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JP3201423B2 - メモリ試験装置 - Google Patents

メモリ試験装置

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Publication number
JP3201423B2
JP3201423B2 JP03506792A JP3506792A JP3201423B2 JP 3201423 B2 JP3201423 B2 JP 3201423B2 JP 03506792 A JP03506792 A JP 03506792A JP 3506792 A JP3506792 A JP 3506792A JP 3201423 B2 JP3201423 B2 JP 3201423B2
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JP
Japan
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data
address
mut
buffer memory
memory
Prior art date
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JP03506792A
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JPH05232198A (ja
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健一 藤崎
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Advantest Corp
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Advantest Corp
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Publication date
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  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)
  • For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明はメモリ試験装置に関
し、特に被試験メモリ(以下MUTと言う)の連続した
フラッシュライト動作の試験に関する。
【0002】
【従来の技術】画像用メモリでは内蔵されたデータレジ
スタ(カラーレジスタ)にストアした例えば4ビットの
データを所定のロウアドレスの1行分のメモリセルに同
時に書き込むフラッシュ(ライト)モードと呼ばれる動
作モードがある。MUTのセルアレイが、例えば図4に
示すようにロウアドレス信号A0 〜A7 及びカラムアド
レス信号A8 〜A15(各8ビット)が入力され、0〜2
55番地のロウアドレスと0〜255番地のカラムアド
レスを持つ、256×256ビット構成のメモリチップ
を4層(枚)重ねて、256×256×4ビット構成で
あるとすると、ある同じロウアドレスの行の256×4
個のメモリセルに同時に4ビット構成のデータが書き込
まれる。
【0003】更に画像メモリには例えば4ビットのマス
クレジスタが内蔵され、マスクデータがストアされる。
フラッシュライトモードで各チップの同じロウアドレス
の一行分のメモリセルのデータを書き換える場合、この
マスクレジスタのデータと入力マスクデータのどちらか
マスクデータ(4ビット)によって、4ビットデータ
内の特定のビットにマスクを掛け、そのビットの書き換
えを阻止できるようになっている。
【0004】このようなフラッシュ(ライト)モードを
持つMUTを対象とした従来のメモリ試験装置を図5、
図6を参照して説明する。パターン発生器1からアドレ
ス信号SA、マスクデータ信号SMD、データ信号SD
及びMUT制御信号SC1がMUT2に、また前記アド
レス信号SA、マスクデータ信号SMD、データ信号S
D及び制御信号SC2が期待値発生器3にそれぞれ供給
される。MUT2から読み出したリードRDと期待値発
