JP3874765B2 - プラズマディスプレイパネルの製造方法及びプラズマ表示装置の製造方法 - Google Patents

Description

この発明は、格子状隔壁を有するプラズマディスプレイパネルの製造方法、及びこのようなプラズマディスプレイパネルを使用したプラズマ表示装置の製造方法に関する。

最初に、プラズマディスプレイパネル及びプラズマ表示装置の概要と、これらの従来の製造方法とについて説明する。なお、理解しやすくするため、最初、放電空間を仕切る隔壁を一方向のみに設けた、ストライプ隔壁型プラズマディスプレイパネルの場合について説明する。
図４は、ストライプ隔壁型プラズマディスプレイパネルの概略的な構造を示す分解斜視図である。
図４に示すプラズマディスプレイパネル１００は、前面基板１０１と、背面基板１０２とから概略構成されている。

前面基板１０１には、図４上部に示すように、透明ガラス基板１０３と、透明ガラス基板１０３上に相互に平行に配置された、バス電極１１１およびバス電極１２１と、バス電極１１１に直交して設けられた透明電極からなる走査電極１１２と、バス電極１２１に直交して設けられた透明電極からなる維持電極１２２とが設けられている。透明ガラス基板１０３上には、バス電極１１１および１２１と、走査電極１１２及び維持電極１２２とを覆って透明誘電体層１３１が設けられているとともに、透明誘電体層１３１を覆って表面保護層１３２が設けられている。

背面基板１０２は、図４下部に示すように、透明ガラス基板１０４と、透明ガラス基板１０４上に形成された、走査電極１１２及び維持電極１２２と直交する方向に延在するデータ電極１０５と、データ電極１０５を覆って透明ガラス基板上に形成された白色誘電体層１０６と、白色誘電体層１０６上に形成された、表示セルを区画するための隔壁１０７と、誘電体層１０６の表面と隔壁１０７の側面とに形成された蛍光体層１０８とが設けられている。
蛍光体層１０８は、前面基板１０１と背面基板１０２との間に封入された放電ガスの放電によって発生する紫外線を可視光に変換するものであって、表示セルごとに、例えば光の３原色である赤（Ｒ），緑（Ｇ）及び青（Ｂ）の３色に塗り分けられている。

前面基板１０１と背面基板１０２とは、１００μｍ程度のギャップを隔てて、対向した状態で固定されており、その周辺部は封着材で気密封止されている。
前面基板１０１と背面基板１０２との間に形成される空間は、放電ガス空間となるものであり、この放電ガス空間内には、ヘリウム，ネオン，キセノンまたはこれらの混合ガスからなる放電ガスが充填されている。
背面基板１０２を構成する透明ガラス基板１０４には、適当な箇所に通気孔が形成されているとともに、透明ガラス基板１０４の外側表面には、図４では省略されているが、通気孔と位置を合わせて、通気管が気密状態を保った状態で取り付けられている。

通気管の、背面基板１０２に取り付けられている端部と反対側の端部は、製作当初は開口状態に保たれていて、通気管はこの開口した端部を経て、排気・ガス充填装置に接続される。
そして、排気・ガス充填装置によって、放電ガス空間を真空状態に排気したのち、放電ガス空間に放電ガスを充填する。放電ガスの充填が終了したのち、通気管は加熱溶融してチップオフされて、開口端部が閉塞される。
このようにして、放電ガス空間に放電ガスが充填されることによって、プラズマディスプレイ１００が完成する。

次に、図４に示されたプラズマディスプレイパネルの製造方法を概略的に説明する。
まず、前面基板１０１を通常知られた方法で製作する。そして前面基板１０１上に、走査電極１１２および維持電極１２２を形成したのち、周知のスクリーン印刷技法を使用して、走査電極１１２上にバス電極１１１を形成し、維持電極１２２上にバス電極１２１を形成する。
同様に、背面基板１０２を通常知られた方法で製作する。この際、データ電極１０５を、周知のスクリーン印刷技法を使用して形成する。
前面基板１０１，背面基板１０２のいずれか一方、または両方の周辺部に融着用部材を塗布したのち、クリップを用いて前面基板１０１と背面基板１０２を相互に対向した状態で固定する。

次いで、背面基板１０２の透明ガラス基板１０４に形成された通気孔の周囲に接着用部材を塗布して通気管を固定し、前面基板１０１と背面基板１０２相互間の封止と、通気管の背面基板１０２への固着とを同時に行う。
次いで、通気管及び通気孔を経て、プラズマディスプレイパネルの内部を排気したのち、放電ガスを充填する。
このようにして、プラズマディスプレイパネルが完成する。

次に、各表示セルごとに格子状隔壁によって仕切られた、格子状隔壁型プラズマディスプレイパネルについて説明する。
図５は、従来の、および本発明が適用される格子状隔壁型プラズマディスプレイパネルの概略的な構造を示す分解斜視図である。以下においては、主として、図４に示されたストライプ隔壁型プラズマディスプレイパネルとの相違点について説明するものとし、図４におけると同じものは同じ番号で示している。

