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JP4270207B2 - 弾性表面波フィルタ及び通信機 - Google Patents

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Description

本発明は、平衡−不平衡変換機能を有し、振幅平衡特性および位相平衡特性の少なくとも一方が優れた、弾性表面波フィルタ、およびそれを備えた通信機に関するものである。
近年の携帯電話機といった通信機の小型化、軽量化に対する技術的進歩は目覚しいものがある。これを実現するための手段として、各構成部品の削減、小型化はもとより、複数の機能を複合した部品の開発も進んできた。このような状況を背景に、通信機のＲＦ段に使用する弾性表面波フィルタに対し、平衡−不平衡変換機能、いわゆるバランの機能を持たせたものも近年盛んに研究され、ＧＳＭ（Ｇｌｏｂａｌ Ｓｙｓｔｅｍ ｆｏｒ Ｍｏｂｉｌｅ ｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎｓ）などを中心に使用されるようになってきた。このような平衡−不平衡変換機能を持たせた弾性表面波フィルタに関する特許も、いくつか出願されている。
図３７に、特許文献１に開示されている、不平衡信号端子側のインピーダンスが５０Ω、平衡信号端子側のインピーダンスが２００Ωの平衡−不平衡変換機能を持たせた弾性表面波フィルタを示す。図３７の構成は、３つの各くし型電極部（Ｉｎｔｅｒ−Ｄｉｇｉｔａｌ Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ、以下、ＩＤＴと記す）を有する縦結合共振子型弾性表面波フィルタ４０１において、中央に位置するＩＤＴ４０３の一方のくし歯状電極を弾性表面波の伝搬方向に略対称に２分割して、それぞれを平衡信号端子４０８、４０９に接続し、極性を反転させた左右の各ＩＤＴ４０２、４０４を不平衡信号端子４０７に接続している。
これにより、上記弾性表面波フィルタでは、平衡−不平衡変換機能を備えることができ、さらに平衡信号端子側のインピーダンスは、不平衡信号端子側のインピーダンスの約４倍とすることができる。
また、特許文献２において、フロートバランスタイプで、ＩＤＴにおける弾性表面波の伝搬方向の中央部であって、弾性表面波の伝搬方向に対して垂直となる仮想中心軸を挟んでＩＤＴが非対称であることが開示されている。
具体的には、１）互いに隣り合うくし型電極部同士の距離、２）ＩＤＴのピッチに対する電極指幅の比（デューティー、以下、ｄｕｔｙと記す）、３）ＩＤＴのピッチ、４）狭ピッチ電極指部のピッチを非対称にすることが記載されている。
特開平１１−０９７９６６号公報（公開日：１９９９年４月９日） 特開２００３−４６３６９号公報（公開日：２００３年２月１４日）
平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波フィルタに関しては、不平衡信号端子と平衡信号端子のそれぞれの端子との間の通過帯域内での伝送特性において、振幅特性が等しく、かつ位相が１８０度反転していることが要求され、それぞれ振幅平衡度および位相平衡度と呼んでいる。
振幅平衡度および位相平衡度とは、前記平衡−不平衡変換機能を有するフィルタ装置を３ポートのデバイスと考え、例えば不平衡入力端子をポート１、平衡出力端子のそれぞれをポート２、ポート３としたときの、振幅平衡度＝｜Ａ｜、Ａ＝｜２０ｌｏｇ（Ｓ２１）｜−｜２０ｌｏｇ（Ｓ３１）｜、位相平衡度＝｜Ｂ−１８０｜、Ｂ＝｜∠Ｓ２１−∠Ｓ３１｜で定義する。このような平衡度は、理想的にはフィルタの通過帯域内で振幅平衡度が０ｄＢ、位相平衡度は０度とされる。
しかしながら、図３７の構成においては、平衡度が悪いという問題があった。その理由は、ＩＤＴ４０３と隣り合う電極指の極性がＩＤＴ４０２とＩＤＴ４０４とで異なっており（図３７の４１０と４１１）、これにより、平衡信号端子４０８と平衡信号端子４０９とにそれぞれに入る（生じる）寄生容量、橋絡容量等が互いに異なるためである。また、隣接するＩＤＴの電極指との相互作用による弾性表面波の励振も異なる。
本発明の目的は、上記の問題を解決し、平衡度が改善された平衡−不平衡変換機能を有し、かつ平衡信号端子のインピーダンスと不平衡信号端子のインピーダンスが相違する、例えば一方が他方の約４倍である弾性表面波フィルタおよびそれを用いた通信機を提供することにある。
本発明に係る第１の弾性表面波フィルタは、圧電基板と、前記圧電基板に構成された縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部とを備える弾性表面波フィルタであって、前記縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部は、複数の電極指を有する複数のくし歯状電極が対向するように組合わせられておりかつ弾性表面波の伝搬方向に沿って配置された少なくとも３つの奇数のくし型電極部と、前記くし型電極部を挟み込むように弾性表面波の伝搬方向に沿って配置された第１，第２のリフレクタとを備え、前記少なくとも３つの奇数のくし型電極部が、中央に位置する中央くし型電極部と、前記中央くし型電極部の両側に配置された第１，第２のくし型電極部とを有し、前記第１のくし型電極部の前記中央くし型電極部と隣り合う電極指がアース電極であり、前記第２のくし型電極部の前記中央くし型電極部と隣り合う電極指がシグナル電極であり、前記中央くし型電極部の対向するいずれか一方側のくし歯状電極は、弾性表面波の伝搬方向に沿って２分割された第１，第２の分割くし歯状電極で構成されており、前記第１，第２の分割くし歯状電極は、それぞれ、第１，第２のくし型電極部に近い側に配置されており、かつ第１，第２の平衡信号端子にそれぞれ接続されており、前記中央くし型電極部に隣接する第１，第２のくし型電極部は、不平衡信号端子に接続されており、前記中央くし型電極部の２つの最外電極指の極性がアース電極または浮き電極とされており、前記第１のくし型電極部と前記第２のくし型電極部とのそれぞれは、前記中央くし型電極部と隣り合った隣接部分に相対的に電極指ピッチが狭い狭ピッチ電極指部を有し、前記第１のくし型電極部の前記狭ピッチ電極指部以外の部分の少なくとも一部における電極指ピッチは、前記第２のくし型電極部の前記狭ピッチ電極指部以外の部分の電極指ピッチよりも大きいことを特徴としている。
本発明に係る第２の弾性表面波フィルタは、圧電基板と、前記圧電基板に構成された縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部とを備える弾性表面波フィルタであって、前記縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部は、複数の電極指を有する複数のくし歯状電極が対向するように組合わせられておりかつ弾性表面波の伝搬方向に沿って配置された少なくとも３つの奇数のくし型電極部と、前記くし型電極部を挟み込むように弾性表面波の伝搬方向に沿って配置された第１，第２のリフレクタとを備え、前記少なくとも３つの奇数のくし型電極部が、中央に位置する中央くし型電極部と、前記中央くし型電極部の両側に配置された第１，第２のくし型電極部とを有し、前記第１のくし型電極部の前記中央くし型電極部と隣り合う電極指がアース電極であり、前記第２のくし型電極部の前記中央くし型電極部と隣り合う電極指がシグナル電極であり、前記中央くし型電極部の対向するいずれか一方側のくし歯状電極は、弾性表面波の伝搬方向に沿って２分割された第１，第２の分割くし歯状電極で構成されており、前記第１，第２の分割くし歯状電極は、それぞれ、第１，第２のくし型電極部に近い側に配置されており、かつ第１，第２の平衡信号端子にそれぞれ接続されており、前記中央くし型電極部に隣接する第１，第２のくし型電極部は、不平衡信号端子に接続されており、前記中央くし型電極部の２つの最外電極指の極性が共にシグナル電極であり、前記第１のくし型電極部と前記第２のくし型電極部とのそれぞれは、前記中央くし型電極部と隣り合った隣接部分に相対的に電極指ピッチが狭い狭ピッチ電極指部を有し、前記第２のくし型電極部の前記狭ピッチ電極指部以外の部分の少なくとも一部における電極指ピッチは、前記第１のくし型電極部の前記狭ピッチ電極指部以外の部分の電極指ピッチよりも大きいことを特徴としている。