生器3より出力された期待値KDとが論理比較器4にそ
れぞれ入力され、論理比較されて、MUTの試験が行わ
れる。
【0005】パターン発生器1は、アドレス信号SA及
びマスクデータ信号SMDを発生するアドレス発生部1
aと、データ信号SDを発生するデータ発生部1bと、
MUT制御信号(クロックを含む)SC1を発生するM
UT制御信号発生部1c、期待値発生器3に対する制御
信号SC2を発生する制御信号発生部1dと、これら各
部のシーケンスを制御するシーケンス制御部1eとで構
成される。
【0006】期待値発生器3の構成を図6を参照して説
明する。バッファメモリ5はMUT2と同等又はそれ以
上の容量を持つ。従ってMUT2のデータビット幅と同
じか、それ以上の数だけ重ねられたメモリチップ(図の
例では4枚)を有している。アドレス信号SA(例えば
ロウアドレス、カラムアドレス各8ビット)はバッファ
メモリ5のアドレス入力端子Aに与えられる。例えば4
ビット構成のデータ信号SDはデータレジスタ6及びマ
ルチプレクサ7に入力され、データレジスタ6の出力は
マルチプレクサ7及び8にそれぞれ入力される。マルチ
プレクサ7では、ある時点の入力データ信号SDとデー
タレジスタ6の出力とのいずれか一方が選択されて、バ
ッファメモリ5のデータ入力端子Dに与えられる。
【0007】例えば4ビットのマスクデータ信号SMD
はマスクレジスタ(例えば4ビット構成)9及びマルチ
プレクサ10に入力され、マスクレジスタ9の出力はマ
ルチプレクサ10に入力される。マルチプレクサ10で
は、ある時点での入力マスクデータ信号SMDとマスク
レジスタ9の出力とのいずれか一方が選択され、アンド
ゲート群11,12の各一方の入力端子に与えられる。
データレジスタ6、マスクレジスタ9、マルチプレクサ
7,10及びアンドゲート群11,12の一方の入力端
子に制御信号SC2が与えられる。アンドゲート群1
1,12はデータビット幅(例えば4ビット)と同じ数
のアンドゲートより成り、各々の出力はバッファメモリ
5のライトイネーブル信号入力端子WE及びマルチプレ
クサ8のセレクト信号入力端子Sにそれぞれ入力され
る。
【0008】マルチプレクサ10出力のマスクデータの
L論理のビットに対応するアンドゲート群11の出力は
L論理となるので、バッファメモリ5の対応するチップ
にはH論理のライトイネーブル信号が与えられないの
で、そのビットの書き換えは禁止される。なお、データ
レジスタ6及びマスクレジスタ9と同等のものがMUT
2に内蔵されている。
【0009】バッファメモリ5はMUT2と異なり通常
のメモリで構成されているので、フラッシュ(ライト)
モードでの書込機能を持っていない。MUT2がフラッ
シュライトモードによってデータを書き込むのと同時
に、同じデータをデータレジスタ6にストアし、その直
後からMUT2の読出しを行わせる。このときマルチプ
レクサ8ではアンドゲート12の出力によって、マスク
が掛けられないビットはデータレジスタ6にストアされ
たデータが選択され、マスクが掛けられるビットはバッ
ファメモリ5のリードデータが選択される。
【0010】MUT2のフラッシュライトの良否を試験
する状態において、各テストサイクル毎にMUT2より
データ(4ビット)の読み出しを行わせるが、バッファ
メモリ5に対しては、1テストサイクルの前半で読み出
しを行わせ、後半で書き込みを行わせる。これによりM
UT2のフラッシュライトの成否を試験している過程
で、バッファメモリにデータレジスタ6の内容をマス
クを掛けながら書き込むことができるので、MUT2の
内容とバッファメモリ5の内容とを合致させることがで
きる。
【0011】マスクデータ信号SMDは図5ではアドレ
ス発生部1aで発生され、アドレスバスを通じてMUT
2及び期待値発生器3に供給されているが、データ発生
部1bで発生して、データバスを通じて供給される場合
もある。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】MUT2の動作をエミ
ュレートするバッファメモリ方式でデータレジスタ6や
マスクレジスタ9を内蔵した従来の試験装置では、MU
T2が1度フラッシュライトを実行したらその1ロウア
ドレス分の領域に対して、バッファメモリ5、データレ
ジスタ6及びマスクレジスタ9の各データで合成した期
待値KDと、MUT2のリードデータRDとを論理比較
