JP3312993B2 - 光波干渉測定用密着面剥離治具 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ブロックゲージの寸法
を光波干渉測定により求めた後に使用されるブロックゲ
ージと基準ブロックとの密着面剥離治具に関する。

【０００２】

【背景技術】ブロックゲージの寸法測定は原則として光
波干渉測定により求められることがJISB7506に規定され
ている。このJISB7506によれば、ブロックゲージの測定
面と、このブロックゲージが密着（リンギング）された
基準平面を有する基準ブロックとの双方に光を照射し、
これらのブロックゲージの測定面及び基準平面から反射
した光を利用して測定面と基準平面との間の距離をブロ
ックゲージ寸法として測定する。ここで、前記測定面及
び基準平面は、測定に際しては干渉面として作用する。
ブロックゲージの寸法測定が終了した後は、ブロックゲ
ージを基準平面から剥離する。従来では、万力で挟持し
たブロックゲージを基準平面から無理に引き離すことに
よって両者を剥離している。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ブロックゲージと基準
平面とは平面度が高いので、両者の密着力は大きく、ブ
ロックゲージと基準ブロックとの剥離は困難な作業であ
る。特に、５mm以下の寸法の短いブロックゲージでは、
剥離作業が極めて困難である。このように困難な剥離作
業を行うため、従来では、万力等を使用するので、ブロ
ックゲージに損傷を与えてしまうという問題点がある。

【０００４】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、その目的は、ブロックゲージに損傷を与えるこ
となくブロックゲージと基準平面とを簡単に剥離するこ
とができる光波干渉測定用密着面剥離治具を提供するこ
とにある。本発明の異なる目的は、前記目的に加え、基
準ブロックが破損することがない光波干渉測定用密着面
剥離治具を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、基準ブロック
を加圧して基準ブロックに歪みを与え、さらに、基準ブ
ロックとブロックゲージとを基準平面内で相対移動可能
にして前記目的を達成しようとするものである。具体的
には、本発明の光波干渉測定用密着面剥離治具は、光波
干渉測定に用いられたブロックゲージとこのブロックゲ
ージが基準平面に密着された基準ブロックとを剥離する
密着面剥離治具であって、前記基準ブロックを保持する
基準ブロック保持手段と、前記基準ブロックを加圧する
基準ブロック加圧手段と、前記ブロックゲージを保持す
るブロックゲージ保持手段と、このブロックゲージ保持
手段及び基準ブロック保持手段の少なくとも一方に設け
られ前記ブロックゲージと前記基準ブロックとを前記基
準平面内で相対移動させる移動機構とを備えたことを特
徴とする。

【０００６】ここで、前記基準ブロック加圧手段はマイ
クロメータヘッド又は圧電素子を含んで構成されてもよ
く、前記移動機構はマイクロメータヘッド又は圧電素子
を含んで構成されてもよい。前記マイクロメータヘッド
は前記基準ブロック保持手段に設けられ、この基準ブロ
ック保持手段は、前記基準ブロックのブロックゲージ押
圧方向の移動を規制するストッパ機構を備えた構造でも
よい。このストッパ機構は、ストッパブロックと、この
ストッパブロックと前記基準ブロックとの間に配置され
るとともに前記マイクロメータヘッドのスピンドルの軸
線方向と直交しかつ前記基準平面と同一平面内で移動自
在とされた基準ブロック保持部材とを備え、この基準ブ
ロック保持部材には前記基準ブロックの側面と一致する
ガイドが形成されている構成でもよい。前記ブロックゲ
ージ保持手段は、先細りのテーパ部を有するとともにこ
のテーパ部の先端が前記ブロックゲージの前記基準平面
の近傍を押圧する作動板を備えたものでもよい。

【０００７】

【作用】作業員が手作業によりブロックゲージを基準ブ
ロックの基準平面に密着させた後、ブロックゲージ寸法
の光波干渉測定をJISB7506に従って行う。この光波干渉
測定が終了したら、密着面剥離治具を使用してブロック
ゲージを基準平面から剥離する。そのため、まず、基準
ブロック加圧手段で基準ブロックに歪みを与えた状態で
移動機構を操作する。基準ブロック加圧手段によって、
基準平面に歪みを与えているため、前記基準平面内でブ
ロックゲージと基準ブロックとの相対的なずれが容易に
行われ、ブロックゲージが基準平面から簡単に剥離され
る。