図５に示された格子状隔壁型プラズマディスプレイパネル１００Ａにおいては、図４に示されたストライプ隔壁型プラズマディスプレイパネルにおける縦方向の隔壁１０７に対して横方向の隔壁が交差して設けられた形状になっていて、図５に示す格子状隔壁１０９を形成しており、それぞれの格子状隔壁内に、例えば長方形の放電空間１４０を形成するようになっている。
そして、前面基板１０１に設けられた、バス電極１１１に接続された走査電極１１２と、バス電極１２１に接続された維持電極１２２とが、それぞれの放電空間１４０の上側に位置して、背面基板１０２に設けられた、対応する位置に延在するデータ電極１０５と、放電空間１４０を介して向かい合うような位置関係になっている。

各放電空間１４０においては、動作時、第１のバス電極１１１に高圧パルスを印加することによって、走査電極１１２と、下部に位置する当該放電空間内のデータ電極１０５との間で、封入ガスの放電が開始される。その後、バス電極１１１への通電を停止して、第２のバス電極１２１に低圧パルスを印加することによって、維持電極１２２と走査電極１１２との間で放電が維持される。そして、封入ガスの放電によって発生した紫外線の刺激によって格子状隔壁１０９の内部に塗布されている蛍光体層１０８が、その蛍光体特有の色に発光する。
このように、格子状隔壁１０９内の放電空間１４０は、プラズマディスプレイパネルにおける、１画素を構成する３色のうちの一つの色の発光表示を行うので、単位表示セルと呼ばれる。また、走査電極および維持電極は、バス電極を介して画面を構成する画素の行方向に制御されるので行電極とも呼ばれる。これに対してデータ電極は、画面を構成する画素の列方向に制御されるので列電極とも呼ばれる。

前述したストライプ状格子を有するプラズマディスプレイパネルでは、隔壁が縦方向に平行に配置されているため、横方向の隣接セルとの間の干渉は抑制できるが、縦方向の隣接セル間の干渉を防止することが困難であって、そのため縦方向の隣接セル間の距離を広げなければならず、そのため、発光に寄与する画素の開口率が低下して、プラズマディスプレイパネルの輝度を向上させることが難しいという問題があったが、格子状隔壁を有するプラズマディスプレイパネルの場合は、このような問題がないので、縦方向に隣接する画素を構成する表示セルの間隔を狭めることができ、従って発光に寄与する画素の開口率を大きくして、プラズマディスプレイパネルの輝度を向上させることが容易なので、近年、広く用いられるようになっている。

以下、格子状隔壁型プラズマディスプレイパネルにおける、格子状隔壁の形成方法について説明する。
背面基板１０２上にデータ電極１０５を形成したのち、その上に白色誘電体層１０６を形成し、さらにその上に絶縁性ガラス粉末とバインダとを混合してなる隔壁材料を所定の厚みに塗布してから、隔壁材料上に感光性ドライフィルムを貼り付ける。
そして、所望のパターンが描かれたフォトマスクを介して、感光性ドライフィルムを露光して硬化させたのち現像処理を行って、隔壁材料上にパターン化されたレジストマスク層を形成する。

そして、サンドブラスト法によって研磨材の微粒子からなる切削材を高速で吹きつけて、レジストマスク層以外の部分を切削して除去することによって、隔壁材料内に白色誘電体層１０６に達するまで所要のパターンを掘り込んで格子状隔壁を形成する。その後、レジストマスク層を除去し、焼成を行って、隔壁部を固化させる。
そして、このようにして形成された格子状隔壁の内部に、それぞれの放電空間の発光色に応じた色の蛍光体を塗布して乾燥させることによって、表示セル内の白色誘電体層１０６上と格子状隔壁１０９の側壁とに、蛍光体層１０８を形成する。

このようにして形成された背面基板１０２に対して、前面基板１０１を重ね合わせて、それぞれの放電空間１４０の内部に、前面基板１０１の透明誘電体層１３１上に形成された走査電極１１２と維持電極１２２とが位置して、背面基板１０２のデータ電極１０５と向かい合うような位置関係を保つようにして、背面基板１０２と前面基板１０１とを接合したのち、各放電空間１４０の排気と放電ガスの封入とを行うことによって、プラズマディスプレイパネルが完成する。

格子状隔壁は、ストライプ状隔壁と比較して形状が複雑なため、形成が困難であったが、近年において開発されたサンドブラスト法は、他の製造方法に比べて微細加工が容易なため、サンドブラスト法を用いて製造された格子状隔壁を持つプラズマディスプレイパネルが広く用いられるようになった。
なお、このような格子状隔壁を有するプラズマディスプレイパネルについては、例えば、特許文献１に記載されたものがある。

図６は、従来、格子状隔壁型プラズマディスプレイパネルの製作に用いられていた、レジストマスクの形状を部分的に示したものである。
プラズマディスプレイパネルにおいて、格子状隔壁を形成するために、従来、用いられていたレジストマスク１４５は、図６に示すような形状を有するものであって、図５に示された放電空間１４０を形成する格子状隔壁１０９の上端の形状に対応するパターンからなる遮光部１４６と、遮光部以外の開口部１４７とからなることが示されている。

