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JP3432191B2 - Pneumatic thin cylinder device - Google Patents

Pneumatic thin cylinder device

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Publication number
JP3432191B2
JP3432191B2 JP33169099A JP33169099A JP3432191B2 JP 3432191 B2 JP3432191 B2 JP 3432191B2 JP 33169099 A JP33169099 A JP 33169099A JP 33169099 A JP33169099 A JP 33169099A JP 3432191 B2 JP3432191 B2 JP 3432191B2
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JP
Japan
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pair
piston body
diaphragm
pressure chamber
cylinder device
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Japanese (ja)
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Inventor
久雄 染谷
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Fujikura Composites Inc
Original Assignee
Fujikura Rubber Ltd
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Publication date
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【技術分野】本発明は、空圧薄型シリンダ装置に関す
る。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a pneumatic thin cylinder device.

【0002】[0002]

【従来技術及びその問題点】ピストン体に与えるストロ
ークが比較的短い薄型シリンダ装置として従来、中心部
にピストン体を一体化したダイアフラムの周縁部を、一
対のシリンダボディの間に挟着し、この一対のシリンダ
ボディのいずれか一方とダイアフラムとの間に形成され
た圧力室に圧縮空気を送排することにより、ピストン体
に軸方向ストロークを与えるタイプが知られている。こ
の装置では従来一般に、ピストン体の摺動方向を厳密に
定めるため、ピストン体とシリンダボディとの間に、互
いに嵌合関係になる軸受部を設けている。
2. Description of the Related Art Conventionally, as a thin cylinder device having a relatively short stroke given to a piston body, a peripheral edge portion of a diaphragm having a piston body integrated in a central portion is sandwiched between a pair of cylinder bodies. There is known a type in which compressed air is sent to and discharged from a pressure chamber formed between one of a pair of cylinder bodies and a diaphragm to give an axial stroke to a piston body. In this device, conventionally, in order to strictly determine the sliding direction of the piston body, a bearing portion which is in a fitting relationship with each other is provided between the piston body and the cylinder body.

【0003】しかし、このような軸受部を設けると、こ
の軸受部からの圧縮空気の漏洩をシールするロッドシー
ルが必要になり、薄型化の妨げになるとともに、コスト
アップ要因となっていた。また、従来の薄型シリンダ装
置は、ダイアフラムが変形できるため、ピストン体はそ
の軸方向移動だけでなく若干の回転が可能であった。し
かし、ダイアフラムは、ピストン体の軸線方向の移動に
伴う繰り返し変形には強いが、ピストン体の回転に伴う
変形には非常に弱く、ダイアフラムの耐久性が著しく損
なわれることが分かった。
However, if such a bearing portion is provided, a rod seal for sealing the leakage of compressed air from this bearing portion is required, which hinders the reduction in thickness and causes a cost increase. Further, in the conventional thin cylinder device, since the diaphragm can be deformed, the piston body is capable of not only axial movement but also slight rotation. However, it has been found that the diaphragm is strong against repeated deformation due to the axial movement of the piston body, but is very weak against deformation due to the rotation of the piston body, and the durability of the diaphragm is significantly impaired.

【0004】[0004]

【発明の目的】本発明は、従来の薄型シリンダ装置につ
いての以上の問題意識に基づき、ロッドシールを必要と
せず、かつより一層の薄型化が可能な空圧薄型シリンダ
装置を得ることを目的とする。また、本発明は、ピスト
ン体の回転が生じることがなく、ダイアフラムの耐久性
を向上させることができる空圧薄型シリンダ装置を得る
ことを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to obtain a pneumatic thin cylinder device which does not require a rod seal and can be further thinned based on the above-mentioned awareness of the problems of the conventional thin cylinder device. To do. It is another object of the present invention to provide a pneumatic thin cylinder device that can improve the durability of the diaphragm without the rotation of the piston body.