【０００８】

【実施例】以下に、本発明に係るブロックゲージ寸法の
光波干渉測定用密着面剥離治具の好適な実施例を挙げ、
添付図面を参照しながら詳細に説明する。ここで、各実
施例中、同一又は同様の構成要素は同一符号を付して説
明を省略する。図１は第１実施例に係る密着面剥離治具
を示す正面図であり、図２はその平面図であり、図３は
図１のIII-III 線に沿う矢視断面図である。図１及び図
２において、密着面剥離治具は、円柱状の基準ブロック
１を保持する基準ブロック保持手段２と、前記基準ブロ
ック１の上に配置されたブロックゲージ３を保持するブ
ロックゲージ保持手段４と、前記基準ブロック保持手段
２に設けられた移動機構５及び基準ブロック加圧手段２
１とを備えて構成され、このうち、前記基準ブロック保
持手段２、前記ブロックゲージ保持手段４及び前記移動
機構５は、干渉面補正治具の機能も併せて有する。前記
移動機構５はマイクロメータヘッドから構成され、この
マイクロメータヘッドは、目盛りが形成された本体５Ａ
及びスピンドル５Ｂを備え、ブロックゲージ３を図２
中、左側に押圧する構造である。前記基準ブロック１
は、合成石英等の略透明な材料から形成されており、そ
の上端面は平面度の高い基準平面１Ａとされている。こ
の基準平面１Ａに前記ブロックゲージ３が密着（リンギ
ング）されている。このブロックゲージ３は、スチー
ル、セラミック等、前記基準ブロック１とは異なる材質
から直方体に形成されている。このブロックゲージ３の
前記基準平面１Ａと対向する面とこの面とは反対側の面
とは測定面３Ａとされ、これらの測定面３Ａの間の距離
がブロックゲージ寸法とされる。また、JISB7506に規定
されるブロックゲージ寸法の光波干渉測定に際しては、
前記基準平面１Ａと測定面３Ａとは干渉面として作用す
る。

【０００９】前記基準ブロック保持手段２は、平板状の
ベースブロック６と、このベースブロック６の上に設け
られるとともに前記基準ブロック１の下端面を支持する
ベースプレート基板７と、前記基準ブロック１のブロッ
クゲージ押圧方向の移動を規制するストッパ機構８と、
前記ベースブロック６の一端部に固定されるとともに前
記移動機構５が取り付けられた保持ブロック９とを備え
た構造である。前記ベースプレート基板７は、その中央
部に孔７Ａが形成され、この孔７Ａの内径は前記基準ブ
ロック１の外径より小さく形成されている（図３参
照）。前記ストッパ機構８は、前記ベースブロック６の
他端部に固定されたストッパブロック１０と、このスト
ッパブロック１０と前記基準ブロック１との間に配置さ
れた基準ブロック保持部材１１とを備え、この基準ブロ
ック保持部材１１は、前記基準平面１Ａと同一平面内に
おいて前記移動機構５のスピンドル５Ｂの軸線方向と直
交する方向に移動自在とされている。また、基準ブロッ
ク保持部材１１の上部には前記基準ブロック１の円周側
面と一致する円弧状のガイド１１Ａが形成されている。

【００１０】前記ブロックゲージ保持手段４は、前記ブ
ロックゲージ３を押圧する略平板状の作動板１２と、こ
の作動板１２の両側下面にボルト１３で取り付けられた
作動板ガイド１４と、前記作動板１２の中央部上面にボ
ルト１５で取り付けられた把手１６と、前記作動板１２
の側部にアンビル固定板１７を介して取り付けられると
ともに前記移動機構５のスピンドル５Ｂの先端部が当接
するアンビル１８とを備えた構成であり、前記スピンド
ル５Ｂの軸線に沿って進退可能とされている。図３に示
される通り、２枚の作動板ガイド１４及び作動板１２か
ら前記基準ブロック１を跨ぐ門型形状が形成され、前記
作動板ガイド１４の下端面はベースブロック６の上面に
当接され、かつ、前記作動板１２の下面は前記基準ブロ
ック１の基準平面１Ａに当接されている。前記把手１６
は断熱性の材料、例えば、商品名ジュラコン等から梯子
状に形成されており、作業員の体温を基準ブロック１及
びブロックゲージ３に伝達しにくい構造とされている。
また、この把手１６は、前記作動板１２を基準ブロック
側に付勢する重りとしても機能する。ここで、前記作動
板１２、作動板ガイド１４及び把手１６から前記基準ブ
ロック１のブロックゲージ側の移動を規制する、換言す
れば、前記基準ブロック１の浮き上がりを防止する基準
ブロック移動規制部材１９が構成されている。