図７は、図６に示すようなレジストマスクを用いて、サンドブラスト法によって格子状隔壁の加工を行った場合に形成される、表示セルの形態を示したものである。
格子状隔壁を持つプラズマディスプレイパネルに対して、図６に示すような直線的な構成のレジストマスクを用いて、サンドブラスト法によって格子状隔壁の加工を行った場合、背面基板１０２上に形成される格子状隔壁１４８は、図７に示すように、格子状隔壁のコーナー部が丸くなっていて、図６のレジストマスク１４５に示されるような、コーナー部が角形に描かれたパターンに正しく対応した形状に形成されなくなり、これに伴って、隔壁内に形成される蛍光体層１４９もコーナー部が丸みを帯びたものとなっている。

これは、サンドブラスト法において使用される切削材の粒度をあまり細かくできないとともに、コーナー部では塗布された隔壁材料上のレジストパターンの開口率が小さくなるため、他の部分と比べて切削速度が低下するのと、前工程の感光性ドライフィルムの現像処理時、そのコーナー部の現像速度が他の部分と比べて遅くなるので、その部分の解像度が低下して、現像結果のレジストパターンのコーナー部が丸みを帯びたものとなるためである。

これに対して特許文献２においては、サンドブラスト法によって格子状隔壁を形成する際に、格子状隔壁のコーナー部に相当する位置に切れ込みパターンを有するマスクを用いることによって、放電空間に面した蛍光体層の内表面が角状に形成されるようにする、プラズマディスプレイパネルの製造方法が開示されている。
図８は、この従来技術において使用されるレジストマスク１５１を示したものであって、レジストマスク１５１の遮光部１５２の内側に形成される開口部１５３のコーナー部に、切れ込み１５４を設けたことが示されている。
このようなレジストマスク１５１を使用してサンドブラスト法によって格子状隔壁を形成すると、切れ込み１５４を設けたことによって空間が広がるため、コーナー部付近で発生する切削材粒子の相互衝突による速度低下に基づく、隔壁材料の切削速度の低下が低減されるので、格子状隔壁のコーナー部に切れ込みが形成されるようになる。

図９は、この従来技術のレジストマスク１５１を使用して背面基板上に形成された表示セル部の拡大平面図を示したものであって、格子状隔壁１５５がコーナー部に切れ込み１５６を有しているため、蛍光体ペーストの塗り込み時、過剰の蛍光体ペーストが切れ込み１５６に入ってゆくので、格子状隔壁１５５の内壁に形成された蛍光体層１５７は、その内表面が角状に形成されることが示されている。

図１０は、従来の及び本発明が適用されるプラズマ表示装置の概略的な構成を示すブロック図である。
図１０に示すプラズマ表示装置２００は、アナログインタフェース２２０と、プラズマディスプレイパネルモジュール２３０とから概略構成されている。プラズマディスプレイパネルモジュール２３０は、プラズマディスプレイパネル２５０を含んでいる。

アナログインタフェース２２０は、クロマ・デコーダを備えたＹ／Ｃ分離回路２２１と、Ａ／Ｄ変換回路２２２と、ＰＬＬ回路を備えた同期信号制御回路２２３と、画像フォーマット変換回路２２４と、逆γ（ガンマ）変換回路２２５と、システム・コントロール回路２２６と、ＰＬＥ制御回路２２７とから構成されている。
アナログインタフェース２２０は、概略的には、受信したアナログ映像信号をディジタル信号に変換したのち、これをプラズマディスプレイパネルモジュール２３０に供給する機能を有している。

例えば、テレビチューナから発信されたアナログ映像信号は、Ｙ／Ｃ分離回路２２１において、ＲＧＢの各色の輝度信号に分解されたのち、Ａ／Ｄ変換回路２２２においてディジタル信号に変換される。
その後、プラズマディスプレイパネルモジュール２３０の画素構成と映像信号の画素構成とが異なる場合には、画像フォーマット変換回路２２４において、必要な画像フォーマットの変換の処理が行われる。

プラズマディスプレイパネルにおける、入力信号に対する表示輝度の特性は線型的なものであるが、通常の映像信号はＣＲＴ（陰極線管）の特性に合わせて、予め補正（γ補正）が施されている。
そこで、Ａ／Ｄ変換回路２２２において、映像信号のＡ／Ｄ変換を行ったのち、逆γ変換回路２２５において、映像信号に対して逆γ変換を施して、線形特性に復元されたディジタル映像信号を生成する。このようにして生成されたディジタル映像信号は、ＲＧＢ映像信号として、プラズマディスプレイパネルモジュール２３０に出力される。

アナログ映像信号には、Ａ／Ｄ変換用のサンプリングクロック信号およびデータクロック信号が含まれていないため、同期信号制御回路２２３に内蔵されているＰＬＬ（位相同期ループ）回路が、アナログ映像信号と同時に供給される水平同期信号を基準として、サンプリングクロック信号およびデータクロック信号を生成して、プラズマディスプレイパネルモジュール２３０に供給する。
アナログインタフェース２２０のＰＬＥ制御回路２２７は、プラズマディスプレイパネルの輝度制御を行う。具体的には、平均輝度レベルが所定値以下である場合には表示輝度を上昇させ、平均輝度レベルが所定値を超える場合には、表示輝度を低下させるように制御する。
システム・コントロール回路２２６は、プラズマディスプレイパネルモジュール２３０に対して、各種制御信号を出力する。

