JP3779174B2 - 蒸着組成物、それを利用した反射防止膜の形成方法及び光学部材 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、蒸着組成物、それを利用した反射防止膜の形成方法及び光学部材に関する。
【０００２】
【従来の技術】
合成樹脂からなる光学部材の表面反射特性を改善するために、合成樹脂の表面上に反射防止膜を施すことは良く知られている。例えば特開昭５６―１１６００３号公報には、基板をＣＲ―３９（ジエチレングリコールビスアリルカーボネート）樹脂とし、ＣＲ―３９樹脂上に、基板側から順にＳｉＯ₂ からなる膜厚が１．５λの下地層と、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ₂）層と二酸化ケイ素（ＳｉＯ₂ ）層とによって構成される２層等価膜からなる合計膜厚が約０．２５λの第１層と、ＺｒＯ₂ からなる膜厚が約０．５０λの第２層と、ＳｉＯ₂ からなる膜厚が約０．２５λの第３層とを有する反射防止膜を設けた光学部材が開示されている。
【０００３】
しかしながら、樹脂基板はガラス基板のように蒸着時の基板温度を高くして反射防止膜を成膜することができない。そのため、蒸着により形成された、例えばＺｒＯ₂ からなる層は耐熱性が十分とは言えない。さらに、ＺｒＯ₂ からなる層は経時的にもその耐熱性が大きく低下してしまいやすい。このような反射防止膜全体の耐熱性が不充分であり、かつ経時的にも耐熱性が大きく低下する光学部材は、例えば眼鏡レンズとしては実用上問題が生じる場合がある。何故なら、プラスチック製眼鏡フレームは眼鏡レンズ枠入れする際に加熱され、この熱が眼鏡レンズにも伝熱するからである。耐熱性の低い反射防止膜では熱膨張率等の違いによりクラック（ひび割れ）を生じることがある。
【０００４】
このような耐熱性の問題を解決するものとして、例えば特開平２―２９１５０２号公報には、高屈折率層に、酸化タンタル（Ｔａ₂Ｏ₅ ）、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ₂ ）及び酸化イットリウム（Ｙ₂ Ｏ₃ ）を含む蒸着膜を用いた反射防止膜を有する光学部材と、Ｔａ₂Ｏ₅、ＺｒＯ₂ 及びＹ₂ Ｏ₃ を含む蒸着膜を形成する蒸着組成物が開示されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記の特開平２―２９１５０２号に開示されているＴａ₂Ｏ₅、ＺｒＯ₂ およびＹ₂ Ｏ₃ を含有する蒸着組成物は反射防止膜を形成するのに比較的長い時間を要し、作業効率上好ましくない。
また特に眼鏡分野では、プラスチックレンズを基板とし、耐熱性が極めてよく、かつ耐熱性の低下の程度ができるだけ小さい反射防止膜を有する新たな光学部材が求められている。
【０００６】
本発明の第１の目的は、合成樹脂のように低温で蒸着しなければならない材料を基板とし、しかも耐熱性が良好で、且つ経時的に耐熱性が低下する程度が小さい反射防止膜を有する光学部材を提供することにある。
また、本発明の第２の目的は、高屈折率層が本来有する物性を損なうことなく、且つより短い時間で高屈折率層を形成することができる蒸着組成物及び反射防止膜の形成方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明者等は上記目的を達成するために鋭意検討した結果、蒸着組成物として、従来の酸化ジルコニウム及び酸化イットリウムに加えて，酸化ニオブ、或いは更に酸化アルミニウムを含有させ、かかる蒸着組成物を用いて反射防止膜を施すことにより、耐熱性が良好な多層反射防止膜が得られ、蒸着膜の形成を短時間で行えることを見出し，本発明に到達した。