【００１１】図２に示される通り、前記作動板１２の中
央部には、前記基準ブロック１上の前記ブロックゲージ
３との干渉を避けるための窓部１２Ａが形成され、この
窓部１２Ａの内側には前記ブロックゲージ３の短辺方向
と略同じ幅を有するテーパ部１２Ｂが形成されている。
このテーパ部１２Ｂは、その幅方向が前記マイクロメー
タヘッド５のスピンドル５Ｂの軸線方向と直交し、か
つ、幅方向の中心がスピンドル５Ｂの軸線と一致する。
前記作動板１２の断面構造が図４に示されている。図４
において、前記テーパ部１２Ｂは先細り形状とされ、そ
の先端は前記ブロックゲージ３の短辺側面の前記基準平
面１Ａの近傍を押圧する構造とされている。また、前記
マイクロメータヘッド５は、そのスピンドル５Ｂの軸線
方向が前記基準平面１Ａの上に位置するように高さが調
整されている。

【００１２】前記基準ブロック加圧手段２１は、前記移
動機構５の下方に設けられたマイクロメータヘッド２２
と、このマイクロメータヘッド２２と前記基準ブロック
１との間に配置された加圧ブロック２３とを備えて構成
されている。前記マイクロメータヘッド２２は、目盛り
が形成された本体２２Ａ及びスピンドル２２Ｂを備え、
前記基準ブロック１を図１中左側（前記移動機構５の押
圧方向と同じ）に押圧する構造である。前記加圧ブロッ
ク２３は、前記基準ブロック１の円周側面に当接するブ
ロック本体２４と、このブロック本体２４の側部にアン
ビル固定板２５を介して取り付けられるとともに前記マ
イクロメータヘッド２２のスピンドル２２Ｂの先端部が
当接するアンビル２６とを備えた構成であり、前記スピ
ンドル２２Ｂが前進することにより前記ストッパ機構８
との間で基準ブロック１を加圧するようになっている。

【００１３】次に、ブロックゲージ寸法の光波干渉測定
を行う方法を説明する。まず、作業員が手作業によりブ
ロックゲージ３の一方の測定面３Ａを基準ブロック１の
基準平面１Ａに密着させる。ブロックゲージ３の測定面
３Ａと基準平面１Ａとの密着状態を基準ブロック１の裏
面から目視することにより確認する。これらの測定面３
Ａと基準平面１Ａとの密着作業に伴いブロックゲージ３
及び基準ブロック１に作業員の体温が伝達するので、一
定時間、温度慣らしによって室温（20℃前後）に近づけ
る。温度慣らしが終了して所定時間経過したら、ブロッ
ク寸法の測定を行うが、その測定に先立ち干渉面である
測定面３Ａ及び基準平面１Ａの補正をする。

【００１４】温度慣らし等により温度変化が生じ、ブロ
ックゲージ３及び基準ブロック１に熱応力歪みが発生す
る。この熱応力歪みに起因して測定面３Ａ及び基準平面
１Ａの平面度が劣化するが、これを回復するために干渉
面補正治具を使用する。まず、移動機構５及び基準ブロ
ック加圧手段２１のマイクロメータヘッド２２をそれぞ
れ操作してこれらのスピンドル５Ｂ，２２Ｂを十分に後
退させ、基準平面１Ａにブロックゲージ３が密着された
状態の基準ブロック１を基準ブロック保持手段２のベー
スプレート基板７の上に配置する。その後、基準ブロッ
ク１をブロックゲージ保持手段４で覆うようにし、この
保持手段４の作動板１２の窓１２Ａ内にブロックゲージ
３を位置させる。この際、ブロックゲージ３は、その短
辺側面に前記作動板１２のテーパ部１２Ｂの先端が当接
するように配置する。

