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JP2006277298A - 基板処理装置、履歴情報記録方法、履歴情報記録プログラム及び履歴情報記録システム - Google Patents

基板処理装置、履歴情報記録方法、履歴情報記録プログラム及び履歴情報記録システム Download PDF

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JP2006277298A JP2005095123A JP2005095123A JP2006277298A JP 2006277298 A JP2006277298 A JP 2006277298A JP 2005095123 A JP2005095123 A JP 2005095123A JP 2005095123 A JP2005095123 A JP 2005095123A JP 2006277298 A JP2006277298 A JP 2006277298A
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陽一 仲山
Daisuke Morisawa
大輔 森澤
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Tokyo Electron Ltd
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Abstract

【課題】 異常等の原因追跡作業に関する作業負担を軽減させることのできる基板処理装置、履歴情報記録方法、履歴情報記録プログラム、及び履歴情報記録システムの提供を目的とする。
【解決手段】 基板を処理する複数の処理室と前記基板を前記処理室に搬出入する搬送手段とを備えた基板処理装置であって、前記搬送手段による前記基板の搬送に関する履歴情報を該搬送の対象とされた各基板に関連付けて第一の履歴情報として記録する搬送履歴記録手段と、前記処理室における前記基板の処理状態に関する履歴情報を処理の対象とされた各基板に関連付けて第二の履歴情報として記録する処理履歴記録手段と、前記搬送手段又は前記処理室において発生したアラームに関する履歴情報を該アラームに係る各基板に関連付けて第三の履歴情報として記録するアラーム履歴記録手段とを有することにより上記課題を解決する。
【選択図】 図3

Description

本発明は、基板処理装置、履歴情報記録方法、履歴情報記録プログラム及び履歴情報記録システムに関し、特に基板を処理する複数の処理室と前記基板を前記処理室に搬出入する搬送手段とを備えた基板処理装置、前記基板処理装置における履歴情報記録方法、前記基板処理装置に前記履歴情報記録方法を実行させるための履歴情報記録プログラム、及び履歴情報記録システムに関する。
コンピュータシステムにおいて何らかの異常が発生した際の原因追及のために、そのシステムが行った処理に関してログを採取しておくことは一般的に行われている。半導体製造装置等の基板処理装置においても同様であり、その処理過程に関して各種のログが採取されている。したがって、不良品が発生した場合、現場の作業者は採取されたログを一つの手がかりとして原因の追跡作業を行っている。
特表2003−503844号公報 特開2002−110496号公報
しかしながら、従来のログは、基盤を取り扱う側(すなわち、搬送アームや処理室等)からの観点によって記録されていた。すなわち、搬送アームがどのような動作を行ったか、又は処理室でどのような処理が行われた等が複数の基板に関する情報が混在した形で時系列に記録されていた。
したがって、不良品が発生した際に、不良品である特定の基板に関してどのような搬送又は処理が行われ、どのようなアラームが発生していたのかを追跡するのは、熟練者にとっても非常に煩雑な作業であるという問題があった。
更に、各種のログはそれぞれ別個に作成され管理されており、このような事情も原因追跡の作業をより困難なものとさせていた。
本発明は、上記の点に鑑みてなされたものであって、異常等の原因追跡作業に関する作業負担を軽減させることのできる基板処理装置、履歴情報記録方法、履歴情報記録プログラム、及び履歴情報記録システムの提供を目的とする。
そこで上記課題を解決するため、本発明は、基板を処理する複数の処理室と前記基板を前記処理室に搬出入する搬送手段とを備えた基板処理装置であって、前記搬送手段による前記基板の搬送に関する履歴情報を該搬送の対象とされた各基板に関連付けて第一の履歴情報として記録する搬送履歴記録手段と、前記処理室における前記基板の処理状態に関する履歴情報を処理の対象とされた各基板に関連付けて第二の履歴情報として記録する処理履歴記録手段と、前記搬送手段又は前記処理室において発生したアラームに関する履歴情報を該アラームに係る各基板に関連付けて第三の履歴情報として記録するアラーム履歴記録手段とを有することを特徴とする。
このような基板処理装置では、各基板に関連付けて各種のログ情報を蓄積することができる。したがって、異常等の原因追跡作業に関する作業負担を軽減させることができる。
また、上記課題を解決するため、本発明は、上記基板処理装置における履歴情報記録方法、前記基板処理装置に前記履歴情報記録方法を実行させるための履歴情報記録プログラム、又は前記基板処理装置を制御する履歴情報記録システムとしてもよい。
本発明によれば、異常等の原因追跡作業に関する作業負担を軽減させることのできる基板処理装置、履歴情報記録方法、履歴情報記録プログラム及び履歴情報記録システムを提供することができる。
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態を説明する。図1は、本発明の実施の形態における基板処理装置の概略構成例を示す図である。
図1において、基板処理装置2は、被搬送体としての半導体ウエハ(基板)Wに対して成膜処理、拡散処理、エッチング処理等の各種の処理を行なう処理システム5と、この処理システムに対してウエハWを搬入、搬出させる搬送システム6とにより主に構成される。処理システム5は、真空引き可能になされた移載室8と、ゲートバルブ10A〜10Dを介して連結された4つの処理チャンバ(処理室)12A〜12Dよりなり、各処理チャンバ12A〜12Dにおいて同種の或いは異種の熱処理をウエハWに対して施すようになっている。各処理チャンバ12A〜12D内には、ウエハWを載置するためのサセプタ14A〜14Dがそれぞれ設けられる。また、移載室8内には、屈伸及び旋回自在になされた移載アーム部16が設けられ、各処理チャンバ12A〜12D間や後述するロードロック室間とウエハWの受け渡しを行なうようになっている。
一方、搬送システム6は、カセット容器を載置するカセットステージ18とウエハWを搬送して受け渡しを行なうための搬送アーム部20を移動させる搬送ステージ22よりなる。カセットステージ18には、容器載置台24が設けられ、ここに複数、図示例にあっては最大4つのカセット容器26A〜26Dを載置できるようになっている。各カセット容器26A〜26Dには、最大例えば25枚のウエハWを等ピッチで多段に載置して収容できるようになっている。搬送ステージ22には、その中心部を長さ方向に沿って延びる案内レール28が設けられており、この案内レール28に搬送アーム部20がスライド移動可能に支持されている。
