JP4012628B2 - ポジ型可視光感光性樹脂組成物及びその用途 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、特異な構造を有する有機ホウ素化合物を光増感剤として含有する可視光領域の光線に対し高い感度を示すポジ型可視光感光性樹脂組成物及びその用途に係わる。
【０００２】
【従来の技術】
近年、光反応を用いた情報、あるいは画像記録の分野で、従来のフィルム原稿等を用いた紫外線による記録方法に代わり、コンピューターによって電子編集された原稿を、そのまま、高出力レーザーを用いて直接出力し、記録する方法が検討されている。この方法は、レーザーによる直接書き込みにより、記録、画像形成工程が、大幅に簡略化できるという利点を持つ。
【０００３】
現在、一般的に使用されている高出力で安定なレーザー光源は、可視領域にその出力波長を有するものが多い。具体的には、波長４８８ｎｍ及び５１４．５ｎｍに安定な発振線を持つアルゴンレーザー、あるいは第二高調波として５３２ｎｍに輝線を持つＹＡＧレーザー等が汎用されている。そのため、それらの波長に対して高感度な化合物が望まれているが、従来使用されてきた紫外線用の感光剤では、可視領域での感度が低いため使用できなかった。また、ピリリウム塩、またはチオピリリウム塩類等の添加で、可視部での感度の向上は可能ではあるが、その感光層の保存安定性が低く、使用するのが困難であった。
【０００４】
可視領域に感光性を有する化合物として、例えば、７−ジエチルアミノ−３−ベンゾチアゾイルクマリン（慣用名：クマリン−６）、あるいは、ビス〔３−（７−ジエチルアミノクマリル）〕ケトン（慣用名：ケトクマリン）が知られているが、これらは、最大吸収波長が４５０ｎｍ前後にあるために、アルゴンレーザーの４８８ｎｍよりは短波長であり、感度が不十分である。また、特開平４−１８０８８号公報に記載の４−置換−３−ベンゾチアゾイルクマリン化合物は、アルゴンレーザーの４８８ｎｍには高感光性を示すものの、５１４．５ｎｍあるいはＹＡＧレーザーの第二高調波である５３２ｎｍには吸収をほとんど持たず、感度向上の余地を残していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、高出力で安定なレーザー光源であるアルゴンレーザーの５１４．５ｎｍの発振線、あるいは、ＹＡＧレーザーの第二高調波である５３２ｎｍ等の可視光領域の長波長のレーザー光に対して高感度で、保存安定性に優れる光増感剤を含有するポジ型可視光感光性樹脂組成物を提供するものである。
【０００６】
【課題を解決しようとする手段】
本発明者らは、上記した問題点を解決するために鋭意研究を重ねた結果、特異な構造を有する有機ホウ素化合物を光増感剤として使用したポジ型可視光感光性樹脂組成物が、従来からの問題点を解決することを見出し、本発明を完成するに至った。
【０００７】
即ち、本発明は、
１、ポジ型可視光感光性樹脂及び光増感剤を含有してなるポジ型可視光感光性樹脂組成物において、光増感剤として一般式（１）で表される有機ホウ素化合物を含有することを特徴とするポジ型可視光感光性樹脂組成物、
【化２】
〔式中、Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3，Ｒ5，Ｒ6，Ｒ7はそれぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、ニトロ基、シアノ基、ヒドロキシ基、アミノ基、カルボキシル基、スルホン酸基、アルキル基、ハロゲノアルキル基、アルコキシアルキル基、アルコキシ基、アルコキシアルコキシ基、アルコキシアルコキシアルコキシ基、アリールオキシ基、アラルキルオキシ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アミノカルボニル基、アルキルアミノカルボニル基、ジアルキルアミノカルボニル基、アルキルカルボニルアミノ基、アリールカルボニルアミノ基、アリールアミノカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、アラルキル基、アリール基、ヘテロアリール基、アルキルチオ基、アリールチオ基、アルケニルオキシカルボニル基、アラルキルオキシカルボニル基、アルコキシカルボニルアルコキシカルボニル基、アルキルカルボニルアルコキシカルボニル基、モノ（ヒドロキシアルキル）アミノカルボニル基、ジ（ヒドロキシアルキル）アミノカルボニル基、モノ（アルコキシアルキル）アミノカルボニル基、ジ（アルコキシアルキル）アミノカルボニル基またはアルケニル基を表し、Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3，Ｒ5，Ｒ6，Ｒ7の内、少なくとも１つ以上はアルコキシ基、アルコキシアルコキシ基、アリールオキシ基またはアラルキルオキシ基であり、Ｒ4は水素原子、シアノ基、アルキル基、アラルキル基、アリール基、ヘテロアリール基またはアルケニル基を表し、Ｒ8，Ｒ9はハロゲン原子、アルキル基、アラルキル基、アリール基、ヘテロアリール基、アルコキシ基、アルコキシアルコキシ基、アルコキシアルコキシアルコキシ基、ハロゲノアルキル基、アルキルチオアルキル基、ジアルキルアミノアルキル基、アルキルチオアルコキシ基、ジアルキルアミノアルコキシ基、ジアルキルアミノアルコキシアルコキシ基、アルキルチオ基、アルコキシアルキルチオ基、アルキルチオアルキルチオ基、ジアルキルアミノアルキルチオ基、アラルキルオキシ基、アリールオキシ基、アリールチオ基、ヘテロアリールオキシ基またはヘテロアリールチオ基を表す。但し、Ｒ8およびＲ9が共にハロゲン原子の場合、Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3，Ｒ5，Ｒ6，Ｒ7はいずれもアルケニル基となることはない。〕
【０００８】
２、ポジ型可視光感光性樹脂が、光酸発生剤成分を含む樹脂又はそれらの混合物であって、これらの樹脂が可視光の照射により露光部が有機溶剤又は水性現像液に溶解し、また未照射部は有機溶剤又は水性現像液に溶解しない樹脂であることを特徴とする上記のポジ型可視光感光性樹脂組成物、
３、上記のポジ型可視光感光性樹脂組成物と溶剤を含有してなるポジ型可視光感光性材料用組成物、
４、上記のポジ型可視光感光性樹脂組成物を基材上に有してなるポジ型レジスト材料に関するものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】
本発明のポジ型可視光感光性樹脂組成物は、前記一般式（１）の有機ホウ素化合物の光増感剤を含有するものである。
【００１０】
本発明の一般式（１）で表される有機ホウ素化合物を使用した光増感剤は極めて有用であることを見出した。本発明に用いる一般式（１）で表される有機ホウ素化合物はアルゴンレーザー光やＹＡＧレーザー高波長光の波長に極めて大きな吸収を有しており、かつ、それらの光に非常に高感度であり、樹脂及び光酸発生剤を用いるポジ型感光性樹脂組成物に適用可能な、光増感剤として有用な材料である。
【００１１】
なお、本発明で言う「ポジ型可視光感光性材料用組成物」とは、例えば、塗料、インキ、接着剤、刷版材、レジスト材及びこれらのものから形成される未感光被膜等を意味する。
【００１２】
以下、本発明についてさらに詳細に説明する。
一般式（１）で表される有機ホウ素化合物の光増感剤は、４００〜７００ｎｍの可視光領域の光に、特に、４００〜６００ｎｍの光を吸収することにより励起され、樹脂や、光酸発生剤と相互作用を有する化合物である。ここで言う「相互作用」には、励起された光増感剤から樹脂または光酸発生剤へのエネルギー移動や電子移動が包含される。このことから、ここで使用する光増感剤は、光増感剤として極めて有用な化合物である。
【００１３】
本発明の一般式（１）で表される化合物において、Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3，Ｒ5，Ｒ6，Ｒ7の具体例としては、水素原子；ニトロ基；シアノ基；ヒドロキシ基；アミノ基；カルボキシル基；スルホン酸基；
フッ素原子、塩素原子、臭素原子等のハロゲン原子；
メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、イソペンチル基、ｎ−ヘキシル基、ｎ−オクチル基、２−エチルヘキシル基、シクロヘキシル基等のアルキル基；
クロロメチル基、ジクロロメチル基、フルオロメチル基、トリフルオロメチル基、ペンタフルオロエチル基、ノナフルオロブチル基等のハロゲノアルキル基；
メトキシエチル基、エトキシエチル基、イソプロピルオキシエチル基、３−メトキシプロピル基、２−メトキシブチル基等のアルコキシアルキル基；
【００１４】
メトキシ基、エトキシ基、ｎ−プロポキシ基、イソプロポキシ基、ｎ−ブトキシ基、イソブトキシ基、ｔｅｒｔ−ブトキシ基、ｓｅｃ−ブトキシ基、ｎ−ペンチルオキシ基、イソペンチルオキシ基、ｔｅｒｔ−ペンチルオキシ基、ｓｅｃ−ペンチルオキシ基、シクロペンチルオキシ基、ｎ−ヘキシルオキシ基、１−メチルペンチルオキシ基、２−メチルペンチルオキシ基、３−メチルペンチルオキシ基、４−メチルペンチルオキシ基、１，１−ジメチルブトキシ基、１，２−ジメチルブトキシ基、１，３−ジメチルブトキシ基、２，３−ジメチルブトキシ基、１，１，２−トリメチルプロポキシ基、１，２，２−トリメチルプロポキシ基、１−エチルブトキシ基、２−エチルブトキシ基、１−エチル−２−メチルプロポキシ基、シクロヘキシルオキシ基、メチルシクロペンチルオキシ基、ｎ−ヘプチルオキシ基、１−メチルヘキシルオキシ基、２−メチルヘキシルオキシ基、３−メチルヘキシルオキシ基、４−メチルヘキシルオキシ基、５−メチルヘキシルオキシ基、１，１−ジメチルペンチルオキシ基、１，２−ジメチルペンチルオキシ基、１，３−ジメチルペンチルオキシ基、１，４−ジメチルペンチルオキシ基、２，２−ジメチルペンチルオキシ基、２，３−ジメチルペンチルオキシ基、２，４−ジメチルペンチルオキシ基、３，３−ジメチルペンチルオキシ基、３，４−ジメチルペンチルオキシ基、１−エチルペンチルオキシ基、２−エチルペンチルオキシ基、３−エチルペンチルオキシ基、１，１，２−トリメチルブトキシ基、１，１，３−トリメチルブトキシ基、１，２，３−トリメチルブトキシ基、１，２，２−トリメチルブトキシ基、１，３，３−トリメチルブトキシ基、２，３，３−トリメチルブトキシ基、１−エチル−１−メチルブトキシ基、１−エチル−２−メチルブトキシ基、１−エチル−３−メチルブトキシ基、２−エチル−１−メチルブトキシ基、２−エチル−３−メチルブトキシ基、１−ｎ−プロピルブトキシ基、１−イソプロピルブトキシ基、１−イソプロピル−２−メチルプロポキシ基、メチルシクロヘキシルオキシ基、ｎ−オクチルオキシ基、１−メチルヘプチルオキシ基、２−メチルヘプチルオキシ基、３−メチルヘプチルオキシ基、４−メチルヘプチルオキシ基、５−メチルヘプチルオキシ基、６−メチルヘプチルオキシ基、１，１−ジメチルヘキシルオキシ基、１，２−ジメチルヘキシルオキシ基、１，３−ジメチルヘキシルオキシ基、１，４−ジメチルヘキシルオキシ基、１，５−ジメチルヘキシルオキシ基、２，２−ジメチルヘキシルオキシ基、２，３−ジメチルヘキシルオキシ基、２，４−ジメチルヘキシルオキシ基、２，５−ジメチルヘキシルオキシ基、３，３−ジメチルヘキシルオキシ基、３，４−ジメチルヘキシルオキシ基、３，５−ジメチルヘキシルオキシ基、４，４−ジメチルヘキシルオキシ基、４，５−ジメチルヘキシルオキシ基、１−エチルヘキシルオキシ基、２−エチルヘキシルオキシ基、３−エチルヘキシルオキシ基、４−エチルヘキシルオキシ基、１−ｎ−プロピルペンチルオキシ基、２−ｎ−プロピルペンチルオキシ基、１−イソプロピルペンチルオキシ基、２−イソプロピルペンチルオキシ基、１−エチル−１−メチルペンチルオキシ基、１−エチル−２−メチルペンチルオキシ基、１−エチル−３−メチルペンチルオキシ基、１−エチル−４−メチルペンチルオキシ基、２−エチル−１−メチルペンチルオキシ基、２−エチル−２−メチルペンチルオキシ基、２−エチル−３−メチルペンチルオキシ基、２−エチル−４−メチルペンチルオキシ基、３−エチル−１−メチルペンチルオキシ基、３−エチル−２−メチルペンチルオキシ基、３−エチル−３−メチルペンチルオキシ基、３−エチル−４−メチルペンチルオキシ基、１，１，２−トリメチルペンチルオキシ基、１，１，３−トリメチルペンチルオキシ基、１，１，４−トリメチルペンチルオキシ基、１，２，２−トリメチルペンチルオキシ基、１，２，３−トリメチルペンチルオキシ基、１，２，４−トリメチルペンチルオキシ基、１，３，４−トリメチルペンチルオキシ基、２，２，３−トリメチルペンチルオキシ基、２，２，４−トリメチルペンチルオキシ基、２，３，４−トリメチルペンチルオキシ基、１，３，３−トリメチルペンチルオキシ基、２，３，３−トリメチルペンチルオキシ基、３，３，４−トリメチルペンチルオキシ基、１，４，４−トリメチルペンチルオキシ基、２，４，４−トリメチルペンチルオキシ基、３，４，４−トリメチルペンチルオキシ基、１−ｎ−ブチルブトキシ基、１−イソブチルブトキシ基、１−ｓｅｃ−ブチルブトキシ基、１−ｔｅｒｔ−ブチルブトキシ基、２−ｔｅｒｔ−ブチルブトキシ基、１−ｎ−プロピル−１−メチルブトキシ基、１−ｎ−プロピル−２−メチルブトキシ基、１−ｎ−プロピル−３−メチルブトキシ基、１−イソプロピル−１−メチルブトキシ基、１−イソプロピル−２−メチルブトキシ基、１−イソプロピル−３−メチルブトキシ基、１，１−ジエチルブトキシ基、１，２−ジエチルブトキシ基、１−エチル−１，２−ジメチルブトキシ基、１−エチル−１，３−ジメチルブトキシ基、１−エチル−２，３−ジメチルブトキシ基、２−エチル−１，１−ジメチルブトキシ基、２−エチル−１，２−ジメチルブトキシ基、２−エチル−１，３−ジメチルブトキシ基、２−エチル−２，３−ジメチルブトキシ基、１，２−ジメチルシクロヘキシルオキシ基、１，３−ジメチルシクロヘキシルオキシ基、１，４−ジメチルシクロヘキシルオキシ基、エチルシクロヘキシルオキシ基、ｎ−ノニルオキシ基、３，５，５−トリメチルヘキシルオキシ基、ｎ−デシルオキシ基、ｎ−ウンデシルオキシ基、ｎ−ドデシルオキシ基、ｎ−ペンタデカニルオキシ基、イコサニルオキシ基、２−デカリノキシ基、４−（ｔ−ブチル）シクロヘキシルオキシ基等の炭素数１〜２０の直鎖のアルコキシ基、または炭素数１〜１０の分岐又は環状のアルコキシ基；
【００１５】
メトキシエトキシ基、エトキシエトキシ基、３−メトキシプロポキシ基、３−（イソプロピルオキシ）プロポキシ基等のアルコキシアルコキシ基；
フェノキシ基、２−メチルフェノキシ基、４−メチルフェノキシ基、４−ｔ−ブチルフェノキシ基、２−メトキシフェノキシ基、４−イソプロピルフェノキシ基等のアリールオキシ基；
ベンジルオキシ基、フェネチルオキシ基、３−フェニルプロポキシ基、１−ナフチルメトキシ基、２−ナフチルメトキシ基、２−ナフチルエトキシ基、ビフェニルメトキシ基、２−アントラキノイルメトキシ基、４−エチルフェニルメトキシ基、４−ｐ−イソプロピルフェニルメトキシ基、４−ｔ−ブチルフェニルメトキシ基、ｐ−イソプロピルフェニルエトキシ基、ｔ−ブチルフェニルエトキシ基、４−ｔ−ブチルフェニルエトキシ基、トリルメトキシ基、トリルエトキシ基、２，３−ジメチルフェニルメトキシ基、２，４−ジメチルフェニルメトキシ基、２，５−ジメチルフェニルメトキシ基、２，６−ジメチルフェニルメトキシ基、２，４，６−トリメチルフェニルメトキシ基、２−クロロフェニルメトキシ基、３−クロロフェニルメトキシ基、４−クロロフェニルメトキシ基、２−ブロモフェニルメトキシ基、３−ブロモフェニルメトキシ基、４−ブロモフェニルメトキシ基、２−フルオロフェニルメトキシ基、３−フルオロフェニルメトキシ基、４−フルオロフェニルメトキシ基、２−メトキシフェニルメトキシ基、３−メトキシフェニルメトキシ基、４−メトキシフェニルメトキシ基、２−エトキシフェニルメトキシ基、３−エトキシフェニルメトキシ基、４−エトキシフェニルメトキシ基、２−ｎ−プロポキシフェニルメトキシ基、３−ｎ−プロポキシフェニルメトキシ基、４−ｎ−プロポキシフェニルメトキシ基、２−イソプロポキシフェニルメトキシ基、３−イソプロポキシフェニルメトキシ基、４−イソプロポキシフェニルメトキシ基、２−ｎ−ブトキシフェニルメトキシ基、３−ｎ−ブトキシフェニルメトキシ基、４−ｎ−ブトキシフェニルメトキシ基、２−イソブトキシフェニルメトキシ基、３−イソブトキシフェニルメトキシ基、４−イソブトキシフェニルメトキシ基、２−ｔ−ブトキシフェニルメトキシ基、３−ｔ−ブトキシフェニルメトキシ基、４−ｔ−ブトキシフェニルメトキシ基、２，３−ジメチルフェニルエトキシ基、２，４−ジメチルフェニルエトキシ基、２，５−ジメチルフェニルエトキシ基、２，６−ジメチルフェニルエトキシ基、２，４，６−トリメチルフェニルエトキシ基、２−クロロフェニルエトキシ基、３−クロロフェニルエトキシ基、４−クロロフェニルエトキシ基、２−ブロモフェニルエトキシ基、３−ブロモフェニルエトキシ基、４−ブロモフェニルエトキシ基、２−フルオロフェニルエトキシ基、３−フルオロフェニルエトキシ基、４−フルオロフェニルエトキシ基、２−メトキシフェニルエトキシ基、３−メトキシフェニルエトキシ基、４−メトキシフェニルエトキシ基、２−エトキシフェニルエトキシ基、３−エトキシフェニルエトキシ基、４−エトキシフェニルエトキシ基、２−ｎ−プロポキシフェニルエトキシ基、３−ｎ−プロポキシフェニルエトキシ基、４−ｎ−プロポキシフェニルエトキシ基、２−イソプロポキシフェニルエトキシ基、３−イソプロポキシフェニルエトキシ基、４−イソプロポキシフェニルエトキシ基、２−ｎ−ブトキシフェニルエトキシ基、３−ｎ−ブトキシフェニルエトキシ基、４−ｎ−ブトキシフェニルエトキシ基、２−イソブトキシフェニルエトキシ基、３−イソブトキシフェニルエトキシ基、４−イソブトキシフェニルエトキシ基、２−ｔ−ブトキシフェニルエトキシ基、３−ｔ−ブトキシフェニルエトキシ基、４−ｔ−ブトキシフェニルエトキシ基、フルオレン−９−イルオキシ基、９−メチルフルオレン−９−イルオキシ基、９−エチルフルオレン−９−イルオキシ基、９−プロピルフルオレン−９−イルオキシ基、９−ブチルフルオレン−９−イルオキシ基、４−ニトロベンジルオキシ基、４−シアノベンジルオキシ基、４−アセチルベンジルオキシ基、２，４−ジメチルベンジルオキシ基、２，３−ジメチルベンジルオキシ基、２，５−ジメチルベンジルオキシ基、２，６−ジメチルベンジルオキシ基、３，５−ジメチルベンジルオキシ基、２，４，６−トリメチルベンジルオキシ基等の炭素数１〜２０のアラルキルオキシ基；
