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JP4501665B2 - Photosensitive resin composition - Google Patents

Photosensitive resin composition Download PDF

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JP4501665B2
JP4501665B2 JP2004360990A JP2004360990A JP4501665B2 JP 4501665 B2 JP4501665 B2 JP 4501665B2 JP 2004360990 A JP2004360990 A JP 2004360990A JP 2004360990 A JP2004360990 A JP 2004360990A JP 4501665 B2 JP4501665 B2 JP 4501665B2
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JP
Japan
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group
photosensitive resin
resin composition
formula
acrylate
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和男 武部
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Sumitomo Chemical Co Ltd
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Sumitomo Chemical Co Ltd
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  • Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)

Description

本発明は感光性樹脂組成物に関する。   The present invention relates to a photosensitive resin composition.

本発明は、感光性樹脂組成物に関する。さらに詳しくは、カラーフィルタの一部を構成する透明膜を形成するための材料、例えば、オーバーコート、フォトスペーサ、絶縁膜、液晶配向制御用突起、着色パターンの膜厚をあわせるためのコート層などの透明膜を形成するのに好適な感光性樹脂組成物、および、前記の透明膜を具備するカラーフィルタ、さらに、該カラーフィルターを具備する液晶表示装置に関するものである。   The present invention relates to a photosensitive resin composition. More specifically, a material for forming a transparent film constituting a part of the color filter, for example, an overcoat, a photo spacer, an insulating film, a liquid crystal alignment control protrusion, a coat layer for adjusting the thickness of the colored pattern, etc. The present invention relates to a photosensitive resin composition suitable for forming a transparent film, a color filter including the transparent film, and a liquid crystal display device including the color filter.

液晶表示装置やタッチパネルなど、表示装置を構成するカラーフィルタとアレイ基板との間には、両基板の間隔を保持するためにスペーサが設けられている。このスペーサは、従来ガラスビーズ、プラスチックビーズ等の球形粒子が使用されている。
しかしながら、このような球形粒子を使用すると、当該球形粒子がガラス基板上に無秩序に散布されて、TFT素子や電極などに損傷を与えたり、また当該球形粒子が透過画素部内に存在すると、入射光の散乱により、液晶表示素子のコントラストが低下したりすることがあった。そこで、球形粒子を用いる代わりに、感光性樹脂でスペーサを形成することが提案されている。この方法によれば、任意の場所にスペーサを形成することができるので、前述の問題点を解決することができる。
このような感光性樹脂としては、カルボキシル基およびグリシジルエーテル基に代表されるエポキシ基を有するアクリル共重合体からなるバインダー樹脂を含有するスペーサ形成用組成物が知られており(特許文献1)、スペーサ形成工程における現像後のポストベーク時に、エポキシ基とカルボキシル基とが架橋し、耐溶剤性、耐熱性に優れたスペーサパターンを得ることができる。
A spacer is provided between the color filter constituting the display device, such as a liquid crystal display device or a touch panel, and the array substrate in order to keep the distance between the two substrates. Conventionally, spherical particles such as glass beads and plastic beads are used for this spacer.
However, when such spherical particles are used, the spherical particles are randomly distributed on the glass substrate, resulting in damage to TFT elements and electrodes, or when the spherical particles are present in the transmissive pixel portion, the incident light In some cases, the contrast of the liquid crystal display element may be reduced due to the scattering of light. Therefore, it has been proposed to form spacers with a photosensitive resin instead of using spherical particles. According to this method, since the spacer can be formed at an arbitrary place, the above-mentioned problems can be solved.
As such a photosensitive resin, a spacer forming composition containing a binder resin made of an acrylic copolymer having an epoxy group represented by a carboxyl group and a glycidyl ether group is known (Patent Document 1). During post-baking after development in the spacer forming step, the epoxy group and the carboxyl group are cross-linked, and a spacer pattern having excellent solvent resistance and heat resistance can be obtained.

特開平11−133600号公報 2頁左欄2行−2頁左欄9行JP-A-11-133600, page 2, left column, line 2-page 2, left column, line 9

ところが、感光性樹脂組成物によっては、得られるスペーサの塗膜物性は良好であるものの、組成物を長期にわたり保存すると、組成物の増粘やゲル化が生じてしまうことがある。例えば、本発明者の検討によると、グリシジル基などのエポキシ基を構成成分として有する樹脂よりも安定性が良好であるとされる脂肪族単環式エポキシ基を構成成分として有する樹脂であっても、これを含む感光性樹脂組成物でも貯蔵安定性がまだ不十分であることがわかった。
そこで、本発明の目的は、保存時の粘度変化が小さく、微細なパターンまで解像可能であり、耐溶剤性、耐熱性に優れたパターンや塗膜を形成できる感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。
However, depending on the photosensitive resin composition, the resulting spacer has good coating film properties, but if the composition is stored for a long period of time, thickening or gelation of the composition may occur. For example, according to the study of the present inventor, even a resin having an aliphatic monocyclic epoxy group as a constituent component, which is said to have better stability than a resin having an epoxy group such as a glycidyl group as a constituent component, It has been found that the storage stability is still insufficient even with the photosensitive resin composition containing the same.
Accordingly, an object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition that can form a pattern or a coating film that has a small change in viscosity during storage, can be resolved to a fine pattern, and has excellent solvent resistance and heat resistance. For the purpose.

本発明者は、前記の課題を解決しうる新たな手段について鋭意検討の結果、本発明の感光性樹脂組成物が前述の課題を解決できることを見出し、本発明に至った。
すなわち本発明は、バインダー樹脂(A)、光重合性化合物(B)、光重合開始剤(C)および溶剤(D)を含有する感光性樹脂組成物において、バインダー樹脂(A)が、不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物(A1)、環上にエポキシ基を有する多環式脂肪族基と不飽和結合を有する基とを有する化合物(A2)、ならびに前記を重合させて(A1)および(A2)と共重合可能な単量体(ただし、(A1)および(A2)を除く。)(A3)との共重合体である感光性樹脂組成物を提供する。
また、本発明は、前記の感光性樹脂組成物を用いて形成されるパターン、前記のパターンを含む液晶表示装置を提供する。
As a result of intensive studies on new means that can solve the above-mentioned problems, the present inventor has found that the photosensitive resin composition of the present invention can solve the above-mentioned problems, leading to the present invention.
That is, the present invention relates to a photosensitive resin composition containing a binder resin (A), a photopolymerizable compound (B), a photopolymerization initiator (C) and a solvent (D), wherein the binder resin (A) is unsaturated. Carboxylic acid and / or unsaturated carboxylic acid anhydride (A1), compound (A2) having a polycyclic aliphatic group having an epoxy group on the ring and a group having an unsaturated bond, and the above are polymerized ( Provided is a photosensitive resin composition that is a copolymer with monomers (A1) and (A2) (A3) that are copolymerizable with (A1) and (A2).
Moreover, this invention provides the liquid crystal display device containing the pattern formed using the said photosensitive resin composition, and the said pattern.

本発明の感光性樹脂組成物は、保存時の粘度変化が小さく、微細なパターンまで解像可能であり、耐溶剤性、耐熱性に優れた塗膜を形成できる。   The photosensitive resin composition of the present invention has a small viscosity change during storage, can be resolved to a fine pattern, and can form a coating film excellent in solvent resistance and heat resistance.

以下、本発明を詳細に説明する。   Hereinafter, the present invention will be described in detail.

本発明の感光性樹脂組成物は、主にパターン形成材料として使用されるものであって、バインダー樹脂(A)、光重合性化合物(B)および光重合開始剤(C)、さらに任意にその他の添加剤(F)が、溶剤(D)に溶解または分散されている。   The photosensitive resin composition of the present invention is mainly used as a pattern forming material, and includes a binder resin (A), a photopolymerizable compound (B) and a photopolymerization initiator (C), and optionally other. The additive (F) is dissolved or dispersed in the solvent (D).

本発明の感光性樹脂組成物に用いられるバインダー樹脂(A)は、アルカリ溶解性を有するものであり、不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物(A1)、環上にエポキシ基を有する多環式脂肪族基と不飽和結合を有する基とを有する化合物(A2)、ならびに(A1)および(A2)と共重合可能な単量体(ただし、(A1)および(A2)を除く。)(A3)との共重合体である。   The binder resin (A) used in the photosensitive resin composition of the present invention has alkali solubility, and has an unsaturated carboxylic acid and / or an unsaturated carboxylic acid anhydride (A1) and an epoxy group on the ring. Compound (A2) having a polycyclic aliphatic group having an unsaturated bond group and a monomer copolymerizable with (A1) and (A2) (excluding (A1) and (A2)) .) A copolymer with (A3).

前記の不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物(A1)としては、具体的には、例えばアクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸などの不飽和モノカルボン酸類;
マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、メサコン酸、イタコン酸などの不飽和ジカルボン酸類;
および前記の不飽和ジカルボン酸類の無水物;
こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕、フタル酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕等の2価以上の多価カルボン酸の不飽和モノ〔(メタ)アクリロイロキシアルキル〕エステル類;
α−(ヒドロキシメチル)アクリル酸のような、同一分子中にヒドロキシ基およびカルボキシル基を含有する不飽和アクリレート類等が挙げられる。
これらのうち、アクリル酸、メタクリル酸、無水マレイン酸などが共重合反応性、アルカリ水溶液に対する溶解性から好ましく用いられる。これらは、単独であるいは組み合わせて用いられる。
Specific examples of the unsaturated carboxylic acid and / or unsaturated carboxylic acid anhydride (A1) include unsaturated monocarboxylic acids such as acrylic acid, methacrylic acid, and crotonic acid;
Unsaturated dicarboxylic acids such as maleic acid, fumaric acid, citraconic acid, mesaconic acid, itaconic acid;
And anhydrides of the aforementioned unsaturated dicarboxylic acids;
Unsaturated mono [(meth) acryloyloxy of polyvalent carboxylic acids such as succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] and phthalic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] Alkyl] esters;
Examples thereof include unsaturated acrylates containing a hydroxy group and a carboxyl group in the same molecule, such as α- (hydroxymethyl) acrylic acid.
Of these, acrylic acid, methacrylic acid, maleic anhydride and the like are preferably used from the viewpoint of copolymerization reactivity and solubility in an alkaline aqueous solution. These may be used alone or in combination.

前記の環上にエポキシ基を有する多環式脂肪族基と不飽和結合を有する基とを有する化合物(A2)における、多環式脂肪族基としては、ジシクロペンタニル基、トリシクロデシル基などが挙げられる。また、前記の不飽和結合としては、ビニル基が挙げられる。
環上にエポキシ基を有する多環式脂肪族基と不飽和結合を有する基とを有する化合物(A2)としては、好ましくは式(I)で表される化合物および式(II)で表される化合物からなる群から選ばれる少なくとも1種の化合物が挙げられる。
In the compound (A2) having a polycyclic aliphatic group having an epoxy group on the ring and a group having an unsaturated bond, the polycyclic aliphatic group may be a dicyclopentanyl group or a tricyclodecyl group. Etc. Moreover, a vinyl group is mentioned as said unsaturated bond.
The compound (A2) having a polycyclic aliphatic group having an epoxy group on the ring and a group having an unsaturated bond is preferably a compound represented by the formula (I) and a formula (II). Examples include at least one compound selected from the group consisting of compounds.

