JP3562703B2 - 計測装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、4線式抵抗測定方法及び計測装置の改善に関し、特に4線式抵抗測定の高速化と高精度化を実現するとともに、被測定物と計測装置を接続する配線等の接触不良または断線等によって発生しうる誤測定を防止することが可能な計測装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来の4線式抵抗測定を行う計測装置の構成を図5を用いて説明する。同図は従来の高精度4線式デジタルマルチメータの4線式抵抗測定回路の一例である。
【0003】
同図において、被測定物である被測定抵抗1の一端は、測定装置100のプラス電流端子3及びプラス電圧端子4に接続され、被測定抵抗1の他の一端は、測定装置100のマイナス電流端子6及びマイナス電圧端子5に接続されている。
【0004】
測定装置100の内部では、基準電圧48が基準抵抗9を介してプラス電流端子3に印加されている。また、マイナス電流端子6は、非反転入力端子をゼロ電位点に接続され反転入力端子を前記プラス電流端子3に接続された演算増幅器10の出力端子に接続されている。更にこの演算増幅器10の出力は、位相補償用コンデンサ14を介して負帰還されている。
【0005】
更に、プラス電圧端子4とマイナス電圧端子5はFETスイッチ11と12の一端にそれぞれ接続され、このFETスイッチ11と12の他の一端は、演算増幅器を利用した非反転型アンプであるプリアンプ7の入力に接続されている。このプリアンプ7の出力が被測定抵抗1の測定電圧信号として後段の制御回路13に入力され、ここでデジタル値に変換された後、適切な演算処理が施され、その結果が被測定抵抗1の抵抗値として表示器(図示せず。)等に表示される。また、この制御回路13は、FETスイッチ11と12のオンオフ動作も管理している。
【0006】
このように被測定抵抗1と接続された計測装置100は、被測定抵抗1に既知の定電流Isをプラス電流端子3からマイナス電流端子6に向かって流し、被測定抵抗1の両端に発生する電圧をプラス電圧端子4とマイナス電圧端子5から測定し、この電圧を定電流Isで除算して被測定抵抗1の抵抗値を求める。
【0007】
上記の定電流Isは、基準電圧48と基準抵抗9及び演算増幅器10によって発生され、その大きさは、基準抵抗9の下端aが演算増幅器10の作用によってゼロ電位に制御されるため、基準電圧48の電圧値を基準抵抗9の抵抗値で除算して得られた値となる。
【0008】
制御回路13は、この定電流Isを被測定抵抗1に流し、この被測定抵抗1のプラス側に発生する電圧Rv+をFETスイッチ11をオン、FETスイッチ12をオフとすることによって、プリアンプ7に入力し検出すると共にこの値を記憶し、次にこの被測定抵抗1のマイナス側に発生する電圧Rv−をFETスイッチ11をオフ、FETスイッチ12をオンとすることによって、プリアンプ7に入力し検出すると共にこの値を記憶する。
【0009】
制御回路13は、上記の動作によって記憶した被測定抵抗1のプラス側に発生する電圧Rv+からマイナス側に発生する電圧Rv−を減算し、その値を定電流Isの電流値で除算して被測定抵抗1の抵抗値を求める。
【0010】
このような構成の計測装置では、シンプルな構成の非反転アンプをプリアンプとして用いることが可能であると共に、2回の測定を行ってプラス側に発生する電圧とマイナス側に発生する電圧の差を求めることにより、前記プリアンプのオフセット電圧によるドリフトをキャンセルすることが可能となり、被測定抵抗1の抵抗値を高精度に測定することが可能となる。
【0011】
また、他の従来例として図6に示す構成のものがある。同図は、生産ラインに用いる計測装置のように、高速測定を行う用途に用いられる計測装置の一例である。同図において、図5と同様のものは同一の符号を付しその説明を省略する。
【0012】
