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JP4403537B2 - リニアスライド装置 - Google Patents

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JP4403537B2
JP4403537B2 JP2003403727A JP2003403727A JP4403537B2 JP 4403537 B2 JP4403537 B2 JP 4403537B2 JP 2003403727 A JP2003403727 A JP 2003403727A JP 2003403727 A JP2003403727 A JP 2003403727A JP 4403537 B2 JP4403537 B2 JP 4403537B2
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Description

本発明は、ワークを取り扱うテーブルを電磁アクチュエータによりテーブルガイドに沿って直線的に移動させるリニアスライド装置に関するものである。
ワークを取り扱うテーブルを電磁アクチュエータで直線的に駆動するこの種のリニアスライド装置としては、従来より各種構造のものが提案されている。例えば、特許文献1に記載されたリニアスライダは、プレート形の固定台の上面にガイドレールを取り付け、このガイドレールに、電機子コアと電機子コイルとからなる可動子をスライダを介して摺動自在に支持させ、この可動子の上面にテーブルを取り付けている。また、上記固定台の両側端部にはそれぞれプレート状の界磁ヨークを立ち上がらせて上記可動子を両側から取り囲み、これらの界磁ヨークに永久磁石を取り付けて固定子とし、この固定子と上記可動子とによってリニアモータを構成している。そして、上記電機子コイルに通電したとき発生する推力で上記可動子をガイドレールに沿って移動させるものである。
ところが、このような従来のリニアスライダは、電機子コイルを有する可動子の上面にテーブルを直接取り付けているため、コイルからの発熱が該テーブルに直接伝達され、それがテーブル上のワークに伝わって温度上昇を来し易い。リニアスライダを半導体製造装置に用いるような場合には、半導体への熱の伝達をできるだけ防止する必要がある。
一方、特許文献2には、励磁コイルを有する電機子組立体を、テーブル側ではなくベッド側に設けたものが開示されている。このものは、上述した熱伝達の問題は解消することができるが、平行する2本のガイドレールによって上記テーブルを摺動自在に支持するものであるため、構造が複雑であり、しかも、上記2本のガイドレールの軸線と電磁駆動部の軸線とを一致させる作業が面倒である。
特開2002−96233号公報 特開2001−352744号公報
本発明の課題は、電磁アクチュエータの励磁コイルからの発熱がテーブルに伝わりにくく、しかも、構造が簡単で軸合わせが容易なリニアスライド装置を提供することにある。
上記課題を解決するため、本発明のリニアスライド装置は、直線状に延びるテーブルガイドと、このテーブルガイドに沿って軸線方向に移動自在のテーブルと、該テーブルを駆動する電磁アクチュエータとを有し、上記テーブルガイドは、その内部に形成された中空孔と、この中空孔の外側を該テーブルガイドに沿って軸線方向に延び、上記テーブルを移動自在に支持する1つのレール部とを有し、上記電磁アクチュエータは、上記テーブルガイドに組み付けられていて、通電により磁気力を発生する励磁コイルと、この励磁コイルによる磁気力を推力として直線的に変位する可動体とを有し、この可動体が、上記テーブルガイドの中空孔内に該テーブルガイドの軸線方向に変位自在なるように配設されると共に、該可動体と上記テーブルとがジョイント部材を介して相互に連結されていることを特徴とするものである。
本発明の具体的な構成態様によれば、上記テーブルガイドが、略矩形の断面を有する幅広のベース部と、このベース部の上面中央位置から上向きに立ち上がった幅狭の上記レール部とを有していて、このレール部にスライドブロックが移動自在なるように組み付けられ、このスライドブロックに上記テーブルが結合されている。
本発明においては、上記電磁アクチュエータが、上記励磁コイルが組み付けられたコアを有し、これらの励磁コイルとコアとが上記テーブルガイドに組み込まれている。
具体的には、上記コアが、相互間に空隙を保って相対する第1コア部及び第2コア部とからなり、また、上記可動体が、永久磁石と、この永久磁石を保持する非磁性体製の磁石ホルダーとを有していて、上記永久磁石が上記両コア部間の空隙内を変位自在となっている。
