JP4133208B2 - 基板処理装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば半導体ウエハやFPD基板(フラットパネルディスプレイ基板)等の基板に例えば塗布膜を形成するための基板処理装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体デバイスの製造工程において、例えばSOD(Spin on Dielectric)システムにより層間絶縁膜を形成している。このSODシステムでは、半導体ウエハ(以下、ウエハと呼ぶ)上に塗布材料をスピンコートし、加熱等の物理的処理や化学的処理を施して層間絶縁膜を形成している。
例えばシロキサン系ポリマーや有機ポリマーの層間絶縁膜を形成する場合、有機溶媒を混ぜ液状にされた材料をウエハ上に吐出し、スピンコータにより塗布する。次に段階的に目的に応じた環境下にて熱処理等を行う。また材料によっては、塗布後にアンモニア雰囲気による処理や溶剤置換処理などの化学的処理を追加する必要がある。
【0003】
このような処理は、例えば図16に示すシステムにより実施される。このシステムでは、例えばウエハWを25枚収納した基板キャリア10はキャリアステ−ジ11に搬入され、受け渡しアーム12により取り出されて、棚ユニット13aの受け渡し部を介して処理ゾーン14に搬送される。処理ゾーン14には、中央に搬送手段15が設けられており、この周りにウエハWに前記塗布液を塗布するための塗布ユニット16、前記塗布液を乾燥させるための低温加熱ユニット、ベーク処理を行うためのベークユニット、キュア処理を行うためのキュアユニットなどの処理ユニットを備えた例えば3個の棚ユニット13a,13b,13cが設けられていて、搬送手段15によりこれらの各ユニットに対してウエハWの受け渡しが行われるようになっている。
【0004】
ところで、このようなシステムでは、例えば20個以上の処理ユニットを組み合わせる構成を想定した場合、処理ゾーン14と同様の構成の処理ゾーンを、処理ゾーン14に隣接して設けることにより、処理ユニットの増加で対応せざるを得ず、装置が拡張して占有面積が大きくなってしまう。また、処理ユニットと共に搬送手段も増えるものの、キャリアステージ11と離れた方向に装置が拡張するので、基板キャリアから取り出したウエハWが、所定の処理後、再び基板キャリアに戻るまでの移動距離が長くなると共に基板搬送手段の移動動作も増え、搬送に時間がかかって、搬送のスループットが低下してしまう。
【0005】
このため、本発明者らは、処理ユニットを縦方向に積層する構成を検討している。このような構成としては、例えば、レジスト材の塗布現像装置において、ウエハWを送り出す部分と、レジスト材をウエハWにスピンコートあるいは現像処理を施す部分と、ウエハWに熱処理を施す部分、およびウエハWを受ける部分の少なくとも2構成部以上を上下に配設して鉛直方向に接続し、各段の間では専用のフォークリフトによりウエハWを搬送する構成が知られている(例えば、特許文献1参照)。
【0006】
また、基板に対して複数工程からなる処理を施す基板処理装置において、前記複数の工程に対応して各々基板に対して所定の処理を施す複数の処理機構を空間の周囲に放射状に配置し、この空間の内部に前記複数の処理機構の夫々に対して基板を搬入出するための搬送機構を設け、この処理機構は前記空間をループ状に移動するという構成もある(例えば、特許文献2参照)。
【0007】
【特許文献1】
特開昭63−5523号公報(第1−2頁、第1,2図)
【特許文献2】
特開2000−353648号公報(第2−6頁、第1,2,5図)
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献1の構成では、処理ユニット毎に専用のフォークリフトを備えているので、処理ユニットを増加した場合、その分フォークリフトも増やす必要がある。このためフォークリフト同士を干渉させずに、効率のよい搬送を行うことは難しく、搬送の制御が複雑化して、結果として搬送のスループットが悪化してしまう。
一方、特許文献2の構成では、搬送機構が1個であるので、処理ユニットを増加させると、搬送経路が複雑化して、搬送機構がウエハWの処理に追いつかずに、処理済みのウエハWを処理ユニット内で待機させる事態が生じ、やはりスループットが悪くなってしまう。また、仮に搬送機構を増やしたとしても、共通の搬送領域を移動するのでは、搬送機構同士の干渉を抑えながら効率よくウエハWを搬送することは困難である。
【0009】
本発明はこのような事情の下になされたものであり、その目的は、複数の処理ユニットにより順次処理されることにより基板に対して所定の処理を行う際に、装置占有面積が小さく、かつ高いスループットで基板を処理することができる基板処理装置を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明の基板処理装置は、基板を搬送するために上下方向に伸び、仕切部材により互いの雰囲気が仕切られる複数段の搬送ゾーンに分割された搬送領域と、
この搬送領域の周囲に設けられ、各々複数のユニットを積層して構成された複数のタワーと、
