JP3228648B2 - 圧電磁器組成物 - Google Patents
圧電磁器組成物Info
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- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、圧電磁器組成物に係わ
り、例えばセラミックフィルタ，セラミックレゾネー
タ，超音波応用振動子，圧電ブザー，圧電点火ユニッ
ト，超音波モータ，圧電ファン，圧電アクチュエータお
よび加速度センサ，ノッキングセンサ，ＡＥセンサ等の
圧電センサ等に適する圧電磁器組成物に関する。
り、例えばセラミックフィルタ，セラミックレゾネー
タ，超音波応用振動子，圧電ブザー，圧電点火ユニッ
ト，超音波モータ，圧電ファン，圧電アクチュエータお
よび加速度センサ，ノッキングセンサ，ＡＥセンサ等の
圧電センサ等に適する圧電磁器組成物に関する。
【０００２】
【従来技術】従来から、圧電磁器組成物を利用した製品
としては、例えばセラミックフィルタ，セラミックレゾ
ネータ，超音波応用振動子，圧電ブザー，圧電点火ユニ
ット，超音波モータ，圧電ファン，圧電センサ，圧電ア
クチュエータ等がある。
としては、例えばセラミックフィルタ，セラミックレゾ
ネータ，超音波応用振動子，圧電ブザー，圧電点火ユニ
ット，超音波モータ，圧電ファン，圧電センサ，圧電ア
クチュエータ等がある。
【０００３】ここで、セラミックフィルタ，セラミック
レゾネータ等の素子としては、ＰｂＺｒＯ3 −ＰｂＴｉ
Ｏ3 を主成分とした磁器組成物が利用されており、これ
にＮｂ2 Ｏ5 やＭｎＯ2 等の金属酸化物、Ｐｂ（Ｎｂ
2/3 Ｍｇ1/3 ）Ｏ3 やＰｂ（Ｎｂ2/3 Ｍｎ1/3 ）Ｏ3 等
の複合ペロブスカイト酸化物を添加したり置換すること
により圧電特性の向上が図られている。このような圧電
磁器組成物としては、電気機械結合係数が大きく圧電性
に優れた材料として、例えば、Ｐｂ（Ｎｂ2/3 Ｃ
ｏ1/3 ）Ｏ3 −ＰｂＺｒＯ3 −ＰｂＴｉＯ3 系の磁器組
成物が開示されてる。
レゾネータ等の素子としては、ＰｂＺｒＯ3 −ＰｂＴｉ
Ｏ3 を主成分とした磁器組成物が利用されており、これ
にＮｂ2 Ｏ5 やＭｎＯ2 等の金属酸化物、Ｐｂ（Ｎｂ
2/3 Ｍｇ1/3 ）Ｏ3 やＰｂ（Ｎｂ2/3 Ｍｎ1/3 ）Ｏ3 等
の複合ペロブスカイト酸化物を添加したり置換すること
により圧電特性の向上が図られている。このような圧電
磁器組成物としては、電気機械結合係数が大きく圧電性
に優れた材料として、例えば、Ｐｂ（Ｎｂ2/3 Ｃ
ｏ1/3 ）Ｏ3 −ＰｂＺｒＯ3 −ＰｂＴｉＯ3 系の磁器組
成物が開示されてる。
【０００４】一方、近年では、セラミックフィルタ，セ
ラミックレゾネータのような圧電部品においても基板等
の表面に実装可能なように種々の条件に対応できること
が要求されており、このような圧電部品においては、部
品を基板にリフロー半田付けする際、基板に実装された
部品が３００℃程度の高温に曝されるために部品が組み
込まれる圧電素子にも耐熱性が要求されている。
ラミックレゾネータのような圧電部品においても基板等
の表面に実装可能なように種々の条件に対応できること
が要求されており、このような圧電部品においては、部
品を基板にリフロー半田付けする際、基板に実装された
部品が３００℃程度の高温に曝されるために部品が組み
込まれる圧電素子にも耐熱性が要求されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする問題点】しかしながら、従来
の例えば上記したＰｂ（Ｎｂ2/3 Ｃｏ1/3 ）Ｏ3 −Ｐｂ