また、搬送ステージ22の他端には、ウエハの位置決めを行なう方向位置決め装置としてのオリエンタ36が設けられ、更に、搬送ステージ22の途中には、上記移載室8との間を連結するために真空引き可能になされた2つのロードロック室38A、38Bが設けられる。各ロードロック室38A、38B内には、ウエハWを載置する被搬送体載置台40A、40Bが設けられると共に、各ロードロック室38A、38Bの前後には、移載室8或いは搬送ステージ22へ連通するためのゲートバルブ42A、42B及び44A、44Bがそれぞれ設けられる。なお、基板処理装置2において、少なくとも移載アーム部16及び搬送アーム部20が搬送手段を構成する。
基板処理装置2は、更に、処理システム5及び搬送システム6等の動作を制御するシステムコントローラと搬送ステージ22の一端に配置されたオペレーションコントローラ88を備える。
オペレーションコントローラ88は、例えばLCD(Liquid Crystal Display)からなる表示部を有し、その表示は基板処理装置2の各動作状況や後述されるログ情報等を表示する。
図2は、本発明の実施の形態におけるシステムコントローラの構成例を示す図である。図2において、システムコントローラは、EC(Equipment Controller)89と、2つのMC(Module Controller)90及び91と、EC89及び各MCを接続するスイッチングハブ93とを備える。システムコントローラは、EC89からLAN(Local Area Network)170を介して、基板処理装置2が設置されている工場全体の製造工程を管理するMES(Manufacturing Execution System)としてのPC171に接続されている。MESは、システムコントローラと連携して工場における工程に関するリアルタイム情報を基幹業務(図示しない)にフィードバックすると共に、工場全体の負荷等を考慮して工程に関する判断を行う。
EC89は、各MCを統括して基板処理装置2全体の動作を制御する主制御部(マスタ制御部)である。また、EC89は、CPU891、RAM892、HDD893等を有し、オペレーションコントローラ88においてユーザ等によって指定されたウエハWの処理方法、すなわち、レシピに対応するプログラムに応じてCPUが各MCに制御信号を送信することにより、処理システム5及び搬送システム6等の動作を制御する。また、EC89は、処理システム5や搬送システム6に設置された非図示の各種センサによって検出された情報に基づくログ情報をHDD893に蓄積する。
スイッチングハブ93は、EC89からの制御信号に応じてEC89の接続先としてのMCを切り替える。
MC90及び91は、それぞれ処理システム5及び搬送システム6の動作を制御する副制御部(スレーブ制御部)である。各MCは、DIST(Distribution)ボード96によってGHOSTネットワーク95を介してI/O(入出力)モジュール97又は98にそれぞれそれ接続される。GHOSTネットワーク95は、MCが有するMCボードに搭載されたGHOST(General High-Speed Optimum Scalable Transceiver)と称されるLSIによって実現されるネットワークである。GHOSTネットワーク95には、最大で31個のI/Oモジュールを接続可能であり、GHOSTネットワーク95では、MCがマスタに該当し、I/Oモジュールがスレーブに該当する。
I/Oモジュール97は、処理システム5における各構成要素(以下、「エンドデバイス」という。)に接続された複数のI/O部100からなり、各エンドデバイスへの制御信号及び各エンドデバイスからの出力信号の伝達を行う。I/Oモジュール97においてI/O部100に接続されるエンドデバイスには、例えば、処理チャンバ12A〜12D等におけるアンモニアガス供給管のMFC、弗化水素ガス供給管のMFC、圧力ゲージ、APCバルブ、窒素ガス供給管のMFC、及び移動室8における移載アーム部16等が該当する。
なお、I/Oモジュール98はI/Oモジュール97と同様の構成を有し、搬送システム6との接続関係も、上述したMC90及びI/Oモジュール97の接続関係と同様の構成であるため、これらの説明を省略する。
また、各GHOSTネットワーク95には、I/O部100におけるデジタル信号、アナログ信号及びシリアル信号の入出力を制御するI/Oボード(図示しない)も接続される。
基板処理装置2において、ウエハWに対して所定の処理を施す際には、当該所定の処理のレシピに対応するプログラムに応じてEC89のCPU897が、スイッチングハブ93、MC90、GHOSTネットワーク95及びI/Oモジュール97におけるI/O部100を介して所望のエンドデバイスに制御信号を送信することによって処理チャンバ12A等において当該所定の処理を実行する。
図2のシステムコントローラでは、複数のエンドデバイスがEC89に直接接続されることなく、複数のエンドデバイスに接続されたI/O部100がモジュール化されてI/Oモジュールを構成し、該I/OモジュールがMC及びスイッチングハブ93を介してEC89に接続されるため、通信系統を簡素化することができる。
また、EC89のCPU891が送信する制御信号には、所望のエンドデバイスに接続されたI/O部100のアドレス、及びI/O部100を含むI/Oモジュールのアドレスが含まれているため、スイッチングハブ93は制御信号におけるI/Oモジュールのアドレスを参照し、MCのGHOST制御信号におけるI/O部100のアドレスを参照することによって、スイッチングハブ93やMCがCPU891に制御信号の送信先の問いあわせを行う必要を無くすことができ、これにより、制御信号の円滑な伝達を実現することができる。
図3は、本発明の実施の形態のECにおけるログ処理機能に関する機能構成例を説明するための図である。図3において、EC89は、処理制御部8911、マシンログ記録部8912、プロセスログ記録部8913、アラームログ記録部8914、ログ抽出部8915、及び入出力制御部8916等より構成されている。これらの各機能はHDD893に格納されたプログラムがCPU891によって処理されることにより実現される。プログラムは、例えばCD−ROM894(図2)等の記録媒体やネットワーク等を介してインストールしてもよいし、出荷時に予め組み込まれていてもよい。
処理制御部8911は、予めHDD893に保存されているレシピ8921やパラメータ8922等に基づいて、各MCに制御信号を送信することにより基板処理装置2の処理システム5及び搬送システム6等の動作を制御する機能である。
マシンログ記録部8912、プロセスログ記録部8913、及びアラームログ記憶部8914等は、基板処理装置2の処理システム5又は搬送システム6に設置された各種センサによって検出された情報に基づいて、ログ情報をHDD893に記録する機能である。