【００１６】
ホルミル基、アセチル基、エチルカルボニル基、ｎ−プロピルカルボニル基、イソプロピルカルボニル基、イソブチルカルボニル基、ｔ−ブチルカルボニル基、イソペンチルカルボニル基、ベンジルカルボニル基等のアシル基；
メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、ｎ−ブトキシカルボニル基、ｎ−ヘキシルオキシカルボニル基、ｎ−オクチルオキシカルボニル基、ｎ−デシルオキシカルボニル基，シクロペンチルオキシカルボニル基、シクロヘキシルオキシカルボニル基、４−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル基等のアルコキシカルボニル基；
アミノカルボニル基；メチルアミノカルボニル基、ｎ−ブチルアミノカルボニル基、ｎ−ヘキシルアミノカルボニル基、シクロヘキシルアミノカルボニル基、４−メチルシクロヘキシルアミノカルボニル基等のアルキルアミノカルボニル基；
【００１７】
ジメチルアミノカルボニル基、ジエチルアミノカルボニル基、ジ−ｎ−ブチルアミノカルボニル基、ジ−ｎ−ヘキシルアミノカルボニル基、ジ−ｎ−オクチルアミノカルボニル基、Ｎ−イソアミル−Ｎ−メチルアミノカルボニル基等のジアルキルアミノカルボニル基；
アセチルアミノ基、エチルカルボニルアミノ基、イソブチルカルボニルアミノ基等のアルキルカルボニルアミノ基；
フェニルアミノカルボニル基、４−メチルフェニルアミノカルボニル基、２−メトキシフェニルアミノカルボニル基、４−ｎ−プロピルフェニルアミノカルボニル基等のアリールアミノカルボニル基；
フェニルカルボニルアミノ基、４−エチルフェニルカルボニルアミノ基、３−イソプロピルフェニルカルボニルアミノ基、２−メトキシフェニルカルボニルアミノ基等のアリールカルボニルアミノ基；
フェノキシカルボニル基、４−メチルフェノキシカルボニル基、３−メチルフェノキシカルボニル基、２−メチルフェノキシカルボニル基、２，４−ジメチルフェノキシカルボニル基、２，６−ジメチルフェノキシカルボニル基、２，４、６−トリメチルフェノキシカルボニル基、４−フェニルフェノキシカルボニル基等のアリールオキシカルボニル基；
【００１８】
ベンジル基、フェネチル基等のアラルキル基；
フェニル基、３−ニトロフェニル基、４−シアノフェニル基、４−ヒドロキシフェニル基、２−メチルフェニル基、３，５−ジメチルフェニル基、３−トリフルオロメチルフェニル基、４−クロロフェニル基、４−メトキシフェニル基、４−（ジメチルアミノ）フェニル基、ナフチル基などのアリール基；
ピロリル基、チエニル基、フラニル基、オキサゾイル基、イソオキサゾイル基、オキサジアゾイル基、チアジアゾイル基、イミダゾイル基、ベンゾチアゾイル基、ベンゾオキサゾイル基、ベンゾイミダゾイル基、ベンゾフラニル基、インド−３−イル基等のヘテロアリール基；
メチルチオ基、エチルチオ基、ｎ−プロピルチオ基、イソプロピルチオ基、ｎ−ブチルチオ基、イソブチルチオ基、ｔ−ブチルチオ基、３，５，５−トリメチルヘキシルチオ基等のアルキルチオ基；
フェニルチオ基、４−メチルフェニルチオ基、２−メトキシフェニルチオ基、４−ｔ−ブチルフェニルチオ基、ナフチルチオ基等のアリールチオ基；
アリルオキシカルボニル基、２−ブテノキシカルボニル基等のアルケニルオキシカルボニル基；
ベンジルオキシカルボニル基、４−メチルベンジルオキシカルボニル基、フェネチルオキシカルボニル基等のアラルキルオキシカルボニル基；
【００１９】
メトキシカルボニルメトキシカルボニル基、エトキシカルボニルメトキシカルボニル基、ｎ−プロポキシカルボニルメトキシカルボニル基、イソプロポキシカルボニルメトキシカルボニル基等のアルコキシカルボニルアルコキシカルボニル基；メチルカルボニルメトキシカルボニル基、エチルカルボニルメトキシカルボニル基等のアルキルカルボニルアルコキシカルボニル基；
ヒドロキシエチルアミノカルボニル基、２−ヒドロキシプロピルアミノカルボニル基、３−ヒドロキシプロピルアミノカルボニル基等のモノ（ヒドロキシアルキル）アミノカルボニル基；
ジ（ヒドロキシエチル）アミノカルボニル基、ジ（２−ヒドロキシプロピル）アミノカルボニル基、ジ（３−ヒドロキシプロピル）アミノカルボニル基等のジ（ヒドロキシアルキル）アミノカルボニル基；
メトキシメチルアミノカルボニル基、メトキシエチルアミノカルボニル基、エトキシメチルアミノカルボニル基、エトキシエチルアミノカルボニル基、プロポキシエチルアミノカルボニル基等のモノ（アルコキシアルキル）アミノカルボニル基；ジ（メトキシメチル）アミノカルボニル基、ジ（メトキシエチル）アミノカルボニル基、ジ（エトキシメチル）アミノカルボニル基、ジ（エトキシエチル）アミノカルボニル基、ジ（プロポキシエチル）アミノカルボニル基等のジ（アルコキシアルキル）アミノカルボニル基；
ビニル基、プロペニル基、１−ブテニル基、１−ペンテニル基、２−ペンテニル基、３−メチル−１−ブテニル基、２，２−ジシアノビニル基、１，２，２−トリシアノビニル基等のアルケニル基等を挙げることができる。
【００２０】
Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3，Ｒ5，Ｒ6，Ｒ7のうち、少なくとも１つ以上は、上記のアルコキシ基、アルコキシアルコキシ基、アリールオキシ基、アラルキルオキシ基を表す。
【００２１】
Ｒ4の具体例としては、水素原子；シアノ基；
メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、イソペンチル基、ｎ−ヘキシル基、ｎ−オクチル基、２−エチルヘキシル基、シクロヘキシル基等のアルキル基；
ベンジル基、フェネチル基等のアラルキル基；
フェニル基、３−ニトロフェニル基、４−シアノフェニル基、４−ヒドロキシフェニル基、２−メチルフェニル基、３，５−ジメチルフェニル基、３−トリフルオロメチルフェニル基、４−クロロフェニル基、４−メトキシフェニル基、４−（ジメチルアミノ）フェニル基、ナフチル基などのアリール基；
ピロリル基、チエニル基、フラニル基、オキサゾイル基、イソオキサゾイル基、オキサジアゾイル基、チアジアゾイル基、イミダゾイル基、ベンゾチアゾイル基、ベンゾオキサゾイル基、ベンゾイミダゾイル基、ベンゾフラニル基、インド−３−イル基等のヘテロアリール基；
ビニル基、プロペニル基、１−ブテニル基、１−ペンテニル基、２−ペンテニル基、３−メチル−１−ブテニル基、２，２−ジシアノビニル基、１，２，２−トリシアノビニル基等のアルケニル基等を挙げることができる。
【００２２】
Ｒ8，Ｒ9の具体例としては、フッ素、塩素、臭素等のハロゲン原子；
メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、イソペンチル基、ｎ−ヘキシル基、ｎ−オクチル基、２−エチルヘキシル基、シクロヘキシル基等のアルキル基；
ベンジル基、フェネチル基等のアラルキル基；
フェニル基、３−ニトロフェニル基、４−シアノフェニル基、４−ヒドロキシフェニル基、２−メチルフェニル基、３，５−ジメチルフェニル基、３−トリフルオロメチルフェニル基、４−クロロフェニル基、４−メトキシフェニル基、４−（ジメチルアミノ）フェニル基、ナフチル基などのアリール基；
ピロリル基、チエニル基、フラニル基、オキサゾイル基、イソオキサゾイル基、オキサジアゾイル基、チアジアゾイル基、イミダゾイル基、ベンゾチアゾイル基、ベンゾオキサゾイル基、ベンゾイミダゾイル基、ベンゾフラニル基、インド−３−イル基等のヘテロアリール基；
【００２３】
前記のアルコキシ基；
メトキシエトキシ基、エトキシエトキシ基、３−メトキシプロポキシ基、３−（イソプロピルオキシ）プロポキシ基等のアルコキシアルコキシ基；
アルコキシアルコキシアルコキシ基の例としては、メトキシメトキシメトキシ基、エトキシメトキシメトキシ基、プロポキシメトキシメトキシ基、ブトキシメトキシメトキシ基、メトキシエトキシメトキシ基、エトキシエトキシメトキシ基、プロポキシエトキシメトキシ基、ブトキシエトキシメトキシ基、メトキシプロポキシメトキシ基、エトキシプロポキシメトキシ基、プロポキシプロポキシメトキシ基、ブトキシプロポキシメトキシ基、メトキシブトキシメトキシ基、エトキシブトキシメトキシ基、プロポキシブトキシメトキシ基、ブトキシブトキシメトキシ基、メトキシメトキシエトキシ基、エトキシメトキシエトキシ基、プロポキシメトキシエトキシ基、ブトキシメトキシエトキシ基、メトキシエトキシエトキシ基、エトキシエトキシエトキシ基、プロポキシエトキシエトキシ基、ブトキシエトキシエトキシ基、メトキシプロポキシエトキシ基、エトキシプロポキシエトキシ基、プロポキシプロポキシエトキシ基、ブトキシプロポキシエトキシ基、メトキシブトキシエトキシ基、エトキシブトキシエトキシ基、プロポキシブトキシエトキシ基、ブトキシブトキシエトキシ基、メトキシメトキシプロポキシ基、エトキシメトキシプロポキシ基、プロポキシメトキシプロポキシ基、ブトキシメトキシプロポキシ基、メトキシエトキシプロポキシ基、エトキシエトキシプロポキシ基、プロポキシエトキシプロポキシ基、ブトキシエトキシプロポキシ基、メトキシプロポキシプロポキシ基、エトキシプロポキシプロポキシ基、プロポキシプロポキシプロポキシ基、ブトキシプロポキシプロポキシ基、メトキシブトキシプロポキシ基、エトキシブトキシプロポキシ基、プロポキシブトキシプロポキシ基、ブトキシブトキシプロポキシ基、メトキシメトキシブトキシ基、エトキシメトキシブトキシ基、プロポキシメトキシブトキシ基、ブトキシメトキシブトキシ基、メトキシエトキシブトキシ基、エトキシエトキシブトキシ基、プロポキシシエトキシブトキシ基、ブトキシエトキシブトキシ碁、メトキシプロポキシブトキシ基、エトキシプロポキシブトキシ基、プロポキシプロポキシブトキシ基、ブトキシプロポキシブトキシ基、メトキシブトキシブトキシ基、エトキシブトキシブトキシ基、プロポキシブトキシブトキシ基、ブトキシブトキシブトキシ基、４−エチルシクロヘキシルオキシエトキシエトキシ基、（２−エチル−１−ヘキシルオキシ）エトキシプロポキシ基、４−（３，５，５−トリメチルヘキシルオキシブトキシエトキシ基、６−（２−（２−デカリルオキシ）ブトキシ）ｎ−ヘキシルオキシ基等の直鎖、分岐または環状の炭素数１〜２０のアルコキシアルコキシアルコキシ基；
【００２４】
クロロメチル基、ジクロロメチル基、フルオロメチル基、トリフルオロメチル基、ペンタフルオロエチル基、ノナフルオロブチル基等のハロゲノアルキル基；
２−メチルチオエチル基、２−エチルチオエチル基、２−ｎ−プロピルチオエチル基、２−ｉｓｏ−プロピルチオエチル基、２−ｎ−ブチルチオエチル基、２−ｉｓｏ−ブチルチオエチル基等のアルキルチオアルキル基；
２−ジメチルアミノエチル基、２−（２−ジメチルアミノエトキシ）エチル基、４−ジメチルアミノブチル基、１−ジメチルアミノプロパン−２−イル基、３−ジメチルアミノプロピル基、２−ジ−ｉｓｏ−プロピルアミノエチル基、２−ジ−ｎ−ブチルアミノエチル基等のジアルキルアミノアルキル基；
２−メチルチオエトキシ基、２−エチルチオエトキシ基、２−ｎ−プロピルチオエトキシ基、２−ｉｓｏ−プロピルチオエトキシ基、２−ｎ−ブチルチオエトキシ基、２−ｉｓｏ−ブチルチオエトキシ基等のアルキルチオアルコキシ基；
【００２５】
２−ジメチルアミノエトキシ基、２−（２−ジメチルアミノエトキシ）エトキシ基、４−ジメチルアミノブトキシ基、１−ジメチルアミノプロパン−２−イルオキシ基、３−ジメチルアミノプロポキシ基、２−ジメチルアミノ−２−メチルプロポキシ基、２−ジエチルアミノエトキシ基、２−（２−ジエチルアミノエトキシ）エトキシ基、３−ジエチルアミノプロポキシ基、１−ジエチルアミノプロポキシ基、２−ジ−ｉｓｏ−プロピルアミノエトキシ基、２−ジ−ｎ−ブチルアミノアミノエトキシ基等のジアルキルアミノアルコキシ基；
ジメチルアミノエトキシエトキシ基、ジメチルアミノエトキシプロポキシ基、ジエチルアミノエトキシプロポキシ基等のジアルキルアミノアルコキシアルコキシ基；
【００２６】
前記のアラルキルオキシ基；
フェノキシ基、２−メチルフェノキシ基、４−メチルフェノキシ基、４−ｔ−ブチルフェノキシ基、２−メトキシフェノキシ基、４−ｉｓｏ−プロピルフェノキシ基等のアリールオキシ基；
メチルチオ基、エチルチオ基、ｎ−プロピルチオ基、ｉｓｏ−プロピルチオ基、ｎ−ブチルチオ基、ｉｓｏ−ブチルチオ基、ｓｅｃ−ブチルチオ基、ｔ−ブチルチオ基、ｎ−ペンチルチオ基、ｉｓｏ−ペンチルチオ基、１，２−ジメチルプロピルチオ基、１，１−ジメチルプロピルチオ基等のアルキルチオ基；
メトキシメチルチオ基、メトキシエチルチオ基、エトキシエチルチオ基等のアルコキシアルキルチオ基；
メチルチオメチルチオ基、メチルチオエチルチオ基、エチルチオエチルチオ基等のアルキルチオアルキルチオ基；
２−ジメチルアミノエチルチオ基、４−ジメチルアミノブチルチオ基等のジアルキルアミノアルキルチオ基；
フェニルチオ基、２−メチルフェニルチオ基、４−メチルフェニルチオ基、４−ｔ−ブチルフェニルチオ基、２−メトキシフェニルチオ基、４−ｔ−ブチルフェニルチオ基等のアリールチオ基；
ピロリルオキシ基、チエニルオキシ基、フラニルオキシ基、オキサゾイルオキシ基等のヘテロアリールオキシ基；
ピロリルチオ基、チエニルチオ基、フラニルチオ基、オキサゾイルチオ基等のヘテロアリールチオ基等を挙げることができる。
【００２７】
表−１に、一般式（１）で表される有機ホウ素化合物の具体例を示すが、本発明はこれらの例のみに限定されるものではない。
【００２８】
【表１】
【００２９】
【表２】
【００３０】
【表３】
【００３１】
【表４】
【００３２】
本発明の一般式（１）で表される有機ホウ素化合物は以下の方法で製造することができる。即ち、公知の方法（例えば、Aust. J. Chem., 1965, 11, 1835-45, Liebigs Ann. Chem., 1973, 146-60）に従い合成した下記一般式（２）で表される化合物を、三ハロゲン化ホウ素と反応することにより、下記一般式（３）で表される化合物を得た後、最後にハロゲン原子を置換して一般式（１）で示される有機ホウ素化合物を得ることができる。
【００３３】
【化３】
【００３４】
【化４】
（上式中、Ｒ1〜Ｒ7は前記に同じであり、Ｘはハロゲン原子を表す。）
【００３５】
光増感剤は、一般式（１）で表される有機ホウ素化合物の光増感剤を少なくとも１種含有するものであり、その他の公知の光増感剤を併用していてもよい。
【００３６】
公知の光増感剤としては、一般に使用されている光増感剤であれば特に限定はされないが、ケトクマリン、クマリン−６および特開平４−１８０８８号公報に記載されたクマリン化合物等が挙げられる。
【００３７】
この場合、光増感剤中の一般式（１）で表される有機ホウ素化合物の光増感剤の含有量としては、特に制限はないが、本発明で所望の効果を得るためには、光増感剤中の一般式（１）で表される有機ホウ素化合物の光増感剤の含有量は、１０重量％以上であることが好ましく、より好ましくは２０重量％以上であり、さらに好ましくは３０重量％以上であり、５０重量％以上含有する光増感剤は特に好ましい。
【００３８】
有機ホウ素化合物の光増感剤の使用量は、光増感剤中に含有される一般式（１）で表される有機ホウ素化合物の光増感剤の種類や量、相互作用すべき樹脂成分の種類により異なるが、通常、樹脂成分１００重量部当たり、一般式（１）で表される有機ホウ素化合物の光増感剤の使用量が０．１〜１０重量部、好ましくは０．３〜５重量部の範囲内が適当である。有機ホウ素化合物の光増感剤の使用量が０．１重量部より少なすぎると、形成される被膜の感光性が低下する傾向があり、１０重量部より多くなると、溶解性の点から、組成物を均一な状態に保つことが困難になる傾向が見られる。
【００３９】
本発明のポジ型可視光感光性樹脂組成物は、露光により化合物が分解し現像液に溶解性を示すような、従来から公知のポジ型可視光感光性樹脂組成物（例えば、塗料、インキ、接着剤、刷板材、プリント配線板用レジスト材で使用されているもの）に前記一般式（１）で表される有機ホウ素化合物の光増感剤を必須成分として含有するものである。
【００４０】
上記した従来から公知のポジ型可視光感光性樹脂組成物について、代表的なものについて以下に述べる。
【００４１】