Figure 0004501665
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[式(I)および式(II)において、Rは、それぞれ独立に、水素原子または水酸基で置換されていてもよい炭素数1〜4のアルキル基を表す。
Xは、それぞれ独立に、単結合またはヘテロ原子を含んでも良い炭素数1〜6のアルキレン基を表す。]
[In formula (I) and formula (II), R represents a C1-C4 alkyl group which may be substituted by the hydrogen atom or the hydroxyl group each independently.
X represents each independently a C1-C6 alkylene group which may contain a single bond or a hetero atom. ]

Rとしては、具体的には、水素原子、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基などのアルキル基;
ヒドロキシメチル基、1−ヒドロキシエチル基、2−ヒドロキシエチル基、1−ヒドロキシ−n−プロピル基、2−ヒドロキシ−n−プロピル基、3−ヒドロキシ−n−プロピル基、1−ヒドロキシ−イソプロピル基、2−ヒドロキシ−イソプロピル基、1−ヒドロキシ−n−ブチル基、2−ヒドロキシ−n−ブチル基、3−ヒドロキシ−n−ブチル基、4−ヒドロキシ−n−ブチル基などの水酸基含有アルキル基が挙げられる。中でも、好ましくは水素原子、メチル基、ヒドロキシメチル基、1−ヒドロキシエチル基、2−ヒドロキシエチル基が挙げられ、より好ましくは水素原子、メチル基が挙げられる。
Specific examples of R include alkyl groups such as hydrogen atom, methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, n-butyl group, sec-butyl group, and tert-butyl group;
Hydroxymethyl group, 1-hydroxyethyl group, 2-hydroxyethyl group, 1-hydroxy-n-propyl group, 2-hydroxy-n-propyl group, 3-hydroxy-n-propyl group, 1-hydroxy-isopropyl group, And hydroxyl group-containing alkyl groups such as 2-hydroxy-isopropyl group, 1-hydroxy-n-butyl group, 2-hydroxy-n-butyl group, 3-hydroxy-n-butyl group and 4-hydroxy-n-butyl group. It is done. Among these, Preferably a hydrogen atom, a methyl group, a hydroxymethyl group, 1-hydroxyethyl group, 2-hydroxyethyl group is mentioned, More preferably, a hydrogen atom and a methyl group are mentioned.

Xとして、単結合や、メチレン基、エチレン基、プロピレン基などのアルキレン基;
オキシメチレン基、オキシエチレン基、オキシプロピレン基、チオメチレン基、チオエチレン基、チオプロピレン基、アミノメチレン基、アミノエチレン基、アミノプロピレン基などのヘテロ原子含有アルキレン基などが挙げられる。中でも、好ましくは単結合、メチレン基、エチレン基、オキシメチレン基、オキシエチレン基が挙げられ、より好ましくは単結合、オキシエチレン基が挙げられる。
X represents a single bond or an alkylene group such as a methylene group, an ethylene group or a propylene group;
Examples thereof include heteroatom-containing alkylene groups such as oxymethylene group, oxyethylene group, oxypropylene group, thiomethylene group, thioethylene group, thiopropylene group, aminomethylene group, aminoethylene group, and aminopropylene group. Of these, a single bond, a methylene group, an ethylene group, an oxymethylene group, and an oxyethylene group are preferable, and a single bond and an oxyethylene group are more preferable.

式(I)で表される化合物としては、式(I−1)〜式(I−15)で表される化合物などが挙げられ、好ましくは式(I−1)、式(I−3)、式(I−5)、式(I−7)、式(I−9)、式(I−11)〜式(I−15)が挙げられ、より好ましくは式(I−1)、式(I−7)、式(I−9)、式(I−15)が挙げられる。   Examples of the compound represented by the formula (I) include compounds represented by the formula (I-1) to the formula (I-15), preferably the formula (I-1) and the formula (I-3). , Formula (I-5), formula (I-7), formula (I-9), formula (I-11) to formula (I-15), and more preferably formula (I-1), formula (I-7), Formula (I-9), and Formula (I-15) are mentioned.

Figure 0004501665
Figure 0004501665

式(II)で表される化合物としては、式(II−1)〜式(II−15)で表される化合物などが挙げられ、好ましくは式(II−1)、式(II−3)、式(II−5)、式(II−7)、式(II−9)、式(II−11)〜式(II−15)が挙げられ、より好ましくは式(II−1)、式(II−7)、式(II−9)、式(II−15)が挙げられる。   Examples of the compound represented by the formula (II) include compounds represented by the formula (II-1) to the formula (II-15), preferably the formula (II-1) and the formula (II-3). , Formula (II-5), formula (II-7), formula (II-9), formula (II-11) to formula (II-15), more preferably formula (II-1), (II-7), Formula (II-9), and Formula (II-15) are mentioned.

Figure 0004501665
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式(I)で表される化合物および式(II)で表される化合物からなる群から選ばれる少なくとも1種の化合物は、それぞれ単独で用いることができる。また、それらは、任意の比率で混合することができる。混合する場合、その混合比率はモル比で、好ましくは式(I):式(II)で、5:95〜95:5、より好ましくは10:90〜90:10、とりわけ好ましくは20:80〜80:20である。   At least one compound selected from the group consisting of the compound represented by formula (I) and the compound represented by formula (II) can be used alone. They can also be mixed in any ratio. In the case of mixing, the mixing ratio is a molar ratio, preferably 5:95 to 95: 5, more preferably 10:90 to 90:10, particularly preferably 20:80 in the formula (I): formula (II). ~ 80: 20.

前記の、(A1)および(A2)と共重合可能な単量体(A3)(ただし、(A1)および(A2)を除く。)としては、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、sec−ブチル(メタ)アクリレート、t−ブチル(メタ)アクリレートなどの(メタ)アクリル酸アルキルエステル類;
メチルアクリレート、イソプロピルアクリレートなどのアクリル酸アルキルエステル類;
シクロヘキシル(メタ)アクリレート、2−メチルシクロヘキシル(メタ)アクリレート、トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル(メタ)アクリレート(当該技術分野では、慣用名として、ジシクロペンタニル(メタ)アクリレートといわれている。)、ジシクロペンタニルオキシエチル(メタ)アクリレート、イソボロニル(メタ)アクリレートなどの(メタ)アクリル酸環状アルキルエステル類;
シクロヘキシルアクリレート、2−メチルシクロヘキシルアクリレート、トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イルアクリレート(当該技術分野で慣用名としてジシクロペンタニルアクリレートといわれている。)、ジシクロペンタオキシエチルアクリレート、イソボロニルアクリレートなどのアクリル酸環状アルキルエステル類;
フェニル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレートなどの(メタ)アクリル酸アリールエステル類;
フェニルアクリレート、ベンジルアクリレートなどのアクリル酸アリールエステル類;
マレイン酸ジエチル、フマル酸ジエチル、イタコン酸ジエチルなどのジカルボン酸ジエステル;
2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレートなどのヒドロキシアルキルエステル類;
ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−メチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−エチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−ヒドロキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−カルボキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−ヒドロキシメチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−(2’−ヒドロキシエチル)ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−メトキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−エトキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ジヒドロキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ジカルボキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ジ(ヒドロキシメチル)ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ジ(2’−ヒドロキシエチル)ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ジメトキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ジエトキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−ヒドロキシ−5−メチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−ヒドロキシ−5−エチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−カルボキシ−5−メチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−カルボキシ−5−エチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−ヒドロキシメチル−5−メチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−カルボキシ−6−メチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−カルボキシ−6−エチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ジカルボキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン無水物(ハイミック酸無水物)、5−t−ブトキシカルボニルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−シクロヘキシルオキシカルボニルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−フェノキシカルボニルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ジ(t−ブトキシカルボニル)ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ジ(シクロヘキシルオキシカルボニル)ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン等のビシクロ不飽和化合物類;
N−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド、N−ベンジルマレイミド、N−スクシンイミジル−3−マレイミドベンゾエート、N−スクシンイミジル−4−マレイミドブチレート、N−スクシンイミジル−6−マレイミドカプロエート、N−スクシンイミジル−3−マレイミドプロピオネート、N−(9−アクリジニル)マレイミド等のジカルボニルイミド誘導体類;
スチレン、α−メチルスチレン、m−メチルスチレン、p−メチルスチレン、ビニルトルエン、p−メトキシスチレン、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、塩化ビニル、塩化ビニリデン、アクリルアミド、メタクリルアミド、酢酸ビニル、1,3−ブタジエン、イソプレン、2,3−ジメチル−1,3−ブタジエン、アクリル酸グリシジル、メタクリル酸グリシジル、α−エチルアクリル酸グリシジル、α−n−プロピルアクリル酸グリシジル、α−n−ブチルアクリル酸グリシジル、アクリル酸−3,4−エポキシブチル、メタクリル酸−3,4−エポキシブチル、アクリル酸−6,7−エポキシヘプチル、メタクリル酸−6,7−エポキシヘプチル、α−エチルアクリル酸−6,7−エポキシヘプチル、O-ビニルベンジルグリシジルエーテル、m−ビニルベンジルグリシジルエーテル、p−ビニルベンジルグリシジルエーテルなどが挙げられる。
これらのうち、スチレン、N−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド、N−ベンジルマレイミド、ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エンなどが共重合反応性およびアルカリ水溶液に対する溶解性の点から好ましい。
これらは、単独であるいは組み合わせて用いられる。
As the monomer (A3) copolymerizable with (A1) and (A2) (excluding (A1) and (A2)), methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, (meth) acrylic acid alkyl esters such as n-butyl (meth) acrylate, sec-butyl (meth) acrylate and t-butyl (meth) acrylate;
Alkyl acrylates such as methyl acrylate and isopropyl acrylate;
Cyclohexyl (meth) acrylate, 2-methylcyclohexyl (meth) acrylate, tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decan-8-yl (meth) acrylate (in this technical field, dicyclopenta Nyl (meth) acrylate), (meth) acrylic acid cyclic alkyl esters such as dicyclopentanyloxyethyl (meth) acrylate, isoboronyl (meth) acrylate;
Cyclohexyl acrylate, 2-methylcyclohexyl acrylate, tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decan-8-yl acrylate (commonly referred to in the art as dicyclopentanyl acrylate), dicyclo Acrylic acid cyclic alkyl esters such as pentaoxyethyl acrylate and isobornyl acrylate;
(Meth) acrylic acid aryl esters such as phenyl (meth) acrylate and benzyl (meth) acrylate;
Acrylic acid aryl esters such as phenyl acrylate and benzyl acrylate;
Dicarboxylic acid diesters such as diethyl maleate, diethyl fumarate, diethyl itaconate;
Hydroxyalkyl esters such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylate and 2-hydroxypropyl (meth) acrylate;
Bicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-methylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-ethylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5- Hydroxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-carboxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-hydroxymethylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5- (2′-hydroxyethyl) bicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-methoxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-ethoxybicyclo [2.2.1 ] Hept-2-ene, 5,6-dihydroxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5,6-dicarboxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5,6- Di (hydroxymethyl) bicyclo [2.2.1] hept-2-e 5,6-di (2′-hydroxyethyl) bicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5,6-dimethoxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5,6 -Diethoxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-hydroxy-5-methylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-hydroxy-5-ethylbicyclo [2.2 .1] Hept-2-ene, 5-carboxy-5-methylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-carboxy-5-ethylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene 5-hydroxymethyl-5-methylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-carboxy-6-methylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-carboxy-6- Ethylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5, 6-dicarboxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene anhydride (hymic acid anhydride), 5-t-butoxycarbonylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-cyclohexyloxy Carbonylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-phenoxycarbonylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5,6-di (t-butoxycarbonyl) bicyclo [2.2. 1] Bicyclo unsaturated compounds such as hept-2-ene and 5,6-di (cyclohexyloxycarbonyl) bicyclo [2.2.1] hept-2-ene;
N-phenylmaleimide, N-cyclohexylmaleimide, N-benzylmaleimide, N-succinimidyl-3-maleimidobenzoate, N-succinimidyl-4-maleimidobutyrate, N-succinimidyl-6-maleimidocaproate, N-succinimidyl-3 -Dicarbonylimide derivatives such as maleimide propionate, N- (9-acridinyl) maleimide;
Styrene, α-methylstyrene, m-methylstyrene, p-methylstyrene, vinyl toluene, p-methoxystyrene, acrylonitrile, methacrylonitrile, vinyl chloride, vinylidene chloride, acrylamide, methacrylamide, vinyl acetate, 1,3-butadiene , Isoprene, 2,3-dimethyl-1,3-butadiene, glycidyl acrylate, glycidyl methacrylate, glycidyl α-ethyl acrylate, glycidyl α-n-propyl acrylate, glycidyl α-n-butyl acrylate, acrylic acid -3,4-epoxybutyl, methacrylic acid-3,4-epoxybutyl, acrylic acid-6,7-epoxyheptyl, methacrylic acid-6,7-epoxyheptyl, α-ethylacrylic acid-6,7-epoxyheptyl , O-Vinylbenzylglycidyl A Le, m- vinylbenzyl glycidyl ether, p- vinylbenzyl glycidyl ether.
Of these, styrene, N-phenylmaleimide, N-cyclohexylmaleimide, N-benzylmaleimide, bicyclo [2.2.1] hept-2-ene and the like are preferable from the viewpoint of copolymerization reactivity and solubility in an aqueous alkali solution. .
These may be used alone or in combination.