ＺｒＯ3 −ＰｂＴｉＯ3 系の磁器組成物は、耐熱性が低
くリフロー半田付け前後の圧電特性や共振周波数の変化
が大きく、実用上の問題となっていた。
の例えば上記したＰｂ（Ｎｂ2/3 Ｃｏ1/3 ）Ｏ3 −Ｐｂ
ＺｒＯ3 −ＰｂＴｉＯ3 系の磁器組成物は、耐熱性が低
くリフロー半田付け前後の圧電特性や共振周波数の変化
が大きく、実用上の問題となっていた。
【０００６】本発明の圧電磁器組成物は、高い電気機械
結合係数を有するとともに、耐熱性に優れた圧電磁器組
成物を提供することを目的とする。
結合係数を有するとともに、耐熱性に優れた圧電磁器組
成物を提供することを目的とする。
【０００７】
【問題点を解決するための手段】本発明者等は、Ｐｂ、
Ｎｂ、Ｃｒ、Ｃｏ、Ｔｉ、Ｚｒを含む複合ペロブスカイ
ト型化合物であって、一定の組成を有するものは、高い
電気機械結合係数を有し、耐熱性に優れた圧電磁器組成
物を得ることができることを知見し、本発明に至った。
Ｎｂ、Ｃｒ、Ｃｏ、Ｔｉ、Ｚｒを含む複合ペロブスカイ
ト型化合物であって、一定の組成を有するものは、高い
電気機械結合係数を有し、耐熱性に優れた圧電磁器組成
物を得ることができることを知見し、本発明に至った。
【０００８】即ち、本発明の圧電磁器組成物は、金属成
分として少なくともＰｂ、Ｎｂ、Ｃｒ、Ｃｏ、Ｔｉ、Ｚ
ｒを含む複合ペロブスカイト型化合物であって、これら
の金属元素のモル比による組成式をＰｂa 〔（Ｎｂb Ｃ
ｒc Ｃｏd ）e （Ｔｉf Ｚｒ1-f ）1-e 〕Ｏ3 と表わし
た時、ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ，ｆが０．９５≦ａ≦１．０
５、０．４０≦ｂ≦０．７０、０．０５≦ｃ≦０．５
０、０．０５≦ｄ≦０．５０、０．０３≦ｅ≦０．25、
０．４５≦ｆ≦０．５５、ｂ＋ｃ＋ｄ＝１を満足するも
のであり、Ｐｂの一部がＳｒ，Ｂａ，Ｃａ，Ｌａの少な
くとも一種で置換され、その置換量がモル比で１２％以
下であることが特に望ましい。
分として少なくともＰｂ、Ｎｂ、Ｃｒ、Ｃｏ、Ｔｉ、Ｚ
ｒを含む複合ペロブスカイト型化合物であって、これら
の金属元素のモル比による組成式をＰｂa 〔（Ｎｂb Ｃ
ｒc Ｃｏd ）e （Ｔｉf Ｚｒ1-f ）1-e 〕Ｏ3 と表わし
た時、ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ，ｆが０．９５≦ａ≦１．０
５、０．４０≦ｂ≦０．７０、０．０５≦ｃ≦０．５
０、０．０５≦ｄ≦０．５０、０．０３≦ｅ≦０．25、
０．４５≦ｆ≦０．５５、ｂ＋ｃ＋ｄ＝１を満足するも
のであり、Ｐｂの一部がＳｒ，Ｂａ，Ｃａ，Ｌａの少な
くとも一種で置換され、その置換量がモル比で１２％以
下であることが特に望ましい。
【０００９】ここで、ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ，ｆを上記の
範囲に設定した理由について説明する。Ｐｂ量のａを
０．９５≦ａ≦１．０５としたのは、ａが０．９５未満
の場合や１．０５よりも大きい場合には電気機械結合係
数が低下するからである。Ｐｂ量は０．９９≦ａ≦１．
０１であることが特に望ましい。また、Ｎｂ量のｂを
０．４０≦ｂ≦０．７０としたのは、ｂが０．４０未満
では電気機械結合係数が低下し、ｂが０．７０よりも大
きい場合には耐熱性が低下するからである。Ｎｂ量は
０．５５≦ｂ≦０．６５であることが特に望ましい。
範囲に設定した理由について説明する。Ｐｂ量のａを
０．９５≦ａ≦１．０５としたのは、ａが０．９５未満
の場合や１．０５よりも大きい場合には電気機械結合係
数が低下するからである。Ｐｂ量は０．９９≦ａ≦１．
