JP3588693B2 - Ｍｎ−Ｚｎ系フェライトおよびその製造方法 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、軟磁性を有する酸化物磁性材料に係り、より詳しくは各種インダクタンス素子、ＥＭＩ対策用インピーダンス素子などとしての使用に向けて好適なＭｎ −Ｚｎ フェライトとその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
軟磁性を有する代表的な酸化物磁性材料としては、Ｍｎ −Ｚｎ フェライトがある。このＭｎ −Ｚｎ フェライトは、従来一般には化学量論組成である５０ ｍｏｌ％よりも多いＦｅ_２Ｏ_３ 、平均的には５２〜５５ ｍｏｌ％のＦｅ_２Ｏ_３ と、１０〜２４ ｍｏｌ％の ＺｎＯと、残部 ＭｎＯとを含有する基本成分組成となっている。そして、通常は、Ｆｅ_２Ｏ_３ 、ＺｎＯ、 ＭｎＯの各原料粉末を所定の割合で混合した後、仮焼、粉砕、成分調整、造粒、成形の各工程を経て所定の形状とし、しかる後、窒素を流すことにより酸素濃度を低く抑えた還元性雰囲気中で、１２００〜１４００℃に２〜４時間保持する焼成処理を行って製造される。このように還元性雰囲気中で焼成する理由は、Ｆｅ^３＋ の一部を還元することによりＦｅ^２＋ を生成するためである。このＦｅ^２＋は正の結晶磁気異方性を有し、Ｆｅ^３＋ の負の結晶磁気異方性を打ち消して軟磁性を高める効果がある。
【０００３】
上記したＦｅ^２＋ の生成量は焼成並びに焼成後の冷却時の酸素濃度に依存し、この設定を誤ると良好な軟磁気特性を確保することは困難となる。そこで、従来は実験的に下記（１）式を確立し、この（１）式に従って焼成並びに焼成後の冷却時の酸素濃度を厳しく管理している。ここで、Ｔは温度（℃）、Ｐｏ_２ は酸素濃度（−）、ｂは定数であり、通常、この定数として７〜８を採用している。この定数が７〜８ということは、焼成中の酸素濃度を狭い範囲に制御しなければならないことを意味し、焼成処理が極めて面倒になり、製造コストも嵩むという問題がある。
ｌｏｇ Ｐｏ_２＝−１４５４０ ／（Ｔ＋２７３ ）＋ｂ … （１）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、近年、電子機器の小型高性能化に伴い、処理信号が高周波数化される傾向にあり、高周波数帯域においても優れた磁気特性を有する磁性材料が必要になってきている。
しかるに、Ｍｎ −Ｚｎ フェライトを磁心材料として用いる場合は、使用する周波数帯域が高くなるに従って渦電流が流れ、これによる損失が大きくなる。したがって、磁心材料として使用できる周波数の上限を高めるには、その比抵抗をできるだけ大きくする必要がある。しかし、上記した一般的なＭｎ−Ｚｎフェラ イトは、Ｆｅ_２Ｏ_３ が化学量論組成である５０ ｍｏｌ％よりも過剰であるため、Ｆｅ^２＋ が多く存在し、上記したＦｅ^３＋ とＦｅ^２＋ との間（イオン間）での電子の授受が容易なため、その比抵抗はおよそ１Ωｍのオーダーかそれより小さい値である。したがって、使用できる周波数も数百ｋＨｚ 程度が限界で、これを超える周波数帯域では透磁率（初透磁率）が著しく低下して、軟磁性材料としての特性を全く失ってしまう、という問題があった。
【０００５】
一部では、Ｍｎ −Ｚｎ フェライトの見かけ上の抵抗を高めるため、副成分としてＣａＯ、ＳｉＯ_２ 等を添加して結晶粒界を高抵抗化すると共に、１２００℃程度の低温焼成を行って、結晶粒界を一般的な、およそ２０μｍから５μｍ程度に小さくして結晶粒界の割合を増やす対策を採っている場合もある。しかし，このような対策を採用しても、結晶粒内そのものの抵抗が低いため、１Ωｍのオーダーを超える比抵抗を得ることは難しく、根本的な解決には至らない。
