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JP3221184B2 - 故障診断装置および方法 - Google Patents

故障診断装置および方法

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Publication number
JP3221184B2
JP3221184B2 JP25546293A JP25546293A JP3221184B2 JP 3221184 B2 JP3221184 B2 JP 3221184B2 JP 25546293 A JP25546293 A JP 25546293A JP 25546293 A JP25546293 A JP 25546293A JP 3221184 B2 JP3221184 B2 JP 3221184B2
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JP
Japan
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sensor
quantization
pair
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JP25546293A
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JPH07110708A (ja
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昌宏 鹿山
泰男 諸岡
洋一 杉田
正明 中島
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
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Priority to TW083108967A priority patent/TW275676B/zh
Priority to CN94117145A priority patent/CN1047446C/zh
Priority to DE4436658A priority patent/DE4436658B4/de
Priority to US08/322,557 priority patent/US5548597A/en
Priority to KR1019940026175A priority patent/KR0172982B1/ko
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Publication of JP3221184B2 publication Critical patent/JP3221184B2/ja
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    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B23/00Testing or monitoring of control systems or parts thereof
    • G05B23/02Electric testing or monitoring
    • GPHYSICS
    • G07CHECKING-DEVICES
    • G07CTIME OR ATTENDANCE REGISTERS; REGISTERING OR INDICATING THE WORKING OF MACHINES; GENERATING RANDOM NUMBERS; VOTING OR LOTTERY APPARATUS; ARRANGEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS FOR CHECKING NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
    • G07C3/00Registering or indicating the condition or the working of machines or other apparatus, other than vehicles
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B23/00Testing or monitoring of control systems or parts thereof
    • G05B23/02Electric testing or monitoring
    • G05B23/0205Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults
    • G05B23/0218Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults characterised by the fault detection method dealing with either existing or incipient faults
    • G05B23/0224Process history based detection method, e.g. whereby history implies the availability of large amounts of data
    • G05B23/024Quantitative history assessment, e.g. mathematical relationships between available data; Functions therefor; Principal component analysis [PCA]; Partial least square [PLS]; Statistical classifiers, e.g. Bayesian networks, linear regression or correlation analysis; Neural networks

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  • Testing And Monitoring For Control Systems (AREA)
  • Testing Or Calibration Of Command Recording Devices (AREA)
  • Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は鉄鋼,電力,一般産業等
における多数のセンサを備えた制御システムの診断方法
に関するもので、個々のセンサは見かけ上正常値を出力
していても、経年変化による劣化のために測定精度が低
下しているようなとき、劣化したセンサを特定するのに
好適な診断方法に関する。
【0002】
【従来の技術】多数のセンサで構成されるシステムのセ
ンサ診断を的確に行う従来技術としては、「免疫ネット
ワーク情報モデルによる故障診断」(石田,第3回自律
分散システムシンポジウム,H4年1月)に記載されて
いるように、センサ同士の出力の間に必然的に存在する
大小関係から故障したセンサを特定する方法がある。さ
らに特開平5−35329号に記載されているように、センサ
出力相互の相関関係を予め設定しておき、センサ出力が
この相関に合致しているかどうかを基に、異常センサを
特定する方法であった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術には以下
の問題がある。すなわちセンサ出力間の大小関係や相関
関係があらかじめ明確に定義できる単純な制御系の場合
は、劣化センサの検出は容易であるが、大小関係や相関
関係が複雑で容易に抽出できない場合には適用できな
い。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記問題点は、各センサ
が良好な値を出力しているときの操業データに対する複
数の量子化ベクトルを構築する量子化手段と、量子化ベ
クトルをセンサのペア毎に蓄える相関記憶手段と、入力
したセンサ出力値を相関記憶手段の内容と照合して照合
結果(異常度に相当)を算出する照合手段と、各ペアセ
ンサの照合結果から、劣化したセンサを特定する診断手
段とを備えることにより解決される。
【0005】
【作用】量子化手段は複数の量子化ニューロンと、これ
ら量子化ニューロンを結ぶシナプスとからなる量子化ネ
ットワークを各ペアセンサ毎に備えている。そして各セ
ンサから時系列で入力される入力信号に対して、量子化
ニューロンのシナプス荷重を更新していく。
【0006】この量子化ニューロン毎に対応したシナプ
ス荷重の組は量子化ベクトルと呼ばれ、相関記憶手段に
格納される。
【0007】照合手段はセンサ入力に対して最も類似度
の高い量子化ベクトルを抽出し、この量子化ベクトルと
センサ出力値との組み合わせを照合してセンサのペア毎
の照合結果を算出する。
【0008】診断手段は各センサペアに割り当てられた
異常度から各センサの信頼性を計算する。
【0009】
【実施例】以下、本発明の実施例を図に従い説明する。
【0010】図1は本発明の故障診断装置100の構成
である。操業データ記憶手段102は、入力部101か
ら制御対象120に備えられたn個のセンサ(センサ
1,センサ2,センサ3,…,センサn)の出力信号を
操作タイミングに合わせ記憶する。図2は操業データ記
憶手段102に記憶されているデータの構成例で、セン
サ1〜センサnから検出された信号がm個まで時系列に
蓄えられた状態を示している。
【0011】量子化手段104は、操業データ記憶手段
102に蓄えられたデータベースに基づいて、各センサ
の出力に内在している相関関係を抽出する。この結果は