【0005】[0005]

【発明の概要】本発明は、圧力室を画成するダイアフラ
ムと一対のシリンダボディとを固定する固定ボルトを中
空として、その中空軸部にピストン体の摺動ガイド軸を
嵌めることでロッドシールを不要とするとともに、その
薄型化を図ったもので、その一態様によると、間にダイ
アフラムを挟んで一体化される一対のシリンダボディ;
この一対のシリンダボディのいずれか一方とダイアフラ
ムとの間に形成される圧力室;ダイアフラムの上記圧力
室の反対側に当接し、該圧力室の圧力変化によって移動
するピストン体;一対のボディを一体化する中空固定ボ
ルト;及びこの中空固定ボルトに摺動自在に挿通され、
ピストン体に結合された摺動軸;を有することを特徴と
している。
SUMMARY OF THE INVENTION According to the present invention, a fixing bolt for fixing a diaphragm defining a pressure chamber and a pair of cylinder bodies is made hollow, and a sliding guide shaft of a piston body is fitted into the hollow shaft portion to achieve a rod seal. A pair of cylinder bodies that are not required and have been made thinner, and according to one aspect thereof, are integrated with a diaphragm interposed therebetween;
A pressure chamber formed between one of the pair of cylinder bodies and the diaphragm; a piston body that abuts on the opposite side of the diaphragm from the pressure chamber and moves by a pressure change in the pressure chamber; Hollow fixing bolt, which is made to change, and slidably inserted into the hollow fixing bolt,
It has a sliding shaft connected to the piston body.

【0006】中空固定ボルトには、摺動軸用のすべり軸
受を設けることが好ましい。中空固定ボルト及び摺動軸
は一対を設けることにより、ピストン体の回り止めを図
ることができる。ピストン体は、この一対の摺動軸の両
端部にそれぞれ、一対のシリンダボディを挟んで結合さ
れた本体とサブ体とから構成することができる。
The hollow fixing bolt is preferably provided with a sliding bearing for a sliding shaft. By providing a pair of the hollow fixing bolt and the sliding shaft, the piston body can be prevented from rotating. The piston body can be composed of a main body and a sub body, which are connected to both ends of the pair of sliding shafts with a pair of cylinder bodies interposed therebetween.

【0007】本発明は、別の態様によると、間にダイア
フラムを挟んで一体化され、さらに固定基体に固定され
る一対のシリンダボディ;一対のシリンダボディの固定
基体に当接する側の一方に形成した貫通穴内に位置し
て、ダイアフラムに当接するピストン本体;一対のシリ
ンダボディの他方とダイアフラムとの間に形成される圧
力室;ピストン本体を上記圧力室の容積が減少する方向
に移動付勢する、固定基体と該ピストン本体との間に挿
入したばね手段;一対のシリンダボディを一体化する一
対の中空固定ボルト;この一対の中空固定ボルトにそれ
ぞれ摺動自在に挿通され、その一端部にピストン本体を
固定した一対の摺動軸;及びこの一対の摺動軸の他端部
に結合されたサブピストン体;を有することを特徴とし
ている。
According to another aspect of the present invention, a pair of cylinder bodies integrated with a diaphragm interposed therebetween and further fixed to a fixed base; formed on one of the sides of the pair of cylinder bodies abutting the fixed base. A piston body located in the through hole and abutting the diaphragm; a pressure chamber formed between the other of the pair of cylinder bodies and the diaphragm; and a piston body that is urged to move in a direction in which the volume of the pressure chamber decreases. Spring means inserted between the fixed base and the piston body; a pair of hollow fixing bolts that integrate a pair of cylinder bodies; a pair of hollow fixing bolts slidably inserted into the piston; It is characterized by having a pair of sliding shafts to which the main body is fixed; and a sub-piston body coupled to the other ends of the pair of sliding shafts.

【0008】[0008]

【発明の実施形態】本実施形態の空圧薄型シリンダ装置
に用いる平面略矩形をなすダイアフラム10は、その周
縁四隅に、固定穴11を有している。このダイアフラム
10とこれを間に挟むシリンダボディ20、30は、共
通の一対の中空固定ボルト50によって相互に結合され
ており、図の上側のシリンダボディ20との間に、圧力
室21を形成する。シリンダボディ20には、圧力室2
1に通じる圧縮空気の吸排通路22が形成されており、
この吸排通路22に、切換弁23、レギュレータ24及
び圧縮空気源25を介して、圧縮空気が供給される。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION A diaphragm 10 having a substantially rectangular plane shape used in a pneumatic thin cylinder device of this embodiment has fixing holes 11 at four corners of its periphery. The diaphragm 10 and the cylinder bodies 20 and 30 sandwiching the diaphragm 10 are connected to each other by a common pair of hollow fixing bolts 50, and a pressure chamber 21 is formed between the diaphragm 10 and the cylinder body 20 on the upper side in the drawing. . In the cylinder body 20, the pressure chamber 2
1, an intake / exhaust passage 22 for compressed air leading to 1 is formed,
Compressed air is supplied to the intake / exhaust passage 22 via a switching valve 23, a regulator 24, and a compressed air source 25.