該組成物におけるポジ型可視光感光性樹脂としては、例えば、光酸発生剤を含む樹脂、光酸発生剤成分以外の成分（例えば、光塩基発生剤等）を含む樹脂、それ自体が光により分解する樹脂等が挙げられる。これらの樹脂は光により樹脂が分解することにより極性、分子量等の性質が変化し、これにより現像液（水性、有機溶剤等）等の物質に対して溶解性を示すようになるものである。該樹脂は光酸発生剤等の成分が組み込まれたものであっても光酸発生剤等の成分と酸等により分解する基を有する樹脂との混合物であっても構わない。また、これらのものには更に現像液の溶解性を調整するその他の樹脂等を必要に応じて配合することができる。
【００４２】
上記した光酸発生剤成分を含む樹脂について述べる。該樹脂は、光酸発生剤が樹脂骨格に組み込まれた樹脂（例えば、露光により樹脂が酸基を発生し、これによりアルカリ現像が可能となるもの）や光酸発生剤と樹脂との混合物［光酸発生剤により発生した酸により、樹脂が切断されて低分子量となったり、樹脂に酸基が付与されたり、溶解性物質（例えば、（ポリ）Ｐ−ヒドロキシスチレン）に変化し、これにより有機溶剤や水性現像液に分散性もしくは溶解性を示すものとなったりするもの］等が挙げられる。
【００４３】
これらのものとしては、例えば、▲１▼イオン形成基を有するアクリル樹脂等の基体樹脂にキノンジアジドスルホン酸類をスルホン酸エステル結合を介して結合させた樹脂を主成分とする組成物（特開昭61-206293号公報、特開平7-133449号公報等参照）、即ち照射光によりキノンジアジド基が光分解してケテンを経由してインデンカルボン酸を形成する反応を利用したナフトキノンジアジド感光系組成物；▲２▼照射光によって酸基を発生する光酸発生剤を触媒として基体樹脂（ポリマー）に脱離反応を連鎖的に生じさせて照射部と未照射部との溶解性の変化を利用した化学増幅系感光材料（特開平４−２２６４６１号公報、米国特許第４，４９１，６２８号明細書、特開昭５９−４５４３９公報号、特開昭６３−２５０６４２号公報、Polymers in Electronics "Davidson T.編集.ACS Symposium Series 242, American Chemical Society, Washington D.C., 1984の11頁"、N. Hayashi, T. Ueno, M. Toriumi, etc, ACS Polym. materials Sci. Eng., 61, 417 (1989)、H. Ito, C.G. Wilson, ACS Symp. Ser., 242, 11 (1984)等参照）；▲３▼加熱により溶剤やアルカリ水溶液に対して不溶性の架橋被膜を形成し、更に光線照射により酸基を発生する光酸発生剤により架橋構造が切断されて照射部が溶剤やアルカリ水溶液に対して可溶性となるメカニズムを利用したポジ型感光性組成物（特開平６−２９５０６４号公報、特開平６−３０８７３３号公報、特開平６−３１３１３４号公報、特開平６−３１３１３５号公報、特開平６−３１３１３６号公報、特開平７−１４６５５２号公報等参照）等が代表的なものとして挙げられる。
【００４４】
上記▲２▼のものは、樹脂中で現像液に対する溶解性を支配している官能基（水酸基、カルボキシル基等）をブロック（酸不安定基）して不溶性とし、光酸発生剤によりブロックを解離し、ポリマーの溶解性を復元するものである。該水酸基（−ＯＨ基）をブロックした酸不安定基（−ＯＲのＲ基）としては、例えば、ｔ−ブトキシカルボニル基（ｔ−ＢＯＣ基）、ｔ−ブトキシ基、ｔ−ブトキシカルボニルメチル基、テトラヒドロピラニル基、トリメチルシリル基、ｉｓｏ−プロポキシカルボニル基等が包含される。水酸基を有する樹脂としては、上記した効果を発揮するものであれば特に制限されないが、通常、フェノール性水酸基である。該酸不安定基としては、特に、ｔ−ＢＯＣ基、ｔ−ブトキシ基が好ましくこのものとしては、例えば、ポリ（ｔ−ブトキシカルボニルオキシスチレン）、ポリ（ｔ−ブトキシカルボニルオキシ−α−スチレン）、ポリ（ｔ−ブトキシスチレン）及びこれらのモノマーとその他の重合性モノマー（例えば、メチル（メタ）アクリル酸のＣ１〜２４個のアルキル又はシクロアルキルエステル類、マレイミド、スルフォン等）との共重合体等が挙げられる。該ｔ−ＢＯＣ基を含有するポリ（ｔ−ブトキシカルボニルオキシスチレン）の組成物について説明すると、例えば、光酸発生剤によって発生した酸によりｔ−ＢＯＣ基が分解してイソブテンと炭酸ガスが蒸発してポリスチレンとなり、ｔ−ＢＯＣ基が水酸基に変化することにより樹脂の極性が変化（高くなる）することにより現像液（アルカリ水溶液）に対する溶解性が向上する性質を利用したものである。また、カルボキシル基（−ＣＯＯＨ基）をブロックした酸不安定基（−ＣＯＯＲ’のＲ’基）としては、ｔ−ブチル基を有するカルボン酸エステル誘導体等が挙げられる。
【００４５】
また、このものの成分としては酸不安定基を持つ樹脂及び光酸発生剤の２成分系として、また、酸不安定基を持つ樹脂、光酸発生剤、その他の樹脂の３成分系として使用することができる。該その他の樹脂は、このものを使用することにより、例えば、組成物の塗装作業性を向上させたり現像液に対する溶解性を変化させたりすることができる。
【００４６】
上記▲３▼のものは、カルボキシル基及び／又はヒドロキシフェニル基を含有する樹脂（ａ）、エーテル結合含有オレフィン性不飽和化合物（ｂ）、光線照射により酸基を発生する光酸発生剤を含有してなる液状もしくは固体状樹脂組成物である。
【００４７】
樹脂（ａ）において、カルボキシル基及びヒドロキシフェニル基の両方の基を有する場合は、これらの基を同一分子中に有する樹脂であっても、これらの基の一方を含有する樹脂と他方を含有する樹脂の混合樹脂であってもどちらでも構わない。
【００４８】
カルボキシル基含有樹脂（ａ−１）としては、例えば、アクリル系樹脂、ポリエステル系樹脂等が挙げられる。
【００４９】
上記した樹脂（ａ−１）は一般に約５００〜約１０００００、特に約１５００〜３００００の数平均分子量を有していることが好ましく、また、カルボキシル基は樹脂１ｋｇ当たり約０．５〜１０モル、特に約０．７〜５モルのものが好ましい。
【００５０】
ヒドロキシフェニル基含有樹脂（ａ−２）としては、例えば、１官能又は多官能フェノール化合物、アルキルフェノール化合物、又はそれらの混合物とホルムアルデヒド、アセトン等のカルボニル化合物との縮合物；Ｐ−ヒドロキシスチレン等のヒドロキシフェニル基含有不飽和単量体と必要に応じて上記したその他の重合性不飽和単量体との共重合体等が挙げられる。
【００５１】
上記した樹脂（ａ−２）は一般に約５００〜約１０００００、特に約１５００〜３００００の数平均分子量を有していることが好ましく、また、ヒドロキシフェニル基は樹脂１ｋｇ当たり約１．０モル以上、特に約２〜８モルが好ましい。
【００５２】
また、樹脂（ａ−１）と樹脂（ａ−２）とを混合して使用する場合には、その混合割合は９０／１０〜１０／９０重量比で配合することが好ましい。
【００５３】
カルボキシル基及びヒドロキシフェニル基を有する樹脂（ａ−３）としては、例えばカルボキシル基含有重合性不飽和単量体（（メタ）アクリル酸等）とヒドロキシフェニル基含有重合性不飽和単量体（ヒドロキシスチレン等）及び必要に応じてその他の重合性不飽和単量体（メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、プロピル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート等のアクリル酸の炭素数１〜１２のアルキルエステル、スチレン等の芳香族化合物、（メタ）アクリロニトリル等の含窒素不飽和単量体等）との共重合体；ヒドロキシ安息香酸類、没食子酸、レゾルシン酸等と、又はそれらとフェノール、ナフトール類、レゾルシン、カテコール等との混合物をホルムアルデヒドと反応して得られるフェノール樹脂等が挙げられる。
【００５４】
上記した樹脂（ａ−３）は一般に約５００〜約１０００００、特に約１５００〜３００００の数平均分子量を有していることが好ましく、また、カルボキシル基は樹脂１ｋｇ当たり約０．５〜１０モル、特に約０．７〜５モルのものが好ましい。ヒドロキシフェニル基は樹脂１ｋｇ当たり約１．０モル以上、特に約２〜８モルが好ましい。
【００５５】
エーテル結合含有オレフィン性不飽和化合物（ｂ）としては、例えば、分子末端にビニルエーテル基、１−プロペニルエーテル基、１−ブテニルエーテル基等の不飽和エーテル基を約１〜４個含有するものが挙げられる。該化合物（ｂ）は、１分子中に、式−Ｒ”−Ｏ−Ａ［ここで、Ａはビニル基、１−プロペニル基又は１−ブテニルのオレフィン性不飽和基を示し、Ｒ”はエチレン、プロピレン、ブチレンなどの炭素数１〜６の直鎖状もしくは分岐鎖状のアルキレン基を表わす］で示される不飽和エーテル基を少なくとも１個、好ましくは２〜４個含有する低分子量又は高分子量の化合物であり、例えば、ビスフェノールＡ、ビスフェノールＦ、ビスフェノールＳ、フェノール樹脂などのポリフェノール化合物や、エチレングリコール、プロピレングリコール、トリメチロールプロパン、トリメチロールエタン、ペンタエリスリトールなどのポリオール類とクロロエチルビニルエーテルなどのハロゲン化アルキル不飽和エーテルとの縮合物；トリレンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネートなどのポリイソシアネート化合物とヒドロキシエチルビニルエーテルのようなヒドロキシアルキル不飽和エーテルとの反応物等が挙げられる。特に、上記ポリフェノール化合物とハロゲン化アルキル不飽和エーテルとの縮合物及び芳香環をもつポリイソシアネート化合物とヒドロキシアルキル不飽和エーテルとの反応物が、エッチング耐性、形成されるパターンの精度等の観点から好適である。該化合物（ｂ）は、樹脂（ａ）１００重量部に対して、通常約５〜１５０重量部、好ましくは約１０〜１００重量部の範囲である。
【００５６】
（ａ）及び（ｂ）成分を含有する組成物は、それから形成された被膜が加熱により、カルボキシル基及び／又はヒドロキシフェニル基と不飽和エーテル基との付加反応により架橋して、溶剤やアルカリ水溶液に対して不溶性となり、次いで活性エネルギー線を照射し、更に照射後加熱すると、発生した酸の触媒作用で架橋構造が切断されて照射部が溶剤やアルカリ水溶液に対して再び可溶性となるポジ型感光性樹脂組成物である。
【００５７】
該組成物においては、形成される膜を露光する際に発生する酸によって酸加水分解反応が露光部分で生じるが、この酸加水分解反応をスムーズに進行させるには水分が存在することが望ましい。このため本発明の組成物中に、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、メチルセルロース、エチルセルロース等の親水性樹脂を含有させておくことによって、形成される塗膜中に上記反応に必要な水分を容易に取り込ませるようにすることができる。かかる親水性樹脂の添加量は、通常、樹脂成分１００重量部に対して一般に２０重量部以下、好ましくは０．１〜１０重量部の範囲内とすることができる。
【００５８】
また、上記▲２▼、▲３▼に記載の光酸発生剤は、露光により酸を発生する化合物であり、この発生した酸を触媒として、樹脂を分解させるものであり、従来から公知のものを使用することができる。このものとしては、例えば、スルホニウム塩、アンモニウム塩、ホスホニウム塩、ヨードニウム塩、セレニウム塩等のオニウム塩類、鉄−アレン錯体類、シラノール−金属キレート錯体類、トリアジン化合物類、ジアジドナフトキノン化合物類、スルホン酸エステル類、スルホン酸イミドエステル類、ハロゲン系化合物類等を使用することができる。また、上記した以外に特開平７−１４６５５２号公報、特願平９−２８９２１８号に記載の光酸発生剤も使用することができる。この光酸発生剤成分は、上記した樹脂との混合物であっても樹脂に結合したものであっても構わない。光酸発生剤の配合割合は、樹脂１００重量部に対して約０．１〜４０重量部、特に約０．２〜２０重量部の範囲で含有することが好ましい。
【００５９】
本発明の組成物においては、上記した樹脂以外に有機溶剤や水性現像液での溶解性を良くしたり、また、逆に悪くしたりすることができる、水もしくは有機溶剤に不溶性もしくは溶解（又は分散）を示す上記したその他の樹脂を必要に応じて配合することができる。具体的には、例えば、フェノール系樹脂、ポリエステル系樹脂、アクリル系樹脂、ビニル系樹脂、酢酸ビニル樹脂、エポキシ系樹脂、シリコーン系樹脂、フッ素系樹脂及びこれらの２種以上の混合物もしくは変性物等が挙げられる。
【００６０】
また、本発明の組成物を用いて形成される膜に適当な可撓性、非粘着性等を付与するために、本発明の組成物には、フタル酸エステル等の可塑剤、ポリエステル樹脂、アクリル樹脂等を添加することができる。
【００６１】
さらに、本発明の組成物には、必要に応じて、流動性調節剤、可塑剤、染料、顔料等の着色剤等を添加してもよい。
【００６２】
本発明の可視光硬化性樹脂組成物は、一般に用いられている公知の感光性材料、例えば、塗料、インキ、接着剤、レジスト材、刷版材（平板や凸版用製版材、オフセット印刷用ＰＳ板等）、情報記録材料、レリーフ像作製材料等幅広い用途への使用が可能である。
【００６３】
次に、本発明の可視光硬化性樹脂組成物の代表的なレジスト材（例えば、一般的なポジ型感光性レジスト材料及び電着塗装用ポジ型レジスト材料）について説明する。
【００６４】
一般的なポジ型感光性レジスト材料としては、例えば、本発明のポジ型可視光感光性樹脂組成物を溶剤（水も含む）に分散もしくは溶解（着色剤に顔料を用いた場合は顔料を微分散）させて、感光液を調製し、これを支持体上に、例えば、ローラー、ロールコーター、スピンコーター等のごとき塗布装置を用いて塗布し、乾燥する方法により、これをポジ型レジスト材料として用いることができる。
【００６５】
ポジ型可視光感光性樹脂組成物を溶解もしくは分散するために使用する溶剤としては、例えば、ケトン類（アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等）、エステル類（酢酸エチル、酢酸ブチル、安息香酸メチル、プロピオン酸メチル等）、エーテル類（テトラヒドロフラン、ジオキサン、ジメトキシエタン等）、セロソルブ類（メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、ジエチレングリコールモノメチルエーテル等）、芳香族炭化水素（ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン等）、ハロゲン化炭化水素（クロロホルム、トリクロロエチレン、ジクロロメタン等）、アルコール（エチルアルコール、ベンジルアルコール等）、その他（ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド等）、水等が挙げられる。
【００６６】
また、支持体としては、例えば、アルミニウム、マグネシウム、銅、亜鉛、クロム、ニッケル、鉄等の金属またはそれらを成分とした合金のシートまたはこれらの金属で表面を処理したプリント基板、プラスチック、ガラスまたはシリコンウエハー、カーボン等が挙げられる。
【００６７】
また、電着塗装用ポジ型レジスト材料として用いる場合には、最初に本発明のポジ型可視光感光性樹脂組成物を水分散化物とするか、または水溶化物とする。
【００６８】
ポジ型可視光感光性樹脂組成物の水分散化または水溶化は、▲１▼樹脂中にカルボキシル基等のアニオン性基が導入されている場合にはアルカリ（中和剤）で中和するか、または▲２▼アミノ基等のカチオン性基が導入されている場合には、酸（中和剤）で中和することによって行われる。その際に使用されるアルカリ中和剤としては、例えば、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン等のアルカノールアミン類；トリエチルアミン、ジエチルアミン、モノエチルアミン、ジイソプロピルアミン、トリメチルアミン、ジイソブチルアミン等のアルキルアミン類；ジメチルアミノエタノール等のアルキルアルカノールアミン類；シクロヘキシルアミン等の脂環族アミン類；カセイソーダ、カセイカリ等のアルカリ金属水酸化物；アンモニア等が挙げられる。また、酸中和剤としては、例えば、ギ酸、酢酸、乳酸、酪酸等のモノカルボン酸が挙げられる。これらの中和剤は単独でまたは混合して使用できる。中和剤の使用量は感光性樹脂組成物中に含まれるイオン性基１当量当たり、一般に０．２〜１．０当量、特に０．３〜０．８当量の範囲が望ましい。
【００６９】
水溶化または水分散化した樹脂成分の流動性をさらに向上させるために、必要により、上記ポジ型可視光感光性樹脂組成物に親水性溶剤、例えば、メタノール、エタノール、イソプロパノール、ｎ−ブタノール、ｔ−ブタノール、メトキシエタノール、エトキシエタノール、ブトキシエタノール、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジオキサン、テトラヒドロフラン等を加えることができる。かかる親水性溶剤の使用量は、一般には、樹脂固形成分１００重量部当たり、３００重量部まで、好ましくは１００重量部までとすることができる。
【００７０】
