JP4189111B2 - 表面実装部品装着機および表面実装部品装着機における電子部品検出方法 - Google Patents

Description

【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、装着ヘッドの保持部材により保持された電子部品の検査を簡単かつ正確に行うことができる表面実装部品装着機および表面実装部品装着機における電子部品検出方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
プリント基板に装着されるＩＣ等の電子部品は、高い装着精度の確保と、不良電子部品の装着防止等のため、事前にＣＣＤカメラにより吸着ノズルに保持された状態でこの電子部品を撮像し、この電子部品に対する前記した様々な情報を得て、この情報に基づいて所定の処理を行うことで対応している。
【０００３】
特に、電子部品の周縁部に突設させた多数本のリードは、高さ方向の曲がりを生じていると、プリント基板への装着に不都合を来すため、あらかじめ、レーザビームをこのリード部へ照射し、この照射された状態をＣＣＤカメラにより撮像し、リード不良の有無やリードの欠損等を検出する必要があるものである。
【０００４】
従来、この検出は、ノズル部材に吸着されたリード付部品の下方から、水平方向に対して所定角度で傾斜する平面を通る検査用照明光を部品のリードに照射しながら該リードを撮像し、得られたリード画像におけるリード列方向と直交する方向のリードの位置に基づいて前記リードの異常を検出していた。
【０００５】
しかしながら、この検出方法では、サイズや厚みが違う電子部品は、一度での撮像でリードの曲がり量を計測することが不可能であり、一辺若しくは二辺までしか同時に計測することができない。
【０００６】
したがって、四辺にリードがそれぞれ設けられた電子部品に対しては、一辺若しくは二辺のリードを、まず撮像して、それぞれのリードの曲がり量を計測した後、残りの三辺若しくは二辺を計測するために、電子部品の位置を、Ｘ，Ｙ，θ軸方向へ移動させて、再度、これらリードを撮像してそれぞれのリードの曲がり量を計測する必要があった。
【０００７】
この計測方法では、電子部品の位置を、前記したようにＸ，Ｙ，θ軸方向へ移動させるため、この移動のための機械的な動作によって発生する機械特有の誤差が、そのまま検出された電子部品の位置ずれに反映して、微量なリードの曲がり量の計測誤差の要因となって高い精度による検出ができない問題点を有するものであった。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、前記した問題点を解決するためになされたもので、電子部品の下面へ、光線照射手段により四方向から直線スリット光を照射し、電子部品に照射されたこの光の位置を、テレセントリックレンズからなる入光手段を介して、ＣＣＤカメラからなる撮像手段により撮像して電子部品を検出することにより、装着ヘッドの保持部材により保持された電子部品の検査を、該電子部品のサイズや厚み等が違っていても、一度の撮像で行うことができ、かつ、その検出を正確に行うことができる表面実装部品装着機および表面実装部品装着機における電子部品検出方法を提供することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
前記した目的を達成するための本発明の手段は、供給部の電子部品を装着ヘッドの保持部材によって保持し、該電子部品を前記供給部から装着部への搬送中に、前記保持部材によって保持された前記電子部品を検出手段により検出した後、前記装着部におけるプリント基板の所定位置に前記電子部品を装着する表面実装部品装着機にあって、
