密着するようにしている。
また、乾燥ユニット35は、乾燥処理槽64の内側上部に乾燥蒸気(IPAガス:イソプロピルアルコールガスなど)をキャリアガス(窒素ガスなど)とともに供給するための左右一対の乾燥蒸気供給ノズル74,75を取付けている。
この乾燥蒸気供給ノズル74,75には、乾燥蒸気を吐出するためのガス吐出口76,77を前後に間隔をあけて形成するとともに、このガス吐出口76,77に乾燥蒸気をキャリアガスとともに供給するための乾燥蒸気供給機構78を連通連結している。
この乾燥蒸気供給機構78は、キャリアガスの供給源79とガス吐出口76,77とをガス供給管80で連通連結するとともに、このガス供給管80の中途部を2本の分岐管81,82に分岐し、各分岐管81,82に乾燥蒸気の原料となる薬液(IPA:イソプロピルアルコールなど)を気化させるための加熱手段83,84をそれぞれ取付け、これらの加熱手段83,84よりも上流側のガス供給管80の中途部に薬液の供給源85を薬液供給管86を介して連通連結し、この薬液供給管86の中途部に薬液を間欠的に供給する間欠供給機構87を介設している。
この間欠供給機構87は、薬液を貯留する薬液貯留タンク88の下部に薬液の供給源85を薬液供給管86の上流部を介して接続するとともに、薬液貯留タンク88の上部に加圧ガス(窒素ガスなど)の供給源89を接続し、さらに、薬液貯留タンク88の下部に薬液供給管86の下流部を整流器90と開閉弁91を介して接続している。また、間欠供給機構87は、薬液供給管86の下流部にドレン管92を開閉弁93を介して接続している。
また、乾燥蒸気供給機構78は、ガス供給管80と薬液供給管86との連結部分よりも上流側のガス供給管80にキャリアガスを予め加熱するための予熱手段94と開閉弁95とを取付けるとともに、分岐管81,82の合流部分よりも下流側のガス供給管80にフィルター96を取付け、このフィルター96に加熱手段97を取付けている。
そして、乾燥蒸気供給機構78は、加熱手段83,84,97と予熱手段94と開閉弁91,93,95を制御部48に接続し、この制御部48によって加熱手段83,84,97と予熱手段94と開閉弁91,93,95を駆動制御している。
すなわち、乾燥蒸気供給機構78は、制御部48で間欠供給機構87の開閉弁91,93を閉塞させるとともに、開閉弁95を開放させ、加熱手段83,84,97と予熱手段94を駆動させることによって、キャリアガスの供給源79からガス吐出口76,77を介して乾燥処理槽64の内部に所定温度のキャリアガスだけを供給することができ、一方、制御部48で開閉弁91と開閉弁95を開放させるとともに、開閉弁93を閉塞させ、加熱手段83,84,97と予熱手段94を駆動させることによって、ガス供給管80の分岐管81,82に薬液が加圧ガスの圧力により供給され、この薬液が分岐管81,82の内部でキャリアガスによってミスト状に拡散されるとともに加熱手段83,84で加熱されて乾燥蒸気となり、さらに、この乾燥蒸気が加熱手段97で加熱され、これによって、ガス吐出口76,77を介して乾燥処理槽64の内部に所定温度の乾燥蒸気をキャリアガスとともに供給することができるようになっている。
したがって、乾燥蒸気供給機構78は、制御部48によって間欠供給機構87の開閉弁91を間欠的に開放状態とすることで、キャリアガスに乾燥蒸気を間欠的に混入し、キャリアガスと乾燥蒸気との混合流体をガス吐出口76,77へ供給することができるように構成されている。
このように、上記構成の乾燥ユニット35では、乾燥処理槽64の内部にガス吐出口76,77を設けるとともに、このガス吐出口76,77にウエハ2を乾燥させるための乾燥蒸気をキャリアガスとともに供給する乾燥蒸気供給機構78を連通連結し、乾燥蒸気供給機構78によってキャリアガスと乾燥蒸気との混合流体を間欠的にガス吐出口76,77へ供給するように構成しているために、乾燥処理槽64の内部に乾燥蒸気が間欠的に供給され、この間欠的に供給された乾燥蒸気がウエハ2に接触してウエハ2を乾燥させることになり、乾燥蒸気とウエハ2との接触が間欠的に行われることによってウエハ2の表面での乾燥蒸気の結露の発生を未然に防止することができ、乾燥蒸気の結露に起因したウエハ2の表面の汚染を防止することができる。特に、ウエハ2の上部外周端縁(未使用領域)においては、乾燥蒸気の結露の発生を防止することで、ウエハ2の搬送時のチャッキングによって付着した汚染物質が結露した乾燥蒸気とともにウエハ2の内周部(使用領域)にまで流れ込んでしまうのを防止することができ、ウエハ2の内周部への汚染物質の付着を防止することができる。