本発明の第１の態様は、酸化ニオブ、酸化ジルコニウム及び酸化イットリウム、或いは更に酸化アルミニウムを含有することを特徴とする蒸着組成物である。本発明の第２の態様は、酸化ニオブ、酸化ジルコニウム及び酸化イットリウムの粉末、或いは更に酸化アルミニウムを加えた粉末を焼結し、得られた焼結体から混合酸化物の蒸気を発生させ、発生した蒸発物を基板上に析出させることを特徴とする反射防止膜の形成方法である。
本発明の第３の態様は、前記第２の態様の方法より形成された反射防止膜をプラスチック基板に施してなる光学部材である。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明について詳細に説明する。
本発明の蒸着組成物は、酸化ニオブ粉末、酸化ジルコニウム粉末及び酸化ジルコニウム粉末を含む混合粉末、好ましくは、Ｎｂ₂ Ｏ₅粉末、ＺｒＯ₂ 粉末およびＹ₂ Ｏ₃ 粉末を含む混合粉末、或いはＮｂ₂ Ｏ₅粉末、ＺｒＯ₂ 粉末、Ｙ₂ Ｏ₃粉末及びＡｌ₂ Ｏ₃ 粉末を含む混合粉末を焼結することによって得られ、従来のＺｒＯ₂を焼結することによって得られる蒸着組成物と比較して、蒸着膜形成時間が速くなり、高い生産性が得られる。
【０００９】
本発明における３成分を混合する意図として、酸化ニオブのみによる蒸着原料には、ペレットを電子銃にて加熱する際のスプラッシュの発生がある。スプラッシュには微粒子をレンズ面に付着させる影響があり、不良品の原因となっている。また、薄膜が着色（吸収）が発生しやすく、耐酸性、耐アルカリ性などの薬品耐性が弱い傾向を改善する為に複数成分を混合する。
酸化ジルコニウム（ＺｒＯ₂）添加は、酸化ニオブのみのペレットを電子銃で過熱する際の膜ハゲ不良、不純物の付着等の原因となるスプラッシュを低減させる効果があり、安定した品質の蒸着膜を得るのに適している。
また、酸化イットリウム（Ｙ₂Ｏ₃）添加は、電子銃にて加熱され蒸着される薄膜の酸化状態を変化させ、酸化ニオブのみ、または酸化ニオブと酸化ジルコニウムのみの混合ペレットを蒸着した薄膜において起こる着色（吸収）を抑える効果がある。
【００１０】
本発明において以上の３成分を混合することにより、個々の効果を持ち合わせつつ、また得られる反射防止膜は、経時的な耐熱性の低下の程度が著しく小さくなるという予想しえない効果を与える。
以上の効果を活かすための蒸着組成物の混合比率は、蒸着組成物全量を基準にして、酸化ニオブ（Ｎｂ₂Ｏ₅）が６０〜９０重量％、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ₂）が５〜２０重量％、酸化イットリウム（Ｙ₂Ｏ₃）が５〜３５重量％である。Ｎｂ₂Ｏ₅が９０重量％を超える場合、或いはＺｒＯ₂、Ｙ₂Ｏ₃が各々５重量％未満では、得られる高屈折率層に吸収が生じやすく、また、Ｙ₂Ｏ₃が５０重量％を超えると得られる反射防止膜の耐酸性が低下しやすい。
【００１１】
また、３成分蒸着組成物において酸化アルミニウムを含有させることにより、屈折率の調整が行われる。
蒸着組成物における酸化アルミニウム（Ａｌ₂Ｏ₃）の含有量は、Ｎｂ₂Ｏ₅、ＺｒＯ₂及びＹ₂Ｏ₃全量に対して０．３〜７．５重量％の範囲である。０．３重量％未満では屈折率の調整効果が得られず、また７．５重量％を超えると、酸化アルミニウム（Ａｌ₂Ｏ₃ ）の特性が強く表れて、得られる反射防止膜の耐アルカリ性が低下し、さらに屈折率が低下しすぎて高屈折率層として使用することが難しくなる。酸化アルミニウム（Ａｌ₂Ｏ₃）は、前述したＮｂ₂Ｏ₅、ＺｒＯ₂及びＹ₂Ｏ₃の層の特性を損なわずに、層の屈折率を調整することができる。
尚、本発明の蒸着組成物には、上述した効果を損なわない範囲で、酸化タンタル（Ｔａ₂Ｏ₅）、酸化チタン（ＴｉＯ₂）などの金属酸化物を添加することもできる。
【００１２】
本発明における多層反射防止膜の低屈折率層としては、例えば耐熱性の面から二酸化硅素（ＳｉＯ₂ ）膜を用いることができる。
本発明における反射防止膜の膜構成は、λ／４・λ／４の２層膜、λ／４・λ／４・λ／４あるいはλ／４・λ／２・λ／４の３層膜などが挙げられるが、４層以上の多層膜であってもよい。なお、基板側から数えて第１層の低屈折率層には、公知の２層等価膜、３層等価膜、あるいはコンポジット層を用いることもできる。