前記検出手段は、ＣＣＤカメラからなる撮像手段と、テレセントリックレンズからなる入光手段と、発光ダイオードからなる照明手段と、複数本の互いに交差する傾斜状のレーザビームからなる光線照射手段と、電子部品のＺ軸方向の移動誤差を修正するためのデータを予め記憶しているデータ保持部を有する制御手段とを備えることを特徴とする表面実装部品装着機の構成にある。
【００１０】
また、
供給部の電子部品を、複数個を有する装着ヘッドの保持部材によって保持し、該電子部品を前記供給部から装着部への搬送中に、検出手段によって、前記保持部材により保持された前記電子部品の下方を移動しながら、一直線状に配設された一側部最外側の前記装着ヘッドから他側部最外側の前記装着ヘッドに対して、これら装着ヘッドの並設方向と平行した一連の連続動作により前記電子部品の保持状態を検出し、その後、前記装着部におけるプリント基板の所定位置に前記電子部品を装着する表面実装部品装着機にあって、
前記検出手段は、ＣＣＤカメラからなる撮像手段と、テレセントリックレンズからなる入光手段と、発光ダイオードからなる照明手段と、複数本の互いに交差する傾斜状のレーザビームからなる光線照射手段と、電子部品のＺ軸方向の移動誤差を修正するためのデータを予め記憶しているデータ保持部を有する制御手段とを備えることを特徴とする表面実装部品装着機の構成にある。
【００１１】
更に、
検出手段における光線照射手段は、電子部品に対してその電極部に直線スリット光を四方向から互いに交差する傾斜状に照射するように構成される。
【００１２】
そして、
装着ヘッドの保持部材によって保持した電子部品を、検出手段により検出する電子部品検出方法にあって、
前記電子部品の下面へ、光線照射手段により四方向から互いに交差する傾斜状の直線スリット光を照射し、電子部品に照射されたこの光の位置を、テレセントリックレンズからなる入光手段を介して、ＣＣＤカメラからなる撮像手段により電子部品をＺ軸方向へ上下させたときの移動誤差を修正するために、予め記憶されたデータに基づいて電子部品をＺ軸方向に移動して撮像することを特徴とする表面実装部品装着機における電子部品検出方法にある。
【００１３】
また、複数個からなる装着ヘッドの保持部材によって保持した電子部品を、該電子部品の下側を移動する検出手段により一連の連続動作により検出する電子部品検出方法にあって、
前記電子部品の下面へ、光線照射手段により四方向から互いに交差する傾斜状の直線スリット光を照射し、電子部品に照射されたこの光の位置を、テレセントリックレンズからなる入光手段を介して、ＣＣＤカメラからなる撮像手段により電子部品をＺ軸方向へ上下させたときの移動誤差を修正するために、予め記憶されたデータに基づいて電子部品をＺ軸方向に移動して撮像することを特徴とする表面実装部品装着機における電子部品検出方法にある。
【００１４】
そして、
あらかじめ試験板を用いて、この試験板の下面へ、光線照射手段により四方向から直線スリット光を照射し、該試験板に照射されたこの光の位置を、テレセントリックレンズからなる入光手段を介して、ＣＣＤカメラからなる撮像手段によりＺ軸方向に対して前記試験板を上下させて複数回撮像して、前記Ｚ軸方向へ上下させたときの各Ｚ軸座標の四本のレーザビーム直線スリット光の線分位置と、その線分位置から計算した前記各Ｚ軸座標の二次元的な傾き量と、四本のレーザビーム直線スリット光が前記試験板を照射したときに写る格子寸法と、各Ｚ軸座標の四本のレーザビーム直線スリット光の線分位置を計測して、これら検出値をそれぞれ制御手段へ記憶させる第一の工程と、
前記電子部品の下面へ、光線照射手段により四方向から直線スリット光を照射し、電子部品に照射されたこの光の位置を、テレセントリックレンズからなる入光手段を介して、ＣＣＤカメラからなる撮像手段により撮像し、電子部品を検出して検出値を得る第二の工程と、
前記第一および第二の工程で得た検出値を比較演算して、電子部品の状態を検査する第三の工程とを備えさせる表面実装部品装着機における電子部品検出方法にある。