０１であることが特に望ましい。また、Ｎｂ量のｂを
０．４０≦ｂ≦０．７０としたのは、ｂが０．４０未満
では電気機械結合係数が低下し、ｂが０．７０よりも大
きい場合には耐熱性が低下するからである。Ｎｂ量は
０．５５≦ｂ≦０．６５であることが特に望ましい。
【００１０】さらに、Ｃｒ量のｃを０．０５≦ｃ≦０．
５０としたのは、ｃが０．０５未満の場合には耐熱性が
低下し、０．５０よりも大きい場合には電気機械結合係
数が低下するからである。Ｃｒ量は０．２≦ｃ≦０．４
０であることが特に望ましい。
５０としたのは、ｃが０．０５未満の場合には耐熱性が
低下し、０．５０よりも大きい場合には電気機械結合係
数が低下するからである。Ｃｒ量は０．２≦ｃ≦０．４
０であることが特に望ましい。
【００１１】Ｃｏ量のｄを０．０５≦ｄ≦０．５０とし
たのは、ｄが０．０５未満では耐熱性が低下し、０．５
０よりも大きいと耐熱性が低下するからである。Ｃｏ量
は０．０５≦ｄ≦０．２５であることが特に望ましい。
たのは、ｄが０．０５未満では耐熱性が低下し、０．５
０よりも大きいと耐熱性が低下するからである。Ｃｏ量
は０．０５≦ｄ≦０．２５であることが特に望ましい。
【００１２】（Ｎｂb Ｃｒc Ｃｏd ）のＺｒ，Ｔｉサイ
トへの置換量ｅを０．０３≦ｅ≦０．２５としたのは、
ｅが０．０３未満では大きな電気機械結合係数が得られ
ず、また０．２５よりも大きいと電気機械結合係数と耐
熱性が急激に低下するからである。（Ｎｂb Ｃｒc Ｃｏ
d ）のＺｒ，Ｔｉサイトへの置換量ｅは０．０５≦ｅ≦
０．１０であることが特に望ましい。
トへの置換量ｅを０．０３≦ｅ≦０．２５としたのは、
ｅが０．０３未満では大きな電気機械結合係数が得られ
ず、また０．２５よりも大きいと電気機械結合係数と耐
熱性が急激に低下するからである。（Ｎｂb Ｃｒc Ｃｏ
d ）のＺｒ，Ｔｉサイトへの置換量ｅは０．０５≦ｅ≦
０．１０であることが特に望ましい。
【００１３】ＴｉのＺｒへの置換量ｆを０．４５≦ｆ≦
０．５５としたのは、ｆが０．４５未満の場合や０．５
５よりも大きい場合には電気機械結合係数が低下するか
らである。ＴｉのＺｒへの置換量ｆは０．４７≦ｆ≦
０．５３であることが特に望ましい。
０．５５としたのは、ｆが０．４５未満の場合や０．５
５よりも大きい場合には電気機械結合係数が低下するか
らである。ＴｉのＺｒへの置換量ｆは０．４７≦ｆ≦
０．５３であることが特に望ましい。
【００１４】また、Ｐｂの一部をＳｒ，Ｂａ，Ｃａ，Ｌ
ａの少なくとも一種をモル比で１２％以下置換したの
は、耐熱性に優れ，高い電気機械結合係数を有した上
で、共振周波数の温度特性を向上するためである。ここ
で、Ｐｂの一部をＣａ，Ｓｒ等でモル比で１２％以下置
換したのは、モル比で１２％よりも多く置換すると耐熱
性が低下し易いからである。ＰｂのＳｒ，Ｂａ，Ｃａ，
Ｌａによる置換量はモル比で４〜８％であることが特に
望ましい。Ｐｂの一部を置換する元素としては、Ｓｒ，
Ｂａ，Ｃａ，Ｌａ以外に、Ｎｄ，Ｇｄ，Ｐｒ，Ｓｍであ
っても良い。
ａの少なくとも一種をモル比で１２％以下置換したの
は、耐熱性に優れ，高い電気機械結合係数を有した上
で、共振周波数の温度特性を向上するためである。ここ
で、Ｐｂの一部をＣａ，Ｓｒ等でモル比で１２％以下置
換したのは、モル比で１２％よりも多く置換すると耐熱
性が低下し易いからである。ＰｂのＳｒ，Ｂａ，Ｃａ，
Ｌａによる置換量はモル比で４〜８％であることが特に
望ましい。Ｐｂの一部を置換する元素としては、Ｓｒ，
Ｂａ，Ｃａ，Ｌａ以外に、Ｎｄ，Ｇｄ，Ｐｒ，Ｓｍであ
っても良い。
【００１５】そして、本発明の圧電磁器は、例えば、原
料としてＰｂＯ、ＺｒＯ2 、ＴｉＯ2 、Ｎｂ2 Ｏ5 、Ｃ