【０００６】
また、例えば、ＣａＯ、ＳｉＯ_２、ＳｎＯ_２ 、ＴｉＯ_２を添加して高抵抗化を図ったＭｎ−Ｚｎフェライトが開発され、特開平９−１８０９２５号に明らかにされている。しかし、その比抵抗は０．３〜２．０Ωｍと低く、高周波帯域において使用するには不十分である。さらに、Ｆｅ_２Ｏ_３ を５０ ｍｏｌ％以下とし、ＳｎＯ_２等を加えたＭｎ −Ｚｎ フェライトがＧＢ １，３０４，２３７に明らかにされている。Ｆｅ_２Ｏ_３が５０ ｍｏｌ％以下の場合、本来Ｆｅ^２＋は非常に生成しづらいはずであるにもかかわらず、この特許に記載のＭｎ −Ｚｎ フェライトは、Ｆｅ^２＋を３〜７ｍｏｌ％も含有している。このため、従来一般のＭｎ−Ｚｎフェライトの比抵抗を上回ることはできない。
【０００７】
一方、最近、偏向ヨーク用コア材として、Ｆｅ_２Ｏ_３ を５０ ｍｏｌ％未満とすることで高抵抗化したＭｎ −Ｚｎ 系フェライトが開発され、特開平７−２３０９０９号公報、特開平１０−２０８９２６号公報、特開平１１−１９９２３５号公報等に明らかにされている。
しかしながら、何れの公報に記載のＭｎ −Ｚｎ 系フェライトについても、用途が偏向ヨーク用コア材である点と、各公報に記載の発明の実施例からみて、６４〜１００ ｋＨｚという周波数帯域での使用を目的としたフェライト材である。高い比抵抗をねらてＦｅ_２Ｏ_３ を５０ ｍｏｌ％以下としたのは、偏向ヨーク用のコアに銅線を直に巻付けることを可能にするためであると記述されており、１ＭＨｚを超えるような高周波数帯域において使用することを意図したものではない。何れも、１００ ｋＨｚで１１００程度の初透磁率であり、高い比抵抗を得るためにＦｅ_２Ｏ_３ を５０ ｍｏｌ％未満とするだけでは、優れた軟磁気特性は得られない。
【０００８】
さらに、初透磁率の温度係数を小さくするために、Ｆｅ_２Ｏ_３ が５０ ｍｏｌ％以下のＭｎ −Ｚｎ フェライトにＣｏＯ を１．３〜１．５ ｍｏｌ％添加したものが、特公昭５２−４７５３号公報に開示されている。これもＺｎＯ が１１ ｍｏｌ％と少なく、焼成および冷却時の酸素濃度も厳密に制御されていないため、１００ｋＨｚ における初透磁率はおよそ２０００であった。
【０００９】
本発明は、上記従来の問題点に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、１Ωｍのオーダーを超える大きな比抵抗を有し、かつ１００ ｋＨｚで４０００以上、１０ＭＨｚ で１００以上の高い初透磁率を持つＭｎ −Ｚｎ フェライトを提供し、併せてこのようなＭｎ −Ｚｎ フェライトを容易かつ安価に得ることができる製造方法を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するための本発明に係るＭｎ−Ｚｎフェライトの一つは、主成分が、Ｆｅ_２Ｏ_３ ４４．０〜４９．０ ｍｏｌ ％（ただし、 ４９．０ ｍｏｌ ％は除く）、 ＺｎＯ １５．０〜２６．５ ｍｏｌ％、ＣｏＯ ０．１〜３．０ ｍｏｌ％、Ｍｎ_２Ｏ_３ ０．０２〜１．００ ｍｏｌ％、残部 ＭｎＯからなり、室温（２５℃）における初透磁率が、１００ｋＨｚ で４０００以上、１０ＭＨｚ で １００以上であることを特徴とする。
本Ｍｎ−Ｚｎフェライトは、上記主成分に加えて、副成分としＶ_２Ｏ_５ ０．０１０〜０．２００ ｍａｓｓ％、 Ｂｉ_２Ｏ_３ ０．００５〜０．１００ ｍａｓｓ％、Ｉｎ_２Ｏ_３ ０．００５〜０．１００ ｍａｓｓ％、ＰｂＯ ０．００５ 〜０．１００ ｍａｓｓ％、ＭｏＯ_３ ０．００１〜０．１００ ｍａｓｓ％および ＷＯ_３ ０．００１〜０．１００ ｍａｓｓ％のうちの１種または２種以上を含有させてもよいものである。
