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JP4586922B2 - Photosensitive resin composition and photosensitive element using the same - Google Patents

Photosensitive resin composition and photosensitive element using the same Download PDF

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JP4586922B2 JP2008540953A JP2008540953A JP4586922B2 JP 4586922 B2 JP4586922 B2 JP 4586922B2 JP 2008540953 A JP2008540953 A JP 2008540953A JP 2008540953 A JP2008540953 A JP 2008540953A JP 4586922 B2 JP4586922 B2 JP 4586922B2
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Description

本発明は、感光性樹脂組成物及びそれを用いた感光性エレメントに関する。   The present invention relates to a photosensitive resin composition and a photosensitive element using the same.

プリント配線板の製造業界では、従来から、プリント配線板上にソルダーレジストを形成することが行われている。このソルダーレジストは、実装部品をプリント配線板に接合するためのはんだ付け工程において、プリント配線板の導体層の不要な部分にはんだが付着することを防ぐ役割を有している他、実装部品接合後のプリント配線板の使用時においては導体層の腐食を防止したり導体層間の電気絶縁性を保持したりする永久マスクとしての役割も有している。   In the printed wiring board manufacturing industry, conventionally, a solder resist is formed on a printed wiring board. This solder resist has a role to prevent solder from adhering to unnecessary portions of the conductor layer of the printed wiring board in the soldering process for bonding the mounted part to the printed wiring board. When the printed wiring board is used later, it also serves as a permanent mask for preventing corrosion of the conductor layer and maintaining electrical insulation between the conductor layers.

ソルダーレジストの形成方法としては、例えば、プリント配線板の導体層上に熱硬化性樹脂をスクリーン印刷する方法が知られている。しかし、このような方法ではレジストパターンの高解像度化に限界があるため、近年のプリント配線板の高密度化に対応させることが困難になってきている。   As a method for forming a solder resist, for example, a method of screen printing a thermosetting resin on a conductor layer of a printed wiring board is known. However, since such a method has a limit in increasing the resolution of the resist pattern, it has become difficult to cope with the recent increase in the density of printed wiring boards.

そこで、レジストパターンの高解像度化を達成するために、フォトレジスト法が盛んに用いられるようになってきている。このフォトレジスト法は、基板上に感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂組成物層を形成し、この感光性樹脂組成物層を所定パターンの露光により硬化させ、未露光部分を現像により除去して所定パターンの硬化膜を形成するものである。   Therefore, in order to achieve high resolution of the resist pattern, the photoresist method has been actively used. In this photoresist method, a photosensitive resin composition layer made of a photosensitive resin composition is formed on a substrate, the photosensitive resin composition layer is cured by exposure of a predetermined pattern, and unexposed portions are removed by development. Thus, a cured film having a predetermined pattern is formed.

また、かかる方法に使用される感光性樹脂組成物は、作業環境保全、地球環境保全の点から、炭酸ナトリウム水溶液等の希アルカリ水溶液で現像可能なアルカリ現像型のものが主流になってきている。   In addition, the photosensitive resin composition used in such a method is mainly an alkali development type that can be developed with a dilute aqueous alkali solution such as an aqueous sodium carbonate solution from the viewpoint of conservation of the working environment and global environment. .

このような感光性樹脂組成物としては、例えば、下記特許文献1に記載の液状レジストインキ組成物や、下記特許文献2に記載の感光性熱硬化性樹脂組成物等が知られている。
特開昭61−243869号公報 特開平01−141904号公報
As such a photosensitive resin composition, for example, a liquid resist ink composition described in Patent Document 1 below and a photosensitive thermosetting resin composition described in Patent Document 2 below are known.
JP-A 61-243869 Japanese Patent Laid-Open No. 01-141904

ところで、近年、各種工業製品の火災に対する難燃化の規制が厳しくなっており、プリント配線板等に使用される材料も例外ではない。難燃化の方法としては、材料中にハロゲン系化合物、アンチモン系化合物、リン系化合物、ホウ素系化合物、無機充填剤等を添加する方法が一般的に知られている。   By the way, in recent years, regulations on flame retardancy of various industrial products against fire have become stricter, and materials used for printed wiring boards and the like are no exception. As a flame retardant method, a method of adding a halogen compound, an antimony compound, a phosphorus compound, a boron compound, an inorganic filler or the like to a material is generally known.

しかし、最近では、環境問題、人体に対する安全性問題への関心の高まりと共に、非公害性、低有毒性、安全性へと重点が移り、単に燃えにくいだけでなく、有害ガス及び発煙性物質の低減が要望されつつある。これを受けて、ハロゲン系化合物やアンチモン系化合物を使用しない難燃基板が既に開発・実用化され始めている。   However, recently, with increasing interest in environmental issues and human safety issues, the focus has shifted to non-polluting, low toxic and safety, not only flammable but also harmful gases and fuming substances. Reduction is being demanded. In response, flame retardant substrates that do not use halogen compounds or antimony compounds have already been developed and put into practical use.

しかしながら、上記のような難燃基板上に、上記特許文献1及び2に記載されているような従来の感光性樹脂組成物を用いて硬化膜を形成すると、十分な難燃性(望ましくは、UL94 VTM−0レベル)を確保することができなくなってしまうことが本発明者らの検討により判明している。   However, when a cured film is formed on a flame retardant substrate as described above using a conventional photosensitive resin composition as described in Patent Documents 1 and 2, sufficient flame retardancy (preferably, (UL94 VTM-0 level) cannot be ensured by examination by the present inventors.

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、優れたアルカリ現像性を有するとともに、難燃性に優れた硬化膜を形成可能な感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。また、本発明は、このような感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂組成物層を備える感光性エレメントを提供することを目的とする。   This invention is made | formed in view of the said situation, and it aims at providing the photosensitive resin composition which can form the cured film excellent in the flame retardance while having the outstanding alkali developability. Moreover, an object of this invention is to provide the photosensitive element provided with the photosensitive resin composition layer which consists of such a photosensitive resin composition.

本発明者らは、上記目的を達成すべく鋭意研究を重ねた結果、特定の構造を有する樹脂と、リン含有化合物とを感光性樹脂組成物に含有させることで上記目的を達成できることを見出し、本発明を完成するに至った。   As a result of intensive studies to achieve the above object, the present inventors have found that the above object can be achieved by including a resin having a specific structure and a phosphorus-containing compound in a photosensitive resin composition. The present invention has been completed.

すなわち、本発明は、(A)ビフェニル骨格を有するノボラック型酸変性ビニル基含有エポキシ樹脂と、(B)リン含有化合物と、(C)分子内に少なくとも一つのエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物と、(D)光重合開始剤と、を含有し、上記(B)リン含有化合物が、下記一般式(2)で表されるホスフィン酸塩を含む、感光性樹脂組成物を提供する。 That is, the present invention provides (A) a novolak-type acid-modified vinyl group-containing epoxy resin having a biphenyl skeleton, (B) a phosphorus-containing compound, and (C) a photopolymerization having at least one ethylenically unsaturated group in the molecule. A photosensitive resin composition containing a phosphinic acid salt represented by the following general formula (2), wherein the (B) phosphorus-containing compound comprises: .

かかる感光性樹脂組成物によれば、上記構成を有することにより、優れたアルカリ現像性を有するとともに、その硬化膜は優れた難燃性を得ることができる。そのため、上記感光性樹脂組成物は、難燃性が要求されるプリント配線板等の製造に好適に用いることができる。   According to this photosensitive resin composition, by having the said structure, while having the outstanding alkali developability, the cured film can obtain the outstanding flame retardance. Therefore, the said photosensitive resin composition can be used suitably for manufacture of the printed wiring board etc. in which a flame retardance is requested | required.

また、本発明の感光性樹脂組成物において、上記(A)エポキシ樹脂は、(a)下記一般式(1)で表されるエポキシ樹脂と、(b)不飽和基含有モノカルボン酸と、(c)多塩基性カルボン酸無水物との反応生成物である酸変性ビニル基含有エポキシ樹脂を含むことが好ましい。

Figure 0004586922

[式(1)中、R及びRは各々独立に、水素原子、炭素数1〜8のアルキル基、又は、アリール基を示し、nは0〜50の整数を示す。なお、式(1)中、複数存在するR及びRはそれぞれ同一でも異なっていてもよい。]In the photosensitive resin composition of the present invention, the (A) epoxy resin includes (a) an epoxy resin represented by the following general formula (1), (b) an unsaturated group-containing monocarboxylic acid, ( c) It preferably contains an acid-modified vinyl group-containing epoxy resin which is a reaction product with a polybasic carboxylic acid anhydride.
Figure 0004586922

[In Formula (1), R 1 and R 2 each independently represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, or an aryl group, and n represents an integer of 0 to 50. In formula (1), a plurality of R 1 and R 2 may be the same or different. ]

(A)エポキシ樹脂として上記特定の酸変性ビニル基含有エポキシ樹脂を含むことにより、感光性樹脂組成物は、優れたアルカリ現像性が得られるとともに、より優れた難燃性を有する硬化膜を形成可能となる。   (A) By including the above-mentioned specific acid-modified vinyl group-containing epoxy resin as an epoxy resin, the photosensitive resin composition provides excellent alkali developability and forms a cured film having more excellent flame retardancy. It becomes possible.

また、本発明の感光性樹脂組成物は、更に(E)熱硬化剤を含有することが好ましい。感光性樹脂組成物が(E)熱硬化剤を含有することにより、感光性樹脂組成物を光硬化させた後、更に熱硬化させることで、得られる硬化膜の絶縁信頼性をより向上させることができる。   Moreover, it is preferable that the photosensitive resin composition of this invention contains (E) thermosetting agent further. When the photosensitive resin composition contains (E) a thermosetting agent, the photosensitive resin composition is photocured and then further thermoset to further improve the insulation reliability of the resulting cured film. Can do.

また、本発明の感光性樹脂組成物において、上記(B)リン含有化合物は、下記一般式(2)で表されるホスフィン酸塩を含む。

Figure 0004586922
[式(2)中、A及びBは各々独立に、直鎖状又は分枝状の炭素数1〜6のアルキル基、又は、アリール基を示し、MはMg、Ca、Al、Sb、Sn、Ge、Ti、Zn、Fe、Zr、Ce、Bi、Sr、Mn、Li、Na及びKからなる群より選択される少なくとも一種の金属を示し、mは1〜4の整数を示す。] Further, in the photosensitive resin composition of the present invention, the (B) phosphorus-containing compound, including a phosphinic acid salt represented by the following general formula (2).
Figure 0004586922
[In Formula (2), A and B each independently represent a linear or branched alkyl group having 1 to 6 carbon atoms or an aryl group, and M represents Mg, Ca, Al, Sb, Sn. , Ge, Ti, Zn, Fe, Zr, Ce, Bi, Sr, Mn, Li, Na, and K. m represents an integer of 1 to 4. ]

感光性樹脂組成物が上記一般式(2)で表されるホスフィン酸塩を含むことにより、得られる硬化膜の難燃性をより向上させることができる。   When the photosensitive resin composition contains the phosphinic acid salt represented by the general formula (2), the flame retardancy of the obtained cured film can be further improved.

また、本発明の感光性樹脂組成物において、上記(B)リン含有化合物は、リン酸エステルを含むことが好ましい。感光性樹脂組成物がリン酸エステルを含むことにより、得られる硬化膜の難燃性及び可撓性をより向上させることができる。なお、本発明の感光性樹脂組成物は、(B)リン含有化合物として、上記一般式(2)で表されるホスフィン酸塩と、上記リン酸エステルとの双方を含有することが好ましく、それにより、得られる硬化膜の難燃性と可撓性との双方を特に優れたものとすることができる。   Moreover, the photosensitive resin composition of this invention WHEREIN: It is preferable that the said (B) phosphorus containing compound contains phosphate ester. When the photosensitive resin composition contains a phosphate ester, the flame retardancy and flexibility of the obtained cured film can be further improved. In addition, it is preferable that the photosensitive resin composition of this invention contains both the phosphinate represented by the said General formula (2) and the said phosphate ester as (B) phosphorus containing compound, Thus, both the flame retardancy and flexibility of the obtained cured film can be made particularly excellent.

