JP3750178B2

JP3750178B2 - 排ガス浄化用フィルタ及びその製造方法

Info

Publication number: JP3750178B2
Application number: JP04815196A
Authority: JP
Inventors: 寿治近藤; 啓司伊藤; 照高影山; 隆小幡
Original assignee: Denso Corp
Current assignee: Denso Corp
Priority date: 1995-04-05
Filing date: 1996-02-08
Publication date: 2006-03-01
Anticipated expiration: 2016-02-08
Also published as: EP0736503A1; JPH08332329A; EP0736503B1; DE69622307D1; DE69622307T2

Description

【０００１】
【技術分野】
本発明は，例えばディーゼルパティキュレートを捕集するために用いられる，排ガス浄化用フィルタ及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来技術】
ディーゼル機関より排出されるパティキュレートは，例えば，図２３に示すごとく，ハニカム構造のフィルタ９により捕集される。このフィルタ９は，多孔性の基材９１と，基材９１の間に設けられた多数の流体路９２とよりなる。
そして，パティキュレートの捕集率向上，再生率向上及び排出ガス浄化のために，従来，以下の方法により基材の内部又は表面に，触媒を担持した活性アルミナよりなるコーティング層を設けることが考えられていた。
【０００３】
第１の方法は，コーティング層の深さ方向に対する触媒の担持量の分布を制御する方法である（特開平１─１０７８４７号公報）。この方法では，触媒を担持させるコーティング層として，比表面積が１５０ｍ² ／ｇと大きい活性アルミナが用いられる。
【０００４】
第２の方法は，減圧下において余分なアルミナを吸引除去しながら，フィルタの基材内部の細孔表面にアルミナを被覆させることによって，コーティング層を形成する方法である（特開平２─１０２７０７号公報）。
【０００５】
第３の方法は，コーティング層の成分であるアルミナについて，そのコート量を一定範囲内とし，アルミナ粉末間に形成される細孔の径及び容積を一定値以上とする方法である（特開平２─１０７３４０号公報）。
【０００６】
【解決しようとする課題】
しかしながら，上記従来の排ガス浄化用フィルタにおいては，以下の問題がある。
即ち，第１の方法においては，上記活性アルミナは，比表面積が大きい反面，粒径が５〜１０μｍと細かく密度が高い。そのため，ガスがコーティング層を通過する際の抵抗が高くなり，ガス流れの圧力損失を上昇させ，エンジンの出力低下という問題を招く。
【０００７】
第２の方法においては，減圧ポンプにより吸引した場合に，コーティング層における抵抗の低い部位のアルミナは吸引できるが，吸引により開口した部位は更に抵抗が低くなり，エアがその部位に集中する。そのため，他の部位のアルミナを十分に吸引することができない。また，細孔径の小さい部位にアルミナが固まってしまい，吸引ポンプの吸引力によってはコーティング層の細孔が完全には開口しない。従って，フィルタの全域にわたって細孔を開口させることができない。
【０００８】
第３の方法においては，細孔径及び容積を限定しているが細孔を作る手法が不明であり，また細孔があっても連通していないものは抵抗が高くなり低圧損化の効果が小さい。
【０００９】
本発明はかかる従来の問題点に鑑み，浄化性能の向上と共に圧力損失の低減化を図ることができる排ガス浄化用フィルタ及びその製造方法を提供しようとするものである。
【００１０】
【課題の解決手段】
本発明にかかる排ガス浄化用フィルタの製造方法としては，以下の８つの製造方法がある。
第１の製造方法は，請求項１に記載のように，多数の細孔を有する基材の表面に，セラミック粉末と連通孔形成材との混合物を被覆し，
次いで，該混合物を加熱することにより，上記セラミック粉末を焼結してコーティング層を上記基材の表面に形成すると共に，上記連通孔形成材を焼失させて上記コーティング層にその表面から基材の表面まで連通する連通孔を形成するに当たり，
上記連通孔形成材は，その大きさがコーティング層の厚みと同じか又はコーティング層の厚みよりも大きい可燃性物質とすることを特徴とする排ガス浄化用フィルタの製造方法である。
【００１１】
この製造方法によれば，基材の表面に高い比表面積のコーティング層を形成することができる。そのため，排ガス浄化用の触媒を上記コーティング層に担持させると，触媒と排ガスとの接触面積が増加して，触媒の触媒性能を最大限発揮させることができる。
また，コーティング層には，その表面から基材まで連通する連通孔を形成することができるため，排ガスは，上記連通孔を通じてコーティング層の表面から基材へとスムーズに通過することができ，圧力損失が低い。
【００１２】
また，排ガスはコーティング層の表面だけでなく，その内部にも入り込む。そのため，コーティング層は，排ガス浄化用の触媒を担持させることによって，コーティング層の全体において三次元的に浄化作用を発揮することができる。従って，フィルタの浄化性能の向上を図ることができる。
また，フィルタは，上記のように，浄化性能が高く，圧力損失が低いため，小型化を図ることもできる。
従って，上記第１の製造方法によれば，優れた浄化性能と低い圧力損失の排ガス浄化用フィルタを得ることができる。
【００１３】
後述する第２の製造方法において，上記連通孔形成材としては，例えば，請求項３に記載のように，ガス発生物質を用いることが好ましい。その理由は，加熱によりガス発生物質からガスを発生させ，そのガスをコーティング層の外方に逃がすことにより，コーティング層にその表面から基材まで連通する連通孔が形成されるからである。
上記ガス発生物質としては，例えば，ブタンガスを熱可塑性樹脂に封入した松本油脂製薬社製マイクロスフウェアを用いる。
【００１４】
第１の製造方法において，上記連通孔形成材は，その大きさがコーティング層の厚みと同じか又はコーティング層の厚みよりも大きい可燃性物質である。また，後述する第２の製造方法において，上記連通孔形成材としては，例えば，請求項４に記載のように，その大きさがコーティング層の厚みと同じか又はコーティング層の厚みよりも大きい可燃性物質であることが好ましい。その理由は，加熱により上記可燃性物質が焼失することにより，コーティング層の表面から基材まで連通する連通孔が形成するからである。
