JP2010107755A - Photosensitive resin composition - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、感光性樹脂組成物、塗膜、パターン及び表示装置に関する。 The present invention relates to a photosensitive resin composition, a coating film, a pattern, and a display device.
液晶表示装置やタッチパネルなど、表示装置を構成するカラーフィルタとアレイ基板との間には、感光性樹脂組成物を使用したフォトリソグラフィーでスペーサ(フォトスペーサ)を形成することが提案されている。この方法によれば、任意の場所にスペーサを形成することができる。 It has been proposed to form a spacer (photospacer) by photolithography using a photosensitive resin composition between a color filter constituting the display device, such as a liquid crystal display device or a touch panel, and the array substrate. According to this method, the spacer can be formed at an arbitrary place.
このような感光性樹脂組成物として、バインダー樹脂(A)、光重合性化合物(B)、光重合開始剤(C)及び溶剤(D)を含有し、光重合開始剤(C)が、アセトフェノン骨格を含む光重合開始剤である感光性樹脂組成物が知られている(特許文献1)。
しかしながら、前記の光重合開始剤を含む感光性樹脂組成物では、必ずしも感度が十分ではなかった。
本発明の課題は、十分な感度を有すると共に、高い透過率の塗膜又はパターンを形成し得る感光性樹脂組成物を提供することにある。
However, the sensitivity of the photosensitive resin composition containing the photopolymerization initiator is not always sufficient.
The subject of this invention is providing the photosensitive resin composition which can form the coating film or pattern of high transmittance | permeability while having sufficient sensitivity.
本発明者は、前記の課題を解決し得る感光性樹脂組成物を見出すべく検討した結果、バインダー樹脂(A)、光重合性化合物(B)、光重合開始剤(C)及び溶剤(D)を含有する感光性樹脂組成物において、光重合開始剤(C)として、アセトフェノン骨格を含有する化合物(C1)と、少なくとも2個のチオール基を有する化合物(C2)とを併用することによって、感光性樹脂組成物の感度が向上することを見出し、本発明に至った。 As a result of studies to find a photosensitive resin composition capable of solving the above-mentioned problems, the present inventor has found that a binder resin (A), a photopolymerizable compound (B), a photopolymerization initiator (C), and a solvent (D). In the photosensitive resin composition containing a compound, a photopolymerization initiator (C) is used by combining a compound (C1) containing an acetophenone skeleton and a compound (C2) having at least two thiol groups. The present inventors have found that the sensitivity of the functional resin composition is improved and have reached the present invention.
即ち、本発明は、以下の[1]〜[13]を提供するものである。
[1]バインダー樹脂(A)、光重合性化合物(B)、光重合開始剤(C)及び溶剤(D)を含有し、
光重合開始剤(C)が、アセトフェノン骨格を含有する化合物(C1)と、少なくとも2個のチオール基を有する化合物(C2)とを含んでなる光重合開始剤である、感光性樹脂組成物。
[2]アセトフェノン骨格を含有する化合物(C1)が、α−アミノケトン骨格を含む化合物である、前記[1]に記載の感光性樹脂組成物。
[3]バインダー樹脂(A)が、少なくとも、不飽和カルボン酸及び/又は不飽和カルボン酸無水物(A−a)と、炭素数2〜4の環状エーテル基を有する単量体(A−c)とを重合してなる共重合体である、前記[1]又は[2]に記載の感光性樹脂組成物。
[4]炭素数2〜4の環状エーテル基を有する単量体が、エポキシ基を有する単量体である、前記[3]に記載の感光性樹脂組成物。
[5]エポキシ基を有する単量体が、脂肪族多環式エポキシ基を有する単量体である、前記[4]に記載の感光性樹脂組成物。
[6]脂肪族多環式エポキシ基を有する単量体が、式(I)で表される化合物及び式(II)で表される化合物からなる群から選ばれる少なくとも1種の化合物である、前記[5]に記載の感光性樹脂組成物。
[式(I)及び式(II)中、R1及びR2は、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数1〜4のアルキル基を表す。該アルキル基に含まれる水素原子は、水酸基で置換されていてもよい。
X1及びX2は、それぞれ独立に、単結合又はヘテロ原子を含んでもよい炭素数1〜6のアルキレン基を表す。]
[7]不飽和カルボン酸及び/又は不飽和カルボン酸無水物(A−a)が、脂肪族不飽和カルボン酸及び/又は脂肪族不飽和カルボン酸無水物である、前記[3]〜[6]のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
[8]式(I)で表される化合物及び式(II)で表される化合物からなる群から選ばれる少なくとも1種の化合物が、式(I’)で表される化合物及び式(II’)で表される化合物からなる群から選ばれる少なくとも1種の化合物である、前記[6]又は[7]に記載の感光性樹脂組成物。
[式(I’)及び式(II’)中、R1’及びR2’は、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数1〜4のアルキル基を表す。該アルキル基に含まれる水素原子は、水酸基で置換されていてもよい。]
[9]少なくとも2個のチオール基を有する化合物(C2)が、少なくとも2個の−O−CO−CH2−CH2SH基を有する化合物である、前記[1]〜[8]のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
[10]少なくとも2個のチオール基を有する化合物(C2)が、少なくとも3個のチオール基を有する化合物である、前記[1]〜[9]のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
[11]塗膜又はパターンを形成するための、前記[1]〜[10]のいずれかに記載の感光性樹脂組成物の使用。
[12]前記[1]〜[10]のいずれかに記載の感光性樹脂組成物を用いて形成される塗膜又はパターン。
[13] 前記[12]に記載の塗膜又はパターンを含む表示装置。
That is, the present invention provides the following [1] to [13].
[1] Contains a binder resin (A), a photopolymerizable compound (B), a photopolymerization initiator (C) and a solvent (D),
A photosensitive resin composition, wherein the photopolymerization initiator (C) is a photopolymerization initiator comprising a compound (C1) containing an acetophenone skeleton and a compound (C2) having at least two thiol groups.
[2] The photosensitive resin composition according to the above [1], wherein the compound (C1) containing an acetophenone skeleton is a compound containing an α-aminoketone skeleton.
[3] The binder resin (A) is a monomer having at least an unsaturated carboxylic acid and / or an unsaturated carboxylic acid anhydride (Aa) and a cyclic ether group having 2 to 4 carbon atoms (Ac ) And a photosensitive resin composition according to the above [1] or [2].
[4] The photosensitive resin composition according to [3], wherein the monomer having a cyclic ether group having 2 to 4 carbon atoms is a monomer having an epoxy group.
[5] The photosensitive resin composition according to [4], wherein the monomer having an epoxy group is a monomer having an aliphatic polycyclic epoxy group.
[6] The monomer having an aliphatic polycyclic epoxy group is at least one compound selected from the group consisting of a compound represented by formula (I) and a compound represented by formula (II). The photosensitive resin composition as described in said [5].
[In Formula (I) and Formula (II), R 1 and R 2 each independently represent a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms. The hydrogen atom contained in the alkyl group may be substituted with a hydroxyl group.
X 1 and X 2 each independently represent a C 1-6 alkylene group that may contain a single bond or a hetero atom. ]
[7] The above [3] to [6], wherein the unsaturated carboxylic acid and / or unsaturated carboxylic acid anhydride (Aa) is an aliphatic unsaturated carboxylic acid and / or an aliphatic unsaturated carboxylic acid anhydride. ] The photosensitive resin composition in any one of.
[8] At least one compound selected from the group consisting of the compound represented by formula (I) and the compound represented by formula (II) is a compound represented by formula (I ′) and formula (II ′). The photosensitive resin composition according to [6] or [7], which is at least one compound selected from the group consisting of compounds represented by:
[In Formula (I ′) and Formula (II ′), R 1 ′ and R 2 ′ each independently represent a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms. The hydrogen atom contained in the alkyl group may be substituted with a hydroxyl group. ]
[9] Any of [1] to [8] above, wherein the compound (C2) having at least two thiol groups is a compound having at least two —O—CO—CH 2 —CH 2 SH groups. The photosensitive resin composition as described in 2.
[10] The photosensitive resin composition according to any one of [1] to [9], wherein the compound (C2) having at least two thiol groups is a compound having at least three thiol groups.
[11] Use of the photosensitive resin composition according to any one of [1] to [10] for forming a coating film or a pattern.
[12] A coating film or pattern formed using the photosensitive resin composition according to any one of [1] to [10].
[13] A display device including the coating film or pattern according to [12].
本発明の感光性樹脂組成物によれば、高感度で、高い透過率の塗膜又はパターンを形成することができる。 According to the photosensitive resin composition of the present invention, it is possible to form a coating film or pattern with high sensitivity and high transmittance.
以下、本発明を詳細に説明する。
本発明の感光性樹脂組成物は、バインダー樹脂(A)、光重合性化合物(B)、光重合開始剤(C)及び溶剤(D)を含有し、光重合開始剤(C)が、アセトフェノン骨格を含有する化合物と、少なくとも2個のチオール基を有する化合物とを含んでなる光重合開始剤であるものである。
Hereinafter, the present invention will be described in detail.
The photosensitive resin composition of the present invention contains a binder resin (A), a photopolymerizable compound (B), a photopolymerization initiator (C), and a solvent (D), and the photopolymerization initiator (C) is acetophenone. The photopolymerization initiator comprises a compound containing a skeleton and a compound having at least two thiol groups.
本発明の感光性樹脂組成物に用いられるバインダー樹脂(A)としては、バインダー樹脂(A1)や、バインダー樹脂(A2)が例示される。バインダー樹脂(A1)は、アルカリ溶解性を示し、バインダー樹脂(A2)は、アルカリ溶解性ならびに、光及び熱の少なくともいずれか一方の作用による反応性を示す。 As binder resin (A) used for the photosensitive resin composition of this invention, binder resin (A1) and binder resin (A2) are illustrated. The binder resin (A1) exhibits alkali solubility, and the binder resin (A2) exhibits alkali solubility and reactivity due to the action of at least one of light and heat.
バインダー樹脂(A1)としては、不飽和カルボン酸及び不飽和カルボン酸無水物からなる群から選ばれる少なくとも1種(A−a)(以下「(A−a)」という場合がある)と、(A−a)と共重合可能な単量体(A−b)(ただし、(A−a)を除く。)(以下「(A−b)」という場合がある)との共重合体などが例示される。 As the binder resin (A1), at least one selected from the group consisting of an unsaturated carboxylic acid and an unsaturated carboxylic acid anhydride (A-a) (hereinafter sometimes referred to as “(A-a)”); A copolymer with a monomer (Ab) copolymerizable with Aa) (excluding (Aa)) (hereinafter sometimes referred to as “(Ab)”); Illustrated.
(A−a)としては、例えば、脂肪族不飽和カルボン酸及び/又は脂肪族不飽和カルボン酸無水物などが挙げられ、具体的には、例えば、
アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸などの不飽和モノカルボン酸類;
マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、メサコン酸、イタコン酸などの不飽和ジカルボン酸類;
及び前記の不飽和ジカルボン酸類の無水物;
こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕、フタル酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕などの2価以上の多価カルボン酸の不飽和モノ〔(メタ)アクリロイロキシアルキル〕エステル類;
α−(ヒドロキシメチル)アクリル酸などの、同一分子中にヒドロキシ基及びカルボキシル基を含有する不飽和アクリレート類などが挙げられる。
これらのうち、アクリル酸、メタクリル酸又は無水マレイン酸などが共重合反応性の点やアルカリ溶解性の点から好ましく用いられる。これらは、単独で又は組合せて用いられる。
Examples of (Aa) include aliphatic unsaturated carboxylic acids and / or aliphatic unsaturated carboxylic acid anhydrides. Specifically, for example,
Unsaturated monocarboxylic acids such as acrylic acid, methacrylic acid, crotonic acid;
Unsaturated dicarboxylic acids such as maleic acid, fumaric acid, citraconic acid, mesaconic acid, itaconic acid;
And anhydrides of the aforementioned unsaturated dicarboxylic acids;
Unsaturated mono [(meth) acryloyloxy of polyvalent carboxylic acids such as succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] and phthalic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] Alkyl] esters;
Examples thereof include unsaturated acrylates containing a hydroxy group and a carboxyl group in the same molecule, such as α- (hydroxymethyl) acrylic acid.
Among these, acrylic acid, methacrylic acid or maleic anhydride is preferably used from the viewpoint of copolymerization reactivity and alkali solubility. These may be used alone or in combination.
(A−b)としては、
メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、sec−ブチル(メタ)アクリレート、tert−ブチル(メタ)アクリレートなどの(メタ)アクリル酸アルキルエステル類;
シクロヘキシル(メタ)アクリレート、2−メチルシクロヘキシル(メタ)アクリレート、トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル(メタ)アクリレート(当該技術分野では、慣用名として、ジシクロペンタニル(メタ)アクリレートといわれている。)、ジシクロペンタニルオキシエチル(メタ)アクリレート、イソボロニル(メタ)アクリレートなどの(メタ)アクリル酸環状アルキルエステル類;
シクロヘキシルアクリレート、2−メチルシクロヘキシルアクリレート、トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イルアクリレート(当該技術分野で慣用名としてジシクロペンタニルアクリレートといわれている。)、ジシクロペンタオキシエチルアクリレート、イソボロニルアクリレートなどのアクリル酸環状アルキルエステル類;
フェニル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレートなどの(メタ)アクリル酸アリールエステル類;
フェニルアクリレート、ベンジルアクリレートなどのアクリル酸アリールエステル類;
マレイン酸ジエチル、フマル酸ジエチル、イタコン酸ジエチルなどのジカルボン酸ジエステル;
2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレートなどのヒドロキシアルキルエステル類;
ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−メチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−エチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−ヒドロキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−カルボキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−ヒドロキシメチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−(2’−ヒドロキシエチル)ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−メトキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−エトキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ジヒドロキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ジカルボキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ジ(ヒドロキシメチル)ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ジ(2’−ヒドロキシエチル)ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ジメトキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ジエトキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−ヒドロキシ−5−メチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−ヒドロキシ−5−エチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−カルボキシ−5−メチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−カルボキシ−5−エチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−ヒドロキシメチル−5−メチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−カルボキシ−6−メチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−カルボキシ−6−エチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ジカルボキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン無水物(ハイミック酸無水物)、5−tert−ブトキシカルボニルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−シクロヘキシルオキシカルボニルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−フェノキシカルボニルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ジ(tert−ブトキシカルボニル)ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ジ(シクロヘキシルオキシカルボニル)ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エンなどのビシクロ不飽和化合物類;
N−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド、N−ベンジルマレイミド、N−スクシンイミジル−3−マレイミドベンゾエート、N−スクシンイミジル−4−マレイミドブチレート、N−スクシンイミジル−6−マレイミドカプロエート、N−スクシンイミジル−3−マレイミドプロピオネート、N−(9−アクリジニル)マレイミドなどのジカルボニルイミド誘導体類;
スチレン、α−メチルスチレン、m−メチルスチレン、p−メチルスチレン、ビニルトルエン、p−メトキシスチレン、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、塩化ビニル、塩化ビニリデン、アクリルアミド、メタクリルアミド、酢酸ビニル、1,3−ブタジエン、イソプレン、2,3−ジメチル−1,3−ブタジエンなどが挙げられる。
これらのうち、スチレン、N−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド、N−ベンジルマレイミド、ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エンなどが共重合反応性及びアルカリ溶解性の点から好ましい。
(A−a)及び(A−b)は、単独であるいは組合せて用いられる。
As (Ab),
(Meth) acrylic acid alkyl esters such as methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, sec-butyl (meth) acrylate, tert-butyl (meth) acrylate;
Cyclohexyl (meth) acrylate, 2-methylcyclohexyl (meth) acrylate, tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decan-8-yl (meth) acrylate (in this technical field, dicyclopenta Nyl (meth) acrylate), (meth) acrylic acid cyclic alkyl esters such as dicyclopentanyloxyethyl (meth) acrylate, isoboronyl (meth) acrylate;
Cyclohexyl acrylate, 2-methylcyclohexyl acrylate, tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decan-8-yl acrylate (commonly referred to in the art as dicyclopentanyl acrylate), dicyclo. Acrylic acid cyclic alkyl esters such as pentaoxyethyl acrylate and isobornyl acrylate;
(Meth) acrylic acid aryl esters such as phenyl (meth) acrylate and benzyl (meth) acrylate;
Acrylic acid aryl esters such as phenyl acrylate and benzyl acrylate;
Dicarboxylic acid diesters such as diethyl maleate, diethyl fumarate, diethyl itaconate;
Hydroxyalkyl esters such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylate and 2-hydroxypropyl (meth) acrylate;
Bicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-methylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-ethylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5- Hydroxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-carboxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-hydroxymethylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5- (2′-hydroxyethyl) bicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-methoxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-ethoxybicyclo [2.2.1 ] Hept-2-ene, 5,6-dihydroxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5,6-dicarboxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5,6- Di (hydroxymethyl) bicyclo [2.2.1] hept-2-e 5,6-di (2′-hydroxyethyl) bicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5,6-dimethoxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5,6 -Diethoxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-hydroxy-5-methylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-hydroxy-5-ethylbicyclo [2.2 .1] Hept-2-ene, 5-carboxy-5-methylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-carboxy-5-ethylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene 5-hydroxymethyl-5-methylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-carboxy-6-methylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-carboxy-6- Ethylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5, 6-dicarboxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene anhydride (hymic acid anhydride), 5-tert-butoxycarbonylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-cyclohexyloxy Carbonyl bicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-phenoxycarbonylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5,6-di (tert-butoxycarbonyl) bicyclo [2.2. 1] Bicyclo unsaturated compounds such as hept-2-ene, 5,6-di (cyclohexyloxycarbonyl) bicyclo [2.2.1] hept-2-ene;
N-phenylmaleimide, N-cyclohexylmaleimide, N-benzylmaleimide, N-succinimidyl-3-maleimidobenzoate, N-succinimidyl-4-maleimidobutyrate, N-succinimidyl-6-maleimidocaproate, N-succinimidyl-3 -Dicarbonylimide derivatives such as maleimide propionate, N- (9-acridinyl) maleimide;
Styrene, α-methylstyrene, m-methylstyrene, p-methylstyrene, vinyl toluene, p-methoxystyrene, acrylonitrile, methacrylonitrile, vinyl chloride, vinylidene chloride, acrylamide, methacrylamide, vinyl acetate, 1,3-butadiene , Isoprene, 2,3-dimethyl-1,3-butadiene and the like.
Of these, styrene, N-phenylmaleimide, N-cyclohexylmaleimide, N-benzylmaleimide, bicyclo [2.2.1] hept-2-ene and the like are preferable from the viewpoint of copolymerization reactivity and alkali solubility.
(Aa) and (Ab) are used alone or in combination.
(A−a)及び(A−b)を共重合させて得られる共重合体においては、それぞれから導かれる構成成分の比率が、前記の共重合体を構成する構成成分の合計モル数を100モル%としたときにモル分率で、以下の範囲にあることが好ましい。
(A−a)から導かれる構成単位;2〜40モル%
(A−b)から導かれる構成単位;60〜98モル%
また、前記の構成成分の比率が以下の範囲であると、より好ましい。
(A−a)から導かれる構成単位;5〜35モル%
(A−b)から導かれる構成単位;65〜95モル%
前記の構成比率が、前記の範囲にあると、保存安定性、現像性及び耐溶剤性が良好になる傾向がある。
In the copolymer obtained by copolymerizing (Aa) and (Ab), the ratio of the constituent components derived from each of them is 100 in terms of the total number of moles of the constituent components constituting the copolymer. It is preferable that the molar fraction is in the following range when the mol% is used.
Structural units derived from (Aa); 2 to 40 mol%
Structural units derived from (Ab); 60-98 mol%
Moreover, it is more preferable in the ratio of the said structural component being the following ranges.
Structural units derived from (Aa); 5-35 mol%
Structural units derived from (Ab); 65-95 mol%
When the composition ratio is in the above range, storage stability, developability and solvent resistance tend to be good.
バインダー樹脂(A1)は、たとえば文献「高分子合成の実験法」(大津隆行著 発行所(株)化学同人 第1版第1刷 1972年3月1日発行)に記載された方法及び当該文献に記載された引用文献を参考にして製造することができる。
具体的には、共重合体を構成する単位(A−a)及び(A−b)の所定量、重合開始剤及び溶剤を反応容器中に仕込んで、窒素により酸素を置換することにより、酸素不存在下で、攪拌、加熱、保温することにより、重合体が得られる。なお、得られた共重合体は、反応後の溶液をそのまま使用してもよいし、濃縮あるいは希釈した溶液を使用してもよいし、再沈殿などの方法で固体(粉体)として取り出したものを使用してもよい。
For example, the binder resin (A1) is a method described in the document “Experimental Method for Polymer Synthesis” (Takayuki Otsu, published by Kagaku Dojin Co., Ltd., First Edition, First Edition, issued March 1, 1972) and the document. Can be produced with reference to the cited references described in 1.
Specifically, by supplying a predetermined amount of units (Aa) and (Ab) constituting the copolymer, a polymerization initiator and a solvent into a reaction vessel, and substituting oxygen with nitrogen, A polymer is obtained by stirring, heating, and heat-retaining in the absence. In addition, the obtained copolymer may use the solution after reaction as it is, may use the concentrated or diluted solution, and took out as solid (powder) by methods, such as reprecipitation. Things may be used.
バインダー樹脂(A1)のポリスチレン換算の重量平均分子量は、好ましくは3,000〜100,000、より好ましくは5,000〜50,000である。アルカリ溶解性を有する樹脂(A1)の重量平均分子量が、前記の範囲にあると、塗布性が良好となる傾向があり、また現像時に膜減りが生じにくく、さらに現像時に非画素部分の抜け性が良好である傾向にあり、好ましい。
バインダー樹脂(A1)の分子量分布[重量平均分子量(Mw)/数平均分子量(Mn)]は、好ましくは1.1〜6.0であり、より好ましくは1.2〜4.0である。分子量分布が、前記の範囲にあると、現像性に優れる傾向があるので好ましい。
本発明の感光性樹脂組成物に用いることができるバインダー樹脂(A1)の含有量は、感光性樹脂組成物中の固形分に対して質量分率で、好ましくは5〜90質量%、より好ましくは10〜70質量%である。バインダー樹脂(A1)の含有量が、前記の範囲にあると、現像液への溶解性が十分であり、非画素部分の基板上に現像残渣が発生しにくく、また現像時に露光部の画素部分の膜減りが生じにくく、非露光部分の抜け性が良好な傾向にあり、好ましい。
The polystyrene-reduced weight average molecular weight of the binder resin (A1) is preferably 3,000 to 100,000, more preferably 5,000 to 50,000. If the weight-average molecular weight of the resin (A1) having alkali solubility is in the above range, the coating property tends to be good, the film is not easily reduced during development, and the non-pixel portion can be removed during development. Tends to be good, which is preferable.
The molecular weight distribution [weight average molecular weight (Mw) / number average molecular weight (Mn)] of the binder resin (A1) is preferably 1.1 to 6.0, and more preferably 1.2 to 4.0. The molecular weight distribution in the above range is preferable because it tends to be excellent in developability.