また、本発明の感光性樹脂組成物において、上記(B)リン含有化合物は、フェノキシフォスファゼン化合物を含むことが好ましい。感光性樹脂組成物がフェノキシフォスファゼン化合物を含むことにより、得られる硬化膜の難燃性及び可撓性をより向上させることができるとともに、ブリードアウト性(感光性樹脂組成物のにじみ出し)をより良好なものとすることができる。なお、本発明の感光性樹脂組成物は、(B)リン含有化合物として、上記一般式(2)で表されるホスフィン酸塩と、上記フェノキシフォスファゼン化合物との双方を含有することが好ましく、それにより、得られる硬化膜の難燃性、可撓性及びブリードアウト性を特に優れたものとすることができる。   In the photosensitive resin composition of the present invention, the phosphorus-containing compound (B) preferably contains a phenoxyphosphazene compound. By including the phenoxyphosphazene compound in the photosensitive resin composition, the flame retardancy and flexibility of the resulting cured film can be further improved and bleeding out (bleeding out of the photosensitive resin composition) Can be made better. In addition, it is preferable that the photosensitive resin composition of this invention contains both the phosphinic acid salt represented by the said General formula (2), and the said phenoxyphosphazene compound as (B) phosphorus containing compound. Thereby, the flame retardancy, flexibility and bleed-out property of the cured film obtained can be made particularly excellent.

更に、本発明の感光性樹脂組成物は、フレキシブル基板上に永久マスクとなる硬化膜を形成するためのものであることが好ましい。   Furthermore, the photosensitive resin composition of the present invention is preferably for forming a cured film serving as a permanent mask on a flexible substrate.

本発明はまた、支持体と、該支持体上に形成された上記本発明の感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂組成物層と、を備える感光性エレメントを提供する。かかる感光性エレメントによれば、上記感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂組成物層を備えることにより、優れたアルカリ現像性が得られるとともに、優れた難燃性を有する硬化膜を形成可能である。   The present invention also provides a photosensitive element comprising a support and a photosensitive resin composition layer comprising the above-described photosensitive resin composition of the present invention formed on the support. According to such a photosensitive element, by providing the photosensitive resin composition layer composed of the photosensitive resin composition, an excellent alkali developability can be obtained, and a cured film having excellent flame retardancy can be formed. is there.

本発明によれば、優れたアルカリ現像性を有するとともに、難燃性に優れた硬化膜を形成可能な感光性樹脂組成物、及び、それを用いた感光性エレメントを提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, while having the outstanding alkali developability, the photosensitive resin composition which can form the cured film excellent in the flame retardance, and the photosensitive element using the same can be provided.

本発明の感光性フィルムの好適な一実施形態を示す模式断面図である。It is a schematic cross section which shows suitable one Embodiment of the photosensitive film of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1…感光性エレメント、10…支持体、14…感光性樹脂組成物層。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Photosensitive element, 10 ... Support body, 14 ... Photosensitive resin composition layer.

以下、場合により図面を参照しつつ本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面中、同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明は省略する。また、本発明における(メタ)アクリル酸とはアクリル酸及びそれに対応するメタクリル酸を意味し、(メタ)アクリレートとはアクリレート及びそれに対応するメタクリレートを意味し、(メタ)アクリロイル基とはアクリロイル基及びそれに対応するメタクリロイル基を意味する。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings as the case may be. In the drawings, the same or corresponding parts are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted. In the present invention, (meth) acrylic acid means acrylic acid and methacrylic acid corresponding thereto, (meth) acrylate means acrylate and corresponding methacrylate, (meth) acryloyl group means acryloyl group and The corresponding methacryloyl group is meant.

(感光性樹脂組成物)
本発明の感光性樹脂組成物は、(A)ビフェニル骨格を有するノボラック型酸変性ビニル基含有エポキシ樹脂(以下、場合により「(A)成分」という)と、(B)リン含有化合物(以下、場合により「(B)成分」という)と、(C)分子内に少なくとも一つのエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物(以下、場合により「(C)成分」という)と、(D)光重合開始剤(以下、場合により「(D)成分」という)と、を含有するものである。また、本発明の感光性樹脂組成物は、更に(E)熱硬化剤(以下、場合により「(E)成分」という)を含有することも好ましい。
(Photosensitive resin composition)
The photosensitive resin composition of the present invention comprises (A) a novolak acid-modified vinyl group-containing epoxy resin having a biphenyl skeleton (hereinafter sometimes referred to as “component (A)”), and (B) a phosphorus-containing compound (hereinafter, referred to as “a”). (Sometimes referred to as “component (B)”), (C) a photopolymerizable compound having at least one ethylenically unsaturated group in the molecule (hereinafter sometimes referred to as “component (C)”), and (D) A photopolymerization initiator (hereinafter referred to as “component (D)” in some cases). The photosensitive resin composition of the present invention preferably further contains (E) a thermosetting agent (hereinafter, sometimes referred to as “component (E)”).

本発明の感光性樹脂組成物は、上記(A)〜(D)成分を含有することにより、希アルカリ水溶液による現像が可能になるとともに、該感光性樹脂組成物を硬化して得られる硬化膜の難燃性を高い水準で満足させることができる。よって、本発明の感光性樹脂組成物によれば、十分な難燃性を有する硬化膜を高解像度で効率よく形成することが可能となる。   When the photosensitive resin composition of the present invention contains the components (A) to (D), development with a dilute alkaline aqueous solution is possible, and a cured film obtained by curing the photosensitive resin composition. The flame retardancy of can be satisfied at a high level. Therefore, according to the photosensitive resin composition of the present invention, a cured film having sufficient flame retardancy can be efficiently formed with high resolution.

また、本発明の感光性樹脂組成物によれば、ハロゲン系化合物やアンチモン系化合物を含まずに硬化膜の難燃性を十分高いものとすることができることから、例えば、プリント配線板の環境負荷や毒性を低減することが可能となる。特に、本発明の感光性樹脂組成物を非ハロゲン系又は非アンチモン系の難燃基板に適用する場合、上記の効果がさらに有効に奏される。   Further, according to the photosensitive resin composition of the present invention, since the flame retardancy of the cured film can be made sufficiently high without containing a halogen compound or an antimony compound, for example, the environmental load of a printed wiring board And toxicity can be reduced. In particular, when the photosensitive resin composition of the present invention is applied to a non-halogen-based or non-antimony-based flame retardant substrate, the above-described effects are more effectively exhibited.

以下、本発明の感光性樹脂組成物に含まれる各成分について説明する。   Hereinafter, each component contained in the photosensitive resin composition of the present invention will be described.

<(A)成分:酸変性ビニル基含有エポキシ樹脂>
(A)成分であるビフェニル骨格を有するノボラック型酸変性ビニル基含有エポキシ樹脂は、好ましくは、(a)下記一般式(1)で表されるエポキシ樹脂と、(b)不飽和基含有モノカルボン酸と、(c)多塩基性カルボン酸無水物との反応生成物として得られるものである。
<(A) component: acid-modified vinyl group-containing epoxy resin>
The novolak acid-modified vinyl group-containing epoxy resin having a biphenyl skeleton as component (A) is preferably (a) an epoxy resin represented by the following general formula (1), and (b) an unsaturated group-containing monocarboxylic acid. It is obtained as a reaction product of an acid and (c) a polybasic carboxylic acid anhydride.

Figure 0004586922

[式(1)中、R及びRは各々独立に、水素原子、炭素数1〜8のアルキル基、又は、アリール基を示し、nは0〜50の整数を示す。なお、式(1)中、複数存在するR及びRはそれぞれ同一でも異なっていてもよい。]
Figure 0004586922

[In Formula (1), R 1 and R 2 each independently represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, or an aryl group, and n represents an integer of 0 to 50. In formula (1), a plurality of R 1 and R 2 may be the same or different. ]

上記一般式(1)のような構造を有する化合物を用いて構成される(A)エポキシ樹脂を感光性樹脂組成物に含有させることにより、アルカリ現像性と難燃性との両立が可能となる。   By incorporating the epoxy resin (A) composed of a compound having a structure such as the general formula (1) into the photosensitive resin composition, both alkali developability and flame retardancy can be achieved. .

(A)成分である酸変性ビニル基含有エポキシ樹脂を構成する(b)不飽和結合含有モノカルボン酸の具体例としては、例えば、アクリル酸、アクリル酸の二量体、メタクリル酸、β−スチリルアクリル酸、β−フルフリルアクリル酸、クロトン酸、α−シアノ桂皮酸、桂皮酸、及び、飽和若しくは不飽和二塩基酸無水物と1分子中に1個の水酸基を有する(メタ)アクリレート誘導体との反応物である半エステル類、又は、飽和若しくは飽和二塩基酸と不飽和基含有モノグリシジル化合物との反応物である半エステル類等が挙げられる。   Specific examples of (b) unsaturated bond-containing monocarboxylic acid constituting the acid-modified vinyl group-containing epoxy resin as component (A) include, for example, acrylic acid, dimer of acrylic acid, methacrylic acid, β-styryl. Acrylic acid, β-furfurylacrylic acid, crotonic acid, α-cyanocinnamic acid, cinnamic acid, and a saturated or unsaturated dibasic acid anhydride and a (meth) acrylate derivative having one hydroxyl group in one molecule; And half-esters that are a reaction product of a saturated or saturated dibasic acid and an unsaturated group-containing monoglycidyl compound.

半エステル類は、例えば、無水コハク酸、無水マレイン酸、無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、無水イタコン酸、メチルエンドメチレンテトラヒドロ無水フタル酸等の飽和若しくは不飽和二塩基酸無水物と、ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、グリセリンジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、フェニルグリシジルエーテルの(メタ)アクリレート等の1分子中に1個の水酸基を有する(メタ)アクリレート誘導体類と、を等モル比で反応させて得られる半エステル類、又は、飽和若しくは不飽和二塩基酸(例えば、コハク酸、マレイン酸、アジピン酸、フタル酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、イタコン酸、フマル酸等)と、不飽和基含有モノグリシジル化合物(例えば、グリシジル(メタ)アクリレート等)と、を等モル比で反応させて得られる半エステルなどである。   Half esters include, for example, succinic anhydride, maleic anhydride, phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, methylhexahydrophthalic anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride, itaconic anhydride, methylendomethylenetetrahydro Saturated or unsaturated dibasic acid anhydrides such as phthalic anhydride, hydroxyethyl (meth) acrylate, hydroxypropyl (meth) acrylate, hydroxybutyl (meth) acrylate, polyethylene glycol mono (meth) acrylate, glycerin di (meth) Acrylate, trimethylolpropane di (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, (meth) acrylic of phenylglycidyl ether Half esters obtained by reacting (meth) acrylate derivatives having one hydroxyl group in one molecule such as a salt with an equimolar ratio, or saturated or unsaturated dibasic acids (for example, succinic acid , Maleic acid, adipic acid, phthalic acid, tetrahydrophthalic acid, hexahydrophthalic acid, itaconic acid, fumaric acid, etc.) and an unsaturated group-containing monoglycidyl compound (for example, glycidyl (meth) acrylate, etc.) A half ester obtained by reacting at a ratio.

これらの(b)モルカノボン酸は1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。特に好ましい(b)モノカルボン酸は、アクリル酸である。   These (b) morphanobonic acids can be used singly or in combination of two or more. Particularly preferred (b) monocarboxylic acid is acrylic acid.

(A)成分である酸変性ビニル基含有エポキシ樹脂を構成する(c)多塩基性カルボン酸無水物の具体例としては、例えば、無水マレイン酸、無水コハク酸、無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸等が挙げられる。   Specific examples of (c) polybasic carboxylic acid anhydride constituting the acid-modified vinyl group-containing epoxy resin as component (A) include, for example, maleic anhydride, succinic anhydride, phthalic anhydride, and tetrahydrophthalic anhydride. Hexahydrophthalic anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride and the like.

(A)成分の酸価は、60〜150mgKOH/gであることが好ましく、80〜120mgKOH/gであることがより好ましい。酸価が60mgKOH/g未満では、希アルカリ水溶液による現像が困難になる傾向があり、150mgKOH/gを超えると、得られる硬化膜の絶縁信頼性、耐薬品性及びめっき耐性が不十分となる傾向がある。   (A) It is preferable that the acid value of a component is 60-150 mgKOH / g, and it is more preferable that it is 80-120 mgKOH / g. When the acid value is less than 60 mgKOH / g, development with dilute alkali aqueous solution tends to be difficult, and when it exceeds 150 mgKOH / g, the insulation reliability, chemical resistance and plating resistance of the resulting cured film tend to be insufficient. There is.