また、被塗装物への塗着量を多くするため、上記ポジ型可視光感光性樹脂組成物に対し、疎水性溶剤、例えば、トルエン、キシレン等の石油系溶剤；メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等のケトン類；酢酸エチル、酢酸ブチル等のエステル類；２−エチルヘキシルアルコール、ベンジルアルコール等のアルコール類等も加えることができる。これらの疎水性溶剤の配合量は、樹脂固形成分１００重量部当たり、通常、２００重量部まで、好ましくは、１００重量部以下とすることができる。
【００７１】
電着塗料としてポジ型可視光感光性樹脂組成物の調製は、従来から公知の方法で行うことができる。例えば、前記の中和により水溶化された樹脂又は樹脂混合物、有機ホウ素化合物の光増感剤、さらに必要に応じ、溶剤及びその他の成分をよく混合し、水を加えることにより調製することができる。
【００７２】
このようにして調製された組成物は、通常の方法で、さらに水で希釈し、例えば、ｐＨが４〜９の範囲内、浴濃度（固形分濃度）３〜２５重量％、好ましくは５〜１５重量％の範囲内の電着塗料（または電着浴）とすることができる。
【００７３】
上記のようにして調製された電着塗料は、次のようにして被塗物である導体表面に塗装することができる。すなわち、まず、浴のｐＨ及び浴濃度を上記の範囲に調整し、浴温度を１５〜４０℃、好ましくは１５〜３０℃に管理する。次いで、このように管理された電着塗装浴に、塗装されるべき導体を電着塗料がアニオン型の場合には陽極として、また、カチオン型の場合には陰極として、浸漬、５〜２００Ｖの直流電流を通電する。通電時間は１０秒〜５分が適当である。
【００７４】
得られる膜厚は乾燥膜厚で、一般に０．５〜５０μｍ、好適には、１〜２０μｍである。電着塗装後、電着浴から被塗物を引き上げ水洗いした後、電着塗膜中に含まれる水分等を熱風等で乾燥、除去する（組成物として、（ａ）及び（ｂ）を使用した場合には、塗布された基板を、カルボキシル基及び／又はヒドロキシフェニル基含有重合体とビニルエーテル基含有化合物との間で架橋反応が実質的に起る温度及び時間条件下、例えば、約６０〜約１５０℃の温度で約１分〜約３０分間加熱して、塗膜を架橋硬化させる）。
【００７５】
導体としては、金属、カーボン、酸化錫等の導電性材料またはこれらを積層、メッキ等によりプラスチック、ガラス表面に固着させたものが使用できる。
【００７６】
上記のようにして導体表面に形成される可視光レジスト材料、及び、電着塗装によって得られる可視光レジスト電着塗膜は、画像に応じて、可視光で露光し、分解させ、露光部を現像処理によって除去することにより、画像を形成することができる。
【００７７】
露光のための光源としては、超高圧、高圧、中圧、低圧の水銀灯、ケミカルランプ、カーボンアーク灯、キセノン灯、メタルハライド灯、蛍光灯、タングステン灯、太陽光等の各光源により得られる光源のうち、紫外線を紫外カットフィルターによりカットした可視領域の光線や、可視領域に発振線を持つ各種レーザー等が使用できる。高出力で安定なレーザー光源として、アルゴンレーザー、あるいはＹＡＧレーザーの第二高調波（５３２ｎｍ）が好ましい。
【００７８】
現像処理は、露光部膜がアニオン性の場合にはアルカリ水溶液を用いて、また、カチオン性の場合にはｐＨ５以下の酸水溶液を用いて洗い流すことにより行われる。アルカリ水溶液は通常、カセイソーダ、炭酸ソーダ、カセイカリ、アンモニア水等塗膜中に有する遊離のカルボン酸と中和して水溶性を与えることのできるものが、また、酸水溶液は酢酸、ギ酸、乳酸等が使用可能である。
【００７９】
また、イオン性基を持たない感光性樹脂の場合の現像処理は、１，１，１−トリクロロエタン、トリクロロエチレン、メチルエチルケトン、塩化メチレン等の溶剤を使って露光部を溶解することによって行う。現像した後の塗膜は、水洗後、熱風等により乾燥され、導体上に目的とする画像が形成される。また、必要に応じて、エッチングを施し、露出した導体部を除去した後、レジスト膜を除去し、プリント回路板の製造を行うこともできる。
【００８０】
組成物として、（ａ）及び（ｂ）を使用した場合には、可視光線が照射された基板を該照射により発生した酸の存在下で前記硬化塗膜の架橋構造の切断が生ずるような温度及び時間条件下、例えば、約６０〜約１５０℃の温度で約１〜約３０分間加熱し、照射部分の塗膜の架橋構造を実質的に切断する。その際好適には、可視光線が照射された基板を予め水と接触させる。水との接触によって酸が発生しやすくなり、次の架橋構造の切断反応が容易になる。水との接触は基板を常温水又は温水中に浸漬するか、水蒸気を吹付けることにより行うことができる。
【００８１】
本発明のポジ型可視光感光性樹脂組成物は、上記した以外に、例えば、カバーフィルム層となるポリエチレンテレフタレート等のポリエステル樹脂、アクリル樹脂、ポリエチレン、ポリ塩化ビニル樹脂等の透明樹脂フィルム上に、本発明の組成物をロールコ−タ、ブレ−ドコ−タ、カーテンフロ−コータ等を使用して塗布し、乾燥してレジスト被膜（乾燥膜厚約０．５〜５μｍ）を形成した後、該被膜表面に保護フィルムを貼り付けたドライフィルムレジストとして使用することができる。
【００８２】
このようなドライフィルムレジストは、保護フィルムを剥離した後、レジスト被膜が面接するように支持体に熱圧着させる等の方法で接着してレジスト被膜を形成することができる。該レジスト被膜は上記した電着塗膜と同様の方法で、画像に応じて、可視光で露光し、現像処理することにより画像を形成することができる。
【００８３】
【実施例】
本発明について実施例を掲げて詳細に説明する。尚、実施例及び比較例の「部」は「重量部」を示す。
【００８４】
実施例１
テトラヒドロフラン２００部、Ｐ−ヒドロキシスチレン６５部、ｎ−ブチルアクリレート２８部、アクリル酸１１部及びアゾビスイソブチロニトリル３部の混合物を１００℃で２時間反応させて得られた反応物を１５００ｃｃのトルエン溶剤中に注ぎ込み、反応物を沈殿、分離した後、沈殿物を６０℃で乾燥して分子量約５２００、ヒドロキシフェニル基含有量４．６モル／ｋｇの感光性樹脂を得た。次いでこのもの１００部にジビニルエーテル化合物（ビスフェノール化合物１モルと２ークロロエチルビニルエーテル２モルとの縮合物）６０部、ＮＡＩ−１０５（光酸発生剤、みどり化学株式会社製、商品名）１０部及び光増感色素として表１の１−１の化合物１．５部の配合物をジエチレングリコールジメチルエーテルに溶解して固形分２０％に調整して感光液を得た。
【００８５】
次いで、この感光液を乾燥膜厚が５μｍになるように、銅張積層板上に、スピンコーターを用いて塗布した後、１２０℃で８分間加熱させてレジスト被膜を形成した。この基板にポジ型パターンマスクを介して５ｍＪ／ｃｍ2強度のアルゴンレーザーを、上記の感光層に光照射し、１２０℃で１０分間加熱した後、１％炭酸ナトリウム水溶液を用いて現像した。可視光線照射量に対する現像後の膜の残存を調べた結果、コントラストに優れた被膜が形成されており、未露光部分の膜の減少、膨潤は全く見られなかった。キセノンランプ（紫外線波長領域をカットした光線）及びＹＡＧレーザーの第二高調波（５３２ｎｍ）の照射によっても同様の結果を得た。
【００８６】
また、感光層を室温で６ヶ月間放置した後に、同様の評価を行ったところ、前記の感光感度に変化は認められなかった。
【００８７】
実施例２〜４２
実施例１において、表１の１−２〜１−４２を光増感剤として使用した以外は実施例１と同様にして感光液を調製した。これを用いて、実施例１と同様に感光層を形成し、１２０℃で８分間加熱し、得られた基板にポジ型パターンマスクを介して５ｍＪ／ｃｍ2強度のアルゴンレーザーを、上記の感光層に光照射し、１２０℃で１０分間加熱した後、１％炭酸ナトリウム水溶液を用いて現像した。可視光線照射量に対する現像後の膜の残存を調べた結果、コントラストに優れた被膜が形成されており、未露光部分の膜の減少、膨潤は全く見られなかった。キセノンランプ（紫外線波長領域をカットした光線）及びＹＡＧレーザーの第二高調波（５３２ｎｍ）の照射によっても同様の結果を得た。
【００８８】
また、感光層を室温で６ヶ月間放置した後に、同様の評価を行ったところ、前記の感光感度に変化は認められなかった。
【００８９】
実施例４３
アクリル酸２２部、スチレン５０部、ｎ−ブチルメタアクリレート２８部、アゾビスイソブチロニトリル（ＡＩＢＮ）５部よりなる混合物を、８０℃に加熱し撹拌されているメチルイソブチルケトン６０部中に２時間を要して滴下した後、その温度に更に２時間保つて、固形分約６２.５％、カルボキシル基３モル／ｋｇの重合体を得た。
【００９０】
上記で得られたカルボキシル基含有重合体（固形分６２．５％）８０部、Ｐ−ヒドロキシスチレン重合体（分子量１０００）２０部、ジビニルエーテル化合物（ビスフェノール化合物１モルと２−クロロエチルビニルエーテル２モルとの縮合物）６０部、ポリエチレングリコール（平均分子量４００）２部、ＮＡＩ−１０５（光酸発生剤、みどり化学株式会社製、商品名）１０部、実施例１で使用した光増感剤１．５部の配合物をジエチレングリコールジメチルエーテルに溶解して２０重量％の感光液を得た。
【００９１】
この感光液を使用して、実施例１と同様に感光層を形成し、１２０℃で８分間加熱し得られた基板にポジ型パターンマスクを介して５ｍＪ／ｃｍ2強度のアルゴンレーザーを、上記の感光層に光照射し、１２０℃で１０分間加熱した後、１％炭酸ナトリウム水溶液を用いて現像した。可視光線照射量に対する現像後の膜の残存を調べた結果、コントラストに優れた被膜を形成し、未露光部分の膜の減少、膨潤は全く見られなかつた。キセノンランプ（紫外線波長領域をカットした光線）及びＹＡＧレーザーの第２高調波（５３２ｎｍ）の照射によっても同様の結果を得た。
【００９２】
また、感光層を室温で６ヶ月間放置した後に、同様の評価を行ったところ、前記の感光感度に変化は認められなかった。
【００９３】
実施例４３
Ｐ−ヒドロキシスチレン重合体（分子量１０００）１００部、ジビニルエーテル化合物（ビスフェノール化合物１モルと２−クロロエチルビニルエーテル２モルとの縮合物）６０部、ポリエチレングリコール（平均分子量４００）２部、ＮＡＩ−１０５（光酸発生剤、みどり化学株式会社製、商品名）１０部、実施例１で使用した光増感剤１．５部の配合物をジエチレングリコールジメチルエーテルに溶解して２０重量％の感光液を得た。
【００９４】
この感光液を使用して、実施例１と同様に感光層を形成し、１２０℃で８分間加熱し得られた基板にポジ型パターンマスクを介して５ｍＪ／ｃｍ2強度のアルゴンレーザーを、上記の感光層に光照射し、１２０℃で１０分間加熱した後、１％炭酸ナトリウム水溶液を用いて現像した。可視光線照射量に対する現像後の膜の残存を調べた結果、コントラストに優れた被膜を形成し、未露光部分の膜の減少、膨潤は全く見られなかつた。キセノンランプ（紫外線波長領域をカットした光線）及びＹＡＧレーザーの第２高調波（５３２ｎｍ）の照射によっても同様の結果を得た。
【００９５】
また、感光層を室温で６ヶ月間放置した後に、同様の評価を行ったところ、前記の感光感度に変化は認められなかった。
【００９６】
実施例４５
実施例１で得られた感光液１００部（固形分）にカルボキシル基に対してトリエチルアミン０．８当量を混合攪拌した後、脱イオン水中に分散して水分散樹脂溶液（固形分１５％）を得た。
【００９７】
得られた水分散樹脂溶液を電着塗装浴として、積層銅板を陽極とし、乾燥膜厚が５μｍとなるようにアニオン電着塗装を行った後、水洗し、１２０℃で８分間加熱し、得られた基板にポジ型パターンマスクを介して５ｍＪ／ｃｍ2強度のアルゴンレーザーを、上記の感光層に光照射し、１２０℃で１０分間加熱した後、１％炭酸ナトリウム水溶液を用いて現像した。可視光線照射量に対する現像後の膜の残存を調べた結果、コントラストに優れた被膜を形成し、未露光部分の膜の減少、膨潤は全く見られなかつた。キセノンランプ（紫外線波長領域をカットした光線）及びＹＡＧレーザーの第２高調波（５３２ｎｍ）の照射によっても同様の結果を得た。
【００９８】
また、感光層を室温で６ヶ月間放置した後に、同様の評価を行ったところ、前記の感光感度に変化は認められなかった。
【００９９】
実施例４６
テトラヒドロフラン２００部、Ｐ−ヒドロキシスチレン６５部、ジメチルアミノエチルメタクリレート１８部、ｎ−ブチルアクリレート１７部及びアゾビスイソブチロニトリル３部の混合物を１００℃で２時間反応させて得られた反応物を１５００ｃｃのトルエン溶剤中に注ぎ込み、反応物を沈殿、分離した後、沈殿物を６０℃で乾燥して分子量約５０００、ヒドロキシフェニル基含有量４．６モル／ｋｇの感光性樹脂を得た。次いでこのもの１００部にジビニルエーテル化合物（ビスフェノール化合物１モルと２−クロロエチルビニルエーテル２モルとの縮合物）６０部、ＮＡＩ−１０５（光酸発生剤、みどり化学株式会社製、商品名）１０部及び実施例１で使用した光増感剤１．５部の配合物をジエチレングリコールジメチルエーテルに溶解して固形分６０％に調整して感光液を得た。
【０１００】
上記で得られた感光液１００部（固形分）にアミノ基に対して酢酸０．８当量を混合攪拌した後、脱イオン水中に分散して水分散樹脂溶液（固形分１５％）を得た。
【０１０１】
得られた水分散樹脂溶液を電着塗装浴として、積層銅板を陰極とし、乾燥膜厚が５μｍとなるようにカチオン電着塗装を行った後、水洗し、１２０℃で８分間加熱し、感光層を形成した。ポジ型パターンマスクを介して５ｍＪ／ｃｍ2強度のアルゴンレーザーを、上記の感光層に光照射し、１２０℃で１０分間加熱した後、２．３８％のテトラメチルアンモニウムヒドロオキサイド水溶液を用いて現像した。可視光線照射量に対する現像後の膜の残存を調べた結果、コントラストに優れた被膜を形成し、未露光部分の膜の減少、膨潤は全く見られなかつた。キセノンランプ（紫外線波長領域をカットした光線）及びＹＡＧレーザーの第２高調波（５３２ｎｍ）の照射によっても同様の結果を得た。
【０１０２】
また、感光層を室温で６ヶ月間放置した後に、同様の評価を行ったところ、前記の感光感度に変化は認められなかった。
【０１０３】
実施例４７
テトラヒドロフラン１０００部にポリ（ｔ−ブトキシカルボニルオキシスチレン）（分子量１０００）５０部、下記ノボラックフェノール樹脂５０部、ＮＡＩ−１０５（光酸発生剤、みどり化学株式会社製、商品名）１０部及び実施例１で使用した光増感色素１．５部を配合して固形分９％の感光液を得た。
【０１０４】
ノボラックフェノール樹脂の製造
ｏ−クレゾール１４９０部、３０％フォルマリン１１４５部、脱イオン水１３０部及び蓚酸６.５部をフラスコに入れ６０分加熱還流させた。次いで１５％塩酸を１３.５部を加え４０分加熱還流させた後、４００部の約１５℃の脱イオン水を加え内容物を約７５℃に保ち樹脂を沈殿させた。ついで３５％水酸化ナトリウム溶液を加え中和後水層を除去し、４００部の脱イオン水を加え７５℃で樹脂を洗浄した後水層を除去し、更に同様な洗浄操作を２度繰り返した後、減圧下に約１２０℃で乾燥して分子量６００のノボラックフェノール樹脂を得た。
【０１０５】
上記で得られた感光液を使用して、実施例１と同様に感光層を形成し、溶剤を蒸発させた後、基板にポジ型パターンマスクを介して５ｍＪ／ｃｍ2強度のアルゴンレーザーを、上記の感光層に光照射し、１２０℃で１０分間加熱した後、１％炭酸ナトリウム水溶液を用いて現像した。可視光線照射量に対する現像後の膜の残存を調べた結果、コントラストに優れた被膜を形成し、未露光部分の膜の減少、膨潤は全く見られなかつた。キセノンランプ（紫外線波長領域をカットした光線）及びＹＡＧレーザーの第２高調波（５３２ｎｍ）の照射によっても同様の結果を得た。
【０１０６】
また、感光層を室温で６ヶ月間放置した後に、同様の評価を行ったところ、前記の感光感度に変化は認められなかった。
【０１０７】
実施例４８
テトラヒドロフラン１０００部にポリ（テトラヒドロピラニルエーテルスチレン）（分子量１０００）５０部、実施例４５のノボラックフェノール樹脂５０部、ＮＡＩ−１０５（光酸発生剤、みどり化学株式会社製、商品名）１０部及び実施例１で使用した光増感色素１．５部を配合して固形分９％の感光液を得た。
【０１０８】
この感光液を使用して、実施例１と同様に感光層を形成し、溶剤を蒸発させた後、基板にポジ型パターンマスクを介して５ｍＪ／ｃｍ2強度のアルゴンレーザーを、上記の感光層に光照射し、１２０℃で１０分間加熱した後、１％炭酸ナトリウム水溶液を用いて現像した。可視光線照射量に対する現像後の膜の残存を調べた結果、コントラストに優れた被膜を形成し、未露光部分の膜の減少、膨潤は全く見られなかつた。キセノンランプ（紫外線波長領域をカットした光線）及びＹＡＧレーザーの第２高調波（５３２ｎｍ）の照射によっても同様の結果を得た。
【０１０９】
また、感光層を室温で６ヶ月間放置した後に、同様の評価を行ったところ、前記の感光感度に変化は認められなかった。
【０１１０】
比較例１
実施例１において、光増感剤としてＮＫＸ−１５９５（日本感光色素（株）社製、商品名、クマリン系化合物）１．５部を使用した以外は実施例１と同様にして感光液を調整した。これを用いて、実施例１と同様に感光層を形成し、１２０℃で８分間加熱し、得られた基板にポジ型パターンマスクを介して５ｍＪ／ｃｍ2強度のアルゴンレーザーを、上記の感光層に光照射し、１２０℃で１０分間加熱した後、１％炭酸ナトリウム水溶液を用いて現像した。可視光線照射量に対する現像後の膜の残存を調べた結果、被膜が溶解せずに悪かった。
【０１１１】
キセノンランプ（紫外線波長領域をカットした光線）及びＹＡＧレーザーの第２高調波（５３２ｎｍ）の照射によっても同様の結果で悪かった。
【０１１２】
【発明の効果】