すなわち、マシンログ記録部8912はマシンログ8923を、プロセスログ記録部8913はプロセスログ8924を、アラームログ記録部8914はアラームログ8925をそれぞれ記録する。ここで、マシンログとは、基板処理装置2におけるウエハWの搬送に関する履歴情報が時系列に記録されたデータをいう。プロセスログとは、ウエハWが処理チャンバ12A〜12Dの各処理室において処理されている際の処理状態、例えば、圧力、温度、及びガスの流量等の履歴情報がウエハWごと、かつ、処理室ごとに記録されたデータをいう。アラームログとは、基板処理装置2において異常等が発生した際のアラームに関する履歴情報が時系列に記録されたデータをいう。
入出力制御部8916は、作業者によるオペレーションコントローラ88に対する入力に基づく処理制御や、オペレーションコントローラ88に対する表示制御等を行う機能である。ログ抽出部8915は、入出力制御部8916からの指示等に応じ、作業者が必要としているログ情報を検索又は抽出する機能である。ログ抽出部8915によって抽出されたログ情報は、入出力制御部8916によって表示情報に加工され、オペレーションコントローラ88に表示される。
以下、図3のEC89によって実行される処理手順について説明する。図4は、ログ情報の記録処理の処理手順を説明するためのフローチャートである。
ステップS101において、処理制御部8911は、レシピ8921及びパラメータ8922等に基づいて基板処理装置2の処理システム5や搬送システム6に対する処理命令を出力する。
図5は、パラメータの一部の例を示す図である。パラメータ8922には、主に、保守やメンテナンスのタイミングや方法について規定する項目や、基板処理装置2の各機能のON/OFFに関する項目や、レシピ8921に関する管理情報や、どのような場合にアラームを発生させるか等のアラームに関する設定項目等に対して値が設定された情報である。
レシピ8921に関する管理情報は、例えば、最大プロセスステップ時間、最小プロセスステップ時間、レシピ開始時の温度確認の要否、排ガス切替えタイムアウトの秒数、ガスバルブ閉タイムアウトの秒数、レシピ実行時のチャンババルブ開の要否等、各種の項目より構成される。
処理制御部8911による処理命令として、例えば、カセット容器26A等からのウエハWの取り出し、取り出されたウエハWのオリエンタ36への載置、オリエンタ36におけるウエハWの位置決め、オリエンタ36からのウエハWの取り出し、取り出されたWのロードロック室38A又は38Bへの搬入、処理チャンバ12A乃至12D等において処理された後、再びロードロック室38A又は38Bへ搬入されたウエハWの取り出し、取り出されたウエハWの元のカセット容器26A等への搬入等が逐次出力される。これの処理命令は、主に搬送アーム部20の動作として現れる。また、他の処理命令として、ロードロック室38A又は38BからのウエハWの取り出し、取り出されたウエハWの処理チャンバ12A〜12Dいずれかへの搬入、処理チャンバ12A等からのウエハWの取り出し、取り出されたウエハWの別の処理チャンバ12等又はロードロック室への搬入等が逐次出力される。これらの処理命令は、主に移載アーム部16の動作として現れる。また、更に他の処理命令として処理チャンバ12A乃至12D等に対するプロセス処理の制御命令が逐次出力される。処理チャンバ12A等に対する制御命令は、レシピ8921に基づいて逐次出力される。
レシピ8921は、処理室の基板処理に係る処理情報である。更に詳しく説明すると、レシピ8921は、ウエハWに対するプロセス処理の制御を行うために、処理チャンバ12A等へのプロセスシーケンス及び制御項目(温度、圧力、ガスの種類及びガス流量、時間等の制御目標値)に関する各処理チャンバに個別の処理プログラムである。
図6は、レシピの一部の例を示す図である。図6におけるレシピ8921には、各レシピを識別するためのレシピ名3921a、作成日8921b及び更新日8921cが記録されている。作成日8921bや更新日8921cは、レシピ8921の内容が更新されることがあるため記録が必要となる項目である。
ステップ項目8921dでは、レシピ8921によるプロセスシーケンスを構成する各ステップのステップ番号が示されている。ここではステップ1〜4まで示されているが、実際にはより多くのステップが記述されている。また、時間8921には、各ステップの所要時間が示されている。それ以降には、ステップ毎に各種の制御項目の値が記述されている。
すなわち、処理制御部8911がレシピ8921に基づいて各ステップにおける制御項目の値を出力することにより、処理チャンバ12A等における処理が実行される。
なお、処理制御部8911は、各ウエハWを一意に識別する識別情報(以下「ウエハ番号」という。)を用いて処理命令による処理の対象となるウエハWを特定する。ウエハ番号は、カセット容器26A等におけるウエハWの位置によって定めてもよい。
ステップS101に続いてステップS102に進み、制御部処理8911による処理命令によって基板処理装置2において実行された処理に関する実測値がマシンログ記録部8912、プロセスログ記録部8913又はアラームログ記録部8914によって受信される。
例えば、ウエハWの移動に関する実測値、すなわち、カセット容器26A等からのウエハWの取り出し、取り出されたウエハWのオリエンタ36への載置、オリエンタ36におけるウエハWの位置決め、オリエンタ36からのウエハWの取り出し、取り出されたWのロードロック室38A又は38Bへの搬入、ロードロック室38A又は38BからのウエハWの取り出し、取り出されたウエハWの処理チャンバ12A乃至12Dいずれかへの搬入、処理チャンバ12A等からのウエハWの取り出し、取り出されたウエハWの別の処理チャンバ12等又はロードロック室38A又は38Bへの搬入、ロードロック室38A又は38Bへ搬入されたウエハWの取り出し、取り出されたウエハWの元のカセット容器26A等への搬入等が実際に実行された旨や、それらが実行された時間、及び対象とされたウエハ番号等については(S103で「ウエハの移動」の場合)、マシンログ記録部8912によって受信され、マシンログ8923として記録される(S104)。
図7は、マシンログの一部の例を示す図である。図7におけるマシンログ8923には、各ウエハWの搬送履歴が時系列に記録されており、各搬送履歴は、その搬送等が行われた年月日、時間、搬送等の対象とされたウエハWのウエハ番号、及び処理内容等より構成されている。マシンログ8923内にウエハ番号が記録されることにより、各搬送履歴は各ウエハWに関連付けられている。
また、処理チャンバ12A乃至12D等におけるプロセス処理に基づく実測値、すなわち、プロセス処理中における処理チャンバ12A等内の温度、圧力、ガスの流量、当該処理チャンバの識別情報、及び処理の対象とされたウエハWのウエハ番号等については(S103で「プロセス処理」の場合)、プロセスログ記録部8913によって受信され、プロセスログ8924として記録される(S105)。この際、プロセスログ記録部8913は、そのプロセス処理の元となったレシピ8921やパラメータ8922のコピーを生成し、生成されたコピーを処理の対象とされたウエハWに関連付けて保存する。なお、パラメータ8922については、その全てのコピーを保存してもよいし、レシピ8921に関する管理情報のみのコピーを保存してもよい。