本発明に係る第１の弾性表面波フィルタのある特定の局面では、前記第１くし型電極部と、該第１くし型電極部に隣り合う第１のリフレクタとの電極指中心間距離が、前記第２のくし型電極部と、第２のくし型電極部に隣り合う第２のリフレクタとの電極指中心間距離よりも大きくされている。
本発明に係る第２の弾性表面波フィルタのある特定の局面では、前記第２くし型電極部と第２くし型電極部に隣り合う第２のリフレクタとの電極指中心間距離が、前記第１くし型電極部と前記第１くし型電極部に隣り合っている第１のリフレクタとの電極指中心間距離よりも大きくされている。
本発明に係る第１及び第２の弾性表面波フィルタの他の特定の局面では、前記第１，第２の分割くし歯状電極のうち、前記第１のくし型電極部に近い第１の分割くし歯状電極の少なくとも一部の電極指ピッチが、第２の分割くし歯状電極の電極指ピッチよりも大きくされている。
本発明に係る第１及び第２の弾性表面波フィルタの別の特定の局面では、前記縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部に対しカスケード接続された第２の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部をさらに備える。
本発明に係る通信機は、本発明に従って構成された弾性表面波フィルタを備えることを特徴とする。
本発明の弾性表面波フィルタは、以上のように、圧電基板に、弾性表面波の伝搬方向に沿って配置された、少なくとも３つの奇数個のＩＤＴと、少なくとも３つのＩＤＴが配置されている部分を挟む第１，第２のリフレクタとを備え、少なくとも３つの奇数個のＩＤＴのうち、中央に位置する中央ＩＤＴの一方のくし歯状電極にて、弾性表面波の伝搬方向に沿って互いに略対称に２分割してなる第１，第２分割くし歯状電極を有している、平衡−不平衡変換機能を発揮する弾性表面波装置において、前記ＩＤＴおよびリフレクタの少なくとも一方の設計パラメータを、前記第１，第２分割くし歯状電極の間に表面波伝搬方向と直交する方向に想定した仮想中心軸を間に挟む、一方領域と他方領域とで異ならせた構成である。
上記構成においては、２分割してなる第１，第２分割くし歯状電極を設けたことによって、平衡−不平衡変換機能を有し、かつ平衡信号端子のインピーダンスが、不平衡信号端子のインピーダンスと相違する、例えば不平衡信号端子のインピーダンスの約４倍である弾性表面波フィルタが得られる。
また、上記構成によれば、前記ＩＤＴおよびリフレクタの少なくとも一方の設計パラメータを、前記仮想中心軸を間に挟む一方の領域と他方の領域との間で異ならせたことにより、振幅平衡度や位相平衡度といった平衡度を改善できる。
本発明の他の弾性表面波フィルタでは、以上のように、圧電基板上に弾性表面波の伝搬方向に沿って配置された、少なくとも３つの奇数個のＩＤＴを備え、該各ＩＤＴの中央ＩＤＴの一方のくし歯状電極にて、弾性表面波の伝搬方向に沿って互いに略対称に２分割してなる第１，第２分割くし歯状電極により平衡−不平衡変換機能を発揮する構造において、前記中央ＩＤＴと異なる第１，第２のＩＤＴと、不平衡信号端子との間にそれぞれ接続された第１，第２の弾性表面波共振子とを備え、前記第１，第２の弾性表面波共振子の設計パラメータが異なっている。
本発明のさらに他の弾性表面波フィルタでは、以上のように、前記中央ＩＤＴと異なる第１，第２のＩＤＴと、不平衡信号端子との間にそれぞれ接続された第１，第２の弾性表面波共振子に代えて、前記第１，第２の分割くし歯状電極と第１，第２の平衡信号端子との間にそれぞれ接続された第１，第２の弾性表面波共振子を備え、前記第１，第２の弾性表面波共振子の設計パラメータが異なっている。
上記構成によれば、前記第１，第２の弾性表面波共振子の設計パラメータを異ならせたことにより、振幅平衡度や位相平衡度といった平衡度を改善できる。
［図１］図１は本発明の弾性表面波フィルタに係る実施の第一形態の電極構成を示す概略構成図である。
［図２］図２は上記電極構成における電極指ピッチを説明する要部構成図である。
［図３］図３は上記実施の第一形態におけるパッケージの裏面端子を示す平面図である。
［図４］図４は上記実施の第一形態のデバイス構造を示す概略断面図である。
［図５］図５は上記実施の第一形態と第一従来例との位相平衡度の結果をそれぞれ示すグラフである。
［図６］図６は上記第一従来例と第一比較例との位相平衡度の結果をそれぞれ示すグラフである。
［図７］図７は本発明の弾性表面波フィルタに係る実施の第二形態の電極構成を示す概略構成図である。
［図８］図８は上記実施の第二形態と第二従来例との振幅平衡度の結果をそれぞれ示すグラフである。
［図９］図９は従来例の弾性表面波フィルタに係る電極構成を示す概略構成図である。
［図１０］図１０は上記の実施の第一および第二の各形態における、別のパッケージの裏面端子を示す平面図である。
［図１１］図１１は上記実施の第一および第二の各形態における、別のデバイス構造を示す概略断面図である。
［図１２］図１２は上記実施の第一および第二の各形態における、さらに別のデバイス構造を示す概略断面図である。
［図１３］図１３は上記実施の第一および第二の各形態における、一変形例の概略構成図である。
［図１４］図１４は本発明の弾性表面波フィルタに係る実施の第三形態と第一従来例との位相平衡度の結果をそれぞれ示すグラフである。
［図１５］図１５は上記実施の第三形態の一変形例と第一従来例との振幅平衡度の結果をそれぞれ示すグラフである。
［図１６］図１６は上記弾性表面波フィルタにおける、２つのＩＤＴ間の最外電極指の電極指中心間距離を説明するための概略構成図である。
［図１７］図１７は本発明の弾性表面波フィルタに係る実施の第四形態と第一従来例との位相平衡度の結果をそれぞれ示すグラフである。
［図１８］図１８は上記実施の第四形態の一変形例と第二従来例との振幅平衡度の結果をそれぞれ示すグラフである。
［図１９］図１９は上記弾性表面波フィルタにおける、ＩＤＴとリフレクタの最外電極指の電極指中心間距離を説明するための要部構成図である。
［図２０］図２０は本発明の弾性表面波フィルタに係る実施の第五形態と第一従来例との位相平衡度の結果をそれぞれ示すグラフである。
［図２１］図２１は上記実施の第五形態の一変形例と第二従来例との振幅平衡度の結果をそれぞれ示すグラフである。
［図２２］図２２は上記弾性表面波フィルタにおける、ｄｕｔｙを説明するための要部構成図である。
［図２３］図２３は本発明の弾性表面波フィルタに係る実施の第六形態と第一従来例との位相平衡度の結果をそれぞれ示すグラフである。
［図２４］図２４は上記実施の第六形態の一変形例と第二従来例との振幅平衡度の結果をそれぞれ示すグラフである。
［図２５］図２５は本発明の弾性表面波フィルタに係る実施の第七形態と第一従来例との位相平衡度の結果をそれぞれ示すグラフである。
［図２６］図２６は上記実施の第七形態の一変形例と第二従来例との振幅平衡度の結果をそれぞれ示すグラフである。
［図２７］図２７は本発明の弾性表面波フィルタに係る実施の第八形態と第一従来例との位相平衡度の結果をそれぞれ示すグラフである。
［図２８］図２８は上記実施の第八形態の一変形例と第二従来例との振幅平衡度の結果をそれぞれ示すグラフである。
［図２９］図２９は本発明の弾性表面波フィルタに係る実施の第九形態の電極構成を示す概略構成図である。
［図３０］図３０は上記実施の第九形態と第三従来例との位相平衡度の結果をそれぞれ示すグラフである。
［図３１］図３１は上記実施の第九形態における、別の電極構成を示す概略構成図である。
［図３２］図３２は上記実施の第九形態における、さらに別の電極構成を示す概略構成図である。
［図３３］図３３は本発明の弾性表面波フィルタに係る実施の第十形態と第三従来例との位相平衡度の結果をそれぞれ示すグラフである。
［図３４］図３４は本発明の弾性表面波フィルタに係る実施の第十一形態と第三従来例との位相平衡度の結果をそれぞれ示すグラフである。
［図３５］図３５は本発明の弾性表面波フィルタに係る実施の第十二形態と第三従来例との位相平衡度の結果をそれぞれ示すグラフである。