本発明において、特定の化合物を光増感剤として含有するポジ型可視光感光性樹脂組成物は実用上極めて有用性の高い組成物である。従来、光分解反応を用いた情報記録の分野で、コンピューターによって電子編集された原稿を、そのまま直接レーザーを用いて出力し記録する方式では、感光層の経時安定性が低く、また、感度が低く、溶解性、保存安定性等の問題があった。
【０１１３】
しかし、本発明のポジ型可視光感光性樹脂組成物は、樹脂と光増感剤の相溶性が極めてよく、かつ、汎用の塗布溶液に溶解し、支持体上で均一、かつ、経時保存安定性に優れた塗面を得ることができる。
【０１１４】
また、本発明で使用する光増感剤は、４８８ｎｍおよび５１４．５ｎｍに安定な発振線を持つアルゴンレーザーや第二高調波として５３２ｎｍに輝線を持つＹＡＧレーザー等の汎用可視レーザーに対して、非常に高い感度を有するため、本発明のポジ型可視光感光性樹脂組成物を用いて得られた感光材料は、このようなレーザーにより高速走査露光が可能である。また、高速走査露光により画像を形成した場合、極めて微細な高解像度の画像が得られる。
【発明の属する技術分野】
本発明は、特異な構造を有する有機ホウ素化合物を光増感剤として含有する可視光領域の光線に対し高い感度を示すポジ型可視光感光性樹脂組成物及びその用途に係わる。
【０００２】
【従来の技術】
近年、光反応を用いた情報、あるいは画像記録の分野で、従来のフィルム原稿等を用いた紫外線による記録方法に代わり、コンピューターによって電子編集された原稿を、そのまま、高出力レーザーを用いて直接出力し、記録する方法が検討されている。この方法は、レーザーによる直接書き込みにより、記録、画像形成工程が、大幅に簡略化できるという利点を持つ。
【０００３】
現在、一般的に使用されている高出力で安定なレーザー光源は、可視領域にその出力波長を有するものが多い。具体的には、波長４８８ｎｍ及び５１４．５ｎｍに安定な発振線を持つアルゴンレーザー、あるいは第二高調波として５３２ｎｍに輝線を持つＹＡＧレーザー等が汎用されている。そのため、それらの波長に対して高感度な化合物が望まれているが、従来使用されてきた紫外線用の感光剤では、可視領域での感度が低いため使用できなかった。また、ピリリウム塩、またはチオピリリウム塩類等の添加で、可視部での感度の向上は可能ではあるが、その感光層の保存安定性が低く、使用するのが困難であった。
【０００４】
可視領域に感光性を有する化合物として、例えば、７−ジエチルアミノ−３−ベンゾチアゾイルクマリン（慣用名：クマリン−６）、あるいは、ビス〔３−（７−ジエチルアミノクマリル）〕ケトン（慣用名：ケトクマリン）が知られているが、これらは、最大吸収波長が４５０ｎｍ前後にあるために、アルゴンレーザーの４８８ｎｍよりは短波長であり、感度が不十分である。また、特開平４−１８０８８号公報に記載の４−置換−３−ベンゾチアゾイルクマリン化合物は、アルゴンレーザーの４８８ｎｍには高感光性を示すものの、５１４．５ｎｍあるいはＹＡＧレーザーの第二高調波である５３２ｎｍには吸収をほとんど持たず、感度向上の余地を残していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、高出力で安定なレーザー光源であるアルゴンレーザーの５１４．５ｎｍの発振線、あるいは、ＹＡＧレーザーの第二高調波である５３２ｎｍ等の可視光領域の長波長のレーザー光に対して高感度で、保存安定性に優れる光増感剤を含有するポジ型可視光感光性樹脂組成物を提供するものである。
【０００６】
【課題を解決しようとする手段】
本発明者らは、上記した問題点を解決するために鋭意研究を重ねた結果、特異な構造を有する有機ホウ素化合物を光増感剤として使用したポジ型可視光感光性樹脂組成物が、従来からの問題点を解決することを見出し、本発明を完成するに至った。
【０００７】
即ち、本発明は、
１、ポジ型可視光感光性樹脂及び光増感剤を含有してなるポジ型可視光感光性樹脂組成物において、光増感剤として一般式（１）で表される有機ホウ素化合物を含有することを特徴とするポジ型可視光感光性樹脂組成物、
【化２】
【０００８】
２、ポジ型可視光感光性樹脂が、光酸発生剤成分を含む樹脂又はそれらの混合物であって、これらの樹脂が可視光の照射により露光部が有機溶剤又は水性現像液に溶解し、また未照射部は有機溶剤又は水性現像液に溶解しない樹脂であることを特徴とする上記のポジ型可視光感光性樹脂組成物、
３、上記のポジ型可視光感光性樹脂組成物と溶剤を含有してなるポジ型可視光感光性材料用組成物、
４、上記のポジ型可視光感光性樹脂組成物を基材上に有してなるポジ型レジスト材料に関するものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】
本発明のポジ型可視光感光性樹脂組成物は、前記一般式（１）の有機ホウ素化合物の光増感剤を含有するものである。
【００１０】
本発明の一般式（１）で表される有機ホウ素化合物を使用した光増感剤は極めて有用であることを見出した。本発明に用いる一般式（１）で表される有機ホウ素化合物はアルゴンレーザー光やＹＡＧレーザー高波長光の波長に極めて大きな吸収を有しており、かつ、それらの光に非常に高感度であり、樹脂及び光酸発生剤を用いるポジ型感光性樹脂組成物に適用可能な、光増感剤として有用な材料である。
【００１１】
なお、本発明で言う「ポジ型可視光感光性材料用組成物」とは、例えば、塗料、インキ、接着剤、刷版材、レジスト材及びこれらのものから形成される未感光被膜等を意味する。
【００１２】
以下、本発明についてさらに詳細に説明する。
一般式（１）で表される有機ホウ素化合物の光増感剤は、４００〜７００ｎｍの可視光領域の光に、特に、４００〜６００ｎｍの光を吸収することにより励起され、樹脂や、光酸発生剤と相互作用を有する化合物である。ここで言う「相互作用」には、励起された光増感剤から樹脂または光酸発生剤へのエネルギー移動や電子移動が包含される。このことから、ここで使用する光増感剤は、光増感剤として極めて有用な化合物である。
【００１３】
本発明の一般式（１）で表される化合物において、Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3，Ｒ5，Ｒ6，Ｒ7の具体例としては、水素原子；ニトロ基；シアノ基；ヒドロキシ基；アミノ基；カルボキシル基；スルホン酸基；
フッ素原子、塩素原子、臭素原子等のハロゲン原子；
メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、イソペンチル基、ｎ−ヘキシル基、ｎ−オクチル基、２−エチルヘキシル基、シクロヘキシル基等のアルキル基；
クロロメチル基、ジクロロメチル基、フルオロメチル基、トリフルオロメチル基、ペンタフルオロエチル基、ノナフルオロブチル基等のハロゲノアルキル基；
メトキシエチル基、エトキシエチル基、イソプロピルオキシエチル基、３−メトキシプロピル基、２−メトキシブチル基等のアルコキシアルキル基；
【００１４】
メトキシ基、エトキシ基、ｎ−プロポキシ基、イソプロポキシ基、ｎ−ブトキシ基、イソブトキシ基、ｔｅｒｔ−ブトキシ基、ｓｅｃ−ブトキシ基、ｎ−ペンチルオキシ基、イソペンチルオキシ基、ｔｅｒｔ−ペンチルオキシ基、ｓｅｃ−ペンチルオキシ基、シクロペンチルオキシ基、ｎ−ヘキシルオキシ基、１−メチルペンチルオキシ基、２−メチルペンチルオキシ基、３−メチルペンチルオキシ基、４−メチルペンチルオキシ基、１，１−ジメチルブトキシ基、１，２−ジメチルブトキシ基、１，３−ジメチルブトキシ基、２，３−ジメチルブトキシ基、１，１，２−トリメチルプロポキシ基、１，２，２−トリメチルプロポキシ基、１−エチルブトキシ基、２−エチルブトキシ基、１−エチル−２−メチルプロポキシ基、シクロヘキシルオキシ基、メチルシクロペンチルオキシ基、ｎ−ヘプチルオキシ基、１−メチルヘキシルオキシ基、２−メチルヘキシルオキシ基、３−メチルヘキシルオキシ基、４−メチルヘキシルオキシ基、５−メチルヘキシルオキシ基、１，１−ジメチルペンチルオキシ基、１，２−ジメチルペンチルオキシ基、１，３−ジメチルペンチルオキシ基、１，４−ジメチルペンチルオキシ基、２，２−ジメチルペンチルオキシ基、２，３−ジメチルペンチルオキシ基、２，４−ジメチルペンチルオキシ基、３，３−ジメチルペンチルオキシ基、３，４−ジメチルペンチルオキシ基、１−エチルペンチルオキシ基、２−エチルペンチルオキシ基、３−エチルペンチルオキシ基、１，１，２−トリメチルブトキシ基、１，１，３−トリメチルブトキシ基、１，２，３−トリメチルブトキシ基、１，２，２−トリメチルブトキシ基、１，３，３−トリメチルブトキシ基、２，３，３−トリメチルブトキシ基、１−エチル−１−メチルブトキシ基、１−エチル−２−メチルブトキシ基、１−エチル−３−メチルブトキシ基、２−エチル−１−メチルブトキシ基、２−エチル−３−メチルブトキシ基、１−ｎ−プロピルブトキシ基、１−イソプロピルブトキシ基、１−イソプロピル−２−メチルプロポキシ基、メチルシクロヘキシルオキシ基、ｎ−オクチルオキシ基、１−メチルヘプチルオキシ基、２−メチルヘプチルオキシ基、３−メチルヘプチルオキシ基、４−メチルヘプチルオキシ基、５−メチルヘプチルオキシ基、６−メチルヘプチルオキシ基、１，１−ジメチルヘキシルオキシ基、１，２−ジメチルヘキシルオキシ基、１，３−ジメチルヘキシルオキシ基、１，４−ジメチルヘキシルオキシ基、１，５−ジメチルヘキシルオキシ基、２，２−ジメチルヘキシルオキシ基、２，３−ジメチルヘキシルオキシ基、２，４−ジメチルヘキシルオキシ基、２，５−ジメチルヘキシルオキシ基、３，３−ジメチルヘキシルオキシ基、３，４−ジメチルヘキシルオキシ基、３，５−ジメチルヘキシルオキシ基、４，４−ジメチルヘキシルオキシ基、４，５−ジメチルヘキシルオキシ基、１−エチルヘキシルオキシ基、２−エチルヘキシルオキシ基、３−エチルヘキシルオキシ基、４−エチルヘキシルオキシ基、１−ｎ−プロピルペンチルオキシ基、２−ｎ−プロピルペンチルオキシ基、１−イソプロピルペンチルオキシ基、２−イソプロピルペンチルオキシ基、１−エチル−１−メチルペンチルオキシ基、１−エチル−２−メチルペンチルオキシ基、１−エチル−３−メチルペンチルオキシ基、１−エチル−４−メチルペンチルオキシ基、２−エチル−１−メチルペンチルオキシ基、２−エチル−２−メチルペンチルオキシ基、２−エチル−３−メチルペンチルオキシ基、２−エチル−４−メチルペンチルオキシ基、３−エチル−１−メチルペンチルオキシ基、３−エチル−２−メチルペンチルオキシ基、３−エチル−３−メチルペンチルオキシ基、３−エチル−４−メチルペンチルオキシ基、１，１，２−トリメチルペンチルオキシ基、１，１，３−トリメチルペンチルオキシ基、１，１，４−トリメチルペンチルオキシ基、１，２，２−トリメチルペンチルオキシ基、１，２，３−トリメチルペンチルオキシ基、１，２，４−トリメチルペンチルオキシ基、１，３，４−トリメチルペンチルオキシ基、２，２，３−トリメチルペンチルオキシ基、２，２，４−トリメチルペンチルオキシ基、２，３，４−トリメチルペンチルオキシ基、１，３，３−トリメチルペンチルオキシ基、２，３，３−トリメチルペンチルオキシ基、３，３，４−トリメチルペンチルオキシ基、１，４，４−トリメチルペンチルオキシ基、２，４，４−トリメチルペンチルオキシ基、３，４，４−トリメチルペンチルオキシ基、１−ｎ−ブチルブトキシ基、１−イソブチルブトキシ基、１−ｓｅｃ−ブチルブトキシ基、１−ｔｅｒｔ−ブチルブトキシ基、２−ｔｅｒｔ−ブチルブトキシ基、１−ｎ−プロピル−１−メチルブトキシ基、１−ｎ−プロピル−２−メチルブトキシ基、１−ｎ−プロピル−３−メチルブトキシ基、１−イソプロピル−１−メチルブトキシ基、１−イソプロピル−２−メチルブトキシ基、１−イソプロピル−３−メチルブトキシ基、１，１−ジエチルブトキシ基、１，２−ジエチルブトキシ基、１−エチル−１，２−ジメチルブトキシ基、１−エチル−１，３−ジメチルブトキシ基、１−エチル−２，３−ジメチルブトキシ基、２−エチル−１，１−ジメチルブトキシ基、２−エチル−１，２−ジメチルブトキシ基、２−エチル−１，３−ジメチルブトキシ基、２−エチル−２，３−ジメチルブトキシ基、１，２−ジメチルシクロヘキシルオキシ基、１，３−ジメチルシクロヘキシルオキシ基、１，４−ジメチルシクロヘキシルオキシ基、エチルシクロヘキシルオキシ基、ｎ−ノニルオキシ基、３，５，５−トリメチルヘキシルオキシ基、ｎ−デシルオキシ基、ｎ−ウンデシルオキシ基、ｎ−ドデシルオキシ基、ｎ−ペンタデカニルオキシ基、イコサニルオキシ基、２−デカリノキシ基、４−（ｔ−ブチル）シクロヘキシルオキシ基等の炭素数１〜２０の直鎖のアルコキシ基、または炭素数１〜１０の分岐又は環状のアルコキシ基；
【００１５】
メトキシエトキシ基、エトキシエトキシ基、３−メトキシプロポキシ基、３−（イソプロピルオキシ）プロポキシ基等のアルコキシアルコキシ基；
フェノキシ基、２−メチルフェノキシ基、４−メチルフェノキシ基、４−ｔ−ブチルフェノキシ基、２−メトキシフェノキシ基、４−イソプロピルフェノキシ基等のアリールオキシ基；
ベンジルオキシ基、フェネチルオキシ基、３−フェニルプロポキシ基、１−ナフチルメトキシ基、２−ナフチルメトキシ基、２−ナフチルエトキシ基、ビフェニルメトキシ基、２−アントラキノイルメトキシ基、４−エチルフェニルメトキシ基、４−ｐ−イソプロピルフェニルメトキシ基、４−ｔ−ブチルフェニルメトキシ基、ｐ−イソプロピルフェニルエトキシ基、ｔ−ブチルフェニルエトキシ基、４−ｔ−ブチルフェニルエトキシ基、トリルメトキシ基、トリルエトキシ基、２，３−ジメチルフェニルメトキシ基、２，４−ジメチルフェニルメトキシ基、２，５−ジメチルフェニルメトキシ基、２，６−ジメチルフェニルメトキシ基、２，４，６−トリメチルフェニルメトキシ基、２−クロロフェニルメトキシ基、３−クロロフェニルメトキシ基、４−クロロフェニルメトキシ基、２−ブロモフェニルメトキシ基、３−ブロモフェニルメトキシ基、４−ブロモフェニルメトキシ基、２−フルオロフェニルメトキシ基、３−フルオロフェニルメトキシ基、４−フルオロフェニルメトキシ基、２−メトキシフェニルメトキシ基、３−メトキシフェニルメトキシ基、４−メトキシフェニルメトキシ基、２−エトキシフェニルメトキシ基、３−エトキシフェニルメトキシ基、４−エトキシフェニルメトキシ基、２−ｎ−プロポキシフェニルメトキシ基、３−ｎ−プロポキシフェニルメトキシ基、４−ｎ−プロポキシフェニルメトキシ基、２−イソプロポキシフェニルメトキシ基、３−イソプロポキシフェニルメトキシ基、４−イソプロポキシフェニルメトキシ基、２−ｎ−ブトキシフェニルメトキシ基、３−ｎ−ブトキシフェニルメトキシ基、４−ｎ−ブトキシフェニルメトキシ基、２−イソブトキシフェニルメトキシ基、３−イソブトキシフェニルメトキシ基、４−イソブトキシフェニルメトキシ基、２−ｔ−ブトキシフェニルメトキシ基、３−ｔ−ブトキシフェニルメトキシ基、４−ｔ−ブトキシフェニルメトキシ基、２，３−ジメチルフェニルエトキシ基、２，４−ジメチルフェニルエトキシ基、２，５−ジメチルフェニルエトキシ基、２，６−ジメチルフェニルエトキシ基、２，４，６−トリメチルフェニルエトキシ基、２−クロロフェニルエトキシ基、３−クロロフェニルエトキシ基、４−クロロフェニルエトキシ基、２−ブロモフェニルエトキシ基、３−ブロモフェニルエトキシ基、４−ブロモフェニルエトキシ基、２−フルオロフェニルエトキシ基、３−フルオロフェニルエトキシ基、４−フルオロフェニルエトキシ基、２−メトキシフェニルエトキシ基、３−メトキシフェニルエトキシ基、４−メトキシフェニルエトキシ基、２−エトキシフェニルエトキシ基、３−エトキシフェニルエトキシ基、４−エトキシフェニルエトキシ基、２−ｎ−プロポキシフェニルエトキシ基、３−ｎ−プロポキシフェニルエトキシ基、４−ｎ−プロポキシフェニルエトキシ基、２−イソプロポキシフェニルエトキシ基、３−イソプロポキシフェニルエトキシ基、４−イソプロポキシフェニルエトキシ基、２−ｎ−ブトキシフェニルエトキシ基、３−ｎ−ブトキシフェニルエトキシ基、４−ｎ−ブトキシフェニルエトキシ基、２−イソブトキシフェニルエトキシ基、３−イソブトキシフェニルエトキシ基、４−イソブトキシフェニルエトキシ基、２−ｔ−ブトキシフェニルエトキシ基、３−ｔ−ブトキシフェニルエトキシ基、４−ｔ−ブトキシフェニルエトキシ基、フルオレン−９−イルオキシ基、９−メチルフルオレン−９−イルオキシ基、９−エチルフルオレン−９−イルオキシ基、９−プロピルフルオレン−９−イルオキシ基、９−ブチルフルオレン−９−イルオキシ基、４−ニトロベンジルオキシ基、４−シアノベンジルオキシ基、４−アセチルベンジルオキシ基、２，４−ジメチルベンジルオキシ基、２，３−ジメチルベンジルオキシ基、２，５−ジメチルベンジルオキシ基、２，６−ジメチルベンジルオキシ基、３，５−ジメチルベンジルオキシ基、２，４，６−トリメチルベンジルオキシ基等の炭素数１〜２０のアラルキルオキシ基；
【００１６】
ホルミル基、アセチル基、エチルカルボニル基、ｎ−プロピルカルボニル基、イソプロピルカルボニル基、イソブチルカルボニル基、ｔ−ブチルカルボニル基、イソペンチルカルボニル基、ベンジルカルボニル基等のアシル基；
メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、ｎ−ブトキシカルボニル基、ｎ−ヘキシルオキシカルボニル基、ｎ−オクチルオキシカルボニル基、ｎ−デシルオキシカルボニル基，シクロペンチルオキシカルボニル基、シクロヘキシルオキシカルボニル基、４−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル基等のアルコキシカルボニル基；
