JP4571060B2 - ホーリーファイバの接続構造の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、ファイバ長手方向に空孔を有するホーリーファイバと、マルチモードファイバなどの無空孔ファイバとを低損失で融着接続する接続構造の製造方法に関する。

希土類元素が添加されたコアを有するホーリーファイバは、ファイバ長手方向に延びる空孔に囲まれた領域が高開口数となることから、高効率な光増幅器及びファイバレーザ用ファイバとしての利用が期待されている。これは、空孔に囲まれている領域（第１クラッド）に励起光を導波して増幅する構造である。
しかし、フォトニッククリスタルファイバやホーリーファイバと励起光用マルチモードファイバとを融着接続した場合には、融着部近傍で空孔が潰れてしまい、それにより励起光の接続損失が増加してしまうことが知られている。

そこで、従来より、ホーリーファイバの接続において、空孔を潰さずに融着接続する方法が検討されてきた（例えば、特許文献１参照）。
また、異種ファイバを融着部に挟むことにより、低損失で融着接続する方法も提案されている（例えば、特許文献２、３参照。）。
また、融着接続を行う２種のファイバ外径が大きく異なる場合、ファイバ径を統一することで融着時の軸ずれによる接続損失増加を改善する方法も提案されている（例えば、特許文献４参照。）。
更に、ホーリーファイバの空孔を潰し、加工する部品に関しても提案されている（例えば、特許文献５参照。）。
特開２００４−１７７８０４号公報 特開２００４−２５２０４０号公報 特開２００４−６１９１７号公報 特開２００５−４１２９号公報 特開２００４−３４１４４８号公報

しかしながら、前述した各従来技術にあっては、ホーリーファイバを融着接続する際に、融着部近傍の空孔をなるべく潰さないように、融着条件等を詳細に検討する必要があった。
また、空孔を有するホーリーファイバと融着しようとするファイバの間に接続用ファイバ端材を挟む方法は、様々な特性を満たすファイバを作製する必要がある。また、融着接続する２種のファイバの外径を統一する処理が必要であり、この処理に手間がかかる上、ホーリーファイバの空孔が大きい場合には採用することができない問題がある。

本発明は前記事情に鑑みてなされ、ホーリーファイバとマルチモードファイバなどの無空孔ファイバとを低損失で融着接続する接続構造の製造方法の提供を目的とする。

前記目的を達成するため、本発明は、第１クラッドの周囲に空孔層が設けられ、該空孔層の周囲に第２クラッドが設けられてなるホーリーファイバの一端と、コアとその周囲のクラッドを備えた無空孔ファイバの一端とを融着接続し、次いで該融着部をエッチングにより細径化するホーリーファイバの接続構造の製造方法であって、前記融着部のエッチングは、前記無空孔ファイバの前記クラッドを除去してコアを露出させ、前記コアの外径を前記ホーリーファイバの空孔層の外径より細くし、かつ、前記無空孔ファイバの外径を、この無空孔ファイバから前記ホーリーファイバに向けて出射される光の開口数が前記ホーリーファイバの開口数より大きくならない範囲で細径化することを特徴とするホーリーファイバの接続構造の製造方法を提供する。

前記融着接続工程において、前記ホーリーファイバの一端を潰して空孔潰れ部分を形成し、前記融着部のエッチング工程において、前記空孔潰れ部分の外径を前記無空孔ファイバの外径とともに細径化することが好ましい。

前記目的を達成するため、本発明は、コアとその周囲のクラッドを備えた無空孔ファイバの一端を予めエッチングにより細径化した後、該無空孔ファイバの一端と、第１クラッドの周囲に空孔層が設けられ、該空孔層の周囲に第２クラッドが設けられてなるホーリーファイバの一端とを融着接続するホーリーファイバの接続構造の製造方法であって、前記エッチングは、前記無空孔ファイバの前記クラッドを除去してコアを露出させ、前記コアの外径を前記ホーリーファイバの空孔層の外径より細くし、かつ、前記無空孔ファイバの外径を、この無空孔ファイバから前記ホーリーファイバに向けて出射される光の開口数が前記ホーリーファイバの開口数より大きくならない範囲で細径化することを特徴とするホーリーファイバの接続構造の製造方法を提供する。