器4で比較してからでないと次のフラッシュライトを実
行する事が出来なかった。
【0013】しかしMUT2の実使用状態ではフラッシ
ュライトは1ロウアドレス分のメモリセルに限られず、
一般に複数のロウアドレス分のメモリセルに対し1ロウ
アドレス毎に連続的に書き込みが行われる。従って、試
験装置としてはMUT2の連続的なフラッシュライト動
作の良否を試験できる事が望ましい。しかしながら従来
の装置では前述したように連続したフラッシュライト動
作の試験が出来ない問題があった。この発明の目的はこ
の問題を解決して、連続的なフラッシュライト動作の試
験を可能にしようとするものである。
【0014】
【課題を解決しようとする手段】この発明では、前記期
待値発生器が、複数のメモリを用いて、M×N(M=ワ
ード数、N=データビット数)の配列で構成され、少く
ともMUTと同等のメモリ容量を持つバッファメモリ
と、MUT内のデータレジスタが前記データ信号をライ
トする動作に同期して、そのデータ信号をライト可能な
データレジスタと、そのデータアドレスの出力と前記パ
ターン発生器より入力されるデータ信号とを切り換えて
前記バッファメモリのデータ入力端子に供給する第1マ
ルチプレクサと、MUT内のマスクレジスタが前記マス
クデータ信号をライトする動作に同期して、そのマスク
データ信号をライト可能なマスクレジスタと、そのマス
クレジスタの出力と前記パターン発生器より入力される
マスクデータ信号とを切り換え可能な第2マルチプレク
サと、MUTのデータビット幅と同じ数のアンドゲート
で構成され、それら各アンドゲートの一方の入力には前
記第2マルチプレクサ出力の前記マスクデータの各ビッ
トが1対1に対応して入力され、他方の入力には共通に
前記パターン発生器からのバッファメモリ・ライト命令
が入力され、ビット単位で前記バッファメモリのライト
を禁止できるアンドゲート群と、前記アドレス信号(ロ
ウ、カラムアドレス)の中より任意にロウ、カラムアド
レス・ビットを並び換え、そのロウアドレスビットを前
記バッファメモリのアドレス入力端子に供給するアドレ
ス・セレクタと、そのアドレス・セレクタ出力のカラム
アドレス内のデコードアドレス・ビットを除いた残りの
アドレス・ビット(カウンタアドレス・ビット)と同じ
ビット数を持ち、MUTの一フラッシュライト・サイク
ル内で、インクリメント動作するカウンタと、そのカウ
ンタアドレス・ビットと前記カウンタ出力のビットとを
切り換えて前記バッファメモリのアドレス入力端子に供
給する第3マルチプレクサと、前記アドレス・セレクタ
出力のカラムアドレス内のデコードアドレスをデコード
して、前記バッファメモリを構成する複数のメモリ内の
所定のメモリを選択するデコーダと、MUTのフラッシ
ュライト動作に同期して、前記バッファメモリ、カウン
タ、第3マルチプレクサの動作を制御し、MUTの1フ
ラッシュライト動作でアクセスされる1ロウアドレス分
の領域のデータ量と同じデータ量を、前記バッファメモ
リを構成している複数のメモリを一度に全てライトする
動作を複数回行わせて書き込ませるコントローラとを具
備する。
【0015】
【実施例】この発明のメモリ試験装置に使用する期待値
発生器3を図1に図6と対応する部分に同じ符号を付し
て示す。この例ではMUT2は、ロウアドレス、カラム
アドレス各8ビット(256ワード)、データ幅4ビッ
トとされ、バッファメモリ5は1ビットデータ幅のメモ
リ16列×4層で、合計64個で構成される。
【0016】動作説明の前に各機能ブロックについて簡
単に説明する。マルチプレクサ7,10、データレジス
タ6、マスクレジスタ9、アンドゲート群12の機能・
動作は図6の従来のものと同じである。マルチプレクサ
7はパターン発生器(PG)1からのフラッシュライト
命令でデータレジスタ6側のデータを選択する様に切り
換えられる。また、マルチプレクサ10はPG1からの
マスクデータ切り換え命令でマスクレジスタ9側のデー
タを選択する様に切り換えられる。データレジスタ6は
PG1からのデータロード命令でデータをロードする。
マスクレジスタ9はPG1からのマスクデータロード命
令でマスクデータ信号SMDをロードする。
【0017】アンドゲート群12はバッファメモリ5の
データビット幅と同じ数(本例では4個)のアンドゲー
トで構成され、入力の一方はマスクデータ(マルチプレ