【0009】すなわち、中空固定ボルト50は、シリン
ダボディ20の段付貫通穴26に位置する中空大径頭部
51と、シリンダボディ30の雌ねじ穴33に螺合され
る中空小径雄ねじ部52とを有し、中空大径頭部51内
には、すべり軸受53が圧入固定されている。この中空
小径雄ねじ部52をダイアフラム10の固定穴11に嵌
めシリンダボディ30の雌ねじ穴33に螺合させ、中空
大径頭部51をシリンダボディ20の段付貫通穴26に
挿通して締め付けることにより、一対のシリンダボディ
20と30の間に、ダイアフラム10が挟着保持されて
いる。
That is, the hollow fixing bolt 50 has a hollow large diameter head portion 51 located in the stepped through hole 26 of the cylinder body 20 and a hollow small diameter male screw portion 52 screwed into the female screw hole 33 of the cylinder body 30. A sliding bearing 53 is press-fitted and fixed in the hollow large-diameter head portion 51. By fitting the hollow small diameter male screw portion 52 into the fixing hole 11 of the diaphragm 10 and screwing it into the female screw hole 33 of the cylinder body 30, the hollow large diameter head 51 is inserted into the stepped through hole 26 of the cylinder body 20 and tightened. The diaphragm 10 is sandwiched and held between the pair of cylinder bodies 20 and 30.

【0010】一対のシリンダボディのうち、固定基体B
側に位置するシリンダボディ30は、その中心部に貫通
穴31を有し、固定基体B側の表面にこの貫通穴31か
ら放射方向に延びる一対の凹部32を有している。この
貫通穴31と凹部32は、ピストン体(本体)40の収
納空間を形成するもので、ピストン体40は、貫通穴3
1に対応する円形の受圧部41と、一対の凹部32内に
嵌まる径方向腕部42と有している。受圧部41には、
固定基体Bに対向する凹部43が形成されていて、この
凹部43と固定基体Bとの間に、ピストン体40を圧力
室21側に(圧力室21の容積が減少する方向に)移動
付勢する圧縮コイルばね44が挿入されている。この圧
縮コイルばね44の付勢力により、ピストン体40(の
受圧部41)は常時ダイアフラム10の圧力室21の反
対側の表面に当接しする。
The fixed base B of the pair of cylinder bodies
The cylinder body 30 located on the side has a through hole 31 in the center thereof and a pair of recesses 32 extending in the radial direction from the through hole 31 on the surface of the fixed base body B side. The through hole 31 and the concave portion 32 form a space for accommodating the piston body (main body) 40.
It has a circular pressure receiving portion 41 corresponding to No. 1 and a radial arm portion 42 fitted in the pair of concave portions 32. In the pressure receiving portion 41,
A concave portion 43 facing the fixed base B is formed, and the piston body 40 is urged to move between the concave 43 and the fixed base B toward the pressure chamber 21 (in the direction in which the volume of the pressure chamber 21 decreases). The compression coil spring 44 is inserted. Due to the biasing force of the compression coil spring 44, the piston body 40 (the pressure receiving portion 41 thereof) is always in contact with the surface of the diaphragm 10 on the opposite side of the pressure chamber 21.