なお、(A)成分の酸価は、以下の方法により測定することができる。まず、(A)成分としての樹脂溶液約1gを精秤した後、その樹脂溶液にアセトンを30g添加し、樹脂溶液を均一に溶解する。次いで、指示薬であるフェノールフタレインをその溶液に適量添加して、0.1NのKOH水溶液を用いて滴定を行う。そして、滴定結果より次式により酸価を算出する。   In addition, the acid value of (A) component can be measured with the following method. First, after accurately weighing about 1 g of the resin solution as the component (A), 30 g of acetone is added to the resin solution to uniformly dissolve the resin solution. Next, an appropriate amount of phenolphthalein as an indicator is added to the solution, and titration is performed using a 0.1N aqueous KOH solution. Then, the acid value is calculated from the titration result by the following formula.

Figure 0004586922
Figure 0004586922

なお、式中、Aは酸価(mgKOH/g)を示し、Vfはフェノールフタレインの滴定量(mL)を示し、Wpは(A)成分としての樹脂溶液の質量(g)を示し、Iは(A)成分としての樹脂溶液の不揮発分の割合(質量%)を示す。   In the formula, A represents the acid value (mgKOH / g), Vf represents the titration amount (mL) of phenolphthalein, Wp represents the mass (g) of the resin solution as the component (A), and I Indicates the ratio (% by mass) of the non-volatile content of the resin solution as the component (A).

(A)成分の重量平均分子量は、特に制限されるものではないが、フィルム性及び解像度の観点から、1000〜50000であることが好ましく、2000〜30000であることがより好ましく、3000〜15000であることが特に好ましい。   The weight average molecular weight of the component (A) is not particularly limited, but is preferably 1000 to 50000, more preferably 2000 to 30000, and more preferably 3000 to 15000 from the viewpoint of film properties and resolution. It is particularly preferred.

(A)成分であるビフェニル骨格を有するノボラック型酸変性ビニル基含有エポキシ樹脂は、市販品として購入することもでき、例えば、ZCR−1569H、ZCR−1596H、ZCR−1611H、ZCR−1610H(いずれも日本化薬社製、商品名)を用いることもできる。   The (A) component novolak-type acid-modified vinyl group-containing epoxy resin having a biphenyl skeleton can be purchased as a commercial product, for example, ZCR-1569H, ZCR-1596H, ZCR-1611H, ZCR-1610H (all Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name) can also be used.

また、本発明の感光性樹脂組成物は、フェノールノボラック型酸変性ビニル基含有エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型酸変性ビニル基含有エポキシ樹脂、ビスフェノールA型酸変性ビニル基含有エポキシ樹脂、ビスフェノールF型酸変性ビニル基含有エポキシ樹脂等のビフェニル骨格を有するノボラック型酸変性ビニル基含有エポキシ樹脂以外の酸変性ビニル基含有エポキシ樹脂、アクリル樹脂、スチレン系樹脂、エポキシ系樹脂、アミド系樹脂、アミドエポキシ系樹脂、アルキド系樹脂、フェノール系樹脂を加えて用いることができる。これらの中でも、フィルム性を付与する観点からは、アクリル樹脂を用いることが好ましい。   In addition, the photosensitive resin composition of the present invention includes a phenol novolac acid-modified vinyl group-containing epoxy resin, a cresol novolac acid-modified vinyl group-containing epoxy resin, a bisphenol A-type acid-modified vinyl group-containing epoxy resin, and a bisphenol F-type acid-modified. Acid-modified vinyl group-containing epoxy resins other than novolac-type acid-modified vinyl group-containing epoxy resins having a biphenyl skeleton such as vinyl group-containing epoxy resins, acrylic resins, styrene resins, epoxy resins, amide resins, amide epoxy resins, Alkyd resins and phenol resins can be added and used. Among these, it is preferable to use an acrylic resin from the viewpoint of imparting film properties.

上記アクリル樹脂としては、(メタ)アクリル酸及び(メタ)アクリル酸エステルを構成モノマーとして含む樹脂であることが好ましく、(メタ)アクリル酸及び(メタ)アクリル酸エステルを含む構成モノマーをラジカル重合させることにより製造することができる。   The acrylic resin is preferably a resin containing (meth) acrylic acid and (meth) acrylic ester as constituent monomers, and radically polymerizes the constituent monomer containing (meth) acrylic acid and (meth) acrylic ester. Can be manufactured.

上記(メタ)アクリル酸エステルとしては、下記一般式(3)で表される化合物や、この化合物のアルキル基がヒドロキシル基、エポキシ基、ハロゲン等で置換されたものが挙げられる。   Examples of the (meth) acrylic acid ester include compounds represented by the following general formula (3) and those in which the alkyl group of the compound is substituted with a hydroxyl group, an epoxy group, a halogen, or the like.

Figure 0004586922
Figure 0004586922

上記一般式(3)中、R11は水素原子又はメチル基を示し、R12は炭素数1〜12のアルキル基、炭素数5〜10の脂環式炭化水素基又はベンジル基を示す。また、R12で表されるアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基、及びこれらの構造異性体が挙げられる。In the general formula (3), R 11 represents a hydrogen atom or a methyl group, R 12 represents an alkyl group, an alicyclic hydrocarbon group or a benzyl group having 5 to 10 carbon atoms having 1 to 12 carbon atoms. Examples of the alkyl group represented by R 12 include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, a butyl group, a pentyl group, a hexyl group, a heptyl group, an octyl group, a nonyl group, a decyl group, an undecyl group, and a dodecyl group. And structural isomers thereof.

上記(A)成分であるビフェニル骨格を有するノボラック型酸変性ビニル基含有エポキシ樹脂と上記アクリル樹脂とを併用する場合、アクリル樹脂の重量平均分子量は、フィルム性を向上できる観点から、30,000〜300,000であることが好ましく、40,000〜200,000であることがより好ましく、50,000〜150,000であることが特に好ましい。   When the novolac acid-modified vinyl group-containing epoxy resin having a biphenyl skeleton as the component (A) and the acrylic resin are used in combination, the weight average molecular weight of the acrylic resin is from 30,000 to It is preferably 300,000, more preferably 40,000 to 200,000, and particularly preferably 50,000 to 150,000.

<(B)成分:リン含有化合物>
(B)成分であるリン含有化合物は、下記一般式(2)で示されるホスフィン酸塩を含むことが好ましい。
<(B) component: phosphorus-containing compound>
The phosphorus-containing compound as component (B) preferably contains a phosphinic acid salt represented by the following general formula (2).

Figure 0004586922

[式(2)中、A及びBは各々独立に、直鎖状又は分枝状の炭素数1〜6のアルキル基、又は、アリール基を示し、MはMg、Ca、Al、Sb、Sn、Ge、Ti、Zn、Fe、Zr、Ce、Bi、Sr、Mn、Li、Na及びKからなる群より選択される少なくとも一種の金属を示し、mは1〜4の整数を示す。]
Figure 0004586922

[In Formula (2), A and B each independently represent a linear or branched alkyl group having 1 to 6 carbon atoms or an aryl group, and M represents Mg, Ca, Al, Sb, Sn. , Ge, Ti, Zn, Fe, Zr, Ce, Bi, Sr, Mn, Li, Na, and K. m represents an integer of 1 to 4. ]

ここで、式(2)中のA及びBの具体例としては、例えば、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、tert−ブチル基、n−ペンチル基、フェニル基等が挙げられる。   Here, as specific examples of A and B in the formula (2), for example, methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, n-butyl group, tert-butyl group, n-pentyl group, phenyl Groups and the like.

また、上記一般式(2)で表されるホスフィン酸塩の80質量%以上は、感光性樹脂組成物及び感光性エレメントに用いた際の信頼性の見地から、ホスフィン酸塩の粒子の粒度が10μm以下であることが好ましく、5μm以下であることがより好ましく、3μm以下であると特に好ましい。この粒子の粒度が10μmを超えると、感光性樹脂組成物の塗膜外観が悪くなる傾向があり、高解像度のプリント配線板の製造が困難になる傾向がある。   Moreover, 80 mass% or more of the phosphinic acid salt represented by the general formula (2) has a particle size of the phosphinic acid salt particles from the viewpoint of reliability when used in the photosensitive resin composition and the photosensitive element. It is preferably 10 μm or less, more preferably 5 μm or less, and particularly preferably 3 μm or less. When the particle size of the particles exceeds 10 μm, the appearance of the coating film of the photosensitive resin composition tends to be deteriorated, and the production of a high-resolution printed wiring board tends to be difficult.

上記のホスフィン酸塩は、1種を単独で又は2種以上を組み合わせて使用することができる。また、上記ホスフィン酸塩は市販品として購入することもでき、例えば、EXOLIT OP 930、EXOLIT OP 935、EXOLIT OP 940(いずれもクラリアント社製、商品名)を用いることもできる。   Said phosphinic acid salt can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types. Moreover, the said phosphinic acid salt can also be purchased as a commercial item, for example, EXOLIT OP 930, EXOLIT OP 935, EXOLIT OP 940 (all are the brand names made by Clariant) can also be used.

感光性樹脂組成物が(B)成分として上記ホスフィン酸塩を含有することにより、感光性樹脂組成物を硬化して得られる硬化膜がより十分な難燃性を得ることができる。また、上記一般式(2)で表されるホスフィン酸塩は加水分解しにくい構造であり、電気絶縁性を低下させるイオン性不純物の発生を有効に防止することができるため、硬化膜は優れた絶縁信頼性を有することができる。   When the photosensitive resin composition contains the phosphinate as the component (B), a cured film obtained by curing the photosensitive resin composition can obtain more sufficient flame retardancy. In addition, the phosphinate represented by the general formula (2) has a structure that is difficult to hydrolyze, and can effectively prevent the generation of ionic impurities that reduce electrical insulation, so that the cured film is excellent. It can have insulation reliability.

また、(B)成分であるリン含有化合物は、リン酸エステルを含むことも好ましい。リン酸エステルの具体例としては、例えば、トリフェニルホスフェート、トリクレジルホスフェート、トリキシレニルホスフェート、クレジルジフェニルホスフェート、キシレニルジフェニルホスフェート、1,3−ジヒドロキシベンゼン・トリクロロホスフィン重縮合物のフェノール縮合物、2,2−ビス(p−ヒドロキシフェニル)プロパン・トリクロロホスフィンオキシド重縮合物のフェノール縮合物等が挙げられる。これらは市販のものを入手可能であり、例えば、TPP、TCP、TXP、CDP、XDP、CR−733S、CR−741、CR−747(いずれも大八化学社製、商品名)、PFR、FP−600及びFP−700(いずれもアデカ社製、商品名)等が挙げられる。   Moreover, it is also preferable that the phosphorus-containing compound as the component (B) contains a phosphate ester. Specific examples of phosphate esters include, for example, triphenyl phosphate, tricresyl phosphate, trixylenyl phosphate, cresyl diphenyl phosphate, xylenyl diphenyl phosphate, 1,3-dihydroxybenzene / trichlorophosphine polycondensate phenol Examples thereof include a condensate and a phenol condensate of 2,2-bis (p-hydroxyphenyl) propane / trichlorophosphine oxide polycondensate. These are commercially available, for example, TPP, TCP, TXP, CDP, XDP, CR-733S, CR-741, CR-747 (all are trade names manufactured by Daihachi Chemical Co., Ltd.), PFR, FP -600 and FP-700 (both manufactured by Adeka, trade names) and the like.

感光性樹脂組成物が(B)成分としてリン酸エステルを含有することにより、感光性樹脂組成物を硬化して得られる硬化膜の難燃性をより向上させることができる。また、リン酸エステルが可塑剤として働くため、硬化膜の可とう性をより向上させることができる。   When the photosensitive resin composition contains a phosphate ester as the component (B), the flame retardancy of a cured film obtained by curing the photosensitive resin composition can be further improved. Moreover, since the phosphate ester functions as a plasticizer, the flexibility of the cured film can be further improved.

また、(B)成分であるリン含有化合物は、フェノキシフォスファゼン化合物を含むことも好ましい。フェノキシフォスファゼン化合物の具体例としては、下記一般式(4)で示される環状構造を有する化合物及び/又は下記一般式(5)で表される鎖状構造を有する化合物が挙げられる。   Moreover, it is also preferable that the phosphorus-containing compound as the component (B) includes a phenoxyphosphazene compound. Specific examples of the phenoxyphosphazene compound include a compound having a cyclic structure represented by the following general formula (4) and / or a compound having a chain structure represented by the following general formula (5).

