JP3685623B2

JP3685623B2 - Ceramic heater

Info

Publication number: JP3685623B2
Application number: JP21173798A
Authority: JP
Inventors: 康司松尾; 聡石川
Original assignee: NGK Spark Plug Co Ltd
Current assignee: Niterra Co Ltd
Priority date: 1998-07-10
Filing date: 1998-07-10
Publication date: 2005-08-24
Anticipated expiration: 2018-07-10
Also published as: JP2000030844A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、発熱抵抗体が介装された基材が碍管に巻回された棒状のセラミックヒータに関する。本発明のセラミックヒータは、自動車用酸素センサ用熱源、内燃機関用グロープラグ、石油ファンヒータ等の石油気化器用熱源、又は半導体加熱用セラミックヒータ等に利用される。
【０００２】
【従来の技術】
セラミックヒータは、一般に加圧成形、押出成形等によって得られる平板或いは円筒等、所望の形状のグリーンシート（焼成されてセラミック基材となる）の表面に、白金、モリブデン、タングステン等の、融点の高い金属を含むペーストを厚膜印刷して発熱抵抗体パターンを形成し、これらを一体に焼成することにより製造されている。セラミック基材を構成する主成分としてアルミナ、高融点金属としてタングステンを用い、一体に焼成して得られるセラミックヒータがその代表例である。このセラミックヒータは高温において安定であるため、従来より、例えば自動車用酸素センサ或いはグロープラグ等の高温に晒される用途に使用されることが多い。
また、上記発熱抵抗体は、外気に晒したままで使用すると空気中の酸素等によって酸化し、劣化してしまうため、２枚のセラミック基材間に挟む等の方法によって外気と接触しないような構造を採ることが多い。このため、セラミック基材の内部に導電性を持たせたスルーホールを設ける等、何らかの手段によって、基材表面に設けられた端子部からセラミックヒータ内部の発熱抵抗体への導通路を設ける必要がある。
そして、端子部にヒータ端子を接続し、給電することで発熱抵抗体を外気と接触させることなく発熱させることができる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記発熱抵抗体パターンを形成したグリーシート等を円筒形状の碍管に巻回する際に、上記導通路となるスルーホールより亀裂や割れ等の破損を生じやすい。また、セラミック基材はヒータ端子とセラミックヒータとの間に異なる方向の力がかかると、上記導通路に応力が集中して亀裂や割れ等の破損を生じやすい。特に、図５に示すように小径の導通路３、３’を基材の長手方向に直線上に複数設けた場合は、導通路３、３’間に亀裂が入りやすくなる。このような亀裂やスルーホールから外気が基材間に浸入し、発熱抵抗体が外気と接触して酸化・劣化されて破損を起こすこととなる。
【０００４】
本発明は、上記の問題点を解決するものであり、セラミック基材が導通路から破損を起こすことを防止することによって、発熱抵抗体の破損を防止するセラミックヒータを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本第１発明のセラミックヒータは、碍管、該碍管に巻回され、接合される第１基材、該第１基材に接合される第２基材、該第１基材と該第２基材の間に介装される発熱抵抗体、上記第２基材の表面に設けられる端子部、該端子部と上記発熱抵抗体の端末部とを導通させるため、上記第２基材を貫通して設けられる複数の導通路、を備えるセラミックヒータにおいて、上記導通路は、上記第２基材の長手方向において直線状に配列されていないことを特徴とする。
【０００６】
本第２発明のセラミックヒータは、上記端子部に接合されるヒータ端子の直下に上記導通路が存在しないように作製するものである。
【０００７】
上記「第１基材」及び上記「第２基材」は材質としてセラミックスを用いることができ、アルミナ（Ａｌ₂Ｏ₃）や、ムライト又はスピネル等のアルミナ類似のセラミックス等の、高温高強度セラミックスを主成分とすることができる。また、これら例示の中ではアルミナを好適とする。このような材質を用いることによって、発熱抵抗体を高温環境下において保護することができる。
【０００８】
また、上記各基材の作製方法としては任意の方法を用いることができ、例として所定形状のグリーンシートを焼結することによって作製することを挙げることができる。
上記「碍管」の形状は任意であって、筒状、棒状等種々の形状を挙げることができる。また、断面形状においても円形、楕円形、四角形、六角形等の任意の形状とすることができる。この碍管も、アルミナや、ムライト又はスピネル等のアルミナ類似のセラミックス等の、高温高強度セラミックスを主成分としたセラミックスによって形成することができる。
【０００９】