前記目的を達成するため、本発明は、コアとその周囲のクラッドを備えた無空孔ファイバの一端を予め第一のエッチングにより細径化した後、該無空孔ファイバの一端と、第１クラッドの周囲に空孔層が設けられ、該空孔層の周囲に第２クラッドが設けられてなるホーリーファイバの一端とを融着接続し、次いで該融着部を第二のエッチングにより細径化するホーリーファイバの接続構造の製造方法であって、前記第一と第二のエッチングにより、前記無空孔ファイバの前記クラッドを除去してコアを露出させ、前記コアの外径を前記ホーリーファイバの空孔層の外径より細くし、かつ、前記無空孔ファイバの外径を、この無空孔ファイバから前記ホーリーファイバに向けて出射される光の開口数が前記ホーリーファイバの開口数より大きくならない範囲で細径化することを特徴とするホーリーファイバの接続構造の製造方法を提供する。

本発明のホーリーファイバの接続構造の製造方法において、前記融着接続工程において、前記ホーリーファイバの一端を潰して空孔潰れ部分を形成し、前記第二のエッチング工程において、前記空孔潰れ部分の外径を前記無空孔ファイバの外径とともに細径化することが好ましい。

本発明のホーリーファイバの接続構造の製造方法において、前記ホーリーファイバと前記無空孔ファイバは、ともに石英ガラス製であり、前記エッチングは、フッ化水素、フッ化硝酸又はフッ化物水溶液に接触させてエッチングすることが好ましい。

本発明のホーリーファイバの接続構造の製造方法において、前記ホーリーファイバと前記無空孔ファイバは、ともに石英ガラス製であり、前記無空孔ファイバとホーリーファイバの一方又は両方に、Ｅｒ，Ｎｄ，Ｈｏ，Ｔｍ，Ｐｒ，Ｙｂ，Ｅｕ，Ｇｅからなる群から選択される１種又は２種以上の元素を含むことが好ましい。

本発明によれば、ホーリーファイバとマルチモードファイバなどの無空孔ファイバとを融着接続する際にホーリーファイバの空孔潰れに影響を受けず、低損失で融着接続を行うことが可能な接続構造と接続方法を提供することができる。
また、本発明の光増幅器及び光ファイバレーザは、本発明の接続構造を備えたものなので、高効率を実現することができる。

以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。
図１は、本発明に係るホーリーファイバの接続構造の第１実施形態を示す側面断面図である。本実施形態の接続構造は、第１クラッド２の周囲に空孔層３が設けられ、該空孔層３の周囲に第２クラッド４が設けられてなる石英ガラス製のホーリーファイバ１の一端と、コア６とその周囲のクラッド７を備えた石英ガラス製のマルチモードファイバ５（無空孔ファイバ）の一端とが融着接続され、その融着部８に細径部９が設けられた構成になっている。

図２は、前記ホーリーファイバ１の構造を示し、図１のＡ−Ａ’部断面図である。図２に示すように、このホーリーファイバ１は、石英ガラスからなる断面円形の第１クラッド１と、その周囲に多数の円形の空孔が並べられた空孔層３と、該空孔層３を囲む石英ガラスからなる第２クラッド４とから構成されている。

また、このホーリーファイバ１に融着接続する無空孔ファイバであるマルチモードファイバ５は、石英系ガラスからなるコア６と、このコア６を囲む低屈折率の石英ガラスからなるクラッド７とからなり、空孔を持たない中実ファイバ構造になっている。なお、本実施形態では無空孔ファイバとしてマルチモードファイバを用いているが、本発明はこれに限定されず、無空孔ファイバとしてシングルモードファイバなどを用いてもよい。

融着接続するホーリーファイバ１の第１クラッド２とマルチモードファイバ５のコア６とは同じ屈折率の材料で構成することが望ましい。例えば、純粋石英ガラスからなるホーリーファイバ１を用いる場合、マルチモードファイバ５は、コア６が純粋石英ガラスからなり、クラッド７がフッ素添加石英ガラスからなるファイバを用いる。

融着部８の近傍には、マルチモードファイバ５とホーリーファイバ１の外周部分をエッチングによって一部除去した細径部９が設けられている。この細径部９は、マルチモードファイバ５部分ではクラッド７を除去してコア６が露出しており、またホーリーファイバ１側では空孔潰れ部分の長さＢが細径化されている。本発明では、この空孔潰れ部分の長さＢに影響を受けることなく、マルチモードファイバ５とホーリーファイバ１を低損失で接続することができる。

図３は、本発明に係るホーリーファイバの接続構造の第２実施形態を示す側面断面図である。本実施形態の接続構造は、融着部８のマルチモードファイバ５側に細径部９を設けた構成になっている。