Content of binder resin (A1) which can be used for the photosensitive resin composition of this invention is a mass fraction with respect to solid content in the photosensitive resin composition, Preferably it is 5-90 mass%, More preferably Is 10-70 mass%. When the content of the binder resin (A1) is in the above range, the solubility in the developer is sufficient, and development residues are not easily generated on the non-pixel portion of the substrate. This is preferable because the film loss is less likely to occur, and the non-exposed portion tends to be easily removed.
アルカリ溶解性ならびに光及び熱の少なくとも一方の作用による反応性を示すバインダー樹脂(A2)としては、(A2−1)〜(A2−3)が例示される。
バインダー樹脂(A2−1)は、(A−a)と、(A−b)と、炭素数2〜4の環状エーテル基を有する単量体(A−c)(以下「(A−c)」という場合がある)との共重合体である。
バインダー樹脂(A2−2)は、(A−a)と(A−b)との共重合体において、(A−a)に由来するカルボキシル基の一部を、(A−c)に由来する炭素数2〜4の環状エーテル基と反応させることで得られる共重合体である。
バインダー樹脂(A2−3)は、(A−a)と(A−c)との共重合体である。
Examples of the binder resin (A2) exhibiting alkali solubility and reactivity by at least one of light and heat include (A2-1) to (A2-3).
The binder resin (A2-1) is composed of (Aa), (Ab), and a monomer having a cyclic ether group having 2 to 4 carbon atoms (Ac) (hereinafter referred to as “(Ac)”. In some cases).
In the copolymer of (Aa) and (Ab), the binder resin (A2-2) is derived from (Ac) with a part of the carboxyl group derived from (Aa). It is a copolymer obtained by reacting with a C2-C4 cyclic ether group.
The binder resin (A2-3) is a copolymer of (Aa) and (Ac).
(A−c)は、例えば、炭素数2〜4の環状エーテル基(例えば、エポキシ基、オキセタニル基及びテトラヒドロフリル基)からなる群から選ばれる少なくとも1種の基を有する重合性化合物をいう。(A−c)は、炭素数2〜4の環状エーテル基からなる群から選ばれる少なくとも1種の基を有し、かつ不飽和結合を有する化合物であることが好ましい。 (Ac) refers to a polymerizable compound having at least one group selected from the group consisting of, for example, a cyclic ether group having 2 to 4 carbon atoms (for example, an epoxy group, an oxetanyl group, and a tetrahydrofuryl group). (Ac) is preferably a compound having at least one group selected from the group consisting of cyclic ether groups having 2 to 4 carbon atoms and having an unsaturated bond.
(A−c)としては、例えば、エポキシ基を有する単量体、オキセタニル基を有する単量体、テトラヒドロフリル基を有する単量体などが挙げられる。 Examples of (Ac) include a monomer having an epoxy group, a monomer having an oxetanyl group, and a monomer having a tetrahydrofuryl group.
前記のエポキシ基を有する単量体とは、例えば、脂肪族エポキシ基及び脂環式エポキシ基からなる群から選ばれる少なくとも1種の基を有する重合性化合物をいう。当該エポキシ基を有する単量体は、脂肪族エポキシ基及び脂環式エポキシ基からなる群から選ばれる少なくとも1種の基を有し、かつ不飽和結合を有する化合物であることが好ましい。 The monomer having an epoxy group refers to, for example, a polymerizable compound having at least one group selected from the group consisting of an aliphatic epoxy group and an alicyclic epoxy group. The monomer having an epoxy group is preferably a compound having at least one group selected from the group consisting of an aliphatic epoxy group and an alicyclic epoxy group and having an unsaturated bond.
前記のエポキシ基を有する単量体のうち、脂肪族エポキシ基を有する化合物としては、具体的には、グリシジル(メタ)アクリレート、β−メチルグリシジル(メタ)アクリレート、β−エチルグリシジル(メタ)アクリレート、グリシジルビニルエーテル、特開平7−248625号公報に記載の下記の式で示される化合物などが挙げられる。
(式中、R11〜R13は、それぞれ独立に水素原子又は炭素原子数1〜10のアルキル基であり、mは1〜5の整数である。)。
Among the above-mentioned monomers having an epoxy group, specific examples of the compound having an aliphatic epoxy group include glycidyl (meth) acrylate, β-methylglycidyl (meth) acrylate, and β-ethylglycidyl (meth) acrylate. , Glycidyl vinyl ether, and compounds represented by the following formulas described in JP-A-7-248625.
(In formula, R < 11 > -R < 13 > is a hydrogen atom or a C1-C10 alkyl group each independently, and m is an integer of 1-5.).
前記の式で示される化合物としては、例えば、o−ビニルベンジルグリシジルエーテル、m−ビニルベンジルグリシジルエーテル、p−ビニルベンジルグリシジルエーテル、α−メチル−o−ビニルベンジルグリシジルエーテル、α−メチル−m−ビニルベンジルグリシジルエーテル、α−メチル−p−ビニルベンジルグリシジルエーテル、2,3−ジグリシジルオキシメチルスチレン、2,4−ジグリシジルオキシメチルスチレン、2,5−ジグリシジルオキシメチルスチレン、2,6−ジグリシジルオキシメチルスチレン、2,3,4−トリグリシジルオキシメチルスチレン、2,3,5−トリグリシジルオキシメチルスチレン、2,3,6−トリグリシジルオキシメチルスチレン、3,4,5−トリグリシジルオキシメチルスチレン、2,4,6−トリグリシジルオキシメチルスチレンなどが挙げられる。 Examples of the compound represented by the above formula include o-vinylbenzyl glycidyl ether, m-vinylbenzyl glycidyl ether, p-vinylbenzyl glycidyl ether, α-methyl-o-vinylbenzyl glycidyl ether, α-methyl-m- Vinylbenzyl glycidyl ether, α-methyl-p-vinylbenzyl glycidyl ether, 2,3-diglycidyloxymethylstyrene, 2,4-diglycidyloxymethylstyrene, 2,5-diglycidyloxymethylstyrene, 2,6- Diglycidyloxymethylstyrene, 2,3,4-triglycidyloxymethylstyrene, 2,3,5-triglycidyloxymethylstyrene, 2,3,6-triglycidyloxymethylstyrene, 3,4,5-triglycidyl Oxymethylstyrene, 2 Such as 4,6-triglycidyl oxymethyl styrene.
前記のエポキシ基を有する単量体のうち、脂環式エポキシ基を有する単量体としては、例えば、脂肪族単環式エポキシ基を有する単量体、脂肪族多環式エポキシ基を有する単量体などが挙げられる。 Among the monomers having an epoxy group, examples of the monomer having an alicyclic epoxy group include a monomer having an aliphatic monocyclic epoxy group and a monomer having an aliphatic polycyclic epoxy group. Examples include masses.
前記の脂肪族単環式エポキシ基を有する単量体とは、脂肪族単環式化合物の環上にエポキシ基を有する重合性化合物をいう。当該脂肪族単環式エポキシ基を有する単量体は、脂肪族単環式化合物の環上にエポキシ基を有し、かつ不飽和結合を有する化合物であることが好ましい。
当該脂肪族単環式化合物としては、例えば、シクロペンタン、シクロヘキサン、シクロヘプタン、シクロオクタンなどが挙げられ、中でも、炭素数が5から7の化合物が好ましい。
当該脂肪族単環式エポキシ基を有する単量体としては、具体的には、ビニルシクロヘキセンモノオキサイド1,2−エポキシ−4−ビニルシクロヘキサン(例えば、セロキサイド2000;ダイセル化学工業(株)製)、3,4−エポキシシクロヘキシルメチルアクリレート(例えば、サイクロマーA400;ダイセル化学工業(株)製)、3,4−エポキシシクロヘキシルメチルメタアクリレート(例えば、サイクロマーM100;ダイセル化学工業(株)製)などが挙げられる。
The monomer having an aliphatic monocyclic epoxy group refers to a polymerizable compound having an epoxy group on the ring of the aliphatic monocyclic compound. The monomer having an aliphatic monocyclic epoxy group is preferably a compound having an epoxy group on the ring of the aliphatic monocyclic compound and having an unsaturated bond.
Examples of the aliphatic monocyclic compound include cyclopentane, cyclohexane, cycloheptane, cyclooctane, and the like. Among these, compounds having 5 to 7 carbon atoms are preferable.
As the monomer having an aliphatic monocyclic epoxy group, specifically, vinylcyclohexene monooxide 1,2-epoxy-4-vinylcyclohexane (for example, Celoxide 2000; manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.), 3,4-epoxycyclohexylmethyl acrylate (for example, Cyclomer A400; manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.), 3,4-epoxycyclohexylmethyl methacrylate (for example, Cyclomer M100; manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.), and the like. Can be mentioned.
前記の脂肪族多環式エポキシ基を有する単量体とは、脂肪族多環式化合物の環上にエポキシ基を有する重合性化合物をいう。当該脂肪族多環式エポキシ基を有する単量体は、脂肪族多環式化合物の環上にエポキシ基を有し、かつ不飽和結合を有する化合物であることが好ましい。
当該脂肪族多環式化合物としては、例えば、ジシクロペンタン、トリシクロデカン、ノルボルナン、イソノルボルナン、ビシクロオクタン、ビシクロノナン、ビシクロウンデカン、トリシクロウンデカン、ビシクロドデカン、トリシクロドデカンなどが挙げられ、中でも、炭素数が8から12の化合物が好ましい。
The monomer having an aliphatic polycyclic epoxy group refers to a polymerizable compound having an epoxy group on the ring of the aliphatic polycyclic compound. The monomer having an aliphatic polycyclic epoxy group is preferably a compound having an epoxy group on the ring of the aliphatic polycyclic compound and having an unsaturated bond.
Examples of the aliphatic polycyclic compound include dicyclopentane, tricyclodecane, norbornane, isonorbornane, bicyclooctane, bicyclononane, bicycloundecane, tricycloundecane, bicyclododecane, and tricyclododecane. Compounds having 8 to 12 carbon atoms are preferred.
前記の脂肪族多環式エポキシ基を有する単量体としては、例えば、3,4−エポキシノルボルニルアクリレート、3,4−エポキシノルボルニルメタクリレート、式(I)で表される化合物及び式(II)で表される化合物からなる群から選ばれる少なくとも1種の化合物などが挙げられる。 Examples of the monomer having an aliphatic polycyclic epoxy group include 3,4-epoxynorbornyl acrylate, 3,4-epoxynorbornyl methacrylate, compounds represented by the formula (I), and the formula And at least one compound selected from the group consisting of compounds represented by (II).
式(I)及び式(II)において、R1及びR2は、それぞれ独立に、水素原子又は水酸基で置換されていてもよい炭素数1〜4のアルキル基を表す。
X1及びX2は、それぞれ独立に、単結合又はヘテロ原子を含んでもよい炭素数1〜6のアルキレン基を表す。
In Formula (I) and Formula (II), R 1 and R 2 each independently represent a C 1-4 alkyl group that may be substituted with a hydrogen atom or a hydroxyl group.
X 1 and X 2 each independently represent a C 1-6 alkylene group that may contain a single bond or a hetero atom.
R1及びR2としては、具体的には、水素原子;メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基などのアルキル基;
ヒドロキシメチル基、1−ヒドロキシエチル基、2−ヒドロキシエチル基、1−ヒドロキシ−n−プロピル基、2−ヒドロキシ−n−プロピル基、3−ヒドロキシ−n−プロピル基、1−ヒドロキシ−イソプロピル基、2−ヒドロキシ−イソプロピル基、1−ヒドロキシ−n−ブチル基、2−ヒドロキシ−n−ブチル基、3−ヒドロキシ−n−ブチル基、4−ヒドロキシ−n−ブチル基などの水酸基含有アルキル基が挙げられる。中でも、好ましくは水素原子、メチル基、ヒドロキシメチル基、1−ヒドロキシエチル基、2−ヒドロキシエチル基が挙げられ、より好ましくは水素原子、メチル基が挙げられる。
As R 1 and R 2 , specifically, a hydrogen atom; an alkyl group such as a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an isopropyl group, an n-butyl group, a sec-butyl group, or a tert-butyl group;
Hydroxymethyl group, 1-hydroxyethyl group, 2-hydroxyethyl group, 1-hydroxy-n-propyl group, 2-hydroxy-n-propyl group, 3-hydroxy-n-propyl group, 1-hydroxy-isopropyl group, And hydroxyl group-containing alkyl groups such as 2-hydroxy-isopropyl group, 1-hydroxy-n-butyl group, 2-hydroxy-n-butyl group, 3-hydroxy-n-butyl group and 4-hydroxy-n-butyl group. It is done. Among these, Preferably a hydrogen atom, a methyl group, a hydroxymethyl group, 1-hydroxyethyl group, 2-hydroxyethyl group is mentioned, More preferably, a hydrogen atom and a methyl group are mentioned.
X1及びX2としては、具体的には、単結合;メチレン基、エチレン基、プロピレン基などのアルキレン基;
オキシメチレン基、オキシエチレン基、オキシプロピレン基、チオメチレン基、チオエチレン基、チオプロピレン基、アミノメチレン基、アミノエチレン基、アミノプロピレン基などのヘテロ原子含有アルキレン基などが挙げられる。中でも、好ましくは単結合、メチレン基、エチレン基、オキシメチレン基、オキシエチレン基が挙げられ、より好ましくは単結合、オキシエチレン基が挙げられる。
Specific examples of X 1 and X 2 include a single bond; an alkylene group such as a methylene group, an ethylene group, and a propylene group;
Examples thereof include heteroatom-containing alkylene groups such as oxymethylene group, oxyethylene group, oxypropylene group, thiomethylene group, thioethylene group, thiopropylene group, aminomethylene group, aminoethylene group, and aminopropylene group. Of these, a single bond, a methylene group, an ethylene group, an oxymethylene group, and an oxyethylene group are preferable, and a single bond and an oxyethylene group are more preferable.
式(I)で表される化合物及び式(II)で表される化合物からなる群から選ばれる少なくとも1種の化合物としては、下記の式(I’)で表される化合物及び式(II’)で表される化合物からなる群から選ばれる少なくとも1種の化合物であることが好ましい。
As at least one compound selected from the group consisting of a compound represented by formula (I) and a compound represented by formula (II), a compound represented by the following formula (I ′) and formula (II ′) It is preferably at least one compound selected from the group consisting of compounds represented by
式(I’)及び式(II’)において、R1’及びR2’は、それぞれ前記R1及びR2と同義である。 In Formula (I ′) and Formula (II ′), R 1 ′ and R 2 ′ have the same meanings as R 1 and R 2 , respectively.
式(I)で表される化合物としては、具体的には、例えば、式(I−1)〜式(I−15)で表される化合物などが挙げられ、好ましくは式(I−1)、式(I−3)、式(I−5)、式(I−7)、式(I−9)、式(I−11)〜式(I−15)が挙げられ、より好ましくは式(I−1)、式(I−7)、式(I−9)、式(I−15)が挙げられる。 Specific examples of the compound represented by the formula (I) include compounds represented by the formula (I-1) to the formula (I-15), and the formula (I-1) is preferable. , Formula (I-3), formula (I-5), formula (I-7), formula (I-9), formula (I-11) to formula (I-15), and more preferably (I-1), Formula (I-7), Formula (I-9), and Formula (I-15) are mentioned.
式(II)で表される化合物としては、具体的には、例えば、式(II−1)〜式(II−15)で表される化合物などが挙げられ、好ましくは式(II−1)、式(II−3)、式(II−5)、式(II−7)、式(II−9)、式(II−11)〜式(II−15)が挙げられ、より好ましくは式(II−1)、式(II−7)、式(II−9)、式(II−15)が挙げられる。 Specific examples of the compound represented by the formula (II) include compounds represented by the formula (II-1) to the formula (II-15), and the formula (II-1) is preferable. , Formula (II-3), formula (II-5), formula (II-7), formula (II-9), formula (II-11) to formula (II-15), more preferably formula (II-1), Formula (II-7), Formula (II-9), and Formula (II-15) are mentioned.
式(I)で表される化合物及び式(II)で表される化合物からなる群から選ばれる少なくとも1種の化合物は、それぞれ単独で用いることができ、任意の比率で混合することができる。混合する場合、その混合比率はモル比で、好ましくは式(I):式(II)で5:95〜95:5、より好ましくは10:90〜90:10、さらに好ましくは20:80〜80:20である。 At least one compound selected from the group consisting of the compound represented by formula (I) and the compound represented by formula (II) can be used alone, and can be mixed in any ratio. In the case of mixing, the mixing ratio is a molar ratio, preferably 5:95 to 95: 5, more preferably 10:90 to 90:10, more preferably 20:80 to Formula (I) :( II). 80:20.
前記のオキセタニル基を有する単量体とは、例えば、脂肪族オキセタニル基及び脂環式オキセタニル基からなる群から選ばれる少なくとも1種の基を有する重合性化合物をいう。当該オキセタニル基を有する単量体は、脂肪族オキセタニル基及び脂環式オキセタニル基からなる群から選ばれる少なくとも1種の基を有し、かつ不飽和結合を有する化合物であることが好ましい。
当該オキセタニル基を有する単量体としては、具体的には、3−メチル−3−メタクリルオキシメチルオキセタン、3−メチル−3−アクリロキシメチルオキセタン、3−エチル−3−メタクリロキシメチルオキセタン、3−エチル−3−アクリロキシメチルオキセタン、3−メチル−3−メタクリロキシエチルオキセタン、3−メチル−3−アクリロキシエチルオキセタン、3−エチル−3−メタクリロキシエチルオキセタン又は3−エチル−3−アクリロキシエチルオキセタンなどが挙げられる。
これらは、単独であるいは組合せて用いられる。
The monomer having an oxetanyl group refers to, for example, a polymerizable compound having at least one group selected from the group consisting of an aliphatic oxetanyl group and an alicyclic oxetanyl group. The monomer having an oxetanyl group is preferably a compound having at least one group selected from the group consisting of an aliphatic oxetanyl group and an alicyclic oxetanyl group and having an unsaturated bond.
Specific examples of the monomer having an oxetanyl group include 3-methyl-3-methacryloxymethyloxetane, 3-methyl-3-acryloxymethyloxetane, 3-ethyl-3-methacryloxymethyloxetane, 3 -Ethyl-3-acryloxymethyl oxetane, 3-methyl-3-methacryloxyethyl oxetane, 3-methyl-3-acryloxyethyl oxetane, 3-ethyl-3-methacryloxyethyl oxetane or 3-ethyl-3-acryl Examples include roxyethyl oxetane.
These may be used alone or in combination.
前記のテトラヒドロフリル基を有する単量体とは、例えば、脂肪族テトラヒドロフリル基及び脂環式テトラヒドロフリル基からなる群から選ばれる少なくとも1種の基を有する重合性化合物をいう。当該テトラヒドロフリル基を有する単量体は、脂肪族テトラヒドロフリル基及び脂環式テトラヒドロフリル基からなる群から選ばれる少なくとも1種の基を有し、かつ不飽和結合を有する化合物であることが好ましい。
当該テトラヒドロフリル基を有する単量体としては、具体的には、テトラヒドロフルフリルアクリレート(例えば、ビスコートV#150、大阪有機化学工業(株)製)、テトラヒドロフルフリルメタクリレートなどが挙げられる。
これらは、単独であるいは組合せて用いられる。
The monomer having a tetrahydrofuryl group refers to a polymerizable compound having at least one group selected from the group consisting of an aliphatic tetrahydrofuryl group and an alicyclic tetrahydrofuryl group, for example. The monomer having a tetrahydrofuryl group is preferably a compound having at least one group selected from the group consisting of an aliphatic tetrahydrofuryl group and an alicyclic tetrahydrofuryl group and having an unsaturated bond. .
Specific examples of the monomer having a tetrahydrofuryl group include tetrahydrofurfuryl acrylate (for example, Biscoat V # 150, manufactured by Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd.), tetrahydrofurfuryl methacrylate, and the like.
These may be used alone or in combination.
バインダー樹脂(A2−1)において、それぞれから導かれる構成成分の比率が、バインダー樹脂(A2−1)を構成する構成成分の合計モル数に対してモル分率で、以下の範囲にあることが好ましい。
(A−a)から導かれる構成単位;2〜40モル%
(A−b)から導かれる構成単位;1〜65モル%
(A−c)から導かれる構成単位;2〜95モル%
また、前記の構成成分の比率が以下の範囲であると、より好ましい。
(A−a)から導かれる構成単位;5〜35モル%
(A−b)から導かれる構成単位;1〜60モル%
(A−c)から導かれる構成単位;5〜80モル%
前記の構成比率が、前記の範囲にあると、保存安定性、現像性、耐溶剤性、耐熱性及び機械強度が良好になる傾向がある。
バインダー樹脂(A2−1)は、たとえば文献「高分子合成の実験法」(大津隆行著 発行所(株)化学同人 第1版第1刷 1972年3月1日発行)に記載された方法及び当該文献に記載された引用文献を参考にして製造することができる。
具体的には、共重合体を構成する単位(A−a)、(A−b)及び(A−c)を導く化合物の所定量、重合開始剤及び溶剤を反応容器中に仕込んで、窒素により酸素を置換することにより、酸素不存在下で、攪拌、加熱、保温することにより、重合体が得られる。なお、得られた共重合体は、反応後の溶液をそのまま使用してもよいし、濃縮あるいは希釈した溶液を使用してもよいし、再沈殿などの方法で固体(粉体)として取り出したものを使用してもよい。
In the binder resin (A2-1), the ratio of the component derived from each of the binder resin (A2-1) is in the following range in terms of a mole fraction with respect to the total number of moles of the component constituting the binder resin (A2-1). preferable.
Structural units derived from (Aa); 2 to 40 mol%
Structural units derived from (Ab); 1 to 65 mol%
Structural units derived from (Ac); 2 to 95 mol%
Moreover, it is more preferable in the ratio of the said structural component being the following ranges.
Structural units derived from (Aa); 5-35 mol%
Structural units derived from (Ab); 1 to 60 mol%
Structural units derived from (Ac); 5 to 80 mol%
When the composition ratio is in the above range, storage stability, developability, solvent resistance, heat resistance and mechanical strength tend to be good.
The binder resin (A2-1) can be obtained by, for example, the method described in the document “Experimental Method for Polymer Synthesis” (Takayuki Otsu, published by Kagaku Dojin Co., Ltd., First Edition, First Edition, issued March 1, 1972) and It can manufacture with reference to the cited reference described in the said literature.
Specifically, a predetermined amount of a compound that leads to units (Aa), (Ab), and (Ac) constituting the copolymer, a polymerization initiator, and a solvent are charged into a reaction vessel, and nitrogen is added. By substituting oxygen with the above, a polymer is obtained by stirring, heating, and keeping the temperature in the absence of oxygen. In addition, the obtained copolymer may use the solution after reaction as it is, may use the concentrated or diluted solution, and took out as solid (powder) by methods, such as reprecipitation. Things may be used.