ｒ2 Ｏ3 、Ｃｏ3 Ｏ4 、ＣａＣＯ3 、ＳｒＣＯ3 、Ｂａ
ＣＯ3 の各原料粉末を所定量秤量し、ボールミル等で１
０〜２４時間湿式混合し、次いで、この混合物を脱水、
乾燥した後、５００〜１０００℃で１〜３時間仮焼し、
当該仮焼物を再びボールミル等で粉砕する。
料としてＰｂＯ、ＺｒＯ2 、ＴｉＯ2 、Ｎｂ2 Ｏ5 、Ｃ
ｒ2 Ｏ3 、Ｃｏ3 Ｏ4 、ＣａＣＯ3 、ＳｒＣＯ3 、Ｂａ
ＣＯ3 の各原料粉末を所定量秤量し、ボールミル等で１
０〜２４時間湿式混合し、次いで、この混合物を脱水、
乾燥した後、５００〜１０００℃で１〜３時間仮焼し、
当該仮焼物を再びボールミル等で粉砕する。
【００１６】その後、この粉砕物に有機バインダーを混
合し、造粒後、所定圧力で成形して成形体を作製し、こ
れらを大気中において１２００〜１３５０℃で０．５〜
４時間焼成することにより得られる。
合し、造粒後、所定圧力で成形して成形体を作製し、こ
れらを大気中において１２００〜１３５０℃で０．５〜
４時間焼成することにより得られる。
【００１７】
【作用】本発明の圧電磁器組成物では、ＰｂＺｒＯ3 −
ＰｂＴｉＯ3 系の磁器組成物のＺｒおよびＴｉの一部を
Ｎｂ，Ｃｒ，Ｃｏで置換することにより、高い電気機械
結合係数を示すとともに、耐熱性を向上することが可能
となる。また、Ｐｂの一部をＳｒ，Ｂａ，Ｃａ，Ｌａ等
のうちの少なくとも一種で置換することにより、共振周
波数の温度特性を向上することが可能となる。
ＰｂＴｉＯ3 系の磁器組成物のＺｒおよびＴｉの一部を
Ｎｂ，Ｃｒ，Ｃｏで置換することにより、高い電気機械
結合係数を示すとともに、耐熱性を向上することが可能
となる。また、Ｐｂの一部をＳｒ，Ｂａ，Ｃａ，Ｌａ等
のうちの少なくとも一種で置換することにより、共振周
波数の温度特性を向上することが可能となる。
【００１８】
【実施例】以下、本発明を次の実施例で説明する。原料
粉末としてＰｂＯ、ＺｒＯ3 、ＴｉＯ3 、Ｎｂ3 Ｏ5 、
Ｃｒ2 Ｏ3 、Ｃｏ3 Ｏ4 、ＣａＣＯ3 、ＳｒＣＯ3 およ
びＢａＣＯ3 の各原料粉末を表１に示すように所定量秤
量し、ボールミルで１２時間湿式混合し、次いで、この
混合物を脱水、乾燥した後、９５０℃で３時間仮焼し、
当該仮焼物を再びボールミルで粉砕する。
粉末としてＰｂＯ、ＺｒＯ3 、ＴｉＯ3 、Ｎｂ3 Ｏ5 、
Ｃｒ2 Ｏ3 、Ｃｏ3 Ｏ4 、ＣａＣＯ3 、ＳｒＣＯ3 およ
びＢａＣＯ3 の各原料粉末を表１に示すように所定量秤
量し、ボールミルで１２時間湿式混合し、次いで、この
混合物を脱水、乾燥した後、９５０℃で３時間仮焼し、
当該仮焼物を再びボールミルで粉砕する。
【００１９】
【表１】
【００２０】その後、この粉砕物に有機バインダー（Ｐ
ＶＡ）を混合し、造粒した。得られた粉末を１．５ｔ／
ｃｍ2 の圧力で直径２３ｍｍ、厚さ２ｍｍの寸法からな
る円板にプレス成形した。更に、これらの成形体をＭｇ
Ｏ等からなる容器内に密閉し、大気中１３００℃で２時
間の条件で焼成した。
ＶＡ）を混合し、造粒した。得られた粉末を１．５ｔ／
ｃｍ2 の圧力で直径２３ｍｍ、厚さ２ｍｍの寸法からな
る円板にプレス成形した。更に、これらの成形体をＭｇ
Ｏ等からなる容器内に密閉し、大気中１３００℃で２時
間の条件で焼成した。
【００２１】得られた焼結体を研磨して厚み０．５ｍｍ
の円板を形成した。この円板の両主面にＡｇペーストを
焼付けることにより電極を形成し、８０℃のシリコンオ
イル中で３ｋｖ／ｍｍの直流電圧を３０分間印加して分
極処理した後、電気機械結合係数，耐熱性，共振周波数
の温度特性を評価した。
の円板を形成した。この円板の両主面にＡｇペーストを
焼付けることにより電極を形成し、８０℃のシリコンオ