図４は、本発明に係るホーリーファイバの接続構造の第３実施形態を示す側面断面図である。本実施形態の接続構造は、細径部９を図１及び図２に示すものよりも細径化した構成になっている。

図５は、本発明に係るホーリーファイバの接続構造の第４実施形態を示す側面断面図である。本実施形態の接続構造は、融着部８のマルチモードファイバ５側を図３に示すものよりも細径化するとともに、ホーリーファイバ１の外側に、ガラス又は樹脂からなる外層１０を設けた構成になっている。

次に、本発明に係るホーリーファイバの接続方法を説明する。
本接続方法では、まず、前述したホーリーファイバ１の一端と、マルチモードファイバ５の一端とを融着接続する。この融着接続は、市販の融着接続機を用いて従来の光ファイバの融着接続と同様の手法で行うことができる。

次に、マルチモードファイバ５とホーリーファイバ１の融着部８を、溶液を用いたエッチングなどにより、マルチモードファイバ５のみ、またはマルチモードファイバ５とホーリーファイバ１の両ファイバの外径を細くして細径部９を形成する。

このエッチングに用いる溶液としては、フッ化水素水、あるいはフッ化硝酸やフッ化アンモニウムなどのフッ化物水溶液などが挙げられる。このエッチングにより細径部９を形成するには、例えば、エッチングする部分のみを露出させて融着部８の両側にレジスト膜を成膜し、前記溶液に融着部８とその両側を浸漬し、露出部分のみエッチング除去する方法などによって行うことができる。

前記溶液を用いたエッチングにより、マルチモードファイバ５の融着部８近傍部分は、クラッド７が全て除去され、コア６が露出した状態になる。つまり、マルチモードファイバ５の細径部９ではエアクラッド状態となるため、マルチモードファイバ５内に光が閉じ込められる。マルチモードファイバ５を細径化することにより、マルチモードファイバ５から出射される励起光が第１クラッド２に入射されやすくなり、接続損失が低減できる。

更に、ホーリーファイバ１を第２クラッド４のみをエッチングして細径化することにより、細径化前よりも第１クラッド４部分に挿入される光を多くすることができる。従って、本発明により、ホーリーファイバ１の空孔層３が融着接続により潰れても、接続損失が増加することはなくなり、空孔潰れ部分の長さＢを考慮することなく、低損失な融着接続を行うことが可能となる。

但し、マルチモードファイバ径を細径化することにより、マルチモードファイバ出射光の開口数が大きくなる（ラグランジュの不変量）ため、マルチモードファイバ５の端面から出射される光の開口数がホーリーファイバ１の開口数よりも大きくなると、損失は増加してしまうので、その点については考慮する必要がある。

本発明の接続構造を利用した光増幅器では、希土類元素を添加したコアを有するダブルクラッドホーリーファイバの信号光および励起光が同時に挿入される部分に本接続構造を適用することが可能である。この場合、励起光の接続損失が低減できるので、変換効率に大きく影響を与え、高効率を実現することが可能である。

また、本発明の接続構造を利用したファイバレーザでは、光増幅器と同様に希土類元素を添加したコアを有するダブルクラッドホーリーファイバと信号光及び励起光が同時に挿入される部分に本接続構造を適用することが可能であり、それによって高効率を実現することが可能である。

細径部９の形成方法としては、３種類あり、マルチモードファイバ５とホーリーファイバ１の各ファイバ外径が異なるサンプルの作製が可能である。
第１の方法は、マルチモードファイバ５とホーリーファイバ１を融着し、その後溶液を用いたエッチングなどにより融着部８を細径化する方法である（図１参照）。
第２の方法は、マルチモードファイバ５のみ溶液を用いたエッチングなどで細径化し、径の細くなったマルチモードファイバとホーリーファイバを融着接続する方法である（図３参照）。
第３の方法は、前記第２の方法で作製した融着部を、再度溶液を用いたエッチングなどで細径化する（図４参照）。

また、図５に示すように、ホーリーファイバ１の空孔層の潰れていない部分の外周にガラスや樹脂からなる外層１０を設け、その後前記第１又は第３の方法で接続構造を製造してもよい。前述の方法に加え、ホーリーファイバ１の空孔潰れ部分（Ｂの範囲）のみを第１クラッド径２よりも細径化すれば、より接続損失を低減することが可能である。