Figure 0004586922

[式(4)中、rは1〜20の整数を示す。]
Figure 0004586922

[In Formula (4), r shows the integer of 1-20. ]

Figure 0004586922

[式(5)中、sは1〜20の整数を示す。]
Figure 0004586922

[In Formula (5), s shows the integer of 1-20. ]

感光性樹脂組成物が(B)成分としてフェノキシフォスファゼン化合物を含有することにより、感光性樹脂組成物を硬化して得られる硬化膜の難燃性をより向上させることができる。また、フェノキシフォスファゼン化合物は硬化膜の可とう性及びブリードアウト性(感光性樹脂組成物のにじみ出し)をより良好なものとすることができる。   When the photosensitive resin composition contains a phenoxyphosphazene compound as the component (B), the flame retardancy of a cured film obtained by curing the photosensitive resin composition can be further improved. In addition, the phenoxyphosphazene compound can improve the flexibility and bleed-out property (bleeding out of the photosensitive resin composition) of the cured film.

(B)成分としては、上記一般式(2)で表されるホスフィン酸塩、上記リン酸エステル及びフェノキシフォスファゼン化合物のうちの少なくとも一つを単独で用いてもよいが、少なくとも上記一般式(2)で表されるホスフィン酸塩を用いることが好ましく、上記一般式(2)で表されるホスフィン酸塩と、上記リン酸エステル又はフェノキシフォスファゼン化合物とを併用することが特に好ましい。また、(B)成分としては、これら以外の公知のリン含有化合物を用いることもできる。   As the component (B), at least one of the phosphinic acid salt represented by the general formula (2), the phosphate ester, and the phenoxyphosphazene compound may be used alone, but at least the general formula It is preferable to use the phosphinic acid salt represented by (2), and it is particularly preferable to use the phosphinic acid salt represented by the general formula (2) in combination with the phosphate ester or the phenoxyphosphazene compound. Moreover, as a (B) component, well-known phosphorus containing compounds other than these can also be used.

<(C)成分:少なくとも一つのエチレン性不飽和結合を有する化合物>
(C)分子内に少なくとも一つのエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物の具体例としては、例えば、ビスフェノールA系(メタ)アクリレート化合物;多価アルコールにα,β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物;グリシジル基含有化合物にα,β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物;ウレタン結合を有する(メタ)アクリレート化合物等のウレタンモノマー又はウレタンオリゴマーが挙げられ、これら以外にも、ノニルフェノキシポリオキシエチレンアクリレート;γ−クロロ−β−ヒドロキシプロピル−β’−(メタ)アクリロイルオキシエチル−o−フタレート、β−ヒドロキシアルキル−β’−(メタ)アクリロイルオキシアルキル−o−フタレート等のフタル酸系化合物;(メタ)アクリル酸アルキルエステル、EO変性ノニルフェニル(メタ)アクリレート等が例示可能である。これらは1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
<(C) component: a compound having at least one ethylenically unsaturated bond>
(C) Specific examples of the photopolymerizable compound having at least one ethylenically unsaturated group in the molecule include, for example, a bisphenol A (meth) acrylate compound; an α, β-unsaturated carboxylic acid in a polyhydric alcohol. Compound obtained by reaction; Compound obtained by reacting glycidyl group-containing compound with α, β-unsaturated carboxylic acid; Urethane monomer or urethane oligomer such as (meth) acrylate compound having urethane bond, etc. Nonylphenoxy polyoxyethylene acrylate; γ-chloro-β-hydroxypropyl-β ′-(meth) acryloyloxyethyl-o-phthalate, β-hydroxyalkyl-β ′-(meth) acryloyloxyalkyl-o- Phthalates such as phthalates; alkyl (meth) acrylates Le, EO-modified nonylphenyl (meth) acrylate or the like can be exemplified. These can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.

ビスフェノールA系(メタ)アクリレート化合物としては、例えば、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシポリエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシポリプロポキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシポリブトキシ)フェニル)プロパン及び2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシポリエトキシポリプロポキシ)フェニル)プロパン等が挙げられる。   Examples of bisphenol A-based (meth) acrylate compounds include 2,2-bis (4-((meth) acryloxypolyethoxy) phenyl) propane and 2,2-bis (4-((meth) acryloxypolypropoxy). ) Phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxypolybutoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxypolyethoxypolypropoxy) phenyl) propane, etc. Can be mentioned.

2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシポリエトキシ)フェニル)プロパンとしては、例えば、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシジエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシトリエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシテトラエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシペンタエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシヘキサエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシヘプタエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシオクタエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシノナエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシデカエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシウンデカエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシドデカエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシトリデカエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシテトラデカエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシペンタデカエトキシ)フェニル)プロパン及び2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシヘキサデカエトキシ)フェニル)プロパン等が挙げられる。このうち、2,2−ビス(4−(メタクリロキシペンタエトキシ)フェニル)プロパンは、BPE−500(新中村化学工業製、商品名)として商業的に入手可能であり、2,2−ビス(4−(メタクリロキシペンタデカエトキシ)フェニル)プロパンは、BPE−1300(新中村化学工業製、商品名)として商業的に入手可能である。これらは1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。   Examples of 2,2-bis (4-((meth) acryloxypolyethoxy) phenyl) propane include 2,2-bis (4-((meth) acryloxydiethoxy) phenyl) propane, 2,2- Bis (4-((meth) acryloxytriethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxytetraethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth)) Acryloxypentaethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxyhexaethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxyheptaethoxy) phenyl) propane 2,2-bis (4-((meth) acryloxyoctaethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxy nonaethoxy) ) Phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxydecaethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxyundecaethoxy) phenyl) propane, 2, 2-bis (4-((meth) acryloxydodecaethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxytridecaethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4- ( (Meth) acryloxytetradecaethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxypentadecaethoxy) phenyl) propane and 2,2-bis (4-((meth) acryloxyhexa) Decaethoxy) phenyl) propane and the like. Of these, 2,2-bis (4- (methacryloxypentaethoxy) phenyl) propane is commercially available as BPE-500 (trade name, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.). 4- (Methacryloxypentadecaethoxy) phenyl) propane is commercially available as BPE-1300 (trade name, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.). These can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.

2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシポリプロポキシ)フェニル)プロパンとしては、例えば、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシジプロポキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシトリプロポキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシテトラプロポキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシペンタプロポキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシヘキサプロポキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシヘプタプロポキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシオクタプロポキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシノナプロポキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシデカプロポキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシウンデカプロポキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシドデカプロポキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシトリデカプロポキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシテトラデカプロポキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシペンタデカプロポキシ)フェニル)プロパン及び2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシヘキサデカプロポキシ)フェニル)プロパン等が挙げられる。これらは1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。   Examples of 2,2-bis (4-((meth) acryloxypolypropoxy) phenyl) propane include 2,2-bis (4-((meth) acryloxydipropoxy) phenyl) propane, 2,2- Bis (4-((meth) acryloxytripropoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxytetrapropoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth)) Acryloxypentapropoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxyhexapropoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxyheptapropoxy) phenyl) propane 2,2-bis (4-((meth) acryloxyoctapropoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acrylic) Xinonapropoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxydecapropoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxyundecapropoxy) phenyl) propane 2,2-bis (4-((meth) acryloxydodecapropoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxytridecapropoxy) phenyl) propane, 2,2-bis ( 4-((meth) acryloxytetradecapropoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxypentadecapropoxy) phenyl) propane and 2,2-bis (4-((meth)) And acryloxyhexadecapropoxy) phenyl) propane. These can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.

2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシポリエトキシポリプロポキシ)フェニル)プロパンとしては、例えば、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシジエトキシオクタプロポキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシテトラエトキシテトラプロポキシ)フェニル)プロパン及び2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシヘキサエトキシヘキサプロポキシ)フェニル)プロパン等が挙げられる。これらは1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。   Examples of 2,2-bis (4-((meth) acryloxypolyethoxypolypropoxy) phenyl) propane include 2,2-bis (4-((meth) acryloxydiethoxyoctapropoxy) phenyl) propane, Examples include 2,2-bis (4-((meth) acryloxytetraethoxytetrapropoxy) phenyl) propane and 2,2-bis (4-((meth) acryloxyhexaethoxyhexapropoxy) phenyl) propane. These can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.

多価アルコールにα,β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物としては、例えば、エチレン基の数が2〜14であるポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレートプロピレン基の数が2〜14であるポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、エチレン基の数が2〜14でありプロピレン基の数が2〜14であるポリエチレン・ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、EO変性トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、PO変性トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、EO・PO変性トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、テトラメチロールメタントリ(メタ)アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート及びジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等が挙げられる。これらは1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。   Examples of the compound obtained by reacting an α, β-unsaturated carboxylic acid with a polyhydric alcohol include 2 to 14 polyethylene glycol di (meth) acrylate propylene groups having 2 to 14 ethylene groups. Polypropylene glycol di (meth) acrylate, polyethylene polypropylene glycol di (meth) acrylate having 2 to 14 ethylene groups and 2 to 14 propylene groups, trimethylolpropane di (meth) acrylate, trimethylol Propane tri (meth) acrylate, EO-modified trimethylolpropane tri (meth) acrylate, PO-modified trimethylolpropane tri (meth) acrylate, EO / PO-modified trimethylolpropane tri (meth) acrylate, tetramethylol methanetri (meth) acrylate Examples include relate, tetramethylolmethane tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, and dipentaerythritol hexa (meth) acrylate. These can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.

なお、「EO」とは「エチレンオキシド」のことをいい、「PO」とは「プロピレンオキシド」のことをいう。また、「EO変性」とはエチレンオキシドユニット(−CHCHO−)のブロック構造を有することを意味し、「PO変性」とはプロピレンオキシドユニット(−CHCH(CH)O−)のブロック構造を有することを意味する。“EO” refers to “ethylene oxide”, and “PO” refers to “propylene oxide”. “EO modified” means having a block structure of ethylene oxide units (—CH 2 CH 2 O—), and “PO modified” means propylene oxide units (—CH 2 CH (CH 3 ) O—). It means having a block structure.

グリシジル基含有化合物にα,β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物としては、例えば、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルトリ(メタ)アクリレート及び2,2−ビス(4−(メタ)アクリロキシ−2−ヒドロキシ−プロピルオキシ)フェニル等が挙げられる。上記のα,β−不飽和カルボン酸としては、(メタ)アクリル酸等が挙げられる。これらは1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。   Examples of the compound obtained by reacting a glycidyl group-containing compound with an α, β-unsaturated carboxylic acid include trimethylolpropane triglycidyl ether tri (meth) acrylate and 2,2-bis (4- (meth) acryloxy- 2-hydroxy-propyloxy) phenyl and the like. Examples of the α, β-unsaturated carboxylic acid include (meth) acrylic acid. These can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.

ウレタンモノマー又はウレタンオリゴマーとしては、例えば、β位にOH基を有する(メタ)アクリルモノマーとイソホロンジイソシアネート、2,6−トルエンジイソシアネート、2,4−トルエンジイソシアネート、1,6−ヘキサメチレンジイソシアネート等のジイソシアネート化合物との付加反応物、トリス((メタ)アクリロキシテトラエチレングリコールイソシアネート)ヘキサメチレンイソシアヌレート、EO変性ウレタンジ(メタ)アクリレート、EO又はPO変性ウレタンジ(メタ)アクリレート、カルボキシル基含有ウレタン(メタ)アクリレート等が挙げられる。これらは1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。   Examples of the urethane monomer or urethane oligomer include (meth) acrylic monomers having an OH group at the β-position and diisocyanates such as isophorone diisocyanate, 2,6-toluene diisocyanate, 2,4-toluene diisocyanate, and 1,6-hexamethylene diisocyanate. Addition reaction product with compound, tris ((meth) acryloxytetraethylene glycol isocyanate) hexamethylene isocyanurate, EO modified urethane di (meth) acrylate, EO or PO modified urethane di (meth) acrylate, carboxyl group-containing urethane (meth) acrylate Etc. These can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.

さらに、(メタ)アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、(メタ)アクリル酸メチルエステル、(メタ)アクリル酸エチルエステル、(メタ)アクリル酸ブチルエステル及び(メタ)アクリル酸2−エチルヘキシルエステル等が挙げられる。これらは1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。   Furthermore, examples of the (meth) acrylic acid alkyl ester include (meth) acrylic acid methyl ester, (meth) acrylic acid ethyl ester, (meth) acrylic acid butyl ester, and (meth) acrylic acid 2-ethylhexyl ester. It is done. These can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.