【００１５】
【実施例】
次に、本発明に関する表面実装部品装着機および表面実装部品装着機における電子部品検出方法の実施の一例を図面に基づいて説明する。
図１においてＡは表面実装部品装着機で、その機体１の適所に電子部品ｂの供給部ｍが、また、機体１内において搬送手段２によりプリント基板ｃが搬入出される装着部ｎが設けられている。
本発明実施例において用いられる電子部品ｂは、例えば、方形状等に形成された四辺（二辺の場合もある）に多数本の電極（リード）ｂ１が突設された、いわゆるＱＦＰ（Quad Flat Package ）等が有効であり、この電子部品ｂの検出にあって、電極ｂ１の浮き計測（コプラナリティ計測）が容易に行われる。
【００１６】
そして、機体１には、前後方向（Ｘ軸方向）と左右方向（平面上において前記Ｘ軸方向と直交するＹ軸方向）および縦軸方向（Ｚ軸方向）、更に、この縦軸方向（Ｚ軸方向）を中心として、所定角度を旋回する装着ヘッド３が設けられていて、それぞれの方向に対して、数値制御可能なサーボモータ等からなる進退手段４，移動手段５，昇降手段６および回転手段７により高精度で作動されるものであって、これら各手段４，５，６，７は制御手段８により適宜制御される。
【００１７】
なお、この装着ヘッド３は、移動手段５によって移動される可動体９へ取り付けられていて、４ヘッドあるいは６ヘッド等の複数個からなる多ヘッドに構成されているものであって、それぞれの装着ヘッド３の下端部には、電子部品ｂの上面を吸着する吸着ノズル等の保持部材１０が取り付けられる。
【００１８】
そして、電子部品ｂがプリント基板ｃへ装着される前には、表面実装部品装着機Ａ内において、装着ヘッド３の保持部材１０に吸着保持された電子部品ｂの保持姿勢や、電子部品ｂにおける電極ｂ１の不良等の電子部品情報が検査される。
【００１９】
この検査にあっては、ＣＣＤカメラからなる撮像手段１１と、テレセントリックレンズからなる入光手段１２と、発光ダイオードからなる照明手段１３と、複数本のレーザビームからなる光線照射手段１４とからなる検出手段１５が用いられるものであって、撮像手段１１による画像認識により前記した電子部品情報が得られ、制御手段８へ送信される。
【００２０】
また、この電子部品情報の収集は、電子部品ｂが停止状態若しくは移動状態、撮像手段１１が停止状態若しくは移動状態において、照明手段１３により照明して、該電子部品ｂを撮像するもので、本実施例にあっては、可動体９へ取付体１６を介してこの検出手段１５が取り付けられている。
【００２１】
更に、この検出手段１５は、数値制御可能なサーボモータ等により制御される往復手段１７により該装着ヘッド３の下方を、すなわち、電子部品ｂの下面側を左右方向（図１において示すＹ軸方向）へ略水平に進退運動するように取り付けられる。
該検出手段１５は、機体１における適所に固定状態あるいは可動状態で設けてもよい。
【００２２】
なお、この検出手段１５においては、照明手段１３および光線照射手段１４の発光位置と発光時間とを規制する位置検出部材１８が設けられているものであって、光電管や近接スイッチを用いて、あるいは前記往復手段１７に連係させてその数値制御によりコントロールするもので、可動体９に対して、各複数個の装着ヘッド３に対応させて、照明手段１３および光線照射手段１４の射光開始と射光停止とを規制する検出子１９を取り付け、これら検出子１９に対応する検出体２０を取付体１６に設けてある。
【００２３】
前記したテレセントリックレンズからなる入光手段１２は、電子部品ｂの画像を撮像手段１１へ集束して送り込むもので、撮像する電子部品ｂの位置が変化しても、基本的に像が変化しないテレセントリックレンズの特性を利用するものである。
【００２４】
