JP3244860B2 - 基板装着機構 - Google Patents
基板装着機構Info
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- JP3244860B2 JP3244860B2 JP11000193A JP11000193A JP3244860B2 JP 3244860 B2 JP3244860 B2 JP 3244860B2 JP 11000193 A JP11000193 A JP 11000193A JP 11000193 A JP11000193 A JP 11000193A JP 3244860 B2 JP3244860 B2 JP 3244860B2
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- Japan
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- substrate
- substrate holding
- groove
- attached
- rectangular frame
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はスパッタ装置等の薄膜
形成装置、特に磁気ディスク用インライン式スパッタ装
置に用いられる基板装着機構に関するものである。
形成装置、特に磁気ディスク用インライン式スパッタ装
置に用いられる基板装着機構に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の基板装着機構は図７および図８に
示されており、これらの図において、方形状のフレーム
１には複数の細い縦ワイヤー２と、同じく複数の細い横
ワイヤー３とが張設され、更に、その縦ワイヤー２には
一対のワイヤー部材５、６の各後端が横ワイヤー３を挟
んで振り分けるようにして溶着されている。一対のワイ
ヤー部材５、６の各先端部にはＶ字状の折り曲げ部５
ａ、６ａが形成され、その間隔は基板７の中心孔７ａの
径より若干大きくなっているが、基板７の中心孔７ａが
折り曲げ部５ａ、６ａと係合する場合には、一対のワイ
ヤー部材５、６が撓み、その弾性力によって、基板７が
一対のワイヤー部材５、６に装着されるようになる。な
お、８は撓んだ一対のワイヤー部材５、６を復元させる
ための補強用リング部材である。
示されており、これらの図において、方形状のフレーム
１には複数の細い縦ワイヤー２と、同じく複数の細い横
ワイヤー３とが張設され、更に、その縦ワイヤー２には
一対のワイヤー部材５、６の各後端が横ワイヤー３を挟
んで振り分けるようにして溶着されている。一対のワイ
ヤー部材５、６の各先端部にはＶ字状の折り曲げ部５
ａ、６ａが形成され、その間隔は基板７の中心孔７ａの
径より若干大きくなっているが、基板７の中心孔７ａが
折り曲げ部５ａ、６ａと係合する場合には、一対のワイ
ヤー部材５、６が撓み、その弾性力によって、基板７が
一対のワイヤー部材５、６に装着されるようになる。な
お、８は撓んだ一対のワイヤー部材５、６を復元させる
ための補強用リング部材である。
【０００３】このような基板装着機構においては、一対
のワイヤー部材５、６が４箇所設けられており、基板７
を一対のワイヤー部材５、６に装着するときには、１つ
のワイヤー部材５、６に基板７を装着した後、別のワイ
ヤー部材５、６に他の基板７を装着するようになる。即
ち、順次、ワイヤー部材５、６に基板７を装着してい
た。
のワイヤー部材５、６が４箇所設けられており、基板７
を一対のワイヤー部材５、６に装着するときには、１つ
のワイヤー部材５、６に基板７を装着した後、別のワイ
ヤー部材５、６に他の基板７を装着するようになる。即
ち、順次、ワイヤー部材５、６に基板７を装着してい
た。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の基板装着機構は
上記のように順次、ワイヤー部材５、６に基板７を装着
していた。そのため、ワイヤー部材５、６に基板７を脱
着させる際の作業効率が悪くなる問題が起きた。
上記のように順次、ワイヤー部材５、６に基板７を装着
していた。そのため、ワイヤー部材５、６に基板７を脱
着させる際の作業効率が悪くなる問題が起きた。
【０００５】この発明の目的は、従来の問題を解決し
て、基板を脱着させる際の作業効率がよくなる基板装着
機構を提供するものである。
て、基板を脱着させる際の作業効率がよくなる基板装着
機構を提供するものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明の基板装着機構の１つは、方形状のフレー
ムと、その方形状のフレームに所定の間隔で縦方向に複
数段取り付けた複数の基板保持用部材と、その複数の基
板保持用部材の各々に所定の間隔で横方向に一端を取り
付けた複数の折り曲げられたワイヤーと、その複数の折
り曲げられたワイヤーの各々の他端に取り付けられた上
