JP3737730B2 - 流体ユニットの製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、吸着用パッド等の作業機器に対して負圧流体を供給することが可能な流体ユニットの製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来から、吸着用パッドに対して負圧流体を供給する流体ユニットが使用されており、前記吸着用パッドによってワークを吸着することにより、該ワークを所望の位置に搬送することが行われている。
【0003】
ここで、本出願人が案出した流体ユニットを図8に示す。
【0004】
この流体ユニット2は、第1シール部材4、第1中間プレート6、第2シール部材8を介して上部に電磁弁10が搭載される第1弁機構ブロック12と、第3シール部材14を介して第1弁機構ブロック12に連結される第2弁機構ブロック16とを含む。
【0005】
前記第2弁機構ブロック16の一側面には、第4シール部材18、第2中間プレート20および第5シール部材22を介してエゼクタブロック24が連結され、さらに、第6シール部材26を介してフィルタブロック28が連結される。
【0006】
この場合、各第1乃至第6シール部材4、8、14、18、22、26は、それぞれ隣接するブロックの間、またはブロックと中間プレートとの間に装着されて相互に連通する各ブロック間またはブロックと中間プレート間の通路を気密にシールする機能を営む。
【0007】
なお、各種ブロックおよび中間プレートは、複数のボルト等を介して連結されることにより、流体ユニット2が組み付けられる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、本出願人が案出した前記流体ユニットの改良に関するものであり、装置を構成する部品点数を削減して、組み付け作業を簡便化するとともに、製造コストを低減することが可能な流体ユニットの製造方法を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
前記の目的を達成するために、本発明は、流体ユニットを構成する第1弁機構ブロック、第2弁機構ブロック、エゼクタブロック、フィルタブロックおよび第1中間プレート、第2中間プレートを金型を用いてそれぞれ樹脂成形し、前記第1弁機構ブロックの一側面と前記第2弁機構ブロックの一側面とが接合される部位、前記第1弁機構ブロックの上面と前記第1中間プレートとが接合される部位、前記一側面とは反対側の前記第2弁機構ブロックの他側面と前記第2中間プレートの一側面とが接合される部位、前記第2中間プレートの他側面と前記エゼクタブロックの一側面とが接合される部位、前記一側面とは反対側の前記エゼクタブロックの他側面と前記フィルタブロックの一側面とが接合される部位に、それぞれ、シール部材の形状に対応する形状からなる環状突起部と環状凹部とを形成する工程と、
前記環状突起部を前記環状凹部に臨ませた状態で超音波溶着することにより、前記環状凹部に沿って前記環状突起部が溶融し、前記第1弁機構ブロックの一側面と前記第2弁機構ブロックの一側面、前記第1弁機構ブロックの上面と前記第1中間プレート、前記第2弁機構ブロックの他側面と前記第2中間プレートの一側面、前記第2中間プレートの他側面と前記エゼクタブロックの一側面、前記エゼクタブロックの他側面と前記フィルタブロックの一側面がそれぞれ一体的に接合されるとともに、前記接合部位によって、前記第1弁機構ブロックと前記第2弁機構ブロックとの間、前記第1弁機構ブロックと第1中間プレートとの間、前記第2中間プレートが介装された前記第2弁機構ブロックと前記エゼクタブロックとの間、前記エゼクタブロックと前記フィルタブロックとの間をそれぞれ連通する通路がシールされる工程と、
を有し、
前記環状突起部は、縦断面が下側に向かって徐々に幅狭となる略台形状に形成され、
前記環状凹部の相互に対向する壁面には、それぞれ、超音波溶着した際に発生するバリの飛び出しを防止するとともにバリ溜まり用の一組の溝部が設けられることを特徴とする。
【0010】
本発明によれば、流体ユニットを構成する第1弁機構ブロック、第2弁機構ブロック、エゼクタブロック、フィルタブロックからなる各種ブロック間、および前記各種ブロックと第1中間プレート並びに第2中間プレートからなる各中間プレートとの間を超音波溶接することにより、各接合部位によってシール機能が発揮され、従来から使用されていた複数のシール部材が不要となるとともに、組み付け作業が簡素化される。
【0011】
【発明の実施の形態】
本発明に係る流体ユニットの製造方法について好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。
【0012】
なお、図8に示す流体ユニットと同一の構成要素には、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【0013】
