JP3343811B2 - カラーフィルタの製造方法 - Google Patents
カラーフィルタの製造方法Info
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Description
びその製造方法に係り、特に表示品質に優れたカラー液
晶表示装置の製造が可能なカラーフィルタとその製造方
法に関する。
年のカラー化の要請に対応するために、アクティブマト
リックス方式および単純マトリックス方式のいずれの方
式においてもカラーフィルタが用いられている。例え
ば、薄膜トランジスタ(TFT)を用いたアクティブマ
トリックス方式の液晶ディスプレイでは、カラーフィル
タは赤(R)、緑(G)、青(B)の3原色の着色パタ
ーンを備え、R,G,Bのそれぞれの画素に対応する電
極をON、OFFさせることで液晶がシャッタとして作
動し、R,G,Bのそれぞれの画素を光が透過してカラ
ー表示が行われる。そして、色混合は2色以上の画素に
対応する液晶シャッタを開いて混色し別の色に見せる加
色混合の原理により網膜上で視覚的に行われる。
基板上に塗布し、フォトマスクを介して露光・現像し形
成したパターンを染色して着色層とする染色法、透明基
板上に形成した感光性レジスト層内に予め着色顔料を分
散させておき、フォトマスクを介して露光・現像して着
色層とする顔料分散法、透明基板に印刷インキで各色の
着色層を印刷する印刷法、透明基板上に透明電極パター
ンを形成し、所定色の電極液中で透明電極パターンに通
電して電着する操作をR,G,Bの3回行って各色の着
色パターンを形成する電着法等により製造されている。
染色法、顔料分散法では、スピンコート等による透明基
板への塗布工程における材料ロスが避けられず、また、
各色の着色パターン形成ごとに現像工程と洗浄工程が必
要であり、材料使用効率の向上や工程の簡略化が困難で
製造コスト低減に支障を来していた。また、印刷法で
は、高精細なパターン形成が困難であり、電着法では形
成可能なパターン形状が限定されるという問題があっ
た。
ジェット方式を用いたカラーフィルタの製造方法が開発
されているが、未だ不十分なものであった。
れたものであり、高精細で白抜け等の欠陥のないカラー
フィルタと、材料の使用効率に優れ、かつ、現像工程お
よび洗浄工程を含まず工程が簡便なカラーフィルタの製
造方法を提供することを目的とする。
るために、本発明のカラーフィルタの製造方法は、透明
基板上に少なくともバインダーと光触媒からなる光触媒
含有層を形成し、該光触媒含有層に光照射を行うことに
より所定のパターンで特定の濡れ性部位を形成し、該濡
れ性部位上に遮光層用塗料を付着させて遮光層を形成す
る工程を有するような構成とした。
は、透明基板上に少なくともバインダーと光触媒からな
る光触媒含有層を形成し、該光触媒含有層に光照射を行
うことにより所定のパターンで特定の濡れ性部位を形成
し、該濡れ性部位上に着色層用塗料を付着させて着色層
を形成する工程を有するような構成とした。
い、光照射部位を光触媒の作用により高親水性とするこ
とにより特定の濡れ性部位を形成するような構成、前記
高親水性部位は、水との接触角が10°以下であるよう
な構成とした。
は、透明基板上に少なくともバインダーと光触媒からな
る光触媒含有層を形成し、該光触媒含有層に光照射を行
うことにより所定のパターンで特定の濡れ性部位を形成
し、該濡れ性部位上に遮光層用塗料を付着させて遮光層
を形成する第1の工程、前記光触媒含有層に光照射を行
うことにより所定のパターンで特定の濡れ性部位を形成
し、該濡れ性部位上に着色層用塗料を付着させて着色層
を形成する第2の工程、とを有するような構成とした。
触媒含有層に光照射を行い、光照射部位を光触媒の作用
により高親水性とすることにより特定の濡れ性部位を形
成し、前記第2の工程において、前記光触媒含有層に光
照射を行い、光照射部位を光触媒の作用により高親水性
とすることにより特定の濡れ性部位を形成するような構
成、前記高親水性部位は、水との接触角が10°以下で
あるような構成とした。
は、所定のパターンで遮光層を備えた透明基板上に少な
くともバインダーと光触媒からなる光触媒含有層を形成
し、該光触媒含有層に光照射を行うことにより所定のパ
ターンで特定の濡れ性部位を形成する第1の工程、前記
濡れ性部位上に着色層用塗料を付着させて着色層を形成
する第2の工程、とを有するような構成とした。
触媒含有層に光照射を行い、光照射部位を光触媒の作用
により高親水性とすることにより特定の濡れ性部位を形
成するような構成、前記高親水性部位は、水との接触角
が10°以下であるような構成とした。
は、前記光触媒含有層の非光照射部位は、光照射部位よ
りも高い撥水性を示すような構成とした。
は、所定のパターンで遮光層を備えた透明基板上に少な
くともバインダーと光触媒からなる光触媒含有層を形成
し、該光触媒含有層に光照射を行うことにより所定のパ
ターンで特定の濡れ性部位を形成し、該濡れ性部位上に
着色層用塗料を付着させて着色層を形成する操作を、必
要色数分繰り返して複数色からなる着色層を形成するよ
うな構成とした。
い、光照射部位を光触媒の作用により高親水性とするこ
とにより特定の濡れ性部位を形成するような構成、前記
高親水性部位は、水との接触角が10°以下であるよう
な構成とした。
は、透明基板上に少なくともバインダーと光触媒からな
る光触媒含有層を形成し、該光触媒含有層に光照射を行
うことにより所定のパターンで特定の濡れ性部位を形成
し、該濡れ性部位上に遮光層用塗料を付着させて遮光層
を形成する第1の工程、透明基板上に少なくともバイン
ダーと光触媒からなる光触媒含有層を形成し、該光触媒
含有層に光照射を行うことにより所定のパターンで特定
の濡れ性部位を形成し、該濡れ性部位上に着色層用塗料
を付着させて着色層を形成する操作を、必要色数分繰り
返して複数色からなる着色層を形成する第2の工程、と
を有するような構成とした。
触媒含有層に光照射を行い、光照射部位を光触媒の作用
により高親水性とすることにより特定の濡れ性部位を形
成し、前記第2の工程において、前記光触媒含有層に光
照射を行い、光照射部位を光触媒の作用により高親水性
とすることにより特定の濡れ性部位を形成するような構
成、前記高親水性部位は、水との接触角が10°以下で
あるような構成とした。
は、前記光触媒含有層に対する光照射が、マスクを介し
たパターン露光、および、光描画照射のいずれかである
ような構成とした。
は、遮蔽層用塗料および/または着色層用塗料の付着
を、塗布方式、ノズル吐出方式および真空薄膜形成方式
のいずれかで行うような構成とした。
法は、前記真空薄膜形成方式において、薄膜形成後に、
特定の濡れ性部位以外の部位に付着した遮蔽層用塗料ま
たは着色層用塗料からなる薄膜を除去する工程を有する
ような構成とした。
は、前記光触媒含有層に含有させるバインダーがオルガ
ノポリシロキサンであるような構成とした。
は、前記光触媒含有層に含有させるバインダーがクロロ
またはアルコキシシランを含む組成物から得られるオル
ガノポリシロキサンであるような構成、前記光触媒含有
層に含有させるバインダーが反応性シリコーンを含む組
成物から得られるオルガノポリシロキサンであるような
構成とした。
法は、前記オルガノポリシロキサンは、フルオロアルキ
ル基を含有するような構成とした。
において、遮光層用塗料や着色層用塗料に対する濡れ性
が高く、遮光層用塗料や着色層用塗料は特定の濡れ性部
位のみに選択的に付着して、高い精度で遮光層や着色層
が形成され、光触媒含有層は、光照射部位の光触媒の作
用により臨界表面張力が高くなって高親水性となり、上
記の特定の濡れ性部位が形成される。
ついて図面を参照して説明する。本発明のカラーフィルタ 図1は本発明のカラーフィルタの実施形態の一例を示す
概略縦断面図である。図1において、本発明のカラーフ
ィルタ1は、透明基板2、この透明基板2上に形成され
た濡れ性変化成分層としての光触媒含有層3、この光触
媒含有層3の特定の濡れ性部位(高親水性部位)上に形
成されたブラックマトリックス(遮光層)4と複数色か
らなる着色層5、これらのブラックマトリックス4およ
び着色層5を覆うように形成された保護層6を備えてい
る。このカラーフィルタ1では、ブラックマトリックス
4は着色層5の境界部に位置している。
の他の例を示す概略縦断面図である。図2において、本
発明のカラーフィルタ11は、透明基板12、この透明
基板12上に形成されたブラックマトリックス(遮光
層)14、このブラックマトリックス14を覆うように
透明基板12上に形成された濡れ性変化成分層としての
光触媒含有層13、この光触媒含有層13の特定の濡れ
性部位(高親水性部位)上に形成された複数色からなる
着色層15、および、この着色層15を覆うように形成
された保護層16を備えている。そして、このカラーフ
ィルタ11では、ブラックマトリックス14は着色層1
5の境界部に位置している。
施形態の他の例を示す概略縦断面図である。図3におい
て、本発明のカラーフィルタ21は、透明基板22、こ
の透明基板22上に形成されたブラックマトリックス
(遮光層)24、このブラックマトリックス24を覆う
ように透明基板22上に順次形成された、第1の濡れ性
変化成分層としての光触媒含有層23aとこの光触媒含
有層23aの特定の濡れ性部位(高親水性部位)上に形
成された赤色の着色層25Rからなる積層体、第2の濡
れ性変化成分層としての光触媒含有層23bとこの光触
媒含有層23bの特定の濡れ性部位(高親水性部位)上
に形成された緑色の着色層25Gからなる積層体、第3
の濡れ性変化成分層としての光触媒含有層23cとこの
光触媒含有層23cの特定の濡れ性部位(高親水性部
位)上に形成された青色の着色層25Bからなる積層
体、および、着色層25を覆うように形成された保護層