プラズマディスプレイパネルモジュール２３０は、さらに、ディジタル信号処理・制御回路２３１と、パネル部２３２と、ＤＣ／ＤＣコンバータを内蔵するモジュール内電源回路２３３とから構成されている。
ディジタル信号処理・制御回路２３１は、入力インタフェース信号処理回路２３４と、フレームメモリ２３５と、メモリ制御回路２３６と、ドライバ制御回路２３７とを含んでいる。

例えば、入力インタフェース信号処理回路２３４に入力された映像信号の平均輝度レベルは、入力インタフェース信号処理回路２３４内の入力信号平均輝度レベル演算回路（不図示）によって計算されて、例えば５ビットデータとして出力される。
また、ＰＬＥ制御回路２２７は、平均輝度レベルに応じてＰＬＥ制御データを設定して、入力インタフェース信号処理回路２３４内の輝度レベル制御回路（不図示）に供給する。

ディジタル信号処理・制御回路２３１では、入力インタフェース信号処理回路２３４において、これらの各種信号の処理を行ったのち、制御信号をパネル部２３２に送信する。これと同時に、メモリ制御回路２３６はメモリ制御信号を、ドライバ制御回路２３７はドライバ制御信号を、それぞれパネル部２３２に送信する。

パネル部２３２は、前述したプラズマディスプレイパネルの製造方法によって製作されたプラズマディスプレイパネル２５０と、プラズマディスプレイパネル２５０の走査電極を駆動する走査ドライバ２３８と、プラズマディスプレイパネル２５０のデータ電極を駆動するデータドライバ２３９と、プラズマディスプレイパネル２５０および走査ドライバ２３８にパルス電圧を供給する高圧パルス回路２４０と、高圧パルス回路２４０からの余剰電力を回収する電力回収回路２４１とから構成されている。

プラズマディスプレイパネル２５０は、１３６５個×７６８個に配列された画素を有するものとして構成されている。プラズマディスプレイパネル２５０においては、走査ドライバ２３８が走査電極を制御し、データドライバ２３９がデータ電極を制御することによって、これらの画素のうちの所定の画素の点灯または非点灯が制御されて、所望の画像表示が行われる。
なお、ロジック用電源（不図示）が、ディジタル信号処理・制御回路２３１およびパネル部２３２にロジック用電力を供給している。さらに、モジュール内電源回路２３３は、表示用電源から直流電力を供給されて、この直流電力の電圧を所定の電圧に変換したのち、パネル部２３２に供給している。

次に、図１０に示されたプラズマ表示装置の製造方法を概略的に説明する。
まず、前述のプラズマディスプレイパネルの製造方法によって製作したプラズマディスプレイパネル２５０と、走査ドライバ２３８と、データドライバ２３９と、高圧パルス回路２４０と、電力回収回路２４１とを基板上に配置して、パネル部２３２を形成する。さらに、パネル部２３２とは別個に、ディジタル信号処理・制御回路２３１を形成する。

このようにして形成されたパネル部２３２およびディジタル信号処理・制御回路２３１とモジュール内電源回路２３３とを、一つのモジュールとして組み立てて、プラズマディスプレイパネルモジュール２３０を形成する。
さらに、プラズマディスプレイパネルモジュール２３０とは別個に、アナログインタフェース２２０を形成する。

このように、アナログインタフェース２２０と、プラズマディスプレイパネルモジュール２３０とをそれぞれ別個に形成したのち、双方を電気的に接続することによって、図１０に示されたようなプラズマ表示装置２００が完成する。
このように、プラズマディスプレイパネル２５０をモジュール化することによって、プラズマディスプレイパネル２５０を、プラズマ表示装置２００を形成する他の構成部品とは別個独立に製作することが可能になる。
従って、例えば、プラズマ表示装置２００において、プラズマディスプレイパネル２５０が故障した場合には、プラズマディスプレイパネルモジュール２３０ごと交換することによって、補修の簡素化および補修期間の短縮を図ることができるようになる。
特開２０００−１９５４３１号公報 特開２００３−１９７１１１号公報（段落００２６〜００２９，図２及び図３） 特開２００３−３０３５４２号公報（段落０００２〜０００４，図７）

格子状隔壁を持つプラズマディスプレイパネルに対して、サンドブラスト法によって格子状隔壁の加工を行う場合、格子状隔壁の高精細化に伴って、図６に示すような直線的な構成のレジストマスクを用いて切削を行っても、背面基板１０２上に形成される格子状隔壁１４８は、図７に示すように、格子状隔壁のコーナー部が丸くなっていて、図６のレジストマスク１４５に示されるような、コーナー部が角形に描かれていたパターンに正しく対応した格子状隔壁が形成されないという問題があった。
これは、サンドブラスト法において使用される切削材の粒度をあまり細かくできないとともに、コーナー部では塗布された隔壁材料上のレジストパターンの開口率が小さくなるため、他の部分と比べて切削速度が低下するのと、前工程の感光性ドライフィルムの現像処理時、そのコーナー部の現像速度が他の部分と比べて遅くなるので、その部分の解像度が低下して、現像結果のレジストパターンのコーナー部が丸みを帯びたものとなるためである。

このように、背面基板上に形成される格子状隔壁のコーナー部が丸くなると、表示セルにおける、実効的な放電空間が狭くなるため、放電の広がりが抑制されて、放電による紫外光の発生量が少なくなるとともに、蛍光体の塗布面積が縮小するため、紫外光を可視光に変換する際の効率が低下して、プラズマディスプレイパネルの輝度の低下を招くことを避けられなかった。