図8は、プロセスログの一部の例を示す図である。図8におけるプロセスログ8924は、一つの処理チャンバにおける一枚のウエハWに対するプロセスログであり、その処理チャンバの識別情報であるモジュール名8924a、処理の対象とされたウエハWのウエハ番号8924b、レシピ名8924c、ロットの開始時間8924l、ロットの終了時間8924m、ログの記録の開始時間8924d、ログの記録の終了時間8924e等が記録されている。
また、記録8924fには、秒間隔で各種実測値の履歴が記録されている。すなわち、列8924gには秒単位の経過時間が記録され、列8924hにはその際に実行されたステップ(レシピ8921で定義されているステップ)のステップ番号が記録されている。また、列8924i、列8924j、及び列8924k等には、計測された圧力、温度、ガスの流量等が記録されている。その他の情報についても記録されるが、ここでは便宜上省略されている。プロセスログ8924内にウエハ番号が記録されることにより、各プロセスログは各ウエハに関連付けられている。但し、レシピ8921やパラメータ8922とウエハWとの関連付けは、例えば、コピー後のレシピ8924やパラメータ8922のファイル名にウエハ番号を付加することによって行ってもよい。
なお、ロットの開始時間8924lとロットの終了時間8924mよりロットの処理時間は約1時間20分である。一方、ログの記録の開始時間8924dとログの記録の終了時間8924eから明らかなように、ログの記録時間は約2分である。すなわち、図8のプロセスログ8924は、一つのロットの全ての動作について採取される必要はなく、必要な単位(各動作)ごとに採取されればよい。一つのプロセスログの記録時間としては、約5分以内、好ましくは約120秒が目安である。
更に、基板処理装置2における処理システム5や搬送システム6において発生した異常等に基づくアラーム情報及び当該アラームに係るウエハWのウエハ番号については(S103で「アラーム」の場合)、アラームログ記録部8914によって受信され、アラームログとして記録される(S106)。
図9は、アラームログの一部の例を示す図である。図9のアラームログ8925には、発生したアラームの履歴が時系列に並べられており、各履歴はアラームの発生した年月日、時間、アラームの対象となったウエハWのウエハ番号、及びアラームの内容等より構成されている。アラームログ8925にウエハ番号が記録されることにより、各アラームは各ウエハW関連付けられている。
上記、ステップS101からステップS107の処理が繰り返されることにより、マシンログ8923、プロセスログ8924、及びアラームログ8925等がHDD893に蓄積されることになる。
続いて、図4の処理によって蓄積されたログ情報の表示が要求された際の処理について説明する。図10は、ログ情報の表示処理の処理手順を説明するためのフローチャートである。
ステップS201において、作業者は、オペレーションコントローラ88においてログ情報の参照対象とするウエハWのウエハ番号を入力する。ウエハ番号は、キーボードより入力させてもよいし、EC89の入出力制御部8916が、ウエハ番号の一覧をオペレーションコントローラ88に表示させることにより、その一覧の中から選択さてもよい。また、複数のウエハ番号の入力を可能とするとよい。
ステップS201に続いてステップS202に進み、入出力制御部8916が入力されたウエハ番号(以下「カレントウエハ番号」という。)を受信し、カレントウエハ番号をログ抽出部8915に通知すると、ログ抽出部8915は、カレントウエハ番号とマシンログ8923内に記録されているウエハ番号とを照合することにより、マシンログ8923の中からカレントウエハ番号に係るマシンログのみを抽出する。なお、複数のウエハ番号が入力された場合は、ウエハ番号ごとにマシンログが抽出される。
ステップS202に続いてステップS203に進み、入出力制御部8916は、抽出されたログ情報をオペレーションコントローラ88に表示させる。オペレーションコントローラ88は、例えば、図11に示されるような画面に抽出されたマシンログを表示させる。
図11は、マシンログの表示画面例を示す図である。図11において、マシンログ表示画面881は、マシンログ表示領域8811、プロセスログ表示ボタン8812、アラームログ表示ボタン8813、レシピ表示ボタン8814、及びパラメータ表示ボタン8815等を有する。
マシンログ表示領域8811には、入力されたウエハ番号ごと(ウエハWごと)に、各ウエハWのマシンログが時系列に表示される領域である。図中においては、ウエハ番号が「1−05」と「1−12」とのウエハWのマシンログが並べて表示されている例が示されている。例えば、一方が良品で他方が不良品である場合、作業者は、両者の相違点を確認することで不良の原因を推測することができる。また、双方が不良品の場合、作業者は両者の共通点を確認することで不良の原因を推測することができる。なお、相違点又は共通点をハイライト表示させることにより、それらの視認性を高めてもよい。
プロセスログ表示ボタン8812は、マシンログ表示領域8811で選択とされたウエハ番号(以下「選択ウエハ番号」という。)に対応するプロセスログを表示させるためのボタンである。また、アラームログ表示ボタン8813は、選択ウエハ番号に対応するアラームログを表示させるためのボタンである。
すなわち、プロセスログ表示ボタン8812が押下されると(S204で「プロセスログ表示」の場合)、ログ抽出部8915は、選択ウエハ番号とプロセスログ8924内に記録されているウエハ番号とを照合することにより、プロセスログ8924の中から選択ウエハ番号に関するプロセスログのみを抽出する(S205)。抽出されたプロセスログは、入出力制御部8916によってオペレーションコントローラ88に送信され、オペレーションコントローラ88によって表示される(S206)。
一方、アラームログ表示ボタン8813が押下されると(S204で「アラームログ表示」の場合)、ログ抽出部8915は、選択ウエハ番号とアラームログ8925内に記録されているウエハ番号とを照合することにより、アラームログ8925の中から選択ウエハ番号に関するアラームログのみを抽出する(S207)。抽出されたアラームログは、入出力制御部8916によってオペレーションコントローラ88に送信され、オペレーションコントローラ88によって表示される(S207)。
更に、レシピ表示ボタン8814やパラメータ表示ボタン8815が押下されると(S209)、ログ抽出部8915は、選択ウエハ番号と、例えば、コピーされて保存されているレシピ又はパラメータのファイル名とを照合することにより、保存されているレシピやパラメータの中から、選択ウエハ番号に関するレシピやパラメータを抽出する(S210)。抽出されたレシピやパラメータは、入出力制御部8916によってオペレーションコントローラ88に送信され、オペレーションコントローラ88によって表示される(S211)。