上記「発熱抵抗体」の材料としては、主にタングステンやモリブデン等を例として挙げることができる。また、これらの成分に白金やロジウム等の高融点金属成分を混合して用いることもできるし、抵抗特性の向上のためにこれらを単独で用いることもできる。尚、悪影響を与えない限りにおいて、各基材と同様の酸化物等が若干混在していてもよい。
【００１０】
上記「導通路」としては、スルーホールの内面に導電性被膜を設けたり、導電材を充填したもの等を例に挙げることができる。
上記「第２基材の長手方向」とは、上記碍管の軸長方向と平行な方向であり、第２基材の巻回方向（上記碍管の周方向）に対して直交する方向であることを意味する。また、第２発明に示すヒータ端子の配設方向と平行でもある。
【００１１】
【作用】
碍管に巻回された基材には、通常巻回方向と直交する方向に亀裂が発生しやすい。また、基材に設けられた溝やスルーホール等から亀裂が発生しやすい。このため、第１発明に示すように、上記導通路を上記方向に直線状に配列しないことによって、亀裂の発生を防ぐことができる。
また、上記溝や上記スルーホールに局部的に力が加わることによっても亀裂が生じやすくなる。このため、第２発明に示すように、ヒータ端子の直下に上記導電路を設けないことによって、上記導電路にヒータ端子の折り曲げ等による力が加わることを防ぎ、亀裂の発生を防ぐことができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、図１〜４に示すように、本発明のセラミックヒータを実施例によって詳細に説明する。
（１）セラミックヒータの構造
本セラミックヒータは、図１、図２及び図４に示すように、アルミナを主成分としたセラミックス製の第１基材１１及び第２基材１２と、発熱抵抗体２とを備える。
第１基材１１は、碍管４に巻回される側の基材である。また、第２基材１２は、本セラミックヒータの最外周（最表面）となる部材であり、外周面に端子部１３ａ、１３ｂを備える。この端子部１３ａ、１３ｂは図１〜図３に示すように、角板状にメタライズして導電性を持たせた部位であり、発熱抵抗体２に給電するためのヒータ端子５ａ、５ｂと、発熱抵抗体２に接続する導通路３、３’とを互いに接続する。
【００１３】
上記発熱抵抗体２は図１に示すように形成されており、タングステンを焼成して作製されたものである。そして、その先端側の発熱部２１と、後端側の陽極側端末部２２ａ及び陰極側端末部２２ｂと、発熱部２１と両端末部２２ａ、２２ｂとを結ぶリード部２３ａ、２３ｂにより構成される。
【００１４】
上記導通路３、３’は図１〜図４に示すように、端子部１３ａ、１３ｂ上に２ヶ所ずつ設けられている導電性を持たせたスルーホールであり、第２基材１２の長手方向、つまり碍管４の軸長方向と平行な方向であって第２基材１２の巻回方向に対して直交する方向に対して、直線状に配設されることがないよう、端子部１３ａ、１３ｂの対角線上の両端側に配設されている。また、導通路３、３’は、スルーホールの内面にタングステンを被覆して導電性を持たせることにより形成されている。更に、この導通路３の開口面は銀ろう及びニッケルメッキによって塞がれている。
この導通路３によって上記の両端末部２２ａ、２２ｂと陽極側及び陰極側端子部１３ａ、１３ｂが各々導通される。更に、両端子部１３ａ、１３ｂには、電源（図示せず）に接続されるヒータ端子５ａ、５ｂが接合される。
【００１５】
（２）セラミックヒータの作製方法
本セラミックヒータを構成する第１基材１１及び第２基材１２は、２枚のグリーンシートを使用して作製した。
a)グリーンシートの作製
アルミナ粉末及び必要に応じて添加されるＹ₂Ｏ₃等の微量粉末からなる所定割合で配合された配合物１００重量部に対し、ポリビニルブチラール８重量部、ジブチルフタレート４重量部、メチルエチルケトンとトルエンとを合計量で７０重量部添加し、ボールミルで混合してスラリ状とした。その後、減圧脱泡し、ドクターブレード法によって厚さ０．３ｍｍの２枚のグリーンシートを作製した。
【００１６】
b)発熱抵抗体のパターンの印刷
１枚のグリーンシートの一表面に、予め調製されたタングステンペーストを厚膜印刷法により２５μｍの厚さにスクリーン印刷し、焼成されて発熱抵抗体２を構成することとなるパターン、即ち焼成されて発熱部２１、端末部２２ａ、端末部２２ｂ及びリード部２３ａ、２３ｂとなるパターンを形成した。このパターンは、発熱部２１となる部位の幅は４００μｍとし、同部位の長手方向の長さを２０ｍｍとし、リード部２３ａ及び２３ｂとなる部位の幅は２．５ｍｍとした。また、グリーンシートの全長は６５ｍｍである。
【００１７】
c)セラミックヒータ成形体の作製
その後、陽極側端末部２２ａと陽極側端子部１３ａ、及び陰極側端末部２２ｂと陰極側端子部１３ｂを各々電気的に接続するように、発熱抵抗体パターンが印刷されたグリーンシートにスルーホールを設け、このスルーホールにタングステンペーストを供給してその内面を被覆した。次いで、このグリーンシートの他表面の所定位置に、タングステンペーストを使用して厚膜印刷法により、端子部１３ａ、１３ｂを印刷し、その後、このグリーンシートの一表面に他のグリーンシートの一表面を圧着した。次いで、この他のグリーンシートの他表面を碍管４に巻き付け、外周を押圧してセラミックヒータ成形体を得た。