本発明に使用されるバインダー樹脂(A)は、(A1)、(A2)および(A3)を共重合させて得られる共重合体であり、それぞれから導かれる構成成分の比率が、前記の共重合体を構成する構成成分の合計モル数に対してモル分率で、以下の範囲にあることが好ましい。
(A1)から導かれる構成単位;2〜40モル%
(A2)から導かれる構成単位;2〜95モル%
(A3)から導かれる構成単位;1〜65モル%
The binder resin (A) used in the present invention is a copolymer obtained by copolymerizing (A1), (A2) and (A3), and the ratio of the constituent components derived from each is the above-mentioned copolymer. It is preferably in the following range in terms of mole fraction with respect to the total number of moles of the constituent components constituting the polymer.
Structural units derived from (A1); 2 to 40 mol%
Structural units derived from (A2); 2 to 95 mol%
Structural units derived from (A3); 1 to 65 mol%

また、前記の構成成分の比率が以下の範囲であると、より好ましい。
(A1)から導かれる構成単位;5〜35モル%
(A2)から導かれる構成単位;5〜80モル%
(A3)から導かれる構成単位;1〜60モル%
前記の構成比率が、上記の範囲にあると、保存安定性、現像性、耐溶剤性、耐熱性および機械強度が良好になる傾向がある。
Moreover, it is more preferable in the ratio of the said structural component being the following ranges.
Structural units derived from (A1); 5-35 mol%
Structural units derived from (A2); 5 to 80 mol%
Structural units derived from (A3); 1-60 mol%
When the composition ratio is in the above range, storage stability, developability, solvent resistance, heat resistance and mechanical strength tend to be good.

前記のバインダー樹脂(A)は、例えば、文献「高分子合成の実験法」(大津隆行著 発行所(株)化学同人 第1版第1刷 1972年3月1日発行)に記載された方法および当該文献に記載された引用文献を参考にして製造することができる。
具体的には、共重合体を構成する単位(A1)、(A2)および(A3)を導く化合物の所定量、重合開始剤および溶剤を反応容器中に仕込んで、窒素により酸素を置換することにより、酸素不存在下で、攪拌、加熱、保温することにより、重合体が得られる。なお、得られた共重合体は、反応後の溶液をそのまま使用しても良いし、濃縮あるいは希釈した溶液を使用しても良いし、再沈殿などの方法で固体(粉体)として取り出したものを使用しても良い。
The binder resin (A) is, for example, a method described in the document “Experimental Method for Polymer Synthesis” (Takayuki Otsu, published by Kagaku Dojin Co., Ltd., First Edition, First Edition, issued March 1, 1972). And it can manufacture with reference to the cited reference described in the said literature.
Specifically, a predetermined amount of a compound that leads to the units (A1), (A2), and (A3) constituting the copolymer, a polymerization initiator, and a solvent are charged into a reaction vessel, and oxygen is substituted with nitrogen. Thus, a polymer can be obtained by stirring, heating and heat-retaining in the absence of oxygen. In addition, the obtained copolymer may use the solution after the reaction as it is, may use a concentrated or diluted solution, and was taken out as a solid (powder) by a method such as reprecipitation. You may use things.

前記のバインダー樹脂(A)のポリスチレン換算の重量平均分子量は、好ましくは3,000〜100,000、より好ましくは5,000〜50,000である。バインダー樹脂(A)の重量平均分子量が、前記の範囲にあると、塗布性が良好となる傾向があり、また現像時に膜減りが生じにくく、さらに現像時に非画素部分の抜け性が良好である傾向にあり、好ましい。
バインダー樹脂(A)の分子量分布[重量平均分子量(Mw)/数平均分子量(Mn)]は、好ましくは1.1〜6.0であり、より好ましくは1.2〜4.0である。分子量分布が、前記の範囲にあると、現像性に優れる傾向があるので好ましい。
本発明の感光性樹脂組成物に用いられるバインダー樹脂(A)の含有量は、感光性樹脂組成物中の固形分に対して質量分率で、好ましくは5〜90質量%、より好ましくは10〜70質量%である。バインダー樹脂(A)の含有量が、前記の範囲にあると、現像液への溶解性が十分であり、非画素部分の基板上に現像残渣が発生しにくく、また現像時に露光部の画素部分の膜減りが生じにくく、非画素部分の抜け性が良好な傾向にあり、好ましい。
The weight average molecular weight in terms of polystyrene of the binder resin (A) is preferably 3,000 to 100,000, more preferably 5,000 to 50,000. When the weight average molecular weight of the binder resin (A) is in the above range, the coating property tends to be good, the film is not easily reduced during development, and the non-pixel portion is easily removed during development. It tends to be preferable.
The molecular weight distribution [weight average molecular weight (Mw) / number average molecular weight (Mn)] of the binder resin (A) is preferably 1.1 to 6.0, and more preferably 1.2 to 4.0. The molecular weight distribution in the above range is preferable because it tends to be excellent in developability.
Content of binder resin (A) used for the photosensitive resin composition of this invention is a mass fraction with respect to solid content in the photosensitive resin composition, Preferably it is 5-90 mass%, More preferably, it is 10 -70 mass%. When the content of the binder resin (A) is in the above range, the solubility in the developer is sufficient, and a development residue is hardly generated on the non-pixel portion of the substrate. This is preferable because the film loss is less likely to occur, and the non-pixel portion is liable to be removed.

本発明の感光性樹脂組成物に含まれる光重合性化合物(B)は、単官能モノマー、2官能モノマー、その他3官能以上の多官能モノマーであることができる。
単官能モノマーの具体例としては、ノニルフェニルカルビトールアクリレート、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピルアクリレート、2−エチルヘキシルカルビトールアクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレート、N−ビニルピロリドンなどが挙げられる。
また2官能モノマーの具体例としては、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールAのビス(アクリロイロキシエチル)エーテル、3−メチルペンタンジオールジ(メタ)アクリレートなどが挙げられる。
その他の3官能以上の多官能モノマーの具体例としては、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレートと酸無水物との反応物、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレートと酸無水物との反応物などが挙げられる。なかでも、2官能以上の多官能モノマーが好ましく用いられる。これらの光重合性化合物(B)は、単独もしくは二種以上併用して用いることができる。
光重合性化合物(B)の含有量は、バインダー樹脂(A)および光重合性化合物(B)の合計量に対して質量分率で、好ましくは1〜70質量%、より好ましくは5〜60質量%である。光重合性化合物(B)の含有量が、前記の範囲にあると、画素部の強度や平滑性、信頼性が良好になる傾向があり、好ましい。
The photopolymerizable compound (B) contained in the photosensitive resin composition of the present invention can be a monofunctional monomer, a bifunctional monomer, or another polyfunctional monomer having three or more functions.
Specific examples of the monofunctional monomer include nonylphenyl carbitol acrylate, 2-hydroxy-3-phenoxypropyl acrylate, 2-ethylhexyl carbitol acrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, N-vinyl pyrrolidone and the like.
Specific examples of the bifunctional monomer include 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, ethylene glycol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, triethylene glycol di (meth) acrylate, and bisphenol A. Bis (acryloyloxyethyl) ether, 3-methylpentanediol di (meth) acrylate, and the like.
Specific examples of other trifunctional or higher polyfunctional monomers include trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, di Examples include pentaerythritol hexa (meth) acrylate, a reaction product of pentaerythritol tri (meth) acrylate and an acid anhydride, a reaction product of dipentaerythritol penta (meth) acrylate and an acid anhydride, and the like. Of these, polyfunctional monomers having two or more functions are preferably used. These photopolymerizable compounds (B) can be used alone or in combination of two or more.
Content of a photopolymerizable compound (B) is a mass fraction with respect to the total amount of binder resin (A) and a photopolymerizable compound (B), Preferably it is 1-70 mass%, More preferably, it is 5-60. % By mass. When the content of the photopolymerizable compound (B) is in the above range, the strength, smoothness, and reliability of the pixel portion tend to be favorable, which is preferable.

本発明の感光性樹脂組成物に含まれる光重合開始剤(C)としては、アセトフェノン系、ビイミダゾール系、オキシム系、トリアジン系、アシルフォスフィンオキサイド系開始剤が好ましい。これらの光重合開始剤(C)に、光重合開始助剤(C−1)を併用することで、得られる感光性樹脂組成物は更に高感度となるので、これを用いてパターンを形成すると、パターンの生産性が向上するので、好ましい。   The photopolymerization initiator (C) contained in the photosensitive resin composition of the present invention is preferably an acetophenone-based, biimidazole-based, oxime-based, triazine-based, or acylphosphine oxide-based initiator. When the photopolymerization initiator auxiliary agent (C-1) is used in combination with these photopolymerization initiators (C), the resulting photosensitive resin composition has a higher sensitivity. This is preferable because the productivity of the pattern is improved.