各段の搬送ゾーン毎に少なくとも一つのタワーに含まれるユニットにより構成され、多数枚の処理前の基板を収納する基板キャリアが外部から搬入されると共に処理後の基板を収納した基板キャリアが外部に搬出されるキャリア載置部と、
前記複数段の搬送ゾーンの夫々に鉛直軸回りに回転自在かつ進退自在に設けられ、その搬送ゾーンの周囲のキャリア載置部以外のユニットから構成される処理ユニット間及び前記キャリア載置部の間で基板の受け渡しを行うと共に互いに独立して駆動される複数の基板搬送手段と、を備え、
前記搬送ゾーンを囲む、キャリア載置部以外のユニットから構成される処理ユニットの群は、基板に絶縁膜形成材料を含む塗布液を塗布する塗布ユニット及び塗布後の後処理のための処理ユニットを含み、
各キャリア載置部上のキャリアから対応する基板搬送手段に受け渡された基板は、前記処理ユニットの群の中から選択された複数の処理ユニットにて順番に処理されて絶縁膜が形成されることを特徴とする。
【0011】
本発明の基板処理装置によれば、基板搬送手段の搬送領域の周囲に複数の処理ユニットが積層されてなるタワーを設けた構成とすることにより、基板搬送手段の横方向の搬送領域を小さくすることができ、そのため装置占有面積を小さくすることができる。更にこの場合には、各処理ユニットに対して基板搬送手段はその移動動作を少なくしてアクセスすることができるので、高いスループットで基板の処理をすることができる。
【0013】
更にまた、各段の処理ユニットの群は、基板に塗布液を塗布する塗布ユニットと、基板上の塗布液を加熱する加熱ユニットと、この加熱ユニットの加熱温度よりも高い温度で基板を加熱して絶縁膜を焼成するキュア処理部と、を備え、基板に対して塗布膜を形成するものであってもよい。
【0014】
更に一の段の処理ユニットの群で基板上に形成される塗布膜は、他の段の処理ユニットの群で基板上に形成される塗布膜と同じであってもよく、又は一の段の処理ブロックで基板上に形成される塗布膜は、他の段の処理ブロックで基板上に形成される塗布膜と異なってもよい。
【0016】
前記処理ブロックに設けられた処理ユニットのうち、最も処理温度の低い処理ユニットと最も処理温度の高いユニットとが上下又は左右方向に隣接しないように配置されてもよい。また複数段の搬送ゾーンの基板搬送手段の回転中心は、同軸上に位置していてもよい。
【0017】
【発明の実施の形態】
本発明に係る基板処理装置の実施の形態について、図1、図2を参照しながら説明する。この基板処理装置の概ね中央部には、被処理基板であるウエハWを搬送するための基板搬送手段の搬送領域20であって、上下方向に伸びる空間領域が形成されており、更にこの搬送領域20を囲むようにして処理エリア21が形成されている。この処理エリア21について詳しく述べると、当該処理エリア21には、ウエハWに対して所定の処理を行うための処理ユニットを縦に積層してなるタワーTW(処理タワー)が複数設けられ、これらタワーTWは前記搬送領域20の周囲に例えば5体〜8体放射状に配置されている。また前記搬送領域20は、複数段の搬送ゾーンに上下に分割されており、この分割された搬送ゾーンに対応してタワーTWの各々において例えば3段〜6段程度に積層された処理ユニット群からなる処理ブロックBが割り当てられている。この例では8体のタワーTWが設けられ、更に上から順に第1の処理ブロックB1、第2の処理ブロックB2および第3の処理ブロックB3の3段の処理ブロックB1〜B3が割り当てられている。
【0018】
各処理ブロックB1〜B3は、ウエハWに対して行われる一連の処理を行う処理ユニットが含まれるように構成されており、そのため各々の処理ブロックB1〜B3にて並行して処理が行われ、各処理ブロックB1〜B3毎に例えば一つの塗布膜が形成される。具体例を挙げて説明すると、例えばウエハWの表面に例えばシリコン酸化膜(SiO2)からなる半導体デバイスの絶縁膜例えば層間絶縁膜を形成する場合にあっては、塗布液を塗布する前のウエハWを冷却するための温調ユニットである冷却ユニット(CPL)22、ウエハWの表面に絶縁膜の前駆物質を含む塗布液を塗布するための塗布ユニット(SCT)23、低温でウエハWを加熱してウエハW上の塗布膜をベークするための加熱ユニット(LHP)24、ウエハW上の塗布膜を化学的に硬化させるための低酸素加熱ユニット(DLB)25およびキュアユニット(DLC)26などの絶縁膜を得るための一連の処理を行う処理ユニットが処理ブロックB1〜B3毎に含まれている。また各処理ブロックB1〜B3において少なくとも一つのタワーTWには、ウエハWを多数枚例えば25枚収納可能な基板キャリアCを載置するための、基板搬入部および基板搬出部を兼用するキャリア載置部27が設けられており、この基板キャリアCは外部から搬入出可能なように構成されている。なお図中28はクリーンエアーを供給してダウンフローを形成するためのフィルターユニットである。また29は塗布液などの薬液を貯留するための薬液槽および、この薬液を送液するためのポンプなどを備えた薬液供給部である。なお作図の便宜上、図2にはフィルタユニットの記載を省略している。
【0019】