【００１５】
上記可燃性物質としては，例えば，カーボン，樹脂，ワックス等からなる材料を用いる。また，上記可燃性物質の形状は，例えば，ウィスカー，又は針状（ファイバー状），球状，柱状等である。
【００１６】
更に，請求項５に記載のように，上記連通孔形成材は，その大きさが，基材の細孔と同じか又は細孔よりも小さいことが好ましい。これにより，連通孔形成材が細孔内にスムーズに侵入し，細孔内表面を被覆するコーティング層に上記連通孔を形成することができる。逆に，連通孔形成材の大きさが基材の細孔よりも大きい場合には，連通孔形成材は細孔内に入り込めず，細孔内がセラミック粉末により目詰まりを起こして，フィルタの圧力損失が大きくなるおそれがある。
【００１７】
また，大きさの異なる連通孔形成材をセラミック粉末に添加することができる。これにより，コーティング層の全体に渡って，大きさの異なる連通孔が均一に分散したコーティング層を形成することができる。
また，或る大きさの連通孔形成材を添加したセラミック粉末と，他の大きさの連通孔形成材を添加したセラミック粉末とを，別々に基材の表面に被覆することもできる。これにより，コーティング層の厚さに応じて連通孔の大きさを変えることができる。
【００１８】
そして，請求項１１に記載のように，上記連通孔の平均細孔径は，１０〜６０μｍであることが好ましい。１０μｍ未満の場合には，フィルタの浄化性能が向上する反面，フィルタの圧力損失が高くなおそれがある。一方，６０μｍを越える場合には，フィルタの圧力損失が低くなる反面，排ガスが浄化されないままフィルタを通過してしまい，フィルタの浄化性能が低下するおそれがある（図１０，図１１参照）。
【００１９】
請求項１２に記載のように，上記コーティング層の気孔率は，３０〜８０％であることが好ましい。３０％未満の場合には，フィルタの圧力損失が高くなるおそれがある。一方，８０％を越える場合には，フィルタの浄化性能が低下するおそれがある（図１０，図１１参照）。
ここに，気孔率とは，連通孔及び少量の微孔を含む細孔とコーティング層の見掛け容積との百分率をいう。
【００２０】
次に，上記コーティング層は，基材の表面に設けられることによって，触媒と排ガスとの接触面積を拡大して触媒の触媒性能を最大限に発揮させる役目を果たす。本発明において，基材の表面とは，基材の上面又は下面の少なくとも一方をいう。
上記基材の表面に上記コーティング層を形成するに当たっては，例えば，上記基材を，基材の細孔径よりも大なる，セラミック粉末と連通孔形成材との混合物を含む溶液内に含浸させる方法（含浸法）がある。
【００２１】
上記コーティング層としては，例えば，活性アルミナ，ゼオライト等のセラミック粉末を用いる。この中，活性アルミナを用いることが好ましい。これは，活性アルミナの耐熱性が高く，使用環境が高温となるためである。
上記基材の内部には，例えば，多数の細孔が三次元網目状に形成されている。上記基材としては，例えば，コーディエライト，又はＳｉＣ（炭化ケイ素）を用いる。
【００２２】
次に，第２の製造方法は，請求項２に記載のように，多数の細孔を有する基材の表面に，セラミック粉末と連通孔形成材との混合物を被覆するとともに，上記基材内部の細孔内表面に上記混合物を導入させ，
次いで，該混合物を加熱することにより，上記セラミック粉末を焼結してコーティング層を上記基材の表面及び上記基材内部の細孔内表面に形成すると共に，上記連通孔形成材を焼失させて上記コーティング層に，その表面から基材の表面又は基材内部の細孔内表面まで連通する連通孔を形成することを特徴とする排ガス浄化用フィルタの製造方法である。
【００２３】
この製造方法によれば，基材の表面だけでなく，基材内部の細孔内表面にも，均一にコーティング層を形成することができる。そのため，コーティング層に排ガス浄化用の触媒を担持させると，触媒は，基材の表面だけでなく，基材内部の細孔内表面にも付着することとなる。そのため，排ガスは，上記触媒によって，基材の表面だけでなく基材内部においても浄化される。それ故，排ガスの浄化性能が著しく高くなる。
その他，第２の製造方法においても，上記第１の製造方法と同様の効果を得ることができる。
【００２４】
上記混合物を基材の表面に被覆するとともに，基材内部の細孔内に上記混合物を導入するに当たっては，例えば，基材を上記混合物を含む溶液内に含浸させる方法（含浸法）がある。また，基材がハニカムフィルタである場合には，例えばハニカムフィルタの片側開口端面から上記溶液を流し込み，反対側の開口端面へ吸引する方法（吸引法），又はハニカムフィルタの片側開口端面からエアにより上記溶液を押し込む方法（エア押し込み法）がある。
第２の製造方法においては，上記第１の方法において用いた連通孔形成材を用いることが好ましい。第２の製造方法におけるその他の点は，上記第１の製造方法と同様である。
【００２５】
次に，第３の製造方法は，請求項６に記載のように，多数の細孔を有する基材の表面に，収縮率の異なる２種以上のセラミック粉末を被覆し，加熱することにより，
上記セラミック粉末を焼結してコーティング層を上記基材の表面に形成すると共に，該コーティング層に多数のマイクロクラックを発生させてコーティング層にその表面から基材の表面まで連通する連通孔を形成することを特徴とする排ガス浄化用フィルタの製造方法である。
【００２６】
この製造方法によれば，上記第１，第２の製造方法で用いた連通孔形成材を用いる必要がない。そのため，第１，第２の方法よりも簡易にフィルタを製造することができる。その他，第３の製造方法においても，上記第１の製造方法と同様の効果を得ることができる。
上記収縮率の異なる２種以上のセラミック粉末としては，例えば，アルミナとコージェライトとの組み合わせからなるセラミック粉末を用いる。
【００２７】
次に，第４の製造方法は，請求項７に記載のように，多数の細孔を有する基材の表面に，収縮率の異なる２種以上のセラミック粉末を被覆すると共に，上記基材内部の細孔内表面に上記セラミック粉末を導入させ，
次いで，上記セラミック粉末を加熱することにより，
上記セラミック粉末を焼結してコーティング層を上記基材の表面及び上記基材内部の細孔内表面に形成すると共に，該コーティング層に多数のマイクロクラックを発生させてコーティング層にその表面から基材の表面又は基材内部の細孔内表面まで連通する連通孔を形成することを特徴とする排ガス浄化用フィルタの製造方法である。