［図３６］図３６は本発明の弾性表面波フィルタであって、図１に示した縦結合共振子型弾性表面波フィルタに第２の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部がカスケード接続されている弾性表面波フィルタの電極構造を示す模式的平面図である。
［図３７］図３７は従来例の弾性表面波フィルタの電極構成を示す概略構成図である。
 符号の説明
５０１：縦結合共振子型弾性表面波フィルタ（縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部）
５０３、５０４、５０５：ＩＤＴ（くし型電極部）
５１６、５１７：分割くし歯状電極
Ａ：仮想中心軸
本発明の実施の各形態について図１ないし図３５に基づいて説明すれば、以下の通りである。
（実施の第一形態）
図１ないし図４を用いて、本発明に係る弾性表面波フィルタの実施の第一形態の構成を説明する。なお、以後の実施の各形態では、ＤＣＳ受信用フィルタを例にとって説明を行っていく。まず、図１を用いて、実施の第一形態の電極構成について説明する。
実施の第一形態では、４０±５°ＹｃｕｔＸ伝搬ＬｉＴａＯ３からなる圧電基板（図示せず）上に縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部５０１、および縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部５０１に直列に接続された弾性表面波共振子５０２が、アルミニウム（Ａｌ）電極により形成されている。
縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部５０１の構成は、ＩＤＴ（中央ＩＤＴ）５０４を弾性表面波の伝搬方向に沿った方向の両側からそれぞれ挟み込むように、第１，第２のＩＤＴ５０３、５０５が形成されている。また、ＩＤＴ５０３〜５０５の配置されている領域の両側に各リフレクタ５０６、５０７がそれぞれ形成されている。
ＩＤＴは、帯状の基端部（バスバー）と、その基端部の一方の側部から直交する方向に延びる複数の、互いに平行な帯状の電極指とを備えた、くし歯状電極を２つ備えており、上記各くし歯状電極の電極指の側部を互いに対面するように互いの電極指間に入り組んだ状態にて上記各くし歯状電極を有するものである。
よって、ＩＤＴでは、２つのくし歯状電極に対し各基端部（バスバー）を介して入力電気信号に基づく電位差が生じると、その部分の圧電基板の表面上に弾性表面波が発生し、その弾性表面波は各電極指の幅方向（各電極指の長手方向に対し直交する方向）の双方向に圧電基板の表面上を伝搬する。
一方、電気信号が入力されていないＩＤＴでは、伝搬してきた弾性表面波により圧電基板の表面上に発生した電位差を各電極指によって検出し、出力電気信号に変換して出力できる。
このようなＩＤＴでは、各電極指の長さや幅、隣り合う各電極指の間隔、互いの電極指間での入り組んだ状態の対面長さを示す交叉幅を、それぞれ設定することにより信号変換特性や、通過帯域の設定が可能となっている。
前記各リフレクタは、互いに略平行に配置された一対の帯状の各基端部（バスバー）と、それら各基端部の側部から直交する方向に延びて互いにつながっている、複数の、互いに平行な帯状の電極指とを備えている。各リフレクタは、それらの電極指を各ＩＤＴの各電極指と略平行に、かつ、弾性表面波の伝搬方向に沿って配置することにより、伝搬してきた弾性表面波をその伝搬方向に向かって反射することができるものである。
図１を見るとわかるように、ＩＤＴ５０３とＩＤＴ５０４の隣り合っている部分、およびＩＤＴ５０４とＩＤＴ５０５との隣り合っている部分では、数本の電極指のピッチが、ＩＤＴの他の部分よりも小さく設定されている（図１の参照番号５１４、５１５で示す箇所）。
ＩＤＴ５０４は、その一方のくし歯状電極が弾性表面波の伝搬方向に沿った方向にて、互いにほぼ等しく２分割された第１，第２の分割くし歯状電極５１６、５１７をそれぞれ互いに隣り合って有している。第１の分割くし歯状電極５１６は第１の平衡信号端子５１２に接続されている。第２の分割くし歯状電極５１７は第２の平衡信号端子５１３に接続されている。
前記弾性表面波共振子５０２には、ＩＤＴ５０８を両側（弾性表面波の伝搬方向に沿った両側）から挟み込むように各リフレクタ５０９、５１０がそれぞれ形成されている。ＩＤＴ５０８の一方のくし歯状電極が不平衡信号端子５１１に接続されている一方、ＩＤＴ５０８の他方のくし歯状電極が各ＩＤＴ５０３、５０５に接続されていることにより、弾性表面波共振子５０２は、前記縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部５０１に直列に接続されていることになる。
図３に実施の第一形態の、パッケージの裏面端子を示す（デバイスの上面から見た透視図で示している）。裏面端子６０１が弾性表面波共振子５０２に接続される不平衡信号端子、各裏面端子６０２、６０３がそれぞれ分割くし歯状電極５１６、５１７に接続される平衡信号端子、各裏面端子６０４、６０５がアース端子である。
実施の第一形態の弾性表面波フィルタは、図４に示すように圧電基板７０５の電極面とパッケージのダイアタッチ面７０３の間をバンプ７０６で導通を取るフェイスダウン工法を用いて作製されている。パッケージは、底板７０１と側壁部７０２とキャップ７０４とを有している。
実施の第一形態の特徴は図１において、ＩＤＴ５０３とＩＤＴ５０５との各電極指ピッチ（図２においてＢで示した距離）が互いに異ならされていることである。このとき、ＩＤＴ５０３の電極指ピッチの方が、ＩＤＴ５０５の電極指ピッチより０．００１μｍ大きくなるように設定されている。
また、このとき、ＩＤＴ５０４における、各ＩＤＴ５０３、５０５と隣り合っている電極指は中性点電極（浮き電極でもアース電極でもよい）であり、ＩＤＴ５０４と隣り合っているＩＤＴ５０３の電極指はアース電極であり、ＩＤＴ５０４と隣り合っているＩＤＴ５０５の電極指はシグナル電極となっている。
さらに実施の第一形態では、ＩＤＴ５０３とＩＤＴ５０５とでピッチを互いに異ならせた点以外は、図１に示した２分割したＩＤＴ５０４の第１の分割くし歯状電極５１６と第２の分割くし歯状電極５１７との間の中間を中心に、弾性表面波の伝搬方向に対して垂直方向に延びるように仮想的に設けた仮想中心軸Ａに対して、圧電基板上のレイアウト（各電極のレイアウト）、パッケージの全て（例えば各裏面端子のレイアウト、図３参照）が互いに軸対称になるようにしている。
これにより、ＩＤＴ５０４と隣り合う電極指の極性がＩＤＴ５０３とＩＤＴ５０５とで互いに異なっている点以外の不平衡成分が入らない（発生しない）ようにしている。
縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部５０１の詳細な設計は、ピッチを小さくしていない電極指のピッチで決まる波長をλＩとすると、以下のとおりである。
交叉幅：６９．７λＩ
ＩＤＴ本数（５０３、５０４、５０５の順）１７（３）／（３）２６（３）／（３）１７本（カッコ内はピッチを小さくした電極指の本数、カッコ外はそれ以外の電極指の本数）
リフレクタ本数：２００本
ｄｕｔｙ：０．７２（ＩＤＴ、リフレクタ共）
電極膜厚：０．０９５λＩ
弾性表面波共振子５０２の詳細な設計は、以下のとおりである。
交叉幅：４２．７λＩ
ＩＤＴ本数：１４５本
リフレクタ本数：１００本
ｄｕｔｙ：０．７２
電極膜厚：０．０９７λＩ
次に、本実施の第一形態の作用・効果について説明する。図５に、実施の第一形態の構成の位相平衡度の結果を実線にて示す。比較として、ＩＤＴ５０３とＩＤＴ５０５との電極指ピッチを同じにした、第一従来例の位相平衡度の結果を破線にて図５に合わせて示す。第一従来例は、ＩＤＴ５０３とＩＤＴ５０５との電極指ピッチを同じにした以外は、実施の第一形態の構成と弾性表面波フィルタの設計、圧電基板上のレイアウト、パッケージの実装方法等、すべて同じである。ＤＣＳ受信用フィルタの通過帯域は、１８０５ＭＨｚないし１８８０ＭＨｚである。
この範囲における位相平衡度は図５によると、第一従来例では、最大約９度であるのに対し、実施の第一形態では最大約８度と、約１度位相平衡度が改善されている。これは、平衡信号端子５１２と平衡信号端子５１３との間の位相のずれを、第１ＩＤＴ５０３と第２ＩＤＴ５０５の電極指ピッチを異ならせることで補正した効果である。