バインダー樹脂(A2−2)を製造するにあたって、まず(A−a)及び(A−b)を共重合させて共重合体を製造する。それぞれから導かれる構成成分の比率が、前記の共重合体を構成する構成成分の合計モル数に対してモル分率で、以下の範囲にあることが好ましい。
(A−a)から導かれる構成単位;5〜50モル%
(A−b)から導かれる構成単位;50〜95モル%
また、前記の構成成分の比率が以下の範囲であると、より好ましい。
(A−a)から導かれる構成単位;10〜45モル%
(A−b)から導かれる構成単位;55〜90モル%
In producing the binder resin (A2-2), first, (Aa) and (Ab) are copolymerized to produce a copolymer. It is preferable that the ratio of the component derived from each is in the following range in terms of a mole fraction with respect to the total number of moles of the component constituting the copolymer.
Structural units derived from (Aa); 5-50 mol%
Structural units derived from (Ab); 50-95 mol%
Moreover, it is more preferable in the ratio of the said structural component being the following ranges.
Structural units derived from (Aa); 10 to 45 mol%
Structural units derived from (Ab); 55 to 90 mol%
次に、光や熱の作用による反応性を持たせるため、(A−a)及び(A−b)を共重合させて得られる共重合体に由来する(A−a)のカルボン酸及びカルボン酸無水物の一部を、(A−c)に由来するエポキシ基、オキセタニル基又はテトラヒドロフリル基と反応させる。
(A−c)のモル数は、(A−a)のモル数に対して、5〜80モル%であり、好ましくは10〜75モル%であり、より好ましくは15〜70モル%である。
構成比率が、前記の範囲にあると、保存安定性、現像性、耐溶剤性、耐熱性、機械強度及び感度のバランスが良好になる傾向がある。
Next, in order to give reactivity by the action of light or heat, the carboxylic acid and carboxylic acid of (Aa) derived from the copolymer obtained by copolymerizing (Aa) and (Ab) A part of the acid anhydride is reacted with an epoxy group, oxetanyl group or tetrahydrofuryl group derived from (Ac).
The number of moles of (Ac) is 5 to 80 mole%, preferably 10 to 75 mole%, more preferably 15 to 70 mole%, based on the number of moles of (Aa). .
When the composition ratio is in the above range, the balance between storage stability, developability, solvent resistance, heat resistance, mechanical strength and sensitivity tends to be good.
バインダー樹脂(A2−2)は、二段階の工程を経て製造することができる。たとえば文献「高分子合成の実験法」(大津隆行著 発行所(株)化学同人 第1版第1刷 1972年3月1日発行)に記載された方法や、特開2001−89533号公報に記載された方法を参考にして製造することができる。
具体的に、まず、第一段階の工程について述べる。(A−a)及び(A−b)を共重合させて得られる共重合体(すなわち、バインダー樹脂)を構成する単位(A−a)及び(A−b)を導く化合物の所定量、重合開始剤及び溶剤を反応容器中に仕込んで、窒素により酸素を置換することにより、酸素不存在下で、攪拌、加熱、保温することにより、バインダー樹脂が得られる。なお、得られた樹脂は、反応後の溶液をそのまま使用してもよいし、濃縮あるいは希釈した溶液を使用してもよいし、再沈殿などの方法で固体(粉体)として取り出したものを使用してもよい。前記の樹脂のポリスチレン換算の重量平均分子量は、好ましくは3,000〜100,000、より好ましくは5,000〜50,000である。樹脂の重量平均分子量が、前記の範囲にあると、塗布性が良好となる傾向があり、また現像時に膜減りが生じにくく、さらに現像時に非画素部分の抜け性が良好である傾向にあり、好ましい。
前記の樹脂の分子量分布[重量平均分子量(Mw)/数平均分子量(Mn)]は、好ましくは1.1〜6.0であり、より好ましくは1.2〜4.0である。分子量分布が、前記の範囲にあると、塗布性や現像性に優れる傾向があるので好ましい。
The binder resin (A2-2) can be produced through a two-step process. For example, in the method described in the document “Experimental Method for Polymer Synthesis” (Takayuki Otsu Publishing Co., Ltd., Chemical Dojin Co., Ltd., First Edition, First Edition, issued on March 1, 1972), Japanese Patent Laid-Open No. 2001-89533 It can be produced with reference to the described method.
Specifically, the first stage process will be described first. A predetermined amount of a compound that leads to units (Aa) and (Ab) constituting a copolymer (ie, binder resin) obtained by copolymerizing (Aa) and (Ab), polymerization The binder resin is obtained by charging the initiator and the solvent into the reaction vessel and substituting oxygen with nitrogen, and stirring, heating, and keeping the temperature in the absence of oxygen. In addition, the obtained resin may use the solution after the reaction as it is, a concentrated or diluted solution, or a solid (powder) taken out by a method such as reprecipitation. May be used. The weight average molecular weight in terms of polystyrene of the resin is preferably 3,000 to 100,000, more preferably 5,000 to 50,000. If the weight average molecular weight of the resin is in the above range, the coating property tends to be good, the film is less likely to be reduced during development, and the non-pixel part is liable to be easily removed during development. preferable.
The molecular weight distribution [weight average molecular weight (Mw) / number average molecular weight (Mn)] of the resin is preferably 1.1 to 6.0, and more preferably 1.2 to 4.0. A molecular weight distribution in the above range is preferable because it tends to be excellent in coating properties and developability.
次に、第二段階の工程について述べる。引き続き、フラスコ内雰囲気を窒素から空気に置換し、構成成分(A−a)のモル数に対して、5〜80モル%の構成成分(A−c)、カルボキシル基とエポキシ基、オキセタニル基又はテトラヒドロフリル基の反応触媒として、たとえばトリスジメチルアミノメチルフェノールをモノマー(A−a)〜(A−c)の合計量に対して質量基準で0.001〜5%、及び重合禁止剤として、たとえばハイドロキノンをモノマー(A−a)〜(A−c)の合計量に対して質量基準で0.001〜5%をフラスコ内に入れて、60〜130℃で、1〜10時間反応を続けることで、前記の樹脂と構成成分(A−c)とを反応させることができる。なお、重合条件と同様に、製造設備や重合による発熱量などを考慮し、仕込方法や反応温度を適宜調整することができる。 Next, the second stage process will be described. Subsequently, the atmosphere in the flask was replaced from nitrogen to air, and 5 to 80 mol% of the component (Ac), carboxyl group and epoxy group, oxetanyl group or the number of moles of the component (Aa) As a reaction catalyst for the tetrahydrofuryl group, for example, trisdimethylaminomethylphenol is 0.001 to 5% on a mass basis with respect to the total amount of monomers (Aa) to (Ac), and as a polymerization inhibitor, for example, Put 0.001 to 5% hydroquinone in a flask on a mass basis with respect to the total amount of monomers (Aa) to (Ac), and continue the reaction at 60 to 130 ° C. for 1 to 10 hours. Thus, the resin and the constituent component (Ac) can be reacted. In addition, like the polymerization conditions, the charging method and the reaction temperature can be appropriately adjusted in consideration of the production equipment, the amount of heat generated by the polymerization, and the like.
バインダー樹脂(A2−3)において、それぞれから導かれる構成成分の比率が、バインダー樹脂(A2−3)を構成する構成成分の合計モル数に対してモル分率で、以下の範囲にあることが好ましい。
(A−a)から導かれる構成単位;5〜95モル%
(A−c)から導かれる構成単位;5〜95モル%
また、前記の構成成分の比率が以下の範囲であると、より好ましい。
(A−a)から導かれる構成単位;10〜90モル%
(A−c)から導かれる構成単位;10〜90モル%
前記の構成比率が、前記の範囲にあると、保存安定性、現像性、耐溶剤性、耐熱性及び機械強度が良好になる傾向がある。
In the binder resin (A2-3), the ratio of the component derived from each of the binder resin (A2-3) is in the following range in terms of a mole fraction with respect to the total number of moles of the component constituting the binder resin (A2-3). preferable.
Structural units derived from (Aa); 5-95 mol%
Structural units derived from (Ac); 5-95 mol%
Moreover, it is more preferable in the ratio of the said structural component being the following ranges.
Structural units derived from (Aa); 10 to 90 mol%
Structural units derived from (Ac); 10 to 90 mol%
When the composition ratio is in the above range, storage stability, developability, solvent resistance, heat resistance and mechanical strength tend to be good.
バインダー樹脂(A2−3)は、たとえば文献「高分子合成の実験法」(大津隆行著 発行所(株)化学同人 第1版第1刷 1972年3月1日発行)に記載された方法及び当該文献に記載された引用文献を参考にして製造することができる。
具体的には、共重合体を構成する単位(A−a)及び(A−c)を導く化合物の所定量、重合開始剤及び溶剤を反応容器中に仕込んで、窒素により酸素を置換することにより、酸素不存在下で、攪拌、加熱、保温することにより、重合体が得られる。なお、得られた共重合体は、反応後の溶液をそのまま使用してもよいし、濃縮あるいは希釈した溶液を使用してもよいし、再沈殿などの方法で固体(粉体)として取り出したものを使用してもよい。
The binder resin (A2-3) can be obtained by, for example, the method described in the document “Experimental Methods for Polymer Synthesis” (Takayuki Otsu, published by Kagaku Dojin Co., Ltd., First Edition, First Edition, issued March 1, 1972) and It can manufacture with reference to the cited reference described in the said literature.
Specifically, a predetermined amount of a compound that leads to the units (Aa) and (Ac) constituting the copolymer, a polymerization initiator and a solvent are charged into a reaction vessel, and oxygen is substituted with nitrogen. Thus, a polymer can be obtained by stirring, heating and heat-retaining in the absence of oxygen. In addition, the obtained copolymer may use the solution after reaction as it is, may use the concentrated or diluted solution, and took out as solid (powder) by methods, such as reprecipitation. Things may be used.
本発明の感光性樹脂組成物に含まれる光重合性化合物(B)としては、単官能モノマー、2官能モノマー又はその他3官能以上の多官能モノマーなどが挙げられる。
単官能モノマーの具体例としては、ノニルフェニルカルビトール(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシルカルビトール(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、ステアリル(メタ)アクリレート、2−(2−エトキシエトキシ)エチル(メタ)アクリレート、テトラヒドロフルフリル(メタ)アクリレート、カプロラクトン(メタ)アクリレート、エトキシ化ノニルフェノール(メタ)アクリレート、プロポキシ化ノニルフェノール(メタ)アクリレート又はN−ビニルピロリドンなどが挙げられる。
Examples of the photopolymerizable compound (B) contained in the photosensitive resin composition of the present invention include monofunctional monomers, bifunctional monomers, and other trifunctional or more polyfunctional monomers.
Specific examples of the monofunctional monomer include nonylphenyl carbitol (meth) acrylate, 2-hydroxy-3-phenoxypropyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl carbitol (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, Lauryl (meth) acrylate, stearyl (meth) acrylate, 2- (2-ethoxyethoxy) ethyl (meth) acrylate, tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate, caprolactone (meth) acrylate, ethoxylated nonylphenol (meth) acrylate, propoxylation Nonylphenol (meth) acrylate, N-vinylpyrrolidone, etc. are mentioned.
また2官能モノマーの具体例としては、1,3―ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,3−ブタンジオール(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、ビスフェノールAのビス(アクリロイロキシエチル)エーテル、エトキシ化ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、プロポキシ化ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、エトキシ化ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート又は3−メチルペンタンジオールジ(メタ)アクリレートなどが挙げられる。 Specific examples of the bifunctional monomer include 1,3-butanediol di (meth) acrylate, 1,3-butanediol (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, ethylene glycol di (meth) ) Acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, triethylene glycol di (meth) acrylate, tetraethylene glycol di (meth) acrylate, polyethylene glycol diacrylate, bisphenol A bis (acryloyloxy) Ethyl) ether, ethoxylated bisphenol A di (meth) acrylate, propoxylated neopentyl glycol di (meth) acrylate, ethoxylated neopentyl glycol di (meth) acrylate or 3- Such as chill-pentanediol di (meth) acrylate.
その他の3官能以上の多官能モノマーの具体例としては、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、トリス(2−ヒドロキシエチル)イソシアヌレートトリ(メタ)アクリレート、エトキシ化トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、プロポキシ化トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールヘプタ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールオクタ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレートと酸無水物との反応物、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレートと酸無水物との反応物、トリペンタエリスリトールヘプタ(メタ)アクリレートと酸無水物カプロラクトン変性トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性トリス(2−ヒドロキシエチル)イソシアヌレートトリ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性トリペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性トリペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性トリペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性トリペンタエリスリトールヘプタ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性トリペンタエリスリトールオクタ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレートと酸無水物との反応物、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレートと酸無水物との反応物、又はカプロラクトン変性トリペンタエリスリトールヘプタ(メタ)アクリレートと酸無水物などが挙げられる。 Specific examples of other trifunctional or higher polyfunctional monomers include trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, tris (2-hydroxyethyl) isocyanurate tri (meth) acrylate, ethoxylated tri Methylolpropane tri (meth) acrylate, propoxylated trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, tripentaerythritol tetra ( (Meth) acrylate, tripentaerythritol penta (meth) acrylate, tripentaerythritol hexa (meth) acrylate, tripentaerythritol (Meth) acrylate, tripentaerythritol octa (meth) acrylate, reaction product of pentaerythritol tri (meth) acrylate and acid anhydride, reaction product of dipentaerythritol penta (meth) acrylate and acid anhydride, tripenta Erythritol hepta (meth) acrylate and acid anhydride caprolactone modified trimethylolpropane tri (meth) acrylate, caprolactone modified pentaerythritol tri (meth) acrylate, caprolactone modified tris (2-hydroxyethyl) isocyanurate tri (meth) acrylate, caprolactone modified Pentaerythritol tetra (meth) acrylate, caprolactone-modified dipentaerythritol penta (meth) acrylate, caprolactone-modified dipentaerythritol Hexa (meth) acrylate, caprolactone-modified tripentaerythritol tetra (meth) acrylate, caprolactone-modified tripentaerythritol penta (meth) acrylate, caprolactone-modified tripentaerythritol hexa (meth) acrylate, caprolactone-modified tripentaerythritol hepta (meth) acrylate, Caprolactone-modified tripentaerythritol octa (meth) acrylate, reaction product of caprolactone-modified pentaerythritol tri (meth) acrylate and acid anhydride, reaction product of caprolactone-modified dipentaerythritol penta (meth) acrylate and acid anhydride, or caprolactone Examples include modified tripentaerythritol hepta (meth) acrylate and acid anhydrides.
なお、本明細書において、カプロラクトン変性とは、(メタ)アクリレート化合物のアルコール由来部位と(メタ)アクリロイルオキシ基との間に、カプロラクトンの開環体又は、開環重合体が導入される事を意味する。 In the present specification, caprolactone modification means that a caprolactone ring-opening product or ring-opening polymer is introduced between the alcohol-derived site of the (meth) acrylate compound and the (meth) acryloyloxy group. means.
特に2官能以上の多官能モノマーが好ましく用いられる。これらの光重合性化合物(B)は、単独で又は二種以上併用して用いることができる。 In particular, bifunctional or higher polyfunctional monomers are preferably used. These photopolymerizable compounds (B) can be used alone or in combination of two or more.
光重合性化合物(B)の含有量は、バインダー樹脂(A)及び光重合性化合物(B)の合計量に対して質量分率で、好ましくは1〜70質量%、より好ましくは5〜60質量%である。光重合性化合物(B)の含有量が、前記の範囲にあると、感度、塗膜及びパターンの強度、平滑性、信頼性及び機械強度が良好になる傾向があり、好ましい。 Content of a photopolymerizable compound (B) is a mass fraction with respect to the total amount of binder resin (A) and a photopolymerizable compound (B), Preferably it is 1-70 mass%, More preferably, it is 5-60. % By mass. When the content of the photopolymerizable compound (B) is in the above range, the sensitivity, the strength of the coating film and the pattern, the smoothness, the reliability and the mechanical strength tend to be good, which is preferable.
本発明の感光性樹脂組成物に含まれる光重合開始剤(C)は、アセトフェノン骨格を含有する化合物(C1)と、少なくとも2個のチオール基を有する化合物(C2)とを含んでなる光重合開始剤である。 The photopolymerization initiator (C) contained in the photosensitive resin composition of the present invention is a photopolymerization comprising a compound (C1) containing an acetophenone skeleton and a compound (C2) having at least two thiol groups. It is an initiator.
前記のアセトフェノン骨格を含有する化合物(C1)としては、α−アミノケトン骨格を含む化合物などが挙げられる。
当該化合物(C1)の具体例としては、例えば、ジエトキシアセトフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、ベンジルジメチルケタール、2−ヒドロキシ−1−〔4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル〕−2−メチルプロパン−1−オン、2−ヒドロキシー1−{4−[4−(2−ヒドロキシ−2−メチル−プロピオニル)−ベンジル]―フェニル}−2−メチル−プロパン−1−オン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルホリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)ブタン−1−オン、2−(2−メチルベンジル)−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン、2−(3−メチルベンジル)−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン、2−(4−メチルベンジル)−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン、2−(2−エチルベンジル)−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン、2−(2−プロピルベンジル)−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン、2−(2−ブチルベンジル)−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン、2−(2,3−ジメチルベンジル)−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン、2−(2、4−ジメチルベンジル)−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン、2−(2−クロロベンジル)−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン、2−(2−ブロモベンジル)−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン、2−(3−クロロベンジル)−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン、2−(4−クロロベンジル)−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン、2−(3−ブロモベンジル)−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン、2−(4−ブロモベンジル)−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン、2−(2−メトキシベンジル)−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン、2−(3−メトキシベンジル)−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン、2−(4−メトキシベンジル)−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン、2−(2−メチル−4−メトキシベンジル)−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン、2−(2−メチル−4−ブロモベンジル)−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン、2−(2−ブロモ−4−メトキシベンジル)−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−〔4−(1−メチルビニル)フェニル〕プロパン−1−オンのオリゴマーなどが挙げられる。
Examples of the compound (C1) containing the acetophenone skeleton include compounds containing an α-aminoketone skeleton.
Specific examples of the compound (C1) include, for example, diethoxyacetophenone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, benzyldimethyl ketal, 2-hydroxy-1- [4- (2- Hydroxyethoxy) phenyl] -2-methylpropan-1-one, 2-hydroxy-1- {4- [4- (2-hydroxy-2-methyl-propionyl) -benzyl] -phenyl} -2-methyl-propane- 1-one, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2-methyl-1- (4-methylthiophenyl) -2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) Butan-1-one, 2- (2-methylbenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) Butanone, 2- (3-methylbenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (4-methylbenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl)- Butanone, 2- (2-ethylbenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (2-propylbenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl)- Butanone, 2- (2-butylbenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (2,3-dimethylbenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) ) -Butanone, 2- (2,4-dimethylbenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (2- Lorobenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (2-bromobenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (3-chloro Benzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (4-chlorobenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (3-bromo Benzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (4-bromobenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (2-methoxy) Benzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (3-methoxybenzyl) -2-dimethylamino NO-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (4-methoxybenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (2-methyl-4-methoxybenzyl) 2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (2-methyl-4-bromobenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (2 -Bromo-4-methoxybenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2-hydroxy-2-methyl-1- [4- (1-methylvinyl) phenyl] propane-1- ON oligomers.
本発明の感光性樹脂組成物におけるアセトフェノン骨格を含有する化合物(C1)の含有量は、光重合開始剤(C)全量に対して質量分率で、好ましくは10〜90質量%、より好ましくは30〜80質量%である。アセトフェノン骨格を含有する化合物(C1)の含有量が前記の範囲にあると、感度が高くなり、また現像性が良好になる傾向があり、好ましい。 The content of the compound (C1) containing an acetophenone skeleton in the photosensitive resin composition of the present invention is a mass fraction with respect to the total amount of the photopolymerization initiator (C), preferably 10 to 90% by mass, more preferably 30 to 80% by mass. It is preferable that the content of the compound (C1) containing an acetophenone skeleton is in the above range because sensitivity tends to be high and developability tends to be good.
前記の少なくとも2個のチオール基を有する化合物(C2)としては、例えば、少なくとも2個の−O−CO−CH2−CH2SH基を有する化合物、少なくとも3個のチオール基を有する化合物などが挙げられる。
当該化合物(C2)の具体例としては、例えば、ヘキサンジチオール、デカンジチオール、1,4−ジメチルメルカプトベンゼン、ブタンジオールビスチオプロピオネート、ブタンジオールビスチオグリコレート、エチレングリコールビスチオグリコレート、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、ブタンジオールビスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、ペンタエリスリトールテトラキスチオプロピオネート、ペンタエリスリトールテトラキスチオグリコレート、トリスヒドロキシエチルトリスチオプロピオネート、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトブチレート)、1,4−ビス(3−メルカプトブチリルオキシ)ブタン、ジペンタエリスリトールヘキサキスチオプロピオネート、ジペンタエリスリトールヘキサキス(3−メルカプトブチレート)、1,3,5−トリスメルカプトプロピオネート−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオン、1,3,5−トリス(3−メルカブトブチルオキシエチル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオンなどが挙げられる。
Examples of the compound (C2) having at least two thiol groups include a compound having at least two —O—CO—CH 2 —CH 2 SH groups and a compound having at least three thiol groups. Can be mentioned.
Specific examples of the compound (C2) include, for example, hexanedithiol, decanedithiol, 1,4-dimethylmercaptobenzene, butanediol bisthiopropionate, butanediol bisthioglycolate, ethylene glycol bisthioglycolate, Methylolpropane tristhioglycolate, butanediol bisthiopropionate, trimethylolpropane tristhiopropionate, trimethylolpropane tristhioglycolate, pentaerythritol tetrakisthiopropionate, pentaerythritol tetrakisthioglycolate, trishydroxyethyl Tristhiopropionate, pentaerythritol tetrakis (3-mercaptobutyrate), 1,4-bis (3-mercaptobutyryloxy) butane Dipentaerythritol hexakisthiopropionate, dipentaerythritol hexakis (3-mercaptobutyrate), 1,3,5-trismercaptopropionate-1,3,5-triazine-2,4,6 (1H , 3H, 5H) -trione, 1,3,5-tris (3-mercaptobutyloxyethyl) -1,3,5-triazine-2,4,6 (1H, 3H, 5H) -trione and the like. It is done.
本発明の感光性樹脂組成物における少なくとも2個のチオール基を有する化合物(C2)の含有量は、光重合開始剤(C)全量に対して質量分率で、好ましくは5〜80質量%、より好ましくは10〜70質量%である。少なくとも2個のチオール基を有する化合物(C2)の含有量が前記の範囲にあると、感度が高くなり、また現像性が良好になる傾向があり、好ましい。 The content of the compound (C2) having at least two thiol groups in the photosensitive resin composition of the present invention is a mass fraction with respect to the total amount of the photopolymerization initiator (C), preferably 5 to 80% by mass, More preferably, it is 10-70 mass%. When the content of the compound (C2) having at least two thiol groups is in the above range, the sensitivity tends to be high and the developability tends to be good, which is preferable.