部に溝を持つ基板保持部と、その基板保持部の上部の溝
内に中心孔側の部分を落し込んで保持される基板とを有
するものである。
に、この発明の基板装着機構の１つは、方形状のフレー
ムと、その方形状のフレームに所定の間隔で縦方向に複
数段取り付けた複数の基板保持用部材と、その複数の基
板保持用部材の各々に所定の間隔で横方向に一端を取り
付けた複数の折り曲げられたワイヤーと、その複数の折
り曲げられたワイヤーの各々の他端に取り付けられた上
部に溝を持つ基板保持部と、その基板保持部の上部の溝
内に中心孔側の部分を落し込んで保持される基板とを有
するものである。
【０００７】この発明の基板装着機構の別の１つは、方
形状のフレームと、その方形状のフレームに所定の間隔
で縦方向に複数段取り付けた複数の基板保持用部材と、
そのその複数の基板保持用部材の各々に所定の間隔で横
方向に一端を取り付けた複数の折り曲げられたワイヤー
と、その複数の折り曲げられたワイヤーの各々の他端に
取り付けられた上部に溝を持つ基板保持部と、その基板
保持部の上部の溝内に中心孔側の部分を落し込んで保持
される基板と、その基板の装着を準備するためにワイヤ
ーと等間隔に受け渡し溝を横方向一列に持つと同時に、
前後方向にも受け渡し溝を多段に持つ基板受け渡し用部
材と、その基板受け渡し用部材を上下方向および前後方
向に移動可能な搬送用ロボットとを有するものである。
形状のフレームと、その方形状のフレームに所定の間隔
で縦方向に複数段取り付けた複数の基板保持用部材と、
そのその複数の基板保持用部材の各々に所定の間隔で横
方向に一端を取り付けた複数の折り曲げられたワイヤー
と、その複数の折り曲げられたワイヤーの各々の他端に
取り付けられた上部に溝を持つ基板保持部と、その基板
保持部の上部の溝内に中心孔側の部分を落し込んで保持
される基板と、その基板の装着を準備するためにワイヤ
ーと等間隔に受け渡し溝を横方向一列に持つと同時に、
前後方向にも受け渡し溝を多段に持つ基板受け渡し用部
材と、その基板受け渡し用部材を上下方向および前後方
向に移動可能な搬送用ロボットとを有するものである。
【０００８】
【作用】この発明の１つにおいては、基板保持部の上部
の溝内に基板の中心孔側の部分を落し込んで、基板を保
持する。
の溝内に基板の中心孔側の部分を落し込んで、基板を保
持する。
【０００９】この発明の別の１つにおいては、搬送用ロ
ボットで基板受け渡し用部材を搬送すると、基板受け渡
し用部材の横方向および前後方向の受け渡し溝に保持さ
れた基板が移動するようになる。したがって、横方向の
受け渡し溝に保持された基板を複数のワイヤーに取り付
けられた基板保持部の上部の溝内に基板の中心孔側の部
分を落し込んで保持した後、搬送用ロボットで基板受け
渡し用部材を上段または下段に移動させ、次のワイヤー
に取り付けられた基板保持部の上部の溝内に基板の中心
孔側の部分を落し込んで保持する。このような動作を繰
り返して、全ての基板保持部の上部の溝内に基板の中心
孔側の部分を落し込んで保持する。
ボットで基板受け渡し用部材を搬送すると、基板受け渡
し用部材の横方向および前後方向の受け渡し溝に保持さ
れた基板が移動するようになる。したがって、横方向の
受け渡し溝に保持された基板を複数のワイヤーに取り付
けられた基板保持部の上部の溝内に基板の中心孔側の部
分を落し込んで保持した後、搬送用ロボットで基板受け
渡し用部材を上段または下段に移動させ、次のワイヤー
に取り付けられた基板保持部の上部の溝内に基板の中心
孔側の部分を落し込んで保持する。このような動作を繰
り返して、全ての基板保持部の上部の溝内に基板の中心
孔側の部分を落し込んで保持する。
【００１０】
【実施例】以下、この発明の実施例について図面を参照
しながら説明する。この発明の実施例の基板装着機構の
立面図が図１に示されており、また、右側面図が図２に
示されている。これらの図において、方形状のフレーム
１１には複数の基板保持用部材１２が所定の間隔で縦方
向に複数段取り付けられ、その複数の基板保持用部材１
２の各々にはコ字状に折り曲げられた複数のワイヤー１
３の一端が所定の間隔で横方向に取り付けられている。
複数の折り曲げられたワイヤー１３の各々の他端には上
部に湾曲した溝１４ａを持つ基板保持部１４が取り付け
られ、その基板保持部１４の上部の湾曲した溝１４ａ内
には基板１５の中心孔１５ａ側の部分が落し込まれて保
持される。図３と図４はその詳細図である。
しながら説明する。この発明の実施例の基板装着機構の
立面図が図１に示されており、また、右側面図が図２に
示されている。これらの図において、方形状のフレーム
１１には複数の基板保持用部材１２が所定の間隔で縦方
向に複数段取り付けられ、その複数の基板保持用部材１
２の各々にはコ字状に折り曲げられた複数のワイヤー１
３の一端が所定の間隔で横方向に取り付けられている。
複数の折り曲げられたワイヤー１３の各々の他端には上
部に湾曲した溝１４ａを持つ基板保持部１４が取り付け