実施の第一形態では、ＩＤＴ５０５に対してＩＤＴ５０３の電極指ピッチが大きくなるように設定した。次に、これとは逆に、ＩＤＴ５０３に対してＩＤＴ５０５の電極指ピッチが大きくなるようにした場合（第一比較例）の位相平衡度の結果を調査した。図６に、その場合の位相平衡度の結果を一点鎖線にて示す。比較として、第一従来例の位相平衡度の結果も、破線にて図６に合わせて示す。この場合、第一比較例は、第一従来例よりも位相平衡度が悪化している。どちらの平衡信号端子の対地容量を大きくするかは、各ＩＤＴ５０３ないし５０５の、隣り合う電極指の並び方で決まる。
実施の第一形態の場合は、ＩＤＴ５０４の各ＩＤＴ５０３、５０５と隣り合っている電極指（最外電極指）は中性点電極（アース電極）であり、ＩＤＴ５０４と隣り合っているＩＤＴ５０３の電極指はアース電極である。このような電極指の並びの場合、実施の第一形態のようにＩＤＴ５０３の電極指ピッチをＩＤＴ５０５より大きく設定することで、平衡信号端子間の平衡度の結果を改善することができる。
（実施の第二形態）
次に、図７のように、中央くし型電極部であるＩＤＴ８０４の第１，第２のＩＤＴ８０３、８０５と隣り合っている電極指（最外電極指）がシグナル電極である場合を実施の第二形態として調査した。図８に、図７の構成において、ＩＤＴ８０４と隣り合う電極指がシグナル電極である第２のＩＤＴ８０５の電極指ピッチを、ＩＤＴ８０４と隣り合う電極指がアース電極である第１のＩＤＴ８０３より０．００１μｍ大きくした実施の第二形態の振幅平衡度の結果を実線にて示す。また比較として、ＩＤＴ８０３とＩＤＴ８０５との各電極指ピッチを同じとした、第二従来例の振幅平衡度の結果を破線にて図８に合わせて示す。第二従来例は、ＩＤＴ８０３とＩＤＴ８０５との各電極指ピッチを互いに同じにした以外は、実施の第二形態の構成と弾性表面波フィルタの設計、圧電基板上のレイアウト、パッケージの実装方法等、すべて同じである。
図８を見ると、実施の第二形態の方が第二従来例よりも振幅平衡度が約０．２ｄＢ改善されていることがわかる。つまりＩＤＴ８０４における、各ＩＤＴ８０３、８０５と隣り合っている電極指がシグナル電極である場合は、ＩＤＴ８０４と隣り合う電極指がシグナル電極であるＩＤＴ８０５の電極指ピッチを、ＩＤＴ８０４と隣り合う電極指がアース電極であるＩＤＴ８０３より大きくすることで、平衡信号端子間の平衡度が改善されると言える。
本発明は仮想中心軸Ａに対して左右（仮想中心軸Ａを挟んで分けられる各領域）の設計パラメータを互いに異ならせることで平衡度の結果を改善しているが、図９で示すように、中央に位置するＩＤＴ２０５の両端から信号を取り出すことで平衡−不平衡変換機能を備えるようにした弾性表面波フィルタにおいて、仮想中心軸２２２に対して左右の設計パラメータを互いに異ならせるという構成が、特開２００３−０４６３６９号公報に記載されている。
上記公報に記載の発明の構成は、平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波フィルタにおいて左右で設計パラメータを異ならせるという点で本発明と一致しているが、図９に示すように、図１に示すような中性点を有さず、かつ１つのＩＤＴの両端（各くし歯状電極の双方から）から平衡信号をそれぞれ取り出す構成としている。
このため、上記公報の構成では、左右で設計パラメータを異ならせることで起こるＩＤＴ２０４からＩＤＴ２０５へ、ＩＤＴ２０６からＩＤＴ２０５へ伝搬する弾性表面波が非対称となることは平衡度にはまったく影響しない。
上記公報の構成においては、左右で設計パラメータを異ならせることでＩＤＴ２０４とＩＤＴ２０５、ＩＤＴ２０５とＩＤＴ２０６とが隣り合う箇所で容量が非対称となり、これにより、各平衡信号端子２１０、２１１への寄生容量が変わることのみ、平衡度に影響する。
これに対し、本発明の構成は、図１においてＩＤＴ５０４を弾性表面波の伝搬方向に２分割し、かつ平衡信号端子を接続していない側の電極指をアースに落としているため、平衡信号端子５１２に接続されている電極指と平衡信号端子５１３に接続されている電極指は、別のＩＤＴと考えることができる。このため、左右非対称設計を行うことでＩＤＴ５０３とＩＤＴ５０４、ＩＤＴ５０４とＩＤＴ５０５が隣り合う箇所で容量が非対称となる以外に、ＩＤＴ５０３からＩＤＴ５０４へ、ＩＤＴ５０５からＩＤＴ５０４へ伝搬する弾性表面波が非対称となることも平衡度に影響することになる。
以上のように、本発明は、ＩＤＴ５０４を弾性表面波の伝搬方向に２分割して、平衡−不平衡変換機能を持たせた弾性表面波フィルタにおいて、特開２００３−０４６３６９号公報の発明とは別の作用・効果を利用して、平衡度の結果を改善するものである。
以上説明したように、実施の第一および第二の各形態では、圧電基板上に弾性表面波の伝搬方向に沿って形成された少なくとも３つの奇数個のくし型電極部すなわちＩＤＴを有する縦結合共振子型弾性表面波フィルタを有し、奇数個のＩＤＴのうち中央に位置するＩＤＴの一方のくし歯状電極を弾性表面波の伝搬方向に２分割し、中央に位置するＩＤＴの左右に隣接するＩＤＴの極性を反転させることで平衡−不平衡変換機能を持たせた弾性表面波フィルタにおいて、左右のＩＤＴの電極指ピッチを異ならせることで、弾性表面波フィルタの平衡信号端子間の平衡度の結果を改善することができる。
また、実施の第一形態では、余計な不平衡成分をなくすために、左右のＩＤＴの電極指ピッチを異ならせる以外は、圧電基板上のレイアウト、パッケージ等は同じになるようにした。そのため、パッケージの裏面端子の数が５つの場合の例を示したが、本発明はこのようなパッケージに限らず、中央ＩＤＴの第１，第２の分割くし歯状電極の間を中心に弾性表面波の伝搬方向に垂直に引いた仮想中心軸Ａに対して軸対称にできるパッケージであれば、どのようなパッケージを用いてもよい。
例えば、図１０のように６つの端子を有するパッケージの場合、端子９０１を不平衡信号端子、各端子９０２、９０３を平衡信号端子とし、各端子９０４ないし９０６をアース端子とすることで、仮想中心軸Ａに対して軸対称とすることができる。また実施の第一および第二の各形態では図４のように、フェイスダウン工法でパッケージと圧電基板の導通を取る方法で弾性表面波フィルタを作製したが、これはワイヤボンド工法であっても問題はない。
またフェイスダウン工法で作製する構成としては図４の構成に限らず、例えば、図１１のように集合基板１００１上に圧電基板１００２をフリップチップ工法で接合し、その上に樹脂１００３を覆って封止して、ダイシングにより１パッケージ単位に切断してなる構成、図１２のように同じく集合基板１１０１上に圧電基板１１０２をフリップチップ工法で接合し、その上にシート状の樹脂材１１０３を覆って封止して、ダイシングにより１パッケージ単位に切断してなる構成で、弾性表面波フィルタが作製されていてもよい。
実施の第一および第二の各形態では、３つのＩＤＴを有する縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部に弾性表面波共振子を直列接続した構成を示したが、弾性表面波共振子が接続されていない構成や、さらには弾性表面波共振子が並列接続された構成においても、同様な効果が得られる。また、図１３のように、５つのＩＤＴを設けた構成であってもよい。
また、図３６に示すように、図１に示す縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部５０１に、第２の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部５５１をカスケード接続した構成であってもよい。