ここで各処理ブロックB1〜B3に設けられる処理ユニット群は、例えば処理時間の短い冷却ユニット(CPL)22および加熱ユニット(LHP)24はその数を少なくし、反対に処理時間の長い低酸素加熱ユニット(DLB)25、キュアユニット(DLC)26はその数を多くするなど各処理に要する時間に基づいて組み込む数を決めることが望ましい。更に一の処理ブロックB1(B2、B3)内に設けられる処理ユニットの配列は、横方向および縦方向において例えば処理温度の最も高いユニットと、処理温度の低いユニットおよび熱の影響を受けやすいユニットとが隣接しないようにすると共に、処理温度の順に配列するなどして隣接するユニットの温度差を小さくするように配置するのが好ましい。具体的には、図3(a)あるいは図3(b)の展開図にて配置の一例を示すように、塗布ユニット(SCT)23は加熱ユニット(LHP)24および冷却ユニット(CPL)22と、加熱ユニット(LHP)24は低酸素加熱ユニット(DLB)25と、低酸素加熱ユニット(DLB)25はキュアユニット(DLC)26と隣接するようにして配列すると共に、最も処理温度が低く、熱の影響を受けやすい塗布ユニット(SCT)23と最も処理温度の高いキュアユニット(DLC)26とを離して配置する。この場合、キュアユニット(DLC)26を例えば断熱部材で覆うようにするのがより好ましい。また更に例えば隣接する処理ブロックB1、B2(B2、B3)の境界面に配置される処理ユニット、例えば上側にて隣接する処理ブロックB2の最下段のユニットと当該処理ブロックB1の最上段に配置されるユニットにおいても同様に温度差が小さくなるようにするのが好ましく、更には各処理ブロックB1〜B3間に例えば断熱性を有する仕切部材を設けるようにすればなお好ましい。なお、図1では作図の便宜上これらのことを考慮しないで記載している。
【0020】
続いて基板搬送手段3に説明を移すと、この基板搬送手段3は各搬送ゾーンに夫々割り当てられており、この例では各処理ブロックB1〜B3の各々に対応する3基の基板搬送手段3(3a、3b、3c)が設けられている。これら基板搬送手段3は、各処理ブロックB1〜B3に共通の例えば四角形状の縦に伸びる主軸部31に沿って各々が独立して昇降可能であると共に、各々が鉛直軸廻りに回動可能なように構成されている。即ち、この例では各基板搬送手段3a、3b、3cの回転中心が同軸上に位置している。図4、図5を用いて更に詳しく説明すると、各基板搬送手段3(3a、3b、3c)はウエハWの周縁部を裏面側から支時するためのアーム部である例えば上、中、下段のアーム32a、32b、32cが支持体33に設けられており、これらアーム32a、32b、32cは図示しない駆動機構により各々が独立して進退自在に構成されている。なお、上段および中段のアーム32a、32bはウエハWの周縁部を裏面側から支持するために馬蹄形をしており、下段のアーム32cは基板キャリアCからウエハWを出し入れするときに用いられる舌片状のピンセットアームとして構成されている。また上段のアーム32aと中段のアーム32bの間には、図示しない遮熱板が設けられている。
【0021】
更に前記支持体33は、その中央部に前記主軸部31の貫通孔34を有する円形状の内輪部材35と、当該内輪部材35の周縁を僅かな隙間を介して囲む外輪部材36と、内輪部材35の下部に一体的に設けられ、外輪部材36の下面を支持するリング状の部材35aと、を備えており、更には内輪部材35側に設けられ、外輪部材36の内周面に形成された歯車部(凸凹部)と係合するギア体37と、を備え、このギア体37が回転して当該外輪部材36が回転されることにより、前記アーム32a、32b、32cが回動可能なように構成されている。また内輪部材35には、主軸部31の一面と接触するようにして昇降ローラ38が設けられており、図示しない駆動機構により昇降ローラ38が回転することにより、基板搬送手段3(3a、3b、3c)が主軸部31に沿って各々独立して昇降可能に構成されている。
【0022】
以下、各処理ユニットについて簡単に説明する。
(冷却ユニット(CPL))
冷却ユニット(CPL)22は、ウエハWを冷却する処理が行われる処理ユニットであり、図6に示すように、内部に例えばペルチェ素子4aあるいは冷媒が流される冷媒通流路などの冷却手段を備えた基板載置台4が設けられている。なお、詳しくは基板載置台4(冷却プレート)の表面には突起部4bが設けられ、ウエハWは裏面を僅かに浮かせた状態で載置される。
【0023】
(塗布ユニット(SCT))
塗布ユニット(SCT)23は、ウエハWの表面に例えばTEOS(テトラエトキシシラン)を含む塗布液をウエハWの表面に塗布するための液処理が行われる処理ユニットである。この塗布ユニット(SCT)23は、全体が図示しないケース体に覆われており、図7に示すように、ウエハWを略水平に吸着保持して鉛直軸廻りに回転させるためのスピンチャック40と、当該スピンチャック40に保持されたウエハWの周囲を囲むように設けられた液受け用のカップ体41と、スピンチャック40に保持されたウエハWの中央部表面と対向するようにして昇降自在な供給ノズル42と、を備え、この供給ノズル42から前記塗布液がウエハWの表面に供給されるように構成される。
【0024】
(加熱ユニット(LHP))