図６は、本発明に係るホーリーファイバの接続構造の第５実施形態を示す側面断面図である。本実施形態の接続構造は、ホーリーファイバ１の第２クラッド径と空孔層径の差が、融着接続時のホーリーファイバ１の空孔潰れ部分の長さ以上となるものを利用し、マルチモードファイバ５と融着接続を行う。ホーリーファイバ１の代わりに、シングルモードコアの存在するダブルクラッドホーリーファイバを用いてもよい。また、マルチモードファイバ５の代わりにシングルモードコアの存在するダブルクラッドファイバでもよく、シングルモードファイバの周りに低屈折率樹脂で覆ったダブルクラッドファイバと第１クラッドよりも低屈折率に調整した石英で覆ったダブルクラッドファイバとのいずれを用いることも可能である。

マルチモードファイバ５とホーリーファイバ１との融着部８は、溶液を用いたエッチングなどにより細径化し、マルチモードファイバ５とホーリーファイバ１の両ファイバの外径を細くする。図６中の符号１１で示す領域がエッチング除去部分である。このエッチングに用いる溶液としては、フッ化水素、フッ化硝酸、フッ化アンモニウムなどの溶液が好ましい。

マルチモードファイバ５にエッチングを施すことにより、クラッド７は全て除去され、コア６が露出する。つまり、マルチモードファイバ５側のエッチング除去部分１１はエアクラッド状態となるため、マルチモードファイバ５内に光が閉じ込められる。マルチモードファイバ５を細径化することにより、マルチモードファイバ５から出射される励起光がホーリーファイバ１の第１クラッドに入射されやすくなり、接続損失が低減できる。また、ホーリーファイバ１の第２クラッド４のみエッチングして細径化することにより、細径化前よりも第１クラッド部分に挿入される光を多くすることができる。また、エッチング前にマルチモードファイバ５よりもホーリーファイバ１の外径が大きい場合、ホーリーファイバ１の空孔３が融着接続により潰れた部分を短縮することができ、接続損失を低減できる。

このように、本実施形態では、ホーリーファイバ１の空孔３が融着接続により潰れても、エッチング時間を調整することにより空孔潰れ部分の長さを短縮でき、低損失な融着接続を行うことが可能となる。但し、マルチモードファイバ径を細径化することにより、マルチモードファイバ出射光の開口数が大きくなる（ラグランジュの不変量）ため、マルチモードファイバの端面から出射される光の開口数がホーリーファイバの開口数よりも大きくなると、損失は増加してしまうので、その点については考慮する必要がある。

本実施形態の接続構造を利用した光増幅器では、希土類元素を添加したコアを有するダブルクラッドホーリーファイバの信号光及び励起光が同時に挿入される部分に適用することが可能である。この場合、励起光の接続損失が低減できるので、変換効率に大きく影響を与え、高効率を実現することが可能である。図７は、本実施形態の接続構造を利用した光増幅器の一例を示す構成図であり、この光増幅器２０は、ダブルクラッドファイバ２１と、光増幅用ダブルクラッドホーリーファイバ２２と、それらのファイバをつなぐ融着接続部２３と、励起コンバイナ２５を介して励起光をダブルクラッドファイバ２１に入射可能に接続された励起光源２４とを備えて構成されている。そして、この融着接続部２３に前記接続構造が用いられている。
同様に、本実施形態の接続構造を利用したファイバレーザでは、光増幅器と同様に、希土類元素を添加したコアを有するダブルクラッドホーリーファイバと信号光及び励起光が同時に挿入される部分に適用することが可能で、高効率を実現することが可能である。

サンプルの作製方法としては、２種類あり、マルチモードファイバ５とホーリーファイバ１の各ファイバ外径が異なるサンプルの作製が可能である。方法（１）は、マルチモードファイバ５とホーリーファイバ１とを融着接続し、その後溶液を用いたエッチングなどにより融着部分を細径化する。方法（２）は、マルチモードファイバ５のみをエッチングなどで細径化し、径の細くなったマルチモードファイバ５とホーリーファイバ１を融着接続する。その後、再度溶液を用いたエッチングによって融着部分を細径化する。

［実施例１］
接続損失測定は、波長０．９８μｍのマルチモードレーザを用い、カットバック法により行った。
マルチモードファイバ５は、コア径１０５μｍ、クラッド外径１２５μｍ、開口数０．２２の石英系マルチモードファイバを用いた。
ホーリーファイバ１は、図２に示すように第１クラッド２上に空孔層３が設けられ、空孔層３上に第２クラッド４が設けられた構造の石英系ホーリーファイバを用いた。このホーリーファイバ１の各層の寸法を表１に示す。また、ホーリーファイバ１の空孔潰れ部分の長さＢは５０μｍとした。