更に具体的には、上記第1コア部が筒状をなすと共に、上記第2コア部が柱状をなしていて、該第2コア部が上記第1コア部の内部に同軸状に配設されており、また、上記永久磁石が筒状をなしていて、N極とS極とがラジアル方向に着磁され、この永久磁石が、上記テーブルガイドの中空孔内に上記両コア部と同軸状に配設されている。
本発明において好ましくは、上記テーブルガイドが磁性体により形成され、上記コアを兼用していることである。
本発明の他の構成態様によれば、リニアスライド装置が2組の励磁コイル及びコアと、1つの可動体とを有していて、上記2組の励磁コイル及びコアが互いに相対する位置に配設され、これらのコアの間に上記可動体が配設されている。
本発明においては、上記可動体及びテーブルを含む可動部分の変位を検出するための変位センサーを設けることができる。
本発明によれば、テーブルガイドの外面に形成した1つのレール部にテーブルが移動自在に支持されると共に、このテーブルガイドに電磁アクチュエータが組み付けられ、該電磁アクチュエータの可動体と上記テーブルとがジョイント部材を介して相互に連結されているので、電磁アクチュエータの励磁コイルからの発熱がテーブルに直接伝達されることがなく、しかも、複数のレール部を有する場合に比べて構造が簡単で軸合わせも容易である。
図1〜図6は本発明に係るリニアスライド装置の第1実施例を示すものである。このリニアスライド装置1Aは、直線状に延びるテーブルガイド3と、このテーブルガイド3に沿ってその軸線方向に移動自在のテーブル4と、このテーブル4を駆動する電磁アクチュエータ5と、この電磁アクチュエータ5を制御するドライバ6とを有している。
上記テーブルガイド3は、全体として凸字形の断面形状を有するもので、断面が略矩形状をした幅広のベース部3aと、該ベース部3aの上面中央位置から上向きに立ち上がった幅狭のレール部3bとを一体に有しており、このテーブルガイド3の内部には、その軸線方向に延びる円形の中空孔10が形成されている。上記ベース部3aの四隅には、複数の取付孔11が縦向きに形成され、これらの取付孔11に挿通したボルトでテーブルガイド3を架台等に固定できるようになっている。このテーブルガイド3の基端部には、上記中空孔10を塞ぐようにエンドブロック7が取り付けられ、このエンドブロック7の外面に上記ドライバ6が取り付けられており、テーブルガイド3の先端部は開放している。
また、上記テーブル4は、水平な第1部分4aと、この第1部分4aの先端から直角に下向きに延びる第2部分4bとにより、略L字形の全体形状を有するように形成され、上記第1部分4aが、スライドブロック8を介して上記テーブルガイド3のレール部3bに移動自在に支持されている。上記第1部分4aは、その上面に搬送すべきワークを載置するためのもので、上記テーブルガイド3とほぼ同じ横幅寸法を有している。また、上記第2部分4bは、ワークを押圧する工程などに使用されるもので、その下端部は上記テーブルガイド3の底部近くまで延び、電磁アクチュエータ5の可動体30に、ジョイント部材13を介してボルト14で連結されている。このジョイント部材13は、上記可動体30から中空孔10の外側に向けて軸線方向に延出するもので、後述する磁石ホルダー39と一体をなすものである。しかし、このジョイント部材13は、磁石ホルダー39とは別に形成して相互に連結したものであっても良い。
上記スライドブロック8は、上記テーブルガイド3とほぼ同じ横幅と、該テーブルガイド3よりも短い軸方向長さとを有し、その下面中央部には、上記テーブルガイド3のレール部3bが嵌合する凹溝15を有しており、該レール部3bに次のようにして移動自在に支持されている。即ち、図4及び図5から分かるように、上記レール部3bの左右両側面と、上記スライドブロック8の凹溝の左右両溝壁には、それらの互いに相対する位置に、V字形又は凹字形のガイド溝16がテーブルガイド3の軸線方向に形成され、これらのガイド溝16,16間に複数の転動子17が介在し、これらの転動子17を介して上記スライドブロック8がレール部3bに移動自在に支持されている。上記転動子17は、鉄製又はステンレス製の鋼球で形成されているが、硬質合成樹脂製の樹脂球であっても良く、このような球状の転動子17が無端の長円形状に配列され、スライドブロック8の移動に伴って上記スライドブロック8とレール部3bとに転がり接触しながら循環的に転動するようになっている。上記転動子17として樹脂球を使用する場合は、この樹脂球のみを単独で使用しても良いが、望ましくは樹脂球と鋼球とを混合して使用し、それらを交互に配置することである。