【0011】中空固定ボルト50内には、摺動スリーブ
(摺動軸)54が摺動自在に挿入されていて、この摺動
スリーブ54の図の下端部に、固定ねじ55によって、
上記ピストン体40の径方向腕部42が固定されてい
る。摺動スリーブ54は、事実上、中空固定ボルト50
の中空大径頭部51内に固定したすべり軸受53によっ
て摺動ガイドされている。一方、摺動スリーブ54の図
の上端部には、固定ねじ56によって、ピストンサブ体
45が固定されており、このピストンサブ体45に、ピ
ストン体40の動きが伝達されるワークWが固定されて
いる。以上のダイアフラム10とこれを間に挟むシリン
ダボディ20、30の結合体は、別の固定ボルト60
(図1)によって固定基体Bに固定される。
A sliding sleeve (sliding shaft) 54 is slidably inserted in the hollow fixing bolt 50, and a fixing screw 55 is attached to a lower end portion of the sliding sleeve 54 in the drawing.
The radial arm portion 42 of the piston body 40 is fixed. The sliding sleeve 54 is effectively a hollow fixing bolt 50.
Is slidingly guided by a slide bearing 53 fixed in the hollow large-diameter head 51. On the other hand, the piston sub body 45 is fixed to the upper end of the sliding sleeve 54 in the figure by a fixing screw 56, and the work W to which the movement of the piston body 40 is transmitted is fixed to the piston sub body 45. ing. The above-mentioned combined body of the diaphragm 10 and the cylinder bodies 20 and 30 sandwiching the diaphragm 10 is provided with another fixing bolt 60.
It is fixed to the fixed base B by (FIG. 1).

【0012】以上の中空固定ボルト50及びこれに関連
した部材は、ピストン体40(ピストンサブ体45)の
軸心から外れた位置に一対が設けられているため、ピス
トン体40(ピストンサブ体45)が回転することはな
い。また、中空固定ボルト50及びこれに関連した部材
は、圧力室21の形成には関係しないため、いわゆるロ
ッドシールを施す必要はなく、さらに、ピストン体40
(ピストンサブ体45)をシリンダボディ20、30に
対して摺動自在に案内する摺動スリーブ54は、シリン
ダボディ20と30を結合する中空固定ボルト50内に
摺動自在に嵌められているため、全体の薄型化が図れ
る。
A pair of the hollow fixing bolt 50 and the members related thereto are provided at a position deviated from the axial center of the piston body 40 (piston sub body 45). ) Does not rotate. Further, since the hollow fixing bolt 50 and the members related thereto are not related to the formation of the pressure chamber 21, it is not necessary to apply a so-called rod seal, and the piston body 40
The sliding sleeve 54 that slidably guides the (piston sub body 45) to the cylinder bodies 20 and 30 is slidably fitted in the hollow fixing bolt 50 that connects the cylinder bodies 20 and 30. The overall thickness can be reduced.

【0013】上記構成の本空圧薄型シリンダ装置は、次
のように動作する。圧力室21に圧縮空気源25からの
圧縮空気を導入せず、切換弁23により圧力室21を大
気と連通させた状態では、ピストン体40は、そのピス
トンサブ体45(ワークW)は、圧縮コイルばね44の
力により固定基体Bに対して突出した上昇位置にある
(図3または図4の二点鎖線)。このときのピストン体
40の上昇端は、ピストン体40の径方向腕部42がシ
リンダボディ30の凹部32の底部に当接する位置で規
制される。この状態において、切換弁23を介して圧縮
空気源25の圧縮空気を圧力室21内に導入し、その空
気圧力が圧縮コイルばね44に打ち勝つと、ピストン体
40(ピストンサブ体45)は下降し(引き込まれ)、
ワークWにより仕事がなされる。ピストン体40(ワー
クW)の最大変位量dは、ピストン体40の径方向腕部
42が固定基体Bに当接する位置(またはピストンサブ
体45がシリンダボディ20上面に当接する位置)で規
制される。切換弁23により圧力室21を大気に連通さ
せると、ピストン体40は、圧縮コイルばね44の力に
より上昇位置に復する。
The pneumatic thin cylinder device having the above structure operates as follows. In a state where the compressed air from the compressed air source 25 is not introduced into the pressure chamber 21 and the pressure chamber 21 is communicated with the atmosphere by the switching valve 23, the piston body 40 compresses the piston sub body 45 (workpiece W). The coil spring 44 is in a raised position protruding from the fixed base B by the force of the coil spring 44 (two-dot chain line in FIG. 3 or 4). The rising end of the piston body 40 at this time is regulated at a position where the radial arm portion 42 of the piston body 40 contacts the bottom portion of the recess 32 of the cylinder body 30. In this state, when the compressed air from the compressed air source 25 is introduced into the pressure chamber 21 via the switching valve 23 and the air pressure overcomes the compression coil spring 44, the piston body 40 (piston sub body 45) descends. (Retracted),
Work is performed by the work W. The maximum displacement amount d of the piston body 40 (workpiece W) is regulated at the position where the radial arm 42 of the piston body 40 contacts the fixed base body B (or the position where the piston sub body 45 contacts the upper surface of the cylinder body 20). It When the pressure chamber 21 is communicated with the atmosphere by the switching valve 23, the piston body 40 returns to the raised position by the force of the compression coil spring 44.