【００１１】
一方、上記目的を達成するための本発明に係る製造方法は、上記のように構成したＭn −Ｚn フェライトの組成となるように成分調整した混合粉末を用いて成形を行った後、前記(1) 式で、定数ｂとして６〜１０の範囲から選択した任意の値で規定される酸素濃度の雰囲気中で焼成および少なくとも 500℃までの焼成後の冷却を行うことを特徴とする。ただし、この（１）式において酸素濃度Ｐ o ₂ が 0.21 （大気圧）を超える場合は、 0.21 を雰囲気制御の目標とする。
【００１２】
【発明の実施の形態】
従来の一般的なＭｎ −Ｚｎ フェライトでは、前述したようにＦｅ_２Ｏ_３ が化学量論組成である５０ ｍｏｌ％よりも多い。この過剰分のＦｅ_２Ｏ_３ をヘマタイトとして析出させないため、窒素を流すことにより酸素濃度をかなり低く抑えた条件下、つまり定数ｂが７〜８で焼成および冷却をしなければならなかった。一方、本発明においては、Ｆｅ_２Ｏ_３ を５０ ｍｏｌ％未満としているため、ヘマタイトは析出し難く、焼成中の酸素濃度の範囲を多少広くしても良好な磁気特性が得られる。また、従来のＦｅ_２Ｏ_３ が５０ ｍｏｌ％よりも多いＭｎ −Ｚｎ フェライトでは、Ｆｅ^２＋ がおよそ３．０ ｍｏｌ％存在するのに対し、本発明のＭｎ−Ｚｎフェライトでは、Ｆｅ^２＋ が０．１〜０．７ ｍｏｌ％と少ないために、比抵抗が非常に高い。したがって、高周波数帯域においてもさほど渦電流が大きくならず、良好な初透磁率が得られる。しかし、このＦｅ_２Ｏ_３ が少なすぎると飽和磁化の低下を招くので、少なくとも４４．０ ｍｏｌ％以上必要である。
【００１３】
主成分としてのＺｎＯ は、キュリー温度や飽和磁化に影響を与えるが、少なすぎると初透磁率が低下し、逆に多すぎると飽和磁化やキュリー温度が低下してしまうので、上記範囲１５．０〜２６．５ ｍｏｌ％とする。
【００１４】
ＣｏＯ はＣｏ^２＋ が正の結晶磁気異方性を持つため、同じ正の結晶磁気異方性を持つＦｅ^２＋ が少量しか存在しなくても、Ｆｅ^３＋ の負の結晶磁気異方性を相殺することができる。さらに、Ｃｏ^２＋ は誘導磁気異方性を発生させることにより高周波数帯域の損失を低減させる効果もある。ただし、その含有量があまりに少ないとその効果は小さく、逆に多すぎると磁歪が大きくなり初透磁率が低下するため、０．１〜３．０ ｍｏｌ％とする。
【００１５】
上記フェライト中のマンガン成分は、Ｍｎ^２＋ およびＭｎ^３＋ として存在するが、Ｍｎ^３＋ は結晶格子を歪ませる等の理由で初透磁率を著しく低下させるため、Ｍｎ_２Ｏ_３ として１．００ ｍｏｌ％以下とする。ただし、Ｍｎ_２Ｏ_３ が少なすぎると比抵抗が著しく低下するため、少なくとも０．０２ ｍｏｌ％を含有させるようにする。
【００１６】
本発明は、副成分としてＶ_２Ｏ_５、 Ｂｉ_２Ｏ_３、Ｉｎ_２Ｏ_３ 、ＰｂＯ 、ＭｏＯ_３ およびＷＯ_３ の一種または二種以上を含有させることができる。これら副成分は、何れも粒成長を促進する作用がある。比較的低周波数帯域における初透磁率は結晶粒径に依存し、したがって、前記した副成分を含有させることにより低周波数帯域における初透磁率を高めることができる。ただし、それらの含有量が少なすぎるとその効果が小さく、逆に多すぎると異常粒成長が起こってしまうので、Ｖ_２Ｏ_５は ０．０１０〜０．２００ ｍａｓｓ％、 Ｂｉ_２Ｏ_３、Ｉｎ_２Ｏ_３、ＰｂＯ はそれぞれ０．００５〜０．１００ ｍａｓｓ％、ＭｏＯ_３ 、ＷＯ_３ は それぞれ０．００１〜０．１００ ｍａｓｓ％とするのが望ましい。