図6の回路において、被測定抵抗1に定電流Isを流してその両端に発生する電圧から抵抗値を求めるという原理は図5の計測装置と同様であるが、図6の計測装置では、プラス電圧端子4とマイナス電圧端子5をプリアンプ7の非反転入力と反転入力にそれぞれ接続し、プリアンプ7を差動アンプとして用いている。
【0013】
図6の回路では、上記に示すようにプリアンプ7を差動アンプとして用いることにより、被測定抵抗1に定電流Isを流してその両端に発生する電圧を1回の測定で求めることができるため、高速測定が可能となる。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら図5に示した従来の計測装置では、被測定抵抗1の両端に発生する電圧を求めるために、2回の測定を行う必要があることから測定に要する時間が長くかかり、高速測定を行うことができないという問題点があった。
【0015】
また、図6に示した従来の計測装置では、プリアンプ7を差動アンプとして用いることにより、1回の測定で被測定抵抗1の両端に発生する電圧を測定することが可能であるが、このような構成の計測装置では、その測定精度がプリアンプ7の精度に依存してしまうという問題点がある。つまり、高精度の測定を行うためにはプリアンプ7を構成する抵抗の絶対値のマッチングに、期待する測定精度以上の精度が必要となる。現実的にはトリマ抵抗で微調整の作業が必要となり作業工数が増えてしまう。また、市販の差動アンプでゲイン誤差が0.02%程度と比較的良いものもあるが高価であり、更に市販品でそれ以上の精度を望むことは難しい。従って、差動アンプを用いる電圧測定回路は、高精度測定を行う計測装置には適用できないという問題点があった。
【0016】
本発明は、上記課題を解決するもので、高精度測定と高速測定を同時に実現することが可能な4線式抵抗測定を行う計測装置を提供することを目的とする。
【0017】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するために請求項1に記載の発明では、プラス電流端子及びマイナス電流端子を介して被測定物に定電流を供給するとともに、プラス電圧端子及びマイナス電圧端子を介して前記被測定物の両端に発生する電圧を検出して前記被測定物の抵抗値を測定する4線式抵抗測定を行う計測装置において、前記プラス電流端子及びマイナス電流端子に定電流を供給する測定用定電流源回路と、出力端子を前記マイナス電流端子に接続し、非反転入力端子をゼロ電位点に接続し、反転入力端子を前記プラス電圧端子に接続した演算増幅器と、
前記マイナス電圧端子とゼロ電位点との電位差を検出するプリアンプを備え、
前記演算増幅器によって前記プラス電圧端子の電位をゼロ電位となるように制御し、前記プリアンプによって前記マイナス電圧端子とゼロ電位点との間に発生する負電圧を検出することによって、前記被測定物の両端に発生する電圧を測定し、これを抵抗値換算して前記被測定物の抵抗を求めるように構成されたことを特徴とするものである。
【0018】
これにより、被測定物に発生する電圧を差動アンプを用いることなく1回の測定で測定することが可能となる。
【0019】
請求項2記載の発明では、請求項1に記載の計測装置に用いる定電流源回路を簡単な回路構成で実現することが可能となる。
【0020】
請求項3に記載の発明では、4線式抵抗測定を行う計測装置において、
前記プラス電流端子及びマイナス電流端子に定電流を供給する測定用定電流源回路と、出力端子を前記マイナス電流端子に接続し、非反転入力端子をゼロ電位点に接続し、反転入力端子を前記プラス電圧端子に接続した演算増幅器と、前記マイナス電圧端子とゼロ電位点との電位差を検出するプリアンプから成る抵抗測定回路と、
前記プラス電流端子の電圧を入力とするコンパレータと、前記プリアンプの入力電圧をプルアップするプリアンプ用プルアップ回路と、前記演算増幅器の反転入力に接続された断線検知用定電流源回路と、前記プリアンプの出力を入力するバッファアンプと、前記バッファアンプの入力端子に前記コンパレータの出力を制御端子に入力するスイッチ回路を介して接続されたバッファアンプ用プルアップ回路から成る断線検知回路を備えたことを特徴とするものである。