本発明の感光性樹脂組成物は、本発明の効果を損なわない程度に、前記の化合物(C1)及び(C2)以外の光重合開始剤を含有していてもよい。このような、ビイミダゾール系化合物、トリアジン系化合物、アシルフォスフィンオキサイド系化合物又はオキシム系化合物が好ましく、ビイミダゾール系化合物が感度に優れるので特に好ましい。 The photosensitive resin composition of the present invention may contain a photopolymerization initiator other than the compounds (C1) and (C2) to the extent that the effects of the present invention are not impaired. Such biimidazole compounds, triazine compounds, acylphosphine oxide compounds or oxime compounds are preferred, and biimidazole compounds are particularly preferred because of their excellent sensitivity.
前記のビイミダゾール化合物としては、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2,3−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール(たとえば特開平6−75372号公報、特開平6−75373号公報など参照。)、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(アルコキシフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(ジアルコキシフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(トリアルコキシフェニル)ビイミダゾール(たとえば特公昭48−38403号公報、特開昭62−174204号公報など参照。)、4,4’5,5’−位のフェニル基がカルボアルコキシ基により置換されているイミダゾール化合物(たとえば特開平7−10913号公報など参照。)などが挙げられ、好ましくは2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2、3−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2、4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾールが挙げられる。 Examples of the biimidazole compound include 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole and 2,2′-bis (2,3-dichlorophenyl) -4. , 4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole (see, for example, JP-A-6-75372 and JP-A-6-75373), 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenylbiimidazole, 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4', 5,5'-tetra (alkoxyphenyl) biimidazole, 2,2'-bis (2 -Chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetra (dialkoxyphenyl) biimidazole, 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4', 5,5'-tetra (trialkoxy) Phenyl) biimidazole (for example, see JP-B-48-38403, JP-A-62-174204, etc.), imidazole in which the phenyl group at the 4,4′5,5′-position is substituted with a carboalkoxy group Compounds (see, for example, JP-A-7-10913) and the like, and preferably 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2, 2′-bis (2,3-dichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5 ′ -Tetraphenylbiimidazole is mentioned.
前記のトリアジン系化合物としては、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシフェニル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシナフチル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−ピペロニル−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシスチリル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(5−メチルフラン−2−イル)エテニル〕−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(フラン−2−イル)エテニル〕−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(4−ジエチルアミノ−2−メチルフェニル)エテニル〕−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル〕−1,3,5−トリアジンなどが挙げられる Examples of the triazine compound include 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (4-methoxyphenyl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (4- Methoxynaphthyl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6-piperonyl-1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (4-methoxy Styryl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (5-methylfuran-2-yl) ethenyl] -1,3,5-triazine, 2,4 -Bis (trichloromethyl) -6- [2- (furan-2-yl) ethenyl] -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (4-diethylamino- 2-methylphenyl Ethenyl] -1,3,5-triazine, such as 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (3,4-dimethoxyphenyl) ethenyl] -1,3,5-triazine
前記のアシルフォスフィンオキサイド系開始剤としては、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイドなどが挙げられる。 Examples of the acylphosphine oxide initiator include 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide.
前記のオキシム化合物としては、O−エトキシカルボニル−α−オキシイミノ−1−フェニルプロパン−1−オン、式(IV)で表される化合物、式(V)で表される化合物などが挙げられる。 Examples of the oxime compound include O-ethoxycarbonyl-α-oximino-1-phenylpropan-1-one, a compound represented by the formula (IV), a compound represented by the formula (V), and the like.
本発明の効果を損なわない程度であれば、光重合開始剤などをさらに併用することができ、当該光重合開始剤としては、たとえばベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン系化合物又はチオキサントン系化合物などが挙げられる。
より具体的には以下のような化合物を挙げることができ、これらをそれぞれ単独で、又は2種以上組み合わせて用いることができる。
As long as the effects of the present invention are not impaired, a photopolymerization initiator or the like can be further used together. Examples of the photopolymerization initiator include benzoin compounds, benzophenone compounds, and thioxanthone compounds.
More specifically, the following compounds can be mentioned, and these can be used alone or in combination of two or more.
前記のベンゾイン系化合物としては、たとえばベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル又はベンゾインイソブチルエーテルなどが挙げられる。 Examples of the benzoin compounds include benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, and benzoin isobutyl ether.
前記のベンゾフェノン系化合物としては、たとえばベンゾフェノン、o−ベンゾイル安息香酸メチル、4−フェニルベンゾフェノン、4−ベンゾイル−4’−メチルジフェニルサルファイド、3,3’,4,4’−テトラ(tert−ブチルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノン又は2,4,6−トリメチルベンゾフェノンなどが挙げられる。 Examples of the benzophenone compounds include benzophenone, methyl o-benzoylbenzoate, 4-phenylbenzophenone, 4-benzoyl-4′-methyldiphenyl sulfide, 3,3 ′, 4,4′-tetra (tert-butylperoxide). Oxycarbonyl) benzophenone or 2,4,6-trimethylbenzophenone.
前記のチオキサントン系化合物としては、たとえば2−イソプロピルチオキサントン、4−イソプロピルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジクロロチオキサントン又は1−クロロ−4−プロポキシチオキサントンなどが挙げられる。 Examples of the thioxanthone compound include 2-isopropylthioxanthone, 4-isopropylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2,4-dichlorothioxanthone, and 1-chloro-4-propoxythioxanthone.
その他にも、10−ブチル−2−クロロアクリドン、2−エチルアントラキノン、ベンジル、9,10−フェナンスレンキノン、カンファーキノン、フェニルグリオキシル酸メチル又はチタノセン化合物などが光重合開始剤として例示される。 Other examples of photopolymerization initiators include 10-butyl-2-chloroacridone, 2-ethylanthraquinone, benzyl, 9,10-phenanthrenequinone, camphorquinone, methyl phenylglyoxylate, and titanocene compounds. .
また、連鎖移動を起こしうる基を有する光重合開始剤として、特表2002−544205号公報に記載されている光重合開始剤を使用することができる。
前記の連鎖移動を起こしうる基を有する光重合開始剤としては、たとえば下記式(5)〜下記式(10)の光重合開始剤が挙げられる。
Further, as a photopolymerization initiator having a group capable of causing chain transfer, a photopolymerization initiator described in JP-T-2002-544205 can be used.
As a photoinitiator which has the group which can raise | generate the said chain transfer, the photoinitiator of following formula (5)-following formula (10) is mentioned, for example.
また、光及び/又は熱カチオン重合開始剤を使用することができる。
光及び/又は熱カチオン重合開始剤は、オニウムカチオンとルイス酸由来のアニオンとから構成されているものも使用することができる。
In addition, light and / or thermal cationic polymerization initiators can be used.
As the light and / or thermal cationic polymerization initiator, those composed of an onium cation and an anion derived from a Lewis acid can also be used.
前記オニウムカチオンの具体例としては、ジフェニルヨードニウム、ビス(p−トリル)ヨードニウム、ビス(p−tert−ブチルフェニル)ヨードニウム、ビス(p−オクチルフェニル)ヨードニウム、ビス(p−オクタデシルフェニル)ヨードニウム、ビス(p−オクチルオキシフェニル)ヨードニウム、ビス(p−オクタデシルオキシフェニル)ヨードニウム、フェニル(p−オクタデシルオキシフェニル)ヨードニウム、(p−トリル)(p−イソプロピルフェニル)ヨードニウム、トリフェニルスルホニウム、トリス(p−トリル)スルホニウム、トリス(p−イソプロピルフェニル)スルホニウム、トリス(2,6−ジメチルフェニル)スルホニウム、トリス(p−tert−ブチルフェニル)スルホニウム、トリス(p−シアノフェニル)スルホニウム、トリス(p−クロロフェニル)スルホニウム、ジメチル(メトキシ)スルホニウム、ジメチル(エトキシ)スルホニウム、ジメチル(プロポキシ)スルホニウム、ジメチル(ブトキシ)スルホニウム、ジメチル(オクチルオキシ)スルホニウム、ジメチル(オクタデカンオキシ)スルホニウム、ジメチル(イソプロポキシ)スルホニウム、ジメチル(tert−ブトキシ)スルホニウム、ジメチル(シクロペンチルオキシ)スルホニウム、ジメチル(シクロヘキシルオキシ)スルホニウム、ジメチル(フルオロメトキシ)スルホニウム、ジメチル(2−クロロエトキシ)スルホニウム、ジメチル(3−ブロモプロポキシ)スルホニウム、ジメチル(4−シアノブトキシ)スルホニウム、ジメチル(8−ニトロオクチルオキシ)スルホニウム、ジメチル(18−トリフルオロメチルオクタデカンオキシ)スルホニウム、ジメチル(2−ヒドロキシイソプロポキシ)スルホニウム、又はジメチル(トリス(トリクロロメチル)メチル)スルホニウムなどが挙げられる。 Specific examples of the onium cation include diphenyliodonium, bis (p-tolyl) iodonium, bis (p-tert-butylphenyl) iodonium, bis (p-octylphenyl) iodonium, bis (p-octadecylphenyl) iodonium, bis (P-octyloxyphenyl) iodonium, bis (p-octadecyloxyphenyl) iodonium, phenyl (p-octadecyloxyphenyl) iodonium, (p-tolyl) (p-isopropylphenyl) iodonium, triphenylsulfonium, tris (p- Tolyl) sulfonium, tris (p-isopropylphenyl) sulfonium, tris (2,6-dimethylphenyl) sulfonium, tris (p-tert-butylphenyl) sulfonium, tris (p-si Nophenyl) sulfonium, tris (p-chlorophenyl) sulfonium, dimethyl (methoxy) sulfonium, dimethyl (ethoxy) sulfonium, dimethyl (propoxy) sulfonium, dimethyl (butoxy) sulfonium, dimethyl (octyloxy) sulfonium, dimethyl (octadecanoxy) sulfonium, Dimethyl (isopropoxy) sulfonium, dimethyl (tert-butoxy) sulfonium, dimethyl (cyclopentyloxy) sulfonium, dimethyl (cyclohexyloxy) sulfonium, dimethyl (fluoromethoxy) sulfonium, dimethyl (2-chloroethoxy) sulfonium, dimethyl (3-bromo Propoxy) sulfonium, dimethyl (4-cyanobutoxy) sulfonium, dimethyl (8-nitroo) Yloxy) sulfonium, dimethyl (18-trifluoromethyl octadecanoic oxy) sulfonium, dimethyl (2-hydroxy-isopropoxyphenyl) sulfonium, or dimethyl (tris (trichloromethyl) methyl) sulfonium and the like.
好ましいオニウムカチオンとしては、ビス(p−トリル)ヨードニウム、(p−トリル)(p−イソプロピルフェニル)ヨードニウム、ビス(p−tert−ブチルフェニル)ヨードニウム、トリフェニルスルホニウム又はトリス(p−tert−ブチルフェニル)スルホニウムなどが挙げられる。 Preferred onium cations include bis (p-tolyl) iodonium, (p-tolyl) (p-isopropylphenyl) iodonium, bis (p-tert-butylphenyl) iodonium, triphenylsulfonium or tris (p-tert-butylphenyl). ) Sulfonium and the like.
前記ルイス酸由来のアニオンの具体例としては、ヘキサフルオロホスフェート、ヘキサフルオロアルセネート、ヘキサフルオロアンチモネート又はテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレートなどが挙げられる。好ましいルイス酸由来のアニオンとしては、ヘキサフルオロアンチモネート又はテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレートが挙げられる。
前記のオニウムカチオン及びルイス酸由来のアニオンは、任意に組合せることができる。
Specific examples of the Lewis acid-derived anion include hexafluorophosphate, hexafluoroarsenate, hexafluoroantimonate, and tetrakis (pentafluorophenyl) borate. Preferred anions derived from Lewis acid include hexafluoroantimonate or tetrakis (pentafluorophenyl) borate.
The onium cation and Lewis acid-derived anion can be arbitrarily combined.
カチオン重合開始剤の具体例としては、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロホスフェート、ビス(p−トリル)ヨードニウムヘキサフルオロホスフェート、ビス(p−tert−ブチルフェニル)ヨードニウムヘキサフルオロホスフェート、ビス(p−オクチルフェニル)ヨードニウムヘキサフルオロホスフェート、ビス(p−オクタデシルフェニル)ヨードニウムヘキサフルオロホスフェート、ビス(p−オクチルオキシフェニル)ヨードニウムヘキサフルオロホスフェート、ビス(p−オクタデシルオキシフェニル)ヨードニウムヘキサフルオロホスフェート、フェニル(p−オクタデシルオキシフェニル)ヨードニウムヘキサフルオロホスフェート、(p−トリル)(p−イソプロピルフェニル)ヨードニウムヘキサフルオロホスフェート、メチルナフチルヨードニウムヘキサフルオロホスフェート、エチルナフチルヨードニウムヘキサフルオロホスフェート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロホスフェート、トリス(p−トリル)スルホニウムヘキサフルオロホスフェート、トリス(p−イソプロピルフェニル)スルホニウムヘキサフルオロホスフェート、トリス(2,6−ジメチルフェニル)スルホニウムヘキサフルオロホスフェート、トリス(p−tert−ブチルフェニル)スルホニウムヘキサフルオロホスフェート、トリス(p−シアノフェニル)スルホニウムヘキサフルオロホスフェート、トリス(p−クロロフェニル)スルホニウムヘキサフルオロホスフェート、ジメチルナフチルスルホニウムヘキサフルオロホスフェート、ジエチルナフチルスルホニウムヘキサフルオロホスフェート、ジメチル(メトキシ)スルホニウムヘキサフルオロホスフェート、ジメチル(エトキシ)スルホニウムヘキサフルオロホスフェート、ジメチル(プロポキシ)スルホニウムヘキサフルオロホスフェート、ジメチル(ブトキシ)スルホニウムヘキサフルオロホスフェート、ジメチル(オクチルオキシ)スルホニウムヘキサフルオロホスフェート、ジメチル(オクタデカンオキシ)スルホニウムヘキサフルオロホスフェート、ジメチル(イソプロポキシ)スルホニウムヘキサフルオロホスフェート、ジメチル(tert−ブトキシ)スルホニウムヘキサフルオロホスフェート、ジメチル(シクロペンチルオキシ)スルホニウムヘキサフルオロホスフェート、ジメチル(シクロヘキシルオキシ)スルホニウムヘキサフルオロホスフェート、ジメチル(フルオロメトキシ)スルホニウムヘキサフルオロホスフェート、ジメチル(2−クロロエトキシ)スルホニウムヘキサフルオロホスフェート、ジメチル(3−ブロモプロポキシ)スルホニウムヘキサフルオロホスフェート、ジメチル(4−シアノブトキシ)スルホニウムヘキサフルオロホスフェート、ジメチル(8−ニトロオクチルオキシ)スルホニウムヘキサフルオロホスフェート、ジメチル(18−トリフルオロメチルオクタデカンオキシ)スルホニウムヘキサフルオロホスフェート、ジメチル(2−ヒドロキシイソプロポキシ)スルホニウムヘキサフルオロホスフェート、ジメチル(トリス(トリクロロメチル)メチル)スルホニウムヘキサフルオロホスフェート;
ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアルセネート、ビス(p−トリル)ヨードニウムヘキサフルオロアルセネート、ビス(p−tert−ブチルフェニル)ヨードニウムヘキサフルオロアルセネート、ビス(p−オクチルフェニル)ヨードニウムヘキサフルオロアルセネート、ビス(p−オクタデシルフェニル)ヨードニウムヘキサフルオロアルセネート、ビス(p−オクチルオキシフェニル)ヨードニウムヘキサフルオロアルセネート、ビス(p−オクタデシルオキシフェニル)ヨードニウムヘキサフルオロアルセネート、フェニル(p−オクタデシルオキシフェニル)ヨードニウムヘキサフルオロアルセネート、(p−トリル)(p−イソプロピルフェニル)ヨードニウムヘキサフルオロアルセネート、メチルナフチルヨードニウムヘキサフルオロアルセネート、エチルナフチルヨードニウムヘキサフルオロアルセネート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアルセネート、トリス(p−トリル)スルホニウムヘキサフルオロアルセネート、トリス(p−イソプロピルフェニル)スルホニウムヘキサフルオロアルセネート、トリス(2,6−ジメチルフェニル)スルホニウムヘキサフルオロアルセネート、トリス(p−tert−ブチルフェニル)スルホニウムヘキサフルオロアルセネート、トリス(p−シアノフェニル)スルホニウムヘキサフルオロアルセネート、トリス(p−クロロフェニル)スルホニウムヘキサフルオロアルセネート、ジメチルナフチルスルホニウムヘキサフルオロアルセネート、ジエチルナフチルスルホニウムヘキサフルオロアルセネート、ジメチル(メトキシ)スルホニウムヘキサフルオロアルセネート、ジメチル(エトキシ)スルホニウムヘキサフルオロアルセネート、ジメチル(プロポキシ)スルホニウムヘキサフルオロアルセネート、ジメチル(ブトキシ)スルホニウムヘキサフルオロアルセネート、ジメチル(オクチルオキシ)スルホニウムヘキサフルオロアルセネート、ジメチル(オクタデカンオキシ)スルホニウムヘキサフルオロアルセネート、ジメチル(イソプロポキシ)スルホニウムヘキサフルオロアルセネート、ジメチル(tert−ブトキシ)スルホニウムヘキサフルオロアルセネート、ジメチル(シクロペンチルオキシ)スルホニウムヘキサフルオロアルセネート、ジメチル(シクロヘキシルオキシ)スルホニウムヘキサフルオロアルセネート、ジメチル(フルオロメトキシ)スルホニウムヘキサフルオロアルセネート、ジメチル(2−クロロエトキシ)スルホニウムヘキサフルオロアルセネート、ジメチル(3−ブロモプロポキシ)スルホニウムヘキサフルオロアルセネート、ジメチル(4−シアノブトキシ)スルホニウムヘキサフルオロアルセネート、ジメチル(8−ニトロオクチルオキシ)スルホニウムヘキサフルオロアルセネート、ジメチル(18−トリフルオロメチルオクタデカンオキシ)スルホニウムヘキサフルオロアルセネート、ジメチル(2−ヒドロキシイソプロポキシ)スルホニウムヘキサフルオロアルセネート、ジメチル(トリス(トリクロロメチル)メチル)スルホニウムヘキサフルオロアルセネート;
ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート、ビス(p−トリル)ヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート、ビス(p−tert−ブチルフェニル)ヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート、ビス(p−オクチルフェニル)ヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート、ビス(p−オクタデシルフェニル)ヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート、ビス(p−オクチルオキシフェニル)ヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート、ビス(p−オクタデシルオキシフェニル)ヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート、フェニル(p−オクタデシルオキシフェニル)ヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート、(p−トリル)(p−イソプロピルフェニル)ヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート、メチルナフチルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート、エチルナフチルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリス(p−トリル)スルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリス(p−イソプロピルフェニル)スルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリス(2,6−ジメチルフェニル)スルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリス(p−tert−ブチルフェニル)スルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリス(p−シアノフェニル)スルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリス(p−クロロフェニル)スルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジメチルナフチルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジエチルナフチルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジメチル(メトキシ)スルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジメチル(エトキシ)スルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジメチル(プロポキシ)スルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジメチル(ブトキシ)スルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジメチル(オクチルオキシ)スルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジメチル(オクタデカンオキシ)スルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジメチル(イソプロポキシ)スルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジメチル(tert−ブトキシ)スルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジメチル(シクロペンチルオキシ)スルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジメチル(シクロヘキシルオキシ)スルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジメチル(フルオロメトキシ)スルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジメチル(2−クロロエトキシ)スルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジメチル(3−ブロモプロポキシ)スルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジメチル(4−シアノブトキシ)スルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジメチル(8−ニトロオクチルオキシ)スルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジメチル(18−トリフルオロメチルオクタデカンオキシ)スルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジメチル(2−ヒドロキシイソプロポキシ)スルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジメチル(トリス(トリクロロメチル)メチル)スルホニウムヘキサフルオロアンチモネート;
ジフェニルヨードニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、ビス(p−トリル)ヨードニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、ビス(p−tert−ブチルフェニル)ヨードニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、ビス(p−オクチルフェニル)ヨードニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、ビス(p−オクタデシルフェニル)ヨードニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、ビス(p−オクチルオキシフェニル)ヨードニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、ビス(p−オクタデシルオキシフェニル)ヨードニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、フェニル(p−オクタデシルオキシフェニル)ヨードニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、(p−トリル)(p−イソプロピルフェニル)ヨードニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、メチルナフチルヨードニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、エチルナフチルヨードニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、トリフェニルスルホニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、トリス(p−トリル)スルホニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、トリス(p−イソプロピルフェニル)スルホニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、トリス(2,6−ジメチルフェニル)スルホニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、トリス(p−tert−ブチルフェニル)スルホニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、トリス(p−シアノフェニル)スルホニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、トリス(p−クロロフェニル)スルホニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、ジメチルナフチルスルホニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、ジエチルナフチルスルホニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、ジメチル(メトキシ)スルホニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、ジメチル(エトキシ)スルホニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、ジメチル(プロポキシ)スルホニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、ジメチル(ブトキシ)スルホニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、ジメチル(オクチルオキシ)スルホニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、ジメチル(オクタデカンオキシ)スルホニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、ジメチル(イソプロポキシ)スルホニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、ジメチル(tert−ブトキシ)スルホニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、ジメチル(シクロペンチルオキシ)スルホニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、ジメチル(シクロヘキシルオキシ)スルホニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、ジメチル(フルオロメトキシ)スルホニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、ジメチル(2−クロロエトキシ)スルホニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、ジメチル(3−ブロモプロポキシ)スルホニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、ジメチル(4−シアノブトキシ)スルホニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、ジメチル(8−ニトロオクチルオキシ)スルホニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、ジメチル(18−トリフルオロメチルオクタデカンオキシ)スルホニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、ジメチル(2−ヒドロキシイソプロポキシ)スルホニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、ジメチル(トリス(トリクロロメチル)メチル)スルホニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレートなどが挙げられ、好ましくはビス(p−トリル)ヨードニウムヘキサフルオロホスフェート、(p−トリル)(p−イソプロピルフェニル)ヨードニウムヘキサフルオロホスフェート、ビス(p−tert−ブチルフェニル)ヨードニウムヘキサフルオロホスフェート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロホスフェート、トリス(p−tert−ブチルフェニル)スルホニウムヘキサフルオロホスフェート、ビス(p−トリル)ヨードニウムヘキサフルオロアルセネート、(p−トリル)(p−イソプロピルフェニル)ヨードニウムヘキサフルオロアルセネート、ビス(p−tert−ブチルフェニル)ヨードニウムヘキサフルオロアルセネート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアルセネート、トリス(p−t−ブチルフェニル)スルホニウムヘキサフルオロアルセネート、ビス(p−トリル)ヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート、(p−トリル)(p−イソプロピルフェニル)ヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート、ビス(p−tert−ブチルフェニル)ヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリス(p−tert−ブチルフェニル)スルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ビス(p−トリル)ヨードニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、(p−トリル)(p−イソプロピルフェニル)ヨードニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、ビス(p−tert−ブチルフェニル)ヨードニウム、トリフェニルスルホニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、トリス(p−tert−ブチルフェニル)スルホニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレートなどが挙げられ、より好ましくはビス(p−トリル)ヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート、(p−トリル)(p−イソプロピルフェニル)ヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート、ビス(p−tert−ブチルフェニル)ヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリス(p−tert−ブチルフェニル)スルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ビス(p−トリル)ヨードニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、(p−トリル)(p−イソプロピルフェニル)ヨードニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、ビス(p−tert−ブチルフェニル)ヨードニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、トリフェニルスルホニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、又はトリス(p−tert−ブチルフェニル)スルホニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレートなどが挙げられる。