【００１５】この状態で、移動機構５を操作し、スピン
ドル５Ｂを前進させる。すると、スピンドル５Ｂはアン
ビル１８に当接した後、前記作動板１２を前進させる。
この作動板１２の前進により、テーパ部１２Ｂの先端が
ブロックゲージ３の短辺側面を押圧する。ブロックゲー
ジ３が押圧されることにより、基準ブロック１も同方向
に移動しようとするが、この基準ブロック１は、その側
面が基準ブロック保持手段２のストッパ機構８に保持さ
れていることから、前記基準ブロック１のブロックゲー
ジ押圧方向の移動が規制される。なお、基準ブロック加
圧手段２１のマイクロメータヘッド２２は操作しない状
態、あるいは、操作しても前記基準平面１Ａに歪みが生
じない程度にスピンドル２２Ｂで基準ブロック１の側面
を押圧する。ここで、図５に示される通り、前記基準ブ
ロック１の中心Ｐがスピンドル５Ｂの軸線Ｌの上からず
れている場合、ストッパ機構８の基準ブロック保持部材
１１を前記スピンドル５Ｂの軸線方向と直交する方向に
移動してガイド１１Ａを基準ブロック１に一致させる。

【００１６】スピンドル５Ｂの前進により、ブロックゲ
ージ３と基準ブロック１とが前記基準平面１Ａ内で密着
状態が維持されながら相対的にずれることになり、ブロ
ックゲージ３及び基準ブロック１に発生した熱応力歪み
が開放され、干渉面である基準平面１Ａ及び測定面３Ａ
の平面度が補正される。ここで、マイクロメータヘッド
５によりブロックゲージ３と基準ブロック１とを相対移
動させる距離は、0.05〜0.1mm である。0.1mm を越える
と、両者の密着状態が解除されて適正なブロックゲージ
寸法の測定が行えない場合がある。マイクロメータヘッ
ド５のスピンドル５Ｂの前進は本体５Ａの目盛りを読み
取りながら行う。

【００１７】基準平面１Ａとブロックゲージ３の測定面
３Ａとの平面度が補正されたら、移動機構５を操作して
スピンドル５Ｂを後退させる。さらに、ブロックゲージ
保持手段４を外し、ブロックゲージ３が密着された基準
ブロック１を基準ブロック保持手段２から取り出す。基
準ブロック保持手段２から取り出されたブロックゲージ
３と基準ブロック１の基準平面１Ａとの密着状態を確認
する。その後、JISB7506に従って、ブロックゲージ３の
測定面３Ａと、このブロックゲージ３が密着される基準
平面１Ａとの双方に光を照射し、これらの測定面３Ａ及
び基準平面１Ａから反射した光を利用して測定面３Ａと
基準平面１Ａとの間の距離をブロックゲージ寸法として
測定する。

【００１８】JISB7506による光波干渉測定が終了した
ら、ブロックゲージを基準平面から剥離する。そのた
め、前記移動機構５及び前記基準ブロック加圧手段２１
のマイクロメータヘッド２２を操作し、これらのスピン
ドル５Ｂ，２２Ｂを十分に後退させ、基準平面１Ａにブ
ロックゲージ３が密着された状態の基準ブロック１を基
準ブロック保持手段２のベースプレート基板７の上に配
置する。その後、基準ブロック１をブロックゲージ保持
手段４で再度覆うようにし、この保持手段４の作動板１
２の窓１２Ａ内にブロックゲージ３を位置させる。

【００１９】この状態で、前記基準ブロック加圧手段２
１のマイクロメータヘッド２２を操作し、スピンドル２
２Ｂを前進させる。マイクロメータヘッド２２の操作は
本体２２Ａの目盛りを読み取りながら行う。前記基準ブ
ロック１の中心Ｐがスピンドル５Ｂの軸線Ｌの上からず
れている場合、前述と同様に、基準ブロック保持部材１
１を前記スピンドル５Ｂの軸線方向と直交する方向に移
動してガイド１１Ａを基準ブロック１に一致させる。ス
ピンドル２２Ｂを前進させると、このスピンドル２２Ｂ
は前記加圧ブロック２３のアンビル２６に当接した後、
前記加圧ブロック２３全体を前進させる。これにより、
この加圧ブロック２３と前記ブロック機構８との間で前
記基準ブロック１は加圧され、基準平面１Ａが歪む。こ
の状態で前記移動機構５を操作し、スピンドル５Ｂを前
進させる。すると、スピンドル５Ｂは前記作動板１２を
前進させ、この作動板１２の前進により、テーパ部１２
Ｂの先端がブロックゲージ３の側面を押圧する。これに
より、ブロックゲージ３と基準ブロック１とが前記基準
平面１Ａ内で相対的にずれることになり、ブロックゲー
ジ３が基準平面１Ａから剥離される。