また、図８に示されたように、レジストマスク１５１における、遮光部１５２の縦隔壁と横隔壁との交差する部分に対応する位置のコーナー部に切れ込み１５４を設けて、このようなマスクを用いてサンドブラスト法によって切削して格子状隔壁の縦隔壁と横隔壁との交差する部分を角状に形成することは、切れ込み部１５４の大きさや切削材の噴出量，噴出速度等を調整しても、実際上は必ずしも容易ではなかった。
これは、サンドブラスト加工時に、このようなコーナー部分には、切削材が入り込みにくいためである。

すなわち、サンドブラスト法による隔壁形成は、例えば、特許文献３に記載されているような方法によって行われる。特許文献３に記載された隔壁形成方法はストライプ隔壁に対するものであるが、格子状（井桁状）隔壁の場合も同様であって、プラズマディスプレイパネルの行方向（横方向）に、切削材を吹き付けるためのノズルを複数配列し、プラズマディスプレイパネルを行方向に低速で移動させながら、ノズル列を列方向（縦方向）に往復走行させて、隔壁材料及びマスク材に対して切削材の吹き付けを行う。

この際、ノズル列は列方向に移動しながら切削材を吹き付けるため、切削材は多少斜めにマスク材に吹き付けられる形となり、そのため、列方向の切り込み加工は比較的容易に行われるが、行方向の切り込み加工は比較的困難である。
また、切削材は吹き付けられたのち、基板に衝突して跳ね返って排出されるが、長方形の格子状隔壁の場合、ノズルの走行方向は格子の長辺方向とされる。これは、ノズルの走行方向を格子の短辺方向とすると、切削材が排出されにくくなるため、切削速度が低下するためである。

格子状隔壁は、行方向の幅が列方向の幅に比べて広くされている。そこで幅が広い行方向の隔壁に切れ込みを入れることによって、プロセスマージンをより大きくすることができる。
また、サンドブラスト加工時、基板は行電極の配列方向に移動し、ノズルは基板の移動方向とは直交する方向に往復運動を行うので、隔壁に設ける切れ込みの方向も列方向とした方が、制御を容易にする上で好都合であるが、従来、サンドブラスト加工時のマスク形状に、これらの点についての配慮が施されることはなかった。

この発明は上述の事情に鑑みてなされたものであって、表示セルの放電空間を広くするとともに、蛍光体の塗布面積を大きくすることによって、プラズマディスプレイパネルの輝度を向上させることが可能な、プラズマディスプレイパネルの製造方法及びプラズマ表示装置の製造方法を提供することを目的としている。

上記課題を解決するため、請求項１記載の発明は、行電極を備えた前面基板と、前記行電極と交わる方向に延在する列電極を備えた背面基板とを、格子状隔壁を介して対向して配置したプラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、所定のフォトマスクを用いて、隔壁材料上に、前記格子状隔壁の形状に対応する格子状の開口部を有するレジストマスクパターン層を形成し、サンドブラスト法により前記レジストマスクパターン層によって被覆されていない前記隔壁材料を切削除去することで、前記格子状隔壁の形成を行うと共に、前記フォトマスクのパターンを反映して、前記開口部のコーナー部には、切り込みが設けられていて、かつ、前記各切れ込みの一辺が、前記開口部の四辺のうち、前記列電極と平行な一辺と同一直線上に、かつ、前記平行な一辺に連続して延設されていることを特徴としている。

また、請求項２記載の発明は、請求項１記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、前記格子状隔壁の前記列電極と交わる方向のパターン幅が、前記列電極と平行する方向のパターン幅より広い幅を有するように形成されていることを特徴としている。

また、請求項３記載の発明は、請求項１又は２記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、前記切れ込みが、方形状、又は三角形状をなすように形成されていることを特徴としている。

また、請求項４記載の発明は、行電極を備えた前面基板と、前記行電極と交わる方向に延在する列電極を備えた背面基板とを、行方向の幅が列方向の幅よりも大きい格子状隔壁を介して対向して配置したプラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、所定のフォトマスクを用いて、隔壁材料上に、前記格子状隔壁の形状に対応する格子状の開口部を有するレジストマスクパターン層を形成し、サンドブラスト法により前記レジストマスクパターン層によって被覆されていない前記隔壁材料を切削除去することで、前記格子状隔壁の形成を行うと共に、前記フォトマスクのパターンを反映して、前記開口部のコーナー部には、切り込みが設けられていて、かつ、前記各切れ込みの一辺が、前記開口部の四辺のうち、前記列電極と平行な一辺と同一直線上に、かつ、前記平行な一辺に連続して延設されていることを特徴としている。

また、請求項５記載の発明は、請求項１乃至４のいずれか一記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、上記切れ込みの幅と深さが３０μｍ以上５０μｍ未満であることを特徴としている。

また、請求項６記載の発明は、請求項１乃至５のいずれか一記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、前記列方向に走行するノズルから前記隔壁材料及び前記レジストマスクパターン層に切削材を吹き付けることによって隔壁を形成することを特徴としている。