各センサのペア毎に、相関記憶手段105の中にあるセ
ンサ相関記憶手段106〜107に記憶される。照合手
段108は相関記憶手段105のデータと、入力部10
1から取り込んだセンサ1〜センサnの信号とを照合
し、各センサペア間で抽出された相関関係と正常時の相
関関係とどの程度隔たっているかを定量化する。診断手
段109はセンサペア毎に定量化された相関関係の隔た
りから、各センサの出力に異常があるかどうかを判定す
る。
【0012】さらに異常がある場合には、異常値を出力
しているセンサを特定し、表示手段112にセンサ番号
等の情報を表示する。また必要に応じて異常処理手段1
10を起動して異常処理アルゴリズムに基づく信号を制
御対象120に出力する。
【0013】図3は量子化手段104の構成例で、量子
化ネットワーク301と量子化アルゴリズム302から
構成される。量子化ネットワーク301は各センサのペ
アに対応して独立に備えられており、図はセンサ1とセ
ンサ2のペアについての演算を行う量子化ネットワーク
の例であるが、単一の相関ネットワークを複数のセンサ
のペアで共有してもよい。
【0014】量子化ネットワーク301は、センサ1か
らの検出信号I1とセンサ2からの検出信号I2とが入
力される入力ニューロン1および入力ニューロン2から
なる入力ニューロン305と定数(図では1)I3を出
力するしきい値ニューロン306とからなる入力層30
3と、量子化ニューロン307を複数含む量子化ニュー
ロン層304、そして入力層303と量子化ニューロン
層304との間の信号を伝達するシナプス308により
構成される。量子化ニューロン層304からは各量子化
ニューロン307と結合しているシナプス308のシナ
プス荷重の値に従って、数1に示す演算結果Oj(j=1
〜N)が量子化アルゴリズム302に出力される。
【0015】
【数1】
【0016】図4に量子化アルゴリズム302が実行す
るアルゴリズムを示す。まずS4−1で、操業データ記
憶手段102から各センサのペアに対応したデータを抽
出する。センサ1とセンサ2の相関を記憶したい場合で
あれば、図2の該当するデータとして時系列番号1に対
応した(0.1584,0.2681)、時系列番号2に
対応した(0.0369,0.3281)のデータのペア
が順次入力される。次にS4−2で、各量子化ニューロ
ン307について(数1)に基づいた演算を行い、出力
値O1〜ONを算出する。S4−3で、O1〜ONのう
ち値が最大のものを検出する。仮にOj が最大であった
とすると、量子化ニューロンjに対応したシナプス荷重
1j〜W3jを更新する。すなわち入力ニューロン305
に対応したシナプス荷重W1j,W2jは数2により、また
しきい値ニューロン306に対応したシナプス荷重W3j
に関しては数3により更新されることで学習される。
【0017】
【数2】 W′ij=Wij+α(Ii−Wij) …(数2)
【0018】
【数3】
【0019】ただしW′1j,W′2jはそれぞれ更新後の
入力ニューロンに対応したシナプス荷重の値、W′3j
しきい値ニューロンに対応したシナプス荷重の値、αは
定数である。シナプス荷重の更新式は、ベクトル
(W1j,W2j)とベクトル(I1,I2)の相関を大きくする
処理と対応していればよく、このような更新式は数2と
数3に限定する必要はない。
【0020】S4−5の終了の処理は、S4−1〜S4
−4を一定回数繰り返したら終了するようにしてもよい
が、操業データ記憶手段102から抽出した各ペアデー
タに対応したシナプス荷重の更新量がすべて一定値以下
となったことで終了してもよい。処理が終了していない
場合にはS4−1に戻ってペアデータを次々に抽出し、
同様の処理を繰り返す。以上の処理が終了すれば操業デ
ータ記憶手段102に格納されていたm個のペアデータ
がN個の量子化ニューロンのシナプス荷重で代表された
ことになる。
【0021】本実施例の量子化手段104では、操業デ
ータ記憶手段102にあらかじめ蓄えられたデータを対
象に量子化したが、センサ出力を時系列に取り込んで量
子化してもよい。
【0022】次に図5に相関記憶手段105の構成を示
す。相関記憶手段105は量子化アルゴリズムの演算結
果を記憶している。図5のセンサ相関記憶手段106
は、センサ1とセンサ2の間の相関関係を、量子化ベク
トル(量子化ニューロンのシナプス荷重)(W1j
2j)(ただしj=1,…,N)として記憶している。
またセンサ相関記憶手段107は、センサ(n−1)と
センサnの相関関係を記憶している。この場合の相関は
量子化ベクトル(V1j,V2j)(ただしj=1,…,N)と
して記憶している。センサ相関記憶手段106,107
は、すべてのペアセンサに対応して設けても良いが、相
関関係が存在しないことが明白なセンサのペアに関して
は省略してもよい。
【0023】各ペアセンサの検出信号を対応したセンサ
相関記憶手段106,107にマッピングしたとき、近
傍に量子化ベクトルが存在していれば、各センサが良好
な値を出力していると判定できる。