加熱ユニット(LHP)24は、塗布液が塗布されたウエハWを加熱して、塗布液を乾燥させるための低温の加熱処理が行われる処理ユニットである。この加熱ユニット(LHP)24は、図8に示すように、基板載置台43と、この基板載置台43と共にウエハWを囲む処理容器を形成する昇降自在な蓋体44とを備えており、更に基板載置台43の内部にはヒータ45が設けられている。また蓋体44の内側面には、前記処理容器内を低酸素雰囲気とするための不活性ガス例えば窒素ガスの供給孔46が設けられ、更に蓋体44の中心部には、排気を行うための排気口47が設けられている。なお、48はウエハWの裏面を僅かに浮かせた状態で載置するための突起部である。
【0025】
(低酸素加熱ユニット(DLB))
低酸素加熱ユニット(DLB)25は、低酸素雰囲気にてウエハWを加熱して、化学的に塗布膜を硬化させるための加熱処理が行われる処理ユニットである。この低酸素加熱ユニット(DLB)25は、図9に示すように、前記加熱ユニット(LHP)24と概ね同様の構成であるが、前記加熱ユニット(LHP)24よりも更に低酸素雰囲気とするために、処理時において多量の例えば窒素ガスが供給されることから、この窒素ガスが周辺に広がらないようにするための排気孔49aをその側面部に備えたケーシング体49が設けらており、処理後のウエハWの搬出するために蓋体44が上昇してケーシング体49よりも上方位置に設定される際に、処理容器内の残ガスが排気される構成である。なお、加熱ユニット24と構成を同じくするところは同じ符号を付して説明を省略する。
【0026】
(キュアユニット(DLC))
キュアユニット(DLC)26は、塗布膜を焼成するための加熱処理が行われる処理ユニットである。装置構成を簡単に説明すると、キュアユニット(DLC)26は、図10に示すように、その側面部にシャッタ付きの基板搬送口50aを有する、ウエハWを処理するための処理容器をなす筺体50を備えており、この筺体50の内部にはウエハWを載置するための基板載置台51が設けられている。また基板載置台51の内部には、ヒータ52が設けられている。更に基板載置台51の下方側には、連結体53を介して回転駆動部54が接続されており、当該基板載置台51はウエハWを載置した状態で鉛直軸廻りに回転可能なように構成されている。更にまた、基板載置台51上のウエハW表面と対向するようにして冷却ガス給気部55が設けられ、キュア処理を終えたウエハWを冷却するための冷却ガス例えば冷却されたエアーが供給されて筺体50の底部の排気口56から排気される。なお57は突起部である。
【0027】
続いて上述の基板処理装置を用いてウエハWを処理する工程について説明する。本実施の形態では、各処理ブロックB1〜B3毎に一つの絶縁膜例えば層間絶縁膜が形成される処理が行われる。即ち、ウエハWが各処理ブロックB1〜B3に夫々搬入されて処理が行われることにより、ウエハWの表面には同じ層間絶縁膜又は異なる絶縁膜が夫々形成されることとなる。ウエハWの流れについて第1の処理ブロックB1を例にとって詳しく説明すると、先ず処理前のウエハWが多数枚収納された基板キャリアCが作業員あるいは自動搬送ロボットにより外部から搬送されてキャリア載置部27に載置される。続いて図11に示すように、基板搬送手段3aの例えば下段のアーム32cにより基板キャリアCから1枚のウエハWが取り出され、順次処理ブロックB1内に搬入される。ここでウエハWは先ず冷却ユニット(CPL)22に搬入されて所定の温度例えば23℃に冷却された後、基板搬送手段3aの例えば上段のアーム32aにより冷却ユニット(CPL)22から搬出されて、塗布ユニット(SCT)23に搬入される。
【0028】
塗布ユニット(SCT)23内にウエハWが搬入されると、このウエハWは裏面側をスピンチャック40に吸着されて略水平姿勢で保持され、次いで供給ノズル42が下降し、その吐出孔が所定の高さ位置にてウエハWの表面と対向するように設定される。そしてスピンチャック40によりウエハWが回転すると共に、供給ノズル42から塗布液が供給されて、遠心力の作用によりウエハWの表面に略均一に塗布液が塗布される。この塗布液としては、例えばシロキサン系ポリマーや有機ポリマーを有機溶媒に溶解したものが用いられる。
【0029】
しかる後、ウエハWは基板搬送装置3aの例えば中段のアーム32bにより塗布ユニット(SCT)23から搬出され、次の処理工程が行われる加熱ユニット(LHP)24に搬入される。ここでウエハWは、当該ウエハWの温度が例えば50〜200℃程度に設定されるように常時ヒータ45により加熱されている基板載置台43に載置される。次いで蓋体44が下降して処理容器が形成され、更に供給孔46を介して窒素ガスが処理容器に供給されて低酸素濃度の雰囲気が形成される。この状態で加熱処理が行われることにより、塗布液中の溶剤が蒸発され、ある程度乾燥された塗布膜がウエハW表面に形成されることとなる。
【0030】
続いてウエハWは基板搬送装置3aの例えば中段のアーム32bにより加熱ユニット(LHP)24から搬出され、次の処理工程が行われる低酸素加熱ユニット(DLB)25に搬入される。ここでウエハWは、当該ウエハWの温度が例えば100℃〜350℃の範囲で設定されるように常時ヒータ45により加熱されている基板載置台44に載置される。次いで蓋体45が下降して処理容器が形成され、更に供給孔46を介して窒素ガスが当該処理容器に供給されて酸素濃度が例えば加熱ユニット(LHP)24よりも低酸素な許容酸素濃度20ppm以下の雰囲気が形成される。この状態で加熱処理が行われることにより、塗布膜中に含まれる有機ケイ素が縮重合反応を起こして当該塗布膜が化学的に硬化する。