【００２０】従って、本実施例によれば、基準ブロック
１を保持する基準ブロック保持手段２と、前記基準ブロ
ック１を加圧する基準ブロック加圧手段２１と、ブロッ
クゲージ３を保持するブロックゲージ保持手段４と、前
記基準ブロック保持手段２に設けられ前記ブロックゲー
ジ３と前記基準ブロック１とを前記基準平面１Ａ内で相
対移動させる移動機構５とを備えて光波干渉測定用密着
面剥離治具を構成したので、万力等で挟持されたブロッ
クゲージ基準平面から無理に引き離す必要がなく、よっ
て、ブロックゲージ３に損傷を与えることなくブロック
ゲージ３と基準平面１Ａとを簡単に剥離することができ
る。また、本実施例では、前記基準ブロック加圧手段２
１はマイクロメータヘッド２２を含んで構成されたの
で、このマイクロメータヘッド２２の目盛りを読み取り
ながらスピンドル２２Ｂを前進させれば、基準ブロック
１に過大な押圧力が作用することを回避することがで
き、よって、基準ブロック１の破損を防止できる。

【００２１】さらに、移動機構５をマイクロメータヘッ
ドとしたから、このマイクロメータヘッド５の目盛りを
読み取りながらスピンドル５Ｂを前進させることによ
り、基準平面１Ａからブロックゲージ３を確実に剥離す
ることができる。また、基準ブロック保持手段２は、前
記基準ブロック１のブロックゲージ押圧方向の移動を規
制するストッパ機構８を備え、このストッパ機構８は、
ストッパブロック１０と、このストッパブロック１０と
前記基準ブロック１との間に配置されるとともに前記マ
イクロメータヘッド２２のスピンドル軸線方向と直交し
かつ前記基準平面１Ａと同一平面内で移動自在とされた
基準ブロック保持部材１１とを備え、この基準ブロック
保持部材１１には前記基準ブロック１の側面と一致する
ガイド１１Ａが形成されているので、前記基準ブロック
１の中心Ｐがスピンドル５Ｂの軸線Ｌの上からずれて配
置されても、ストッパ機構８の基準ブロック保持部材１
１を前記スピンドル５Ｂの軸線方向と直交する方向に移
動してガイド１１Ａを基準ブロック１に一致させること
により、ブロックゲージ３と基準平面１Ａとを確実に剥
離することができる。

【００２２】さらに、前記ブロックゲージ保持手段４を
先細りのテーパ部１２Ｂを有するとともにこのテーパ部
１２Ｂの先端が前記ブロックゲージ３の前記基準平面１
Ａの近傍を押圧する作動板１２を備えた構造としたか
ら、ブロックゲージ３と基準ブロック１とを相対移動さ
せる力を基準平面１Ａの近傍に作用させ、ブロックゲー
ジ３と基準平面１Ａとを剥離する際に基準平面１Ａに破
損が生じることがない。即ち、ブロックゲージ３の押圧
位置を基準平面１Ａから離れた位置、例えば、ブロック
ゲージ３の上側部とすると、ブロックゲージ３を押圧す
ることにより、ブロックゲージ３の押圧位置とは反対側
の下側部のエッジに下向き（基準平面側）の力が作用す
ることになり、基準平面１Ａを破損させるおそれがある
が、本実施例では、ブロックゲージ３を押圧する力を基
準平面１Ａの近傍に作用させたので、ブロックゲージ３
の下側部のエッジに下向きの力が作用することがない。

【００２３】また、本実施例では、前記基準ブロック保
持手段２、前記ブロックゲージ保持手段４及び前記移動
機構５を備えて干渉面補正治具を構成したので、光波干
渉測定の前にブロックゲージ３及び基準ブロック１に熱
応力歪みが発生しても前記ブロックゲージ３と前記基準
ブロック１とを密着状態を維持しながら相対移動させる
ことにより熱応力歪みを開放し、これらの平面度の劣化
を回復してブロックゲージ寸法の精密測定を行える。ま
た、前記ブロックゲージ保持手段４の把手１６を断熱部
材から形成したので、作業員の体温が把手１６を介して
ブロックゲージ３や基準ブロック１に伝達されにくい。