26を備えている。このカラーフィルタ21では、ブラ
ックマトリックス24は着色層25の境界部に位置して
いる。
実施形態の他の例を示す概略縦断面図である。図4にお
いて、本発明のカラーフィルタ31は、透明基板32、
この透明基板32上に形成された第1の濡れ性変化成分
層としての光触媒含有層33a、この光触媒含有層33
aの特定の濡れ性部位(高親水性部位)上に形成された
ブラックマトリックス(遮光層)34、ブラックマトリ
ックス34を覆うように第1の光触媒含有層33a上に
順次形成された、第2の濡れ性変化成分層としての光触
媒含有層33bとこの光触媒含有層33bの特定の濡れ
性部位(高親水性部位)上に形成された赤色の着色層3
5Rからなる積層体、第3の濡れ性変化成分層としての
光触媒含有層33cとこの光触媒含有層33cの特定の
濡れ性部位(高親水性部位)上に形成された緑色の着色
層35Gからなる積層体、第4の濡れ性変化成分層とし
ての光触媒含有層33dとこの光触媒含有層33dの特
定の濡れ性部位(高親水性部位)上に形成された青色の
着色層35Bからなる積層体、および、着色層35を覆
うように形成された保護層36を備えている。そして、
このカラーフィルタ31では、ブラックマトリックス3
4は着色層35の境界部に位置している。
成を説明する。 (透明基板)上記のカラーフィルタ1,11,21,3
1を構成する透明基板2,12,22,32としては、
石英ガラス、パイレックスガラス、合成石英板等の可撓
性のない透明なリジット材、あるいは透明樹脂フィル
ム、光学用樹脂板等の可撓性を有する透明なフレキシブ
ル材を用いることができる。この中で特にコーニング社
製7059ガラスは、熱膨脹率の小さい素材であり寸法
安定性および高温加熱処理における作業性に優れ、ま
た、ガラス中にアルカリ成分を含まない無アルカリガラ
スであるため、アクティブマトリックス方式によるカラ
ー液晶表示装置用のカラーフィルタに適している。 (濡れ性変化成分層)また、カラーフィルタ1,11,
21,31を構成する濡れ性変化成分層としての光触媒
含有層3,13,23,33は、少なくともバインダー
と光触媒からなり、光照射によって光触媒の作用で臨界
表面張力が高くなり高親水性となる層である。
下記のような酸化チタンに代表される光触媒の作用機構
は、必ずしも明確なものではないが、光の照射によって
生成したキャリアが、近傍の化合物との直接反応、ある
いは、酸素、水の存在下で生じた活性酸素種によって、
有機物の化学構造に変化を及ぼすものと考えられる。
れを光照射によって分解し親水化して水により洗浄可能
なものとしたり、ガラス等の表面に親水性膜を形成して
防曇性を付与したり、あるいは、タイル等の表面に光触
媒の含有層を形成して空気中の浮遊菌の数を減少させる
いわゆる抗菌タイル等が提案されている。
触媒含有層を用いた場合、光触媒により、バインダーの
一部である有機基や添加剤の酸化、分解等の作用を用い
て、光照射部の濡れ性を変化させて高親水性とし、非光
照射部との濡れ性に大きな差を生じさせ、遮光層用塗料
や着色層用塗料との受容性および反撥性を高めることに
よってカラーフィルタを得るものである。
0°以下となることを意味し、本発明ではマイクロシリ
ンジから水滴を滴下して30秒後に接触角測定器(協和
界面科学(株)製CA−Z型)を用いて測定する。
体として知られる酸化チタン(TiO2)、酸化亜鉛(Z
nO)、酸化スズ(SnO2)、チタン酸ストロンチウム
(SrTiO3)、酸化タングステン(WO3)、酸化ビス
マス(Bi2 O3)、酸化鉄(Fe2 O3)のような金属酸
化物を挙げることができ、特に酸化チタンは、バンドギ
ャップエネルギーが高く、化学的に安定で毒性もなく、
入手も容易であることから好適に使用される。
ル型のいずれも使用することができるが、アナターゼ型
の酸化チタンが好ましい。アナターゼ型酸化チタンは励
起波長が380nm以下にあり、このようなアナターゼ
型酸化チタンとしては、例えば、塩酸解膠型のアナター
ゼ型チタニアゾル(石原産業(株)製STS−02(平
均粒径7nm)、石原産業(株)製ST−K01)、硝
酸解膠型のアナターゼ型チタニアゾル(日産化学(株)
製TA−15(平均粒径12nm))等を挙げることが
できる。
果的に起こるので好ましく、平均粒径が50nm以下、
好ましくは20nm以下の光触媒を使用するのが好まし
い。また、光触媒の粒径が小さいほど、形成された光触
媒含有層の表面粗さが小さくなるので好ましく、光触媒
含有層の表面粗さが10nmを超えると、光触媒含有層
の非光照射部の撥水性低下、光照射部の親水性発現が不
十分となり好ましくない。
インダーは、主骨格が上記の光触媒の光励起により分解
されないような高い結合エネルギーを有するものが好ま
しく、例えば、(1)ゾルゲル反応等によりクロロまた
はアルコキシシラン等を加水分解、重縮合して大きな強
度を発揮するオルガノポリシロキサン、(2)撥水性や
撥油性に優れた反応性シリコーンを架橋したオルガノポ
リシロキサン等を挙げることができる。
4-n (n=1〜3)で表される珪素化合物の1種または
2種以上の加水分解縮合物、共加水分解縮合物が主体と
なる。上記一般式でYはアルキル基、フルオロアルキル
基、ビニル基、アミノ基、または、エポキシ基を挙げる
ことができ、Xはハロゲン、メトキシル基、エトキシル
基、または、アセチル基を挙げることができる。
チルトリブロムシラン、メチルトリメトキシシラン、メ
チルトリエトキシシラン、メチルトリイソプロポキシシ
ラン、メチルトリt−ブトキシシラン;エチルトリクロ
ルシラン、エチルトリブロムシラン、エチルトリメトキ
シシラン、エチルトリエトキシシラン、エチルトリイソ
プロポキシシラン、エチルトリt−ブトキシシラン;n
−プロピルトリクロルシラン、n−プロピルトリブロム
シラン、n−プロピルトリメトキシシラン、n−プロピ
ルトリエトキシシラン、n−プロピルトリイソプロポキ
シシラン、n−プロピルトリt−ブトキシシラン;n−
ヘキシルトリクロルシラン、n−ヘキシルトリブロムシ
ラン、n−ヘキシルトリメトキシシラン、n−ヘキシル
トリエトキシシラン、n−ヘキシルトリイソプロポキシ
シラン、n−ヘキシルトリt−ブトキシシラン;n−デ
シルトリクロルシラン、n−デシルトリブロムシラン、
n−デシルトリメトキシシラン、n−デシルトリエトキ
シシラン、n−デシルトリイソプロポキシシラン、n−
デシルトリt−ブトキシシラン;n−オクタデシルトリ
クロルシラン、n−オクタデシルトリブロムシラン、n
−オクタデシルトリメトキシシラン、n−オクタデシル
トリエトキシシラン、n−オクタデシルトリイソプロポ
キシシラン、n−オクタデシルトリt−ブトキシシラ
ン;フェニルトリクロルシラン、フェニルトリブロムシ
ラン、フェニルトリメトキシシラン、フェニルトリエト
キシシラン、フェニルトリイソプロポキシシラン、フェ
ニルトリt−ブトキシシラン;テトラクロルシラン、テ
トラブロムシラン、テトラメトキシシラン、テトラエト
キシシラン、テトラブトキシシラン、ジメトキシジエト
キシシラン;ジメチルジクロルシラン、ジメチルジブロ
ムシラン、ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエト
キシシラン;ジフェニルジクロルシラン、ジフェニルジ
ブロムシラン、ジフェニルジメトキシシラン、ジフェニ
ルジエトキシシラン;フェニルメチルジクロルシラン、
フェニルメチルジブロムシラン、フェニルメチルジメト
キシシラン、フェニルメチルジエトキシシラン;トリク
ロルヒドロシラン、トリブロムヒドロシラン、トリメト
キシヒドロシラン、トリエトキシヒドロシラン、トリイ
ソプロポキシヒドロシラン、トリt−ブトキシヒドロシ
ラン;ビニルトリクロルシラン、ビニルトリブロムシラ
ン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシ
ラン、ビニルトリイソプロポキシシラン、ビニルトリt
−ブトキシシラン;トリフルオロプロピルトリクロルシ
ラン、トリフルオロプロピルトリブロムシラン、トリフ
ルオロプロピルトリメトキシシラン、トリフルオロプロ
ピルトリエトキシシラン、トリフルオロプロピルトリイ
ソプロポキシシラン、トリフルオロプロピルトリt−ブ
トキシシラン;γ−グリシドキシプロピルメチルジメト
キシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジエトキ
シシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラ
ン、γ−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、γ
−グリシドキシプロピルトリイソプロポキシシラン、γ
−グリシドキシプロピルトリt−ブトキシシラン;γ−
メタアクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、γ
−メタアクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン、
γ−メタアクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ
−メタアクリロキシプロピルトリエトキシシラン、γ−
メタアクリロキシプロピルトリイソプロポキシシラン、
γ−メタアクリロキシプロピルトリt−ブトキシシラ
ン;γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、γ−
アミノプロピルメチルジエトキシシラン、γ−アミノプ
ロピルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリエ
トキシシラン、γ−アミノプロピルトリイソプロポキシ
シラン、γ−アミノプロピルトリt−ブトキシシラン;
γ−メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、γ−
メルカプトプロピルメチルジエトキシシラン、γ−メル
カプトプロピルトリメトキシシラン、γ−メルカプトプ
ロピルトリエトキシシラン、γ−メルカプトプロピルト
リイソプロポキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリ
t−ブトキシシラン;β−(3,4−エポキシシクロヘ
キシル)エチルトリメトキシシラン、β−(3,4−エ
ポキシシクロヘキシル)エチルトリエトキシシラン;お
よび、それらの部分加水分解物;および、それらの混合
物を使用することができる。
ルキル基を含有するポリシロキサンが好ましく用いるこ
とができ、具体的には、下記のフルオロアルキルシラン
の1種または2種以上の加水分解縮合物、共加水分解縮
合物が挙げられ、一般にフッ素系シランカップリング剤
として知られたものを使用することができる。
3)3 CF3(CF2)5 CH2 CH2 Si(OCH3)3 CF3(CF2)7 CH2 CH2 Si(OCH3)3 CF3(CF2)9 CH2 CH2 Si(OCH3)3 (CF3)2 CF(CF2)4 CH2 CH2 Si(OCH3)
3 (CF3)2 CF(CF2)6 CH2 CH2 Si(OCH3)
3 (CF3)2 CF(CF2)8 CH2 CH2 Si(OCH3)
3 CF3(C6 H4 ) C2 H4 Si(OCH3)3 CF3(CF2)3 ( C6 H4 ) C2 H4 Si(OCH3)3 CF3(CF2)5 ( C6 H4 ) C2 H4 Si(OCH3)3 CF3(CF2)7 ( C6 H4 ) C2 H4 Si(OCH3)3 CF3(CF2)3 CH2 CH2 SiCH3 (OCH3)2 CF3(CF2)5 CH2 CH2 SiCH3 (OCH3)2 CF3(CF2)7 CH2 CH2 SiCH3 (OCH3)2 CF3(CF2)9 CH2 CH2 SiCH3 (OCH3)2 (CF3)2 CF(CF2)4 CH2 CH2 SiCH3 (O
CH3)2 (CF3)2 CF(CF2)6 CH2 CH2 SiCH3 (O
CH3)2 (CF3)2 CF(CF2)8 CH2 CH2 SiCH3 (O
CH3)2 CF3(C6 H4 ) C2 H4 SiCH3 (OCH3)2 CF3(CF2)3 ( C6 H4 ) C2 H4 SiCH3 (OC
H3)2 CF3(CF2)5 ( C6 H4 ) C2 H4 SiCH3 (OC
H3)2 CF3(CF2)7 ( C6 H4 ) C2 H4 SiCH3 (OC
H3)2 CF3(CF2)3 CH2 CH2 Si(OCH2 CH3)3 CF3(CF2)5 CH2 CH2 Si(OCH2 CH3)3 CF3(CF2)7 CH2 CH2 Si(OCH2 CH3)3 CF3(CF2)9 CH2 CH2 Si(OCH2 CH3)3 CF3(CF2)7 SO2 N(C2 H5 ) C2 H4 CH2 S
i(OCH3)3 上記のようなフルオロアルキル基を含有するポリシロキ
サンをバインダーとして用いることにより、光触媒含有
層の非光照射部の撥水性が大きく向上し、ブラックマト
リックス用塗料や着色層用塗料の付着を妨げる機能を発
現する。
しては、下記一般式1で表される骨格をもつ化合物を挙
げることができる。
れ炭素数1〜10の置換もしくは非置換のアルキル、ア
ルケニル、アリールあるいはシアノアルキル基である。
モル比で全体の40%以下がビニル、フェニル、ハロゲ
ン化フェニルである。また、R1 ,R2 がメチル基のも
のが表面エネルギーが最も小さくなるので好ましく、モ
ル比でメチル基が60%以上であることが好ましい。ま
た、鎖末端もしくは側鎖には、分子鎖中に少なくとも1
個以上の水酸基等の反応性基を有する。
もに、ジメチルポリシロキサンのような架橋反応をしな
い安定なオルガノシリコン化合物をバインダーに混合し
てもよい。
触媒、バインダーの他に、界面活性剤を含有させること
ができる。具体的には、日光ケミカルズ(株)製NIK
KOL BL、BC、BO、BBの各シリーズ等の炭化
水素系、デュポン社製ZONYL FSN、FSO、旭
硝子(株)製サーフロンS−141、145、大日本イ
ンキ化学工業(株)製メガファックF−141、14
4、ネオス(株)製フタージェント F−200、F2
51、ダイキン工業(株)製ユニダインDS−401、
402、スリーエム(株)製フロラードFC−170、
176等のフッ素系あるいはシリコーン系の非イオン界
面活性剤を挙げることができ、また、カチオン系界面活
性剤、アニオン系界面活性剤、両性界面活性剤を用いる
こともできる。
の他にも、ポリビニルアルコール、不飽和ポリエステ
ル、アクリル樹脂、ポリエチレン、ジアリルフタレー
ト、エチレンプロピレンジエンモノマー、エポキシ樹
脂、フェノール樹脂、ポリウレタン、メラミン樹脂、ポ
リカーボネート、ポリ塩化ビニル、ポリアミド、ポリイ
ミド、スチレンブタジエンゴム、クロロプレンゴム、ポ
リプロピレン、ポリブチレン、ポリスチレン、ポリ酢酸
ビニル、ポリエステル、ポリブタジエン、ポリベンズイ
ミダゾール、ポリアクリルニトリル、エピクロルヒドリ
ン、ポリサルファイド、ポリイソプレン等のオリゴマ
ー、ポリマー等を含有させることができる。
成する光触媒含有層3,13,23,33の形成は、光
触媒とバインダーを必要に応じて他の添加剤とともに溶
剤中に分散して塗布液を調製し、この塗布液を塗布する
ことにより形成することができる。使用する溶剤として
は、エタノール、イソプロパノール等のアルコール系の
有機溶剤が好ましい。塗布はスピンコート、スプレーコ
ート、ディップコート、ロールコート、ビードコート等
の公知の塗布方法により行うことができ、バインダーと
して紫外線硬化型の成分を含有している場合、紫外線を
照射して硬化処理を行うことにより光触媒含有層を形成
することができる。
60重量%、好ましくは20〜40重量%の範囲で設定
することができる。また、光触媒含有層の厚みは、0.
05〜10μmの範囲内が好ましい。
1,31を構成する濡れ性変化成分層として、上記のよ
うな光触媒含有層の他に、有機高分子樹脂層を用いるこ
とができる。ポリカーボネート、ポリエチレン、ポリエ
チレンテレフタレート、ポリアミド、ポリスチレン等の
有機高分子は、紫外線、特に250nm以下の低波長成
分を多く含む紫外線を照射することにより、高分子鎖が
切断されて低分子化し、その結果、表面粗化が生じて濡
れ性を変化させて高親水性となる。これを利用し、光照
射部と非光照射部との濡れ性に大きな差を生じさせ、遮
光層用塗料や着色層用塗料との受容性および反撥性を高
めることによってカラーフィルタを得ることができる。
尚、高親水性とは、上述のように水との接触角が20°
以下となることを意味する。 (ブラックマトリックス)カラーフィルタ1,31を構
成するブラックマトリックス4,34は、それぞれ光触
媒含有層3、第1の光触媒含有層33aの高親水性部位
に形成され、着色層5、35の表示画素部の境界部およ
び着色層の形成領域の外側に位置している。このような
ブラックマトリックス4,34は、樹脂バインダー中に
カーボン微粒子、金属酸化物、無機顔料、有機顔料等を
含有した層であり、厚みは0.5〜10μmの範囲内で
設定することができる。樹脂バインダーとしては、ポリ
アクリルアミド、ポリビニルアルコール、ゼラチン、カ
ゼイン、セルロース等の水性樹脂の1種または2種以上
の混合物を用いることができる。また、樹脂バインダー
として、o/wエマルジョン型の樹脂組成物、例えば、
反応性シリコーンをエマルジョン化したもの等も用いる
ことができる。
るブラックマトリックス14,24は、着色層15、2
5の表示画素部の境界部および着色層の形成領域の外側
に設けられている。このようなブラックマトリックス1
4,24は、スパッタリング法、真空蒸着法等により厚
み1000〜2000Å程度のクロム等の金属薄膜を形
成し、この薄膜をパターニングして形成したもの、カー
ボン微粒子等の遮光性粒子を含有させたポリイミド樹
脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂等の樹脂層を形成し、
この樹脂層をパターニングして形成したもの、カーボン
微粒子、金属酸化物等の遮光性粒子を含有させた感光性
樹脂層を形成し、この感光性樹脂層をパターニングして
形成したもの等、いずれであってもよい。 (着色層)着色層5,15,25,35は、光触媒含有
層の高親水性部位に形成されたものであり、赤色パター
ン、緑色パターンおよび青色パターンが所望のパターン
形状で配列されており、無機顔料、有機顔料、染料等の
着色剤からなる層、または、これらの着色剤を樹脂バイ
ンダー中に含有した層である。樹脂バインダーとして
は、ポリアクリルアミド、ポリビニルアルコール、ゼラ
チン、カゼイン、セルロース等の水性樹脂の1種または
2種以上の混合物を用いることができる。また、樹脂バ
インダーとして、o/wエマルジョン型の樹脂組成物、
例えば、反応性シリコーンをエマルジョン化したもの等
も用いることができる。
ーンおよび青色パターンのパターン形状は、ストライプ
型、モザイク型、トライアングル型、4画素配置型等の
公知のいずれの配列とすることもできる。 (保護層)保護層6,16,26,36は、カラーフィ
ルタの表面を平坦化するとともに、着色層、あるいは、
着色層と光触媒含有に含有される成分の液晶層への溶出
を防止するために設けられるものである。この保護層の
厚みは、使用される材料の光透過率、カラーフィルタの
表面状態等考慮して設定することができ、例えば、0.