【００１７】
本発明では、上記したように焼成および焼成後の冷却を、前記(1) 式における定数ｂとして６〜１０の範囲から選択した任意の値を用いて求めた酸素濃度の雰囲気中で行うことで、Ｍn³⁺ 量を制御する。定数ｂとして１０より大きい値を選択した場合は、フェライト中のＭn³⁺ 量が１mol％ よりも多くなり、初透磁率は急激に低下する。したがって、初透磁率を高くするためには、フェライト中のＭn³⁺量を少なくする必要があり、定数ｂは小さな値を選択するのが望ましいが、６より小さい値を選択すると、Ｆe²⁺ が多くなったり、あるいはＭn³⁺ が少なくなり過ぎることによって、比抵抗が著しく低下してしまうので、この定数ｂは少なくとも６とする。
【００１８】
Ｍｎ −Ｚｎ フェライトの製造に際しては、予め主成分としてのＦｅ_２Ｏ_３、ＺｎＯ、ＣｏＯ、Ｍｎ_２Ｏ_３ およびＭｎＯ の各原料粉末を所定の比率となるように秤量し、これらを混合して混合粉末を得、次に、この混合粉末を仮焼、微粉砕する。前記仮焼温度は、目標組成によって多少異なるが、８００ 〜１０００℃の温度範囲内で適宜の温度を選択する。また、混合粉末の微粉砕には汎用のボールミルを用いることができる。なお、副成分としてのＶ_２Ｏ_５、 Ｂｉ_２Ｏ_３、Ｉｎ_２Ｏ_３ 、ＰｂＯ 、ＭｏＯ_３、ＷＯ_３ を含有させる場合は、前記微細な混合粉末に、これら副成分の粉末を適量添加混合し、目標成分の混合粉末を得る。その後は、通常のフェライト製造プロセスに従って造粒、成形を行い、さらに、１１００〜１４００℃で焼成を行う。なお、前記造粒は、ポリビニルアルコール、ポリアクリルアミド、メチルセルロース、ポリエチレンオキシド、グリセリン等のバインダーを添加する方法を、また成形は、例えば、８０ＭＰａ 以上の圧力を加えて行う方法をそれぞれ採用することができる。
【００１９】
上記した焼成および焼成後の冷却は、焼成炉中に窒素ガス等の不活性ガスを流して酸素濃度を制御する。この場合、前記 （１）式中の定数は６〜１０の範囲内で任意の値を選択することができるので、従来一般の、Ｆｅ_２Ｏ_３ が５０ ｍｏｌ％よりも多いＭｎ −Ｚｎ フェライトを焼成する場合に選択した定数ｂ（７〜８）と比較して、その許容範囲はかなり広く、容易に酸素濃度の制御を行うことができる。また、この場合、上記（１） 式に基づく焼成後の冷却は、５００ ℃より低い温度では、酸素濃度によらず酸化または還元の反応を無視できるため、５００ ℃までとすれば十分である。
【００２０】
【実施例】
実施例１
Ｆｅ_２Ｏ_３ が４２．０〜５１．０ ｍｏｌ％、ＣｏＯ が０〜４．０ ｍｏｌ％、残部が ＭｎＯ、Ｍｎ_２Ｏ_３ およびＺｎＯ で、ＭｎＯ とＭｎ_２Ｏ_３ とを全て ＭｎＯ として換算したときの ＭｎＯ とＺｎＯ とでモル比が３：２となるように各原料粉末をボールミルにて混合した後、空気中、 ９００℃で２時間仮焼し、さらにボールミルにて２０時間粉砕して、混合粉末を得た。次に、この混合粉末を先の組成となるように成分調整し、さらにボールミルにて１時間混合した。次に、この混合粉末にポリビニルアルコールを加えて造粒し、８０ＭＰａ の圧力で外径１８ｍｍ，内径１０ｍｍ，高さ４ｍｍのトロイダルコア（成形体）を成形した。その後、この成形体を焼成炉に入れ、窒素を流すことにより、前記（１） 式中の定数ｂを８として求められる酸素濃度となるように雰囲気を調整し、１３００℃で３時間焼成および焼成後の冷却を行い、表１に示すような試料１−１〜１−９を得た。