感光性樹脂組成物は、感光性樹脂組成物の解像度及び硬化膜の可とう性向上の観点から、(C)成分としてビスフェノールA系(メタ)アクリレート化合物を含むことが好ましく、その中でも、アルキレンオキシ基を有するビスフェノールA系ジ(メタ)アクリレート化合物を含むことがより好ましい。   The photosensitive resin composition preferably contains a bisphenol A (meth) acrylate compound as the component (C) from the viewpoint of improving the resolution of the photosensitive resin composition and the flexibility of the cured film, and among them, alkyleneoxy It is more preferable to include a bisphenol A-based di (meth) acrylate compound having a group.

<(D)成分:光重合開始剤>
(D)成分である光重合開始剤の具体例としては、例えば、ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン(ミヒラーケトン)、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4−メトキシ−4’−ジメチルアミノベンゾフェノン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−モルホリノフェノン)−ブタノン−1,2−エチルアントラキノン、フェナントレンキノン等の芳香族ケトン、アルキルアントラキノン等のキノン類、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル等のベンゾインエーテル、メチルベンゾイン、エチルベンゾイン等のベンゾイン、ベンジルジメチルケタール等のベンジル誘導体、9−フェニルアクリジン、1,7−ビス(9,9’−アクリジニル)ヘプタン等のアクリジン誘導体、N−フェニルグリシン、N−フェニルグリシン誘導体、クマリン系化合物等が挙げられる。これらは1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
<(D) component: Photopolymerization initiator>
Specific examples of the photopolymerization initiator as component (D) include, for example, benzophenone, 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone (Michler ketone), 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, 4-methoxy- 4′-dimethylaminobenzophenone, 2-benzyl-2-dimethylamino-1-morpholinophenone) -butanone-1,2-ethylanthraquinone, phenanthrenequinone and other aromatic ketones, alkylanthraquinone and other quinones, benzoin methyl ether, Benzoin ethers such as benzoin ethyl ether and benzoin phenyl ether, benzoins such as methyl benzoin and ethyl benzoin, benzyl derivatives such as benzyl dimethyl ketal, 9-phenylacridine, 1,7-bis (9,9′-acridinyl) hepta And acridine derivatives such as N-phenylglycine, N-phenylglycine derivatives, and coumarin compounds. These can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.

<(E)成分:熱硬化剤>
(E)成分である熱硬化剤の具体例としては、例えば、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂等の熱硬化性の化合物などが挙げられる。エポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA型三級脂肪酸変性ポリオールエポキシ樹脂;フタル酸ジグリシジルエステル、テトラヒドロフタル酸ジグリシジルエステル等のジグリシジルエステル類、ジグリシジルアニリン、ジグリシジルトルイジン等のジグリシジルアミン類等が挙げられる。これらは1種を単独で、または2種以上を組み合わせて使用してもよい。
<(E) component: thermosetting agent>
Specific examples of the thermosetting agent that is component (E) include thermosetting compounds such as epoxy resins, phenol resins, urea resins, and melamine resins. Examples of the epoxy resin include bisphenol A type tertiary fatty acid-modified polyol epoxy resin; diglycidyl esters such as diglycidyl phthalate and diglycidyl tetrahydrophthalate, and diglycidyl amines such as diglycidyl aniline and diglycidyl toluidine. Etc. You may use these individually by 1 type or in combination of 2 or more types.

また、(E)成分である熱硬化剤として、潜在性の熱硬化剤であるブロックイソシアネート化合物を用いることもできる。ブロックイソシアネート化合物としては、例えば、アルコール化合物、フェノール化合物、ε−カプロラクタム、オキシム化合物、活性メチレン化合物等のブロック剤によりブロック化されたポリイソシアネート化合物が挙げられる。ブロック化されるポリイソシアネート化合物としては、4,4−ジフェニルメタンジシソシアネート、2,4−トリレンジイソシアネート、2,6−トリレンジイソシアネート、ナフタレン1,5−ジイソシアネート、o−キシレンジイソシアネート、m−キシレンジイソシアネート、2,4−トリレンダイマー等の芳香族ポリイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、4,4−メチレンビス(シクロヘキシルイソシアネート)、イソホロンジイソシアネート等の脂肪族ポリイソシアネート、ビシクロヘプタントリイソシアネート等の脂環式ポリイソシアネートが挙げられ、耐熱性の観点からは芳香族ポリイソシアネートが、着色防止の観点からは脂肪族ポリイソシアネート又は脂環式ポリイソシアネートが好ましい。   Moreover, the block isocyanate compound which is a latent thermosetting agent can also be used as a thermosetting agent which is (E) component. Examples of the blocked isocyanate compound include polyisocyanate compounds blocked with a blocking agent such as an alcohol compound, a phenol compound, ε-caprolactam, an oxime compound, and an active methylene compound. Examples of blocked polyisocyanate compounds include 4,4-diphenylmethane disissocyanate, 2,4-tolylene diisocyanate, 2,6-tolylene diisocyanate, naphthalene 1,5-diisocyanate, o-xylene diisocyanate, m-xylene. Aromatic polyisocyanates such as diisocyanates and 2,4-tolylene dimers, aliphatic polyisocyanates such as hexamethylene diisocyanate, 4,4-methylenebis (cyclohexyl isocyanate) and isophorone diisocyanate, and alicyclic polyisocyanates such as bicycloheptane triisocyanate An aromatic polyisocyanate is preferable from the viewpoint of heat resistance, and an aliphatic polyisocyanate or an alicyclic polyisocyanate is preferable from the viewpoint of preventing coloring.

感光性樹脂組成物が良好な難燃性を有するためには、感光性樹脂組成物中の(A)成分の含有量は、感光性樹脂組成物の固形分全量を基準として35〜70質量%であることが好ましく、40〜65質量%であることがより好ましい。(A)成分の含有量が35質量%未満であると、硬化膜の難燃性が低下する傾向があり、70質量%を超えると、希アルカリ水溶液による現像が困難になる傾向がある。   In order for the photosensitive resin composition to have good flame retardancy, the content of the component (A) in the photosensitive resin composition is 35 to 70% by mass based on the total solid content of the photosensitive resin composition. It is preferable that it is 40-65 mass%. When the content of the component (A) is less than 35% by mass, the flame retardancy of the cured film tends to decrease, and when it exceeds 70% by mass, development with a dilute aqueous alkali solution tends to be difficult.

また、良好な難燃性を得るために、感光性樹脂組成物中のリン含有量は、感光性樹脂組成物の固形分全量を基準として1.5〜5.0質量%であることが好ましく、2.0〜4.5質量%であることがより好ましい。リン含有量が1.5質量%未満であると、硬化膜の難燃性が低下する傾向があり、5.0質量%を超えると、硬化膜の耐折性、絶縁信頼性等が低下する傾向がある。   In order to obtain good flame retardancy, the phosphorus content in the photosensitive resin composition is preferably 1.5 to 5.0% by mass based on the total solid content of the photosensitive resin composition. 2.0 to 4.5% by mass is more preferable. If the phosphorus content is less than 1.5% by mass, the flame retardancy of the cured film tends to decrease, and if it exceeds 5.0% by mass, the folding resistance and insulation reliability of the cured film decrease. Tend.

また、(B)成分は、リン含有量が上記の範囲になるように含有させることが好ましい。また、(B)成分として上記一般式(2)で表されるホスフィン酸塩を用いる場合、その含有量は、感光性樹脂組成物の固形分全量を基準として5〜20質量%であることが好ましい。この含有量が5質量%未満であると、硬化膜の難燃性が低下する傾向があり、20質量%を超えると、硬化膜の可撓性が低下する傾向がある。   The component (B) is preferably contained so that the phosphorus content is in the above range. Moreover, when using the phosphinic acid salt represented by the said General formula (2) as (B) component, the content should be 5-20 mass% on the basis of the solid content whole quantity of the photosensitive resin composition. preferable. If this content is less than 5% by mass, the flame retardancy of the cured film tends to be reduced, and if it exceeds 20% by mass, the flexibility of the cured film tends to be reduced.

また、(B)成分としてリン酸エステルをホスフィン酸塩と組み合わせて用いる場合、そのリン酸エステルの含有量は、感光性樹脂組成物の固形分全量を基準として1〜20質
量%であることが好ましく、3〜10質量%であることがより好ましい。この含有量が20質量%を超えると、電食性及びブリードアウト性(感光性樹脂組成物のにじみ出し)が悪くなる傾向がある。
Moreover, when using phosphate ester in combination with a phosphinic acid salt as (B) component, the content of the phosphate ester shall be 1-20 mass% on the basis of the solid content whole quantity of the photosensitive resin composition. Preferably, it is 3-10 mass%. When this content exceeds 20% by mass, the electrolytic corrosion property and the bleed-out property (peeling of the photosensitive resin composition) tend to be deteriorated.

また、(B)成分としてフェノキシフォスファゼン化合物をホスフィン酸塩と組み合わせて用いる場合、そのフェノキシフォスファゼン化合物の含有量は、感光性樹脂組成物の固形分全量を基準として1〜20質量%であることが好ましく、3〜15質量%であることがより好ましい。この含有量が20質量%を超えると、電食性及びブリードアウト性(感光性樹脂組成物のにじみ出し)が悪くなる傾向がある。   When the phenoxyphosphazene compound is used in combination with the phosphinate as the component (B), the content of the phenoxyphosphazene compound is 1 to 20% by mass based on the total solid content of the photosensitive resin composition. It is preferable that it is 3-15 mass%. When this content exceeds 20% by mass, the electrolytic corrosion property and the bleed-out property (peeling of the photosensitive resin composition) tend to be deteriorated.

(C)成分の含有量は、解像性及び難燃性の観点から、感光性樹脂組成物の固形分全量を基準として7〜30質量%であることが好ましく、10〜25質量%であることがより好ましい。(C)成分の含有量が7質量%未満であると、解像性が劣る傾向があり、30質量%を超えると、硬化膜の難燃性が低下する傾向がある。   The content of the component (C) is preferably 7 to 30% by mass, and 10 to 25% by mass based on the total solid content of the photosensitive resin composition from the viewpoint of resolution and flame retardancy. It is more preferable. When the content of the component (C) is less than 7% by mass, the resolution tends to be inferior, and when it exceeds 30% by mass, the flame retardancy of the cured film tends to decrease.

(D)成分の含有量は、光感度の観点から、感光性樹脂組成物の固形分全量を基準として0.1〜10質量%であることが好ましく、0.2〜5質量%であることがより好ましい。   The content of the component (D) is preferably 0.1 to 10% by mass and preferably 0.2 to 5% by mass based on the total solid content of the photosensitive resin composition from the viewpoint of photosensitivity. Is more preferable.

感光性樹脂組成物が(E)成分を含有する場合、その含有量は、難燃性及び絶縁信頼性の観点から、感光性樹脂組成物の固形分全量を基準として5〜20質量%であることが好ましく、8〜15質量%であることがより好ましい。   When the photosensitive resin composition contains the component (E), the content is 5 to 20% by mass based on the total solid content of the photosensitive resin composition from the viewpoint of flame retardancy and insulation reliability. It is preferably 8 to 15% by mass.

また、本発明の感光性樹脂組成物には、必要に応じて、マラカイトグリーン等の染料、ロイコクリスタルバイオレット等の光発色剤、熱発色防止剤若しくはp−トルエンスルホンアミド等の可塑剤、フタロシアニンブルー等のフタロシアニン系、アゾ系等の有機顔料若しくは二酸化チタン等の無機顔料、シリカ、アルミナ、タルク、炭酸カルシウム若しくは硫酸バリウム等の無機顔料からなる充填剤、消泡剤、安定剤、密着性付与剤、レベリング剤、酸化防止剤、香料或いはイメージング剤などを含有させることができる。これらの成分は、感光性樹脂組成物の固形分全量を基準として、各々0.01〜20質量%程度含有させることが好ましい。また上記の成分は、1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。   In addition, the photosensitive resin composition of the present invention includes a dye such as malachite green, a photochromic agent such as leuco crystal violet, a plasticizer such as a thermochromic inhibitor or p-toluenesulfonamide, phthalocyanine blue, if necessary. Phthalocyanine-based organic pigments such as azo-based or inorganic pigments such as titanium dioxide, fillers made of inorganic pigments such as silica, alumina, talc, calcium carbonate or barium sulfate, antifoaming agents, stabilizers, adhesion-imparting agents , A leveling agent, an antioxidant, a fragrance, an imaging agent, or the like. These components are each preferably contained in an amount of about 0.01 to 20% by mass based on the total solid content of the photosensitive resin composition. Moreover, said component can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.