樹脂製材料を用い、第1弁機構ブロック12、第2弁機構ブロック16、エゼクタブロック24、フィルタブロック28等の各種ブロックおよび第1、第2中間プレート6、20等を図示しない金型によってそれぞれ樹脂成形する(図1参照)。
【0014】
前記金型による樹脂成形の工程では、例えば、図2および図3に示されるように、第1弁機構ブロック12と電磁弁10との間に介装される第1中間プレート6の下面に、第1弁機構ブロック12側に向かって所定長だけ突出し、従来において使用されていた第2シール部材8の形状に対応する形状からなる第1環状突起部30aを形成する。この第1環状突起部30aは、図5に示されるように、縦断面が下側に向かって徐々に幅狭となる略台形状に形成され、後述する第2乃至第6環状突起部30b乃至30fも同様の形状に形成される。
【0015】
前記第1環状突起部30aに対向する第1弁機構ブロック12の上面には、図2および図4に示されるように、前記第2シール部材8の形状に対応する形状からなり、前記第1中間プレート6の第1環状突起部30aが臨む第1環状凹部32aを形成する。
【0016】
また、第1弁機構ブロック12に連結される第2弁機構ブロック16の一側面には、前記第3シール部材14の形状に対応する形状からなる第2環状突起部30bが形成される(図1参照)。前記第2環状突起部30bに対向する第1弁機構ブロック12の一側面には、前記第3シール部材14の形状に対応する形状からなり、前記第2環状突起部30bが臨む第2環状凹部32bが形成される(図7参照)。
【0017】
さらに、第2弁機構ブロック16とエゼクタブロック24との間に介装される第2中間プレート20には、第2弁機構ブロック16に連結される一側面側に前記第4シール部材18の形状に対応する形状からなる第3環状突起部30cが形成され、一方、エゼクタブロック24に連結される一側面側に前記第5シール部材22の形状に対応する形状からなる第4環状突起部30dがそれぞれ形成される(図7参照)。
【0018】
この場合、第2中間プレート20が連結される第2弁機構ブロック16の一側面には、前記第4シール部材18の形状に対応する形状からなり、前記第3環状突起部30cが臨む第3環状凹部32cが形成される(図7参照)。第2中間プレート20が連結されるエゼクタブロック24の一側面には、前記第5シール部材22の形状に対応する形状からなり、前記第4環状突起部30dが臨む第4環状凹部32dが形成される(図1参照)。
【0019】
さらにまた、フィルタブロック28が連結されるエゼクタブロック24の一側面には、前記第6シール部材26の形状に対応する形状からなる第5環状突起部30eが形成され、エゼクタブロック24に対向するフィルタブロック28の一側面には、前記第6シール部材26の形状に対応する形状からなり、前記第5環状突起部30eが臨む第5環状凹部32eが形成される(図7参照)。
【0020】
またさらに、第1中間プレート6が連結される電磁弁10の底面には、前記第1シール部材4の形状に対応する形状からなる第6環状突起部30fが形成され(図7参照)、前記電磁弁10に対向する第1中間プレート6の上面には、前記第1シール部材4の形状に対応する形状からなり、前記第6環状突起部30fが臨む第6環状凹部32fが形成される(図1参照)。
【0021】
なお、前記第1乃至第6環状凹部32a乃至32fの相互に対向する壁面には、それぞれ、図6に示されるように、超音波溶接した際に発生するバリの飛び出しを防止するとともに、バリ溜まり用の一組の溝部34a、34bを形成するとよい。
【0022】
このように各ブロックおよび中間プレートのそれぞれの接合部位に環状突起部および環状凹部を形成し、前記環状突起部を対応する環状凹部に臨ませた状態で超音波溶接作業を遂行する。
【0023】
例えば、図示しない超音波溶接装置を構成する一組の溶接チップ(図示せず)の間に第1弁機構ブロック12と第1中間プレート6とを挟み、一方の溶接チップに超音波の振動エネルギを付与して溶接チップを横方向に振動させる。この振動発熱により第1中間プレート6に形成された第1環状突起部30aの先端部に応力が集中し、該第1環状突起部30aを第1環状凹部32aの形状に沿って変形させる(図6参照)。その際、第1環状凹部32aに形成された溝部34a、34bによってバリの飛び出しが防止されるとともに、バリが溜められる。
【0024】
第1中間プレート6に形成された第1環状突起部30aが第1弁機構ブロック12の第1環状凹部32aの形状に沿って溶融し、前記第1環状突起部30aが第1環状凹部32a内に係止されることにより、前記第1中間プレート6が第1弁機構ブロック12の上面部に接合される。この場合、相互に接合される前記第1環状突起部30aおよび第1環状凹部32aは、従来から使用されている第2シール部材8の形状に沿って形成されているため、前記超音波溶着された接合部位によってシール機能が発揮される。