【００１８】
d)セラミックヒータ成形体の焼成
上記のようにして得られたセラミックヒータ成形体を２５０℃で樹脂抜きし、その後、水素雰囲気中で、１５５０℃で１時間３０分保持して焼成し、第１基材１１、第２基材１２、発熱抵抗体２、陽極側及び陰極側端子部１３ａ、１３ｂ及びアルミナ製碍管４が一体化された直径２．５ｍｍ、長さ６５ｍｍのセラミックヒータを得た。尚、タングステンペーストが被覆されたスルーホールによって導通路３、３’が形成された。このセラミックヒータの常温における抵抗は５．０Ωとなるようにした。使用時には、陽極、陰極両端子部１３ａ、１３ｂに各々ニッケルメッキを施し、ヒータ端子５ａ、５ｂを、銀ろう材により両端子部１３ａ、１３ｂに接合する。更に、銀ろう表面及びヒータ端子５ａ、５ｂの両部位にニッケルメッキを施して保護する。
【００１９】
（３）セラミックヒータの効果
このようにして作製したセラミックヒータは、導通路３、３’のそれぞれを端子部１３ａ、１３ｂの対角線上に設け、第２基材１２の長手方向に対して直線上に並ばないようにし、且つヒータ端子５ａ、５ｂ直下に導通路３、３’が配設されていない。このため、ヒータ端子５ａ、５ｂに力がかかり、端子部１３ａ、１３ｂに負荷が掛かっても、導通路３、３’部分に応力が伝わらず、しかも、第２導通路１２の長手方向に直線状に配置されておらず、且つ、導通路３、３’間が距離を置いてあるので、導通路３、３’から亀裂が入りにくいものとなっている。また、グリーンシートを碍管４に巻き付ける際においても、同様にスルーホールから亀裂が入りにくいものとなっている。
更に、導通路３、３’及びその周辺が銀ろう及びニッケルメッキにおおわれているため、導通路３、３’周辺に亀裂が入っても、端子部１３ａ、１３ｂが破壊されない限り外気がヒータ内に浸入することがない。
【００２０】
尚、本発明においては、上記実施例に限られず、目的、用途に応じて本発明の範囲内で種々変更した実施例とすることができる。即ち、導通路３、３’の配置は実施例に示した対角状配置だけではなく、碍管の周回方向に並ぶように配置することができる。また、碍管の形状は、実施例に示した円筒形状だけではなく、円柱状の中実体等とすることができる。更に、導通路の個数は２に限らず、３以上とすることができる。
【００２１】
【発明の効果】
本発明のセラミックヒータは、ヒータ内への発熱抵抗体に給電するための複数の導通路の配置を、基材の長手方向に直線上にならないように配列し、且つヒータ端子直下にならないように配設したので、導通路からの基材の破損を防止することができる。
また、導通路とその周囲を被覆したことによって、導通路周囲が破損しても容易に外気がヒータ内に浸入しない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施例の円筒状碍管用のセラミックヒータを説明するための分解斜視図である。
【図２】円筒状碍管に本セラミックヒータを巻回して使用する状態を示す模式図である。
【図３】本実施例のセラミックヒータの端子部周辺を説明するための部分拡大図である。
【図４】本実施例のセラミックヒータの端子部周辺を説明するための断面図である。
【図５】複数の導通路が、基材の長手方向に対して直線状に、且つヒータ端子の直下に配設されている、従来例のセラミックヒータを説明するための端子部周辺の部分拡大図である。
【符号の説明】
１１；第１基材、１２；第２基材、１３ａ、１３ｂ；端子部、２；発熱抵抗体、２１；発熱抵抗体の先端側発熱部、２２ａ、２２ｂ；端末部、２３ａ、２３ｂ；リード部、３、３’；導通路、４；碍管、５ａ、５ｂ；ヒータ端子。[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a rod-shaped ceramic heater in which a base material on which a heating resistor is interposed is wound around a soot tube. The ceramic heater of the present invention is used as a heat source for automobile oxygen sensors, a glow plug for internal combustion engines, a heat source for petroleum vaporizers such as a petroleum fan heater, or a ceramic heater for semiconductor heating.
[0002]
[Prior art]