【0031】
ウエハWは基板搬送手段3aの例えば中段のアーム32bにより低酸素加熱ユニット(DLB)25から搬出され、次の工程であるキュアユニット(DLC)26に搬入される。ここでウエハWは例えば350℃〜470℃の範囲で加熱されてキュア処理され、表面の塗布膜が焼成されて絶縁膜が形成される。しかる後、冷却ガスが表面に供給されて冷却されたウエハWは、基板搬送手段3aの例えば下段のアーム32cによりキュアユニット(DLC)26から搬出され、元の基板キャリアC内に戻される。他の段の処理ブロックB2、B3においても同様の処理が行われる。
【0032】
以上はウエハWの流れについての説明であるが、基板搬送手段3aの動きに着目すると、基板搬送手段3aは例えば予め作成されたスケジュールに従って動作する。このスケジュールとは、第1フェーズのスケジュール、第2フェーズのスケジュール、第3フェーズのスケジュール……、といった具合にフェーズ毎に作成されたスケジュールの群である。具体的には、第1フェーズでは基板キャリア内の先頭のウエハW(W1)を冷却ユニット(CPL)22に搬送し、第2フェーズでは基板キャリア内の2番目のウエハW(W2)を冷却ユニット(CPL)22に搬送し、冷却ユニット(CPL)22に載置されたウエハW(W1)を塗布ユニット(SCT)23に搬送し、第3フェーズでは基板キャリア内の3番目のウエハW(W3)を冷却ユニット(CPL)22に搬送し、冷却ユニット(CPL)22に載置されたウエハW(W2)を塗布ユニット(SCT)23に搬送し、塗布ユニット(SCT)23内のウエハW(W1)を加熱ユニット24(LHP)に搬送する、というスケジュールがコンピュータのメモリに書かれており、コンピュータは第1フェーズから順番にその内容を読み込んで基板搬送手段3aを制御する。なお、スケジュール表に書き込まれる各処理ユニットの名前は、その処理ユニットの中の何号機が使用されるのかが特定されており、例えば3番目のウエハW(W3)であれば、複数の加熱ユニット24(LHP)の中のどの加熱ユニット24(LHP)に搬入されるのかが割り当てられている。
【0033】
上述の実施の形態によれば、基板搬送手段3の搬送領域20の周囲に複数の処理ユニットが積層されてなるタワーTWを設けた構成とすることにより、基板搬送手段3(3a、3b、3c)の搬送領域20の横方向への広がりを小さくすることができ、そのため装置占有面積を小さくすることができる。更に縦に3つの処理ブロックB1〜B3に分割し、各処理ブロックB1〜B3毎に基板搬送手段3(3a、3b、3c)を割り当てかつキャリア載置台27を設けて各処理ブロックB1〜B2において独立して処理前ウエハWの搬入、処理ユニット間の搬送、処理後ウエハWの搬出を行うことにより、いわば上段、中段、下段で並行処理を行っているため、基板搬送手段3(3a、3b、3c)の制御が容易であり、高いスループットが得られる。また一の処理ブロックB1(B2、B3)に異常が生じるなどして当該処理ブロックB1(B2、B3)をメンテナンスする場合でも、他の処理ブロックB2、B3(B1)については運転を行うことができ、ウエハWの滞留を防止できる利点もある。ここで基板搬送手段3(3a、3b、3c)が同じ高さ位置にて回動することによりアクセス可能なタワーTW(搬送領域20を囲むタワーTW)の数が例えば4体以下と少ない場合にはタワーTW同士をある程度離して配置しなければ基板搬送手段3(3a、3b、3c)がウエハWを支持した状態で回動するために必要な空間領域を確保するのが難しい。反対にその数が例えば9体以上になると基板搬送手段3(3a、3b、3c)が回動するため空間領域が必要以上に大きくなる。従って装置の占有面積をより効果的に小さくするためには、タワーTWは5〜8体の範囲で設定するのが好ましい。なお、目標とする処理ユニットに対し、基板搬送手段3(3a、3b、3c)は主軸部31を中心として右廻りあるいは左廻りのいずれか最短となる方を選択してアクセスするように構成してもよく、この場合、基板搬送手段3(3a、3b、3c)の横方向への移動動作が少なくてすむことにより、高いスループットがより確実なものとなる。
【0034】
また更に上述の実施の形態によれば、ウエハWに対して所定の処理が行われる複数の処理ユニットが一つの処理ブロックB1(B2、B3)内に組み込まれるが、このとき各工程に要する時間の比率に基づいてその組み込む数が決められていることから、例えば25枚のウエハWを処理する際に、一つの処理ブロックB1(B2、B3)内のトータルでみると単位時間あたりの各工程の処理枚数にばらつきが少ない。そのため次工程のユニットに空きがない場合に前のウエハWが処理を終えて搬出されるまで基板搬送手段3(3a、3b、3c)がウエハWを掴んだ状態で身動き取れずに待機状態となることが少ないか、待機してもその時間が短くてすむ。その結果、多数枚のウエハWを処理する際にスループットが低下するのを抑えることができる。なお、より確実にスループットが低下するのを抑えるためには、各処理ブロックB1〜B3にバッファ基板キャリアCを夫々設けるようにしてもよい。