図８に測定結果を示す。但し、エッチングを行っていないサンプルのマルチモードファイバ径は、コア径とする。また図８中、ホーリーファイバ第２クラッド径が１２４μｍのものは図３に示す接続構造であり、８６μｍのものは図１及び図４に示す接続構造のものである。
図８に示すように、マルチモードファイバ径と接続損失の関係から、ホーリーファイバの外径を変化させなくても、マルチモードファイバ径を１０５μｍから７０μｍまで細径化することで、接続損失を４．５ｄＢから最大１．５ｄＢまで低減させることができた。

フィッティングを行った理論曲線から、空孔をファイバ長手方向に５０μｍ潰し、ホーリーファイバの外径を変化させない場合でも、マルチモードファイバ径を５５μｍ程度まで細くすることで１．０ｄＢ程度まで接続損失は低減可能であることがわかった。
今回用いたファイバの組み合わせでは、マルチモードファイバ径はラグランジュの不変量より３０μｍまで細径化が可能である。

次に、ホーリーファイバの外径を変化させた場合、ホーリーファイバの空孔が外径８５μｍの円に内接するように存在している。そこで、ホーリーファイバの外径を８６μｍまでエッチングし、マルチモードファイバ径を変化させた場合、マルチモードファイバ径が空孔層径よりも細くなると、接続損失がホーリーファイバの第２クラッド径を変化させない場合よりも速く低減できることがわかる。これは、ファイバ長手方向に空孔潰れ部分が長く、ホーリーファイバの第２クラッド径を変化させないときには、光が空孔潰れ部分で広がり、ホーリーファイバの第１クラッドに光が入らずにファイバの外へ逃げてしまう。しかし、ホーリーファイバの第２クラッド径を空孔の隣接する外径まで細径化することにより、第１クラッドへ光が導波するためである。

［実施例２］
接続損失測定は、波長０．９８μｍのマルチモードレーザを用い、カットバック法により行った。
マルチモードファイバ５は、コア径１０５μｍ、クラッド外径１２５μｍ、開口数０．２２の石英系マルチモードファイバを用いた。
ホーリーファイバ１は、図２に示すように第１クラッド２上に空孔層３が設けられ、空孔層３上に第２クラッド４が設けられた構造の石英系ホーリーファイバを用いた。このホーリーファイバ１の各層の寸法を表２に示す。また、ホーリーファイバ１の空孔潰れ部分の長さは５５μｍとした。

ホーリーファイバ１の空孔３が外径８４μｍの円に内接するように存在している。そこで、ホーリーファイバ１の外径を８５μｍまでエッチングした。その場合、マルチモードファイバ径は５５μｍとなった。このとき、接続損失は６．５ｄＢから０．５ｄＢまで低減した。また、ホーリーファイバ１の空孔潰れ部分の長さは５５μｍから最大３μｍ程度まで短縮することができた。

［実施例３］
空孔潰れ部分の長さを変化させ、エッチング前後の接続損失を調べ、空孔潰れ部分の長さと損失との関係を調べた。
マルチモードファイバ５は、コア径１０５μｍ、クラッド外径１２５μｍ、開口数０．２２の石英系マルチモードファイバを用いた。
ホーリーファイバ１は、図２に示すように第１クラッド２上に空孔層３が設けられ、空孔層３上に第２クラッド４が設けられた構造の石英系ホーリーファイバを用いた。このホーリーファイバ１の各層の寸法を表３に示す。

サンプル作製は、前記方法（２）を用いた。
マルチモードファイバ外径を７７μｍに細径化した後に、ホーリーファイバ１と融着接続した。その時の空孔潰れ部分の長さと接続損失の関係を示しているのが図９の○印である。
そのサンプルについて、ホーリーファイバ外径８６μｍ、マルチモードファイバ外径４１μｍまでそれぞれを細径化した。エッチング後の接続損失は、図９中の□印である。
ホーリーファイバとマルチモードファイバの何れも細径化されるだけでなく、空孔潰れ部分の長さがエッチングにより短縮可能となったことから、接続損失を０．８６ｄＢまで低減できた。