第２の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部５５１は、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部５０１の前段にカスケード接続されている。ここで、第２の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部５５１は、３個のＩＤＴ５５２〜５５４と、ＩＤＴ５５２〜５５４が設けられている領域の表面波伝搬方向両側に設けられた反射器５５５，５５６とを有する。中央のＩＤＴ５５３が不平衡端子５１１に電気的に接続されている。ＩＤＴ５５３の両側のＩＤＴ５５２，５５４が、それぞれ、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部５５１のＩＤＴ５０３，５０５に接続されている。この場合、第２の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部５５１の中央部に位置するＩＤＴ５５３は、総電極指本数が偶数本であることが望ましい。また、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部５０１と第２の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部を接続している各シグナルラインを伝送する各信号の位相が互いに約１８０度異なるように、各ＩＤＴの向きを調整しておくことが望ましい。上記の構成にすることで、さらに平衡度の優れた弾性表面波フィルタが得られる。
また、実施の第一および第二の各形態では、ＩＤＴ５０３（８０３）とＩＤＴ５０５（８０５）のピッチをすべて異ならせたが、一部のピッチのみを異ならせてもよい。実施の第一および第二の各形態では、４０±５°ＹｃｕｔＸ伝搬ＬｉＴａＯ３基板を用いたが、効果が得られる原理からもわかるとおり、本発明はこの基板に限らず、６４°〜７２°ＹｃｕｔＸ伝搬ＬｉＮｂＯ３、４１°ＹｃｕｔＸ伝搬ＬｉＮｂＯ３などの基板でも同様な効果が得られる。上記効果は、以下の他の形態でも同様である。
（実施の第三形態）
実施の第三形態の構成は、基本的な構成は実施の第一形態と同じであるが、実施の第三形態では図１において、ＩＤＴ５０４の２分割した各分割くし歯状電極５１６、５１７のうち、ＩＤＴ５０４に隣り合う電極指がアース電極であるＩＤＴ５０３に近い側に位置する分割くし歯状電極５１６の電極指ピッチを、ＩＤＴ５０４に隣り合う電極指がシグナル電極であるＩＤＴ５０５に近い側に位置する分割くし歯状電極５１７よりも０．００１μｍ大きくしている。
続いて、本実施の第三形態の構成における作用・効果として、図１４に実施の第三形態の位相平衡度の結果を実線にて示す。比較として、各分割くし歯状電極５１６、５１７の電極指ピッチを互いに同じにした、第一従来例の位相平衡度の結果を破線にて図１４に合わせて示す。実施の第三形態では、第一従来例に対して、位相平衡度が改善していることがわかる。
次に、図７の構成において、ＩＤＴ８０４の２分割した第１，第２分割くし歯状電極８１６、８１７のうち、ＩＤＴ８０４に隣り合う電極指がアース電極である第１のＩＤＴ８０３に近い側に位置する第１分割くし歯状電極８１６の電極指ピッチを、ＩＤＴ８０４に隣り合う電極指がシグナル電極である第２のＩＤＴ８０５に近い側に位置する第２の分割くし歯状電極８１７よりも０．００１μｍ大きくした場合（一変形例）の振幅平衡度の結果を図１５に二点鎖線にて示す。比較として、第１，第２の分割くし歯状電極８１６、８１７の電極指ピッチを互いに同じにした、第二従来例の振幅平衡度の結果を破線にて図１５に合わせて示す。
実施の第三形態の一変形例の方が第二従来例よりも、振幅平衡度が改善していることがわかる。すなわち、実施の第三形態のように２分割したくし歯状電極のピッチを異ならせる場合は、２分割した分割くし歯状電極の左右ＩＤＴに隣り合う電極指の極性を問わず、２分割した分割くし歯状電極に隣り合う電極指がアース電極となるＩＤＴに近い側に位置するＩＤＴの電極指ピッチを大きくすることで、弾性表面波フィルタの平衡信号端子間の平衡度を改善することができる。
また、実施の第三形態では、第１の分割くし歯状電極５１６（８１６）と第２の分割くし歯状電極５１７（８１７）のピッチをすべての部分で異ならせたが、一部においてのみピッチを異ならせてもよい。
（実施の第四形態）
本発明に係る実施の第四形態の構成は、基本的な構成は実施の第一形態と同じであるが、実施の第四形態では図１において、ＩＤＴ５０４とＩＤＴ５０４に隣り合う電極指がアース電極である第１のＩＤＴ５０３の最外電極指の電極指中心間距離（図１６のＣで示す距離）を、ＩＤＴ５０４とＩＤＴ５０４に隣り合う電極指がシグナル電極である第２のＩＤＴ５０５の最外電極指の電極指中心間距離より０．００２λＩ（λＩ：ＩＤＴの電極指ピッチで決まる波長）大きくしている。
次に、本実施の第四形態の作用・効果として、図１７に、実施の第四形態の構成の位相平衡度の結果を実線にて示す。比較として、ＩＤＴ５０４とＩＤＴ５０３の最外電極指の電極指中心間距離とＩＤＴ５０４とＩＤＴ５０５の最外電極指の電極指中心間距離を同じにした、第一従来例の位相平衡度の結果を破線にて図１７に合わせて示す。実施の第四形態では、第一従来例に対して、位相平衡度が改善していることがわかる。
次に、図７の構成において、ＩＤＴ８０４とＩＤＴ８０４に隣り合う電極指がアース電極である第１のＩＤＴ８０３の最外電極指の電極指中心間距離を、ＩＤＴ８０４とＩＤＴ８０４に隣り合う電極指がシグナル電極である第２のＩＤＴ８０５の最外電極指の電極指中心間距離より０．００２λＩ大きくした場合（一変形例）の振幅平衡度の結果を図１８に二点鎖線にて示す。比較として、ＩＤＴ８０４とＩＤＴ８０３の最外電極指の電極指中心間距離とＩＤＴ８０４とＩＤＴ８０５の最外電極指の電極指中心間距離を同じにした、第二従来例の振幅平衡度の結果を破線にて図１８に合わせて示す。
実施の第四形態の一変形例の方が第二従来例よりも、振幅平衡度が改善していることがわかる。すなわち、実施の第四形態のように２分割した分割くし歯状電極と左右のＩＤＴとの最外電極指の電極指中心間距離を異ならせる場合は、２分割した分割くし歯状電極の左右ＩＤＴに隣り合う電極指の極性を問わず、２分割した分割くし歯状電極に隣り合う電極指がアース電極となるＩＤＴに近い側に位置するＩＤＴと２分割した分割くし歯状電極の最外電極指の電極指中心間距離を大きくすることで、弾性表面波フィルタの平衡信号端子間の平衡度を改善することができる。
（実施の第五形態）
本発明に係る実施の第五形態の構成は、基本的な構成は実施の第一形態と同じであるが、実施の第五形態では図１において、ＩＤＴ５０４とＩＤＴ５０４に隣り合う電極指がアース電極である第１のＩＤＴ５０３と第１のリフレクタ５０６の最外電極指の電極指中心間距離（図１９のＤで示した距離）を、ＩＤＴ５０４とＩＤＴ５０４に隣り合う電極指がシグナル電極である第２のＩＤＴ５０５と第２のリフレクタ５０７の最外電極指の電極指中心間距離より０．０１λＩ大きくしている。
以下に、本実施の第五形態の作用・効果として、図２０に、実施の第五形態の構成の位相平衡度の結果を実線にて示す。比較として、ＩＤＴ５０３とリフレクタ５０６の最外電極指の電極指中心間距離と、ＩＤＴ５０５とリフレクタ５０７の最外電極指の電極指中心間距離を同じにした、第一従来例の位相平衡度の結果を破線にて図２０に合わせて示す。実施の第五形態では、第一従来例に対して、位相平衡度が改善していることがわかる。
次に、図７の構成において、ＩＤＴ８０４に隣り合う電極指がシグナル電極である第２のＩＤＴ８０５と第２のリフレクタ８０７の最外電極指の電極指中心間距離を、第１のＩＤＴ８０３と第１のリフレクタ８０６の最外電極指の電極指中心間距離より０．０１λＩ大きくした場合（一変形例）の振幅平衡度の結果を、図２１に二点鎖線にて示す。比較として、ＩＤＴ８０３とリフレクタ８０６の最外電極指の電極指中心間距離と、ＩＤＴ８０５とリフレクタ８０７の最外電極指の電極指中心間距離を同じにした、第二従来例の振幅平衡度の結果を破線にて図２１に合わせて示す。
実施の第五形態の変形例の方が第二従来例よりも、振幅平衡度が改善していることがわかる。すなわち、実施の第五形態のように左右ＩＤＴとリフレクタの最外電極指の電極指中心間距離を異ならせる場合は、２分割した分割くし歯状電極の左右ＩＤＴに隣り合う電極指が中性点電極である場合は２分割した分割くし歯状電極に隣り合う電極指がアース電極であるＩＤＴとリフレクタの間隔を、２分割した分割くし歯状電極の左右ＩＤＴに隣り合う電極指がシグナル電極である場合は２分割した分割くし歯状電極に隣り合う電極指がシグナル電極であるＩＤＴとリフレクタの間隔を反対側に対して大きくすることで、弾性表面波フィルタの平衡信号端子間の平衡度を改善することができる。
（実施の第六形態）