また、上記転動子17は、無端状に配設されて転動する方式である必要はなく、定位置において上記スライドブロック8とレール部3bとに転がり接触する方式であっても構わない。更に、転動子17の形状は球に限るものではなく、円柱状やそれ以外の形状であっても良い。あるいは、上記スライドブロック8をレール部3b上に支持する支持機構は、車輪や滑り軸受を用いたものであっても、エア浮上式又は磁気浮上式の支持機構であっても良い。
上記スライドブロック8は、ダンパー機構20によって移動範囲が規定されている。このダンパー機構20は、図2及び図5から分かるように、上記テーブルガイド3の一方の側面に固定された凹字形のダンパーベース21と、上記スライドブロック8の側面に固定されてこのダンパーベース21の凹部21a内に嵌合する当接子22とを有している。上記ダンパーベース21における凹部21aの左右両側壁部21b,21bには、該凹部21a内に先端が突出する螺子棒状のストッパ23,23が、上記テーブルガイド3の軸線と平行する向きにそれぞれナット23aで進退調節自在なるように取り付けられ、上記スライドブロック8が変位したとき、上記当接子22がこれらのストッパ23,23に当接することにより、該スライドブロック8の両ストローク端の位置が規定されるようになっている。
また、上記電磁アクチュエータ5は、図4から明らかなように、励磁コイル31に通電することにより発生する磁気力を推力として上記可動体30を直線的に変位させる形式のもので、実施例では、磁石可動型のアクチュエータとして構成され、上記テーブルガイド3に組み付けられている。さらに詳述すると、この電磁アクチュエータ5は、上記励磁コイル31と、この励磁コイル31が組み付けられた磁性体製のコア32と、上記可動体30とを有していて、これらの励磁コイル31とコア32と可動体30とが、上記テーブルガイド3に込み付けられ、上記励磁コイル31とドライバ6とが、エンドブロック7を貫通するリード線33で電気的に接続されている。上記ドライバ6は、回路がプリントされたプリント基板上に必要な電気部品を搭載することにより形成したもので、上記エンドブロック7の外側面に取り付けられ、着脱自在のカバー6aで覆われている。
上記コア32は、実質的に筒状をなす外側の第1コア部32aと、柱状をなす内側の第2コア部32bとを有していて、上記第1コア部32aが、磁性体で形成された上記テーブルガイド3によって兼用されており、この第1コア部32aの内部、即ち上記中空孔10の内部に、上記第2コア部32bが同軸状に配設されている。そして、第2コア部32bの外周の基端部寄りの位置に上記励磁コイル31が巻かれ、この第2コア部32bの先端部寄りの外周面と第1コア部32aの内周面との間に、上記可動体30の永久磁石35が移動するための空隙36が形成されている。上記第2コア部32bは第1コア部32aよりも短く形成されていて、この第2コア部32bの先端部37bは、第1コア部32aの先端部37aよりも軸線方向内側寄りの後退した配置を占めるように配設され、反対側の基端部は、上記エンドブロック7に保持されている。このエンドブロック7は磁性体で形成され、上記第1コア部32aに接触することによってこの第1コア部32a及び第2コア部32bと共に磁気回路を構成している。
上記第1コア部32aは、図示した実施例では上記テーブルガイド3によって兼用されているが、このテーブルガイド3とは別の独立する円筒部材として形成し、それを該テーブルガイド3の中空孔10内に嵌め付けても良い。この場合に該テーブルガイド3は、磁性体によって形成する必要はない。このように上記第1コア部32aとテーブルガイド3とを別々に形成した場合でも、上記テーブルガイド3の中空孔10の孔径が第1コア部32aの肉厚分だけ大きくなる程度で、リニアスライド装置のコンパクト化は実現することができるが、より構造を簡単にして一層のコンパクト化を図るためには、上記実施例のようにテーブルガイド3に第1コア部32aを兼用させることが望ましい。
なお、上記第1コア部32aをテーブルガイド3とは別に形成する場合、その長さをテーブルガイド3と同じにすることなく、該テーブルガイド3より短く形成して、その先端部37aを第2コア部32bの先端部37bとほぼ同位置に配置することもできる。