【0021】
これにより、請求項1に記載の計測装置に簡単な回路を付加するだけで、断線検知回路を実現することが可能となる。
【0022】
請求項4から7に記載の発明では、請求項3に記載の計測装置と被測定物を接続する各配線がオープン状態となったことを、前記バッファアンプの出力をプラス側に出力することによって検知することが可能となる。
【0023】
請求項8記載の発明では、請求項3に記載の計測装置に用いる定電流源回路を簡単な回路構成で実現することが可能となる。
【0024】
【発明の実施の形態】
以下図面を用いて本発明を詳しく説明する。図1は本発明に係る計測装置の一実施例を示す回路図である。同図において従来例で説明した図5と同一のものは同一の符号を付し、その説明を省略する。
【0025】
図1において、基準電圧48は測定用定電流源回路49に基準電圧を供給し、測定用定電流源回路49の出力はプラス電流端子3に接続される。また、出力端子をマイナス電流端子6に接続された演算増幅器10の反転入力はプラス電圧端子4に接続され、プリアンプ7の入力はマイナス電圧端子5に接続される。
【0026】
ここで用いるプリアンプ7は、演算増幅器を利用して構成された非反転アンプである。
【0027】
このような構成の計測装置101において、測定用定電流源回路49から流れ出た定電流Isは被測定抵抗1を通って演算増幅器10に流れ込む。演算増幅器10はプラス電圧端子4をゼロ電位に制御しているので、プリアンプ7によってゼロ電位を基準にマイナス電圧端子5の電圧を測定すれば、被測定抵抗1の両端に発生した電圧を1回の測定で検出することが可能である。尚、プリアンプ7で測定されるマイナス電圧端子5の電圧は、マイナス電位の電圧である。
【0028】
ここで、測定用定電流源回路49の実施例を図2に示す。同図において測定用定電流源回路49は、基準電圧48を印加されて直列接続された基準抵抗51と52の共通接続点kを演算増幅器54の非反転入力に接続し、前記基準電圧48の印加点jを基準抵抗53を介して前記演算増幅器54の反転入力に接続し、前記演算増幅器54の出力をFET55のゲートに接続し、前記FET55のソースを前記演算増幅器54に負帰還し、前記FET55のドレインから定電流Isを出力するように構成されている。
【0029】
上記のように構成された計測装置の測定精度は、電圧検出を行うプリアンプ7をシンプルな非反転アンプとしたため、プリアンプ7の構成部品である演算増幅器のオフセット電圧と抵抗の精度によって決定される。また、プリアンプ7の回路内のオフセットとゲインはソフトウェアによって根付けしてしまうので、各素子の絶対値は問題とならず、温度係数と経年変化の小さいものを使用すれば良い。従って、プリアンプ7を容易に高精度化することが可能であるため、計測装置101の高精度化が容易である。。
【0030】
また、抵抗測定を行う場合、一般的に測定レンジに対応して被測定抵抗1に流す定電流Isの大きさを変化させるため、被測定抵抗1の両端に発生する電圧は測定レンジに依らず、比較的大きな電圧(例えば10Vフルスケール)に標準化することが可能である。従って、プリアンプ7は極端に小さな電圧を測定する必要が無く比較的大きな電圧を測定するため、測定電圧に対するオフセット電圧のドリフトによる影響は相対的に小さくなる。このため、図5に示した計測装置のように2回測定を行ってオフセット電圧のドリフトによる影響を除去しなくても、充分高精度な測定を行うことが可能である。
【0031】
また、図1のように構成された計測装置の断線検知手段を図3を用いて説明する。同図は、図1の計測装置に断線検知用回路を付加して構成された計測装置の一実施例である。同図において図1と同様のものは、同一の符号を付しその説明を省略する。
【0032】
図3の計測装置において、プリアンプ7の出力は抵抗64を介してバッファアンプ65の入力に接続されており、このバッファアンプ65の出力が制御回路13に入力される。
【0033】