1〜2.0μmの範囲で設定することができる。保護層
は、例えば、公知の透明感光性樹脂、二液硬化型透明樹
脂等のなかから、透明保護層として要求される光透過率
等を有するものを用いて形成することができる。本発明のカラーフィルタ製造方法 第1の実施形態 次に、本発明のカラーフィルタ製造方法の実施形態につ
いて、図1に示されたカラーフィルタ1を例に図5を参
照しながら説明する。 (第1の工程)まず、第1の工程として、透明基板2上
に濡れ性変化成分層としての光触媒含有層3を形成する
(図5(A))。この光触媒含有層3の形成は、上述の
ような光触媒とバインダーを必要に応じて他の添加剤と
ともに溶剤中に分散して塗布液を調製し、この塗布液を
塗布した後、加水分解、重縮合反応を進行させてバイン
ダー中に光触媒を強固に工程することにより形成でき
る。使用する溶剤としては、エタノール、イソプロパノ
ール等のアルコール系の有機溶剤が好ましく、塗布はス
ピンコート、スプレーコート、ディップコート、ロール
コート、ビードコート等の公知の塗布方法により行うこ
とができる。
クス形成部位に光照射を行い、光照射部位3´を光触媒
の作用により高親水性とすることにより、特定の濡れ性
部位を形成する(図5(B))。この光照射は、ブラッ
クマトリックス用のフォトマスクを介した水銀ランプ、
メタルハライドランプ、キセノンランプ等によるパター
ン照射でもよく、また、エキシマ、YAG等のレーザー
を用いてブラックマトリックスのパターン形状に描画照
射してもよい。この光照射に用いる光の波長は400n
m以下の範囲、好ましくは380nm以下の範囲から設
定することができ、また、光照射における照射量は、光
照射部位3´が光触媒の作用により高親水性(水との接
触角が10°以下)を発現するのに必要な照射量とす
る。
照射部位3´上に付着させ硬化してブラックマトリック
ス4を形成する(図5(C))。光照射部位3´上への
ブラックマトリックス用塗料の付着は、塗料をスプレー
コート、ディップコート、ロールコート、ビードコート
等の公知の塗布方法により光触媒含有層3上に塗布する
ことにより行うことができる。この場合、塗布された塗
料は、高い撥水性を示す非光照射部位ではじかれて除去
され、高親水性を示す光照射部位(特定の濡れ性部位)
3´のみに選択的に付着する。また、光照射部位3´上
へのブラックマトリックス用塗料の付着は、インクジェ
ット等のノズル吐出方式により行ってもよい。この場
合、ノズル吐出により光照射部位3´内に供給されたブ
ラックマトリックス用塗料は、高親水性を示す光照射部
位3´に均一に拡散して付着するとともに、高い撥水性
を示す非光照射部位には拡散することがない。また、仮
にノズル吐出により供給された塗料が光照射部位3´か
らはみだしても、高い撥水性を示す非光照射部ではじか
れて光照射部位3´内に付着する。
真空薄膜形成方式により行ってもよい。すなわち、光照
射後の光触媒含有層3上に蒸着法等により金属薄膜を形
成し、非光照射部と光照射部位3´の接着力の差を利用
して、粘着テープを用いた剥離、溶剤処理等によりパタ
ーン化してブラックマトリックス4を形成することがで
きる。 (第2の工程)次に、光触媒含有層3上の赤色パターン
5Rの形成部位に光照射を行い、光照射部位3´を光触
媒の作用により高親水性とすることにより、特定の濡れ
性部位を形成する(図5(D))。この光照射は、上記
のブラックマトリックスの形成工程(第1の工程)と同
様に、パターン照射、光描画照射のいずれでもよい。次
いで、赤色パターン用の塗料を光触媒含有層3に供給す
る。この塗料の供給は、上記のブラックマトリックスの
形成工程(第2の工程)と同様に、塗布方式、インクジ
ェット等のノズル吐出方式、真空薄膜形成方式等のいず
れであってもよい。供給された塗料は、ブラックマトリ
ックス4および高い撥水性を示す非光照射部位ではじか
れて除去され、高親水性を示す光照射部位3´のみに選
択的に付着する。そして、光照射部位3´上に付着した
赤色パターン用の塗料を硬化して赤色パターン5Rを形
成する(図5(E))。尚、赤色パターン5Rの形成を
真空薄膜形成方式により行う場合、光照射後の光触媒含
有層3上に蒸着法等により赤色パターン用の塗料薄膜を
形成し、非光照射部と光照射部位3´の接着力の差を利
用して、粘着テープを用いた剥離、溶剤処理等によりパ
ターン化して赤色パターン5Rを形成する。
り返して、緑色パターン5G、青色パターン5Bを形成
し、赤色パターン、緑色パターン、青色パターンからな
る着色層5を形成し、この着色層5上に保護層6を形成
することにより、図1に示されたカラーフィルタ1が得
られる(図5(F))。
用いる場合であって各色のパターン(画素)がブラック
マトリックス4により囲まれている場合、第1の工程で
ブラックマトリックス4が形成された光触媒含有層3の
全面に対して光照射を行い光触媒の作用により高親水性
とし、その後、ノズルから各色のパターン形成部位ごと
に着色パターン用塗料を供給して均一に拡散付着させ、
その後、硬化処理を施して着色層を形成してもよい。
樹脂層を使用する場合、250nm以下の低波長成分を
多く含む紫外線を用いて光照射を行う。第2の実施形態 次に、本発明のカラーフィルタ製造方法の第2の実施形
態について、図2に示されたカラーフィルタ11を例に
図6を参照しながら説明する。 (第1の工程)まず、第1の工程として、予めブラック
マトリックス14が形成された透明基板12上に光触媒
含有層13を形成する(図6(A))。この光触媒含有
層13の形成は、上述の第1の実施形態における光触媒
含有層の形成と同様に行うことができる。
ンの形成部位に光照射を行い、光照射部位13´を光触
媒の作用により高親水性とすることにより、特定の濡れ
性部位を形成する(図6(B))。この光照射は、上述
の第1の実施形態におけるブラックマトリックスの形成
工程(第1の工程)と同様に、パターン照射、光描画照
射のいずれでもよい。 (第2の工程)次に、赤色パターン用の塗料を光触媒含
有層13に供給する。この塗料の供給は、上述の第1の
実施形態におけるブラックマトリックスの形成工程(第
2の工程)と同様に、塗布方式、インクジェット等のノ
ズル吐出方式、真空薄膜形成方式等のいずれであっても
よい。供給された塗料は、高い撥水性を示す非光照射部
位ではじかれて除去され、高親水性を示す光照射部位1
3´のみに選択的に付着する。そして、光照射部位13
´上に付着した赤色パターン用の塗料を硬化して赤色パ
ターン15Rを形成する(図6(C))。
り返して、緑色パターン15G、青色パターン15Bを
形成し、赤色パターン、緑色パターン、青色パターンか
らなる着色層15を形成し、この着色層15上に保護層
16を形成することにより、図2に示されたカラーフィ
ルタ11が得られる(図6(D))。
用いる場合であって各色のパターン(画素)を囲むよう
にブラックマトリックス14がパターン形成されている
場合、第1の工程でブラックマトリックス14を覆うよ
うに透明基板12上に形成された光触媒含有層13の全
面を、図7に示されるようにブラックマトリックス14
の線幅(W)よりも狭い線幅(w)の遮光パターン(図
7に斜線で示)を有するマスクMを介して光照射して光
触媒の作用により高親水性とし、その後、ノズルから各
色のパターン形成部位ごとに着色パターン用塗料を供給
して均一に拡散付着させ、その後、硬化処理を施して着
色層を形成してもよい。
樹脂層を用いる場合、250nm以下の低波長成分を多
く含む紫外線を用いて光照射を行う。第3の実施形態 次に、本発明のカラーフィルタ製造方法の第3の実施形
態について、図3に示されたカラーフィルタ21を例に
図8を参照しながら説明する。
成された透明基板22上に第1の光触媒含有層23aを
形成し、この光触媒含有層23a上の赤色パターンの形
成部位に光照射を行い、光照射部位23´aを光触媒の
作用により高親水性とすることにより、特定の濡れ性部
位を形成する(図8(A))。第1の光触媒含有層23
aの形成は、上述の第1の実施形態における光触媒含有
層3の形成と同様に行うことができる。また、第1の光
触媒含有層23aに対する光照射は、上述の第1の実施
形態におけるブラックマトリックスの形成工程(第1の
工程)と同様に、パターン照射、光描画照射のいずれで
もよい。次いで、赤色パターン用の塗料を第1の光触媒
含有層23aに供給する。この塗料の供給は、上述の第
1の実施形態におけるブラックマトリックスの形成工程
(第1の工程)と同様に、塗布方式、インクジェット等
のノズル吐出方式、真空薄膜形成方式等のいずれであっ
てもよい。供給された塗料は、高い撥水性を示す非光照
射部位ではじかれて除去され、高親水性を示す光照射部
位23´aのみに選択的に付着する。そして、光照射部
位23´a上に付着した赤色パターン用の塗料を硬化し
て赤色パターン25Rを形成する(図8(B))。これ
により、第1の光触媒含有層23aと、この光触媒含有
層23aの光照射部位(高親水性部位)23´aに形成
された赤色パターン25Rとの積層体が、透明基板22
上に形成される。
光触媒含有層23bを形成し、この光触媒含有層23b
上の緑色パターン25Gの形成部位に光照射を行い、光
照射部位23´bを光触媒の作用により高親水性とする
ことにより、特定の濡れ性部位を形成とし(図8
(C))、緑色パターン用の塗料を光照射部位23´b
上に付着させ硬化して緑色パターン25Gを形成する
(図8(D))。これにより、第2の光触媒含有層23
bと、この光触媒含有層23bの光照射部位(高親水性
部位)23´bに形成された緑色パターン25Gとの積
層体が、透明基板22上に形成される。
有層23cと、この光触媒含有層23cの光照射部位
(高親水性部位)23´cに形成された青色パターン2
5Gとの積層体を、透明基板22上に形成する。これに
より、赤色パターン、緑色パターン、青色パターンから
なる着色層25を形成し、この着色層25上に保護層2
6を形成することにより、図3に示されたカラーフィル
タ21が得られる(図8(E))。
脂層を用いる場合、250nm以下の低波長成分を多く
含む紫外線を用いて光照射を行う。第4の実施形態 次に、本発明のカラーフィルタ製造方法の第4の実施形
態について、図4に示されたカラーフィルタ31を例に
図9を参照しながら説明する。 (第1の工程)まず、第1の工程として、透明基板32
上に第1の光触媒含有層33aを形成し、この光触媒含
有層33a上のブラックマトリックスの形成部位に光照
射を行い、光照射部位33´aを光触媒の作用により高
親水性とすることにより、特定の濡れ性部位を形成する
(図9(A))。この第1の光触媒含有層33aの形成
は、上述の第1の実施形態における光触媒含有層3の形
成と同様に行うことができる。また、第1の光触媒含有
層33aに対する光照射は、上述の第1の実施形態にお
けるブラックマトリックスの形成工程(第2の工程)と
同様に、パターン照射、光描画照射のいずれでもよい。
光照射部位33´a上に付着させ硬化してブラックマト
リックス34を形成する(図9(B))。光照射部位3
3´a上へのブラックマトリックス用塗料の付着は、上
述の第1の実施形態におけるブラックマトリックスの形
成工程(第1の工程)と同様に、塗布方式、インクジェ
ット等のノズル吐出方式、真空薄膜形成方式等のいずれ
であってもよい。 (第2の工程)第1の工程で形成されたブラックマトリ
ックス34を覆うように第1の光触媒含有層33aに第
2の光触媒含有層33bを形成し、この光触媒含有層3
3b上の赤色パターンの形成部位に光照射を行い、光照
射部位33´bを光触媒の作用により高親水性とするこ
とにより、特定の濡れ性部位を形成する(図9
(C))。第2の光触媒含有層33aの形成は、上述の
第1の光触媒含有層33aの形成と同様に行うことがで
きる。また、第2の光触媒含有層33bに対する光照射
は、上述の第1の光触媒含有層33aに対する光照射と
同様に、パターン照射、光描画照射のいずれでもよい。
次いで、赤色パターン用の塗料を第2の光触媒含有層3
3bに供給する。この塗料の供給は、上述の第1の実施
形態におけるブラックマトリックスの形成工程(第2の
工程)と同様に、塗布方式、インクジェット等のノズル
吐出方式、真空薄膜形成方式等のいずれであってもよ
い。供給された塗料は、ブラックマトリックス34およ
び高い撥水性を示す非光照射部位ではじかれて除去さ
れ、高親水性を示す光照射部位33´bのみに選択的に
付着する。そして、光照射部位33´b上に付着した赤
色パターン用の塗料を硬化して赤色パターン35Rを形
成する(図9(D))。これにより、第2の光触媒含有
層33bと、この光触媒含有層33bの光照射部位(高
親水性部位)33´bに形成された赤色パターン35R
との積層体が、第1の光触媒含有層33aに形成され
る。
光触媒含有層33cと、この光触媒含有層33cの光照
射部位(高親水性部位)33´cに形成された緑色パタ
ーン35Gとの積層体を第1の光触媒含有層33a上に
形成し、さらに、第4の光触媒含有層33dと、この光
触媒含有層33dの光照射部位(高親水性部位)33´
dに形成された青色パターン35Bとの積層体を第1の
光触媒含有層33a上に形成する。これにより、赤色パ
ターン、緑色パターン、青色パターンからなる着色層3
5を形成し、この着色層35上に保護層36を形成する
ことにより、図4に示されたカラーフィルタ31が得ら
れる(図9(E))。
リックス用塗料や着色層用塗料をブラックマトリックス
や着色層を形成する箇所のみに選択的に付着させること
ができるので、塗料の使用効率が極めて高いものとな
る。
脂層を用いる場合、250nm以下の低波長成分を多く
含む紫外線を用いて光照射を行う。
タの製造方法の実施形態として示した着色層の色数、形
成位置等は例示であり、これに限定されるものではな
い。
明する。
層を用いる実施例を説明する。 (実施例1)光触媒含有層用塗布液の調製 まず、下記組成の光触媒含有層用の塗布液を調製した。
ーダガラス製の透明基板上に塗布し、150℃、10分
間の乾燥処理後、加水分解、重縮合反応を進行させて、
光触媒がオルガノポリシロキサン中に強固に固定された
透明な光触媒含有層(厚み0.5μm)を形成した。こ
の光触媒含有層にマスクを介して水銀灯(波長365n
m)により70mW/cm2 の照度で50秒間パターン
照射を行い、照射部位と非照射部位との水に対する接触
角を接触角測定器(協和界面科学(株)製CA−Z型)
を用いて測定(マイクロシリンジから水滴を滴下して3
0秒後)した結果、非照射部位における水の接触角は1
42°であるのに対し、照射部位における水の接触角は
10°以下であり、照射部位が高親水性部位となり、照
射部位と非照射部位との濡れ性の相違によるパターン形
成が可能なことが確認された。ブラックマトリックスの形成 次に、上記と同様にして透明基板上に光触媒含有層を形
成した。(図5(A)に相当) この光触媒含有層を、マトリックス状の開口パターン
(開口線幅30μm)を設けたブラックマトリックス用
のマスクを介して水銀灯(波長365nm)により照射
(70mW/cm2 の照度で50秒間)して、照射部位
を高親水性(水の接触角に換算して10°以下)とし
た。(図5(B)に相当) 一方、下記組成の混合物を90℃に加熱して溶解し、1
2000r.p.m.で遠心分離を行い、その後、1μmのグ
ラスフィルターでろ過した。得られた水性着色樹脂溶液
に、架橋剤として重クロム酸アンモニウムを1重量%添
加して、ブラックマトリックス用の塗布液を調製した。
コーターにより光触媒含有層上に全面塗布した。このよ
うに塗布されたブラックマトリックス用塗布液は、光触
媒含有層の非照射部ではじかれ、照射部位のみに選択的
に付着した。その後、60℃、3分間の乾燥を行い、水
銀ランプで露光することにより、ブラックマトリックス
用塗布液を硬化させ、さらに、150℃、30分間の加
熱処理を施してブラックマトリックスを形成した。(図
5(C)に相当)着色層の形成 まず、下記の各組成の混合物を3本ロールで練肉分散し
た後、12000r.p.m.で遠心分離を行い、その後、1
μmのグラスフィルターでろ過した。得られた水性着色
樹脂溶液に、架橋剤として重クロム酸アンモニウムを1
重量%添加して、赤色パターン用の塗布液、緑色パター
ン用の塗布液および青色パターン用の塗布液を調製し
た。
光触媒含有層の赤色パターン形成領域に、150μm×
300μmの着色層形成用の開口パターンを設けたマス
クを介して水銀灯(波長365nm)により照射(70
mW/cm2 の照度で50秒間)して、照射部位を高親
水性(水の接触角に換算して10°以下)とした。(図
5(D)に相当) 次いで、上記の赤色パターン用塗布液をブレードコータ
ーにより光触媒含有層上に全面塗布した。このように塗
布された赤色パターン用塗布液は、光触媒含有層の非照
射部ではじかれ、照射部位のみに選択的に付着した。そ
の後、60℃、3分間の乾燥を行い、水銀ランプで露光
することにより、赤色パターン用塗布液を硬化させ、さ
らに、150℃、30分間の加熱処理を施して赤色パタ
ーンを形成した。(図5(E)に相当) 同様にして、光触媒含有層の緑色パターン形成領域に光
照射を行い、緑色パターン用塗布液を塗布して照射部位
のみに選択的に付着させた後、硬化処理、加熱処理を施
して緑色パターンを形成し、さらに、光触媒含有層の青
色パターン形成領域に光照射を行い、青色パターン用塗
布液を塗布して照射部位のみに選択的に付着させた後、
硬化処理、加熱処理を施して青色パターンを形成した。
(日本合成ゴム(株)製SS7265)をスピンコータ
ーにて着色層上に塗布し、200℃、30分間の硬化処
理を施して保護層を形成し、図1に示されるような構成
の本発明のカラーフィルタを製造した。(図5(F)に
相当) (実施例2)光触媒含有層用塗布液の調製 まず、下記組成の光触媒含有層用の塗布液を調製した。
ーダライムガラス製の透明基板上に塗布し、160℃で
1分間加熱処理し、光触媒がオルガノポリシロキサン中
に強固に固定された透明な光触媒含有層(厚み0.5μ
m)を形成した。この光触媒含有層にマスクを介して水
銀灯(波長365nm)により70mW/cm2 の照度
で100秒間パターン照射を行い、照射部位と非照射部
位との水に対する接触角を実施例1と同様に測定した結
果、非照射部位における水の接触角は115°であるの
に対し、照射部位における水の接触角は10°以下であ
り、照射部位が高親水性部位となり、照射部位と非照射
部位との濡れ性の相違によるパターン形成が可能なこと
が確認された。ブラックマトリックスの形成 次に、上記と同様にして光触媒含有層を形成し、この光
触媒含有層のブラックマトリックス形成領域に光照射
(水銀灯(波長365nm)により70mW/cm2 の
照度で100秒間照射)を行い、ブラックマトリックス
用塗布液を塗布して照射部位のみに選択的に付着させた
後、加熱処理を施してブラックマトリックスを形成し
た。(図5(A)〜(C)に相当)着色層の形成 次に、各色の顔料としてピグメントレッド168、ピグ
メントグリーン36、ピグメントブルー60を準備し、
下記の組成の各着色パターン用の塗布液を調製した。
た光触媒含有層の全面に水銀灯(波長365nm)によ
り照射(70mW/cm2 の照度で100秒間)して、
照射部位を高親水性(水の接触角に換算して10°以
下)とした。
ルからブラックマトリックスに囲まれた各赤色パターン
形成領域の中心部にドット径120μmで滴下した。同
様に、緑色パターン用塗布液をノズルからブラックマト
リックスに囲まれた各緑色パターン形成領域の中心部に
ドット径120μmで滴下した。さらに、青色パターン
用塗布液をノズルからブラックマトリックスに囲まれた
各青色パターン形成領域の中心部にドット径120μm
で滴下した。このように滴下された各色パターン用塗布
液は、ブラックマトリックスでははじかれ、ブラックマ
トリックスに囲まれた高親水性部位である各色のパター
ン形成領域内で均一に拡散して選択的に付着した。その
後、100℃、45分間の加熱処理を施して赤色パター
ン、緑色パターン、青色パターンからなる着色層を形成
した。
(日本合成ゴム(株)製SS7265)をスピンコータ
ーにて着色層上に塗布し、200℃、30分間の硬化処
理を施して保護層を形成し、図1に示されるような構成
の本発明のカラーフィルタを製造した。 (実施例3)光触媒含有層の形成 開口部90μm×300μmで線幅30μmのクロム薄
膜パターンからなるブラックマトリックスを有するソー
ダガラス製の透明基板上に、実施例1と同様の光触媒含
有層用塗布液をスピンコーターにより塗布し、150
℃、10分間の乾燥処理後、加水分解、重縮合反応を進
行させて、光触媒がオルガノポリシロキサン中に強固に
固定された透明な光触媒含有層(厚み0.5μm)を形
成した。(図6(A)に相当)着色層の形成 次に、この光触媒含有層を、赤色パターン用のマスクを
介して水銀灯(波長365nm)により照射(70mW
/cm2 の照度で50秒間)して、照射部位を高親水性
(水の接触角に換算して10°以下)とした。(図6
(B)に相当)一方、1gのC.I.ピグメントレッド
168を、水系エマルジョンシリコーン(信越化学工業
(株)製K−768)を水で3倍に希釈した水溶液10
gに混合し、得られた混合物を3本ロールで練肉分散し
た後、12000r.p.m.で遠心分離を行い、その後、1
μmのグラスフィルターでろ過した。得られた水性着色
樹脂溶液に、硬化触媒として CatalystPM-6A:Catalyst
PM-6B =4:6(信越化学工業(株)製)を0.1g添
加して、赤色パターン用の塗布液(熱硬化性樹脂組成
物)を調製した。
コーターにより光触媒含有層上に全面塗布した。塗布さ
れた赤色パターン用塗布液は、光触媒含有層の非照射部
ではじかれ、照射部位のみに選択的に付着した。その
後、160℃、30秒間の硬化処理を施して赤色パター
ンを形成した。(図6(C)に相当) 次に、上記のように赤色パターンが形成された光触媒含
有層を、青色パターン用のマスクを介して水銀灯(波長
365nm)により照射(70mW/cm2 の照度で5
0秒間)して、照射部位を高親水性(水の接触角に換算
して10°以下)とした。
0を、水系エマルジョンシリコーン(信越化学工業
(株)製K−768)を水で3倍に希釈した水溶液10
gに混合し、上記の赤色パターン用の塗布液と同様にし
て、青色パターン用の塗布液(熱硬化性樹脂組成物)を
調製した。
コーターにより光触媒含有層上に全面塗布した。塗布さ
れた青色パターン用塗布液は、赤色パターン形成部およ
び光触媒含有層の非照射部ではじかれ、照射部位のみに
選択的に付着した。その後、160℃、30秒間の硬化
処理を施して青色パターンを形成した。
青色パターンが形成された光触媒含有層を、緑色パター
ン用のマスクを介して水銀灯(波長365nm)により
照射(70mW/cm2 の照度で50秒間)して、照射
部位を高親水性(水の接触角に換算して10°以下)と
した。
01(東洋インキ製造(株)製)を、ポリビニルアルコ
ール(平均重合度1750、ケン化度88モル%)の1
0重量%水溶液10gに混合し、得られた混合物を3本
ロールで練肉分散した後、12000r.p.m.で遠心分離
を行い、その後、1μmのグラスフィルターでろ過し
た。得られた水性着色樹脂溶液に、架橋剤として重クロ
ム酸アンモニウムを1重量%添加して、緑色パターン用
の塗布液(感光性樹脂組成物)を調製した。
コーターにより光触媒含有層上に全面塗布した。塗布さ
れた緑色パターン用塗布液は、赤色パターン形成部、青
色パターン形成部および光触媒含有層の非照射部ではじ
かれ、照射部位のみに選択的に付着した。その後、60
℃、3分間の乾燥を行い、水銀ランプで露光することに
より、緑色パターン用塗布液を硬化させるとともに、光
触媒含有層を高親水性にした。次いで、150℃、30
分間の加熱処理を施して緑色パターンを形成した。
(日本合成ゴム(株)製SS7265)をスピンコータ
ーにて着色層上に塗布し、200℃、30分間の硬化処
理を施して保護層を形成し、図2に示されるような構成
の本発明のカラーフィルタを製造した。 (実施例4)光触媒含有層の形成 開口部140μm×260μmで線幅30μmのクロム
薄膜パターンからなるブラックマトリックスを有するソ
ーダガラス製の透明基板上に、実施例1と同様の光触媒
含有層用塗布液をスピンコーターにより塗布し、150
℃、10分間の乾燥処理後、加水分解、重縮合反応を進
行させて、光触媒がオルガノポリシロキサン中に強固に
固定された透明な光触媒含有層(厚み0.5μm)を形
成した。(図6(A)に相当)着色層の形成 次に、ブラックマトリックスの線幅(30μm)よりも
狭い線幅(20μm)の遮光パターン(パターンピッチ
は155μm×275μm)を有するマスクをブラック
マトリックス上に位置合わせした後、このマスクを介し
て水銀灯(波長365nm)により光触媒含有層を照射
(70mW/cm2 の照度で50秒間)して、照射部位
を高親水性(水の接触角に換算して10°以下)とし
た。(図7参照) 上記の各照射部位(高親水性部位)は150μm×27
0μmの大きさであり、非照射部位はブラックマトリッ
クス上に20μmの幅で存在する。
168、ピグメントグリーン36、ピグメントブルー6
0を準備し、下記の組成の各着色パターン用の塗布液を
調製した。
クマトリックスに囲まれた各赤色パターン形成領域の中
心部にドット径120μmで滴下した。同様に、緑色パ
ターン用塗布液をノズルからブラックマトリックスに囲
まれた各緑色パターン形成領域の中心部にドット径12
0μmで滴下した。さらに、青色パターン用塗布液をノ
ズルからブラックマトリックスに囲まれた各青色パター
ン形成領域の中心部にドット径120μmで滴下した。
このように滴下された各着色パターン用塗布液は、ブラ
ックマトリックス上の非照射部位ではじかれ、ブラック
マトリックスに囲まれた高親水性部位である各色のパタ
ーン形成領域内で均一に拡散して選択的に付着した。そ
の後、100℃、45分間の加熱処理を施して赤色パタ
ーン、緑色パターン、青色パターンからなる着色層を形
成した。
(日本合成ゴム(株)製SS7265)をスピンコータ
ーにて着色層上に塗布し、200℃、30分間の硬化処
理を施して保護層を形成し、図2に示されるような構成
の本発明のカラーフィルタを製造した。 (実施例5)光触媒含有層の形成 開口部90μm×300μmで線幅30μmのクロム薄
膜パターンからなるブラックマトリックスを有するソー
ダガラス製の透明基板上に、実施例1と同様の光触媒含
有層用塗布液をスピンコーターにより塗布し、150
℃、10分間の乾燥処理後、加水分解、重縮合反応を進
行させて、光触媒がオルガノポリシロキサン中に強固に
固定された透明な光触媒含有層(厚み0.5μm)を形
成した。着色層の形成 まず、各色の顔料としてピグメントレッド168、ピグ
メントグリーン36、ピグメントブルー60を準備し、
下記の各組成の混合物を3本ロールで練肉分散した後、
12000r.p.m.で遠心分離を行い、その後、1μmの
グラスフィルターでろ過した。得られた水性着色樹脂溶
液に、架橋剤として重クロム酸アンモニウムを1重量%
添加して、赤色パターン用の塗布液、緑色パターン用の
塗布液および青色パターン用の塗布液(感光性樹脂組成
物)を調製した。
光触媒含有層上に、実施例1と同様にして光触媒含有層
を形成し、この光触媒含有層を赤色パターン用のマスク
を介して水銀灯(波長365nm)により照射(70m
W/cm2 の照度で50秒間)して、照射部位を高親水
性(水の接触角に換算して10°以下)とした。(図8
(A)に相当) 次に、上記の赤色パターン用塗布液をバーコーターによ
り光触媒含有層上に全面塗布した。塗布された赤色パタ
ーン用塗布液は、光触媒含有層の非照射部ではじかれ、
照射部位のみに選択的に付着した。その後、60℃、3
分間の乾燥を行い、水銀ランプで露光することにより、
赤色パターン用塗布液を硬化させ、さらに、150℃、
30分間の加熱処理を施して赤色パターンを形成した。
(図8(B)に相当) 同様にして、上記のように赤色パターンが形成された光
触媒含有層上に、実施例1と同様にして光触媒含有層を
形成し、この光触媒含有層の緑色パターン形成領域に光
照射を行い(図8(C)に相当)、緑色パターン用塗布
液を塗布して光照射部位のみに選択的に付着させた後、
硬化処理、加熱処理を施して緑色パターンを形成した。
(図8(D)に相当) さらに、緑色パターンが形成された光触媒含有層上に、
実施例1と同様にして光触媒含有層を形成し、この光触
媒含有層の青色パターン形成領域に光照射を行い、青色
パターン用塗布液を塗布して光照射部位のみに選択的に
付着させた後、硬化処理、加熱処理を施して青色パター
ンを形成した。
(日本合成ゴム(株)製SS7265)をスピンコータ
ーにて着色層上に塗布し、200℃、30分間の硬化処
理を施して保護層を形成し、図3に示されるような構成
の本発明のカラーフィルタを製造した。(図8(E)に
相当) (実施例6)ブラックマトリックスの形成 まず、実施例1と同様にして光触媒含有層を形成し、こ
の光触媒含有層のブラックマトリックス形成領域に光照
射を行い、ブラックマトリックス用塗布液を塗布して照
射部位に選択的に付着させた後、加熱処理を施してブラ
ックマトリックスを形成した。(図9(A)、(B)に
相当)着色層の形成 まず、各色の顔料としてピグメントレッド168、ピグ
メントグリーン36、ピグメントブルー60を準備し、
下記の各組成の混合物を3本ロールで練肉分散した後、
12000r.p.m.で遠心分離を行い、その後、1μmの
グラスフィルターでろ過した。得られた水性着色樹脂溶
液に、架橋剤として重クロム酸アンモニウムを1重量%
添加して、赤色パターン用の塗布液、緑色パターン用の
塗布液および青色パターン用の塗布液(感光性樹脂組成
物)を調製した。
光触媒含有層上に、実施例1と同様にして光触媒含有層
を形成し、この光触媒含有層を赤色パターン用のマスク
を介して水銀灯(波長365nm)により照射(70m
W/cm2 の照度で50秒間)して、照射部位を高親水
性(水の接触角に換算して10°以下)とした。(図9
(C)に相当) 次に、上記の赤色パターン用塗布液をバーコーターによ
り光触媒含有層上に全面塗布した。塗布された赤色パタ
ーン用塗布液は、光触媒含有層の非照射部ではじかれ、
照射部位のみに選択的に付着した。その後、60℃、3
分間の乾燥を行い、水銀ランプで露光することにより、
赤色パターン用塗布液を硬化させ、さらに、150℃、
30分間の加熱処理を施して赤色パターンを形成した。
(図9(D)に相当) 同様にして、上記のように赤色パターンが形成された光
触媒含有層上に、実施例1と同様にして光触媒含有層を
形成し、この光触媒含有層の緑色パターン形成領域に光
照射を行い、緑色パターン用塗布液を塗布して光照射部
位のみに選択的に付着させた後、硬化処理、加熱処理を
施して緑色パターンを形成し、さらに、緑色パターンが
形成された光触媒含有層上に、実施例1と同様にして光
触媒含有層を形成し、この光触媒含有層の青色パターン
形成領域に光照射を行い、青色パターン用塗布液を塗布
して光照射部位のみに選択的に付着させた後、硬化処
理、加熱処理を施して青色パターンを形成した。
(日本合成ゴム(株)製SS7265)をスピンコータ
ーにて着色層上に塗布し、200℃、30分間の硬化処
理を施して保護層を形成し、図4に示されるような構成
の本発明のカラーフィルタを製造した。(図9(E)に
相当) (実施例7)ブラックマトリックスの形成 まず、実施例1と同様にして光触媒含有層を形成し、こ
の光触媒含有層のブラックマトリックス形成領域に光照
射を行い、ブラックマトリックス用塗布液を塗布して照
射部位に選択的に付着させた後、加熱処理を施してブラ
ックマトリックスを形成した。着色層の形成 上記のようにブラックマトリックスが形成された光触媒
含有層上に、実施例1と同様にして光触媒含有層を形成
し、この光触媒含有層を、開口部(23μm×12μm
の長方形の開口部)をもつマスクを介して水銀灯(波長
365nm)により照射(70mW/cm2 の照度で9
0秒間)して、照射部位を高親水性(水の接触角に換算
して10°以下)とした。
されるペリレン系顔料を上記の光触媒含有層上に、真空
度1×10-5Torr、蒸着速度10Å/秒の条件で蒸
着し、光触媒含有層上の全面に赤色顔料薄膜を形成し
た。
にて洗い流したところ、光触媒含有層の光照射部位と非
照射部位における赤色顔料の接着性の違いにより、非照
射部位のみ赤色顔料薄膜が剥離し、照射部位には、23
μm×12μmの長方形の赤色顔料薄膜(膜厚0.4μ
m)からなる赤色パターンが形成された。
の光触媒含有層のブラックマトリックス形成領域に光照
射を行い、ブラックマトリックス用塗布液を塗布して照
射部位に選択的に付着させた後、加熱処理を施してブラ
ックマトリックスを形成した。着色層の形成 上記のようにブラックマトリックスが形成された光触媒
含有層上に、実施例1と同様にして光触媒含有層を形成
し、この光触媒含有層を、開口部(23μm×12μm
の長方形の開口部)をもつマスクを介して水銀灯(波長
365nm)により照射(70mW/cm2 の照度で9
0秒間)して、照射部位を高親水性(水の接触角に換算
して10°以下)とした。
されるペリレン系顔料を上記の光触媒含有層上に、真空
度1×10-5Torr、蒸着速度10Å/秒の条件で蒸
着し、光触媒含有層上の全面に青色顔料薄膜を形成し
た。
ルにて洗い流したところ、光触媒含有層の光照射部位と
非照射部位における青色顔料の接着性の違いにより、非
照射部位のみ青色顔料薄膜が剥離し、照射部位には、2
3μm×12μmの長方形の青色顔料薄膜(膜厚0.4
μm)からなる青色パターンが形成された。
顕微鏡により観察したところ、ブラックマトリックスお
よび着色層において、変色、混色、白抜け、色むら等の
欠陥はみとめられなかった。
定の濡れ性部位において、遮光層用塗料や着色層用塗料
に対する濡れ性が高く、遮光層用塗料や着色層用塗料を
供給することにより、特定の濡れ性部位のみに選択的に
確実に付着し、他の領域に接触した塗料ははじかれの
で、高い精度で遮光層や着色層を形成でき、高解像度の
カラーフィルタが可能となり、また、遮光層や着色層を
形成する箇所のみに塗料を付着させるので材料の使用効
率が高く、さらに、現像や洗浄の工程、現像廃液の処理
工程が不要なので工程も簡便なものとなる。また、特定
の濡れ性部位を形成する濡れ性変化成分層を光触媒含有
層や有機高分子樹脂層とすることにより、光照射部位が
光触媒の作用によって臨界表面張力が高くなって高親水
性(特定の濡れ性部位)となり、あるいは、高分子鎖の
切断による低分子化に伴う表面粗化によって高親水性
(特定の濡れ性部位)となり、一方、非照射部位は高い
撥水性を維持したままであり、このような光触媒含有層
や有機高分子樹脂層上に遮光層用塗料や着色層用塗料を
供給することにより、非照射部位に接触した塗料ははじ
かれ、濡れ性の高い光照射部位(高親水性部位)のみに
選択的に確実に付着する。
す概略断面図である。
示す概略断面図である。
示す概略断面図である。
示す概略断面図である。
を説明するための工程図である。
態を説明するための工程図である。
法における光触媒含有層の光照射時のマスクの状態を示
す平面図である。
態を説明するための工程図である。
態を説明するための工程図である。
33c,33d…光触媒含有層(濡れ性変化成分層) 3´,13´,23´a,23´b,33´a,33´
b…光照射部位(高親水性部位=特定の濡れ性部位) 4,14,24,34…ブラックマトリックス 5,15,25,35…着色層
Claims (24)
- 【請求項1】 透明基板上に少なくともバインダーと光
触媒からなる光触媒含有層を形成し、該光触媒含有層に
光照射を行うことにより所定のパターンで特定の濡れ性
部位を形成し、該濡れ性部位上に遮光層用塗料を付着さ
せて遮光層を形成する工程を有することを特徴とするカ
ラーフィルタの製造方法。 - 【請求項2】 透明基板上に少なくともバインダーと光
触媒からなる光触媒含有層を形成し、該光触媒含有層に
光照射を行うことにより所定のパターンで特定の濡れ性
部位を形成し、該濡れ性部位上に着色層用塗料を付着さ
せて着色層を形成する工程を有することを特徴とするカ
ラーフィルタの製造方法。 - 【請求項3】 前記光触媒含有層に光照射を行い、光照
射部位を光触媒の作用により高親水性とすることにより
特定の濡れ性部位を形成することを特徴とする請求項1