【００１３】
本発明の光学部材に用いる合成樹脂基板としては、メチルメタクリレート単独重合体、メチルメタクリレートと１種以上の他のモノマーとをモノマー成分とする共重合体、ジエチレングリコールビスアリルカーボネート単独重合体、ジエチレングリコールビスアリルカーボネートと１種以上の他のモノマーとをモノマー成分とする共重合体、イオウ含有共重合体、ハロゲン含有共重合体、ポリカーボネート、ポリスチレン、ポリ塩化ビニル、不飽和ポリエステル、ポリエチレンテレフタレート、ポリウレタンなどが挙げられる。
【００１４】
本発明において合成樹脂の上に反射防止膜を設けるに際しては、合成樹脂表面に有機ケイ素重合体を含むハードコート層をディッピング法、スピンコート法等の塗布法により成膜し、このハードコート層上に反射防止膜を設けることが好ましい。また、合成樹脂と反射防止膜との密着性、耐擦傷性等の向上を図るうえで、合成樹脂と反射防止膜との間、あるいは合成樹脂表面に成膜したハードコート層と反射防止膜との間に下地層を介在させることが好ましい。このような下地層としては、例えばケイ素酸化物等の蒸着膜を使用することができる。
【００１５】
本発明の３成分蒸着組成物は、酸化ニオブ（Ｎｂ₂Ｏ₅ ）粉末、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ₂ ）粉末、酸化イットリウム（Ｙ₂ Ｏ₃ ）粉末を混合、本発明の４成分蒸着組成物は、酸化ニオブ（Ｎｂ₂Ｏ₅ ）粉末、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ₂）粉末、酸化イットリウム（Ｙ₂ Ｏ₃ ）粉末および酸化アルミニウム（Ａｌ₂ Ｏ₃ ）粉末を混合し（以下、これらの粉末を単に「混合粉末」という場合がある）、加圧プレスしたものを、例えば電子ビームにより加熱して蒸発物を基板上に析出させることにより形成されることが好ましい。また、加圧プレスした後、焼結してペレット状にした焼結体を用いることで、蒸着時間をより短縮することができるので更に好ましい。混合粉末及び焼結体中の各酸化物含有量は、形成する高屈折率層に対応させて適宜変化させることができる。
【００１６】
本発明の反射防止膜の形成方法は、以上のように、酸化ニオブ、酸化ジルコニウム及び酸化イットリウムの粉末、或いは更に酸化アルミニウムを加えた粉末を焼結し、得られた焼結体から混合酸化物の蒸気を発生させ、発生した蒸発物を基板上に析出させることにより形成されるが、この反射防止膜の形成方法においてイオンアシストを併用することが好ましい。
イオンアシストを併用する利点は、高屈折率層の蒸着時に酸素イオンによるアシスト処理を用いる方法によって、レンズの吸収を更に抑えることが出来る。また、酸素-アルゴンの混合ガスによるイオンアシストを用いることにより耐アルカリ性を向上できる。該混合ガスの組成は，酸素ガス９０〜９５％、アルゴンガス１０〜５％の範囲が望ましい。酸素ガスの割合が少ない場合は、光学性を維持できない。適度なアルゴンガスを用いることで膜密度の向上が可能となる。
【００１７】
本発明における蒸着組成物を得るためのプレス成形の加圧は、従来の方法で行われ、例えば２００ｋｇ／ｃｍ² 〜４００ｋｇ／ｃｍ²（１９．６〜３９．２ＭＰａ）の加圧とすることが望ましい。また焼結温度は、各成分の組成比等により変化するが、例えば１０００〜１４００℃とすることが適当である。焼結時間は焼結温度等により適宜変化させることができ、通常１〜４８時間の範囲である。本発明の高屈折率膜は、上記蒸着組成物を蒸着源として真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の方法を用いて通常の条件により形成することができる。即ち、蒸着組成物から混合酸化物の蒸気を発生させ、発生した蒸発物を基板上に析出させる。合成樹脂基板の加熱温度は、かかる合成樹脂の耐熱温度によって異なるが、例えば７０〜８５℃とすることが適当である。