【００２８】
この製造方法によれば，基材の表面だけでなく，基材内部の細孔内表面にも，均一にコーティング層を形成することができる。その他，第４の製造方法においても，上記第１，第３の製造方法と同様の効果を得ることができる。
【００２９】
上記基材の表面に上記セラミック粉末を被覆するとともに上記基材内部の細孔内表面に上記セラミック粉末を導入させるに当たっては，例えば，第２の製造方法において説明した，含浸法，吸引法，又はエア押し込み法により行うことができる。
上記収縮率の異なる２種以上のセラミック粉末としては，例えば，アルミナとコージェライトとの組み合せからなるセラミック粉末を用いる。
【００３０】
次に，第５の製造方法は，請求項８に記載のように，セラミック粉末を含むスラリーの中に高粘度油性物質を添加し，上記スラリーを強く撹拌して，高粘度油性物質からなる油微粒子を形成し，
次いで，上記スラリーを多数の細孔を有する基材の表面に被覆し，加熱することにより，
上記セラミック粉末を焼結させてコーティング層を上記基材の表面に形成すると共に，該コーティング層内の油微粒子よりガスを発生させて上記油微粒子を消失させて，上記ガスをコーティング層の外方に逃がすことにより，コーティング層の表面から基材の表面まで連通する連通孔を形成することを特徴とする排ガス浄化用フィルタの製造方法である。
【００３１】
上記高粘度油性物質はスラリーの中で混合することにより細かい油微粒子となる。この油微粒子は，加熱によりガスを発生させて消失する。発生したガスは，コーティング層の外方に逃げる際にコーティング層の表面まで連通した連通孔を形成する。従って，連通孔を有するコーティング層を設けた排ガス浄化用フィルタを製造することができる。
その他，第５の製造方法においても，上記第１の製造方法と同様の効果を得ることかできる。
上記高粘度油性物質としては，例えば，日本石油製ユニウェイ（商品名）などの潤滑油を用いる。
【００３２】
次に，第６の製造方法は，請求項９に記載のように，セラミック粉末を含むスラリーの中に高粘度油性物質を添加し，上記スラリーを強く撹拌して，高粘度油性物質からなる油微粒子を形成し，
次いで，上記スラリーを多数の細孔を有する基材の表面に被覆すると共に，上記基材内部の細孔内表面にスラリーを導入させ，
次いで，上記スラリーを加熱することにより，
上記セラミック粉末を焼結させてコーティング層を上記基材の表面及び上記基材内表面に形成すると共に，該コーティング層内の油微粒子よりガスを発生させて上記油微粒子を消失させて，上記ガスをコーティング層の外方に逃がすことにより，コーティング層の表面から基材の表面又は基材内部の細孔内表面まで連通する連通孔を形成することを特徴とする排ガス浄化用フィルタの製造方法である。
【００３３】
この製造方法によれば，基材の表面だけでなく，基材内部の細孔内表面にも，均一にコーティング層を形成することができる。その他，第６の製造方法においても，上記第１，第５の製造方法と同様の効果を得ることができる。
【００３４】
上記基材の表面に上記スラリーを被覆するとともに，上記基材内部の細孔内表面に上記スラリーを導入させるに当たっては，例えば，第２の製造方法において説明した，含浸法，吸引法，又はエア押し込み法により行うことができる。
上記高粘度油性物質としては，例えば，上記潤滑油を用いる。
【００３５】
次に，参考として，第７の製造方法は，多数の細孔を有する基材の表面に，網目状に発泡する発泡材料を塗布し，
次いで，該発泡材料を発泡させ，
次いで，発泡した発泡材料の表面に，セラミック粉末を含むスラリーを，上記発泡した発泡材料の大きさと同じか又はそれよりも大きい厚みに被覆し，加熱することにより，
上記セラミック粉末を焼結させてコーティング層を上記基材の表面に形成すると共に，上記発泡材料を焼失させて，コーティング層の表面から基材の表面まで網目状に連通する連通孔を形成することを特徴とする排ガス浄化用フィルタの製造方法である。
【００３６】
この製造方法においては，予め発泡材料を発泡させているため，スポンジ状の連通孔を形成することができる。上記発泡材料としては，例えば，ウレタン原料を用いる。
第７の製造方法によれば，第１の製造方法と同様の効果を得ることができる。
【００３７】
次に，第８の製造方法は，請求項１０に記載のように，多数の細孔を有する基材の表面に，網目状に発泡する発泡材料を被覆すると共に，上記基材内部の細孔内表面に上記発泡材料を導入させ，
次いで，上記発泡材料を発泡させ，
次いで，発泡した発泡材料の表面に，セラミック粉末を含むスラリーを，上記発泡した発泡材料の大きさと同じか又はそれよりも大きい厚みに塗布し，加熱することにより，
上記セラミック粉末を焼結させてコーティング層を上記基材の表面及び上記基材内部の細孔内表面に形成すると共に，上記発泡材料を焼失させて，コーティング層の表面から基材の表面又は基材内部の細孔内表面まで網目状に連通する連通孔を形成することを特徴とする排ガス浄化用フィルタの製造方法である。
【００３８】
この製造方法によれば，基材の表面だけでなく，基材内部の細孔内表面にも，均一にコーティング層を形成することができる。その他，第８の製造方法においても，上記第１，第７の製造方法と同様の効果を得ることができる。
【００３９】
上記基材の表面に上記発泡材料を被覆するとともに上記基材内部の細孔内表面に上記発泡材料を導入させるに当たっては，例えば，第２の製造方法において説明した，含浸法，吸引法，又はエア押し込み法により行うことができる。
上記発泡材料としては，例えば，ウレタン原料を用いる。
【００４０】
次に，本発明の排ガス浄化用フィルタとしては，例えば，まず，第１に，請求項１３に記載のように，多数の細孔を有する基材と，該基材の表面に設けられ，内燃機関より排出される排ガスを浄化する触媒を担持させるコーティング層とを有してなる排ガス浄化用フィルタにおいて，
上記コーティング層は，その表面から基材の表面まで連通する連通孔を有するとともに，上記コーティング層の気孔率は３０〜８０％であり，
上記請求項１〜１２のいずれか一項に記載の排ガス浄化用フィルタの製造方法によって製造してなることを特徴とする排ガス浄化用フィルタがある。
【００４１】
上記排ガス浄化用フィルタにおいては，上記コーティング層の内部に，その表面から基材まで連通する連通孔を設けている。そのため，上述のように，排ガス浄化用フィルタの圧力損失が低く，また浄化性能が高くなり，フィルタの小型化を図ることができる。