さらに、本発明の感光性樹脂組成物は、必要に応じて、メタノール、エタノール、アセトン、メチルエチルケトン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、トルエン、N,N−ジメチルホルムアミド、プロピレングリコールモノメチルエーテル等の溶剤又はこれらの混合溶剤に溶解し、固形分30〜70質量%程度の溶液として塗布することができる。   Furthermore, the photosensitive resin composition of the present invention may contain a solvent such as methanol, ethanol, acetone, methyl ethyl ketone, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, toluene, N, N-dimethylformamide, propylene glycol monomethyl ether or the like as necessary. It can melt | dissolve in a mixed solvent and can apply | coat as a solution of solid content about 30-70 mass%.

以上説明したような本発明の感光性樹脂組成物は、銅、銅系合金、鉄、鉄系合金等の金属面上に、液状レジストとして塗布してから乾燥後、必要に応じて保護フィルムを被覆して用いるか、後述する感光性エレメントの形態で用いることができる。   The photosensitive resin composition of the present invention as described above is applied as a liquid resist on a metal surface such as copper, a copper-based alloy, iron, and an iron-based alloy, and then dried, and a protective film is provided as necessary. It can be used by coating or in the form of a photosensitive element described later.

また、本発明の感光性樹脂組成物からなる硬化膜をポリイミドなどのフレキシブル基材上に形成した基板は、優れた難燃性を有することを特徴とする。本発明の感光性樹脂組成物は、ハロゲン系化合物やアンチモン系化合物を含まずに硬化膜の難燃性を十分高いものとすることができることから、例えば、プリント配線板の環境負荷や毒性を低減することが可能となる。   Moreover, the board | substrate which formed the cured film which consists of the photosensitive resin composition of this invention on flexible base materials, such as a polyimide, has the outstanding flame retardance. The photosensitive resin composition of the present invention does not contain a halogen-based compound or an antimony-based compound, and can make the cured film sufficiently high in flame retardancy. For example, it reduces the environmental load and toxicity of a printed wiring board. It becomes possible to do.

また、本発明の感光性樹脂組成物は、十分な難燃性を有する硬化膜を高解像度で形成でき、十分な可とう性を有する硬化膜を形成可能であることから、プリント配線板、特にフレキシブルプリント配線板の永久マスク形成に好ましく用いられる。   Further, the photosensitive resin composition of the present invention can form a cured film having sufficient flame retardancy with high resolution, and can form a cured film having sufficient flexibility. It is preferably used for forming a permanent mask for a flexible printed wiring board.

(感光性エレメント)
次に、上述した本発明の感光性樹脂組成物を用いた感光性エレメントについて説明する。図1は、本発明の感光性エレメントの好適な一実施形態を示す模式断面図である。図1に示した感光性エレメント1は、支持体10と、支持体10上に設けられた感光性樹脂組成物層14と、で構成される。感光性樹脂組成物層14は、上述した本発明の感光性樹脂組成物からなる層である。また、本発明の感光性エレメント1は、感光性樹脂組成物層14上の支持体10とは反対側の面F1を保護フィルムで被覆してもよい。
(Photosensitive element)
Next, the photosensitive element using the photosensitive resin composition of the present invention described above will be described. FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing a preferred embodiment of the photosensitive element of the present invention. The photosensitive element 1 shown in FIG. 1 includes a support 10 and a photosensitive resin composition layer 14 provided on the support 10. The photosensitive resin composition layer 14 is a layer made of the above-described photosensitive resin composition of the present invention. Moreover, the photosensitive element 1 of this invention may coat | cover the surface F1 on the opposite side to the support body 10 on the photosensitive resin composition layer 14 with a protective film.

感光性樹脂組成物層14は、本発明の感光性樹脂組成物を上記溶剤又は混合溶剤に溶解して固形分30〜70質量%程度の溶液とした後に、かかる溶液を支持体10上に塗布して形成することが好ましい。   The photosensitive resin composition layer 14 is prepared by dissolving the photosensitive resin composition of the present invention in the above solvent or mixed solvent to obtain a solution having a solid content of about 30 to 70% by mass, and then applying the solution onto the support 10. Is preferably formed.

感光性樹脂組成物層14の厚みは、用途により異なるが、加熱及び/又は熱風吹き付けにより溶剤を除去した乾燥後の厚みで、10〜100μmであることが好ましく、20〜60μmであることがより好ましい。この厚みが10μm未満では工業的に塗工困難な傾向があり、100μmを超えると本発明により奏される上述の効果が小さくなりやすく、特に、可撓性及び解像度が低下する傾向にある。   Although the thickness of the photosensitive resin composition layer 14 varies depending on the application, it is preferably 10 to 100 μm and more preferably 20 to 60 μm in thickness after drying after removing the solvent by heating and / or hot air blowing. preferable. If the thickness is less than 10 μm, it tends to be difficult to apply industrially, and if it exceeds 100 μm, the above-described effects produced by the present invention tend to be reduced, and in particular, flexibility and resolution tend to decrease.

感光性エレメント1が備える支持体10としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリエステル等の耐熱性及び耐溶剤性を有する重合体フィルムなどが挙げられる。   Examples of the support 10 included in the photosensitive element 1 include polymer films having heat resistance and solvent resistance such as polyethylene terephthalate, polypropylene, polyethylene, and polyester.

支持体10の厚みは、5〜100μmであることが好ましく、10〜30μmであることがより好ましい。この厚みが5μm未満では現像前に支持体を剥離する際に当該支持体が破れやすくなる傾向があり、また、100μmを超えると解像度及び可撓性が低下する傾向がある。   The thickness of the support 10 is preferably 5 to 100 μm, and more preferably 10 to 30 μm. If the thickness is less than 5 μm, the support tends to be broken when the support is peeled off before development, and if it exceeds 100 μm, the resolution and flexibility tend to decrease.

上述したような支持体10と感光性樹脂組成物層14との2層からなる感光性エレメント1又は支持体10と感光性樹脂組成物層14と保護フィルムとの3層からなる感光性エレメントは、例えば、そのまま貯蔵してもよく、又は保護フィルムを介在させた上で巻芯にロール状に巻き取って保管することができる。   The photosensitive element 1 consisting of two layers of the support 10 and the photosensitive resin composition layer 14 as described above or the photosensitive element consisting of three layers of the support 10, the photosensitive resin composition layer 14 and the protective film is as follows. For example, it may be stored as it is, or it can be wound around a roll core and stored after interposing a protective film.

本発明の感光性エレメントを用いたレジストパターンの形成方法は、必要に応じて上述した感光性エレメントから保護フィルムを除去する除去工程と、該感光性エレメントを感光性樹脂組成物層、支持体の順に回路形成用基板上に積層する積層工程と、活性光線を、必要に応じて支持体を通して、感光性樹脂組成物層の所定部分に照射して、感光性樹脂組成物層に光硬化部を形成させる露光工程と、光硬化部以外の感光性樹脂組成物層を除去する現像工程とを含むものである。なお、回路形成用基板とは、絶縁層と、絶縁層上に形成された導電体層(銅、銅系合金、ニッケル、クロム、鉄、ステンレス等の鉄系合金、好ましくは銅、銅系合金、鉄系合金からなる)とを備えた基板をいう。   The method for forming a resist pattern using the photosensitive element of the present invention includes a removing step of removing the protective film from the photosensitive element as necessary, the photosensitive element comprising the photosensitive resin composition layer and the support. A lamination process for sequentially laminating on a circuit forming substrate, and actinic rays are irradiated to a predetermined portion of the photosensitive resin composition layer through a support as necessary, and a photocured portion is formed on the photosensitive resin composition layer. It includes an exposure step to be formed and a development step for removing the photosensitive resin composition layer other than the photocured portion. The circuit-forming substrate is an insulating layer and a conductor layer (copper, copper-based alloy, iron-based alloy such as nickel, chromium, iron, stainless steel, preferably copper, copper-based alloy) formed on the insulating layer. , Made of an iron-based alloy).

必要に応じて保護フィルムを除去する除去工程後の積層工程における積層方法としては、感光性樹脂組成物層を加熱しながら回路形成用基板に圧着することにより積層する方法等が挙げられる。かかる積層の際の雰囲気は特に制限されないが、密着性及び追従性等の見地から減圧下で積層することが好ましい。積層される表面は、通常、回路形成用基板の導電体層の面であるが、当該導電体層以外の面であってもよい。   Examples of the laminating method in the laminating step after the removing step of removing the protective film as necessary include a method of laminating by pressing the photosensitive resin composition layer on the circuit forming substrate while heating. The atmosphere during the lamination is not particularly limited, but the lamination is preferably performed under reduced pressure from the viewpoint of adhesion and followability. The surface to be laminated is usually the surface of the conductor layer of the circuit forming substrate, but may be a surface other than the conductor layer.

感光性樹脂組成物層の加熱温度は70〜130℃とすることが好ましく、圧着圧力は0.1〜1.0MPa程度とすることが好ましく、周囲の気圧は4000Pa以下とすることがより好ましいが、これらの条件には特に制限はない。また、感光性樹脂組成物層を上記のように70〜130℃に加熱すれば、予め回路形成用基板を予熱処理することは必要ではないが、積層性をさらに向上させるために、回路形成用基板の予熱処理を行うこともできる。   The heating temperature of the photosensitive resin composition layer is preferably 70 to 130 ° C., the pressure bonding pressure is preferably about 0.1 to 1.0 MPa, and the ambient atmospheric pressure is more preferably 4000 Pa or less. These conditions are not particularly limited. Further, if the photosensitive resin composition layer is heated to 70 to 130 ° C. as described above, it is not necessary to pre-heat the circuit forming substrate in advance, but in order to further improve the laminating property, Pre-heat treatment of the substrate can also be performed.

このようにして積層が完了した後、露光工程において感光性樹脂組成物層の所定部分に活性光線を照射して光硬化部を形成せしめる。光硬化部の形成方法としては、アートワークと呼ばれるネガ又はポジマスクパターンを通して活性光線を画像状に照射する方法が挙げられる。この際、感光性樹脂組成物層上に存在する支持体が透明の場合には、そのまま活性光線を照射することができるが、不透明の場合には、支持体を除去した後に感光性樹脂組成物層に活性光線を照射する。   After the lamination is completed in this manner, a photocured portion is formed by irradiating a predetermined portion of the photosensitive resin composition layer with actinic rays in the exposure step. Examples of the method for forming the photocured portion include a method of irradiating an actinic ray in an image form through a negative or positive mask pattern called an artwork. At this time, when the support present on the photosensitive resin composition layer is transparent, it can be irradiated with actinic rays as it is, but when opaque, the photosensitive resin composition is removed after removing the support. Irradiate the layer with actinic rays.

活性光線の光源としては、公知の光源、例えば、カーボンアーク灯、水銀蒸気アーク灯、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、キセノンランプ等の紫外線を有効に放射するものを用いることができる。また、写真用フラッド電球、太陽ランプ等の可視光を有効に放射するものを用いることもできる。   As the light source of actinic light, a known light source such as a carbon arc lamp, a mercury vapor arc lamp, an ultrahigh pressure mercury lamp, a high pressure mercury lamp, a xenon lamp, or the like that can effectively emit ultraviolet rays can be used. Moreover, what can radiate | emit visible light effectively, such as a flood bulb for photography, a solar lamp, can also be used.

次いで、露光後、感光性樹脂組成物層上に支持体が存在している場合には、支持体を除去した後、現像工程において、ウエット現像、ドライ現像等で光硬化部以外の感光性樹脂組成物層を除去して現像し、レジストパターンを形成させる。   Next, after exposure, when a support is present on the photosensitive resin composition layer, after removing the support, in the development process, a photosensitive resin other than the photocured portion by wet development, dry development, or the like. The composition layer is removed and developed to form a resist pattern.

ウエット現像の場合は、アルカリ性水溶液等の現像液を用いて、例えば、スプレー、揺動浸漬、ブラッシング、スクラッピング等の公知の方法により現像する。現像液としては、安全かつ安定であり、操作性が良好なものが用いられ、例えば、20〜50℃の炭酸ナトリウムの希薄溶液(1〜5質量%水溶液)等が用いられる。   In the case of wet development, development is performed using a developer such as an alkaline aqueous solution by a known method such as spraying, rocking immersion, brushing, or scraping. As the developer, a developer that is safe and stable and has good operability is used. For example, a dilute solution (1 to 5% by mass aqueous solution) of sodium carbonate at 20 to 50 ° C. is used.

