JP4290204B2 - 基板処理装置の設定操作支援装置，設定操作支援方法，プログラムを記憶する記憶媒体 - Google Patents

Description

本発明は，基板処理装置の設定操作支援装置，設定操作支援方法，プログラムを記憶する記憶媒体に関する。

基板処理装置の運転のためには様々な設定や操作等が必要となり，これら設定や操作等は一般に，オペレータによって基板処理装置の操作部からの操作によって行うことができるようになっている。操作部はソフトウエアプログラムによって管理されるタッチパネル式の操作表示部，ハードウエアで構成される複数のボタンなどを備え，これらは例えば基板処理装置の前面に設けられる。

上記操作部のうち操作表示部には，設定画面や操作画面など多数の画面が表示される。これらの画面は予め種類別に複数グループに分類されるとともに，各グループの画面はそれぞれ階層構造になっており，ある種類のグループの画面に表示されるボタンを押下することでそのグループ内の次の階層の画面を表示させることができる。オペレータは，このような操作表示部の画面を見て，これから行うべき設定や操作に対応するボタンを選択してタッチ操作を繰返すことによって次々と画面を切換えて所望の画面を探し出し，必要な設定や操作を行う（例えば特許文献１参照）。通常，基板処理装置を運転する際には，先に必要な設定画面を探し出して各種の設定を行った上で，必要な操作画面を探し出して操作を行い，基板処理装置を設定通りに運転させる。

特開平８−２２７８３５号公報

ところで，基板処理装置のように各種の設定項目が多岐にわたる装置では，設定画面の数も非常に多い。例えばハードウエアで構成されるボタンなどの設定操作，ガス流量，圧力などプロセス条件の設定操作，半導体ウエハなどの基板搬送系の設定操作，装置を構成する多数の部品の型番や種類などの設定操作など様々な設定操作が必要となる。

また，近年の基板処理装置の多機能化に伴って，新たな機能が追加される度に，その機能を設定するための設定画面が追加されていくので，設定画面の数も益々増加の傾向にある。しかも，これらの新たな設定画面は，関連する画面グループの既に存在する階層に次々と追加されたり，またさらに深い階層が新たに設けられそこに追加されたりするので，各階層の画面の数も増え，また階層の数も益々増えていく。

このように画面の階層が深いほど，オペレータが画面操作で所望の設定画面までたどり着くのに時間と手間がかかってしまうという問題がある。また画面の分類の仕方によっては，同じ対象物の設定画面が別の画面グループの階層に含まれることもあるため，このような場合には所望の設定画面を探し出すのに非常に手間がかかってしまう。また，操作画面と設定画面が別の画面グループの場合には，例えばいったん設定画面による設定操作を行った後に，設定を終了して操作画面に切換えて装置の運転をしているときに，その操作対象物の設定を変更したい場合には，再び設定画面に切換えて操作対象物の所望の設定項目を次々と設定画面を切換えることによって探し出して設定し直さなければならないという設定操作の煩わしさもあった。

また，このような所望の設定画面を探し出すためには，各種の設定画面，設定項目を含む設定操作の知識と経験が必要になるため，オペレータによってはどこにどのような機能があるのか，その機能の存在自体を把握しきれず，また機能を設定したいときにどこに所望の設定項目が存在するのかわからないという虞もある。

そこで，本発明は，このような問題に鑑みてなされたもので，その目的とするところは，基板処理装置の設定操作をする際に，簡単な操作で所望の画面を即時に表示させることができるようにすることで，設定操作の煩わしさをなくし，使い勝手を向上させることができる設定操作支援装置等を提供することにある。

上記課題を解決するために，本発明のある観点によれば，基板処理装置の設定操作を支援する設定操作支援装置であって，前記基板処理装置を操作するための操作対象物と，少なくとも前記操作対象物の設定に関する画面を表示可能なタッチパネル式の操作表示部と，前記操作対象物の設定に関する画面によって設定された事項を記憶する設定記憶部と，設定支援ボタンと，前記操作対象物とこの操作対象物の設定に関する画面とが予め関連づけられた操作対象物設定関連画面情報を記憶する画面記憶部と，前記設定支援ボタンが押下されてから前記操作対象物による操作が行われると，その操作対象物に関連づけられた画面を前記画面記憶部から検索して前記操作表示部に表示する制御部と，を備えたことを特徴とする設定操作支援装置。

上記操作対象物は，例えば前記操作表示部に表示される操作ボタン又は前記操作表示部とは別個に設けられた操作ボタンであり，前記設定支援ボタンは，例えば前記操作表示部に表示される機能設定ボタン又は前記操作表示部とは別個に設けられた機能設定ボタンであり，前記操作対象物の設定に関する画面は，例えば機能設定画面である。

このような本発明によれば，オペレータは設定支援ボタンを押下して，操作対象物による操作を行うという極めて簡単な操作を行うだけで，その操作対象物の設定に関する画面が操作表示部に即時にしかも自動的に表示される。これにより，設定操作にかかる時間を大幅に短縮することができる。しかも，操作対象物による操作を行うことができれば，たとえ設定画面がどこにあるかなど設定操作の知識や経験がなくても，設定支援ボタンを押下するだけで操作対象物の設定に関する画面を操作表示部に即時に表示させることができる。また操作対象物の設定に関する画面が自動的に表示されるので，必要な機能を簡単に見つけ出すことができる。また，従来のように所望の設定画面を次々と切換えて設定画面を見つけ出す作業も不要となるので，設定操作の煩わしさがなくなり，使い勝手を向上させることができる。

また，上記設定支援ボタンは，前記機能設定ボタンと機能解説ボタンを備え，前記画面記憶部には，前記操作対象物に対してこの操作対象物の機能設定画面と機能解説画面が予め関連づけられた操作対象物設定関連画面情報が記憶され，前記制御部は，前記機能設定ボタンが押下されてから前記操作対象物による操作が行われると，その操作対象物に関連づけられた機能設定画面を前記画面記憶部から検索して前記操作表示部に表示し，前記機能解説ボタンが押下されてから前記操作対象物による操作が行われると，その操作対象物に関連づけられた機能解説画面を前記画面記憶部から検索して前記操作表示部に表示するようにしてもよい。

これによれば，オペレータは機能解説ボタンを押下して，操作対象物による操作を行うという極めて簡単な操作を行うだけで，その操作対象物の機能解説画面が操作表示部に即時にしかも自動的に表示される。これにより，機能解説画面を探し出す手間を省くことができ，表示された解説を確認して設定操作を行うことができるので設定操作を確実に行うことができる。

さらに，上記操作対象物の操作によって動作される動作対象物のシミュレーションを実行可能なシミュレータを設け，前記制御部は，前記操作表示部に表示された画面による設定操作が行われると，その設定事項を前記設定記憶部に記憶し，その後にその操作対象物の操作によって動作する動作対象物について前記設定記憶部に記憶した設定事項に応じたシミュレーションを前記シミュレータに実行させ，そのシミュレーションの画像を前記操作表示部に表示させるようにしてもよい。

これによれば，操作表示部に表示された画面による設定操作が行われた後，即時にその操作による動作についてのシミュレーションを操作表示部に表示させることができるので，設定による動作を即時に確認することができる。これにより，実際の操作を設定通りに確実に行うことができる。また，設定後に実際に基板処理装置を運転させてその操作による動作を確認するなどの確認作業の手間を省くことができるので，使い勝手を向上させることができる。

上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，基板処理装置の設定操作を支援する設定操作支援装置であって，前記基板処理装置の構成物のうち動作の設定が可能な動作対象物と，前記動作対象物の動作についてのシミュレーションを実行するシミュレータと，少なくとも前記動作対象物の動作設定に関する画面と，前記動作対象物の前記シミュレーションによる動画を表示可能なタッチパネル式の操作表示部と，前記動作対象物の動作設定に関する画面によって設定された事項を記憶する設定記憶部と，設定支援ボタンと，前記動作対象物とこの動作対象物の動作設定に関する画面とが予め関連づけられた動作対象物設定関連画面情報を記憶する画面記憶部と，前記操作表示部に前記シミュレーションによる動作対象物の動画が表示されている際に，前記設定支援ボタンが押下されてから前記操作表示部のタッチ操作によりシミュレーション実行中の動作対象物の特定が行われると，その動作対象物に関連づけられた画面を前記画面記憶部から検索して前記操作表示部に表示する制御部とを備えたことを特徴とする設定操作支援装置が提供される。

上記設定支援ボタンは，例えば前記操作表示部に表示される機能設定ボタン又は前記操作表示部とは別個に設けられた機能設定ボタンであり，前記動作対象物の動作設定に関する画面は，例えばその動作対象物の動作についての機能設定画面である。

このような本発明によれば，オペレータが設定支援ボタンを押下して，シミュレーションによる動作中の動作対象物をその操作表示部の画面上のタッチ操作で特定するという極めて簡単で視覚的に分りやすい操作だけで，その動作対象物の設定に関する画面が操作表示部に即時にしかも自動的に表示される。これにより，設定操作にかかる時間を大幅に短縮することができる。しかも，動作対象物をシミュレーションで動作させている間であれば，たとえ設定画面がどこにあるかなど設定操作の知識や経験がなくても，設定支援ボタンを押下するだけで動作対象物の設定に関する画面を操作表示部に即時に表示させることができる。また動作対象物の設定に関する画面が自動的に表示されるので，必要な機能を簡単に見つけ出すことができる。また，従来のように所望の設定画面を次々と切換えて設定画面を見つけ出す作業も不要となるので，設定操作の煩わしさがなくなり，使い勝手を向上させることができる。

また，上記設定支援ボタンは，前記機能設定ボタンと機能解説ボタンを備え，前記画面記憶部には，前記動作対象物に対してこの動作対象物の機能設定画面と機能解説画面が予め関連づけられた動作対象物設定関連画面情報が記憶され，前記制御部は，前記操作表示部に前記シミュレーションによる動作対象物の動作画像が表示されている際に，前記機能設定ボタンが押下されてから前記シミュレーション実行中の動作対象物が特定されると，その動作対象物に関連づけられた機能設定画面を前記画面記憶部から検索して前記操作表示部に表示し，前記機能解説ボタンが押下されてから前記シミュレーション実行中の動作対象物が特定されると，その動作対象物に関連づけられた機能解説画面を前記画面記憶部から検索して前記操作表示部に表示するようにしてもよい。