また、請求項７記載の発明は、請求項１乃至６のいずれか一記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、前記フォトマスクは、前記格子状隔壁の形状に対応する格子状の開口部パターンを有すると共に、前記開口部のコーナー部には、切り込みが設けられていて、かつ、前記各切れ込みの一辺が、前記開口部の四辺のうち、前記列電極と平行な一辺と同一直線上に、かつ、前記平行な一辺に連続して延設されていることを特徴としている。

また、請求項８記載の発明は、プラズマディスプレイパネルを製造する第１の過程と、前記プラズマディスプレイパネルと、該プラズマディスプレイパネルを駆動する回路とを一つのモジュールとして製造する第２の過程と、画像信号のフォーマット変換を行って前記モジュールに送信するインタフェースを、前記モジュールに電気的に接続する第３の過程とを備えるプラズマ表示装置の製造方法に係り、請求項１乃至６のいずれか一記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法を用いて、前記第１の過程を実施することを特徴としている。

本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法およびプラズマ表示装置の製造方法によれば、格子状隔壁のコーナー部を角形に形成することができるため、表示セルの放電空間を広くし、蛍光体塗布面積を大きくすることができるので、プラズマディスプレイパネルの輝度を上げることができ、従って、製造コストを上昇させることなく、プラズマディスプレイパネルの性能を向上させることができる。

また、本発明によれば、レジストマスクを使用して、サンドブラスト法によって格子状隔壁を形成する際に、レジストマスクの開口部のコーナー部にのみ切れ込み設けたので、加工空間が拡がって、コーナー部付近における隔壁材料の切削速度を向上させることができ、従って、加工時間を短縮して、製造コストを低減することが可能になる。

行電極を備えた前面基板と、行電極と交わる方向に延在する列電極を備えた背面基板とを、格子状隔壁を介して対向して配置したプラズマディスプレイパネルを製造する際に、格子状隔壁の形状に対応したパターンにおける、列電極と交わる方向のパターンの、列電極と平行するパターンと接する両コーナー部にのみ切れ込みを設けたマスクを用いて格子状隔壁の形成を行う。

図１は、本発明の第１実施例である、プラズマディスプレイパネルの製造方法における、レジストマスクの形状を示す図、図２は、本実施例のレジストマスクを用いて製作された格子状隔壁の形状を例示する図である。
この発明における、プラズマディスプレイパネルの構成およびその製造方法、ならびにプラズマ表示装置の構成およびその製造方法は、図５および図１０に示された従来例の場合と同様なので、以下においては、これらについての詳細な説明を省略する。本発明は、従来技術と比較して、プラズマディスプレイパネルの背面基板に形成される格子状隔壁の製造方法、さらに詳しくは格子状隔壁を形成する際に用いられるサンドブラスト用レジストマスクの形状に、特に特徴があるものであり、以下においては、主としてこの点について詳細に説明する。

図１は、この例のプラズマディスプレイパネルの製造方法における、格子状隔壁形成のための、サンドブラスト用レジストマスクの一部を拡大して示したものであって、（ａ）は、横方向に連接する複数個の表示セルに対応するレジストマスク１を示し、（ｂ）は、さらにその一部の形状を詳細に示したものである。

この例のレジストマスク１は、図１（ａ）に示すように、格子状隔壁に対応する遮光部１１と、隔壁以外の部分に対応する開口部１２とからなっているが、遮光部１１の、格子状隔壁のデータ電極と交わる横方向の部分の、両側における縦方向の隔壁に接する部分には、切れ込み１３が設けられている。
図１に示されたレジストマスク１を使用して、サンドブラスト法によって格子状隔壁を形成する場合には、レジストマスク１のコーナー部に切れ込み１３が設けられているので、空間が拡がるため噴射される切削材に対する開口率が大きくなる。そのため、コーナー部付近において、吹きつけられる切削材による、隔壁材料の切削速度の低下を少なくすることができる。

プラズマディスプレイパネルにおける、単位表示セルの大きさは、例えば、４２型ＷＶＧＡ表示フォーマットにおける１個の正方形画素の場合、縦方向１．０８ｍｍ、横方向０．３６ｍｍとなり、５０型ＷＸＧＡ表示フォーマットにおける１個の正方形画素の場合、縦方向０．８１ｍｍ、横方向０．２７ｍｍとなる。
格子状隔壁の場合、データ電極と平行方向（以下、これを列方向とする）の隔壁幅は、十分な輝度を得るために５０〜８０μｍとされるのに対し、輝度にはそれほど影響を与えない、データ電極と交わる方向（以下、これを行方向とする）の隔壁幅は、列方向の隣接セルとの干渉を抑制するために太めにして、５０〜２００μｍに設定することができる。

また、通常、サンドブラスト加工では、マスクとなるレジストパターンの形状を考慮して、データ電極方向と平行な列方向に、切削材を噴射するノズルを往復運動させている。そこで、サンドブラスト加工中における、レジストマスクの剥離による隔壁切れを防止しながら、格子状隔壁のコーナー部を歪みのない角形とするために、切れ込み１３は、データ電極と交わる行方向のパターンのみに設けることが必要になる。
また、切れ込み１３は、図１（ｂ）に示すように、切れ込み量ａで示されるその幅と、切れ込み量ｂで示されるその深さ（奥行き）とは、表示セルサイズおよび隔壁幅に応じて、３０〜５０μｍの範囲に形成することが望ましい。