Ceramic heaters generally have a melting point such as platinum, molybdenum, tungsten, etc. on the surface of a green sheet of desired shape (fired to become a ceramic substrate) such as a flat plate or cylinder obtained by pressure molding, extrusion molding, etc. It is manufactured by thickly printing a paste containing a high metal to form a heating resistor pattern and firing these together. A typical example is a ceramic heater obtained by integrally firing using alumina as the main component constituting the ceramic substrate and tungsten as the refractory metal. Since this ceramic heater is stable at high temperatures, it has been often used for applications exposed to high temperatures, such as automotive oxygen sensors or glow plugs.
In addition, since the heating resistor is oxidized and deteriorated by oxygen in the air when it is used while exposed to the outside air, the structure does not come into contact with the outside air by a method such as sandwiching between two ceramic substrates. Is often taken. For this reason, it is necessary to provide a conduction path from the terminal portion provided on the surface of the base material to the heating resistor inside the ceramic heater by some means such as providing a through hole with conductivity inside the ceramic base material. is there.
And a heater terminal is connected to a terminal part, and it can be made to heat without making a heating resistor contact with outside air by supplying electric power.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
However, when a grease sheet or the like on which the heating resistor pattern is formed is wound around a cylindrical soot tube, breakage such as cracks or cracks is likely to occur from the through hole serving as the conduction path. Further, when a force in a different direction is applied between the heater terminal and the ceramic heater, the ceramic base material tends to cause stress such as cracks or breakage due to stress concentration on the conduction path. In particular, as shown in FIG. 5, when a plurality of small-diameter conduction paths 3 and 3 ′ are provided on a straight line in the longitudinal direction of the base material, cracks are easily formed between the conduction paths 3 and 3 ′. The outside air enters between the base materials from such cracks and through holes, and the heating resistor comes into contact with the outside air and is oxidized and deteriorated to cause breakage.