前記のアセトフェノン系化合物としては、ジエトキシアセトフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、ベンジルジメチルケタール、2−ヒドロキシ−1−〔4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル〕−2−メチルプロパン−1−オン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルホリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)ブタン−1−オン、2−(2−メチルベンジル)−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン、2−(3−メチルベンジル)−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン、2−(4−メチルベンジル)−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン、2−(2−エチルベンジル)−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン、2−(2−プロピルベンジル)−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン、2−(2−ブチルベンジル)−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン、2−(2,3−ジメチルベンジル)−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン、2−(2、4−ジメチルベンジル)−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン、2−(2−クロロベンジル)−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン、2−(2−ブロモベンジル)−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン、2−(3−クロロベンジル)−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン、2−(4−クロロベンジル)−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン、2−(3−ブロモベンジル)−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン、2−(4−ブロモベンジル)−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン、2−(2−メトキシベンジル)−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン、2−(3−メトキシベンジル)−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン、2−(4−メトキシベンジル)−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン、2−(2−メチル−4−メトキシベンジル)−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン、2−(2−メチル−4−ブロモベンジル)−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン、2−(2−ブロモ−4−メトキシベンジル)−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−〔4−(1−メチルビニル)フェニル〕プロパン−1−オンのオリゴマーなどが挙げられる。   Examples of the acetophenone compounds include diethoxyacetophenone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, benzyldimethyl ketal, and 2-hydroxy-1- [4- (2-hydroxyethoxy) phenyl]. 2-methylpropan-1-one, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2-methyl-1- (4-methylthiophenyl) -2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one, 2- (2-methylbenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (3-methylbenzyl) -2-dimethylamino -1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (4-methylbenzyl) -2-dimethyl Amino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (2-ethylbenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (2-propylbenzyl) -2-dimethyl Amino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (2-butylbenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (2,3-dimethylbenzyl) -2 -Dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (2,4-dimethylbenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (2-chlorobenzyl) 2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (2-bromobenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-moly Holinophenyl) -butanone, 2- (3-chlorobenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (4-chlorobenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholino Phenyl) -butanone, 2- (3-bromobenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (4-bromobenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholino) Phenyl) -butanone, 2- (2-methoxybenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (3-methoxybenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholino) Phenyl) -butanone, 2- (4-methoxybenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2 -(2-Methyl-4-methoxybenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (2-methyl-4-bromobenzyl) -2-dimethylamino-1- (4 -Morpholinophenyl) -butanone, 2- (2-bromo-4-methoxybenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2-hydroxy-2-methyl-1- [4- ( 1-methylvinyl) phenyl] propan-1-one oligomer and the like.

前記のビイミダゾール化合物としては、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2,3−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール(例えば、特開平6−75372号公報、特開平6−75373号公報など参照。)、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(アルコキシフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(ジアルコキシフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(トリアルコキシフェニル)ビイミダゾール(例えば、特公昭48−38403号公報、特開昭62−174204号公報など参照。)、4,4’5,5’−位のフェニル基がカルボアルコキシ基により置換されているイミダゾール化合物(例えば、特開平7−10913号公報など参照。)などが挙げられ、好ましくは2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2、3−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾールが挙げられる。なお   Examples of the biimidazole compound include 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole and 2,2′-bis (2,3-dichlorophenyl) -4. , 4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole (see, for example, JP-A-6-75372 and JP-A-6-75373), 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4, 4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetra (alkoxyphenyl) biimidazole, 2,2′-bis ( 2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetra (dialkoxyphenyl) biimidazole, 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetra (trialkoxy) Phenyl) biimidazole (for example, see JP-B-48-38403, JP-A-62-174204, etc.), and the phenyl group at the 4,4′5,5′-position is substituted with a carboalkoxy group. Imidazole compounds (see, for example, JP-A-7-10913) and the like, preferably 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (2,3-dichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole may be mentioned. In addition

前記のオキシム化合物としては、O−エトキシカルボニル−α−オキシイミノ−1−フェニルプロパン−1−オン、式(3)で表される化合物、式(4)で表される化合物などが挙げられる。   Examples of the oxime compound include O-ethoxycarbonyl-α-oximino-1-phenylpropan-1-one, a compound represented by formula (3), a compound represented by formula (4), and the like.

Figure 0004501665
Figure 0004501665

前記のトリアジン系化合物としては、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシフェニル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシナフチル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−ピペロニル−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシスチリル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(5−メチルフラン−2−イル)エテニル〕−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(フラン−2−イル)エテニル〕−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(4−ジエチルアミノ−2−メチルフェニル)エテニル〕−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル〕−1,3,5−トリアジンなどが挙げられる。   Examples of the triazine compound include 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (4-methoxyphenyl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (4- Methoxynaphthyl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6-piperonyl-1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (4-methoxy Styryl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (5-methylfuran-2-yl) ethenyl] -1,3,5-triazine, 2,4 -Bis (trichloromethyl) -6- [2- (furan-2-yl) ethenyl] -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (4-diethylamino- 2-methylphenyl) Thenyl] -1,3,5-triazine, such as 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (3,4-dimethoxyphenyl) ethenyl] -1,3,5-triazine.

前記のアシルフォスフィンオキサイド系開始剤としては、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイドなどが挙げられる。   Examples of the acylphosphine oxide initiator include 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide.

また、本発明の効果を損なわない程度であれば、この分野で通常用いられている光重合開始剤等をさらに併用することができ、当該光重合開始剤としては、例えば、ベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、チオキサントン系化合物、アントラセン系化合物などが挙げられる。
より具体的には以下のような化合物を挙げることができ、これらをそれぞれ単独で、または2種以上組み合わせて用いることができる。
Moreover, as long as the effects of the present invention are not impaired, a photopolymerization initiator or the like usually used in this field can be further used together. Examples of the photopolymerization initiator include benzoin compounds and benzophenones. Compounds, thioxanthone compounds, anthracene compounds, and the like.
More specifically, the following compounds can be mentioned, and these can be used alone or in combination of two or more.

前記のベンゾイン系化合物としては、例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテルなどが挙げられる。   Examples of the benzoin-based compound include benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, and benzoin isobutyl ether.

前記のベンゾフェノン系化合物としては、例えば、ベンゾフェノン、o−ベンゾイル安息香酸メチル、4−フェニルベンゾフェノン、4−ベンゾイル−4’−メチルジフェニルサルファイド、3,3’,4,4’−テトラ(tert−ブチルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノン、2,4,6−トリメチルベンゾフェノンなどが挙げられる。   Examples of the benzophenone compounds include benzophenone, methyl o-benzoylbenzoate, 4-phenylbenzophenone, 4-benzoyl-4′-methyldiphenyl sulfide, 3,3 ′, 4,4′-tetra (tert-butyl). Peroxycarbonyl) benzophenone, 2,4,6-trimethylbenzophenone, and the like.

前記のチオキサントン系化合物としては、例えば、2−イソプロピルチオキサントン、4−イソプロピルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジクロロチオキサントン、1−クロロ−4−プロポキシチオキサントンなどが挙げられる。   Examples of the thioxanthone compound include 2-isopropylthioxanthone, 4-isopropylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2,4-dichlorothioxanthone, 1-chloro-4-propoxythioxanthone, and the like.

前記のアントラセン系化合物としては、例えば、9,10−ジメトキシアントラセン、2−エチル−9,10−ジメトキシアントラセン、9,10−ジエトキシアントラセン、2−エチル−9,10−ジエトキシアントラセンなどが挙げられる。   Examples of the anthracene compound include 9,10-dimethoxyanthracene, 2-ethyl-9,10-dimethoxyanthracene, 9,10-diethoxyanthracene, and 2-ethyl-9,10-diethoxyanthracene. It is done.

その他にも、10−ブチル−2−クロロアクリドン、2−エチルアントラキノン、ベンジル、9,10−フェナンスレンキノン、カンファーキノン、フェニルグリオキシル酸メチル、チタノセン化合物などが光重合開始剤として例示される。   Other examples of the photopolymerization initiator include 10-butyl-2-chloroacridone, 2-ethylanthraquinone, benzyl, 9,10-phenanthrenequinone, camphorquinone, methyl phenylglyoxylate, and titanocene compounds. .

また、連鎖移動を起こしうる基を有する光重合開始剤として、特表2002−544205号公報に記載されている光重合開始剤を使用することができる。
前記の連鎖移動を起こしうる基を有する光重合開始剤としては、例えば、下記式(5)〜(10)の光重合開始剤が挙げられる。
Further, as a photopolymerization initiator having a group capable of causing chain transfer, a photopolymerization initiator described in JP-T-2002-544205 can be used.
As a photoinitiator which has the group which can raise | generate the said chain transfer, the photoinitiator of following formula (5)-(10) is mentioned, for example.

Figure 0004501665
Figure 0004501665

前記の連鎖移動を起こしうる基を有する光重合開始剤は、前記の共重合体の構成成分(A3)としても使用することができる。そして、得られた共重合物は、本発明の感光性樹脂組成物のバインダー樹脂として使用されるバインダー樹脂に使用できるし、併用することもができる。   The photopolymerization initiator having a group capable of causing chain transfer can also be used as the constituent component (A3) of the copolymer. And the obtained copolymer can be used for binder resin used as binder resin of the photosensitive resin composition of this invention, and can also be used together.

また、光重合開始剤に光重合開始助剤(C−1)を組み合わせて用いることもできる。光重合開始助剤としては、アミン化合物および下記のカルボン酸化合物が好ましく、アミン化合物は芳香族アミン化合物がより好ましい。
光重合開始助剤の具体例としては、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミンなどの脂肪族アミン化合物、4−ジメチルアミノ安息香酸メチル、4−ジメチルアミノ安息香酸エチル、4−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、4−ジメチルアミノ安息香酸2−エチルヘキシル、安息香酸2−ジメチルアミノエチル、N,N−ジメチルパラトルイジン、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン(通称;ミヒラーズケトン)、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンのような芳香族アミン化合物が挙げられる。
前記のカルボン酸化合物としては、フェニルチオ酢酸、メチルフェニルチオ酢酸、エチルフェニルチオ酢酸、メチルエチルフェニルチオ酢酸、ジメチルフェニルチオ酢酸、メトキシフェニルチオ酢酸、ジメトキシフェニルチオ酢酸、クロロフェニルチオ酢酸、ジクロロフェニルチオ酢酸、N−フェニルグリシン、フェノキシ酢酸、ナフチルチオ酢酸、N−ナフチルグリシン、ナフトキシ酢酸などの芳香族ヘテロ酢酸類が挙げられる。
Moreover, a photoinitiator (C-1) can also be used in combination with a photoinitiator. As the photopolymerization initiation assistant, an amine compound and the following carboxylic acid compound are preferable, and the amine compound is more preferably an aromatic amine compound.
Specific examples of the photopolymerization initiation aid include aliphatic amine compounds such as triethanolamine, methyldiethanolamine, triisopropanolamine, methyl 4-dimethylaminobenzoate, ethyl 4-dimethylaminobenzoate, 4-dimethylaminobenzoic acid. Isoamyl, 2-dimethylhexyl 4-dimethylaminobenzoate, 2-dimethylaminoethyl benzoate, N, N-dimethylparatoluidine, 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone (common name: Michler's ketone), 4,4′- Examples include aromatic amine compounds such as bis (diethylamino) benzophenone.
Examples of the carboxylic acid compound include phenylthioacetic acid, methylphenylthioacetic acid, ethylphenylthioacetic acid, methylethylphenylthioacetic acid, dimethylphenylthioacetic acid, methoxyphenylthioacetic acid, dimethoxyphenylthioacetic acid, chlorophenylthioacetic acid, dichlorophenylthioacetic acid, Examples include aromatic heteroacetic acids such as N-phenylglycine, phenoxyacetic acid, naphthylthioacetic acid, N-naphthylglycine, and naphthoxyacetic acid.