アミノカルボニル基；メチルアミノカルボニル基、ｎ−ブチルアミノカルボニル基、ｎ−ヘキシルアミノカルボニル基、シクロヘキシルアミノカルボニル基、４−メチルシクロヘキシルアミノカルボニル基等のアルキルアミノカルボニル基；
【００１７】
ジメチルアミノカルボニル基、ジエチルアミノカルボニル基、ジ−ｎ−ブチルアミノカルボニル基、ジ−ｎ−ヘキシルアミノカルボニル基、ジ−ｎ−オクチルアミノカルボニル基、Ｎ−イソアミル−Ｎ−メチルアミノカルボニル基等のジアルキルアミノカルボニル基；
アセチルアミノ基、エチルカルボニルアミノ基、イソブチルカルボニルアミノ基等のアルキルカルボニルアミノ基；
フェニルアミノカルボニル基、４−メチルフェニルアミノカルボニル基、２−メトキシフェニルアミノカルボニル基、４−ｎ−プロピルフェニルアミノカルボニル基等のアリールアミノカルボニル基；
フェニルカルボニルアミノ基、４−エチルフェニルカルボニルアミノ基、３−イソプロピルフェニルカルボニルアミノ基、２−メトキシフェニルカルボニルアミノ基等のアリールカルボニルアミノ基；
フェノキシカルボニル基、４−メチルフェノキシカルボニル基、３−メチルフェノキシカルボニル基、２−メチルフェノキシカルボニル基、２，４−ジメチルフェノキシカルボニル基、２，６−ジメチルフェノキシカルボニル基、２，４、６−トリメチルフェノキシカルボニル基、４−フェニルフェノキシカルボニル基等のアリールオキシカルボニル基；
【００１８】
ベンジル基、フェネチル基等のアラルキル基；
フェニル基、３−ニトロフェニル基、４−シアノフェニル基、４−ヒドロキシフェニル基、２−メチルフェニル基、３，５−ジメチルフェニル基、３−トリフルオロメチルフェニル基、４−クロロフェニル基、４−メトキシフェニル基、４−（ジメチルアミノ）フェニル基、ナフチル基などのアリール基；
ピロリル基、チエニル基、フラニル基、オキサゾイル基、イソオキサゾイル基、オキサジアゾイル基、チアジアゾイル基、イミダゾイル基、ベンゾチアゾイル基、ベンゾオキサゾイル基、ベンゾイミダゾイル基、ベンゾフラニル基、インド−３−イル基等のヘテロアリール基；
メチルチオ基、エチルチオ基、ｎ−プロピルチオ基、イソプロピルチオ基、ｎ−ブチルチオ基、イソブチルチオ基、ｔ−ブチルチオ基、３，５，５−トリメチルヘキシルチオ基等のアルキルチオ基；
フェニルチオ基、４−メチルフェニルチオ基、２−メトキシフェニルチオ基、４−ｔ−ブチルフェニルチオ基、ナフチルチオ基等のアリールチオ基；
アリルオキシカルボニル基、２−ブテノキシカルボニル基等のアルケニルオキシカルボニル基；
ベンジルオキシカルボニル基、４−メチルベンジルオキシカルボニル基、フェネチルオキシカルボニル基等のアラルキルオキシカルボニル基；
【００１９】
メトキシカルボニルメトキシカルボニル基、エトキシカルボニルメトキシカルボニル基、ｎ−プロポキシカルボニルメトキシカルボニル基、イソプロポキシカルボニルメトキシカルボニル基等のアルコキシカルボニルアルコキシカルボニル基；メチルカルボニルメトキシカルボニル基、エチルカルボニルメトキシカルボニル基等のアルキルカルボニルアルコキシカルボニル基；
ヒドロキシエチルアミノカルボニル基、２−ヒドロキシプロピルアミノカルボニル基、３−ヒドロキシプロピルアミノカルボニル基等のモノ（ヒドロキシアルキル）アミノカルボニル基；
ジ（ヒドロキシエチル）アミノカルボニル基、ジ（２−ヒドロキシプロピル）アミノカルボニル基、ジ（３−ヒドロキシプロピル）アミノカルボニル基等のジ（ヒドロキシアルキル）アミノカルボニル基；
メトキシメチルアミノカルボニル基、メトキシエチルアミノカルボニル基、エトキシメチルアミノカルボニル基、エトキシエチルアミノカルボニル基、プロポキシエチルアミノカルボニル基等のモノ（アルコキシアルキル）アミノカルボニル基；ジ（メトキシメチル）アミノカルボニル基、ジ（メトキシエチル）アミノカルボニル基、ジ（エトキシメチル）アミノカルボニル基、ジ（エトキシエチル）アミノカルボニル基、ジ（プロポキシエチル）アミノカルボニル基等のジ（アルコキシアルキル）アミノカルボニル基；
ビニル基、プロペニル基、１−ブテニル基、１−ペンテニル基、２−ペンテニル基、３−メチル−１−ブテニル基、２，２−ジシアノビニル基、１，２，２−トリシアノビニル基等のアルケニル基等を挙げることができる。
【００２０】
Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3，Ｒ5，Ｒ6，Ｒ7のうち、少なくとも１つ以上は、上記のアルコキシ基、アルコキシアルコキシ基、アリールオキシ基、アラルキルオキシ基を表す。
【００２１】
Ｒ4の具体例としては、水素原子；シアノ基；
メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、イソペンチル基、ｎ−ヘキシル基、ｎ−オクチル基、２−エチルヘキシル基、シクロヘキシル基等のアルキル基；
ベンジル基、フェネチル基等のアラルキル基；
フェニル基、３−ニトロフェニル基、４−シアノフェニル基、４−ヒドロキシフェニル基、２−メチルフェニル基、３，５−ジメチルフェニル基、３−トリフルオロメチルフェニル基、４−クロロフェニル基、４−メトキシフェニル基、４−（ジメチルアミノ）フェニル基、ナフチル基などのアリール基；
ピロリル基、チエニル基、フラニル基、オキサゾイル基、イソオキサゾイル基、オキサジアゾイル基、チアジアゾイル基、イミダゾイル基、ベンゾチアゾイル基、ベンゾオキサゾイル基、ベンゾイミダゾイル基、ベンゾフラニル基、インド−３−イル基等のヘテロアリール基；
ビニル基、プロペニル基、１−ブテニル基、１−ペンテニル基、２−ペンテニル基、３−メチル−１−ブテニル基、２，２−ジシアノビニル基、１，２，２−トリシアノビニル基等のアルケニル基等を挙げることができる。
【００２２】
Ｒ8，Ｒ9の具体例としては、フッ素、塩素、臭素等のハロゲン原子；
メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、イソペンチル基、ｎ−ヘキシル基、ｎ−オクチル基、２−エチルヘキシル基、シクロヘキシル基等のアルキル基；
ベンジル基、フェネチル基等のアラルキル基；
フェニル基、３−ニトロフェニル基、４−シアノフェニル基、４−ヒドロキシフェニル基、２−メチルフェニル基、３，５−ジメチルフェニル基、３−トリフルオロメチルフェニル基、４−クロロフェニル基、４−メトキシフェニル基、４−（ジメチルアミノ）フェニル基、ナフチル基などのアリール基；
ピロリル基、チエニル基、フラニル基、オキサゾイル基、イソオキサゾイル基、オキサジアゾイル基、チアジアゾイル基、イミダゾイル基、ベンゾチアゾイル基、ベンゾオキサゾイル基、ベンゾイミダゾイル基、ベンゾフラニル基、インド−３−イル基等のヘテロアリール基；
【００２３】
前記のアルコキシ基；
メトキシエトキシ基、エトキシエトキシ基、３−メトキシプロポキシ基、３−（イソプロピルオキシ）プロポキシ基等のアルコキシアルコキシ基；
アルコキシアルコキシアルコキシ基の例としては、メトキシメトキシメトキシ基、エトキシメトキシメトキシ基、プロポキシメトキシメトキシ基、ブトキシメトキシメトキシ基、メトキシエトキシメトキシ基、エトキシエトキシメトキシ基、プロポキシエトキシメトキシ基、ブトキシエトキシメトキシ基、メトキシプロポキシメトキシ基、エトキシプロポキシメトキシ基、プロポキシプロポキシメトキシ基、ブトキシプロポキシメトキシ基、メトキシブトキシメトキシ基、エトキシブトキシメトキシ基、プロポキシブトキシメトキシ基、ブトキシブトキシメトキシ基、メトキシメトキシエトキシ基、エトキシメトキシエトキシ基、プロポキシメトキシエトキシ基、ブトキシメトキシエトキシ基、メトキシエトキシエトキシ基、エトキシエトキシエトキシ基、プロポキシエトキシエトキシ基、ブトキシエトキシエトキシ基、メトキシプロポキシエトキシ基、エトキシプロポキシエトキシ基、プロポキシプロポキシエトキシ基、ブトキシプロポキシエトキシ基、メトキシブトキシエトキシ基、エトキシブトキシエトキシ基、プロポキシブトキシエトキシ基、ブトキシブトキシエトキシ基、メトキシメトキシプロポキシ基、エトキシメトキシプロポキシ基、プロポキシメトキシプロポキシ基、ブトキシメトキシプロポキシ基、メトキシエトキシプロポキシ基、エトキシエトキシプロポキシ基、プロポキシエトキシプロポキシ基、ブトキシエトキシプロポキシ基、メトキシプロポキシプロポキシ基、エトキシプロポキシプロポキシ基、プロポキシプロポキシプロポキシ基、ブトキシプロポキシプロポキシ基、メトキシブトキシプロポキシ基、エトキシブトキシプロポキシ基、プロポキシブトキシプロポキシ基、ブトキシブトキシプロポキシ基、メトキシメトキシブトキシ基、エトキシメトキシブトキシ基、プロポキシメトキシブトキシ基、ブトキシメトキシブトキシ基、メトキシエトキシブトキシ基、エトキシエトキシブトキシ基、プロポキシシエトキシブトキシ基、ブトキシエトキシブトキシ碁、メトキシプロポキシブトキシ基、エトキシプロポキシブトキシ基、プロポキシプロポキシブトキシ基、ブトキシプロポキシブトキシ基、メトキシブトキシブトキシ基、エトキシブトキシブトキシ基、プロポキシブトキシブトキシ基、ブトキシブトキシブトキシ基、４−エチルシクロヘキシルオキシエトキシエトキシ基、（２−エチル−１−ヘキシルオキシ）エトキシプロポキシ基、４−（３，５，５−トリメチルヘキシルオキシブトキシエトキシ基、６−（２−（２−デカリルオキシ）ブトキシ）ｎ−ヘキシルオキシ基等の直鎖、分岐または環状の炭素数１〜２０のアルコキシアルコキシアルコキシ基；
【００２４】
クロロメチル基、ジクロロメチル基、フルオロメチル基、トリフルオロメチル基、ペンタフルオロエチル基、ノナフルオロブチル基等のハロゲノアルキル基；
２−メチルチオエチル基、２−エチルチオエチル基、２−ｎ−プロピルチオエチル基、２−ｉｓｏ−プロピルチオエチル基、２−ｎ−ブチルチオエチル基、２−ｉｓｏ−ブチルチオエチル基等のアルキルチオアルキル基；
２−ジメチルアミノエチル基、２−（２−ジメチルアミノエトキシ）エチル基、４−ジメチルアミノブチル基、１−ジメチルアミノプロパン−２−イル基、３−ジメチルアミノプロピル基、２−ジ−ｉｓｏ−プロピルアミノエチル基、２−ジ−ｎ−ブチルアミノエチル基等のジアルキルアミノアルキル基；
２−メチルチオエトキシ基、２−エチルチオエトキシ基、２−ｎ−プロピルチオエトキシ基、２−ｉｓｏ−プロピルチオエトキシ基、２−ｎ−ブチルチオエトキシ基、２−ｉｓｏ−ブチルチオエトキシ基等のアルキルチオアルコキシ基；
【００２５】
２−ジメチルアミノエトキシ基、２−（２−ジメチルアミノエトキシ）エトキシ基、４−ジメチルアミノブトキシ基、１−ジメチルアミノプロパン−２−イルオキシ基、３−ジメチルアミノプロポキシ基、２−ジメチルアミノ−２−メチルプロポキシ基、２−ジエチルアミノエトキシ基、２−（２−ジエチルアミノエトキシ）エトキシ基、３−ジエチルアミノプロポキシ基、１−ジエチルアミノプロポキシ基、２−ジ−ｉｓｏ−プロピルアミノエトキシ基、２−ジ−ｎ−ブチルアミノアミノエトキシ基等のジアルキルアミノアルコキシ基；
ジメチルアミノエトキシエトキシ基、ジメチルアミノエトキシプロポキシ基、ジエチルアミノエトキシプロポキシ基等のジアルキルアミノアルコキシアルコキシ基；
【００２６】
前記のアラルキルオキシ基；
フェノキシ基、２−メチルフェノキシ基、４−メチルフェノキシ基、４−ｔ−ブチルフェノキシ基、２−メトキシフェノキシ基、４−ｉｓｏ−プロピルフェノキシ基等のアリールオキシ基；
メチルチオ基、エチルチオ基、ｎ−プロピルチオ基、ｉｓｏ−プロピルチオ基、ｎ−ブチルチオ基、ｉｓｏ−ブチルチオ基、ｓｅｃ−ブチルチオ基、ｔ−ブチルチオ基、ｎ−ペンチルチオ基、ｉｓｏ−ペンチルチオ基、１，２−ジメチルプロピルチオ基、１，１−ジメチルプロピルチオ基等のアルキルチオ基；
メトキシメチルチオ基、メトキシエチルチオ基、エトキシエチルチオ基等のアルコキシアルキルチオ基；
メチルチオメチルチオ基、メチルチオエチルチオ基、エチルチオエチルチオ基等のアルキルチオアルキルチオ基；
２−ジメチルアミノエチルチオ基、４−ジメチルアミノブチルチオ基等のジアルキルアミノアルキルチオ基；
フェニルチオ基、２−メチルフェニルチオ基、４−メチルフェニルチオ基、４−ｔ−ブチルフェニルチオ基、２−メトキシフェニルチオ基、４−ｔ−ブチルフェニルチオ基等のアリールチオ基；
ピロリルオキシ基、チエニルオキシ基、フラニルオキシ基、オキサゾイルオキシ基等のヘテロアリールオキシ基；
ピロリルチオ基、チエニルチオ基、フラニルチオ基、オキサゾイルチオ基等のヘテロアリールチオ基等を挙げることができる。
【００２７】
表−１に、一般式（１）で表される有機ホウ素化合物の具体例を示すが、本発明はこれらの例のみに限定されるものではない。
【００２８】
【表１】
【表２】
【表３】
【表４】
本発明の一般式（１）で表される有機ホウ素化合物は以下の方法で製造することができる。即ち、公知の方法（例えば、Aust. J. Chem., 1965, 11, 1835-45, Liebigs Ann. Chem., 1973, 146-60）に従い合成した下記一般式（２）で表される化合物を、三ハロゲン化ホウ素と反応することにより、下記一般式（３）で表される化合物を得た後、最後にハロゲン原子を置換して一般式（１）で示される有機ホウ素化合物を得ることができる。
【００３３】
【化３】
【化４】
【００３５】
光増感剤は、一般式（１）で表される有機ホウ素化合物の光増感剤を少なくとも１種含有するものであり、その他の公知の光増感剤を併用していてもよい。
【００３６】
公知の光増感剤としては、一般に使用されている光増感剤であれば特に限定はされないが、ケトクマリン、クマリン−６および特開平４−１８０８８号公報に記載されたクマリン化合物等が挙げられる。
【００３７】
この場合、光増感剤中の一般式（１）で表される有機ホウ素化合物の光増感剤の含有量としては、特に制限はないが、本発明で所望の効果を得るためには、光増感剤中の一般式（１）で表される有機ホウ素化合物の光増感剤の含有量は、１０重量％以上であることが好ましく、より好ましくは２０重量％以上であり、さらに好ましくは３０重量％以上であり、５０重量％以上含有する光増感剤は特に好ましい。
【００３８】
有機ホウ素化合物の光増感剤の使用量は、光増感剤中に含有される一般式（１）で表される有機ホウ素化合物の光増感剤の種類や量、相互作用すべき樹脂成分の種類により異なるが、通常、樹脂成分１００重量部当たり、一般式（１）で表される有機ホウ素化合物の光増感剤の使用量が０．１〜１０重量部、好ましくは０．３〜５重量部の範囲内が適当である。有機ホウ素化合物の光増感剤の使用量が０．１重量部より少なすぎると、形成される被膜の感光性が低下する傾向があり、１０重量部より多くなると、溶解性の点から、組成物を均一な状態に保つことが困難になる傾向が見られる。
【００３９】
本発明のポジ型可視光感光性樹脂組成物は、露光により化合物が分解し現像液に溶解性を示すような、従来から公知のポジ型可視光感光性樹脂組成物（例えば、塗料、インキ、接着剤、刷板材、プリント配線板用レジスト材で使用されているもの）に前記一般式（１）で表される有機ホウ素化合物の光増感剤を必須成分として含有するものである。
【００４０】
上記した従来から公知のポジ型可視光感光性樹脂組成物について、代表的なものについて以下に述べる。
【００４１】
該組成物におけるポジ型可視光感光性樹脂としては、例えば、光酸発生剤を含む樹脂、光酸発生剤成分以外の成分（例えば、光塩基発生剤等）を含む樹脂、それ自体が光により分解する樹脂等が挙げられる。これらの樹脂は光により樹脂が分解することにより極性、分子量等の性質が変化し、これにより現像液（水性、有機溶剤等）等の物質に対して溶解性を示すようになるものである。該樹脂は光酸発生剤等の成分が組み込まれたものであっても光酸発生剤等の成分と酸等により分解する基を有する樹脂との混合物であっても構わない。また、これらのものには更に現像液の溶解性を調整するその他の樹脂等を必要に応じて配合することができる。
【００４２】
上記した光酸発生剤成分を含む樹脂について述べる。該樹脂は、光酸発生剤が樹脂骨格に組み込まれた樹脂（例えば、露光により樹脂が酸基を発生し、これによりアルカリ現像が可能となるもの）や光酸発生剤と樹脂との混合物［光酸発生剤により発生した酸により、樹脂が切断されて低分子量となったり、樹脂に酸基が付与されたり、溶解性物質（例えば、（ポリ）Ｐ−ヒドロキシスチレン）に変化し、これにより有機溶剤や水性現像液に分散性もしくは溶解性を示すものとなったりするもの］等が挙げられる。
【００４３】