【0025】
換言すると、電磁弁の通路36a乃至36cと第1弁機構ブロック12に形成された通路38a乃至38cとを連通させる連通路40a乃至40cの気密性が前記超音波溶着された接合部位によって保持される(図7参照)。
【0026】
従って、本実施の形態では、第1中間プレート6と第1弁機構ブロック12との間に介装されていた第2シール部材8が不要となるとともに、ボルト等による組み付け作業が簡素化される。
【0027】
同様にして、電磁弁10と第1中間プレート6、第1弁機構ブロック12と第2弁機構ブロック16、第2弁機構ブロック16と第2中間プレート20、第2中間プレート20とエゼクタブロック24、前記エゼクタブロック24とフィルタブロック28をそれぞれ超音波溶接することにより、各ブロックが一体的に結合されて流体ユニット42が完成する(図7参照)。
この場合、電磁弁10と第1中間プレート6との間に装着される第1シール部材4、第1弁機構ブロック12と第2弁機構ブロック16との間に装着される第3シール部材14、第2弁機構ブロック16と第2中間プレート20との間に装着される第4シール部材18、第2中間プレート20とエゼクタブロック24との間に装着される第5シール部材22、エゼクタブロック24とフィルタブロック28との間に装着される第6シール部材26がそれぞれ不要となる。
【0028】
従って、本実施の形態では、従来から使用されていた第1乃至第6シール部材4、8、14、18、22、26を不要として部品点数を削減することができるとともに、隣接するブロックを組み付ける際の組み付け作業が簡便化することにより、製造コストを低減することができる。
【0029】
なお、図示しないボルトを補助的に設けることにより、超音波溶着部位の接続部位における締結力を確保することができる。また、前記ボルトに代替して組み合わせ構造としてもよい。
【0030】
【発明の効果】
本発明によれば、以下の効果が得られる。
【0031】
すなわち、従来から使用されていた複数のシール部材が不要となるため、部品点数が削減されるとともに、各種ブロックの組み付け作業が簡素化されるため、製造コストを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態に係る流体ユニットの製造方法によって製造される流体ユニットの分解斜視図である。
【図2】樹脂成形によって形成された第1中間プレートと第1弁機構ブロックとの一部省略斜視図である。
【図3】図2に示される第1中間プレートの底面図である。
【図4】図2に示される第1弁機構ブロックの平面図である。
【図5】各種ブロックまたは中間プレートに形成された環状突起部が環状凹部に臨んだ超音波溶接前の状態を示す一部省略縦断面図である。
【図6】各種ブロックまたは中間プレートに形成された環状突起部が環状凹部に臨んだ超音波溶接後の状態を示す一部省略縦断面図である。
【図7】超音波溶接によって各種ブロックおよび中間プレート等が一体的に結合された流体ユニットの部分縦断面図である。
【図8】本出願人が案出した流体ユニットの分解斜視図である。
【符号の説明】
4、8、14、18、22、26…シール部材
6、20…中間プレート 10…電磁弁
12、16…弁機構ブロック 24…エゼクタブロック
28…フィルタブロック 30a〜30f…環状突起部
32a〜32f…環状凹部 34a、34b…溝部
36a〜36c、38a〜38c…通路 40a〜40c…連通路
42…流体ユニット
Claims (1)
- 流体ユニットを構成する第1弁機構ブロック、第2弁機構ブロック、エゼクタブロック、フィルタブロックおよび第1中間プレート、第2中間プレートを金型を用いてそれぞれ樹脂成形し、前記第1弁機構ブロックの一側面と前記第2弁機構ブロックの一側面とが接合される部位、前記第1弁機構ブロックの上面と前記第1中間プレートとが接合される部位、前記一側面とは反対側の前記第2弁機構ブロックの他側面と前記第2中間プレートの一側面とが接合される部位、前記第2中間プレートの他側面と前記エゼクタブロックの一側面とが接合される部位、前記一側面とは反対側の前記エゼクタブロックの他側面と前記フィルタブロックの一側面とが接合される部位に、それぞれ、シール部材の形状に対応する形状からなる環状突起部と環状凹部とを形成する工程と、
前記環状突起部を前記環状凹部に臨ませた状態で超音波溶着することにより、前記環状凹部に沿って前記環状突起部が溶融し、前記第1弁機構ブロックの一側面と前記第2弁機構ブロックの一側面、前記第1弁機構ブロックの上面と前記第1中間プレート、前記第2弁機構ブロックの他側面と前記第2中間プレートの一側面、前記第2中間プレートの他側面と前記エゼクタブロックの一側面、前記エゼクタブロックの他側面と前記フィルタブロックの一側面がそれぞれ一体的に接合されるとともに、前記接合部位によって、前記第1弁機構ブロックと前記第2弁機構ブロックとの間、前記第1弁機構ブロックと第1中間プレートとの間、前記第2中間プレートが介装された前記第2弁機構ブロックと前記エゼクタブロックとの間、前記エゼクタブロックと前記フィルタブロックとの間をそれぞれ連通する通路がシールされる工程と、