光重合開始剤(C)の含有量は、バインダー樹脂(A)および光重合性化合物(B)の合計量に対して質量分率で、好ましくは0.1〜40質量%、より好ましくは1〜30質量%である。
また、光重合開始助剤(C−1)の含有量は、前記と同じ基準で、好ましくは0.01〜50質量%、より好ましくは0.1〜40質量%である。
光重合開始剤(C)の合計量が前記の範囲にあると、感光性樹脂組成物が高感度となり、前記の感光性樹脂組成物を用いて形成した画素部の強度や、前記の画素の表面における平滑性が良好になる傾向があり、好ましい。前記に加えて、光重合開始助剤(C−1)の量が前記の範囲にあると、得られる感光性樹脂組成物の感度がさらに高くなり、前記の感光性樹脂組成物を用いて形成するパターン基板の生産性が向上する傾向にあり、好ましい。
Content of a photoinitiator (C) is a mass fraction with respect to the total amount of binder resin (A) and a photopolymerizable compound (B), Preferably it is 0.1-40 mass%, More preferably, it is 1 -30 mass%.
The content of the photopolymerization initiation assistant (C-1) is preferably 0.01 to 50% by mass, more preferably 0.1 to 40% by mass, based on the same standard as described above.
When the total amount of the photopolymerization initiator (C) is in the above range, the photosensitive resin composition becomes highly sensitive, and the strength of the pixel portion formed using the photosensitive resin composition, The smoothness on the surface tends to be good, which is preferable. In addition to the above, when the amount of the photopolymerization initiation assistant (C-1) is in the above range, the sensitivity of the obtained photosensitive resin composition is further increased, and the photosensitive resin composition is formed using the photosensitive resin composition. This is preferable because the productivity of the patterned substrate tends to be improved.

本発明の感光性樹脂組成物は溶剤(D)を含む。前記の溶剤(D)は、感光性樹脂組成物の分野で用いられている各種の有機溶剤であることができる。その具体例としては、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテルおよびエチレングリコールモノブチルエーテルのようなエチレングリコールモノアルキルエーテル類;
ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテルおよびジエチレングリコールジブチルエーテルのようなジエチレングリコールジアルキルエーテル類;
メチルセロソルブアセテートおよびエチルセロソルブアセテートのようなエチレングリコールアルキルエーテルアセテート類;
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、メトキシブチルアセテートおよびメトキシペンチルアセテートのようなアルキレングリコールアルキルエーテルアセテート類;
ベンゼン、トルエン、キシレンおよびメシチレンのような芳香族炭化水素類;
メチルエチルケトン、アセトン、メチルアミルケトン、メチルイソブチルケトンおよびシクロヘキサノンのようなケトン類;
エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコールおよびグリセリンのようなアルコール類;
3−エトキシプロピオン酸エチルおよび3−メトキシプロピオン酸メチルのようなエステル類;
γ−ブチロラクトンのような環状エステル類などが挙げられる。
上記の溶剤のうち、塗布性、乾燥性の点から、好ましくは前記溶剤の中で沸点が100℃〜200℃である有機溶剤が挙げられ、より好ましくはアルキレングリコールアルキルエーテルアセテート類、ケトン類、3−エトキシプロピオン酸エチルおよび3−メトキシプロピオン酸メチルのようなエステル類が挙げられ、とりわけ好ましくはプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、シクロヘキサノン、3−エトキシプロピオン酸エチルおよび3−メトキシプロピオン酸メチルが挙げられる。
これらの溶剤(D)は、それぞれ単独で、または2種類以上混合して用いることができる。
本発明の感光性樹脂組成物における溶剤(D)の含有量は、感光性樹脂組成物に対して質量分率で、好ましくは60〜90質量%、より好ましくは70〜85質量%である。溶剤(D)の含有量が、前記の範囲にあると、スピンコーター、スリット&スピンコーター、スリットコーター(ダイコーター、カーテンフローコーターとも呼ばれることがある。)、インクジェットなどの塗布装置で塗布したときに塗布性が良好になる見込みがあり、好ましい。
The photosensitive resin composition of the present invention contains a solvent (D). The solvent (D) can be various organic solvents used in the field of photosensitive resin compositions. Specific examples thereof include ethylene glycol monoalkyl ethers such as ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monopropyl ether and ethylene glycol monobutyl ether;
Diethylene glycol dialkyl ethers such as diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol dipropyl ether and diethylene glycol dibutyl ether;
Ethylene glycol alkyl ether acetates such as methyl cellosolve acetate and ethyl cellosolve acetate;
Alkylene glycol alkyl ether acetates such as propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monopropyl ether acetate, methoxybutyl acetate and methoxypentyl acetate;
Aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene, xylene and mesitylene;
Ketones such as methyl ethyl ketone, acetone, methyl amyl ketone, methyl isobutyl ketone and cyclohexanone;
Alcohols such as ethanol, propanol, butanol, hexanol, cyclohexanol, ethylene glycol and glycerin;
Esters such as ethyl 3-ethoxypropionate and methyl 3-methoxypropionate;
and cyclic esters such as γ-butyrolactone.
Among the above-mentioned solvents, from the viewpoints of coating properties and drying properties, an organic solvent having a boiling point of 100 ° C. to 200 ° C. is preferable among the solvents, and more preferably alkylene glycol alkyl ether acetates, ketones, And esters such as ethyl 3-ethoxypropionate and methyl 3-methoxypropionate, particularly preferably propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, cyclohexanone, ethyl 3-ethoxypropionate and 3-methoxy And methyl propionate.
These solvents (D) can be used alone or in admixture of two or more.
Content of the solvent (D) in the photosensitive resin composition of this invention is a mass fraction with respect to the photosensitive resin composition, Preferably it is 60-90 mass%, More preferably, it is 70-85 mass%. When the content of the solvent (D) is within the above range, when applied by a spin coater, slit & spin coater, slit coater (sometimes called a die coater or curtain flow coater), an ink jet or the like. The coating property is expected to be good, and is preferable.

本発明の感光性樹脂組成物には、必要に応じて、充填剤、他の高分子化合物、顔料分散剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止材、凝集剤、連鎖移動剤などの添加剤(F)を併用することもできる。
充填剤として具体的には、ガラス、シリカ、アルミナなどが例示される。
他の高分子化合物として具体的には、エポキシ樹脂、マレイミド樹脂などの硬化性樹脂やポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフルオロアルキルアクリレート、ポリエステル、ポリウレタン等の熱可塑性樹脂などを用いることができる。
顔料分散剤としては、市販の界面活性剤を用いることができ、例えば、シリコーン系、フッ素系、エステル系、カチオン系、アニオン系、ノニオン系、両性などの界面活性剤などが挙げられ、それぞれ単独でまたは2種以上を組み合わせて用いられる。前記の界面活性剤の例としては、ポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル類、ポリエチレングリコールジエステル類、ソルビタン脂肪酸エステル類、脂肪酸変性ポリエステル類、3級アミン変性ポリウレタン類、ポリエチレンイミン類等のほか、商品名でKP(信越化学工業(株)製)、ポリフロー(共栄化学(株)製)、エフトップ(トーケムプロダクツ社製)、メガファック(大日本インキ化学工業(株)製)、フロラード(住友スリーエム(株)製)、アサヒガード、サーフロン(以上、旭硝子(株)製)、ソルスパース(ゼネカ(株)製)、EFKA(EFKA CHEMICALS社製)、PB821(味の素(株)製)などが挙げられる。
密着促進剤として具体的には、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(2−メトキシエトキシ)シラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、3−クロロプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロイロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシランなどが挙げられる。
酸化防止剤として具体的には、2,2’−チオビス(4−メチル−6−tert−ブチルフェノール)、2,6−ジ−tert−ブチル−4−メチルフェノールなどが挙げられる。
紫外線吸収剤として具体的には、2−(3−tert−ブチル−2−ヒドロキシ−5−メチルフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノンなどが挙げられる。
また凝集剤として具体的には、ポリアクリル酸ナトリウムなどが挙げられる。
連鎖移動剤としては、ドデシルメルカプタン、2,4−ジフェニル−4−メチル−1−ペンテンなどが挙げられる。
In the photosensitive resin composition of the present invention, a filler, other polymer compound, a pigment dispersant, an adhesion promoter, an antioxidant, an ultraviolet absorber, an anti-aggregating material, an aggregating agent, and chain transfer are optionally included. An additive (F) such as an agent can also be used in combination.
Specific examples of the filler include glass, silica, and alumina.
Specific examples of other polymer compounds include curable resins such as epoxy resins and maleimide resins, and thermoplastic resins such as polyvinyl alcohol, polyacrylic acid, polyethylene glycol monoalkyl ether, polyfluoroalkyl acrylate, polyester, and polyurethane. Can be used.
Commercially available surfactants can be used as the pigment dispersant, and examples include silicone-based, fluorine-based, ester-based, cationic-based, anionic-based, nonionic-based, and amphoteric surfactants. Or a combination of two or more. Examples of the surfactant include polyoxyethylene alkyl ethers, polyoxyethylene alkyl phenyl ethers, polyethylene glycol diesters, sorbitan fatty acid esters, fatty acid-modified polyesters, tertiary amine-modified polyurethanes, and polyethyleneimines. In addition, KP (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), Polyflow (manufactured by Kyoei Chemical Co., Ltd.), F-Top (manufactured by Tochem Products), MegaFuck (manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Inc.) ), FLORARD (manufactured by Sumitomo 3M Co., Ltd.), Asahi Guard, Surflon (manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.), Solsperse (manufactured by Geneca Corporation), EFKA (manufactured by EFKA CHEMICALS), PB821 (manufactured by Ajinomoto Co., Inc.) ) And the like.
Specific examples of the adhesion promoter include vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinyltris (2-methoxyethoxy) silane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane, N- (2- Aminoethyl) -3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) Examples include ethyltrimethoxysilane, 3-chloropropylmethyldimethoxysilane, 3-chloropropyltrimethoxysilane, 3-methacryloyloxypropyltrimethoxysilane, and 3-mercaptopropyltrimethoxysilane.
Specific examples of the antioxidant include 2,2′-thiobis (4-methyl-6-tert-butylphenol) and 2,6-di-tert-butyl-4-methylphenol.
Specific examples of the ultraviolet absorber include 2- (3-tert-butyl-2-hydroxy-5-methylphenyl) -5-chlorobenzotriazole and alkoxybenzophenone.
Specific examples of the flocculant include sodium polyacrylate.
Examples of the chain transfer agent include dodecyl mercaptan and 2,4-diphenyl-4-methyl-1-pentene.