クサ10の出力)ビットと1対1に接続され、もう一方
は共通にオアゲート21の出力が接続される。オアゲー
ト21ではコントローラ22からのバッファメモリ・ラ
イト命令S1PG1からのバッファメモリ・ライト命
令S2 のオアが取られる。
【0018】アドレス・セレクタ23はPG1からのア
ドレス信号SA(ロウ、カラムアドレス)の中より図2
に示す様にLSB(下位ビット)側よりカラムアドレ
ス、ロウアドレスの順にフォーマットして出力する。こ
の例では、8ビットのカラムアドレスはデコード・アド
レス4ビットとカウンタ・アドレス4ビットに分かれ
る。
【0019】バッファメモリ5は、前述のように1ビッ
トデータ幅のメモリ16×4=64個で構成され、MU
T2と同等のメモリ容量256×256×4ビットを持
ち、16列×4層の配列とされ、4ビットのデコード・
アドレスをデコーダ24でデコードして16列の中の1
列が選択される。64個のメモリのアドレス入力端子A
にはロウアドレス(8ビット)とカウンタ・アドレス
(4ビット)が共通に印加される。
【0020】コントローラ22はMUT2に対するフラ
ッシュライト命令と同じ命令をパターン発生器1より与
えられて、図3に示す様にMUT2の1フラッシュライ
ト・サイクルでバッファメモリ5に16回(本例ではカ
ウンタ・アドレスビットが4ビットなので16回)ライ
ト動作を行う制御をする。カウンタ25は4ビットで構
成され、コントローラ22からの制御により1フラッシ
ュライト・サイクルで0〜15(16進で#0〜#F)
までのインクリメント(+1)動作が行われる。マルチ
プレクサ26では、図2に示すカラムアドレスの内のデ
コード・アドレス・ビットを除いたカウンタ・アドレス
・ビットとカウンタ25の出力との切り換えが行われ
る。
【0021】16個のオアゲートで構成されるオアゲー
ト群27は、入力の一方はデコーダ24の出力と1対1
に接続され、もう一方は共通にコントローラ22の出力
に接続される。これにより、バッファメモリ5はフラッ
シュライト・サイクルの1度のライト命令で64個のメ
モリ全てにライトが可能となる。本装置においても従来
と同様に、MUT2の試験を開始してMUT2にデータ
をライトする時、バッファメモリに同じデータをライト
し、MUT2からデータをリードする時、バッファメモ
リ5からデータをリードし、このデータを期待値KDと
してMUT2からのリードデータRDと比較する事によ
り試験が行われる。
【0022】MUT2がフラッシュライトのデータSD
を内部データレジスタにライトする時、同じデータを本
装置のデータレジスタ6にライトし、同様にマスクデー
タSMDを内部マスクレジスタにライトする時、同じデ
ータを本装置のマスクレジスタ9にライトする。図3に
示すようにMUT2がフラッシュライトを実行する時、
バッファメモリ5はコントローラ22の制御により64
個のメモリに1度にライトする動作を16回実行し、6
4×16=1024ビット分、即ちMUT2の1ロウア
ドレス分の256×4=1024ビットに相当するデー
タをライトする。これにより、MUT2がフラッシュラ
イトを実行した直後でもMUT2とバッファメモリ5の
データは常に一致するので、MUT2に対する連続的な
フラッシュライト動作の実行が可能となる。この連続的
なフラッシュライトの終了後に、MUT2及びバッファ
メモリ5よりそれぞれ書き込んだ複数ロウアドレス分の
データを連続的に読み出して比較することができる。
【0023】
【発明の効果】以上述べたようにこの発明によれば、M
UT2の1フラッシュライト動作でアクセスされる1ロ
ウアドレス分の領域のデータ量と同じデータ量を、期待
値発生器3内のバッファメモリ5を構成している複数の
メモリを一度に全てライトする動作を複数回行わせて書
き込ませることができる。これによりMUT2がフラッ
シュライトを実行した直後でもMUT2とバッファメモ
リ5のデータは常に一致するので、MUT2に対する連
続的なフラッシュライトを行うことができる。
【0024】この連続的なフラッシュライトが終了後
に、両者に書き込んだ複数ロウアドレス分のデータを連
続的に読み出して比較することにより連続したフラッシ
ュライト動作の試験、つまりMUTの実使用状態と同じ
条件での試験を行える。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明のメモリ試験装置に用いる期待値発生