【００４２】
また，上記排ガス浄化用フィルタにおいて，コーティング層の気孔率が３０〜８０％であるため，フィルタの圧力損失を低く維持しながら，フィルタの浄化性能を高くすることができる。
一方，３０％未満の場合には，フィルタの圧力損失が高くなる。８０％を越える場合には，フィルタの浄化性能が低下する。
【００４３】
次に，請求項１５に記載のように，上記連通孔の平均細孔径は，１０〜６０μｍであることが好ましい。その理由は，上述したようにフィルタの圧力損失を低くし，且つ浄化性能を高くするためである。
【００４４】
次に，請求項１６に記載のように，上記コーティング層は，上記基材の表面及び基材内部の細孔内表面を被覆してなることが好ましい。その理由は，上述したようにフィルタの排ガス浄化性能が著しく高くなるからである。
【００４５】
次に，本発明の排ガス浄化用フィルタとしては，第２に，請求項１４に記載のように，多数の細孔を有する基材と，該基材表面及び該基材内部の細孔内表面に設けられ，内燃機関より排出される排ガスを浄化する触媒を担持させるコーティング層とを有してなる排ガス浄化用フィルタにおいて，
上記コーティング層は，その表面から基材の表面又は基材内部の細孔内表面まで連通する連通孔を有するとともに，上記コーティング層の気孔率は３０〜８０％であることを特徴とする排ガス浄化用フィルタがある。
【００４６】
上記排ガス浄化用フィルタにおいては，基材の表面だけでなく，基材内部の細孔内表面にもコーティング層を形成している。そのため，コーティング層に担持された触媒は，基材の表面だけでなく，基材内部の細孔内表面にも付着する。そのため，排ガスは，基材の表面だけでなく，基材内部の細孔内表面においても浄化される。それ故，排ガスの浄化性能が著しく高くなる。
第２の排ガス浄化用フィルタにおけるその他の点は，上記第１の排ガス浄化用フィルタと同様であり，また第２の排ガス浄化用フィルタにおいても第１の排ガス浄化用フィルタと同様の効果を得ることができる。
【００４７】
【実施形態例】
実施形態例１
本発明の実施形態例に係る排ガス浄化用フィルタについて，図１〜図６を用いて説明する。
本例の排ガス浄化用フィルタ５９は，図１に示すごとく，多数の細孔５０を有する基材５と，基材５の上面５１及び下面５２に設けたコーティング層１とを有している。コーティング層１は，内燃機関より排出される排ガスを浄化する触媒２を担持している。
【００４８】
コーティング層１は，その表面から基材５の表面まで連通する連通孔１０を有している。連通孔１０は，図２に示すごとく，２０〜４０μｍの細孔径Ｄを中心として分布しており，その平均細孔径は３０μｍである。コーティング層１の気孔率は６０％である。コーティング層１としては，活性アルミナを用いる。連通孔１０の細孔径Ｄは，水銀圧入法により測定した。
【００４９】
基材であるハニカムフィルタには，その見かけ体積１リットル当たり４０ｇのコーティング層１を被覆している。コーティング層１の被覆量は，コーティング前後の重量差により算出した。
コーティング層１は，その表面及び連通孔１０の壁面に触媒２を担持した活性アルミナよりなる。コーティング層１の厚みは，５〜５０μｍである。触媒２としては，Ｐｔ（白金），Ｒｈ（ロジウム）などを用いる。
【００５０】
基材５は，図１に示すごとく，その内部を三次元網目状に貫通する多数の細孔５０を有しており，排ガスを細孔５０に通過させることにより浄化作用を発揮するウォールフロータイプである。基材５の細孔５０の平均細孔径は，２０〜４０μｍである。
【００５１】
基材５は，図３，図４に示すごとく，多数の流体路５５１，５５２を有するハニカムを構成している（図２３参照）。そして，このハニカム体における上流側６１の流体路５５１は，図４に示すごとく，その下流側６２において封止栓５５により封止されている。また，下流側６２の流体路５５２は，その上流側６１において封止栓５５により封止されている。上記流体路５５１と流体路５５２は，互いに市松模様状に互い違いに配置されている。
【００５２】
上流側６１の流体路５５１の表面，及び下流側６２の流体路５５２の表面のいずれにも，上記コーティング層１が形成されている。
排ガス７は，その上流側６１の流体路５５１から流入し，コーティング層１，基材５，及びコーティング層１を通過して，下流側６２の流体路５５２へと排出される。
【００５３】
次に，上記排ガス浄化用フィルタ５９の製造方法について説明する。
まず，コーディエライト製ハニカムフィルタ（φ１４０ｍｍ×長さ１３０ｍｍ，メッシュ１５０セル／ｉｎ² ，壁厚０．４５ｍｍ）を準備し，これを基材５とした。
また，セラミック粉末としての活性アルミナ９５重量％と，アルミナゾル５重量％とを混合し，これにｐＨ調整用希硝酸を加え，ｐＨを１〜３に調整した。活性アルミナの平均粒径は５〜１０μｍである。
【００５４】
次いで，上記セラミック粉末１００重量％に，連通孔形成材として，ガス発生物質１．５外重量％，及びカーボン粉末２５外重量％を添加し，更に蒸留水を加えてスラリーを得た。カーボン粉末の粒径は１０〜８０μｍであり，形成すべきコーティング層の厚み（５〜５０μｍ）よりも大きい。上記ガス発生物質としては，ブタンガスを熱可塑性樹脂に封入して粒状としたガス封入材を用いた。
次に，上記スラリーを攪拌しながら，その中に上記基材５を浸漬し，引き上げた。次に，余分なスラリーをエアブローにより除去し，１２０℃で２時間乾燥した。
【００５５】
次いで，７００℃で２時間加熱して，上記セラミック粉末を焼結させた。これにより，基材５の表面に，上記セラミック粉末よりなるコーティング層１を形成した。また，この加熱の際に，上記カーボン粉末が焼失した。また，図５に示すごとく，ガス発生物質３０の熱可塑性樹脂が焼失して，その中に封入されているブタンガス３００がコーティング層１の外方に逃げた。その際に，コーティング層１の内部からその表面へと連通する連通孔１０が形成された。
【００５６】
その後，コーティング層１を形成した上記基材５を触媒槽に浸漬して，コーティング層１に触媒２を担持させた。これにより，図１に示す上記排ガス浄化用フィルタ５９を得た。
【００５７】
比較のために，ガス発生物質及びカーボン粉末のいずれも用いることなくコーティング層を作製した（比較例１）。この場合には，図６に示すごとく，コーティング層９５には，上記のような連通孔は形成されず，平均細孔径０．５〜１０μｍ程度の微孔１９が形成されるのみであった。