[0004]
The present invention solves the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a ceramic heater that prevents the heating resistor from being damaged by preventing the ceramic base material from being damaged from the conduction path. .
[0005]
[Means for Solving the Problems]
The ceramic heater of the first invention includes a soot tube, a first base material wound and joined to the soot tube, a second base material joined to the first base material, the first base material and the second base material. A heat-generating resistor interposed between the materials, a terminal portion provided on the surface of the second base material, and the terminal portion and the terminal portion of the heat-generating resistor are electrically connected to penetrate the second base material. In the ceramic heater comprising a plurality of conduction paths, the conduction paths are not arranged linearly in the longitudinal direction of the second base material.
[0006]
The ceramic heater according to the second aspect of the invention is manufactured so that the conduction path does not exist immediately below the heater terminal joined to the terminal portion.
[0007]
The “first base material” and the “second base material” can use ceramics as a material, and high-temperature high-strength ceramics such as alumina (Al ₂ O ₃ ) and alumina-like ceramics such as mullite or spinel. Can be the main component. In these examples, alumina is preferred. By using such a material, the heating resistor can be protected in a high temperature environment.
[0008]
Moreover, arbitrary methods can be used as a preparation method of each said base material, For example, producing by sintering the green sheet of a predetermined shape can be mentioned.
The shape of the “tubular tube” is arbitrary, and various shapes such as a cylindrical shape and a rod shape can be given. In addition, the cross-sectional shape can be any shape such as a circle, an ellipse, a quadrangle, a hexagon, and the like. This soot tube can also be formed of ceramics mainly composed of high-temperature and high-strength ceramics such as alumina and ceramics similar to alumina such as mullite or spinel.
[0009]
Examples of the material of the “heating resistor” include mainly tungsten and molybdenum. Further, these components can be used by mixing refractory metal components such as platinum and rhodium, or these can be used alone for improving the resistance characteristics. In addition, as long as it does not have a bad influence, the same oxide etc. as each base material may be mixed a little.
[0010]
Examples of the “conduction path” include those in which a conductive film is provided on the inner surface of the through hole or a conductive material is filled.
The “longitudinal direction of the second base material” is a direction parallel to the axial length direction of the soot tube, and is a direction orthogonal to the winding direction of the second base material (circumferential direction of the soot tube). Means. Further, it is also parallel to the heater terminal arrangement direction shown in the second invention.
[0011]
[Action]
In the base material wound around the soot tube, cracks are likely to occur in a direction perpendicular to the normal winding direction. In addition, cracks are likely to occur from grooves or through holes provided in the substrate. For this reason, as shown in 1st invention, generation | occurrence | production of a crack can be prevented by not arranging the said conduction path linearly in the said direction.
In addition, cracks are likely to occur when a force is locally applied to the groove or the through hole. For this reason, as shown in 2nd invention, by not providing the said conductive path directly under a heater terminal, it can prevent that the force by bending etc. of a heater terminal is added to the said conductive path, and generation | occurrence | production of a crack can be prevented. .
[0012]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, as shown in FIGS. 1-4, the ceramic heater of this invention is demonstrated in detail by an Example.
(1) Structure of ceramic heater As shown in FIG. 1, FIG. 2 and FIG. 4, this ceramic heater comprises a first base material 11 and a second base material 12 made of ceramics mainly composed of alumina, and a heating resistor. 2 is provided.