サンドブラスト法での加工精度では、隔壁幅を５０μｍ以上とした場合、１０μｍ以下の精度で、格子状隔壁を形成することができる。従って、サンドブラスト法は、数十μｍの制御性を持つ隔壁形成方法であるということができ、格子状隔壁のコーナー部に、３０〜５０μｍの大きさを持つ切れ込みを形成することが可能である。
図２は、この例のプラズマディスプレイパネルの製造方法によった場合の、格子状隔壁２１と、その内部に形成された蛍光体層２２とを例示したものであって、格子状隔壁２１と蛍光体層２２とが、正しい角形に形成されていることが示されている。

このように、この例のプラズマディスプレイパネルの製造方法によれば、格子状隔壁のコーナー部を角形に形成することができるので、表示セルの放電空間を広くし、かつ蛍光体塗布面積を大きくすることができ、従って、プラズマディスプレイパネルの輝度を上げることができる。しかも、その製造方法は従来の場合と同じであるから、製造コストを上昇させることなく、プラズマディスプレイパネルの性能を向上させることができる。

また、レジストマスクを使用して、サンドブラスト法によって格子状隔壁を形成する場合に、レジストマスクの開口部のコーナー部に切れ込みを設けることによって、加工空間が拡がるため、コーナー部付近で発生する隔壁材料の切削速度の低下を少なくすることができる。そのため、切れ込みの幅や深さを調節することによって、格子状隔壁のコーナー部における隔壁材料の切削速度を向上させながら、格子状隔壁を歪みのない角形状に形成することが可能である。

図３は、本発明の第２実施例である、プラズマディスプレイパネルの製造方法における、レジストマスクの形状を示す図である。
図３は、この例のプラズマディスプレイパネルの製造方法における、格子状隔壁形成のための、サンドブラスト用レジストマスクの一部を拡大して示したものである。

この例のレジストマスク１Ａは、図３に示すように、格子状隔壁に対応する遮光部１１Ａと、隔壁以外の部分に対応する開口部１２Ａとからなっているが、遮光部１１Ａの、データ電極と交わる方向（行方向）の格子状隔壁に対応するパターンと、両側のデータ電極と平行する方向（列方向）の格子状隔壁に対応するパターンとが交わる部分には、行方向のパターンの幅を、中央寄りの部分から列方向のパターンに向かってテーパー状に次第に狭くする三角形状の切れ込み１３Ａが、行方向のパターンの上下両側に設けられている。

図１に示された第１実施例の場合のレジストマスク１を使用して、サンドブラスト法によって格子状隔壁を形成する場合に、切れ込み１３の形状における幅ａや深さｂの調整だけでは、加工後の隔壁コーナー部を、正しい角形に制御することが困難な場合がある。
しかしながら、この例のレジストマス１Ａの場合は、コーナー部の切れ込み量が列方向のパターンに近い側ほど大きくなっているので、サンドブラスト時の切削量が列方向のパターンに近い側ほど大きくなり、従って、切れ込み量が、列方向のパターンに近い側と遠い側とが同じである第１実施例の場合と比較して、より容易にサンドブラスト加工後のコーナー部を歪みのない角形状に形成することができる。

この例のプラズマディスプレイパネルの製造方法の場合も、切れ込み１３Ａの幅と深さ（奥行き）は、表示セルサイズおよひ隔壁幅に応じて、３０〜５０μｍの範囲で形成することが望ましい。

このように、この例のプラズマディスプレイパネルの製造方法によれば、第１実施例の場合と同様に、格子状隔壁のコーナー部を角形に形成することができるので、表示セルの放電空間を広くし、かつ蛍光体塗布面積を大きくすることができ、従って、プラズマディスプレイパネルの輝度を上げることができるとともに、その製造方法は従来の場合と同じであるから、製造コストを上昇させることなく、プラズマディスプレイパネルの性能を向上させることができる。

また、レジストマスクを使用して、サンドブラスト法によって格子状隔壁を形成する場合に、レジストマスクの開口部のコーナー部にテーパー状の切れ込みを設けることによって、加工空間が拡がるため、コーナー部付近で発生する隔壁材料の切削速度の低下を少なくすることができる。そのため、切れ込みの幅や深さを調節することによって、格子状隔壁のコーナー部における隔壁材料の切削速度を向上させながら、格子状隔壁のコーナー部を歪みのない角形状に形成することができることも、第１実施例の場合と同様である。

以上、この発明の実施例を図面により詳述してきたが、具体的な構成はこの実施例に限られたものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があってもこの発明に含まれる。例えば、格子状隔壁の形成方法は、サンドブラスト法に限らず、パターン化したスクリーン版を用いて、ペースト状の隔壁材料を多重に印刷して形成する印刷法や、感光性ドライフィルムレジストにパターンを形成して、隔壁材料を埋め込んだのちレジストを除去して隔壁を形成するアディティブ法によってもよい。なお、印刷法やアディティブ法の場合に使用するマスクパターンは、サンドブラスト法の場合のレジストマスクの反転パターンとする必要があることはいうまでもない。また、第２実施例の場合に、列方向のパターンより遠い側から列方向のパターンに近い側に向かってテーパー状に直線的に大きくなる三角形状の切れ込みを設ける代わりに、列方向のパターンに近づくに従って、切れ込み量が曲線的に変化する形状の切れ込みを設けることによって、格子状隔壁のコーナー部をより一層歪みのない角形状に形成することも可能である。