本発明に係る実施の第六形態の構成は、基本的な構成については実施の第一形態と同じであるが、実施の第六形態では図１において、ＩＤＴ５０４に隣り合う電極指がアース電極である第１のＩＤＴ５０３の電極指のｄｕｔｙ（図２２のＦ／Ｅ）を、ＩＤＴ５０４に隣り合う電極指がシグナル電極である第２のＩＤＴ５０５の電極指のｄｕｔｙより０．０４大きくしている。
以下に、本実施の第六形態の作用・効果として、図２３に、実施の第六形態の構成の位相平衡度の結果を実線にて示す。比較として、ＩＤＴ５０３の電極指のｄｕｔｙとＩＤＴ５０５の電極指のｄｕｔｙを同じにした、第一従来例の位相平衡度の結果を破線にて図２３に合わせて示す。実施の第六形態では、第一従来例に対して、位相平衡度が改善していることがわかる。
次に、図７の構成において、ＩＤＴ８０４に隣り合う電極指がアース電極である第１のＩＤＴ８０３の電極指のｄｕｔｙを、ＩＤＴ８０４に隣り合う電極指がシグナル電極である第２のＩＤＴ８０５の電極指のｄｕｔｙより０．０４大きくした場合（一変形例）の振幅平衡度の結果を図２４に二点鎖線にて示す。比較として、ＩＤＴ８０３の電極指のｄｕｔｙとＩＤＴ８０５の電極指のｄｕｔｙを同じにした、第二従来例の振幅平衡度の結果を破線にて図２４に合わせて示す。
実施の第六形態の一変形例の方が第二従来例よりも、振幅平衡度が改善していることがわかる。すなわち、実施の第六形態のように左右の電極指のｄｕｔｙを異ならせる場合は、２分割した分割くし歯状電極の左右ＩＤＴに隣り合う電極指の極性を問わず、２分割した分割くし歯状電極に隣り合う電極指がアース電極となるＩＤＴに近い側に位置するＩＤＴの電極指のｄｕｔｙを大きくすることで、弾性表面波フィルタの平衡信号端子間の平衡度を改善することができる。また、実施の第六形態ではＩＤＴ５０３（８０３）とＩＤＴ５０５（８０５）のｄｕｔｙをすべて異ならせたが、一部のｄｕｔｙのみを異ならせてもよい。
（実施の第七形態）
本発明に係る実施の第七形態の構成は、基本的な構成については実施の第一形態と同じであるが、実施の第七形態では図１において、ＩＤＴ５０４の２分割した各分割くし歯状電極５１６、５１７のうち、ＩＤＴ５０４に隣り合う電極指がアース電極である第１のＩＤＴ５０３に近い側に位置する第１の分割くし歯状電極５１６の電極指のｄｕｔｙを、ＩＤＴ５０４に隣り合う電極指がシグナル電極である第２のＩＤＴ５０５に近い側に位置する第２の分割くし歯状電極５１７の電極指のｄｕｔｙよりも０．０４大きくしている。
以下に、本実施の第七形態の作用・効果として、図２５に、実施の第七形態の構成の位相平衡度の結果を実線にて示す。比較として、分割くし歯状電極５１６の電極指のｄｕｔｙと、分割くし歯状電極５１７の電極指のｄｕｔｙを同じにした、第一従来例の位相平衡度の結果を破線にて図２５に合わせて示す。実施の第七形態では第一従来例に対して、位相平衡度が改善していることがわかる。
次に、図７の構成において、ＩＤＴ８０４の２分割した分割くし歯状電極のうち、ＩＤＴ８０４に隣り合う電極指がシグナル電極である第２のＩＤＴ８０５に近い側に位置する第２の分割くし歯状電極８１７の電極指のｄｕｔｙを、ＩＤＴ８０４に隣り合う電極指がアース電極である第１のＩＤＴ８０３に近い側に位置する第１の分割くし歯状電極８１６の電極指のｄｕｔｙよりも０．０４大きくした場合（一変形例）の振幅平衡度の結果を図２６に二点鎖線にて示す。比較として、分割くし歯状電極８１６の電極指のｄｕｔｙと、分割くし歯状電極８１７の電極指のｄｕｔｙを同じにした、第二従来例の振幅平衡度の結果を破線にて図２６に合わせて示す。
実施の第七形態の一変形例の方が第二従来例よりも、振幅平衡度が改善していることがわかる。すなわち、実施の第七形態のように２分割した各分割くし歯状電極のｄｕｔｙを互いに異ならせる場合は、２分割した分割くし歯状電極の左右ＩＤＴに隣り合う電極指が中性点電極である場合は２分割した分割くし歯状電極に隣り合う電極指がアース電極であるＩＤＴに近い側に位置するくし歯状電極を、２分割した分割くし歯状電極の左右ＩＤＴに隣り合う電極指がシグナル電極である場合は２分割したくし歯状電極に隣り合う電極指がシグナル電極であるＩＤＴに近い側に位置する分割くし歯状電極のｄｕｔｙを反対側の分割くし歯状電極に対して大きくすることで、弾性表面波フィルタの平衡信号端子間の平衡度を改善することができる。また、実施の第七形態では分割くし歯状電極５１６（８１６）と分割くし歯状電極５１７（８１７）のｄｕｔｙをすべて異ならせたが、一部のｄｕｔｙのみを異ならせてもよい。
（実施の第八形態）
本発明に係る実施の第八形態の構成は、基本的な構成については実施の第一形態と同じであるが、実施の第八形態では図１において、ＩＤＴ５０４に隣り合う電極指がアース電極である第１のＩＤＴ５０３とＩＤＴ５０４とが隣り合う箇所の狭ピッチ電極指のピッチを、ＩＤＴ５０４に隣り合う電極指がシグナル電極である第２のＩＤＴ５０５とＩＤＴ５０４とが隣り合う箇所の狭ピッチ電極指のピッチよりも０．００４λＩ大きくしている。
以下に、本実施の第八形態の作用・効果として、図２７に、実施の第八形態の構成の位相平衡度の結果を実線にて示す。比較として、ＩＤＴ５０３とＩＤＴ５０４との間の狭ピッチ電極指部のピッチと、ＩＤＴ５０５とＩＤＴ５０４の間の狭ピッチ電極指部のピッチを同じにした、第一従来例の位相平衡度の結果を破線にて図２７に合わせて示す。実施の第八形態では第一従来例に対して、位相平衡度が改善していることがわかる。
次に図７の構成において、ＩＤＴ８０４に隣り合う電極指がアース電極である第１のＩＤＴ８０３とＩＤＴ８０４とが隣り合う箇所における狭ピッチ電極指のピッチを、ＩＤＴ８０４に隣り合う電極指がシグナル電極である第２のＩＤＴ８０５とＩＤＴ８０４とが隣り合う箇所における狭ピッチ電極指部のピッチより０．００４λＩ大きくした場合（一変形例）の振幅平衡度の結果を図２８に二点鎖線にて示す。比較として、ＩＤＴ８０３とＩＤＴ８０４との間の狭ピッチ電極指部のピッチと、ＩＤＴ８０５とＩＤＴ８０４の間の狭ピッチ電極指部のピッチを同じにした、第二従来例の振幅平衡度の結果を破線にて図２８に合わせて示す。
実施の第八形態の一変形例の方が第二従来例よりも、振幅平衡度が改善していることがわかる。すなわち、実施の第八形態のように狭ピッチ電極指のピッチを左右で異ならせる場合は、２分割した分割くし歯状電極の左右ＩＤＴに隣り合う電極指の極性を問わず、２分割した分割くし歯状電極に隣り合う電極指がアース電極となるＩＤＴに近い側に位置する分割くし歯状電極と、２分割した分割くし歯状電極が隣り合う箇所の狭ピッチ電極指のピッチを大きくすることで、弾性表面波フィルタの平衡信号端子間の平衡度を改善することができる。
（実施の第九形態）
本発明に係る、実施の第九形態の構成を図２９に示す。実施の第九形態の構成は、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部５０１の構成は実施の第一形態と同じであるが、さらに弾性表面波共振子を２つ設け、各ＩＤＴ５０３、５０５にそれぞれ接続している。その際、ＩＤＴ５０４に隣り合う電極指がアース電極である第１のＩＤＴ５０３に接続している弾性表面波共振子５０２ＡのＩＤＴ、およびリフレクタの電極指ピッチを、ＩＤＴ５０４に隣り合う電極指がシグナル電極である第２のＩＤＴ５０５に接続している弾性表面波共振子５０２Ｂより０．００４λ（λ：弾性表面波共振子の電極指ピッチで決まる波長）大きくしている。弾性表面波共振子５０２Ａと５０２Ｂの設計は、電極指ピッチを互いに異ならせている以外はすべて同じである。
以下に本実施の第九形態の作用・効果として、図３０に、実施の第九形態の構成の位相平衡度の結果を実線にて示す。比較として、各弾性表面波共振子５０２Ａ、５０２Ｂの電極指ピッチを互いに同じとした、第三従来例の位相平衡度の結果を破線にて図３０に合わせて示す。実施の第九形態では第三従来例に対して、位相平衡度が改善していることがわかる。
このように、各ＩＤＴ５０３、５０５それぞれに弾性表面波共振子を接続して、それらの電極指ピッチを互いに異ならせる場合、２分割したＩＤＴ５０４と隣り合う電極指がアース電極となる第１のＩＤＴ５０３に接続されている第１の弾性表面波共振子の電極指ピッチを、ＩＤＴ５０４と隣り合う電極指がシグナル電極となる第２のＩＤＴ５０５に接続されている第２の弾性表面波共振子の電極指ピッチより大きくすることで、平衡信号端子間の平衡度を改善することができる。その際、ＩＤＴ５０４のＩＤＴ５０３、５０５に隣り合う電極指の極性にはよらない。