上記可動体30は、N極とS極とがラジアル方向に着磁された円筒形の上記永久磁石35と、この永久磁石35を保持する円柱状をしたアルミニウム等の非磁性体製の磁石ホルダー39とからなるもので、この磁石ホルダー39の先端部に形成された筒部39aの外周に上記永久磁石35が嵌め付けられている。この可動体30は、上記第1コア部32aの内部先端寄りの位置に、上記永久磁石35が上記両コア32部と同軸状に位置するように配設され、該コア32部の軸線方向に変位自在となっている。そして、上記永久磁石35の外径は第1コア部32aの内径よりやや小さく形成され、また、該永久磁石35の内径と磁石ホルダー39の筒部の内径とは第2コア部32bの外径よりやや大きく形成されているため、この永久磁石35は、上記両コア32部間の空隙36内を変位することができる。上記磁石ホルダー39の基端部に上記ジョイント部材13が形成されている。
上記電磁アクチュエータ5において、上記励磁コイル31に電流を流すと、上記第1コア部32aと第2コア部32bとが互いにN,S逆の極性に磁化され、その極性は電流の向きに応じて変化する。そこで、例えば、上記永久磁石35が内周側をS極に、外周側をN極に着磁されている場合、上記可動体30が図4の第1位置を占めている状態で、上記励磁コイル31に通電することによって上記第1コア部32aがS極に、第2コア部32bがN極になると、永久磁石35は、磁気吸引力により第2コア部32b側に引き付けられて図の左方向に移動し、両コア部32a,32b間の空隙36内に進入した第2位置に切り換わる。この永久磁石35即ち可動体30の変位よってテーブル4及びスライドブロック8もレール部3bに沿って第2位置に移動し、該テーブル4上に載置されたワークが搬送される。
上記励磁コイル31に流れる電流の向きを逆にすると、上記第1コア部32aがN極になり、第2コア部32bがS極になるため、これら両コア部32a,32bと永久磁石35との間に作用する磁気反発力によって可動体30は図の右方向に移動し、図4の第1位置に移動する。これに伴って上記テーブル4及びスライドブロック8も同じ第1位置に移動する。
なお、励磁コイル31への非通電時に上記可動体30は、永久磁石35による磁気力の作用で上記第2コア部32b側に引き寄せられるため、基本的には上記第2位置を占めることになるが、この可動体30又は上記スライドブロック8をコイルばね等のばね手段で付勢することにより、非通電時に、これらの可動体30及びスライドブロック8を上記第1位置か第2位置の何れかの位置を占めるように構成することもできる。
上記励磁コイル31は通電によって発熱するが、この熱は、上記テーブルガイド3やエンドブロック7等を通じて周囲に分散されて放熱され、テーブル4に直接伝わることがないため、このテーブル4上のワークが加熱されると言った不都合は回避される。特に、上記テーブル4が固定されているスライドブロック8は、テーブルガイド3の外面に形成された断面積の小さいレール部3bに支持されていて、このスライドブロック8とレール部3b即ちテーブルガイド3との接触面積も非常に小さいため、該テーブルガイド3からの熱は上記スライドブロック8及びテーブル4に伝わりにくい。
なお、放熱性を向上させるため、上記励磁コイル31を合成樹脂によってコーティングし、このコーティングした樹脂と上記第1コア部32aとを伝熱性に勝れた接着剤で接着することが望ましい。これにより、励磁コイル31からの発熱が上記コーティング層から接着剤を介して上記第1コア部32aに直接伝達され、外気や架台等に向けて放熱されるため、放熱効率が一段と良好になって放熱時間も短縮される。また、その他の互いに接合する部材の間、例えば上記励磁コイル31を巻いたボビン31aと第2コア部32bとの間などを接着剤で接着する場合に、上述したような伝熱性に勝れた接着剤を使用することにより、放熱性が一段と向上する。
また、上記テーブルガイド3の上面中央位置に1本のレール部3bを形成し、このレール部3bに上記テーブル4をスライドブロック8を介して支持させているので、2本のレールに沿ってテーブル4を摺動させるものに比べて構造が簡単で、上記レール部3bと電磁アクチュエータ5との間の軸合わせも簡単である。
上記リニアスライド装置1Aには、電磁アクチュエータ5で駆動される可動部分、つまり、上記可動体30かスライドブロック8あるいはテーブル4といったような可動部分の動作位置を検出するための位置検出機構が付設されている。図示した実施例では、この位置検出機構が、上記スライドブロック8の変位を変位センサーで検出するように構成されている。即ち、上記テーブルガイド3の上記ダンパー機構20を取り付けた側とは反対側の側面には、上記スライドブロック8の側面の少なくとも一部を覆うようにセンサーレール43が取り付けられ、このセンサーレール43に形成された2つの取付溝44内の軸線方向互いに異なる位置に、磁気感応型の変位センサ45がそれぞれ取り付けられている。これに対して上記スライドブロック8の側面には、上記変位センサー45と対応する位置に、一つの被検出用マグネット46が適宜のマグネットホルダによって取り付けられている。そして、この被検出用マグネット46の変位に伴う磁束密度の変化を上記各変位センサー45で検出することにより、上記スライドブロック8の両ストローク端の位置又はストローク中の全位置が検出されるように構成されている。上記変位センサー45からの信号は、上記ドライバ6にフィードバックし、電磁アクチュエータ5の制御に利用することができる。