上述したように、本実施の形態における基板処理装置2によれば、ウエハごとに各種のログ情報を容易に参照することができる。したがって、複数のウエハに関する情報が時系列に混在したログ情報を参照する場合に比べ、不良品等の原因の追跡における作業者の作業負担を軽減させることができる。
また、レシピやパラメータ等は、改善又は改良等が重ねられることによりその内容が随時変化するものであるところ、本実施の形態における基板処理装置2においては、実際に利用されたレシピ8921やパラメータ8922のコピーについてもウエハごとに保存される。したがって、原因追跡の際に、実際に用いられたレシピやパラメータをログ情報と共に参照することができ、より的確な調査を行うことができる。
更に、不良の原因の追跡において有効な情報となるアラームに関しても、ウエハごとに関連付けられて保存され、また、ウエハごとに参照することができる。したがって、より効率的な原因の追跡が期待できる。
なお、上記においては、ウエハ番号を用いて各ログ情報と各ウエハWとの関連付けを行った例を示したが、これら各ログ情報とウエハWとの関連付けは、必ずしもウエハ番号に基づかなくてもよい。例えば、ログ情報を記録する際に、ウエハごとに記録してしまってもよい。すなわち、ログの種別(マシンログ8923、プロセスログ8924又はアラームログ8925の別)ごとではなく、ウエハごとに各種のログ情報が記録されるログファイルを生成してもよい。また、ログ情報をRDB(Relational DataBase)によって管理する場合は、ウエハごとに行を対応させ、その行の各項目としてマシンログ8923、プロセスログ8924及びアラームログ8925等が記録されるようにしてもよい。なお、ログ情報の出力形式は、画面のみに限らず、紙として印刷させてもよい。
ところで、基板処理装置2は、例えば、図12や図13に示されるように構成されていてもよい。図12は、本発明の実施の形態における第二の基板処理装置の概略構成例を示す図である。図12中、図1と同一部分には同一符号を付し、その説明は省略する。
図1における基板処理装置2と図12における基板処理装置3とについて大きく異なる点は、基板処理装置2が4つの処理チャンバ(12A〜12D)を有しているのに対し、基板処理装置3は6つの処理チャンバ(12A〜12F)を有している点である。また、移動室8の構成についても異なり、基板処理装置3における移動アーム部16は、レール17A及び17Bに沿った直進運動とアームの起点を中心とした回転運動とによってウエハWを搬送する。
なお、基板処理装置3におけるEC89の処理は、基板処理装置2の場合と同様である。
また、図13は、本発明の実施の形態における第三の基板処理装置の概略構成例を示す図である。
図13において基板処理装置4は、ウエハWに反応性イオンエッチング(以下、「RIE」という。)処理を施す第1のプロセスシップ211と、第1のプロセスシップ211と平行に配置され、第1のプロセスシップ211においてRIE処理が施されたウエハWにCOR(Chemical Oxide Removal)処理及びPHT(Post Heat Treatment)処理を施す第2のプロセスシップ212と、第1のプロセスシップ211及び第2のプロセスシップ212がそれぞれ接続された矩形状の共通搬送室としてのローダーユニット213とを備える。
ローダーユニット213には、第1のプロセスシップ211及び第2のプロセスシップ212の他、25枚のウエハWを収容する容器としてのフープ(Front Opening Unified Pod)214がそれぞれ載置される3つのフープ載置台215と、フープ214から搬出されたウエハWの位置決めを行うオリエンタ216と、ウエハWの表面状態を計測する第1及び第2のIMS(Integrated Metrology System、Therma‐Wave,Inc.)217,218とが接続されている。
第1のプロセスシップ211及び第2のプロセスシップ212は、ローダーユニット213の長手方向における側壁に接続されると共にローダーユニット213を挟んで3つのフープ載置台215と対向するように配置され、オリエンタ216はローダーユニット213の長手方向に関する一端に配置され、第1のIMS217はローダーユニット213の長手方向に関する他端に配置され、第2のIMS218は3つのフープ載置台215と並列に配置される。
ローダーユニット213は、内部に配置された、ウエハWを搬送するスカラ型デュアルアームタイプの搬送アーム機構219と、各フープ載置台215に対応するように側壁に配置されたウエハWの投入口としての3つのロードポート220とを有する。搬送アーム機構219は、フープ載置台215に載置されたフープ214からウエハWをロードポート220経由で取り出し、取り出したウエハWを第1のプロセスシップ211、第2のプロセスシップ212、オリエンタ216、第1のIMS217や第2のIMS218へ搬出入する。
第1のIMS217は光学系のモニタであり、搬入されたウエハWを載置する載置台221と、載置台221に載置されたウエハWを指向する光学センサ222とを有し、ウエハWの表面形状、例えば、表面層の膜厚、及び配線溝やゲート電極等のCD(Critical Dimension)値を測定する。第2のIMS218も光学系のモニタであり、第1のIMS217と同様に、載置台223と光学センサ224とを有し、ウエハWの表面におけるパーティクル数を計測する。
第1のプロセスシップ211は、ウエハWにRIE処理を施す第1の真空処理室としての第1のプロセスユニット225と、該第1のプロセスユニット225にウエハWを受け渡すリンク型シングルピックタイプの第1の搬送アーム226を内蔵する第1のロード・ロックユニット227とを有する。
第1のプロセスユニット225は、円筒状の処理室チャンバ(処理室)と、処理チャンバ内に配置された上部電極及び下部電極を有する。上部電極及び下部電極の間の距離はウエハWにRIE処理を施すための適切な間隔に設定されている。また、下部電極はウエハWをクーロン力等によってチャックするESC228をその頂部に有する。
第1のプロセスユニット225では、チャンバ内部に処理ガスを導入し、上部電極及び下部電極間に電界を発生させることによって導入された処理ガスをプラズマ化してイオン及びラジカルを発生させ、該イオン及びラジカルによってウエハWにRIE処理を施す。
第1のプロセスシップ211では、ローダーユニット213の内部圧力は大気圧に維持される一方、第1のプロセスユニット225の内部圧力は真空に維持される。そのため第1のロード・ロックユニット227は、第1のプロセスユニット225との連結部に真空ゲートバルブ229を備えると共に、ローダーユニット213との連結部に大気ゲートバルブ230を備えることによって、その内部圧力を調整可能な真空予備搬送室として構成される。