前記した発光ダイオードからなる照明手段１３は、撮像手段１１による電子部品ｂの画像の読み取りに際して、画像認識し得る光量を与えるもので、青色、赤色、緑色等の多数個の発光ダイオードを用いて、前記位置検出部材１８の信号に基づいて作動される。
なお、この発光ダイオードの前側には、発光の拡散板２１を付設することもある。
【００２５】
前記した複数本のレーザビームからなる光線照射手段１４は、方形状の電子部品ｂに対してその四辺に対応するように四方向から照射される四本の直線スリット光を照射するように構成され、該スリット光が電子部品ｂの電極ｂ１に照射されることでその光が電極ｂ１のみを照らす。
これら四本の直線スリット光は、電子部品ｂの電極ｂ１高さを光切断法を用いて計測するために、撮像手段１１の撮像略中心部において互いに交差する傾斜状態、例えば、内方へ向かって４５°に傾くように照射される。
これにより、検出手段１５の高さをコンパクトに製作することができる。
【００２６】
次に、本発明実施例の表面実装部品装着機Ａおよび表面実装部品装着機における電子部品検出方法を説明する。
この表面実装部品装着機Ａにおいて、電子部品ｂがプリント基板ｃ上に装着される前に、あらかじめ、装着ヘッド１０の保持部材３に吸着保持された電子部品ｂは、その保持姿勢や、電子部品ｂにおける電極ｂ１の不良等の電子部品情報が検査される。
【００２７】
まず、この検査を行う事前の準備工程（第一の工程）として、検出手段１５に対する撮像特性のサンプルを得る。すなわち、光線照射手段１４によって照射される四本のレーザビーム直線スリット光３０は、その交差する中心位置ｓと撮像手段１１の中心位置ｒとは、図３（ａ）に示すように、Ｘ軸方向およびＹ軸方向にずれて一致しない現象が起こることが多い。
更に、このレーザビーム直線スリット光３０があたる電子部品ｂをＺ軸方向へ上下すると、前記したＸ，Ｙ軸方向のずれ量が変化することがある。
また、四本のレーザビーム直線スリット光３０の二次元的な傾き（θ軸方向の傾き）と撮像手段１１の傾きには、θ角の角度のずれを生じ、更に、このレーザビーム直線スリット光３０があたる電子部品ｂをＺ軸方向へ上下すると、前記したθ角の角度のずれ量が変化することがある。
これらは、光線照射手段１４や撮像手段１１を取り付けた際の取付誤差や、電子部品ｂをＺ軸方向へ上下させたときの移動誤差に起因する。
【００２８】
そのため、前記した誤差を修正するために、あらかじめ、図３（ａ），（ｂ）および（ｃ），（ｄ）に示すように、試験板（キャリブレーションプレート）３１を用いて、これをＺ軸方向へ上下させたときの各Ｚ軸座標における四本のレーザビーム直線スリット光３０の交差する中心位置ｓと、前記各Ｚ軸座標の二次元的な傾き量と、四本のレーザビーム直線スリット光３０が試験板３１を照射したときに写る格子寸法Ｌ１，Ｌ２と、各Ｚ軸座標における四本のレーザビーム直線スリット光３０の線分位置Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４を計測しておく。これら得られたデータは制御手段８に送信され記憶される。
なお、格子寸法Ｌ１，Ｌ２とは、四本のレーザビーム直線スリット光３０が作る格子の縦横の寸法である。
線分位置Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４における線分とは、直線の二点で限られた部分である。
【００２９】
この状態で、供給部ｍより受け取って、装着ヘッド３の保持部材１０に吸着保持された電子部品ｂは、取付体９に設けられた検出手段１５により検出（第二の工程）が行われるもので、まず、この検出手段１５における撮像手段１１と入光手段１２と照明手段１３との操作によって、図４に示すように、電子部品ｂの中心位置ｂＯと、該電子部品ｂの二次元的な傾きαを求める。
【００３０】