しかし、上記位置検出機構の構成は、このような検出方式のものに限定されない。例えば図7に示す第2実施例のリニアスライド装置1Bのように、エンコーダスケール47の目盛をリーダーヘッド48でカウントする方式であっても良い。この場合、図示したように、エンコーダスケール47をスライドブロック8側に取り付け、リーダーヘッド48をテーブルガイド3側に取り付けても、その逆に、エンコーダスケール47をテーブルガイド3側に取り付け、リーダーヘッド48をスライドブロック8側に取り付けても良い。
また、上記エンコーダスケール47及びリーダーヘッド48を設置する場所も、図7に示すような、テーブルガイド3におけるベース部3aの側端部上面と、スライドブロック8の側端部下面とに限らず、テーブルガイド3におけるレール部3bの上面と、スライドブロック8の上記レールを覆う部分の下面とであっても、あるいは、上記テーブルガイド3の中空孔の内部と上記可動体とであっても良い。更には、図8及び図9に示す第3実施例のリニアスライド装置1Cのように、テーブルガイド3に、可動体30が収容されている中空孔10と平行に検出孔49を形成し、この検出孔49内に上記可動体30と同期して移動する検出用の移動子50を収容し、この移動子50と検出孔49側とに上記エンコーダスケール47とリーダーヘッド48とを設置しても良い。
図10は本発明の第4実施例を示すもので、この第4実施例のリニアスライド装置1Dが上記第1実施例のリニアスライド装置1Aと相違する点は、第1実施例では、可動体30とテーブル4とが、テーブルガイド3の中空孔10の軸線方向に延びるジョイント部材13を介して相互に連結されているのに対し、この第4実施例では、可動体30とテーブル4とが、中空孔10の軸線と直角方向に延びてテーブルガイド3の一部を横切るジョイント部材13を介して相互に連結されている点である。
即ち、上記テーブルガイド3の上面のスライドブロック8が配設されている部分に、中空孔10に連なる切り欠き53が形成され、この切り欠き53を通じて可動体30の磁石ホルダー39と上記スライドブロック8とが、上記テーブルガイド3の軸線と直角に立ち上がった直棒状の上記ジョイント部材13を介して相互に連結されている。このように構成することにより、第1実施例に比べてリニアスライド装置の軸方向長さを短縮することが可能になる。
この第4実施例の上記以外の構成及びその好ましい変形例等については、実質的に第1実施例と同じであるから、それらの主要な同一構成部分に第1実施例と同じ符号を付してその説明は省略する。
図11は本発明の第5実施例を原理的に示すもので、この第5実施例のリニアスライド装置1Eは、2組のコア32,32と1つの可動体30とを有する点で上記各実施例と相違している。上記コア32は、上記各実施例の場合と同様に、円筒状の第1コア部32aと、該第1コア部32aの内部に同軸状に設けられた円柱状の第2コア部32bとからなっていて、この第2コア部32bの基端部外周に励磁コイル31が巻かれており、また、上記可動体30は、ラジアル方向に着磁した円筒形の永久磁石35を円筒形の磁石ホルダー39に保持させたものである。そして、上記2組のコア32,32が、テーブルガイド3の中空孔10内に間隔を保って互いに相対するように収容されると共に、それらの間に上記可動体30が配設され、この可動体30と、上記テーブルガイド3に支持されたスライドブロック8とが、ジョイント部材13で相互に連結されている。
また、上記テーブルガイド3の両端部には、上記2組のコア32の励磁コイル31に通電するためのドライバ6がそれぞれ設けられているが、これらのドライバ6は一つにまとめても良い。この第5実施例の上記以外の構成及びその好ましい変形例等については、実質的に第4実施例と同じである。
なお、上記各実施例では、テーブルガイド3の中空孔10が円形をなしていて、これに合わせて、電磁アクチュエータ5の第1コア部32aと第2コア部32b及び可動体30が円筒形や円柱形などに形成されているが、それらは何れも矩形や凹形などの角形であっても良い。また、上記テーブルガイド3と第1コア部32aとを別に形成する場合には、上記中空孔10を円形として、上記第1コア部32aと第2コア部32b及び可動体30を角形に形成することも、その逆に、上記中空孔10を角形として、上記第1コア部32aと第2コア部32b及び可動体30を円形状に形成することもできる。さらに、上記中空孔10も、全長を通じて完全に閉じた断面を有している必要はなく、上記第4実施例に示すように一部に切り欠き53が形成されていても、側面がスリット等によって開放していても構わない。