【0035】
また更に上述の実施の形態によれば、最も処理温度が低い処理ユニットと最も処理温度の高いユニットとが上下又は左右方向に隣接しないように配置することにより、例えば塗布ユニット(SCT)23内で処理されているウエハWや、冷却ユニット(CPL)22から塗布ユニット(SCT)23へ搬送中のウエハWに対して、例えば高温度で処理が行われるキュアユニット(DLC)26からの輻射熱により熱緩衝することが抑えられる。その結果、各処理ユニットにおいてウエハWに対して高精度な温度設定をすることができる。
【0036】
ここで、上述の例では各段の処理ブロックB1〜B3において同じ層間絶縁膜を形成するようにしているが、各処理ブロックB1〜B3の一つ又は二つにおいて層間絶縁膜を形成し、残りの処理ブロックにおいてデバイスのエッチングのストッパ層としての絶縁膜を形成するようにしてもよい。このような場合であっても、各々の絶縁膜に対応した処理条件を各処理ブロックB1〜B3毎に設定することができるので、共通の基板処理装置を用いて異なる絶縁膜を得ることができる。
【0037】
更に上述の例においては、キャリア載置部27および基板キャリアCは、各処理ブロックB1〜B3毎に設ける構成に限られず、例えば第1の処理ブロックB1と第2の処理ブロックB2あるいは第2の処理ブロックB2と第3の処理ブロックB3の基板キャリアCを共通にしてもよく、又は一の処理ブロック例えば第2の処理ブロックB2のみに各処理ブロックB1〜B3に共通の基板キャリアCを設ける構成としてもよい。この場合であっても上述と同様の効果を得ることができるが、例えば上段にある基板搬送手段3aが基板キャリアCにアクセスする際には中段にある基板搬送手段3bが当該基板キャリアCよりも下方側に移動させるといった基板搬送手段3同士が互いに干渉しないように制御することが望ましい。
【0038】
続いて本発明に係る基板処理装置の他の実施の形態について説明する。この実施例は、図12に示すように、処理前のウエハWを収納するための基板キャリアC1および処理後のウエハWを収納するための基板キャリアC2の2種類の基板キャリアC(C1、C2)を載置するためのキャリア載置部27が処理ブロックB1〜B3とは別の場所に設けられ、更に基板キャリアC1のウエハWを各処理ブロックB1〜B3に搬入するための基板搬入アーム60および、ウエハWを各処理ブロックB1〜B3から搬出して基板キャリアC2に収納するための基板搬出アーム61が設けられている。一方、各処理ブロックB1〜B3には基板搬入部である受け渡しユニット(TRS)62と、基板搬出部である受け渡しユニット(TRS)63が夫々割り当てられている。なお上述の実施例と構成を同じくするところについては同一の符号を付すことにより説明を省略する。
【0039】
この場合、先ず未処理ウエハWが多数枚収納された基板キャリアC1、および空の基板キャリアC2が作業員あるいは搬送ロボットにより例えばキャリアステーション64上に載置される。次いで基板搬入アーム60により基板キャリアC1からウエハWが一枚取り出され、処理ブロックB1(B2、B3)の空いている受け渡しユニット62内に設けられた図示しない載置部に載置される。続いて基板搬送手段3a(3b、3c)が前記受け渡しユニット62にアクセスし、このウエハWを取り出して処理ブロックB1(B2、B3)内の空いている冷却ユニット22に搬入する。ここで更に続けて処理ブロックB1(B2、B3)内にて既述と同様の処理が行われ、しかる後処理を終えたウエハWは受け渡しユニット63を介して基板搬出アーム61に渡されて基板キャリアC2に収納される。このような構成であっても上述の場合と同様の効果を得ることができる。なお、この例では処理前のウエハWと処理後のウエハWを収納するための基板キャリアを別に設けているが、処理前のウエハWおよび処理後のウエハWが収納される共通の基板キャリアCを設ける構成としてもよく、あるいは基板キャリアC1および基板キャリアC2を共通のキャリア載置部27に載置するように構成してもよい。
【0040】
続いて本発明に係る更に他の実施の形態について説明する。この実施例は、図13に示すように、各処理ブロックB1〜B3を仕切るための仕切部材である例えば横の仕切板が設けられている構成である。なお上述の実施例と構成を同じくするところについては同一の符号を付すことにより説明を省略する。図中70は、処理ブロックB1〜B3間に設けられた仕切板である。また上から2段目以降の処理ブロックB2、B3には例えばフィルターユニット71が夫々設けられている。このような構成であっても上述の場合と同様の効果が得られ、更に本実施例にあっては仕切板70を設けて各処理ブロックB1〜B3の雰囲気を分離することにより、例えば塗布液から蒸発する蒸発成分が他の膜に影響を及ぼすような異なる塗布液を用いた並行処理が行われる場合であっても互いに影響を受けることが抑えることができる。
【0041】
上述の絶縁膜を形成する処理を行うための実施の形態においては、複数の処理ブロックB1〜B3のうちの一の処理ブロックB1(B2、B3)にて処理されるウエハWは、他の段の処理ブロックB2、B3、(B1)で処理されるウエハWとウエハサイズが異なるものであってもよい。この場合であっても上述と同様の効果を得ることができる。更にまた、予めCVD(化学的気相反応堆積法)にて例えば層間絶縁膜が形成されたウエハWに対して、当該絶縁膜の表面を平坦化するためにその表面に塗布液を塗布して絶縁膜を形成するSpin On Glass(SOG)処理に適用してもよい。