特に、上記乾燥ユニット35では、乾燥蒸気供給機構78においてキャリアガスに乾燥蒸気を間欠的に混入することによってキャリアガスと乾燥蒸気との混合流体を間欠的にガス吐出口76,77へ供給するようにしているために、乾燥処理槽64の内部に常にキャリアガスが供給されることになり、ウエハ2の表面でのパーティクルの巻き上がりを防止でき、ウエハ2へのパーティクルの再付着を防止することができる。
また、上記乾燥ユニット35では、キャリアガスの供給源79とガス吐出口76,77とをガス供給管80で連通連結するとともに、このガス供給管80の中途部に乾燥蒸気の原料となる薬液を気化させるための加熱手段83,84を配設し、この加熱手段83,84よりも上流側のガス供給管80の中途部に薬液の供給源85を薬液供給管86を介して連通連結し、この薬液供給管86の中途部に薬液を間欠的に供給する間欠供給機構87を設けているために、ガス供給管80に間欠的に供給した薬液をガス供給管80の内部でキャリアガスによってミスト状に拡散させた後に加熱手段83,84で薬液を気化させることができるので、乾燥蒸気の原料となる薬液を良好に気化させることができる。
しかも、上記乾燥ユニット35では、ガス供給管80と薬液供給管86との連結部分よりも上流側のガス供給管80にキャリアガスを予め加熱するための予熱手段94を配設しているために、予熱手段94によって予め加熱したキャリアガスによってミスト状の薬液が加熱され、その後、加熱手段83,84によって気化されることになるので、乾燥蒸気の原料となる薬液をより一層良好に気化させることができる。
さらに、上記乾燥ユニット35では、ガス供給管80の中途部分を2本の分岐管81,82に分岐し、各分岐管81,82に加熱手段83,84を配設するとともに、各加熱手段83,84よりも上流側の分岐管81,82の中途部に薬液供給管86を連通連結しているために、各加熱手段83,84で気化させる薬液の量を少なくすることができ、これによっても乾燥蒸気の原料となる薬液をより一層良好に気化させることができる。
基板洗浄乾燥ユニット23は、以上に説明したように構成しており、制御部48によって駆動制御される。この制御部48は、基板洗浄乾燥ユニット23だけでなく基板処理装置1の各部を駆動制御することができ、CPUからなるコントローラ98とこのコントローラ98に接続された記憶媒体99とで構成されている。この記憶媒体99には、各種の設定データや洗浄プログラム100と乾燥プログラム101を格納している。なお、記憶媒体99は、ROMやRAMなどのメモリーでもよく、また、ハードディスクやCD−ROMなどのディスク状記憶媒体でもよい。
制御部48は、記憶媒体99に格納した洗浄プログラム100と乾燥プログラム101とで構成される基板処理プログラムに従って基板洗浄乾燥ユニット23を駆動制御することによって、ウエハ2の洗浄処理と乾燥処理とを続けて行うようにしている。
まず、洗浄プログラム100では、図5に示すように、まず、基板洗浄乾燥ユニット23の初期設定を行う(初期設定ステップS1)。
具体的には、制御部48が、図6に示すように、洗浄処理槽49の開閉バルブ56とオーバーフロー槽57の開閉バルブ60を閉塞させた状態とするとともに、開閉機構69を用いてシャッター68を開放させた状態とし、昇降機構22を用いてシャッター機構65の上方に間隔をあけてウエハボート37を配置し、昇降機構72を用いてウエハボート37の上方に間隔をあけて乾燥処理槽64を配置する。その後、制御部48が、三方コック63を駆動制御して純水供給源61から洗浄処理槽49の洗浄液供給ノズル52,53を介して洗浄処理槽49の内部に純水を供給する。このときに、制御部48は、オーバーフロー槽57の開閉バルブ60を開放状態として、洗浄処理槽49からオーバーフローした純水を排出できるようにする。