図12は本発明の第6実施例を原理的に示すもので、この第6実施例のリニアスライド装置1Fは、ボイスコイル型の電磁アクチュエータ5を有するものである。この電磁アクチュエータ5においては、ボビン31aに巻かれた励磁コイル31が、第2コア部32bの外周にそのほぼ全長にわたり装着されていて、この励磁コイル31の外周と第1コア部32aの内周との間に形成された空隙36内に可動体30の永久磁石35が移動自在に嵌合している。
この第6実施例の上記以外の構成及びその好ましい変形例等については、実質的に第1実施例と同じであるから、それらの主要な同一構成部分に第1実施例と同じ符号を付してその説明は省略する。
なお、上記第6実施例では、励磁コイル31が第2コア部32bの外周に装着され、この励磁コイル31の外周に永久磁石35が配設されているが、上記励磁コイル31を第1コア部32aの内周面側に装着し、この励磁コイル31の内側、即ち、該励磁コイル31の内周と第2コア部32bの外周との間に永久磁石35を配設しても良い。また、これらの例のようにコア32側に励磁コイル31を設け、可動体30側に永久磁石35を設ける代わりに、上記コア32側、つまり第1コア部32aの内周又は第2コア部32bの外周に永久磁石35を設け、可動体30側に励磁コイル31を設けることにより、この励磁コイル31が磁気力で変位するように構成することもできる。
図13は本発明の第7実施例を原理的に示すもので、この第7実施例のリニアスライド装置1Gは、磁気力で鉄心が変位するソレノイド型の電磁アクチュエータ5を有するものである。即ち、この電磁アクチュエータ5においては、可動体30が磁性体からなる可動鉄心部60を有していて、この可動鉄心部60が、第1コア部32aの中空部内に第2コア部32bと相対するように配設され、励磁コイル31の内側まで延びている。上記第2コア部32bの先端37bは、先細りのテーパーが付されることによって凸形形状に形成され、これに対する可動鉄心部60の先端60aは、外広がりのテーパーが付された窪み60bによって凹形形状に形成されている。そして、上記励磁コイル31に通電することにより、上記可動鉄心部60が第2コア部32bに吸着されるものである。
この第7実施例の上記以外の構成及びその好ましい変形例等については、実質的に第1実施例と同じであるから、それらの主要な同一構成部分に第1実施例と同じ符号を付してその説明は省略する。
本発明に係るリニアスライド装置の第1実施例を示す側面図である。 上記リニアスライド装置の図1とは反対側の側面図である。 図1の平面図である。 図3におけるIV−IV線での拡大断面図である。 図2におけるV−V線での断面図である。 図1におけるVI−VI線での部分断面図である。 本発明の第2実施例を示す側面図である。 本発明の第3実施例を示す縦断面図である。 図8におけるIX−IX線での断面図である。 本発明の第4実施例を示す縦断面図である。 本発明の第5実施例を示す縦断面図である。 本発明の第6実施例を示す縦断面図である。 本発明の第7実施例を示す縦断面図である。
符号の説明
1A,1B,1C,1D,1E,1F,1G リニアスライド機構
3 テーブルガイド
3a ベース部
3b レール部
5 電磁アクチュエータ
10 中空孔
13 ジョイント部材
30 可動体
31 励磁コイル
32 コア
35 永久磁石
36 空隙
39 磁石ホルダー
45 変位センサー

Claims (8)

  1. 直線状に延びるテーブルガイドと、このテーブルガイドに沿って軸線方向に移動自在のテーブルと、該テーブルを駆動する電磁アクチュエータとを有し、
    上記テーブルガイドは、その内部に形成された中空孔と、この中空孔の外側を該テーブルガイドに沿って軸線方向に延び、上記テーブルを移動自在に支持する1つのレール部とを有し、
    上記電磁アクチュエータは、上記テーブルガイドに組み付けられていて、通電により磁気力を発生する励磁コイルと、この励磁コイルによる磁気力を推力として直線的に変位する可動体とを有し、この可動体が、上記テーブルガイドの中空孔内に該テーブルガイドの軸線方向に変位自在なるように配設されると共に、該可動体と上記テーブルとがジョイント部材を介して相互に連結されている、
    ことを特徴とするリニアスライド装置。