また、例えば−15Vの負基準電圧81が印加された断線検知用定電流源回路66は演算増幅器10の反転入力に接続され、プルアップ抵抗67に例えば+15Vのプルアップ電圧82を印加して構成されたプリアンプ用プルアップ回路84がプリアンプ7の入力に接続されている。
【0034】
更に、プラス電流端子3に接続された測定用電流源回路49の出力にはコンパレータ61の入力が接続されており、このコンパレータ61の出力は、スイッチ回路62の制御端子に接続されている。このスイッチ回路62の可動接点eにはプルアップ抵抗63に例えば+15Vのプルアップ電圧83印加して構成されたバッファアンプ用プルアップ回路85が接続されており、このスイッチ回路62の固定接点fはバッファアンプ65の入力が接続されている。
【0035】
このような構成の計測装置102において、計測装置102から被測定抵抗1に接続される4本の接続線a,b,c、dがオープン状態となった場合の動作について下記に説明する。
【0036】
まず、プラス電流端子3から被測定抵抗1を接続する接続線aがオープン状態となった場合、定電流Isが被測定抵抗1に流れなくなるため、プリアンプ7の出力はゼロになるが、測定用定電流源回路49の負荷抵抗が無限大となるため、プラス電流端子3の電圧が基準電圧48の電圧レベル付近まで上昇する。このプラス電流端子3の電圧はコンパレータ61で監視されており、この電圧が予めコンパレータ61に設定された電圧範囲を超過した場合、コンパレータ61は出力をハイとする。コンパレータ61の出力は、スイッチ回路62の制御端子に接続されており、スイッチ回路62は、この制御端子の信号がハイ状態となるとスイッチを閉じるように構成されている。これによって、バッファアンプ用プルアップ回路85がバッファアンプ65の入力に接続されるため、バッファアンプ65の入力には+15Vであるプルアップ電圧83とプリアンプ7の出力を、プルアップ抵抗63と抵抗64で分圧した電圧が入力される。
【0037】
バッファアンプ65の出力電圧は、全ての前記接続線a〜dがオープン状態とならず確実に接続された状態(以下、正常状態という。)であればマイナス電位の電圧であるが、接続線aがオープン状態となった場合、上記の作用によりバッファアンプ65の出力にはプラス電位の電圧が出力される。また、仮にプリアンプ7の出力がマイナス側に張り付いてもバッファアンプ65の入力が常にプラス側になるような値にプルアップ抵抗63と抵抗64の抵抗値を決めておけば、接続線aがオープン状態となった場合、制御回路13には常にプラスの電圧が入力される。
【0038】
制御回路13は、マイナス電位の電圧が入力された場合、これを正常状態で測定された電圧であると認識し適切な演算処理を施し抵抗値換算を行うが、プラス側の電圧が入力された場合、これをオープン状態で測定された電圧であると認識し、断線検知処理を行う。この断線検知処理とは、例えば被測定抵抗1の抵抗値をスケールオーバーさせて表示し、測定者に異常の発生を認識させるものである。
【0039】
プラス電圧端子4から被測定抵抗1を接続する接続線bがオープン状態となった場合、演算増幅器10の反転入力端子の電流が断線検知用定電流源回路66に流れ込むため、演算増幅器10の出力からプラス側の電圧が出力される。従って、マイナス電流端子6に接続されているプラス電圧端子5の電圧もプラス電位となりプリアンプ7の出力電圧がプラス側となり最終的にバッファアンプ65の出力にプラス電位の電圧が出力される。制御回路13はこのプラス電位の電圧を検知して断線検知処理を行う。
【0040】
また、ここで用いる断線検知用低電流源回路66は、正常状態で測定を行っている場合、測定用定電流源回路49の電流を差し引いてしまうので、断線検知用定電流源回路66の定電流Ioは測定用定電流源回路49の定電流Isの1/100以下程度の大きさにする必要があるが、定電流Ioの大きさは、演算増幅器10の出力をプラス側に引っ張るために必要な大きさ(例えば100nA程度)があればよいため、問題とならない。また、断線検知用定電流源回路66の精度も測定用定電流源回路49の精度に比べて100倍程度悪くても良いため、安価な汎用部品で構成することが可能である。