または請求項2に記載のカラーフィルタの製造方法。 - 【請求項4】 前記高親水性部位は、水との接触角が1
0°以下であることを特徴とする請求項3に記載のカラ
ーフィルタの製造方法。 - 【請求項5】 透明基板上に少なくともバインダーと光
触媒からなる光触媒含有層を形成し、該光触媒含有層に
光照射を行うことにより所定のパターンで特定の濡れ性
部位を形成し、該濡れ性部位上に遮光層用塗料を付着さ
せて遮光層を形成する第1の工程、前記光触媒含有層に光照射を行うことにより 所定のパタ
ーンで特定の濡れ性部位を形成し、該濡れ性部位上に着
色層用塗料を付着させて着色層を形成する第2の工程、
とを有することを特徴とするカラーフィルタの製造方
法。 - 【請求項6】 前記第1の工程において、前記光触媒含
有層に光照射を行い、光照射部位を光触媒の作用により
高親水性とすることにより特定の濡れ性部位を形成し、
前記第2の工程において、前記光触媒含有層に光照射を
行い、光照射部位を光触媒の作用により高親水性とする
ことにより特定の濡れ性部位を形成することを特徴とす
る請求項5に記載のカラーフィルタの製造方法。 - 【請求項7】 前記高親水性部位は、水との接触角が1
0°以下であることを特徴とする請求項6に記載のカラ
ーフィルタの製造方法。 - 【請求項8】 所定のパターンで遮光層を備えた透明基
板上に少なくと もバインダーと光触媒からなる光触媒含
有層を形成し、該光触媒含有層に光照射を行うことによ
り所定のパターンで特定の濡れ性部位を形成する第1の
工程、 前記濡れ性部位上に着色層用塗料を付着させて着色層を
形成する第2の工程、とを有することを特徴とするカラ
ーフィルタの製造方法。 - 【請求項9】 前記第1の工程において、前記光触媒含
有層に光照射を行い、光照射部位を光触媒の作用により
高親水性とすることにより特定の濡れ性部位を形成する
ことを特徴とする請求項8に記載のカラーフィルタの製
造方法。 - 【請求項10】 前記高親水性部位は、水との接触角が
10°以下であることを特徴とする請求項9に記載のカ
ラーフィルタの製造方法。 - 【請求項11】 前記光触媒含有層の非光照射部位は、
光照射部位よりも高い撥水性を示すことを特徴とする請
求項1乃至請求項10のいずれかに記載のカラーフィル
タの製造方法。 - 【請求項12】 所定のパターンで遮光層を備えた透明
基板上に少なくともバインダーと光触媒からなる光触媒
含有層を形成し、該光触媒含有層に光照射を行うことに
より所定のパターンで特定の濡れ性部位を形成し、該濡
れ性部位上に着色層用塗料を付着させて着色層を形成す
る操作を、必要色数分繰り返して複数色からなる着色層
を形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方
法。 - 【請求項13】 前記光触媒含有層に光照射を行い、光
照射部位を光触媒の作用により高親水性とすることによ
り特定の濡れ性部位を形成することを特徴とする請求項
12に記載のカラーフィルタの製造方法。 - 【請求項14】 前記高親水性部位は、水との接触角が
10°以下であることを特徴とする請求項13に記載の
カラーフィルタの製造方法。 - 【請求項15】 透明基板上に少なくともバインダーと
光触媒からなる光触媒含有層を形成し、該光触媒含有層
に光照射を行うことにより所定のパターンで特定の濡れ
性部位を形成し、該濡れ性部位上に遮光層用塗料を付着
させて遮光層を形成する第1の工程、 透明基板上に少なくともバインダーと光触媒からなる光
触媒含有層を形成し、該光触媒含有層に光照射を行うこ
とにより所定のパターンで特定の濡れ性部位を形成し、
該濡れ性部位上に着色層用塗料を付着させて着色層を形
成する操作を、必要色数分繰り返して複数色からなる着
色層を形成する第2の工程、とを有することを特徴とす
るカラーフィルタの製造方法。 - 【請求項16】 前記第1の工程において、前記光触媒
含有層に光照射を行い、光照射部位を光触媒の作用によ
り高親水性とすることにより特定の濡れ性部位を形成
し、前記第2の工程において、前記光触媒含有層に光照
射を行い、光照射部位を光触媒の作用により高親水性と
することにより特定の濡れ性部位を形成することを特徴
とする請求項15に記載のカラーフィルタの製造方法。 - 【請求項17】 前記高親水性部位は、水との接触角が
10°以下であることを特徴とする請求項16に記載の
カラーフィルタの製造方法。 - 【請求項18】 前記光触媒含有層に対する光照射は、
マスクを介したパターン露光、および、光描画照射のい
ずれかによることを特徴とする請求項1乃至請求項17
のいずれかに記載のカラーフィルタの製造方法。 - 【請求項19】 遮蔽層用塗料および/または着色層用
塗料の付着は、塗布方式、ノズル吐出方式および真空薄
膜形成方式のいずれかで行うことを特徴とする請求項1
乃至請求項18のいずれかに記載のカラーフィルタの製
造方法。 - 【請求項20】 前記真空薄膜形成方式において、薄膜
形成後に、特定の濡れ性部位以外の部位に付着した遮蔽
層用塗料または着色層用塗料からなる薄膜を除去する工
程を有することを特徴とする請求項19に記載のカラー
フィルタの製造方法。 - 【請求項21】 前記光触媒含有層に含有させるバイン
ダーは、オルガノポリシロキサンであることを特徴とす
る請求項1乃至請求項20のいずれかに記載のカラーフ
ィルタの製造方法。 - 【請求項22】 前記光触媒含有層に含有させるバイン
ダーは、クロロまたはアルコキシシランを含む組成物か
ら得られるオルガノポリシロキサンであることを特徴と
する請求項1乃至請求項20のいずれかに記載のカラー
フィルタの製造方法。 - 【請求項23】 前記光触媒含有層に含有させるバイン
ダーは、反応性シリコーンを含む組成物から得られるオ
ルガノポリシロキサンであることを特徴とする請求項1
乃至請求項20のいずれかに記載のカラーフィルタの製
造方法。 - 【請求項24】 前記オルガノポリシロキサンは、フル
オロアルキル基を含有することを特徴とする請求項21
乃至請求項23のいずれかに記載のカラーフィルタの製
造方法。
Priority Applications (26)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP18337098A JP3343811B2 (ja) | 1997-10-31 | 1998-06-15 | カラーフィルタの製造方法 |
EP03021174A EP1376226B1 (en) | 1997-08-08 | 1998-08-10 | Structure for pattern formation, method for pattern formation, and application thereof |
DE69841945T DE69841945D1 (de) | 1997-08-08 | 1998-08-10 | Struktur zur Musterbildung, Verfahren zur Musterbildung und deren Anwendung |
EP03021175A EP1376227A1 (en) | 1997-08-08 | 1998-08-10 | Structure for pattern formation, method for pattern formation, and application thereof |
DE69841947T DE69841947D1 (de) | 1997-08-08 | 1998-08-10 | Verfahren zur Herstellung einer Linse |
EP03021173A EP1376225B1 (en) | 1997-08-08 | 1998-08-10 | Structure for pattern formation, method for pattern formation, and application thereof |
DE69841946T DE69841946D1 (de) | 1997-08-08 | 1998-08-10 | Struktur zur Musterbildung, Verfahren zur Musterbildung, und deren Anwendung |
EP03021176A EP1376228B1 (en) | 1997-08-08 | 1998-08-10 | Process for producing a lens |
DE69841238T DE69841238D1 (de) | 1997-08-08 | 1998-08-10 | Objekt zur erzeugung von mustern, methode zur erzeugung von mustern, sowie deren anwendungen |
DE69841948T DE69841948D1 (de) | 1997-08-08 | 1998-08-10 | Lithographieplatte und Verfahren zu derer Herstellung |
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