感光性樹脂組成物は、例えば、以下のようにして基材上に塗布し、光硬化および現像を行って、パターンを形成することができる。まず、この組成物を基板(通常はガラス)または先に形成された感光性樹脂組成物の固形分からなる層の上に塗布し、塗布された感光性樹脂組成物層からプリベークすることにより溶剤などの揮発成分を除去して、平滑な塗膜を得る。このときの塗膜の厚さは、およそ1〜6μmである。このようにして得られた塗膜に、目的のパターンを形成するためのマスクを介して紫外線を照射する。この際、露光部全体に均一に平行光線が照射され、かつマスクと基板の正確な位置合わせが行われるよう、マスクアライナーやステッパーなどの装置を使用するのが好ましい。さらにこの後、硬化の終了した塗膜をアルカリ水溶液に接触させて非露光部を溶解させ、現像することにより、目的とするパターン形状が得られる。現像方法は、液盛り法、ディッピング法、スプレー法等のいずれでも良い。さらに現像時に基板を任意の角度に傾けても良い。   For example, the photosensitive resin composition can be applied onto a substrate as described below, and can be photocured and developed to form a pattern. First, this composition is applied onto a substrate (usually glass) or a layer made of a solid content of a previously formed photosensitive resin composition, and prebaked from the applied photosensitive resin composition layer to obtain a solvent or the like. The volatile components are removed to obtain a smooth coating film. At this time, the thickness of the coating film is about 1 to 6 μm. The coating film thus obtained is irradiated with ultraviolet rays through a mask for forming a target pattern. At this time, it is preferable to use an apparatus such as a mask aligner or a stepper so that the entire exposed portion is uniformly irradiated with parallel light rays and the mask and the substrate are accurately aligned. Thereafter, the cured coating film is brought into contact with an alkaline aqueous solution to dissolve the non-exposed portion and developed, whereby the intended pattern shape is obtained. The developing method may be any of a liquid piling method, a dipping method, a spray method, and the like. Further, the substrate may be tilted at an arbitrary angle during development.

パターニング露光後の現像に使用する現像液は、通常、アルカリ性化合物と界面活性剤を含む水溶液である。
アルカリ性化合物は、無機および有機のアルカリ性化合物のいずれでもよい。無機アルカリ性化合物の具体例としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、燐酸水素二ナトリウム、燐酸二水素ナトリウム、燐酸水素二アンモニウム、燐酸二水素アンモニウム、燐酸二水素カリウム、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、ホウ酸ナトリウム、ホウ酸カリウム、アンモニアなどが挙げられる。
また、有機アルカリ性化合物の具体例としては、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、2−ヒドロキシエチルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、モノメチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミン、モノエチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、モノイソプロピルアミン、ジイソプロピルアミン、エタノールアミンなどが挙げられる。これらの無機および有機アルカリ性化合物は、それぞれ単独でまたは2種以上組み合わせて用いることができる。アルカリ現像液中のアルカリ性化合物の濃度は、好ましくは0.01〜10質量%であり、より好ましくは0.03〜5質量%である。
The developer used for development after patterning exposure is usually an aqueous solution containing an alkaline compound and a surfactant.
The alkaline compound may be either an inorganic or organic alkaline compound. Specific examples of the inorganic alkaline compound include sodium hydroxide, potassium hydroxide, disodium hydrogen phosphate, sodium dihydrogen phosphate, diammonium hydrogen phosphate, ammonium dihydrogen phosphate, potassium dihydrogen phosphate, sodium silicate, potassium silicate, Examples thereof include sodium carbonate, potassium carbonate, sodium hydrogen carbonate, potassium hydrogen carbonate, sodium borate, potassium borate, and ammonia.
Specific examples of the organic alkaline compound include tetramethylammonium hydroxide, 2-hydroxyethyltrimethylammonium hydroxide, monomethylamine, dimethylamine, trimethylamine, monoethylamine, diethylamine, triethylamine, monoisopropylamine, diisopropylamine, and ethanolamine. Etc. These inorganic and organic alkaline compounds can be used alone or in combination of two or more. The concentration of the alkaline compound in the alkaline developer is preferably 0.01 to 10% by mass, more preferably 0.03 to 5% by mass.

またアルカリ現像液中の界面活性剤は、ノニオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤またはカチオン系界面活性剤のいずれでもよい。
ノニオン系界面活性剤の具体例としては、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアリールエーテル、ポリオキシエチレンアルキルアリールエーテル、その他のポリオキシエチレン誘導体、オキシエチレン/オキシプロピレンブロックコポリマー、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビトール脂肪酸エステル、グリセリン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミンなどが挙げられる。
アニオン系界面活性剤の具体例としては、ラウリルアルコール硫酸エステルナトリウムやオレイルアルコール硫酸エステルナトリウムのような高級アルコール硫酸エステル塩類、ラウリル硫酸ナトリウムやラウリル硫酸アンモニウムのようなアルキル硫酸塩類、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウムやドデシルナフタレンスルホン酸ナトリウムのようなアルキルアリールスルホン酸塩類などが挙げられる。
カチオン系界面活性剤の具体例としては、ステアリルアミン塩酸塩やラウリルトリメチルアンモニウムクロライドのようなアミン塩または第四級アンモニウム塩などが挙げられる。
これらの界面活性剤は、それぞれ単独で用いることも、また2種以上組み合わせて用いることもできる。
アルカリ現像液中の界面活性剤の濃度は、好ましくは0.01〜10質量%の範囲、より好ましくは0.05〜8質量%、より好ましくは0.1〜5質量%である。
The surfactant in the alkaline developer may be any of a nonionic surfactant, an anionic surfactant, or a cationic surfactant.
Specific examples of nonionic surfactants include polyoxyethylene alkyl ether, polyoxyethylene aryl ether, polyoxyethylene alkyl aryl ether, other polyoxyethylene derivatives, oxyethylene / oxypropylene block copolymers, sorbitan fatty acid esters, polyoxyethylene Examples thereof include oxyethylene sorbitan fatty acid ester, polyoxyethylene sorbitol fatty acid ester, glycerin fatty acid ester, polyoxyethylene fatty acid ester, and polyoxyethylene alkylamine.
Specific examples of anionic surfactants include higher alcohol sulfate salts such as sodium lauryl alcohol sulfate and sodium oleyl alcohol sulfate, alkyl sulfates such as sodium lauryl sulfate and ammonium lauryl sulfate, sodium dodecylbenzenesulfonate, And alkyl aryl sulfonates such as sodium dodecyl naphthalene sulfonate.
Specific examples of the cationic surfactant include amine salts or quaternary ammonium salts such as stearylamine hydrochloride and lauryltrimethylammonium chloride.
These surfactants can be used alone or in combination of two or more.
The concentration of the surfactant in the alkali developer is preferably in the range of 0.01 to 10% by mass, more preferably 0.05 to 8% by mass, and more preferably 0.1 to 5% by mass.

現像後、水洗を行い、さらに必要に応じて150〜230℃で10〜60分のポストベークを施すこともできる。   After the development, it is washed with water, and further post-baked at 150 to 230 ° C. for 10 to 60 minutes, if necessary.

本発明の感光性樹脂組成物を用いて、以上のような各工程を経て、基板上あるいはカラーフィルタ基板上に、パターンを形成することができる。このパターンは、液晶表示装置に使用されるフォトスペーサとして有用である。また、乾燥塗膜へのパターニング露光の際に、ホール形成用フォトマスクを使用すれば、ホールを形成することができ、層間絶縁膜として有用である。さらに、乾燥塗膜への露光の際に、フォトマスクを使用せず全面露光および加熱硬化、あるいは加熱硬化のみで透明膜を形成することができ、この透明膜は、オーバーコートとして有用であり、また、タッチパネルにも用いることができる。   By using the photosensitive resin composition of the present invention, a pattern can be formed on the substrate or the color filter substrate through the above steps. This pattern is useful as a photospacer used in a liquid crystal display device. Moreover, if a photomask for hole formation is used in patterning exposure to a dry coating film, a hole can be formed and it is useful as an interlayer insulation film. Furthermore, when exposing to a dry coating film, a transparent film can be formed only by full exposure and heat curing, or heat curing without using a photomask, and this transparent film is useful as an overcoat, It can also be used for a touch panel.

したがって、こうして得られるパターンを、液晶表示装置などの表示装置に組み込むことにより、優れた品質の表示装置を高い歩留りで製造することができる。
Therefore, by incorporating the pattern thus obtained into a display device such as a liquid crystal display device, an excellent quality display device can be manufactured with a high yield.

上記において、本発明の実施の形態について説明を行ったが、上記に開示された本発明の実施の形態は、あくまで例示であって、本発明の範囲はこれらの実施の形態に限定されない。本発明の範囲は、特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲の記載と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。   Although the embodiments of the present invention have been described above, the embodiments of the present invention disclosed above are merely examples, and the scope of the present invention is not limited to these embodiments. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, and includes the meaning equivalent to the description of the claims and all modifications within the scope.

以下、実施例によって本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例によって限定されるものではない。例中、含有量ないし使用量を表す%および部は、特に断らないかぎり質量基準である。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention in detail, this invention is not limited by these Examples. In the examples, “%” and “part” representing the content or amount used are based on mass unless otherwise specified.

合成例1
還流冷却器、滴下ロートおよび攪拌機を備えた1Lのフラスコ内に窒素を0.02L/分で流して窒素雰囲気とし、3−メトキシ−1−ブタノール200質量部および3−メトキシブチルアセテート105質量部を入れ、撹拌しながら70℃まで加熱した。次いで、メタクリル酸55質量部、3,4−エポキシトリシクロ[5.2.1.02.6]デシルアクリレート(式(I−1)で表される化合物および式(II−1)で表される化合物を、モル比で、50:50で混合。)175質量部およびN−シクロヘキシルマレイミド70質量部を、3−メトキシブチルアセテート140質量部に溶解して溶液を調製し、該溶解液を、滴下ポンプを用いて4時間かけて、70℃に保温したフラスコ内に滴下した。一方、重合開始剤2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)30質量部を3−メトキシブチルアセテート225質量部に溶解した溶液を、別の滴下ポンプを用いて5時間かけてフラスコ内に滴下した。重合開始剤の溶液の滴下が終了した後、4時間、70℃に保持し、その後室温まで冷却して、粘度(23℃)114mPa・s、固形分32.6質量%、酸価34.3mg−KOH/gの共重合体(樹脂Aa)の溶液を得た。得られた樹脂Aaの重量平均分子量Mwは、13,600、分散度は2.54であった。
なお、共重合体溶液の粘度は、B型粘度計で測定した。
Synthesis example 1
In a 1 L flask equipped with a reflux condenser, a dropping funnel and a stirrer, nitrogen was allowed to flow at 0.02 L / min to form a nitrogen atmosphere, and 200 parts by mass of 3-methoxy-1-butanol and 105 parts by mass of 3-methoxybutyl acetate were added. And heated to 70 ° C. with stirring. Subsequently, 55 parts by mass of methacrylic acid, 3,4-epoxytricyclo [5.2.1.0 2.6 ] decyl acrylate (a compound represented by the formula (I-1) and a formula (II-1) The compound to be mixed is mixed at a molar ratio of 50:50.) A solution is prepared by dissolving 175 parts by mass and 70 parts by mass of N-cyclohexylmaleimide in 140 parts by mass of 3-methoxybutyl acetate. Then, it was dropped into a flask kept at 70 ° C. for 4 hours using a dropping pump. On the other hand, a solution obtained by dissolving 30 parts by mass of a polymerization initiator 2,2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) in 225 parts by mass of 3-methoxybutyl acetate was added to a flask over another 5 hours using another dropping pump. It was dripped in. After completion of the dropwise addition of the polymerization initiator solution, the temperature was maintained at 70 ° C. for 4 hours, and then cooled to room temperature. Viscosity (23 ° C.) 114 mPa · s, solid content 32.6% by mass, acid value 34.3 mg A solution of -KOH / g copolymer (resin Aa) was obtained. The obtained resin Aa had a weight average molecular weight Mw of 13,600 and a dispersity of 2.54.
The viscosity of the copolymer solution was measured with a B-type viscometer.