【0024】次に照合するためのアルゴリズムを図6に
示す。ペアセンサをセンサ1とセンサ2とすると、セン
サ1から見てセンサ2がどの程度良好に稼働している
か、逆にセンサ2から見てセンサ1がどの程度良好に稼
働しているかを相互診断した結果を異常度とし、以下の
アルゴリズムで定量化される。
【0025】まずS6−1でセンサ1〜センサnの信号
を入力部101を介して取り込む。次にS6−2でペア
センサ毎に出力に対応したセンサ相関記憶手段106〜
107にマッピングする。センサ1とセンサ2のペアであ
れば、センサ相関記憶手段106にマッピングする。S
6−3で各センサ相関記憶手段毎にマッピングされた位
置(座標)に最も近接した量子化ベクトル検出する。S
6−4でマッピングされた座標と量子化ベクトルとの距
離からセンサ出力の異常度を検出する。
【0026】異常度は以下のようにして求める。マッピ
ングされた座標(X,Y)とマッピング座標に最も近接
した量子化ベクトルの座標を(Wx,Wy)とすると、
異常度Uの値は数4で計算できる。
【0027】
【数4】 U=f{(X−Wx)2+(Y−Wy)2−β} …(数4) ただし f(x)=x (x≧0) または f(x)=0 (x<0) ここでβはオフセット値で、(X,Y)が(Wx,W
y)から半径βの内側にあるとき異常度Uは0となり、
センサの出力は正常と判定される。(X,Y)が(W
x,Wy)から半径βの外側にあるときは、異常度Uは
(X,Y)と(Wx,Wy)の距離に応じた値になり、異
常度Uが大きいほど異常の度合いが大きいことに対応す
る。
【0028】S6−5で、センサ相関記憶手段に対応し
たすべてのペアセンサに関して、異常度を求めたら処理
を終了する。処理が終了していなければ未処理のペアセ
ンサに関してS6−2〜S6−4の処理を繰り返す。こ
の処理により各ペアセンサに対応した異常度Uが定量化
される。
【0029】図7は診断手段109の構成で、ペアのセ
ンサの組で得られた異常度Uから異常センサを抽出する
ために、診断ネットワーク601と診断アルゴリズム6
02からなる。診断ネットワーク601は各センサに対
応したユニット603と、各ユニットを結合するシナプ
ス604から構成される。各ユニットの信頼値Ri(i=
1,…,n)は対応するセンサの信頼性を示しており、
たとえば正常センサならば信頼値Ri=1を、センサが
劣化していれば信頼値Ri=0を出力するものとする。
さらにシナプス604に割付けられた診断ネットワーク
のシナプス加重ωijはセンサiとセンサjのペアに対応
した異常度Uを基に、数5で計算される。
【0030】
【数5】 ωij=g(1−γU) …(数5) ただし g(x)=x (x≧−1) または g(x)=−1 (x<−1) γ:定数 数5において、センサiとセンサjが互いに正常に稼働
していると認識しあった場合は診断ネットワークのシナ
プス加重ωij=1であり、異常度Uの大きさに従って診
断ネットワークのシナプス加重ωijは減少し、異常度U
がある値より大きいと診断ネットワークのシナプス加重
ωij=−1の飽和した値となる。
【0031】図7でユニット間でシナプスが交換されて
いる場合は、対応するセンサの間に相関関係があり、ユ
ニット間でシナプスが省略されているときは相関関係が
ないことを意味している。
【0032】図8は診断手段109の診断アルゴリズム
602が行う処理である。まずS8−1で、照合手段1
08から求められた異常度Uを各ペアセンサに関して取
り込み、数5に従って診断ネットワークのシナプス加重
ωijを算出する。
【0033】次にS8−2でユニットの信頼値Ri の初
期値を求める。センサの初期設定状態は正常と考えるこ
とができるので、信頼値Ri=1(i=1,…,n)とし
て初期値に用いて良い。あるいはランダムに1と0を割
付けてもよい。
【0034】S8−3では数6で求めたエネルギEが減
少する方向にユニット603の信頼値Ri を更新する。
まず1つのユニット603を取り出し、このユニット6
03の値を反転してエネルギEを求める。もしエネルギ
Eの値が減少すれば、ユニット603の信頼値Ri を反
転した状態に維持し、エネルギEが増加すればユニット
の反転は無効として元へ戻す。
【0035】
【数6】
【0036】S8−4では診断ネットワーク601の収
れんを判断し、収れんしていた場合にはアルゴリズムを
終了する。収れん判定はどのユニット603の信頼値R
i を反転してもエネルギEが減少しない状態でもって判
断する方法が一般的である。あるいは適当な反復回数で
演算を打ち切ってもよい。診断ネットワーク601が収
れんしていないと判定されたときは、S8−3の処理を
繰り返す。
【0037】ユニット603の信頼値Ri の更新方法と
しては数6による方法の他に、数7のE′(i)の符号
を検出してユニット603の値が反転するかどうかで決
定する方法も考えられる。すなわちユニットiを抽出し
て数7を計算し、E′(i)が正ならば信頼値Ri=1