この発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法及びプラズマ表示装置の製造方法は、テレビ用プラズマディスプレイパネル及びテレビ用プラズマ表示装置に限らず、あらゆる種類のコンピュータ装置，制御装置，計測装置，娯楽用装置及びその他の各種装置の表示器として使用されるプラズマディスプレイパネル及びプラズマ表示装置において利用することが可能である。

本発明の第１実施例である、プラズマディスプレイパネルの製造方法における、レジストマスクの形状を示す図である。 同実施例のレジストマスクを用いて製作された格子状隔壁の形状を例示する図である。 本発明の第２実施例である、プラズマディスプレイパネルの製造方法における、レジストマスクの形状を示す図である。 ストライプ隔壁型プラズマディスプレイパネルの概略的な構造を示す分解斜視図である。 従来の、および本発明が適用される格子状隔壁型プラズマディスプレイパネルの概略的な構造を示す分解斜視図である。 格子状隔壁型プラズマディスプレイパネルの製作に用いられていた、第１の従来例のレジストマスクの形状を示す図である。 同従来例のプラズマディスプレイパネル製作用レジストマスクによって加工された、表示セルの形状を例示する図である。 格子状隔壁型プラズマディスプレイパネルの製作に用いられていた、第２の従来例のレジストマスクの形状を示す図である。 同従来例のプラズマディスプレイパネル製作用レジストマスクによって加工された、表示セルの形状を例示する図である。 従来の、および本発明が適用されるプラズマ表示装置の概略的な構成を示すブロック図である。

符号の説明

１，１Ａ レジストマスク
１１，１１Ａ 遮光部
１２，１２Ａ 開口部
１３，１３Ａ 切れ込み
２１ 格子状隔壁
２２ 蛍光体層
１００Ａ 格子状隔壁型プラズマディスプレイパネル
１０１ 前面基板
１０２ 背面基板
１０５ データ電極（列電極）
１０９ 格子状隔壁
１１１，１２１ バス電極
１１２ 走査電極（行電極）
１２２ 維持電極（行電極）

Claims (8)

1. 行電極を備えた前面基板と、前記行電極と交わる方向に延在する列電極を備えた背面基板とを、格子状隔壁を介して対向して配置したプラズマディスプレイパネルの製造方法において、
   所定のフォトマスクを用いて、隔壁材料上に、前記格子状隔壁の形状に対応する格子状の開口部を有するレジストマスクパターン層を形成し、サンドブラスト法により前記レジストマスクパターン層によって被覆されていない前記隔壁材料を切削除去することで、前記格子状隔壁の形成を行うと共に、
   前記フォトマスクのパターンを反映して、前記開口部のコーナー部には、切り込みが設けられていて、かつ、前記各切れ込みの一辺が、前記開口部の四辺のうち、前記列電極と平行な一辺と同一直線上に、かつ、前記平行な一辺に連続して延設されていることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
2. 前記格子状隔壁の前記列電極と交わる方向のパターン幅が、前記列電極と平行する方向のパターン幅より広い幅を有するように形成されていることを特徴とする請求項１記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
3. 前記切れ込みが、方形状、又は三角形状をなすように形成されていることを特徴とする請求項１又は２記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
4. 行電極を備えた前面基板と、前記行電極と交わる方向に延在する列電極を備えた背面基板とを、行方向の幅が列方向の幅よりも大きい格子状隔壁を介して対向して配置したプラズマディスプレイパネルの製造方法において、
   所定のフォトマスクを用いて、隔壁材料上に、前記格子状隔壁の形状に対応する格子状の開口部を有するレジストマスクパターン層を形成し、サンドブラスト法により前記レジストマスクパターン層によって被覆されていない前記隔壁材料を切削除去することで、前記格子状隔壁の形成を行うと共に、
   前記フォトマスクのパターンを反映して、前記開口部のコーナー部には、切り込みが設けられていて、かつ、前記各切れ込みの一辺が、前記開口部の四辺のうち、前記列電極と平行な一辺と同一直線上に、かつ、前記平行な一辺に連続して延設されていることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
5. 前記切れ込みの幅と深さが３０μｍ以上５０μｍ未満であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
6. 前記列方向に走行するノズルから前記隔壁材料及び前記レジストマスクパターン層に切削材を吹き付けることによって隔壁を形成することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
7. 前記フォトマスクは、前記格子状隔壁の形状に対応する格子状の開口部パターンを有すると共に、前記開口部のコーナー部には、切り込みが設けられていて、かつ、前記各切れ込みの一辺が、前記開口部の四辺のうち、前記列電極と平行な一辺と同一直線上に、かつ、前記平行な一辺に連続して延設されていることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
8. プラズマディスプレイパネルを製造する第１の過程と、
   前記プラズマディスプレイパネルと、該プラズマディスプレイパネルを駆動する回路とを一つのモジュールとして製造する第２の過程と、
   画像信号のフォーマット変換を行って前記モジュールに送信するインタフェースを、前記モジュールに電気的に接続する第３の過程とを備えるプラズマ表示装置の製造方法であって、
   請求項１乃至６のいずれか一記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法を用いて、前記第１の過程を実施することを特徴とするプラズマ表示装置の製造方法。

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