これによれば，オペレータは機能解説ボタンを押下して，シミュレーションによる動作中の動作対象物をその操作表示部の画面上のタッチ操作で特定するという極めて簡単で視覚的に分りやすい操作を行うだけで，その動作対象物の機能解説画面が操作表示部に即時にしかも自動的に表示される。これにより，機能解説画面を探し出す手間を省くことができ，表示された解説を確認して設定操作を行うことができるので設定操作を確実に行うことができる。

また，上記制御部は，前記動作対象物の動作設定に関する画面による設定操作が行われると，その設定事項を前記設定記憶部に記憶し，その後にその動作対象物について前記設定記憶部に記憶した設定事項に応じたシミュレーションを実行させ，そのシミュレーションの画像を前記操作表示部に表示させるようにしてもよい。

これによれば，操作表示部に表示された画面による設定操作が行われた後，即時にその動作対象物の動作についてのシミュレーションを操作表示部に表示させることができるので，設定による動作を即時に確認することができる。これにより，動作対象物の実際の動作を設定通りに確実に行うことができる。また，設定後に実際に基板処理装置を運転させてその動作対象物の動作を確認するなどの確認作業の手間を省くことができるので，使い勝手を向上させることができる。

上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，基板処理装置の設定操作を支援する設定操作支援装置であって，前記基板処理装置の構成物のうちその構成物の設定が可能な設定対象物と，前記設定対象物についてのシミュレーション表示を実行するシミュレータと，少なくとも前記設定対象物の設定に関する画面と，前記設定対象物の前記シミュレーションによる画像を表示可能なタッチパネル式の操作表示部と，前記設定対象物の設定に関する画面によって設定された事項を記憶する設定記憶部と，設定支援ボタンと，前記設定対象物とこの設定対象物の設定に関する画面とが予め関連づけられた設定対象物設定関連画面情報を記憶する画面記憶部と，前記操作表示部に前記シミュレーション表示による前記設定対象物の画像が表示されている際に，前記設定支援ボタンが押下されてから前記操作表示部のタッチ操作により表示中の設定対象物の特定が行われると，その設定対象物に関連づけられた画面を前記画面記憶部から検索して前記操作表示部に表示する制御部とを備えたことを特徴とする設定操作支援装置が提供される。

上記設定支援ボタンは，例えば前記操作表示部に表示される機能設定ボタン又は前記操作表示部とは別個に設けられた機能設定ボタンであり，前記設定対象物の設定に関する画面は，例えばその設定対象物についての機能設定画面である。

このような本発明によれば，オペレータが設定支援ボタンを押下して，シミュレーションによる表示中の設定対象物をその操作表示部の画面上のタッチ操作で特定するという極めて簡単で視覚的に分りやすい操作だけで，その設定対象物の設定に関する画面が操作表示部に即時にしかも自動的に表示される。これにより，設定操作にかかる時間を大幅に短縮することができる。しかも，設定対象物をシミュレーションで表示させている間であれば，たとえ設定画面がどこにあるかなど設定操作の知識や経験がなくても，設定支援ボタンを押下するだけで設定対象物の設定に関する画面を操作表示部に即時に表示させることができる。また設定対象物の設定に関する画面が自動的に表示されるので，必要な機能を簡単に見つけ出すことができる。また，従来のように所望の設定画面を次々と切換えて設定画面を見つけ出す作業も不要となるので，設定操作の煩わしさがなくなり，使い勝手を向上させることができる。

また，上記設定支援ボタンは，前記機能設定ボタンと機能解説ボタンを備え，前記画面記憶部には，前記設定対象物に対してこの設定対象物の機能設定画面と機能解説画面が予め関連づけられた設定対象物設定関連画面情報が記憶され，前記制御部は，前記操作表示部に前記シミュレーション表示による前記設定対象物の画像が表示されている際に，前記機能設定ボタンが押下されてから前記シミュレーション表示中の設定対象物が特定されると，その設定対象物に関連づけられた機能設定画面を前記画面記憶部から検索して前記操作表示部に表示し，前記機能解説ボタンが押下されてから前記シミュレーション表示中の設定対象物が特定されると，その設定対象物に関連づけられた機能解説画面を前記画面記憶部から検索して前記操作表示部に表示するようにしてもよい。

これによれば，オペレータは機能解説ボタンを押下して，シミュレーションによる表示中の設定対象物をその操作表示部の画面上のタッチ操作で特定するという極めて簡単で視覚的に分りやすい操作を行うだけで，その設定対象物の機能解説画面が操作表示部に即時にしかも自動的に表示される。これにより，機能解説画面を探し出す手間を省くことができ，表示された解説を確認して設定操作を行うことができるので設定操作を確実に行うことができる。

また，上記制御部は，前記設定対象物の設定に関する画面による設定操作が行われると，その設定事項を前記設定記憶部に記憶し，その後にその設定対象物について前記設定記憶部に記憶した設定事項に応じたシミュレーションを実行させ，そのシミュレーションの画像を前記操作表示部に表示させるようにしてもよい。

これによれば，操作表示部に表示された画面による設定操作が行われた後，即時にその設定対象物を操作表示部にシミュレーション表示させることができるので，設定された設定対象物を即時に確認することができる。これにより，設定対象物の設定を確実に行うことができる。

上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，基板処理装置の設定操作を支援する設定操作支援方法であって，前記基板処理装置に設けられた設定支援ボタンが押下されたか否かを判断する工程と，前記設定支援ボタンが押下されたと判断した場合に，前記基板処理装置の構成物のうちの設定可能な対象物についての操作，操作表示部に表示されたシミュレーション画像のうちの動作対象物又は設定対象物の特定操作のうちのいずれかの操作が行われたか否かを判断する工程と，前記操作が行われたと判断した場合には，予め画面記憶部に記憶された前記各対象物とこれらの対象物の設定に関する画面とが関連づけられた対象物設定関連画面情報に基づいて，前記操作が行われた対象物に関連づけられた画面を検索して前記操作表示部に表示する工程とを有することを特徴とする基板処理装置の設定操作支援方法が提供される。

上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，基板処理装置の設定操作を支援する設定操作支援方法を実行するプログラムを記憶するコンピュータ読取可能な記憶媒体であって，コンピュータに前記基板処理装置に設けられた設定支援ボタンが押下されたか否かを判断するステップと，前記設定支援ボタンが押下されたと判断した場合に，前記基板処理装置の構成物のうちの設定可能な対象物についての操作，操作表示部に表示されたシミュレーション画像のうちの動作対象物又は設定対象物の特定操作のうちのいずれかの操作が行われたか否かを判断するステップと，前記操作が行われたと判断した場合には，予め画面記憶部に記憶された前記各対象物とこれらの対象物の設定に関する画面とが関連づけられた対象物設定関連画面情報に基づいて，前記操作が行われた対象物に関連づけられた画面を検索して前記操作表示部に表示するステップとを実行させることを特徴とするプログラムを記憶する記憶媒体が提供される。

本発明によれば，基板処理装置の設定操作をする際に，簡単で分りやすい操作で所望の画面を即時にしかも自動的に表示させることができるので，設定操作の煩わしさをなくすことができ，使い勝手を向上させることができる。

以下に添付図面を参照しながら，本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお，本明細書及び図面において，実質的に同一の機能構成を有する構成要素については，同一の符号を付することにより重複説明を省略する。

先ず，本発明の実施形態にかかる設定操作支援装置として機能可能な基板処理装置について図面を参照しながら説明する。ここでは，基板処理装置として，本発明を縦型の熱処理装置に適用した場合を例に挙げて説明する。図１は，熱処理装置の外観構成の概略を示す斜視図であり，図２は熱処理装置の内部構成の概略を示す縦断面図である。図１では熱処理装置の内部に配設される各部の構成の概略を点線で示している。

図１，図２に示すように，熱処理装置１００は，複数枚例えば２５枚の被処理基板例えば半導体ウエハＷを収納したキャリア１０２を筐体１０４内に搬入搬出（ロード・アンロード）するためのロードポート１１０と，このロードポート１１０から搬入された複数のキャリア１０２を収納，保管するキャリアステージ１２０と，多数枚例えば７５枚のウエハを多段に保持したウエハボート（保持手段）１３０を収容してウエハＷに所定の熱処理例えばＣＶＤ処理を施す熱処理炉１４０と，ウエハボート１３０に移載されるウエハＷを収容するキャリア１０２が載置されるＦＩＭＳポート１５０と，制御部３００を備えている。

キャリア１０２は，容器本体内に複数枚のウエハＷを水平状態で上下方向に所定間隔で多段に収納可能であり，容器本体の前面に着脱可能な蓋（図示せず）を備えたいわゆる密閉型運搬容器（ＦＯＵＰ：Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）である。キャリア１０２は，例えば，ＯＨＴ（天井走行型搬送装置），ＡＧＶやＲＧＶ（床走行型搬送装置），ＰＧＶ（手押し型搬送装置）によって運搬される。

熱処理炉１４０は，筐体１０４内の後部上方に設置されており，下部が炉口１４０Ａとして開口された縦長の処理容器としての反応管１４２と，反応管１４２の周囲を覆うように設けられ，反応管１４２内の雰囲気を所定の温度例えば３００〜１２００℃に加熱制御可能な加熱機構としてのヒータ１４４とを備えている。なお，反応管１４２は，例えば高い耐熱性と電気絶縁性を有する石英ガラスで構成される。また，ヒータ１４４は，例えば抵抗発熱体で構成される。

また，熱処理炉１４０の反応管１４２には，その内部に処理ガスやパージ用の不活性ガスを導入するための複数のガス導入管が接続されているとともに，その内部の圧力を調整するための真空ポンプと圧力制御弁が排気管を介して接続されている。