合成例2
特開平11−133600号公報の合成例1と同様の操作を行い、樹脂Abを得た。
Synthesis example 2
The same operation as in Synthesis Example 1 of JP-A-11-133600 was performed to obtain a resin Ab.

合成例3
合成例1の、3,4−エポキシトリシクロ[5.2.1.02.6]デシルアクリレート(式(I−1)で表される化合物および式(II−1)で表される化合物を、モル比で、50:50で混合。)を、3,4−エポキシシクロヘキシルメチルメタアクリレートに変更する以外は同様の操作を行い、粘度(23℃)120mPa・s、固形分32.8質量%、酸価36.2mg−KOH/gの共重合体(樹脂Ac)の溶液を得た。得られた樹脂Acの重量平均分子量Mwは、13,900、分散度は2.55であった。
Synthesis example 3
3,4-Epoxytricyclo [5.2.1.0 2.6 ] decyl acrylate (Compound represented by Formula (I-1) and Compound represented by Formula (II-1) of Synthesis Example 1 Are mixed in a molar ratio of 50:50) to 3,4-epoxycyclohexylmethyl methacrylate, and the same operation is carried out to obtain a viscosity (23 ° C.) of 120 mPa · s and a solid content of 32.8 mass. %, An acid value of 36.2 mg-KOH / g copolymer (resin Ac) was obtained. The obtained resin Ac had a weight average molecular weight Mw of 13,900 and a dispersity of 2.55.

前記のバインダーポリマーの重量平均分子量(Mw)および数平均分子量(Mn)の測定については、GPC法を用いて、以下の条件で行なった。
装置;K2479((株)島津製作所製)
カラム;SHIMADZU Shim−pack GPC−80M
カラム温度;40℃
溶媒;THF(テトラヒドロフラン)
流速;1.0ml/min
検出器;RI
上記で得られたポリスチレン換算の重量平均分子量および数平均分子量の比を分散度(Mw/Mn)とした。
The weight average molecular weight (Mw) and number average molecular weight (Mn) of the binder polymer were measured using the GPC method under the following conditions.
Apparatus; K2479 (manufactured by Shimadzu Corporation)
Column; SHIMADZU Shim-pack GPC-80M
Column temperature: 40 ° C
Solvent; THF (tetrahydrofuran)
Flow rate: 1.0 ml / min
Detector; RI
The ratio of the weight average molecular weight and the number average molecular weight obtained in the above-mentioned manner as polystyrene was defined as the dispersity (Mw / Mn).

実施例1
合成例1で得られた樹脂Aaを含む樹脂溶液部(固形分換算60部)に、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート40部、2−メチル−2−モルホリノ(4−チオメチルフェニル)プロパン−1−オン6部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート53部、3−エトキシエチルプロピオネート20部、3−メトキシ1−ブタノール37部および3−メトキシブチルアセテート87部を混合して感光性樹脂組成物1を得た。
Example 1
Resin solution part containing resin Aa obtained in Synthesis Example 1 (solid content 60 parts), dipentaerythritol hexaacrylate 40 parts, 2-methyl-2-morpholino (4-thiomethylphenyl) propan-1-one 6 parts, 53 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate, 20 parts of 3-ethoxyethyl propionate, 37 parts of 3-methoxy 1-butanol and 87 parts of 3-methoxybutyl acetate were mixed to obtain photosensitive resin composition 1. .

Figure 0004501665
Figure 0004501665

2インチ角のガラス基板(#1737;コーニング社製)を、中性洗剤、水およびアルコールで順次洗浄してから乾燥した。このガラス基板上に、感光性樹脂組成物1を、100mJ/cmの露光量(365nm)で露光し、現像、水洗、ポストベーク後の膜厚が3.0μmになるようにスピンコートし、次にクリーンオーブン中、100℃で3分間プリベークした。冷却後、この感光性樹脂組成物を塗布した基板と石英ガラス製フォトマスクとの間隔を50μmとし、露光機(TME−150RSK;トプコン(株)製)を用いて、大気雰囲気下、100mJ/cmの露光量(365nm基準)で光照射した。
なお、フォトマスクとして、次のパターンが同一平面上に形成されたフォトマスクを用いた。
A 2-inch square glass substrate (# 1737; manufactured by Corning) was sequentially washed with a neutral detergent, water and alcohol and then dried. On this glass substrate, the photosensitive resin composition 1 is exposed at an exposure amount (365 nm) of 100 mJ / cm 2 , spin-coated so that the film thickness after development, water washing, and post-baking becomes 3.0 μm, Next, it was pre-baked at 100 ° C. for 3 minutes in a clean oven. After cooling, the distance between the substrate coated with the photosensitive resin composition and the quartz glass photomask was set to 50 μm, and an exposure machine (TME-150RSK; manufactured by Topcon Co., Ltd.) was used. Light was irradiated with an exposure amount of 2 (based on 365 nm).
In addition, the photomask in which the following pattern was formed on the same plane was used as the photomask.

・1辺が10μmである正方形の透光部(パターン)を有し、当該正方形の間隔が100μm
・1辺が15μmである正方形の透光部(パターン)を有し、当該正方形の間隔が100μm
-It has a square translucent part (pattern) whose one side is 10 μm, and the interval between the squares is 100 μm.
-It has a square translucent part (pattern) whose one side is 15 μm, and the interval between the squares is 100 μm.

光照射後、非イオン系界面活性剤0.12%と水酸化カリウム0.05%を含む水系現像液に上記塗膜を23℃で80秒間浸漬して現像し、水洗後、オーブン中、220℃で20分間ポストベークを行った。放冷後、膜厚を測定した。   After irradiation with light, the coating film was immersed in an aqueous developer containing 0.12% nonionic surfactant and 0.05% potassium hydroxide at 23 ° C. for 80 seconds to develop, washed with water, and 220 in an oven. Post-baking was carried out at 20 ° C. for 20 minutes. The film thickness was measured after standing_to_cool.

感光性樹脂組成物1について、保存安定性の評価を行い。結果を表2に示した。また、感光性樹脂組成物1を用いて、フォトマスクを使用しない以外は前記と同様にして硬化膜を作製し、表2に示す項目について評価を行った。   The photosensitive resin composition 1 is evaluated for storage stability. The results are shown in Table 2. Moreover, the cured film was produced like the above using the photosensitive resin composition 1 except not using a photomask, and the item shown in Table 2 was evaluated.

実施例2
表1に示す組成となるように、感光性樹脂組成物1と同様にして、感光性樹脂組成物2を得て、その評価を行った。結果を表2に示す。
Example 2
In the same manner as the photosensitive resin composition 1, a photosensitive resin composition 2 was obtained and evaluated so as to have the composition shown in Table 1. The results are shown in Table 2.

実施例3
表1に示す組成となるように、実施例1と同様にして、感光性樹脂組成物3を得て、その評価を行った。結果を表2に示す。
Example 3
In the same manner as in Example 1, a photosensitive resin composition 3 was obtained and evaluated so as to have the composition shown in Table 1. The results are shown in Table 2.

比較例1
表1に示す組成となるように、実施例1と同様にして、感光性樹脂組成物4を得た。実施例1と同様にして保存安定性を測定したところ、増粘したので、その評価を中止した。
Comparative Example 1
A photosensitive resin composition 4 was obtained in the same manner as in Example 1 so as to obtain the composition shown in Table 1. When the storage stability was measured in the same manner as in Example 1, the viscosity was increased and the evaluation was stopped.

比較例2
表1に示す組成となるように、実施例1と同様にして、感光性樹脂組成物5を得た。実施例1と同様にして保存安定性を測定したところ、増粘したので、その評価を中止した。
Comparative Example 2
A photosensitive resin composition 5 was obtained in the same manner as in Example 1 so as to obtain the composition shown in Table 1. When the storage stability was measured in the same manner as in Example 1, the viscosity was increased and the evaluation was stopped.

Figure 0004501665
Figure 0004501665

表2中の説明
保存安定性;感光性樹脂組成物を、23℃で2週間保管し、保管後の感光性樹脂組成物の粘度を保管前の組成物1の粘度で除した値を%で表示した。粘度変化が小さいほど、例えば100〜103%の範囲であれば、良好である。
なお、比較例1は、大きな増粘が認められたため、評価を中止した。
Description in Table 2 Storage stability: The photosensitive resin composition was stored at 23 ° C. for 2 weeks, and the value obtained by dividing the viscosity of the photosensitive resin composition after storage by the viscosity of the composition 1 before storage in% displayed. The smaller the change in viscosity, the better, for example, in the range of 100 to 103%.
In Comparative Example 1, evaluation was stopped because large thickening was observed.

粘度;粘度計(VISCOMETER TV−30;東機産業(株)製)を用い、23℃において測定した。   Viscosity: Measured at 23 ° C. using a viscometer (VISCOMETER TV-30; manufactured by Toki Sangyo Co., Ltd.).

透過率;露光工程において、フォトマスクを使用しない以外は、前記と同様の操作を行って、膜厚2.9〜3.1μmになるように作製した硬化膜の膜厚を、膜厚測定装置(DEKTAK3;日本真空技術(株)製)を用いて測定した。
次いで、得られた硬化膜を、顕微分光測光装置(OSP−SP200;OLYMPUS社製)を用いて、400nmにおける透過率(%)を測定し、膜厚3.0μmに外挿したときの透過率に換算し、表2に記載した。
Transmittance: In the exposure process, except for not using a photomask, the same operation as described above was performed, and the film thickness of the cured film produced to a film thickness of 2.9 to 3.1 μm was measured using a film thickness measuring device. (DEKTAK3; manufactured by Nippon Vacuum Technology Co., Ltd.)
Subsequently, the transmittance | permeability when the transmittance | permeability (%) in 400 nm was measured and extrapolated to the film thickness of 3.0 micrometers was measured for the obtained cured film using a microspectrophotometer (OSP-SP200; made by OLYMPUS). The results are shown in Table 2.

表面平滑性、線幅、形状(断面);得られた硬化膜について、走査型電子顕微鏡(S−4000;(株)日立製作所社製)を用いて観察、測定した。
なお、線幅については、フォトマスク上の10μmおよび15μmの、それぞれのパターンで、解像できたものを○、できなかったものを×として、評価した。
Surface smoothness, line width, shape (cross section): The obtained cured film was observed and measured using a scanning electron microscope (S-4000; manufactured by Hitachi, Ltd.).
Note that the line width was evaluated by ◯ indicating that the pattern could be resolved in each pattern of 10 μm and 15 μm on the photomask, and x indicating that the pattern could not be resolved.