Specific examples of the cationic polymerization initiator include diphenyliodonium hexafluorophosphate, bis (p-tolyl) iodonium hexafluorophosphate, bis (p-tert-butylphenyl) iodonium hexafluorophosphate, bis (p-octylphenyl) iodonium hexa Fluorophosphate, bis (p-octadecylphenyl) iodonium hexafluorophosphate, bis (p-octyloxyphenyl) iodonium hexafluorophosphate, bis (p-octadecyloxyphenyl) iodonium hexafluorophosphate, phenyl (p-octadecyloxyphenyl) iodonium Hexafluorophosphate, (p-tolyl) (p-isopropylphenyl) iodonium hexafluorophos , Methyl naphthyl iodonium hexafluorophosphate, ethyl naphthyl iodonium hexafluorophosphate, triphenylsulfonium hexafluorophosphate, tris (p-tolyl) sulfonium hexafluorophosphate, tris (p-isopropylphenyl) sulfonium hexafluorophosphate, tris (2, 6-dimethylphenyl) sulfonium hexafluorophosphate, tris (p-tert-butylphenyl) sulfonium hexafluorophosphate, tris (p-cyanophenyl) sulfonium hexafluorophosphate, tris (p-chlorophenyl) sulfonium hexafluorophosphate, dimethylnaphthylsulfonium Hexafluorophosphate, diethylnaphthyls Honium hexafluorophosphate, dimethyl (methoxy) sulfonium hexafluorophosphate, dimethyl (ethoxy) sulfonium hexafluorophosphate, dimethyl (propoxy) sulfonium hexafluorophosphate, dimethyl (butoxy) sulfonium hexafluorophosphate, dimethyl (octyloxy) sulfonium hexafluoro Phosphate, dimethyl (octadecanoxy) sulfonium hexafluorophosphate, dimethyl (isopropoxy) sulfonium hexafluorophosphate, dimethyl (tert-butoxy) sulfonium hexafluorophosphate, dimethyl (cyclopentyloxy) sulfonium hexafluorophosphate, dimethyl (cyclohexyloxy) sulfonium Hexafluorophosphate, dimethyl (fluoromethoxy) sulfonium hexafluorophosphate, dimethyl (2-chloroethoxy) sulfonium hexafluorophosphate, dimethyl (3-bromopropoxy) sulfonium hexafluorophosphate, dimethyl (4-cyanobutoxy) sulfonium hexafluorophosphate, Dimethyl (8-nitrooctyloxy) sulfonium hexafluorophosphate, dimethyl (18-trifluoromethyloctadecanoxy) sulfonium hexafluorophosphate, dimethyl (2-hydroxyisopropoxy) sulfonium hexafluorophosphate, dimethyl (tris (trichloromethyl) methyl) Sulfonium hexafluorophosphate;
Diphenyliodonium hexafluoroarsenate, bis (p-tolyl) iodonium hexafluoroarsenate, bis (p-tert-butylphenyl) iodonium hexafluoroarsenate, bis (p-octylphenyl) iodonium hexafluoroarsenate, bis (p -Octadecylphenyl) iodonium hexafluoroarsenate, bis (p-octyloxyphenyl) iodonium hexafluoroarsenate, bis (p-octadecyloxyphenyl) iodonium hexafluoroarsenate, phenyl (p-octadecyloxyphenyl) iodonium hexafluoroarsenate Nate, (p-tolyl) (p-isopropylphenyl) iodonium hexafluoroarsenate, methylnaphthyl iodonium Oxafluoroarsenate, ethyl naphthyl iodonium hexafluoroarsenate, triphenylsulfonium hexafluoroarsenate, tris (p-tolyl) sulfonium hexafluoroarsenate, tris (p-isopropylphenyl) sulfonium hexafluoroarsenate, tris (2, 6-dimethylphenyl) sulfonium hexafluoroarsenate, tris (p-tert-butylphenyl) sulfonium hexafluoroarsenate, tris (p-cyanophenyl) sulfonium hexafluoroarsenate, tris (p-chlorophenyl) sulfonium hexafluoroarsenate , Dimethylnaphthylsulfonium hexafluoroarsenate, diethylnaphthylsulfonium hexafluoroarsenate Dimethyl (methoxy) sulfonium hexafluoroarsenate, dimethyl (ethoxy) sulfonium hexafluoroarsenate, dimethyl (propoxy) sulfonium hexafluoroarsenate, dimethyl (butoxy) sulfonium hexafluoroarsenate, dimethyl (octyloxy) sulfonium hexafluoroarsenate , Dimethyl (octadecanoxy) sulfonium hexafluoroarsenate, dimethyl (isopropoxy) sulfonium hexafluoroarsenate, dimethyl (tert-butoxy) sulfonium hexafluoroarsenate, dimethyl (cyclopentyloxy) sulfonium hexafluoroarsenate, dimethyl (cyclohexyloxy) ) Sulfonium hexafluoroarsenate, dimethyl (Fluoromethoxy) sulfonium hexafluoroarsenate, dimethyl (2-chloroethoxy) sulfonium hexafluoroarsenate, dimethyl (3-bromopropoxy) sulfonium hexafluoroarsenate, dimethyl (4-cyanobutoxy) sulfonium hexafluoroarsenate, dimethyl (8-nitrooctyloxy) sulfonium hexafluoroarsenate, dimethyl (18-trifluoromethyloctadecanoxy) sulfonium hexafluoroarsenate, dimethyl (2-hydroxyisopropoxy) sulfonium hexafluoroarsenate, dimethyl (tris (trichloromethyl) Methyl) sulfonium hexafluoroarsenate;
Diphenyliodonium hexafluoroantimonate, bis (p-tolyl) iodonium hexafluoroantimonate, bis (p-tert-butylphenyl) iodonium hexafluoroantimonate, bis (p-octylphenyl) iodonium hexafluoroantimonate, bis (p -Octadecylphenyl) iodonium hexafluoroantimonate, bis (p-octyloxyphenyl) iodonium hexafluoroantimonate, bis (p-octadecyloxyphenyl) iodonium hexafluoroantimonate, phenyl (p-octadecyloxyphenyl) iodonium hexafluoroantimonate Nate, (p-tolyl) (p-isopropylphenyl) iodonium hexafluoroantimonate, methyl naphthalate Tyl iodonium hexafluoroantimonate, ethyl naphthyl iodonium hexafluoroantimonate, triphenylsulfonium hexafluoroantimonate, tris (p-tolyl) sulfonium hexafluoroantimonate, tris (p-isopropylphenyl) sulfonium hexafluoroantimonate, tris ( 2,6-dimethylphenyl) sulfonium hexafluoroantimonate, tris (p-tert-butylphenyl) sulfonium hexafluoroantimonate, tris (p-cyanophenyl) sulfonium hexafluoroantimonate, tris (p-chlorophenyl) sulfonium hexafluoro Antimonate, dimethyl naphthylsulfonium hexafluoroantimonate, diethyl naphthyl Rufonium hexafluoroantimonate, dimethyl (methoxy) sulfonium hexafluoroantimonate, dimethyl (ethoxy) sulfonium hexafluoroantimonate, dimethyl (propoxy) sulfonium hexafluoroantimonate, dimethyl (butoxy) sulfonium hexafluoroantimonate, dimethyl (octyl) Oxy) sulfonium hexafluoroantimonate, dimethyl (octadecanoxy) sulfonium hexafluoroantimonate, dimethyl (isopropoxy) sulfonium hexafluoroantimonate, dimethyl (tert-butoxy) sulfonium hexafluoroantimonate, dimethyl (cyclopentyloxy) sulfonium hexafluoro Antimonate, dimethyl (cyclohexyl) Ruoxy) sulfonium hexafluoroantimonate, dimethyl (fluoromethoxy) sulfonium hexafluoroantimonate, dimethyl (2-chloroethoxy) sulfonium hexafluoroantimonate, dimethyl (3-bromopropoxy) sulfonium hexafluoroantimonate, dimethyl (4-cyano Butoxy) sulfonium hexafluoroantimonate, dimethyl (8-nitrooctyloxy) sulfonium hexafluoroantimonate, dimethyl (18-trifluoromethyloctadecanoxy) sulfonium hexafluoroantimonate, dimethyl (2-hydroxyisopropoxy) sulfonium hexafluoroantimonate , Dimethyl (tris (trichloromethyl) methyl) sulfonium hexafluoro Nchimoneto;
Diphenyliodonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, bis (p-tolyl) iodoniumtetrakis (pentafluorophenyl) borate, bis (p-tert-butylphenyl) iodoniumtetrakis (pentafluorophenyl) borate, bis (p-octylphenyl) Iodonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, bis (p-octadecylphenyl) iodonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, bis (p-octyloxyphenyl) iodonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, bis (p-octadecyloxyphenyl) Iodonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, phenyl (p-octadecyloxyphenyl) iodonium tetrakis Pentafluorophenyl) borate, (p-tolyl) (p-isopropylphenyl) iodonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, methylnaphthyliodonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, ethylnaphthyliodonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, triphenyl Sulfonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, tris (p-tolyl) sulfonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, tris (p-isopropylphenyl) sulfonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, tris (2,6-dimethylphenyl) sulfonium Tetrakis (pentafluorophenyl) borate, tris (p-tert-butylphenyl) sulfonium teto Kiss (pentafluorophenyl) borate, tris (p-cyanophenyl) sulfonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, tris (p-chlorophenyl) sulfonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, dimethylnaphthylsulfonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, Diethyl naphthylsulfonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, dimethyl (methoxy) sulfonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, dimethyl (ethoxy) sulfonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, dimethyl (propoxy) sulfonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, Dimethyl (butoxy) sulfonium tetrakis (pentafluorophenyl) bo Dimethyl (octyloxy) sulfonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, dimethyl (octadecanoxy) sulfonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, dimethyl (isopropoxy) sulfonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, dimethyl (tert-butoxy) Sulfonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, dimethyl (cyclopentyloxy) sulfonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, dimethyl (cyclohexyloxy) sulfonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, dimethyl (fluoromethoxy) sulfonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate , Dimethyl (2-chloroethoxy) sulfonium tetra (Pentafluorophenyl) borate, dimethyl (3-bromopropoxy) sulfonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, dimethyl (4-cyanobutoxy) sulfonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, dimethyl (8-nitrooctyloxy) sulfonium tetrakis (Pentafluorophenyl) borate, dimethyl (18-trifluoromethyloctadecanoxy) sulfonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, dimethyl (2-hydroxyisopropoxy) sulfonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, dimethyl (tris (trichloromethyl) Methyl) sulfonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate and the like, preferably bis (p-tolyl) Donium hexafluorophosphate, (p-tolyl) (p-isopropylphenyl) iodonium hexafluorophosphate, bis (p-tert-butylphenyl) iodonium hexafluorophosphate, triphenylsulfonium hexafluorophosphate, tris (p-tert- Butylphenyl) sulfonium hexafluorophosphate, bis (p-tolyl) iodonium hexafluoroarsenate, (p-tolyl) (p-isopropylphenyl) iodonium hexafluoroarsenate, bis (p-tert-butylphenyl) iodonium hexafluoroarcete Nate, triphenylsulfonium hexafluoroarsenate, tris (pt-butylphenyl) sulfonium hexafluoroarsenate, Bis (p-tolyl) iodonium hexafluoroantimonate, (p-tolyl) (p-isopropylphenyl) iodonium hexafluoroantimonate, bis (p-tert-butylphenyl) iodonium hexafluoroantimonate, triphenylsulfonium hexafluoroantimonate Nates, tris (p-tert-butylphenyl) sulfonium hexafluoroantimonate, bis (p-tolyl) iodonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, (p-tolyl) (p-isopropylphenyl) iodonium tetrakis (pentafluorophenyl) Borate, bis (p-tert-butylphenyl) iodonium, triphenylsulfonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, tris (pt rt-butylphenyl) sulfonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate and the like, more preferably bis (p-tolyl) iodonium hexafluoroantimonate, (p-tolyl) (p-isopropylphenyl) iodonium hexafluoroantimonate, Bis (p-tert-butylphenyl) iodonium hexafluoroantimonate, triphenylsulfonium hexafluoroantimonate, tris (p-tert-butylphenyl) sulfonium hexafluoroantimonate, bis (p-tolyl) iodonium tetrakis (pentafluorophenyl) ) Borate, (p-tolyl) (p-isopropylphenyl) iodonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, bis (p-tert-butyl) Phenyl) iodonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, triphenyl sulfonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, or tris (p-tert-butylphenyl) sulfonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate.
また、本発明の効果を損なわない程度に、光重合開始剤(C)に光重合開始助剤(C−1)を組み合わせて用いることもでき、重合開始助剤を複数の組み合わせで用いることもできる。
光重合開始助剤(C−1)としては、アミン化合物、カルボン酸化合物、式(III)で表される化合物、式(A−1)又は式(A−2)で表される化合物などが挙げられる。
Further, the photopolymerization initiator (C) can be used in combination with the photopolymerization initiator (C-1) to such an extent that the effects of the present invention are not impaired. it can.
Examples of the photopolymerization initiation assistant (C-1) include amine compounds, carboxylic acid compounds, compounds represented by the formula (III), compounds represented by the formula (A-1) or the formula (A-2), and the like. Can be mentioned.
前記のアミン化合物としては、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミンなどの脂肪族アミン化合物、4−ジメチルアミノ安息香酸メチル、4−ジメチルアミノ安息香酸エチル、4−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、4−ジメチルアミノ安息香酸2−エチルヘキシル、安息香酸2−ジメチルアミノエチル、N,N−ジメチルパラトルイジン、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン(通称;ミヒラーズケトン)又は4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンなどの芳香族アミン化合物が挙げられる。 Examples of the amine compounds include aliphatic amine compounds such as triethanolamine, methyldiethanolamine, and triisopropanolamine, methyl 4-dimethylaminobenzoate, ethyl 4-dimethylaminobenzoate, isoamyl 4-dimethylaminobenzoate, 4- 2-ethylhexyl dimethylaminobenzoate, 2-dimethylaminoethyl benzoate, N, N-dimethylparatoluidine, 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone (common name: Michler's ketone) or 4,4′-bis (diethylamino) Examples include aromatic amine compounds such as benzophenone.
前記のカルボン酸化合物としては、フェニルチオ酢酸、メチルフェニルチオ酢酸、エチルフェニルチオ酢酸、メチルエチルフェニルチオ酢酸、ジメチルフェニルチオ酢酸、メトキシフェニルチオ酢酸、ジメトキシフェニルチオ酢酸、クロロフェニルチオ酢酸、ジクロロフェニルチオ酢酸、N−フェニルグリシン、フェノキシ酢酸、ナフチルチオ酢酸、N−ナフチルグリシン又はナフトキシ酢酸などの芳香族ヘテロ酢酸類が挙げられる。 Examples of the carboxylic acid compound include phenylthioacetic acid, methylphenylthioacetic acid, ethylphenylthioacetic acid, methylethylphenylthioacetic acid, dimethylphenylthioacetic acid, methoxyphenylthioacetic acid, dimethoxyphenylthioacetic acid, chlorophenylthioacetic acid, dichlorophenylthioacetic acid, Aromatic heteroacetic acids such as N-phenylglycine, phenoxyacetic acid, naphthylthioacetic acid, N-naphthylglycine or naphthoxyacetic acid can be mentioned.
光重合開始助剤(C−1)として、下記式(III)で表される化合物を使用することもできる。 As the photopolymerization initiation assistant (C-1), a compound represented by the following formula (III) can also be used.
式(III)中、Xで示される点線はハロゲン原子で置換されていてもよい炭素数6〜12の芳香環を表す。
Yは、酸素原子、硫黄原子を表す。
R21は、炭素数1〜6のアルキル基を表す。
R22は、ハロゲン原子で置換されていてもよい炭素数1〜12のアルキル基又はハロゲン原子で置換されていてもよいアリール基を表す。
In formula (III), the dotted line represented by X represents an aromatic ring having 6 to 12 carbon atoms which may be substituted with a halogen atom.
Y represents an oxygen atom or a sulfur atom.
R 21 represents an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms.
R 22 represents an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms which may be substituted with a halogen atom or an aryl group which may be substituted with a halogen atom.
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子などが挙げられる。
炭素数6〜12の芳香環としては、ベンゼン環、ナフタレン環などが挙げられる。
Examples of the halogen atom include a fluorine atom, a chlorine atom, and a bromine atom.
Examples of the aromatic ring having 6 to 12 carbon atoms include a benzene ring and a naphthalene ring.
ハロゲン原子で置換されていてもよい炭素数6〜12の芳香環としては、ベンゼン環、メチルベンゼン環、ジメチルベンゼン環、エチルベンゼン環、プロピルベンゼン環、ブチルベンゼン環、ペンチルベンゼン環、ヘキシルベンゼン環、シクロヘキシルベンゼン環、クロロベンゼン環、ジクロロベンゼン環、ブロモベンゼン環、ジブロモベンゼン環、フェニルベンゼン環、クロロフェニルベンゼン環、ブロモフェニルベンゼン環、ナフタレン環、クロロナフタレン環、ブロモナフタレン環などが挙げられる。 Examples of the aromatic ring having 6 to 12 carbon atoms which may be substituted with a halogen atom include a benzene ring, a methylbenzene ring, a dimethylbenzene ring, an ethylbenzene ring, a propylbenzene ring, a butylbenzene ring, a pentylbenzene ring, a hexylbenzene ring, Examples include cyclohexylbenzene ring, chlorobenzene ring, dichlorobenzene ring, bromobenzene ring, dibromobenzene ring, phenylbenzene ring, chlorophenylbenzene ring, bromophenylbenzene ring, naphthalene ring, chloronaphthalene ring, bromonaphthalene ring, and the like.
炭素数1〜6のアルキル基としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、1−メチル−n−プロピル基、2−メチル−n−プロピル基、tert−ブチル基、n−ペンチル基、1−メチル−n−ブチル基、2−メチル−n−ブチル基、3−メチル−n−ブチル基、1,1−ジメチル−n−プロピル基、1,2−ジメチル−n−プロピル基、2,2−ジメチル−n−プロピル基、n−ヘキシル基、シクロヘキシル基などが挙げられる。 Examples of the alkyl group having 1 to 6 carbon atoms include methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, n-butyl group, 1-methyl-n-propyl group, 2-methyl-n-propyl group, tert- Butyl group, n-pentyl group, 1-methyl-n-butyl group, 2-methyl-n-butyl group, 3-methyl-n-butyl group, 1,1-dimethyl-n-propyl group, 1,2- Examples include dimethyl-n-propyl group, 2,2-dimethyl-n-propyl group, n-hexyl group, cyclohexyl group and the like.
ハロゲン原子で置換されていてもよい炭素数1〜12のアルキル基としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、1−メチル−n−プロピル基、2−メチル−n−プロピル基、tert−ブチル基、n−ペンチル基、1−メチル−n−ブチル基、2−メチル−n−ブチル基、3−メチル−n−ブチル基、1,1−ジメチル−n−プロピル基、1,2−ジメチル−n−プロピル基、2,2−ジメチル−n−プロピル基、n−ヘキシル基、シクロヘキシル基、1−クロロ−n−ブチル基、2−クロロ−n−ブチル基、3−クロロ−n−ブチル基などが挙げられる。 Examples of the alkyl group having 1 to 12 carbon atoms which may be substituted with a halogen atom include a methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, n-butyl group, 1-methyl-n-propyl group, 2- Methyl-n-propyl group, tert-butyl group, n-pentyl group, 1-methyl-n-butyl group, 2-methyl-n-butyl group, 3-methyl-n-butyl group, 1,1-dimethyl- n-propyl group, 1,2-dimethyl-n-propyl group, 2,2-dimethyl-n-propyl group, n-hexyl group, cyclohexyl group, 1-chloro-n-butyl group, 2-chloro-n- A butyl group, 3-chloro-n-butyl group, etc. are mentioned.
ハロゲン原子で置換されていてもよいアリール基としては、フェニル基、クロロフェニル基、ジクロロフェニル基、ブロモフェニル基、ジブロモフェニル基、クロロブロモフェニル基、ビフェニル基、クロロビフェニル基、ジクロロビフェニル基、ブロモフェニル基、ジブロモフェニル基、ナフチル基、クロロナフチル基、ジクロロナフチル基、ブロモナフチル基、ジブロモナフチル基などが挙げられる。 The aryl group which may be substituted with a halogen atom includes a phenyl group, a chlorophenyl group, a dichlorophenyl group, a bromophenyl group, a dibromophenyl group, a chlorobromophenyl group, a biphenyl group, a chlorobiphenyl group, a dichlorobiphenyl group, and a bromophenyl group. , Dibromophenyl group, naphthyl group, chloronaphthyl group, dichloronaphthyl group, bromonaphthyl group, dibromonaphthyl group and the like.