(ユニットiは正常)、E′(i)が負であれば信頼値
i=0と判定する。E′(i)が0であれば、現状の
E′(i)の値が踏襲される。
【0038】
【数7】
【0039】図8のアルゴリズムにより得られた診断結
果は、表示手段112によりユーザに表示される。報知
される内容としては、表示手段112がディスプレイな
らば、異常の有無,異常センサのセンサ番号等が考えら
れる。また表示手段112がアラームランプならば、対
応ランプを点灯すれば良い。
【0040】あるいはまた異常が診断された場合は、異
常処理手段110が起動され、異常処理が実行される。
異常処理としては、該当センサに対応した機器の動作を
停止したり、センサの値を無視する処理をあらかじめプ
ログラミングしておき、必要に応じて出力部111を介
して制御対象120に出力する。
【0041】本実施例では信頼値Ri の値を1または0
と定義し、センサ出力の信頼性を正常または異常の2通
りに分類したが、信頼値Ri として0〜1の中間値を持
たせ、相対的な信頼値Ri の大きさを用いて最も信頼性
の高いセンサや故障している可能性の高いセンサを特定
する方法も考えられる。この場合は0と1との反転に代
わって一定の微小量を加算していくか減算していくかに
より、エネルギEを最小にする信頼値Ri を求めるよう
にすれば良い。
【0042】本発明では、相関記憶手段105を構築す
るまでの処理(第1処理モード)と、構築された相関記
憶手段105を用いてセンサの出力異常を診断する処理
(第2処理モード)を故障診断装置100で一括処理す
るものとしたが、第1処理モードを別の装置で実現し、
故障診断装置100では相関記憶手段105の内容を受
け取って第2処理モードを実行する他の構成とすること
も考えられる。
【0043】また本実施例ではセンサ出力のみに着目し
た例を示したが、センサがフィードバックループの中に
入っており、センサの出力異常が実際の出力として明確
に現われない場合には、検出可能な状態量を量子化ネッ
トワーク301の入力とし、これらの相関を抽出して診
断の対象としてもよい。この場合もセンサ相関記憶手段
106〜107を多次元にすることにより、本実施例と
同様の処理で診断を行うことができる。
【0044】複数のサブシステムから構成される全体シ
ステムが診断対象である場合の他の実施例を図9に示
す。サブシステム901〜904からの出力信号を入力
部101で入力し、今まで述べてきた処理により劣化して
いるサブシステムを特定し、診断結果を出力部110か
ら各サブシステム901〜904に送る。
【0045】図10は他の実施例で、故障診断装置10
0において、相関記憶手段105を構築するまでの処理
(第1処理モード)と、構築された相関記憶手段105
を用いてセンサの出力異常を診断する処理(第2処理モ
ード)をスイッチ1002で切り替える切り換え手段1
001を入力部101の出力側に備えた例である。
【0046】第1処理モードではセンサの出力信号は操
業データ記憶手段102に送られて相関記憶手段105
の構築に用いられる。第2処理モードではセンサの出力
信号は照合手段108に送られ、センサの出力異常が検
出される。切り換え手段1001は外部から設定する構成と
し、任意のモードに設定できる。たとえば相関記憶手段
105が十分高精度に構築できた後、第1処理モードか
ら第2処理モードに故障診断装置100の状態を変える
ことにより、故障診断の開始タイミングを適切に設定で
きる。
【0047】
【発明の効果】本発明によれば、各ペアセンサ間に含ま
れる種々な相関関係が抽出でき、この相関関係からセン
サ同士で相互診断した結果を総合的に判断し、各センサ
の信頼性を算出できる。したがってセンサの経年変化等
による出力異常が検出でき、制御系の信頼性を向上でき
る。特に溶鉱炉の内部を測定するセンサのように、劣化
センサの交換やチェックが容易でない場合に有効であ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】故障診断装置の構成図である。
【図2】操業データ記憶手段の構成図である。
【図3】量子化手段の構成図である。
【図4】量子化アルゴリズムの処理フローである。
【図5】相関記憶手段の構成図である。
【図6】照合手段の処理アルゴリズムである。
【図7】診断手段の構成図である。
【図8】照合手段の処理フローである。
【図9】分散システムの診断に用いた場合の一実施例で
ある。
【図10】処理モードの切り換え手段を備えた実施例で
ある。
【符号の説明】
100…故障診断装置、101…入力部、102…操業
データ記憶手段、104…量子化手段、105…相関記憶
手段、108…照合手段、109…診断手段、110…
異常処理手段、111…出力部、112…表示手段、1
20…制御対象、301…量子化ネットワーク、302
…量子化アルゴリズム、601…診断ネットワーク、6
02…診断アルゴリズム、900…全体システム、10