前記した第一の工程において計測して得られたデータに基づいて、すなわち、四本のレーザビーム直線スリット光３０が試験板３１を照射したときに写る格子寸法Ｌ１，Ｌ２と、あらかじめ入力されている電子部品形状データの電極部位置が一致する高さに、図５（ａ），（ｂ）に示すように、電子部品ｂをＺ軸方向へ移動させる。
【００３１】
次に、電子部品ｂの中心位置ｂＯおよび該電子部品ｂの二次元的な傾きαと、あらかじめ、計測してある四本のレーザビーム直線スリット光３０の交差する中心位置ｓと、前記各Ｚ軸座標の二次元的な傾き量とを考慮して、これに対応するように、図５（ｃ），（ｄ）に示すように、四本のレーザビーム直線スリット光３０が電極ｂ１を照射する位置に電子部品ｂを、Ｘ軸，Ｙ軸方向およびθ各方向へ移動させる。
【００３２】
この状態において、電子部品ｂの四辺の各電極ｂ１に照射されたレーザビーム直線スリット光３０を撮像手段１１と入光手段１２により撮像する。この撮像高さは、電子部品ｂの中心位置ｂＯおよび該電子部品ｂの二次元的な傾きαを求めたときの撮像高さと異なるが、入光手段１２を使用することにより撮像手段１１から電子部品ｂまでのワーキングディスタンスが変化しても、撮像手段１１に写る像の大きさは変わらない。
【００３３】
この撮像結果に対して、あらかじめ制御手段８へ記憶させてある四本のレーザビーム直線スリット光３０の線分位置Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４と、電子部品ｂの四辺の各電極ｂ１に照射されたレーザビーム直線スリット光３０の位置のずれ量を計測し、この演算により、四本のレーザビーム直線スリット光３０の傾斜から電極ｂ１の高さデータを計算する。
【００３４】
例えば、あらかじめ制御手段８へ記憶させてある四本のレーザビーム直線スリット光３０の線分位置Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４と、電子部品ｂの四辺の各電極ｂ１に照射されたレーザビーム直線スリット光３０の位置のずれ量が、図６に示すように、内側方向に０．０５ｍｍであり、レーザビーム直線スリット光３０の傾斜が４５°（図５（ｄ）参照）の場合は、電極ｂ１の高さを−０．０５ｍｍと算出する。
【００３５】
この値は、制御手段８において、あらかじめ定められた装着許容範囲の電子部品データと比較演算し、この許容範囲内であれば、この保持部材１０に吸着保持された電子部品ｂのプリント基板ｃへの装着が行われ、前記した許容範囲外であれば、装着不可と判断され、機体１の適所に設けられた回収部などへ返却され、プリント基板ｃには装着されない。（第三の工程）
【００３６】
このように本願実施例によれば、光線照射手段１４により互いに交差する傾斜をもって電子部品ｂの下面へ四本の直線スリット光３０を照射し、電子部品ｂに照射されたこの光の位置を、テレセントリックレンズからなる入光手段１２を介して、ＣＣＤカメラからなる撮像手段１１により撮像して電子部品ｂの画像を検出することにより、ＱＦＰのように四辺に電極ｂ１があり、四辺の各電極ｂ１位置が電子部品ｂの中心位置ｂＯから等距離の電子部品ｂであれば、電子部品ｂのサイズや厚みが違っていても、撮像手段１１の取付状態を変更することなく、また、電子部品ｂの位置を動かすことなく、一回の撮像で電極高さを四辺同時に計測して、電子部品ｂにおける電極ｂ１の浮き計測を簡単かつ確実に行うことができる。
【００３７】
更に、二辺に電極ｂ１があり、二辺の各電極ｂ１位置が電子部品ｂの中心位置ｂＯから等距離の電子部品（ＳＯＰ）であれば、電子部品のサイズや厚みが違っていても、撮像手段１１の取付状態を変更することなく、また、電子部品ｂの位置を動かすことなく、一回の撮像で電極高さを二辺同時に計測して、電子部品ｂにおける電極ｂ１の浮き計測を簡単かつ確実に行うことができる。
【００３８】