本発明の方法によれば合成樹脂基板のように蒸着時の基板加熱温度を７０〜８５℃と低い温度で成膜しなければならない場合でも、耐熱性が良好で、また経時的に耐熱性が低下しにくい反射防止膜を得ることができる。
【００１８】
本発明の反射防止膜を有する光学部材は、眼鏡レンズのほか、カメラ用レンズ、自動車の窓ガラス、ワードプロセッサーのディスプレイに付設する光学フィルターなどに使用することができる。
【００１９】
【実施例】
以下、実施例により本発明を詳細に説明する。なお実施例及び比較例で得られた反射防止膜を有する光学部材は、以下に示す試験方法により、諸物性を測定した。
（１）蒸着組成物の溶融状態：蒸着時の溶融状態を次の基準で判定した。
ＵＡ：スプラッシュの発生が無い。Ａ：スプラッシュの発生が少ない。
Ｂ：スプラッシュが頻繁に発生する。Ｃ：スプラッシュが常時発生する。
（２）微細粒子の付着状態：スプラッシュ等によるレンズ面の微細粒子の付着状態を次の基準で判定した。
ＵＡ：全く認められず。Ａ：１〜５箇所以内。Ｂ：６〜1０箇所。Ｃ：１1箇所以上。
（３）耐アルカリ性試験：ＮａＯＨ１０ｗｔ％水溶液にレンズを入れ、30分後、60分後にその表面の膜ハゲやレンズ面の荒れの発生を以下の基準にて判定した。ＵＡ：点状ハゲがほとんどない。Ａ：全体的に小さな0.1mm以下の点状ハゲがある。または直径0.3mm程度の点状ハゲが少しある。Ｂ：Ａよりもハゲの密度が高く、大き目のハゲの割合が高い。Ｃ：全体的に0.3mm程度のハゲが占めるか、小さいハゲの密度が高い。Ｄ：一目見て全体が白いと感じる程度にハゲが密に出ている。これ以下は全てＤと記する。
（４）耐擦傷性試験：♯００００のスチールウールにより表面を往復回数で１０回こすって耐擦傷性を次の基準で判定した。
Ａ：わずかに傷がつく。Ｂ：多く傷がつく。Ｃ：膜の脹れが生じる。
（５）密着性試験：ＪＩＳ―Ｚ―１５２２に従い、ゴバン目を１０×１０個作りセロファン粘着テープにより剥離試験を３回行い、残ったゴバン目を数えた。
（６）視感反射率：日立製作所製Ｕ３４１０型自記分光光度計を用い、視感反射率を求めた。
（７）視感透過率：日立製作所製Ｕ３４１０型自記分光光度計を用い、視感透過率を求めた。
（８）吸収率：１００％より視感透過率と視感反射率を引いた値を吸収率として求めた。
（９）耐熱性試験：蒸着膜形成直後の反射防止膜を有する光学部材をオーブンに１時間入れて加熱し、クラックの発生の有無を調べた。加熱温度は、５０℃より始め、５℃づつ上げて、クラックが発生する温度を調べた。
また、経時的な耐熱性試験蒸着膜形成直後の反射防止膜を有する光学部材を２ケ月間屋外暴露し、その後、前記した耐熱性試験と同じ方法により評価を行った。
【００２０】
実施例１、実施例４、比較例1および比較例４
まず反射防止膜を設ける合成樹脂として、ジエチレングリコールビスアリルカーボネートを主成分とし、紫外線吸収剤として２―ヒドロキシ―４―ｎ―オクトキシベンゾフェノンを、前者／後者の重量比が９９．９７／０．０３となるように含有する、屈折率が１．４９９のプラスチックレンズ（ＣＲ―３９：基板Ａ）を用意した。
ハードコート層（ｎｄ１．５０）の形成：前記プラスチックレンズを、８０モル％のコロイダルシリカと２０モル％のγ―グリシドキシプロピルトリメトキシシランを含有するコーティング液に浸漬硬化してハードコートＡ層を設けた。
【００２１】