筐体１０４内には，熱処理炉１４０を設置するための例えばステンレス鋼製のベースプレート１０６が水平に設けられている。ベースプレート１０６には，熱処理炉１４０の炉口１４０Ａに対応する位置に開口部（図示せず）が形成されている。ウエハボート１３０は，この開口部を通じて熱処理炉１４０内にロードされ，また熱処理炉１４０内からアンロードされる。

熱処理炉１４０の下方には，筐体１０４，ベースプレート１０６，および隔壁１０８によって囲まれたローディングエリア１７０が設けられている。熱処理炉１４０内にロードされるウエハボート１３０は，このローディングエリア１７０にて待機する。また，ローディングエリア１７０には，熱処理炉１４０の炉口１４０Ａを下方から密閉する蓋体１７２，昇降回転機構１７４，蓋体１７２が下降したときに炉口１４０Ａを遮蔽（遮熱）するためのシャッタ機構(図示せず)，アンロードされたウエハボート１３０とＦＩＭＳポート１５０上のキャリア１０２との間でウエハＷの移載を行うウエハ移載機構１７６，および隔壁１０８に形成された開口部（図示せず）を密閉可能な扉機構１７８が配置されている。

ウエハボート１３０は，大口径例えば直径３００ｍｍのウエハＷを水平状態で上下方向に所定間隔で多段に支持するボート本体１３０Ａおよびこのボート本体１３０Ａを支える脚部１３０Ｂから構成されている。このウエハボート１３０の材料としては，石英ガラスなどを採用することができる。

蓋体１７２には，昇降回転機構１７４が取り付けられている。このため，蓋体１７２は，垂直方向への昇降動作が可能であり，熱処理炉１４０の炉口１４０Ａを開状態または閉状態とすることができる。また，蓋体１７２には，炉口１４０Ａを加熱または保温する機構（図示せず）が設けられている。

ウエハボート１３０の脚部１３０Ｂは，昇降回転機構１７４の回転軸に連結されている。この構成により，ウエハボート１３０は，蓋体１７２と連動した垂直方向への昇降動作が可能であるとともに，水平回転動作も可能である。したがって，ウエハボート１３０は，水平方向の回転角度が調整された状態で熱処理炉１４０内へロードされる。

筐体１０４内の前部にはキャリア１０２の搬送および保管を行う搬送保管エリア１８０が設けられている。この搬送保管エリア１８０と上記のローディングエリア１７０は，隔壁１０８によって仕切られている。

搬送保管エリア１８０の下部には，ＦＩＭＳポート１５０が配置されている。このＦＩＭＳポート１５０は，キャリア１０２が載置される台１５０Ａと，キャリア１０２の容器本体の前面周縁部が隔壁１０８に当接するようにキャリア１０２を固定する固定機構（図示せず）と，キャリア１０２の蓋を開閉する蓋開閉機構（図示せず）とを備えている。なお，このＦＩＭＳポート１５０を並列に２つ備えるようにしてもよい。

搬送保管エリア１８０の後方上部には，キャリアステージ１２０が設けられている。キャリアステージ１２０は，例えば，第１〜第３の載置棚１２０Ａ，１２０Ｂ，１２０Ｃを有し，それぞれにキャリア１０２を載置して保管できるように構成されている。

搬送保管エリア１８０の前方上部には，ロードポート１１０，キャリアステージ１２０，およびＦＩＭＳポート１５０の間でキャリア１０２の搬送，移載を行うキャリアトランスファ１８２が設けられている。

ロードポート１１０は，キャリア１０２を載置する台１１０Ａと，キャリア１０２を搬送保管エリア１８０内に搬入搬出するための開口部１１０Ｂとを備えている。ロードポート１１０へのキャリア１０２の搬送およびロードポート１１０からのキャリア１０２の搬出は，例えば床面走行型搬送装置または作業員によって行われる。

ロードポート１１０の上方の正面壁部には，熱処理装置１００についてオペレータが各種の操作や機能設定などを行うための操作部２００が設けられている。操作部２００は，熱処理装置１００の各部を制御する制御部３００に接続されている。制御部３００は，操作部２００からの操作に基づいて，熱処理装置１００の各種制御例えばキャリア１０２の搬送制御，ウエハＷの移載制御，熱処理のプロセス制御，シミュレーション表示制御等を行うようになっている。

（制御部の構成例）
ここで，制御部３００の構成例について図面を参照しながら説明する。制御部３００は熱処理装置１００を設定操作支援装置として機能可能に構成される。図３は，制御部の概略構成を示すブロック図である。図３に示すように制御部３００は，制御部本体を構成するＣＰＵ（中央処理装置）３１０を備える。ＣＰＵ３１０は，制御バス，データバス等のバスラインにより，上記操作部２００，熱処理装置１００の各部のシミュレーション（例えば後述する動作対象物の動作についてのシミュレーション，設定対象物の表示についてのシミュレーション等）を実行するためのシミュレータ３３０，ＣＰＵ３１０の処理で使用されるメモリ３４０，ＣＰＵ３１０の処理に必要なデータ等を記憶する記憶部３５０に接続されている。

操作部２００は，オペレーション操作表示部２１０，シミュレーション操作表示部２２０などの操作表示部を備えるとともに，操作支援ボタン２３０（ここでは機能設定ボタン２３２，機能解説ボタン（ＨＥＬＰボタン）２３４），オペレータアクセスボタン（オペレータアクセススイッチ）２４０など各種の操作ボタンを備える。操作部２００は例えば図１，図６に示すように熱処理装置１００の正面に配設されている。

オペレータアクセスボタン２４０は，キャリア１０２をオペレータによってロードポート１１０にセットする場合に使用するボタンである。このオペレータアクセスボタン２４０は例えばキャリア１０２をマニュアルでセットする場合の設定として次のような２つの機能設定が可能になっている。１つ目の機能設定は，オペレータアクセスボタン２４０を押してからロードポート１１０にキャリア１０２をセットし，セットした後にもう一度オペレータアクセスボタン２４０を押すことによって，熱処理装置１００側がキャリア１０２がセットされたことを認識するという設定である。また，２つ目の機能設定は，オペレータアクセスボタン２４０を押してからロードポート１１０にキャリア１０２をセットすると，これを熱処理装置１００側で自動的に検出しキャリア１０２がセットされたことを認識するという設定である。これらの設定は図１１に示すようなオペレータアクセスボタン設定画面によって設定変更できるようになっている。

オペレーション操作表示部２１０，シミュレーション操作表示部２２０などの操作表示部は，例えばタッチパネル式の操作表示パネルによって構成される。図６に示すようにオペレーション操作表示部２１０は，オペレータの操作に基づいて各種の画面を表示させることができる。オペレーション操作表示部２１０に表示される画面としては，例えば操作ボタンなどを表示する操作画面，設定ボタンや設定入力欄などを表示する設定画面，機能の解説などを表示する機能解説画面（ＨＥＬＰ画面），熱処理装置の状態（温度，圧力等）などを表示する状態表示画面などが挙げられる。また，オペレーション操作表示部２１０の各画面に表示されたボタンを押下することで，各種の操作や設定を行うことができることができるようになっている。

シミュレーション操作表示部２２０には，例えば熱処理装置１００の構成物のうちの動作の設定が可能な対象物（例えば図２に示すキャリアトランスファ１８２，ウエハ移載機構１７６など）についてシミュレータ３３０によって行われるシミュレーション画像が動画で表示される。また，種類や型番などの設定が可能な設定対象物（例えば図２に示すウエハボート１３０など）についてのシミュレータ３３０によって行われるシミュレーション画像が２次元表示又は３次元表示（立体表示）される。このようにシミュレーション操作表示部２２０に表示された動作対象物や設定対象物の画像の表示領域を手指等でタッチすることで，その動作対象物や設定対象物を特定することができるようになっている。

記憶部３５０は例えばハードディスクなどで構成され，プログラム記憶部３５１，画像データ記憶部３５２，設定データ記憶部３５３，画面データ記憶部３５４等を備える。

プログラム記憶部３５１には，例えば熱処理装置１００の各部を制御するためのプログラムや，上述した操作表示部２１０，２２０の表示制御を行う表示プログラム，熱処理装置１００の各部の設定を行うための設定プログラム，熱処理装置１００の各部の動作シミュレーションの動画表示や立体表示するためのシミュレーションプログラム，後述する設定操作支援処理を実行するプログラムなどの各種のプログラムが記憶されている。これらのプログラムはＣＰＵ３１０により必要に応じて読み出されて実行される。

画像データ記憶部３５２には，シミュレータ３３０による動作対象物の動作を２次元又は３次元の動画で表示するシミュレーションを実行するための画像データや，設定対象物を２次元又は３次元で表示するシミュレーションを実行するための画像データなど必要な画像データが記憶されている。

設定データ記憶部３５３には，各設定画面による設定操作で設定される設定データを記憶する。この設定データには，プロセス処理の条件（温度，圧力等）の設定データ，熱処理装置に使用される各部（炉内に供給するガス流量を制御するマスフローコントローラ，ボートエレベータ等）のサイズや種類などの設定データが含まれる。

画面データ記憶部３５４には，上述した操作画面，機能設定画面，ＨＥＬＰ画面などオペレーション操作表示部２１０に表示させる各種の画面データが記憶される。例えば図４に観念的に示すように各画面は複数のグループで構成され，これら各グループの画面はそれぞれ階層構造になっている。例えば図４に示すメニュー画面に表示されるボタンを押下することで第１階層の画面Ａ１，Ｂ１，Ｃ１…が表示され，さらに第１階層の画面例えば画面Ａ１に表示されるボタンを押下することで第２階層の画面Ａ１１，Ａ１２，…が表示され，第２階層の画面例えば画面Ａ１１に表示されるボタンを押下することで第３階層の画面Ａ１１１，Ａ１１２，…が表示されるというように，次々と表示される画面が切換えられるようになっている。

