JP2006277298A - 基板処理装置、履歴情報記録方法、履歴情報記録プログラム及び履歴情報記録システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板を処理する複数の処理室と前記基板を前記処理室に搬出入する搬送手段とを備えた基板処理装置であって、前記搬送手段による前記基板の搬送に関する履歴情報を該搬送の対象とされた各基板に関連付けて第一の履歴情報として記録する搬送履歴記録手段と、前記処理室における前記基板の処理状態に関する履歴情報を処理の対象とされた各基板に関連付けて第二の履歴情報として記録する処理履歴記録手段と、前記搬送手段又は前記処理室において発生したアラームに関する履歴情報を該アラームに係る各基板に関連付けて第三の履歴情報として記録するアラーム履歴記録手段とを有することにより上記課題を解決する。
【選択図】 図3
Description
図16は、第2のロード・ロックユニットのユニット駆動用ドライエア供給系の概略構成を示す図である。
5 処理システム
6 搬送システム
8 移載室
12A〜12F 処理チャンバ
14A〜14F サセプタ
16 移載アーム部
20 搬送アーム部
22 搬送ステージ
24 容器載置台
26A〜26D カセット容器
28 案内レール
30 ボールネジ(移動機構)
36 オリエンタ(方向位置決め装置)
38A,38B ロードロック室
40A,40B 被搬送体載置台
46 搬送アーム本体
48 フォーク
50 マッピングアーム
89 EC
90、91 MC
93 HUB
95 GHOSTネットワーク
96 DISTボード
97、98 I/Oモジュール
100 I/O部
170 LAN
171 PC
211 第1のプロセスシップ
212 第2のプロセスシップ
213 ローダーユニット
215 フープ載置台
214 フープ
216 オリエンタ
217、218 IMS
219 搬送アーム機構
220 ロードポート
221、223 載置台
222,224 光学センサ
225 第1のプロセスユニット
226 第1の搬送アーム
227 第1のロード・ロックユニット
228 ESC
229 真空ゲートバルブ
230 大気ゲートバルブ
231 第1のバッファ
232 第2のバッファ
233 支持部
234 第2のプロセスユニット
236 第3のプロセスユニット
237 第2の搬送アーム
238 チャンバ
239 ESC
240 シャワーヘッド
241 TMP
242 APCバルブ
プッシャーピン256
243 下層部
244 上層部
245 第1のバッファ室
246 第2のバッファ室
247 ガス通気孔
248 ガス通気孔
250 チャンバ
251 ステージヒータ
252 バッファアーム
253 支持部
254 真空ゲートバルブ
255 大気ドアバルブ
257 アンモニアガス供給管
258 弗化水素ガス供給管
259 圧力ゲージ
260 チラーユニット
261 第2のプロセスユニット排気系
262 排気ダクト
263、264 排気管
265 窒素ガス供給管
266 圧力ゲージ
267 第3のプロセスユニット排気系
268 本排気管
268a 副排気管
269 APCバルブ
270 チャンバ
271 窒素ガス供給管
272 力ゲージ
273 第2のロード・ロックユニット排気系
274 大気連通管
275 排気バルブ
276 リリーフバルブ
277 ユニット駆動用ドライエア供給系
278 本ドライエア供給管
279 副ドライエア供給管
280 第1のソレノイドバルブ
281 第2のソレノイドバルブ
282,283,284,285 ドライエア供給管
286 ドライエア供給管
287 窒素ガス供給系
288 オペレーションコントローラ
290,291,292 MC
297、298、299 I/Oモジュール
891 CPU
892 RAM
893 HDD
894 CD−ROM
W 半導体ウエハ(被搬送体)
Claims (9)