これに対し，本例の排ガス浄化用フィルタにおいては，上述したごとく，図１に示すように，細孔径２０〜４０μｍを中心とした平均細孔径が３０μｍの連通孔１０が形成された。
【００５８】
次に，本例の作用効果について説明する。
本例の排ガス浄化用フィルタにおいては，図１に示すごとく，コーティング層１の内部に，その表面から基材５まで連通する多数の連通孔１０を設けている。そのため，排ガスは，連通孔１０を通じて，コーティング層１の表面と基材５との間をスムーズに通過することができる。このため，上記フィルタの圧力損失の低下を図ることができる。
【００５９】
また，排ガスはコーティング層１の表面だけでなく，その内部にも入り込む。そのため，コーティング層１に担持された排ガス浄化用の触媒は，コーティング層の全体において三次元的に浄化作用を発揮することができる。従って，フィルタ５９の浄化性能の向上を図ることができる。
【００６０】
また，フィルタ５９は，上記のように，浄化性能が高く，圧力損失が低いため，小型化を図ることもできる。
また，コーティング層１には，触媒２を担持させてあるので，効率良くディーゼルパティキュレートを捕捉し，その後燃焼してフィルタを再生させることかできる。或いは，排ガス中のＨＣ，ＣＯも浄化することができる。
【００６１】
また，本例においては，図４に示すごとく，基材５の両面がコーティング層１により被覆されている。そのため，排ガス７は，フィルタ５９の上流側６１から下流側６２へ通過する際に，２回に渡ってコーティング層１を通過することになる。そのため，排ガス７を効果的に浄化することができる。
また，上記のごとく，フィルタ５９は浄化性能が高く且つ圧力損失も低いため，小型化することもできる。
【００６２】
尚，本例のコーティング層１は，内部を貫通する細孔５０を有するウォールフロータイプの基材５の上に設けたが，かかる細孔５０が極めて少ないウォールスルーフロータイプの基材５の上に設けた場合にも浄化性能の向上と圧力損失の抑制を図ることができる。
【００６３】
（実験例１）
本例においては，図７〜図９に示すごとく，上記実施形態例１に示したフィルタ（これを試料１という。）の細孔特性及び浄化率，並びにコーティング層の比表面積について測定した。
【００６４】
まず，排ガス浄化用フィルタの細孔特性について評価した。
フィルタの細孔特性は，細孔径及び細孔容積により評価した。フィルタの細孔径及び細孔容積は，水銀圧入法により測定した。
比較のために，連通孔を有していないコーティング層を基材表面に設けた上記比較例１のフィルタ（試料Ｃ１），コーティング層がなく基材だけからなるフィルタ（試料Ｃ２），連通孔がないコーティング材のみ（試料Ｃ３）についても，同様の測定を行った。
その結果を図７に示した。
【００６５】
同図より，試料１のフィルタの細孔特性は，基材だけからなるフィルタ（試料Ｃ２）と近似していた。一方，連通孔のないコーティング層を基材に被覆させたフィルタ（試料Ｃ１）の細孔特性は，コーティング材のみ（試料Ｃ３）の細孔特性と近似しており，その細孔径及び細孔容積は共に小さい。このことから，コーティング層にその表面から基材まで連通する連通孔を積極的に設けることにより，基材に近似した細孔特性となり，フィルタの圧力損失を低くすることができることがわかる。
【００６６】
次に，上記試料１のフィルタについて，そのコーティング層の比表面積を測定した。比較のために，上記試料Ｃ１についても，同様の測定を行った。
その結果を図８に示した。同図より知られるように，試料１のコーティング層は，試料Ｃ１のコーティング層よりも３０％増加した。
【００６７】
次に，上記試料１のフィルタの圧力損失について測定した。
測定条件は，上記フィルタをエンジンの排ガス通路に配置して，エンジンは２．２リットル，ＤＩ（直噴型エンジン）を使用し，２０００ｒｐｍ，１００Ｎｍの一定の条件とした。
また，比較のために，上記試料Ｃ１，Ｃ２ついても，同様の測定を行った。
その結果を図９に示した。
【００６８】
同図より知られるように，試料１のフィルタは，基材だけからなるフィルタ（試料Ｃ２）と同程度に低い圧力損失であった。一方，連通孔のないコーティング層を基材表面に形成したフィルタ（試料Ｃ１）は，時間経過に伴う圧力損失の上昇が著しかった。
このことから，コーティング層に連通孔を設けたフィルタの圧力損失は，基材だけからなるフィルタと同程度に低い値となることがわかる。
【００６９】
以上の結果は，以下の理由によるものと考えられる。
即ち，コーティング層自体は緻密体であるが，連通孔を設けたことにより細孔容積が増加した。そのため，上記試料１のフィルタは，基材に近似した細孔特性を示した。その結果，基材と同程度の低い圧力損失となったものと考えられる。
【００７０】
次に，上記試料１のフィルタの浄化性能を測定した。
測定条件は，エンジン回転数２０００ｒｐｍ，１００Ｎｍの一定の条件とした。上記浄化率は，ＨＣ，ＣＯ，ＮＯ_xの成分につき測定し，ここではＨＣを代表として示した。
また，比較のために，連通孔を有しないコーティング層を設けたフィルタ（試料Ｃ１）についても同様の測定を行った。
【００７１】
その結果，上記試料１の場合には，９８％の浄化率であり，また試料Ｃ１の場合には，９２％の浄化率であった。
このことから，試料１のフィルタは，優れた浄化性能を発揮することができることがわかる。
【００７２】
（実験例２）
本例においては，図１０〜図１２に示す如く，コーティング層の平均細孔径及び気孔率が，フィルタの圧力損失及び浄化性能に与える影響について測定した。
まず，コーティング層の平均細孔径及び気孔率が，フィルタの圧力損失に与える影響について測定した。
【００７３】
コーティング層の平均細孔径及びフィルタの圧力損失は，上記実施形態例２と同様の方法により測定した。その結果を，図１０に示した。
同図からわかるように，コーティング層の平均細孔径が大きくなるほどフィルタの圧力損失を低減させることができる。また，平均細孔径が同じとした場合，コーティング層の気孔率が大きくなるほどフィルタの圧力損失を低減させることができる。
【００７４】
次に，コーティング層の平均細孔径及びフィルタの気孔率が，フィルタの浄化性能に与える影響について測定した。これらの測定方法は，上記と同様である。その結果を図１１に示した。
同図より知られるように，コーティング層の平均細孔径が小さくなるほどフィルタによる排ガスの浄化率が高くなる。また，平均細孔径を一定とした場合，コーティング層の気孔率が小さくなるほど浄化率が高くなる。
【００７５】