上述の形成方法により得られたレジストパターンは、例えば、プリント配線板のソルダーレジストとして用いる場合は、上記現像工程終了後、ソルダーレジストとしてのはんだ耐熱性、耐薬品性等を向上させる目的で、高圧水銀ランプによる紫外線照射やオーブンによる加熱を行うことが好ましい。   For example, when the resist pattern obtained by the above-described forming method is used as a solder resist for a printed wiring board, a high pressure is used for the purpose of improving solder heat resistance, chemical resistance, etc. as the solder resist after completion of the development process. It is preferable to perform ultraviolet irradiation with a mercury lamp or heating with an oven.

紫外線を照射させる場合は必要に応じてその照射量を調整することができ、例えば0.2〜10J/cm程度の照射量で照射を行うこともできる。また、加熱する場合は、100〜170℃程度の範囲で15〜90分程行われることが好ましい。さらに紫外線照射と加熱とを両方実施してもよく、いずれか一方を実施した後、他方を実施することもできる。In the case of irradiating ultraviolet rays, the irradiation amount can be adjusted as necessary. For example, the irradiation can be performed at an irradiation amount of about 0.2 to 10 J / cm 2 . Moreover, when heating, it is preferable to carry out for about 15 to 90 minutes in the range of about 100-170 degreeC. Furthermore, both ultraviolet irradiation and heating may be performed, and after one of them is performed, the other can be performed.

また、上述の形成方法により得られたレジストパターンはプリント配線板上に形成される永久マスクとして使用されると好ましい。本発明の感光性樹脂組成物から形成される硬化膜は、優れた難燃性を有するので、基板にはんだ付けを施した後の配線の保護膜を兼ねる、プリント配線板の永久マスクとして有効である。   The resist pattern obtained by the above-described forming method is preferably used as a permanent mask formed on a printed wiring board. Since the cured film formed from the photosensitive resin composition of the present invention has excellent flame retardancy, it is effective as a permanent mask for a printed wiring board that also serves as a protective film for wiring after soldering to the substrate. is there.

以下、実施例及び比較例に基づいて本発明をより具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although this invention is demonstrated more concretely based on an Example and a comparative example, this invention is not limited to a following example.

(実施例1〜4及び6〜7、参考例5、比較例1〜4)
まず、表1に示す各成分をそこに示す固形分の配合比(質量基準)(ただし、メチルエチルケトンは液体としての質量基準)で混合することにより感光性樹脂組成物の溶液を得た。
(Examples 1-4 and 6-7, Reference Example 5 , Comparative Examples 1-4)
First, a solution of the photosensitive resin composition was obtained by mixing each component shown in Table 1 at a solid content ratio (mass basis) (where methyl ethyl ketone is a mass basis as a liquid).

なお、表1中、(A−1)成分は、ビフェニル型エポキシアクリレート(日本化薬社製、商品名「ZCR−1569H」、ビフェニル骨格を有するノボラック型酸変性ビニル基含有エポキシ樹脂、酸価=98、Mw=4500)であり、(A−2)成分は、ビスフェノールA型エポキシアクリレート(日本化薬社製、商品名「ZAR−2001H」、酸価=103、Mw=13000)であり、(A−3)成分は、ビスフェノールF型エポキシアクリレート(日本化薬社製、商品名「ZFR−1516」、酸価=73、Mw=11000)である。   In Table 1, component (A-1) is biphenyl type epoxy acrylate (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name “ZCR-1569H”, novolak type acid-modified vinyl group-containing epoxy resin having a biphenyl skeleton, acid value = 98, Mw = 4500), and the component (A-2) is a bisphenol A type epoxy acrylate (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name “ZAR-2001H”, acid value = 103, Mw = 13000), The component A-3) is bisphenol F type epoxy acrylate (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name “ZFR-1516”, acid value = 73, Mw = 11000).

(B−1)成分は、ホスフィン酸塩(クラリアント社製、商品名「EXOLIT OP 935」、リン含有量=23質量%)であり、(B−2)成分は、リン酸エステル(アデカ社製、商品名「アデカスタブ FP−600」、リン含有量=8.9質量%)であり、(B−3)成分は、フェノキシフォスファゼン化合物(大塚化学製、商品名「SPB−100」、リン含有量=13質量%)である。   The component (B-1) is a phosphinic acid salt (manufactured by Clariant, trade name “EXOLIT OP 935”, phosphorus content = 23 mass%), and the component (B-2) is a phosphate ester (manufactured by Adeka). , Trade name “ADK STAB FP-600”, phosphorus content = 8.9 mass%), and component (B-3) is a phenoxyphosphazene compound (manufactured by Otsuka Chemical Co., Ltd., trade name “SPB-100”, phosphorus Content = 13 mass%).

(C)成分は、ビスフェノールAポリオキシエチレンジメタクリレート(新中村化学工業社製、商品名「BPE−10」)である。   The component (C) is bisphenol A polyoxyethylene dimethacrylate (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., trade name “BPE-10”).

(D)成分は、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフェリノフェニル)−ブタノン−1(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製、商品名「I−369」)である。   The component (D) is 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1 (trade name “I-369” manufactured by Ciba Specialty Chemicals).

(E)成分は、ヘキサメチレンジイソシアネートをベースイソシアネートとするイソシアヌレート体のメチルエチルケトンオキシムブロック体の75質量%メチルエチルケトン溶液(住化バイエルウレタン社製、商品名「BL3175」)である。   The component (E) is a 75% by mass methyl ethyl ketone solution (trade name “BL3175”, manufactured by Sumika Bayer Urethane Co., Ltd.) of an isocyanurate methylethylketone oxime block having hexamethylene diisocyanate as a base isocyanate.

また、表中、アクリル樹脂は、メタクリル酸/アクリル酸エチル/メタクリル酸メチル/スチレンを共重合成分とし、トルエン/メチルセロソルブ(質量比=2/3)溶液中で常法により重合した、酸価が80mgKOH/gであり、重量平均分子量が100,000の共重合体である。   In the table, the acrylic resin was polymerized by a conventional method in a toluene / methyl cellosolve (mass ratio = 2/3) solution using methacrylic acid / ethyl acrylate / methyl methacrylate / styrene as a copolymerization component. Is a copolymer having a weight average molecular weight of 100,000.

Figure 0004586922
注)表1中の値は、各成分の固形分の配合比である(メチルエチルケトンは除く)。
また、表中の記号「−」は、該当する成分を含有していないことを示す。
Figure 0004586922
Note) The values in Table 1 are the blending ratio of the solid content of each component (excluding methyl ethyl ketone).
Further, the symbol “-” in the table indicates that the corresponding component is not contained.

[感光性エレメントの作製]
実施例1〜4及び6〜7、参考例5、並びに、比較例1〜4の感光性樹脂組成物溶液を、支持体である16μm厚のポリエチレンテレフタレートフィルム(帝人社製、商品名「G2−16」)上にそれぞれ別に、均一に塗布することにより感光性樹脂組成物層を形成し、それを熱風対流式乾燥機を用いて100℃で10分間乾燥した。感光性樹脂組成物層の乾燥後の膜厚は、38μmであった。
[Production of photosensitive element]
The photosensitive resin composition solutions of Examples 1 to 4 and 6 to 7, Reference Example 5 and Comparative Examples 1 to 4 were mixed with a 16 μm-thick polyethylene terephthalate film (manufactured by Teijin Limited, trade name “G2- 16 ”) and separately, each was uniformly coated to form a photosensitive resin composition layer, which was dried at 100 ° C. for 10 minutes using a hot air convection dryer. The film thickness after drying of the photosensitive resin composition layer was 38 μm.

次いで、感光性樹脂組成物層の支持体と接している側とは反対側の表面上に、ポリエチレンフィルム(タマポリ社製、商品名「NF−13」)を保護フィルムとして貼り合わせ、感光性エレメントを得た。   Next, a polyethylene film (manufactured by Tamapoly Co., Ltd., trade name “NF-13”) is bonded as a protective film on the surface of the photosensitive resin composition layer opposite to the side in contact with the support. Got.

[評価用積層体の作製]
18μm厚の銅箔をポリイミド基材に積層してなるフレキシブルプリント配線板用基板(ニッカン工業社製、商品名「F30VC1」)の銅表面を塩酸で酸洗浄し、水洗後、乾燥した。
[Preparation of evaluation laminate]
The copper surface of a flexible printed wiring board substrate (trade name “F30VC1” manufactured by Nikkan Kogyo Co., Ltd.) obtained by laminating a 18 μm thick copper foil on a polyimide base material was acid-washed with hydrochloric acid, washed with water, and dried.

このフレキシブルプリント配線板用基板に、連続式真空ラミネータ(日立化成工業社製、商品名「HLM−V570」)を用いて、ヒートシュー温度100℃、ラミネート速度0.5m/分、気圧4000Pa以下、圧着圧力0.3MPaの条件の下、得られた感光性エレメントを、ポリエチレンフィルムを剥離しつつ感光性樹脂組成物層を銅箔側にして積層し、評価用積層体を得た。   Using a continuous vacuum laminator (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., trade name “HLM-V570”) on this flexible printed wiring board substrate, a heat shoe temperature of 100 ° C., a laminating speed of 0.5 m / min, and an atmospheric pressure of 4000 Pa or less, Under the condition of a pressure bonding pressure of 0.3 MPa, the obtained photosensitive element was laminated with the photosensitive resin composition layer on the copper foil side while peeling the polyethylene film to obtain a laminate for evaluation.

[光感度の評価]
得られた上記評価用積層体上に、ネガとしてストーファー21段ステップタブレットを有するフォトツールを密着させ、オーク製作所社製のHMW−201GX型露光機を使用して、ストーファー21段ステップタブレットの現像後の残存ステップ段数が8.0となるエネルギー量で露光を行った。
[Evaluation of light sensitivity]
A phototool having a stove 21-step tablet as a negative is closely attached to the obtained laminate for evaluation, and an HMW-201GX type exposure machine manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd. is used. The exposure was performed with an energy amount such that the number of steps remaining after development was 8.0.

次いで、常温で1時間静置し、PETフィルムを剥離した後、30℃の1質量%炭酸ナトリウム水溶液を40秒間スプレーして現像を行い、80℃で10分間加熱(乾燥)した。光感度を評価する数値として、露光時の上記エネルギー量を用いた。この数値が低いほど、光感度が高いことを示す。その結果を表2に示す。   Subsequently, after leaving still at room temperature for 1 hour and peeling off a PET film, it developed by spraying 1 mass% sodium carbonate aqueous solution of 30 degreeC for 40 second, and heated (dried) at 80 degreeC for 10 minutes. The above-mentioned energy amount at the time of exposure was used as a numerical value for evaluating the photosensitivity. The lower this value, the higher the photosensitivity. The results are shown in Table 2.

[解像度の評価]
ストーファー21段ステップタブレットを有するフォトツールと、解像度評価用ネガとしてライン幅/スペース幅が30/30〜200/200(単位:μm)の配線パターンを有するフォトツールとを評価用積層体上に密着させ、上述した露光機を用いて、ストーファー21段ステップタブレットの現像後の残存ステップ段数が8.0となるエネルギー量で露光を行った。
[Resolution evaluation]
A phototool having a stove 21-step tablet and a phototool having a wiring pattern with a line width / space width of 30/30 to 200/200 (unit: μm) as a negative for resolution evaluation are provided on the evaluation laminate. Using the above-described exposure apparatus, the exposure was performed with an energy amount such that the number of remaining steps after development of the stove 21-step tablet was 8.0.

次いで、常温で1時間静置し、PETフィルムを剥離した後、30℃の1質量%炭酸ナトリウム水溶液を40秒間スプレーして現像を行い、80℃で10分間加熱(乾燥)した。ここで、解像度は、現像処理によって矩形のレジスト形状が得られたライン幅間のスペース幅の最も小さい値(単位:μm)により評価した。この値が小さいほど、解像度に優れていることを示す。結果を表2に示す。   Subsequently, after leaving still at room temperature for 1 hour and peeling off a PET film, it developed by spraying 1 mass% sodium carbonate aqueous solution of 30 degreeC for 40 second, and heated (dried) at 80 degreeC for 10 minutes. Here, the resolution was evaluated based on the smallest value (unit: μm) of the space width between the line widths in which a rectangular resist shape was obtained by development processing. It shows that it is excellent in the resolution, so that this value is small. The results are shown in Table 2.