The first base material 11 is a base material on the side wound around the soot tube 4. Moreover, the 2nd base material 12 is a member used as the outermost periphery (outermost surface) of this ceramic heater, and is provided with terminal part 13a, 13b in an outer peripheral surface. As shown in FIGS. 1 to 3, the terminal portions 13 a and 13 b are portions that are metalized in a square plate shape to have conductivity, and heater terminals 5 a and 5 b for supplying power to the heating resistor 2, Conductive paths 3, 3 'connected to the heating resistor 2 are connected to each other.
[0013]
The heating resistor 2 is formed as shown in FIG. 1, and is made by firing tungsten. And it is comprised by the heat generating part 21 of the front end side, the anode side terminal part 22a and cathode side terminal part 22b of the rear end side, and lead parts 23a and 23b which connect the heat generating part 21 and both terminal parts 22a and 22b. .
[0014]
As shown in FIGS. 1 to 4, the conductive paths 3, 3 ′ are through holes provided with conductivity at two locations on the terminal portions 13 a, 13 b, and the length of the second base material 12. The terminal portion 13a is not arranged linearly with respect to the direction, that is, the direction parallel to the axial length direction of the soot tube 4 and perpendicular to the winding direction of the second base material 12. , 13b are arranged at both ends on the diagonal line. Further, the conduction paths 3 and 3 'are formed by coating the inner surface of the through hole with tungsten to make it conductive. Furthermore, the opening surface of the conduction path 3 is blocked by silver brazing and nickel plating.
The both ends 22a and 22b are connected to the anode side and cathode side terminal portions 13a and 13b through the conduction path 3. Furthermore, heater terminals 5a and 5b connected to a power source (not shown) are joined to both terminal portions 13a and 13b.
[0015]
(2) Manufacturing method of ceramic heater The 1st base material 11 and the 2nd base material 12 which comprise this ceramic heater were produced using two green sheets.
a) Preparation of green sheet 8 parts by weight of polyvinyl butyral and 4 parts by weight of dibutyl phthalate with respect to 100 parts by weight of a blend of alumina powder and a small amount of powder such as Y ₂ O ₃ added as required 70 parts by weight of a total amount of methyl ethyl ketone and toluene were added and mixed with a ball mill to form a slurry. Thereafter, degassing was performed under reduced pressure, and two green sheets having a thickness of 0.3 mm were prepared by a doctor blade method.
[0016]
b) Printing of heating resistor pattern A pre-prepared tungsten paste is screen-printed to a thickness of 25 μm by a thick film printing method on one surface of one green sheet and baked to form the heating resistor 2. The pattern which becomes the heat generation part 21, the terminal part 22a, the terminal part 22b, and the lead parts 23a and 23b by baking was formed. In this pattern, the width of the portion that becomes the heat generating portion 21 is 400 μm, the length in the longitudinal direction of the same portion is 20 mm, and the width of the portion that becomes the lead portions 23a and 23b is 2.5 mm. The total length of the green sheet is 65 mm.
[0017]
c) Fabrication of ceramic heater molded body After that, a heating resistor pattern is printed so as to electrically connect the anode side terminal portion 22a and the anode side terminal portion 13a, and the cathode side terminal portion 22b and the cathode side terminal portion 13b, respectively. A through hole was formed in the green sheet, and a tungsten paste was supplied to the through hole to coat the inner surface. Next, terminal portions 13a and 13b are printed at a predetermined position on the other surface of the green sheet by a thick film printing method using a tungsten paste, and then one surface of another green sheet is formed on one surface of the green sheet. Was crimped. Next, the other surface of the other green sheet was wound around the soot tube 4, and the outer periphery was pressed to obtain a ceramic heater molded body.
[0018]
d) Firing of ceramic heater molded body The ceramic heater molded body obtained as described above was discharged at 250 ° C., and then fired in a hydrogen atmosphere at 1550 ° C. for 1 hour and 30 minutes. A ceramic heater having a diameter of 2.5 mm and a length of 65 mm in which the base material 11, the second base material 12, the heating resistor 2, the anode side and cathode side terminal portions 13 a and 13 b, and the alumina soot tube 4 were integrated was obtained. Conductive paths 3, 3 'were formed by through holes covered with tungsten paste. The resistance of this ceramic heater at room temperature was set to 5.0Ω. In use, both the anode and cathode terminal portions 13a and 13b are plated with nickel, and the heater terminals 5a and 5b are joined to both terminal portions 13a and 13b with a silver brazing material. Further, both the silver solder surface and the heater terminals 5a and 5b are protected by nickel plating.