【0014】以上の実施形態では、一対の摺動スリーブ
54をピストンサブ体45に結合し、ピストンサブ体4
5をワークWに結合したが、摺動スリーブ54に直接ワ
ークWを結合することも可能であり、この場合には、ピ
ストンサブ体45を要しない。さらに、以上の実施形態
では、本薄型シリンダ装置を引き込みタイプとして使用
したが、ワークWを固定基体Bと同じ側に位置させてピ
ストン体40に結合すれば、押し出しタイプとして使用
することもできる。この形態でも、ピストンサブ体45
は不要であり、単にピストン体40(摺動スリーブ5
4)の脱落防止手段を設ければよい。
In the above embodiment, the pair of sliding sleeves 54 are connected to the piston sub body 45, and
Although 5 is connected to the work W, it is also possible to connect the work W directly to the sliding sleeve 54, and in this case, the piston sub body 45 is not required. Further, although the thin cylinder device is used as the retractable type in the above-described embodiments, if the work W is located on the same side as the fixed base B and is coupled to the piston body 40, it can be used as the push type. Also in this form, the piston sub body 45
Is unnecessary, and the piston body 40 (sliding sleeve 5
The fall prevention means of 4) may be provided.

【0015】[0015]

【発明の効果】以上のように本発明によれば、ロッドシ
ールを必要としない薄型の空圧薄型シリンダ装置を得る
ことができる。また、ピストン体の回転が生じることが
なく、ダイアフラムの耐久性を向上させることができる
空圧薄型シリンダ装置が得られる。
As described above, according to the present invention, a thin pneumatic thin cylinder device which does not require a rod seal can be obtained. Further, the pneumatic thin cylinder device capable of improving the durability of the diaphragm without the rotation of the piston body is obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明による空圧薄型シリンダ装置の一実施形
態を示す分解斜視図である。
FIG. 1 is an exploded perspective view showing an embodiment of a pneumatic thin cylinder device according to the present invention.

【図2】同組立状態の断面図である。FIG. 2 is a sectional view of the same assembled state.

【図3】同ピストン体を最大にストロークさせた状態の
断面図である。
FIG. 3 is a cross-sectional view showing a state in which the piston body is moved to the maximum stroke.

【図4】同ピストン体の変位前後の状態を示す拡大断面
図である。
FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view showing a state before and after displacement of the piston body.

【図5】同底面図である。FIG. 5 is a bottom view of the same.

【図6】同一部を断面とした平面図である。FIG. 6 is a plan view of the same portion as a cross section.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 ダイアフラム 11 固定穴 20 30 シリンダボディ 21 圧力室 22 吸排通路 23 切換弁 24 レギュレータ 25 圧縮空気源 26 段付貫通穴 31 貫通穴 32 凹部 33 雌ねじ穴 40 ピストン体(本体) 41 受圧部 42 径方向腕部 43 凹部 44 圧縮コイルばね(ばね手段) 45 ピストンサブ体(ピストン体) 50 中空固定ボルト 51 中空大径頭部 52 中空小径雄ねじ部 53 すべり軸受 54 摺動スリーブ(摺動軸) 55 56 固定ねじ B 固定基体 W ワーク 10 diaphragm 11 fixing holes 20 30 cylinder body 21 Pressure chamber 22 Suction and exhaust passage 23 Switching valve 24 regulator 25 Compressed air source 26 Stepped through hole 31 through hole 32 recess 33 Female screw hole 40 Piston body (main body) 41 Pressure receiving part 42 Radial arm 43 recess 44 Compression coil spring (spring means) 45 Piston sub body (piston body) 50 hollow fixing bolt 51 hollow large diameter head 52 Hollow small diameter male thread 53 plain bearings 54 Sliding sleeve (sliding shaft) 55 56 Fixing screw B fixed base W work