[評価用FPCの作製]
得られた評価用積層体上に、ストーファー21段ステップタブレットを有するフォトツールと、カバーレイの信頼性評価用ネガとして配線パターンを有するフォトツールとを密着させ、上述した露光機を使用して、ストーファー21段ステップタブレットの現像後の残存ステップ段数が8.0となるエネルギー量で露光を行った。
[Production of evaluation FPC]
On the obtained laminate for evaluation, a photo tool having a stove 21-step tablet and a photo tool having a wiring pattern as a negative for reliability evaluation of the coverlay are brought into close contact, and the exposure machine described above is used. Then, exposure was performed with an energy amount such that the number of remaining steps after development of the stove 21-step tablet was 8.0.

次いで、常温で1時間静置した後、積層体上のポリエチレンテレフタレートを剥離し、光感度評価の場合と同様の現像液及び現像条件でスプレー現像を行い、80℃で10分間加熱(乾燥)した。続いて、オーク製作所社製の紫外線照射装置を使用して1J/cmのエネルギー量で紫外線照射を行い、更に160℃で60分間加熱処理を行うことにより、カバーレイを形成した評価用FPCを得た。Next, after standing at room temperature for 1 hour, the polyethylene terephthalate on the laminate was peeled off, spray development was performed under the same developer and development conditions as in the photosensitivity evaluation, and heated (dried) at 80 ° C. for 10 minutes. . Subsequently, the FPC for evaluation in which the coverlay was formed by performing ultraviolet irradiation with an energy amount of 1 J / cm 2 using an ultraviolet irradiation device manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd., and further performing heat treatment at 160 ° C. for 60 minutes. Obtained.

[可撓性(耐折性)の評価]
上述のようにして得られた評価用FPCを、ハゼ折りにより180°折り曲げを繰り返して行い、その際のカバーレイにおけるクラックが発生するまでの回数を求め、以下の基準で評価した。なお、クラック発生の有無は顕微鏡により確認した。その結果を表2に示す。
A:5回以上折り曲げてもカバーレイにクラックが認められないもの、
B:クラックが発生するまでの折り曲げ回数が3〜4回のもの、
C:クラックが発生するまでの回数が2回以下のもの。
[Evaluation of flexibility (folding resistance)]
The evaluation FPC obtained as described above was repeatedly bent 180 ° by goby folding, and the number of times until a crack occurred in the coverlay at that time was determined and evaluated according to the following criteria. The presence or absence of cracks was confirmed with a microscope. The results are shown in Table 2.
A: No cracks are observed in the coverlay even after being bent 5 times or more,
B: The number of times of bending until cracking is 3 to 4 times,
C: The number of times until a crack is generated is 2 or less.

[ブリードアウト性の評価]
上述のようにして得られた評価用FPCを、30tハンドプレス機(東洋精機製作所(株)製)を用いて、プレス温度160℃、プレス圧力20kgfの条件により30分間厚さ方向にプレスした。その際のカバーレイからの感光性樹脂組成物成分のにじみ出しの有無を目視により観察し、次の基準で評価した。すなわち、カバーレイから感光性樹脂組成物成分のにじみ出しが認められないものは「A」、感光性樹脂組成物成分のにじみ出しが若干認められるものは「B」、感光性樹脂組成物成分のにじみ出しが著しいものは「C」として評価した。その結果を表2に示す。
[Bleed-out evaluation]
The evaluation FPC obtained as described above was pressed in the thickness direction for 30 minutes under the conditions of a press temperature of 160 ° C. and a press pressure of 20 kgf using a 30-t hand press machine (manufactured by Toyo Seiki Seisakusho Co., Ltd.). The presence or absence of bleeding of the photosensitive resin composition component from the cover lay at that time was visually observed and evaluated according to the following criteria. That is, “A” indicates that the photosensitive resin composition component does not exude from the coverlay, “B” indicates that the photosensitive resin composition component exudes slightly, and “B” indicates that the photosensitive resin composition component. Those with significant bleeding were evaluated as “C”. The results are shown in Table 2.

[難燃性の評価]
銅箔張積層板(新日鐵化学社製、商品名「エスパネックスMB」のシリーズ)の銅箔をエッチングにより除去して厚さ25μmのPIフィルムを得た。次いで、そのPIフィルムの両面に、連続式真空ラミネータ(日立化成工業社製、商品名「HLM−V570」)を用いて、ヒートシュー温度100℃、ラミネート速度0.5m/分、気圧4000Pa以下、圧着圧力0.3MPaの条件の下、上述の感光性エレメントを、ポリエチレンフィルムを剥離しつつ感光性樹脂組成物層をPIフィルム側にして積層して積層体を得た。
[Evaluation of flame retardancy]
The copper foil of the copper foil-clad laminate (manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd., product name “ESPANEX MB” series) was removed by etching to obtain a PI film having a thickness of 25 μm. Next, on both sides of the PI film, using a continuous vacuum laminator (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., trade name “HLM-V570”), a heat shoe temperature of 100 ° C., a laminating speed of 0.5 m / min, an atmospheric pressure of 4000 Pa or less, Under the condition of a pressure bonding pressure of 0.3 MPa, the above-described photosensitive element was laminated with the photosensitive resin composition layer on the PI film side while peeling the polyethylene film to obtain a laminate.

次に、オーク製作所社製のHNW−201GX型露光機を使用して、上記感光性エレメントの感光性樹脂組成物層の露光を、ストーファー21段ステップタブレットの現像後の残存ステップ段数が8.0となる上記エネルギー量で行った。続いて、常温で1時間静置し、ポリエチレンテレフタレートフィルムを積層体から剥離した後、30℃の1質量%炭酸ナトリウム水溶液を積層体に40秒間スプレーして現像を行い、80℃で10分間加熱(乾燥)した。   Next, using a HNW-201GX type exposure machine manufactured by Oak Seisakusho Co., Ltd., the photosensitive resin composition layer of the photosensitive element was exposed to a remaining step number of 8 after development of the stove 21-step tablet. The above energy amount was set to 0. Then, after leaving still at room temperature for 1 hour and peeling a polyethylene terephthalate film from a laminated body, the 1 mass% sodium carbonate aqueous solution of 30 degreeC is sprayed on a laminated body for 40 second, and it develops, and it heats at 80 degreeC for 10 minutes (Dry).

次いで、積層体の感光性樹脂組成物層にオーク製作所社製の紫外線照射装置を使用して1J/cmのエネルギー量で紫外線照射を行い、さらに160℃で60分間加熱処理を行うことにより、カバーレイを形成した難燃性評価用サンプルを得た。Next, the photosensitive resin composition layer of the laminate is irradiated with ultraviolet rays with an energy amount of 1 J / cm 2 using an ultraviolet irradiation device manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd., and further subjected to heat treatment at 160 ° C. for 60 minutes, A sample for flame retardancy evaluation in which a coverlay was formed was obtained.

この難燃性評価用サンプルついて、UL94規格に準拠した薄材垂直燃焼試験を行った。評価はUL94規格に基づいて、VTM−0、VTM−1、又はVTM−2と表した。結果を表2に示す。なお、表2中「NOT」とは、燃焼試験において難燃性評価用サンプルがVTM−0、VTM−1、及びVTM−2に該当せず全焼したことを示す。   This flame retardant evaluation sample was subjected to a thin material vertical combustion test based on the UL94 standard. Evaluation was expressed as VTM-0, VTM-1, or VTM-2 based on the UL94 standard. The results are shown in Table 2. Note that “NOT” in Table 2 indicates that the flame retardancy evaluation sample did not correspond to VTM-0, VTM-1, and VTM-2 in the combustion test and was completely burned.

Figure 0004586922
Figure 0004586922

表2に示した結果から明らかなように、実施例1〜4及び6〜7、参考例5の感光性樹脂組成物によれば、十分な光感度及び解像度が得られることが確認された。また、実施例1〜4及び6〜7、参考例5の感光性樹脂組成物から形成された硬化膜を備える積層板は、十分な難燃性を有していることが確認された。更に、実施例2、3及び〜7、参考例5の感光性樹脂組成物から形成された硬化膜は、優れた可撓性(耐折性)を有していることが確認された。 As is clear from the results shown in Table 2, according to the photosensitive resin compositions of Examples 1 to 4 and 6 to 7 and Reference Example 5 , it was confirmed that sufficient photosensitivity and resolution could be obtained. Moreover, it was confirmed that the laminated board provided with the cured film formed from the photosensitive resin composition of Examples 1-4 and 6-7, and the reference example 5 has sufficient flame retardance. Furthermore, it was confirmed that the cured film formed from the photosensitive resin composition of Examples 2, 3 and 6 to 7 and Reference Example 5 has excellent flexibility (folding resistance).

以上説明したように、本発明によれば、優れたアルカリ現像性を有するとともに、難燃性に優れた硬化膜を形成可能な感光性樹脂組成物、及び、それを用いた感光性エレメントを提供することができる。   As described above, according to the present invention, a photosensitive resin composition capable of forming a cured film having excellent alkali developability and excellent flame retardancy, and a photosensitive element using the same are provided. can do.

Claims (7)

(A)ビフェニル骨格を有するノボラック型酸変性ビニル基含有エポキシ樹脂と、
(B)リン含有化合物と、
(C)分子内に少なくとも一つのエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物と、
(D)光重合開始剤と、
を含有し、
前記(B)リン含有化合物が、下記一般式(2)で表されるホスフィン酸塩を含む、感光性樹脂組成物。
Figure 0004586922
[式(2)中、A及びBは各々独立に、直鎖状又は分枝状の炭素数1〜6のアルキル基、又は、アリール基を示し、MはMg、Ca、Al、Sb、Sn、Ge、Ti、Zn、Fe、Zr、Ce、Bi、Sr、Mn、Li、Na及びKからなる群より選択される少なくとも一種の金属を示し、mは1〜4の整数を示す。]
(A) a novolac acid-modified vinyl group-containing epoxy resin having a biphenyl skeleton;
(B) a phosphorus-containing compound;
(C) a photopolymerizable compound having at least one ethylenically unsaturated group in the molecule;
(D) a photopolymerization initiator;
Contain,
The photosensitive resin composition in which the said (B) phosphorus containing compound contains the phosphinic acid salt represented by following General formula (2) .
Figure 0004586922
[In Formula (2), A and B each independently represent a linear or branched alkyl group having 1 to 6 carbon atoms or an aryl group, and M represents Mg, Ca, Al, Sb, Sn. , Ge, Ti, Zn, Fe, Zr, Ce, Bi, Sr, Mn, Li, Na, and K. m represents an integer of 1 to 4. ]
前記(A)エポキシ樹脂が、(a)下記一般式(1)で表されるエポキシ樹脂と、(b)不飽和基含有モノカルボン酸と、(c)多塩基性カルボン酸無水物との反応生成物である酸変性ビニル基含有エポキシ樹脂を含む、請求項1記載の感光性樹脂組成物。
Figure 0004586922
[式(1)中、R及びRは各々独立に、水素原子、炭素数1〜8のアルキル基、又は、アリール基を示し、nは0〜50の整数を示す。なお、式(1)中、複数存在するR及びRはそれぞれ同一でも異なっていてもよい。]
The (A) epoxy resin is a reaction between (a) an epoxy resin represented by the following general formula (1), (b) an unsaturated group-containing monocarboxylic acid, and (c) a polybasic carboxylic acid anhydride. The photosensitive resin composition of Claim 1 containing the acid-modified vinyl group containing epoxy resin which is a product.
Figure 0004586922
[In Formula (1), R 1 and R 2 each independently represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, or an aryl group, and n represents an integer of 0 to 50. In formula (1), a plurality of R 1 and R 2 may be the same or different. ]
更に(E)熱硬化剤を含有する、請求項1又は2記載の感光性樹脂組成物。  The photosensitive resin composition according to claim 1 or 2, further comprising (E) a thermosetting agent. 前記(B)リン含有化合物が、リン酸エステルを含む、請求項1〜のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。The photosensitive resin composition as described in any one of Claims 1-3 with which the said (B) phosphorus containing compound contains phosphate ester. 前記(B)リン含有化合物が、フェノキシフォスファゼン化合物を含む、請求項1〜のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。(B) the phosphorus-containing compound comprises a phenoxy phosphazene compound, the photosensitive resin composition according to any one of claims 1-4. フレキシブル基板上に永久マスクとなる硬化膜を形成するためのものである、請求項1〜のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。The photosensitive resin composition as described in any one of Claims 1-5 which is for forming the cured film used as a permanent mask on a flexible substrate. 支持体と、該支持体上に形成された請求項1〜のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂組成物層と、を備える感光性エレメント。A photosensitive element provided with a support body and the photosensitive resin composition layer which consists of a photosensitive resin composition as described in any one of Claims 1-6 formed on this support body.
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