次に，上記の測定結果から，フィルタの圧力損失が１０ｋＰａ以下と低く，且つ浄化率が９０％以上と高くなる場合の，コーティング層の平均細孔径及び気孔率を，図１２に示した。
同図において，点Ａ〜Ｄは，上記の優れた圧力損失及び浄化性能となる，コーティング層の平均細孔径及び気孔径の範囲の臨界値を示す。各点の平均細孔径，気孔率は，点Ａ（１０μｍ，８０％），点Ｂ（２０μｍ，６０％），点Ｃ（６０μｍ，３０％），点Ｄ（５０μｍ，７０％）である。
【００７６】
点Ａ〜Ｄを直線で囲んだ範囲（白抜き部分）は，圧力損失が１０ｋＰａ以下であり，且つ浄化率が９０％以上の場合を示す。この範囲内の場合には，フィルタは，低い圧力損失で且つ高い浄化率を発揮する。
一方，直線ＡＢ，ＢＣよりも下方の部分（右下り線部分）は，圧力損失が１０ｋＰａを越える場合を示す。直線ＡＤ，ＤＣよりも上方の部分（右上がり線部分）は，浄化率が９０％未満となる場合を示す。
【００７７】
実施形態例２
本例は，図１３に示すごとく，円柱状の連通孔形成材３１を用いて連通孔を形成する例である。
上記連通孔形成材３１は，セラミック粉末の加熱の際に焼失する樹脂，例えば，日本合成化学製のポリエスター（商品名）を用いたものである。連通孔形成材３１は，直径１０〜３０μｍ，長さ５０μｍである。コーティング層１の厚みは，５〜５０μｍである。
この連通孔形成材３１は，セラミック粉末と混合し，乾燥した後，加熱する。これにより，連通孔形成材３１は焼失して，コーティング層１に，その表面から基材５まで連通する連通孔１０を形成する。
【００７８】
尚，連通孔形成材３１は，上記のごとく円柱状以外にも，角柱，多角柱でもよいが，コーティング層１の厚みと同等以上の大きさであれば，連通孔１０を形成することができる。
コーティング層１は活性アルミナよりなり，その表面及び連通孔１０の壁面には，排ガス浄化用の触媒２が担持されている。
その他は，実施形態例１と同様である。本例においても，実施形態例１と同様の効果を得ることができる。
【００７９】
実施形態例３
本例の排ガス浄化用フィルタにおいては，図１４に示すごとく，粒状の連通孔形成材３２を用いて連通孔１０を形成している。
連通孔形成材３２としては，樹脂，ワックスを用いる。連通孔形成材３２の長径は４０〜１００μｍであり，その短径１０〜６０μｍである。
コーティング層１は，活性アルミナよりなり，その表面及び連通孔１０の壁面には，排ガス浄化用の触媒２が担持されている。コーティング層１の厚みは，５〜５０μｍである。
その他は，実施形態例２と同様である。本例においても，実施形態例４と同様の効果を得ることができる。
【００８０】
実施形態例４
本例の排ガス浄化用フィルタにおいては，図１５に示すごとく，連通孔形成材３３としてウィスカーを用いて連通孔１０を形成している。
ウィスカーは，直径４０μｍのカーボンウィスカーである。
コーティング層１は，活性アルミナよりなり，その表面及び連通孔１０の壁面には，排ガス浄化用の触媒２が担持されている。コーティング層１の厚みは，５〜５０μｍである。
その他は，実施形態例４と同様である。本例においても，実施形態例４と同様の効果を得ることができる。
【００８１】
実施形態例５
本例のフィルタにおいては，図１６に示すごとく，コーティング層１に，種々の大きさの細孔径を有する連通孔１０１が形成されている。
連通孔１０１の孔径は，１０μｍから８０μｍの間に広く分布し，その平均細孔径は，４０μｍである。
コーティング層１は，活性アルミナよりなり，その表面及び上記連通孔１０の壁面には，排ガス浄化用の触媒２が担持されている。コーティング層１の厚みは，５〜５０μｍである。
【００８２】
上記連通孔１０１は，１０μｍから８０μｍの範囲に渡って種々の大きさを有する連通孔形成材（ガス発生物質及びカーボン粉末）を用いて形成された。これら種々の大きさの連通孔形成材はセラミック粉末に添加され，蒸留水を加えてスラリーとした。このスラリーの中に基材を浸漬し，余分なスラリーを除去し，乾燥し，その後，加熱して，上記排ガス浄化用フィルタを得た。
その他は，実施形態例１と同様である。本例においても，実施形態例１と同様の効果を得ることができる。
【００８３】
実施形態例６
本例のフィルタにおいては，図１７に示すごとく，コーティング層１に，比較的大きな細孔径の連通孔１０２が形成されている。この連通孔１０２の細孔径は，４０μｍから１００μｍの間に分布しており，その平均細孔径は６０μｍである。その他は，実施形態例５と同様である。
本例においては，連通孔の孔径が比較的大きいため，更なる圧力損失の低減化を図ることができる。その他は，実施形態例５と同様の効果を得ることができる。
【００８４】
実施形態例７
本例のフィルタにおいては，図１８に示すごとく，その上流側６１の流体路５５１の側の基材５表面にはコーティング層１が形成されていて，その下流側６２の流体路５５２の側にはコーティング層は形成されていない。
上記フィルタを製造するに当たっては，セラミック粉末を含むスラリーに，基材の片面だけを浸漬した。その他は，実施形態例１と同様である。
【００８５】
本例においては，上流側の流体路５５１の側にだけコーティング層１を設けているため，未浄化の排ガスが，コーティング層１により浄化された後，基材５を通過して，下流側６２に流出する。そのため，排ガスに含まれるディーゼルパティキュレートを効果的に捕集し圧力損失は基材両面にコーティングしたものより低くできるという特徴を持つ。
【００８６】
実施形態例８
本例のフィルタは，図１９に示すごとく，基材５の上下面だけでなく，基材５内部の細孔５０の表面にもコーティング層１を被覆している点が，実施形態例１とは異なる。
【００８７】
基材５の上下面及び細孔５０の表面を被覆するコーティング層１は，その表面から基材５の表面又は基材内部の細孔内表面まで連通する連通孔１０を有している。連通孔１０の平均細孔径は，２０μｍである。コーティング層１の気孔率は６２％であり，その厚みは２〜２０μｍである。コーティング層１としては，活性アルミナを用いる。
コーティング層の表面及び連通孔１０の内壁には，Ｐｔ，Ｒｈ等の，排ガス浄化用の触媒２が担持されている。基材５は，その内部を三次元網目状に貫通する多数の細孔５０を有している。細孔５０の平均細孔径は，２０〜４０μｍである。
【００８８】
次に，上記排ガス浄化用フィルタを製造するに当たっては，基本的には，上記の実施形態例１と同じである。但し，連通孔形成材の平均粒径が１０〜３０μｍである点，及び基材であるハニカムフィルタには，その見かけ体積１リットル当たり６５ｇのコーティング層を被覆した点が異なる。