第1のロード・ロックユニット227の内部には、略中央部に第1の搬送アーム226が設置され、該第1の搬送アーム226より第1のプロセスユニット225側に第1のバッファ231が設置され、第1の搬送アーム226よりローダーユニット213側には第2のバッファ232が設置される。第1のバッファ231及び第2のバッファ232は、第1の搬送アーム226の先端部に配置されたウエハWを支持する支持部(ピック)233が移動する軌道上に配置され、RIE処理が施されたウエハWを一時的に支持部233の軌道の上方に待避させることにより、RIE未処理のウエハWとRIE処理済みのウエハWとの第1のプロセスユニット225における円滑な入れ換えを可能とする。
第2のプロセスシップ212は、ウエハWにCOR処理を施す第2の真空処理室としての第2のプロセスユニット234と、該第2のプロセスユニット234に真空ゲートバルブ35を介して接続された、ウエハWにPHT処理を施す第3の真空処理室としての第3のプロセスユニット236と、第2のプロセスユニット234及び第2のプロセスユニット236にウエハWを受け渡すリンク型シングルピックタイプの第2の搬送アーム237を内蔵する第2のロード・ロックユニット249とを有する。
図14は、第2のプロセスユニットの断面図である。図14(A)は図13における線||−||に沿う断面図であり、図14(B)は図14(A)におけるA部の拡大図である。
図14(A)において、第2のプロセスユニット234は、円筒状の処理チャンバ238と、処理チャンバ238内に配置されたウエハWの載置台としてのESC239と、処理チャンバ238の上方に配置されたシャワーヘッド240と、処理チャンバ238内のガス等を排気するTMP(Turbo Molecular Pump)241と、処理チャンバ238及びTMP241の間に配置され、処理チャンバ238内の圧力を制御する可変式バタフライバルブとしてのAPC(Automatic Pressure Control)バルブ242とを有する。
ESC239は、内部に直流電圧が印加される電極板(図示しない)を有し、 直流電圧により発生するクーロン力又はジョンソン・ラーベック(Johnsen−Rahbek)力によってウエハWを吸着して保持する。また、ESC239は、その上面から突出自在なリフトビンとしての複数のプッシャーピン256を有し、これらのプッシャーピン256は、ウエハWがESC239に吸着保持されるときにはESC239に収容され、COR処理が施されたウエハWを処理チャンバ238から搬出するときには、ESC239の上面から突出してウエハWを上方へ持ち上げる。
シャワーヘッド240は2層構造を有し、下層部243及び上層部244のそれぞれに第1のバッファ室245及び第2のバッファ室246を有する。第1のバッファ室245及び第2のバッファ室246はそれぞれガス通気孔247,248を介して処理チャンバ238内に連通する。ウエハWにCOR処理を施す際、第1のバッファ室245にはNH(アンモニア)ガスが後述するアンモニアガス供給管257から供給され、該供給されたアンモニアガスはガス通気孔247を介して処理チャンバ238内へ供給されると共に、第2のバッファ室246にはHF(弗化水素)ガスが後述する弗化水素ガス供給管258から供給され、該供給された弗化水業ガスはガス通気孔248を介して処理チャンバ238内へ供給される。
また、図14(B)に示すように、ガス通気孔247,248における処理チャンバ238内への開口部は末広がり状に形成される。これにより、アンモニアガスや弗化水素ガスを処理チャンバ238内へ効率よく拡散することができる。さらに、ガス通気孔247,248は断面がくびれ形状を呈するので、処理チャンバ238で発生した堆積物がガス通気孔247,248、引いては、第1のバッファ室245や第2のバッファ室246へ逆流するのを防止することができる。なお、ガス通気孔247,248は螺旋状の通気孔であってもよい。
この第2のプロセスユニット234は、処理チャンバ238内の圧力と、アンモニアガス及び弗化水素ガスの体積流量比を調整することによってウエハWにCOR処理を施す。
図13に戻り、第3のプロセスユニット236は、筐体状の処理チャンバ250と、処理チャンバ250内に配置されたウエハWの載置台としてのステージヒータ251と、該ステージヒータ251の周りに配置され、ステージヒータ251に載置されたウエハWを上方に持ち上げるバッファアーム252とを有する。
ステージヒータ251は、表面に酸化皮膜が形成されたアルミからなり、内蔵された電熱線等によって載置されたウエハWを所定の温度まで加熱する。バッファアーム252は、COR処理が施されたウエハWを一時的に第2の搬送アーム237における支持部253の軌道の上方に待避させることにより、第2のプロセスユニット234や第3のプロセスユニット236におけるウエハWの円滑な入れ換えを可能とする。
この第3のプロセスユニット236は、ウエハWの温度を調整することによってウエハWにPHT処理を施す。
第2のロード・ロックユニット249は、第2の搬送アーム237を内蔵する筐体状の搬送室270を有する。また、ローダーユニット213の内部圧力は大気圧に維持される一方、第2のプロセスユニット234及び第3のプロセスユニット236の内部圧力は真空に維持される。モのため、第2のロード・ロックユニット249は、第3のプロセスユニット236との連結部に真空ゲートバルブ254を備えると共に、ローダーユニット213との連結部に大気ドアバルブ255を備えることによって、その内部圧力を調整可能な真空予備搬送室として構成される。
図15は、第2のプロセスシップの概略購成を示す斜視図である。
図15において、第2のプロセスユニット234は、第1のバッファ室245へアンモニアガスを供給するアンモニアガス供給管257と、第2のバッファ室246へ弗化水素ガスを供給する弗化水素ガス供給管258と、処理チャンバ238内の圧力を測定する圧力ゲージ259と、ESC239内に配設された冷却系統に冷媒を供給するチラーユニット260とを備える。
アンモニアガス供給管257にはMFC(Mass Flow Controller)(図示しない)が設けられ、該MFCは第1のバッファ室245へ供給するアンモニアガスの流量を調整すると共に、弗化水素ガス供給管258にもMFC(図示しない)が設けられ、該MFCは第2のバッファ室246へ供給する弗化水素ガスの流量を調整する。アンモニアガス供給管257のMFCと弗化水素ガス供給管258のMFCは協働して、処理チャンバ238へ供給されるアンモニアガスと弗化水素ガスの体積流量比を調整する。
また、第2のプロセスユニット234の下方には、DP(Dry Pump)(図示しない)に接続された第2のプロセスユニット排気系261が配置される。第2のプロセスユニット排気系261は、処理チャンバ238とAPCバルブ242の間に配設された排気ダクト262と連通する排気管263と、TMP241の下方(排気側)に接続された排気管264とを有し、処理チャンバ238内のガス等を排気する。なお、排気管264はDPの手前において排気管263に接続される。