イル中で３ｋｖ／ｍｍの直流電圧を３０分間印加して分
極処理した後、電気機械結合係数，耐熱性，共振周波数
の温度特性を評価した。
【００２２】電気機械結合係数Ｋp はインピーダンスメ
ータで測定した共振周波数と反共振周波数の値から計算
により求めた。耐熱性は、２５０℃をピークとするリフ
ロー炉に３回連続して通過させる試験を行った際の、試
験前の共振周波数Ｆｒ1 と試験後の共振周波数Ｆｒ2 の
値から、ΔＦｒ＝（Ｆｒ2 −Ｆｒ1 ）／Ｆｒ1 ×１００
の式を用いて算出した変化率ΔＦｒで評価した。また、
共振周波数の温度係数FrTC．（ｐｐｍ／℃）は、−２０
℃から＋８０℃の範囲で測定した共振周波数の値からFr
TC．＝（１／ΔＴ）×〔（Ｆｒ80−Ｆｒ-20 ）／Ｆ
ｒ20〕×１０6 の式（ここで、Ｆｒ80、Ｆｒ-20 、Ｆｒ
20はそれぞれ＋８０℃、−２０℃、＋２０℃での共振周
波数を示し、ΔＴは温度差（１００℃）を示す）を用い
て算出した。
ータで測定した共振周波数と反共振周波数の値から計算
により求めた。耐熱性は、２５０℃をピークとするリフ
ロー炉に３回連続して通過させる試験を行った際の、試
験前の共振周波数Ｆｒ1 と試験後の共振周波数Ｆｒ2 の
値から、ΔＦｒ＝（Ｆｒ2 −Ｆｒ1 ）／Ｆｒ1 ×１００
の式を用いて算出した変化率ΔＦｒで評価した。また、
共振周波数の温度係数FrTC．（ｐｐｍ／℃）は、−２０
℃から＋８０℃の範囲で測定した共振周波数の値からFr
TC．＝（１／ΔＴ）×〔（Ｆｒ80−Ｆｒ-20 ）／Ｆ
ｒ20〕×１０6 の式（ここで、Ｆｒ80、Ｆｒ-20 、Ｆｒ
20はそれぞれ＋８０℃、−２０℃、＋２０℃での共振周
波数を示し、ΔＴは温度差（１００℃）を示す）を用い
て算出した。
【００２３】結果を表２に示す。
【００２４】
【表２】
【００２５】これらの表２から、本発明の磁器組成物は
電気機械結合係数が５０％以上と大きく、また、耐熱試
験による共振周波数の変化が±０．１％以下と小さく、
耐熱性が良好である。尚、表１における試料Ｎo.４，３
１〜３７および３９は、Ｐｂの一部をＳｒ，Ｂａ，Ｃ
ａ，Ｌａで置換したものであり、この場合には、共振周
波数の温度係数も絶対値が小さくなり、温度特性が向上
していることが判る。
電気機械結合係数が５０％以上と大きく、また、耐熱試
験による共振周波数の変化が±０．１％以下と小さく、
耐熱性が良好である。尚、表１における試料Ｎo.４，３
１〜３７および３９は、Ｐｂの一部をＳｒ，Ｂａ，Ｃ
ａ，Ｌａで置換したものであり、この場合には、共振周
波数の温度係数も絶対値が小さくなり、温度特性が向上
していることが判る。
【００２６】
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明によれば、Ｐ
ｂＺｒＯ3 −ＰｂＴｉＯ3 系の磁器組成物のＺｒおよび
Ｔｉの一部をＮｂ，Ｃｒ，Ｃｏで置換することにより、
高い電気機械結合係数を示し、耐熱性を向上することが
でき、表面実装用圧電部品などの素子として有効に用い
られる圧電磁器組成物を得ることができる。
ｂＺｒＯ3 −ＰｂＴｉＯ3 系の磁器組成物のＺｒおよび
Ｔｉの一部をＮｂ，Ｃｒ，Ｃｏで置換することにより、
高い電気機械結合係数を示し、耐熱性を向上することが
でき、表面実装用圧電部品などの素子として有効に用い
られる圧電磁器組成物を得ることができる。
【００２７】また、Ｐｂの一部をＳｒ，Ｂａ，Ｃａ，Ｌ
ａのうちの少なくとも一種で置換することにより、共振
周波数の温度特性を向上することができ、温度変化に対
し安定な特性を示す圧電部品、例えば、フィルター，レ
ゾネータ等の素子として有効に用いられる圧電磁器組成
物を得ることができる。
ａのうちの少なくとも一種で置換することにより、共振