【００８９】
本例においては，基材５の上下面だけでなく，基材５内部の細孔５０の表面にもコーティング層１を形成している。そのため，コーティング層に担持された触媒２は，基材５の上下面だけでなくその内部の細孔５０の表面にも付着する。それ故，触媒２の排ガス接触面積が増加して，排ガスの浄化性能が著しく増加する。
また，細孔５０の表面は，連通孔１０を有するコーティング層１０より被覆されている。そのため，細孔５０は目詰まりを起こさず，スムーズに排ガスを通過させることができる。
【００９０】
尚，連通孔形成材を用いることなくフィルタを製造した場合には，図２０に示すごとく，基材５の細孔５０がコーティング層１（セラミック粉末）により閉塞された。
【００９１】
（実験例３）
本例においては，セラミック粉末の被覆量とフィルタの圧力損失との関係を測定した。
測定に当たり，セラミック粉末としては，実施形態例８におけるセラミック粉末と同じ種類で，且つ同じ大きさのセラミック粉末を用いた。セラミック粉末の被覆量は，基材であるハニカムフィルタの見かけ体積１リットル当たり０〜７５ｇの間で変化させた。その他は，実施形態例８と同様にフィルタを製造し，これを試料２とした。
また，比較のために，連通孔形成材を用いることなくフィルタを製造し，これを試料Ｃ４とした。
【００９２】
次に，フィルタの上流側から下流側に，工場エア（５ｋｇ／ｃｍ²）を２０００リットル／分通過させた。このときのフィルタの圧力損失を測定した。その結果を，図２１に示した。
【００９３】
同図より知られるように，試料２のフィルタは，セラミック粉末の被覆量が増加しても，圧力損失は殆ど変化しなかった。一方，試料Ｃ４のフィルタは，セラミック粉末の被覆量が増加するに従って，急激に圧力損失も大きくなった。
このことから，本発明のように，コーティング層の表面から基材の表面又は基材内部の細孔内表面まで連通する連通孔を形成することにより，フィルタの圧力損失を低いまま維持することがわかる。また，セラミック粉末の被覆量は，ハニカムフィルタの見かけ体積１リットル当たり１０〜５０ｇである場合には，低い圧力損失のフィルタを製造することができることがわかる。
【００９４】
（実験例４）
本例においては，排ガス浄化用フィルタによる排ガス中のディーゼルパティキュレートの捕集量とフィルタの圧力損失との関係を測定した。
測定に供するフィルタは，実施形態例８で製造したフィルタであり，これを試料３とした。
【００９５】
また，比較のために，連通孔形成材を用いることなくコーティング層を形成したフィルタを試料Ｃ５とし，またセラミック粉末及び連通孔形成材を用いることなく基材に直接触媒を付着させたフィルタを試料Ｃ６として，同測定を行なった。尚，試料３，試料Ｃ５のコーティング層の厚みは２〜２０μｍであり，コーティング層の被覆量は，ハニカムフィルタの見かけ体積１リットル当たり６５ｇである。
【００９６】
測定にあたり，上記フィルタをエンジンの排ガス通路に配置した。エンジンは，排気量４．２リットルのディーゼルエンジンを使用し，１６００ｒｐｍ，アクセル全開状態（Ｗ．Ｏ．Ｔ）で運転した。このときのフィルタによるディーゼルパティキュレートの捕集量とフィルタの圧力損失とを測定し，その結果を図２２に示した。
【００９７】
同図より知られるように，試料３，Ｃ５，Ｃ６のいずれも，ディーゼルパティキュレートの捕集量が増加するに従ってフィルタの圧力損失も大きくなった。そして，連通孔形成材を添加してコーティング層を形成したフィルタ（試料３）の圧力損失は，連通孔形成材無添加でコーティング層を形成したフィルタ（試料Ｃ６）の圧力損失に対して，１．５倍に満たなかった。一方，連通孔形成材無添加でコーティング層を形成したフィルタ（試料Ｃ５）では，試料Ｃ６に対して，２〜３倍の圧力損失であった。
このことから，セラミック粉末に連通孔形成材を添加してコーティング層に連通孔を形成することにより，連通孔形成材無添加の場合に比べて，低い圧力損失の排ガス浄化用フィルタを得ることができる。
【００９８】
【作用及び効果】
本発明によれば，浄化性能の向上と共に圧力損失の低減化を図ることができる排ガス浄化用フィルタ及びその製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施形態例１における，図３のＡ−Ａ線に沿って切断した排ガス浄化用フィルタの壁断面説明図。
【図２】実施形態例１の，コーティング層の連通孔の大きさを示す，排ガス浄化用フィルタの壁表面説明図。
【図３】実施形態例１の，基材のハニカム構造を示す排ガス浄化用フィルタの斜視図。
【図４】実施形態例１の，排ガス浄化用フィルタ内の排ガスの流れを示す説明図。
【図５】実施形態例１における，ガス発生物質により連通孔を形成する方法を示す説明図。
【図６】実施形態例１における，比較例としての排ガス浄化用フィルタの説明図。
【図７】実験例１における，各種の排ガス浄化用フィルタの細孔特性（細孔径と細孔容積）を示す線図。
【図８】実験例１における，各種の排ガス浄化用フィルタの比表面積を示す説明図。
【図９】実験例１における，各種の排ガス浄化用フィルタの時間経過に伴う圧力損失の変化を示す説明図。
【図１０】実験例２における，コーティング層の平均細孔径及び気孔率と，フィルタの圧力損失との相関図。
【図１１】実験例２における，コーティング層の平均細孔径及び気孔率と，フィルタによる排ガスの浄化率との相関図。
【図１２】実験例２における，浄化率が高く且つ圧力損失が低い，コーティング層の平均細孔径及び気孔率の範囲を示す説明図。
【図１３】実施形態例２の，排ガス浄化用フィルタの製造方法を示す説明図。
【図１４】実施形態例３の，排ガス浄化用フィルタの製造方法を示す説明図。
【図１５】実施形態例４の，排ガス浄化用フィルタの製造方法を示す説明図。
【図１６】実施形態例５の，コーティング層内の連通孔の大きさを示す，排ガス浄化用フィルタの壁断面説明図。
【図１７】実施形態例６の，コーティング層内の連通孔の大きさを示す，排ガス浄化用フィルタの壁断面説明図。
【図１８】実施形態例７の，排ガス浄化用フィルタ内の排ガスの流れを示す説明図。
【図１９】実施形態例８における，排ガス浄化用フィルタの壁断面説明図。
【図２０】実施形態例８における，比較例としての排ガス浄化用フィルタの壁断面説明図。
【図２１】実験例３における，セラミック粉末の被覆量とフィルタの圧力損失との関係を示す線図。
【図２２】実験例４における，フィルタによるディーゼルパティキュレートの捕集量とフィルタの圧力損失との関係を示す線図。