なお、図７に示すように、四辺に電極ｂ１があり、四辺の各電極ｂ１位置が電子部品ｂの中心位置ｂＯから等距離でない電子部品ｂの場合は、すなわち、同図において電子部品ｂの縦横長さが、ｈ≠ｇの場合は、電子部品ｂの位置を動かすことなく、一回の撮像で電極高さを四辺同時に計測することはできないが、電子部品位置をＺ軸方向へ移動して二回の撮像で電極高さを計測して、電子部品ｂにおける電極ｂ１の浮き計測を簡単かつ確実に行うことができる。
【００３９】
このとき、電子部品位置をＺ軸方向へ移動することで、機械的な作動誤差（ロストモーション）などによる位置ずれを生ずることがあるが、あらかじめ試験板（キャリブレーションプレート）３１を用いて、該試験板３１をＺ軸方向へ上下させたときの各Ｚ軸座標の四本のレーザビーム直線スリット光３０の交差する中心位置ｓと、前記各Ｚ軸座標の二次元的な傾き量と、四本のレーザビーム直線スリット光３０が試験板３１を照射したときに写る格子寸法Ｌ１，Ｌ２と、各Ｚ軸座標の四本のレーザビーム直線スリット光３０の線分位置Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４を計測して、制御手段８へ記憶させてあるため、電極高さの計測や電極ｂ１の浮き計測に影響を与えることがない。
【００４０】
また、本願発明の実施例によれば、図８に示すような、リード状の電極を有しない、バンプ形状の電極ｂ１を有する電子部品ｂの、該電極ｂ１の高さを計測して、コプラナリティ計測を行うことができる。
この場合、電極ｂ１への照明を行う照明手段１３は、同図に示すように、バンプ形状の電極ｂ１を照明するため、横方向に照射するように配置したものを使用するものである。このため、電子部品ｂの中央部に近い位置にある電極ｂ１の高さを計測するために、電子部品位置が下がっても、照明手段１３と干渉することがない。
【００４１】
【発明の効果】
前述したように本発明は、周辺に電極がある電子部品の検出において、電子部品のサイズや厚みが違っていても、撮像手段の取付状態を変更することなく、また、電子部品の位置を動かすことなく、一回の撮像で電極高さを各辺同時に計測することができる格別な効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に関する表面実装部品装着機の概略を示す平面図である。
【図２】図１における表面実装部品装着機の装着ヘッド部の概略を示す側面図である。
【図３】本発明に関する表面実装部品装着機における電子部品検出方法において、第一の工程を示す説明図である。
【図４】図３における第二の工程において、電子部品の中心位置と傾きを計測する状態を示す説明図である。
【図５】図４における電子部品の中心位置と傾きを修正する状態を示す説明図である。
【図６】図４における第二の工程において、電子部品の電極高さを計測する状態を示す説明図である。
【図７】図３における方法において使用する他の例の電子部品を示す平面図である。
【図８】図３における方法において使用する他の例の電子部品の検出状態を示す説明図である。
【符号の説明】
Ａ 表面実装部品装着機
ｂ 電子部品
ｃ プリント基板
１ 機体
１０ 保持部材
１１ 撮像手段
１２ 入光手段
１３ 照明手段
１４ 光線照射手段
１５ 検出手段
３０ 直線スリット光

Claims (6)

1. 供給部の電子部品を装着ヘッドの保持部材によって保持し、該電子部品を前記供給部から装着部への搬送中に、前記保持部材によって保持された前記電子部品を検出手段により検出した後、前記装着部におけるプリント基板の所定位置に前記電子部品を装着する表面実装部品装着機にあって、
   前記検出手段は、ＣＣＤカメラからなる撮像手段と、テレセントリックレンズからなる入光手段と、発光ダイオードからなる照明手段と、複数本の互いに交差する傾斜状のレーザビームからなる光線照射手段と、電子部品のＺ軸方向の移動誤差を修正するためのデータを予め記憶しているデータ保持部を有する制御手段とを備えることを特徴とする表面実装部品装着機。