ところで，熱処理装置１００などの基板処理装置では，その機能も多岐にわたるので機能設定画面やその機能の解説を表示する機能解説画面（ＨＥＬＰ画面）の数も非常に多い。近年の基板処理装置の多機能化に伴って，新たな機能が追加される度に，その機能を設定するための機能設定画面やＨＥＬＰ画面が追加されていくので，機能設定画面の数も益々増加の傾向にある。また，新たな機能が追加される度に，これらの画面の数は益々増える傾向にある。しかも，これらの新たな機能設定画面やＨＥＬＰ画面は，関連する画面グループの既に存在する階層に次々と追加されたり，またさらに深い階層が新たに設けられそこに追加されたりするので，各階層の画面の数も増え，また階層の数も益々増えていく。

このように画面の階層が深いほど，オペレータが画面操作で所望の設定画面までたどり着くのに時間と手間がかかってしまうという問題がある。また画面の分類の仕方によっては，同じ対象物の設定画面が別の画面グループの階層に含まれることもあるため，このような場合には所望の設定画面を探し出すのに非常に手間がかかってしまう。また，操作画面と設定画面が別の画面グループの場合には，例えばいったん設定画面による設定操作を行った後に，設定を終了して操作画面に切換えて装置の運転をしているときに，その操作対象物の設定を変更したい場合には，再び設定画面に切換えて操作対象物の所望の設定項目を次々と設定画面を切換えることによって探し出して設定し直さなければならないという設定操作の煩わしさもあった。

また，このような所望の設定画面を探し出すためには，各種の設定画面，設定項目を含む設定操作の知識と経験が必要になるため，オペレータによってはどこにどのような機能があるのか，その機能の存在自体を把握しきれず，また機能を設定したいときにどこに所望の設定項目が存在するのかわからないという虞もある。

そこで，本発明では，熱処理装置１００を構成する構成物のうち設定が可能な対象物（例えば後述する操作対象物，動作対象物，設定対象物）についての機能設定画面及びＨＥＬＰ画面についてはそれぞれ，これらの対象物に予め関連づけしておくとともに，操作支援ボタン（例えば機能設定ボタン２３２，ＨＥＬＰボタン２３４）を設け，操作支援ボタンを押下して上記操作対象物の操作，シミュレーション画像の動作対象物の特定や設定対象物の特定を行った場合には，これら対象物に予め関連づけされた機能設定画面やＨＥＬＰ画面を即時に表示させることができるようにした（設定操作支援処理）。これにより，オペレータは簡単な操作で所望の機能設定画面やＨＥＬＰ画面を素早く表示させることができるようになり，設定操作の煩わしさをなくし，使い勝手を向上させることができる。

機能設定画面及びＨＥＬＰ画面を所定の対象物に関連づけたデータは，例えば画面データ記憶部３５４に記憶される。すなわち，画面データ記憶部３５４には，例えば図５Ａに示すように所定の操作対象物にそれぞれの機能設定画面及び機能解説画面（ＨＥＬＰ画面）を関連づけした操作対象物設定関連画面情報を予め記憶する操作対象物設定関連画面データテーブル３５２Ａ，例えば図５Ｂに示すように所定の動作対象物に機能設定画面及び機能解説画面（ＨＥＬＰ画面）を関連づけした動作対象物設定関連画面情報を予め記憶する動作対象物設定関連データテーブル３５２Ｂ，例えば図５Ｃに示すように所定の設定対象物に機能設定画面及び機能解説画面（ＨＥＬＰ画面）を関連づけした設定対象物設定関連画面情報を予め記憶する設定対象物設定関連データテーブル３５２Ｃが設けられる。なお，ＨＥＬＰ画面に表示する機能解説については，上記のようにＨＥＬＰ画面とともに画面データ記憶部３５４に記憶しておいてもよく，またＨＥＬＰデータ記憶部（図示しない）を別途設けてこれに各ＨＥＬＰ画面に関連づけて機能解説を記憶しておくようにしてもよい。

ここでは，操作対象物とは，熱処理装置１００を操作するための操作ボタンなどのうち，その操作の設定が可能な対象物をいう。操作対象物としては例えば図１に示すオペレータアクセスボタン２４０が挙げられる。なお，操作ボタンとしては，本実施形態のようにハードウエアとして操作部２００に設けられたボタンであってもよく，またオペレーション操作表示部２１０に表示されたボタンであってもよい。

また，動作対象物とは，熱処理装置１００を構成する構成物のうち動作の設定が可能な対象物をいう。動作対象物としては例えば図２に示すキャリアトランスファ１８２，ウエハ移載機構１７６などが挙げられる。また，設定対象物とは，熱処理装置１００を構成する構成物のうち種類や型番などの設定が可能な対象物をいう。設定対象物としては，例えば図２に示すウエハボート１３０などが挙げられる。なお，動作対象物と設定対象物とは必ずしも別の構成物である必要はなく，同一の構成物であってもよい。熱処理装置１００を構成する構成物のうち種類や型番などの設定が可能な設定対象物の中には，動作設定も可能な動作対象物も含まれるからである。

ところで，上述したような機能設定画面，ＨＥＬＰ画面，操作画面を含む各画面は，例えば図６に示すように，オペレーション操作表示部２１０に表示される。図６には操作画面としての操作メニュー画面の表示例を示している。操作メニュー画面にはガス，温度，プロセスのボタンの他，モード変更ボタン２１２が表示される。モード変更ボタン２１２を押下すると，例えば図７に示すように熱処理装置１００を実際に運転してウエハの処理を行う通常運転モードと，熱処理装置１００を実際には運転せずにシミュレータ３３０によるシミュレーション（例えば動作対象物の動作シミュレーション，設定対象物の表示シミュレーション）を行い，シミュレーション操作表示部２２０にそのシミュレーション画像を表示するシミュレータモードのボタンが表示され，これらのモードをオペレータの操作によって選択できるようになっている。

また，図６に示す操作メニュー画面には設定ボタン２１４が表示され，この設定ボタン２１４が押下されると，オペレーション操作表示部２１０には例えば図８に示すような設定画面としての設定メニュー画面が表示される。この設定メニュー画面に表示されるボタンを押下すると下位の階層の機能設定画面が表示され，そこに表示されるボタンをさらに押下してさらに下位の階層の機能設定画面を表示させるという画面操作を繰り返すことによって，所望の機能設定画面を表示させることができる。

図６に示すシミュレーション操作表示部２２０には，上述したシミュレータモードに設定されている場合，オペレータの図示しない操作画面からの操作によってシミュレータ３３０によって実行される動作対象物のシミュレーション画像が，例えば図９に示すように動画で表示される。また，シミュレーションによって動作中の動作対象物（例えばキャリアトランスファ１８２）やシミュレーションによって表示中の設定対象物（例えばウエハボート１３０）を手指等でタッチすることによって，各対象物を特定することができる。

（設定操作支援処理）
このような構成の熱処理装置１００によって行われる設定操作支援処理について説明する。設定操作支援処理は，制御部３００により所定のプログラムに基づいて実行される。設定操作支援処理は，主として操作ボタンなどの操作対象物の設定操作支援処理と，シミュレーション動作中の動作対象物の設定操作支援処理，シミュレーション表示中の設定対象物の設定操作支援処理に分けられるので，以下これらに分けて説明する。

（操作対象物の設定操作支援処理）
先ず，操作対象物の設定操作支援処理について図面を参照しながら説明する。図１０は操作対象物の設定操作支援処理の具体例を示すフローチャートである。図１０に示すように，先ずステップＳ１１０にて操作支援ボタン２３０が押下されたか否かを判断する。本実施形態では例えば図１１に示すように操作支援ボタン２３０として機能設定ボタン２３２とＨＥＬＰボタン２３４を設けるため，これらのうちのいずれかが押下されたか否かを判断する。そして，ステップＳ１２０にてどちらのボタンが押下されたか判断し，機能設定ボタン２３２が押下されたと判断した場合はステップＳ１３０にて操作対象物の操作が行われたか否かを判断する。例えば操作部２００に設けられた操作対象物としての操作ボタンの操作（例えば図１１に示すオペレータアクセスボタン２４０の操作など）やオペレーション画面に表示された操作対象物としてのボタンによる操作が行われたか否かを判断する。

ステップＳ１３０にて操作対象物の操作が行われたと判断すると，ステップＳ１４０にてその操作対象物に関連付けられた機能設定画面を，画面データ記憶部３５４の例えば図５Ａに示す操作対象物設定関連画面データテーブル３５２Ａから検索してオペレーション操作表示部２１０に表示する。

例えばオペレーション操作表示部２１０には図１１に示すような設定画面が表示される。この設定画面はオペレータアクセスボタン２４０についての設定画面であり，例えばオペレータアクセスボタン２４０の機能設定（例えば上述したキャリア１０２をマニュアルでセットする際の設定など）を画面を見ながらタッチ操作で行うことができるようになっている。また，この設定画面には，設定が終了後にその設定を記憶するための設定終了ボタン２１８，設定後の操作をシミュレーションで実行するためのシミュレーションボタン２１６などが表示される。なお，設定終了ボタン２１８，シミュレーションボタン２１６などは，他の機能設定画面でも使用するため，図１１に示すように画面の下方などのように各機能設定画面で共通に表示する部位に配置することが好ましい。

次いで，ステップＳ１５０にてオペレーション操作表示部２１０に表示された機能設定画面による設定が終了したか否かを判断し，設定が終了したと判断した場合には，その設定を設定データ記憶部３５３に記憶する。例えば図１１に示すような機能設定画面に表示された設定終了ボタン２１８が押下された場合には設定終了と判断し，その設定を記憶する。

次にステップＳ１６０にてシミュレーションを行うか否かを判断する。例えば図１１に示すような機能設定画面に表示されたシミュレーションボタン２１６が押下されると，シミュレーションを行うと判断する。シミュレーションボタン２１６が押下されずに他のボタンや操作がされると，シミュレーションを行わないと判断し，一連の設定操作支援処理を終了する。そして，他のボタンや操作に対応する処理が行われる。