式(III)で表される化合物として、具体的には、
2−ベンゾイルメチレン−3−メチル−ナフト[2,1−d]チアゾリン、
2−ベンゾイルメチレン−3−メチル−ナフト[1,2−d]チアゾリン、
2−ベンゾイルメチレン−3−メチル−ナフト[2,3−d]チアゾリン、
2−(2−ナフトイルメチレン)−3−メチルベンゾチアゾリン、
2−(1−ナフトイルメチレン)−3−メチルベンゾチアゾリン、
2−(2−ナフトイルメチレン)−3−メチル−5−フェニルベンゾチアゾリン、
2−(1−ナフトイルメチレン)−3−メチル−5−フェニルベンゾチアゾリン、
2−(2−ナフトイルメチレン)−3−メチル−5−フルオロベンゾチアゾリン、
2−(1−ナフトイルメチレン)−3−メチル−5−フルオロベンゾチアゾリン、
2−(2−ナフトイルメチレン)−3−メチル−5−クロロベンゾチアゾリン、
2−(1−ナフトイルメチレン)−3−メチル−5−クロロベンゾチアゾリン、
2−(2−ナフトイルメチレン)−3−メチル−5−ブロモベンゾチアゾリン、
2−(1−ナフトイルメチレン)−3−メチル−5−ブロモベンゾチアゾリン、
2−(4−ビフェノイルメチレン)−3−メチルベンゾチアゾリン、
2−(4−ビフェノイルメチレン)−3−メチル−5−フェニルベンゾチアゾリン、
2−(2−ナフトイルメチレン)−3−メチル−ナフト[2,1−d]チアゾリン、
2−(2−ナフトイルメチレン)−3−メチル−ナフト[1,2−d]チアゾリン、
2−(4−ビフェノイルメチレン)−3−メチル−ナフト[2,1−d]チアゾリン、
2−(4−ビフェノイルメチレン)−3−メチル−ナフト[1,2−d]チアゾリン、
2−(p−フルオロベンゾイルメチレン)−3−メチル−ナフト[2,1−d]チアゾリン、
2−(p−フルオロベンゾイルメチレン)−3−メチル−ナフト[1,2−d]チアゾリン、
2−ベンゾイルメチレン−3−メチル−ナフト[2,1−d]オキサゾリン、
2−ベンゾイルメチレン−3−メチル−ナフト[1,2−d]オキサゾリン、
2−ベンゾイルメチレン−3−メチル−ナフト[2,3−d]オキサゾリン、
2−(2−ナフトイルメチレン)−3−メチルベンゾオキサゾリン、
2−(1−ナフトイルメチレン)−3−メチルベンゾオキサゾリン、
2−(2−ナフトイルメチレン)−3−メチル−5−フェニルベンゾオキサゾリン、
2−(1−ナフトイルメチレン)−3−メチル−5−フェニルベンゾオキサゾリン、
2−(2−ナフトイルメチレン)−3−メチル−5−フルオロベンゾオキサゾリン、
2−(1−ナフトイルメチレン)−3−メチル−5−フルオロベンゾオキサゾリン、
2−(2−ナフトイルメチレン)−3−メチル−5−クロロベンゾオキサゾリン、
2−(1−ナフトイルメチレン)−3−メチル−5−クロロベンゾオキサゾリン、
2−(2−ナフトイルメチレン)−3−メチル−5−ブロモベンゾオキサゾリン、
2−(1−ナフトイルメチレン)−3−メチル−5−ブロモベンゾオキサゾリン、
2−(4−ビフェノイルメチレン)−3−メチルベンゾオキサゾリン、
2−(4−ビフェノイルメチレン)−3−メチル−5−フェニルベンゾオキサゾリン、
2−(2−ナフトイルメチレン)−3−メチル−ナフト[2,1−d]オキサゾリン、
2−(2−ナフトイルメチレン)−3−メチル−ナフト[1,2−d]オキサゾリン、
2−(4−ビフェノイルメチレン)−3−メチル−ナフト[2,1−d]オキサゾリン、
2−(4−ビフェノイルメチレン)−3−メチル−ナフト[1,2−d]オキサゾリン、
2−(p−フルオロベンゾイルメチレン)−3−メチル−ナフト[2,1−d]オキサゾリン、
2−(p−フルオロベンゾイルメチレン)−3−メチル−ナフト[1,2−d]オキサゾリン、
などが挙げられる。
As the compound represented by the formula (III), specifically,
2-benzoylmethylene-3-methyl-naphtho [2,1-d] thiazoline,
2-benzoylmethylene-3-methyl-naphtho [1,2-d] thiazoline,
2-benzoylmethylene-3-methyl-naphtho [2,3-d] thiazoline,
2- (2-naphthoylmethylene) -3-methylbenzothiazoline,
2- (1-naphthoylmethylene) -3-methylbenzothiazoline,
2- (2-naphthoylmethylene) -3-methyl-5-phenylbenzothiazoline,
2- (1-naphthoylmethylene) -3-methyl-5-phenylbenzothiazoline,
2- (2-naphthoylmethylene) -3-methyl-5-fluorobenzothiazoline,
2- (1-naphthoylmethylene) -3-methyl-5-fluorobenzothiazoline,
2- (2-naphthoylmethylene) -3-methyl-5-chlorobenzothiazoline,
2- (1-naphthoylmethylene) -3-methyl-5-chlorobenzothiazoline,
2- (2-naphthoylmethylene) -3-methyl-5-bromobenzothiazoline,
2- (1-naphthoylmethylene) -3-methyl-5-bromobenzothiazoline,
2- (4-biphenoylmethylene) -3-methylbenzothiazoline,
2- (4-biphenoylmethylene) -3-methyl-5-phenylbenzothiazoline,
2- (2-naphthoylmethylene) -3-methyl-naphtho [2,1-d] thiazoline,
2- (2-naphthoylmethylene) -3-methyl-naphtho [1,2-d] thiazoline,
2- (4-biphenoylmethylene) -3-methyl-naphtho [2,1-d] thiazoline,
2- (4-biphenoylmethylene) -3-methyl-naphtho [1,2-d] thiazoline,
2- (p-fluorobenzoylmethylene) -3-methyl-naphtho [2,1-d] thiazoline,
2- (p-fluorobenzoylmethylene) -3-methyl-naphtho [1,2-d] thiazoline,
2-benzoylmethylene-3-methyl-naphtho [2,1-d] oxazoline,
2-benzoylmethylene-3-methyl-naphtho [1,2-d] oxazoline,
2-benzoylmethylene-3-methyl-naphtho [2,3-d] oxazoline,
2- (2-naphthoylmethylene) -3-methylbenzoxazoline,
2- (1-naphthoylmethylene) -3-methylbenzoxazoline,
2- (2-naphthoylmethylene) -3-methyl-5-phenylbenzoxazoline,
2- (1-naphthoylmethylene) -3-methyl-5-phenylbenzoxazoline,
2- (2-naphthoylmethylene) -3-methyl-5-fluorobenzoxazoline,
2- (1-naphthoylmethylene) -3-methyl-5-fluorobenzoxazoline,
2- (2-naphthoylmethylene) -3-methyl-5-chlorobenzoxazoline,
2- (1-naphthoylmethylene) -3-methyl-5-chlorobenzoxazoline,
2- (2-naphthoylmethylene) -3-methyl-5-bromobenzoxazoline,
2- (1-naphthoylmethylene) -3-methyl-5-bromobenzoxazoline,
2- (4-biphenoylmethylene) -3-methylbenzoxazoline,
2- (4-biphenoylmethylene) -3-methyl-5-phenylbenzoxazoline,
2- (2-naphthoylmethylene) -3-methyl-naphtho [2,1-d] oxazoline,
2- (2-naphthoylmethylene) -3-methyl-naphtho [1,2-d] oxazoline,
2- (4-biphenoylmethylene) -3-methyl-naphtho [2,1-d] oxazoline,
2- (4-biphenoylmethylene) -3-methyl-naphtho [1,2-d] oxazoline,
2- (p-fluorobenzoylmethylene) -3-methyl-naphtho [2,1-d] oxazoline,
2- (p-fluorobenzoylmethylene) -3-methyl-naphtho [1,2-d] oxazoline,
Etc.
中でも、式(III―1)で表される2−(2−ナフトイルメチレン)−3−メチルベンゾチアゾリン、式(III―2)で表される2−ベンゾイルメチレン−3−メチルーナフト[1,2−d]チアゾリン及び式(III−3)で表される2−(4−ビフェノイルメチレン)−3−メチル−ナフト[1,2−d]チアゾリンが好ましい。
Among them, 2- (2-naphthoylmethylene) -3-methylbenzothiazoline represented by the formula (III-1), 2-benzoylmethylene-3-methyl-naphtho represented by the formula (III-2) [1,2 -D] thiazoline and 2- (4-biphenoylmethylene) -3-methyl-naphtho [1,2-d] thiazoline represented by the formula (III-3) are preferred.
光重合開始助剤(C−1)として、式(A−1)及び式(A−2)からなる群から選ばれる少なくとも1種で表される化合物を使用することもできる。 As the photopolymerization initiation aid (C-1), a compound represented by at least one selected from the group consisting of formula (A-1) and formula (A-2) can also be used.
[式(A−1)及び式(A−2)中、環X31及び環X32は、それぞれ独立に、炭素数6〜12の芳香環を表す。Y31及びY32は、酸素原子又は硫黄原子を表す。R31及びR32は、炭素数1〜12のアルキル基又は炭素数6〜12のアリール基を表す。
該芳香環、該アルキル基又はアリール基に含まれる炭素原子は酸素原子、窒素原子、硫黄原子又はハロゲン原子で置換されてもよい。]
[In Formula (A-1) and Formula (A-2), Ring X 31 and Ring X 32 each independently represent an aromatic ring having 6 to 12 carbon atoms. Y 31 and Y 32 represent an oxygen atom or a sulfur atom. R 31 and R 32 represent an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms or an aryl group having 6 to 12 carbon atoms.
The carbon atom contained in the aromatic ring, the alkyl group or the aryl group may be substituted with an oxygen atom, a nitrogen atom, a sulfur atom or a halogen atom. ]
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子などが挙げられる。
炭素数6〜12の芳香環としては、ベンゼン環、メチルベンゼン環、ジメチルベンゼン環、エチルベンゼン環、プロピルベンゼン環、ブチルベンゼン環、ペンチルベンゼン環、ヘキシルベンゼン環、シクロヘキシルベンゼン環、クロロベンゼン環、ジクロロベンゼン環、ブロモベンゼン環、ジブロモベンゼン環、フェニルベンゼン環、クロロフェニルベンゼン環、ブロモフェニルベンゼン環、ナフタレン環、クロロナフタレン環、ブロモナフタレン環、フェナントレン環、クリセン環、フルオランテン環、ベンゾ[a]ピレン環、ベンゾ[e]ピレン環、ペリレン環及びそれらの誘導体などが挙げられる。
Examples of the halogen atom include a fluorine atom, a chlorine atom, and a bromine atom.
Examples of the aromatic ring having 6 to 12 carbon atoms include benzene ring, methylbenzene ring, dimethylbenzene ring, ethylbenzene ring, propylbenzene ring, butylbenzene ring, pentylbenzene ring, hexylbenzene ring, cyclohexylbenzene ring, chlorobenzene ring, and dichlorobenzene. Ring, bromobenzene ring, dibromobenzene ring, phenylbenzene ring, chlorophenylbenzene ring, bromophenylbenzene ring, naphthalene ring, chloronaphthalene ring, bromonaphthalene ring, phenanthrene ring, chrysene ring, fluoranthene ring, benzo [a] pyrene ring, Examples include benzo [e] pyrene ring, perylene ring, and derivatives thereof.
炭素数1〜12のアルキル基としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、1−メチル−n−プロピル基、2−メチル−n−プロピル基、tert−ブチル基、n−ペンチル基、1−メチル−n−ブチル基、2−メチル−n−ブチル基、3−メチル−n−ブチル基、1,1−ジメチル−n−プロピル基、1,2−ジメチル−n−プロピル基、2,2−ジメチル−n−プロピル基、n−ヘキシル基、シクロヘキシル基、1−クロロ−n−ブチル基、2−クロロ−n−ブチル基、3−クロロ−n−ブチル基などが挙げられる。 Examples of the alkyl group having 1 to 12 carbon atoms include methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, n-butyl group, 1-methyl-n-propyl group, 2-methyl-n-propyl group, tert- Butyl group, n-pentyl group, 1-methyl-n-butyl group, 2-methyl-n-butyl group, 3-methyl-n-butyl group, 1,1-dimethyl-n-propyl group, 1,2- Dimethyl-n-propyl group, 2,2-dimethyl-n-propyl group, n-hexyl group, cyclohexyl group, 1-chloro-n-butyl group, 2-chloro-n-butyl group, 3-chloro-n- A butyl group etc. are mentioned.
炭素数6〜12のアリール基としては、フェニル基、クロロフェニル基、ジクロロフェニル基、ブロモフェニル基、ジブロモフェニル基、クロロブロモフェニル基、ヒドロキシフェニル基、アルコキシフェニル基、ビフェニル基、クロロビフェニル基、ジクロロビフェニル基、ブロモフェニル基、ジブロモフェニル基、ナフチル基、クロロナフチル基、ジクロロナフチル基、ブロモナフチル基、ジブロモナフチル基、ヒドロキシナフチル基などが挙げられる。 Examples of the aryl group having 6 to 12 carbon atoms include phenyl group, chlorophenyl group, dichlorophenyl group, bromophenyl group, dibromophenyl group, chlorobromophenyl group, hydroxyphenyl group, alkoxyphenyl group, biphenyl group, chlorobiphenyl group, dichlorobiphenyl. Group, bromophenyl group, dibromophenyl group, naphthyl group, chloronaphthyl group, dichloronaphthyl group, bromonaphthyl group, dibromonaphthyl group, hydroxynaphthyl group and the like.
式(A−1)又は式(A−2)で表される化合物として、具体的には、
ジメトキシナフタレン、ジエトキシナフタレン、ジプロポキシナフタレン、ジイソプロポキシナフタレン、ジブトキシナフタレンなどのジアルコキシナフタレン類
ジメトキシアントラセン、ジエトキシアントラセン、ジプロポキシアントラセン、ジイソプロポキシアントラセン、ジブトキシアントラセン、ジペンタオキシアントラセン、ジヘキサオキシアントラセン、メトキシエトキシアントラセン、メトキシプロポキシアントラセン、メトキシイソプロポキシアントラセン、メトキシブトキシアントラセン、エトキシプロポキシアントラセン、エトキシイソプロポキシアントラセン、エトキシブトキシアントラセン、プロポキシイソプロポキシアントラセン、プロポキシブトキシアントラセン、イソプロポキシブトキシアントラセンなどのジアルコキシアントラセン類
ジメトキシナフタセン、ジエトキシナフタセン、ジプロポキシナフタセン、ジイソプロポキシナフタセン、ジブトキシナフタセンなどのジアルコキシナフタセン類
などが挙げられるが、それに限ったものではない。
As a compound represented by Formula (A-1) or Formula (A-2), specifically,
Dialkoxynaphthalenes such as dimethoxynaphthalene, diethoxynaphthalene, dipropoxynaphthalene, diisopropoxynaphthalene, dibutoxynaphthalene, dimethoxyanthracene, diethoxyanthracene, dipropoxyanthracene, diisopropoxyanthracene, dibutoxyanthracene, dipentaoxyanthracene, Dihexoxyoxyanthracene, methoxyethoxyanthracene, methoxypropoxyanthracene, methoxyisopropoxyanthracene, methoxybutoxyanthracene, ethoxypropoxyanthracene, ethoxyisopropoxyanthracene, ethoxybutoxyanthracene, propoxyisopropoxyanthracene, propoxybutoxyanthracene, isopropoxybutoxyanthracene, etc. Alkoxy anthracenes dimethoxy naphthacene, diethoxy naphthacene, dipropoxy naphthacene, diisopropoxy Sina lid Sen, dibutoxyethoxyethyl Sina lid but Sen and dialkoxy naphthacene such as including but not limited to it.
本発明の感光性樹脂組成物における光重合開始剤(C)全体(前記(C1)及び(C2)を含む)の含有量は、バインダー樹脂(A)及び光重合性化合物(B)の合計量に対して質量分率で、好ましくは0.1〜40質量%、より好ましくは1〜30質量%である。
また、光重合開始助剤(C−1)の含有量は、前記と同じ基準で、好ましくは0.01〜50質量%、より好ましくは0.1〜40質量%である。
式(A−1)及び式(A−2)からなる群から選ばれる少なくとも1種で表される化合物の含有量は、光重合開始助剤(C−1)の含有量に対して、好ましくは50〜100%、より好ましくは60〜100%、さらに好ましくは65〜100%である。式(A−1)及び式(A−2)からなる群から選ばれる少なくとも1種で表される化合物の含有量が前記の範囲にあると、これを含む感光性樹脂組成物を用いて塗膜を形成したときに、塗膜の透明性が良好になり好ましい。
光重合開始剤(C)の合計量が前記の範囲にあると、感光性樹脂組成物が高感度となり、前記の感光性樹脂組成物を用いて形成した塗膜やパターンの強度や、前記の塗膜やパターンの表面における平滑性が良好になる傾向があり、好ましい。前記に加えて、光重合開始助剤(C−1)の量が前記の範囲にあると、得られる感光性樹脂組成物の感度がさらに高くなり、前記の感光性樹脂組成物を用いて形成するパターンの生産性が向上する傾向にあり、好ましい。
The content of the entire photopolymerization initiator (C) (including the (C1) and (C2)) in the photosensitive resin composition of the present invention is the total amount of the binder resin (A) and the photopolymerizable compound (B). The mass fraction is preferably 0.1 to 40% by mass, more preferably 1 to 30% by mass.
The content of the photopolymerization initiation assistant (C-1) is preferably 0.01 to 50% by mass, more preferably 0.1 to 40% by mass, based on the same standard as described above.
The content of the compound represented by at least one selected from the group consisting of formula (A-1) and formula (A-2) is preferably relative to the content of photopolymerization initiation aid (C-1). Is 50 to 100%, more preferably 60 to 100%, still more preferably 65 to 100%. When the content of the compound represented by at least one selected from the group consisting of formula (A-1) and formula (A-2) is in the above range, the photosensitive resin composition containing the compound is used for coating. When a film is formed, the transparency of the coating film is improved, which is preferable.
When the total amount of the photopolymerization initiator (C) is in the above range, the photosensitive resin composition becomes highly sensitive, the strength of the coating film or pattern formed using the photosensitive resin composition, The smoothness on the surface of the coating film or pattern tends to be good, which is preferable. In addition to the above, when the amount of the photopolymerization initiation assistant (C-1) is in the above range, the sensitivity of the obtained photosensitive resin composition is further increased, and the photosensitive resin composition is formed using the photosensitive resin composition. This is preferable because the productivity of the pattern to be improved tends to be improved.
本発明の感光性樹脂組成物に含有される溶剤(D)としては、感光性樹脂組成物の分野で用いられている各種の有機溶剤が挙げられ、その具体例としては、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル及びエチレングリコールモノブチルエーテルのようなエチレングリコールモノアルキルエーテル類;
ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテルなどのジエチレングリコールジアルキルエーテル類;
メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテートなどのエチレングリコールアルキルエーテルアセテート類;
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、メトキシブチルアセテート、メトキシペンチルアセテートなどのアルキレングリコールアルキルエーテルアセテート類;
プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテルなどのプロピレングリコールモノアルキルエーテル類;
プロピレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールジエチルエーテル、プロピレングリコールエチルメチルエーテル、プロピレングリコールジプロピルエーテルプロピレングリコールプロピルメチルエーテル、プロピレングリコールエチルプロピルエーテルなどのプロピレングリコールジアルキルエーテル類
プロピレングリコールメチルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールエチルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールプロピルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールブチルエーテルプロピオネートなどのプロピレングリコールアルキルエーテルプロピオネート類;
メトキシブチルアルコール、エトキシブチルアルコール、プロポキシブチルアルコール、ブトキシブチルアルコールなどのブチルジオールモノアルキルエーテル類;
メトキシブチルアセテート、エトキシブチルアセテート、プロポキシブチルアセテート、ブトキシブチルアセテートなどのブタンジオールモノアルキルエーテルアセテート類;
メトキシブチルプロピオネート、エトキシブチルプロピオネート、プロポキシブチルプロピオネート、ブトキシブチルプロピオネートなどのブタンジオールモノアルキルエーテルプロピオネート類;
ジプロピレングリコールジメチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル、ジプロピレングリコールメチルエチルエーテルなどのジプロピレングリコールジアルキルエーテル類;
ベンゼン、トルエン、キシレン、メシチレンなどの芳香族炭化水素類;
メチルエチルケトン、アセトン、メチルアミルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノンなどのケトン類;
エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、グリセリンなどのアルコール類;
酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸プロピル、酢酸ブチル、2−ヒドロキシプロピオン酸エチル、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、ヒドロキシ酢酸メチル、ヒドロキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸ブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸プロピル、乳酸ブチル、3−ヒドロキシプロピオン酸メチル、3−ヒドロキシプロピオン酸エチル、3−ヒドロキシプロピオン酸プロピル、3−ヒドロキシプロピオン酸ブチル、2−ヒドロキシ−3−メチルブタン酸メチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸プロピル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、エトキシ酢酸プロピル、エトキシ酢酸ブチル、プロポキシ酢酸メチル、プロポキシ酢酸エチル、プロポキシ酢酸プロピル、プロポキシ酢酸ブチル、ブトキシ酢酸メチル、ブトキシ酢酸エチル、ブトキシ酢酸プロピル、ブトキシ酢酸ブチル、2−メトキシプロピオン酸メチル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシプロピオン酸プロピル、2−メトキシプロピオン酸ブチル、2−エトキシプロピオン酸メチル、2−エトキシプロピオン酸エチル、2−エトキシプロピオン酸プロピル、2−エトキシプロピオン酸ブチル、2−ブトキシプロピオン酸メチル、2−ブトキシプロピオン酸エチル、2−ブトキシプロピオン酸プロピル、2−ブトキシプロピオン酸ブチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸プロピル、3−メトキシプロピオン酸ブチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸プロピル、3−エトキシプロピオン酸ブチル、3−プロポキシプロピオン酸メチル、3−プロポキシプロピオン酸エチル、3−プロポキシプロピオン酸プロピル、3−プロポキシプロピオン酸ブチル、3−ブトキシプロピオン酸メチル、3−ブトキシプロピオン酸エチル、3−ブトキシプロピオン酸プロピル、3−ブトキシプロピオン酸ブチルなどのエステル類;
テトラヒドロフラン、ピランなどの環状エーテル基類;
γ−ブチロラクトンなどの環状エステル類などが挙げられる。
Examples of the solvent (D) contained in the photosensitive resin composition of the present invention include various organic solvents used in the field of photosensitive resin compositions. Specific examples thereof include ethylene glycol monomethyl ether, Ethylene glycol monoalkyl ethers such as ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monopropyl ether and ethylene glycol monobutyl ether;
Diethylene glycol dialkyl ethers such as diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol ethyl methyl ether, diethylene glycol dipropyl ether, diethylene glycol dibutyl ether;
Ethylene glycol alkyl ether acetates such as methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, ethylene glycol monobutyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate;
Alkylene glycol alkyl ether acetates such as propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monopropyl ether acetate, methoxybutyl acetate, methoxypentyl acetate;
Propylene glycol monoalkyl ethers such as propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monopropyl ether, propylene glycol monobutyl ether;
Propylene glycol dialkyl ethers such as propylene glycol dimethyl ether, propylene glycol diethyl ether, propylene glycol ethyl methyl ether, propylene glycol dipropyl ether, propylene glycol propyl methyl ether, propylene glycol ethyl propyl ether, propylene glycol methyl ether propionate, propylene glycol ethyl ether Propylene glycol alkyl ether propionates such as propionate, propylene glycol propyl ether propionate, propylene glycol butyl ether propionate;
Butyldiol monoalkyl ethers such as methoxybutyl alcohol, ethoxybutyl alcohol, propoxybutyl alcohol, butoxybutyl alcohol;
Butanediol monoalkyl ether acetates such as methoxybutyl acetate, ethoxybutyl acetate, propoxybutyl acetate, butoxybutyl acetate;
Butanediol monoalkyl ether propionates such as methoxybutyl propionate, ethoxybutyl propionate, propoxybutyl propionate, butoxybutyl propionate;
Dipropylene glycol dialkyl ethers such as dipropylene glycol dimethyl ether, dipropylene glycol diethyl ether, dipropylene glycol methyl ethyl ether;
Aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene, xylene, mesitylene;
Ketones such as methyl ethyl ketone, acetone, methyl amyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone;
Alcohols such as ethanol, propanol, butanol, hexanol, cyclohexanol, ethylene glycol, glycerin;
Methyl acetate, ethyl acetate, propyl acetate, butyl acetate, ethyl 2-hydroxypropionate, methyl 2-hydroxy-2-methylpropionate, ethyl 2-hydroxy-2-methylpropionate, methyl hydroxyacetate, hydroxyethyl acetate, hydroxy Butyl acetate, methyl lactate, ethyl lactate, propyl lactate, butyl lactate, methyl 3-hydroxypropionate, ethyl 3-hydroxypropionate, propyl 3-hydroxypropionate, butyl 3-hydroxypropionate, 2-hydroxy-3-methylbutane Methyl acetate, methyl methoxyacetate, ethyl methoxyacetate, propyl methoxyacetate, butyl methoxyacetate, methyl ethoxy acetate, ethyl ethoxy acetate, propyl ethoxy acetate, butyl ethoxy acetate, methyl propoxyacetate, propoxy Ethyl acetate, propyl propoxyacetate, butyl propoxyacetate, methyl butoxyacetate, ethyl butoxyacetate, propyl butoxyacetate, butyl butoxyacetate, methyl 2-methoxypropionate, ethyl 2-methoxypropionate, propyl 2-methoxypropionate, 2- Butyl methoxypropionate, methyl 2-ethoxypropionate, ethyl 2-ethoxypropionate, propyl 2-ethoxypropionate, butyl 2-ethoxypropionate, methyl 2-butoxypropionate, ethyl 2-butoxypropionate, 2-butoxy Propyl propionate, butyl 2-butoxypropionate, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, propyl 3-methoxypropionate, butyl 3-methoxypropionate, 3- Methyl toxipropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, propyl 3-ethoxypropionate, butyl 3-ethoxypropionate, methyl 3-propoxypropionate, ethyl 3-propoxypropionate, propyl 3-propoxypropionate, 3-propoxy Esters such as butyl propionate, methyl 3-butoxypropionate, ethyl 3-butoxypropionate, propyl 3-butoxypropionate, butyl 3-butoxypropionate;
Cyclic ether groups such as tetrahydrofuran and pyran;
and cyclic esters such as γ-butyrolactone.