これらのものとしては、例えば、▲１▼イオン形成基を有するアクリル樹脂等の基体樹脂にキノンジアジドスルホン酸類をスルホン酸エステル結合を介して結合させた樹脂を主成分とする組成物（特開昭61-206293号公報、特開平7-133449号公報等参照）、即ち照射光によりキノンジアジド基が光分解してケテンを経由してインデンカルボン酸を形成する反応を利用したナフトキノンジアジド感光系組成物；▲２▼照射光によって酸基を発生する光酸発生剤を触媒として基体樹脂（ポリマー）に脱離反応を連鎖的に生じさせて照射部と未照射部との溶解性の変化を利用した化学増幅系感光材料（特開平４−２２６４６１号公報、米国特許第４，４９１，６２８号明細書、特開昭５９−４５４３９公報号、特開昭６３−２５０６４２号公報、Polymers in Electronics "Davidson T.編集.ACS Symposium Series 242, American Chemical Society, Washington D.C., 1984の11頁"、N. Hayashi, T. Ueno, M. Toriumi, etc, ACS Polym. materials Sci. Eng., 61, 417 (1989)、H. Ito, C.G. Wilson, ACS Symp. Ser., 242, 11 (1984)等参照）；▲３▼加熱により溶剤やアルカリ水溶液に対して不溶性の架橋被膜を形成し、更に光線照射により酸基を発生する光酸発生剤により架橋構造が切断されて照射部が溶剤やアルカリ水溶液に対して可溶性となるメカニズムを利用したポジ型感光性組成物（特開平６−２９５０６４号公報、特開平６−３０８７３３号公報、特開平６−３１３１３４号公報、特開平６−３１３１３５号公報、特開平６−３１３１３６号公報、特開平７−１４６５５２号公報等参照）等が代表的なものとして挙げられる。
【００４４】
上記▲２▼のものは、樹脂中で現像液に対する溶解性を支配している官能基（水酸基、カルボキシル基等）をブロック（酸不安定基）して不溶性とし、光酸発生剤によりブロックを解離し、ポリマーの溶解性を復元するものである。該水酸基（−ＯＨ基）をブロックした酸不安定基（−ＯＲのＲ基）としては、例えば、ｔ−ブトキシカルボニル基（ｔ−ＢＯＣ基）、ｔ−ブトキシ基、ｔ−ブトキシカルボニルメチル基、テトラヒドロピラニル基、トリメチルシリル基、ｉｓｏ−プロポキシカルボニル基等が包含される。水酸基を有する樹脂としては、上記した効果を発揮するものであれば特に制限されないが、通常、フェノール性水酸基である。該酸不安定基としては、特に、ｔ−ＢＯＣ基、ｔ−ブトキシ基が好ましくこのものとしては、例えば、ポリ（ｔ−ブトキシカルボニルオキシスチレン）、ポリ（ｔ−ブトキシカルボニルオキシ−α−スチレン）、ポリ（ｔ−ブトキシスチレン）及びこれらのモノマーとその他の重合性モノマー（例えば、メチル（メタ）アクリル酸のＣ１〜２４個のアルキル又はシクロアルキルエステル類、マレイミド、スルフォン等）との共重合体等が挙げられる。該ｔ−ＢＯＣ基を含有するポリ（ｔ−ブトキシカルボニルオキシスチレン）の組成物について説明すると、例えば、光酸発生剤によって発生した酸によりｔ−ＢＯＣ基が分解してイソブテンと炭酸ガスが蒸発してポリスチレンとなり、ｔ−ＢＯＣ基が水酸基に変化することにより樹脂の極性が変化（高くなる）することにより現像液（アルカリ水溶液）に対する溶解性が向上する性質を利用したものである。また、カルボキシル基（−ＣＯＯＨ基）をブロックした酸不安定基（−ＣＯＯＲ’のＲ’基）としては、ｔ−ブチル基を有するカルボン酸エステル誘導体等が挙げられる。
【００４５】
また、このものの成分としては酸不安定基を持つ樹脂及び光酸発生剤の２成分系として、また、酸不安定基を持つ樹脂、光酸発生剤、その他の樹脂の３成分系として使用することができる。該その他の樹脂は、このものを使用することにより、例えば、組成物の塗装作業性を向上させたり現像液に対する溶解性を変化させたりすることができる。
【００４６】
上記▲３▼のものは、カルボキシル基及び／又はヒドロキシフェニル基を含有する樹脂（ａ）、エーテル結合含有オレフィン性不飽和化合物（ｂ）、光線照射により酸基を発生する光酸発生剤を含有してなる液状もしくは固体状樹脂組成物である。
【００４７】
樹脂（ａ）において、カルボキシル基及びヒドロキシフェニル基の両方の基を有する場合は、これらの基を同一分子中に有する樹脂であっても、これらの基の一方を含有する樹脂と他方を含有する樹脂の混合樹脂であってもどちらでも構わない。
【００４８】
カルボキシル基含有樹脂（ａ−１）としては、例えば、アクリル系樹脂、ポリエステル系樹脂等が挙げられる。
【００４９】
上記した樹脂（ａ−１）は一般に約５００〜約１０００００、特に約１５００〜３００００の数平均分子量を有していることが好ましく、また、カルボキシル基は樹脂１ｋｇ当たり約０．５〜１０モル、特に約０．７〜５モルのものが好ましい。
【００５０】
ヒドロキシフェニル基含有樹脂（ａ−２）としては、例えば、１官能又は多官能フェノール化合物、アルキルフェノール化合物、又はそれらの混合物とホルムアルデヒド、アセトン等のカルボニル化合物との縮合物；Ｐ−ヒドロキシスチレン等のヒドロキシフェニル基含有不飽和単量体と必要に応じて上記したその他の重合性不飽和単量体との共重合体等が挙げられる。
【００５１】
上記した樹脂（ａ−２）は一般に約５００〜約１０００００、特に約１５００〜３００００の数平均分子量を有していることが好ましく、また、ヒドロキシフェニル基は樹脂１ｋｇ当たり約１．０モル以上、特に約２〜８モルが好ましい。
【００５２】
また、樹脂（ａ−１）と樹脂（ａ−２）とを混合して使用する場合には、その混合割合は９０／１０〜１０／９０重量比で配合することが好ましい。
【００５３】
カルボキシル基及びヒドロキシフェニル基を有する樹脂（ａ−３）としては、例えばカルボキシル基含有重合性不飽和単量体（（メタ）アクリル酸等）とヒドロキシフェニル基含有重合性不飽和単量体（ヒドロキシスチレン等）及び必要に応じてその他の重合性不飽和単量体（メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、プロピル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート等のアクリル酸の炭素数１〜１２のアルキルエステル、スチレン等の芳香族化合物、（メタ）アクリロニトリル等の含窒素不飽和単量体等）との共重合体；ヒドロキシ安息香酸類、没食子酸、レゾルシン酸等と、又はそれらとフェノール、ナフトール類、レゾルシン、カテコール等との混合物をホルムアルデヒドと反応して得られるフェノール樹脂等が挙げられる。
【００５４】
上記した樹脂（ａ−３）は一般に約５００〜約１０００００、特に約１５００〜３００００の数平均分子量を有していることが好ましく、また、カルボキシル基は樹脂１ｋｇ当たり約０．５〜１０モル、特に約０．７〜５モルのものが好ましい。ヒドロキシフェニル基は樹脂１ｋｇ当たり約１．０モル以上、特に約２〜８モルが好ましい。
【００５５】
エーテル結合含有オレフィン性不飽和化合物（ｂ）としては、例えば、分子末端にビニルエーテル基、１−プロペニルエーテル基、１−ブテニルエーテル基等の不飽和エーテル基を約１〜４個含有するものが挙げられる。該化合物（ｂ）は、１分子中に、式−Ｒ”−Ｏ−Ａ［ここで、Ａはビニル基、１−プロペニル基又は１−ブテニルのオレフィン性不飽和基を示し、Ｒ”はエチレン、プロピレン、ブチレンなどの炭素数１〜６の直鎖状もしくは分岐鎖状のアルキレン基を表わす］で示される不飽和エーテル基を少なくとも１個、好ましくは２〜４個含有する低分子量又は高分子量の化合物であり、例えば、ビスフェノールＡ、ビスフェノールＦ、ビスフェノールＳ、フェノール樹脂などのポリフェノール化合物や、エチレングリコール、プロピレングリコール、トリメチロールプロパン、トリメチロールエタン、ペンタエリスリトールなどのポリオール類とクロロエチルビニルエーテルなどのハロゲン化アルキル不飽和エーテルとの縮合物；トリレンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネートなどのポリイソシアネート化合物とヒドロキシエチルビニルエーテルのようなヒドロキシアルキル不飽和エーテルとの反応物等が挙げられる。特に、上記ポリフェノール化合物とハロゲン化アルキル不飽和エーテルとの縮合物及び芳香環をもつポリイソシアネート化合物とヒドロキシアルキル不飽和エーテルとの反応物が、エッチング耐性、形成されるパターンの精度等の観点から好適である。該化合物（ｂ）は、樹脂（ａ）１００重量部に対して、通常約５〜１５０重量部、好ましくは約１０〜１００重量部の範囲である。
【００５６】
（ａ）及び（ｂ）成分を含有する組成物は、それから形成された被膜が加熱により、カルボキシル基及び／又はヒドロキシフェニル基と不飽和エーテル基との付加反応により架橋して、溶剤やアルカリ水溶液に対して不溶性となり、次いで活性エネルギー線を照射し、更に照射後加熱すると、発生した酸の触媒作用で架橋構造が切断されて照射部が溶剤やアルカリ水溶液に対して再び可溶性となるポジ型感光性樹脂組成物である。
【００５７】
該組成物においては、形成される膜を露光する際に発生する酸によって酸加水分解反応が露光部分で生じるが、この酸加水分解反応をスムーズに進行させるには水分が存在することが望ましい。このため本発明の組成物中に、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、メチルセルロース、エチルセルロース等の親水性樹脂を含有させておくことによって、形成される塗膜中に上記反応に必要な水分を容易に取り込ませるようにすることができる。かかる親水性樹脂の添加量は、通常、樹脂成分１００重量部に対して一般に２０重量部以下、好ましくは０．１〜１０重量部の範囲内とすることができる。
【００５８】
また、上記▲２▼、▲３▼に記載の光酸発生剤は、露光により酸を発生する化合物であり、この発生した酸を触媒として、樹脂を分解させるものであり、従来から公知のものを使用することができる。このものとしては、例えば、スルホニウム塩、アンモニウム塩、ホスホニウム塩、ヨードニウム塩、セレニウム塩等のオニウム塩類、鉄−アレン錯体類、シラノール−金属キレート錯体類、トリアジン化合物類、ジアジドナフトキノン化合物類、スルホン酸エステル類、スルホン酸イミドエステル類、ハロゲン系化合物類等を使用することができる。また、上記した以外に特開平７−１４６５５２号公報、特願平９−２８９２１８号に記載の光酸発生剤も使用することができる。この光酸発生剤成分は、上記した樹脂との混合物であっても樹脂に結合したものであっても構わない。光酸発生剤の配合割合は、樹脂１００重量部に対して約０．１〜４０重量部、特に約０．２〜２０重量部の範囲で含有することが好ましい。
【００５９】
本発明の組成物においては、上記した樹脂以外に有機溶剤や水性現像液での溶解性を良くしたり、また、逆に悪くしたりすることができる、水もしくは有機溶剤に不溶性もしくは溶解（又は分散）を示す上記したその他の樹脂を必要に応じて配合することができる。具体的には、例えば、フェノール系樹脂、ポリエステル系樹脂、アクリル系樹脂、ビニル系樹脂、酢酸ビニル樹脂、エポキシ系樹脂、シリコーン系樹脂、フッ素系樹脂及びこれらの２種以上の混合物もしくは変性物等が挙げられる。
【００６０】
また、本発明の組成物を用いて形成される膜に適当な可撓性、非粘着性等を付与するために、本発明の組成物には、フタル酸エステル等の可塑剤、ポリエステル樹脂、アクリル樹脂等を添加することができる。
【００６１】
さらに、本発明の組成物には、必要に応じて、流動性調節剤、可塑剤、染料、顔料等の着色剤等を添加してもよい。
【００６２】
本発明の可視光硬化性樹脂組成物は、一般に用いられている公知の感光性材料、例えば、塗料、インキ、接着剤、レジスト材、刷版材（平板や凸版用製版材、オフセット印刷用ＰＳ板等）、情報記録材料、レリーフ像作製材料等幅広い用途への使用が可能である。
【００６３】
次に、本発明の可視光硬化性樹脂組成物の代表的なレジスト材（例えば、一般的なポジ型感光性レジスト材料及び電着塗装用ポジ型レジスト材料）について説明する。
【００６４】
一般的なポジ型感光性レジスト材料としては、例えば、本発明のポジ型可視光感光性樹脂組成物を溶剤（水も含む）に分散もしくは溶解（着色剤に顔料を用いた場合は顔料を微分散）させて、感光液を調製し、これを支持体上に、例えば、ローラー、ロールコーター、スピンコーター等のごとき塗布装置を用いて塗布し、乾燥する方法により、これをポジ型レジスト材料として用いることができる。
【００６５】
ポジ型可視光感光性樹脂組成物を溶解もしくは分散するために使用する溶剤としては、例えば、ケトン類（アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等）、エステル類（酢酸エチル、酢酸ブチル、安息香酸メチル、プロピオン酸メチル等）、エーテル類（テトラヒドロフラン、ジオキサン、ジメトキシエタン等）、セロソルブ類（メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、ジエチレングリコールモノメチルエーテル等）、芳香族炭化水素（ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン等）、ハロゲン化炭化水素（クロロホルム、トリクロロエチレン、ジクロロメタン等）、アルコール（エチルアルコール、ベンジルアルコール等）、その他（ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド等）、水等が挙げられる。
【００６６】
また、支持体としては、例えば、アルミニウム、マグネシウム、銅、亜鉛、クロム、ニッケル、鉄等の金属またはそれらを成分とした合金のシートまたはこれらの金属で表面を処理したプリント基板、プラスチック、ガラスまたはシリコンウエハー、カーボン等が挙げられる。
【００６７】
また、電着塗装用ポジ型レジスト材料として用いる場合には、最初に本発明のポジ型可視光感光性樹脂組成物を水分散化物とするか、または水溶化物とする。
【００６８】
ポジ型可視光感光性樹脂組成物の水分散化または水溶化は、▲１▼樹脂中にカルボキシル基等のアニオン性基が導入されている場合にはアルカリ（中和剤）で中和するか、または▲２▼アミノ基等のカチオン性基が導入されている場合には、酸（中和剤）で中和することによって行われる。その際に使用されるアルカリ中和剤としては、例えば、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン等のアルカノールアミン類；トリエチルアミン、ジエチルアミン、モノエチルアミン、ジイソプロピルアミン、トリメチルアミン、ジイソブチルアミン等のアルキルアミン類；ジメチルアミノエタノール等のアルキルアルカノールアミン類；シクロヘキシルアミン等の脂環族アミン類；カセイソーダ、カセイカリ等のアルカリ金属水酸化物；アンモニア等が挙げられる。また、酸中和剤としては、例えば、ギ酸、酢酸、乳酸、酪酸等のモノカルボン酸が挙げられる。これらの中和剤は単独でまたは混合して使用できる。中和剤の使用量は感光性樹脂組成物中に含まれるイオン性基１当量当たり、一般に０．２〜１．０当量、特に０．３〜０．８当量の範囲が望ましい。
【００６９】
水溶化または水分散化した樹脂成分の流動性をさらに向上させるために、必要により、上記ポジ型可視光感光性樹脂組成物に親水性溶剤、例えば、メタノール、エタノール、イソプロパノール、ｎ−ブタノール、ｔ−ブタノール、メトキシエタノール、エトキシエタノール、ブトキシエタノール、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジオキサン、テトラヒドロフラン等を加えることができる。かかる親水性溶剤の使用量は、一般には、樹脂固形成分１００重量部当たり、３００重量部まで、好ましくは１００重量部までとすることができる。
【００７０】
また、被塗装物への塗着量を多くするため、上記ポジ型可視光感光性樹脂組成物に対し、疎水性溶剤、例えば、トルエン、キシレン等の石油系溶剤；メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等のケトン類；酢酸エチル、酢酸ブチル等のエステル類；２−エチルヘキシルアルコール、ベンジルアルコール等のアルコール類等も加えることができる。これらの疎水性溶剤の配合量は、樹脂固形成分１００重量部当たり、通常、２００重量部まで、好ましくは、１００重量部以下とすることができる。
【００７１】
電着塗料としてポジ型可視光感光性樹脂組成物の調製は、従来から公知の方法で行うことができる。例えば、前記の中和により水溶化された樹脂又は樹脂混合物、有機ホウ素化合物の光増感剤、さらに必要に応じ、溶剤及びその他の成分をよく混合し、水を加えることにより調製することができる。
【００７２】
このようにして調製された組成物は、通常の方法で、さらに水で希釈し、例えば、ｐＨが４〜９の範囲内、浴濃度（固形分濃度）３〜２５重量％、好ましくは５〜１５重量％の範囲内の電着塗料（または電着浴）とすることができる。
【００７３】
上記のようにして調製された電着塗料は、次のようにして被塗物である導体表面に塗装することができる。すなわち、まず、浴のｐＨ及び浴濃度を上記の範囲に調整し、浴温度を１５〜４０℃、好ましくは１５〜３０℃に管理する。次いで、このように管理された電着塗装浴に、塗装されるべき導体を電着塗料がアニオン型の場合には陽極として、また、カチオン型の場合には陰極として、浸漬、５〜２００Ｖの直流電流を通電する。通電時間は１０秒〜５分が適当である。
【００７４】
得られる膜厚は乾燥膜厚で、一般に０．５〜５０μｍ、好適には、１〜２０μｍである。電着塗装後、電着浴から被塗物を引き上げ水洗いした後、電着塗膜中に含まれる水分等を熱風等で乾燥、除去する（組成物として、（ａ）及び（ｂ）を使用した場合には、塗布された基板を、カルボキシル基及び／又はヒドロキシフェニル基含有重合体とビニルエーテル基含有化合物との間で架橋反応が実質的に起る温度及び時間条件下、例えば、約６０〜約１５０℃の温度で約１分〜約３０分間加熱して、塗膜を架橋硬化させる）。