そして、上記のようにして得た各試料１−１〜１−９について、蛍光Ｘ線分析によって最終的な成分組成を確認すると共に、比抵抗、１００ ｋＨｚ および１０ＭＨｚ における初透磁率を測定した。それらの結果を表１に一括して示す。
【００２１】
【表１】

【００２２】
表１に示す結果より、Ｆｅ_２Ｏ_３ が５０．０ ｍｏｌ％よりも多い比較試料１−１および１−２に対し、Ｆｅ_２Ｏ_３ が５０．０ ｍｏｌ％未満の試料１−３〜１−９は、何れも比抵抗が著しく高くなっている。さらに、これらの試料のうち、１００ ｋＨｚ において４０００以上、かつ１０ ＭＨｚにおいて１００ 以上の初透磁率が得られたのは、Ｆｅ_２Ｏ_３ ４４．０〜４９．８ ｍｏｌ％で、かつＣｏＯ が ０．１〜３．０ ｍｏｌ％の試料１−３、１−４、１−６、１−８である。
【００２３】
実施例２
Ｆｅ_２Ｏ_３ が４８．０ ｍｏｌ％、ＣｏＯ が １．０ ｍｏｌ％、ＺｎＯ が１２．０〜２７．０ ｍｏｌ％で、残部が ＭｎＯ およびＭｎ_２Ｏ_３ となるように各原料粉末をボールミルにて混合した後、実施例１と同様の製造条件で表２に示すような試料２−１〜２−６を得た。そして、このようにして得た各試料２−１〜２−６について、蛍光Ｘ線分析によって最終的な成分組成を確認すると共に、１００ ｋＨｚ および１０ ＭＨｚにおける初透磁率、キュリー温度を測定した。それらの結果を表２に一括して示す。
【００２４】
【表２】

【００２５】
表２に示す結果より、１００ ｋＨｚ において４０００以上、かつ１０ ＭＨｚにおいて１００ 以上の初透磁率が得られたのは、ＺｎＯ が１５．０ ｍｏｌ％以上の試料２−２〜２−６である。ただし、ＺｎＯ が２７．０ ｍｏｌ％の比較試料２−６では、キュリー温度が７０℃と低く実用上問題である。
【００２６】
実施例３
実施例１の試料１−６と同じ組成となるように各原料粉末をボールミルにて混合した後、空気中、９００ ℃で２時間仮焼し、さらにボールミルにて２時間粉砕して、混合粉末を得た。次に、この混合粉末を先の組成となるように成分調整し、さらにボールミルにて１時間混合した。次に、この混合粉末にポリビニルアルコールを加えて造粒し、８０ＭＰａ の圧力で外径１８ｍｍ，内径１０ｍｍ，高さ４ｍｍのトロイダルコア（成形体）を成形した。その後、この成形体を焼成炉に入れ、窒素を流すことにより、前記（１） 式中の定数ｂを５．５ 〜１２の範囲で種々に変化させて求められる酸素濃度となるように雰囲気を調整し、１３００℃で３時間焼成および焼成後の冷却を行い、表３に示すような試料３−１〜３−５を得た。
そして、このようにして得た各試料３−１〜３−５について、比抵抗、１００ ｋＨｚ および１０ＭＨｚ における初透磁率を測定し、また各試料中のＭｎ_２Ｏ_３ の定量分析を行った。それらの結果を表３に一括して示す。
【００２７】
【表３】

【００２８】
表３に示す結果より、（１） 式中の定数ｂを６〜１０とした酸素濃度の雰囲気中で焼成を行った本発明試料３−２〜３−４は、何れも１００ ｋＨｚ および１０ＭＨｚ における初透磁率が高い。しかし、定数ｂを５．５ とした酸素濃度の雰囲気中で焼成を行った比較試料３−１は、比抵抗が低いために１０ＭＨｚ での初透磁率が最も低い。逆に、定数ｂを１２とした比較試料３−５は、Ｍｎ_２Ｏ_３ 量が１．１ｍｏｌ％と多いため、１００ＭＨｚ における初透磁率が低い。
【００２９】
実施例４