られ、その基板保持部１４の上部の湾曲した溝１４ａ内
には基板１５の中心孔１５ａ側の部分が落し込まれて保
持される。図３と図４はその詳細図である。
【００１１】このような実施例においては、基板保持部
１４の上部の湾曲した溝１４ａ内に基板１５の中心孔１
５ａ側の部分を落し込むことによって、基板１５が保持
される。
１４の上部の湾曲した溝１４ａ内に基板１５の中心孔１
５ａ側の部分を落し込むことによって、基板１５が保持
される。
【００１２】次に、この発明の別の実施例の基板装着機
構が図５と図６に示されている。別の実施例は図１と図
２に示される上記実施例に別の構成を追加してものであ
る。即ち、ワイヤー１３と等間隔に受け渡し溝１６ａを
横方向一列に持つと同時に、前後方向にも受け渡し溝１
６ａを多段に持つ基板受け渡し用部材１６が、搬送用ロ
ボット１７に取り付けられ、その搬送用ロボット１７は
基板受け渡し用部材１６を上下方向および前後方向に移
動するようになる。また、基板受け渡し用部材１６の受
け渡し溝１６ａには基板１５が保持され、その基板１５
は装着用として準備されている。
構が図５と図６に示されている。別の実施例は図１と図
２に示される上記実施例に別の構成を追加してものであ
る。即ち、ワイヤー１３と等間隔に受け渡し溝１６ａを
横方向一列に持つと同時に、前後方向にも受け渡し溝１
６ａを多段に持つ基板受け渡し用部材１６が、搬送用ロ
ボット１７に取り付けられ、その搬送用ロボット１７は
基板受け渡し用部材１６を上下方向および前後方向に移
動するようになる。また、基板受け渡し用部材１６の受
け渡し溝１６ａには基板１５が保持され、その基板１５
は装着用として準備されている。
【００１３】このような別の実施例においては、横方向
の受け渡し溝１６ａに保持された基板１５を、複数のワ
イヤー１３に取り付けられた基板保持部１４の上部の溝
１４ａ内に基板１５の中心孔１５ａ側の部分を落し込ん
で保持した後、搬送用ロボット１７で基板受け渡し用部
材１６を上段または下段に移動させ、次の上段または下
段のワイヤー１３に取り付けられた基板保持部１４の上
部の溝１４ａ内に基板１５の中心孔１５ａ側の部分を落
し込んで保持する。このような動作を繰り返して、全て
の基板保持部１４の上部の溝１４ａ内に基板１５の中心
孔１５ａ側の部分を落し込んで保持する。
の受け渡し溝１６ａに保持された基板１５を、複数のワ
イヤー１３に取り付けられた基板保持部１４の上部の溝
１４ａ内に基板１５の中心孔１５ａ側の部分を落し込ん
で保持した後、搬送用ロボット１７で基板受け渡し用部
材１６を上段または下段に移動させ、次の上段または下
段のワイヤー１３に取り付けられた基板保持部１４の上
部の溝１４ａ内に基板１５の中心孔１５ａ側の部分を落
し込んで保持する。このような動作を繰り返して、全て
の基板保持部１４の上部の溝１４ａ内に基板１５の中心
孔１５ａ側の部分を落し込んで保持する。
【００１４】なお、この実施例では基板受け渡し用部材
１６に、基板保持用部材１２の各段に取り付けられた基
板保持部１４の数に応じて受け渡し溝１６ａを設け、１
段づついっぺんに基板の受け渡しを行うようにしている
が、搬送用ロボット１７が基板受け渡し部材１６を左右
方向へも移動できるようにすると共に、受け渡し溝１６
ａの数を半分にして、各段とも半分づつ基板を受け渡す
ようにしてもよい。
１６に、基板保持用部材１２の各段に取り付けられた基
板保持部１４の数に応じて受け渡し溝１６ａを設け、１
段づついっぺんに基板の受け渡しを行うようにしている
が、搬送用ロボット１７が基板受け渡し部材１６を左右
方向へも移動できるようにすると共に、受け渡し溝１６
ａの数を半分にして、各段とも半分づつ基板を受け渡す
ようにしてもよい。
【００１５】上記各実施例に示されるように基板１５の
中心孔１５ａ側の部分を全ての基板保持部１４の上部の
溝１４ａ内に落し込んで保持したあと、基板１５の両面
に薄膜を形成したところ、薄膜の形成中、および形成後
においても基板１５の落下が起こらず、良質な膜質特性
が得られた。
中心孔１５ａ側の部分を全ての基板保持部１４の上部の
溝１４ａ内に落し込んで保持したあと、基板１５の両面
に薄膜を形成したところ、薄膜の形成中、および形成後
においても基板１５の落下が起こらず、良質な膜質特性
が得られた。
【００１６】
【発明の効果】請求項１の発明は、上記のように基板保
持部の上部の溝内に基板の中心孔側の部分を落し込ん
で、基板を保持するようにしているので、基板を保持す
る際の作業が簡単であると共に、薄膜の形成中、および
形成後においても基板の落下が起こらず、良質な膜質特
性が得られる効果を奏する。また、請求項２の発明は、
搬送用ロボットで基板受け渡し用部材を上段または下段
に移動させる動作を繰り返すことによって、全ての基板
保持部の上部の溝内に基板の中心孔側の部分を落し込ん
で、基板を保持するようにしているので、基板を保持す
る際の作業能率が良くなの効果を上記効果に追加して持
っている。