【0041】
マイナス電圧端子5から被測定抵抗1を接続する接続線cがオープン状態となった場合、プリアンプ用プルアップ回路84によって、プリアンプ7にプラス電位の電圧が入力され最終的にバッファアンプ65の出力にプラス電位の電圧が出力される。制御回路13はこのプラス電位の電圧を検知して断線検知処理を行う。
【0042】
また、正常状態で測定を行っている時は、マイナス電圧端子5はマイナス電流端子6と接続されているため、低インピーダンスであるのでプリアンプ用プルアップ回路84は測定に影響を及ぼさない。
【0043】
マイナス電流端子6から被測定抵抗1を接続する接続線dがオープン状態となった場合、測定用定電流源回路49の負荷抵抗が無限大となるため、マイナス電圧端子5の電圧が基準電圧48の電圧レベル付近まで上昇する。これによってプリアンプ7にプラス電位の電圧が入力され最終的にバッファアンプ65の出力にプラス電位の電圧が出力される。制御回路13はこのプラス電位の電圧を検知して断線検知処理を行う。
【0044】
上記には各配線が1本だけオープン状態となった場合の動作について説明したが、複数の配線が同時にオープン状態となった場合であっても、上記に説明した原理のいずれかを用いて断線検知が可能である。図4にオープン状態となった箇所と制御回路に入力される電圧及びその原理の関係を示す。
【0045】
なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。
【0046】
【発明の効果】
以上説明したことから明らかなように、本発明によれば次のような効果がある。
請求項1に記載の発明では、4線式抵抗測定を高速且つ高精度に行うことが可能な計測装置をシンプルな回路構成で実現することが可能である
【0047】
請求項3から7に記載の発明では、請求項1に記載された発明の計測装置に安価でシンプルな回路を付加するだけで、断線検知を実現することが可能である。
【0048】
請求項2及び8に記載の発明では、請求項1及び3に記載された発明において、定電流源回路を安価でシンプルな回路構成で実現することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る計測装置の一実施例を示す構成図である。
【図2】本発明に係る計測装置の定電流源回路の一実施例を示す構成図である。
【図3】本発明に係る計測装置の断線検知回路の一実施例を示す構成図である。
【図4】本発明に係る計測装置の断線検知回路を説明する図である。
【図5】従来の計測装置の一例を示す構成図である。
【図6】従来の計測装置の他の一例を示す構成図である。
【符号の説明】
1 被測定抵抗
3 プラス電流端子
4 プラス電圧端子
5 マイナス電圧端子
6 マイナス電流端子
7 プリアンプ
9 基準抵抗
10 演算増幅器
13 制御回路
49 測定用定電流源回路
61 コンパレータ
62 スイッチ回路
63、67 プルアップ抵抗
82,83 プルアップ電圧
Is,Io 定電流
64 抵抗
65 バッファアンプ
48,81 基準電圧
84 プリアンプ用プルアップ回路
85 バッファアンプ用プルアップ回路
100,101,102 計測装置
Claims (8)
- プラス電流端子及びマイナス電流端子を介して被測定物に定電流を供給するとともに、プラス電圧端子及びマイナス電圧端子を介して前記被測定物の両端に発生する電圧を検出して前記被測定物の抵抗値を測定する4線式抵抗測定を行う計測装置において、
前記プラス電流端子及びマイナス電流端子に定電流を供給する測定用定電流源回路と、
出力端子を前記マイナス電流端子に接続し、非反転入力端子をゼロ電位点に接続し、反転入力端子を前記プラス電圧端子に接続した演算増幅器と、
前記マイナス電圧端子とゼロ電位点との電位差を検出するプリアンプを備え、