機械特性(総変位量および回復率);得られた硬化膜について、ダイナミック超微小硬度計(DUH−W201;(株)島津製作所製)を用いて、総変位量(μm)および弾性変位量(μm)を測定し、回復率(%)を算出した。
−測定条件−
試験モード;負荷−除荷試験
試験力 ;5gf[SI単位換算値;49.0mN]
負荷速度 ;0.45gf/sec[SI単位換算値;4.41mN/sec]
保持時間 ;5sec
圧子 ;円錐台圧子(直径50μm)
回復率(%);(弾性変位量(μm)/総変位量(μm))×100
Mechanical properties (total displacement and recovery rate): About the obtained cured film, the total displacement (μm) and the elastic displacement were measured using a dynamic ultra-micro hardness meter (DUH-W201; manufactured by Shimadzu Corporation). (Μm) was measured, and the recovery rate (%) was calculated.
-Measurement conditions-
Test mode; load-unload test test force; 5 gf [SI unit converted value; 49.0 mN]
Load speed: 0.45 gf / sec [SI unit converted value; 4.41 mN / sec]
Holding time: 5 sec
Indenter: truncated cone indenter (diameter 50 μm)
Recovery rate (%); (elastic displacement (μm) / total displacement (μm)) × 100

耐溶剤性;露光工程において、フォトマスクを使用しない以外は、同様の操作を行い、塗膜を作製して、膜厚および透過率を測定した。作製した塗膜を、30℃のN−メチルピロリドン中に30分間浸漬し、浸漬後の膜厚および透過率を測定し、次式にしたがって、それらの変化を求めた。
膜厚変化(%);(浸漬後の膜厚(μm)/浸漬前の膜厚(μm))×100
透過率変化(%);(浸漬後の透過率(%)/浸漬前の透過率(%))×100
膜厚変化および透過率変化が、それぞれ、103%以下の場合は○、105%を越えた場合は×として表2に記載した。
密着性;耐溶剤性試験での浸漬後の塗膜上に、市販のカッターナイフを用いて、一辺が1mmである正方形を100個作製した。市販のセロハンテープを使用し、剥離試験を行った。[(剥離せずに基板上に残った正方形の数)/100]を、表2に記載した。数値の大きい方が密着性に優れ、良好である。
Solvent resistance: In the exposure step, the same operation was performed except that no photomask was used, a coating film was prepared, and the film thickness and transmittance were measured. The prepared coating film was immersed in N-methylpyrrolidone at 30 ° C. for 30 minutes, the film thickness and transmittance after the immersion were measured, and their changes were determined according to the following formula.
Change in film thickness (%); (film thickness after immersion (μm) / film thickness before immersion (μm)) × 100
Change in transmittance (%); (transmittance after immersion (%) / transmittance before immersion (%)) × 100
When the change in the film thickness and the change in the transmittance were 103% or less, the result was shown as “◯”, and when it exceeded 105%, the result was shown as “X”.
Adhesiveness: On the coating film after immersion in the solvent resistance test, 100 squares each having a side of 1 mm were produced using a commercially available cutter knife. A peel test was performed using a commercially available cellophane tape. [(Number of squares left on the substrate without peeling) / 100] is shown in Table 2. The larger the value, the better the adhesion and the better.

耐熱性;露光工程において、フォトマスクを使用しない以外は、同様の操作を行い、塗膜を作製した。作製した塗膜を、240℃のクリーンオーブンに1時間放置し、加熱前後の膜厚および透過率(測定波長;400nm)を測定し、次式にしたがって、それらの変化を求めた。
膜厚変化(%);(加熱後の膜厚(μm)/加熱前の膜厚(μm))×100
透過率変化(%);(加熱後の透過率(%)/加熱前の透過率(%))×100
密着性;耐熱性試験での加熱後の塗膜上に、市販のカッターナイフを用いて、一辺が1mmである正方形を100個作製した。市販のセロハンテープを使用し、剥離試験を行った。[(剥離せずに基板上に残った正方形の数)/100]を、表2に記載した。数値の大きい方が密着性に優れ、良好である。
Heat resistance: In the exposure process, the same operation was performed except that no photomask was used, and a coating film was prepared. The prepared coating film was allowed to stand in a clean oven at 240 ° C. for 1 hour, and the film thickness and transmittance (measurement wavelength; 400 nm) before and after heating were measured, and their changes were determined according to the following formula.
Change in film thickness (%); (film thickness after heating (μm) / film thickness before heating (μm)) × 100
Change in transmittance (%); (transmittance after heating (%) / transmittance before heating (%)) × 100
Adhesiveness: 100 squares each having a side of 1 mm were produced on the coated film after heating in the heat resistance test using a commercially available cutter knife. A peel test was performed using a commercially available cellophane tape. [(Number of squares left on the substrate without peeling) / 100] is shown in Table 2. The larger the value, the better the adhesion and the better.

表2に示す実施例1〜3の結果から、特定構造のエポキシ基を有するバインダーポリマーを含有する本発明の感光性樹脂組成物は、保存安定性に優れ、また本発明の感光性樹脂組成物を使用すると、パターン形状、表面平滑性、機械特性、耐熱性、耐溶剤性に優れたパターンおよび塗膜が得られることがわかる。一方、比較例1の本発明のバインダー樹脂を含まない感光性樹脂組成物は、保存安定性に劣るものしか得られなかった。   From the results of Examples 1 to 3 shown in Table 2, the photosensitive resin composition of the present invention containing a binder polymer having an epoxy group having a specific structure is excellent in storage stability, and the photosensitive resin composition of the present invention. It can be seen that a pattern and a coating film excellent in pattern shape, surface smoothness, mechanical properties, heat resistance and solvent resistance can be obtained. On the other hand, only the photosensitive resin composition which does not contain the binder resin of the present invention of Comparative Example 1 was inferior in storage stability.

本発明の感光性樹脂組成物は、保存安定性に優れており、パターン形状、表面平滑性、機械特性、耐熱性、耐溶剤性に優れたパターンおよび塗膜を形成することが可能であり、オーバーコート、フォトスペーサ、絶縁膜、液晶配向制御用突起、着色パターンの膜厚をあわせるためのコート層など、表示装置に用いられる透明膜の形成に用いることができる。   The photosensitive resin composition of the present invention is excellent in storage stability, and can form a pattern and a coating film excellent in pattern shape, surface smoothness, mechanical properties, heat resistance, and solvent resistance, It can be used to form a transparent film used in a display device, such as an overcoat, a photo spacer, an insulating film, a protrusion for controlling liquid crystal alignment, and a coat layer for adjusting the thickness of a colored pattern.

Claims (4)

バインダー樹脂(A)、光重合性化合物(B)、光重合開始剤(C)および溶剤(D)を含有する感光性樹脂組成物において、バインダー樹脂(A)が、不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物(A1)、環上にエポキシ基を有する多環式脂肪族基と不飽和結合を有する基とを有する化合物(A2)、ならびに(A1)および(A2)と共重合可能な単量体(ただし、(A1)および(A2)を除く。)(A3)との共重合体である感光性樹脂組成物。   In the photosensitive resin composition containing the binder resin (A), the photopolymerizable compound (B), the photopolymerization initiator (C) and the solvent (D), the binder resin (A) is an unsaturated carboxylic acid and / or Copolymerizable with unsaturated carboxylic acid anhydride (A1), compound (A2) having a polycyclic aliphatic group having an epoxy group on the ring and a group having an unsaturated bond, and (A1) and (A2) Photosensitive resin composition which is a copolymer with a monomer (excluding (A1) and (A2)) (A3). 環上にエポキシ基を有する多環式脂肪族基と不飽和結合を有する基とを有する化合物(A2)が、式(I)で表される化合物および式(II)で表される化合物からなる群から選ばれる少なくとも1種の化合物である請求項1に記載の感光性樹脂組成物。
Figure 0004501665
[式(I)および式(II)中、Rは、それぞれ独立に、水素原子または水酸基で置換されていてもよい炭素数1〜4のアルキル基を表す。
Xは、それぞれ独立に、単結合またはヘテロ原子を含んでも良い炭素数1〜6のアルキレン基を表す。]
The compound (A2) having a polycyclic aliphatic group having an epoxy group on the ring and a group having an unsaturated bond comprises a compound represented by the formula (I) and a compound represented by the formula (II). The photosensitive resin composition according to claim 1, which is at least one compound selected from the group.
Figure 0004501665
[In formula (I) and formula (II), R represents a C1-C4 alkyl group which may be each independently substituted with a hydrogen atom or a hydroxyl group.
X represents each independently a C1-C6 alkylene group which may contain a single bond or a hetero atom. ]
請求項1または2に記載の感光性樹脂組成物を用いて形成されるパターン。   The pattern formed using the photosensitive resin composition of Claim 1 or 2. 請求項3に記載のパターンを含む表示装置。
A display device comprising the pattern according to claim 3.
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Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4788485B2 (en) * 2006-06-13 2011-10-05 住友化学株式会社 Colored photosensitive resin composition
JP5205940B2 (en) * 2006-12-22 2013-06-05 住友化学株式会社 Photosensitive resin composition
JP4935349B2 (en) * 2006-12-28 2012-05-23 住友化学株式会社 Photosensitive resin composition
JP4952918B2 (en) * 2007-05-23 2012-06-13 Jsr株式会社 Radiation-sensitive resin composition, spacer and protective film for liquid crystal display element, and method for forming them
TWI608294B (en) * 2008-10-30 2017-12-11 住友化學股份有限公司 Photosensitive resin composition
TWI464189B (en) * 2008-11-14 2014-12-11 Sumitomo Chemical Co Hardened resin composition
TWI521300B (en) * 2008-11-18 2016-02-11 Sumitomo Chemical Co Photosensitive resin composition and display device
JP5765049B2 (en) * 2010-05-27 2015-08-19 Jsr株式会社 Radiation-sensitive resin composition for forming cured film, method for producing radiation-sensitive resin composition for forming cured film, cured film, method for forming cured film, and display element
JP5817237B2 (en) * 2010-07-29 2015-11-18 Jsr株式会社 Radiation-sensitive resin composition, cured film, color filter, method for forming cured film, and method for forming color filter
TWI540174B (en) * 2010-07-30 2016-07-01 Sumitomo Chemical Co Hardened resin composition
CN104298074B (en) * 2013-07-19 2019-11-01 东友精细化工有限公司 Transparent pixels are formed with photosensitive polymer combination and the colour filter formed using it
KR102093759B1 (en) * 2013-07-19 2020-03-26 동우 화인켐 주식회사 Photosensitive resin composition for transparent pixel
KR102235159B1 (en) * 2014-04-15 2021-04-05 롬엔드하스전자재료코리아유한회사 Photosensitive resin composition, and insulating film and electric device using same
CN108485448B (en) * 2017-02-21 2022-02-22 住友化学株式会社 Resin composition, film and copolymer
CN115380248A (en) 2020-03-09 2022-11-22 株式会社大赛璐 Photosensitive resin composition, cured product, color filter, member for display device, and display device
WO2022210268A1 (en) 2021-03-30 2022-10-06 住友化学株式会社 Resin composition, film, and copolymer
KR20230165909A (en) 2021-04-02 2023-12-05 주식회사 다이셀 Photosensitive resin composition, cured product, color filter, and member or display device for display device

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000147769A (en) * 1998-11-18 2000-05-26 Nec Corp Negative photoresist material and pattern forming method using the material

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10316721A (en) * 1997-05-15 1998-12-02 Nippon Steel Chem Co Ltd Alkali-soluble resin and image-forming material using the same
JP3022412B2 (en) * 1997-06-19 2000-03-21 日本電気株式会社 Negative photoresist material and pattern forming method using the same

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000147769A (en) * 1998-11-18 2000-05-26 Nec Corp Negative photoresist material and pattern forming method using the material

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