第3のプロセスユニット236は、処理チャンバ250へ窒素(N)ガスを供給する窒素ガス供給管265と、処理チャンバ250内の圧力を測定する圧力ゲージ266と、処理チャンバ250内の窒素ガス等を排気する第3のプロセスユニット排気系267とを備える。
窒素ガス供給管265にはMFC(図示しない)が設けられ、該MFCは処理チャンバ250へ供給される窒素ガスの流量を調整する。第3のプロセスユニット排気系267は、処理チャンバ250に連通すると共にDPに接続された本排気管268と、本排気管268の途中に配されたAPCバルブ269と、本排気管268からAPCバルブ269を回避するように分岐し、且つDPの手前において本排気管268に接続される副排気管268aとを有する。APCバルブ269は、処理チャンバ250内の圧力を制御する。
第2のロード・ロックユニット249は、搬送室270へ窒素ガスを供給する窒素ガス供給管271と、搬送室270内の圧力を測定する圧力ゲージ272と、搬送室270内の窒素ガス等を排気する第2のロード・ロックユニット排気系273と、搬送室270内を大気開放する大気連通管274とを備える。
窒素ガス供給管271にはMFC(図示しない)が設けられ、該MFCは搬送室270へ供給される窒素ガスの流量を調整する。第2のロード・ロックユニット排気系273は1本の排気管からなり、該排気管は搬送室270に連通すると共に、DPの手前において第3のプロセスユニット排気系267における本排気管268に接続される。また、第2のロード・ロックユニット排気系273及び大気連通管274はそれぞれ開閉自在な排気バルブ275及びリリーフバルブ276を有し、該排気バルブ275及びリリーフバルブ276は協働して搬送室270内の圧力を大気圧から所望の真空度までのいずれかに調整する,
図16は、第2のロード・ロックユニットのユニット駆動用ドライエア供給系の概略構成を示す図である。
図16において、第2のロード・ロックユニット249のユニット駆動用ドライエア供給系277のドライエア供給先としては、大気ドアバルブ255が有するスライドドア駆動用のドアバルブシリンダ、Nパージユニットとしての窒素ガス供給管271が有するMFC、大気開放用のリリーフユニットとしての大気連通管274が有するリリーフバルブ276、真空引きユニットとしての第2のロード・ロックユニット排気系273が有する排気バルブ275、及び真空ゲートバルブ254が有するスライドゲート駆動用のゲートバルブシリンダが該当する。
ユニット駆動用ドライエア供給系277は、第2のプロセスシップ212が備える本ドライエア供給管278から分岐された副ドライエア供給管279と、該副ドライエア供給管279に接続された第1のソレノイドバルブ280及び第2のソレノイドバルブ281とを備える。
第1のソレノイドバルブ280は、ドライエア供給管282,283,284,285の各々を介してドアバルブシリンダ、MFC、リリーフバルブ276及びゲートバルブシリンダに接続され、これらへのドライエアの供給量を制御することによって各部の動作を制御する。また、第2のソレノイドバルブ281は、ドライエア供給管286を介して排気バルブ275に接続され、排気バルブ275へのドライエアの供給量を制御することによって排気バルブ275の動作を制御する。
なお、窒素ガス供給管271におけるMFCは窒素(N)ガス供給系287にも接続されている。
また、第2のプロセスユニット234や第3のプロセスユニット236も、上述した第2のロード・ロックユニット249のユニット駆動用ドライエア供給系277と同様の構成を有するユニット駆動用ドライエア供給系を備える。
図13に戻り、基板処理装置4は、第1のプロセスシップ211、第2のプロセスシップ212及びローダーユニット213の動作を制御するシステムコントローラと、ローダーユニット213の長手方向に関する一端に配置されたオペレーションコントローラ288を備える。
オペレーションコントローラ288は、図1におけるオペレーションコントローラ88と同様に、例えばLCD(Liquid Crystal Display)からなる表示部を有し、該表示部は基板処理装置4の各構成要素の動作状況やログ情報等を表示する。
図17は、第三の基板処理装置におけるシステムコントローラの構成例を示す図である。図17中、図2と同一部分には同一符号を付し、その説明は省略する。
図17において、MC290,291,292は、それぞれ第1のプロセスシップ211、第2のプロセスシップ212及びローダーユニット213の動作を制御する副制御部(スレーブ制御部)である。各MCが、DIST(Distribution)ボード96によってGHOSTネットワーク95を介して各I/O(入出力)モジュール297,298,299にそれぞれ接銑される点は、図2と同様である。
また、I/Oモジュール297、298、299については、それぞれ第1のプロセスシップ211、第2のプロセスシップ212又はローダーユニット213に対応する点を除き、図2におけるI/Oモジュール97又は98と同様に構成される。
図17におけるEC89によって実行されるログ情報の記録処理やログ情報の表示処理についても、図2におけるEC89によって実行されるものと同様の処理手順によって構成され得る。したがって、図13における基板処理装置4に関するログ情報についても、ウエハWごとに確認することができ、不良品等の原因の追跡の作業負担の軽減等を行うことができるのは、図1の基板処理装置2における場合と同様である。なお、図13の基板処理装置4において、少なくとも搬送アーム機構219、第1の搬送アーム、及び第2の搬送アームが搬送手段を構成する。
以上、本発明の実施例について詳述したが、本発明は係る特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
本発明の実施の形態における基板処理装置の概略構成例を示す図である。 本発明の実施の形態におけるシステムコントローラの構成例を示す図である。 本発明の実施の形態のECにおけるログ処理機能に関する機能構成例を説明するための図である。 ログ情報の記録処理の処理手順を説明するためのフローチャートである。 パラメータの一部の例を示す図である。 レシピの一部の例を示す図である。 マシンログの一部の例を示す図である。 プロセスログの一部の例を示す図である。 アラームログの一部の例を示す図である。 ログ情報の表示処理の処理手順を説明するためのフローチャートである。 マシンログの表示画面例を示す図である。 本発明の実施の形態における第二の基板処理装置の概略構成例を示す図である。 本発明の実施の形態における第三の基板処理装置の概略構成例を示す図である。 第2のプロセスユニットの断面図である。 第2のプロセスシップの概略購成を示す斜視図である。 第2のロード・ロックユニットのユニット駆動用ドライエア供給系の概略構成を示す図である。 第三の基板処理装置におけるシステムコントローラの構成例を示す図である。
符号の説明
2,3,4 基板処理装置
5 処理システム
6 搬送システム
8 移載室