2. 供給部の電子部品を、複数個を有する装着ヘッドの保持部材によって保持し、該電子部品を前記供給部から装着部への搬送中に、検出手段によって、前記保持部材により保持された前記電子部品の下方を移動しながら、一直線状に配設された一側部最外側の前記装着ヘッドから他側部最外側の前記装着ヘッドに対して、これら装着ヘッドの並設方向と平行した一連の連続動作により前記電子部品の保持状態を検出し、その後、前記装着部におけるプリント基板の所定位置に前記電子部品を装着する表面実装部品装着機にあって、
   前記検出手段は、ＣＣＤカメラからなる撮像手段と、テレセントリックレンズからなる入光手段と、発光ダイオードからなる照明手段と、複数本の互いに交差する傾斜状のレーザビームからなる光線照射手段と、電子部品のＺ軸方向の移動誤差を修正するためのデータを予め記憶しているデータ保持部を有する制御手段とを備えることを特徴とする表面実装部品装着機。
3. 検出手段における光線照射手段は、電子部品に対してその電極部に直線スリット光を四方向から互いに交差する傾斜状に照射するように構成されたことを特徴とする請求項１または２記載の表面実装部品装着機。
4. 装着ヘッドの保持部材によって保持した電子部品を、検出手段により検出する電子部品検出方法にあって、
   前記電子部品の下面へ、光線照射手段により四方向から互いに交差する傾斜状の直線スリット光を照射し、電子部品に照射されたこの光の位置を、テレセントリックレンズからなる入光手段を介して、ＣＣＤカメラからなる撮像手段により電子部品をＺ軸方向へ上下させたときの移動誤差を修正するために、予め記憶されたデータに基づいて電子部品をＺ軸方向に移動して撮像することを特徴とする表面実装部品装着機における電子部品検出方法。
5. 複数個からなる装着ヘッドの保持部材によって保持した電子部品を、該電子部品の下側を移動する検出手段により一連の連続動作により検出する電子部品検出方法にあって、
   前記電子部品の下面へ、光線照射手段により四方向から互いに交差する傾斜状の直線スリット光を照射し、電子部品に照射されたこの光の位置を、テレセントリックレンズからなる入光手段を介して、ＣＣＤカメラからなる撮像手段により電子部品をＺ軸方向へ上下させたときの移動誤差を修正するために、予め記憶されたデータに基づいて電子部品をＺ軸方向に移動して撮像することを特徴とする表面実装部品装着機における電子部品検出方法。
6. あらかじめ試験板を用いて、この試験板の下面へ、光線照射手段により四方向から直線スリット光を照射し、該試験板に照射されたこの光の位置を、テレセントリックレンズからなる入光手段を介して、ＣＣＤカメラからなる撮像手段によりＺ軸方向に対して前記試験板を上下させて複数回撮像して、前記Ｚ軸方向へ上下させたときの各Ｚ軸座標の四本のレーザビーム直線スリット光の線分位置と、その線分位置から計算した前記各Ｚ軸座標の二次元的な傾き量と、四本のレーザビーム直線スリット光が前記試験板を照射したときに写る格子寸法と、各Ｚ軸座標の四本のレーザビーム直線スリット光の線分位置を計測して、これら検出値をそれぞれ制御手段へ記憶させる第一の工程と、
   前記電子部品の下面へ、光線照射手段により四方向から直線スリット光を照射し、電子部品に照射されたこの光の位置を、テレセントリックレンズからなる入光手段を介して、ＣＣＤカメラからなる撮像手段により撮像し、電子部品を検出して検出値を得る第二の工程と、
   前記第一および第二の工程で得た検出値を比較演算して、電子部品の状態を検査する第三の工程とを備えさせたことを特徴とする請求項４または５記載の表面実装部品装着機における電子部品検出方法。

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