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭50−12486(JP,A) 特開 昭53−118675(JP,A) 特開 昭56−42708(JP,A) 特開 昭60−94829(JP,A) 実開 平6−78604(JP,U) 実開 平3−73706(JP,U) 実公 昭37−412(JP,Y1) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) F15B 15/10 F15B 15/14 335 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) References JP-A-50-12486 (JP, A) JP-A-53-118675 (JP, A) JP-A-56-42708 (JP, A) JP-A-60- 94829 (JP, A) Actual Kaihei 6-78604 (JP, U) Actual Kaihei 3-73706 (JP, U) Actual Public Sho 37-412 (JP, Y1) (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) F15B 15/10 F15B 15/14 335

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 間にダイアフラムを挟んで一体化される
一対のシリンダボディ;この一対のシリンダボディのい
ずれか一方とダイアフラムとの間に形成される圧力室;
上記ダイアフラムの上記圧力室の反対側に当接し、該圧
力室の圧力変化によって移動するピストン体;上記一対
のボディを一体化する中空固定ボルト;及びこの中空固
定ボルトに摺動自在に挿通され、上記ピストン体に結合
された摺動軸;を有することを特徴とする空圧薄型シリ
ンダ装置。
1. A pair of cylinder bodies integrated with a diaphragm interposed therebetween; a pressure chamber formed between one of the pair of cylinder bodies and the diaphragm;
A piston body that abuts on the opposite side of the diaphragm to the opposite side of the pressure chamber and moves by a pressure change in the pressure chamber; a hollow fixing bolt that integrates the pair of bodies; and a slidably inserted into the hollow fixing bolt, A pneumatic thin cylinder device having a sliding shaft connected to the piston body.
【請求項2】 請求項1記載の空圧薄型シリンダ装置に
おいて、中空固定ボルトには、摺動軸用のすべり軸受が
設けられている空圧薄型シリンダ装置。
2. The pneumatic thin cylinder device according to claim 1, wherein the hollow fixing bolt is provided with a sliding bearing for a sliding shaft.
【請求項3】 請求項1または2記載の空圧薄型シリン
ダ装置において、中空固定ボルト及び摺動軸は一対が備
えられている空圧薄型シリンダ装置。
3. The pneumatic thin cylinder device according to claim 1, wherein the hollow fixing bolt and the sliding shaft are provided in a pair.
【請求項4】 請求項3記載の空圧薄型シリンダ装置に
おいて、ピストン体は、上記一対の摺動軸の両端部にそ
れぞれ、一対のシリンダボディを挟んで結合された本体
とサブ体とからなっている空圧薄型シリンダ装置。
4. The pneumatic thin cylinder device according to claim 3, wherein the piston body is composed of a main body and a sub body, which are connected to both ends of the pair of sliding shafts with a pair of cylinder bodies interposed therebetween. Pneumatic thin cylinder device.
【請求項5】 間にダイアフラムを挟んで一体化され、
さらに固定基体に固定される一対のシリンダボディ;上
記一対のシリンダボディの固定基体に当接する側の一方
に形成した貫通穴内に位置して、上記ダイアフラムに当
接するピストン本体;上記一対のシリンダボディの他方
とダイアフラムとの間に形成される圧力室;上記ピスト
ン本体を上記圧力室の容積が減少する方向に移動付勢す
る、固定基体と該ピストン本体との間に挿入したばね手
段;上記一対のシリンダボディを一体化する一対の中空
固定ボルト;この一対の中空固定ボルトにそれぞれ摺動
自在に挿通され、その一端部に上記ピストン本体を固定
した一対の摺動軸;及びこの一対の摺動軸の他端部に結
合されたサブピストン体;を有することを特徴とする空
圧薄型シリンダ装置。
5. A diaphragm is sandwiched between them to be integrated,
Further, a pair of cylinder bodies fixed to the fixed base body; a piston body positioned in one of the through holes formed in one of the pair of cylinder bodies on the side abutting the fixed base body and abutting the diaphragm; A pressure chamber formed between the other and the diaphragm; spring means inserted between the fixed base body and the piston body for urging the piston body to move in a direction in which the volume of the pressure chamber decreases; A pair of hollow fixing bolts that integrate the cylinder body; a pair of sliding shafts that are slidably inserted into the pair of hollow fixing bolts, and have the piston body fixed to one end thereof; and this pair of sliding shafts. And a sub-piston body connected to the other end of the pneumatic thin cylinder device.
JP33169099A 1999-11-22 1999-11-22 Pneumatic thin cylinder device Expired - Fee Related JP3432191B2 (en)

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