また、実施の第九形態では、各弾性表面波共振子５０２Ａ、５０２ＢのＩＤＴおよびリフレクタすべての電極指ピッチを異ならせたが、一部分の電極指について電極指ピッチを異ならせてもよい。また、図３１のように、第１，第２の分割くし歯状電極５１６、５１７のそれぞれに弾性表面波共振子をそれぞれ接続し、各弾性表面波共振子１２０１、１２０２の各電極指ピッチを互いに異ならせてもよい。
その際、ＩＤＴ５０４と隣り合う電極指がアース電極となる第１のＩＤＴ５０３に近い側に位置する第１の分割くし歯状電極５１６に接続されている弾性表面波共振子１２０１の電極指ピッチを、ＩＤＴ５０４と隣り合う電極指がシグナル電極となる第２のＩＤＴ５０５に近い側に位置する第２の分割くし歯状電極５１７に接続されている弾性表面波共振子１２０２の電極指ピッチより大きくなるようにすることで、平衡信号端子間の平衡度を改善することができる。
また、図３２のように、上記弾性表面波共振子に代えて、２端子対弾性表面波共振子１３０１を用い、２端子対弾性表面波共振子１３０１のＩＤＴ１３０２とＩＤＴ１３０３との各電極指ピッチを互いに異ならせてもよい。
その際、ＩＤＴ５０４と隣り合う電極指がアース電極となるＩＤＴ５０３に近い側に位置する第１の分割くし歯状電極５１６に接続されているＩＤＴ１３０２の電極指ピッチを、ＩＤＴ５０４と隣り合う電極指がシグナル電極となるＩＤＴ５０５に近い側に位置する第２の分割くし歯状電極５１７に接続されているＩＤＴ１３０３の電極指ピッチより大きくなるようにすることで、平衡信号端子間の平衡度を改善することができる。
（実施の第十形態）
本発明に係る、実施の第十形態の構成は基本的には実施の第九形態と同じであるが、ＩＤＴ５０４に隣り合う電極指がアース電極である第１のＩＤＴ５０３に接続している第１の弾性表面波共振子５０２ＡのＩＤＴとリフレクタの電極指ピッチのピッチ比（ＩＤＴの電極指ピッチ／リフレクタの電極指ピッチ）を、ＩＤＴ５０４に隣り合う電極指がシグナル電極である第２のＩＤＴ５０５に接続している第２の弾性表面波共振子５０２Ｂより０．０１小さくしている。弾性表面波共振子５０２Ａと５０２Ｂの設計は、ＩＤＴとリフレクタのピッチ比を異ならせている以外はすべて同じである。
以下に、本実施の第十形態の作用・効果として、図３３に、実施の第十形態の構成の位相平衡度の結果を実線にて示す。比較として、弾性表面波共振子５０２Ａ、５０２ＢのＩＤＴとリフレクタのピッチ比を同じとした、第三従来例の位相平衡度の結果を破線にて図３３に合わせて示す。実施の第十形態では第三従来例に対して、位相平衡度が改善していることがわかる。
このように、各ＩＤＴ５０３、５０５のそれぞれに弾性表面波共振子を接続して、それらのＩＤＴとリフレクタのピッチ比を異ならせる場合、第１，第２の分割くし歯状電極を有するＩＤＴ５０４と隣り合う電極指がアース電極となるＩＤＴ５０３に接続されている弾性表面波共振子のＩＤＴとリフレクタのピッチ比を、ＩＤＴ５０４と隣り合う電極指がシグナル電極となるＩＤＴ５０５に接続されている弾性表面波共振子のＩＤＴとリフレクタのピッチ比より小さくすることで、平衡信号端子間の平衡度を改善することができる。その際、ＩＤＴ５０４における、各ＩＤＴ５０３、５０５に隣り合う電極指の極性にはよらない。
また、図３１のように、第１，第２の分割くし歯状電極のそれぞれに第１，第２の弾性表面波共振子をそれぞれ接続し、第１，第２の弾性表面波共振子１２０１、１２０２のＩＤＴとリフレクタのピッチ比を互いに異ならせてもよい。
その際、ＩＤＴ５０４と隣り合う電極指がアース電極となるＩＤＴ５０３に近い側に位置する分割くし歯状電極５１６に接続されている弾性表面波共振子１２０１のＩＤＴとリフレクタのピッチ比を、ＩＤＴ５０４と隣り合う電極指がシグナル電極となるＩＤＴ５０５に近い側に位置する分割くし歯状電極５１７に接続されている弾性表面波共振子１２０２のＩＤＴとリフレクタのピッチ比より小さくなるようにすることで、平衡信号端子間の平衡度を改善することができる。
（実施の第十一形態）
本発明に係る、実施の第十一形態の構成は基本的には実施の第九形態と同じであるが、ＩＤＴ５０４に隣り合う電極指がアース電極である第１のＩＤＴ５０３に接続している第１の弾性表面波共振子５０２ＡのＩＤＴとリフレクタの最外電極指の電極指中心間距離を、ＩＤＴ５０４に隣り合う電極指がシグナル電極である第２のＩＤＴ５０５に接続している第２の弾性表面波共振子５０２Ｂより０．０６大きくしている。弾性表面波共振子５０２Ａと５０２Ｂの設計は、ＩＤＴとリフレクタの最外電極指の電極指中心間距離を異ならせている以外はすべて同じである。
以下に本実施の第十一形態の作用・効果として、図３４に、実施の第十一形態の構成の位相平衡度の結果を実線にて示す。比較として、弾性表面波共振子５０２Ａ、５０２ＢのＩＤＴとリフレクタの最外電極指の電極指中心間距離を同じとした、第三従来例の位相平衡度の結果を破線にて図３４に合わせて示す。実施の第十一形態では第三従来例に対して、位相平衡度が改善していることがわかる。
このように、各ＩＤＴ５０３、５０５のそれぞれに弾性表面波共振子を接続して、それらのＩＤＴとリフレクタの最外電極指の電極指中心間距離を異ならせる場合、２分割したくし歯状電極を有するＩＤＴ５０４と隣り合う電極指がアース電極となるＩＤＴ５０３に接続されている弾性表面波共振子のＩＤＴとリフレクタの最外電極指の電極指中心間距離を、ＩＤＴ５０４と隣り合う電極指がシグナル電極となるＩＤＴ５０５に接続されている弾性表面波共振子のＩＤＴとリフレクタの最外電極指の電極指中心間距離より小さくすることで、平衡信号端子間の平衡度を改善することができる。その際、ＩＤＴ５０４における、各ＩＤＴ５０３、５０５に隣り合う電極指の極性にはよらない。
また、図３１のように、第１，第２の分割くし歯状電極５１６、５１７に第１，第２の弾性表面波共振子をそれぞれ接続し、第１，第２の弾性表面波共振子１２０１、１２０２のＩＤＴとリフレクタの最外電極指の電極指中心間距離を互いに異ならせてもよい。その際、ＩＤＴ５０４と隣り合う電極指がアース電極となる第１のＩＤＴ５０３に近い側に位置する第１の分割くし歯状電極５１６に接続されている第１の弾性表面波共振子１２０１のＩＤＴとリフレクタの最外電極指の電極指中心間距離を、ＩＤＴ５０４と隣り合う電極指がシグナル電極となる第２のＩＤＴ５０５に近い側に位置する第２の分割くし歯状電極５１７に接続されている第２の弾性表面波共振子１２０２のＩＤＴとリフレクタの最外電極指の電極指中心間距離より小さくなるようにすることで、平衡信号端子間の平衡度を改善することができる。
（実施の第十二形態）
本発明に係る実施の第十二形態の構成は基本的には実施の第九形態と同じであるが、ＩＤＴ５０４に隣り合う電極指がアース電極である第１のＩＤＴ５０３に接続している第１の弾性表面波共振子５０２ＡのＩＤＴとリフレクタの電極指のｄｕｔｙを、ＩＤＴ５０４に隣り合う電極指がシグナル電極である第２のＩＤＴ５０５に接続している第２の弾性表面波共振子５０２Ｂより０．０４小さくしている。弾性表面波共振子５０２Ａと５０２Ｂの設計は、ＩＤＴとリフレクタの電極指のｄｕｔｙを異ならせている以外はすべて同じである。
以下に本実施の第十二形態の作用・効果として、図３５に、実施の第十二形態の構成の位相平衡度の結果を実線にて示す。比較として、弾性表面波共振子５０２Ａ、５０２Ｂの電極指のｄｕｔｙを同じとした、第三従来例の位相平衡度の結果を破線にて図３５に合わせて示す。実施の第十二形態では第三従来例に対して、位相平衡度が改善していることがわかる。
このように、ＩＤＴ５０３、５０５それぞれに弾性表面波共振子を接続して、その電極指のｄｕｔｙを異ならせる場合、２分割した各分割くし歯状電極５１６、５１７を有するＩＤＴ５０４と隣り合う電極指がアース電極となるＩＤＴ５０３に接続されている弾性表面波共振子の電極指のｄｕｔｙを、ＩＤＴ５０４と隣り合う電極指がシグナル電極となるＩＤＴ５０５に接続されている弾性表面波共振子の電極指のｄｕｔｙより小さくすることで、平衡信号端子間の平衡度を改善することができる。その際、ＩＤＴ５０４における、各ＩＤＴ５０３、５０５に隣り合う電極指の極性には何ら依存しない。