実施例１として、前記ハードコート層を有するプラスチックレンズを８０℃に加熱し、前記ハードコート層の上に真空蒸着法（真空度２×１０^-5Tｏｒｒ）によりＳｉＯ₂ からなる下地層〔屈折率１．４６、膜厚０．４８７５λ（λは５００ｎｍである）〕を形成した。次にＮｂ₂ Ｏ₅粉末、ＺｒＯ₂ 粉末、Ｙ₂ Ｏ₃ 粉末を混合し、３００ｋｇ／ｃｍ² でプレス加圧し、焼結温度１３００℃で焼結して得られた３成分系蒸着組成物Ａ（重量％、Ｎｂ₂ Ｏ₅：ＺｒＯ₂：Ｙ₂ Ｏ₃ ＝ ７６％：１６．６％：７．４％）を電子銃出力電流１７０ｍＡにて加熱して形成される層（屈折率２．１２、膜厚０．０５０２λ）と、ＳｉＯ₂ 層（屈折率１．４６、膜厚０．０７６４λ）よりなる第1の低屈折率層を形成した。この第１の低屈折率層の上に前記蒸着組成物Aにて高屈折率層（屈折率２．１２、膜厚０．４９５２λ）を形成し、さらにその層の上にＳｉＯ₂からなる第２の低屈折率層（屈折率１．４６、膜厚０．２３７２λ）を形成して反射防止膜を有するプラスチックレンズを得た。なお、前記低屈折率層および高屈折率層は前記下地層を形成した同様の真空蒸着法により形成した。
また、実施例４として、前記の蒸着組成物にＡｌ₂Ｏ₃を１重量％添加した蒸着組成物Ｂを高屈折率層に利用し、同様の構成にて設計された反射防止コートを真空蒸着法により形成した。
更に、真空蒸着法を用い、従来型蒸着組成物ＺｒＯ₂を高屈折率層に利用した反射防止コートを比較例１、酸化ニオブのみの蒸着組成物を使用した反射防止膜を比較例４としてプラスチックレンズを得た。
【００２２】
実施例２、実施例５、比較例２および比較例５
ガラス製容器に、有機ケイ素化合物のγ−グリシドキシプロピルメトキシシラン１４２重量部を加え、撹拌しながら、０．０１Ｎ塩酸１．４重量部、水３２重量部を滴下した。滴下終了後、２４時間撹拌を行いγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシランの加水分解溶液を得た。この溶液に、酸化第二スズ−酸化ジルコニウム複合体ゾル（メタノール分散、全金属酸化物３１．５重量％、平均粒子径１０〜１５ミリミクロン）４６０重量部、エチルセロソルブ３００重量部、さらに滑剤としてシリコーン系界面活性剤０．７重量部、硬化剤としてアルミニウムアセチルアセトネート８重量部を加え、充分に撹拌した後、濾過を行ってコーティング液を得た。
ハードコート層の形成：アルカリ水溶液で前処理したプラスチックレンズ基板〔ＨＯＹＡ（株）製、眼鏡用プラスチックレンズ（商品名：ＥＹＡＳ）、屈折率１．６０、基板Ｂ〕を、前記コーティング液の中に浸漬させ、浸漬終了後、引き上げ速度２０ｃｍ／分で引き上げたプラスチックレンズを１２０℃で２時間加熱してハ−ドコ−トＢ層を形成した。
その後、表に示すように反射防止膜が５層で形成され、２層および４層の高屈折層に蒸着組成物Ａを使用した反射防止膜を実施例２、蒸着組成物Ｂを使用した反射防止膜を実施例５、従来型蒸着組成物ＺｒＯ₂を使用した反射防止膜を比較例２、酸化ニオブのみの蒸着組成物を使用した反射防止膜を比較例５としてプラスラスチックレンズを得た。
【００２３】
実施例３、実施例６、比較例３および比較例６
ガラス製容器に有機ケイ素化合物のγ-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン１００重量部を加え、撹拌しながら０．０１規定塩酸１．４重量部、水２３重量部を添加した。その後、２４時間撹拌を行いγ-グリシドキシプロピルトリメトキシシランの加水分解物を得た。次に微粒子状無機物として、酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸化ケイ素を主体とする複合体微粒子ゾル（メタノール分散、全固形分２０重量％、平均粒子径５〜１５ミリミクロン、核微粒子の原子比Ｔｉ／Ｓｉ＝１０、被覆部分の核部分に対する重量比０．２５）を用い、その２００重量部をエチルセロソルブ１００重量部、滑剤としてのシリコーン系界面活性剤０．５重量部、硬化剤としてのアルミニウムアセチルアセトネート３．０重量部と混合した後、前述したγ-グリシドキシプロピルトリメトキシシランの加水分解物に加え、充分に撹拌した後、濾過を行ってコーティング液を作製した。