[0019]
(3) Effect of Ceramic Heater The ceramic heater manufactured in this manner is provided with the conduction paths 3 and 3 ′ on diagonal lines of the terminal portions 13 a and 13 b, and is linear with respect to the longitudinal direction of the second substrate 12. The conduction paths 3 and 3 'are not arranged immediately below the heater terminals 5a and 5b. For this reason, even if a force is applied to the heater terminals 5 a and 5 b and a load is applied to the terminal portions 13 a and 13 b, no stress is transmitted to the conductive paths 3 and 3 ′, and the straight line extends in the longitudinal direction of the second conductive path 12. Since the conductive paths 3 and 3 ′ are spaced apart from each other, the conductive paths 3 and 3 ′ are not easily cracked. Similarly, when the green sheet is wound around the soot tube 4, it is also difficult for cracks to enter from the through hole.
Furthermore, since the conductive paths 3 and 3 'and the periphery thereof are covered with silver brazing and nickel plating, even if cracks occur in the periphery of the conductive paths 3 and 3', the outside air remains in the heater unless the terminal portions 13a and 13b are destroyed. There is no intrusion.
[0020]
In the present invention, the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made within the scope of the present invention depending on the purpose and application. That is, the arrangement of the conduction paths 3 and 3 ′ can be arranged not only in the diagonal arrangement shown in the embodiment but also in the circumferential direction of the soot tube. In addition, the shape of the soot tube can be not only the cylindrical shape shown in the embodiment but also a solid body of a columnar shape. Furthermore, the number of conduction paths is not limited to 2, but can be 3 or more.
[0021]
【The invention's effect】
In the ceramic heater of the present invention, the arrangement of a plurality of conduction paths for supplying power to the heating resistor in the heater is arranged so as not to be linear in the longitudinal direction of the base material, and so as not to be directly under the heater terminal. Since it arrange | positioned, damage to the base material from a conduction path can be prevented.
In addition, by covering the conduction path and its surroundings, outside air does not easily enter the heater even if the periphery of the conduction path is damaged.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an exploded perspective view for explaining a ceramic heater for a cylindrical soot tube according to the present embodiment.
FIG. 2 is a schematic view showing a state in which the ceramic heater is wound around a cylindrical soot tube and used.
FIG. 3 is a partially enlarged view for explaining the periphery of the terminal portion of the ceramic heater of the present embodiment.
FIG. 4 is a cross-sectional view for explaining the periphery of the terminal portion of the ceramic heater of the present embodiment.
FIG. 5 is a partial enlargement around a terminal portion for explaining a conventional ceramic heater in which a plurality of conduction paths are arranged linearly with respect to the longitudinal direction of the base material and immediately below the heater terminal. FIG.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 11; 1st base material, 12; 2nd base material, 13a, 13b; Terminal part, 2; Heating resistor, 21; Tip side heat generating part of heating resistor, 22a, 22b; Terminal part, 23a, 23b; Part, 3, 3 '; conduction path, 4; soot pipe, 5a, 5b; heater terminal.

Claims

A soot pipe, a first base material wound around and joined to the soot pipe, a second base material joined to the first base material, and heat generated between the first base material and the second base material A resistor, a terminal portion provided on the surface of the second base material, and a plurality of conduction paths provided through the second base material for electrically connecting the terminal portion and the terminal portion of the heating resistor; A ceramic heater comprising: the conductive path is not arranged linearly in the longitudinal direction of the second base material.

The ceramic heater according to claim 1, wherein the conduction path does not exist immediately below the heater terminal joined to the terminal portion.