【００２４】次に、本発明の第２実施例を図６から図８
に基づいて説明する。第２実施例では、主に、前記移動
機構及び前記基準ブロック加圧手段の構成が前記第１実
施例と相違するが、他の構成は前記第１実施例と略同様
である。図６は第２実施例の全体を示し、図７は第２実
施例の要部を示す。これらの図において、ブロックゲー
ジ保持手段３０は、前記作動板１２、前記作動板ガイド
１４及び前記把手１６から構成されている。前記作動板
１２には移動機構としての圧電素子３１が圧電素子取付
板３２を介して取り付けられている。基準ブロック加圧
手段３３は前記ブロック本体２４と、このブロック本体
２４に圧電素子取付板３４を介して取り付けられた圧電
素子３５とから構成されている。基準ブロック保持手段
２は、前記ベースブロック６、前記ベースプレート基板
７、前記ストッパ機構８、前記保持ブロック９及びこの
保持ブロック９にそれぞれ取り付けられたマイクロメー
タヘッド３６，３７から構成されている。このマイクロ
メータヘッド３６，３７は、本体３６Ａ，３７Ａ及びス
ピンドル３６Ｂ，３７Ｂを備えた構造であり、スピンド
ル３６Ｂは前記圧電素子３１に当接可能であり、前記ス
ピンドル３７Ｂは前記圧電素子３５に当接可能である。

【００２５】前記圧電素子３１，３５は、一般的な構造
であり、その振動方向が前記スピンドル３６Ｂ，３７Ｂ
の軸線方向と一致するように前記圧電素子取付板３２，
３４に取り付けられている。前記圧電素子３１は制御手
段３８から印加電圧信号が送られるようになっており、
前記圧電素子３５は制御手段３９から印加電圧信号が送
られるようになっている。前記制御手段３８が圧電素子
３１へ送る印加電圧信号の波形が図８に示されている。
制御手段３８は、図８（Ａ）に示される通り、１回の矩
形波状の印加電圧信号や、図８（Ｂ）に示される通り、
複数回の矩形波状の印加電圧信号や、図８（Ｃ）に示さ
れる通り、時間経過に伴って階段状に大きくなる印加電
圧信号を前記圧電素子３１に送るようにされている。圧
電素子３５には一定の直流電圧信号が制御手段３９から
印加される。

【００２６】このような構成の第２実施例によれば、前
記第１実施例の効果に加え次の効果を奏することができ
る。即ち、移動機構は前記圧電素子３１を含んで構成さ
れているので、ブロックゲージ３への押圧力を急激に大
きくしたり、階段状に大きくしたりして基準平面１Ａと
ブロックゲージ３との剥離作業を確実に行える。その
上、基準平面１Ａとブロックゲージ３との剥離作業に際
して、これらのブロックゲージ３と基準ブロック１との
相対移動距離を小さくできるので、基準平面１Ａとブロ
ックゲージ３との密着面に与える損傷を小さくできる。
さらに、基準ブロック加圧手段３３は、前記圧電素子３
１を含んで構成されているので、微小の加圧量を基準ブ
ロック１へ付与してブロックゲージ３と基準平面１Ａと
を簡単に剥離することができる。

【００２７】以上、本発明について好適な実施例を挙げ
て説明したが、本発明はこの実施例に限定されるもので
はなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の
改良並びに設計の変更が可能なことは勿論である。例え
ば、前記第１実施例では移動機構５をマイクロメータヘ
ッドとしたが、本発明では、基準平面１Ａとブロックゲ
ージ３とを相対移動できる構造であれば、マイクロメー
タヘッドに代えてねじ又はボールねじ等を用いてもよ
い。さらに、基準ブロック加圧手段２１をマイクロメー
タヘッド２２を含んで構成したが、マイクロメータヘッ
ド２２に代えてねじ又はボールねじ等を用いてもよく、
あるいは、万力から基準ブロック１を加圧する加圧手段
を構成してもよい。また、前記移動機構５を基準ブロッ
ク保持手段２に設け、この基準ブロック保持手段２のス
トッパ機構８で基準ブロック１のブロックゲージ押圧方
向の移動を規制する構成としたが、本発明では、ブロッ
クゲージ３を固定し、基準ブロック保持手段２に移動機
構を設けて基準ブロック１を移動させる構成、あるい
は、基準ブロック保持手段２及びブロックゲージ保持手
段４の双方に移動機構を設け、ブロックゲージ３と基準
ブロック１とを互いに対向する方向に移動させる構成で
もよい。

【００２８】さらに、ストッパブロック１０及び基準ブ
ロック保持部材１１から前記ストッパ機構８を構成した
が、本発明では、ストッパブロック１０のみからストッ
パ機構８を構成してもよい。また、前記作動板１２は、
先細りのテーパ部１２Ｂを有するとともにこのテーパ部
１２Ｂの先端が前記ブロックゲージ３の前記基準平面１
Ａの近傍を押圧する構造としたが、ブロックゲージ３を
押圧する部位は必ずしもテーパ部１２Ｂの先端であるこ
とを要しない。例えば、作動板１２を平板から形成し、
この平板の垂直端面でブロックゲージ３を押圧する構成
でもよい。

【００２９】さらに、前記実施例では、前記基準ブロッ
ク移動規制部材１９は、ブロックゲージ保持手段４の構
成部材である作動板１２、作動板ガイド１４及び把手１
６から構成されたが、この構成に基準ブロック移動規制
部材は限定されない。例えば、基準ブロック移動規制部
材は、基準ブロック１の基準平面１Ａを係止するフック
を含んで構成し、このフックは基準ブロック保持手段２
の構成部材としてベースブロック６に固定した構造とし
てもよい。また、前記ブロックゲージ保持手段４の把手
１６は、必ずしも断熱性材料から形成することを要しな
い。さらに、基準ブロック１は、角柱等の円柱以外の形
状でもよい。また、基準ブロック１とブロックゲージ３
とは同じ材質でもよい。

【００３０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
基準ブロックを保持する基準ブロック保持手段と、前記
基準ブロックを加圧する基準ブロック加圧手段と、ブロ
ックゲージを保持するブロックゲージ保持手段と、この
ブロックゲージ保持手段及び基準ブロック保持手段の少
なくとも一方に設けられ前記ブロックゲージと前記基準
ブロックとを前記基準平面内で相対移動させる移動機構
とを備えて光波干渉測定用密着面剥離治具を構成したか
ら、万力等で挟持されたブロックゲージを基準平面から
無理に引き離す必要がなく、よって、ブロックゲージに
損傷を与えることなくブロックゲージと基準平面とを簡
単に剥離することができる。また、本発明では、前記基
準ブロック加圧手段はマイクロメータヘッドを含んだ構
成とすれば、このマイクロメータヘッドの目盛りを読み
取りながらスピンドルを前進させることにより、基準ブ
ロックに過大な押圧力が作用することを回避することが
でき、基準ブロックの破損を防止できる。

【００３１】また、本発明では、前記基準ブロック加圧
手段は圧電素子を含んだ構成とすれば、基準平面とブロ
ックゲージとの剥離作業を確実に行える。さらに、移動
機構をマイクロメータヘッドとすれば、このマイクロメ
ータヘッドの目盛りを読み取りながらスピンドルを前進
させることにより、基準平面からブロックゲージを確実
に剥離することができる。さらに、移動機構を圧電素子
とすれば、ブロックゲージと基準ブロックとの相対移動
距離を小さくできるので、基準平面とブロックゲージと
の密着面に与える損傷を小さくできる。また、前記マイ
クロメータヘッドを前記基準ブロック保持手段に設け、
この基準ブロック保持手段を、前記基準ブロックのブロ
ックゲージ押圧方向の移動を規制するストッパ機構を備
え、このストッパ機構を、ストッパブロックと、このス
トッパブロックと前記基準ブロックとの間に配置される
とともに前記マイクロメータヘッドのスピンドルの軸線
方向と直交しかつ前記基準平面と同一平面内で移動自在
とされた基準ブロック保持部材とを備え、この基準ブロ
ック保持部材に前記基準ブロックの側面と一致するガイ
ドを形成すれば、基準ブロックの中心がスピンドルの軸
線の上からずれて配置されても、ストッパ機構の基準ブ
ロック保持部材を前記スピンドルの軸線方向と直交する
方向に移動してガイドを基準ブロックに一致させること
により、ブロックゲージと基準平面とを確実に剥離する
ことができる。