【0042】
本発明の基板処理装置を用いてウエハWに対して行われる処理の他の例について説明する。この例はウエハWの表面に化学増幅型のレジスト膜を形成するための処理が行われるものであり、レジスト液の塗布工程、露光工程、ウエハWの冷却工程、ウエハWの加熱工程および現像工程などの複数の工程を有している。装置構成について図14を用いて説明すると、既述と同様に基板搬送手段3の搬送領域20の周囲には複数のタワーTWが設けられており、更にこれら複数のタワーTWは上下2段に分割された搬送領域の各々に対応して第1の処理ブロックB1および第2の処理ブロックB2が割り当てられている。更に第1の処理ブロックB1と第2の処理ブロックB2との間には仕切板70が設けられる。
【0043】
上段側に割り当てられた第1の処理ブロックB1には、未処理ウエハWに例えばアミン基を含む吸湿性ガス例えばHMDS(ヘキサメチルジシラザン)を供給して表面を疎水化するための疎水化処理部(アドビージョン処理部)である疎水化ユニット(ADH)81と、ウエハWを冷却するための冷却ユニット(CPL)22と、疎水化されて冷却されたウエハWの表面にレジスト液を塗布するための液処理が行われる塗布ユニット(COT)82と、ウエハW上に塗布されたレジスト液を加熱して溶剤を蒸発させるためのプリベーキングユニット(PAB)83と、が設けられている。また下段に割り当てられた第2の処理ブロックB2には、別の場所に設けられた図示しない露光装置により露光処理されたウエハWが搬入される受け渡しユニット(TRS)62と、加熱ユニットおよび冷却ユニットを組み合わせてなり、このウエハWを加熱した後、直ぐに冷却する処理が行われるポストエクスポージャーベーキングユニット(PEB)84と、ウエハWの表面に現像液を供給して現像をするための現像ユニット(DEV)85と、現像を終えたウエハW上のレジストパターンを加熱処理して硬化させるためのポストベーキングユニット(POST)86と、ウエハWを冷却するための冷却ユニット(CPL)22と、が設けられている。なお上述の実施例と構成を同じくするところについては同一の符号を付すことにより説明を省略する。
【0044】
このような構成の場合、第1の処理ブロックB1においては、ウエハWは疎水化ユニット(ADH)81に搬入されて疎水化処理が行われ、次いで冷却ユニット(CPL)22で例えば23℃に冷却される。続いて塗布ユニット(COT)82で表面にレジスト液が塗布された後、プリベーキングユニット(PAB)83で加熱されて、塗布液中の溶剤が蒸発することでレジスト膜が形成された後、冷却ユニット(CPL)22で再度冷却される処理が行われる。このウエハWは、例えば図15に示すように、受け渡しユニット(TRS)63を介して、図示しない基板移送手段により露光装置(EXP)87に送られ、当該露光装置(EXP)87で露光処理が施された後、前記の図示しない基板移送手段により、受け渡しユニット(TRS)63を介して第2の処理ブロックB2に搬入される。この第2の処理ブロックB2では、先ずポストエクスポージャーベーキングユニット(PEB)84で例えば120℃に加熱されてレジスト膜中の酸拡散反応を誘起され、直ぐに冷却されて前記酸拡散反応が停止させた後、冷却ユニット(CPL)22で例えば23℃に冷却され、続いて現像ユニット(DEV)85で現像処理がなされてレジストパターンが形成される。更に続いてこのウエハWは、ポストベーキングユニット(POST)86で例えば100℃で加熱処理されてレジストパターンが硬化された後、冷却ユニット(CPL)22で冷却されるといった処理が行われる。このような構成であっても上述と同様の効果を得ることができる。更に本例にあっては仕切板70を介して疎水化ユニット(ADH)81と現像ユニット(DEV)83とを分離していることにより、疎水化処理時にHMDSから出るアミンなどのアルカリ成分が、露光処理が施されたレジスト膜の表面付近の酸と接触して前記酸拡散反応が抑制されるのが抑えられ、その結果レジスト膜のパターン形状が劣化するのが抑えられる。なお、前記第1の処理ブロックB1と第2の処理ブロックB2の配列は上下が反対であってもよい。
【0045】
更にまた、レジスト膜を形成するための処理が行われる実施例においては、疎水化ユニット(ADH)81を設けない構成としてもよく、あるいは疎水化ユニット(ADH)81の替わりに反射防止膜を形成するための反射防止膜形成ユニット(BARC)を設けるようにしてもよい。このような構成であっても、例えば反射防止膜形成ユニット(BARC)にて使用される処理液から前記したアミンのような悪影響を及ぼす物質が飛散したとしても、仕切板70により雰囲気が分離されているので上述の場合と同様の効果を得ることができる。なお、仕切板70を設けない構成としても、装置占有面積およびスループットに関して上述した効果が得られるのは言うまでもない。
【0046】