本発明によるホーリーファイバの接続構造の第１実施形態を示す側面断面図である。 図１のＡ−Ａ’部断面図である。 本発明によるホーリーファイバの接続構造の第２実施形態を示す側面断面図である。 本発明によるホーリーファイバの接続構造の第３実施形態を示す側面断面図である。 本発明によるホーリーファイバの接続構造の第４実施形態を示す側面断面図である。 本発明によるホーリーファイバの接続構造の第５実施形態を示す側面断面図である。 本発明によるホーリーファイバの接続構造を用いた光増幅器の一例を示す構成図である。 実施例１の結果を示すグラフである。 実施例３の結果を示すグラフである。

符号の説明

１…ホーリーファイバ、２…第１クラッド、３…空孔層、４…第２クラッド、５…マルチモードファイバ、６…コア、７…クラッド、８…融着部、９…細径部、１０…外層。

Claims (7)

1. 第１クラッドの周囲に空孔層が設けられ、該空孔層の周囲に第２クラッドが設けられてなるホーリーファイバの一端と、コアとその周囲のクラッドを備えた無空孔ファイバの一端とを融着接続し、次いで該融着部をエッチングにより細径化するホーリーファイバの接続構造の製造方法であって、
   前記融着部のエッチングは、前記無空孔ファイバの前記クラッドを除去してコアを露出させ、前記コアの外径を前記ホーリーファイバの空孔層の外径より細くし、かつ、前記無空孔ファイバの外径を、この無空孔ファイバから前記ホーリーファイバに向けて出射される光の開口数が前記ホーリーファイバの開口数より大きくならない範囲で細径化することを特徴とするホーリーファイバの接続構造の製造方法。
2. 前記融着接続工程において、前記ホーリーファイバの一端を潰して空孔潰れ部分を形成し、前記融着部のエッチング工程において、前記空孔潰れ部分の外径を前記無空孔ファイバの外径とともに細径化することを特徴とする請求項１に記載のホーリーファイバの接続構造の製造方法。
3. コアとその周囲のクラッドを備えた無空孔ファイバの一端を予めエッチングにより細径化した後、該無空孔ファイバの一端と、第１クラッドの周囲に空孔層が設けられ、該空孔層の周囲に第２クラッドが設けられてなるホーリーファイバの一端とを融着接続するホーリーファイバの接続構造の製造方法であって、
   前記エッチングは、前記無空孔ファイバの前記クラッドを除去してコアを露出させ、前記コアの外径を前記ホーリーファイバの空孔層の外径より細くし、かつ、前記無空孔ファイバの外径を、この無空孔ファイバから前記ホーリーファイバに向けて出射される光の開口数が前記ホーリーファイバの開口数より大きくならない範囲で細径化することを特徴とするホーリーファイバの接続構造の製造方法。
4. コアとその周囲のクラッドを備えた無空孔ファイバの一端を予め第一のエッチングにより細径化した後、該無空孔ファイバの一端と、第１クラッドの周囲に空孔層が設けられ、該空孔層の周囲に第２クラッドが設けられてなるホーリーファイバの一端とを融着接続し、次いで該融着部を第二のエッチングにより細径化するホーリーファイバの接続構造の製造方法であって、
   前記第一と第二のエッチングにより、前記無空孔ファイバの前記クラッドを除去してコアを露出させ、前記コアの外径を前記ホーリーファイバの空孔層の外径より細くし、かつ、前記無空孔ファイバの外径を、この無空孔ファイバから前記ホーリーファイバに向けて出射される光の開口数が前記ホーリーファイバの開口数より大きくならない範囲で細径化することを特徴とするホーリーファイバの接続構造の製造方法。
5. 前記融着接続工程において、前記ホーリーファイバの一端を潰して空孔潰れ部分を形成し、前記第二のエッチング工程において、前記空孔潰れ部分の外径を前記無空孔ファイバの外径とともに細径化することを特徴とする請求項４に記載のホーリーファイバの接続構造の製造方法。
6. 前記ホーリーファイバと前記無空孔ファイバは、ともに石英ガラス製であり、前記エッチングは、フッ化水素、フッ化硝酸又はフッ化物水溶液に接触させてエッチングすることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のホーリーファイバの接続構造の製造方法。
7. 前記ホーリーファイバと前記無空孔ファイバは、ともに石英ガラス製であり、前記無空孔ファイバとホーリーファイバの一方又は両方に、Ｅｒ，Ｎｄ，Ｈｏ，Ｔｍ，Ｐｒ，Ｙｂ，Ｅｕ，Ｇｅからなる群から選択される１種又は２種以上の元素を含むことを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のホーリーファイバの接続構造の製造方法。

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