前記の溶剤のうち、塗布性、乾燥性の点から、好ましくは前記溶剤の中で沸点が100〜200℃である有機溶剤が挙げられる。沸点が100〜200℃である有機溶剤として、具体的には、アルキレングリコールアルキルエーテルアセテート類、メトキシブタノール及びエトキシブタノールなどのアルコール類、シクロヘキサノンなどのケトン類、
3−エトキシプロピオン酸エチル及び3−メトキシプロピオン酸メチルなどのエステル類が挙げられ、さらに好ましくはプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、シクロヘキサノン、メトキシブタノール、メトキシブチルアセテート、3−エトキシプロピオン酸エチル及び3−メトキシプロピオン酸メチルが挙げられる。
これらの溶剤(D)は、それぞれ単独で、又は2種類以上混合して用いることができる。
Among the above solvents, an organic solvent having a boiling point of 100 to 200 ° C. is preferable among the above solvents from the viewpoints of coating properties and drying properties. As an organic solvent having a boiling point of 100 to 200 ° C., specifically, alkylene glycol alkyl ether acetates, alcohols such as methoxybutanol and ethoxybutanol, ketones such as cyclohexanone,
And esters such as ethyl 3-ethoxypropionate and methyl 3-methoxypropionate, more preferably propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, cyclohexanone, methoxybutanol, methoxybutyl acetate, 3-ethoxypropion Examples include ethyl acid and methyl 3-methoxypropionate.
These solvents (D) can be used alone or in combination of two or more.
本発明の感光性樹脂組成物における溶剤(D)の含有量は、感光性樹脂組成物全量に対して質量分率で、好ましくは60〜90質量%、より好ましくは65〜85質量%である。溶剤(D)の含有量が、前記の範囲にあると、スピンコーター、スリット&スピンコーター、スリットコーター(ダイコーター、カーテンフローコーターとも呼ばれることがある。
)、インクジェット、ロールコータ、ディップコーターなどの塗布装置で塗布したときに塗布性が良好になる見込みがあり、好ましい。
Content of the solvent (D) in the photosensitive resin composition of this invention is a mass fraction with respect to the photosensitive resin composition whole quantity, Preferably it is 60-90 mass%, More preferably, it is 65-85 mass%. . When the content of the solvent (D) is in the above range, it may be called a spin coater, a slit & spin coater, or a slit coater (die coater, curtain flow coater).
), The coating property is expected to be good when applied by a coating device such as an inkjet, roll coater, dip coater, etc., which is preferable.
本発明の感光性樹脂組成物は、顔料及び染料などの着色剤を実質的に含有しない。すなわち、本発明の感光性樹脂組成物において、組成物全体に対する着色剤の含量は、例えば、質量分率で、10質量%未満、好ましくは1質量%未満である。 The photosensitive resin composition of the present invention does not substantially contain colorants such as pigments and dyes. That is, in the photosensitive resin composition of the present invention, the content of the colorant with respect to the entire composition is, for example, a mass fraction of less than 10% by mass, preferably less than 1% by mass.
本発明の感光性樹脂組成物には、必要に応じて、充填剤、他の高分子化合物、レベリング剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、光安定剤、凝集防止材、連鎖移動剤などの添加剤(F)を併用することもできる。
充填剤として具体的には、ガラス、シリカ、アルミナなどが挙げられる。
In the photosensitive resin composition of the present invention, if necessary, a filler, other polymer compound, a leveling agent, an adhesion promoter, an antioxidant, an ultraviolet absorber, a light stabilizer, an anti-aggregation material, chain transfer An additive (F) such as an agent can also be used in combination.
Specific examples of the filler include glass, silica, and alumina.
他の高分子化合物として具体的には、エポキシ樹脂、マレイミド樹脂などの硬化性樹脂やポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフルオロアルキルアクリレート、ポリエステル、ポリウレタンなどの熱可塑性樹脂などが挙げられる。 Specific examples of other polymer compounds include curable resins such as epoxy resins and maleimide resins, and thermoplastic resins such as polyvinyl alcohol, polyacrylic acid, polyethylene glycol monoalkyl ether, polyfluoroalkyl acrylate, polyester, and polyurethane. Can be mentioned.
レベリング剤としては、市販の界面活性剤を用いることができ、例えば、シリコーン系、フッ素系、エステル系、カチオン系、アニオン系、ノニオン系、両性などの界面活性剤などが挙げられ、それぞれ単独でも2種以上を組み合わせて用いてもよい。前記の界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル類、ポリエチレングリコールジエステル類、ソルビタン脂肪酸エステル類、脂肪酸変性ポリエステル類、3級アミン変性ポリウレタン類、ポリエチレンイミン類などのほか、商品名でKP(信越化学工業(株)製)、ポリフロー(共栄化学(株)製)、エフトップ(トーケムプロダクツ社製)、メガファック(大日本インキ化学工業(株)製)、フロラード(住友スリーエム(株)製)、アサヒガード、サーフロン(以上、旭硝子(株)製)、ソルスパース(ゼネカ(株)製)、EFKA(EFKA CHEMICALS社製)、PB821(味の素(株)製)などが挙げられる。 As the leveling agent, a commercially available surfactant can be used, and examples thereof include silicone-based, fluorine-based, ester-based, cationic-based, anionic-based, nonionic-based, and amphoteric surfactants. Two or more kinds may be used in combination. Examples of the surfactant include polyoxyethylene alkyl ethers, polyoxyethylene alkyl phenyl ethers, polyethylene glycol diesters, sorbitan fatty acid esters, fatty acid-modified polyesters, tertiary amine-modified polyurethanes, and polyethyleneimines. In addition, KP (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), Polyflow (manufactured by Kyoei Chemical Co., Ltd.), F-Top (manufactured by Tochem Products), MegaFac (manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Inc.) ), Florard (manufactured by Sumitomo 3M Co., Ltd.), Asahi Guard, Surflon (manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.), Solsperse (manufactured by Geneca Co., Ltd.), EFKA (manufactured by EFKA CHEMICALS), PB821 (manufactured by Ajinomoto Co., Inc.) ) And the like.
密着促進剤としては、シラン系化合物が好ましく、具体的には、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(2−メトキシエトキシ)シラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、3−クロロプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロイロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシランなどが挙げられる。 As the adhesion promoter, silane compounds are preferable, and specifically, vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinyltris (2-methoxyethoxy) silane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropylmethyl. Dimethoxysilane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, 3-chloropropylmethyldimethoxysilane, 3-chloropropyltrimethoxysilane, 3-methacryloyloxypropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane and the like.
酸化防止剤として具体的には、2−tert−ブチル−6−(3−tert−ブチル−2−ヒドロキシ−5−メチルベンジル)−4−メチルフェニルアクリレート、2−[1−(2−ヒドロキシ−3,5−ジ−tert−ペンチルフェニル)エチル]−4,6−ジ−tert−ペンチルフェニルアクリレート、6−[3−(3−tert−ブチル−4−ヒドロキシ−5−メチルフェニル)プロポキシ]−2,4,8,10−テトラ−tert−ブチルジベンズ[d、f][1,3,2]ジオキサフォスフェピン、3,9−ビス[2−{3−(3−tert−ブチル−4−ヒドロキシ−5−メチルフェニル)プロピオニルオキシ}−1,1−ジメチルエチル]−2,4,8,10−テトラオキサスピロ[5.5]ウンデカン、2,2’−メチレンビス(6−tert−ブチル−4−メチルフェノール)、4,4’−ブチリデンビス(6−tert−ブチル−3−メチルフェノール)、4,4’−チオビス(2−tert−ブチル−5−メチルフェノール)、2,2’−チオビス(6−tert−ブチル−4−メチルフェノール)、ジラウリル3,3’−チオジプロピオネート、ジミリスチル3,3’−チオジプロピオネート、ジステアリル3,3’−チオジプロピオネート、ペンタエリスリチルテトラキス(3−ラウリルチオプロピオネート)、1,3,5−トリス(3,5−ジ−tert−ブチル−4−ヒドロキシベンジル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオン、3,3’,3’’,5,5’,5’’−ヘキサ−tert−ブチル−a,a’,a’’−(メシチレン−2,4,6−トリイル)トリ−p−クレゾール、ペンタエリスリトールテトラキス[3−(3,5−ジ−tert−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート]、2,6−ジ−tert−ブチル−4−メチルフェノールなどが挙げられる。 Specific examples of the antioxidant include 2-tert-butyl-6- (3-tert-butyl-2-hydroxy-5-methylbenzyl) -4-methylphenyl acrylate, 2- [1- (2-hydroxy- 3,5-di-tert-pentylphenyl) ethyl] -4,6-di-tert-pentylphenyl acrylate, 6- [3- (3-tert-butyl-4-hydroxy-5-methylphenyl) propoxy]- 2,4,8,10-tetra-tert-butyldibenz [d, f] [1,3,2] dioxaphosphine, 3,9-bis [2- {3- (3-tert-butyl-4 -Hydroxy-5-methylphenyl) propionyloxy} -1,1-dimethylethyl] -2,4,8,10-tetraoxaspiro [5.5] undecane, 2,2′-methyle Bis (6-tert-butyl-4-methylphenol), 4,4′-butylidenebis (6-tert-butyl-3-methylphenol), 4,4′-thiobis (2-tert-butyl-5-methylphenol) ), 2,2′-thiobis (6-tert-butyl-4-methylphenol), dilauryl 3,3′-thiodipropionate, dimyristyl 3,3′-thiodipropionate, distearyl 3,3′- Thiodipropionate, pentaerythrityltetrakis (3-laurylthiopropionate), 1,3,5-tris (3,5-di-tert-butyl-4-hydroxybenzyl) -1,3,5-triazine -2,4,6 (1H, 3H, 5H) -trione, 3,3 ', 3 ", 5,5', 5" -hexa-tert-butyl-a, a ', ''-(Mesitylene-2,4,6-triyl) tri-p-cresol, pentaerythritol tetrakis [3- (3,5-di-tert-butyl-4-hydroxyphenyl) propionate], 2,6-di -Tert-butyl-4-methylphenol and the like.
紫外線吸収剤として具体的には、2−(2−ヒドロキシ−5−tert−ブチルフェニル)−2H−ベンゾトリアゾール、オクチル−3−[3−tert−ブチル−4−ヒドロキシ−5−(5−クロロ−2H−ベンゾトリアゾール−2−イル)フェニル]プロピオネート、2−[4−[(2−ヒドロキシ−3−ドデシルオキシプロピル)オキシ]−2−ヒドロキシフェニル]−4,6−ビス(2,4−ジメチルフェニル)−1,3,5−トリアジン、2−[4−[(2−ヒドロキシ−3−(2’−エチル)ヘキシル)オキシ]−2−ヒドロキシフェニル]−4,6−ビス(2,4−ジメチルフェニル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(2−ヒドロキシ−4−ブチルオキシフェニル)−6−(2,4−ビス−ブチルオキシフェニル)−1,3,5−トリアジン、2−(2−ヒドロキシ−4−[1−オクチルオキシカルボニルエトキシ]フェニル)−4,6−ビス(4−フェニルフェニル)−1,3,5−トリアジン、2−(2H−ベンゾトリアゾール−2−イル)−4,6−ビス(1−メチル−1−フェニルエチル)フェノール、2−(2H−ベンゾトリアゾール−2−イル)−6−(1−メチル−1−フェニルエチル)−4−(1,1,3,3−テトラメチルブチル)フェノール、2−(3−tert−ブチル−2−ヒドロキシ−5−メチルフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール又はアルコキシベンゾフェノンなどが挙げられる。 Specific examples of the ultraviolet absorber include 2- (2-hydroxy-5-tert-butylphenyl) -2H-benzotriazole, octyl-3- [3-tert-butyl-4-hydroxy-5- (5-chloro). -2H-benzotriazol-2-yl) phenyl] propionate, 2- [4-[(2-hydroxy-3-dodecyloxypropyl) oxy] -2-hydroxyphenyl] -4,6-bis (2,4- Dimethylphenyl) -1,3,5-triazine, 2- [4-[(2-hydroxy-3- (2′-ethyl) hexyl) oxy] -2-hydroxyphenyl] -4,6-bis (2, 4-dimethylphenyl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (2-hydroxy-4-butyloxyphenyl) -6- (2,4-bis-butyloxyphenyl) 1,3,5-triazine, 2- (2-hydroxy-4- [1-octyloxycarbonylethoxy] phenyl) -4,6-bis (4-phenylphenyl) -1,3,5-triazine, 2- (2H-benzotriazol-2-yl) -4,6-bis (1-methyl-1-phenylethyl) phenol, 2- (2H-benzotriazol-2-yl) -6- (1-methyl-1- Phenylethyl) -4- (1,1,3,3-tetramethylbutyl) phenol, 2- (3-tert-butyl-2-hydroxy-5-methylphenyl) -5-chlorobenzotriazole or alkoxybenzophenone. Can be mentioned.
光安定剤として具体的には、こはく酸と(4−ヒドロキシ−2,2,6,6−テトラメチルピペリジン−1−イル)エタノールからなる高分子、N,N’,N’’,N’’’−テトラキス(4,6−ビス(ブチル−(N−メチル−2,2,6,6−テトラメチルピペリジン−4−イル)アミノ)トリアジン−2−イル)−4,7−ジアザデカン−1,10−ジアミン、デカンジオイックアシッドと、ビス(2,2,6,6−テトラメチル−1−(オクチルオキシ)−4−ピペリジニル)エステルと、1,1−ジメチルエチルヒドロパーオキシドとの反応物、ビス(1,2,2,6,6−ペンタメチル−4−ピペリジニル)−[[3,5−ビス(1,1−ジメチルエチル)−4−ヒドロキシフェニル]メチル]ブチルマロネート、2,4−ビス[N−ブチル−N−(1−シクロヘキシルオキシ−2,2,6,6−テトラメチルピペリジン−4−イル)アミノ]−6−(2−ヒドロキシエチルアミン)−1,3,5−トリアジン、ビス(1,2,2,6,6−ペンタメチル−4−ピペリジニル)セバケート又はメチル(1,2,2,6,6−ペンタメチル−4−ピペリジニル)セバケートなどが挙げられる。 Specifically, the light stabilizer is a polymer composed of succinic acid and (4-hydroxy-2,2,6,6-tetramethylpiperidin-1-yl) ethanol, N, N ′, N ″, N ′. '' -Tetrakis (4,6-bis (butyl- (N-methyl-2,2,6,6-tetramethylpiperidin-4-yl) amino) triazin-2-yl) -4,7-diazadecane-1 , 10-diamine, decandioic acid, reaction of bis (2,2,6,6-tetramethyl-1- (octyloxy) -4-piperidinyl) ester with 1,1-dimethylethyl hydroperoxide Bis (1,2,2,6,6-pentamethyl-4-piperidinyl)-[[3,5-bis (1,1-dimethylethyl) -4-hydroxyphenyl] methyl] butyl malonate, 2, 4-bis N-butyl-N- (1-cyclohexyloxy-2,2,6,6-tetramethylpiperidin-4-yl) amino] -6- (2-hydroxyethylamine) -1,3,5-triazine, bis ( 1,2,2,6,6-pentamethyl-4-piperidinyl) sebacate or methyl (1,2,2,6,6-pentamethyl-4-piperidinyl) sebacate.
凝集防止材としては、ポリアクリル酸ナトリウムなどが挙げられる。
また、連鎖移動剤としては、ドデシルメルカプタン、2,4−ジフェニル−4−メチル−1−ペンテンなどが挙げられる。
Examples of the aggregation preventing material include sodium polyacrylate.
Examples of the chain transfer agent include dodecyl mercaptan and 2,4-diphenyl-4-methyl-1-pentene.
本発明の感光性樹脂組成物は、光路長が1cmの石英セルに充填し、分光光度計を使用して、測定波長400〜700nmの条件下で透過率を測定すると、透過率が70%以上であり、好ましくは80%以上である。 The photosensitive resin composition of the present invention is filled in a quartz cell having an optical path length of 1 cm, and when the transmittance is measured under a measurement wavelength of 400 to 700 nm using a spectrophotometer, the transmittance is 70% or more. Preferably, it is 80% or more.
また、本発明の感光性樹脂組成物は、加熱硬化(例えば、100〜250℃、5分〜3時間)後の3μmの厚みの塗膜について、分光光度計を使用して、測定波長400〜700nmの条件下で透過率を測定すると、透過率が90%以上であり、好ましくは95%以上である。これにより、透明性に優れた塗膜を提供することができる。 Moreover, the photosensitive resin composition of this invention uses a spectrophotometer about the coating film of 3 micrometers in thickness after heat-curing (for example, 100-250 degreeC, 5 minutes-3 hours), and is measured wavelength 400-. When the transmittance is measured under the condition of 700 nm, the transmittance is 90% or more, preferably 95% or more. Thereby, the coating film excellent in transparency can be provided.
本発明の感光性樹脂組成物は、例えば以下のようにして、ガラス基板やフィルム基板、カラーフィルタや駆動回路を形成した基材上に塗布し、光硬化及び現像を行って、塗膜やパターンを形成することができる。
まず、この感光性樹脂組成物を基板(通常はガラス)又は先に形成された感光性樹脂組成物の固形分からなる層の上に塗布し、塗布された感光性樹脂組成物層からプリベークすることにより溶剤などの揮発成分を除去して、平滑な未硬化塗膜を得る。このときの未硬化塗膜の厚さは、およそ1〜6μmである。このようにして得られた未硬化塗膜に、目的のパターンを形成するためのマスクを介して、水銀灯や発光ダイオードから発生する紫外線を照射する。
また、パターン形成において、その線幅は、マスクサイズによって、適宜、制御できる。
The photosensitive resin composition of the present invention is applied onto a substrate on which a glass substrate, a film substrate, a color filter or a drive circuit is formed, for example, as described below, and is subjected to photocuring and development to form a coating film or pattern. Can be formed.
First, this photosensitive resin composition is applied onto a substrate (usually glass) or a layer made of a solid content of a previously formed photosensitive resin composition, and prebaked from the applied photosensitive resin composition layer. By removing volatile components such as a solvent, a smooth uncured coating film is obtained. The thickness of the uncured coating film at this time is approximately 1 to 6 μm. The uncured coating film thus obtained is irradiated with ultraviolet rays generated from a mercury lamp or a light emitting diode through a mask for forming a target pattern.
In the pattern formation, the line width can be appropriately controlled depending on the mask size.
近年の露光機では、350nm未満の光を、当該波長域をカットするフィルタを用いてカットしたり、436nm付近、408nm付近、365nm付近の波長の光を、当該波長域を取り出すバンドパスフィルタを用いて選択的に取り出したりして、露光部全体に均一に平行光線が照射される。このときマスクと基板の正確な位置合わせが行われるよう、マスクアライナやステッパなどの装置を使用するのが好ましい。さらにこの後、光照射の終了した塗膜をアルカリ水溶液に接触させて非露光部を溶解させ、現像することにより、目的とする塗膜やパターンが得られる。現像方法は、液盛り法、ディッピング法又はスプレー法などのいずれでもよい。さらに現像時に基板を任意の角度に傾けてもよい。 Recent exposure machines use a band-pass filter that cuts out light of less than 350 nm using a filter that cuts the wavelength range, and extracts light of wavelengths near 436 nm, 408 nm, and 365 nm. Or the like, and the parallel light beam is uniformly irradiated on the entire exposed portion. At this time, it is preferable to use a device such as a mask aligner or a stepper so that the mask and the substrate are accurately aligned. Further, after that, the coating film after the light irradiation is brought into contact with an alkaline aqueous solution to dissolve the non-exposed portion and developed, whereby a desired coating film or pattern is obtained. The developing method may be any of a liquid piling method, a dipping method, a spray method, and the like. Further, the substrate may be tilted at an arbitrary angle during development.
パターニング露光後の現像に使用する現像液は、通常、アルカリ性化合物と界面活性剤を含む水溶液である。 The developer used for development after patterning exposure is usually an aqueous solution containing an alkaline compound and a surfactant.
アルカリ性化合物は、無機又は有機のアルカリ性化合物のいずれでもよい。
無機アルカリ性化合物の具体例としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、燐酸水素二ナトリウム、燐酸二水素ナトリウム、燐酸水素二アンモニウム、燐酸二水素アンモニウム、燐酸二水素カリウム、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、ホウ酸ナトリウム、ホウ酸カリウム又はアンモニアなどが挙げられる。
また、有機アルカリ性化合物の具体例としては、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、2−ヒドロキシエチルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、モノメチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミン、モノエチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、モノイソプロピルアミン、ジイソプロピルアミン又はエタノールアミンなどが挙げられる。これらの無機及び有機アルカリ性化合物は、それぞれ単独で又は2種以上組み合わせて用いることができる。アルカリ現像液中のアルカリ性化合物の濃度は、好ましくは0.01〜10質量%であり、より好ましくは0.03〜5質量%である。
The alkaline compound may be either an inorganic or organic alkaline compound.