  2. 上記テーブルガイドが、略矩形の断面を有する幅広のベース部と、該ベース部の上面中央位置から上向きに立ち上がった幅狭の上記レール部とを有していて、このレール部にスライドブロックが移動自在なるように組み付けられ、このスライドブロックに上記テーブルが結合されていることを特徴とする請求項1に記載のリニアスライド装置。
  3. 上記電磁アクチュエータが、上記励磁コイルが組み付けられたコアを有していて、これらの励磁コイルとコアとが上記テーブルガイドに組み込まれていることを特徴とする請求項1又は2に記載のリニアスライド装置。
  4. 上記コアが、相互間に空隙を保って相対する第1コア部及び第2コア部とからなり、また、上記可動体が、永久磁石と、この永久磁石を保持する非磁性体製の磁石ホルダーとを有していて、上記永久磁石が上記両コア部間の空隙内を変位自在であることを特徴とする請求項3に記載のリニアスライド装置。
  5. 上記第1コア部が筒状をなすと共に、上記第2コア部が柱状をなしていて、該第2コア部が上記第1コア部の内部に同軸状に配設されており、また、上記永久磁石が筒状をなしていて、N極とS極とがラジアル方向に着磁され、この永久磁石が、上記テーブルガイドの中空孔内に上記両コア部と同軸状に配設されていることを特徴とする請求項4に記載のリニアスライド装置。
  6. 上記テーブルガイドが磁性体により形成され、上記コアを兼用していることを特徴とする請求項3から5の何れかに記載のリニアスライド装置。
  7. 2組の励磁コイル及びコアと、1つの可動体とを有し、上記2組の励磁コイル及びコアが互いに相対する位置に配設されていて、これらのコアの間に上記可動体が配設されていることを特徴とする請求項3から6の何れかに記載のリニアスライド装置。
  8. 上記可動体及びテーブルを含む可動部分の変位を検出するための変位センサーを有することを特徴とする請求項1から7の何れかに記載のリニアスライド装置。
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Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4403537B2 (ja) * 2003-12-02 2010-01-27 Smc株式会社 リニアスライド装置
DE102005052314A1 (de) * 2005-11-01 2007-05-03 Satisloh Gmbh Fast-Tool-Anordnung, insbesondere für Drehmaschinen zur Bearbeitung von optischen Werkstücken
US7847442B2 (en) * 2008-04-22 2010-12-07 Nti Ag Linear motor
JP5627220B2 (ja) * 2009-11-27 2014-11-19 株式会社ニューエラー アクチュエータ
CN104620337B (zh) * 2012-06-20 2018-01-02 茵埃尔希亚有限公司 磁性固定装置和连接器
JP6360774B2 (ja) * 2014-10-29 2018-07-18 Kyb株式会社 リニアアクチュエータ
CN113075486A (zh) * 2021-03-31 2021-07-06 清华大学 植入式医疗仪器用体外控制设备的可靠性测试工装
JP2022189465A (ja) * 2021-06-11 2022-12-22 山洋電気株式会社 リニアモータおよびリニアヘッドモジュール
CN114253004A (zh) * 2021-12-26 2022-03-29 中国人民解放军国防科技大学 一种线性化二维平动正应力式电磁微动平台
CN116197419B (zh) * 2023-04-18 2023-12-29 霖鼎光学(江苏)有限公司 一种高精度隐形眼镜车削装置

Family Cites Families (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2458516A1 (de) 1974-12-11 1976-06-16 Teves Gmbh Alfred Elektromagnetische betaetigungseinrichtung
DE3301760A1 (de) 1983-01-20 1984-07-26 Vdo Schindling Als stellmagnet ausgebildeter hubmagnet
US5099158A (en) * 1989-03-07 1992-03-24 Aura Systems, Inc. Electromagnetic actuator