次に、洗浄プログラム100は、ウエハボート37に複数枚(たとえば、50枚)のウエハ2からなるバッチ5を受取る(ウエハ受取ステップS2)。
具体的には、制御部48が、図7に示すように、バッチ搬送機構17を駆動制御してバッチ搬送機構17で搬送されたバッチ5を構成する各ウエハ2をウエハボート37の支持体40〜43に形成した支持溝44〜47に載置する。
次に、洗浄プログラム100は、ウエハボート37に載置されたウエハ2を洗浄処理槽49の内部に貯留された純水に浸漬して洗浄処理の準備を行う(洗浄準備ステップS3)。
具体的には、制御部48が、図8に示すように、昇降機構22を用いてウエハボート37を洗浄処理槽49の内部まで降下させることによってウエハボート37に載置されたウエハ2を洗浄処理槽49の内部に貯留された純水に浸漬する。
次に、洗浄プログラム100は、洗浄処理槽49の内部でウエハ2の洗浄処理を行う(洗浄処理ステップS4)。
具体的には、制御部48が、洗浄処理槽49の開閉バルブ56を閉塞させた状態とするとともにオーバーフロー槽57の開閉バルブ60を開放させた状態としたまま、三方コック63を駆動制御して薬液供給源62から洗浄処理槽49の洗浄液供給ノズル52,53を介して洗浄処理槽49の内部に薬液(洗浄液)を供給し、これにより、純水が洗浄処理槽49からオーバーフロー槽57に徐々にオーバーフローしていき、最終的には、洗浄処理槽49の内部に薬液が貯留された状態となる。その後、洗浄処理槽49の内部に貯留された薬液に浸漬されたウエハ2を薬液によって洗浄処理(薬液洗浄処理)する。その後、制御部48が、洗浄処理槽49の開閉バルブ56を閉塞させた状態とするとともにオーバーフロー槽57の開閉バルブ60を開放させた状態としたまま、三方コック63を駆動制御して純水供給源61から洗浄処理槽49の洗浄液供給ノズル52,53を介して洗浄処理槽49の内部に純水(洗浄液)を供給し、これにより、薬液が洗浄処理槽49からオーバーフロー槽57に徐々にオーバーフローしていき、最終的には、洗浄処理槽49の内部に純水が貯留された状態となる。その後、洗浄処理槽49の内部に貯留された純水に浸漬されたウエハ2を純水によって洗浄処理(リンス処理)する。なお、薬液洗浄処理時やリンス処理時に、超音波発振手段からウエハ2に超音波を照射して、超音波のエネルギーによってウエハ2から汚染物を除去するようにしてもよい。
最後に、洗浄プログラム100は、ウエハボート37に載置されたウエハ2を洗浄処理槽49の内部から乾燥処理槽64の内部へ上昇させる(ウエハ上昇ステップS5)。
具体的には、制御部48が、図9に示すように、昇降機構72を用いて乾燥処理槽64をシャッター機構65の直上方に降下させるとともに、昇降機構22を用いてウエハボート37を洗浄処理槽49の内部から乾燥処理槽64の内部まで上昇させることによってウエハボート37に載置されたウエハ2を乾燥処理槽64の内部に搬送する。
そして、上記洗浄プログラム100が終了してウエハ2が洗浄処理槽49から乾燥処理槽64に搬送された後に、乾燥プログラム101によるウエハ2の乾燥処理を開始する。
乾燥プログラム101では、図10に示すように、まず、シャッター機構65のシャッター68によって乾燥処理槽64の下端開口部を閉塞する(シャッター閉塞ステップS6)。
具体的には、制御部48が、図11に示すように、開閉機構69を用いてシャッター機構65のシャッター68を閉塞し、このシャッター68を乾燥処理槽64の下端開口部に密着させる。
次に、乾燥プログラム101は、乾燥処理槽64の内部に予め設定した所定時間だけ乾燥蒸気とキャリアガスとの混合流体を供給する(混合流体供給ステップS7)。
具体的には、制御部48が、開閉弁91と開閉弁95を開放させるとともに、開閉弁93を閉塞させ、加熱手段83,84,97と予熱手段94を駆動させる。これにより、ガス供給管80の分岐管81,82に薬液が加圧ガスの圧力により供給され、この薬液が分岐管81,82の内部でキャリアガスによってミスト状に拡散されるとともに加熱手段83,84で加熱されて乾燥蒸気となり、さらに、この乾燥蒸気が加熱手段97で加熱され、乾燥処理槽64の内部にガス吐出口76,77を介して所定温度の乾燥蒸気がキャリアガスとともに供給される。