持部の上部の溝内に基板の中心孔側の部分を落し込ん
で、基板を保持するようにしているので、基板を保持す
る際の作業が簡単であると共に、薄膜の形成中、および
形成後においても基板の落下が起こらず、良質な膜質特
性が得られる効果を奏する。また、請求項２の発明は、
搬送用ロボットで基板受け渡し用部材を上段または下段
に移動させる動作を繰り返すことによって、全ての基板
保持部の上部の溝内に基板の中心孔側の部分を落し込ん
で、基板を保持するようにしているので、基板を保持す
る際の作業能率が良くなの効果を上記効果に追加して持
っている。
【図１】この発明の実施例の立面図
【図２】この発明の実施例の側面図
【図３】この発明の実施例の要部を詳細に示す立面図
【図４】この発明の実施例の要部を詳細に示す側面図
【図５】この発明の別の実施例の一部を示す立面図
【図６】この発明の別の実施例の側面図
【図７】従来の基板装着機構の斜視図
【図８】従来の基板装着機構の要部の断面図
１１・・・・・・フレーム １２・・・・・・基板保持用部材 １３・・・・・・ワイヤー １４ ・・・・・基板保持部 １４ａ・・・・・基板保持部の溝 １５・・・・・・基板 １５ａ・・・・・基板の中心孔 １６・・・・・・基板受け渡し用部材 １６ａ・・・・・受け渡し溝 １７・・・・・・搬送用ロボット
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C23C 14/00 - 14/58 G11B 5/85
Claims (2)
- 【請求項１】方形状のフレームと、その方形状のフレー
ムに所定の間隔で縦方向に複数段取り付けた複数の基板
保持用部材と、その複数の基板保持用部材の各々に所定
の間隔で横方向に一端を取り付けた複数の折り曲げられ
たワイヤーと、その複数の折り曲げられたワイヤーの各
々の他端に取り付けられた上部に溝を持つ基板保持部
と、その基板保持部の上部の溝内に中心孔側の部分を落
し込んで保持される基板とを有する基板装着機構。 - 【請求項２】方形状のフレームと、その方形状のフレー
ムに所定の間隔で縦方向に複数段取り付けた複数の基板
保持用部材と、そのその複数の基板保持用部材の各々に
所定の間隔で横方向に一端を取り付けた複数の折り曲げ
られたワイヤーと、その複数の折り曲げられたワイヤー
の各々の他端に取り付けられた上部に溝を持つ基板保持
部と、その基板保持部の上部の溝内に中心孔側の部分を
落し込んで保持される基板と、その基板の装着を準備す
るためにワイヤーと等間隔に受け渡し溝を横方向一列に
持つと同時に、前後方向にも受け渡し溝を多段に持つ基
板受け渡し用部材と、その基板受け渡し用部材を上下方
向および前後方向に移動可能な搬送用ロボットとを有す
る基板装着機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11000193A JP3244860B2 (ja) | 1993-04-12 | 1993-04-12 | 基板装着機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11000193A JP3244860B2 (ja) | 1993-04-12 | 1993-04-12 | 基板装着機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06299351A JPH06299351A (ja) | 1994-10-25 |
| JP3244860B2 true JP3244860B2 (ja) | 2002-01-07 |
Family
ID=14524589
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11000193A Expired - Fee Related JP3244860B2 (ja) | 1993-04-12 | 1993-04-12 | 基板装着機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3244860B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5888197B2 (ja) * | 2012-09-25 | 2016-03-16 | 日本電気硝子株式会社 | 膜付基板の製造方法 |
| JP7034976B2 (ja) * | 2019-03-18 | 2022-03-14 | Ｔｏｗａ株式会社 | ワーク保持部及びワーク保持部回転ユニット |
-
1993
- 1993-04-12 JP JP11000193A patent/JP3244860B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06299351A (ja) | 1994-10-25 |
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