また，ステップＳ１６０にてシミュレーションを行うと判断した場合には，ステップＳ１７０にてその操作対象物の操作をシミュレーションで行う。具体的には，通常運転モードである場合には，いったんシミュレータモードに自動的に切り換えてシミュレーションを行い，シミュレーションが終了したら，モードを元に戻す。既にシミュレータモードである場合には，モードを切り換えずにシミュレーションを行う。シミュレーションでは，設定した操作対象物の操作を行うと，シミュレータ３３０により先ほど設定した設定データに基づいてその操作のシミュレーションが実行され，シミュレーション操作表示部２２０に例えばそのシミュレーションの動画が表示される。シミュレーションが終了すると，一連の設定操作支援処理を終了する。

また，ステップＳ１２０にてＨＥＬＰボタン２３４が押下されたと判断した場合は上記ステップＳ１３０と同様にステップＳ１８０にて操作対象物の操作が行われたか否かを判断する。ステップＳ１８０にて操作対象物の操作が行われたと判断すると，ステップＳ１９０にてその操作対象物に関連付けられたＨＥＬＰ画面を，画面データ記憶部３５４の例えば図５Ａに示す操作対象物設定関連画面データテーブル３５２Ａから検索してオペレーション操作表示部２１０に表示して一連の設定操作支援処理を終了する。

このような操作対象物の設定操作支援処理によれば，オペレータは操作対象物の機能設定を行いたい場合には，機能設定ボタン２３２を押下してその操作対象物の操作を行うという簡単で分かり易い操作だけで，その操作対象物の機能設定画面をオペレーション操作表示部２１０に一度で表示させることができる。このため，従来のように，その操作対象物の機能設定画面を設定メニュー画面から何度も画面を切り換えて表示させながら探す必要がなくなる。これにより，操作の煩わしさを解消し，使い勝手を向上させることができる。

ここで，上述した設定操作支援処理によってオペレータが操作対象物の機能設定操作を行う場合の具体的操作例について図面を参照しながら説明する。図１１は操作対象物の１例としてのオペレータアクセスボタン２４０の機能設定を行う操作を説明するための図であり，図１２はオペレータアクセスボタン２４０の機能解説を表示させる操作を説明するための図である。図１３，図１４は，操作画面に表示されたボタンを操作対象物としてその機能設定を行う操作を説明するための図である。

本実施形態にかかる設定操作支援処理を利用して例えばオペレータアクセスボタン２４０の機能設定を行いたい場合には，オペレータは手指等で機能設定ボタン２３２を押してから，図１１に示すようにオペレータアクセスボタン２４０を手指等で押下すると，実際のオペレータアクセスボタン２４０による処理が行われることなく，オペレーション操作表示部２１０にオペレータアクセスボタン設定画面が一度で表示される。これにより，オペレータが直ぐにオペレータアクセスボタンの設定を行うことができる。

そして，オペレータアクセスボタン２４０の設定を変更した後に，シミュレーションボタン２１６を押下して，オペレータアクセスボタン２４０の操作を行うと，シミュレーション操作表示部２２０に，変更した設定によるオペレータアクセスボタン２４０による操作の処理が動画でシミュレーション表示される。

また，オペレータアクセスボタン２４０のＨＥＬＰ画面を表示させたい場合には，オペレータは手指等でＨＥＬＰボタン２３４を押してから，図１２に示すようにオペレータアクセスボタン２４０を手指等で押下すると，実際のオペレータアクセスボタン２４０による処理が行われることなく，オペレーション操作表示部２１０にオペレータアクセスボタンＨＥＬＰ画面が一度で表示される。これにより，オペレータは直ぐにオペレータアクセスボタン２４０の設定や機能の説明を確認することができる。

次に，操作画面に表示されたボタンを操作対象物としてその機能設定を行う操作について図１３，図１４を参照しながら説明する。図１３に示すようにオペレーション操作表示部２１０に操作画面として例えば使用するガスをボタン操作によりマニュアルで選択するガスマニュアル選択画面が表示されているときに，手指等で機能設定ボタン２３２を押下してから，選択するガスのボタンを押下すると，そのガスが使用するガスとして選択される処理が行われることなく，図１４に示すようにそのガスについての機能を設定するための設定画面がオペレーション操作表示部２１０に表示される。これによれば，ガスマニュアル選択画面によって選択しようとするガスについて，選択する前にそのガスについての機能設定を行うことができる。これにより，設定メニュー画面に切り換えてガスの設定画面を探す必要がなくなり，設定したいときに直ぐに設定できるため，使い勝手を向上させることができる。

このように，上述した操作対象物についての設定操作支援処理によれば，オペレータは機能設定ボタン２３２を押下して，操作ボタンなどの操作対象物による操作を行うという極めて簡単な操作を行うだけで，その操作対象物の設定に関する画面がオペレーション操作表示部２１０に即時にしかも自動的に表示される。これにより，設定操作にかかる時間を大幅に短縮することができる。しかも，操作対象物による操作を行うことができれば，たとえ設定画面がどこにあるかなど設定操作の知識や経験がなくても，機能設定ボタン２３２を押下するだけで操作対象物の設定に関する画面をオペレーション操作表示部２１０に即時に表示させることができる。また操作対象物の設定に関する画面が自動的に表示されるので，必要な機能を簡単に見つけ出すことができる。また，従来のように所望の設定画面を次々と切換えて設定画面を見つけ出す作業も不要となるので，設定操作の煩わしさがなくなり，使い勝手を向上させることができる。

また，オペレータはＨＥＬＰボタン２３４を押下して，操作対象物による操作を行うという極めて簡単な操作を行うだけで，その操作対象物のＨＥＬＰ画面が操作表示部に即時にしかも自動的に表示される。これにより，ＨＥＬＰ画面を探し出す手間を省くことができ，表示された解説を確認して設定操作を行うことができるので設定操作を確実に行うことができる。

また，オペレーション操作表示部２１０に表示された画面による設定操作が行われた後，即時にその操作による動作についてのシミュレーションをシミュレーション操作表示部２２０に表示させることができるので，設定による動作を即時に確認することができる。これにより，実際の操作を設定通りに確実に行うことができる。また，設定後に実際に熱処理装置１００を運転させてその操作による動作を確認するなどの確認作業の手間を省くことができるので，使い勝手を向上させることができる。

（動作対象物の設定操作支援処理）
次に，動作対象物の設定操作支援処理について図面を参照しながら説明する。図１５は動作対象物の設定操作支援処理の具体例を示すフローチャートである。図１５に示すように，先ずステップＳ２００にてシミュレータモードか否かを判断する。シミュレータモードであれば動作対象物の特定をシミュレーション操作表示部２２０の表示画面上で行うことができるからである。次いでステップＳ２１０にて操作支援ボタン２３０が押下されたか否かを判断する。本実施形態では例えば図１６に示すように操作支援ボタン２３０として設けられた機能設定ボタン２３２とＨＥＬＰボタン２３４のうちのいずれかが押下されたか否かを判断する。そして，ステップＳ２２０にてどちらのボタンが押下されたか判断し，機能設定ボタン２３２が押下されたと判断した場合はステップＳ２３０にて動作シミュレーション中の動作対象物が特定されたか否かを判断する。

このような動作対象物の特定は，上述したようにシミュレーション操作表示部２２０により行う。具体的には例えばシミュレーション操作表示部２２０のタッチパネルの座標のうち，動作対象物がシミュレーションによって動作する表示範囲の座標を動作対象物の特定範囲とし，各動作対象物についての特定範囲を予め設定して例えば画像データ記憶部３５２に記憶しておく。そして，例えば図１６に示すようにシミュレーション操作表示部２２０に表示された動作対象物がシミュレーションによる動作中に，その動作対象物の特定範囲が手指等によってタッチされた場合にその動作対象物が特定されたと判断する。なお，動作対象物の特定の仕方については上記のものに限られるものではない。

そして，ステップＳ２３０にて動作シミュレーション中の動作対象物が特定されたと判断すると，ステップＳ２４０にてその動作対象物に関連付けられた機能設定画面を，画面データ記憶部３５４の例えば図５Ｂに示す動作対象物設定関連画面データテーブル３５２Ｂから検索してオペレーション操作表示部２１０に表示する。例えばオペレーション操作表示部２１０には図１６に示すような設定画面が表示される。この設定画面はキャリアトランスファ１８２のキャリア１０２の搬送動作の設定を行うためのキャリア搬送動作設定画面である。

次いで，ステップＳ２５０にてオペレーション操作表示部２１０に表示された機能設定画面による設定が終了したか否かを判断し，設定が終了したと判断した場合には，その設定を設定データ記憶部３５３に記憶する。例えば図１６に示すような機能設定画面に表示された設定終了ボタン２１８が押下された場合には設定終了と判断し，その設定を記憶する。

次にステップＳ２６０にてシミュレーションを行うか否かを判断する。例えば図１６に示すような機能設定画面に表示されたシミュレーションボタン２１６が押下されると，シミュレーションを行うと判断する。シミュレーションボタン２１６が押下されずに他のボタンや操作がされると，シミュレーションを行わないと判断し，一連の設定操作支援処理を終了する。そして，他のボタンや操作に対応する処理が行われる。

また，ステップＳ２６０にてシミュレーションを行うと判断した場合には，ステップＳ２７０にてその動作対象物の動作をシミュレーションで行う。なお，ここでは，既にシミュレータモードであるため，モードを切り換えずにシミュレーションを行うことができる。シミュレーションでは，シミュレータ３３０により先ほど設定した設定データに基づいてその動作対象物の動作についてのシミュレーションが実行され，シミュレーション操作表示部２２０に例えばそのシミュレーションの動画が表示される。シミュレーションが終了すると，一連の設定操作支援処理を終了する。