を有し、
前記環状突起部は、縦断面が下側に向かって徐々に幅狭となる略台形状に形成され、
前記環状凹部の相互に対向する壁面には、それぞれ、超音波溶着した際に発生するバリの飛び出しを防止するとともにバリ溜まり用の一組の溝部が設けられることを特徴とする流体ユニットの製造方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001306148A JP3737730B2 (ja) | 2001-10-02 | 2001-10-02 | 流体ユニットの製造方法 |
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001306148A JP3737730B2 (ja) | 2001-10-02 | 2001-10-02 | 流体ユニットの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003113807A JP2003113807A (ja) | 2003-04-18 |
JP3737730B2 true JP3737730B2 (ja) | 2006-01-25 |
Family
ID=19125828
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001306148A Expired - Fee Related JP3737730B2 (ja) | 2001-10-02 | 2001-10-02 | 流体ユニットの製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6983765B2 (ja) |
JP (1) | JP3737730B2 (ja) |
KR (1) | KR100470955B1 (ja) |
CN (1) | CN1210138C (ja) |
DE (1) | DE10244680B4 (ja) |
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-
2001
- 2001-10-02 JP JP2001306148A patent/JP3737730B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2002
- 2002-09-24 DE DE10244680A patent/DE10244680B4/de not_active Expired - Fee Related
- 2002-09-29 CN CNB021442355A patent/CN1210138C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2002-10-01 KR KR10-2002-0059889A patent/KR100470955B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2002-10-01 US US10/260,579 patent/US6983765B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1210138C (zh) | 2005-07-13 |
DE10244680A1 (de) | 2003-05-22 |
CN1410249A (zh) | 2003-04-16 |
KR100470955B1 (ko) | 2005-03-10 |
KR20030028717A (ko) | 2003-04-10 |
US20030062092A1 (en) | 2003-04-03 |
DE10244680B4 (de) | 2004-05-27 |
JP2003113807A (ja) | 2003-04-18 |
US6983765B2 (en) | 2006-01-10 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050427 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050517 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050708 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050927 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20051027 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |