JP3464296B2 - パレット治具 - Google Patents
パレット治具Info
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- Feeding Of Workpieces (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造装置の自動
組立ラインなどにおいて製作品（ワーク）の搬送及び位
置決めを行うパレット治具に関する。
組立ラインなどにおいて製作品（ワーク）の搬送及び位
置決めを行うパレット治具に関する。
【０００２】
【従来の技術】自動組立ラインで微小ワークを搬送する
には、複数のワークを搭載可能にしたボート（以下、
「パレット治具」という）が用いられる。このパレット
治具は、例えば、図５に示すように、板状のベース１に
ワークＡより大きめのポケット３を設け、このポケット
３にワークを収容することで搬送を行う。また、搬送と
共に各ワークの位置決めを行う場合には、図６に示すよ
うなパレット治具を用いる。このパレット治具には横方
向に動く一体構造の位置決め板５と、前後方向に動く同
じく一体構造の位置決め板７とがベース９にガイドピン
１１を介して摺動可能に設けられ、位置決め板５、７に
よってワークＡをそれぞれ保持する複数の保持空間が構
成される。使用の際には、位置決め板５と位置決め板７
を開放状態にし、ワークＡをこの開放空間に搭載した
後、両方の位置決め板５、７を閉じ、位置決め保持した
状態で搬送を行う。
には、複数のワークを搭載可能にしたボート（以下、
「パレット治具」という）が用いられる。このパレット
治具は、例えば、図５に示すように、板状のベース１に
ワークＡより大きめのポケット３を設け、このポケット
３にワークを収容することで搬送を行う。また、搬送と
共に各ワークの位置決めを行う場合には、図６に示すよ
うなパレット治具を用いる。このパレット治具には横方
向に動く一体構造の位置決め板５と、前後方向に動く同
じく一体構造の位置決め板７とがベース９にガイドピン
１１を介して摺動可能に設けられ、位置決め板５、７に
よってワークＡをそれぞれ保持する複数の保持空間が構
成される。使用の際には、位置決め板５と位置決め板７
を開放状態にし、ワークＡをこの開放空間に搭載した
後、両方の位置決め板５、７を閉じ、位置決め保持した
状態で搬送を行う。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図５に
示したパレット治具では、ワークＡとポケット３との間
に隙間があるため、正確な位置決めを必要とする自動組
立ラインでの搬送には不向きであり、更には搬送中にワ
ークＡが飛び出す欠点があった。また、図６に示したパ
レット治具では、位置決め板５、７が一体構造のため、
一つのワークＡが寸法不良であったり、傾いたりする
と、そのワークＡの影響を受けて他の全てのワークＡが
位置決めできなくなる欠点があった。そして、位置決め
板５、７は、ガイドピン１１との摩擦力によりワークＡ
を保持するため、繰り返しの使用により磨耗が生じると
摩擦力が低下し、所定の間隙でワークＡが締付けできな
くなり、ワークＡの保持が不能となる虞れもあった。更
に、位置決め板５、７が設けられたパレット治具をハン
ダリフロー炉などの加熱工程に使用した場合では、位置
決め板５、７及びガイドピン１１が熱変形し、位置決め
板５、７が動かなくなる問題も生じた。本発明は上記状
況に鑑みてなされたもので、寸法不良や傾いたワークの
影響によっても他のワークが位置決め不能とならず、温
度変化を受けても動作不良の生じることのないパレット
治具を提供し、搬送、位置決めの信頼性向上を図ること
を目的とする。
示したパレット治具では、ワークＡとポケット３との間
に隙間があるため、正確な位置決めを必要とする自動組
立ラインでの搬送には不向きであり、更には搬送中にワ
ークＡが飛び出す欠点があった。また、図６に示したパ
レット治具では、位置決め板５、７が一体構造のため、
一つのワークＡが寸法不良であったり、傾いたりする
と、そのワークＡの影響を受けて他の全てのワークＡが
位置決めできなくなる欠点があった。そして、位置決め
板５、７は、ガイドピン１１との摩擦力によりワークＡ
を保持するため、繰り返しの使用により磨耗が生じると
摩擦力が低下し、所定の間隙でワークＡが締付けできな
くなり、ワークＡの保持が不能となる虞れもあった。更
に、位置決め板５、７が設けられたパレット治具をハン
ダリフロー炉などの加熱工程に使用した場合では、位置
決め板５、７及びガイドピン１１が熱変形し、位置決め
板５、７が動かなくなる問題も生じた。本発明は上記状
況に鑑みてなされたもので、寸法不良や傾いたワークの
影響によっても他のワークが位置決め不能とならず、温
度変化を受けても動作不良の生じることのないパレット
治具を提供し、搬送、位置決めの信頼性向上を図ること
を目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明に係るパレット治具の構成は、ワークを位置決
めして搬送を行うパレット治具であって、搭載される複
数のワークに対応した数の基準面を基準板に形成し、こ
の基準板をベースに固設し、基準面に対し接近離反して
この基準面とでワークの保持空間を構成する位置決め板
をベースに移動自在に設け、位置決め板を基準面側に付
勢する加圧ばねを位置決め板とベースとの間に配設し、
位置決め板を移動させるための開閉ピンと係合して同時
に複数の位置決め板を加圧ばねに抗して移動させ保持空
間を開放させるための開閉手段を位置決め板に形成した
ことを特徴とするものである。そして、パレット治具
は、加圧ばねに耐熱材料を使用することが好ましい。
の本発明に係るパレット治具の構成は、ワークを位置決
めして搬送を行うパレット治具であって、搭載される複
数のワークに対応した数の基準面を基準板に形成し、こ
の基準板をベースに固設し、基準面に対し接近離反して
この基準面とでワークの保持空間を構成する位置決め板
をベースに移動自在に設け、位置決め板を基準面側に付
勢する加圧ばねを位置決め板とベースとの間に配設し、
位置決め板を移動させるための開閉ピンと係合して同時
に複数の位置決め板を加圧ばねに抗して移動させ保持空
間を開放させるための開閉手段を位置決め板に形成した
ことを特徴とするものである。そして、パレット治具
は、加圧ばねに耐熱材料を使用することが好ましい。
【０００５】
【作用】それぞれの基準面に対して接近離反自在に設け
られた位置決め板が加圧ばねで基準面側に付勢され、そ
れぞれのワークが基準面と位置決め板とで個別に保持さ
れ、一つのワークに寸法不良や傾きがあっても、その影
響が他のワークの位置決め動作に作用しなくなる。加圧
ばねが耐熱材料からなり、パレット治具が高温となる工
程に使用された際、繰り返しの温度変化を受けても加圧
ばねに変形や劣化が生じず、位置決め板の付勢動作が確
実となる。
られた位置決め板が加圧ばねで基準面側に付勢され、そ
れぞれのワークが基準面と位置決め板とで個別に保持さ
れ、一つのワークに寸法不良や傾きがあっても、その影
響が他のワークの位置決め動作に作用しなくなる。加圧
ばねが耐熱材料からなり、パレット治具が高温となる工
程に使用された際、繰り返しの温度変化を受けても加圧
ばねに変形や劣化が生じず、位置決め板の付勢動作が確
実となる。
【０００６】
【実施例】以下、本発明に係るパレット治具の好適な実
施例を図面を参照して詳細に説明する。図１は本発明の
第一の実施例を示す斜視図で、ワーク搭載工程にパレッ
ト治具を用いたものであり、図２は図１の要部拡大図で
ある。矩形板状のベース２１には基準板２３が固定さ
れ、基準板２３はワークＡと接触する基準面２５を備え
ている。基準面２５は縦横の基準面が一組で構成され、
搭載されるワークＡの数分、等間隔で配設される。ま
た、ベース２１には横方向（矢印ａ方向）に動く位置決
め板２７ａと、前後方向（矢印ｂ方向）に動く位置決め
板２７ｂとが基準面２５に対して接近離反可能に設けら
れ、位置決め板２７ａ、２７ｂはガイド溝２９をガイド
ピン３１に係合させて摺動自在となる。
施例を図面を参照して詳細に説明する。図１は本発明の
第一の実施例を示す斜視図で、ワーク搭載工程にパレッ
ト治具を用いたものであり、図２は図１の要部拡大図で
ある。矩形板状のベース２１には基準板２３が固定さ
れ、基準板２３はワークＡと接触する基準面２５を備え
ている。基準面２５は縦横の基準面が一組で構成され、
搭載されるワークＡの数分、等間隔で配設される。ま
た、ベース２１には横方向（矢印ａ方向）に動く位置決
め板２７ａと、前後方向（矢印ｂ方向）に動く位置決め
板２７ｂとが基準面２５に対して接近離反可能に設けら
れ、位置決め板２７ａ、２７ｂはガイド溝２９をガイド
ピン３１に係合させて摺動自在となる。
【０００７】基準板２３と位置決め板２７ａとの間には
ばね押さえ３３で保持された加圧ばね３５が配設され、
加圧ばね３５は位置決め板２７ａを基準面２５側へ付勢
する。また、ベース２１と位置決め板２７ｂとの間にも
ばね押さえ３３で保持された加圧ばね３５が配設され、
加圧ばね３５は位置決め板２７ｂを基準面２５側へ付勢
する。従って、通常時には、ワークＡの保持空間は閉じ
られた状態となる。位置決め板２７ａ、２７ｂには開閉
手段である開閉穴４１が穿設され、開閉穴４１は後述す
る開閉ピンと係合する。また、基準板２３には基準穴４
３が穿設され、基準穴４３は後述する位置決めピンと嵌
合する。ベース２１、基準板２３、位置決め板２７ａ、
２７ｂ、加圧ばね３５、開閉穴４１、基準穴４３を主な
部材又は部位としてパレット治具４５が構成される。
ばね押さえ３３で保持された加圧ばね３５が配設され、
加圧ばね３５は位置決め板２７ａを基準面２５側へ付勢
する。また、ベース２１と位置決め板２７ｂとの間にも
ばね押さえ３３で保持された加圧ばね３５が配設され、
加圧ばね３５は位置決め板２７ｂを基準面２５側へ付勢
する。従って、通常時には、ワークＡの保持空間は閉じ
られた状態となる。位置決め板２７ａ、２７ｂには開閉
手段である開閉穴４１が穿設され、開閉穴４１は後述す
る開閉ピンと係合する。また、基準板２３には基準穴４
３が穿設され、基準穴４３は後述する位置決めピンと嵌
合する。ベース２１、基準板２３、位置決め板２７ａ、
２７ｂ、加圧ばね３５、開閉穴４１、基準穴４３を主な
部材又は部位としてパレット治具４５が構成される。
【０００８】このように構成されたパレット治具４５
は、コンベア４７で搬送される。コンベア４７は、モー
タ４９でベルト５１が駆動される。コンベア４７で構成
された搬送路にはストッパ５３が設けられ、ストッパ５
３は前工程から搬送されて来たパレット治具４５を所定
位置で停止させる。また、搬送路には横方向に摺動する
開閉杆５５ａと、前後方向に摺動する開閉杆５５ｂが設
けられ、開閉杆５５ａ、５５ｂは開閉シリンダ５７ａ、
５７ｂにより駆動される。開閉杆５５ａ、５５ｂには複
数の開閉ピン５９が設けられ、開閉ピン５９は位置決め
板２７ａ、２７ｂに穿設された開閉穴４１と係合する。
つまり、開閉穴４１に開閉ピン５９を係合した開閉杆５
５ａ、５５ｂが開閉シリンダ５７ａ、５７ｂにより駆動
されることで、位置決め板２７ａ、２７ｂは加圧ばね３
５に抗して開かれる。なお、開閉手段は、開閉ピン５９
と係合するものであれば、開閉穴４１の他に、突起状の
ものであっても良い。
は、コンベア４７で搬送される。コンベア４７は、モー
タ４９でベルト５１が駆動される。コンベア４７で構成
された搬送路にはストッパ５３が設けられ、ストッパ５
３は前工程から搬送されて来たパレット治具４５を所定
位置で停止させる。また、搬送路には横方向に摺動する
開閉杆５５ａと、前後方向に摺動する開閉杆５５ｂが設
けられ、開閉杆５５ａ、５５ｂは開閉シリンダ５７ａ、
５７ｂにより駆動される。開閉杆５５ａ、５５ｂには複
数の開閉ピン５９が設けられ、開閉ピン５９は位置決め
板２７ａ、２７ｂに穿設された開閉穴４１と係合する。
つまり、開閉穴４１に開閉ピン５９を係合した開閉杆５
５ａ、５５ｂが開閉シリンダ５７ａ、５７ｂにより駆動
されることで、位置決め板２７ａ、２７ｂは加圧ばね３
５に抗して開かれる。なお、開閉手段は、開閉ピン５９
と係合するものであれば、開閉穴４１の他に、突起状の
ものであっても良い。
【０００９】更に、搬送路にはリフタ６１が設けられ、
リフタ６１はパレット治具４５を上昇させ、位置決めピ
ン６３にパレット治具４５の基準穴４３を嵌合させる。
なお、ワークＡは、トレー６５によってコンベア４７の
近傍に供給され、ロボット６７によりパレット治具４５
に搭載される。
リフタ６１はパレット治具４５を上昇させ、位置決めピ
ン６３にパレット治具４５の基準穴４３を嵌合させる。
なお、ワークＡは、トレー６５によってコンベア４７の
近傍に供給され、ロボット６７によりパレット治具４５
に搭載される。
【００１０】次に、ワーク搭載工程におけるパレット治
具４５の動作を説明する。先ず、モータ４９が駆動され
てベルト５１により前工程からパレット治具４５が搬送
されて来る。すると、ストッパ５３が動作してパレット
治具４５を所定位置で停止させ、次いでリフタ６１が動
作してパレット治具４５を上昇させる。この際、位置決
めピン６３と基準穴４３が嵌合し、パレット治具４５は
正規の位置に位置決めされる。また、同時に開閉ピン５
９と開閉穴４１も係合する。そして、開閉シリンダ５７
ａが動作することで開閉杆５５ａを介して全ての位置決
め板２７ａが横方向に開くとともに、開閉シリンダ５７
ｂが動作することで開閉杆５５ｂを介して全ての位置決
め板２７ｂが前後方向に開き、ワークＡの保持空間が開
放し、ワークＡの搭載が可能となる。
具４５の動作を説明する。先ず、モータ４９が駆動され
てベルト５１により前工程からパレット治具４５が搬送
されて来る。すると、ストッパ５３が動作してパレット
治具４５を所定位置で停止させ、次いでリフタ６１が動
作してパレット治具４５を上昇させる。この際、位置決
めピン６３と基準穴４３が嵌合し、パレット治具４５は
正規の位置に位置決めされる。また、同時に開閉ピン５
９と開閉穴４１も係合する。そして、開閉シリンダ５７
ａが動作することで開閉杆５５ａを介して全ての位置決
め板２７ａが横方向に開くとともに、開閉シリンダ５７
ｂが動作することで開閉杆５５ｂを介して全ての位置決
め板２７ｂが前後方向に開き、ワークＡの保持空間が開
放し、ワークＡの搭載が可能となる。
【００１１】次いで、ロボット６７のハンド６９がトレ
ー６５上のワークＡを吸着し、第一の保持空間へ載置す
る。同様にして最終の保持空間まで載置が完了すると、
開閉シリンダ５７ａ、５７ｂが元の位置に戻り、加圧ば
ね３５の付勢力で位置決め板２７ａ、２７ｂはワークＡ
に押し付けられる。この結果、ワークＡは、基準板２３
と位置決め板２７ａ、２７ｂにより位置決めされ、且つ
保持される。リフタ６１が戻り、パレット治具４５が下
降すると、開閉ピン５９と位置決めピン６３が開閉穴４
１と基準穴４３から抜け、次いでストッパ５３が下降す
ることで、パレット治具４５はベルト５１により後工程
へ搬送される。
ー６５上のワークＡを吸着し、第一の保持空間へ載置す
る。同様にして最終の保持空間まで載置が完了すると、
開閉シリンダ５７ａ、５７ｂが元の位置に戻り、加圧ば
ね３５の付勢力で位置決め板２７ａ、２７ｂはワークＡ
に押し付けられる。この結果、ワークＡは、基準板２３
と位置決め板２７ａ、２７ｂにより位置決めされ、且つ
保持される。リフタ６１が戻り、パレット治具４５が下
降すると、開閉ピン５９と位置決めピン６３が開閉穴４
１と基準穴４３から抜け、次いでストッパ５３が下降す
ることで、パレット治具４５はベルト５１により後工程
へ搬送される。
【００１２】上述したパレット治具４５によれば、それ
ぞれの基準面２５に対して位置決め板２７ａ、２７ｂを
個々に設け、位置決め板２７ａ、２７ｂを加圧ばね３５
で付勢し、それぞれのワークＡを個別に保持するように
したので、ワークＡに寸法不良や傾きがあってもその影
響により他のワークＡが位置決め不能となることがな
く、搬送中の振動によりワークＡが位置ずれ或いは飛び
出すことがない。なお、上述の実施例では、パレット治
具４５にワークＡを搭載する工程を例に説明したが、パ
レット治具４５は、ワークＡの上に更にワークを搭載し
たり、完成したワークをトレーに収納する工程などにも
勿論使用できる。
ぞれの基準面２５に対して位置決め板２７ａ、２７ｂを
個々に設け、位置決め板２７ａ、２７ｂを加圧ばね３５
で付勢し、それぞれのワークＡを個別に保持するように
したので、ワークＡに寸法不良や傾きがあってもその影
響により他のワークＡが位置決め不能となることがな
く、搬送中の振動によりワークＡが位置ずれ或いは飛び
出すことがない。なお、上述の実施例では、パレット治
具４５にワークＡを搭載する工程を例に説明したが、パ
レット治具４５は、ワークＡの上に更にワークを搭載し
たり、完成したワークをトレーに収納する工程などにも
勿論使用できる。
【００１３】次に、本発明の第二の実施例を説明する。
図３は本発明の第二の実施例を示す斜視図で、ダイスボ
ンド及びワイヤボンドを行う工程にパレット治具を用い
たものであり、図４は図３の要部拡大図である。なお、
図１、図２に示した部材又は部位と同一のものには同一
の符号を付し、重複する説明は省略する。本実施例のパ
レット治具７１は、加圧ばね７３が耐熱材料からなる。
その他の部分は上述のパレット治具４５と同様に構成さ
れる。耐熱材料としては、ばね鋼（ＳＵＰ）、ばね用洋
白条（ＮＳＳＲ）の他、特に耐食・耐熱性に優れるチタ
ン合金、ばね用線材としても用いられるステンレス鋼
（ＳＵＳ３１６、ＳＵＳ６３１）などが好適となる。ま
た、加圧ばね７３は、本実施例で図示したコイルばね形
式のもの以外に、板ばね形式、トーションバー形式のも
のであっても勿論よい。
図３は本発明の第二の実施例を示す斜視図で、ダイスボ
ンド及びワイヤボンドを行う工程にパレット治具を用い
たものであり、図４は図３の要部拡大図である。なお、
図１、図２に示した部材又は部位と同一のものには同一
の符号を付し、重複する説明は省略する。本実施例のパ
レット治具７１は、加圧ばね７３が耐熱材料からなる。
その他の部分は上述のパレット治具４５と同様に構成さ
れる。耐熱材料としては、ばね鋼（ＳＵＰ）、ばね用洋
白条（ＮＳＳＲ）の他、特に耐食・耐熱性に優れるチタ
ン合金、ばね用線材としても用いられるステンレス鋼
（ＳＵＳ３１６、ＳＵＳ６３１）などが好適となる。ま
た、加圧ばね７３は、本実施例で図示したコイルばね形
式のもの以外に、板ばね形式、トーションバー形式のも
のであっても勿論よい。
【００１４】このように構成されたパレット治具７１
は、ボンディング工程において、テーブル７５上に搬送
される。テーブル７５は、ネジ軸７７とモータ７９によ
り横方向に移動自在となる。テーブル７５にはヒータ８
１が埋め込まれる。テーブル７５の上方にはパレット治
具７１の基準穴４３と嵌合する位置決めピン６３が設け
られる。テーブル７５の上方にはコレット８３が設けら
れ、コレット８３はダイス８５を吸着してワークＡに装
着する。また、テーブル７５の上方にはボンディングツ
ール８７が設けられ、ボンディングツール８７はダイス
ボンド完了後のダイス８５とワークＡとをボンディング
ワイヤ８９で接続する。
は、ボンディング工程において、テーブル７５上に搬送
される。テーブル７５は、ネジ軸７７とモータ７９によ
り横方向に移動自在となる。テーブル７５にはヒータ８
１が埋め込まれる。テーブル７５の上方にはパレット治
具７１の基準穴４３と嵌合する位置決めピン６３が設け
られる。テーブル７５の上方にはコレット８３が設けら
れ、コレット８３はダイス８５を吸着してワークＡに装
着する。また、テーブル７５の上方にはボンディングツ
ール８７が設けられ、ボンディングツール８７はダイス
ボンド完了後のダイス８５とワークＡとをボンディング
ワイヤ８９で接続する。
【００１５】次に、ボンディング工程におけるパレット
治具７１の動作を説明する。パレット治具７１が前工程
からテーブル７５上に搬送されると、位置決めピン６３
が下降し、基準穴４３に嵌合してパレット治具７１は正
規の位置へ位置決めされる。ヒータ８１によりワークＡ
が所定の温度に達すると、コレット８３がウエハー９１
上のダイス８５を吸着して一番目のワークＡに装着す
る。一番目の装着が終わると、モータ７９とネジ軸７７
によりテーブル７５が移動し、パレット治具７１は１ピ
ッチ搬送される。
治具７１の動作を説明する。パレット治具７１が前工程
からテーブル７５上に搬送されると、位置決めピン６３
が下降し、基準穴４３に嵌合してパレット治具７１は正
規の位置へ位置決めされる。ヒータ８１によりワークＡ
が所定の温度に達すると、コレット８３がウエハー９１
上のダイス８５を吸着して一番目のワークＡに装着す
る。一番目の装着が終わると、モータ７９とネジ軸７７
によりテーブル７５が移動し、パレット治具７１は１ピ
ッチ搬送される。
【００１６】このようにして、順次、二番目、三番目と
ダイスボンドと搬送が行われる。一番目のワークＡがワ
イヤボンド位置に到達すると、ボンディングツール８７
が動作してボンディングワイヤ８９を指定の本数接続す
る。全てのワークＡのダイスボンド、ワイヤボンドが終
わると、位置決めピン６３が上昇してパレット治具７１
は開放され、次工程へ搬送される。パレット治具７１が
搬送された後、モータ７９が逆転してテーブル７５は定
位置へ戻って停止し、待機状態となる。
ダイスボンドと搬送が行われる。一番目のワークＡがワ
イヤボンド位置に到達すると、ボンディングツール８７
が動作してボンディングワイヤ８９を指定の本数接続す
る。全てのワークＡのダイスボンド、ワイヤボンドが終
わると、位置決めピン６３が上昇してパレット治具７１
は開放され、次工程へ搬送される。パレット治具７１が
搬送された後、モータ７９が逆転してテーブル７５は定
位置へ戻って停止し、待機状態となる。
【００１７】上述のパレット治具７１によれば、パレッ
ト治具４５と同様、それぞれのワークＡが確実に位置決
めされるので、ボンディング工程において、ワークＡご
とに改めて位置決めする必要がなくなる。また、ワーク
Ａはパレット治具７１に加圧ばね７３で密着しているの
で、熱伝導が少なく、温度上昇が早い。更に、加圧ばね
７３は耐熱材料で製作されているので、繰り返しの温度
変化を受けても変形や劣化が生じない。この結果、確実
な搬送及び高精度な位置決めが行え、組立時間の短縮及
び品質の向上を図ることができる。
ト治具４５と同様、それぞれのワークＡが確実に位置決
めされるので、ボンディング工程において、ワークＡご
とに改めて位置決めする必要がなくなる。また、ワーク
Ａはパレット治具７１に加圧ばね７３で密着しているの
で、熱伝導が少なく、温度上昇が早い。更に、加圧ばね
７３は耐熱材料で製作されているので、繰り返しの温度
変化を受けても変形や劣化が生じない。この結果、確実
な搬送及び高精度な位置決めが行え、組立時間の短縮及
び品質の向上を図ることができる。
【００１８】なお、上述の二つの実施例では、二つの位
置決め板２７ａ、２７ｂを用い、ワークＡを二方向から
挟持して位置決め保持したが、パレット治具４５、７１
は一つの位置決め板でワークＡを位置決め保持すること
もできる。例えば、矩形状のワークＡを位置決め保持す
る場合には、ワークＡの対角線上の一方の角部を基準面
２５に当て、他方の角部に直角基準面を有した位置決め
板を当接し、ワークＡを対角線方向から挟持する如きで
ある。このような構造とすれば、一つの位置決め板の動
作で横方向と前後方向の位置決めが同時に行え、パレッ
ト治具を少ない部品点数で構成することができる。
置決め板２７ａ、２７ｂを用い、ワークＡを二方向から
挟持して位置決め保持したが、パレット治具４５、７１
は一つの位置決め板でワークＡを位置決め保持すること
もできる。例えば、矩形状のワークＡを位置決め保持す
る場合には、ワークＡの対角線上の一方の角部を基準面
２５に当て、他方の角部に直角基準面を有した位置決め
板を当接し、ワークＡを対角線方向から挟持する如きで
ある。このような構造とすれば、一つの位置決め板の動
作で横方向と前後方向の位置決めが同時に行え、パレッ
ト治具を少ない部品点数で構成することができる。
【００１９】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明に係
るパレット治具によれば、それぞれの基準面に対して設
けられた位置決め板を加圧ばねで付勢し、それぞれのワ
ークを個別に保持するようにしたので、ワークに寸法不
良や傾きがあってもその影響により他のワークが位置決
め不能となることがなく、搬送中の振動によりワークが
位置ずれ或いは飛び出すことがない。この結果、搬送、
位置決めの信頼性を著しく向上させることができる。ま
た、加圧ばねを耐熱材料で製作すれば、繰り返しの温度
変化を受けても変形や劣化がなく、高温工程にパレット
治具が使用された場合においても動作不良が生じず、確
実な搬送及び高精度な位置決めが行え、ワーク組立時間
の短縮及び品質の向上を図ることができる。
るパレット治具によれば、それぞれの基準面に対して設
けられた位置決め板を加圧ばねで付勢し、それぞれのワ
ークを個別に保持するようにしたので、ワークに寸法不
良や傾きがあってもその影響により他のワークが位置決
め不能となることがなく、搬送中の振動によりワークが
位置ずれ或いは飛び出すことがない。この結果、搬送、
位置決めの信頼性を著しく向上させることができる。ま
た、加圧ばねを耐熱材料で製作すれば、繰り返しの温度
変化を受けても変形や劣化がなく、高温工程にパレット
治具が使用された場合においても動作不良が生じず、確
実な搬送及び高精度な位置決めが行え、ワーク組立時間
の短縮及び品質の向上を図ることができる。
【図１】本発明の第一の実施例を示す斜視図である。
【図２】図１の要部拡大図である。
【図３】本発明の第二の実施例を示す斜視図である。
【図４】図３の要部拡大図である。
【図５】従来のパレット治具の斜視図である。
【図６】従来のパレット治具の斜視図である。
２１ ベース
２３ 基準板
２５ 基準面
２７ａ、２７ｂ 位置決め板
３５、７３ 加圧ばね
４１ 開閉穴（開閉手段）
４５、７１ パレット治具
５９ 開閉ピン
Ａ ワーク
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01L 21/68
B23P 19/00 302
B23Q 7/00
Claims (2)
- 【請求項１】 ワークを位置決めして搬送を行うパレッ
ト治具であって、 搭載される複数のワークに対応した数の基準面を基準板
に形成し、該基準板をベースに固設し、前記基準面に対
し接近離反して該基準面とでワークの保持空間を構成す
る位置決め板を前記ベースに移動自在に設け、該位置決
め板を前記基準面側に付勢する加圧ばねを該位置決め板
とベースとの間に配設し、前記位置決め板を移動させる
ための開閉ピンと係合して同時に複数の前記位置決め板
を前記加圧ばねに抗して移動させ前記保持空間を開放さ
せるための開閉手段を該位置決め板に形成したことを特
徴とするパレット治具。 - 【請求項２】 矩形状のワークの隣接する二辺に当接す
る二つの面で前記基準面を構成し、該二つの面に対しそ
れぞれ接近離反して該二つの面とで前記ワークの保持空
間を構成する二つの位置決め板を前記基準面ごとに前記
ベースに移動自在に設けたことを特徴とする請求項１記
載のパレット治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32778594A JP3464296B2 (ja) | 1994-12-28 | 1994-12-28 | パレット治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32778594A JP3464296B2 (ja) | 1994-12-28 | 1994-12-28 | パレット治具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08186163A JPH08186163A (ja) | 1996-07-16 |
| JP3464296B2 true JP3464296B2 (ja) | 2003-11-05 |
Family
ID=18202962
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32778594A Expired - Fee Related JP3464296B2 (ja) | 1994-12-28 | 1994-12-28 | パレット治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3464296B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100441790B1 (ko) * | 2001-03-22 | 2004-07-27 | 에이에스엠 어쌤블리 오토메이션 리미티드 | 픽업 및 재치 장치와 그 방법 |
| KR100550874B1 (ko) * | 2004-02-23 | 2006-02-10 | 삼성전기주식회사 | 자동 칩 적재 및 이송 장치 |
| JP6251079B2 (ja) * | 2014-02-25 | 2017-12-20 | 東洋精密工業株式会社 | 階層型ワーククランプトレイ |
| KR102289016B1 (ko) * | 2014-11-25 | 2021-08-11 | 세메스 주식회사 | 전자 부품 버퍼 장치 |
| CN114046975A (zh) * | 2021-11-10 | 2022-02-15 | 日月光半导体制造股份有限公司 | 适用于ic承载盘的测试治具和测试方法 |
-
1994
- 1994-12-28 JP JP32778594A patent/JP3464296B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08186163A (ja) | 1996-07-16 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20030812 |
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