また，ステップＳ２２０にてＨＥＬＰボタン２３４が押下されたと判断した場合は上記ステップＳ２３０と同様にステップＳ２８０にて動作シミュレーション中の動作対象物の特定が行われたか否かを判断する。ステップＳ２８０にて動作対象物の特定が行われたと判断すると，ステップＳ２９０にてその動作対象物に関連付けられたＨＥＬＰ画面を，例えば画面データ記憶部３５４の例えば図５Ｂに示す動作対象物設定関連画面データテーブル３５２Ｂから検索してオペレーション操作表示部２１０に表示して一連の設定操作支援処理を終了する。

このような動作対象物の設定操作支援処理によれば，オペレータは動作対象物の動作についての機能設定を行いたい場合には，先ずその動作対象物の動作シミュレーションを行って，シミュレーション操作表示部２２０にその動作対象物のシミュレーションの動画を表示させる。そして，機能設定ボタン２３２を押下してから動作シミュレーション中の動作対象物をシミュレーション操作表示部２２０の画面上で手指等によって特定するという簡単で分かり易い操作だけで，その動作対象物の機能設定画面をオペレーション操作表示部２１０に一度で表示させることができる。このため，従来のように，その動作対象物の機能設定画面を設定メニュー画面から何度も画面を切り換えて表示させながら探す必要がなくなる。これにより，操作の煩わしさを解消し，使い勝手を向上させることができる。また，シミュレーションで設定を確認することができるので，設定確認のために実際に熱処理装置１００を運転させる煩わしさをなくすことができる。

ここで，本実施形態にかかる設定操作支援処理を利用してオペレータが動作対象物の機能設定操作を行う場合の具体的操作例について図面を参照しながら説明する。図１６は動作対象物の１例としてのキャリアトランスファ１８２のキャリア搬送動作の機能設定を行う操作を説明するための図であり，図１７はキャリアトランスファ１８２のキャリア搬送動作の機能解説を表示させる操作を説明するための図である。

上述した設定操作支援処理を利用して例えばキャリアトランスファ１８２のキャリア搬送動作についての機能設定を行いたい場合には，動作対象物としてのキャリアトランスファ１８２によるキャリア１０２の搬送動作のシミュレーションが行われている間に，オペレータは手指等で機能設定ボタン２３２を押してから，図１６に示すようにシミュレーション操作表示部２２０で動作中のキャリアトランスファ１８２を手指等でタッチして特定するだけで，オペレーション操作表示部２１０にキャリア搬送動作設定画面が一度で表示される。これにより，オペレータが直ぐにキャリアトランスファ１８２についてのキャリア搬送動作を設定することができる。

そして，キャリア搬送動作の設定を変更した後に，シミュレーションボタン２１６を押下すると，シミュレーション操作表示部２２０に，変更した設定によるキャリアトランスファ１８２の搬送動作シミュレーションが動画で表示される。

また，キャリアトランスファ１８２のキャリア搬送動作についてのＨＥＬＰ画面を表示させたい場合には，キャリアトランスファ１８２によるキャリア１０２の搬送動作のシミュレーションが行われている間に，オペレータは手指等でＨＥＬＰボタン２３４を押してから，図１７に示すようにシミュレーション操作表示部２２０で動作中のキャリアトランスファ１８２を手指等でタッチして特定するだけで，オペレーション操作表示部２１０にキャリア搬送動作ＨＥＬＰ画面が一度で表示される。これにより，オペレータはシミュレーションモードによる操作を終了することなく，直ぐにキャリア搬送動作の設定や機能の説明を確認することができる。

このような動作対象物についての設定操作支援処理によれば，オペレータは機能設定ボタン２３２を押下して，シミュレーション操作表示部２２０に表示されているシミュレーション動作中の動作対象物をそのシミュレーション操作表示部２２０の画面上のタッチ操作で特定するという極めて簡単で視覚的に分りやすい操作を行うだけで，その動作対象物の設定に関する画面がオペレーション操作表示部２１０に即時にしかも自動的に表示される。これにより，設定操作にかかる時間を大幅に短縮することができる。しかも，動作対象物をシミュレーションで動作させている間であれば，たとえ設定画面がどこにあるかなど設定操作の知識や経験がなくても，機能設定ボタン２３２を押下するだけで動作対象物の設定に関する画面をオペレーション操作表示部２１０に即時に表示させることができる。また動作対象物の設定に関する画面が自動的に表示されるので，必要な機能を簡単に見つけ出すことができる。また，従来のように所望の設定画面を次々と切換えて設定画面を見つけ出す作業も不要となるので，設定操作の煩わしさがなくなり，使い勝手を向上させることができる。

また，オペレータはＨＥＬＰボタン２３４を押下して，シミュレーション操作表示部２２０に表示され，シミュレーションによる動作中の動作対象物をそのシミュレーション操作表示部２２０の画面上のタッチ操作で特定するという極めて簡単で視覚的に分りやすい操作を行うだけで，その動作対象物の機能解説画面がオペレーション操作表示部２１０に即時にしかも自動的に表示される。これにより，機能解説画面を探し出す手間を省くことができ，表示された解説を確認して設定操作を行うことができるので設定操作を確実に行うことができる。

また，オペレーション操作表示部２１０に表示された画面による設定操作が行われた後，即時にその動作対象物の動作についてのシミュレーションをシミュレーション操作表示部２２０に表示させることができるので，設定による動作即時に確認することができる。これにより，動作対象物の実際の動作を設定通りに確実に行うことができる。また，設定後に実際に基板処理装置を運転させてその動作対象物の動作を確認するなどの確認作業の手間を省くことができるので，使い勝手を向上させることができる。

（設定対象物の設定操作支援処理）
次に，設定対象物の設定操作支援処理について図面を参照しながら説明する。図１８は設定対象物の設定操作支援処理の具体例を示すフローチャートである。図１８に示すように，先ずステップＳ３００にてシミュレータモードか否かを判断する。シミュレータモードであれば設定対象物の特定をシミュレーション操作表示部２２０の表示画面上で行うことができるからである。次いでステップＳ３１０にて操作支援ボタン２３０が押下されたか否かを判断する。本実施形態では図１９に示すように操作支援ボタン２３０として設けられた機能設定ボタン２３２とＨＥＬＰボタン２３４のうちのいずれかが押下されたか否かを判断する。そして，ステップＳ３２０にてどちらのボタンが押下されたか判断し，機能設定ボタン２３２が押下されたと判断した場合はステップＳ３３０にてシミュレーション操作表示部２２０にシミュレーション表示されている設定対象物が特定されたか否かを判断する。

このような設定対象物の特定は，上述したようにシミュレーション操作表示部２２０により行う。具体的には例えばシミュレーション操作表示部２２０のタッチパネルの座標のうち，設定対象物がシミュレーション表示される範囲の座標を設定対象物の特定範囲とし，各設定対象物についての特定範囲を予め設定して例えば画像データ記憶部３５２に記憶しておく。そして，例えば図１９に示すようにシミュレーション操作表示部２２０にシミュレーション表示された設定対象物の特定範囲が手指等によってタッチされた場合にその設定対象物が特定されたと判断する。なお，設定対象物の特定の仕方については上記のものに限られるものではない。

そして，ステップＳ３３０にてシミュレーション表示されている設定対象物が特定されたと判断すると，ステップＳ３４０にてその設定対象物に関連付けられた機能設定画面を，画面データ記憶部３５４の例えば図５Ｃに示す設定対象物設定関連画面データテーブル３５２Ｃから検索してオペレーション操作表示部２１０に表示する。例えばオペレーション操作表示部２１０には図１９に示すような設定画面が表示される。この設定画面はウエハボート１３０の設定を行うためのウエハボート設定画面である。

次いで，ステップＳ３５０にてオペレーション操作表示部２１０に表示された機能設定画面による設定が終了したか否かを判断し，設定が終了したと判断した場合には，その設定を設定データ記憶部３５３に記憶する。例えば図１９に示すような機能設定画面に表示された設定終了ボタン２１８が押下された場合には設定終了と判断し，その設定を記憶する。

次にステップＳ３６０にてシミュレーションを行うか否かを判断する。例えば図１９に示すような機能設定画面に表示されたシミュレーションボタン２１６が押下されると，シミュレーションを行うと判断する。シミュレーションボタン２１６が押下されずに他のボタンや操作がされると，シミュレーションを行わないと判断し，一連の設定操作支援処理を終了する。そして，他のボタンや操作に対応する処理が行われる。

また，ステップＳ３６０にてシミュレーションを行うと判断した場合には，ステップＳ３７０にてその設定対象物についてのシミュレーション表示を行う。なお，ここでは，既にシミュレータモードであるため，モードを切り換えずにシミュレーションを行うことができる。ここでは，例えば設定対象物のサイズ，形状等を異なるものに設定変更した場合にはその設定変更後の設定対象物がシミュレーション操作表示部２２０にシミュレーション表示される。シミュレーション表示が終了すると，一連の設定操作支援処理を終了する。

また，ステップＳ３２０にてＨＥＬＰボタン２３４が押下されたと判断した場合は上記ステップＳ３３０と同様にステップＳ３８０にてシミュレーション表示されている設定対象物の特定が行われたか否かを判断する。ステップＳ３８０にて設定対象物の特定が行われたと判断すると，ステップＳ３９０にてその設定対象物に関連付けられたＨＥＬＰ画面を，画面データ記憶部３５４の例えば図５Ｃに示す設定対象物設定関連画面データテーブル３５２Ｃから検索してオペレーション操作表示部２１０に表示して一連の設定操作支援処理を終了する。

このような設定対象物の設定操作支援処理によれば，オペレータは設定対象物についての設定を行いたい場合には，先ずその設定対象物のシミュレーション表示を行って，シミュレーション操作表示部２２０にその設定対象物を表示させる。そして，機能設定ボタン２３２を押下してからシミュレーション表示されている設定対象物をシミュレーション操作表示部２２０の画面上で手指等によって特定するという簡単で分かり易い操作だけで，その設定対象物の機能設定画面をオペレーション操作表示部２１０に一度で表示させることができる。このため，従来のように，その設定対象物の機能設定画面を設定メニュー画面から何度も画面を切り換えて表示させながら探す必要がなくなる。これにより，操作の煩わしさを解消し，使い勝手を向上させることができる。また，シミュレーションで設定を確認することができるので，確実にその設定で熱処理装置１００を運転させることができる。