【図２３】従来例における，排ガス浄化用フィルタの斜視図。
【符号の説明】
１．．．コーティング層，
１０．．．連通孔，
２．．．触媒，
３０．．．ガス発生物質，
３１，３２，３３．．．連通孔形成材，
５．．．基材，
５０．．．細孔，
５９．．．排ガス浄化用フィルタ，

Claims

多数の細孔を有する基材の表面に，セラミック粉末と連通孔形成材との混合物を被覆し，
次いで，該混合物を加熱することにより，上記セラミック粉末を焼結してコーティング層を上記基材の表面に形成すると共に，上記連通孔形成材を焼失させて上記コーティング層に，その表面から基材の表面まで連通する連通孔を形成するに当たり，
上記連通孔形成材は，その大きさがコーティング層の厚みと同じか又はコーティング層の厚みよりも大きい可燃性物質とすることを特徴とする排ガス浄化用フィルタの製造方法。
多数の細孔を有する基材の表面に，セラミック粉末と連通孔形成材との混合物を被覆するとともに，上記基材内部の細孔内表面に上記混合物を導入させ，
次いで，該混合物を加熱することにより，上記セラミック粉末を焼結してコーティング層を上記基材の表面及び上記基材内部の細孔内表面に形成すると共に，上記連通孔形成材を焼失させて上記コーティング層に，その表面から基材の表面又は基材内部の細孔内表面まで連通する連通孔を形成することを特徴とする排ガス浄化用フィルタの製造方法。
請求項２において，上記連通孔形成材は，ガス発生物質であることを特徴とする排ガス浄化用フィルタの製造方法。
請求項２において，上記連通孔形成材は，その大きさがコーティング層の厚みと同じか又はコーティング層の厚みよりも大きい可燃性物質であることを特徴とする排ガス浄化用フィルタの製造方法。
請求項１〜４のいずれか一項において，上記連通孔形成材は，その大きさが，基材の細孔と同じか又は細孔よりも小さいことを特徴とする排ガス浄化用フィルタの製造方法。
多数の細孔を有する基材の表面に，収縮率の異なる２種以上のセラミック粉末を被覆し，加熱することにより，
上記セラミック粉末を焼結してコーティング層を上記基材の表面に形成すると共に，該コーティング層に多数のマイクロクラックを発生させてコーティング層にその表面から基材の表面まで連通する連通孔を形成することを特徴とする排ガス浄化用フィルタの製造方法。
多数の細孔を有する基材の表面に，収縮率の異なる２種以上のセラミック粉末を被覆すると共に，上記基材内部の細孔内表面に上記セラミック粉末を導入させ，
次いで，上記セラミック粉末を加熱することにより，
上記セラミック粉末を焼結してコーティング層を上記基材の表面及び上記基材内部の細孔内表面に形成すると共に，該コーティング層に多数のマイクロクラックを発生させてコーティング層にその表面から基材の表面又は基材内部の細孔内表面まで連通する連通孔を形成することを特徴とする排ガス浄化用フィルタの製造方法。
セラミック粉末を含むスラリーの中に高粘度油性物質を添加し，上記スラリーを強く撹拌して，高粘度油性物質からなる油微粒子を形成し，
次いで，上記スラリーを多数の細孔を有する基材の表面に被覆し，加熱することにより，
上記セラミック粉末を焼結させてコーティング層を上記基材の表面に形成すると共に，該コーティング層内の油微粒子よりガスを発生させて上記油微粒子を消失させて，上記ガスをコーティング層の外方に逃がすことにより，コーティング層の表面から基材の表面まで連通する連通孔を形成することを特徴とする排ガス浄化用フィルタの製造方法。
セラミック粉末を含むスラリーの中に高粘度油性物質を添加し，上記スラリーを強く撹拌して，高粘度油性物質からなる油微粒子を形成し，
次いで，上記スラリーを多数の細孔を有する基材の表面に被覆すると共に，上記基材内部の細孔内表面にスラリーを導入させ，
次いで，上記スラリーを加熱することにより，
上記セラミック粉末を焼結させてコーティング層を上記基材の表面及び上記基材内表面に形成すると共に，該コーティング層内の油微粒子よりガスを発生させて上記油微粒子を消失させて，上記ガスをコーティング層の外方に逃がすことにより，コーティング層の表面から基材の表面又は基材内部の細孔内表面まで連通する連通孔を形成することを特徴とする排ガス浄化用フィルタの製造方法。
多数の細孔を有する基材の表面に，網目状に発泡する発泡材料を被覆すると共に，上記基材内部の細孔内表面に上記発泡材料を導入させ，
次いで，上記発泡材料を発泡させ，
次いで，発泡した発泡材料の表面に，セラミック粉末を含むスラリーを，上記発泡した発泡材料の大きさと同じか又はそれよりも大きい厚みに塗布し，加熱することにより，
上記セラミック粉末を焼結させてコーティング層を上記基材の表面及び上記基材内部の細孔内表面に形成すると共に，上記発泡材料を焼失させて，コーティング層の表面から基材の表面又は基材内部の細孔内表面まで網目状に連通する連通孔を形成することを特徴とする排ガス浄化用フィルタの製造方法。
請求項１〜１０のいずれか一項において，上記連通孔の平均細孔径は，１０〜６０μｍであることを特徴とする排ガス浄化用フィルタの製造方法。
請求項１〜１１のいずれか一項において，上記コーティング層の気孔率は，３０〜８０％であることを特徴とする排ガス浄化用フィルタの製造方法。
多数の細孔を有する基材と，該基材の表面に設けられ，内燃機関より排出される排ガスを浄化する触媒を担持させるコーティング層とを有してなる排ガス浄化用フィルタにおいて，
上記コーティング層は，その表面から上記基材の表面まで連通する連通孔を有するとともに，上記コーティング層の気孔率は３０〜８０％であり，
上記請求項１〜１２のいずれか一項に記載の排ガス浄化用フィルタの製造方法によって製造してなることを特徴とする排ガス浄化用フィルタ。
多数の細孔を有する基材と，該基材表面及び該基材内部の細孔内表面に設けられ，内燃機関より排出される排ガスを浄化する触媒を担持させるコーティング層とを有してなる排ガス浄化用フィルタにおいて，
上記コーティング層は，その表面から基材の表面又は基材内部の細孔内表面まで連通する連通孔を有するとともに，上記コーティング層の気孔率は３０〜８０％であることを特徴とする排ガス浄化用フィルタ。
請求項１３又は１４において，上記連通孔の平均細孔径は，１０〜６０μｍであることを特徴とする排ガス浄化用フィルタ。
請求項１３〜１５のいずれか一項において，上記コーティング層は，上記基材の表面および上記基材内部の細孔内表面を被覆していることを特徴とする排ガス浄化用フィルタ。