実施例１の試料１−６と同じ組成となるように各原料粉末をボールミルにて混合した後、９００ ℃で２時間仮焼し、さらにボールミルにて２０時間粉砕して、混合粉末を得た。次に、この混合粉末を先の組成となるように成分調整すると共に、副成分としてＶ_２Ｏ_５、 Ｂｉ_２Ｏ_３、Ｉｎ_２Ｏ_３ 、ＰｂＯ 、ＭｏＯ_３ またはＷＯ_３ を所定量加え、さらにボールミルにて１時間混合した。次に、この混合粉末にポリビニルアルコールを加えて造粒し、８０ＭＰａ の圧力で外径１８ｍｍ，内径１０ｍｍ，高さ４ｍｍのトロイダルコア（成形体）を成形した。その後、この成形体を焼成炉に入れ、窒素を流すことにより、前記（１） 式中の定数ｂを８として求められる酸素濃度となるように雰囲気を調整し、１３００℃で３時間焼成および焼成後の冷却を行い、表４に示すような試料４−１〜４−８を得た。そして、このようにして得た各試料４−１〜４−８について、平均結晶粒径と１００ ｋＨｚにおける初透磁率を測定した。それらの結果を表４に一括して示す。
【００３０】
【表４】

【００３１】
表４に示す結果より、副成分を含まない本発明試料１−６に対し、副成分を適量含む本発明試料４−１，４−２および４−４〜４−８は、何れも結晶粒径が大きくなり、初透磁率がより改善されている。ただし、副成分としてのＶ_２Ｏ_５ を過剰に含む比較試料４−３では、異常粒成長が起こり、初透磁率が大幅に低下している。
【００３２】
【発明の効果】
以上、説明したように、本発明に係るＭｎ −Ｚｎ フェライトによれば、Ｆｅ_２Ｏ_３ を化学量論組成よりも少ない４４．０〜４９．０ ｍｏｌ ％（ただし、 ４９．０ ｍｏｌ ％は除く）の範囲内で含有させると共に、ＣｏＯ を ０．１〜３．０ ｍｏｌ％、Ｍｎ_２Ｏ_３ を０．０２〜１．００ ｍｏｌ％の範囲内で含有させ、かつ適当な酸素濃度の雰囲気で焼成を行うことにより、１００ ｋＨｚから１０ ＭＨｚにわたる広範囲において優れた初透磁率を有するものとなり、その利用価値は大なるものがある。
また、副成分として、Ｖ_２Ｏ_５、 Ｂｉ_２Ｏ_３、Ｉｎ_２Ｏ_３ 、ＰｂＯ 、ＭｏＯ_３、ＷＯ_３ 等を適量含有させた場合は、低周波数帯域においてより一層高い初透磁率を確保することができ、その利用価値はより一層高まる。
さらに、本発明に係るＭｎ −Ｚｎ フェライトの製造方法によれば、焼成および焼成後の酸素濃度を厳密に制御する必要がないので、Ｍｎ −Ｚｎ フェライトの製造の安定化並びに低コスト化に大きく寄与するものとなる。

Claims (3)

1. 主成分が、Fe₂O₃ 44.0〜49.0 mol％（ただし、49.0 mol％は除く）、 ZnO 15.0〜26.5 mol％、CoO 0.1〜3.0 mol％、Mn₂O₃ 0.02〜1.00 mol％、残部 MnOからなり、室温（25℃）における初透磁率が、100kHz で4000以上、10MHz で 100以上であることを特徴とするＭｎ−Ｚｎ系フェライト。
2. 副成分として、V₂O₅ 0.010〜0.200 mass％、 Bi₂O₃ 0.005〜0.100 mass％、In₂O₃ 0.005〜0.100 mass％、PbO 0.005 〜0.100 mass％、MoO₃ 0.001〜0.100 mass％およびWO₃ 0.001〜0.100 mass％のうちの１種または２種以上を含有することを特徴とする請求項１に記載のＭｎ−Ｚｎ系フェライト。
3. 請求項１または２に記載のＭｎ−Ｚｎ系フェライトの組成となるように成分調整した混合粉末を用いて成形を行った後、焼成および少なくとも 500 ℃までの焼成後の冷却を、温度に応じて下記の式で規定される酸素濃度の雰囲気中で行うことを特徴とするＭn −Ｚn 系フェライトの製造方法。
   log Ｐo₂＝−14540 ／（Ｔ＋273 ）＋ｂ
   ただし、Ｔ：温度（℃）、Ｐo₂：酸素濃度（−）で、０ . ２１（大気圧）以下、ｂ：６〜１０の範囲から選択した定数