【００７５】
導体としては、金属、カーボン、酸化錫等の導電性材料またはこれらを積層、メッキ等によりプラスチック、ガラス表面に固着させたものが使用できる。
【００７６】
上記のようにして導体表面に形成される可視光レジスト材料、及び、電着塗装によって得られる可視光レジスト電着塗膜は、画像に応じて、可視光で露光し、分解させ、露光部を現像処理によって除去することにより、画像を形成することができる。
【００７７】
露光のための光源としては、超高圧、高圧、中圧、低圧の水銀灯、ケミカルランプ、カーボンアーク灯、キセノン灯、メタルハライド灯、蛍光灯、タングステン灯、太陽光等の各光源により得られる光源のうち、紫外線を紫外カットフィルターによりカットした可視領域の光線や、可視領域に発振線を持つ各種レーザー等が使用できる。高出力で安定なレーザー光源として、アルゴンレーザー、あるいはＹＡＧレーザーの第二高調波（５３２ｎｍ）が好ましい。
【００７８】
現像処理は、露光部膜がアニオン性の場合にはアルカリ水溶液を用いて、また、カチオン性の場合にはｐＨ５以下の酸水溶液を用いて洗い流すことにより行われる。アルカリ水溶液は通常、カセイソーダ、炭酸ソーダ、カセイカリ、アンモニア水等塗膜中に有する遊離のカルボン酸と中和して水溶性を与えることのできるものが、また、酸水溶液は酢酸、ギ酸、乳酸等が使用可能である。
【００７９】
また、イオン性基を持たない感光性樹脂の場合の現像処理は、１，１，１−トリクロロエタン、トリクロロエチレン、メチルエチルケトン、塩化メチレン等の溶剤を使って露光部を溶解することによって行う。現像した後の塗膜は、水洗後、熱風等により乾燥され、導体上に目的とする画像が形成される。また、必要に応じて、エッチングを施し、露出した導体部を除去した後、レジスト膜を除去し、プリント回路板の製造を行うこともできる。
【００８０】
組成物として、（ａ）及び（ｂ）を使用した場合には、可視光線が照射された基板を該照射により発生した酸の存在下で前記硬化塗膜の架橋構造の切断が生ずるような温度及び時間条件下、例えば、約６０〜約１５０℃の温度で約１〜約３０分間加熱し、照射部分の塗膜の架橋構造を実質的に切断する。その際好適には、可視光線が照射された基板を予め水と接触させる。水との接触によって酸が発生しやすくなり、次の架橋構造の切断反応が容易になる。水との接触は基板を常温水又は温水中に浸漬するか、水蒸気を吹付けることにより行うことができる。
【００８１】
本発明のポジ型可視光感光性樹脂組成物は、上記した以外に、例えば、カバーフィルム層となるポリエチレンテレフタレート等のポリエステル樹脂、アクリル樹脂、ポリエチレン、ポリ塩化ビニル樹脂等の透明樹脂フィルム上に、本発明の組成物をロールコ−タ、ブレ−ドコ−タ、カーテンフロ−コータ等を使用して塗布し、乾燥してレジスト被膜（乾燥膜厚約０．５〜５μｍ）を形成した後、該被膜表面に保護フィルムを貼り付けたドライフィルムレジストとして使用することができる。
【００８２】
このようなドライフィルムレジストは、保護フィルムを剥離した後、レジスト被膜が面接するように支持体に熱圧着させる等の方法で接着してレジスト被膜を形成することができる。該レジスト被膜は上記した電着塗膜と同様の方法で、画像に応じて、可視光で露光し、現像処理することにより画像を形成することができる。
【００８３】
【実施例】
本発明について実施例を掲げて詳細に説明する。尚、実施例及び比較例の「部」は「重量部」を示す。
【００８４】
実施例１
テトラヒドロフラン２００部、Ｐ−ヒドロキシスチレン６５部、ｎ−ブチルアクリレート２８部、アクリル酸１１部及びアゾビスイソブチロニトリル３部の混合物を１００℃で２時間反応させて得られた反応物を１５００ｃｃのトルエン溶剤中に注ぎ込み、反応物を沈殿、分離した後、沈殿物を６０℃で乾燥して分子量約５２００、ヒドロキシフェニル基含有量４．６モル／ｋｇの感光性樹脂を得た。次いでこのもの１００部にジビニルエーテル化合物（ビスフェノール化合物１モルと２ークロロエチルビニルエーテル２モルとの縮合物）６０部、ＮＡＩ−１０５（光酸発生剤、みどり化学株式会社製、商品名）１０部及び光増感色素として表１の１−１の化合物１．５部の配合物をジエチレングリコールジメチルエーテルに溶解して固形分２０％に調整して感光液を得た。
【００８５】
次いで、この感光液を乾燥膜厚が５μｍになるように、銅張積層板上に、スピンコーターを用いて塗布した後、１２０℃で８分間加熱させてレジスト被膜を形成した。この基板にポジ型パターンマスクを介して５ｍＪ／ｃｍ2強度のアルゴンレーザーを、上記の感光層に光照射し、１２０℃で１０分間加熱した後、１％炭酸ナトリウム水溶液を用いて現像した。可視光線照射量に対する現像後の膜の残存を調べた結果、コントラストに優れた被膜が形成されており、未露光部分の膜の減少、膨潤は全く見られなかった。キセノンランプ（紫外線波長領域をカットした光線）及びＹＡＧレーザーの第二高調波（５３２ｎｍ）の照射によっても同様の結果を得た。
【００８６】
また、感光層を室温で６ヶ月間放置した後に、同様の評価を行ったところ、前記の感光感度に変化は認められなかった。
【００８７】
実施例２〜４２
実施例１において、表１の１−２〜１−４２を光増感剤として使用した以外は実施例１と同様にして感光液を調製した。これを用いて、実施例１と同様に感光層を形成し、１２０℃で８分間加熱し、得られた基板にポジ型パターンマスクを介して５ｍＪ／ｃｍ2強度のアルゴンレーザーを、上記の感光層に光照射し、１２０℃で１０分間加熱した後、１％炭酸ナトリウム水溶液を用いて現像した。可視光線照射量に対する現像後の膜の残存を調べた結果、コントラストに優れた被膜が形成されており、未露光部分の膜の減少、膨潤は全く見られなかった。キセノンランプ（紫外線波長領域をカットした光線）及びＹＡＧレーザーの第二高調波（５３２ｎｍ）の照射によっても同様の結果を得た。
【００８８】
また、感光層を室温で６ヶ月間放置した後に、同様の評価を行ったところ、前記の感光感度に変化は認められなかった。
【００８９】
実施例４３
アクリル酸２２部、スチレン５０部、ｎ−ブチルメタアクリレート２８部、アゾビスイソブチロニトリル（ＡＩＢＮ）５部よりなる混合物を、８０℃に加熱し撹拌されているメチルイソブチルケトン６０部中に２時間を要して滴下した後、その温度に更に２時間保つて、固形分約６２.５％、カルボキシル基３モル／ｋｇの重合体を得た。
【００９０】
上記で得られたカルボキシル基含有重合体（固形分６２．５％）８０部、Ｐ−ヒドロキシスチレン重合体（分子量１０００）２０部、ジビニルエーテル化合物（ビスフェノール化合物１モルと２−クロロエチルビニルエーテル２モルとの縮合物）６０部、ポリエチレングリコール（平均分子量４００）２部、ＮＡＩ−１０５（光酸発生剤、みどり化学株式会社製、商品名）１０部、実施例１で使用した光増感剤１．５部の配合物をジエチレングリコールジメチルエーテルに溶解して２０重量％の感光液を得た。
【００９１】
この感光液を使用して、実施例１と同様に感光層を形成し、１２０℃で８分間加熱し得られた基板にポジ型パターンマスクを介して５ｍＪ／ｃｍ2強度のアルゴンレーザーを、上記の感光層に光照射し、１２０℃で１０分間加熱した後、１％炭酸ナトリウム水溶液を用いて現像した。可視光線照射量に対する現像後の膜の残存を調べた結果、コントラストに優れた被膜を形成し、未露光部分の膜の減少、膨潤は全く見られなかつた。キセノンランプ（紫外線波長領域をカットした光線）及びＹＡＧレーザーの第２高調波（５３２ｎｍ）の照射によっても同様の結果を得た。
【００９２】
また、感光層を室温で６ヶ月間放置した後に、同様の評価を行ったところ、前記の感光感度に変化は認められなかった。
【００９３】
実施例４３
Ｐ−ヒドロキシスチレン重合体（分子量１０００）１００部、ジビニルエーテル化合物（ビスフェノール化合物１モルと２−クロロエチルビニルエーテル２モルとの縮合物）６０部、ポリエチレングリコール（平均分子量４００）２部、ＮＡＩ−１０５（光酸発生剤、みどり化学株式会社製、商品名）１０部、実施例１で使用した光増感剤１．５部の配合物をジエチレングリコールジメチルエーテルに溶解して２０重量％の感光液を得た。
【００９４】
この感光液を使用して、実施例１と同様に感光層を形成し、１２０℃で８分間加熱し得られた基板にポジ型パターンマスクを介して５ｍＪ／ｃｍ2強度のアルゴンレーザーを、上記の感光層に光照射し、１２０℃で１０分間加熱した後、１％炭酸ナトリウム水溶液を用いて現像した。可視光線照射量に対する現像後の膜の残存を調べた結果、コントラストに優れた被膜を形成し、未露光部分の膜の減少、膨潤は全く見られなかつた。キセノンランプ（紫外線波長領域をカットした光線）及びＹＡＧレーザーの第２高調波（５３２ｎｍ）の照射によっても同様の結果を得た。
【００９５】
また、感光層を室温で６ヶ月間放置した後に、同様の評価を行ったところ、前記の感光感度に変化は認められなかった。
【００９６】
実施例４５
実施例１で得られた感光液１００部（固形分）にカルボキシル基に対してトリエチルアミン０．８当量を混合攪拌した後、脱イオン水中に分散して水分散樹脂溶液（固形分１５％）を得た。
【００９７】
得られた水分散樹脂溶液を電着塗装浴として、積層銅板を陽極とし、乾燥膜厚が５μｍとなるようにアニオン電着塗装を行った後、水洗し、１２０℃で８分間加熱し、得られた基板にポジ型パターンマスクを介して５ｍＪ／ｃｍ2強度のアルゴンレーザーを、上記の感光層に光照射し、１２０℃で１０分間加熱した後、１％炭酸ナトリウム水溶液を用いて現像した。可視光線照射量に対する現像後の膜の残存を調べた結果、コントラストに優れた被膜を形成し、未露光部分の膜の減少、膨潤は全く見られなかつた。キセノンランプ（紫外線波長領域をカットした光線）及びＹＡＧレーザーの第２高調波（５３２ｎｍ）の照射によっても同様の結果を得た。
【００９８】
また、感光層を室温で６ヶ月間放置した後に、同様の評価を行ったところ、前記の感光感度に変化は認められなかった。
【００９９】
実施例４６
テトラヒドロフラン２００部、Ｐ−ヒドロキシスチレン６５部、ジメチルアミノエチルメタクリレート１８部、ｎ−ブチルアクリレート１７部及びアゾビスイソブチロニトリル３部の混合物を１００℃で２時間反応させて得られた反応物を１５００ｃｃのトルエン溶剤中に注ぎ込み、反応物を沈殿、分離した後、沈殿物を６０℃で乾燥して分子量約５０００、ヒドロキシフェニル基含有量４．６モル／ｋｇの感光性樹脂を得た。次いでこのもの１００部にジビニルエーテル化合物（ビスフェノール化合物１モルと２−クロロエチルビニルエーテル２モルとの縮合物）６０部、ＮＡＩ−１０５（光酸発生剤、みどり化学株式会社製、商品名）１０部及び実施例１で使用した光増感剤１．５部の配合物をジエチレングリコールジメチルエーテルに溶解して固形分６０％に調整して感光液を得た。
【０１００】
上記で得られた感光液１００部（固形分）にアミノ基に対して酢酸０．８当量を混合攪拌した後、脱イオン水中に分散して水分散樹脂溶液（固形分１５％）を得た。
【０１０１】
得られた水分散樹脂溶液を電着塗装浴として、積層銅板を陰極とし、乾燥膜厚が５μｍとなるようにカチオン電着塗装を行った後、水洗し、１２０℃で８分間加熱し、感光層を形成した。ポジ型パターンマスクを介して５ｍＪ／ｃｍ2強度のアルゴンレーザーを、上記の感光層に光照射し、１２０℃で１０分間加熱した後、２．３８％のテトラメチルアンモニウムヒドロオキサイド水溶液を用いて現像した。可視光線照射量に対する現像後の膜の残存を調べた結果、コントラストに優れた被膜を形成し、未露光部分の膜の減少、膨潤は全く見られなかつた。キセノンランプ（紫外線波長領域をカットした光線）及びＹＡＧレーザーの第２高調波（５３２ｎｍ）の照射によっても同様の結果を得た。
【０１０２】
また、感光層を室温で６ヶ月間放置した後に、同様の評価を行ったところ、前記の感光感度に変化は認められなかった。
【０１０３】
実施例４７
テトラヒドロフラン１０００部にポリ（ｔ−ブトキシカルボニルオキシスチレン）（分子量１０００）５０部、下記ノボラックフェノール樹脂５０部、ＮＡＩ−１０５（光酸発生剤、みどり化学株式会社製、商品名）１０部及び実施例１で使用した光増感色素１．５部を配合して固形分９％の感光液を得た。
【０１０４】
ノボラックフェノール樹脂の製造
ｏ−クレゾール１４９０部、３０％フォルマリン１１４５部、脱イオン水１３０部及び蓚酸６.５部をフラスコに入れ６０分加熱還流させた。次いで１５％塩酸を１３.５部を加え４０分加熱還流させた後、４００部の約１５℃の脱イオン水を加え内容物を約７５℃に保ち樹脂を沈殿させた。ついで３５％水酸化ナトリウム溶液を加え中和後水層を除去し、４００部の脱イオン水を加え７５℃で樹脂を洗浄した後水層を除去し、更に同様な洗浄操作を２度繰り返した後、減圧下に約１２０℃で乾燥して分子量６００のノボラックフェノール樹脂を得た。
【０１０５】
上記で得られた感光液を使用して、実施例１と同様に感光層を形成し、溶剤を蒸発させた後、基板にポジ型パターンマスクを介して５ｍＪ／ｃｍ2強度のアルゴンレーザーを、上記の感光層に光照射し、１２０℃で１０分間加熱した後、１％炭酸ナトリウム水溶液を用いて現像した。可視光線照射量に対する現像後の膜の残存を調べた結果、コントラストに優れた被膜を形成し、未露光部分の膜の減少、膨潤は全く見られなかつた。キセノンランプ（紫外線波長領域をカットした光線）及びＹＡＧレーザーの第２高調波（５３２ｎｍ）の照射によっても同様の結果を得た。
【０１０６】
また、感光層を室温で６ヶ月間放置した後に、同様の評価を行ったところ、前記の感光感度に変化は認められなかった。
【０１０７】
実施例４８
テトラヒドロフラン１０００部にポリ（テトラヒドロピラニルエーテルスチレン）（分子量１０００）５０部、実施例４５のノボラックフェノール樹脂５０部、ＮＡＩ−１０５（光酸発生剤、みどり化学株式会社製、商品名）１０部及び実施例１で使用した光増感色素１．５部を配合して固形分９％の感光液を得た。
【０１０８】
この感光液を使用して、実施例１と同様に感光層を形成し、溶剤を蒸発させた後、基板にポジ型パターンマスクを介して５ｍＪ／ｃｍ2強度のアルゴンレーザーを、上記の感光層に光照射し、１２０℃で１０分間加熱した後、１％炭酸ナトリウム水溶液を用いて現像した。可視光線照射量に対する現像後の膜の残存を調べた結果、コントラストに優れた被膜を形成し、未露光部分の膜の減少、膨潤は全く見られなかつた。キセノンランプ（紫外線波長領域をカットした光線）及びＹＡＧレーザーの第２高調波（５３２ｎｍ）の照射によっても同様の結果を得た。
【０１０９】
また、感光層を室温で６ヶ月間放置した後に、同様の評価を行ったところ、前記の感光感度に変化は認められなかった。
【０１１０】
比較例１
実施例１において、光増感剤としてＮＫＸ−１５９５（日本感光色素（株）社製、商品名、クマリン系化合物）１．５部を使用した以外は実施例１と同様にして感光液を調整した。これを用いて、実施例１と同様に感光層を形成し、１２０℃で８分間加熱し、得られた基板にポジ型パターンマスクを介して５ｍＪ／ｃｍ2強度のアルゴンレーザーを、上記の感光層に光照射し、１２０℃で１０分間加熱した後、１％炭酸ナトリウム水溶液を用いて現像した。可視光線照射量に対する現像後の膜の残存を調べた結果、被膜が溶解せずに悪かった。
【０１１１】
キセノンランプ（紫外線波長領域をカットした光線）及びＹＡＧレーザーの第２高調波（５３２ｎｍ）の照射によっても同様の結果で悪かった。
【０１１２】
【発明の効果】
本発明において、特定の化合物を光増感剤として含有するポジ型可視光感光性樹脂組成物は実用上極めて有用性の高い組成物である。従来、光分解反応を用いた情報記録の分野で、コンピューターによって電子編集された原稿を、そのまま直接レーザーを用いて出力し記録する方式では、感光層の経時安定性が低く、また、感度が低く、溶解性、保存安定性等の問題があった。
【０１１３】
しかし、本発明のポジ型可視光感光性樹脂組成物は、樹脂と光増感剤の相溶性が極めてよく、かつ、汎用の塗布溶液に溶解し、支持体上で均一、かつ、経時保存安定性に優れた塗面を得ることができる。
【０１１４】
また、本発明で使用する光増感剤は、４８８ｎｍおよび５１４．５ｎｍに安定な発振線を持つアルゴンレーザーや第二高調波として５３２ｎｍに輝線を持つＹＡＧレーザー等の汎用可視レーザーに対して、非常に高い感度を有するため、本発明のポジ型可視光感光性樹脂組成物を用いて得られた感光材料は、このようなレーザーにより高速走査露光が可能である。また、高速走査露光により画像を形成した場合、極めて微細な高解像度の画像が得られる。
Claims (4)
- ポジ型可視光感光性樹脂及び光増感剤を含有してなるポジ型可視光感光性樹脂組成物において、光増感剤として一般式（１）で表される有機ホウ素化合物を含有することを特徴とするポジ型可視光感光性樹脂組成物。
- ポジ型可視光感光性樹脂が、光酸発生剤成分を含む樹脂又はそれらの混合物であって、これらの樹脂の可視光による露光部は有機溶剤又は水性現像液に溶解するが、未露光部は有機溶剤又は水性現像液に溶解しない樹脂であることを特徴とする請求項１に記載のポジ型可視光感光性樹脂組成物。
- 請求項１記載のポジ型可視光感光性樹脂組成物と溶剤を含有してなるポジ型可視光感光性材料用組成物。
- 請求項１に記載のポジ型可視光感光性樹脂組成物を基材上に有してなるポジ型レジスト材料。
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