Specific examples of the inorganic alkaline compound include sodium hydroxide, potassium hydroxide, disodium hydrogen phosphate, sodium dihydrogen phosphate, diammonium hydrogen phosphate, ammonium dihydrogen phosphate, potassium dihydrogen phosphate, sodium silicate, potassium silicate, Examples thereof include sodium carbonate, potassium carbonate, sodium hydrogen carbonate, potassium hydrogen carbonate, sodium borate, potassium borate or ammonia.
Specific examples of the organic alkaline compound include tetramethylammonium hydroxide, 2-hydroxyethyltrimethylammonium hydroxide, monomethylamine, dimethylamine, trimethylamine, monoethylamine, diethylamine, triethylamine, monoisopropylamine, diisopropylamine or ethanolamine. Etc. These inorganic and organic alkaline compounds can be used alone or in combination of two or more. The concentration of the alkaline compound in the alkaline developer is preferably 0.01 to 10% by mass, more preferably 0.03 to 5% by mass.
また、アルカリ現像液中の界面活性剤は、ノニオン系界面活性剤又はアニオン系界面活性剤又はカチオン系界面活性剤のいずれでもよい。
ノニオン系界面活性剤の具体例としては、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアリールエーテル、ポリオキシエチレンアルキルアリールエーテル、その他のポリオキシエチレン誘導体、オキシエチレン/オキシプロピレンブロックコポリマー、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビトール脂肪酸エステル、グリセリン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミンなどが挙げられる。
アニオン系界面活性剤の具体例としては、ラウリルアルコール硫酸エステルナトリウムやオレイルアルコール硫酸エステルナトリウムなどの高級アルコール硫酸エステル塩類、ラウリル硫酸ナトリウムやラウリル硫酸アンモニウムなどのアルキル硫酸塩類、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウムやドデシルナフタレンスルホン酸ナトリウムなどのアルキルアリールスルホン酸塩類などが挙げられる。
カチオン系界面活性剤の具体例としては、ステアリルアミン塩酸塩やラウリルトリメチルアンモニウムクロライドなどのアミン塩又は第四級アンモニウム塩などが挙げられる。
これらの界面活性剤は、それぞれ単独で用いることも、また2種以上組み合わせて用いることもできる。
アルカリ現像液中の界面活性剤の濃度は、好ましくは0.01〜10質量%の範囲、より好ましくは0.05〜8質量%、より好ましくは0.1〜5質量%である。
Further, the surfactant in the alkali developer may be any of a nonionic surfactant, an anionic surfactant, or a cationic surfactant.
Specific examples of nonionic surfactants include polyoxyethylene alkyl ether, polyoxyethylene aryl ether, polyoxyethylene alkyl aryl ether, other polyoxyethylene derivatives, oxyethylene / oxypropylene block copolymers, sorbitan fatty acid esters, polyoxyethylene Examples thereof include oxyethylene sorbitan fatty acid ester, polyoxyethylene sorbitol fatty acid ester, glycerin fatty acid ester, polyoxyethylene fatty acid ester, and polyoxyethylene alkylamine.
Specific examples of anionic surfactants include higher alcohol sulfates such as sodium lauryl alcohol sulfate and sodium oleyl alcohol sulfate, alkyl sulfates such as sodium lauryl sulfate and ammonium lauryl sulfate, sodium dodecylbenzenesulfonate and dodecylnaphthalene. And alkylaryl sulfonates such as sodium sulfonate.
Specific examples of the cationic surfactant include amine salts such as stearylamine hydrochloride and lauryltrimethylammonium chloride, or quaternary ammonium salts.
These surfactants can be used alone or in combination of two or more.
The concentration of the surfactant in the alkali developer is preferably in the range of 0.01 to 10% by mass, more preferably 0.05 to 8% by mass, and more preferably 0.1 to 5% by mass.
現像後、水洗を行い、さらに必要に応じて、150〜230℃で10〜180分のポストベークを施すこともできる。 After development, it is washed with water, and if necessary, post-baking can be performed at 150 to 230 ° C. for 10 to 180 minutes.
本発明の感光性樹脂組成物を用いて、以上のような各工程を経て、基板上あるいはカラーフィルタ基板上に、塗膜又はパターンを形成することができる。この塗膜又はパターンは、液晶表示装置に使用されるフォトスペーサやパターニング可能なオーバーコートとして有用である。また、未硬化塗膜へのパターニング露光の際に、ホール形成用フォトマスクを使用すれば、ホールを形成することができ、層間絶縁膜として有用である。さらに、未硬化塗膜への露光の際に、フォトマスクを使用せず全面露光及び加熱硬化、あるいは加熱硬化のみで透明膜を形成することができ、この透明膜は、オーバーコートとして有用であり、また、タッチパネルにも用いることができる。 By using the photosensitive resin composition of the present invention, a coating film or a pattern can be formed on the substrate or the color filter substrate through the above steps. This coating film or pattern is useful as a photo spacer used in a liquid crystal display device or a patternable overcoat. In addition, if a photomask for hole formation is used during patterning exposure to an uncured coating film, holes can be formed, which is useful as an interlayer insulating film. Furthermore, when exposing an uncured coating film, a transparent film can be formed only by exposure and heat curing, or only by heat curing, without using a photomask, and this transparent film is useful as an overcoat. It can also be used for touch panels.
こうして得られる塗膜やパターンを、液晶表示装置などの表示装置に組み込むことにより、優れた品質の表示装置を高い歩留りで製造することができる。 By incorporating the coating film or pattern thus obtained in a display device such as a liquid crystal display device, an excellent quality display device can be manufactured with a high yield.
以下、本発明を実施例によってより詳細に説明するが、本発明がこれらの実施例によって限定されるものではないことは言うまでもない。例中、含有量ないし使用量を表す%及び部は、特に断らないかぎり質量基準である。 EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention in detail, it cannot be overemphasized that this invention is not limited by these Examples. In the examples, “%” and “part” representing the content or amount used are based on mass unless otherwise specified.
〔合成例1〕
還流冷却器、滴下ロート及び攪拌機を備えた1Lのフラスコ内に窒素を0.02L/分で流して窒素雰囲気とし、3−メトキシブチルアセテート305質量部を入れ、撹拌しながら70℃まで加熱した。次いで、メタクリル酸60質量部、3,4−エポキシトリシクロ[5.2.1.02.6]デシルアクリレート(式(I−1)で表される化合物及び式(II−1)で表される化合物を、モル比で、50:50で混合。)240質量部及び、3−メトキシブチルアセテート140質量部に溶解して溶液を調製し、該溶解液を、滴下ロートを用いて4時間かけて、70℃に保温したフラスコ内に滴下した。一方、重合開始剤2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)45質量部を3−メトキシブチルアセテート225質量部に溶解した溶液を、別の滴下ロートを用いて4時間かけてフラスコ内に滴下した。重合開始剤の溶液の滴下が終了した後、4時間、70℃に保持し、その後室温まで冷却して、固形分32.3質量%、酸価35.6mg−KOH/gの共重合体の樹脂溶液を得た。得られた樹脂Aaの重量平均分子量Mwは、9.1×103、分子量分布(Mw/Mn)は2.02であった。
[Synthesis Example 1]
Nitrogen was flowed at a rate of 0.02 L / min into a 1 L flask equipped with a reflux condenser, a dropping funnel, and a stirrer to form a nitrogen atmosphere. Subsequently, 60 parts by mass of methacrylic acid, 3,4-epoxytricyclo [5.2.1.0 2.6 ] decyl acrylate (a compound represented by the formula (I-1) and a formula (II-1) The compound to be mixed is mixed at a molar ratio of 50:50.) A solution is prepared by dissolving in 240 parts by mass and 140 parts by mass of 3-methoxybutyl acetate, and the solution is added using a dropping funnel for 4 hours. And dropped in a flask kept at 70 ° C. On the other hand, a solution obtained by dissolving 45 parts by mass of polymerization initiator 2,2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) in 225 parts by mass of 3-methoxybutyl acetate was added to a flask over another 4 hours using another dropping funnel. It was dripped in. After completion of the dropwise addition of the polymerization initiator solution, the solution was kept at 70 ° C. for 4 hours, and then cooled to room temperature, and the copolymer having a solid content of 32.3 mass% and an acid value of 35.6 mg-KOH / g A resin solution was obtained. The obtained resin Aa had a weight average molecular weight Mw of 9.1 × 10 3 and a molecular weight distribution (Mw / Mn) of 2.02.
〔合成例2〕
撹拌機、温度計、還流冷却管、滴下ロート及び窒素導入管を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート402質量部を導入し、フラスコ内雰囲気を空気から窒素にした後、100℃に昇温後、スチレン31質量部、グリシジルメタクリレート86質量部、トリシクロデカン骨格のモノメタクリレート(日立化成(株)製FA−513M)67質量部及び、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート198質量部からなる混合物にアゾビスイソブチロニトリル4.1質量部を添加した溶液を滴下ロートから2時間かけてフラスコに滴下し、さらに100℃で5時間撹拌し続けた。次に、フラスコ内雰囲気を窒素から空気にし、メタクリル酸52質量部、(本反応に用いたグリシジルメタクリレートのグリシジル基に対して100モル%)]、トリスジメチルアミノメチルフェノール1.1質量部及びハイドロキノン0.2質量部をフラスコ内に投入し、110℃で6時間反応を続け固形分酸価が1mgKOH/gとなったところで反応を終了した。次に、テトラヒドロフタル無水フタル酸64質量部、トリエチルアミ1.0質量部を加え、120℃で3.5時間反応させ固形分33.0質量%、固形分酸価91mgKOH/gの樹脂Abを得た。GPCにより測定したポリスチレン換算の重量平均分子量は1.8×104で、分子量分布(Mw/Mn)は2.2であった。
[Synthesis Example 2]
After introducing 402 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether acetate into a flask equipped with a stirrer, a thermometer, a reflux condenser, a dropping funnel and a nitrogen introduction tube, the atmosphere in the flask was changed from air to nitrogen, the temperature was raised to 100 ° C. Thereafter, azobis was added to a mixture of 31 parts by mass of styrene, 86 parts by mass of glycidyl methacrylate, 67 parts by mass of monomethacrylate having a tricyclodecane skeleton (FA-513M manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) and 198 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether acetate. A solution to which 4.1 parts by mass of isobutyronitrile was added was dropped into the flask from the dropping funnel over 2 hours, and stirring was further continued at 100 ° C. for 5 hours. Next, the atmosphere in the flask was changed from nitrogen to air, and 52 parts by mass of methacrylic acid (100 mol% with respect to the glycidyl group of glycidyl methacrylate used in this reaction)], 1.1 parts by mass of trisdimethylaminomethylphenol and hydroquinone 0.2 parts by mass was charged into the flask, and the reaction was continued at 110 ° C. for 6 hours. When the solid content acid value reached 1 mgKOH / g, the reaction was terminated. Next, 64 parts by mass of tetrahydrophthalic anhydride and 1.0 part by mass of triethylamino were added and reacted at 120 ° C. for 3.5 hours to obtain a resin Ab having a solid content of 33.0% by mass and a solid content acid value of 91 mgKOH / g. Obtained. The weight average molecular weight in terms of polystyrene measured by GPC was 1.8 × 10 4 and the molecular weight distribution (Mw / Mn) was 2.2.
(分子量の測定)
樹脂Aa及びAbの重量平均分子量(Mw)及び数平均分子量(Mn)の測定については、GPC法を用いて、以下の条件で行なった。
装置;K2479((株)島津製作所製)
カラム;SHIMADZU Shim−pack GPC−80M
カラム温度;40℃
溶媒;THF(テトラヒドロフラン)
流速;1.0mL/min
検出器;RI
前記で得られたポリスチレン換算の重量平均分子量及び数平均分子量の比を分子量分布(Mw/Mn)とした。
(Measurement of molecular weight)
The weight average molecular weight (Mw) and the number average molecular weight (Mn) of the resins Aa and Ab were measured using the GPC method under the following conditions.
Apparatus; K2479 (manufactured by Shimadzu Corporation)
Column; SHIMADZU Shim-pack GPC-80M
Column temperature: 40 ° C
Solvent; THF (tetrahydrofuran)
Flow rate: 1.0 mL / min
Detector; RI
The ratio of the weight average molecular weight and number average molecular weight obtained in the above-mentioned manner was defined as the molecular weight distribution (Mw / Mn).
〔実施例1〕
合成例1で得られた樹脂Aaを含む樹脂溶液(A)155部(固形分換算50部)、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(B)50部、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタン−1−オン(C)3部、4,4−ジ(N,N−ジメチルアミノ)−ベンゾフェノン(C)1部、ペンタエリスリトールテトラキスチオプロピオネート(C)3部、3−メトキシブチルアセテート(D)40部、3−メトキシ−1−ブタノール(D)36部を混合して感光性樹脂組成物1を得た。
[Example 1]
155 parts of resin solution (A) containing resin Aa obtained in Synthesis Example 1 (50 parts in terms of solid content), 50 parts of dipentaerythritol hexaacrylate (B), 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4 -Morpholinophenyl) -butan-1-one (C) 3 parts, 4,4-di (N, N-dimethylamino) -benzophenone (C) 1 part, pentaerythritol tetrakisthiopropionate (C) 3 parts, A photosensitive resin composition 1 was obtained by mixing 40 parts of 3-methoxybutyl acetate (D) and 36 parts of 3-methoxy-1-butanol (D).
〔実施例2〕
合成例2で得られた樹脂Abを含む樹脂溶液(A)127部(固形分換算50部)、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(B)50部、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタン−1−オン(C)3部、4,4−ジ(N,N−ジメチルアミノ)−ベンゾフェノン(C)1部、ペンタエリスリトールテトラキスチオプロピオネート(C)3部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(D)38部、3−エトキシエチルプロピオネート(D)24部、エポキシ樹脂(ESCN−195XL)5部を混合して感光性樹脂組成物2を得た。
[Example 2]
127 parts of resin solution (A) containing resin Ab obtained in Synthesis Example 2 (50 parts in terms of solid content), 50 parts of dipentaerythritol hexaacrylate (B), 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4 -Morpholinophenyl) -butan-1-one (C) 3 parts, 4,4-di (N, N-dimethylamino) -benzophenone (C) 1 part, pentaerythritol tetrakisthiopropionate (C) 3 parts, A photosensitive resin composition 2 was obtained by mixing 38 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate (D), 24 parts of 3-ethoxyethyl propionate (D), and 5 parts of epoxy resin (ESCN-195XL).
〔比較例1〕
ペンタエリスリトールテトラキスチオプロピオネートを除いた以外は、実施例2と同じ成分を同じ部数混合し、感光性樹脂組成物3を得た。
[Comparative Example 1]
Except for the removal of pentaerythritol tetrakisthiopropionate, the same components as in Example 2 were mixed to give the photosensitive resin composition 3.
前記のように得られた感光性樹脂組成物1〜3について、以下の評価を行った。その結果を表1に示す。 The following evaluation was performed about the photosensitive resin compositions 1-3 obtained as mentioned above. The results are shown in Table 1.
<組成物の平均透過率>
各感光性樹脂組成物について、顕微分光測光装置(OSP−SP200;OLYMPUS社製)を用いて、400〜700nmにおける平均透過率(%)を測定した。
<Average transmittance of composition>
About each photosensitive resin composition, the average transmittance (%) in 400-700 nm was measured using the microspectrophotometer (OSP-SP200; OLYMPUS company make).
<膜の平均透過率>
各感光性樹脂組成物を用いて、硬化後の膜厚が3μmになるように、以下の条件で硬化膜を作製した。
2インチ角のガラス基板(#1737;コーニング社製)を、中性洗剤、水及びアルコールで順次洗浄してから乾燥した。このガラス基板上に、感光性樹脂組成物を、200mJ/cm2の露光量(365nm)で露光し、現像、水洗、ポストベーク後の膜厚が3.0μmになるようにスピンコートし、次にクリーンオーブン中、90℃で3分間プリベークした。
得られた各硬化膜について、顕微分光測光装置(OSP−SP200;OLYMPUS社製)を用いて、400〜700nmにおける平均透過率(%)を測定した。
透過率が高くなることは、吸収が小さくなることを意味する。
<Membrane average transmittance>
Using each photosensitive resin composition, a cured film was produced under the following conditions so that the film thickness after curing was 3 μm.
A 2-inch square glass substrate (# 1737; manufactured by Corning) was sequentially washed with a neutral detergent, water and alcohol and then dried. On this glass substrate, the photosensitive resin composition is exposed at an exposure amount (365 nm) of 200 mJ / cm 2 , spin-coated so that the film thickness after development, water washing, and post-baking becomes 3.0 μm. And prebaked at 90 ° C. for 3 minutes in a clean oven.
About each obtained cured film, the average transmittance | permeability (%) in 400-700 nm was measured using the microspectrophotometer (OSP-SP200; product made by OLYMPUS).
Higher transmittance means less absorption.
<残膜感度>
2インチ角のガラス基板(#1737;コーニング社製)を、中性洗剤、水及びアルコールで順次洗浄してから乾燥した。このガラス基板上に、感光性樹脂組成物を、200mJ/cm2の露光量(365nm)で露光し、現像、水洗、ポストベーク後の膜厚が3.0μmになるようにスピンコートし、次にクリーンオーブン中、90℃で3分間プリベークした。冷却後、この感光性樹脂組成物を塗布した基板と石英ガラス製フォトマスクとの間隔を100μmとし、露光機(TME−150RSK;トプコン(株)製、光源;超高圧水銀灯)を用いて、大気雰囲気下、80mJ/cm2及び200mJ/cm2の露光量(365nm基準)で光照射した。なお、このときの感光性樹脂組成物への照射は、超高圧水銀灯からの放射光を、光学フィルタ(UV−35;旭テクノグラス(株)製)を通過させ使用した。また、フォトマスクとして、パターン(1辺が10μmである正方形の透光部を有し、当該正方形の間隔が100μm)が同一平面上に形成されたフォトマスクを用いた。
光照射後、非イオン系界面活性剤0.12%と水酸化カリウム0.04%を含む水系現像液に前記塗膜を23℃で80秒間浸漬して現像し、水洗後、オーブン中、220℃で20分間ポストベークを行った。
それぞれのポストベーク後のパターン高さを、三次元非接触表面形状計測システム(Micromap MM527N−PS−M100;(株)菱化システム社製)で計測した。次式により残膜感度を算出した。結果を表1に記載する。
残膜感度(%)の数値が大きいほど、パターン高さの露光量依存性が小さく、プロセスマージンが広いので、良好である。
<Residual film sensitivity>
A 2-inch square glass substrate (# 1737; manufactured by Corning) was sequentially washed with a neutral detergent, water and alcohol and then dried. On this glass substrate, the photosensitive resin composition is exposed at an exposure amount (365 nm) of 200 mJ / cm 2 , spin-coated so that the film thickness after development, water washing, and post-baking becomes 3.0 μm. And prebaked at 90 ° C. for 3 minutes in a clean oven. After cooling, the distance between the substrate coated with the photosensitive resin composition and the quartz glass photomask is set to 100 μm, and the exposure apparatus (TME-150RSK; manufactured by Topcon Corporation, light source: ultrahigh pressure mercury lamp) is used to form the atmosphere. In the atmosphere, light irradiation was performed at an exposure amount (based on 365 nm) of 80 mJ / cm 2 and 200 mJ / cm 2 . In addition, the irradiation to the photosensitive resin composition at this time used the radiated light from an ultrahigh pressure mercury lamp through the optical filter (UV-35; Asahi Techno Glass Co., Ltd.). In addition, a photomask having a pattern (having a square light-transmitting portion with one side of 10 μm and a space between the squares of 100 μm) formed on the same plane was used as the photomask.
After light irradiation, the coating film was immersed in an aqueous developer containing 0.12% nonionic surfactant and 0.04% potassium hydroxide at 23 ° C. for 80 seconds, developed, washed with water, Post-baking was carried out at 20 ° C. for 20 minutes.
The pattern height after each post-baking was measured with a three-dimensional non-contact surface shape measurement system (Micromap MM527N-PS-M100; manufactured by Ryoka Systems Inc.). Residual film sensitivity was calculated by the following equation. The results are listed in Table 1.
The larger the value of the remaining film sensitivity (%), the better the dependency of the pattern height on the exposure amount and the wider the process margin.
表1に示す実施例1及び2の結果から、特定の光重合開始剤を使用すると、感光性樹脂組成物の感度を向上させることができることがわかる。一方、比較例1では、感光性樹脂組成物の感度は十分ではなかった。 From the results of Examples 1 and 2 shown in Table 1, it can be seen that the sensitivity of the photosensitive resin composition can be improved by using a specific photopolymerization initiator. On the other hand, in Comparative Example 1, the sensitivity of the photosensitive resin composition was not sufficient.
本発明の感光性樹脂組成物は、高感度で、高い透過率の塗膜又はパターンを形成することが可能である。したがって、オーバーコート、フォトスペーサ、絶縁膜、液晶配向制御用突起、着色パターンの膜厚をあわせるためのコート層など、表示装置に用いられる塗膜やパターンの形成に好適に用いることができる。 The photosensitive resin composition of the present invention can form a coating film or pattern with high sensitivity and high transmittance. Therefore, it can be suitably used for forming a coating film or a pattern used in a display device such as an overcoat, a photo spacer, an insulating film, a protrusion for controlling liquid crystal alignment, and a coating layer for adjusting the film thickness of a colored pattern.
Claims (13)
光重合開始剤(C)が、アセトフェノン骨格を含有する化合物(C1)と、少なくとも2個のチオール基を有する化合物(C2)とを含んでなる光重合開始剤である、感光性樹脂組成物。 Contains binder resin (A), photopolymerizable compound (B), photopolymerization initiator (C) and solvent (D),
A photosensitive resin composition, wherein the photopolymerization initiator (C) is a photopolymerization initiator comprising a compound (C1) containing an acetophenone skeleton and a compound (C2) having at least two thiol groups.
[式(I)及び式(II)中、R1及びR2は、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数1〜4のアルキル基を表す。該アルキル基に含まれる水素原子は、水酸基で置換されていてもよい。
X1及びX2は、それぞれ独立に、単結合又はヘテロ原子を含んでもよい炭素数1〜6のアルキレン基を表す。] 6. The monomer having an aliphatic polycyclic epoxy group is at least one compound selected from the group consisting of a compound represented by formula (I) and a compound represented by formula (II). The photosensitive resin composition as described in 2.
[In Formula (I) and Formula (II), R 1 and R 2 each independently represent a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms. The hydrogen atom contained in the alkyl group may be substituted with a hydroxyl group.
X 1 and X 2 each independently represent a C 1-6 alkylene group that may contain a single bond or a hetero atom. ]
[式(I’)及び式(II’)中、R1’及びR2’は、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数1〜4のアルキル基を表す。該アルキル基に含まれる水素原子は、水酸基で置換されていてもよい。] At least one compound selected from the group consisting of a compound represented by formula (I) and a compound represented by formula (II) is represented by a compound represented by formula (I ′) and formula (II ′). The photosensitive resin composition of Claim 6 or 7 which is at least 1 sort (s) of compound chosen from the group which consists of a compound made.
[In Formula (I ′) and Formula (II ′), R 1 ′ and R 2 ′ each independently represent a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms. The hydrogen atom contained in the alkyl group may be substituted with a hydroxyl group. ]
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