- 基板を処理する複数の処理室と前記基板を前記処理室に搬出入する搬送手段とを備えた基板処理装置であって、
前記搬送手段による前記基板の搬送に関する履歴情報を該搬送の対象とされた各基板に関連付けて第一の履歴情報として記録する搬送履歴記録手段と、
前記処理室における前記基板の処理状態に関する履歴情報を処理の対象とされた各基板に関連付けて第二の履歴情報として記録する処理履歴記録手段と、
前記搬送手段又は前記処理室において発生したアラームに関する履歴情報を該アラームに係る各基板に関連付けて第三の履歴情報として記録するアラーム履歴記録手段とを有することを特徴とする基板処理装置。 - 前記処理室の基板処理に係る処理情報を記憶した記憶手段を有し、
前記処理履歴記録手段は、前記処理情報の複製を各基板に関連付けて保存することを特徴とする請求項1記載の基板処理装置。 - 前記記憶手段は、前記処理情報に関する管理情報を記憶しており、
前記処理履歴記録手段は、前記管理情報の複製を各基板に関連付けて保存することを特徴とする請求項1又は2記載の基板処理装置。 - 前記搬送履歴記録手段、前記処理履歴記録手段及び前記アラーム履歴記録手段は、前記第一乃至第三の履歴情報に各基板を識別するための基板識別情報を記録することを特徴とする請求項1乃至3いずれか一項記載の基板処理装置。
- 一つ以上の前記基板識別情報の指定に応じ、指定された前記基板識別情報に係る履歴情報を前記第一乃至第三の履歴情報より前記基板ごとに抽出する抽出手段を有することを特徴とする請求項4記載の基板処理装置。
- 前記抽出手段により抽出された前記履歴情報を、前記基板ごとに表示装置に表示させる表示手段を有することを特徴とする請求項5記載の基板処理装置。
- 基板を処理する複数の処理室と前記基板を前記処理室に搬出入する搬送手段とを備えた基板処理装置における履歴情報記録方法であって、
前記搬送手段による前記基板の搬送に関する履歴情報を該搬送の対象とされた各基板に関連付けて第一の履歴情報として記録する搬送履歴記録手順と、
前記処理室における前記基板の処理状態に関する履歴情報を処理の対象とされた各基板に関連付けて第二の履歴情報として記録する処理履歴記録手順と、
前記搬送手段又は前記処理室において発生したアラームに関する履歴情報を該アラームに係る各基板に関連付けて第三の履歴情報として記録するアラーム履歴記録手順とを有することを特徴とする履歴情報記録方法。 - 基板を処理する複数の処理室と前記基板を前記処理室に搬出入する搬送手段とを備えた基板処理装置に、
前記搬送手段による前記基板の搬送に関する履歴情報を該搬送の対象とされた各基板に関連付けて第一の履歴情報として記録する搬送履歴記録手順と、
前記処理室における前記基板の処理状態に関する履歴情報を処理の対象とされた各基板に関連付けて第二の履歴情報として記録する処理履歴記録手順と、
前記搬送手段又は前記処理室において発生したアラームに関する履歴情報を該アラームに係る各基板に関連付けて第三の履歴情報として記録するアラーム履歴記録手順とを実行させるための履歴情報記録プログラム。 - 基板を処理する複数の処理室及び前記基板を前記処理室に搬出入する搬送手段のそれぞれを制御する副制御装置と、前記副制御装置を介して前記処理室及び前記搬送手段を備えた基板処理装置を制御する主制御装置とを含む履歴情報記録システムであって、
前記主制御装置は、
前記搬送手段による前記基板の搬送に関する履歴情報を該搬送の対象とされた各基板に関連付けて第一の履歴情報として記録する搬送履歴記録手段と、
前記処理室における前記基板の処理状態に関する履歴情報を処理の対象とされた各基板に関連付けて第二の履歴情報として記録する処理履歴記録手段と、
前記搬送手段又は前記処理室において発生したアラームに関する履歴情報を該アラームに係る各基板に関連付けて第三の履歴情報として記録するアラーム履歴記録手段とを有することを特徴とする履歴情報記録システム。
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