12A〜12F 処理チャンバ
14A〜14F サセプタ
16 移載アーム部
20 搬送アーム部
22 搬送ステージ
24 容器載置台
26A〜26D カセット容器
28 案内レール
30 ボールネジ(移動機構)
36 オリエンタ(方向位置決め装置)
38A,38B ロードロック室
40A,40B 被搬送体載置台
46 搬送アーム本体
48 フォーク
50 マッピングアーム
89 EC
90、91 MC
93 HUB
95 GHOSTネットワーク
96 DISTボード
97、98 I/Oモジュール
100 I/O部
170 LAN
171 PC
211 第1のプロセスシップ
212 第2のプロセスシップ
213 ローダーユニット
215 フープ載置台
214 フープ
216 オリエンタ
217、218 IMS
219 搬送アーム機構
220 ロードポート
221、223 載置台
222,224 光学センサ
225 第1のプロセスユニット
226 第1の搬送アーム
227 第1のロード・ロックユニット
228 ESC
229 真空ゲートバルブ
230 大気ゲートバルブ
231 第1のバッファ
232 第2のバッファ
233 支持部
234 第2のプロセスユニット
236 第3のプロセスユニット
237 第2の搬送アーム
238 チャンバ
239 ESC
240 シャワーヘッド
241 TMP
242 APCバルブ
プッシャーピン256
243 下層部
244 上層部
245 第1のバッファ室
246 第2のバッファ室
247 ガス通気孔
248 ガス通気孔
250 チャンバ
251 ステージヒータ
252 バッファアーム
253 支持部
254 真空ゲートバルブ
255 大気ドアバルブ
257 アンモニアガス供給管
258 弗化水素ガス供給管
259 圧力ゲージ
260 チラーユニット
261 第2のプロセスユニット排気系
262 排気ダクト
263、264 排気管
265 窒素ガス供給管
266 圧力ゲージ
267 第3のプロセスユニット排気系
268 本排気管
268a 副排気管
269 APCバルブ
270 チャンバ
271 窒素ガス供給管
272 力ゲージ
273 第2のロード・ロックユニット排気系
274 大気連通管
275 排気バルブ
276 リリーフバルブ
277 ユニット駆動用ドライエア供給系
278 本ドライエア供給管
279 副ドライエア供給管
280 第1のソレノイドバルブ
281 第2のソレノイドバルブ
282,283,284,285 ドライエア供給管
286 ドライエア供給管
287 窒素ガス供給系
288 オペレーションコントローラ
290,291,292 MC
297、298、299 I/Oモジュール
891 CPU
892 RAM
893 HDD
894 CD−ROM
W 半導体ウエハ(被搬送体)

Claims (9)

  1. 基板を処理する複数の処理室と前記基板を前記処理室に搬出入する搬送手段とを備えた基板処理装置であって、
    前記搬送手段による前記基板の搬送に関する履歴情報を該搬送の対象とされた各基板に関連付けて第一の履歴情報として記録する搬送履歴記録手段と、
    前記処理室における前記基板の処理状態に関する履歴情報を処理の対象とされた各基板に関連付けて第二の履歴情報として記録する処理履歴記録手段と、
    前記搬送手段又は前記処理室において発生したアラームに関する履歴情報を該アラームに係る各基板に関連付けて第三の履歴情報として記録するアラーム履歴記録手段とを有することを特徴とする基板処理装置。
  2. 前記処理室の基板処理に係る処理情報を記憶した記憶手段を有し、
    前記処理履歴記録手段は、前記処理情報の複製を各基板に関連付けて保存することを特徴とする請求項1記載の基板処理装置。
  3. 前記記憶手段は、前記処理情報に関する管理情報を記憶しており、
    前記処理履歴記録手段は、前記管理情報の複製を各基板に関連付けて保存することを特徴とする請求項1又は2記載の基板処理装置。
  4. 前記搬送履歴記録手段、前記処理履歴記録手段及び前記アラーム履歴記録手段は、前記第一乃至第三の履歴情報に各基板を識別するための基板識別情報を記録することを特徴とする請求項1乃至3いずれか一項記載の基板処理装置。
  5. 一つ以上の前記基板識別情報の指定に応じ、指定された前記基板識別情報に係る履歴情報を前記第一乃至第三の履歴情報より前記基板ごとに抽出する抽出手段を有することを特徴とする請求項4記載の基板処理装置。
  6. 前記抽出手段により抽出された前記履歴情報を、前記基板ごとに表示装置に表示させる表示手段を有することを特徴とする請求項5記載の基板処理装置。
  7. 基板を処理する複数の処理室と前記基板を前記処理室に搬出入する搬送手段とを備えた基板処理装置における履歴情報記録方法であって、
    前記搬送手段による前記基板の搬送に関する履歴情報を該搬送の対象とされた各基板に関連付けて第一の履歴情報として記録する搬送履歴記録手順と、
    前記処理室における前記基板の処理状態に関する履歴情報を処理の対象とされた各基板に関連付けて第二の履歴情報として記録する処理履歴記録手順と、
    前記搬送手段又は前記処理室において発生したアラームに関する履歴情報を該アラームに係る各基板に関連付けて第三の履歴情報として記録するアラーム履歴記録手順とを有することを特徴とする履歴情報記録方法。
  8. 基板を処理する複数の処理室と前記基板を前記処理室に搬出入する搬送手段とを備えた基板処理装置に、
    前記搬送手段による前記基板の搬送に関する履歴情報を該搬送の対象とされた各基板に関連付けて第一の履歴情報として記録する搬送履歴記録手順と、
    前記処理室における前記基板の処理状態に関する履歴情報を処理の対象とされた各基板に関連付けて第二の履歴情報として記録する処理履歴記録手順と、
    前記搬送手段又は前記処理室において発生したアラームに関する履歴情報を該アラームに係る各基板に関連付けて第三の履歴情報として記録するアラーム履歴記録手順とを実行させるための履歴情報記録プログラム。
  9. 基板を処理する複数の処理室及び前記基板を前記処理室に搬出入する搬送手段のそれぞれを制御する副制御装置と、前記副制御装置を介して前記処理室及び前記搬送手段を備えた基板処理装置を制御する主制御装置とを含む履歴情報記録システムであって、
    前記主制御装置は、
    前記搬送手段による前記基板の搬送に関する履歴情報を該搬送の対象とされた各基板に関連付けて第一の履歴情報として記録する搬送履歴記録手段と、
    前記処理室における前記基板の処理状態に関する履歴情報を処理の対象とされた各基板に関連付けて第二の履歴情報として記録する処理履歴記録手段と、
    前記搬送手段又は前記処理室において発生したアラームに関する履歴情報を該アラームに係る各基板に関連付けて第三の履歴情報として記録するアラーム履歴記録手段とを有することを特徴とする履歴情報記録システム。
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