次に、乾燥プログラム101は、乾燥処理槽64の内部に予め設定した所定時間だけキャリアガスだけを供給する(キャリアガス供給ステップS8)。
具体的には、制御部48が、間欠供給機構87の開閉弁91,93を閉塞させるとともに、開閉弁95を開放させ、加熱手段83,84,97と予熱手段94を駆動させる。これにより、キャリアガスの供給源79からガス吐出口76,77を介して乾燥処理槽64の内部に所定温度のキャリアガスだけが供給される。
次に、乾燥プログラム101は、上記混合流体供給ステップS7とキャリアガス供給ステップS8を予め設定しておいた所定回数だけ繰り返し実行したか否かを判断し(ステップS9)、繰り返し実行していない場合には、上記混合流体供給ステップS7へと戻り、一方、既に所定回数だけ繰り返し実行した場合には、洗浄処理及び乾燥処理を施したウエハ2をバッチ搬送機構17へ受渡す(ウエハ受渡ステップS10)。
具体的には、制御部48が、図12に示すように、昇降機構72によって乾燥処理槽64を上昇させるとともに、バッチ搬送機構17によってウエハボート37からウエハ2を受取る。
このようにして、乾燥プログラム101では、図13に模式的に示すように、乾燥処理槽64の内部に乾燥蒸気をキャリアガスとともに供給する混合流体供給ステップS7と、乾燥処理槽64の内部にキャリアガスのみを供給するキャリアガス供給ステップS8とを連続して交互に繰り返し行うようにしている。
なお、上記乾燥プログラム101では、乾燥蒸気供給(混合流体供給ステップS7)とキャリアガス供給(キャリアガス供給ステップS8)とを連続して交互に繰り返し行っているが、乾燥蒸気供給(混合流体供給ステップS7)だけを間欠的に行ない、キャリアガス供給(キャリアガス供給ステップS8)を行わないようにしてもよい。
このように、上記乾燥プログラム101によって実行される乾燥処理においては、基板搬送機構14によって洗浄処理槽49から乾燥処理槽64にウエハ2を搬送した後に、乾燥処理槽64の内部にキャリアガスと乾燥蒸気との混合流体を供給する混合流体供給(混合流体供給ステップS7)を間欠的に行うことにしているために、乾燥処理槽64の内部に乾燥蒸気が間欠的に供給され、この間欠的に供給された乾燥蒸気がウエハ2に接触してウエハ2を乾燥させることになり、乾燥蒸気とウエハ2との接触が間欠的に行われることによってウエハ2の表面での乾燥蒸気の結露の発生を未然に防止することができ、乾燥蒸気の結露に起因したウエハ2の表面の汚染を防止することができる。特に、ウエハ2の上部外周端縁(未使用領域)においては、乾燥蒸気の結露の発生を防止することで、ウエハ2の搬送時のチャッキングによって付着した汚染物質が結露した乾燥蒸気とともにウエハ2の内周部(使用領域)にまで流れ込んでしまうのを防止することができ、ウエハ2の内周部への汚染物質の付着を防止することができる。
特に、上記乾燥処理では、混合流体供給(混合流体供給ステップS7)と、乾燥処理槽64の内部にキャリアガスのみを供給するキャリアガス供給(キャリアガス供給ステップS8)とを連続して交互に繰り返し行うようにしているために、乾燥処理槽64の内部に常にキャリアガスが供給されることになり、ウエハ2の表面でのパーティクルの巻き上がりを防止でき、ウエハ2へのパーティクルの再付着を防止することができる。
この混合流体供給を行う時間(混合流体供給ステップS7の実行時間t1)やキャリアガス供給を行う時間(キャリアガス供給ステップS8の実行時間t2)は、乾燥蒸気やキャリアガスの種類やウエハ2の表面の材質などに応じて適宜設定することができる。