ここで，本実施形態にかかる設定操作支援処理を利用してオペレータが設定対象物の機能設定操作を行う場合の具体的操作例について図面を参照しながら説明する。図１９は設定対象物の１例としてのウエハボート１３０の設定を行う操作を説明するための図であり，図２０はウエハボート１３０の機能解説を表示させる操作を説明するための図である。

上述した設定操作支援処理を利用して例えばウエハボート１３０を別の型番のウエハボート１３０に変更する設定を行いたい場合には，ウエハボート１３０がシミュレーション操作表示部２２０にシミュレーション表示されているときに，手指等で機能設定ボタン２３２を押してから，図１９に示すようにシミュレーション操作表示部２２０に表示されているウエハボート１３０を手指等でタッチして特定するだけで，オペレーション操作表示部２１０にウエハボート設定画面が一度で表示される。これにより，オペレータが直ぐにウエハボート１３０についての設定を行うことができる。

そして，ウエハボート１３０を別の型番のウエハボート１３０に設定変更した後に，シミュレーションボタン２１６を押下すると，シミュレーション操作表示部２２０に，変更した設定によるウエハボート１３０がシミュレーション表示される。

また，ウエハボート１３０についてのＨＥＬＰ画面を表示させたい場合には，ウエハボート１３０がシミュレーション操作表示部２２０にシミュレーション表示されているときに，オペレータは手指等でＨＥＬＰボタン２３４を押してから，図２０に示すようにシミュレーション操作表示部２２０に表示されているウエハボート１３０を手指等でタッチして特定するだけで，オペレーション操作表示部２１０にウエハボートＨＥＬＰ画面が一度で表示される。これにより，オペレータはシミュレーションモードによる操作を終了することなく，直ぐにウエハボートの設定や機能の説明を確認することができる。

このような設定対象物についての設定操作支援処理によれば，オペレータが機能設定ボタン２３２を押下して，シミュレーション操作表示部２２０にシミュレーション表示中の設定対象物をそのシミュレーション操作表示部２２０の画面上のタッチ操作で特定するという極めて簡単で視覚的に分りやすい操作だけで，その設定対象物の設定に関する画面がオペレーション操作表示部２１０に即時にしかも自動的に表示される。これにより，設定操作にかかる時間を大幅に短縮することができる。しかも，対象物をシミュレーションで表示させている間であれば，たとえ設定画面がどこにあるかなど設定操作の知識や経験がなくても，機能設定ボタン２３２を押下するだけで対象物の設定に関する画面を操作表示部に即時に表示させることができる。また設定対象物の設定に関する画面が自動的に表示されるので，必要な機能を簡単に見つけ出すことができる。また，従来のように所望の設定画面を次々と切換えて設定画面を見つけ出す作業も不要となるので，設定操作の煩わしさがなくなり，使い勝手を向上させることができる。

また，オペレータはＨＥＬＰボタン２３４を押下して，シミュレーション操作表示部２２０にシミュレーション表示中の対象物をそのシミュレーション操作表示部２２０の画面上のタッチ操作で特定するという極めて簡単で視覚的に分りやすい操作を行うだけで，その対象物の機能解説画面がオペレーション操作表示部２１０に即時にしかも自動的に表示される。これにより，機能解説画面を探し出す手間を省くことができ，表示された解説を確認して設定操作を行うことができるので設定操作を確実に行うことができる。

また，オペレーション操作表示部２１０に表示された画面による設定操作が行われた後，即時にその対象物をシミュレーション操作表示部２２０にシミュレーション表示させることができるので，設定された対象物を即時に確認することができる。これにより，対象物の設定を確実に行うことができる。

なお，上記実施形態にかかる各設定操作支援処理における各対象物（操作対象物，動作対象物，設定対象物）の設定画面を表示させるための操作には，操作支援ボタン２３０を一度押下した後に続けて操作対象物の操作，動作対象物や設定対象物の特定を行う操作のみならず，操作支援ボタン２３０を押下しながら操作対象物の操作，動作対象物や設定対象物の特定を行う操作も含まれる。すなわち，これらのいずれの場合にも図１０に示すステップＳ１１０，図１５に示すステップＳ２１０，図１８に示すステップＳ３１０において操作支援ボタン２３０が押下されたと判断する。

また，上記実施形態では，オペレーション操作表示部２１０とシミュレーション操作表示部２２０を別々の操作パネルによって構成した場合について説明したが，必ずしもこれに限定されるものではなく，図２１に示すように１つの操作パネルで構成してもよい。

また，上記実施形態では，操作支援ボタン２３０（機能設定ボタン２３２，ＨＥＬＰボタン２３４）を設けた場合について説明したが，必ずしもこれに限定されるものではなく，これらの操作支援ボタン２３０を操作パネルの画面上に表示させるようにしてもよい。この場合，操作支援ボタン２３０については，オペレーション操作表示部２１０とシミュレーション操作表示部２２０とは別の操作パネルによって構成してもよく，また例えば図２２に示すように操作支援ボタン２３０をオペレーション操作表示部２１０とシミュレーション操作表示部２２０とともに１つの操作パネルによって構成してもよい。

また，熱処理装置１００にホストコンピュータやアドバンスグループコントローラ（ＡＧＣ）などのデータ処理装置が接続されている場合には，これらを構成するコンピュータのディスプレイに例えば図２２に示すようにオペレーション操作表示部２１０とシミュレーション操作表示部２２０とともに操作支援ボタン２３０を表示し，ホストコンピュータやデータ処理装置側で本発明にかかる設定操作支援処理を行うようにしてもよい。この場合には，ホストコンピュータやデータ処理装置の制御部は，例えば図３に示すブロック図に示すように構成される。

また，上述した実施形態の機能（例えば上述した各設定支援処理機能）を実現するソフトウェアのプログラムを記憶した記憶媒体等の媒体をシステム或いは装置に供給し，そのシステム或いは装置のコンピュータ（またはＣＰＵやＭＰＵ）が記憶媒体等の媒体に格納されたプログラムを読み出して実行することによっても，本発明が達成され得る。

この場合，記憶媒体等の媒体から読み出されたプログラム自体が上述した実施形態の機能を実現することになり，そのプログラムを記憶した記憶媒体等の媒体は本発明を構成することになる。プログラムを供給するための記憶媒体等の媒体としては，例えば，フロッピー（登録商標）ディスク，ハードディスク，光ディスク，光磁気ディスク，ＣＤ−ＲＯＭ，ＣＤ−Ｒ，ＣＤ−ＲＷ，ＤＶＤ−ＲＯＭ，ＤＶＤ−ＲＡＭ，ＤＶＤ−ＲＷ，ＤＶＤ＋ＲＷ，磁気テープ，不揮発性のメモリカード，ＲＯＭなどを用いることができる。また，ネットワークを介してプログラムを供給することもできる。

なお，コンピュータが読み出したプログラムを実行することにより，上述した実施形態の機能が実現されるだけでなく，そのプログラムの指示に基づき，コンピュータ上で稼動しているＯＳなどが実際の処理の一部または全部を行い，その処理によって上述した実施形態の機能が実現される場合も，本発明に含まれる。

さらに，記憶媒体等の媒体から読み出されたプログラムが，コンピュータに挿入された機能拡張ボードやコンピュータに接続された機能拡張ユニットに備わるメモリに書き込まれた後，そのプログラムの指示に基づき，その機能拡張ボードや機能拡張ユニットに備わるＣＰＵなどが実際の処理の一部または全部を行い，その処理によって上述した実施形態の機能が実現される場合も，本発明に含まれる。

以上，添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが，本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば，特許請求の範囲に記載された範疇内において，各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり，それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。

例えば上記実施形態では，基板処理装置として熱処理装置１００を例に挙げて説明したが，必ずしもこれに限定されるものではなく，エッチング装置や成膜装置など様々な基板処理装置に本発明を適用することができる。

本発明は，基板処理装置の設定操作支援装置，設定操作支援方法，プログラムを記憶する記憶媒体に適用可能である。

本発明の実施形態にかかる設定操作支援装置を適用可能な熱処理装置の外観構成の概略を示す斜視図である。 図１に示す熱処理装置の内部構成の概略を示す縦断面図である。 図２に示す制御部の概略構成を示すブロック図である。 同実施形態における画面の階層構造を説明するための概念図である。 同実施形態における操作対象物設定関連画面データテーブルの１例を示す図である。 同実施形態における動作対象物設定関連画面データテーブルの１例を示す図である。 同実施形態における設定対象物設定関連画面データテーブルの１例を示す図である。 同実施形態における操作部の構成例を示す図である。 同実施形態におけるオペレーション操作表示部に表示されるモード変更画面の具体例を示す図である。 同実施形態におけるオペレーション操作表示部に表示される設定メニュー画面の具体例を示す図である。 同実施形態におけるシミュレーション操作表示部に表示されるシミュレーション画面の具体例を示す図である。 同実施形態における操作対象物の設定操作支援処理のフローチャートを示す図である。 操作対象物の機能設定画面を表示させるための操作例を説明するための図である。 操作対象物の機能解説画面を表示させるための操作例を説明するための図である。 操作対象物の機能設定画面を表示させるための他の操作例を説明するための図である。 図１３による操作によって表示された操作対象物の機能設定画面の具体例を示す図である。 同実施形態における動作対象物の設定操作支援処理のフローチャートを示す図である。 動作対象物の機能設定画面を表示させるための操作例を説明するための図である。 動作対象物の機能解説画面を表示させるための操作例を説明するための図である。 同実施形態における設定対象物の設定操作支援処理のフローチャートを示す図である。 設定対象物の機能設定画面を表示させるための操作例を説明するための図である。 設定対象物の機能解説画面を表示させるための操作例を説明するための図である。 同実施形態における操作表示部の他の構成例を示す図である。 同実施形態における操作部の他の構成例を示す図である。