ハードコート層の形成：アルカリ水溶液で前処理したプラスチックレンズ基材〔ＨＯＹＡ（株）製、眼鏡用プラスチックレンズ（商品名：テスラリッド）、屈折率１．７１、基板Ｃ〕を、前述の方法で作製したコーティング液の中に浸漬させ、浸漬終了後、引き上げ速度２０ｃｍ／分で引き上げたプラスチックレンズを１２０℃で２時間加熱してハードコートＣ層を形成した。
その後、表に示すように反射防止膜が７層で形成され、２層、４層および６層の高屈折層に蒸着組成物Ａを使用した反射防止膜を実施例３、蒸着組成物Ｂを使用した反射防止膜を実施例６、従来型蒸着組成物ＺｒＯ₂を使用した反射防止膜を比較例３、酸化ニオブのみを使用した反射防止膜を比較例６としてプラスチックレンズを得た。
【００２４】
第１表に各実施例及び比較例において用いたプラスチックレンズ基材とハードコート層、反射防止膜での蒸着組成とその厚さ、及び諸物性の測定結果を示す。なお、各実施例および酸化ニオブのみで高屈折率層に使用した反射防止膜の比較例４〜６において基板のイオン前処理および高屈折率層でのイオンアシストを行った。イオン前処理およびイオンアシストにおいては共に酸素ガスを用い、イオン前処理では加速電圧を１５０Ｖ、電流値を１００ｍＡ、照射時間を６０秒とし、イオンアシストでは加速電圧を１００Ｖとし、加速電流を２０ｍＡとした。従来型蒸着組成物ＺｒＯ₂を高屈折率層に使用した反射防止膜の比較例１〜３では、基板でのイオン前処理および高屈折率層でのイオンアシストを行わなかった。
【００２５】
【表１】

【００２６】
【表２】

【００２７】
実施例１〜６で使用された本発明の蒸着組成物Ａ，Ｂは、第１表に示すようにスプラッシュが抑えられ、安定した溶融状態で蒸着され、スプラッシュによる微細粒子のレンズ表面の付着は認められず、優れた光学薄膜を得られた。
また、本発明の蒸着組成物Ａ，Ｂを用いた実施例１〜６の反射防止膜付きプラスチックレンズは、第１表に示すように比較例1〜６で得られた反射防止膜付きプラスチックレンズよりも耐熱性が優れており、経時的な耐熱性の低下の程度も小さいものであった。
【００２８】
実施例７〜実施例１８
イオンアシストを用いなかった以外は、実施例１〜６と同様にして第２表及び第３表に示す条件で反射防止膜を作製し、性能試験を行った。その結果、第２表及び第３表に示すようにイオンアシストを用いなくても良好な物性が得られた。
【００２９】
【表３】

【００３０】
【表４】

【００３１】
なお、表中に記載されている蒸着組成物Ａ及び蒸着組成物Ｂとは、蒸着組成物Ａまたは蒸着組成物Ｂを用いて作製した層であることを意味する。
【発明の効果】
以上の実施例からも明らかなように、本発明により、低温で蒸着しなければならない合成樹脂の基板において、耐熱性が良好で、且つ経時的な耐熱性の低下が小さい反射防止膜を有する光学部材が得られる。
また本発明の蒸着組成物および反射防止膜の形成方法では、高屈折率層が本来有する物性を損なうことなく、より短時間で高屈折率層を形成することができるので、高い作業効率が得られる。

Claims (6)

1. 酸化ニオブ、酸化ジルコニウム及び酸化イットリウムを含有する蒸着組成物であって、蒸着組成物全量を基準にして、酸化ニオブが６０〜９０重量％、酸化ジルコニウムが５〜２０重量％、酸化イットリウムが５〜３５重量％である蒸着組成物。
2. 前記蒸着組成物に、酸化アルミニウムを、酸化ニオブ、酸化ジルコニウム及び酸化イットリウム合計に対して０．３〜７．５重量％含有する請求項１記載の蒸着組成物。
3. 請求項１または請求項２記載の蒸着組成物を焼結し、得られた酸化物の蒸気を発生させ、発生した蒸発物をプラスチック基板上に析出させることを特徴とする反射防止膜の形成方法。
4. イオンアシストを併用する請求項３記載の反射防止膜の形成方法。
5. 二酸化ケイ素からなる層と、請求項３または請求項４記載の形成方法で形成される層とを交互に積層してなる反射防止膜。
6. プラスチック基板上にハ−ドコ−ト層を設け、その上に請求項５記載の反射防止膜を積層してなる光学部材。