本発明では、混合流体供給を行う時間(混合流体供給ステップS7の実行時間t1)の合計時間を一定にしつつ、混合流体供給を行う時間(混合流体供給ステップS7の実行時間t1)とキャリアガス供給を行う時間(キャリアガス供給ステップS8の実行時間t2)との比率を変化させることによって、混合流体供給を行う時間(混合流体供給ステップS7の実行時間t1)が全体の供給時間(混合流体供給を行う時間(混合流体供給ステップS7の実行時間t1)とキャリアガス供給を行う時間(キャリアガス供給ステップS8の実行時間t2)との合計の時間T)に占める割合を変化させて、ウエハ2の表面での汚染物質の付着数を測定し、ウエハ2の乾燥処理に適した割合を求めている。
その結果を、表1に示す。ここでは、混合流体供給を行う時間(混合流体供給ステップS7の実行時間t1)の合計時間を90秒とし、乾燥蒸気を2.0ml/秒で供給し、混合流体供給を行う時間(混合流体供給ステップS7の実行時間t1)を2秒間隔、4秒間隔、6秒間隔、8秒間隔、10秒間隔と変化させるとともに、キャリアガス供給を行う時間(キャリアガス供給ステップS8の実行時間t2)を2秒間隔、3秒間隔、6秒間隔、10秒間隔と変化させている。表1中において、カッコ内は混合流体供給を行う時間(混合流体供給ステップS7の実行時間t1)が全体の時間Tに占める割合を示している。また、表1において、◎は汚染物質の付着数が10個未満でありウエハ2の乾燥に極めて適していることを示し、○は汚染物質の付着数が10個以上30個未満でありウエハ2の乾燥に適していることを示し、Xは汚染物質の付着数が30個以上でありウエハ2の乾燥に適していないことを示している。
Figure 0004758846
表1からわかるように、混合流体の供給時間(混合流体供給ステップS7の実行時間t1)が全体の供給時間の50%以下の場合には、ウエハ2の表面に多量の汚染物質が付着しており、ウエハ2の乾燥に適していなかった。これは、ウエハ2の表面に供給される乾燥蒸気の量が少なくなりすぎて、ウエハ2の表面での水分と乾燥蒸気との置換が十分に行われず、水分中の汚染物質がウエハ2の表面に付着してしまったと考えられる。
一方、混合流体の供給時間(混合流体供給ステップS7の実行時間t1)が全体の供給時間の57%以上の場合には、ウエハ2の表面への汚染物質の付着が減少し、ウエハ2の乾燥に適していた。
そのため、本発明では、混合流体の供給時間(混合流体供給ステップS7の実行時間t1)が全体の供給時間の57%以上となるように混合流体を供給することにした。
これにより、ウエハ2を良好に乾燥させるのに十分な乾燥蒸気を供給することができ、乾燥蒸気の不足に起因する乾燥不良の発生を防止することができる。
また、表1からわかるように、混合流体の供給時間(混合流体供給ステップS7の実行時間t1)が全体の供給時間の75%以上とした場合には、ウエハ2の表面への汚染物質の付着をより一層減少させることができ、ウエハ2をより一層良好に乾燥させることができる。
一方、表1の上限である混合流体の供給時間(混合流体供給ステップS7の実行時間t1)を全体の供給時間の83%よりも長くしてしまうと、従来の乾燥蒸気を連続して供給した場合(言い換えれば、混合流体の供給時間(混合流体供給ステップS7の実行時間t1)を全体の供給時間の100%とした場合)と同様に、乾燥蒸気の結露が発生してしまい、ウエハ2の乾燥に適していなかった。
したがって、混合流体の供給時間を全体の供給時間の83%以下とした場合には、ウエハ2の表面での乾燥蒸気の結露の発生をより一層良好に防止することができ、乾燥蒸気の結露に起因するウエハ2の汚染を防止することができる。
上記乾燥プログラム101による乾燥処理では、乾燥処理の開始直後から混合流体供給(混合流体供給ステップS7)とキャリアガス供給(キャリアガス供給ステップS8)とを連続して交互に繰り返し行うようにしているが、図14に模式的に示すように、乾燥処理の開始直後から一定時間t3(たとえば、20秒間)が経過するまでは、混合流体の供給を行い、その後の所定時間t4(たとえば、2秒)はキャリアガスのみの供給を行い、その後、混合流体供給(混合流体供給ステップS7)とキャリアガス供給(キャリアガス供給ステップS8)とを連続して交互に行うようにしてもよい。
乾燥処理を開始した直後には、ウエハ2の表面に洗浄水が比較的多く付着しているために、乾燥に必要な乾燥蒸気の量が多いので、混合流体の供給を連続して行い、その後、ウエハ2の表面に付着する洗浄水が少なくなってからは、乾燥に必要な乾燥蒸気の量が少なくなるので、混合流体の供給とキャリアガスの供給とを交互に行うことで、ウエハ2の表面での乾燥蒸気の結露の発生を防止して良好に乾燥を行うことができる。