また、実施の第十二形態では弾性表面波共振子５０２Ａと５０２ＢのＩＤＴおよびリフレクタのすべての電極指のｄｕｔｙを異ならせたが、一部分の電極指についてのみ電極指のｄｕｔｙを異ならせてもよい。
さらに、図３１のように、第１，第２の分割くし歯状電極のそれぞれに弾性表面波共振子をそれぞれ接続し、各弾性表面波共振子１２０１、１２０２の電極指のｄｕｔｙを互いに異ならせてもよい。
その際、ＩＤＴ５０４と隣り合う電極指がアース電極となる第１のＩＤＴ５０３に近い側に位置する第１の分割くし歯状電極５１６に接続されている弾性表面波共振子１２０１の電極指のｄｕｔｙを、ＩＤＴ５０４と隣り合う電極指がシグナル電極となる第２のＩＤＴ５０５に近い側に位置する第２の分割くし歯状電極５１７に接続されている弾性表面波共振子１２０２の電極指のｄｕｔｙより小さくなるようにすることで、平衡信号端子間の平衡度を改善することができる。
また、図３２のように、弾性表面波共振子を２端子対弾性表面波共振子１３０１とし、各ＩＤＴ１３０２、１３０３の電極指のｄｕｔｙを異ならせてもよい。その際、ＩＤＴ５０４と隣り合う電極指がアース電極となる第１のＩＤＴ５０３に近い側に位置する第１の分割くし歯状電極５１６に接続されているＩＤＴ１３０２の電極指のｄｕｔｙを、ＩＤＴ５０４と隣り合う電極指がシグナル電極となる第２のＩＤＴ５０５に近い側に位置する第２の分割くし歯状電極５１７に接続されているＩＤＴ１３０３の電極指のｄｕｔｙより小さくなるようにすることで、平衡信号端子間の平衡度を改善することができる。
図３２では、ＩＤＴ５０４の分割されていないくし歯状電極が、他の実施の形態がアース電極となっているのと異なり、浮き電極となっているが、このような構成でも同様の効果が得られる。
また、上記の実施の第一ないし第十二の各形態では、効果を示す特性図として、振幅平衡度および位相平衡度の結果において、改善が見られた方を示したが、改善がみられない方の平衡度については、それぞれあまり変わらないか、若干悪化する程度であり、他の電気的特性にはほとんど影響ないことを確認した。
さらに、上記の実施の第一ないし第十二の各形態に記載の各発明は、中央ＩＤＴの最外電極指が、アース電極または浮き電極の場合と、シグナル電極の場合のように互いに並立できない場合を除いて、どのようにも組み合わせることができる。それらを組み合わせることが効果をより一層高めることが可能となる。
本発明の弾性表面波フィルタは、平衡側のインピーダンスと不平衡側のインピーダンスとを相違させて平衡−不平衡変換機能を有し、かつ、平衡度を改善できるものとなっているので、携帯電話等といった小型の通信機のフィルタ用いると、上記通信機の通信特性を向上できて、上記通信機に好適に利用できる。

Claims (7)

  1. 圧電基板と、前記圧電基板に構成された縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部とを備える弾性表面波フィルタであって、
    前記縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部は、複数の電極指を有する複数のくし歯状電極が対向するように組合わせられておりかつ弾性表面波の伝搬方向に沿って配置された少なくとも３つの奇数のくし型電極部と、前記くし型電極部を挟み込むように弾性表面波の伝搬方向に沿って配置された第１，第２のリフレクタとを備え、
    前記少なくとも３つの奇数のくし型電極部が、中央に位置する中央くし型電極部と、前記中央くし型電極部の両側に配置された第１，第２のくし型電極部とを有し、前記第１のくし型電極部の前記中央くし型電極部と隣り合う電極指がアース電極であり、前記第２のくし型電極部の前記中央くし型電極部と隣り合う電極指がシグナル電極であり、
    前記中央くし型電極部の対向するいずれか一方側のくし歯状電極は、弾性表面波の伝搬方向に沿って２分割された第１，第２の分割くし歯状電極で構成されており、
    前記第１，第２の分割くし歯状電極は、それぞれ、第１，第２のくし型電極部に近い側に配置されており、かつ第１，第２の平衡信号端子にそれぞれ接続されており、
    前記中央くし型電極部に隣接する第１，第２のくし型電極部は、不平衡信号端子に接続されており、
    前記中央くし型電極部の２つの最外電極指の極性がアース電極または浮き電極とされており、
    前記第１のくし型電極部と前記第２のくし型電極部とのそれぞれは、前記中央くし型電極部と隣り合った隣接部分に相対的に電極指ピッチが狭い狭ピッチ電極指部を有し、
    前記第１のくし型電極部の前記狭ピッチ電極指部以外の部分の少なくとも一部における電極指ピッチは、前記第２のくし型電極部の前記狭ピッチ電極指部以外の部分の電極指ピッチよりも大きい、弾性表面波フィルタ。
  2. 圧電基板と、前記圧電基板に構成された縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部とを備える弾性表面波フィルタであって、
    前記縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部は、複数の電極指を有する複数のくし歯状電極が対向するように組合わせられておりかつ弾性表面波の伝搬方向に沿って配置された少なくとも３つの奇数のくし型電極部と、前記くし型電極部を挟み込むように弾性表面波の伝搬方向に沿って配置された第１，第２のリフレクタとを備え、
    前記少なくとも３つの奇数のくし型電極部が、中央に位置する中央くし型電極部と、前記中央くし型電極部の両側に配置された第１，第２のくし型電極部とを有し、前記第１のくし型電極部の前記中央くし型電極部と隣り合う電極指がアース電極であり、前記第２のくし型電極部の前記中央くし型電極部と隣り合う電極指がシグナル電極であり、
    前記中央くし型電極部の対向するいずれか一方側のくし歯状電極は、弾性表面波の伝搬方向に沿って２分割された第１，第２の分割くし歯状電極で構成されており、
    前記第１，第２の分割くし歯状電極は、それぞれ、第１，第２のくし型電極部に近い側に配置されており、かつ第１，第２の平衡信号端子にそれぞれ接続されており、
    前記中央くし型電極部に隣接する第１，第２のくし型電極部は、不平衡信号端子に接続されており、
    前記中央くし型電極部の２つの最外電極指の極性が共にシグナル電極であり、
    前記第１のくし型電極部と前記第２のくし型電極部とのそれぞれは、前記中央くし型電極部と隣り合った隣接部分に相対的に電極指ピッチが狭い狭ピッチ電極指部を有し、
    前記第２のくし型電極部の前記狭ピッチ電極指部以外の部分の少なくとも一部における電極指ピッチは、前記第１のくし型電極部の前記狭ピッチ電極指部以外の部分の電極指ピッチよりも大きい、弾性表面波フィルタ。
  3. 前記第１くし型電極部と、該第１くし型電極部に隣り合う第１のリフレクタとの電極指中心間距離が、前記第２のくし型電極部と、第２のくし型電極部に隣り合う第２のリフレクタとの電極指中心間距離よりも大きくされている、請求項１に記載の弾性表面波フィルタ。
  4. 前記第２くし型電極部と第２くし型電極部に隣り合う第２のリフレクタとの電極指中心間距離が、前記第１くし型電極部と前記第１くし型電極部に隣り合っている第１のリフレクタとの電極指中心間距離よりも大きくされている、請求項２に記載の弾性表面波フィルタ。
  5. 前記第１，第２の分割くし歯状電極のうち、前記第１のくし型電極部に近い第１の分割くし歯状電極の少なくとも一部の電極指ピッチが、第２の分割くし歯状電極の電極指ピッチよりも大きくされている、請求項１〜４のいずれか１項に記載の弾性表面波フィルタ。
  6. 前記縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部に対しカスケード接続された第２の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部をさらに備える、請求項１〜５のいずれか１項に記載の弾性表面波フィルタ。
  7. 請求項１〜６のいずれか１項に記載の弾性表面波フィルタを備えることを特徴とする、通信機。
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