周波数の温度特性を向上することができ、温度変化に対
し安定な特性を示す圧電部品、例えば、フィルター，レ
ゾネータ等の素子として有効に用いられる圧電磁器組成
物を得ることができる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平８−165169（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−172915（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C04B 35/49 H01L 41/187 ＣＡ（ＳＴＮ) ＲＥＧＩＳＴＲＹ（ＳＴＮ)
Claims (2)
- 【請求項１】金属成分として少なくともＰｂ、Ｎｂ、Ｃ
ｒ、Ｃｏ、Ｔｉ、Ｚｒを含む複合ペロブスカイト型化合
物であって、これらの金属元素のモル比による組成式を
Ｐｂa 〔（Ｎｂb Ｃｒc Ｃｏd ）e （Ｔｉf Ｚｒ1-f ）
1-e 〕Ｏ3 と表わした時、ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ，ｆが ０．９５≦ａ≦１．０５ ０．４０≦ｂ≦０．７０ ０．０５≦ｃ≦０．５０ ０．０５≦ｄ≦０．５０ ０．０３≦ｅ≦０．２５ ０．４５≦ｆ≦０．５５ ｂ＋ｃ＋ｄ＝１．００ を満足することを特徴とする圧電磁器組成物。 - 【請求項２】Ｐｂの一部がＳｒ，Ｂａ，Ｃａ，Ｌａのう
ち少なくとも一種で置換されており、その置換量がモル
比で１２％以下であることを特徴とする請求項１記載の
圧電磁器組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29638094A JP3228648B2 (ja) | 1994-11-30 | 1994-11-30 | 圧電磁器組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29638094A JP3228648B2 (ja) | 1994-11-30 | 1994-11-30 | 圧電磁器組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08157258A JPH08157258A (ja) | 1996-06-18 |
| JP3228648B2 true JP3228648B2 (ja) | 2001-11-12 |
Family
ID=17832805
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29638094A Expired - Fee Related JP3228648B2 (ja) | 1994-11-30 | 1994-11-30 | 圧電磁器組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3228648B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100471978B1 (ko) * | 2000-12-22 | 2005-03-07 | 재단법인 포항산업과학연구원 | 가속도 센서용 압전 세라믹스 조성물 |
-
1994
- 1994-11-30 JP JP29638094A patent/JP3228648B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08157258A (ja) | 1996-06-18 |
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