また、上記乾燥プログラム101による乾燥処理では、乾燥処理の開始直後から混合流体の供給時間(混合流体供給ステップS7の実行時間t1)とキャリアガスの供給時間(キャリアガス供給ステップS8の実行時間t2)を変化させずに乾燥処理を行うようにしているが、図15に模式的に示すように、乾燥処理の開始直後における混合流体の供給時間(混合流体供給ステップS7の実行時間t5(たとえば、6秒))及びキャリアガスの供給時間(キャリアガス供給ステップS8の実行時間t6(たとえば、2秒))と、乾燥処理の開始後の所定時間(たとえば、30秒)経過後の乾燥処理における混合流体の供給時間(混合流体供給ステップS7の実行時間t7(たとえば、4秒))及びキャリアガスの供給時間(キャリアガス供給ステップS8の実行時間t8(たとえば、3秒))とを異ならせてもよい。
この場合も、乾燥処理を開始した直後には、ウエハ2の表面に洗浄水が比較的多く付着しているために、乾燥に必要な乾燥蒸気の量が多いので、比較的長く混合流体の供給を行うように混合流体供給を行う割合を多くし、その後、ウエハ2の表面に付着する洗浄水が少なくなってからは、乾燥に必要な乾燥蒸気の量が少なくなるので、比較的短く混合流体の供給を行うように混合流体供給を行う割合を少なくすることで、ウエハ2の表面での乾燥蒸気の結露の発生を防止して良好に乾燥を行うことができる。
このように、上記基板処理装置1での乾燥処理においては、乾燥蒸気供給機構78によって、キャリアガスと乾燥蒸気との混合流体の供給を所定時間行い、その後(所定時間経過後)に混合流体の供給とキャリアガスだけの供給とを交互に行ったり、或いは、混合流体の供給時間とキャリアガスの供給時間(言い換えれば、混合流体の供給を行う割合)を途中で変化させることで、ウエハ2の状態に適応した乾燥処理を行うことができる。
なお、以上の説明においては、本発明をバッチ式の基板処理装置1に適用した場合を例に挙げて説明したが、これに限られず、単独の乾燥装置にも適用でき、また、枚葉式の処理装置にも適用できるものである。本発明は、乾燥蒸気を被処理体に向けて連続供給した場合に発生する乾燥蒸気の結露による不具合を解消する目的で乾燥蒸気を全体の57%以上の割合で間欠的に供給する構成として被処理体の乾燥処理を良好に行える効果が得られるものであり、この目的・構成・効果を共通にする技術的思想に係る乾燥装置や乾燥方法や乾燥プログラムを含む発明である。そのため、洗浄液の表面に形成した乾燥液の液層におけるマランゴニ効果を利用したマランゴニ乾燥において、乾燥液を補充する目的で乾燥液を洗浄液の表面に供給する構成としてマランゴニ効果を持続させる効果が得られる乾燥処理とは、たとえ乾燥液の補充を間欠的に行ったとしても目的・構成・効果が相違している。しかしながら、マランゴニ乾燥を行う乾燥処理において、マランゴニ効果による乾燥と併用して乾燥蒸気を被処理体に向けて間欠的に供給する場合には、本発明と目的・構成・効果が共通となり、本発明に含まれることになる。
本発明に係る基板処理装置を示す平面図。 基板洗浄乾燥ユニットを示すブロック図。 同正面断面図。 同側面断面図。 洗浄プログラムのフローチャート。 基板洗浄乾燥ユニットの動作説明図(初期設定時)。 基板洗浄乾燥ユニットの動作説明図(ウエハ受取時)。 基板洗浄乾燥ユニットの動作説明図(洗浄準備時)。 基板洗浄乾燥ユニットの動作説明図(ウエハ上昇時)。 乾燥プログラムのフローチャート。 基板洗浄乾燥ユニットの動作説明図(乾燥処理時)。 基板洗浄乾燥ユニットの動作説明図(ウエハ受渡時)。 乾燥処理時の動作を示す模式図。 乾燥処理時の動作を示す模式図。 乾燥処理時の動作を示す模式図。
符号の説明
1 基板処理装置 2 ウエハ
3 キャリア 4 キャリア搬入出部
5 バッチ 6 バッチ編成部
7 基板処理部 8 キャリアステージ
9 開閉扉 10 キャリア搬送機構
11 キャリアストック 12 キャリア載置台
13 開閉扉 14 基板搬送機構