前記演算増幅器によって前記プラス電圧端子の電位をゼロ電位となるように制御し、前記プリアンプによって前記マイナス電圧端子とゼロ電位点との間に発生する負電圧を検出することによって、前記被測定物の両端に発生する電圧を測定し、これを抵抗値換算して前記被測定物の抵抗を求めるように構成されたことを特徴とする計測装置。 - 前記測定用定電流源回路は、基準電圧を印加されて直列接続された基準抵抗の共通接続点を演算増幅器の非反転入力に接続し、前記基準電圧の印加点を基準抵抗を介して前記演算増幅器の反転入力に接続し、前記演算増幅器の出力をFETのゲートに接続し、前記FETのソースを前記演算増幅器に負帰還し、前記FETのドレインから定電流を出力するように構成されたことを特徴とする請求項1に記載の計測装置。
- プラス電流端子及びマイナス電流端子を介して被測定物に定電流を供給するとともに、プラス電圧端子及びマイナス電圧端子を介して前記被測定物の両端に発生する電圧を検出して前記被測定物の抵抗値を測定する4線式抵抗測定を行う計測装置において、
前記プラス電流端子及びマイナス電流端子に定電流を供給する測定用定電流源回路と、
出力端子を前記マイナス電流端子に接続し、非反転入力端子をゼロ電位点に接続し、反転入力端子を前記プラス電圧端子に接続した演算増幅器と、
前記マイナス電圧端子とゼロ電位点との電位差を検出するプリアンプから成る抵抗測定回路と、
前記プラス電流端子の電圧を入力とするコンパレータと、
前記プリアンプの入力電圧をプルアップするプリアンプ用プルアップ回路と、
前記演算増幅器の反転入力に接続された断線検知用定電流源回路と、
前記プリアンプの出力を入力するバッファアンプと、
前記バッファアンプの入力端子に前記コンパレータの出力を制御端子に入力するスイッチ回路を介して接続されたバッファアンプ用プルアップ回路から成る断線検知回路を備えたことを特徴とする計測装置。 - 前記断線検知回路は、前記プラス電流端子から前記被測定物に接続された配線が断線した場合、これによって発生する前記プラス電流入力端子の電圧上昇を、前記コンパレータによって検知し、前記スイッチ回路を閉じる出力を発生し、前記バッファアンプ用プルアップ回路の電圧を前記バッファアンプの入力に印加し、前記バッファアンプの出力をプラス側に出力させて断線を検知するように構成されたことを特徴とする請求項3に記載の計測装置。
- 前記断線検知回路は、前記プラス電圧端子から前記被測定物に接続された配線が断線した場合、前記断線検知用定電流源回路によって前記演算増幅器の反転入力から電流を流入させ、この演算増幅器の出力にプラス側の電圧を誘起し、これに接続された前記プリアンプの入力にプラス側の電圧を印加し、このプリアンプの出力をプラス側に出力させて断線を検知するように構成されたことを特徴とする請求項3に記載の計測装置。
- 前記断線検知回路は、前記マイナス電圧端子から前記被測定物に接続された配線が断線した場合、前記プリアンプ用プルアップ回路によって前記マイナス電圧端子に接続された前記プリアンプの入力にプラス側の電圧を印加し、このプリアンプの出力をプラス側に出力させて断線を検知するように構成されたことを特徴とする請求項3に記載の計測装置。
- 前記断線検知回路は、前記マイナス電流端子から前記被測定物に接続された配線が断線した場合、前記プリアンプ用プルアップ回路によって前記マイナス電流端子に接続された前記プリアンプの入力にプラス側の電圧を印加し、このプリアンプの出力をプラス側に出力させて断線を検知するように構成されたことを特徴とする請求項3に記載の計測装置。
- 前記測定用定電流源回路は、基準電圧を印加されて直列接続された基準抵抗の共通接続点を演算増幅器の非反転入力に接続し、前記基準電圧の印加点を基準抵抗を介して前記演算増幅器の反転入力に接続し、前記演算増幅器の出力をFETのゲートに接続し、前記FETのソースを前記演算増幅器に負帰還し、前記FETのドレインから定電流を出力するように構成されたことを特徴とする請求項3に記載の計測装置。
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