JP3399992B2 (ja) * 1992-10-08 2003-04-28 エスエムシー株式会社 電動アクチュエータ
DE19519090A1 (de) 1995-05-24 1996-11-28 Siemens Ag Translatorischer Direktantrieb
DE19704695A1 (de) 1997-02-07 1998-08-20 Schuster Heinz Peter Elektromagnetischer Teleskopf-Linearantrieb
US5945747A (en) 1997-02-26 1999-08-31 Systems, Machines, Automation Components, Corporation Apparatus for moving a tool
JP3945916B2 (ja) * 1998-09-04 2007-07-18 三洋電機株式会社 可動鉄心型リニアモータ
JP4273476B2 (ja) * 2000-02-18 2009-06-03 Smc株式会社 リニアアクチュエータ
JP4470194B2 (ja) * 2000-02-18 2010-06-02 Smc株式会社 リニアアクチュエータ
JP4104810B2 (ja) * 2000-06-02 2008-06-18 日本トムソン株式会社 可動マグネット型リニアモータを内蔵したスライド装置
JP4547650B2 (ja) * 2000-09-08 2010-09-22 Smc株式会社 リニアアクチュエータ
JP2002096233A (ja) 2000-09-18 2002-04-02 Yaskawa Electric Corp リニアスライダ
DE20116467U1 (de) 2001-03-02 2001-12-13 Rexroth Star GmbH, 97424 Schweinfurt Linearführungsanordnung mit Linearmotor für schienengeführte Linearbewegungen
JP4814438B2 (ja) * 2001-05-02 2011-11-16 日本トムソン株式会社 リニアモータを内蔵したステージ装置
DE20113014U1 (de) 2001-08-04 2001-10-04 Festo AG & Co, 73734 Esslingen Elektrodynamischer Lineardirektantrieb
JP2004056892A (ja) * 2002-07-18 2004-02-19 Yaskawa Electric Corp リニアモータ装置
JP2004112864A (ja) * 2002-09-13 2004-04-08 Nippon Thompson Co Ltd リニアモータを内蔵したxyステージ装置
JP4074170B2 (ja) * 2002-10-02 2008-04-09 オークマ株式会社 リニアモータを用いた送り装置
US6930412B2 (en) * 2003-01-16 2005-08-16 En-Sheng Chang Closed box structure of the horizontal linear motor machine tool
JP2004364348A (ja) * 2003-06-02 2004-12-24 Yaskawa Electric Corp θ−Xアクチュエータ
JP4539045B2 (ja) * 2003-07-16 2010-09-08 株式会社安川電機 ムービングマグネット形リニアアクチュエータ
JP4522674B2 (ja) * 2003-08-29 2010-08-11 Juki株式会社 小型スライド装置
JP2005094976A (ja) * 2003-09-19 2005-04-07 Miki Pulley Co Ltd 直動アクチュエータ
JP4403537B2 (ja) * 2003-12-02 2010-01-27 Smc株式会社 リニアスライド装置
JP2005245066A (ja) * 2004-02-24 2005-09-08 Yaskawa Electric Corp ムービングマグネット形リニアモータ
JP2005278280A (ja) * 2004-03-24 2005-10-06 Yaskawa Electric Corp ムービングコイル形リニアスライダ

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