15 バッチ形成機構 16 配列順序変更機構
17 バッチ搬送機構 18 ウエハ収容状態検出センサー
19 ノッチアライナー 20 洗浄乾燥機構
21 洗浄機構 22 昇降機構
23 基板洗浄乾燥ユニット 24 搬送機構洗浄ユニット
25 第1の薬液槽 26 第2の薬液槽
27 第3の薬液槽 28 第1の純水槽
29 第2の純水槽 30 第3の純水槽
31 第1の搬送装置 32 第2の搬送装置
33 第3の搬送装置 34 洗浄ユニット
35 乾燥ユニット 36 ガイド桿
37 ウエハボート 38,39 連結体
40〜43 支持体 44〜47 支持溝
48 制御部 49 洗浄処理槽
50,51 左右側壁 52,53 洗浄液供給ノズル
54 底壁 55 排水管
56 開閉バルブ 57 オーバーフロー槽
58 底壁 59 排水管
60 開閉バルブ 61 純水供給源
62 薬液供給源 63 三方コック
64 乾燥処理槽 65 シャッター機構
66 ケーシング 67 シャッター収容部
68 シャッター 69 開閉機構
70 貫通孔 71 パッキン
72 昇降機構 73 フランジ
74,75 乾燥蒸気供給ノズル 76,77 ガス吐出口
78 乾燥蒸気供給機構 79 供給源
80 ガス供給管 81,82 分岐管
83,84 加熱手段 85 供給源
86 薬液供給管 87 間欠供給機構
88 薬液貯留タンク 89 供給源
90 整流器 91 開閉弁
92 ドレン管 93 開閉弁
94 予熱手段 95 開閉弁
96 フィルター 97 加熱手段
98 コントローラ 99 記憶媒体
100 洗浄プログラム 101 乾燥プログラム

Claims (19)

  1. 処理槽の内部にガス吐出口を設けるとともに、このガス吐出口から被処理体に向けて薬液を気化させた乾燥蒸気をキャリアガスとともに供給する乾燥蒸気供給機構を連通連結した乾燥装置において、
    前記乾燥蒸気供給機構は、キャリアガスと乾燥蒸気との混合流体の供給とキャリアガスだけの供給とを交互に複数回行い、前記混合流体の供給時間を全体の供給時間の57%以上かつ83%以下とするように構成したことを特徴とする乾燥装置。
  2. 前記乾燥蒸気供給機構は、前記混合流体の供給時間を全体の供給時間の75%以上とするように構成したことを特徴とする請求項1に記載の乾燥装置。
  3. 前記乾燥蒸気供給機構は、キャリアガスに乾燥蒸気を間欠的に混入することによってキャリアガスと乾燥蒸気との混合流体の供給とキャリアガスだけの供給とを交互に行うように構成したことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の乾燥装置。
  4. 前記乾燥蒸気供給機構は、キャリアガスの供給源とガス吐出口とをガス供給管で連通連結するとともに、このガス供給管の中途部に乾燥蒸気の原料となる薬液を気化させるための加熱手段を配設し、この加熱手段よりも上流側のガス供給管の中途部に薬液の供給源を薬液供給管を介して連通連結し、この薬液供給管の中途部に薬液を間欠的に供給する間欠供給機構を設けたことを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれかに記載の乾燥装置。
  5. 前記ガス供給管と薬液供給管との連結部分よりも上流側のガス供給管にキャリアガスを予め加熱するための予熱手段を配設したことを特徴とする請求項4に記載の乾燥装置。
  6. 前記ガス供給管の中途部分を複数本の分岐管に分岐し、各分岐管に前記加熱手段を配設するとともに、各加熱手段よりも上流側の分岐管の中途部に前記薬液供給管を連通連結したことを特徴とする請求項4又は請求項5に記載の乾燥装置。
  7. 基板の洗浄処理を行う洗浄処理槽と基板の乾燥処理を行う乾燥処理槽とこれら洗浄処理槽と乾燥処理槽との間で基板の搬送を行う基板搬送機構を設け、乾燥処理槽の内部にガス吐出口を設けるとともに、このガス吐出口から基板に向けて薬液を気化させた乾燥蒸気をキャリアガスとともに供給する乾燥蒸気供給機構を連通連結した基板処理装置において、