器の実施例を示すブロック図。
【図2】図1のアドレスセレクタ23の入出力データを
示す図。
【図3】図1の要部の動作波形図。
【図4】被試験メモリ(MUT)内のセルアレイの構成
例を示す図。
【図5】従来及びこの発明のメモリ試験装置の構成の概
要を示すブロック図。
【図6】メモリ試験装置に使用される従来の期待値発生
器のブロック図。

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 期待値発生器と、その期待値発生器より
    出力される期待値と被試験メモリ(以下MUTと言う)
    より読み出したデータとを論理比較する論理比較器と、
    アドレス信号、データ信号及びマスクデータ信号を前記
    MUT及び期待値発生器に並列に供給すると共に各々に
    制御信号を供給するパターン発生器とを具備するメモリ
    試験装置において、 前記期待値発生器は、複数のメモリを用いて、M×N
    (M=ワード数、N=データビット数)の配列で構成さ
    れ、少くともMUTと同等のメモリ容量を持つバッファ
    メモリと、 MUT内のデータレジスタが前記データ信号をライトす
    る動作に同期して、そのデータ信号をライト可能なデー
    タレジスタと、 そのデータレジスタの出力と前記パターン発生器より入
    力されるデータ信号とを切り換えて前記バッファメモリ
    のデータ入力端子に供給する第1マルチプレクサと、 MUT内のマスクレジスタが前記マスクデータ信号をラ
    イトする動作に同期して、そのマスクデータ信号をライ
    ト可能なマスクレジスタと、 そのマスクレジスタの出力と前記パターン発生器より入
    力されるマスクデータ信号とを切り換え可能な第2マル
    チプレクサと、 MUTのデータビット幅と同じ数のアンドゲートで構成
    され、それら各アンドゲートの一方の入力には前記第2
    マルチプレクサ出力の前記マスクデータの各ビットが1
    対1に対応して入力され、他方の入力には共通に前記パ
    ターン発生器からのバッファメモリ・ライト命令が入力
    され、ビット単位で前記バッファメモリのライトを禁止
    できるアンドゲート群と、 前記アドレス信号(ロウ、カラムアドレス)の中より任
    意にロウ、カラムアドレス・ビットを並び換え、そのロ
    ウアドレスビットを前記バッファメモリのアドレス入力
    端子に供給するアドレス・セレクタと、 そのアドレス・セレクタ出力のカラムアドレス内のデコ
    ードアドレス・ビットを除いた残りのアドレス・ビット
    (カウンタアドレス・ビット)と同じビット数を持ち、
    MUTの1フラッシュライト・サイクル内で、インクリ
    メント動作するカウンタと、 そのカウンタアドレス・ビットと前記カウンタ出力のビ
    ットとを切り換えて前記バッファメモリのアドレス入力
    端子に供給する第3マルチプレクサと、 前記アドレス・セレクタ出力のカラムアドレス内のデコ
    ードアドレスをデコードして、前記バッファメモリを構
    成する複数のメモリ内の所定のメモリを選択するデコー
    ダと、 MUTのフラッシュライト動作に同期して、前記バッフ
    ァメモリ、カウンタ、第3マルチプレクサの動作を制御
    し、MUTの1フラッシュライト動作でアクセスされる
    1ロウアドレス分の領域のデータ量と同じデータ量を、
    前記バッファメモリを構成している複数のメモリを一度
    に全てライトする動作を複数回行わせて書き込ませるコ
    ントローラとを具備することを特徴とする、 メモリ試験装置。
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US6851076B1 (en) * 2000-09-28 2005-02-01 Agilent Technologies, Inc. Memory tester has memory sets configurable for use as error catch RAM, Tag RAM's, buffer memories and stimulus log RAM

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