01…切り換え手段。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中島 正明 茨城県日立市大みか町五丁目2番1号 株式会社 日立製作所 大みか工場内 (56)参考文献 特開 昭62−86990(JP,A) 特開 昭59−188708(JP,A) 特開 平5−149763(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G05B 23/02 302 G05B 23/02 G05B 23/02 301 G06F 15/18 560

Claims (9)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】制御対象に備えられた複数のセンサからの
    出力信号を蓄える操業データ記憶手段と、 前記操業データ記憶手段の前記センサ出力信号からペア
    となるセンサ間の相対的な関連性を示す情報を量子化ベ
    クトルの形で構築する量子化手段と、 前記量子化ベクトルを前記センサのペア毎に蓄える相関
    記憶手段と、 前記相関記憶手段に蓄えられた前記量子化ベクトルと、
    前記センサ出力信号とから異常度を算出する照合手段
    と、 を備えたことを特徴とする故障診断装置。
  2. 【請求項2】制御対象に備えられた複数のセンサからの
    出力信号を蓄える操業データ記憶手段と、 前記操業データ記憶手段の前記センサ出力信号から量子
    化ベクトルを構築する量子化手段と、 前記量子化ベクトルを前記センサのペア毎に蓄える相関
    記憶手段と、 前記相関記憶手段に蓄えられた前記量子化ベクトルと、
    前記センサ出力信号とから異常度を算出する照合手段
    と、 前記照合手段で求められた異常度から、前記センサの信
    頼性を診断する診断手段と、 を備えたことを特徴とする故障診断装置。
  3. 【請求項3】制御対象に備えられた複数のセンサからの
    出力信号を蓄える操業データ記憶手段と、 前記操業データ記憶手段の前記センサ出力信号から量子
    化ベクトルを構築する量子化手段と、 前記量子化ベクトルを前記センサのペア毎に蓄える相関
    記憶手段と、 前記相関記憶手段に蓄えられた前記量子化ベクトルと前
    記ペアセンサの出力信号とから異常度を算出する照合手
    段と、 前記照合手段で求められた異常度から、前記センサの信
    頼性を診断する診断手段と、 前記診断手段によって検出された診断結果に基づき前記
    制御対象を制御する異常処理手段と、 を備えたことを特徴とする故障診断装置。
  4. 【請求項4】請求項1乃至請求項3のいずれかにおい
    て、前記量子化手段は前記ペアセンサの検出信号と定数
    とを入力する入力層と、複数の量子化ニューロンからな
    る量子化ニューロン層とからなり、前記入力層と前記量
    子化ニューロン層とを接続するシナプス荷重を量子化ベ
    クトルとして更新する手段で構成されることを特徴とす
    る故障診断装置。
  5. 【請求項5】請求項1乃至請求項3のいずれかにおい
    て、前記照合手段は前記量子化ベクトルと前記ペアセン
    サの出力信号との距離に基づいて異常度を決定すること
    を特徴とする故障診断装置。
  6. 【請求項6】請求項2乃至請求項3のいずれかにおい
    て、前記診断手段は前記各センサに対応したユニットと
    前記照合手段からの異常度に基づいて前記ユニット間の
    シナプス荷重からなる診断ネットワークを構成し、該セ
    ンサの信頼性を算出することを特徴とする故障診断装
    置。
  7. 【請求項7】請求項1乃至請求項3のいずれかにおい
    て、前記操業データ記憶手段と前記照合手段とへ入力す
    る前記複数のセンサからの出力信号を切換える切換手段
    を備えたことを特徴とする故障診断装置。
  8. 【請求項8】制御対象に備えられた複数センサをペアに
    組み合わせ、前記ペアのセンサ出力信号を入力して量子
    化ネットワークに学習させ、前記ペアのセンサ出力信号
    と量子化ベクトルとの相関関係を求め、新規入力のペア
    センサ出力信号と前記量子化ベクトルとから前記新規入
    力のペアセンサの異常度を求めることを特徴とする故障
    診断方法。
  9. 【請求項9】制御対象に備えられた複数センサをペアに
    し、前記ペアのセンサ出力信号を量子化ネットワークに
    入力して学習させ、前記ペアのセンサ出力信号と量子化
    ベクトルとの相関関係を求め、新規入力のペアセンサ出
    力信号と前記量子化ベクトルとから前記新規入力のペア
    センサの異常度を求め、前記異常度を診断ネットワーク
    に入力して、前記診断ネットワークのエネルギーを最小
    にすることにより前記複数のセンサの中から異常センサ
    を抽出することを特徴とする故障診断方法。
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