    前記乾燥蒸気供給機構は、キャリアガスと乾燥蒸気との混合流体の供給とキャリアガスだけの供給とを交互に複数回行い、前記混合流体の供給時間を全体の供給時間の57%以上かつ83%以下とするように構成したことを特徴とする基板処理装置。
  8. 前記乾燥蒸気供給機構は、前記混合流体の供給時間を全体の供給時間の75%以上とするように構成したことを特徴とする請求項7に記載の基板処理装置。
  9. 前記乾燥蒸気供給機構は、キャリアガスに乾燥蒸気を間欠的に混入することによってキャリアガスと乾燥蒸気との混合流体の供給とキャリアガスだけの供給とを交互に行うように構成したことを特徴とする請求項7又は請求項8に記載の基板処理装置。
  10. 前記乾燥蒸気供給機構は、キャリアガスの供給源とガス吐出口とをガス供給管で連通連結するとともに、このガス供給管の中途部に乾燥蒸気の原料となる薬液を気化させるための加熱手段を配設し、この加熱手段よりも上流側のガス供給管の中途部に薬液の供給源を薬液供給管を介して連通連結し、この薬液供給管の中途部に薬液を間欠的に供給する間欠供給機構を設けたことを特徴とする請求項7〜請求項9のいずれかに記載の基板処理装置。
  11. 前記乾燥蒸気供給機構は、基板搬送機構によって基板を洗浄処理槽から乾燥処理槽に搬送した後にキャリアガスと乾燥蒸気との混合流体の供給とキャリアガスだけの供給とを交互に行うように構成したことを特徴とする請求項7〜請求項10のいずれかに記載の基板処理装置。
  12. 被処理体に向けて薬液を気化させた乾燥蒸気をキャリアガスとともに供給することによって被処理体の乾燥処理を行う乾燥方法において、
    キャリアガスと乾燥蒸気との混合流体の供給とキャリアガスだけの供給とを交互に複数回行い、前記混合流体の供給時間を全体の供給時間の57%以上かつ83%以下としたことを特徴とする乾燥方法。
  13. 前記混合流体の供給時間を全体の供給時間の75%以上としたことを特徴とする請求項12に記載の乾燥方法。
  14. 基板の洗浄処理を洗浄処理槽で行った後に、基板を洗浄処理槽から乾燥処理槽に搬送し、乾燥処理槽の内部で基板に向けて薬液を気化させた乾燥蒸気をキャリアガスとともに供給することによって基板の乾燥処理を行う基板処理方法において、
    キャリアガスと乾燥蒸気との混合流体の供給とキャリアガスだけの供給とを交互に複数回行い、前記混合流体の供給時間を全体の供給時間の57%以上かつ83%以下としたことを特徴とする基板処理方法。
  15. 前記混合流体の供給時間を全体の供給時間の75%以上としたことを特徴とする請求項14に記載の基板処理方法。
  16. 被処理体に向けて薬液を気化させた乾燥蒸気をキャリアガスとともに供給することによって被処理体の乾燥処理を行う乾燥装置に被処理体の乾燥処理を実行させるための乾燥プログラムにおいて、
    キャリアガスと乾燥蒸気との混合流体を供給する混合流体供給ステップと、キャリアガスだけの供給を行うキャリアガス供給ステップとを交互に複数回行い、前記混合流体供給ステップの実行時間を全体の供給時間の57%以上かつ83%以下としたことを特徴とする乾燥プログラム。
  17. 前記混合流体供給ステップの実行時間を全体の供給時間の75%以上としたことを特徴とする請求項16に記載の乾燥プログラム。
  18. 基板の洗浄処理を洗浄処理槽で行った後に、基板を洗浄処理槽から乾燥処理槽に搬送し、乾燥処理槽の内部で基板に向けて薬液を気化させた乾燥蒸気をキャリアガスとともに供給することによって基板の乾燥処理を行う基板処理装置に基板の乾燥処理を実行させるための基板処理プログラムにおいて、
    キャリアガスと乾燥蒸気との混合流体を供給する混合流体供給ステップと、キャリアガスだけの供給を行うキャリアガス供給ステップとを交互に複数回行い、前記混合流体供給ステップの実行時間を全体の供給時間の57%以上かつ83%以下としたことを特徴とする基板処理プログラム。
  19. 前記混合流体供給ステップの実行時間を全体の供給時間の75%以上としたことを特徴とする請求項18に記載の基板処理プログラム。
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