また本発明の基板処理装置においては、絶縁膜を形成するための処理ブロックとレジスト膜を形成するための処理ブロックを共通の装置に設けた構成としてもよい。更に本発明の基板装置には、ウエハWの他に例えばLCD基板、フォトマスク用レチクル基板の処理にも適用できる。更にまた、基板搬送手段3を複数設ける場合には、共通の主軸部31に設けた構成に限らず、それら基板搬送手段3の各々に対応した主軸部31を設けるようにしてもよい。
【0047】
【発明の効果】
本発明によれば、複数の処理ユニットにより順次処理されることにより基板に対して所定の処理を行う際において、基板搬送手段の搬送領域の周囲に複数の処理ユニットが積層されてなるタワーを設けた構成とすることにより、装置占有面積を小さくすることができると共に、基板搬送手段の移動動作を少なくすることができるので、高いスループットで基板の処理をすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の基板処理装置に係る実施の形態を示す縦断面図である。
【図2】本発明の基板処理装置に係る実施の形態を示す斜視図である。
【図3】上記の基板処理装置に設けられる処理ユニットの配列を示す説明図である。
【図4】上記の基板処理装置に設けられる基板搬送手段を示す斜視図である。
【図5】上記の基板処理装置に設けられる基板搬送手段を示す斜視図である。
【図6】上記の基板処理装置に設けられる冷却ユニットの概略を示す説明図である。
【図7】上記の基板処理装置に設けられる塗布ユニットの概略を示す説明図である。
【図8】上記の基板処理装置に設けられる加熱ユニットの概略を示す説明図である。
【図9】上記の基板処理装置に設けられる低酸素加熱ユニットの概略を示す説明図である。
【図10】上記の基板処理装置に設けられるキュアユニットの概略を示す説明図である。
【図11】上記の基板処理装置に設けられる基板搬送手段が基板を搬送する様子を示す説明図である。
【図12】本発明の基板処理装置に係る他の実施の形態を示す縦断面図である。
【図13】本発明の基板処理装置に係る他の実施の形態を示す縦断面図である。
【図14】本発明の基板処理装置に係る他の実施の形態を示す縦断面図である。
【図15】本発明の基板処理装置に係る他の実施の形態を示す説明図である。
【図16】従来の基板処理装置を示す説明図である。
【符号の説明】
W ウエハ
TW タワー
B 処理ブロック
B1 第1の処理ブロック
B2 第2の処理ブロック
B3 第3の処理ブロック
20 搬送領域
22 冷却ユニット
23 塗布ユニット
24 加熱ユニット
25 低酸素加熱ユニット
26 キュアユニット
3(3a、3b、3c) 基板搬送手段
70 仕切板
Claims (6)
- 基板を搬送するために上下方向に伸び、仕切部材により互いの雰囲気が仕切られる複数段の搬送ゾーンに分割された搬送領域と、
この搬送領域の周囲に設けられ、各々複数のユニットを積層して構成された複数のタワーと、
各段の搬送ゾーン毎に少なくとも一つのタワーに含まれるユニットにより構成され、多数枚の処理前の基板を収納する基板キャリアが外部から搬入されると共に処理後の基板を収納した基板キャリアが外部に搬出されるキャリア載置部と、
前記複数段の搬送ゾーンの夫々に鉛直軸回りに回転自在かつ進退自在に設けられ、その搬送ゾーンの周囲のキャリア載置部以外のユニットから構成される処理ユニット間及び前記キャリア載置部の間で基板の受け渡しを行うと共に互いに独立して駆動される複数の基板搬送手段と、を備え、
前記搬送ゾーンを囲む、キャリア載置部以外のユニットから構成される処理ユニットの群は、基板に絶縁膜形成材料を含む塗布液を塗布する塗布ユニット及び塗布後の後処理のための処理ユニットを含み、
各キャリア載置部上のキャリアから対応する基板搬送手段に受け渡された基板は、前記処理ユニットの群の中から選択された複数の処理ユニットにて順番に処理されて絶縁膜が形成されることを特徴とする基板処理装置。 - 塗布後の後処理のための処理ユニットは、基板上の塗布液を加熱する加熱ユニットと、この加熱ユニットの加熱温度よりも高い温度で基板を加熱して絶縁膜を焼成するキュア処理部と、を備えていることを特徴とする請求項1記載の基板処理装置。
- 一の段の搬送領域を囲む処理ユニット群で基板上に形成される絶縁膜は、他の段の搬送領域を囲む処理ユニット群で基板上に形成される絶縁膜と同じであることを特徴とする請求項1または2に記載の基板処理装置。
- 一の段の搬送領域を囲む処理ユニット群で基板上に形成される絶縁膜は、他の段の搬送領域を囲む処理ユニット群で基板上に形成される絶縁膜と異なることを特徴とする請求項1または2に記載の基板処理装置。
- 処理ユニット群のうち、最も処理温度の低い処理ユニットと最も処理温度の高いユニットとが上下又は左右方向に隣接しないように配置されたことを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一つに記載の基板処理装置。
- 複数段の搬送ゾーンの基板搬送手段の回転中心は、同軸上に位置していることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか一つに記載の基板処理装置。
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