【００３２】前記ブロックゲージ保持手段を、先細りの
テーパ部を有するとともにこのテーパ部の先端が前記ブ
ロックゲージの前記基準平面の近傍を押圧する作動板を
備えた構成にすれば、ブロックゲージと基準平面とを剥
離する際に基準平面に破損が生じることがない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例に係る密着面剥離治具を示
す正面図である。

【図２】図２は図１の平面図である。

【図３】図３は図１のIII-III 線に沿う矢視断面図であ
る。

【図４】第１実施例の要部を示す縦断面図である。

【図５】ブロック機構の作用を示す図２と同様の図であ
る。

【図６】本発明の第２実施例に係る密着面剥離治具を示
す図２と同様の図である。

【図７】第２実施例の要部を示す図４と同様の図であ
る。

【図８】圧電素子へ送られる印加電圧信号の波形を示す
グラフである。

【符号の説明】

１ 基準ブロック １Ａ 基準平面 ２ 基準ブロック保持手段 ３ ブロックゲージ ３Ａ 測定面 ４ ブロックゲージ保持手段 ５ 移動機構としてのマイクロメータヘッ
ド ５Ｂ スピンドル ８ ストッパ機構 １０ ストッパブロック １１ 基準ブロック保持部材 １１Ａ ガイド １２ 作動板 １２Ｂ テーパ部 ２１ 基準ブロック加圧手段 ２２ 基準ブロック加圧手段を構成するマイ
クロメータヘッド ３１ 移動機構としての圧電素子 ３３ 基準ブロック加圧手段 ３５ 基準ブロック加圧手段を構成する圧電
素子

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 胡 尚弥 神奈川県川崎市高津区坂戸１−20−１ 株式会社ミツトヨ内 (72)発明者 稲垣 章 神奈川県川崎市高津区坂戸１−20−１ 株式会社ミツトヨ内 (56)参考文献 特開 平５−126972（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−226214（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01B 9/00 - 11/30 102 G01B 3/00 - 5/30 G01B 21/00 - 21/32

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光波干渉測定に用いられたブロックゲー
   ジとこのブロックゲージが基準平面に密着された基準ブ
   ロックとを剥離する密着面剥離治具であって、前記基準
   ブロックを保持する基準ブロック保持手段と、前記基準
   ブロックを加圧する基準ブロック加圧手段と、前記ブロ
   ックゲージを保持するブロックゲージ保持手段と、この
   ブロックゲージ保持手段及び基準ブロック保持手段の少
   なくとも一方に設けられ前記ブロックゲージと前記基準
   ブロックとを前記基準平面内で相対移動させる移動機構
   とを備えたことを特徴とする光波干渉測定用密着面剥離
   治具。
2. 【請求項２】 請求項１記載の光波干渉測定用密着面剥
   離治具において、前記基準ブロック加圧手段及び前記移
   動機構の少なくとも一方はマイクロメータヘッドを備え
   て構成されたことを特徴とする光波干渉測定用密着面剥
   離治具。
3. 【請求項３】 請求項１記載の光波干渉測定用密着面剥
   離治具において、前記基準ブロック加圧手段及び前記移
   動機構の少なくとも一方は圧電素子を備えて構成された
   ことを特徴とする光波干渉測定用密着面剥離治具。
4. 【請求項４】 請求項２記載の光波干渉測定用密着面剥
   離治具において、前記マイクロメータヘッドは前記基準
   ブロック保持手段に設けられ、この基準ブロック保持手
   段は、前記基準ブロックのブロックゲージ押圧方向の移
   動を規制するストッパ機構を備え、このストッパ機構
   は、ストッパブロックと、このストッパブロックと前記
   基準ブロックとの間に配置されるとともに前記マイクロ
   メータヘッドのスピンドルの軸線方向と直交しかつ前記
   基準平面と同一平面内で移動自在とされた基準ブロック
   保持部材とを備え、この基準ブロック保持部材には前記
   基準ブロックの側面と一致するガイドが形成されている
   ことを特徴とする光波干渉測定用密着面剥離治具。
5. 【請求項５】 請求項１から４にいずれか記載の光波干
   渉測定用密着面剥離治具において、前記ブロックゲージ
   保持手段は、先細りのテーパ部を有するとともにこのテ
   ーパ部の先端が前記ブロックゲージの前記基準平面の近
   傍を押圧する作動板を備えたことを特徴とする光波干渉
   測定用密着面剥離治具。