符号の説明

１００ 熱処理装置
１０２ キャリア
１０４ 筐体
１０６ ベースプレート
１０８ 隔壁
１１０ ロードポート
１１０Ａ 台
１１０Ｂ 開口部
１２０ キャリアステージ
１２０Ａ〜１２０Ｃ 載置棚
１３０ ウエハボート
１３０Ａ ボート本体
１３０Ｂ 脚部
１４０ 熱処理炉
１４０Ａ 炉口
１４２ 反応管
１４４ ヒータ
１５０ ＦＩＭＳポート
１５０Ａ 台
１７０ ローディングエリア
１７２ 蓋体
１７４ 昇降回転機構
１７６ ウエハ移載機構
１７８ 扉機構
１８０ 搬送保管エリア
１８２ キャリアトランスファ
２００ 操作部
２１０ オペレーション操作表示部
２１２ モード変更ボタン
２１４ 設定ボタン
２１６ シミュレーションボタン
２１８ 設定終了ボタン
２２０ シミュレーション操作表示部
２３０ 操作支援ボタン
２３２ 機能設定ボタン
２３４ ＨＥＬＰボタン（機能解説ボタン）
２４０ オペレータアクセスボタン
３００ 制御部
３１０ ＣＰＵ
３３０ シミュレータ
３４０ メモリ
３５０ 記憶部
３５１ プログラム記憶部
３５２ 画像データ記憶部
３５２Ａ 操作対象物設定関連画面データテーブル
３５２Ｂ 動作対象物設定関連画面データテーブル
３５２Ｃ 設定対象物設定関連画面データテーブル
３５３ 設定データ記憶部
３５４ 画面データ記憶部
Ｗ ウエハ

Claims (11)

1. 基板処理装置の設定操作を支援する設定操作支援装置であって，
   前記基板処理装置の構成物のうち動作の設定が可能な動作対象物と，
   前記動作対象物の動作についてのシミュレーションを実行するシミュレータと，
   少なくとも前記動作対象物の動作設定に関する画面と，前記動作対象物の前記シミュレーションによる動画を表示可能なタッチパネル式の操作表示部と，
   前記動作対象物の動作設定に関する画面によって設定された事項を記憶する設定記憶部と，
   設定支援ボタンと，
   前記動作対象物とこの動作対象物の動作設定に関する画面とが予め関連づけられた動作対象物設定関連画面情報を記憶する画面記憶部と，
   前記操作表示部に前記シミュレーションによる動作対象物の動画が表示されている際に，前記設定支援ボタンが押下されてから前記操作表示部のタッチ操作によりシミュレーション実行中の動作対象物の特定が行われると，その動作対象物に関連づけられた画面を前記画面記憶部から検索して前記操作表示部に表示する制御部と，
   を備えたことを特徴とする基板処理装置の設定操作支援装置。
2. 前記設定支援ボタンは，前記操作表示部に表示される機能設定ボタン又は前記操作表示部とは別個に設けられた機能設定ボタンであり，
   前記動作対象物の動作設定に関する画面は，その動作対象物の動作についての機能設定画面であることを特徴とする請求項１に記載の基板処理装置の設定操作支援装置。
3. 前記設定支援ボタンは，さらに機能解説ボタンを備え，
   前記画面記憶部には，前記動作対象物に対してこの動作対象物の機能設定画面と機能解説画面が予め関連づけられた動作対象物設定関連画面情報が記憶され，
   前記制御部は，前記操作表示部に前記シミュレーションによる動作対象物の動作画像が表示されている際に，前記機能設定ボタンが押下されてから前記シミュレーション実行中の動作対象物が特定されると，その動作対象物に関連づけられた機能設定画面を前記画面記憶部から検索して前記操作表示部に表示し，前記機能解説ボタンが押下されてから前記シミュレーション実行中の動作対象物が特定されると，その動作対象物に関連づけられた機能解説画面を前記画面記憶部から検索して前記操作表示部に表示することを特徴とする請求項２に記載の基板処理装置の設定操作支援装置。
4. 前記制御部は，前記動作対象物の動作設定に関する画面による設定操作が行われると，その設定事項を前記設定記憶部に記憶し，その後にその動作対象物について前記設定記憶部に記憶した設定事項に応じたシミュレーションを実行させ，そのシミュレーションの画像を前記操作表示部に表示させることを特徴とする請求項３に記載の基板処理装置の設定操作支援装置。
5. 基板処理装置の設定操作を支援する設定操作支援装置であって，
   前記基板処理装置の構成物のうちその構成物の設定が可能な設定対象物と，
   前記設定対象物についてのシミュレーション表示を実行するシミュレータと，
   少なくとも前記設定対象物の設定に関する画面と，前記設定対象物の前記シミュレーションによる画像を表示可能なタッチパネル式の操作表示部と，
   設定支援ボタンと，
   前記設定対象物とこの設定対象物の設定に関する画面とが予め関連づけられた設定対象物設定関連画面情報を記憶する画面記憶部と，
   前記操作表示部に前記シミュレーション表示による前記設定対象物の画像が表示されている際に，前記設定支援ボタンが押下されてから前記操作表示部のタッチ操作により表示中の設定対象物の特定が行われると，その設定対象物に関連づけられた画面を前記画面記憶部から検索して前記操作表示部に表示する制御部と，
   を備えたことを特徴とする基板処理装置の設定操作支援装置。
6. 前記設定支援ボタンは，前記操作表示部に表示される機能設定ボタン又は前記操作表示部とは別個に設けられた機能設定ボタンであり，
   前記設定対象物の設定に関する画面は，その設定対象物についての機能設定画面であることを特徴とする請求項５に記載の基板処理装置の設定操作支援装置。
7. 前記設定支援ボタンは，さらに機能解説ボタンを備え，
   前記画面記憶部には，前記設定対象物に対してこの設定対象物の機能設定画面と機能解説画面が予め関連づけられた設定対象物設定関連画面情報が記憶され，
   前記制御部は，前記操作表示部に前記シミュレーション表示による前記設定対象物の画像が表示されている際に，前記機能設定ボタンが押下されてから前記シミュレーション表示中の設定対象物が特定されると，その設定対象物に関連づけられた機能設定画面を前記画面記憶部から検索して前記操作表示部に表示し，前記機能解説ボタンが押下されてから前記シミュレーション表示中の設定対象物が特定されると，その設定対象物に関連づけられた機能解説画面を前記画面記憶部から検索して前記操作表示部に表示することを特徴とする請求項６に記載の基板処理装置の設定操作支援装置。
8. さらに，前記設定対象物の設定に関する画面によって設定された事項を記憶する設定記憶部を設け，
   前記制御部は，前記設定対象物の設定に関する画面による設定操作が行われると，その設定事項を前記設定記憶部に記憶し，その後にその設定対象物について前記設定記憶部に記憶した設定事項に応じたシミュレーションを実行させ，そのシミュレーションの画像を前記操作表示部に表示させることを特徴とする請求項７に記載の基板処理装置の設定操作支援装置。
9. 基板処理装置の設定操作を支援する設定操作支援方法であって，
   前記基板処理装置に設けられた設定支援ボタンが押下されたか否かを判断する工程と，
   前記設定支援ボタンが押下されたと判断した場合に，前記基板処理装置の構成物のうちの設定可能な対象物についての操作，操作表示部に表示されたシミュレーション画像のうちの動作対象物又は設定対象物の特定操作のうちのいずれかの操作が行われたか否かを判断する工程と，
   前記操作が行われたと判断した場合には，予め画面記憶部に記憶された前記各対象物とこれらの対象物の設定に関する画面とが関連づけられた対象物設定関連画面情報に基づいて，前記操作が行われた対象物に関連づけられた画面を検索して前記操作表示部に表示する工程と，
   を有することを特徴とする基板処理装置の設定操作支援方法。
10. 基板処理装置の設定操作を支援する設定操作支援方法を実行するプログラムを記憶するコンピュータ読取可能な記憶媒体であって，
    コンピュータに
    前記基板処理装置に設けられた設定支援ボタンが押下されたか否かを判断するステップと，
    前記設定支援ボタンが押下されたと判断した場合に，前記基板処理装置の構成物のうちの設定可能な対象物についての操作，操作表示部に表示されたシミュレーション画像のうちの動作対象物又は設定対象物の特定操作のうちのいずれかの操作が行われたか否かを判断するステップと，
    前記操作が行われたと判断した場合には，予め画面記憶部に記憶された前記各対象物とこれらの対象物の設定に関する画面とが関連づけられた対象物設定関連画面情報に基づいて，前記操作が行われた対象物に関連づけられた画面を検索して前記操作表示部に表示するステップと，
    を実行させることを特徴とするプログラムを記憶する記憶媒体。
11. 基板処理装置の設定操作を支援する設定操作支援装置であって，
    前記基板処理装置を操作するための操作対象物と，
    少なくとも前記操作対象物の設定に関する画面を表示可能なタッチパネル式の操作表示部と，
    前記操作対象物の設定に関する画面によって設定された事項を記憶する設定記憶部と，
    設定支援ボタンと，
    前記操作対象物とこの操作対象物の設定に関する画面とが予め関連づけられた操作対象物設定関連画面情報を記憶する画面記憶部と，
    前記設定支援ボタンが押下されてから前記操作対象物による操作が行われると，その操作対象物に関連づけられた前記設定に関する画面を前記画面記憶部から検索して前記操作表示部に表示する制御部と，
    前記操作対象物の操作によって動作される動作対象物のシミュレーションを実行可能なシミュレータと，備え，
    前記制御部は，前記操作表示部に表示された画面による設定操作が行われると，その設定事項を前記設定記憶部に記憶し，その後にその操作対象物の操作によって動作する動作対象物について前記設定記憶部に記憶した設定事項に応じたシミュレーションを前記シミュレータに実行させ，そのシミュレーションの画像を前記操作表示部に表示させることを特徴とする基板処理装置の設定操作支援装置。

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